平成18年度地域活性化推進委託費調査 東北地域における半導体デバイス等に係る製造装置 関連産業の競争力強化に関する調査 調査報告書 平成 19 年 3 月 経済産業省 東北経済産業局 目 次 概要版 本編 I． 調査の背景と目的 ....................................................... 1 １． 調査の背景 ............................................................. 1 ２． 調査の目的 ............................................................. 1 ３． 調査の実施体制.......................................................... 2 II． 半導体等デバイス及び半導体等製造装置産業の動向 ........................ 3 １． 半導体等デバイス産業の動向.............................................. 3 ２． 半導体等製造装置産業の動向.............................................. 8 III． 半導体等製造装置関連技術の概要 ...................................... 17 １． 半導体等製造装置の概要................................................. 17 ２． 半導体等製造装置の製造に必要な技術..................................... 19 ３． 半導体等製造装置メーカーの技術ニーズ................................... 22 ４． 域内の半導体等製造装置メーカーの技術ニーズ............................. 32 IV． 東北地域半導体等製造装置メーカーの現状とポテンシャル ................. 33 １． 域内の半導体等製造装置メーカーの状況................................... 33 ２． 域内の半導体等製造装置メーカーの特徴と課題............................. 37 V． 東北地域のものづくり中堅・中小企業の現状とポテンシャル ................ 41 １． 域内の関連産業の状況................................................... 41 ２． 域内のものづくり中堅・中小企業の状況................................... 52 ３． 域内のものづくり中堅・中小企業の特徴と課題............................. 60 VI． 東北地域の半導体等製造装置関連分野の人材・知的インフラ及び技術ネットワー クの現状 .................................................................. 71 １． 域内の研究者の状況..................................................... 71 ２． 域内の公設試験研究機関における関連研究への取り組み状況 ................. 81 ３． 域内の産学官連携・ものづくり人材育成の状況............................. 85 VII． 東北地域の半導体等製造装置関連分野のネットワークの現状 .............. 93 １． 半導体等製造装置メーカーと域内のものづくり中堅・中小企業のネットワーク状 況 ..................................................................... 93 ２． 半導体等デバイスメーカーと半導体等製造装置メーカーのネットワーク状況 ... 93 VIII． 東北地域の半導体等製造装置関連分野クラスター形成戦略 ............... 96 １． 東北地域における半導体等製造装置関連分野の発展の可能性 ................. 96 ２． 東北地域における半導体等製造装置関連分野クラスター形成に向けた目標と地域 産業戦略・アクションプラン.............................................. 99 ３． 地域産業戦略・アクションプランの推進体制（案）........................ 112 IX． 参考資料 ............................................................ 113 １． 域外における半導体等関連分野のクラスター形成の動向 .................... 113 ２． 半導体等製造装置メーカーへのニーズ調査の概要.......................... 115 ３． ものづくり中堅・中小企業の企業情報ガイドブック調査の概要 .............. 116 ４． 半導体等製造装置関連分野の研究者の状況................................ 118 ５． 東北地域の半導体等製造装置別の関連企業情報マップ ...................... 128 アンケート調査票 概 要 版 東北地域における半導体デバイス等に係る製造装置 関連産業の競争力強化に関する調査 概 要 版 ◆半導体等デバイス及び半導体等製造装置産業の動向 ○半導体等デバイス産業の動向 ・我が国の半導体、FPDメーカーによる欧米アジアの海外メーカーとの競争激化。世界的な企業再編とビジネス モデルの変革が必要。 ・世界の半導体市場は、2006年に2,477億ドルに達し、過去最高を記録。2008年〜09年には3,000億ドル超と なる見込み。パソコン、携帯電話等の成長市場、車載市場の拡大、アプリケーション分野の裾野の広がりに加え、 中国を中心にしたアジア・パシフィック地域、欧州・中東・アフリカ（EMEA）地域を含む海外市場の拡大、機器当 たりの半導体使用量の急増等により、市場ポテンシャルも高い。 ○半導体等製造装置産業の動向 ・我が国の半導体、FPD製造装置メーカーの寡占化の中で、AMAT、ASML、KLA-Tencor等の欧米メーカーと の競争激化。 ・半導体等デバイス市場の成長に伴い、半導体等製造装置市場は変動しつつも順調に拡大見込み。 注：半導体 等 製造装置関連分野とは、半導体製造装置、液晶、有機EL等のフラットパネルディスプレイ （FPD）製造装置を指すものとする。半導体産業のみを対象としたものではなく、同様の技術を活用できる、FPD、 さらに将来的にはMEMS(Micro Electronics & Mechanics System)等も含めたより広がりのある概念。 ◆半導体等製造装置関連技術の概要 ○半導体等製造装置の製造に必要な技術 ・半導体等製造装置の製造に必要な技術は、切削・砥粒加工技術、板金・プレス加工、接合、表面処理技 術等の金属材料加工技術やファインセラミックス、新材料技術等。新材料に対するニーズは非常に高く、加工 技術との組み合わせによる課題解決型の技術が重要。 ○半導体等製造装置メーカーの技術ニーズ ・ウェーハプロセス処理（リソグラフィ、成膜等）、計測・検査等の関連装置に対するニーズ。 ・リソグラフィ関連装置では、光リソグラフィ（液浸、EUV）、EBリソグラフィ装置に関するニーズとして、ステージの高 精度化、ナノオーダーの位置決め技術への要求。EUVでは熱制御、コミタミ制御等への要求（液浸露光等の改 良技術への要求も依然として強い）。また、コンタミレス表面処理技術、超精密切削加工・組立技術、超平滑 な表面加工技術等への要求。 ・成膜関連装置では、CVD装置、エッチング装置、熱処理装置に対するニーズ。熱処理装置等では、浅い接合 等に対応する高速昇降温技術等に関する要求。 ・液晶製造装置では、液晶のガラス基板の大型化に伴う、装置の大型化に対応するニーズ。 ◆ 東北地域半導体等製造装置メーカーの現状とポテンシャル ○域内の半導体等製造装置メーカーの特徴 ・東京エレクトロン東北、アルバック東北、日本マイクロニクス青森工場など特徴的な装置及び技術を有し、世 界市場において高いシェアを誇る装置メーカーの拠点があり、域内外の取引先、協力会社と取引ネットワークを 拡大。 ・東京エレクトロンが、仙台泉地区に次世代の半導体・FPD製造装置の研究開発拠点化。 ・域内の装置メーカーが、これまでの事業で培った技術を活かして、半導体等デバイスの後工程装置、検査装 置等を中心に半導体等製造装置関連分野で事業展開。 ○域内の半導体等製造装置メーカーの課題 ・装置メーカーは、域内外の協力会社との取引ネットワークがあるが、域内のものづくり中堅・中小企業の企業情 報や技術のポテンシャルの把握が課題。 ・半導体等製造装置の生産性向上にむけた技術開発、人材育成・確保が課題。 ・地域全体をみると、大型の装置等を中心にした輸送コストの増加や光ファイバー等の情報インフラの未整備に よる業務の非効率性等も課題。 【地域の半導体等製造装置メーカーの企業マップ】 弘前地域 ・（株）日本マイクロニクス 青森工場＜プロー ブカード＞、青森松崎工場＜液晶アレイ検 査装置、セル点灯検査装置等＞ 八戸地域 ・アルバック東北（株）＜液晶アレイ（TFT）製造 装置、液晶カラーフィルタ用インラインスパッタリ ング装置＞ 本荘・由利地域 等 ・ （株）日立国際電気エンジニアリング＜抵抗測定 機等＞ ・技研テクノロジー（株）＜イオン注入装置、高圧ア ニール装置、急速アニール装置＞ ・インスペック（株）＜TABテープ検査装置、液晶 TFTアレイ検査装置、BGA・リードフレーム検査装 置＞ ・ （株）キャッツ電子設計＜半導体検査装置＞ 北上川流域地域 ・東京エレクトロン東北（株）＜バッチ式縦型熱 処理・酸化膜形成装置、バッチ式縦型成膜 （CVD）装置＞ 山形・米沢地域 ・エムテックスマツムラ（株）＜半導体パッケージングオート モールド装置＞ ・ハイメカ（株）＜デイズクリート及びCSP用ハンドラ＞ ・山形クリエイティブ（株）＜汎用型透過電子顕微鏡、走 査型電子顕微鏡＞ ・ナノニクス（株）＜ナノインプリント装置＞ ・シンクロン（株）鶴岡工場＜光学真空薄膜形成装置＞ ・東北精機工業（株）＜ICハンドラ＞ 広域仙台地域 ・東京エレクトロンＡＴ（株）宮城事業所＜プラズマ エッチング装置＞ ・（株）仙台ニコン＜液晶用露光装置、チャンバ（温 調機）＞ ・（株）アドバンテスト研究所＜電子計測器・半導 体試験装置の研究開発＞ 広域郡山地域 ・アルス電子（株）＜半導体検査装置（ウエハテスト 事業）＞ ◆ 東北地域のものづくり中堅・中小企業の現状とポテンシャル ○域内のものづくり中堅・中小企業の特徴 ・半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業は、一般機械、電気機械、精密機械器具 製造業が多く、金属材料加工技術を中核的な技術として、機械加工（5軸MC等）、溶接、精密板金、プレス加工、 レーザー加工技術等により、 SUS、インコネル等の材料の加工、大物から小物、さらには丸物、薄物まで幅広い加 工に対応。高精度の加工力と高度な設備力を強みとして、積極的な設備投資や技術開発を行い、他分野への技 術の横展開を図って事業を拡大している企業が多い。さらに同企業群は、取引先や協力会社数が多く、今後、大 学等との連携を希望しているなど産学連携に対する前向きな姿勢。 ・半導体等製造装置関連分野に関わってはいないが関心があるものづくり中堅・企業は、一般機械、精密機械、電 気機械器具製造業の他に、金属製品をはじめとする幅広いものづくり企業群であり、装置関連分野に活用が見込 まれる金属材料加工技術を中核的な技術として保有。また、量的変動への対応力、品質管理能力を強みとしてい る企業が多く、これらを活かして半導体等製造装置関連分野への事業展開をする見込み。 ・域内において半導体等製造装置関連分野につながる特徴あるものづくり中堅・中小企業の事業展開が活発化。 ・自動車産業クラスター形成の動きもあり、域内の高度なものづくり中堅・中小企業のポテンシャルが向上。 ○域内のものづくり中堅・中小企業の課題 ・半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業は、下請け中心であり、産学官連携による 技術開発力の高度化、提案力のある人材の育成、新たな事業分野や新規取引先の開拓が課題。 ・半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業は、関連分野の情報やニーズの把握による 自社技術とのマッチング、技術とマネジメント力の一層の強化が課題。 ・地域全体をみると、表面処理技術の蓄積、産学連携の強化が課題。 ◆ 東北地域の半導体等製造装置関連分野の人材・知的インフラ及び技術ネットワークの現状 ・域内の大学・研究機関では、東北大学で半導体等関連分野の最先端研究開発が進められているほか、岩手大 学、山形大学、公設研究機関による金型、超精密加工技術等のものづくり関連分野の研究・技術開発を推進。 ・域内の公設研究機関は、半導体等製造装置関連分野につながる接合技術、超精密加工技術、精密制御技 術等の高度な技術開発プロジェクトを推進しており、域内のものづくり中堅・中小企業等の技術力向上等にも寄与。 ・技術開発等のみならず、各地域において大学、高専等によるものづくり人材育成支援事業が進められており、人材 育成面を含めた複合的な機能が強化。 ◆ 東北地域の半導体等製造装置関連分野クラスター形成戦略 ○ 東北地域における半導体等製造装置関連分野の発展の可能性 ・東北地域では、世界市場において高いシェアを誇る半導体等製造装置メーカーをハブとして、域内のものづくり中 堅・中小企業が、金属材料加工技術等の特徴ある高度な技術力を磨いて、域内外の企業等と相互補完的なネッ トワークを形成することが可能。 また、域内のものづくり中堅・中小企業が、半導体等製造装置関連をはじめ自動車、航空分野等へ事業の裾野 を広げながら、域内の大学・研究機関や行政・支援機関と研究開発、連携、人材育成面での支援ネットワークを活 かすことで、半導体等関連産業の激しい変動にも耐えうる半導体等製造装置関連分野を核とした足腰の強いクラ スターの形成が可能。 【東北地域の半導体等製造装置関連分野のクラスター形成の可能性】 〜イメージ図〜 エレクトロニクス メーカー 自動車 メーカー 航空宇宙 メーカー 精密機器 メーカー 半導体 デバイスメーカー FPD等 メーカー 半導体製造 装置メーカー 工作機械 メーカー FPD等製造 装置メーカー ＜官＞ ＜学＞ 中小 大学（東北大学、岩手大学 、山形大学等）、高専等 中小 中小 研究開発支援 ＋ 人材育成支援 中小 行政・支援機関等 中小 中小 中小 研究開発支援 ＋ 連携支援 中小 中小 特徴ある技術を持つ高度なものづくり中堅・ 中小企業による濃密なネットワーク 各社が特徴的 な技術を持ち、 相互補完 クラスター形成の 中核的機能 詳 細 青森・弘前地域 北上川流域地域 八戸地域 特殊加工技術 精密板金加工技術 ジョイ・ワールド・パシフィック（株） 精密板金加工技術 装置加工組立技術 キクホー製作所（有） 東北三吉工業（株） 光学器械器具レンズの製造業，半導体検 査装置加工・製造業 各種電子・電気機械器具製造，精密機械器具 の板金・プレス加工真空装置機械製造 精密板金加工，半導体製造装置機械， 省力化装置，試作部品製造業 東北精密（株） 半導体拡散炉周辺機器部品製造 （株）株式会社ワイ・デー・ケー ＹＤＫメカトロニクス 本荘・由利地域 等 半導体等製造装置加工、組立 精密板金加工技術 装置メーカー B社 精密機械部品製造（アルミ加工） 精密装置部品加工技術 装置メーカー A社 山形・米沢地域 表面処理技術（めっき等） 千田精密工業（株） 半導体及び液晶関連装置，真空装置， 自動車関連の各種精密部品製造 アルミ加工技術 マシンマックス（株） （株）協和工業 精密板金加工等 精密機械加工技術 （大型MC、NC加工等） 小林機械 （株） 東洋技研 （株） 電子部品・ハーネス部品，自動車金 型部品製造 精密機械部品加工，電子部品の組立 装置メーカー C社 広域仙台地域 精密機械加工技術 スズキハイテック（株） （株）ニクニ 山形工場 電気めっき加工，機械製品加工 装置精密部品加工等 装置メーカー D社 新素材加工技術 （ファインセラミックス） 精密鏡面加工技術 （株）ティ・ディ・シー 日本セラテック（株） 各種構造用ファインセラミックス製品の研 究・開発 広域郡山地域 等 石英ガラス加工技術 （株）クオーツリード 江信特殊硝子（株） 石英ガラス製品加工 石英ガラス製品加工・再生 装置メーカー E社 表面処理技術 （株）サンビックス 亜鉛、ニッケル、すずメッキ アルミ化成処理 メカトロ技術 （株）いわき精機 省力化・生産設備器機等 精密鏡面加工、機械加工等 ○東北地域における半導体等製造装置関連分野クラスター形成に向けた目標と地域産業戦略・アクションプラン 【東北地域の半導体等製造装置関連分野のクラスター形成目標】 ・東北地域として、半導体等製造装置関連分野において、互いの顔がみえる産学官のネットワークの形成・深化により、 短期的には、技術開発力の強化と企業間取引の拡大を目指す。また、中長期的には、世界市場に直結し、半導体 等製造装置分野をリードする競争力の高い新たな技術・企業の連鎖的な創出と発信、さらには国内外トップレベルの 半導体等製造装置関連企業や関連研究者等の人材の引き寄せを可能とするクラスターの形成を目指す。 中長期 目標（将来像） 半導体等製造装置分野を リードする新たな技術・企業 の連鎖的な創出と発信 半導体等製造装置分野 で世界市場に直結 半導体等 デバイスメーカー 短期 目標（将来像） 半導体等 材料メーカー 産 半導体等 デバイスメーカー 半導体等 材料メーカー 現 状 中小 アプリケーション メーカー 半導体等製造 装置メーカー 中小 中小 中小 パートナー 中小 アプリケーション メーカー 半導体等製造 装置メーカー 中小 産 中小 産学官 プラットフォーム 学 中小 官 中小 中小 大学 大学 公設試 自治体 産 半導体等 アプリケーション デバイスメーカー メーカー 半導体等製造 装置メーカー 中小 中小 下請 大学 中小 支援機関 官 高専等 公設試 自治体 独立 行政法人 中小 支援機関 国内外トップレベ ルの研究者や 学 ルの研究者や学 生の引き寄せ 国内外トップレベルの半 国内外トップレベルの半 導体等製造装置関連 企業の引き寄せ 官 学 大学 産学官 プラットフォーム 学 中小 独立 行政法人 高専等 公設試 自治体 独立 行政法人 技術開発力の強化、企業間取引の拡大 支援機関 産学官で互いの顔が見えにくく、大 学等の知的ポテンシャル等の活用 も不十分 【地域戦略・アクションプラン】 ■域内の半導体等製造装置メーカーに期待する役割 ①技術開発面：産学官連携によるさらなる技術の高度化、域内ものづくり中堅・中小企業をパートナーとした技術開発力の 強化、地域発となる新規事業開拓 ②人材面：域内のものづくり人材育成・確保への協力 ③取引ネットワーク面：新たな取引ネットワークの開拓、研究開発・製造までの一貫最終製品メーカーとしてオープンな域内 ネットワークのハブ・牽引役 ■半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業にフォーカスした地域産業戦略・アクションプラン ① 地域産業戦略 1)連携推進戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野における情報共有と人的ネットワークの形成 中長期 ◆ ビジネスにつながる産学官連携ネットワークの強化 2）技術開発戦略 短期 ◆ 金属材料加工技術等にかかる技術開発力の高度化 ◆ 装置メーカーのニーズに対応した表面処理技術等の技術開発力強化 中長期 ◆ 装置メーカーの生産性、信頼性向上に資する提案型技術開発の推進 3)人材育成戦略 短期 ◆ ものづくり中堅・中小企業の高度なエンジニア等の人材育成 中長期 ◆ ものづくり中堅・中小企業のマネジメント系人材の招致・育成 4) 市場開拓戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連事業の安定化に向けた裾野市場の開拓・拡大 中長期 ◆ 域内外半導体等製造装置メーカー等の新規顧客開拓の強化 ② 戦略実現に向けたアクションプラン 1)企業 短期 ◆ 装置メーカー及びものづくり中堅・中小企業の情報共有と連携の深化 ◆ ものづくり中堅・中小企業の人材育成を兼ねた産学交流の推進 中長期 ◆ 地場企業と進出企業が融合した地域ネットワークづくり ◆ 新たな事業創造を目指した産学官技術開発プロジェクトの展開 2)大学・研究機関 短期 ◆ 大学等による高度な計測・検査装置や設備の整備・共用システムの強化 ◆ 金属材料加工技術等の技術開発の高度化支援 ◆ 半導体等製造装置関連分野のものづくり人材育成支援 中長期 ◆ 半導体等次世代プロセス技術にかかる最先端技術開発の場の提供 3)行政・支援機関 短期 ◆ 企業情報ガイドブック・マップの拡充・整備と戦略的活用によるプロモーション、コーディネート支援 ◆ 半導体等製造装置関連分野のイベント・ポータルへの出展支援や交流の場づくり ◆ 半導体等製造装置関連分野に関わる域内外の取り組みの連携強化 ◆ 半導体等製造装置関連分野に特化した技術開発プロジェクトの組成 ◆ 大学・研究機関の人材育成事業との連携強化と一体化 中長期 ◆ 半導体等製造装置関連分野を核とした "東北"のイメージ形成 ◆ 半導体等製造装置関連分野の研究開発機能及び装置メーカー自体の誘致 ◆ 投資家、エンジェルのような人材・企業の発掘によるコーディネート機能強化 ◆ 域内における港湾等の物流インフラの整備・利便性向上 ■半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業にフォーカスした地域産業戦略・アクションプラン ① 地域産業戦略 1)連携推進戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野における情報共有と人的ネットワークの形成 2)技術開発戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野の技術レベルに対応できる技術開発力の強化 3)人材育成戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野の技術、ものづくりのレベルに対応できる人材育成 ② 戦略実現に向けたアクションプラン 1)企業 短期 ◆ 装置メーカーとものづくり中堅・中小企業の接点の模索 2)大学・研究機関 短期 ◆ 大学、高専等の研究者・研究シーズのオープン化とコーディネート 3)行政・支援機関 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野における企業の成功事例の紹介、セミナー・研究会開催 ◆ 企業訪問等による特徴的技術の洗い出しなど草の根の情報交流の仕組みづくり 【地域戦略・アクションプランの推進体制（案）】 ・地域戦略･アクションプランを一体的かつ効率的に推進するために、産学官のプラットフォームとなる推進母体の設 立等による体制整備を提案。 ・技術開発機能、人材育成・招致機能、連携・市場開拓機能の3つの機能を有し、東北地域の半導体等製造 装置関連分野のクラスター形成を牽引する役割を担うものに。 ・まずは、産学官の中核的メンバーをもとに推進母体を小さく立ち上げ、メンバーを事後的に追加しながら、民間企 業出身のリーダーを核にした産業界主導のネットワークとして拡充。 産 技術開発機能 技術開発機能 地域関連企業情報、技術開発 の方向性検討、新テーマ開拓等 連携・市場開拓機能 連携・市場開拓機能 産学・企業連携、 PR・マーケティング活動強化等 官 人材育成・招致機能 人材育成・招致機能 域内の人材育成、 域外からの招致戦略強化等 学 本 編 I．調査の背景と目的 １．調査の背景 我が国の半導体産業は、熾烈な国際競争の中で半導体デバイスメーカーを中心に技術革 新や事業再編を加速させている。一方、半導体等の製造に目を向けると、デバイスメー カーがグローバルに立地展開する中で、半導体等製造装置を含めた製造プロセスの構築力 が競争のポイントの一つであり、地域産業戦略との連携も可能である。 東北地域の産業構造をみると、多くの電気機械産業が立地し、その部材の供給等をする ものづくり中堅・中小企業の集積も進んでおり、高度なサポーティングインダストリーの 拠点となっている。また、域内には多数の半導体デバイスメーカーに加え、半導体等製造 装置メーカーが立地しており、半導体産業のポテンシャルは高い。 今後、こうしたものづくり中堅・中小企業と半導体等製造装置企業を結集し、東北大学 に代表される世界最先端の半導体製造プロセスに関連する技術開発力を相乗的に活用する ことで、半導体等製造装置関連分野1で世界的に競争力を有する地域になる可能性が高い。 東北経済産業局では、「TOHOKU ものづくりコリドー」として産学官ネットワークと地 域活動を密接に連携させてイノベーティブな地域を目指す産業クラスター計画を推進して おり、半導体等製造装置関連分野もその一つとして位置づけられている。 ２．調査の目的 以上の背景をふまえ、本調査では、半導体等製造装置産業の競争力強化に必要な技術に 強みを有する地域のものづくり中堅・中小企業群を発掘し、技術分野毎に整理した上で、 企業情報ガイドブック・マップを作成することで、企業同士、さらには産学官を含めた顔 のみえるネットワークの形成につなげることを目的としている。なお、本調査は、製造装 置に焦点を当てており、半導体等の製造に使われる薬品・材料、装置の制御に必要なソフ トウエア等の分析及び検討は今後の課題とする。 また、これらの情報をふまえ、半導体等製造装置関連分野のクラスター形成に向けた地 域産業戦略とアクションプランを策定する。こうした戦略等を地域で共有することで、産 学連携・企業間連携、新事業創出を促進し、さらなるイノベーション、内発及び誘致によ る好循環構造の創出を図る。 1 半導体 等 製造装置関連分野とは、半導体製造装置、液晶、有機 EL 等のフラットパネルデ ィスプレイ（FPD）製造装置を指すものとする。半導体産業のみを対象としたものではなく、同 様の技術を活用できる FPD、さらに将来的には MEMS(Micro Electronics & Mechanics System) 等も含めたより広がりのある概念である。 1 ３．調査の実施体制 事務局 委員会 ※調査方針・内容の検討・審議 情報フィードバック 東北経済産業局 オブザーバー （地方自治体） 調査結果報 告、委員会・ WG支援 ワーキング グループ（WG） 株式会社 インテリジェント・コスモス 研究機構（ICR） 三菱UFJリサーチ＆ コンサルティング株式会社 ※調査の具体的方法や内容 の分析・検討及び調査協力 ■委員会 （敬称略・50音順） 氏 名 所属 役職 委員長 須川 成利 東北大学大学院工学研究科 教授 委 員 青木 敏雄 ハイメカ株式会社 代表取締役会長 委 員 井上 弘基 財団法人機械振興協会経済研究所 研究主幹 委 員 大見川 幹生 株式会社仙台ニコン 取締役社長 委 員 北山 博文 東京エレクトロン東北株式会社 代表取締役社長 委 員 菅原 雅史 インスペック株式会社 代表取締役社長 委 員 長谷川 正義 株式会社日本マイクロニクス 代表取締役副社長 委 員 柳田 公雄 福島県 産業技術顧問 委 員 頼金 雅春 社団法人日本半導体製造装置協会 技術・企画部長 ■WG 氏 名 所属 役職 ＷＧ長 柳田 公雄 福島県 産業技術顧問 メンバー 白井 泰雪 東北大学未来科学技術共同研究センター 助教授 メンバー 倉田 良明 独立行政法人産業技術総合研究所 東北センター 総括主幹 メンバー 千葉 昌彦 青森県工業総合研究センター 八戸地域技術研究所 FPD研究部長 メンバー 藤澤 充 地方独立行政法人岩手県工業技術センター 企画デザイン部 上席専門研究員 メンバー 中塚 朝夫 宮城県産業技術総合センター 材料開発・分析技術部長 メンバー 森 英季 秋田県産業技術総合研究センター 高度技術研究所 上席研究員 メンバー 小林 誠也 山形県工業技術センター 置賜試験場 開発研究専門員 メンバー 渡邉 正幸 福島県ハイテクプラザ 研究開発部長 メンバー 常松 政養 東京エレクトロンデバイス株式会社 社外取締役 2 II．半導体等デバイス及び半導体等製造装置産業の動向 ここでは、半導体等デバイス及び半導体等製造装置産業の競争環境と市場ポテンシャル についてまとめた。 １．半導体等デバイス産業の動向 (1) 競争環境 ①半導体メーカー 我が国の半導体メーカーは、欧米の大手半導体メーカーの Intel、Texas Instruments、 ST Microelectronics や半導体製造機能を持たないファブレスベンチャー等の事業の選択 と集中による復活に加え、韓国の Samsung や台湾のファウンドリ TSMC に代表されるアジ アメーカーのキャッチアップにより、競争力が低下している。欧米では、米 AMD の MPU 等 の低価格化攻勢による Intel との競争激化、さらには独 Infineon Technologies がメモリ 事業部門を分離して Qimonda を設立したほか、蘭 Philips 社が半導体事業部門の Philips Semiconductors を売却して NXP を設立しており、半導体事業の再編の動きを活発化して いる。また、アジアでも韓国の Hynix 等の勢いが増しており、我が国半導体メーカーを取 り巻く競争環境は急変している（図表 II‑1）。 こうした中、我が国半導体メーカーの多くは、自前工場やプロセス保有を志向し、膨大 な経営資源を要するため、一部製品を除いたロジック系 IC 等で厳しい経営状況にある。 また、技術と市場の両面から急速な複雑性の増大に直面する中で、世界的にみても関連企 業の再編やビジネスモデルの変革が活発になっている。 直近では、東芝、エルピーダ等のメーカーが、メモリ事業への選択と集中と設備投資の 継続によって復活を果たし、NAND フラッシュ、DRAM の市場シェアを向上させている。例 えば、東芝は、テクノロジードライバになった NAND フラッシュで 56nm、エルピーダは DRAM で 70nm のメモリの量産化を韓国 Samsung に先行して実施するなど攻めの姿勢に転じ ている。 しかし、これまで我が国の半導体メーカーは、システム LSI 事業の強化をしてきた企業 も多く、米調査会社アイサプライ社による 2006 年の世界半導体売上高ランキングでトッ プ 10 から NEC エレクトロニクスが姿を消し、ルネサス・テクノロジも売上を減少させる など企業間の競争力及び浮沈の格差が大きくなる傾向にある。 3 図表 II‑1 主な海外半導体メーカー 国・地域 米国 企業名等 Intel Texas Instruments AMD（Advanced Micro Devices） Freescale Semiconductor 韓国 Samsung Electronics Hynix Semiconductor 台湾 TSMC UMC 欧州 ST Microelectronics Infineon Technologies Qimonda ※Infineon Technologies メモリ部門分社化 NXP ※旧Philips Semiconductors 資料：各種資料より作成 ②フラットパネルディスプレイメーカー 我が国のフラットパネルディスプレイ（FPD）メーカーについてみると、主戦場となる 薄型テレビ市場で、シャープ等の液晶（LCD）メーカーが、Samsung、LG.Philips LCD 等 の韓国メーカーや Chi Mei Optoelectronics 、AU Optronics 等の台湾メーカーと激しい 競争を続けている。現在、LCD パネルメーカーの寡占化が進む中で、シャープは、三重県 の亀山を拠点に技術のブラックボックス化や継続的な設備投資によって競争力を維持強化 しようとしている。 一方、プラズマディスプレイパネル（PDP）メーカーは、松下電器産業、日立製作所、 LG 電子、Samsung など日韓メーカーの寡占化が進んでおり（中国メーカー等は撤退）、主 戦場の薄型テレビ市場で LCD との大型化競争を続けている。 その他、有機エレクトロルミネッセンス（有機 EL）は、パッシブ型とアクティブ型があ り、前者では東北パイオニア、後者では三洋電機・コダック等が事業化を推進しているが、 現段階では他の FPD との差別化が難しい状況にある。しかし、照明等のアプリケーション、 超薄型のシート型ディスプレイとして用途開発等を強化すれば、今後の市場拡大が見込ま れる。 4 (2) 市場ポテンシャル ここでは、以上の厳しい競争環境をふまえ、今後の半導体産業の市場ポテンシャルにつ いてまとめた。 ①半導体市場 米半導体工業会（SIA）によると、世界の半導体市場は、2006 年に対前年比 8.9％増 （2005 年は 2,275 億ドル）の 2,477 億ドルの過去最高を記録しており2、2008 年には 3,000 億ドルに達するとしている。世界半導体市場統計（WSTS）の予測でも、今後アジ ア・パシフィック地域が牽引役となり、2008 年には 3,003 億ドルまでの成長が見込まれ ている（図表 II‑2）。なお、製品別にみると、2006 年は DRAM が前年比 2％増の 338 億ド ル、フラッシュメモリは同 8.1％増の 201 億ドルと DRAM やフラッシュメモリ等のメモリ 関連製品の伸びが大きくなっている。一方、マイクロプロセッサは、製品群の中で唯一前 年比減となっており、対照的な状況にある。 半導体市場は、中国を中心にしたアジア・パシフィック地域、欧州・中東・アフリカ （EMEA）地域を含む海外市場の拡大によって一層の成長を遂げる可能性が高い。BRICs3の みならず、アフリカや中東等までを含む新興国まで含めると膨大な市場が見込まれる。 例えば、米調査会社 IC Insights 社によると、中国の半導体市場の 2000 年から 2005 年 の年平均成長率（CAGR）は 30％超で急成長をしており、今後も高成長を続け、2010 年に は 120 億ドル超に達するとしている4。米調査会社 Gartner 社によると 2005 年の半導体売 上の前年比伸び率は、アジア・パシフィック地域の半導体売上が最も高く、次いで EMEA 地域が続き、高成長を遂げたとしている5。 また、半導体市場は、多様なアプリケーション分野の裾野の広がりにより、市場が一層 拡大する可能性が高い。例えば、社団法人電子情報技術産業協会（JEITA）によると、半 導体市場は、デジタルセルラー（携帯電話）、パソコン等の成長市場の一層の拡大に加え、 自動車の走行系やボディ系等の車載市場、その他、幅広い電子製品群の裾野市場の広がり が見込まれている（図表 II‑3）。 さらに、携帯電話の通話機能のみの第一世代から多機能化された第三世代携帯電話への 移行、自動車のハイブリッドカーへの移行等により、高度化するデジタル家電や自動車産 業等への需要に対応し、半導体消費量が急増している。 2 SIA によると、2006 年の半導体市場は、対前年比+8.9％の 2,477 億ドル（2007 年 2 月）。 