製品カタログダウンロード

F
series
イワキエアー駆動ベローズポンプ
半導体プロセスの超クリーン化に対応
Pneumatic drive bellows pumps
F シリーズは半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプです。
充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、
薬液供給装置や CMP プロセスなどに幅広く対応します。
F
Iwaki Pneumatic Drive Bellows Pump
series
半導体プロセスの
超クリーン化に対応
F シリーズは半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプです。発
売以来 10 有余年、イワキは常に市場ニーズにお応えして、新製品開発を積極
的に展開してきました。現在では標準品だけでも 20 機種以上を数え、その品
質と性能は世界のデバイス・ウェハーメーカーより高い評価をいただいています。
また、ポンプのみならずコントローラ・ダンパーなどの周辺機器や薬液補充ポ
ンプシステムも標準化。一段と充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロ
セスをはじめ、薬液供給装置や CMP プロセスなどに幅広く対応します。
FW-20
FF-20HT
FA-40VEW
選定の目安
最大吐出量(L/min)
最高供給エアー圧力(MPa)
80
40
0.5
0.3
40
0.4
用途例
用途
ウェハー洗浄装置
40
0.2
1
200
FA
200
バッチ(洗浄液循環)
枚葉(洗浄液循環)
希釈液循環 / 移送
洗浄液循環(後洗浄)
FW
FW-H
FF
PFA
5〜100
20〜180
5〜100
使用可能
シリーズ名
薬液供給装置
薬液補充装置
FF-H
PTFE
10〜180
180
FF
主材質
10〜100
480
FW-H
22
液温範囲(℃)
820
FW
0.5
CMPプロセス
最大エアー消費量(NL/min)
シリーズ名
FF-H
FA
条件により使用可能
CFD
F
series
豊富なラインアップ
高温・高圧移送が可能なシリーズ最強モデル
FW-H 型から、FA 型まで F シリーズのライ
ンアップは 20 機種。用途に応じた最適機種
が選定できます。
設置例
ウェハー洗浄装置
フィルタ
コンタミフリー設計
薬液補充ポンプ
CFD-1T-B
全ての接液部に耐薬品性・耐熱性に優れたフ
ッ素樹脂を採用。強腐食性薬液のケミカルア
タックに耐え、パーティクル発生の少ない送
液を行います。
センサ駆動方式
ポンプに内蔵された近接スイッチ（非接液）に
より電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採
用。作動が確実で低ストローク時でも安定し
た性能を発揮します。
コントローラ
SC
ダンパー
PDA-H1 / PDA-W / PD-H1
NH4OH, H2O2
HCl, HF, H2SO4
循環ポンプ Fシリーズ
薬液供給装置
（圧力一定制御システム）
ダンパー
PDA-W
リークセンサ内蔵
ベローズ破損時にも素早く対応できる
リークセンサを標準装備しました。
アクセサリーも充実
ダンパーやコントローラなどのアクセサリーも
充実。これらを使用することでパーティクルの
抑制やベローズ寿命の向上が図れます。
●ベローズ寿命向上のために、コントローラ SC 型またはポ
ンプドライバー FD 型のご使用をお奨めします。詳しくは 7
ページをご参照ください。
● F シリーズには高速ストロークタイプの FS 型もあります。
詳しくは別冊の FS カタログをご参照ください。
PIC
フィルタ
希釈液移送/
循環ポンプ
FW
タンク
電空
レギュレータ
PFCユニット
電磁弁
外部ON/OFF
外部設定信号(DC4-20mA)
供給/循環切替
電源：AC100V
フィルタ
圧力信号出力(DC4-20mA)
電磁弁同期出力(接点)
異常出力(接点)
リークアラーム
● PFC ユニットについては、別冊の PFC カタログをご参照ください。
CMPスラリー供給装置
各種薬液補充
DIW
Acid
Alkali
pH調整
電磁定量ポンプ
EHN
各装置へ
切替弁
砥液原液ボトル
調整槽
ダンパー
PDA-W
希釈液移送/循環ポンプ FW
供給槽
コントローラ
SC