2006 年 11 月に発表した予測によると、2007 年は対前年比 9.4％増の 2,738 億ドル、2008 年は 同 10.8％増の 3,034 億ドル、2009 年は同 5.8％増の 3,210 億ドルの見通し。年平均でみると 9％程度の成長であり、従来の半導体産業の年平均 12％の成長からは市場環境が変化している。 3 BRICs は、急速な経済成長を遂げるブラジル（Brazil）、ロシア（Russia）、インド （India）、中国（China）の頭文字を合わせた 4 ヶ国の総称。 4 Reed Business Information Electronic News ,1/9/2006. 5 Gartner Press Releases, 4/13/2006. 5 図表 II‑2 世界の半導体の地域別市場規模予測 350.0 （十億ドル） （予測） アジア・パシフィック 日本 欧州 米国 300.0 300.3 267.9 246.8 250.0 227.5 213.0 204.4 200.0 166.4 150.0 140.7 139.0 100.0 50.0 0.0 00 01 02 資料：世界半導体市場統計（WSTS） 03 04 05 06 07 08 （年） 2006 年秋季半導体市場予測 図表 II‑3 世界の半導体市場のアプリケーション別市場規模予測 （百万ドル） 60,000 50,000 成長市場の 一層の拡大 40,000 04年（実績） 08年（予測） 30,000 20,000 車載市場の拡大 裾野の広がり 10,000 デ デ ジ タ ル セ ル ス ラ ー ク ト ノー ップ トブ PC ッ ク PC 走 行 系 ボ デ PC ィ サ 系 ー デ バー ジ タ ル LC TV Dモ ニ ＴＶ タ ゲ デ ー ム ジ タ ル ICカ ス ー チ ド ル ハ カ メラ ー ド デ 情 ィス 報 系 ク ドラ デ ジ イブ タ DV ル D レ ST B コ ー LA ダ Nス ー イ ッ ア ナ チ AV ログ レ TV エ シ ア イ コ ーバ ン ン ー ク 携 （家 ジ 帯 ェ 庭 ッ トプ 電話 用） 基 リ ン タ 地局 記 録 （複 型 合 デ DV 機 ジ ） D タ ル ドラ ビ イ デ ブ オ ハ カ メ イ ラ ブ レ リ ー ッ ザ ド 系 ー ビ DV ル ー DV ム D プ ータ D− プリ レ ー RO ンタ ヤ ー M ド （複 ラ レ イ 合機 ー ブ ザ （コ ） ー ン イ ビー ボ ン ） ク ムプ 電 ジ 源 リ ン 系 DV ェッ D− トプ タ（単 体 RO リン ） タ M （単 ド ラ 体 イ ブ ） （単 体 ） 0 資料：社団法人電子情報技術産業協会（JEITA）「世界の主要電子機器からみた半導体市場の中長期展望 2005」 6 ②フラットパネルディスプレイ市場 半導体に加え、液晶（LCD）、プラズマディスプレイパネル（PDP）、有機エレクトロル ミネッセンス（有機 EL）等のフラットパネルディスプレイ（FPD）市場も旺盛な薄型テレ ビ需要を背景に市場が拡大している。半導体市場に比べると市場は小さく、韓国、台湾 LCD メーカーの設備投資の減速感もあり、踊り場になる可能性はあるが、長期的な市場拡 大傾向に変わりはない。 例えば、米調査会社 Display Search 社によると、2006 年の FPD の世界出荷総額は、前 年比 14%増の 855 億ドルの見通しとしている（図表 II‑4）6。FPD の技術別にみるとアモ ルファスシリコン（α‑Si） TFT LCD が 2006 年第 3 四半期までの実績で 73.9%と大きな割 合を占めており、通年の出荷額も前年比 16％増の 637 億ドルになると予測している。PDP 等も着実に成長をしているが、低温ポリシリコン（LTPS）TFT LCD 等を含む TFT LCD が FPD 市場において主要製品であることがわかる。 図表 II‑4 FPD 世界市場の出荷額（2006 年第 3 四半期迄の実績及び通年見通し） 技術 2006年実績 （第1〜第3四半期） シェア (10億米ドル) a-Si TFT LCD 前年比 (10億米ドル) 46.0 73.9% 63.7 PDP 5.7 9.2% 7.7 28.0% LTPS TFT LCD 4.5 7.2% 6.1 13.0% PMLCD 4.5 7.2% 5.8 -2.0% その他 FPD合計 16.0% 1.6 2.6% 2.1 -16.0% 62.3 100.0% 85.5 14.0% 資料：Display Search プレスリリース 2007 年 1 月 16 日より作成 6 2006年 通年予測 1 インチ未満から 70 インチ超まで全ての用途を含む。 7 ２．半導体等製造装置産業の動向 (1) 競争環境 ①半導体製造装置メーカー 半導体製造装置産業では、各装置分野において日米のトップ装置メーカーが高シェアを 占め、寡占化が進んでいる。例えば、ウェーハプロセス用処理装置では、コータデベロッ パ、酸化膜エッチング装置、酸化・拡散炉等で東京エレクトロンが高いシェアを確保して いる一方、プラズマ CVD 装置、CMP 装置など最先端の多層配線に関連する製造装置群で米 Applied Materials（以下、AMAT）社、マスク・レチクル検査、ウェーハ検査装置等で米 KLA‑Tencor 社といった欧米メーカーが高いシェアを誇り、市場性が高い装置群について 戦略的に競争力を強化してきたと考えられる。また、露光・描画装置では、蘭 ASML 社に より、我が国装置メーカーのトップシェアが奪われている（図表 II‑5、図表 II‑6）。 最新の 2005 年の半導体製造装置メーカーの売上高ランキングについてみても、各装置 群で我が国の装置メーカーがランクインしているが、業界最大手の米 AMAT 社に加え、リ ソグラフィ分野で躍進を遂げた蘭 ASML 社、プロセス診断装置を中心にイールド・マネジ メント・ソリューションと称して検査・計測装置メーカーから歩留まりソリューションの 提供を掲げて存在感を高める米 KLA‑Tencor 社など欧米装置メーカーの勢いがさらに増し、 厳しい競争が続いている（図表 II‑7）。 なお、半導体製造装置産業は、半導体デバイスメーカーの再編や変革への動きに応じた 対応が求められるようになるため、新たな装置メーカーにとっては事業機会が広がる可能 性が見込まれる。 8 図表 II‑5 主な半導体製造装置の市場規模・シェア動向（2004 年） 世界市場（Ｍ＄） 2001 2004 2008 装置名 ステッパ＆スキャナ 2004年 装置メーカー別市場シェア（％） ASML 3,393 4,787 6,598 電子ビーム描画装置 ニコン 298 415 537 コータ＆デベロッパ 37 ＴＥＬ 1,403 1,446 1,773 ドライエッチング装置全体 75 ＴＥＬ 3,230 3,149 3,951 1,082 1,800 2,189 洗浄・乾燥装置 酸化・拡散炉 503 451 554 減圧ＣＶＤ装置 883 827 1,054 プラズマＣＶＤ装置 1,655 2,094 2,591 メタルＣＶＤ装置 709 697 891 1,503 1,772 2,214 スパッタリング装置 ＣＭＰ装置 1,145 1,487 1,951 マスク・レチクル検査装置 300 290 363 1,271 2,149 2,721 ウェーハ検査装置 ダイサ 205 273 380 266 464 642 ダイボンダ ワイヤボンダ 385 727 1,007 810 1,187 1,416 671 1,482 1,908 ロジックテスタ メモリテスタ ミクストシグナルテスタ 1,085 1,844 2,455 プローバ 358 709 875 ハンドラ 459 569 804 キヤノン 49 ニューフレア 36 大日本スクリーン 38 ＴＥＬ 55 ＴＥＬ 40 ＡＭＡＴ 69 ＡＭＡＴ 55 ＡＭＡＴ 79 ＡＭＡＴ 65 ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ 56 ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ 37 ディスコ 62 Ｕｎａｘｉｓ（ＥＳＥＣ） 31 Ｋ＆Ｓ 46 Ｔｅｒａｄｙｎｅ 33 アドバンテスト 64 Ｔｅｒａｄｙｎｅ 30 ＴＥＬ 46 アドバンテスト 53 29 Ultratech 21 日本電子 日立ハイテク 29 大日本スクリーン 14 Ｌａｍ 25 ＴＥＬ 13 日立国際電気 24 日立国際電気 23 Ｎｏｖｅｌｌｕｓ 22 Ｎｏｖｅｌｌｕｓ 25 アルバック 7 荏原製作所 21 レーザーテック 13 日立ハイテク 31 東京精密 28 ＮＥＣマシナリー 15 ＡＳＭ Ｐａｃｉｆｉｃ 23 Ａｇｉｌｅｎｔ 22 横河電機 19 アドバンテスト 25 東京精密 41 Ｄｅｌｔａ Ｄｅｓｉｇｎ 18 14 Ｓｅｍｅｓ Ｋｏｒｅａ 3 ＡＭＡＴ 24 ＳＥＺ 11 ＡＳＭＩ 8 ＡＭＡＴ 11 日本ＡＳＭ 6 ＴＥＬ 15 Ｎｏｖｅｌｌｕｓ 7 Ｎｏｖｅｌｌｕｓ 5 ＡＭＡＴ 11 ＦＥＩ 8 その他 10 ＡＳＭ Ｐａｃｉｆｉｃ 14 新川 15 横河電機 16 Ｃｒｅｄｅｎｃｅ 7 Ａｇｉｌｅｎｔ 18 Ｅｌｅｃｔｒｏｇｌａｓ 6 セイコーエプソン 7 1 ＡＭＡＴ Ｍｉｃｒｏｎｉｃ 13 7 SUSS FSI その他 2 1 日立ハイテク Ｕｎａｘｉｓ 5 その他 9 1 ＳＣＰ エス・イー・エス 4 その他 8 7 光洋サーモシステム 22 その他 4 8 Ａｖｉｚａ ＡＳＭＩ その他 10 9 Ｍａｔｔｓｏｎ Ｕｎａｘｉｓ 6 その他 1 0.4 アネルバ アルバック 3 その他 1 0.5 アネルバ Ｕｎａｘｉｓ 3 その他 4 2 Ｌａｍ Ｓｔｒａｓｂａｕｇｈ 1 その他 2 2 Ｌｅｉｃａ 5 その他 11 9 ＡＭＡＴ Ｒｕｄｏｌｐｈ その他 5 3 Ａｌｐｈａｓｅｍ 日立ハイテク その他 10 8 Ｕｎａｘｉｓ（ＥＳＥＣ） カイジョー 22 その他 6 6 ＬＴＸ Ｃｒｅｄｅｎｃｅ 4 その他 12 8 Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｒａｄｙｎｅ 10 その他 6 2 Ｃｒｅｄｅｎｃｅ ＬＴＸ 2 その他 10 7 SUSS Ｄ．Ｉ 10 その他 5 横河電機 16 1 Ｍｉｒａｅ 1 その他 4 3 14 注：TEL は東京エレクトロン、AMAT は Applied Materials の略。 資料：電子ジャーナル「半導体製造装置データブック」2005 年より作成 図表 II‑6 主な半導体製造装置の市場規模・シェア動向（1997 年） 装置名 世界市場（Ｍ＄） 1997年 ステッパ 1997年 装置メーカー別市場シェア（％） ニコン 2,948 電子ビーム描画装置 ASML 195 コータ＆デベロッパ ＴＥＬ 大日本スクリーン 洗浄・乾燥装置 1,380 酸化・拡散炉 604 減圧ＣＶＤ装置 962 プラズマＣＶＤ装置 1,055 メタルＣＶＤ装置 640 スパッタリング装置 1,591 ＣＭＰ装置 552 マスク・レチクル検査装置 192 ウェーハ検査装置 839 ダイサ 189 ダイボンダ 353 ワイヤボンダ 630 ロジックテスタ 1,196 メモリテスタ 1,763 ミクストシグナルテスタ 749 プローバ 516 ハンドラ 747 34 大日本スクリーン 21 ＴＥＬ 46 ＴＥＬ 43 ＡＭＡＴ 62 ＡＭＡＴ 51 ＡＭＡＴ 68 荏原製作所 25 ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ 66 ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ 91 ディスコ 68 ＥＳＥＣ 39 Ｋ＆Ｓ 45 Ｓｃｈｌｕｍｂｅｒｇｅｒ 31 アドバンテスト 61 Ｔｅｒａｄｙｎｅ 45 Ｅｌｅｃｔｒｏｇｌａｓ 32 アドバンテスト 48 SVGL ＳＶＧ 28 ＦＳＩ ＳＶＧ 国際電気 日本ＡＳＭ ＴＥＬ 8 ＩＰＥＣ ＳｐｅｅｄＦａｍ 13 Ｉｎｓｐｅｘ ＮＥＣ機械 14 ＥＳＥＣ 21 Ｔｅｒａｄｙｎｅ 11 アドバンテスト 18 Ｔｅｒａｄｙｎｅ 13 日立ＤＥＣＯ 17 ＬＴＸ 7 ＨＰ 17 東京精密 15 ＴＥＬ 32 Ｄｅｌｔａ Ｄｅｓｉｇｎ 31 Ｍｉｒａｅ 20 その他 11 日立東エレ 2 4 6 その他 1 1 岡本工作 0.5 Ａｌｐｈａｓｅｍ ＡＳＭ Ｐａｃｉｆｉｃ その他 14 6 10 カイジョー ＡＳＭ Ｐａｃｉｆｉｃ その他 10 7 6 Ｃｒｅｄｅｎｃｅ ＨＰ その他 10 9 19 その他 アジアエレクトロニク安藤電気 5 3 7 横河電機 Ｃｒｅｄｅｎｃｅ その他 8 6 9 Ｋａｒｌ Ｓｕｓｓ その他 3 2 テセック 日立ＤＥＣＯ その他 6 5 15 資料：電子ジャーナル「半導体製造装置データブック」1998 年より作成 9 6 8 セイコー精機 日立東エレ 新川 Ｓｔｒａｓｂａｕｇｈ ＯＳＩ 9 17 1 その他 6 16 2 Ｋ＆Ｓ 20 その他 4 アネルバ ＡＭＡＴ 3 Ｌｅｉｃａ 13 3 東京精密 Ｇｅｎｕｓ 6 21 レーザーテック 5 その他 1 5 Ｎｏｖｅｌｌｕｓ 6 23 日立ＤＥＣＯ Ｌａｍ 日本真空技術 3 その他 5 2 17 Ｖａｒｉａｎ ＡＭＡＴ Ｌａｍ Ｔｒｉｋｏｎ 34 その他 7 13 6 22 日本真空技術 その他 Ｓｅｍｉｔｏｏｌ ＡＭＡＴ 5 10 9 17 26 Ｎｏｖｅｌｌｕｓ ＴＥＬ ＡＳＭ 2 その他 2 10 16 17 Ｎｏｖｅｌｌｕｓ 住友金属 Ｓｅｍｉｔｏｏｌ ＳＶＧ その他 1 7 11 19 2 東京応化 8 日立製作所 スガイ 国際電気 3 24 14 3 東芝機械 9 ＴＥＬ Ｓｔｅａｇ 4 Ultratech 7 17 ＡＭＡＴ Ultratech 25 日本電子 26 63 Ｌａｍ 3,305 26 日立製作所 62 1,351 ドライエッチング装置全体 キヤノン 42 Ｅｔｅｃ 3 図表 II‑7 製造装置別の半導体製造装置メーカーの売上高ランキング（2005 年） ウェーハプロセス装置 Applied Materials Tokyo Electron Ltd. ASML Nikon Corporation Lam Research Corporation Novellus Systems.Inc Dainippon Screen Mfg.Co.Ltd Canon.Inc Varian Semiconductor Equipment Hitachi High-Technologies Corp. Total market size 検査用装置 2005 /2004 売上高(百万ドル) 成長率 2005 2004 4444.7 5768.1 -22.9% 3480.9 3714.0 -6.3% 2786.9 2712.4 2.7% 1345.9 1214.6 10.8% 1148.1 1129.0 1.7% 1134.1 1170.5 -3.1% 912.5 978.6 -6.8% 854.3 984.3 -13.2% 437.5 385.4 13.5% 427.9 448.1 4.5% 23396.8 25191.0 -7.1% プロセス診断装置 KLA-Tencor Hitachi High-Technologies Corp. Applied Materials FEI Company Aglient Technologies ,Inc ACCRETECH-Tokyo Seimitus Vistec Semiconductor Systems Gmbh Veeco Instruments,Inc ADE Corporation Nikon Corpotarion Total market size Advantest Corporation Teradyne, Inc. Yokogawa Electric Corporation Agilent Technologies,inc. Credence Systems Corp ACCRETECH-Tokyo Seimitsu Tokyo Electron Ltd. Delta Design LTX Corporation Electro Scientific Industries Total market size 2005 /2004 売上高(百万ドル) 成長率 2005 2004 1880.5 2115.1 -11.1% 657.5 963.0 -31.7% 450.6 552.3 -18.4% 383.9 437.5 -12.2% 323.4 356.8 -9.4% 310.9 335.1 -7.2% 285.2 319.9 -10.9% 164.2 119.2 37.7% 119.6 194.3 -38.5% 103.7 152.2 -31.9% 5640.3 6775.8 -16.8% 組立装置 売上高(百万ドル) 2005 /2004 成長率 2005 2004 1643.4 1573.0 4.5% 569.0 587.6 -3.2% 338.0 417.7 -19.1% 135.4 162.0 -16.4% 98.3 139.2 -29.4% 79.6 48.8 63.1% 79.3 73.5 8.0% 78.9 58.8 34.1% 70.4 80.7 -12.8% 66.8 63.9 4.5% 4035.3 4032.8 0.1% 注：網掛けは、日本企業。 資料：VLSI Research プレスリリース ASM International N.V. Kulicke & Soffa Ind. Inc. Shinkawa Ltd. BE Semiconductor Industries ACCRETECH-Tokyo Seimitsu Disco Corporation ESEC ICOS Vision Systems NV Renesas Eastern Japan Semicondctor,Inc. Towa Corporation Total market size 2006 年 4 月 3 日より作成 10 2005 /2004 売上高(百万ドル) 成長率 2005 2004 326.8 376.9 -13.3% 267.9 285.3 -6.1% 192.2 218.9 -12.2% 183.2 141.8 29.2% 157.0 153.0 2.6% 155.3 172.9 -10.2% 131.8 192.6 -31.6% 89.1 80.8 10.2% 87.7 53.2 64.9% 84.0 116.1 -27.6% 2776.7 3211.2 -13.5% ②フラットパネルディスプレイ製造装置メーカー 液晶製造装置メーカーは、前工程プロセスの類似性から、半導体製造装置メーカーと重 複する企業が多い。半導体製造装置に比べると我が国のメーカーが強く、ニコン、キヤノ ン、東京エレクトロン等の半導体製造装置メーカーが主要企業となっている。 また、LCD パネルのセル工程から検査工程までには、大崎エンジニアリング等のニッチ トップの中堅・中小企業を含めた製造装置メーカーが関わっており、寡占化が進む半導体 製造装置とは異なる状況にある（図表 II‑8）。 図表 II‑8 LCD 製造装置メーカーの企業例 アイランド工業 旭サナック アユミ工業 アルバック 飯沼ゲージ製作所 イーエッチシー 石川島播磨重工業 伊藤忠産機 岩崎機械工業 岩崎電気 岩谷産業 ウシオ電機 エイブル エーケーティー エスイー SEN-SHI・アクセリスカンパニー エス・イー・テクノ エスペック NTN エバテック エフアイティ 大崎エンジニアリング 大塚電子 オーク製作所 カイジョー ガソニックス 兼松 キヤノン キヤノンアネルバ キヤノンマーケティングジャパン 協真エンジニアリング クボテック クリーン・テクノロジー 光洋サーモシステム 佐藤真空 サムコ 芝浦メカトロニクス 島田理化工業 島津製作所 企業名 常陽工学 信越エンジニアリング 伸興 神港精機 スピードファム スピードファムクリーンシステム 住金物産 住友重機械工業 西華産業 精研 清和光学製作所 ソキアファインシステム ダイトエレクトロン 大日本スクリーン製造 タカトリ タカノ ダン科学 ダン・タクマ 中央精機 超音波工業 テクノス（東京都） テクノス（大阪府） デンコー 東京エレクトロン 東京応化工業 東京カソード研究所 東芝テリー 東朋テクノロジー 東洋機工 東陽テクニカ 東レエンジニアリング トプコン 中村留精密工業 ナカン ナプソン ニコン 日新イオン機器 日清エンジニアリング 日本アビオニクス 資料：電子ジャーナル「LCD 製造装置データブック」2007 年より作成 11 日本写真印刷 日本精工 日本製鋼所 日本マイクロニクス ニューロング精密工業 ハイパー・フォトン・システム パナソニック ファクトリーソリューションズ 日立国際電気 日立ハイテクノロジーズ 日立プラントテクノロジー ヒューグルエレクトロニクス 平田機工 ヒラノテクシード ブイ・テクノロジー プレテック HOYA CANDEO OPTRONICS 堀場製作所 本多電子 丸文 丸紅ソリューション ミクロ技研 三井造船 三星ダイヤモンド工業 ミナトエレクトロニクス 武蔵エンジニアリング ヤマト科学 淀川メデック ランテクニカルサービス レーザーテック レーザーフロントテクノロジーズ ワイエイシイ (2) 市場ポテンシャル ここでは、以上の厳しい競争環境をふまえ、今後の半導体等製造装置産業の市場ポテン シャルについてまとめた。 ①半導体製造装置 社団法人日本半導体製造装置協会（SEAJ）によると、世界の半導体製造装置の販売高は、 2000 年度の IT バブル時に 500 億ドルに迫ったが、2001 年度には IT バブルの崩壊により、 200 億ドルまで急減するなど激しく変動している。過去 10 年間でみるとおおむね 300 億 ドル前後で推移しており、2005 年度は 331 億ドルとなっている（図表 II‑9）7。 また、地域別の販売高についてみると、日本が 20％程度のシェアを占めるほか、北米、 台湾、韓国のシェアが高く、近年は中国も一定のシェアを確保している（図表 II‑10）。 さらに、装置別の販売高についてみると、露光装置等を含むウェーハプロセス用処理装 置の販売額が圧倒的に大きく、次いで検査用装置が続いている（図表 II‑11）。なお、半 導体・FPD 等製造装置・部材分野の国際的な業界団体である SEMI の今後の販売高の予測 によると、2009 年までに 443 億ドルに達するとされ、世界市場の拡大が見込まれている （図表 II‑12、図表 II‑13）。 図表 II‑9 世界の半導体製造装置の地域別販売高 （百万ドル） 60,000 48,787 50,000 40,000 37,262 33,136 30,665 29,289 30,000 25,782 24,858 19,265 20,000 20,993 21,096 01 02 その他 中国 台湾 韓国 欧州 北米 日本 10,000 0 96 97 98 99 00 03 04 05 （年度） ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会「半導体・液晶・有機 EL パネル製造装置販売統計 2005 年版」 7 2006 年（暦年）は 405 億ドル。 12 図表 II‑10 世界の半導体製造装置の地域別販売高（シェア） 100% 90% 80% 70% 60% 50% その他 中国 台湾 韓国 欧州 北米 日本 40% 30% 20% 10% 0% 96 97 98 99 00 01 02 03 04 05 （年度） ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会「半導体・液晶・有機 EL パネル製造装置販売統計 2005 年版」 図表 II‑11 世界の半導体製造装置の装置分類別販売高 60,000 （百万ドル） 半導体製造装置用関連装置 検査用装置 組立用装置 50,000 ウェーハプロセス用処理装置 マスク・レチクル＆ウェーハ製造 40,000 30,000 20,000 10,000 0 96 97 98 99 00 01 02 03 04 05 （年度） ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会「半導体・液晶・有機 EL パネル製造装置販売統計 2005 年版」 13 図表 II‑12 世界の半導体製造装置の地域別販売高予測 50.0 （十億ドル） 44.3 44.1 39.4 38.8 40.0 32.9 30.0 その他 中国 台湾 韓国 欧州 北米 日本 20.0 10.0 （年） 0.0 05 06 07 08 09 資料：SEMI 図表 II‑13 世界の半導体製造装置の装置分類別販売高予測 （十億ドル） 50.0 44.1 38.8 40.0 44.3 39.4 32.9 30.0 その他装置 テスト装置 20.0 組立・ﾊﾟｯｹｰｼﾞﾝ ｸﾞ装置 ｳｪｰﾊﾌﾟﾛｾｽ処 理装置 10.0 0.0 05 06 07 08 資料：SEMI 14 09 （年） 半導体製造装置の日本市場販売高についてみると、2000 年度の IT バブル期に１兆 円の大台を超えたが、2001 年度にはバブルの崩壊で半減した。その後、2003 年以降は 回復傾向にあり、2005 年度には 9,000 億円弱になっている（図表 II‑14）。また、日 本製の半導体製造装置の地域別販売高についてみると、国内と台湾、韓国、中国等の アジアが主な市場であり、2005 年には 1 兆 5,000 億円規模となっている（図表 II‑15）。なお、SEAJ の予測によると、2006 年度は、1 兆 8,355 億円と 2000 年の IT バブル期の実績を超えると予測されている。 図表 II‑14 半導体製造装置の日本市場販売高 （％） 80.0 （億円） 12,000 10,153 61.0 販売高 前年度比成長率 10,000 60.0 49.0 41.9 8,000 7,445 40.0 19.4 6,634 6,306 1.7 6,000 8,658 7,918 7,649 -2.7 20.0 9.3 0.0 5,338 4,452 -16.6 4,445 4,000 -20.0 -40.0 -40.3 -47.4 2,000 -60.0 0 96 97 98 99 00 01 02 03 -80.0 05 （年度） 04 ※無許可での転載を禁じます。 注：日本市場販売高とは、国内向け日系及び外資系企業製装置販売高 資料：社団法人日本半導体製造装置協会「半導体・液晶・有機 EL パネル製造装置販売統計 2005 年版」 図表 II‑15 日本製半導体製造装置の地域別販売高 （億円） 20,000 18,046 18,000 15,982 16,000 15,169 14,000 12,000 13,200 11,945 11,672 11,302 10,000 8,834 8,232 8,575 その他 中国 台湾 韓国 欧州 北米 日本 8,000 6,000 4,000 2,000 0 96 97 98 99 00 01 02 03 04 05 （年度） ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会「半導体・液晶・有機 EL パネル製造装置販売統計 2005 年版」 15 ②フラットパネルディスプレイ製造装置 LCD、有機 EL 等のフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置の日本市場販売高につ いてみると、2000 年度以降、1,000 億円前後で推移し、2005 年には 1,253 億円となって いる（図表 II‑16）。また、日本製製造装置の販売高についてみると、2005 年には 5,272 億円となっている（図表 II‑17）。なお、SEAJ の予測によると、2007 年度に台湾、韓国 等のアジアメーカーが設備投資の減額や先送りをしたため、4,349 億円程度まで減少する ものの、その後は回復が見込まれている。 図表 II‑16 液晶、有機 EL 製造装置の日本市場販売高 （％） 120.0 （億円） 1,400 1,309 101.1 1,200 販売高 前年度比成長率 1,260 1,253 100.0 1,127 1,010 1,000 80.0 1,042 60.0 53.3 833 800 735 40.0 29.4 652 21.4 600 503 -11.7 20.2 20.0 3.2 0.0 -3.7 -20.0 400 -33.9 -40.0 200 -55.3 -60.0 -80.0 05 （年度） 0 96 97 98 99 00 01 02 03 04 ※無許可での転載を禁じます。 注：日本市場販売高とは、国内向け日系及び外資系企業製装置販売高 資料：社団法人日本半導体製造装置協会「半導体・液晶・有機 EL パネル製造装置販売統計 2005 年版」 図表 II‑17 日本製液晶、有機 EL 製造装置の販売高 （％） （億円） 6,000 販売高 前年度比成長率 107.6 120.0 5,614 5,272 5,000 80.0 78.2 60.0 60.0 57.1 4,000 3,575 23.5 2,746 3,000 40.0 25.6 20.0 2,847 2,306 -6.1 -13.2 2,000 1,000 867 -16.0 1,541 1,387 100.0 0.0 -20.0 -40.0 742-46.5 -60.0 0 96 97 98 99 00 01 02 03 04 -80.0 05 （年度） ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会「半導体・液晶・有機 EL パネル製造装置販売統計 2005 年版」 16 III．半導体等製造装置関連技術の概要 １．半導体等製造装置の概要 半導体製造装置は、マスク・レチクル製造用装置、ウェーハ製造用装置、ウェーハプロ セス用処理装置、組立用装置、検査用装置、半導体製造装置用関連装置に分類される。マ スク・レチクル、ウェーハ等の部材製造から半導体製造の前工程、後工程までの工程で多 種多様な装置が活用されている（図表 III‑1）。 図表 III‑1 半導体製造装置分類表 分類 参考：装置・機器例 マスク・レチクル製造用装置 フォトリソ工程装置 薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置 検査評価装置・その他製造装置 ウェーハ製造用装置 単結晶製造装置 ウェハ加工装置 検査評価装置・その他製造装置 ウェーハプロセス用処理装置 露光・描画装置 レジスト処理装置 エッチング装置 洗浄・乾燥装置 熱処理装置 イオン注入装置 薄膜形成装置 CVD装置 スパッタリング装置 その他薄膜形成装置 検査評価装置 CMP装置 その他処理装置 組立用装置 ダイシング装置 電子ビーム描画装置、レーザ描画装置、パタンジェネレータ、コンタクトプリンタ、フォトリピータ、塗布装置、 レジスト剥離装置、現象・ベーキングディスカム装置 真空蒸着装置、スパッタリング装置、CVD装置、洗浄装置、エッチング装置、乾燥装置、スクラブ洗浄装置 欠陥検査装置、欠陥修正装置、マスク異物検査装置、外観検査装置 単結晶引き上げ装置 切断装置、ラッピング装置、ポリッシング装置、研削装置、ウェーハマーキング装置 ライフタイム測定器、結晶欠陥測定装置、加工検査装置、各種計測用装置 コンタクトプロキシミティ露光装置、投影露光装置（等倍、縮小）、電子ビーム露光装置 塗布装置、現像装置、レジスト剥離装置、ベーキング装置、レジスト安定化装置、ウェーハ周辺露光装置 ドライエッチング装置 ウェットエッチング装置、乾式洗浄装置、湿式洗浄装置、スクラブ洗浄装置、乾燥装置、高圧噴射洗浄装置 酸化装置、拡散装置、アニール装置 大電流イオン注入装置、中電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置 常圧CVD装置、SACVD、減圧CVD装置、プラズマCVD装置、MOCVD装置 スパッタリング装置 真空蒸着装置、シリコンエピタキシャル成長装置、化合物半導体エピタキシャル装置、めっき装置 外観検査装置、異物検査装置、ダストカウンタ、測長SEM、膜厚計、反射率測定機、オージェ電子分光装置、赤外分 光高度計、シート抵抗測定器、ライフタイム測定器、その他各種計測・分析用装置 CMP装置、CMP用洗浄装置 ウェーハマーキング装置、マーク読み取り装置、裏面研削盤、バンプめっき装置、バックグラインダ用テープ貼付 機、バックグラインダ、バックグラインダ用テープ剥離機 スクライピング装置、ダイシング装置、ウェーハマウンティング装置 ボンディング装置 ダイボンディング装置、ハイブリッドボンディング装置、ワイヤボンディング装置、インナリードボンディング装 置、アウターリードボンディング装置、フリップチップボンディング装置 パッケージング装置 モールド装置、バリ取り装置、封止用加熱炉、半田処理装置、半田ボールマウンティング装置、リード加工機、 マーキング装置 検査評価装置・その他組立装置 検査用装置 テスティング装置 ロジック・メモリテスティング装置 リニアテスティング装置 その他テスティング装置 メモリテスティング装置 プロービング装置 ハンドラ エージング装置 その他検査装置 半導体製造装置用関連装置 各種搬送装置 純水・薬液装置 各種ガス装置 クリーンルーム装置 その他製造関連装置 外観検査装置、密封度試験装置、ボンドプルテスタ、Ｘ線検査装置、リード外観検査装置、各種計測用機器 ロジックテストシステム、ASICベリフィケーション装置、メモリテストシステム リニアテストシステム、ミックスドシグナルテストシステム、アナログテストシステム トランジスタテストシステム、LEDテストシステム、イメージセンサテストシステム、電子ビームテスティング装 置、レーザビームテスティング装置、個別半導体テストシステム、ACパラメトリックテストシステム メモリテストシステム プローバ ハンドラ エージング装置、バーンイン装置、IC挿入装置、IC抜取装置 冷熱試験装置、温・湿試験装置、衝撃試験装置、プレッシャクッカ装置、リーク検査装置、レーザプロセッシング システム、振動試験装置、各種寿命試験装置、波形分析機、各種計測用機器 工程内ウェーハ搬送装置、工程間ウェーハ搬送装置、ストッカー 純水製造装置、限定ろ過装置、逆浸透装置、減菌装置、薬品供給装置、スラリー供給装置、薬品純化装置、廃液処 理装置 ガス発生装置、ガス純化装置、ガス混合装置、ガス検地装置、排ガス処理装置 クリーンベンチ、クリーントンネル、サーマルチャンバ、環境試験室、エアシャワー、パスボックス 各種制御装置、各種集中監視装置、各種治具洗浄・乾燥装置、流量制御用機器、各種テーピング装置、各種包装装 置、液体用・各種ガス用計測用機器及び各種分析用機器 ※無許可での転載を禁じます。 注：半導体設計用装置は除いた。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会 17 一方、液晶パネル製造装置は、マスク・レクチル製造用装置、基板製造用装置、 アレイ製造用装置、カラーフィルタ製造用装置、パネル製造用装置、検査用装置 等に分類される。マスク・レチクル、ガラス基板、カラーフィルタ等の部材製造 から液晶製造のアレイ形成、パネルの実装、検査までの工程で多種多様な装置が 活用されている。半導体製造装置に比べ標準化が進んでおらず、液晶メーカーや 関連メーカー独自の装置も多い。その他、近年注目されている有機 EL 用装置も あるが、液晶に比べると事業化の状況が限られているため、装置分類もまだ細分 化されていない（図表 III‑2）。 図表 III‑2 液晶・有機 EL パネル製造装置分類表 分類 マスク・レクチル製造用装置 描画装置 レジスト処理装置 薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 検査評価陽装置・その他 基板製造用装置 基板加工装置 基板成膜装置 洗浄・乾燥装置 熱処理装置 検査評価陽装置・その他 アレイ製造用装置 PVD装置 CVD装置 陽極酸化装置 露光装置 レジスト処理装置 エッチング装置 洗浄・乾燥装置 熱処理装置 ドーピング装置 検査評価陽装置・その他 カラーフィルタ製造用装置 露光装置 レジスト処理装置 薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 着色パターン形成装置 検査評価陽装置・その他 パネル製造用装置 配向膜形成装置 焼成・乾燥装置 ラビング装置 シール印刷装置 スペーサ散布装置 基板貼合わせ装置 液晶注入装置 洗浄・乾燥装置 セル分断装置 偏光板貼付け装置 検査評価陽装置・その他 検査用装置 電気試験装置 機能検査装置 エージング装置 検査用各種装置 プロービング装置 リペア装置・その他 液晶パネル製造装置用関連装置 各種搬送用装置 純水・薬液用装置 各種ガス用装置 クリーンルーム用装置 その他の装置 有機EL用装置 発光層成膜・封止装置 参考：装置・機器例 描画装置 塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置 スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、洗浄・乾燥装置 マスク・レクチル欠陥検査装置、欠陥修正装置、異物検査装置、その他 切断・面取り・研磨装置 コーティング装置、ITO成膜装置 洗浄装置、乾燥装置 熱処理装置 分光透過率測定器、色度測定器、膜厚測定器、外観表面検査装置、 異物検査装置、光学試験器、うねり・粗さ測定器、その他 スパッタリング装置、蒸着装置 プラズマCVD装置、減圧CVD装置、常圧CVD装置 陽極酸化装置 レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、コンタクト・プロキシミティ露光装置 塗布装置、現像装置、アッシング装置、ベーキング装置、剥離装置 ウェットエッチング装置、ドライエッチング装置 洗浄装置、乾燥装置 酸化装置、アニーリング装置、レーザアニーリング装置 イオン注入装置、イオンシャワー装置、イオンドーピング装置、プラズマドーピング装置、 レーザドーピング装置 各種分析器、膜圧測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、バスライン検査装置、その他 レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、コンタクトプロキシミティ露光装置 塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置 スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、洗浄・乾燥装置 印刷プロセス装置、電着プロセス装置、染色プロセス装置、顔料分散プロセス装置 各種分析器（分光・解像・平坦特性等）、膜厚寸法測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、その他 ディップ塗布装置、スクリーン印刷装置、凹版印刷装置 クリーンオーブン、コンベアオーブン ラビング装置 スクリーン印刷装置 スペーサ散布装置 基板貼合わせ装置 真空注入装置、液晶滴下装置、封止装置 洗浄装置、乾燥装置 スクライブブレーク装置 偏光板・光反射板貼付け装置 配向性検査装置、透過光強度試験装置、パネル欠陥修正装置、バーンイン装置、その他 点灯表示部欠陥検査装置 透過光強度試験装置、視覚特性試験器、カラー表示品位評価装置 エージング装置 冷熱試験装置、温・湿試験装置、衝撃試験装置、各種寿命試験装置、振動試験装置 プローバ レーザリペア装置、トリミング装置、その他 基板搬送装置、積載装置、ローダ・アンローダ、搬送制御システム 純水製造装置、濾過装置、逆浸透装置、滅菌装置、薬液供給装置、廃液処理装置、 薬液制御システム、安全システム ガス供給装置、ガス純化・混合装置、検知装置、排ガス処理装置、ガス制御システム、安全システム クリーンベンチ、クリーンドラフト、サーモチャンバ、環境試験室 各種制御装置、各種集中監視装置、各種治具洗浄・乾燥装置、各種包装装置、 液体・ガス用各種測定器及び分析機器、流量制御機器、その他 蒸着装置、インクジェット装置、印刷装置、封止装置 ※無許可での転載を禁じます。 注：液晶パネル設計用装置は除いた。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会 18 ２．半導体等製造装置の製造に必要な技術 ここでは、平成 18 年 11 月に実施した「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」 （以下、「装置メーカーへの調査」）、「ものづくり中堅・中小企業へのガイドブック調 査」（以下、「ものづくり中堅・中小企業への調査」）をもとに半導体等製造装置の製造 に必要な技術をまとめた。 「装置メーカーへの調査」では、半導体等製造装置の製造に必要な技術として各装置 メーカーから以下の回答があった（図表 III‑3）。 図表 III‑3 半導体等製造装置の製造に必要な技術 ○露光・描画装置 投影光学系製造技術 大型ミラーの製造技術 高精度Stage技術 大型高精度Stage技術 ナノオーダの位置再現性を要するステージの位置決め、制御技術 精密な電子光学鏡筒の切削、超平滑な表面加工 電子光学鏡筒設計・製造技術 高速・高精度DAC、アンプ設計・製造技術 ○熱処理装置 温度制御技術 クリーン化技術 発塵制御（0.1μｍ以下）、金属汚染制御、有機汚染制御 高速搬送技術 信頼性技術 搬送・開閉機構、Wafer搬送などのロボット技術。複雑な運用を 実現するための装置制御技術、および安全性を確保するための設計技術。これ らの機器を収納し雰囲気制御できる筐体設計・製造技術。 ○CVD装置 プロセス制御技術（化学反応、真空、温度制御、クリーン化技術、レシピフィード バック）無塵化・汚染レス技術、パーティクル制御技術・ドライ洗浄技術 MFC等ガス流量制御技術 プロセス技術：Waferへの原料・反応エネルギーを均一に供給し、Wafer全表面に 均質・均一に成膜する技術。原料供給・エネルギー供給（過渡・安定時）・圧力 制御技術 クリーン化技術 信頼性技術 ○洗浄装置 Siウェハ上の異物（サブミクロン）除去技術 熱技術全般、液体の流れの技術 最先端ナノテクノロジー洗浄技術 下地etcヘのダメージレス洗浄技術 温度制御を中心としたソフトウエアによる各種制御技術 ○エッチング装置 短納期受注生産対応のCAD/CAM/NC加工技術 プラズマ技術 ターボポンプ等の高真空形成技術 Advanced Process Control 技術 ○スパッタリング装置 成膜速度、膜のカバレッジ、膜質の安定技術 プロセスモニター、高精度制御技術 ○CMP装置 テーブル／ヘッドの回転制御 研磨終点検出技術 19 ○検査用装置、検査評価装置 画像処理技術 画像認識アルゴリズム ノイジーな画像信号を高画質化する画像処理技術 安定した高真空を得るための材料加工技術 精密な電子光学鏡筒の切削、超平滑な表面加工 ステージ等の微小パーティクルを抑える生産技術 精密搬送システム 位置決め制御技術 FEB 電子顕微鏡技術 ○パッケージ装置 品種切替の自動化、時間短縮技術 金属及びプラスチック材の微細加工技術 ハンダボール検査技術 多様化、薄型化するパーケージの成形技術 3DCAD/CAM/NCによる短納期生産技術 ○ボンディング装置 異種金属の接合技術、超音波、レーザー応用技術 画像処理の高精度化 画像処理を用いた高速、高精度位置決め技術 ソフトウェア技術（装置制御） ○ウェーハ製造用装置 荷重コントロール技術 ローター／ケーシング加工 定盤面形状成型技術 砥粒加工による成型技術 超高速回転技術／同制御技術 ○半導体製造装置用関連装置（搬送/純水/薬液/ガス/クリーンルーム装置） クリーン環境でのロボット技術 高精度位置決めのロボット技術 ガス流量計測、制御技術 液体材料気化、混合技術 微粒子可視化技術 機器分析、計測技術 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」 20 しかし、調査結果には、装置（ユニット等）の開発と製造に必要な技術が含ま れているため、「ものづくり中堅・中小企業への調査」の結果をもとに、主な半 導体等製造装置の製造に必要な技術を精査した（図表 III‑4）。各装置において、 切削・砥粒加工技術、板金・プレス加工、接合、表面処理技術等の金属材料加工 技術やファインセラミックス、新材料技術等が装置製造に必要な技術として挙げ られている。新材料に対するニーズは非常に高く、加工技術との組み合わせによ る課題解決型の技術が求められる。 図表 III‑4 主な半導体等製造装置の製造に必要な技術 装置分類 装置の製造に必要な技術 切削・砥粒加工技術 金属材料加工技術 その他技術 表面処理 工作機械製造技術 ファインセラミックス CAD／CAM／NC加工技術 特殊加工技術 エッチング装置 切削・砥粒加工技術 非鉄金属材料 熱処理装置 切削・砥粒加工技術 接合技術 プラスチック加工技術 二次加工技術 板金加工技術 生産機械製造技術 スパッタリング装置 切削・砥粒加工技術 板金加工技術 プロービング装置 切削・砥粒加工技術 プレス加工技術 新材料 半導体製造装置用関連装置 切削・砥粒加工技術 （搬送/純水/薬液/ガス/クリーンルーム装置） 産業機械製造技術 素材製造技術 特殊加工機械製造技術 液晶パネル製造装置 基板製造用装置 切削・砥粒加工技術 カラーフィルタ製造用装置 産業機械製造技術 パネル製造用装置 特殊加工技術 自動組立技術 素材製造技術 無機材料加工技術 二次加工技術 露光・描画装置 資料：東北経済産業局「ものづくり中堅・中小企業の企業情報ガイドブック調査」 21 ３．半導体等製造装置メーカーの技術ニーズ 近年、半導体等デバイスの技術開発は物理限界に近づいており、設計及び製造プロセス が大きく変化しようとしている。このため、今後の技術開発の方向性が見えにくく、デバ イスメーカー各社も将来の技術を模索している状況であり、半導体等製造装置の技術ニー ズについても不透明感が増している。 以下では、「装置メーカーへの調査」の結果をもとに、経済産業省「技術戦略マップ 2006」、社団法人日本半導体製造装置協会（SEAJ）「2005 年度半導体製造装置技術ロー ドマップ報告書」、株式会社半導体理工学研究センター（STARC）「STARC ロードマップ 2006」をふまえ、装置開発及び製造に必要とされる技術ニーズについてまとめた。各社の 回答結果には、装置（ユニット等）の開発と装置の製造に必要な技術やニーズが含まれて いるため、前者を「装置開発の技術ニーズ」、後者を「装置製造の技術ニーズ」として整 理分析をしている。 ＜参考文献＞ ・経済産業省（2006）「技術戦略マップ 2006」 ・社団法人日本半導体製造装置協会（2006）「2005 年度半導体製造装置技術ロードマッ プ報告書」 ・株式会社半導体理工学研究センター（2006）「STARC ロードマップ 2006」 22 以下では、「装置メーカーへの調査」の回答結果から技術ニーズが示され、今後の技術 トレンドからも一層重要度が増すと考えられるウェーハプロセス（リソグラフィ、成膜 等）、計測・検査という主要装置分類に焦点を当て、SEAJ（2006）や STARC（2006）等の 技術ロードマップから関連する技術課題やロードマップの分析結果を併記し、技術ニーズ 分析としてまとめた。 (1) ウェーハプロセス用処理装置（リソグラフィ） ①ニーズ調査結果 露光・描画装置については、光リソグラフィに加え、EB リソグラフィ（主としてマス ク EB）に関する直近及び中長期的な技術ニーズが示された（図表 III‑5）。 まず、装置開発の技術ニーズとして、直近では、ステージの高精度化、超高速・高精度 DAC、アンプ設計・製造技術、ナノオーダーの位置決め技術・制御技術、中長期的には、 次世代光リソグラフィの EUV 露光装置用の真空技術（温度制御）やデブリ除去、EB リソ グラフィの描画データの高速転送技術、微細パターン描画技術等が示された。次世代のリ ソグラフィを見据えた技術ニーズが強いことがわかる。 また、装置製造の技術ニーズとして、直近では、コンタミレス表面処理技術、超精密切 削加工・組立技術、超平滑な表面加工技術が示された。露光・描画装置のステージ等の表 面処理、加工技術には、１ミクロンレベルの表面加工精度が求められており、装置メー カーからの強いニーズとして示されたとみられる。 図表 III‑5 ウェーハプロセス用処理装置（リソグラフィ）の技術ニーズ ① 技術分類 具体的な内容 ② 技術分類 具体的な内容 装置分類 時期 露光・描画装置： 光リソグラフィ 直近 表面処理 コンタミレス表面処理技術 超精密技術 Stageの高精度化 中長期 真空技術 EUV露光装置用の真空技 洗浄技術 術（温度制御） EUVにおけるデブリ除去 直近 回路製造技術 超高速・高精度DAC、アン 超精密技術 プ設計・製造技術 超精密加工・組立技術 露光・描画装置： EBリソグラフィ その他技術（電気・電子材 電源ケーブルの簡素化技 その他技術（デザイン・設計 外乱電磁波からの隔離技 料技術） 術 技術） 術 中長期 切削・砥粒加工技術 精密な電子光学鏡筒の切 位置決め・制御技術 削、超平滑な表面加工 ナノオーダの位置再現性を 要するステージの位置決 め、制御技術 通信処理技術 描画データの高速転送技 微細技術 術 微細パターン描画技術 切削・砥粒加工技術 精密な電子光学鏡筒の切 その他技術（化学・薬品技 サブナノオーダの高分解能 削、より超平滑な表面加 術） をもつレジスト膜 工 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」 23 ②技術ロードマップ分析結果 SEAJ(2006)では、次世代の光リソグラフィの EUV、EB リソグラフィの PEL、EPL、ML2 な ど各リソグラフィ方式の可能性や技術課題が整理され、技術ロードマップが示されている （図表 III‑6）。 なお、光リソグラフィにおいて、EUV への移行が技術的に実現可能であっても、投資負 担が非常に大きくなることが課題であり、液浸露光・描画装置にかかる改良的な技術開発 ニーズが依然として強い状況にある。 図表 III‑6 各リソグラフィ方式の可能性・課題 デバイス量産出荷の年 DRAM 1/2pich(nm) Flash 1/2pitch(nm) MPU gate (nm) ITRS '05 2006 70 65 48 2007 65 57 42 2008 57 51 38 2009 50 45 34 2010 45 40 30 2011 40 36 27 2012 36 32 24 2013 32 28 21 0.85 0.35 0.90 0.33 0.90 0.30 1.07 0.32 1.07 0.28 1.30 0.30 1.30 0.27 1.50 0.28 1.50 0.25 0.25 1.06 0.25 0.93 0.25 0.83 115W 0.25 0.74 0.25 0.67 0.25 0.59 >115W 193nm 193nm液浸 157nm液浸 EUV PEL EPL ML2 各方式の 量産適用可能性 クリティカル レイヤ 結像系 193nm Dry&Wet 2005 80 76 54 NA k1値（DRAM 1/2pitch） マスク 高屈折媒体 高屈折ガラス EUV NA k1値（DRAM 1/2pitch） 高効率光源（集光点出力） 波面、ミラー計測技術 熱制御、コンタミ制御 高感度レジスト 無欠陥・平坦マスク PEL 電子光学系（EO） 真空ステージ技術 高スループット搬送 マスク EPL 電子光学系（EO） ステージ/EO協調制御 真空ステージ技術 マスク ML2 電子光学系（EO） 電子銃 アナログ技術 デジタル制御技術 アラインメント技術 データハンドリング 真空ステージ技術 マルチビームキャリブレーション技術 結像系 30W 具体的なソリューション ：解決策あり 45nm 32nm 45nm 32nm ：解決法究明中 ：既知の解決法無し ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会（2006）「2005 年度半導体製造装置技術ロードマップ報告書」 24 (2) ウェーハプロセス用処理装置（成膜等） ①ニーズ調査結果 ウェーハプロセス用処理装置（成膜等）については、CVD 装置、エッチング装置、熱処 理装置、スパッタリング装置等に関する直近及び中長期的な技術ニーズが示された（図表 III‑7）。 まず、熱処理装置にかかる装置開発の技術ニーズとして、直近及び中長期的に、高速昇 降温技術等へのニーズが高く、短時間高温アニール技術（msec〜sec、400〜1200℃）、高 出力レーザーアニール技術等が具体的に示され、浅い接合など微細化対応へのニーズが高 いことうかがえる。その他、中長期的に、結晶化・平坦化（原子レベル）技術も必要とさ れる。 CVD 装置にかかる装置開発の技術ニーズとして、直近では、薄膜形成技術、新材料プロ セス技術等のプロセス技術に加え、ドライクリーニング技術、ウェハ大口径化、フレキシ ブル対応等が示された。 エッチング装置にかかる装置開発の技術ニーズとして、直近では、化学・物理反応、新 素材無発塵、低ケミカル反応の高絶縁材、中長期的には、半導体 450mm ウェーハに対応し た自動搬送技術やプラズマ形成技術が示された。 図表 III‑7 ウェーハプロセス用処理装置（成膜等）の技術ニーズ 装置分類 熱処理装置 CVD装置 エッチング装置 スパッタリング装置 時期 ① 技術分類 ② 技術分類 具体的な内容 高温技術 低温技術 具体的な内容 均一温度による高速昇降 温技術 直近 無人搬送技術 高速搬送技術 中長期 熱処理技術 高出力レーザーによる安定な 焼成技術 アニール技術 結晶化、平坦化（原子レ ベル）技術 低温技術 低温温度制御、高速昇降 温技術 高温技術 短時間高温アニール技術 （msec〜sec、400〜 1200℃） 薄膜・半導体技術 薄膜形成技術 産業機械製造技術 ウエハ大口径化、フレキシ ブル化対応 プロセス制御技術 新材料プロセス技術 洗浄技術 ドライクリーニング技術 直近 反応プロセス技術 ケミカル反応、物理反応の相 新素材 互作用見極め 無発塵、低ケミカル反応の 高絶縁材 中長期 無人搬送技術 将来の450mmウェーハに対 応した自動搬送技術 大口径(450mm)、超微細 化に対応できるプラズマ形 成技術 直近 ファインセラミックス 高温劣化なし、発塵なしの 静電チャック 直近 その他の技術 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」 25 ②技術ロードマップ分析結果8 熱処理装置については、技術課題と短時間アニール手法の解決策として熱源及び光パ ルスによる加熱等が示されている（図表 III‑8）。STARC（2006）においても、高速 RTA （Rapid Thermal Anneal）として、スパイクアニール、フラッシュアニール、最表層 レーザーアニール等が技術ロードマップに明示されている（図表 III‑9）。特に、半導 体デバイスの微細化や高集積化に向けた「浅い接合」、すなわち USJ（Ultra Shallow Junction）が重視されており、超低エネルギーイオン注入、クラスター注入、プラズマ ドーピング、イオンドーピング等のドーピング技術も含めた関連技術、活性化技術とし て、短時間加熱、高周波、レーザー技術等が必要となる。 図表 III‑8 各種熱処理方法の時間と温度の関係 温度（℃） レーザー（CW） 液相 1500 熱アニール 1000 レーザー（パルス） 赤外線アニール 500 フラッシュランプ 固相 10-9 10-6 10-3 10-0 103 時間 （sec） ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会（2006）「2005 年度半導体製造装置技術ロードマップ報告書」 図表 III‑9 接合技術・浅い接合・コンタクトにかかる技術ロードマップ 年代 DRAM 1/2 Pitch (nm)(contacted) MPU/ASIC Metal I 1/2 Pitch (nm) MPU Physical Gate Length (nm) 2007 08 09 65nm 68nm 25nm 接合深さ（nm） （Drain extention)： 7.5 (Bulk) B103 接合技術・浅い接合・コンタクト 10 45nm 45nm 18nm 11 12 13 32nm 32nm 13nm 14 6.5 (Bulk) 4.4 (FDSOI) 6.2 (FDSOI) 8.4 (DG) 15 16 22nm 22nm 9nm 17 5.5 (DG) ドーピング技術：超低エネルギーイオン注入、クラスター注入、プラズマドーピング、レーザードーピング 活性化技術：短時間加熱（sec〜msecオーダ）、高周波加熱、レーザー活性化、in-situドープ選択成長 コンタクト形成技術：新規技術の提案、プロセスの実証（低コンタクト抵抗率、高信頼性） 高アスペクト比コンタクト孔形成、高選択比のSAC、バリアメタル、低温・高アスペクト埋め込みPMD シリコン、金属（W、Mo）、シリサイド等の選択CVD（エレベーテッド・ソース・ドレイン構造） 資料：株式会社半導体理工学研究センター（2006）「STARC ロードマップ 2006」 8 洗浄・乾燥装置については、ドライクリーニング技術、超臨界等洗浄等の新規技術開発の課題 がある。なお、CVD 装置について、SEAJ（2006）では ITRS の引用が多く、各社の競争領域でも あるため、追加分析はしていない。 26 また、ゲート用及び絶縁膜エッチング装置の課題と解決策候補についてみると、プラズ マ源に加え、チャンバ内の異物や反応生成物のケミカル、物理反応に関わる課題にかかる チャンバ内部品の耐食性、温度制御、表面処理等の解決策へのニーズが高いことがわかる （図表 III‑10、図表 III‑11）。 図表 III‑10 ゲート用エッチング装置の課題と解決策候補 First Year of IC Production DRAM 1/2 Pitch 2005 2006 2007 80nm 70nm 65nm 2008 57nm 2009 2010 50nm 45nm 2011 40nm 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 35nm 32nm 28nm 25nm 22nm 20nm 18nm 16nm 14nm 1.プラズマ源 プロセスウィンドウの拡大 プラズマ分布の制御 低電子温度・中密度プラズマ EGR.ICP (改良を含む) (High-k ゲート絶縁膜対応) (メタルゲート対応) 2.エッチング室 均一なガス供給、排気 反応生物分布の均一化 チャンバ雰囲気の安定化 異物発生源の削除 ウェーハ対向ガス供給の適正化、軸対象排気 高速排気システムとチャンバ容積の適正化、電極温度分布制御 終点検出制御されたロット間、in-situプラズマクリーニング チャンバ内部品の耐食性、表面処理 異物発生の少ないガスケミストリーの選択 チャンバ内部品の温度制御、表面処理 反応生成物の付着、剥がれの防止 ダミーウェーハレスのin-situプラズマクリーニングの適正化 チャンバ内部品の交換易化（短時間） 3.排気系 排気速度の増大 排気ポンプの大容量化、排気コンダクタンスの改善 広範囲な圧力制御 4.装置構成 装置腐食、異物成長の防止 アッシング装置と真空連結 ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会（2006）「2005 年度半導体製造装置技術ロードマップ報告書」 図表 III‑11 絶縁膜エッチング装置の課題と解決策候補 First Year of IC Production DRAM 1/2 Pitch 1.プラズマ源 低電子温度・低〜中密度プラズマ 2.エッチング室 均一なガス供給 排気 金属汚染の防止 2005 2006 2007 65nm 2008 2009 2010 45nm 2011 2012 2013 2014 32nm 2015 2016 2017 22nm 2018 2019 16nm CCP.UHF-ECRの異なる改良 ガス供給の適正化 軸対象排気 チャンバ内部品の耐食性、表面処理 チャンバ内部品の温度制御、表面処理 反応生成物の付着、剥がれの防止 ダミーウェーハレスのin-situプラズマクリーニングの適正化 チャンバ内部品の交換易化（短時間） 3.ウエハ冷却 ESCステージ材質 セラミック 新素材 Material 冷却構造体 新冷媒 4.排気系 排気速度の増大 排気ポンプの大容量化、排気コンダクタンスの改善 ※無許可での転載を禁じます。 資料：社団法人日本半導体製造装置協会（2006）「2005 年度半導体製造装置技術ロードマップ報告書」 27 (3) 計測、検査装置 ①ニーズ調査結果 計測、検査関連装置についてみると、検査評価装置に関する直近及び中長期的な技術 ニーズが示された（図表 III‑12）。 まず、装置開発の技術ニーズとして、直近では、真空内の制御技術やステージの高速移 動・振動抑制技術、画像処理技術、大型化に対応した自動搬送技術、超微細化対応の計 測・検査技術が示された。また、装置製造の技術ニーズとしては、精密切削技術、超平滑 表面加工技術が示された。 また、検査関連装置として、エージング装置、プロービング装置に関する直近及び中長 期的な技術ニーズが示された（図表 III‑13）。 まず、エージング、プロービング装置開発にかかる技術ニーズとして、直近では、熱膨 張率の低く、多層配線可能な回路基板技術、高速・高密度で熱に強いプローブカードの実 現技術、特にエージング装置については、中長期的に、バーンインで行われている信頼性 維持と等価で熱を加えない信頼性保証技術が示された。 図表 III‑12 装置分類 検査評価装置 ① 技術分類 時期 直近 中長期 検査評価装置の技術ニーズ ② 技術分類 具体的な内容 具体的な内容 機械部品設計技術 真空内での放電対策 その他技術（デザイン・設計 ステージの高速移動・振動 技術） 抑制技術 切削・砥粒加工技術 精密な電子光学鏡筒の切 削、超平滑な表面加工 画像処理技術 ノイジーな画像信号を高画 質化する画像処理技術 製品企画設計技術 高分解能観察装置(TEM・ AFM)の半導体ライン対応 ソフトウェア技術 半導体自動化工場にフレ キシブルに対応するソフトウ エア開発技術 無人搬送技術 450mmウェーハに対応した自 その他技術（極限技術） 動搬送技術 超微細化に対応できる計 測・検査技術 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」 図表 III‑13 装置分類 エージング装置 プロービング装置 ① 技術分類 時期 検査装置の技術ニーズ ② 技術分類 具体的な内容 直近 新素材 熱膨張率の低い多量の配 線が可能な基板技術 中長期 その他の技術 バーンインで行われている信 頼性維持と等価で、熱を加 えない信頼性保証方法 直近 新素材 熱膨張率の低い多量の配 線が可能な基板技術 その他技術（FAメカトロ技 高速、高密度で熱に強い 術） プローブ・カード技術 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」 28 具体的な内容 その他技術（FAメカトロ技 高速、高密度で熱に強い 術） プローブ・カード技術 ②技術ロードマップ等分析結果 計測装置では、SEM、TEM、AFM 等の検査装置技術のインライン化、欠陥計測のニーズが 高くなっている。 STARC（2006）の計測・モニター技術についてみると、測長精度は、2007 年に 1.6nm、 2010 年に 1.1nm、2013 年には 0.8nm とサブナノオーダーとなり、2016 年には 0.5nm まで の精度が求められる。また、最小欠陥寸法も、2007 年に 25nm、2010 年に 18nm、2016 年 には 9nm と 10nm 以下の高い精度が求められる（図表 III‑14、図表 III‑15）。 図表 III‑14 計測・モニター技術にかかる技術ロードマップ 年代 DRAM 1/2 Pitch (nm)(contacted) MPU/ASIC Metal I 1/2 Pitch (nm) MPU Physical Gate Length (nm) 2007 65nm 68nm 25nm 08 09 10 45nm 45nm 18nm 11 12 13 32nm 32nm 13nm 14 15 16 22nm 22nm 9nm 17 測長精度 （測長SEM） 1.6nm 1.1nm 0.8nm 0.5nm 18nm 13nm 9nm 最小欠陥寸法 （欠陥モニター） 25nm 計測・モニター技術 膜厚モニター：膜厚測定精度0.025nm 微小領域の計測：組成、結合状態、機械的強度、電子構造 3次元形状計測（リセス、粗さ）：精度0.1nm、角度計測精度 0.5° ウェハー内部微小欠陥の3次元分布計測技術 In-situモニタ技術、On-Waferモニタリング 資料：株式会社半導体理工学研究センター（2006）「STARC ロードマップ 2006」 図表 III‑15 プロセス分析・評価技術にかかる技術ロードマップ 年代 DRAM 1/2 Pitch (nm)(contacted) MPU/ASIC Metal I 1/2 Pitch (nm) MPU Physical Gate Length (nm) 2007 65nm 68nm 25nm 08 09 10 45nm 45nm 18nm 11 12 13 32nm 32nm 13nm 14 15 金属汚染の高感度評価技術：IE8/㎝2以下、金属・有機・イオン汚染の2次元・3次元高感度分布評価技術 0.1μm以下のドーパントプロファイル評価技術、キャリア分布評価技術、2次元・3次元分布測定技術 10nm以下のドーパントプロファイル評価技術、キャリア分布評価技術、2次元・3次元分布測定技術、ナノSIMS技術 プロセス分析・評価技術 定量化技術（ベンチマーキング法） 膜応力、密着力等 微細孔観察技術（トップ、ボトム） 0.0325μm開孔 0.0225μm開孔 0.016μm開孔 温度計測（in-situ）： 3msec以内 ＜3℃ 1msec以内 ＜2℃ 資料：株式会社半導体理工学研究センター（2006）「STARC ロードマップ 2006」 29 16 22nm 22nm 9nm 17 (4) 液晶製造装置関連 ①ニーズ調査結果 液晶製造装置については、装置開発の技術ニーズとして、大型ガラス基板の搬送技術 （ロボット技術、ロボット制御システム）等の搬送トータル制御システム、高精度位置決 め技術、装置製造の技術ニーズとして、CAD/CAM/NC 加工技術が示された。液晶のガラス 基板の大型化とそれに伴う装置の大型化に対応するニーズが高くなっている。 ②技術ロードマップ等分析結果 液晶製造装置は、生産性向上に向け、ガラス基板サイズの大型化が進んでいる（図表 III‑16）。現在、第 8 世代の大型ガラス基板における均一性やスループット等の技術的課 題が解決され、生産ラインが稼働している。技術的には、基板寸法 3000mm×3000mm 級の 第 10 世代までの対応も可能とされるが、第 8 世代以降の大型化に対応するには材料、加 工技術、装置輸送コスト等の増加が大きな課題となる。 図表 III‑16 TFT 液晶生産ラインの世代とガラス基板サイズ 稼働開始 1991年 1994年 1996年 2000年 2002年 2004年 2005年 2006年 第1世代 第2世代 第3世代 第4世代 第5世代 第6世代 第7世代 第8世代 基板サイズ 300mm×350mm〜320mm×400mm 360mm×465mm〜410mm×520mm 550mm×650mm〜650mm×830mm 680mm×880mmおよび730mm×920mm 1000mm×1200mm〜1100mm×1300mm 1300mm×1500mmおよび1500mm×1850mm 1870mm×2200mmおよび1950mm×2250mm 2100mm×2400mm〜 Siウエハ面積、TFT液晶マザーガラス基板面積［c㎡］ 100000 Gen.-7 1900年代は、3年で1.8倍の拡 大スピードだったが、2000年代 に入って2年で1.8倍のスピード に加速。 Gen.-6 Gen.-5 10000 Gen.-4 Gen.-3 Gen.-2 Gen.-1 1000 シリコンウエハ面積の拡大速 度は、3年で1.3倍 φ300 φ200 φ6″ φ5″ φ4″ 100 φ3″ φ2″ 10 1965 1970 1975 1980 1985 1990 1995 2000 2005 ライン稼働年 資料：社団法人電子情報技術産業協会（JEITA）「FPD ガイドブック」等をもとに作成 30 2010 (5) その他：パッケージ技術 IC パッケージの方法は多種多様であり、各パッケージに適合した装置開発の技術 ニーズがある（図表 III‑17、図表 III‑18）。特に、小型化を実現する CSP、多ピン化 に対応したフリップチップ BGA、パッケージでシステムを実現するシステム・イン・パ ッケージ（SiP）等のパッケージ技術の開発が加速している。また、SoC のコストや性 能面での限界を超えるために、LSI チップを多層積層する 3 次元実装技術も含めたソリ ューションも注目されている。 図表 III‑17 主な IC パッケージの種類 材料 プラスチック 実装法 挿入実装型 表面実装型 形状・リード方向 １方向リード ２方向リード 標準 小型 フラット（Ｌ端子） ２方向リード ４方向リード チップキャリア（Ｊ端子） ２方向リード ４方向リード マトリックス（格子状端子） セラミック または サーディップ その他 挿入実装型 表面実装型 特殊 Ｎ端子（ノンリード） ２方向リード マトリックス（ピン端子） フラット 標準 ４方向リード モジュール（ソケットタイプ） タイプ名 SIP ZIP DIP スキニーDIP シュリンクDIP SOP SSOP TSOP QFP TQFP/LQFP SOJ QFJ (PLCC) BGA/FBGA CSP LGA/QFN DIP PGA QFP TCP (TAB) COB COT SIMM DIMM 資料：社団法人電子情報技術産業協会（JEITA）「IC ガイドブック」 図表 III‑18 半導体パッケージの開発動向 資料：社団法人電子情報技術産業協会（JEITA）「2005 年度版 6月 31 日本実装技術ロードマップ」、2005 年 ４．域内の半導体等製造装置メーカーの技術ニーズ 以下では、域内の半導体等製造装置メーカーの直近及び中長期的な技術ニーズを示す。 装置製造の技術ニーズとして、機械、板金、溶接、研磨、塗装・メッキ・洗浄、CAD／ CAM／NC 加工等の加工技術や断熱材、潤滑材等の材料などものづくりに関連した技術が示 されている。