●電磁定量ポンプ、CMP ポンプについては、各単品カタログをご請求ください。
2
エアー駆動ベローズポンプ
FW/FW-H
肉厚ベローズの採用で高圧・長寿命
FW-20HT2
FW-20T1
構造と材質
■肉厚ベローズの採用で Max.0.45MPa の高圧吐出を可能に
しました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ
3 〜 4 倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができ
ます。
3
1
■高圧・中温（10 〜100℃）仕様の FW 型は薬液供給用に加
え、洗浄装置・CMP スラリー液の循環用として、高圧・高温
（10 〜180℃）仕様の FW-H 型は洗浄装置の循環用ポンプ
としてご使用いただけます。
■吸込 / 吐出の接続部は PFA チューブの一体構造。
パ
ーティクルの滞留がなく、市販の継手が使用可能です。
4
■専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡
単に行えます。
1
2
3
4
■ポンプ作動はセンサ駆動方式。またリークセンサを標準装
備しています。
ポンプヘッド
バルブ
バルブケース
ベローズ
2
PTFE（チューブ：PFA）
PTFE
PTFE
PTFE
型式表示
FW - 20 H T1 - 01
特殊記号
記号なし：標準仕様
01：特殊仕様
シリーズ名
ポンプサイズ
20 ：最大吐出量 20L/min
40 ：最大吐出量 40L/min
80 ：最大吐出量 80L/min
ポンプヘッドとベローズの構造
T1 ：チューブ出し / シール構造（ベローズ分離型）
T2 ：チューブ出し / 溶接一体構造
液温範囲
（10〜100℃）
記号なし：中温仕様
H：高温仕様（10〜180℃）
仕様
型式
最大吐出量
液温範囲
供給エアー圧力
最大ストローク数
最大エアー消費量
L/min
FW-20
20
FW-40
40
FF FW-80
- 20 H T - SFW-20H
℃ シリーズ名
10〜100
10〜100
（5〜100℃）
MPa FF ：中温仕様
0.2〜0.5
高温仕様（20〜180℃）
spm FF-H：
80
120
NL/min
330
480
80
10〜80
80
820
ポンプサイズ
φ25 φ22
φ19 φ16
10 ：
最大吐出量 10L/min
PFAチューブ
PFAチューブ
20 ：Rc1/4
最大吐出量 20(HT)/22(B/CT)L/min
Rc1/2
供給エアー接続口径
Rc3/8
40 ：最大吐出量 40L/min
●最大吐出量は清水20℃の場合の性能です。
ポンプ接続口径
3
10〜100
0.2〜0.5
330
20
101〜150
0.15〜0.3
120
特殊記号
151〜180
10〜100
：標準仕様
記号なし
0.2〜0.5
0.15〜0.2
S：特殊仕様
ポンプ接続口径（吸込口吐出口）
140
480
T：チューブ出し
200
φ19 φ16
S：おねじ
PFAチューブ
Rc1/4
FW-40H
40
101〜150
0.15〜0.3
80
300
φ25 φ22
PFAチューブ
Rc3/8
151〜180
0.15〜0.2
220
F
series
エアー駆動ベローズポンプ
FF/FF-H
エアー消費の少ない省エネ設計
FF-20HT
FF-20BT1
構造と材質
■ FF 型は中温仕様（PVC シリンダタイプ：5 〜 50℃、アルミシリン
ダタイプ：5 〜100℃）、FF- H 型は常温から高温（20 〜180℃）
までの薬液を幅広く取扱うことができます。
3
1
■接液部はオールフッ素樹脂製、ゴム・金属を使用しないコンタ
ミフリー設計です。また FF- H 型の本体とベローズは完全に溶
接されているため、ヒートサイクルによる液漏れがありません。
■空気室のデッドボリュームを極力小さくして、エアー消費量の低
減を図りました。
FW - 20 H T1
■ポンプシャフトのパッキンはポンプを分解することなく容易に交
換できます。
- 01
シリーズ名
■専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に
ポンプサイズ
行えます。
特殊記号
4
2
記号なし：標準仕様
ド PTFE（チューブ：PFA）
1 ポンプヘッ
01：特殊仕様
バルブ
PFA
2
3 バルブケース PTFE
ポンプヘッドとベローズの構造
PTFE