一方で、装置開発の技術ニーズとして装置制御等に関わるソフトウエア等に 関するニーズも高く、装置メーカーがソフトウエア技術を重視していることもわかる（図 表 III‑19）。 図表 III‑19 企業名 直近 中長期 域内半導体等製造装置メーカーの直近及び中長期的な技術ニーズ 直近及び中長期的な技術ニーズ ・加工技術：機械・板金・溶接・研磨・塗装・メッキ・洗浄などについ て、最新技術を認知した上での高品質・低 Cost 化の追求材料技術 ・シール材料・低発塵の断熱材・ﾘｱｸﾀｰ構成材料（耐蝕、耐 Plasma、耐熱、清浄度）・潤滑材 ・CAD／CAM／NC 加工技術 ・高周波技術 ・バックグラインド装置に使用する、高効率、高精度な砥石での加工 技術。 ・VB による装置制御 ・検査結果の精密な分類ソフト、統計的分析ソフト ・新規採用部品・ユニットの性能評価技術 ・超純水対応ポンプ開発 ・センシング技術：温度・圧力・流量・装置状況（画像）・音・振動・ Gas 濃度など検知による装置モニターおよび自己修復。 ・450mmWafer 対応技術：大口径化に伴う搬送・各種制御技術 ・ナノオーダーの撮像（センシング）技術 ・高精度温度制御技術 ・低振動・低脈動・低発熱ポンプの開発 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」 32 IV．東北地域半導体等製造装置メーカーの現状とポテンシャル １．域内の半導体等製造装置メーカーの状況 東北６県の半導体製造装置製造業9の動向についてみると、1994 年から 2004 年にかけて、 事業所数は 15 事業所から 115 事業所、従業者数は 1,542 人から 5,819 人、製造品出荷額 等は 262 億円から 2,188 億円へと増加している（図表 IV‑1、図表 IV‑2、図表 IV‑3）。 図表 IV‑1 東北６県の半導体製造装置製造業の事業所数の動向 140 （事業所数） 115 120 100 81 80 60 40 20 15 0 94 99 04 （年） 注：従業者数４人以上 資料：経済産業省「工業統計表」 9 ここでは、半導体等製造装置産業の代表として、日本標準産業分類細分類 2667「半導体製造 装置製造業」を採用。同分類には、製造装置メーカーに加え、装置製造の部材加工等に関わる 企業も入っているが、その動向を捉えるという観点から主たる分析対象とした。 33 図表 IV‑2 東北６県の半導体製造装置製造業の従業者数の動向 7,000 （人） 5,819 6,000 5,000 3,799 4,000 3,000 2,000 1,542 1,000 0 94 99 04 （年） 注：従業者数４人以上 資料：経済産業省「工業統計表」 図表 IV‑3 東北６県の半導体製造装置製造業の製造品出荷額等の動向 2,500 （億円） 2,188 2,000 1,500 1,000 633 500 262 0 94 99 資注：従業者数４人以上 料：経済産業省「工業統計表」 34 04 （年） また、域内の半導体等製造装置産業の現状とポテンシャルを把握するため、製造装置関 連製造業の中から、半導体製造装置製造業、真空装置・真空機器製造業、電気計測器製造 業の 3 つを取り上げ、従業者一人当たり製造品出荷額等及び従業者一人当たり付加価値額 の指標について、全国及び関東、九州の各地域と比較を行った。 2004 年の従業者一人当たり製造品出荷額等及び従業者一人当たり付加価値額をみると、 東北地域は、半導体素子製造業及び集積回路製造業では、全国及び関東、九州の各地域に 比べ低いが、半導体製造装置製造業、真空装置・真空機器製造業及び電気計測器製造業で は、高い数値を示しているものもみられる（図表 IV‑4）。 半導体製造装置製造業の従業者一人当たりの付加価値額の推移をみると、東北地域は、 1999 年では全国及び関東、九州の各地域に比べ低かったが、2004 年では九州地域に比べ 高く、全国や関東地域とも同レベルとなっている。さらに、東北 6 県別にみると、2004 年の青森県や宮城県の従業者一人当たりの付加価値額が 1999 年に比べ大幅に増加してい ることがわかる（図表 IV‑5、図表 IV‑6）。 図表 IV‑4 半導体等製造装置製造業の概況（2004 年） 事業所数 付加価値額 従業者一人当 生産額 従業者一人当 （従業員29人以 従業者数 製造品出荷額等 （従業員29人以 たり製造品出 下は粗付加価値 たり付加価値額 下は出荷額） 荷額等 額） （人） （万円） （万円） （万円） （万円） （万円） 1,230 半導体製造装置製造業 全国 1,334 59,372 241,726,415 248,758,612 73,043,392 4,071 関東 689 31,459 133,255,732 136,926,176 38,383,440 4,236 1,220 東北 115 5,819 21,880,286 23,048,769 7,306,642 3,760 1,256 九州 157 8,129 29,980,311 30,701,416 7,636,419 3,688 939 全国 231 5,596 15,772,676 15,932,513 5,878,288 2,819 1,050 関東 134 2,839 8,233,935 8,302,994 3,327,973 2,900 1,172 東北 22 713 2,604,114 2,610,500 584,882 3,652 820 九州 10 558 1,128,117 1,119,497 364,361 2,022 653 全国 595 24,059 56,113,152 54,809,841 21,850,231 2,332 908 関東 416 15,999 41,611,021 40,126,463 15,290,824 2,601 956 東北 31 1,949 4,485,837 4,542,245 2,022,498 2,302 1,038 九州 28 1,907 3,741,877 3,826,477 1,665,619 1,962 873 全国 177 48,015 177,829,094 178,622,880 62,068,748 3,704 1,293 関東 59 15,381 59,595,892 60,213,608 18,911,876 3,875 1,230 東北 31 6,093 14,625,644 14,621,794 4,739,080 2,400 778 九州 27 6,333 14,329,930 14,419,822 5,409,599 2,263 854 全国 208 103,835 607,510,516 610,046,584 263,075,316 5,851 2,534 関東 59 33,539 221,178,286 221,859,343 85,817,838 6,595 2,559 東北 40 16,615 63,618,767 64,133,787 24,906,388 3,829 1,499 九州 60 26,934 130,868,558 133,158,372 56,070,428 4,859 2,082 真空装置・真空機器製造業 電気計測器製造業 ＜参考＞ 半導体素子製造業 集積回路製造業 注：従業者数４人以上 資料：経済産業省「平成 16 年工業統計表」 35 図表 IV‑5 半導体製造装置製造業の従業者一人当たりの付加価値額の地域間比較 （2004 年） （万円） 1,400 1,230 1,256 1,220 99年 04年 1,200 1,105 1,000 995 950 800 939 734 600 400 200 0 全国 関東 東北 九州 注：従業者数４人以上 資料：経済産業省「平成 16 年工業統計表」 図表 IV‑6 東北６県別の半導体製造装置製造業の概況 付加価値額 従業者一人当 従業者一人当 生産額 （従業員29人以 事業所数 従業者数 製造品出荷額等 （従業員29人以 たり製造品出 たり付加価値 下は粗付加価 下は出荷額） 荷額等 額 値額） （人） （万円） （万円） （万円） （万円） （万円） 2004年 東北６県 計 115 5,819 21,880,286 23,048,769 7,306,642 3,760 1,256 青森県 5 493 2,352,758 2,901,294 670,839 4,772 1,361 岩手県 26 1,658 5,909,129 6,206,204 1,458,326 3,564 880 宮城県 11 701 6,384,276 6,614,246 3,093,336 9,107 4,413 秋田県 23 1,378 4,747,599 4,788,890 913,996 3,445 663 山形県 39 1,435 2,264,193 2,305,520 1,047,102 1,578 730 福島県 11 154 222,331 232,615 123,043 1,444 799 東北６県 計 81 3,799 6,333,085 6,363,467 2,788,121 1,667 734 青森県 7 521 741,742 734,264 345,181 1,424 663 岩手県 19 1,250 2,434,490 2,526,880 1,109,635 1,948 888 宮城県 9 353 637,010 610,760 288,130 1,805 816 秋田県 8 286 409,027 413,815 198,415 1,430 694 山形県 32 1,280 1,862,089 1,827,231 771,315 1,455 603 福島県 6 109 248,727 250,517 75,445 2,282 692 1999年 注：従業者数４人以上 資料：経済産業省「平成 16 年工業統計表」 36 ２．域内の半導体等製造装置メーカーの特徴と課題 (1) 域内の半導体等製造装置メーカーの特徴 ◆世界市場シェアが高く、特徴的な技術・装置を持つ装置メーカーの拠点 域内には、東京エレクトロン東北、アルバック東北、日本マイクロニクス等、世界市場 シェアが高く特徴的な技術・装置を持った装置メーカーの拠点がある。 東京エレクトロン東北は、バッチ式縦型熱処理・酸化膜形成装置、バッチ式縦型成膜 （CVD）装置を主力製品としており、熱処理・酸化膜形成装置では世界市場トップシェア を誇る。 また、アルバック東北は、液晶アレイ（TFT）製造装置、液晶カラーフィルタ用インラ インスパッタリング装置等を手がけ、ガラス基板の大型化に対応した液晶用製造装置群の 製造で強みを持っている。現在、青森拠点の生産力の拡充に向け、工場の新設を急いでい る。 日本マイクロニクス青森工場は、プローブカード、青森松崎工場は、液晶アレイ検査装 置、セル点灯検査装置を主力製品としており、プローブカードは、従来型カンチレバー型 から最先端 MEMS 型プローブカードまでを手がけている。現在、青森工場の隣に新工場を 建設中であり、市場シェアを拡大している。 ◆装置メーカーによる次世代半導体・FPD 製造装置の研究開発拠点化 東京エレクトロンは、仙台泉地区に次世代の半導体・FPD 製造装置の研究開発拠点を設 け、2007 年に事業を開始予定であり、RLSA (Radial Line Slot Antenna) 10というプラズ マ関連技術、有機 EL パネル製造装置の開発を目指す。東京エレクトロン AT 宮城事業所、 関西テクノロジーセンター（RLSA の研究拠点）等から人的リソースを結集し、東北大学 との産学連携を強化しながら拠点化を図ろうとしている。 ◆地場装置メーカーによる半導体等後工程、検査装置関連分野での事業展開 地場装置メーカー 11 についてみると、エムテックスマツムラが半導体パッケージング オートモールド装置を、ハイメカ、東北精機工業がハンドラ等を開発・製造しており、自 社で培った技術を活かしながら、半導体後工程製造装置分野で事業を展開している。 また、検査装置分野では、インスペックが半導体検査装置から事業を始め、現在は、液 10 RLSA (Radial Line Slot Antenna)は、円偏波状の均一なマイクロ波の発生技術。マイクロ 波励起高密度プラズマに活用でき、コンタミ、ダメージレスの半導体プロセス技術として有用。 東北大学未来科学技術共同研究センター「マイクロ波励起高密度プラズマ技術を用いた省エネ 型半導体製造装置の技術開発」による産学連携プロジェクトで研究開発が実施されている。 11 地場装置メーカーとは、域内資本で半導体等製造装置関連分野に関わっている企業とする。 37 晶関連検査装置を手がけている。地域発の装置関連ベンチャー企業として既に上場してお り、今後もさらなる事業拡大が見込まれる。 図表 IV‑7 域内の半導体製造装置製造業の所在地と主要事業（一覧表）12 企業・事業所名 住所 アルバック東北株式会社 株式会社日本マイクロニクス 青森工場 青森県八戸市北インター工業団地6-1-16 青森県南津軽郡平賀町大字町居字南田571-2 株式会社日本マイクロニクス 青森松崎工場 東京エレクトロン東北株式会社 東京エレクトロン AT 株式会社 株式会社仙台ニコン 株式会社アドバンテスト研究所 青森県平川市松崎西田41-1 岩手県奥州市江刺区岩谷堂字松長根52 宮城県宮城郡松島町根廻字猫迫1-1 宮城県名取市田高字原277 宮城県仙台市青葉区上愛子松原48-2 株式会社日立国際電気エンジニアリング 技研テクノロジー株式会社 株式会社キャッツ電子設計 インスペック株式会社 エムテックスマツムラ株式会社 秋田県潟上市天王字鶴沼台43-224 秋田県由利本荘市石脇字山ノ神11-904 秋田県鹿角市十和田毛馬内字上陣場48-2 秋田県仙北市角館町雲然荒屋敷79-1 山形県天童市北久野本1-7-43 山形クリエイティブ株式会社 ナノニクス株式会社 シンクロン株式会社 鶴岡工場 東北精機工業株式会社 ハイメカ株式会社 山形県天童市大字山口字大仏 1655 山形県米沢市万世町桑山1467-22 山形県鶴岡市宝田1-19-71 山形県山形市立谷川3-1246 山形県米沢市窪田町窪田2534-6 アルス電子株式会社 福島県本宮市本宮字名郷７ 企業・事業所名 主要半導体等製造装置 アルバック東北株式会社 株式会社日本マイクロニクス 青森工場 株式会社日本マイクロニクス 青森松崎工場 東京エレクトロン東北株式会社 液晶アレイ（TFT）製造装置、液晶カラーフィルタ用インラインスパッタリング装置 プローブカード 液晶アレイ検査装置、セル点灯検査装置 バッチ式縦型熱処理・酸化膜形成装置、バッチ式縦型成膜（CVD）装置 東京エレクトロン AT 株式会社 株式会社仙台ニコン 株式会社アドバンテスト研究所 株式会社日立国際電気エンジニアリング 技研テクノロジー株式会社 プラズマエッチング装置 液晶用露光装置、チャンバ（温調機） 電子計測器・半導体試験装置の研究開発 抵抗測定機等 イオン注入装置、高圧アニール装置、急速アニール装置 株式会社キャッツ電子設計 インスペック株式会社 エムテックスマツムラ株式会社 山形クリエイティブ株式会社 半導体試験装置 TABテープ検査装置、液晶TFTアレイ検査装置、BGA・リードフレーム検査装置 半導体パッケージングオートモールド装置 汎用型透過電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡 ナノニクス株式会社 シンクロン株式会社 鶴岡工場 東北精機工業株式会社 ハイメカ株式会社 アルス電子株式会社 ナノインプリント装置 光学真空薄膜形成装置 ICハンドラ デイズクリート及びCSP用ハンドラ 半導体検査装置（ウエハテスト事業） 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」、ヒアリング調査より作成 12 ニコングループの露光装置開発製造のビジネスプロセスの中で、仙台ニコンは、ステージと 温調機、蔵王ニコンは、搬送系の事業を展開。 38 図表 IV‑8 域内の半導体等製造装置メーカーの企業マップ13 弘前地域 八戸地域 ・アルバック東北（株）＜液晶アレイ（TFT）製造 ・（株）日本マイクロニクス 青森工場＜プロー ブカード＞、青森松崎工場＜液晶アレイ検 査装置、セル点灯検査装置等＞ 装置、液晶カラーフィルタ用インラインスパッタリ ング装置＞ 本荘・由利地域 等 ・ （株）日立国際電気エンジニアリング＜抵抗測定 機等＞ ・技研テクノロジー（株）＜イオン注入装置、高圧ア ニール装置、急速アニール装置＞ ・インスペック（株）＜TABテープ検査装置、液晶 TFTアレイ検査装置、BGA・リードフレーム検査装 置＞ ・ （株）キャッツ電子設計＜半導体検査装置＞ 北上川流域地域 ・東京エレクトロン東北（株）＜バッチ式縦型熱 処理・酸化膜形成装置、バッチ式縦型成膜 （CVD）装置＞ 山形・米沢地域 ・エムテックスマツムラ（株）＜半導体パッケージングオート モールド装置＞ ・ハイメカ（株）＜デイズクリート及びCSP用ハンドラ＞ ・山形クリエイティブ（株）＜汎用型透過電子顕微鏡、走 査型電子顕微鏡＞ ・ナノニクス（株）＜ナノインプリント装置＞ ・シンクロン（株）鶴岡工場＜光学真空薄膜形成装置＞ ・東北精機工業（株）＜ICハンドラ＞ 広域仙台地域 ・東京エレクトロンＡＴ（株）宮城事業所＜プラズマ エッチング装置＞ ・（株）仙台ニコン＜液晶用露光装置、チャンバ（温 調機）＞ ・（株）アドバンテスト研究所＜電子計測器・半導 体試験装置の研究開発＞ 広域郡山地域 ・アルス電子（株）＜半導体検査装置（ウエハテスト 事業）＞ 資料：東北経済産業局「半導体等製造装置の技術ニーズに関する調査」、ヒアリング調査より作成 13 マップ上の「本荘・由利地域等」は、「広域秋田地域」の方が適切である。ただし、今回は、 東北地域クラスター形成戦略における地域として「本荘・由利地域 等」とした。 39 (2) 域内の半導体等製造装置メーカーの課題 ◆域内のものづくり中堅・中小企業の企業情報や技術ポテンシャルの把握に課題 装置メーカーは、域内外の協力会社との取引ネットワークがあるが、取引関係はある程 度固まっており、域内のものづくり中堅・中小企業の企業情報や技術のポテンシャルを十 分に把握しきれていない。 ◆半導体等製造装置の生産性向上にむけた技術開発、人材育成・確保が課題 半導体等製造装置の生産性は、一層の改善余地があると考えられ、設計・製造工程の見 直しや新たな技術開発、生産性向上や技術開発等に関して提案力を持った人材の育成・確 保が課題である。 ◆物流コストの増加や情報インフラ未整備による非効率性が課題 地域全体をみると、大型の装置等を中心にした物流コストの増加や光ファイバー等の情 報インフラの未整備による業務の非効率性等も課題である。 40 V．東北地域のものづくり中堅・中小企業の現状とポテンシャル １．域内の関連産業の状況 (1) 東北地域の製造業の状況と特徴 東北地域の製造業の事業所数は 2004 年時点で 19,322 ヵ所、従業者数は 65 万 2,746 人、 製造品出荷額等は 17 兆 169 億円である。事業所数・従業者数は、過去 10 年、一貫して減 少している。 一方、製造品出荷額等は、1994 年から 1997 年にかけて増加、その後やや減少し、2000 年には 1997 年と同程度の水準まで回復したが、再び減少に転じ、2002 年には過去 10 年 で最低となったものの、その後増加傾向となっており、2004 年には 1995 年を超える水準 にまで回復している（図表 V‑1）。 図表 V‑1 東北地域の製造業事業所数・従業者数・製造品出荷額等の推移（1995 年=100） 120 110 100 90 80 70 事業所数 従業者数 製造品出荷額等 60 94 95 96 97 98 99 注：従業者 4 人以上 資料：経済産業省「工業統計表」 41 00 01 02 03 04 （年） 2000 年について、全国と比較すると、東北地域は大きく伸びている。これは、当時の 旺盛な IT 関連需要に東北の電気機械製造業が応えたためと考えられる。その後、IT バブ ルの崩壊でいったん落ち込むものの、全国に比べると水準は高く保たれている。東北地域 の製造業は、半導体、携帯電話等の電気機械関連の堅調な需要に後押しされ、全国に比べ、 高い伸びを示している（図表 V‑2）。 図表 V‑2 東北地域と全国の製造品出荷額等の推移の比較（1995 年＝100） 120 110 100 90 東北 全国 80 94 95 96 97 98 99 注：従業者 4 人以上 資料：経済産業省「工業統計表」 42 00 01 02 03 04 （年） (2) 東北地域の製造業の業種別構成と特徴 ①製造業の業種別構成と特徴 2004 年の東北地域の製造品出荷額等の業種別構成を、2002 年の日本標準産業分類改訂 前の産業分類でみると、電気機械器具製造業14が 32.5％を占めている。1985 年以降の活発 な企業誘致により、電気機械器具製造業は、東北地域のリーディング産業としての地位を 確立している。 2002 年の日本標準産業分類改訂をふまえ、製造品出荷額等の業種別構成比をみると、 電子部品・デバイス製造業が 14.1％、情報通信機械器具製造業が 12.0％、電気機械器具 製造業（新）が 6.4％となっており、電気機械の中でも、半導体デバイスや、プリント回 路、抵抗器、コネクタ・スイッチといった電子部品を製造する電子部品・デバイス製造業 及び携帯電話や PC、テレビ等を製造する情報通信機械器具製造業が主要業種であること がうかがえる（図表 V‑3）。 対全国比特化係数でみても、電子部品・デバイス製造業は 2.14、情報通信機械器具製 造業は 2.66 と群を抜いている（図表 V‑4）。 図表 V‑3 東北地域の製造品出荷額等の業種別構成（2004 年） 電子部品・デバイス製造業 一般機械器具製造業 飲料・たばこ・飼料製造業 その他 0.0 10.0 14.1 20.0 12.0 30.0 10.8 情報通信機械器具製造業 輸送用機械器具製造業 化学工業 40.0 7.3 50.0 6.6 60.0 6.4 食料品製造業 電気機械器具製造業（新） 金属製品製造業 70.0 5.9 5.4 3.9 80.0 90.0 （％） 100.0 27.6 注：従業者 4 人以上 資料：経済産業省「工業統計表」 14 2002 年の日本標準産業分類改訂により、電気機械器具製造業は、「情報通信機械器具製造 業」、「電子部品・デバイス製造業」、「電気機械器具製造業」の３つに分割された。本報告 書では、改訂後に新設された「電気機械器具製造業」を「電気機械器具製造業（新）」として 表記する。 43 図表 V‑4 東北地域の製造業主要業種の製造品出荷額等と全国比特化係数（2004 年） 産業分類 産業分類 製造業計 電子部品・デバイス製造業 情報通信機械器具製造業 食料品製造業 一般機械器具製造業 輸送用機械器具製造業 電気機械器具製造業（新） 飲料・たばこ・飼料製造業 化学工業 金属製品製造業 窯業・土石製品製造業 パルプ・紙・紙加工品製造業 鉄鋼業 プラスチック製品製造業（別掲を除く） 非鉄金属製造業 精密機械器具製造業 石油製品・石炭製品製造業 木材・木製品製造業（家具を除く） 印刷・同関連業 衣服・その他の繊維製品製造業 ゴム製品製造業 製造品出荷額等(百万円) 全国比特化係数 17,016,941 1.00 2,391,408 2.14 2,044,845 2.66 1,841,157 1.35 1,247,240 0.72 1,122,011 0.37 1,093,704 1.00 1,003,619 1.58 912,499 0.63 659,504 0.82 586,074 1.32 570,837 1.32 433,987 0.51 430,318 0.68 427,813 1.15 363,328 1.53 358,552 0.57 314,763 2.03 290,864 0.69 268,231 1.99 210,689 1.18 注： 従業者 4 人以上。 特化係数とは、地域における当該事業の製造品出荷額等の割合／全国における当該事業の製造品 出荷額等の割合。１を超えると地域が当該産業に特化した産業構造になっていることを示す。 資料：経済産業省「工業統計表」 ②産業細分類別の製造品出荷額等と全国シェア 東北地域の製造品出荷額等を産業細分類別に全国シェアでみても、2002 年の日本標準 産業分類改訂前の産業分類での電気機械器具製造業が上位を占めており、電気機械器具製 造業は、東北地域のリーディング産業の一つであることがわかる（図表 V‑5）。 図表 V‑5 東北地域の産業細分類別製造品出荷額等と全国シェア（2004 年） 産業細分類 産業中分類 製造品出荷額等(百万円) 東北の全国シェア（％） 産業分類 製造業計 17,016,942 6.0 その他のガラス・同製品製造業 窯業・土石製品製造業 156,579 37.4 抵抗器・コンデンサ・変成器・複合部品製造業 電子部品・デバイス製造業 426,496 36.6 パーソナルコンピュータ製造業 情報通信機械器具製造業 551,091 33.1 スイッチング電源・高周波組立部品・コントロールユニット製造業電子部品・デバイス製造業 150,293 33.0 印刷装置製造業 情報通信機械器具製造業 173,119 28.8 電気音響機械器具製造業 情報通信機械器具製造業 488,397 28.6 写真機・同附属品製造業 精密機械器具製造業 60,883 21.9 ガラス繊維・同製品製造業 窯業・土石製品製造業 55,902 21.8 有線通信機械器具製造業 情報通信機械器具製造業 189,782 21.8 磁気テープ・磁気ディスク製造業 電気機械器具製造業（新） 93,127 20.2 鉱物・土石粉砕等処理業 窯業・土石製品製造業 20,560 17.0 けいそう土・同製品製造業 窯業・土石製品製造業 1,748 16.7 記憶装置製造業 情報通信機械器具製造業 118,047 16.6 真空装置・真空機器製造業 一般機械器具製造業 26,041 16.5 他に分類されない金属製品製造業 金属製品製造業 64,259 16.3 コネクタ・スイッチ・リレー製造業 電子部品・デバイス製造業 177,388 15.7 光学機械用レンズ・プリズム製造業 精密機械器具製造業 81,952 15.2 蓄電池製造業 電気機械器具製造業（新） 99,193 14.2 音響部品・磁気ヘッド・小形モータ製造業 電子部品・デバイス製造業 35,000 14.0 医療用機械器具製造業 精密機械器具製造業 94,483 13.6 その他 6,517,341 - 注：従業者 4 人以上。事業所数が 3 未満の業種および 3 以上であっても 1 または 2 の事業所の数値が前 後の関係から判明する業種は秘匿されている。 資料：経済産業省「工業統計表」 44 (3) 東北地域の製造業の業種別の状況と特徴 ここでは、半導体等製造装置分野のユーザー産業として電子部品・デバイス製造業を 中心にした電気機械器具製造業、また、半導体等製造装置産業を支えるものづくり関連 産業として一般機械器具、精密機械器具、金属製品製造業を取り上げ、業種別の状況と 特徴を分析した。 ①電気機械器具製造業の状況と特徴 2002 年の日本標準産業分類改訂前の産業分類で東北地域の電気機械器具製造業をみる と、2004 年時点で、事業所数は 2,213 ヵ所、従業者数は 16 万 4,874 人、製造品出荷額等 は 5 兆 5,300 億円である。 2002 年の日本標準産業分類改訂をふまえて、改訂後の産業中分類に分けた上で産業細 分類別にみると、それぞれの事業所数、従業者数、製造品出荷額等は、図表 V‑6の通りで ある。 製造品出荷額等について、産業中分類別に構成比をみると、電子部品・デバイス製造業 が約 43％、情報通信機械器具製造業が 37.0％と、この 2 業種で約 8 割を占めている。電 気機械器具製造業（新）の構成比は約 20％である。 事業所数について、産業中分類別の構成比をみると、電子部品・デバイス製造業は約 44％であり、製造品出荷額等とほぼ同じであるが、情報通信機械器具製造業と電気機械器 具製造業（新）の構成比は、製造品出荷額等とは逆に、情報通信機械器具製造業が約 21％と小さく、電気機械器具製造業（新）が約 36％となっている。 このことから、情報通信機械器具製造業の事業所の方が、電気機械器具製造業（新）の 事業所に比べて、全般に 1 事業所当たりの製造品出荷額規模が大きいことがうかがえる。 産業細分類別にみると、製造品出荷額等では、「その他の電子部品製造業」が最も多く、 次いで「集積回路製造業」、「パーソナルコンピュータ製造業」となっており、半導体等 製造装置産業のユーザー産業の集積に厚みがある。以下、ステレオ・テープレコーダー等 の録音・再生装置やスピーカー等の拡声装置、マイクやヘッドホン等を製造する「電気音 響機械器具製造業」、「抵抗器・コンデンサ・変成器・複合部品製造業」、ラジオやテレ ビの放送装置や通信装置を製造する「無線通信機械器具製造業」と続いている。 「その他の電子部品製造業」は、事業所数でみても突出して最も数が多いが、以下は、 製造品出荷額等の順序とかなり異なっており、「内燃機関電装品製造業」、「電気音響機 械器具製造業」、「抵抗器・コンデンサ・変成器・複合部品製造業」、「開閉装置・配電 盤・電力制御装置製造業」の順となっている。 45 図表 V‑6 東北地域の電気機械器具製造業の産業細分類別構成（2004 年） 産業分類 事業所数 従業者数(人) 製造品出荷額等(百万円) 電気機械器具製造業 2,213 164,874 5,529,957 電気機械器具製造業（新） 787 41,323 1,093,704 発電機・電動機・その他の回転電気機械製造業 60 3,509 67,686 変圧器類製造業（電子機器用を除く） 18 1,171 24,315 開閉装置・配電盤・電力制御装置製造業 142 4,036 68,611 配線器具・配線附属品製造業 37 959 12,483 電気溶接機製造業 3 52 x 内燃機関電装品製造業 192 8,480 139,454 その他の産業用電気機械器具製造業（車両用，船舶用を含む） 22 590 7,219 ちゅう房機器製造業 8 270 3,740 空調・住宅関連機器製造業 15 620 12,522 その他の民生用電気機械器具製造業 42 2,097 26,107 電球製造業 25 1,409 43,137 電気照明器具製造業 24 1,104 24,393 Ｘ線装置製造業 5 530 12,194 ビデオ機器製造業 63 5,826 269,259 医療用電子応用装置製造業 5 550 19,017 その他の電子応用装置製造業 21 792 29,304 電気計測器製造業（別掲を除く） 31 1,949 44,858 工業計器製造業 16 456 5,740 医療用計測器製造業 4 119 1,524 蓄電池製造業 12 2,433 99,193 一次電池（乾電池，湿電池）製造業 3 149 1,567 磁気テープ・磁気ディスク製造業 6 1,772 93,127 他に分類されない電気機械器具製造業 33 2,450 86,303 情報通信機械器具製造業 有線通信機械器具製造業 無線通信機械器具製造業 ラジオ受信機・テレビジョン受信機製造業 電気音響機械器具製造業 交通信号保安装置製造業 その他の通信機械器具・同関連機械器具製造業 電子計算機製造業（パーソナルコンピュータ製造業を除く） パーソナルコンピュータ製造業 記憶装置製造業 印刷装置製造業 その他の附属装置製造業 電子部品・デバイス製造業 電子管製造業 半導体素子製造業 集積回路製造業 抵抗器・コンデンサ・変成器・複合部品製造業 音響部品・磁気ヘッド・小形モータ製造業 コネクタ・スイッチ・リレー製造業 スイッチング電源・高周波組立部品・コントロールユニット製造業 プリント回路製造業 その他の電子部品製造業 463 39 75 7 177 9 15 26 48 9 29 29 37,258 4,888 6,623 564 11,285 491 770 999 4,219 1,869 3,620 1,930 2,044,845 189,782 367,920 x 488,397 15,270 15,616 9,904 551,091 118,047 173,119 47,140 963 2 31 40 149 35 125 55 127 399 86,293 163 6,093 16,615 14,131 1,869 8,311 4,890 7,842 26,379 2,391,408 x 146,256 636,188 426,496 35,000 177,388 150,293 161,861 657,463 注：従業者 4 人以上。事業所数が 3 未満の業種および 3 以上であっても 1 または 2 の事業所の数値が前 後の関係から判明する製造品出荷額等は秘匿されている。 資料：経済産業省「工業統計表」 46 電気機械器具製造業の過去 10 年間の動向をみると、事業所数と従業者数は、製造業全 体と同様、過去 10 年概ね減少傾向にある。一方、製造品出荷額等も、製造業全体とほぼ 同様の傾向がみられるが、好調期の増加幅が製造業全体に比べてより大きい（図表 V‑7）。 全国シェアをみても、過去 10 年で拡大傾向にあり、2003 年には約 11％を占め、東北地 域の電気機械器具製造業が、我が国電気機械器具製造業における存在感を着実に高めてい ることがわかる（図表 V‑8）。 図表 V‑7 東北地域の電気機械器具製造業の事業所数・従業者数・製造品出荷額等の 推移（1995 年＝100） 130.0 120.0 110.0 100.0 90.0 80.0 70.0 60.0 事業所数 従業者数 製造品出荷額等 50.0 94 95 96 97 98 99 00 01 02 03 04 （年） 注：従業者 4 人以上 資料：経済産業省「工業統計表」 図表 V‑8 東北地域の電気機械器具製造業の製造品出荷額等の全国シェアの推移 (％） 12.0 11.0 10.0 9.0 94 95 96 97 98 99 注：従業者 4 人以上 資料：経済産業省「工業統計表」 47 00 01 02 03 04 （年） ②一般機械器具製造業の状況と特徴 2004 年時点で、東北地域の一般機械器具製造業の事業所数は 1,671 ヵ所、従業者数は 5 万 6,579 人、製造品出荷額等は 1 兆 2,472 億円である。 産業細分類別にみると、それぞれの事業所数、従業者数、製造品出荷額等は、図表 V‑9 の通りである。 製造品出荷額等を産業細分類別にみると、「半導体製造装置製造業」が最も多く、次い で「事務用機械器具製造業」が多く、この 2 業種で全体の 3 割強を占めている。以下、 「油圧・空圧機器製造業」、「金型・同部分品・附属品製造業」と続いている。 事業所数でみると、「金型・同部分品・附属品製造業」が最も多く、「金属工作機械 用・金属加工機械用部分品・附属品製造業（機械工具，金型を除く）」が次いでおり、半 導体等製造装置産業を支えるものづくり産業の関連企業が多いことがわかる。以下、「各 種機械・同部分品製造修理業（注文製造・修理）」、「その他の一般産業用機械・装置製 造業」、「半導体製造装置製造業」となっており、製造品出荷額等の順序とかなり異なっ ている。 