4 ベローズ
T1 ：チューブ出し / シール構造（ベローズ分離型）
T2 ：チューブ出し / 溶接一体構造
20 ：最大吐出量 20L/min
40 ：最大吐出量 40L/min
■ポンプ作動はセンサ駆動方式。またリークセンサを標準装備し
80 ：最大吐出量 80L/min
ています。
液温範囲
（10〜100℃）
記号なし：中温仕様
H：高温仕様（10〜180℃）
型式表示
FF - 20 H T - S
シリーズ名
FF ：中温仕様（5〜100℃）
FF-H：高温仕様（20〜180℃）
特殊記号
記号なし：標準仕様
S：特殊仕様
ポンプ接続口径（吸込口吐出口）
T：チューブ出し
S：おねじ
ポンプサイズ
10 ：最大吐出量 10L/min
20 ：最大吐出量 20(HT)/22(B/CT)L/min
40 ：最大吐出量 40L/min
仕様
型式
最大吐出量
液温範囲
最高供給エアー圧力
最大ストローク数
最大エアー消費量
ポンプ接続口径
供給エアー接続口径
L/min
℃
FF-10BT/CT1
10
MPa
NL/min
FAC型：-5〜50※
2 E - 01
B型：5〜100
シリーズ名
spm
FF-20BT/CT1
90
ポンプサイズ記号
1/2 PFAチューブ
2 ：最大吐出量 2L/min
40：最大吐出量 40L/min
●最大吐出量は清水20℃の場合の性能です。
※B型のシリンダー材質はAl＋四フッ化樹脂、C型はPVCです。
22
0.3
120
Rc1/4
180
3/4
PFAチューブ
ポンプ駆動方式
■
FA-2
FF-20HT
20
特殊記号
記号なし
120：標準仕様
01：特殊仕様
FF-40HT1
20〜180
0.2
150
3/4 PFAチューブ
Rc1/4
40
80
200
φ25 φ22PFAチューブ
Rc3/8
記号なし：エアーパルスタイマーバルブ方式＋電極棒付
E：コントローラ方式＋電極棒付
■
FA-40
VEW：コントローラ方式＋電極棒付
ポンプヘッド・ベローズ溶接一体型
4
エアー駆動ベローズポンプ
FA
中温液循環用の 2 タイプ
FA-2-1
FW - 20 H T1 - 01
FA-40VEW
特殊記号
記号なし：標準仕様
01：特殊仕様
FA-40VEW
ポンプヘッドとベローズの構造
4
T1 ：チューブ出し / シール構造（ベローズ分離型）
T2 ：チューブ出し / 溶接一体構造
3
シリーズ名
■横型で少流量モデルの
FA-2E-1 型と、たて型大流量モデ
ルの FA-40VE W 型を標準化。2E 型はスプレー方式の枚
ポンプサイズ
葉処理用、40VEW
200/300mm
20 ：型は
最大吐出量
20L/min ウェハーの洗浄用
40
：
最大吐出量
40L/min
に適しています。
構造と材質
■ FA-40VEW 型には肉厚の H 形状ベローズを採用。耐圧
性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。
液温範囲
FA-2E-1
：中温仕様（10〜100℃）
記号なし
H：高温仕様（10〜180℃）
80 ：最大吐出量 80L/min
■専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡
単に行えます。
FF - 20
■ポンプ作動はセンサ駆動方式。またリークセンサを標準装
備しています。
4
H T2 - S
シリーズ名
FF ：中温仕様（5〜100℃）
FF-H：高温仕様（20〜180℃）
3
1
1
2
特殊記号
記号なし：標準仕様
S：特殊仕様
ポンプ接続口径（吸込口吐出口）
T：チューブ出し
S1：ポンプヘッ
おねじド PTFE
ポンプサイズ
10 ：最大吐出量 10L/min
20 ：最大吐出量 20(HT)/22(B/CT)L/min
40 ：最大吐出量 40L/min
2
3
4
1
2
3
4
バルブ
PFA
バルブケース PFA
ベローズ
PTFE
ポンプヘッド
バルブ
バルブケース
ベローズ
PTFE
PFA
PTFE
PTFE
型式表示
FA - 2 E - 01
特殊記号
記号なし：標準仕様
01：特殊仕様
シリーズ名
ポンプサイズ記号
2 ：最大吐出量 2L/min
40：最大吐出量 40L/min
ポンプ駆動方式
■
FA-2
■
FA-40
記号なし：エアーパルスタイマーバルブ方式＋電極棒付
E：コントローラ方式＋電極棒付
VEW：コントローラ方式＋電極棒付
ポンプヘッド・ベローズ溶接一体型
＊電極棒：ベローズ破損検知用
仕様
型式
最大吐出量
液温範囲
最高供給エアー圧力
最大ストローク数
最大エアー消費量
ポンプ接続口径
L/min
℃
MPa
spm
シリーズ名
NL/min
FA-2E-1
2
FA-40VEW
150
0.4
50
ポンプサイズ Rc1/8
供給エアー接続口径
Rc1/4
20：最大吐出量
20L/min
●最大吐出量は清水20℃の場合の性能です。
40：最大吐出量 40L/min
5
40
FS - 20 H T1 - 01
5〜100
液温範囲
（10〜100℃）
記号なし：中温仕様
H：高温仕様（10〜180℃）
80
200
Rc1
Rc3/8
特殊記号
記号なし：標準仕様
01：特殊仕様
ポンプヘッドとベローズの構造
T1 ：チューブ出し / シール構造（ベローズ分離型）
T2 ：チューブ出し / 溶接一体構造
F
series
オプション
オートダンパー
パルスダンパー
PDA-H1/PDA-W
PD-H1
PD-10H1
PDA-20W
■フィルタの目づまりなどにより、ポンプの吐出負荷が変動し
ても最少脈圧に自動調圧。フィルタからのパーティクルスル
ーや配管の振動を防止します。
■自動調圧機構のないダンパーです。
■ PD-H1 型は中圧仕様で FF・FF-H・FA ポンプ用に適用し
ます。
■現場での圧力調整作業が不要なため、ダウンタイムの短縮
化が図れます。
■既存の設備・装置にも取付け可能です。
設置例
■ベローズ内部の液抜きが簡単に行えます。
（PDA-W 型）
■ PDA-H1 型は中圧仕様で FF・FF-H・FA ポンプ用、
PDA-W 型は高圧仕様で FW・FW-H ポンプに適用します。
ダンパー
PDA-H1/PDA-W/PD-H1
(PDA-H1 型 )
1. フィルタの目づまりなどでポンプの
吸込口
負荷が大きくなると、ポンプの吐
バルブボールが開き、封入エアー
が（ポンプ駆動圧と同圧）がシリ
ンダ内に供給されます。
スプリング
ピン
ピン
排気側
バルブボール
給気側
バルブボール
エアーOUT
エアーIN
循環ポンプ
Fシリーズ
電磁弁
外形寸法図
●吸込口と吐出口を逆にすることも可能です。
3. エアーが送り込まれたシリンダ内の圧力はベローズ内圧よりも高いため、ベ
きます。
エアー
OUT
圧縮空気源
(mm)
PDA-W
ローズは押し上げられます。同時にスライダ・スプリングピンも上方向へ動
減圧弁
PDA-H1
PD-H1
OUT
C
IN
100
2. ピンが押し下げられると給気側の
減圧弁
ベローズ
シリンダ室
エアー
IN
B
4. この時、スプリングピンに連結さている排気側のバルブボールも上に動き、
C
バルブ通路が開いてシリンダ内のエアーが排出されます。
B
下方向に動き、ピンを押し下げます。
処理槽
スライダ
OUT
5. この動作により、ベローズ内とシリンダ内の圧力がバランスされた位置（給・
排気のバルブボールが閉じた位置）でベローズは振幅し、脈動を吸収します。
● PDA-W 型は構造が異なります。詳しくはお問合せください。
エアー
OUT
IN
100
A
100
9
出圧によりダンパーのベローズが
吐出口
11
作動原理
フィルタ
エアー
IN
A
型式
A
B
C
型式
A
B
C
20
148
215
33
10
114
119
40
40
188
255
36
20
144
138
50
80
208
323
38
40
160
212
60
仕様
型式
PDA/PD-10H1
適用ポンプ
液温範囲
最高封入エアー圧力
脈動圧力幅
接続口径
供給エアー接続口径
接液部材質
PDA/PD-20H1
FF-10B/CT1
℃
0.3
MPa
MPa
FF-20B/CT1
FF-20HT
1/2
PFAチューブ
20〜180
0.04以内
3/4
PFAチューブ
Rc1/4
PTFE/PFA
●ポンプの仕様圧力以上では使用できません。
●脈動圧力幅は使用条件により異なります。詳しくはお問合せください。
●FS型ポンプについては、別冊のカタログをご参照ください。
PDA/PD-40H1
FA-40VEW
FF-40HT1
0.4
φ25 φ22
PFAチューブ
PDA-20W
PDA-40W
FW-20/FW-20H/
FS-15/FS-30
10〜100
0.5
φ19 φ16
PFAチューブ
FW-40/FW-40H/
FS-60
101〜150
0.3
151〜180
0.2
0.06以内
Rc1/4
PDA-80W
FW-80
10〜80
0.5
φ25 φ22