48 図表 V‑9 東北地域の一般機械器具製造業の産業細分類別構成（2004 年） 産業分類 事業所数 従業者数(人) 製造品出荷額等(百万円) 一般機械器具製造業 1,671 56,579 1,247,240 ボイラ製造業 1 6 x 蒸気機関・タービン・水力タービン製造業（舶用を除 4 125 x はん用内燃機関製造業 7 750 11,046 農業用機械製造業（農業用器具を除く） 48 2,057 40,263 建設機械・鉱山機械製造業 35 1,559 39,008 金属工作機械製造業 26 901 26,554 金属加工機械製造業（金属工作機械を除く） 21 1,059 24,538 金属工作機械用・金属加工機械用部分品・附属品製造業（機械工具，金型を除く） 229 3,204 37,955 機械工具製造業（粉末や金業を除く） 66 2,923 46,481 製織機械・編組機械製造業 1 90 x 繊維機械部分品・取付具・附属品製造業 2 139 x 縫製機械製造業 12 425 7,323 食品機械・同装置製造業 32 382 5,660 木材加工機械製造業 6 59 908 パルプ装置・製紙機械製造業 1 146 x 印刷・製本・紙工機械製造業 56 2,457 57,017 鋳造装置製造業 5 78 x プラスチック加工機械・同附属装置製造業 9 321 5,666 半導体製造装置製造業 115 5,819 218,803 真空装置・真空機器製造業 22 713 26,041 その他の特殊産業用機械製造業 50 1,579 31,834 ポンプ・同装置製造業 12 394 10,245 空気圧縮機・ガス圧縮機・送風機製造業 13 502 9,436 エレベータ・エスカレータ製造業 6 281 3,675 荷役運搬設備製造業 38 660 11,698 動力伝導装置製造業（玉軸受，ころ軸受を除く） 21 950 13,802 工業窯炉製造業 4 65 x 油圧・空圧機器製造業 43 3,262 94,417 化学機械・同装置製造業 27 691 28,555 その他の一般産業用機械・装置製造業 117 2,748 47,666 事務用機械器具製造業 81 5,898 173,707 冷凍機・温湿調整装置製造業 6 95 1,779 娯楽機械製造業 23 990 16,721 自動販売機製造業 5 154 2,988 その他の事務用・サービス用・民生用機械器具製造業 20 1,095 15,994 消火器具・消火装置製造業 5 141 3,532 弁・同附属品製造業 26 1,108 26,429 パイプ加工・パイプ附属品加工業 11 127 1,719 玉軸受・ころ軸受製造業 25 1,948 41,442 ピストンリング製造業 2 593 x 金型・同部分品・附属品製造業 262 6,607 90,360 包装・荷造機械製造業 12 290 4,390 産業用ロボット製造業 43 1,371 20,297 各種機械・同部分品製造修理業（注文製造・修理） 121 1,817 26,998 注：従業者 4 人以上。事業所数が 3 未満の業種および 3 以上であっても 1 または 2 の事業所の数値が前 後の関係から判明する製造品出荷額等は秘匿されている。 資料：経済産業省「工業統計表」 49 ③精密機械器具製造業の状況と特徴 2004 年時点で、東北地域の精密機械器具製造業の事業所数は 363 ヵ所、従業者数は 1 万 9,921 人、製造品出荷額等は 3,633 億円である。 産業細分類別にみると、それぞれの事業所数、従業者数、製造品出荷額等は、図表 V‑10の通りである。 製造品出荷額等を産業細分類別にみると、「医療用機械器具製造業」が最も多く、半導 体製造装置の部品でもある「光学機械用レンズ・プリズム製造業」がそれに次いでいる。 両者で精密機械器具製造業の製造品出荷額等の半分弱をも占めており、この 2 業種が東北 地域の精密機械器具製造業における主要業種であることがわかる。以下、「写真機・同附 属品製造業」、「時計・同部分品製造業（時計側を除く）」と続いている。 事業所数でみると、製造品出荷額等で第 2 位の「光学機械用レンズ・プリズム製造業」 が最も多く、次いで第 3 位の「写真機・同附属品製造業」、第 1 位の「医療用機械器具製 造業」となっている。上位 3 位が、順序は異なっているものの製造品出荷額等と同じであ る点が、精密機械器具製造業の特徴である。ただし、製造品出荷額等、事業所数のいずれ についても、上位 2 業種が突出している。事業所数で第 4 位は「時計・同部分品製造業 （時計側を除く）」、以下、「医療用品製造業」が次いでいる。 図表 V‑10 東北地域の精密機械器具製造業の産業細分類別構成（2004 年） 産業分類 事業所数 従業者数(人) 製造品出荷額等(百万円) 精密機械器具製造業 363 19,921 363,328 下記計 363 19,921 349,321 一般長さ計製造業 1 28 x 体積計製造業 18 686 11,955 はかり製造業 10 713 15,084 圧力計・流量計・液面計等製造業 8 288 8,350 精密測定器製造業 8 224 4,739 分析機器製造業 5 243 x 試験機製造業 3 38 367 17 591 8,125 その他の計量器・測定器・分析機器・試験機製造業 測量機械器具製造業 7 430 8,644 医療用機械器具製造業 37 4,293 94,483 歯科用機械器具製造業 3 316 4,365 医療用品製造業 23 265 2,945 歯科材料製造業 3 36 x 理化学機械器具製造業 7 347 7,141 顕微鏡・望遠鏡等製造業 4 261 2,612 写真機・同附属品製造業 82 2,728 60,883 光学機械用レンズ・プリズム製造業 86 5,760 81,952 眼鏡製造業（枠を含む） 1 73 x 時計・同部分品製造業（時計側を除く） 29 2,209 37,676 時計側製造業 11 392 x 注：従業者 4 人以上。事業所数が 3 未満の業種および 3 以上であっても 1 または 2 の事業所の数値が前 後の関係から判明する製造品出荷額等は秘匿されている。 資料：経済産業省「工業統計表」 50 ④金属製品製造業の状況と特徴 2004 年時点で、東北地域の金属製品製造業の事業所数は 1,630 ヵ所、従業者数は 3 万 7,150 人、製造品出荷額等は 6,595 億円である。 産業細分類別にみると、それぞれの事業所数、従業者数、製造品出荷額等は、以下の図 表 V‑11の通りである。 製造品出荷額等を産業細分類別にみると、「建築用金属製品製造業（建築用金物を除 く）」が最も多く、次いで「建築用金属製品製造業」であり、この 2 業種で約 40％を占 めている。以下、金額では「建築用金属製品製造業」の半分強ほどだが、「金属プレス製 品製造業（アルミニウム・同合金を除く）」が次いでおり、「他に分類されない金属製品 製造業」、「製缶板金業」の順となっている。 事業所数でみると、製造品出荷額等で第 2 位の「建築用金属製品製造業」が最も多く、 以下、「製缶板金業」、第 1 位の「建築用金属製品製造業（建築用金物を除く）」、「金 属プレス製品製造業（アルミニウム・同合金を除く）」と続いており、製造品出荷額等と 事業所数で上位業種が比較的似ている。 図表 V‑11 東北地域の金属製品製造業の産業細分類別構成（2004 年） 産業分類 事業所数 従業者数(人) 製造品出荷額等(百万円) 金属製品製造業 1,630 37,150 659,504 下記計 1,630 37,150 658,835 ブリキ缶・その他のめっき板等製品製造業 4 466 18,994 機械刃物製造業 12 461 5,806 利器工匠具・手道具製造業（やすり，のこぎり，食卓 7 77 988 作業工具製造業（やすりを除く） 3 45 x やすり製造業 1 5 x 手引のこぎり・のこ刃製造業 4 21 209 農業用器具製造業（農業用機械を除く） 8 73 516 その他の金物類製造業 22 516 9,602 配管工事用附属品製造業（バルブ，コックを除く） 24 476 9,602 ガス機器・石油機器製造業 11 454 9,349 温風・温水暖房装置製造業 3 97 2,092 その他の暖房・調理装置製造業（電気機械器具， 4 111 809 建設用金属製品製造業 455 6,854 119,153 建築用金属製品製造業（建築用金物を除く） 245 7,069 142,618 製缶板金業 307 4,404 51,346 アルミニウム・同合金プレス製品製造業 30 929 12,883 金属プレス製品製造業（アルミニウム・同合金を除 120 3,635 64,469 粉末や金製品製造業 7 950 22,602 金属製品塗装業 68 1,251 10,019 溶融めっき業（表面処理鋼材製造業を除く） 6 154 1,710 金属彫刻業 2 10 x 電気めっき業（表面処理鋼材製造業を除く） 57 2,302 29,336 金属熱処理業 14 380 7,935 その他の金属表面処理業 54 1,243 28,275 くぎ製造業 1 11 x その他の金属線製品製造業 56 922 13,209 ボルト・ナット・リベット・小ねじ・木ねじ等製造業 43 1,436 21,750 金属製スプリング製造業 27 800 11,304 他に分類されない金属製品製造業 35 1,998 64,259 注：従業者 4 人以上。事業所数が 3 未満の業種および 3 以上であっても 1 または 2 の事業所の数値が前 後の関係から判明する製造品出荷額等は秘匿されている。 資料：経済産業省「工業統計表」 51 ２．域内のものづくり中堅・中小企業の状況 域内のものづくり中堅・中小企業の状況について、「ものづくり中堅・中小企業への調 査」の結果をもとにまとめた。以下では、半導体等製造装置関連分野への関与・関心から、 「関わっている」「関心がある」「関心がない」という３つに分け、特に半導体等製造装 置分野に「関わっている」「関心がある」とした企業群の特徴について分析した。 (1) 所在地 会社（事業所）の所在地についてみると、半導体等製造装置関連分野に「関わってい る」企業群は、福島県、山形県、岩手県に多く、「関心がある」企業群は、福島県、山形 県に多くなっている（図表 V‑12）。 図表 V‑12 所在地（単数回答） （上段：n、下段：％） 全体 232 100.0 83 100.0 58 100.0 66 100.0 25 100.0 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 青森県 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 岩手県 19 8.2 5 6.0 4 6.9 7 10.6 3 12.0 宮城県 34 14.7 19 22.9 7 12.1 8 12.1 - 秋田県 43 18.5 9 10.8 10 17.2 20 30.3 4 16.0 山形県 18 7.8 3 3.6 6 10.3 7 10.6 2 8.0 福島県 51 22.0 22 26.5 13 22.4 9 13.6 7 28.0 66 28.4 24 28.9 18 31.0 15 22.7 9 36.0 (2) 業種分類 会社（事業所）の業種分類についてみると、半導体等製造装置関連分野に「関わってい る」企業群は、「一般機械器具」、「精密機械器具」、「電気機械器具」と回答した企業 の割合が高く、「関心がある」企業群は、「金属製品」と回答した割合が高くなっている （図表 V‑13）。既に半導体等製造装置関連分野に関わっている企業である一般機械器具、 精密機械器具、電気機械器具の業種の他に、金属製品をはじめとする幅広いものづくり企 業群から関心が高いことがわかる。 図表 V‑13 業種分類（単数回答） （上段：n、下段：％） 全体 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 232 100.0 83 100.0 58 100.0 66 100.0 25 100.0 一般機械器 具 31 13.4 17 20.5 6 10.3 5 7.6 3 12.0 電気機械器 具 44 19.0 17 20.5 13 22.4 11 16.7 3 12.0 情報通信 1 0.4 1 1.2 - 電子部品・デ バイス 輸送用機械 器具 24 10.3 6 7.2 10 17.2 7 10.6 1 4.0 9 3.9 1 1.2 1 1.7 5 7.6 2 8.0 52 精密機械器 具 34 14.7 19 22.9 4 6.9 7 10.6 4 16.0 プラスチック製 品 14 6.0 4 6.9 7 10.6 3 12.0 ゴム製品 1 0.4 1 1.5 - 金属製品 41 17.7 7 8.4 17 29.3 14 21.2 3 12.0 窯業・土石製 品 7 3.0 4 4.8 3 4.5 - その他 18 7.8 5 6.0 3 5.2 6 9.1 4 16.0 (3) 業務内容 会社（事業所）の業務内容についてみると、半導体等製造装置関連分野に「関わってい る」企業群は、他の企業群に比べ、「企画・研究開発」「設計・デザイン」等の機能を有 している企業の割合が高くなっていることがわかる（図表 V‑14）。 図表 V‑14 業務内容（複数回答） （上段：n、下段：％） 企画・研究開 製造（加工、 設計・デザイン 発 組立） 全体 232 100.0 83 100.0 58 100.0 66 100.0 25 100.0 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 32 13.8 16 19.3 6 10.3 6 9.1 4 16.0 52 22.4 24 28.9 13 22.4 12 18.2 3 12.0 検査 221 95.3 77 92.8 58 100.0 64 97.0 22 88.0 調達・購買 31 13.4 11 13.3 10 17.2 6 9.1 4 16.0 営業・販売 34 14.7 15 18.1 9 15.5 7 10.6 3 12.0 39 16.8 16 19.3 8 13.8 11 16.7 4 16.0 保守・メンテナ ンス 24 10.3 14 16.9 5 8.6 4 6.1 1 4.0 その他 無回答 5 2.2 2 2.4 2 3.0 1 4.0 2 0.9 1 1.2 1 4.0 (4) 事業形態 会社（事業所）の事業形態についてみると、全ての企業群で、「発注者設計部材加工・ 製造」とする企業の割合が最も高く、下請の事業形態が主であることがわかる（図表 V‑15）。 図表 V‑15 事業形態（複数回答） 全体 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 232 100.0 83 100.0 58 100.0 66 100.0 25 100.0 最終製品・自 最終製品・他 自社仕様部 社ブランド 社ブランド 品製造販売 44 19.0 15 18.1 11 19.0 14 21.2 4 16.0 25 10.8 10 12.0 8 13.8 6 9.1 1 4.0 21 9.1 6 7.2 5 8.6 7 10.6 3 12.0 53 （上段：n、下段：％） 発注者仕様 発注者設計 自社設計開 自社設計部 部材加工・製 発・製造は外 その他 材製造 造 注 76 157 16 14 32.8 67.7 6.9 6.0 28 60 7 5 33.7 72.3 8.4 6.0 23 35 4 3 39.7 60.3 6.9 5.2 21 45 3 3 31.8 68.2 4.5 4.5 4 17 2 3 16.0 68.0 8.0 12.0 無回答 3 1.3 1 1.2 1 1.7 1 4.0 (5) 会社（事業所）の強み 会社（事業所）の強みについてみると、半導体等製造装置関連分野に「関わっている」 企業群は、他の企業群に比べ、「高精度の加工力」「高度な設備力」と回答する割合が高 く、機械加工等による高精度な加工技術力を強みにしていることがわかる。 一方、半導体等製造装置関連分野に「関心がある」企業群は、他の企業群に比べ、「量 的変動への対応力」「品質管理能力」を強みと認識しており、これらを活かして、変動が 激しく、技術力のみならず高い品質管理が求められる半導体等製造装置関連分野への事業 展開を見込んでいると考えられる（図表 V‑16）。 図表 V‑16 会社（事業所）の強み（複数回答） （上段：n、下段：％） 全体 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 高信頼性 232 100.0 83 100.0 58 100.0 66 100.0 25 100.0 高度な設備力 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 21 9.1 11 13.3 4 6.9 4 6.1 2 8.0 58 25.0 25 30.1 16 27.6 11 16.7 6 24.0 品質管理能 力 62 26.7 25 30.1 21 36.2 12 18.2 4 16.0 量的変動への 企画提案力 対応力 27 11.6 8 9.6 11 19.0 6 9.1 2 8.0 9 3.9 4 4.8 3 5.2 2 3.0 - 短納期への対 オンリーワン技 高精度の加工 一貫生産能 技術・工程統 コスト対応力 応力 術力 力 力 合力 42 18.1 7 8.4 13 22.4 14 21.2 8 32.0 設計デザイン 力 10 4.3 5 6.0 1 1.7 4 6.1 - 54 75 32.3 27 32.5 20 34.5 21 31.8 7 28.0 営業販売力 8 3.4 1 1.7 4 6.1 3 12.0 34 14.7 14 16.9 6 10.3 13 19.7 1 4.0 76 32.8 34 41.0 17 29.3 18 27.3 7 28.0 63 27.2 28 33.7 16 27.6 13 19.7 6 24.0 33 14.2 9 10.8 11 19.0 8 12.1 5 20.0 (6) 主要製品・製造（加工組立）内容のＰＲポイント 主要製品・製造（加工組立）内容に関する PR ポイント（3 つまで回答可）をみると、 全ての企業群で「顧客の有力なパートナー」が最も大きな割合を占めている。事業形態と して下請が多いこともあり、顧客にとって欠かせない存在となっていることを PR ポイン トと認識しているとみられる（図表 V‑17）。 図表 V‑17 主要製品・製造（加工組立）内容のＰＲポイント（複数回答） （上段：n、下段：％） 国内市場にお 海外市場にお 隙間市場にお 顧客の有力な ける高シェア ける高シェア けるニッチトップ パートナー 全体 467 100.0 185 100.0 126 100.0 112 100.0 44 100.0 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 71 15.2 26 14.1 26 20.6 15 13.4 4 9.1 19 4.1 12 6.5 3 2.4 4 3.6 - 28 6.0 14 7.6 6 4.8 5 4.5 3 6.8 その他 218 46.7 93 50.3 55 43.7 51 45.5 19 43.2 無回答 63 13.5 18 9.7 20 15.9 20 17.9 5 11.4 68 14.6 22 11.9 16 12.7 17 15.2 13 29.5 (7) 中核的な技術 中核的な技術（3 つまで回答可）をみると、技術の大分類では、全ての企業群で「金属 材料加工」が大きな割合を占めている。また、半導体等製造装置関連分野に「関わってい る」及び「関心がある」企業群は、他の企業群に比べ、「金属材料加工」技術、「電気・ 電子材料」「FA メカトロ」技術等に技術蓄積を有していることがわかる（図表 V‑18）。 図表 V‑18 中核的な技術分類（大分類） （上段：n、下段：％） 全体 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 371 100.0 148 100.0 98 100.0 91 100.0 34 100.0 情報・ソフト ウェア 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 金属材料加 工 材料 2 0.5 2 1.4 - 11 3.0 4 2.7 4 4.1 3 3.3 デザイン・設計 12 3.2 7 4.7 2 2.0 3 3.3 - プラスチック加 工 140 37.7 54 36.5 36 36.7 38 41.8 12 35.3 測定・分析・ 検査 29 7.8 8 5.4 6 6.1 11 12.1 4 11.8 極限 8 2.2 1 0.7 1 1.0 4 4.4 2 5.9 16 4.3 4 2.7 3 3.1 1 1.1 8 23.5 その他 11 3.0 5 3.4 4 4.1 1 1.1 1 2.9 55 無機材料加 工 20 5.4 3 2.0 6 6.1 9 9.9 2 5.9 新素材加工 7 1.9 5 3.4 1 1.0 1 2.9 化学・薬品 1 0.3 1 2.9 電気・電子材 料 47 12.7 23 15.5 15 15.3 9 9.9 - FAメカトロ 43 11.6 19 12.8 15 15.3 9 9.9 - さらに、「金属材料加工」の中の小分類をみると、半導体等製造装置関連分野 に「関わっている」企業群では、「2‑2 切削・砥粒加工」が最も高い割合を占め、 次に「2‑3 特殊加工」、「2‑9 接合」、「2‑6 プレス加工」、「2‑7 板金加工」と 続いており、半導体等製造装置関連分野に「関わっている」企業の特徴を表して いる（図表 V‑19）。 図表 V‑19 中核的な技術分類（小分類） ＊中核的な技術小分類：製造装置に関与している企業 （金属材料加工分野） 総数=147 0 5 2‑1 素材製造 10 14.8 2‑3 特殊加工 4.9 2‑4 鋳造 0.0 2‑5 鍛造 0.0 2‑6 プレス加工 3.5 2‑7 板金加工 3.5 0.0 2‑9 接合 2‑10 熱処理 2‑11 表面処理 2‑12 その他技術 15 2.8 2‑2 切削・砥粒加工 2‑8 粉末冶金 ％ 4.2 0.0 1.4 2.8 56 20 (8) 企業・大学等との連携の希望 他の企業や大学等との連携の希望を尋ねた結果をみると、半導体等製造装置関連分野に 「関わっている」及び「関心がある」企業群は、「取引先との連携」を希望している割合 が最も高くなっている。 半導体等製造装置関連分野に「関わっている」企業群は、他の企業群に比べ、「取引先 との連携」のみならず、「大学との連携」等の研究機関との幅広い産学官連携を希望する 割合が高いことがわかる（図表 V‑20）。 図表 V‑20 企業・大学等との連携希望（複数回答） （上段：n、下段：％） 取引先との連 協力会社との 公設試験場と 高等専門学 大学との連携 携 連携 の連携 校との連携 全体 371 100.0 148 100.0 98 100.0 91 100.0 34 100.0 全体 (0) 関わっている (1) 関 与 ・ 関 心 関心がある (2) 関心もない (3) 無回答 (4) 146 39.4 64 43.2 47 48.0 25 27.5 10 29.4 61 16.4 27 18.2 14 14.3 13 14.3 7 20.6 57 15.4 26 17.6 10 10.2 16 17.6 5 14.7 73 19.7 38 25.7 17 17.3 12 13.2 6 17.6 その他機関と 特に連携の希 の連携 望はない 19 5.1 9 6.1 2 2.0 5 5.5 3 8.8 22 5.9 13 8.8 3 3.1 6 6.6 - 77 20.8 35 23.6 12 12.2 28 30.8 2 5.9 (9) 取引先(顧客)数 取引先（顧客）数をみると、全体では、「100 社以上」が 19.4％と最も大きな割合を占 めており、次ぎに、「2〜5 社未満」の順となっている。 半導体等製造装置関連分野に「関わっている」企業群についてみると、「100 社以上」 の割合が 26.5％と最も高く、他の企業群に比べ、その割合が高くなっている。（図表 V‑21）。 図表 V‑21 取引先（顧客数）（単数回答） 全体(232) 0% １社 10% 関わっている(83) 20% 30% １社 6.5 0% 10% 20% 関心がある(58) 30% １社 2.4 0% 10% 20% 関心もない(66) 30% 0% 10% 20% １社 1.7 15.2 ２〜５社未満 13.4 ２〜５社未満 14.5 ２〜５社未満 15.5 ２〜５社未満 ５〜10社未満 9.1 ５〜10社未満 10.8 ５〜10社未満 12.1 ５〜10社未満 7.6 10〜20社未満 8.610〜20社未満 9.6 10〜20社未満 8.610〜20社未満 7.6 20〜30社未満 9.1 20〜30社未満 10.8 20〜30社未満 10.3 20〜30社未満 30〜50社未満 13.8 30〜50社未満 12.0 30〜50社未満 15.5 30〜50社未満 50〜100社未満 10.8 50〜100社未満 8.4 50〜100社未満 12.1 50〜100社未満 100社以上 19.4 100社以上 26.5 100社以上 15.5 100社以上 無回答 9.5 無回答 無回答 4.8 57 8.6 無回答 12.1 4.5 19.7 10.6 15.2 7.6 30% (10) 協力会社数 協力会社数をみると、全体では、「無回答」を除き「2〜5 社未満」が 18.5％と最も大 きな割合を占めている。 半導体等製造装置関連分野に「関わっている」企業群についてみると、「20 社〜30 社 未満」の割合が 15.7％と高く、他の企業群に比べ、その割合が高くなっている（図表 V‑22）。 図表 V‑22 協力会社数（単数回答） 全体(232) 0% １社 10% 関わっている(83) 20% 30% １社 4.3 0% 10% 20% 関心がある(58) 30% １社 4.8 0% 10% 1.7 20% 関心もない(66) 30% １社 ２〜５社未満 18.5 ２〜５社未満 13.3 ２〜５社未満 22.4 ２〜５社未満 ５〜10社未満 14.2 ５〜10社未満 9.6 ５〜10社未満 22.4 ５〜10社未満 10〜20社未満 10.3 10〜20社未満 8.410〜20社未満 12.1 10〜20社未満 20〜30社未満 10.3 20〜30社未満 15.7 20〜30社未満 30〜50社未満 12.0 30〜50社未満 6.550〜100社未満 6.050〜100社未満 30〜50社未満 50〜100社未満 100社以上 無回答 5.6 6.0 100社以上 24.1 無回答 8.4 100社以上 21.7 無回答 58 5.2 3.4 1.7 0% 10% 22.7 15.2 12.1 9.1 1.5 10.3 50〜100社未満 4.5 100社以上 4.5 20.7 無回答 30% 6.1 20〜30社未満 30〜50社未満 20% 24.2 (11) 半導体等製造装置分野への事業展開の状況 「ものづくり中堅・中小企業への調査」によると、地域ものづくり中堅・中小企業は、 特定の装置分野に特化していることはなく、半導体製造装置から液晶製造装置、また、前 工程から後工程まで幅広く、関連事業に関与していることがわかる（図表 V‑23）。なお、 域内の半導体等製造装置関連分野に関わっている企業群（公開可能とした企業のみ）の装 置別の企業リスト一覧は、巻末の「参考資料」に掲載する。 図表 V‑23 半導体等製造装置分野の関与企業数（単数回答） 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 装置名 マスク・レチクル製造装置 ウェーハ製造用装置 露光・描画装置 レジスト処理装置 エッチング装置 洗浄・乾燥装置 熱処理装置 イオン注入装置 CVD装置 スパッタリング装置 検査評価装置 CMP装置 バックグラインダ ダイシング装置 ボンディング装置 パッケージング装置 検査評価装置 テスティング装置 プロービング装置 ハンドラ エージング装置 半導体製造装置用関連装置 （搬送/純水/薬液/ガス/クリーンルーム装置） 半導体製造装置 その他の製造・検査装置 液晶パネル製造装置 マスク・レチクル製造用装置 液晶パネル製造装置 基板製造用装置 液晶パネル製造装置 アレイ製造用装置 液晶パネル製造装置 カラーフィルタ製造用装置 液晶パネル製造装置 パネル製造用装置 液晶パネル製造装置 検査用装置 液晶パネル製造装置用関連装置 （搬送/純水/薬液/ガス/クリーンルーム装置 有機EL用装置 その他の製造検査装置 59 企業数 0 10 12 1 4 4 9 1 3 8 3 1 1 4 3 1 2 6 2 0 6 11 1 4 0 1 3 2 2 0 2 ３．域内のものづくり中堅・中小企業の特徴と課題 企業へのアンケート・ヒアリング調査及び各県公設試験研究機関へのヒアリングから、 域内のものづくり中堅・中小企業の特徴及び課題を分析した。 (1) 域内のものづくり中堅・中小企業の特徴 ◆半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業は、金属材料加 工技術を中核的技術として幅広い加工に対応 半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業は、一般機械、精 密機械、電気機械器具製造業が多く、金属材料加工技術を中核的な技術として、機械加工 （5 軸 MC 等）、溶接、精密板金、プレス加工、レーザー加工技術等により、 SUS、イン コネル等の材料の加工、大物から小物、さらには丸物、薄物まで幅広い加工に対応してい る。特に、高精度の加工力と高度な設備力を強みとしている。 また、金属だけではなく、ファインセラミクス、石英等の材料加工技術を強みとする企 業もみられる。なお、これらの企業群は、取引先や協力会社数が多く、今後、取引先との 連携に加え、大学等との連携を希望している企業も多くみられる。 ◆半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業は、量的変動への 対応力、品質管理力を強みとして進出の可能性 半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・企業は、金属製品製造業が最 も多く、装置関連分野に活用が見込まれる金属材料加工技術を中核的な技術としている企 業が多い。 また、量的変動への対応力、品質管理能力を強みとしている企業も多く、これらの強み を活かして、変動が激しく、技術力のみならず高い品質管理力が求められる同分野に進出 する可能性がある。 ◆域内において半導体等製造装置関連分野につながる特徴あるものづくり中堅・中小企 業の事業展開が活発化 域内において、半導体等製造装置関連分野につながる特徴あるものづくり中堅・中小企 業の事業展開が活発化している。各県の特徴は以下の通りである。 ＜青森県＞ 青森県の状況についてみると、本社は他地域にあるが半導体の主要工場としてマイコン、 ASIC の前工程を担う工場や液晶カラーフィルター、白色有機 EL パネル等の FPD 関連企業 60 が複数ある。半導体や FPD の検査、製造装置の関連企業も立地しており、これらを支える 検査、製造装置の部材作製を請け負っている中堅・中小企業も複数ある。さらには、半導 体等の製造工場で稼動する装置に組み込まれるセンサやモータを製造している企業もあり、 関連産業の集積が見込まれる。 ＜岩手県＞ 岩手県の状況についてみると、北上川流域地域等を中心に、機械加工・金型・モールド 成形・プレス加工・鋳造・組立、電気機械・輸送用機械・一般機械等に関わる広範な基盤 技術を持つものづくり企業が集積している。下請加工型企業が大半ではあるが、中には産 学官共同研究に取り組む企業や、企画・設計・デザイン機能を有する提案型企業も少なく ないほか、近年は自動車関連産業等への参入を目指して、工程改善や共同化体制構築に意 欲的に取り組む企業も増加している。さらに、域内外の半導体等製造装置メーカーと取引 関係がある企業では、装置部材の精密加工や組立関連の高度な技術を持つ企業がも多く、 装置のユニットレベルでの対応力やコーディネート力のある企業も複数ある。 ＜宮城県＞ 宮城県の状況についてみると、仙台市北部に位置する泉パークタウンインダストリアル パークには環境調和型・労働集約型の企業が多く立地しているが、半導体デバイスメー カーと共に、半導体製造装置関連分野に係わっている企業の集積がある。特に、半導体製 造装置に必須であるセラミック材料に関しては、露光・描画装置部品やプロービング部品 製作に関する優れた技術力を有する複数の企業がある。また CVD 装置部品についての実績 を持つ表面処理関連企業や半導体プロセスを利用した MEMS 関連企業等が立地している。 さらに、基幹交通網に沿って、精密金属加工技術をベースとした、スパッタリング装置、 パネル製造装置、検査装置等の部品製作に実績のある企業が連続的に立地しており、今後、 半導体製造装置関連事業への進出を目論む企業群と共に、ネットワークを形成できる可能 性が高い。 （参考：隣接する泉サイエンスパークには種々の技術支援機能を持つ宮城県産業技術総合 センターがあり、さらに近隣地区には東京エレクトロンが 2007 年に研究拠点を、2010 年 には研究開発や製造を手掛ける新工場を設ける予定であり、東北大学の強力な指導力と相 俟って、高度なクラスターを形成する可能性がある。） ＜秋田県＞ 秋田県の状況についてみると、半導体産業は従来から集積の度合いが低く、2000 年の IT バブルの崩壊を境に半導体の後工程を担っていた企業の事業撤退や縮小及び電子デバ イスの海外移転等の影響もあり、半導体等のデバイスの製造検査装置を牽引する中核企業 も脆弱で中小企業の連携や集積の度合いも低い状況にある。その中でも日本経済の回復に 61 したがって電子デバイスの生産設備やデバイスの生産で本荘・由利地域は、活況を取り戻 し始めている。湯沢・横手地区は光通信部品、液晶ディスプレイ、MEMS 部品、水晶デバ イス、シリコンウエハやチップマウンタなどがある。秋田市を中心とする秋田地区は、業 務用の高精細 LCD や半導体圧力センサなどの生産や半導体製造・検査装置の制御部の生産 を担っている。能代・大館地区は、LCD 及びその製造装置や半導体検査装置を手掛けてい る。また、昨年、TAB テープ、BGA、リードフレーム検査装置を発展させ、FPD ガラス基板 検査装置の事業化を図りながら株式公開を果たした開発型ベンチャー企業や DRAM の後工 程の主力工場が設計部門と共に新設され、半導体の生産と共に製造検査関連産業が緩やか ではあるが発展していくことが期待される。 ＜山形県＞ 山形県の状況についてみると、以前から一般機械製造業に関連する企業が多く、各種材 料の加工や精密加工に関するノウハウを蓄積する企業が多数立地していることから、中堅 企業による独自の製品開発、新規メーカーの進出など半導体等製造装置関連分野での活発 な動きがみられる。既に半導体等装置関連分野に関わっている企業も多いが、納入先の多 角化等を目指し新規参入を希望する企業も多くなっている。 ＜福島県＞ 福島県の状況についてみると、自動機械・省力機械の設計製作、プラスチック製品の開 発製造、高精密電子部品製造、精密試作板金加工・プレス加工、検査機器装置・電池の性 能試験装置開発製造、液晶ディスプレパネル設計製造、各種モータ設計製造、ロストワッ クスによる精密鋳物等で自社製品・独自技術を保有している企業や素材関係企業など半導 体等製造装置・デバイス関連分野の部品・製品の製作に関わっている(関われる)企業が多 数集積している。また、ソフト開発・ハード設計・開発機械装置設計・検査装置設計をワ ンストップで受注する企業、微小部品加工を行っている企業も複数ある。 ◆自動車産業クラスター形成の動きもあり、域内の高度なものづくり中堅・中小企業の ポテンシャルが向上 東北地域における自動車産業のクラスター形成に向け、2006 年 7 月に、岩手・宮城・ 山形の産学官が結集して「とうほく自動車産業集積連携会議」が設立されている。また、 青森・秋田県も同会議への参加を表明し、「青森県自動車関連産業振興協議会」「あきた 自動車関連産業振興協議会」も相次いで設立されている。既に、岩手県では、2004 年に 北上市の製造業コーディネート会社の呼びかけで県内企業 3 社（北上精工、北上エレメッ ク、エレック北上）が共同受注組織「プラ 21」を立ち上げ、関東自動車工業岩手工場へ のサプライヤーとして自動車産業への参入を果たしている。このように、域内における高 度なものづくり中堅・中小企業のポテンシャルは着実に向上している。 62 (2) 域内のものづくり中堅・中小企業の課題 ◆半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業は、下請け中心 であり、産学官連携による技術開発力の高度化、提案力のある人材の育成、新たな事業 分野や新規取引先の開拓が課題 半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業は、高い技術力を 持ちながらも、下請の事業形態が主であり、既存の取引先の企業や関係会社以外との接点 は少ない企業も多い。 また、技術開発力のさらなる高度化に向けた大学・研究機関、行政・支援機関との交流 や産学官連携の共同技術開発なども限られている。さらに、高度なエンジニア等のものづ くり人材の確保や育成に加え、装置メーカーが求めている提案力をもった人材の育成も急 務である。 これらを解決しながら、装置メーカーのパートナーとしての提案型の技術開発を行い、 半導体等製造装置関連分野の事業の安定化や取引の拡大に向け、新たな事業分野や新規取 引先の開拓等を図ることも課題である。 ◆半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業は、関連分野の情 報やニーズの把握による自社技術とのマッチング、技術とマネジメント力の一層の強化 が課題 半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業は、同分野との接点 を模索し、自社の技術を積極的に売り込んでいくことも少なく、関連情報を知る機会が限 られている。よって今後、装置メーカーのニーズをいかに把握し、自社技術とマッチング を行うことが課題である。 また、半導体等製造装置関連分野の技術やものづくりのレベルに対応できるよう、自社 技術を磨くことに加え、高度なエンジニア等のものづくり人材の育成や確保、さらには、 生産管理システムの導入によるコスト低減などマネジメント力の強化を図ることも課題で ある。 ◆地域全体では表面処理技術の蓄積、産学連携の強化が課題 地域全体をみると、半導体等製造装置関連分野で必要とされる表面処理技術を有するも のづくり中堅・中小企業が少ないことが課題である。 また、域内の半導体等製造装置関連分野の大学・研究機関、行政支援機関との交流や産 学官連携による共同技術開発等も一部の企業が取り組みを進めているだけであり、地域全 体としての一層の連携強化が課題である。 63 (3) 域内のものづくり中堅・中小企業のモデル事例紹介 企業ヒアリングを実施した域内のものづくり中堅・中小企業の中から、東北地域を代表 する半導体等製造装置関連分野の企業をモデル事例として紹介する。これらの企業群の事 例は、半導体等製造装置分野に関心があるものづくり中堅・中小企業にとっても今後の参 入等の際、参考になるものである。 ここで取り上げた企業は、自らの技術の強みや特徴、蓄積を地道に磨きながら、半導体 等製造装置関連分野での世界的企業との取引につなげており、決して現状に甘んずること なく高度な技術目標を掲げて技術開発や積極的な設備投資に挑んでいる。また、これらの 強みを活かして事業の横展開を図りながら裾野を広げることで、浮き沈みの激しい半導体 等製造装置産業において柔軟な経営の舵取りをしている。 64 東北三吉工業株式会社 （青森県三戸郡） 企業概要 ・設立：1977 年 ・資本金：3,000 万円 ・従業員数：126 名 ・主要製品技術及び PR ポイント 液晶製造装置、半導体製造装置の部材、 取引、連携ネットワーク 現在、アルバック東北をはじめアルバッ 特に大型化に対応した溶接、機械加工等に クグループ全体と取引をしているが、さら 強みがある。設備投資を積極的に行い、液 に同グループ以外の東北地域の主な半導体 晶等の大物機械加工では域内有数の企業と 等製造装置メーカーとも取引をしており、 なっており、同社でしかできない仕事も増 今後も需要の変化に柔軟に対応する方針で、 えている。 自動車、食品、航空分野等への展開も見込 んでいる。 事業進出のきっかけ 以前はスタンピングによるカセット等の また、八戸工業大学、青森県工業総合 弱電関連のプレス、農機具関連事業を手が 研究センター八戸地域技術研究所等と産 けていたが、アルバックの八戸への進出を 学官共同研究も進めている。例えば、八 きっかけに 1987 年に半導体製造装置事業 戸地域技術研究所とは、溶 接 技 術 の さ ら に進出。その後、アルバック東北の液晶製 なる高度化に向け、レーザー溶接、超音 造装置関連事業の事業にシフトに合わせて、 波溶接技等に関する研究開発を行ってい 事業を拡大してきた。 る。 さらに、IP クラブなど進出企業のネッ トワークとも情報交換を蜜にしており、企 中核的な技術の特徴 液晶、半導体製造装置関連事業に関連し、 業間ネットワークづくりにも余念がない。 薄板容器から大型真空管容器まで幅広い溶 その他 接、タレットバンチプレスとレーザー加工 による少量、短納期対応、精密ワイヤーカ 東北大学の粉川研究室の研究会等に若手 ット加工等に強みがある。特に、装置の大 技術者を参加させるなど、人材育成にも注 型化に対応をし、溶接と機械加工を組み合 力している。 また、液晶、太陽電池パネル等の先端分 わせて対応できる企業は少ない。 野に同社の仕事が関わっていることを社員 に伝えることでやる気を高めている。 65 中核的な技術の特徴 株式会社 千田精密工業 （岩手県奥州市） 小物からФ1,000 の丸物、5,000×7,000 の角物まで幅広い旋盤、溶接、マシニング 加工技術、摩擦攪拌接合(FSW、FSJ)等に強 みがある。 企業概要 ・設立：1983年 ・資本金：8,000 万円 ・従業員数：80 名 ・主要製品技術及び PR ポイント 半導体、液晶関連製造装置用部品、 ア ル ミ、ステンレス、チタン等の旋盤、M/C、 溶接等の高精度部品製作、F1 レ ー シ ン グ カーにも使われる自動車関連特殊部品の CAD/CAM を利用しての三次元加工等に強み がある。 取引、連携ネットワーク 東京エレクトロン東北等との取引で培っ 事業進出のきっかけ た半導体等製造装置分野の技術を活かして、 設立当初から東北地域の企業との取引 液晶、自動車、重電、エネルギー関連メー を考えずに、東京エレクトロンというグ カー向けの部材加工等を手がけ、事業の裾 ローバルプレイヤーとの取引を目指し、 野拡大と収益の安定化を図っている。 半導体製造装置事業に進出。協力会社と また、接合強度を高める摩擦攪拌接合、 して、技術力、仕事量とも抜きん出る存 スポット溶接については、経営革新事業と 在になった。 して岩手大学や岩手県工業技術センターと その後、東京エレクトロンからの要請 の産学官連携によって技術力をさらに強化 もあり、さらに高い目標を掲げ、旋盤か ら溶接まで様々な仕事に挑戦をしてきた。 結果的に、難削材の加工をはじめ自社の している。 その他 技術力の一層の強化とともに以前手がけ 社員は、技能者技術検定等の資格取得に ていた仕事を周辺の企業が受け、地域関 も熱心であり、常に社員に常に高い目標を 連企業全体の底上げにも貢献する形に 与えることでやる気を出させている。 なっている。 また、社内からの独立も支援しており、 現在まで小松製作所など同社発となる企業 が 8 社設立されている。 66 さらに、衛星搭載部品及び海底中継部 品・真空チャンバー等の高信頼度精密切削 株式会社ワイ・デー・ケー ＹＤＫメカトロニクス （岩手県遠野市） 部品加工品、半導体製造装置の高精度部品 の精密切削部品加工（5 軸加工機・5 面加 工機保有）を手がけ、加工精度 5 ミクロン 単位での超高精度精密切削部品加工が可能 企業概要 である。大型 MC を保有し、最大 6500× ・設立：1952 年 3000×800 加工ができる。真空加工面処理 ・資本金：2 億 1,000 万円 技術も保有している。 ・従業員数：294 名 ・主要製品技術及び PR ポイント 高精度部品・大型真空チャンバー部品等 精密機械部品の切削加工で信頼を得ており、 半導体製造装置・メカトロニクス機器の組 立製造の高い組立技術を保有し、ミクロン 単位での組み付け精度の要求に対応できる。 また、メカトロニクス機器の新規生産及び リペアについて、設計から製造までの一貫 した生産体制で対応に強みがある。 取引、連携ネットワーク 現在は、東京エレクトロンとの取引が主 事業進出のきっかけ NEC 向けのアルミ加工や組立を手がけて であるが、その他の有力半導体等製造装置 きて、10 年前に東京エレクトロンからの 関連メーカー等の取引も広げている。 半導体製造装置の組立に進出。 また、自社の技術力を活かし、医療、航 現在も半導体製造装置の組立は、事業の 空、ロボット、工作機械も含めた幅広い取 柱となっている。 引先の開拓にも余念がない。 中核的な技術の特徴 その他 半導体製造装置及び各種メカトロニクス 同社は、半導体等製造装置の設計による 機器の製造に裏付けられた高い製造技術力 品質の作りこみを強く意識しており、関連 を保有している。 事業における一層の生産性向上を図ろうと また、メカ設計・エレキ設計を保有し、 している。 設計から製造検査まで、一貫した生産体制 が可能。エレクトロニクス・メカトロニク スにおける開発技術力・製造技術力で顧客 ニーズをトータルサポートする。 67 術より各種先端産業のニーズに対応できる。 日本ファインセラミックス 株式会社 （宮城県仙台市） 企業概要 ・創立：1984 年 ・資本金：3 億円 ・従業員数：160 名 ・主要製品技術及び PR ポイント 新開発の JFSiC 製 700 角テーブル 精密機械用のセラミックス部品に つ い ては、炭化珪素（SiC）、窒化珪素、アル 取引、連携ネットワーク ミナ、ジルコニア等の材料による各種部 平成 17〜18 年度に、地域コンソーシア 品の少量品から量産品まで対応できる。 ム研究開発制度で、次世代高機能 SiC を また、電子・通信用セラミックス部品 用いた半導体製造装置・高精度部品の開 については、高周波用アルミナ基板から 発をテーマとして、東北セラミック、仙 マイクロ波・ミリ波で使用する通信器用 台ニコン、東北大学、横浜国立大学、宮 薄膜集積回路基板のパターン形成を試作 城県産業技術総合センター等と共に産学 品から量産品まで対応ができる。 官共同研究を進めている。 さらに個体酸化物型燃料電池（SOFC） 地域コンソーシアムで開発をした 用セル材の受注製造に対応している。 「JFSiC」（※社名の JFC と SiC を融合し た材料名）は、熱伝導率が高く、高強度、 事業進出のきっかけ 一般構造材用のポンプに使われている 無気孔を特徴とする SiC である。また、 SiC 部品の開発製造を行ってきたが、部品 CVD コーティングも不要となり、コストも の納入先の顧客が、半導体等製造装置メー 低減できる。 カーに納品をしており、２次メーカーとし その他 て半導体等製造装置関連分野に関わるよう 今後は、材料から加工、製造の一貫生産 になった。 と多品種少量生産の強みを活かして、半導 体等製造装置メーカーに対して、関連部品 中核的な技術の特徴 等を直接提案していけるメーカーを目指し ファインセラミックスの材料開発から各 ている。 種先端産業向けセラミックス部品を原料調 合〜完成品まで一貫生産できることが強み である。ファインセラミックスの材料特性 を生かした技術的提案並びに高精度加工技 68 た溶接電源・加圧ヘッドなど豊富なノウハ ウで、銅とアルミなどの高品位なスポット ハイメカ 株式会社 溶接を可能にしている。 （山形県米沢市） 取引、連携ネットワーク タンタルコンデンサ・アルミコンデン サなどの製造装置開発のノウハウを活か 企業概要 し、半導体製造装置・大型積層リチウム ・設立：1972 年 イオン電池・キャパシタ等のエネルギー ・資本金：1 億 2,700 万円 デバイス製造装置まで事業の裾野を広げ、 ・従業員数：138 名 取引先を拡大している。また大学や高 ・主要製品技術及び PR ポイント 専・地域の人々とのつながりや、協力会 タンタルコンデンサ製造設備で、世界シ 社との連携をうまく活用することで、変 ェア 7 割。また、チップアルミ電解コンデ 化に柔軟に対応している。 ンサ製造設備、エネルギーデバイス製造設 同社は、他の地場企業との交流や、同地 備等の製造設備に強みがある。 域への進出企業を中心にした米沢電機工業 会との連携を密にすることで、仕事の横請 事業進出のきっかけ けを通じた地域全体のレベルの向上にも貢 タンタルコンデンサ製造装置で培った メカトロニクス技術を活かして、半導体 献している。 製造装置（CSP, WLCSP 用ピック＆テーピ その他：人材育成戦略 「社員は同志」と言う創業の志により、 ング装置）の開発・製造に進出した。 約 20 年前に自社内に研修部門と施設を設 け、人作りを重視した経営理念を実現し ている。研修は業務に優先するという扱 いで、パートを含めた一般社員から役員 までが、研鑽を積んでいる。 また過去に中国や韓国から人材を受け 入れ技術研修をしたところ、彼らが同社 の理念に共感し、人材・友情のネット ワークが生まれた。現在、韓国・中国に 関連会社があるのは、こうしたネット 中核的な技術の特徴 ワークの賜である。 カム・リンク・サーボモータによる高 速モーション制御と、それらと画像処理 高度な技術のみならず、「人」を大切に による、形状不安定なワークのミクロン する社風は同社の最大の特徴であり、半導 単位での高精度位置決めが、コア技術と 体製造装置事業の立ち上げにおいても、同 なっている。 社の「人づくり」の理念が育てた人材が核 となって展開している。 さらに異種金属溶接用として自社開発し 69 江信特殊硝子株式会社 須賀川工場 （福島県須賀川市） 企業概要 ・設立：1962 年 ・資本金：1 億円 ・従業員数：100 名 ・主要製品技術及び PR ポイント 半導体製造用石英ガラス冶具製品、電子 取引、連携ネットワーク 工業用各種ガラス製品 多数の大手半導体デバイスメーカーに加 ※本社は東京都江東区、須賀川工場、テ え、自動車メーカーも含めて幅広い取引ネ クニカルセンター、幸手工場 ットワークが強みになっている。 石英ガラス製品は、取引先である大手半 事業進出のきっかけ 2001 年に須賀川工場において社員 6 名 導体デバイスメーカーが分析と評価をして で石英ガラス製品の再生事業を開始。以 いる。これまでも大学等とも連携を図って 前から半導体デバイスメーカーが石英ガ きたが、顧客による分析と評価を受けるこ ラスを山積みして廃棄していたので、そ とによって、幅広いデバイスメーカーに安 の再生事業に目をつけた。県内の大手半 心して納品し、高い信頼を得ることが可能 導体メーカーが、同社の再生技術を採用 となっている。 して取引が始まったことから、他の半導 その他 体メーカーにも口コミで広がり、続々と 再生事業をはじめた、もったいない精神 採用された。 をもとに、2006 年末には、県内で石英ガ ラス加工を手がけていた企業の工場を買い 中核的な技術の特徴 取り、さらなる事業の拡大を図ろうとして 石英ガラス製品の単なる修理ではなく、 いる。 再生技術としてパテントを申請。石英ガラ ス製品の再生事業では、国内の 70％の高 いシェアを誇る。 従来からの強みである高精度の切削技術 に加え、石英ガラス製品の溶接技術も高い 技術・技能を持つ人材を育成しながら同社 の強みになっている。 70 VI．東北地域の半導体等製造装置関連分野の人材・知的インフラ及び技 術ネットワークの現状 １．域内の研究者の状況 (1) 大学における研究者の状況 ①調査手法 1)「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を用いた検索 ◆調査手法 東北地域の国公私立の全大学を対象とし、経済産業省策定の「技術ロードマップ」の 項目、半導体製造装置に関連する用語他を（そのまま、もしくは半導体といった用語を 追加した上で）用い、(独)科学技術振興機構（JST）「研究開発支援総合ディレクトリ （ReaD）」から研究者を検索した。 まず、多種多様なキーワードで東北地域の全大学の研究者を検索して試行錯誤をおこ なった。その結果をふまえ、調査方針として、大ざっぱな条件（キーワード）で検索す るのではなく、「必要十分ではなくても」「これはという人が数人」検索される条件を 設定することとし、次ページの 23 のキーワードもしくはキーワードの組み合わせを選定 した。 最終的に、東北大学と日本大学については、次ページの 23 のキーワードの組み合わせ で検索することとし、その他の大学については、同キーワードの組み合わせに加えて 「半導体」という用語単体での検索も行うこととした。 「研究開発支援総合ダイレクトリ（ReaD）」とは 産学官連携、研究成果の活用、および研究開発の促進に資することを目的とし て、国内の大学・公的研究機関等に関する機関情報、研究者情報、研究課題情 報、研究資源情報を網羅的に収集・提供している唯一のサイト。 平成 10 年 8 月 1 日から文部科学省国立情報学研究所により提供され、平成 14 年度からは(独)科学技術振興機構（JST）によって提供されている。 年１回、JST が研究者に対して調査票を送り、研究者の回答内容を基に更新と 新規登録を行っている。 http://read.jst.go.jp/ 71 図表 VI‑1 研究者検索に用いたキーワードの組み合わせ ＜全手法共通＞ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 キーワード（の組み合わせ） テスト 半導体 プロセス 半導体製造 薄膜 半導体製造 微細加工 半導体 精密加工 新技術 半導体製造 計測 半導体製造 装置 半導体製造 制御 半導体製造 搬送 半導体 搬送 製造 モジュール 半導体 SoC 半導体製造 マスク 半導体 製造 エンジニアリング 半導体製造 洗浄技術 表面処理 半導体 センサー 半導体 金属加工 プラズマ 半導体製造 真空 半導体製造 半導体製造装置 半導体製造 72 ◆調査結果 東北大学と日本大学については上記図表 VI‑1の 23 のキーワードの組み合わせで、そ の他の大学については、これらに「半導体」という用語単体も加えて、「研究開発支援 総合ディレクトリ（ReaD）」を大学毎に検索した結果、検索された研究者の延べ人数を 県別の表に示すと、下表の通りである。東北の全大学で検索された研究者は延べ 245 人 である。 なお、研究者の詳細な検索結果は、巻末の「参考資料」に掲載する。 図表 VI‑2 「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を用いた 大学における研究者の状況調査結果 キーワードの組み合わせ 1 テスト 2 プロセス 3 薄膜 4 微細加工 5 精密加工 6 新技術 7 計測 8 装置 9 制御 10 搬送 11 搬送 12 モジュール 13 SoC 14 マスク 15 製造 16 洗浄技術 17 表面処理 18 センサー 19 金属加工 20 プラズマ 21 真空 22 半導体製造装置 23 半導体製造 24 半導体 東北計 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 製造 半導体 半導体製造 半導体 エンジニアリング 半導体製造 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 延べ人数 5 9 7 10 10 1 4 10 8 4 5 6 8 9 2 2 12 18 16 4 3 4 11 77 245 青森 岩手 宮城 1 3 12 16 3 8 11 秋田 2 7 4 10 8 1 1 6 5 2 4 4 5 6 1 2 9 15 6 3 2 3 7 21 134 山形 福島 2 2 3 1 1 3 4 3 2 1 1 3 3 1 1 2 1 3 17 27 1 2 1 9 10 1 1 1 4 10 47 ◆調査結果の考察 上記で研究者が抽出された分野（キーワード）が、東北の大学において研究者が存在 する分野、すなわち大学における研究シーズが存在する分野であると捉えられる。 また、研究者調査の結果と、データベースアンケート調査結果から得る企業の「技術 分類」の集積状況を重ね合わせ、重なった分野（キーワードまたは「技術分類」）が、 東北にシーズが存在する分野であると捉えられる。 以上をふまえ、東北地域内の大学における研究者の状況について以下のことが言える。 ・東北地域の大学において研究シーズが存在するのは、「半導体センサ」、「金属加 工」、「半導体のテスト」に係る分野である。その他、「半導体の表面処理」、「精 密加工」、「微細加工」、「半導体マスク」についても研究シーズが存在する。また、 「半導体」デバイスに関しても豊富な研究シーズが存在している。 ・「企業情報ガイドブック作成のための調査」結果と重ね合わせると、東北は、民間企 業・大学共に、特に「金属加工」に関して豊富なシーズを有していることがわかる。 73 2)「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」を用いた検索 ◆調査手法 東北地域の国公私立の全大学を対象とし、国立情報学研究所「科学研究費補助金採択 課題・成果概要データベース」（以下、「科研費 DB」）から、科学研究費補助金に採択 された研究課題を大学毎に検索した。 具体的に、東北大学については、(独)科学技術振興機構（JST）「研究開発支援総合デ ィレクトリ（ReaD）」を用いた検索における調査手法で述べたのと同じ、図表 VI‑1の 23 のキーワードの組み合わせで、その他の大学については、同キーワードの組み合わせ に加えて「半導体」という用語単体でも検索した。 「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」とは 1965 年以降、文部科学省および日本学術振興会が交付する科学研究費補助金に より行われた研究の当初採択時のデータ（採択課題）と研究成果の概要（研究実 績報告，研究成果概要）を収録したデータベース（ただし、研究成果の概要は 1985 年以降採択分のみ）。 http://seika.nii.ac.jp/ ＊留意点 ・科研費 DB は、「人（研究者）の DB」ではなく、科研費を交付した「研究課題の DB」であるため、研究分野は、あくまで り、 当該研究課題が該当する研究分野 当該研究課題を研究した研究者の研究分野のうちの一つ であ でしかないという ことになる。 ・ReaD は「研究者の DB」であるため、一つのキーワード（研究分野）について研究 者は１回しか検索されないが、科研費 DB では、同じ研究者が一つの研究分野で複 数の研究課題に採択されている場合、何度も検索される。 ・科研費は、現状、旧帝国大学、首都圏の有名私立大学など特定の大学の研究者に多 く配分される傾向にあることから、東北大学以外の国立大学や、公立私立大学には、 あまり配分されていない可能性がある。 ・科研費 DB では、研究者の所属機関が、 採択 時点か 研究成果の概要 報告時 点になっていることから、現状とは異なる可能性がある（ReaD でも研究者自身が情 報を更新していなければ同様の可能性はあるが、科研費 DB の場合、古い採択分も 含めると、上記の可能性がより高い）。また、所属の記載方法が、ReaD と若干異 なっている。 74 ◆調査結果 東北大学については、上記図表 VI‑1の 23 のキーワードの組み合わせで、その他の大 学については、これらに「半導体」という用語単体も加えて、「科学研究費補助金採択 課題・成果概要データベース」を大学毎に検索した結果、検索された研究課題に参画し た研究代表者または研究分担者の延べ人数を県別の表に示すと、下表の通りである。東 北の全大学で検索された研究代表者または研究分担者は延べ 191 人である。 なお、研究に参画した民間企業の研究者は除いて数えている。詳細な検索結果は、巻 末の「参考資料」に掲載する。 図表 VI‑3 「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」を用いた 大学における研究者の状況調査結果 キーワードの組み合わせ 1 テスト 2 プロセス 3 薄膜 4 微細加工 5 精密加工 6 新技術 7 計測 8 装置 9 制御 10 搬送 11 搬送 12 モジュール 13 SoC 14 マスク 15 製造 16 洗浄技術 17 表面処理 18 センサー 19 金属加工 20 プラズマ 21 真空 22 半導体製造装置 23 半導体製造 24 半導体 東北計 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 製造 半導体 半導体製造 半導体 エンジニアリング 半導体製造 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 延べ人数 0 3 0 13 4 0 0 5 0 0 0 0 0 0 0 0 6 32 7 0 0 5 6 110 191 青森 岩手 宮城 秋田 山形 福島 3 13 1 3 5 3 19 19 22 25 6 29 6 1 5 5 14 87 3 4 51 51 1 1 5 ◆調査結果の考察 上記で研究課題が検索され、それに参画した研究者が多く存在する分野（キーワー ド）が、東北の大学において国の支援を受け、多くの研究者によって積極的に研究が行 われている分野、すなわち研究シーズが厚い分野であると捉えられる。 以上をふまえ、東北地域内の大学における研究者の状況について以下のことが言える。 ・東北地域の大学において研究シーズが厚い分野は、科研費補助金採択課題でみても、 「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」でみた場合と同様、「半導体センサ」 であり、次いで「微細加工」である。 ・その他、「金属加工」、「半導体の表面処理」、「半導体製造」、「精密加工」に おいても、研究シーズが見られ、科研費補助金採択課題でも「研究開発支援総合デ ィレクトリ（ReaD）」でも、同様の傾向がうかがえる。 ・なお、「半導体」デバイスに関して、圧倒的に豊富な研究シーズが存在している。 75 (2) 工業高等専門学校における研究者の状況 ①調査手法 1)「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を用いた検索 ◆調査手法 東北地域の工業高等専門学校を対象とし、東北地域の大学における研究者の状況の調 査手法で述べたのと同じ、図表 VI‑1の 23 のキーワードの組み合わせおよび「半導体」 という用語単体で、(独)科学技術振興機構（JST）「研究開発支援総合ディレクトリ （ReaD）」を工業高等専門学校毎に検索した。 ◆調査結果 図表 VI‑1の 23 のキーワードの組み合わせおよび「半導体」という用語単体で「研究 開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を工業高等専門学校毎に検索した結果、検索され た研究者の延べ人数を県別の表に示すと、下表の通りである。東北の全高専で検索され た研究者は延べ 31 人である。 なお、研究者の詳細な検索結果は、巻末の「参考資料」に掲載する。 図表 VI‑4 「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を用いた 工業高等専門学校における研究者の状況調査結果 キーワードの組み合わせ 1 テスト 2 プロセス 3 薄膜 4 微細加工 5 精密加工 6 新技術 7 計測 8 装置 9 制御 10 搬送 11 搬送 12 モジュール 13 SoC 14 マスク 15 製造 16 洗浄技術 17 表面処理 18 センサー 19 金属加工 20 プラズマ 21 真空 22 半導体製造装置 23 半導体製造 24 半導体 東北計 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体 2 1 0 0 3 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 4 1 2 0 0 0 0 17 31 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 製造 半導体 半導体製造 半導体 エンジニアリング 半導体製造 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 延べ人数 76 青森 岩手 宮城 秋田 山形 福島 1 1 1 2 1 1 3 1 1 2 1 2 1 1 8 13 2 7 2 2 3 6 ◆調査結果の考察 上記で研究者が抽出された分野（キーワード）が、東北の工業高等専門学校において 研究者が存在する分野、すなわち工業高等専門学校における研究シーズが存在する分野 であると捉えられる。 以上をふまえ、東北地域内の工業高等専門学校における研究者の状況について、以下 のことが言える。 ・東北の工業高等専門学校においては、半導体製造装置に関連する研究シーズはあま り多くは存在しないが、「半導体の表面処理」や「精密加工」において比較的研究 シーズの集積がみられ、大学と類似の傾向にある。 2)「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」を用いた検索 ◆調査手法 東北地域の工業高等専門学校を対象とし、国立情報学研究所「科学研究費補助金採択 課題・成果概要データベース」（以下、「科研費 DB」）から、東北地域の大学における 研究者の状況の調査手法で述べたのと同じ、図表 VI‑1の 23 のキーワードの組み合わせ および「半導体」という用語単体で、科学研究費補助金に採択された研究課題を工業高 等専門学校毎に検索した。 ◆調査結果 図表 VI‑1の 23 のキーワードの組み合わせおよび「半導体」という用語単体で「科研 費 DB」を工業高等専門学校毎に検索した結果、検索された研究課題に参画した研究代表 者または研究分担者の延べ人数を県別の表に示すと、下表の通りである。東北の全工業 高等専門学校で検索された研究代表者または研究分担者は延べ 12 人である。 なお、研究に参画した民間企業の研究者は除いて数えている。詳細な検索結果は、巻 末の「参考資料」に掲載する。 77 図表 VI‑5 「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」を用いた 工業高等専門学校における研究者の状況調査結果 キーワードの組み合わせ 1 テスト 2 プロセス 3 薄膜 4 微細加工 5 精密加工 6 新技術 7 計測 8 装置 9 制御 10 搬送 11 搬送 12 モジュール 13 SoC 14 マスク 15 製造 16 洗浄技術 17 表面処理 18 センサー 19 金属加工 20 プラズマ 21 真空 22 半導体製造装置 23 半導体製造 24 半導体 東北計 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 11 12 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 製造 半導体 半導体製造 半導体 エンジニアリング 半導体製造 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 延べ人数 青森 岩手 宮城 秋田 山形 福島 1 0 0 11 12 0 0 0 ◆調査結果の考察 上記で研究課題が検索され、それに参画した研究者が多く存在する分野（キーワー ド）が、東北の工業高等専門学校において国の支援を受け、多くの研究者によって積極 的に研究がおこなわれている分野、すなわち研究シーズが厚い分野であると捉えられる。 以上をふまえ、東北地域内の工業高等専門学校における研究者の状況について、以下 のことが言える。 ・東北地域の工業高等専門学校において研究シーズが厚い分野は、科研費補助金採択 課題でみると、ほとんど見られない。 ・ただし、宮城県において、「半導体」デバイスに関する研究シーズが存在している。 78 (3) その他の研究者検索データベース 上記では、(独)科学技術振興機構（JST）「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」 と国立情報学研究所「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」を用い、大学 および工業高等専門学校の研究者や研究課題を検索したが、その他の研究者検索データ ベースとしては、各大学が整備しているものなど下記のようなものがある。 ◆(財)21 あおもり産業総合支援センター「産学連携情報データベース検索」「試験研究 機関データベース検索」 http://www.21aomori.or.jp/platform/database/ 「産学連携情報データベース検索」は、県内の大学等で組織される連携機関の 8 機関 における研究者のデータベース。 「試験研究機関データベース検索」は、新事業支援機関の中で、研究開発支援機能を 持つ 18 機関における研究者のデータベース。 ◆弘前大学「弘前大学研究者情報」 http://db.jm.hirosaki‑u.ac.jp/res‑dir/soranindex.asp 弘前大学の教員の教育・研究・地域での活動等を紹介。随時，各教員が更新している。 ◆岩手大学「研究者案内」 http://univdb.iwate‑u.ac.jp/openmain.jsp 岩手大学の研究者について、経歴、研究分野、教育・研究業績、社会貢献活動などの 情報を公開。 ◆岩手県立大学「研究者関連情報」 http://www.iwate‑pu.ac.jp/kikaku/research/search.html 岩手県立大学の研究者を紹介。 ◆東北大学「東北大学研究者紹介」 http://db.tohoku.ac.jp/whois/ 東北大学の研究内容や研究者情報を紹介。 ◆宮城大学「宮城大学教員データベース」 http://db.myu.ac.jp/profdb/ 宮城大学に所属する教員の学職歴、講義、研究テーマ、論文、業績、社会貢献などの 情報を提供。 79 ◆秋田県「人材情報データベース」 http://search1.bic‑akita.or.jp/ 秋田県内の民間の専門家情報・公的機関の専門家情報や研究テーマなどを収録。 ◆秋田大学「秋田大学研究者総覧」 http://www.crc.akita‑u.ac.jp/researchers/index.html/ 秋田大学の研究者の専門分野、論文・著書、研究概要、学会・社会活動、研究成果、 技術相談・共同研究分野等を紹介。 ◆山形大学 「山形大学研究案内（教員紹介） http://syllabus‑pub.yz.yamagata‑u.ac.jp/ken/home.html 「山形大学研究者情報」 http://yudb.kj.yamagata‑u.ac.jp/index.jsp 山形大学の教員（研究者）とのその研究業績のデータベース。 ◆(財)福島県産業振興センター「福島県研究者データベース」 http://www.f‑open.or.jp/techno.com/kenkyudb/ 福島県内の研究者情報を公開。 ◆福島大学「研究者総覧データベース」 http://kenkyu.fukushima‑u.ac.jp/ 福島大学の研究者情報を提供。 80 ２．域内の公設試験研究機関における関連研究への取り組み状況 ◆調査手法 半導体等製造装置分野に関連する研究の実施状況と実施体制を域内の各県公設試験研 究機関に問い合わせて整理した。 ◆調査結果 図表 VI‑6 域内の公設試験研究機関における関連研究への取り組み状況 研究機関名 青森県工業総合研究センター 八戸地域技術研究所 所在地 〒039‑2245 青森県八戸市北インター工業団地 1‑4‑43 ＵＲＬ http://www.aomori‑tech.go.jp 半導体等製造装置に係るものづくり基盤技術に関する研究の実施状況と実施体制 ○熱歪の少ない接合技術の開発 ・内容：従来 TIG で行っていた金属板の溶接にレーザーを用いる事により、低歪化する ことを目的としている。 ・研究実施部署：機械システム研究部 ＋県内企業 ○セラミックス上金属薄膜と金属線の接合技術 ・内容：鉛高含有はんだで接合している金属薄膜と金属線との接合を、レーザーを用い て代替する研究開発。 ・研究実施部署：機械システム研究部 ＋県内企業 研究機関名 地方独立行政法人 岩手県工業技術センター 所在地 〒020‑0852 岩手県盛岡市飯岡新田３−３５−２ ＵＲＬ http://www.pref.iwate.jp/ kiri/ 半導体等製造装置に係るものづくり基盤技術に関する研究の実施状況と実施体制 ○新素材鋳鉄粉末を活用した高機能軽金属複合材料の開発（H15〜17） ・内容：溶射により軽金属表面に鋳鉄などの固体潤滑材料をコーティングする 軽くて耐久性に優れた材料を作る表面改質技術の開発 ・研究実施部署：材料技術部 ○次世代精密金型の高付加価値化技術の開発（H17） ・内容：有機ナノ薄膜形成によりサブミクロンオーダーの精巧な形状に 対応した金型離型技術の開発 ・研究実施部署：材料技術部 ○ZnO 単結晶基板の応用に関する研究(H18〜20) ・内容：ZnO 単結晶基板評価方法の確立と、SAW デバイス、圧力センサや光通信用光制御 素子など応用製品の開発 ○超小型 ZnO 紫外線センサの研究開発(H17〜18：地域新生コンソーシアム研究開発事業) ・内容：ZnO 単結晶基板を材料とした超小型紫外線センサの開発 81 ○高品質 As‑grownMgB2 膜を利用した高感度磁気センサ及び高周波フィルタ素子の開発 (H18〜20：JST 重点地域研究開発推進事業) ・内容：高い転移温度と優れた表面平坦性を有する高品質 MgB2 薄膜を作成し、簡便に取 り扱うことのできる高感度磁気センサと、小型で高精度の高周波用超伝導フィ ルタ素子の開発 ○表面プラズモンを利用した局所ラマン分光による半導体表面の微量分析(H18〜21： NEDO 産業技術研究助成事業) ・内容：従来の光学分光測定の空間分解能を超える表面プラズモンを利用した局所ラマ ン分光システムを構築し、半導体表面に吸着した微小なパーティクルの化学分 析 ○ZnO 系 LED を目指した高品質 ZnO 薄膜作製研究(H18：JST シーズ発掘試験) ・内容：ZnO 単結晶基板を利用した ZnO 系 LED 用薄膜作製の基礎研究を行い、良質な ZnO 単結晶薄膜を均一に高速で成膜する技術を開発 ・研究実施部署：上記は全て電子機械技術部 研究機関名 宮城県産業技術総合センター 所在地 〒981‑3206 宮城県仙台市泉区明通 2‑2 ＵＲＬ http://www.mit.pref.miyagi.jp/ 半導体等製造装置に係るものづくり基盤技術に関する研究の実施状況と実施体制 ○ ・ ・ ○ ・ ・ 高硬度材料の超精密鏡面研削加工技術 内容：焼入鋼やセラミックスなどの高硬度材料の、平面および自由曲面の超精密鏡 面研削加工技術を開発する。 研究実施部署：材料開発・分析技術部 微細切削加工技術の開発 内容：シリコンウエハなどの高脆材料、または焼入鋼やステンレス鋼などの高硬度 材料の、直径 1mm 以下の小径工具を用いた微細切削加工技術を開発する。 研究実施部署：材料開発・分析技術部 ○ 通電加熱焼結法（SPS）を用いた機能性多孔質体の開発 ・ 内容：原料粉末のサイズ、形状などを選定し、通電加熱焼結の諸条件を最適化する ことにより、用途に応じて気孔を任意に制御した多孔質体の開発。 本開発技術を用いることにより、薄い IC 基板に対してもダメ−ジのない搬送・加工 固定用の真空チャックなどへの応用が可能となる。 ・ 研究実施部署：材料開発・分析技術部 82 研究機関名 所在地 秋田県産業技術総合研究センター 高度技術研究所 あら や まちあざ さ ぬ き 〒010‑1623 秋田県 新 屋 町 字 砂奴寄4‑11 ＵＲＬ http://www.rdc.pref.akita.jp/ 半導体等製造装置に係るものづくり基盤技術に関する研究の実施状況と実施体制 ○半導体製造に関わる精密位置決めの研究 ・内容：高速・高精度位置決め用アクチュエータ及びシステムの研究開発 半導体産業において 65nm 以下の配線ピッチを実現するためには、3σ (位置精度が正規分 布状にばらついた場合、99.7%の確立) において 0.1nm の安定した位置決め精度と生産性を 向上させるために不可欠な高速な動作との両立が、製造及び検査装置には要求される。こ のような高速で高精度な位置決めを実現するため、積層型圧電素子の大きな発生力と高速 性を応用したアクチュエータと空気静圧軸受けと推力変動のないボイスコイルモータ (VCM： Voice Coil Motor)を組み合わせた動作領域の大きなアクチュエータ及びその制御 技術とシステム化の研究開発を行なっている。 1. 積層型圧電素子と変位拡大機構を用いた Nano‑motion Actuator の研究開発 最大変位：50µm，位置決め精度：0.1nm (3σ)，立ち上がり時間：40µs (1nm ステップ) [平成 12 年度採択：秋田県地域結集型共同研究事業 次世代磁気記録技術と脳医療応用 技術開発 ] 2. 直動型空気静圧軸受けと VCM を組み合わせた Linear actuator の研究開発 最大変位：100mm，位置決め精度：0.1nm (3σ)，立ち上がり時間：27µs (1nm ステップ) [平成 16 年度採択：地域新生コンソーシアム研究開発事業 高速・ナノスキャニングス テージの開発 ] Damping mechanism [Restricting plat & Viscoelastic material] Layered Piezoelectric element Elastic hinge Motion 30.5 mm 40.0 mm Lever mechanism Parallel spring Fig. 2 100mm stroke stage assembly [NFS101-1] Fig. １ Structure of nano-motion actuator [NMA-k501] ・研究実施部署：垂直磁気記録開発グループ メカニクスチーム 83 研究機関名 山形県工業技術センター 所在地 〒990‑2473 山形県山形市松栄二丁目 2‑1 ＵＲＬ http://www.yrit.pref.yamagata.jp 半導体等製造装置に係るものづくり基盤技術に関する研究の実施状況と実施体制 ○新素材の超精密加工技術の開発 ・内容：サファイア等の高品位溝加工技術、光学ガラス、金型等の超精密曲面加工技 術、計測技術及び工具の成形技術を開発する。 ・研究実施部署：超精密技術部 ○高精細加工技術の開発 ・内容：石英ガラスなど硬脆材料の極小径深穴加工、並びにφ数百ミクロン程度の微細 な三次元立体形状加工技術を開発する。 ・研究実施部署：超精密技術部 ○光へテロダイン計測法を用いた超精密加工支援技術の開発 ・内容：加工中にワークと工具の距離を計測するため、光ヘテロダイン法を用いた非接 触距離計測装置を試作する。 ・研究実施部署：電子情報技術部 ○機上ウェハ厚計測原理の開発 ・内容：半導体ウェハ厚さの精密測定技術を確立し、誤差 1µm 以内を達成する。 ・研究実施部署：電子情報技術部 ○低コヒーレント光計測用 MEMS デバイスの開発 内容：MEMS 技術を応用して、光干渉計用の小型で低コストな光学デバイスを開発する。 ・研究実施部署：電子情報技術部 研究機関名 福島県ハイテクプラザ 所在地 〒963‑0215 福島県郡山市待池台 1‑12 ＵＲＬ http://www.fukushima‑iri.go.jp 半導体等製造装置に係るものづくり基盤技術に関する研究の実施状況と実施体制 ○液晶用ディンプル型反射板の製造方法の開発(平成 16〜17 年度) ・内容：半透過型液晶パネル用の理想的な反射特性を持つ内面拡散反射板の製造技術に ついて、高速ミーリングにより、反射板表面に微細なディンプルパターンを形 成する方法を検討した。 ・研究実施部署：研究開発部プロセス技術グループ、県内企業３社 ○マイクロ構造を持つ微細プラスチック部品成形技術の開発 ・内容：フォトリソグラフィーとめっきによるマイクロメートル台の微細構造を持つ金 型製造技術を開発。アクリル樹脂の射出成形により医療用分析用マイクロ流路 を試作。 ・研究実施部署：研究開発部プロセス技術グループ 県内企業２社 84 ３．域内の産学官連携・ものづくり人材育成の状況 (1) 域内の産学官連携の状況 域内のものづくり中堅・中小企業の産学官連携の実績を、「ものづくり中堅・中小企業 への調査」からみると、東北大学、岩手大学、山形大学等との連携実績が多くなっており、 今後についても、これらの大学等との連携に対する希望が多くみられる（図表 VI‑7、図 表 VI‑8）。 図表 VI‑7 域内ものづくり中堅・中小企業の産学官連携先（実績） 大学名 件数 東北大学 岩手大学 山形大学 弘前大学 秋田大学 東北学院大学 いわき明星大学 岩手県立大学 八戸工業大学 福島大学 日本大学 19 14 11 4 3 3 2 2 3 2 2 機関名 福島県ハイテクプラザ 岩手県工業技術センター 宮城県産業技術総合センター 青森県工業総合研究センター 八戸地域技術研究所 秋田県産業技術総合研究センター 山形県工業技術センター 件数 4 3 2 1 1 1 資料：東北経済産業局「ものづくり中堅・中小企業の企業情報ガイドブック調査」 図表 VI‑8 域内ものづくり中堅・中小企業の産学官連携先（今後の希望） 大学名 東北大学 岩手大学 山形大学 福島大学 いわき明星大学 件数 10 7 3 2 1 資料：東北経済産業局「ものづくり中堅・中小企業の企業情報ガイドブック調査」 85 域内の産学官連携の取組の中から、以下にいくつかの事例を示す。 ①東北大学 大見忠弘教授研究室 東北大学未来科学技術共同研究センターの大見忠弘教授は、複数の国の先導的開発計画 のプロジェクトリーダーとして、多数の企業と連携しながら技術開発を進めている。 また、大見教授は、ラジカル反応ベース製造装置プロジェクトについて、モジュール型 連携体制をとっており、これは東京エレクトロンを核に、プロジェクトに必要な部品、材 料、表面処理、計測、制御を担当する企業を大学が技術指導をするものである（図表 VI‑9）。 図表 VI‑9 東北大学大見忠弘教授による産学連携の取り組み 【先端的開発計画一覧】 プロジェクト名 高効率次世代 半導体製造シス テム技術開発 （ＨＡＬＣＡ） 内容 ・１装置複数プロセス処理技 術 ・プロセス工程の大幅削減化 ・省エネルギー技術 高効率半導体 製造プロセス基 盤技術開発 マイクロ波励起 高密度プラズマを 用いた省エネ型 半導体製造装 置の技術開発 ・大口径・高密度プラズマ処 理装置開発 ・ＲＬＳＡプラズマによる窒化 装 置 、 High-K 膜 形 成 装 置、Low-k 膜形成装置、 ＲＩＥ装置開発 参画企業 14 社 東芝、ソニー、シャープ、ローム、セイコー エプソン、東京エレクトロン、荏原製作 所、ＵＬＶＡＣ、大日本スクリーン製造、 三洋電機、清水建設、大林組、大成建 設、トヨタ自動車 1社 東京エレクトロン 備考 2001 年 8 月〜 2004 年 3 月 82.2 億円 （うち民間 65 億 円） 1社 東京エレクトロン 2002〜2005 年 度 34.5 億円 1999 年度 15 億円 【ラジカル反応ベース製造装置プロジェクトモジュール型連携体制】 北陸成型工業 北陸成型工業 シャワープレート シャワープレート 精密加工 精密加工 三菱化学 三菱化学 アルミチャンバ内表面 アルミチャンバ内表面 の不動態化処理 の不動態化処理 シーアイエム シーアイエム 高効率温度制御 高効率温度制御 システム システム 日本軽金属 日本軽金属 アルミ−マグネシウム− アルミ−マグネシウム− ジルコニウム入りアルミ ジルコニウム入りアルミ 住友金属工業 住友金属工業 アルミ入り アルミ入り ステンレス ステンレス 日本セラテック 日本セラテック セラミック セラミック シャワープレート シャワープレート オムロン オムロン トータルシステム制御 トータルシステム制御 ソフトウェア ソフトウェア ニチアス ニチアス 低ガス透過性 低ガス透過性 樹脂チューブ 樹脂チューブ 東京エレクトロン 東京エレクトロン 装置全体システム 装置全体システム 浜松ホトニクス 浜松ホトニクス 重水素ランプによる 重水素ランプによる プラズマ着火システム プラズマ着火システム 豊田自動織機 豊田自動織機 真空ポンプの量産 真空ポンプの量産 コンプレッサの開発・量産 コンプレッサの開発・量産 大亜真空 大亜真空 全てのガス種に対して同じ排気性能 全てのガス種に対して同じ排気性能 を持ちパージガス量の少ないポンプ を持ちパージガス量の少ないポンプ 連携 ステラケミファ ステラケミファ 金属表面の 金属表面の CF膜処理 CF膜処理 日本バルカー 日本バルカー オーリング オーリング （PTFE、金属） （PTFE、金属） 宇部興産 宇部興産 液体金属ガスソース 液体金属ガスソース フッ素回収反応剤 フッ素回収反応剤 日本高周波 日本高周波 マイクロ波 マイクロ波 電力供給システム 電力供給システム 日本ゼオン 日本ゼオン 新しい特殊ガス 新しい特殊ガス フジキン フジキン 集積化ガス供給・排気 集積化ガス供給・排気 パネル パネル サイペック サイペック 大気遮断 大気遮断 ウェットプロセス ウェットプロセス ダイキン工業 ダイキン工業 耐プラズマ性・耐熱性 耐プラズマ性・耐熱性 低脱ガス性0リング 低脱ガス性0リング 大陽日酸 大陽日酸 クリプトン（Kr）／キセノン（Xe） クリプトン（Kr）／キセノン（Xe） 回収循環供給装置 回収循環供給装置 東京カソード研究所 東京カソード研究所 異常放電抑止システム 異常放電抑止システム 資料：大見忠弘（東北大学）「半導体製造技術開発における産学官連携」『国際特許流通フォーラム 〔オープニングフォーラム〕』（2006 年 1 月 23 日）より作成 86 ②青森県 青森県地域結集型共同研究事業 青森県地域結集型共同研究事業では、東北大学の内田龍男教授を研究統括として、大画 面フラットパネルディスプレイの創出をテーマにした「高性能表示素子の開発研究」「薄 膜トランジスタ基幹技術の創出」の研究を行っており、半導体のみならず液晶関連分野で の産学官連携にまで広がりがある（図表 VI‑10）。 図表 VI‑10 青森県地域結集型共同研究事業の概要 資料：青森県地域結集型共同研究事業ホームページ 87 ③山形県 超精密加工テクノロジープロジェクト推進事業 山形県では、超精密加工テクノロジープロジェクト推進事業として、超精密加工テクノ ロジーセンターを拠点とした産学官共同研究を進めるとともに、金型・精密加工技術研究 会との連携による関連企業の技術指導等による成果の普及等を行っている（図表 VI‑11）。 高精細加工技術、新素材超精密加工技術、非接触・加工機上計測をテーマとして掲げてお り、加工技術から計測技術までを総合的にカバーした取り組みになっている。 図表 VI‑11 山形県 超精密加工テクノロジープロジェクト推進事業 【目 的 】 県内の製造品出荷額が多い電気機械や一般機械等の「ものづくり産業」において、今後の成長分野 を支える技術競争力を強化するため、超精密加工技術の精度をナノレベルまで高めて技術基盤の形成 を図る。 【手 段 、手 法 】 ①超精密加工テクノロジーセンター（H16.4 開所：工業技術センターが運営）を拠点として、新規分野 の製品開発のため、県内企業や大学等研究機関との産学官共同研究を進める。 ②金型・精密加工技術研究会(H13.6 設立)と連携し、技術指導等により関連企業への普及を図 る。 ③事業期間は平成 15〜18 年度。なお、超精密加工技術の企業への更なる成果普及及び製品開 発支援のため、平成 19 年度からも事業を実施する予定。 【概 要 】 (1) 「高精細加工技術の開発」 複雑な形状の材料をナノレベルの精度で加工できる技術開発を行 う。 ・硬脆材料の小径深穴加工(H15〜16 年度国庫補助事業採択)。微細三次元立体形状加工。 (2) 「新素材、脆性材料等の超精密加工技術の開発」 加工が困難な材料の加工を可能にする技 術開発を行う。 ・石英ガラスやサファイヤ等の高品位溝加工。セラミックス、超硬合金等の自由曲面加工。 (3) 「光ヘテロダイン計測法を用いた超精密加工支援技術の開発」 非接触・加工機上計測の技術 開発を行う。 ・工具等の摩耗を加工中に非接触で計測する装置開発。 (4) 公募型研究開発事業の採択 ①・地域新生コンソーシアム研究開発事業〔ものづくり革新枠〕：平成 17 年度〜「次世代情報家電･ 自動車用高度部材の生産技術の開発」(機上形状計測の原理と計測装置開発) ② NEDO「産業技術研究助成事業」：平成 18 年度〜 「CNT 複合めっき被膜を用いた高性能・高寿命電着工具の開発」 ③ JST 研究成果活用プラザ宮城「事業化可能性試験」：平成 18 年度 「放電加工用低消耗・微細形状電極の開発」 （次頁に実績・成果） 88 【実 績 ･成 果 】 平 成 15 年 度 「超 精 密 加 工 テクノロジーセンター」整 備 、超 精 密 加 工 機 ・ 測 定 機 11 機 種 新 設 年度 成果普及 H16 ・共同研究 8 件 ・ORT 研修 8 人 ・製造企業技術者研修 2 テーマ 13 人 H17 ・共同研究 9 件(地域コンソ含) ・ORT 研修 11 人 ・製造企業技術者研修 4 テーマ 112 人 H18 ・共同研究 10 件予定 (地域コンソ含) ・ORT 研修 9 人予定 ・製造企業技術者研修 4 テーマ 107 人 (1) 高 精 細 加 工技術 ・石英ガラスの微細穴加工 (直径 0.1 ㎜、深さ 2 ㎜) ・光学素子成形用金型の試 作加工 ・セラミックスの小径深穴加工 (直径 0.1 ㎜) 加工工具の特許を共同出願 ・微細な三次元立体形状加工と して回折格子用金型等を試作 ・石英ガラス等に微細な曲線 溝加工技術を確立する ・加工面粗さ 10nm､形状精 度 50nm 以下の微細形状 精密金型を実用化する (2) 新 素 材 超 精密加工技 術 ・光学ガラスの微細角溝加工 による島残し加工 (0.1×0.1 ㎜角×1.2 ㎜高さ) ・天体望遠鏡用反射鏡など 曲面加工技術を確立 ・角溝加工をより高精度化にする 砥石成形技術を確立 ・超砥粒砥石の高精度Ｒ成形技 術及び高硬度材の曲面加工技 術(加工面粗さ 20nm)を確立 ・サファイヤ等に欠けやバリのな い溝加工を確立する ・金型材料等の自由曲面加 工で加工面粗さ 10nm､形 状精度 50nm を目指す (3)非接触・加 工機上計測 ・計測装置の実験機試作によ る精度検証、小型化検討 ・機上搭載可能な小型計測装 置試作、実機上での計測実験 ・加工装置上計測により加工 精度の向上を実証する ※ORT（On the Research Training の略。職員によるマンツーマン研修） 資料：山形県 89 ④地域新生コンソーシアム研究開発事業 平成 9 年度から推進されている経済産業省の地域新生コンソーシアム研究開発事業にお いて、域内では、半導体製造装置等関連で以下のような産学官連携の研究開発が実施され ている（図表 VI‑12）。 図表 VI‑12 東北地域内の半導体製造装置関連の地域新生コンソーシアム研究開発事業 プロジェクト名 （管理法人） ［委託期間］ 小型超高精細液晶ディスプレイの開発 （（財）２１あおもり産業総合支援センター） ［平成１８〜１９年度］ 液晶用高品位内面拡散板製造法の開発 （（財）福島県産業振興センター） ［平成１８〜１９年度］ 次世代光ディスク対応球面収差補正液晶 デバイスの開発と実用化 （財団法人あきた企業活性化センター） ［平成１７〜１８年度］ 総括研 究代表 者 (財)２１あ おもり産 業総合 支援セン ター (株)アン デスインテ ック 秋 田 大 学 工 学 資 源 学 部 研究実施機関 東芝メディア機器(株)、東北大学、弘前大学、東北化学 薬品(株)、アンデス電気(株)、エーアイエス(株)、メルコ・ディ スプレイ・テクノロジー(株)、青森県工業総合研究センター、 八戸工業高等専門学校、(財)ＮＨＫエンジニアリングサービ ス、三鷹光器(株)、(株)エルグベンチャーズ 福島県ハイテクプラザ、(株)アンデスインテック、フガク工機 (株)、パーフェクトン(株) 秋田大学、秋田県立大学、秋田工業高等専門学校、秋 田県産業技術総合研究センター、(株)大久保製作所、三 共光学工業(株)、(株)アキタ電子システムズ、比内時計工 業(株) 次世代高機能ＳｉＣを用いた半導体製造装 置・高精度部品の開発 （（株）インテリジェント・コスモス研究機構） ［平成１７〜１８年度］ 超小型ＺｎＯ紫外線センサの研究開発 （財団法人いわて産業振興センター） ［平成１７〜１８年度］ ※VI．２．にも掲載 半導体用超高純度鉄の開発 （(財)青葉工学振興会） ［平成１４〜１５年度］ 超安定・超精密非球面加工システムによる 光学素子創成の高精度化 （(株)ＩＣＲ） ［平成１３年度］ 次世代短波長光リソグラフィーを実現する 新真空紫外域光学材料の開発 （(株)ＩＣＲ） ［平成１２〜１４年度］ パラレル研削方式による高精度非球面光 学素子創成技術の研究開発 （(株)ＩＣＲ） ［平成１１年度］ 日本ファ インセラミ ックス(株) 日本ファインセラミックス(株)、東北セラミック株式会社、(株) 仙台ニコン、東北大学、横浜国立大学、宮城県産業技 術総合センター 岩手県 工業技 術セン ター 東北大 学 岩手大学、岩手県工業技術センター、(株)岩手情報シス テム、(有)ライトム 東北大 学大学 院 東北大学、(株)仙台ニコン、オリンパス光学工業(株)、オリ ンパス光電子(株) 東北大 学金属 材料研 究所 東北大 学大学 院工学 研究科 東北大学金属材料研究所、(株)トーキン、(株)システム サービス、(株)日本結晶光学、岡崎国立共同研究機構 分子科学研究所、電子技術総合研究所 ナノ微細構造を有する酸化物半導体薄膜 による超高度光触媒の開発 （(株)八戸インテリジェントプラザ） ［平成１１年度］ 高密度半導体実装のための単分散球型ハ ンダ粒子の作製に関する研究 （(財)青葉工学振興会） ［平成１０年度］ アンデス 電気(株) 東北大 学大学 院工学 研究科 東北大学多元物質科学研究所、ソニー(株)、ソニー宮城 (株)、(株)立花理工、(株)田中化学研究所 東北大学大学院工学研究科、防衛大学校、宮城県産 業技術総合センター、山形県工業技術センター、(株)リー ド開発研究所、ミクロン精密(株)、(株)東京ダイヤモンド工 具製作所仙台工場、リコー光学(株)、(株)仙台ニコン、オリ ンパス光電子(株)会津事業所、機械技術研究所 青森県産業技術開発センター、青森県機械金属技術研 究所、八戸工業高等専門学校物質工学科、(株)八戸イ ンテリジェントプラザ、アンデス電気(株) 東北大学大学院工学研究科、(株)真壁技研、(有)システ ムリーズン 90 (2) ものづくり人材育成の状況 域内では、大学と企業との連携による「産学連携製造中核人材育成事業」や、工業高等 専門学校と企業との連携による「高等専門学校等を活用した中小企業人材育成事業」（以 上、経済産業省事業）をはじめ、企業との連携等によるものづくり人材の育成事業が進め られている（図表 VI‑13、図表 VI‑14）。 域内で進められているものづくり人材育成事業のうち、以下にいくつかの事例を示す。 ①半導体・ディスプレイ産業における次世代中核人材育成事業 東北大学の未来情報産業研究館を核として進められている「半導体・ディスプレイ産業 における次世代中核人材育成事業」では、半導体・ディスプレイ産業の国際競争力を強化 するために、極めて高度な技術を幅広く身につけ、製造現場でそれを駆使でき、全体最適 を遂行できる志あるリーダーの育成を目指している。1 年間のインターンシップを中心に 集中・定期講義と実技講習を実施しており、講義では、 礎知識 、 製造装置･製造プロセスを含む生産技術知識 産性で稼動させる施設運用知識 半導体･ディスプレイ工学の基 、そして 製造現場を高い生 を教え、実技講習により確実に身につけるように人材育 成を行っている。 ②自己革新型ものづくり企業群育成に必要な重層的産業人材育成事業 岩手大学と岩手県・山形県の企業が連携して進めている「自己革新型ものづくり企業群 育成に必要な重層的産業人材育成事業」では、情報家電、自動車産業等を支える高度部材 の製造・供給等の役割を担う「地域ものづくり企業」群が、中国企業等の追随から常に一 歩先行し続ける「自己革新型ものづくり企業」群へと変革をとげるために必要となる「技 術・研究開発人材」、「製造現場マネージメント人材」を効果的に育成するためのカリキ ュラム及びプログラムの開発等が行われている。 具体的には、「技術・研究開発人材」育成のため、岩手大学大学院工学研究科に金型・ 鋳造専攻コースが新設され、金型・鋳造分野の人材を育成している。また、岩手大学では、 金型、鋳造、複合機能デバイスに関する研究開発を行う「複合化ものづくり研究開発セン ター」を設置することにより、北上川流域の基盤技術の高度化を目指し、地域の産業支援 機関と連携して、研究開発活動に加えて人材育成に取り組んでいる。 一方、「製造現場マネージメント人材」育成のため、金型分野、情報通信機械分野の人 材を育成する。金型分野では、地域の企業にアルプス電気の金型研修施設を開放して、人 材育成事業を実施している。また、情報通信機械分野では、米沢地域の企業が共同で研修 事業を実施している。 91 図表 VI‑13 ものづくりにかかる人材育成事業［①大学との連携型］ ▲ＦＰＤ関連次世代技術者養成ユニット事業 管理法人：八戸工業大学 委託費：（H18〜H22）約50,000千円／毎年 ●自己革新型ものづくり企業群育成に必要な重層的産業 人材育成事業 管理法人：（財）東北産業活性化センター 再委託先：岩手大学・アルプス電気㈱・ 米沢商工会議所 委託費：（H17）72,394千円、（H18）75,000千円 推進指導者：岩渕教授（岩手大・金型） 、堀江教授（岩手 大・鋳造）、山形大（生産革新、高密度実装） ●半導体・ディスプレイ産業における次世代中核人材育成 管理法人：㈱ﾃｸﾉﾛｼﾞｰ・ｱﾗｲｱﾝｽ・ｸﾞﾙｰﾌﾟ 再委託先：東北大学 委託費：（H17）42,794千円、（H18）37,000千円 推進指導者：大見教授（東北大・半導体製造プロセス全般 ◆次世代産業基盤となるMEMS（微小電気機械ｼｽﾃﾑ）関 連産業人材育成システム 管理法人：㈱ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ･ｺｽﾓｽ研究機構 委託費：(H18） 48,553 千円、〜H19を予定 推進指導者：桑野教授、江刺教授（東北大） ☆日本大学工学部マイスターカレッジ教育プログラム 管理法人：日本大学工学部 委託費：（H18）8,000千円 推進指導者：藤原教授（日大・材料加工全般） ●は平成１７年から実施（経産省事業） ◆は平成１８年から実施（経産省事業） ▲は平成１８年から実施（文科省事業） ☆は平成１８年のみ実施（福島県事業） ◆次世代医療関連産業中核人材育成のための実践的教 育システム 管理法人：東北大学 委託費：（H18）56,700千円、〜H19を予定 推進指導者：山口教授（東北大・ﾊﾞｲｵﾛﾎﾞﾃｨｸｽ） 資料：東北経済産業局資料より作成 図表 VI‑14 ものづくりにかかる人材育成事業［②高専や工業高校との連携型］ ◆北上川中流域における自動車関連産業力強化に対応 する組込ソフト・品質管理(材料・分析技術・加工・品質管 理)技術に関するプログラム 管理法人：（財）岩手県南技術研究センター 委託費：（H18）10,120千円 推進指導：一関工業高等専門学校 ◆八戸地域におけるCAD/CAMエキスパートの育成プロ グラム 管理法人：㈱八戸インテリジェントプラザ 委託費： （H18）11,186千円 ◇北上川流域ものづくりネットワーク事業 主体：地元企業団体、岩手県、岩手大学、一関高専、黒 沢尻工業高校等 事業：技術者・技能者を小中学校へ派遣する「ものづくり 教育」支援事業 工業高校の生徒と教諭の技能向上支援事業 ◆仙台・宮城地域における製品材料の評価技術、 省エネルギーのための空調開発と性能検証、組込 システム設計・開発に係るPBLによる問題解決型人 材育成プログラム 管理法人：（財）みやぎ産業振興機構 委託費：（ H18）17,353千円 推進指導：宮城工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 推進指導：八戸工業高等専門学校 ◇山形県置賜地域の取り組み ①長井工業高校 主体：長井工業、地元企業団体、山形大、長井市等 事業：ＮＡＧＡＩロボットプロジェクト（平成８年以降、地域 と企業が一体となり、次の時代に対応できるもの づくり人材育成に継続して取り組む） ②米沢工業高校 主体：米沢工業、地元企業団体（米沢ＢＮＯ）、山形大、 米沢商工会議所等 事業：地域が求める高度な技術を身に付けた実践力の ある工業技術者を育成するために専攻科を設置 （企業から第一線で活躍する講師を招聘。長期の 企業研修を実施。） ◇福島県ものづくり人財育成支援事業（調査） 主体：福島県 目的：半導体関連産業を中心として、大企業・中小企業 との工業高校とが相互連携により、高度なものづく り人財を育成する ◆は平成１８年から実施（経産省事業） ◇は工業高校を核として市や地域企業、県が 地域の力を結集して実施 資料：東北経済産業局資料より作成 92 VII．東北地域の半導体等製造装置関連分野のネットワークの現状 １．半導体等製造装置メーカーと域内のものづくり中堅・中小企業のネ ットワーク状況 東京エレクトロン東北は、多数の協力会社と取引をしているが、域内では 40〜50 社の 協力会社と取引がある。ガスデリバリシステム、ヒータ関連のエレメント、材料等のウエ イトが大きく、その後、板金、機械加工等が続いている。 また、アルバック東北は、八戸地域を中心に協力会社と取引をしているほか、日本マイ クロニクスも域内の協力会社と取引ネットワークを形成している。 半導体等製造装置メーカーは、域内のものづくり中堅･中小企業との取引ネットワーク を拡げたい意向はあるが、きっかけが掴めない状況にある。 ２．半導体等デバイスメーカーと半導体等製造装置メーカーのネット ワーク状況 域内には、半導体等デバイスメーカーの工場が集積しており、秋田エルピーダメモリ、 岩手東芝エレクトロニクス、富士通、NEC 山形、東北エプソン等の有力企業が事業を展開 している（図表 VII‑1、図表 VII‑2）。 域内の半導体等デバイスメーカーと半導体等製造装置メーカーの関係についてみると、 東京エレクトロン東北、アルバック東北、日本マイクロニクス青森工場等は、関連装置業 界のトップメーカーとして、欧米やアジアのグローバルプレイヤーに装置を売り込んでお り、域内のデバイスメーカーとも取引がある。 また、地場装置メーカーについてみると、エムテックスマツムラ等の後工程関連装置 メーカーは、域内のデバイスメーカーの後工程工場との密な取引ネットワークがある。一 方、インスペックの顧客は九州が中心であり、ハイメカも域内に取引先を求めず、域外と の柔軟な取引ネットワーク化を図っており、域内デバイスメーカーとの取引ネットワーク の構築が課題となっている。 93 図表 VII‑1 域内の半導体等デバイスメーカー拠点の所在地 no 県名 1 青森県 2 3 岩手県 企業・事業所名 住所 (株)ルネサス北日本セミコンダクタ 津軽工場 青森県 五所川原市 大字漆川字鍋懸１５６ （株）ルネサスハイコンポーネンツ 青森県北津軽郡鶴田町大字山道字小泉２７５ 岩手東芝エレクトロニクス（株） 岩手県北上市北工業団地６−６ 富士通（株） 岩手工場 岩手県胆沢郡金ヶ崎町西根森山４−２ 5 アムコー岩手（株） 岩手県北上市北工業団地６−６ 6 （株）ミスズ工業 岩手工場 岩手県北上市北工業団地１−１５ 7 （株）ミズサワセミコンダクタ 岩手県奥州市水沢区水沢工業団地１−１５ 富士写真フイルム（株） 旧富士フイルムマイクロデバイス泉事業所 宮城県仙台市泉区明通３−２−６ 4 8 宮城県 9 ソニー白石セミコンダクタ（株） 宮城県白石市白鳥３−５３−２ 10 東北セミコンダクタ（株）（TSC） 宮城県仙台市泉区明通３−３−１ 11 宮城沖電気（株） 宮城県黒川郡大衡村沖の平１ 12 あさひ電子（株） 宮城県石巻市須江字関ノ入１３−２ 13 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ （株）宮城工場 宮城県柴田郡村田町大字村田字西ヶ丘１−１ 14 富士写真フイルム（株） 旧富士フイルムマイクロデバイス本社工場 宮城県黒川郡大和町松阪平１−６ 15 NEC液晶テクノロジー(株) 旧秋田日本電気（株） 秋田県秋田市御所野下堤３−１−１ 16 秋田県 （株）秋田新電元 飛鳥工場 秋田県由利本荘市土谷字前田３９−１ 17 （株）秋田新電元 本社・大浦工場 秋田県由利本荘市大浦字上谷地１１４−２ 18 （株）秋田新電元 大内工場 秋田県由利本荘市葛岡字上野１１０−１ 19 秋田エルピーダメモリ（株） 秋田県秋田市雄和石田字山田８９−２ 20 21 山形県 光山電気工業㈱ 秋田工場 秋田県大仙市泉町４−５２ 東北エプソン（株） 酒田事業所 山形県酒田市十里塚字村東山１６６−３ 22 NEC山形 鶴岡工場 山形県鶴岡市宝田１−１４−３８ 23 スタンレー電気（株） 山形工場 山形県鶴岡市大字大法寺字日本国２７１−６ 24 山形サンケン（株） 山形県東根市大字東根甲５６００−２ 25 （株）東根新電元 山形県東根市大字東根甲５６００−１ 26 （株）ルネサス北日本セミコンダクタ 米沢工場 山形県米沢市大字花沢字八木橋東１４５-１ 27 ASEジャパン（株） 山形県東置賜郡高畠町大字入生田１８６３ 28 （株） スタンレー鶴岡製作所 本社工場 山形県鶴岡市渡前字大坪４５ 29 （株）新庄エレメックス 山形県新庄市福田７１１−３６ 30 エムテックスマツムラ（株） 尾花沢事業所 山形県尾花沢市大字尾花沢 山形電子（株） 高畠工場 山形県東置賜郡高畠町大字根岸３０４−１ 31 32 福島県 福島サンケン（株） 福島県二本松市宮戸１５ 33 日立原町電子工業（株） 原町工場 福島県南相馬市原町区下太田字小原２０ 34 Spansion Japan（株） 会津事業所 福島県会津若松市門田町工業団地６ 35 富士通（株） 会津若松工場 福島県会津若松市門田町工業団地３ 36 オン・セミコンダクタ・テクノロジー（株） 会津工場 福島県喜多方市塩川町小府根字大谷地１ 37 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ （株） 本社会津工場 福島県会津若松市高久工業団地１ 38 （株）国見メディアデバイス 福島県伊達郡国見町大字山崎字北町田３ 39 アルス電子（株） 福島県安達郡本宮町字名郷７ 40 （株）坂下マイクロエレクトロニクス工業 福島県河沼郡会津坂下町塔寺字経塚２４９３−１ 注：2007 年 4 月から秋田日本電気（株）は、NEC 液晶テクノロジー(株)になる。 