PFAチューブ
PTFE/PFA
6
オプション
ポンプコントローラ
ポンプドライバー
SC
FD-1/FD-2
FD-2
SC
■ F シリーズ専用のコントローラ。1 台で 3 台のポンプを同時に制御
することができます。
■ローコストなドライバーです。FD-1 型は FF・FF-H・FA ポンプ用、
FD-2 型は FW・FW-H ポンプ用です。
■流量一定制御機能により、フィルタの目づまりなどでポンプの吐出
圧力が変動してもポンプの吐出量が一定に保たれるため、安定し
た循環・ろ過が行えます。
■ストローク数一定制御機能により、ポンプの吐出側負荷が変動して
もポンプのストローク数を一定に保つことができるため、安定した
吐出量が得られます。また、ベローズ内・外の差圧が常に最小値
にキープされるのでベローズ寿命が向上します。
■ダンパーへの供給エアー圧力を自動調整することで、ポンプの脈動
幅を常に最小にコントロールできるため、現場での調圧作業は不
要です。
■ポンプの吐出側負荷が変動してもベローズ内・外の差圧は、最小
値にキープされるのでベローズ寿命の向上が図れます。
■流量・ポンプ吐出圧・トータルカウント数などがモニタリングでき
ますのでフィルタの寿命管理に有効です。またリークアラーム・ポ
ンプ作動不良アラームなど、各種アラーム出力機能を標準装備し
ています。
■外部信号によるリモート運転やストローク数の設定/変更が行えます。
■ポンプの 1 ショットに要する時間（基準タイム）の設定ができます。
基準タイム以下でポンプが作動するとタイムアップアラームを出力
し、ポンプの動作不良を知らせます。
■ベローズが破損した場合には、リークアラームが出力して、ポンプ
を緊急停止することができます。
■流量表示計・供給エアー圧力表示計・ストローク積算表示計などの
取付けが可能です。
●上記の他に FS 型ポンプ用の FD-3 型もあります。詳しくは別冊の FS カタログをご参
照ください。
設置例
設置例
ポンプドライバー FD-1/FD-2
コントローラ SC
ユーザー
装置
ダンパー
処理槽
アラーム出力
フィルタ
ユーザー
装置
ダンパー
外部入力信号
フィルタ
近接スイッチ
アラーム出力
外部入力信号
近接スイッチ
処理槽
電空レギュレータ
循環ポンプ
Fシリーズ
QEV
EXH
仕様
一般仕様
EXH
電源電圧
出力仕様
（外部出力）
外形寸法 mm
7
電空
レギュレータ
レギュレータ
DC24V 10%
消費電力
24VA以下
使用雰囲気
周囲に腐食性ガスのなきこと
使用周囲温度
入力仕様
（外部入力）
電磁弁
流量切替指令
スタート
アラームリセット
液圧アラーム無視
リークアラーム
ポンプ作動不良アラーム
液圧上/中/下限アラーム
トータルカウント数アラーム
レディ出力
W245 D180 H130
循環ポンプ
Fシリーズ
QEV
QEV
EXH
仕様
一般仕様
0〜55℃
入力信号：無電圧接点または
オープンコレクタ
ON電源： 3V以下
OFF電源： 18V以上
QEV
EXH
電磁弁
電源電圧
消費電力
使用周囲温度
入力仕様
（外部入力）
出力仕様
外形寸法 mm
DC24V 10%
12VA
0〜55℃
使用雰囲気
周囲に腐食性ガスのなきこと
外部ストローク数可変/切替信号
入力抵抗：0〜5kΩにて0〜100%可変
外部スタート信号
外部ストローク数可変/切替信号
出力形態： NPNオープンコレクタ
開閉容量： DC24V 0.4A
電空
レギュレータ
レギュレータ
Max.ポンプストローク数可変/切替
リークアラーム・タイムアップアラーム
W130 D120 H60
AUTO ：リレー接点
AUTO ：リレー接点
接点ON/外部信号による可変
接点OFF/ボリュームによる可変
ディップスイッチによる4段切替
リレー接点出力
F
series
薬液補充ポンプ
CFD
ポンプコントローラ
AC-1
AC-1
■ローコストタイプのＦシリーズ用コントローラです。
■ポンプに内蔵された近接スイッチの信号を受け、電磁弁を確実に作
動させます。
■ポンプが停止した場合やベローズが破損した場合のアラーム機能を
備えています。
CFD-1T-B
仕様
電源電圧
AC100V 10% 50/60Hz
消費電力
24VA
使用周囲温度
使用雰囲気
外形寸法
0〜60℃
mm
周囲に腐食性ガスのなきこと
W144 D168 H72
■吐出量を 1shot 当り1mL とし、従来の 8mL に比べ大幅に分注性
能が向上しました。必要時に必要最小量を注入する事で、ウェハー
洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシ
ュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。
■接液部はオールフッ素樹脂製。半導体用途で使用される酸、アルカ
リ、過水等の薬液に対応します。
■サイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。
■ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサを標準装備しま
した。
急速排気弁
QEV
仕様
型式
吐出量
液温範囲
一般仕様
QEV-8V
ポンプと電磁弁の間に取付けることで、リターンエアーによる電
磁弁の腐食を防ぎます。また、排気抵抗を減らしベローズの動き
をスムーズにします。
型式
QEV-8V
QEV-10V
℃
最高吐出圧力
MPa
供給エアー圧力
MPa
最大ストローク数
ポンプ接続口径
供給エアー接続口径
接液部材質
方式
電源電圧
フォト
センサ仕様出力
許容電流
仕様
mL/shot
spm
1
CFD-1T-B
20〜60
0.05
30
0.15〜0.3
PFA1/4 チューブ
Rc1/8
PTFE/PFA/PCTFE
透過型マイクロフォトセンサ
5〜24V DC 10％
NPNトランジスタ・オープンコレクタ
50mA以下
●外形寸法図については別途図面をご請求ください。
接続口径
Rc1/4
Rc3/8
適用ポンプ
FW-20/20H, FF-10/20/20H, FA-2
FW-40/40H, FF-40/40H, FA-40
8
性能曲線
FW
FF
FW-20/20H
FF-10
0.5MPa
0.25
0.35
0.20
160
0.3MPa
0.2MPa
0.15
0.10
120
0.2MPa
0.15
60
0.15MPa
0.15MPa
0.10
40
0.05
20
40
5
10
FW-40/40H
15
吐出量(L/min)
20
0
25
0.35
640
0.4MPa
0.30
480
0.4MPa
0.20
320
0.3MPa
0.2MPa
240
0.2MPa
0.10
160
0.05
80
0
10
20
供給エアー圧力
0.5MPa
150
供給エアー圧力
0.3MPa
0.2MPa
0.20
100
0.15MPa
0.2MPa
0.15
0.15MPa
50
0.05
0
0.5MPa
5
10
15
20
800
700
0.4MPa
600
0.30
0.25
500
0.3MPa
0.3MPa
400
0.2MPa
0.2MPa
300
0.10
200
0.05
100
0
12
吐出量(L/min)
0.4MPa
0.15
10
0.10
40
0.35
0.20
8
0.3MPa
吐出量(L/min)
FW-80
0.40
30
0.25
吐出圧力(MPa)
400
エアー消費量(NL/min)
0.5MPa
0.3MPa
0.15
6
吐出量(L/min)
0.35
560
0.30
0.25
4
FF-20
供給エアー圧力
0.5MPa
0.40
2
20
40
60
80
吐出量(L/min)
外形寸法図
(mm)
FW,FF
(100)
G
型式
A
B
9
10
E
(100)
F
A
B
C
347 （458） 218
D
E
F
G
H
I
J
221
105
140
22
90
112
182
220
FW-40/40H
435 （542） 240
250
143
183
25.5
102
130
FW-80
464 （600） 302
317
185
240
27
119.5
158.5
317
FF-10/10H
266 （361） 188
191
84
114
14.5
82
97
154
J
6
H
I
C
D
FW-20/20H
FF-20/20H
288 （400） 218
221
105
140
20
91/80
112
182
FF-40H
431 （533） 240
250
143
183
23.5
97
130
220
エアー消費量(NL/min)
0
吐出圧力(MPa)
80
0.2MPa
80
0.2MPa
0.05
吐出圧力(MPa)
吐出圧力(MPa)
200
0.3MPa
エアー消費量(NL/min)
0.25
0.20
エアー消費量(NL/min)
吐出圧力(MPa)
240
0.4MPa
100
0.3MPa
280
0.4MPa
0.30
供給エアー圧力
0.3MPa
320
0.5MPa
エアー消費量(NL/min)
供給エアー圧力
0.40
H-Q
エアー消費量
F
series
FF-H
FA
FA-2E-1
FF-10H
0.4MPa 供給エアー圧力
0.2MPa
0.15MPa
0.08
40
0.06
0.04
0.12
20
0.2MPa
0.08
10
0.04
2
4
6
8
0
10
吐出量(L/min)
FF-20H
0.40
140
80
0.06
60
0.04
40
0.02
20
5
10
15
20
吐出圧力(MPa)
0.08
400
0.4MPa
0.3MPa
300
0.25
0.2MPa
0.20
0.2MPa
0.1MPa
0.1MPa
0.10
200
0.15MPa
0.15MPa
0.15
100
0.05
0
25
10
吐出量(L/min)
FF-40H
2.0
0.3MPa
0.30
エアー消費量(NL/min)
100
1.5
吐出量(L/min)
0.35
0.15MPa
0.15MPa
1.0
供給エアー圧力
0.4MPa
0.2MPa
120
0
0.5
FA-40VEW
供給エアー圧力
0.2MPa
0.12
吐出圧力(MPa)
0.2MPa
0.16
20
0
0.10
30
0.20
0.02
0.14
0.3MPa
0.3MPa
エアー消費量(NL/min)
0.10
0.24
60
エアー消費量(NL/min)
吐出圧力(MPa)
0.12
40
0.28
0.15MPa
吐出圧力(MPa)
0.14
供給エアー圧力
0.2MPa
0.4MPa
0.32
80
エアー消費量(NL/min)
0.16
H-Q
エアー消費量
20
40
30
50
吐出量(L/min)
0.2MPa 供給エアー圧力
0.18
0.2MPa
0.16
100
0.08
0.06
0.04
エアー消費量(NL/min)
150
0.15MPa
0.10
50
0.02
0
10
40
30
20
吐出量(L/min)
FA-2E-1
FA-40VEW
φ233
(150)
51
149
(192)
4 M6
(460)
50
102
88
6
274
102
545
(96)
51
吐出圧力(MPa)
0.12
200
0.15MPa
0.14
184
240
4 φ18
220
10
販売・サービスネットワーク
ワールドワイドなネットワークでお客様をサポートします。
お客様のニーズを正確に把握し、きめ細かなサービスを提供するためイワキは早くから販売拠点の整備に力を注いできました。
国内では支店・営業所と代理店が全国をカバー。
一方海外はドイツの現地法人に加え、世界各国の合弁会社がお客様を強力にサポートしています。
単に商品を提供するだけでなく、世界のネットワークを通じて収集した情報と
永年の経験に裏打ちされた専門知識を有機的に結合し、
お客様にとって価値ある提案を行うことが真のサービスであると考えています。
国内ネットワーク
東京支店営業１部
営業2部
営業3部
営業4部
大阪支店営業１部
営業2部
営業3部
名古屋支店営業 1部
営業2部
九州支店営業１部
営業2部
仙
札
新
水
松
熊
静
広
高
台
幌
潟
戸
本
谷
岡
島
松
営
営
営
営
営
営
営
営
支
業
業
業
業
業
業
業
業
店
所
所
所
所
所
所
所
所
13 の支店・営業所と 140 拠点の代理店が全国をカバー。地域密着型の営業を展開しています。
TEL 03(5820)7560
TEL 03(5820)7561
TEL 03(5820)7562
TEL 03(5820)7563
TEL 06(6943)6441
TEL 06(6943)6444
TEL 06(6943)6445
TEL 052(774)7631
TEL 052(774)7631
TEL 093(541)1636
TEL 093(541)1636
TEL 022(374)4711
TEL 011(704)1171
TEL 025(284)1521
TEL 029(247)4861
TEL 0263(40)0500
TEL 048(523)9186
TEL 054(262)2181
TEL 082(271)9441
TEL 087(834)2177
海外ネットワーク
Europe
ドイツ
IWAKI Europe GmbH
オランダ
IWAKI Europe (NL Branch)
イタリア
IWAKI Italia S.R.L.
デンマーク
IWAKI Nordic A/S
スウェーデン
IWAKI Sverige AB
フィンランド
IWAKI Suomi Oy
ノルウェー
IWAKI Norge AS
フランス
IWAKI France S.A.
イギリス
IWAKI Pumps (UK) Ltd.
スイス
IWAKI (Schweiz) AG
オーストリア
IWAKI (Austria) GmbH
スペイン
IWAKI Iberica Pumps, S.A.
ベルギー
IWAKI Belgium N.V.
FAX 5825-0325
FAX 5825-0326
FAX 5825-0327
FAX 5825-0327
FAX 6920-5033
FAX 6920-5033
FAX 6920-5033
FAX 769-1677
FAX 769-1677
FAX 551-0053
FAX 551-0053
FAX 371-1017
FAX 704-1077
FAX 282-2206
FAX 240-1359
FAX 40-0517
FAX 520-1398
FAX 267-1021
FAX 273-1528
FAX 863-3205
Asia
新潟市中央区鳥屋野1-29-9 〒950-0951
水戸市吉沢町297 〒310-0845
松本市大字島内3920-1 〒390-0851
熊谷市中央1-35 〒360-0018
静岡市駿河区栗原16-16 〒422-8008
広島市西区庚午北1-10-15 〒733-0821
高松市木太町1560-1 〒760-0080
Oceania
シンガポール
オーストラリア
IWAKI Singapore Pte Ltd.
IWAKI Pumps Australia Pty Ltd.
インドネシア
IWAKI Singapore (Indonesia Branch)
マレーシア
IWAKIm Sdn. Bhd.
タイ
IWAKI (Thailand) Co., Ltd.
台湾
IWAKI Pumps Taiwan Co., Ltd.
中国（香港）
IWAKI Pumps Co., Ltd.
中国（上海）
IWAKI Pumps (Shanghai) Co., Ltd.
中国（広州）
GFTZ IWAKI Engineering & Trading Co., Ltd.
中国（北京）
GFTZ IWAKI Engineering & Trading Co., Ltd. (Beijing office)
韓国
IWAKI Korea Co., Ltd.
ベトナム
IWAKI Pumps Vietnam Co., Ltd.
安全に関するご注意
イワキ埼玉工場（埼玉県狭山市）
ご使用の前に、取扱説明書をよくお読みのうえ正しくお使いください。本カタログに
記載の写真は印刷のため実際の色とは多少異なります。
また、性能・寸法なども改良
のため予告なく変更する場合がありますので、
あらかじめご了承ください。
CAT-J 0081-01
仙台市泉区泉八乙女4-18-1 〒981-3112
札幌市東区北12条東16-1-25 〒065-0012
ドイツ現地法人に加え、世界各国に合弁会社を設立。ワールドワイドなネットワークでお客様を強力にサポートしています。
徹底した品質管理と効率化の推進が、
優れた生産システムを生み出しました。
株式会社イワキ
東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031
東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031
東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031
東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031
大阪市中央区内本町1-3-5 内本町山森・住友生命ビル〒540-0026
大阪市中央区内本町1-3-5 内本町山森・住友生命ビル〒540-0026
大阪市中央区内本町1-3-5 内本町山森・住友生命ビル〒540-0026
名古屋市名東区高社1-251 〒465-0095
名古屋市名東区高社1-251 〒465-0095
北九州市小倉北区砂津3-3-10 アクセス砂津ビル〒802-0014
北九州市小倉北区砂津3-3-10 アクセス砂津ビル〒802-0014
本社/〒101-8558
輸出に係るご注意
North America
アメリカ
IWAKI America Inc.
イワキ三春工場（福島県三春町）
弊社の製品/部品は、輸出貿易管理令別表第1に定められたリスト規制貨物またはキ
ャッチオール規制貨物のいずれかに該当します。輸出の際は経済産業省の輸出許可
が必要となる場合がありますのでご注意願います。
東京都千代田区神田須田町2-6-6 ニッセイ神田須田町ビル
このカタログは
地球環境に配慮して
作られています。
インターネットでのお問合せは…
www.iwakipumps.jp
2010.06.2000.SXZ

Download Report