資料：産業タイムズ社「半導体産業計画総覧 2006‑2007 年版」及び東北経済産業局調べにより作成 94 図表 VII‑2 域内の半導体等デバイスメーカー拠点の機能 no 県名 1 青森県 (株)ルネサス北日本セミコンダクタ 津軽工場 その他 ウエハ製造 （株）ルネサスハイコンポーネンツ 後工程工場 小信号トランジスター、パワートランジスター、リニアＩＣ、高周波モジュール 岩手県 岩手東芝エレクトロニクス（株） 前工程工場 MCU、メディアプロセッサー、RISC型MPU、CMOSイメージセンサー （Dynastron）、パワーMOSEFT、LCDドライバーICほか 2 3 企業・事業所名 機能 生産品目 4 富士通（株） 岩手工場 前工程工場 フラッシュ組込MCU、ロジックLSI、FRAMなど 5 アムコー岩手（株） 後工程工場 QFP、SOP、DIP、CCDⅡ、CCDⅢ、セラミック、フリップチップ、WLCSPなど 6 （株）ミスズ工業 岩手工場 後工程工場 TCP（TAB）部品、時計部品 7 （株）ミズサワセミコンダクタ 後工程工場 ASICなどMOSロジック組み立て 富士写真フイルム（株） 旧富士フイルムマイクロデバイス泉事業所 一貫工場 CCD 半導体レーザー、カプラー 8 宮城県 9 ソニー白石セミコンダクタ（株） 一貫工場 10 東北セミコンダクタ（株）（TSC） 前工程工場 フラッシュメモリー混載MCU、アナログ混載MCU、マイクロプロセッサーやMEMS 11 宮城沖電気（株） 前工程工場 メモリー、ASICなど 12 あさひ電子（株） 後工程工場 バイポーラIC組み立て・検査など 13 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ （株）宮城工場 後工程工場 BGA、FBGA、PBGA、SiP 14 富士写真フイルム（株） 旧富士フイルムマイクロデバイス本社工場 後工程工場 CCDモジュール組み立て NEC液晶テクノロジー(株) 旧秋田日本電気（株） 一貫工場 業務用LCD 16 （株）秋田新電元 飛鳥工場 前工程工場 一般ダイオード、サイリスタ 17 （株）秋田新電元 本社・大浦工場 後工程工場 高速ダイオード、ブリッジダイオード、サージ防護用サイリスタ、汎用サイリスタ、ト ランジスター、MOSFET、ハイブリッドIC 18 （株）秋田新電元 大内工場 後工程工場 面実装ダイオード、高速ダイオード、ブリッジダイオード、DC/DCコンバータ 19 秋田エルピーダメモリ（株） 後工程工場 最先端後工程技術開発、最先端パッケージ製造 20 光山電気工業㈱ 秋田工場 その他 厚膜・薄膜ハイブリッドIC 15 21 秋田県 東北エプソン（株） 酒田事業所 一貫工場 LCDドライバー、ASSP、ASIC、MCU、シリコンファンドリーなど 22 NEC山形 鶴岡工場 前工程工場 最先端システムLSI、民生用MOSIC ※300mmウエハ工場 23 スタンレー電気（株） 山形工場 前工程工場 発光ダイオード（LED）チップ、フォトダイオード 24 山形サンケン（株） 前工程工場 トランジスター、ダイオードの前工程 25 （株）東根新電元 前工程工場 高速ダイオード、パワーIC、MOSEFT、IGBT 26 （株）ルネサス北日本セミコンダクタ 米沢工場 後工程工場 システムLSI、ASIC、H8マイコン 27 ASEジャパン（株） 後工程工場 BGA、QFP 28 （株） スタンレー鶴岡製作所 本社工場 後工程工場 LEDの後工程 29 （株）新庄エレメックス 後工程工場 CCD中空パッケージ 30 エムテックスマツムラ（株） 尾花沢事業所 後工程工場 ディスクリート・バイポーラIC、MOSICの後工程 31 山形電子（株） 高畠工場 後工程工場 ミニモールドトランジスター（MMT）など 32 山形県 福島サンケン（株） 一貫工場 LED、CCFL 33 福島県 日立原町電子工業（株） 原町工場 一貫工場 高圧IC、IGBT、ダイオード、MEMSファンドリーサービス 34 Spansion Japan（株） 会津事業所 前工程工場 フラッシュメモリー 35 富士通（株） 会津若松工場 前工程工場 MPU、マイコン、ゲートアレイ、スタンダードセル、BiCMOSなど 36 オン・セミコンダクタ・テクノロジー（株） 会津工場 前工程工場 CMOS標準ロジック、バイポーラICなど 37 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ （株） 本社会津工場 後工程工場 ウエハーテスティング 38 （株）国見メディアデバイス 後工程工場 SDカード組立、CMOSイメージセンサー組立、基板実装 39 アルス電子（株） 後工程工場 ミニモールド、SOP、DIP、PLCC、QFP、BGA、CSP、COB 40 （株）坂下マイクロエレクトロニクス工業 後工程工場 半導体パッケージ組み立て・試験、ウエハーテストほか 注：2007 年 4 月から秋田日本電気（株）は、NEC 液晶テクノロジー(株)になる。 資料：産業タイムズ社「半導体産業計画総覧 2006‑2007 年版」及び東北経済産業局調べにより作成 95 VIII．東北地域の半導体等製造装置関連分野クラスター形成戦略 １．東北地域における半導体等製造装置関連分野の発展の可能性 これまでの検討・分析結果をふまえ、以下では、東北地域における半導体等製造装置関 連分野の特徴を再整理し、発展の可能性について検討した。 (1) 東北地域の半導体等製造装置関連分野の特徴 ①域内の半導体等製造装置メーカーの特徴 域内には、東京エレクトロン東北、アルバック東北、日本マイクロニクス青森工場など 特徴的な装置及び技術を有し、世界市場において高いシェアを誇る装置メーカーの拠点が あり、域内外の取引先、協力会社と取引ネットワークを広げている。 また、東京エレクトロンは、仙台泉地区に次世代の半導体・FPD 製造装置の研究開発拠 点を設け、東北大学との産学連携を進めながら、プラズマや有機 EL 製造装置関連の拠点 化を図ろうとする動きがあり、研究開発拠点としてのポテンシャルも高まっている。 さらに、域内の装置メーカーが、これまでの事業で培った技術を活かして、半導体等デ バイスの後工程装置、検査装置等を中心に半導体等製造装置関連分野への事業展開や新規 参入を進めている。 ②域内のものづくり中堅・中小企業の特徴 半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業は、一般機械、電 気機械、精密機械器具製造業が多く、金属材料加工技術を中核的な技術として、機械加工 （5 軸 MC 等）、溶接、精密板金、プレス加工、レーザー加工技術等により、 SUS、イン コネル等の材料の加工、大物から小物、さらには丸物、薄物まで幅広い加工に対応してお り、高精度の加工力と高度な設備力を強みとして、積極的な設備投資や技術開発を行い、 他分野への技術の横展開を図って事業を拡大している企業が多い。さらに、これらの企業 群は、取引先や協力会社数が多く、今後、取引先との連携に加え、大学等との連携を希望 しているなど産学連携に対する前向きな姿勢がみられる。 一方、半導体等製造装置関連分野に関わってはいないが関心があるものづくり中堅・企 業は、一般機械、電気機械、精密機械器具の他に、金属製品をはじめとする幅広いものづ くり企業群であり、装置関連分野に活用が見込まれる金属材料加工技術を中核的な技術と している。また、量的変動への対応力、品質管理能力を強みとしている企業が多く、これ 96 らを活かして、変動が激しく、技術力のみならず高い品質管理能力が求められる半導体等 製造装置関連分野への事業展開を図る可能性がある。 また、域内各県においても半導体等製造装置関連分野につながる特徴あるものづくり中 堅・中小企業の事業展開が活発化している。域内の半導体等製造装置メーカーと取引関係 がある装置部材の精密加工、組立関連技術やノウハウを持つ企業が多く、装置のユニット レベルでの対応力やコーディネート力を持つ企業も複数ある。 ③域内の大学・研究機関の特徴 域内の大学・研究機関では、東北大学で半導体等関連分野の最先端研究開発が進められ ているほか、岩手大学、山形大学、公設試験研究機関による金型、超精密加工技術等のも のづくり関連分野の研究・技術開発も進められている。特に、域内の公設試験研究機関は、 半導体等製造装置関連分野につながる接合技術、超精密加工技術、精密制御技術等の高度 な技術開発プロジェクトを推進しており、域内のものづくり中堅・中小企業等の技術力向 上等にも寄与している。さらに、技術開発等のみならず、各地域において大学、高専等に よるものづくり人材育成支援事業が進められており、人材育成面を含めた複合的な機能が 強化されている。 (2) 東北地域の半導体等製造装置関連分野のクラスター形成の可能性 以上の特徴をふまえると、東北地域では、世界市場において高いシェアを誇る半導体等 製造装置メーカーをハブとして、域内のものづくり中堅・中小企業が、金属材料加工技術 等の特徴ある高度な技術力を磨いて、域内外の企業等と相互補完的なネットワークを形成 することが可能となる。 また、域内のものづくり中堅・中小企業が、半導体等製造装置関連をはじめ自動車、航 空分野等へ事業の裾野を広げながら、域内の大学・研究機関や行政・支援機関と研究開発、 連携、人材育成面での支援ネットワークを活かすことで、半導体等関連産業の激しい変動 にも耐えうる半導体等製造装置関連分野を核とした足腰の強いクラスターの形成が可能と なる（次頁のイメージ図参照）。 97 【東北地域の半導体等製造装置関連分野のクラスター形成の可能性】 〜イメージ図〜 エレクトロニクス メーカー 自動車 メーカー 航空宇宙 メーカー 精密機器 メーカー 半導体 デバイスメーカー FPD等 メーカー 半導体製造 装置メーカー 工作機械 メーカー FPD等製造 装置メーカー ＜官＞ ＜学＞ 中小 大学（東北大学、岩手大学 、山形大学等）、高専等 中小 中小 研究開発支援 ＋ 人材育成支援 中小 行政・支援機関等 中小 中小 中小 研究開発支援 ＋ 連携支援 中小 中小 特徴ある技術を持つ高度なものづくり中堅・ 中小企業による濃密なネットワーク 各社が特徴的 な技術を持ち、 相互補完 クラスター形成の 中核的機能 詳 細 青森・弘前地域 北上川流域地域 八戸地域 特殊加工技術 精密板金加工技術 ジョイ・ワールド・パシフィック（株） 精密板金加工技術 装置加工組立技術 キクホー製作所（有） 東北三吉工業（株） 光学器械器具レンズの製造業，半導体検 査装置加工・製造業 各種電子・電気機械器具製造，精密機械器具 の板金・プレス加工真空装置機械製造 精密板金加工，半導体製造装置機械， 省力化装置，試作部品製造業 東北精密（株） 半導体拡散炉周辺機器部品製造 （株）株式会社ワイ・デー・ケー ＹＤＫメカトロニクス 本荘・由利地域 等 半導体等製造装置加工、組立 精密板金加工技術 装置メーカー B社 精密機械部品製造（アルミ加工） 精密装置部品加工技術 装置メーカー A社 山形・米沢地域 表面処理技術（めっき等） 千田精密工業（株） 半導体及び液晶関連装置，真空装置， 自動車関連の各種精密部品製造 アルミ加工技術 マシンマックス（株） （株）協和工業 精密板金加工等 精密機械加工技術 （大型MC、NC加工等） 小林機械 （株） 東洋技研 （株） 電子部品・ハーネス部品，自動車金 型部品製造 精密機械部品加工，電子部品の組立 装置メーカー C社 広域仙台地域 精密機械加工技術 スズキハイテック（株） （株）ニクニ 山形工場 電気めっき加工，機械製品加工 装置精密部品加工等 装置メーカー D社 新素材加工技術 （ファインセラミックス） 精密鏡面加工技術 （株）ティ・ディ・シー 日本セラテック（株） 各種構造用ファインセラミックス製品の研 究・開発 広域郡山地域 等 石英ガラス加工技術 （株）クオーツリード 江信特殊硝子（株） 石英ガラス製品加工 石英ガラス製品加工・再生 精密鏡面加工、機械加工等 装置メーカー E社 表面処理技術 （株）サンビックス 亜鉛、ニッケル、すずメッキ アルミ化成処理 メカトロ技術 （株）いわき精機 省力化・生産設備器機等 資料：東北経済産業局「ものづくり中堅・中小企業の企業情報ガイドブック調査」、大手商用データ ベース、各社ホームページ等より作成 98 ２．東北地域における半導体等製造装置関連分野クラスター形成に向け た目標と地域産業戦略・アクションプラン 【東北地域の半導体等製造装置関連分野のクラスター形成目標】 東北地域として、半導体等製造装置関連分野において、互いの顔がみえる産学官のネットワー クの形成・深化により、短期的には、技術開発力の強化と企業間取引の拡大を目指す。 また、中長期的には、世界市場に直結し、半導体等製造装置分野をリードする競争力の高い 新たな技術・企業の連鎖的な創出と発信、さらには国内外トップレベルの半導体等製造装置関連 企業や関連研究者等の人材の引き寄せを可能とするクラスターの形成を目指す。 〜イメージ図〜 中長期 目標（将来像） 半導体等製造装置分野を リードする新たな技術・企業 の連鎖的な創出と発信 半導体等製造装置分野 で世界市場に直結 半導体等 デバイスメーカー 短期 目標（将来像） 半導体等 材料メーカー 産 半導体等 デバイスメーカー 半導体等 材料メーカー 中小 現 状 中小 アプリケーション メーカー 半導体等製造 装置メーカー 中小 パートナー 中小 アプリケーション メーカー 半導体等製造 装置メーカー 産 中小 中小 中小 産学官 プラットフォーム 学 中小 官 中小 中小 大学 大学 公設試 自治体 産 半導体等 アプリケーション デバイスメーカー メーカー 半導体等製造 装置メーカー 中小 中小 下請 大学 中小 高専等 公設試 独立 行政法人 支援機関 官 学 高専等 公設試 自治体 独立 行政法人 支援機関 官 自治体 中小 大学 産学官 プラットフォーム 学 中小 独立 行政法人 技術開発力の強化、企業間取引の拡大 支援機関 産学官で互いの顔が見えにくく、大 学等の知的ポテンシャル等の活用 も不十分 99 国内外トップレベ ルの研究者や 学 ルの研究者や学 生の引き寄せ 国内外トップレベルの半 国内外トップレベルの半 導体等製造装置関連 企業の引き寄せ 上記の目標をふまえ、東北地域における半導体等製造装置関連分野のクラスター形成に 向け、核となる産業界を中心にした地域産業戦略とその実現に向けた産学官の主体別のア クションプランを示す。 具体的には、クラスター形成における産業界の主役である域内の半導体等製造装置メー カーに期待する役割を示すとともに、域内のものづくり中堅・中小企業等については、半 導体等製造装置関連分野に関わっている企業と今後関わる企業ごとに地域産業戦略・アク ションプランを示す。なお、地域産業戦略・アクションプランは、今後 2〜3 年での対応 すべき取り組みを「短期」、短期の成果をふまえ、今後 5〜10 年で対応すべき取り組みを 「中長期」として、時間軸を明確に意識したものとする（図表 VIII‑2）。 また、半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業にフォーカス した地域戦略・アクションプランは、企業の成長スピードや発展段階に応じて、半導体等 製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業にフォーカスした地域戦略・ アクションプランに順次、柔軟に移行していくことが重要である（図表 VIII‑1）。 図表 VIII‑1 半導体等製造装置関連分野のクラスター形成に向けた地域産業戦略・アク ションプランの展開イメージ 半導体等製造装置関連分野に今後関わる ものづくり中堅・中 半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中 小企業にフォーカスした地域産業戦略・アクションプラン 半導体等製造装置関連分野に関わっている ものづくり中堅・中 半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中 小企業にフォーカスした地域産業戦略・アクションプラン ① 地域産業戦略 ① 地域産業戦略 1) 連携推進戦略 1) 連携推進戦略 2) 技術開発戦略 2) 技術開発戦略 3) 人材育成戦略 3) 人材育成戦略 4) 市場開拓戦略 ② 戦略実現に向けたアクションプラン ② 戦略実現に向けたアクションプラン 1) 企業 1) 企業 2) 大学・研究機関 2) 大学・研究機関 3) 行政・支援機関 3) 行政・支援機関 ものづくり中堅・中小企業ごとの成 長のスピードや発展の段階に応じ て、順次、柔軟に移行。 100 図表 VIII‑2 半導体等製造装置関連分野のクラスター形成に向けた地域産業戦略・アク ションプラン等（総括表） ■域内の半導体等製造装置メーカーに期待する役割 ①技術開発面：産学官連携によるさらなる技術の高度化、域内ものづくり中堅・中小企業をパートナーとした技術開発力の 強化、地域発となる新規事業開拓 ②人材面：域内のものづくり人材育成・確保への協力 ③取引ネットワーク面：新たな取引ネットワークの開拓、研究開発・製造までの一貫最終製品メーカーとしてオープンな域内 ネットワークのハブ・牽引役 ■半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業にフォーカスした地域産業戦略・アクションプラン ① 地域産業戦略 1)連携推進戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野における情報共有と人的ネットワークの形成 中長期 ◆ ビジネスにつながる産学官連携ネットワークの強化 2）技術開発戦略 短期 ◆ 金属材料加工技術等にかかる技術開発力の高度化 ◆ 装置メーカーのニーズに対応した表面処理技術等の技術開発力強化 中長期 ◆ 装置メーカーの生産性、信頼性向上に資する提案型技術開発の推進 3)人材育成戦略 短期 ◆ ものづくり中堅・中小企業の高度なエンジニア等の人材育成 中長期 ◆ ものづくり中堅・中小企業のマネジメント系人材の招致・育成 4) 市場開拓戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連事業の安定化に向けた裾野市場の開拓・拡大 中長期 ◆ 域内外半導体等製造装置メーカー等の新規顧客開拓の強化 ② 戦略実現に向けたアクションプラン 1)企業 短期 ◆ 装置メーカー及びものづくり中堅・中小企業の情報共有と連携の深化 ◆ ものづくり中堅・中小企業の人材育成を兼ねた産学交流の推進 中長期 ◆ 地場企業と進出企業が融合した地域ネットワークづくり ◆ 新たな事業創造を目指した産学官技術開発プロジェクトの展開 2)大学・研究機関 短期 ◆ 大学等による高度な計測・検査装置や設備の整備・共用システムの強化 ◆ 金属材料加工技術等の技術開発の高度化支援 ◆ 半導体等製造装置関連分野のものづくり人材育成支援 中長期 ◆ 半導体等次世代プロセス技術にかかる最先端技術開発の場の提供 3)行政・支援機関 短期 ◆ 企業情報ガイドブック・マップの拡充・整備と戦略的活用によるプロモーション、コーディネート支援 ◆ 半導体等製造装置関連分野のイベント・ポータルへの出展支援や交流の場づくり ◆ 半導体等製造装置関連分野に関わる域内外の取り組みの連携強化 ◆ 半導体等製造装置関連分野に特化した技術開発プロジェクトの組成 ◆ 大学・研究機関の人材育成事業との連携強化と一体化 中長期 ◆ 半導体等製造装置関連分野を核とした "東北"のイメージ形成 ◆ 半導体等製造装置関連分野の研究開発機能及び装置メーカー自体の誘致 ◆ 投資家、エンジェルのような人材・企業の発掘によるコーディネート機能強化 ◆ 域内における港湾等の物流インフラの整備・利便性向上 ■半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業にフォーカスした地域産業戦略・アクションプラン ① 地域産業戦略 1)連携推進戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野における情報共有と人的ネットワークの形成 2)技術開発戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野の技術レベルに対応できる技術開発力の強化 3)人材育成戦略 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野の技術、ものづくりのレベルに対応できる人材育成 ② 戦略実現に向けたアクションプラン 1)企業 短期 ◆ 装置メーカーとものづくり中堅・中小企業の接点の模索 2)大学・研究機関 短期 ◆ 大学、高専等の研究者・研究シーズのオープン化とコーディネート 3)行政・支援機関 短期 ◆ 半導体等製造装置関連分野における企業の成功事例の紹介、セミナー・研究会開催 ◆ 企業訪問等による特徴的技術の洗い出しなど草の根の情報交流の仕組みづくり 101 (1) 域内の半導体等製造装置メーカーに期待する役割 ここでは、半導体等製造装置関連分野のクラスター形成に向けた中核的なプレイヤーと して域内の半導体等製造装置メーカーに期待する役割を示す。 ①技術開発面：産学官連携によるさらなる技術の高度化、域内ものづくり中堅・中小 企業をパートナーとした技術開発力の強化、地域発となる新規事業開拓 装置メーカーには、産学官連携によるさらなる技術の高度化、域内のものづくり中堅・ 中小企業をパートナーとした技術開発の推進を期待する。 また、域内では、地域発となる半導体等製造装置メーカーが育ち、検査装置等の領域で ビジネスチャンスを掴んでいる。今後も、こうした地域発の装置メーカーの創出によるニ ッチトップ領域等での新規事業の開拓等を期待する。 ②人材面：域内のものづくり人材育成・確保への協力 装置メーカーには、地域としての人材育成・確保への協力を期待する。域内におけるも のづくり人材のポテンシャルは高いが、若手人材をはじめ質の高い人材を効率的に確保す ることが難しくなりつつある中で、既に実施されているものづくり人材育成支援事業に装 置メーカー主導の寄付講座を設けるなど地域の人材面における底上げにつながる取り組み への協力を期待する。 ③取引ネットワーク面：新たな取引ネットワークの開拓、研究開発・製造までの一貫 最終製品メーカーとしてオープンな域内ネットワークのハブ・牽引役 装置メーカーには、域内のものづくり中堅・中小企業の企業情報をふまえ、各企業の技 術の特徴に対する一層の理解、さらには情報のオープン化による新たな取引ネットワーク の開拓等を期待する。 また、装置メーカーは、高い国際競争力をもち、技術力向上等で域内のものづくり中 堅・中小企業への影響も大きいことから、製造機能に加え、研究開発機能の域内強化によ る研究開発から製造までを一貫して手がける最終製品メーカーとして域内に根付き、もの づくり中堅・中小企業等との域内ネットワークのハブ・牽引役としての役割を期待する。 102 (2) 半導体等製造装置関連分野に関わっているものづくり中堅・中小企業にフ ォーカスした地域産業戦略・アクションプラン ①地域産業戦略 1)連携推進戦略 【短期】 ◆半導体等製造装置関連分野における情報共有と人的ネットワークの形成 ものづくり中堅・中小企業が、既存の系列や取引関係等を超えた、産学官の多種多様 な関係者との情報共有と人的ネットワークの形成を図る。 【中長期】 ◆ビジネスにつながる産学官連携ネットワークの強化 ものづくり中堅・中小企業が培った人的・情報ネットワークをもとに、ビジネスにつ ながる産学官連携ネットワークを強化する。 2)技術開発戦略 【短期】 ◆金属材料加工技術等にかかる技術開発力の高度化 ものづくり中堅・中小企業の強みである切削・砥粒加工、板金・プレス、研磨、接合 技術等の金属加工技術等にかかる技術開発力のさらなる高度化を図る。また、加工技術 と難削材の材料技術との組み合わせ等による統合的な技術開発力も強化する。 ◆装置メーカーのニーズに対応した表面処理技術等の技術開発力強化 装置メーカーのニーズは強いが、ものづくり中堅・中小企業による域内での対応が限 られている表面処理技術等の技術開発力の強化を図る。 【中長期】 ◆装置メーカーの生産性、信頼性向上に資する提案型技術開発の推進 装置メーカーは、自動車産業等に比べ、生産性の改善余地があり、設計・製造品質の 見直しが必要となるため、ものづくり中堅・中小企業が、自社技術力を活かして、MTBF 103 （Mean Time Between Failure）15の短縮等の指標を意識した装置メーカーの生産性、信 頼性向上（故障しない装置＝ 高信頼性 装置の開発）に資する提案型の技術開発を推 進する。 3)人材育成戦略 【短期】 ◆ものづくり中堅・中小企業の高度なエンジニア等の人材育成 半導体等製造装置分野で必要とされる高精度加工技術・ノウハウを有する高度なエン ジニア等の人材育成を図る。 【中長期】 ◆ものづくり中堅・中小企業のマネジメント系人材の招致・育成 半導体等製造装置分野で必要とされる品質管理等のマネジメント手法や事業センスを 有する高度なマネジンメント系人材の招致・育成を図る。 4)市場開拓戦略 【短期】 ◆半導体等製造装置関連事業の安定化に向けた裾野市場の開拓・拡大 半導体等製造装置関連事業の激しい変動を吸収し、事業の安定化に向け、自動車、航 空機、医療福祉分野等の裾野市場の開拓・拡大を図る。 【中長期】 ◆域内外半導体等製造装置メーカー等の新規顧客開拓の強化 既存の取引先だけではなく、域内外半導体等製造装置メーカー（国内外の主要装置 メーカーを含む）等の新規顧客開拓を強化する。 15 ある機器やシステムが故障するまでの時間の平均値。使用を開始して、あるいは故障から回 復してから、次に故障するまでの平均時間。 104 ②戦略実現に向けたアクションプラン 1)企業 【短期】 ◆装置メーカー及びものづくり中堅・中小企業の情報共有と連携の深化 装置メーカーは、表面処理技術など域内企業の技術蓄積が少ない分野について、企業 情報ガイドブック・マップ等の情報を活用して域内企業との取引の接点を探り、域内に 技術がなければ域外企業との取引、さらにはリードタイムの短縮など効率化のために域 外企業の域内への取り込みを図る。 一方、ものづくり中堅・中小企業は、装置メーカーとの取引を通じて、さらに高度な ニーズ等を捉え、それらに即した技術開発を強化する。 ◆ものづくり中堅・中小企業の人材育成を兼ねた産学交流の推進 装置メーカーは、自社人材の高度化に向けた産学交流を活発化するとともに、域内の大 学、高専等と連携を図り、人材教育プログラムの作成等に関わり、業界のニーズに即した 人材の育成を強化する。 一方、ものづくり中堅・中小企業は、大学や高専等が提供を始めている人材育成プログ ラムを積極的に活用しながら、半導体等製造装置関連分野にも関わる社内のものづくり人 材の育成を図る。 【中長期】 ◆地場企業と進出企業が融合した地域ネットワークづくり 装置メーカー及びものづくり中堅・中小企業は、地場企業と進出企業による緩やかで 柔軟な連携やネットワーク作りを強化する。例えば、すでに米沢地域では、進出企業が 中心となり、地場企業がそれに呼応して、仕事のやりとり等ができる柔軟なネットワー クが形成されている。 ◆新たな事業創造を目指した産学官技術開発プロジェクトの展開 装置メーカー及びものづくり中堅・中小企業は、自社技術の強みを活かすだけではな く、新たな事業の創造を目指し、産学官連携による先端技術開発に積極的に参画する。 105 2)大学・研究機関 【短期】 ◆大学等による高度な計測・検査装置や設備の整備・共用システムの強化 大学・研究機関は、半導体等製造装置関連分野の高精度加工等に対応できる計測・検 査装置の整備や共用システムの強化を図る。東北大学等では、半導体等関連分野の最先 端の計測・検査装置を保有していることに加え、域内の主要大学や公設試験研究機関も 特徴ある計測・検査装置を保有しているので、域内で情報を一元化して確認・利用がで きる実効的な共用システムを立ち上げる。 ◆金属材料加工技術等の技術開発の高度化支援 大学・研究機関は、域内のものづくり中堅・中小企業の金属材料加工技術等の技術開 発のさらなる高度化を支援する。例えば、岩手大学、山形大学、高専等の金属加工技術 の研究シーズ等を活かし、域内企業の技術課題の解決を図る。 ◆半導体等製造装置関連分野のものづくり人材育成支援 大学・研究機関は、半導体等製造装置関連分野のものづくり人材の育成支援を強化す る。まず、科学、技術等に関心を持つ子供、実践的な技術・技能を持った若者を育てて いくことが重要である。例えば、すでに北上川流域ものづくりネットワーク事業では、 技術者・技能者を小中学校へ派遣するものづくり教育支援事業を進めており、子供の頃 からものづくりに親しみを持たせている。米沢地域では、工業高校卒業後に専門教育を する「専攻科」を立ち上げ、企業で実際に活躍するベテランや山形大学の教授等が実践 的な指導することで優秀な技術者・技能者を育てている。 また、ものづくり中堅・中小企業のエンジニア等の人材育成事業を強化するとともに、 東北大学の「半導体・ディスプレイ産業における次世代中核人材育成事業」等を中心に リーダーの資質を持つ中核的なものづくり人材の育成を強化する。 【中長期】 ◆半導体等次世代プロセス技術にかかる最先端技術開発の場の提供 大学・研究機関は、ものづくり中堅・中小企業を含めた産学官による最先端技術開発 プロジェクトの組成等の支援を図る。例えば、東北大学のプラズマ技術等の次世代プロ セス技術にかかる研究シーズを活かした最先端技術開発プロジェクトを組成したり、ニ ューヨーク州立大学オルバニー校16のように研究開発の場を提供し、地域のドライビング 16 ニューヨーク州立大学オルバニー校付属の研究開発センターとして「オルバニー・ナノテッ ク」が設立され、最先端リソグラフィ技術の研究開発拠点として存在感を増している。 106 フォースとなる最先端技術開発の拠点化形成を検討する。 3)行政・支援機関 【短期】 ◆企業情報ガイドブック・マップの拡充・整備と戦略的活用によるプロモーション、 コーディネート支援 行政・支援機関は、企業情報ガイドブック・マップの拡充と整備を図り、戦略的な活 用によって、半導体等製造装置関連分野のものづくり中堅・中小企業のプロモーション 支援、装置メーカー等とのコーディネート支援を強化する。この際、半導体等分野の民 間企業出身で幅広い人的ネットワークを持ち、地域の顔、牽引役となるような企業 OB や 有識者等のコーディネータと連携をし、企業間のマッチング等を強化する。 ○ 企業情報ガイドブック・データベースの段階的な発展イメージ例 第一段階では、自律的に発展するガイドブック・データベースへの展開を志向する。 情報の追加・修正など拡張性を意識して作成されたデータベースを上手く活用し、自律 的な発展につなげることを目指す。例えば、地域企業を中心としたメンバー紹介登録型 のクローズなネットワークを試行的に立ち上げ、データベースの自律的な発展を促すこ とが一案である。データベースを作成し、信頼できるある程度閉じたネットワーク化に より、地域企業間の濃密な情報交換・共有によって信頼関係を強化して、さらなる連携 に向けた底固めをすることが必要と考える（閉じたネットワークを成功させるには、メ ンバー間の紹介による信頼、そこでしか得られない情報等のインセンティブ付与が必要 であり、成功要件は要検討）。 第二段階では、自律的に発展してきたデータベースを PR 用にアレンジして、イン ターネットで公開する。ただし、これも会員制（普通会員、優待会員）とし、誰が情報 を確認しているのかを常に確認をしながら、閉じたネットワークの形成によって効果を 検証していく。この場合、自社の売りとなるようなインパクトのある一言フレーズや写 真の掲載、デザインも十分配慮し、顧客・関連企業に関心をもってもらい、中小企業に とって実利のあるマーケティングのツールとして機能するまでに仕上げ、簡易なコミュ ニケーション機能を付加していくことも一案とする。 ◆半導体等製造装置関連分野のイベント・ポータルへの出展支援や交流の場づくり 行政・支援機関は、半導体等製造装置関連分野のイベント・ポータルへの出展支援や 交流の場づくりをする。例えば、半導体等関連分野における国内最大のイベントである セミコンジャパン等の展示会への域内企業による合同出展、半導体等に特化したポータ ルサイトへの情報発信の支援、地場企業と進出企業の情報交流や連携の場づくり、東北 地域発のフォーラムや研究会の開催等を推進するなど、既存のイベントや媒体の有効活 用を経て、独自の情報発信へ段階的に移行することが重要である。 107 ◆半導体等製造装置関連分野に関わる域内外の取り組みの連携強化 行政・支援機関は、域内における半導体等製造装置分野に関わる域内外の取り組みの 連携強化を図る。まずは、福島県半導体関連産業協議会など域内における半導体等製造 装置関連分野の地域的な取り組みの支援や連携強化を図り、東北地域としての一体感を 醸成する。また、半導体分野で先行している九州地域との連携も意識し、情報と人的な 交流の促進を図る。半導体等関連分野のテーマとして九州との合同シンポジウム、交流 会等を開催するなど、域内で閉じた形ではなく、全国版にすることを前提としたオープ ンな意識を持って支援方策を検討する。 ◆半導体等製造装置関連分野に特化した技術開発プロジェクトの組成 行政・支援機関は、域内の大学や公設試験研究機関等を含めた産学官連携により、半 導体等製造装置関連分野に特化した技術開発プロジェクトを組成する。金属材料加工技 術等を高度化しながら、装置メーカーのニーズが強い「リソグラフィ」「成膜形成装 置」「エッチング装置」等のウェーハプロセス処理用装置に関連した大型精密ステージ 等にかかる超平滑平面加工技術・制御技術、チャンバ等にかかる次世代表面処理技術 （アルマイト表面処理技術でも腐食するガスへの対応）やセンサ技術等に関する技術開 発を推進する。 例えば、リソグラフィ分野では、ステージにかかる超精密位置決め技術等に関する ニーズが強いが、既に秋田県等でプロジェクトが実施されているため、これらの動きを ふまえ、半導体ウェーハのさらなる大口径化、液晶大型ガラス基板など大型化への対応 等の切り口から差別化プロジェクトを組成する。この際、域内の精密切削加工技術、研 磨技術等の金属材料加工技術等を強みとする域内のものづくり中堅・中小企業が参画す るコンソーシアムを立ち上げる（例：日本ファインセラミックスが高機能 SiC で産学官 によるコンソーシアムを推進し、地域の経営資源を有効活用している）。 また、域内では、青森県クリスタルバレイ構想、秋田県精密位置決めプロジェクト、 山形県超精密加工テクノロジープロジェクト及び有機 EL バレー構想など半導体等製造装 置関連分野につながる地域的な取り組みやプロジェクトが進展している。こうした取り 組みをふまえ、提案公募型の研究開発支援制度を活用しながら、各県・地域レベルで半 導体等製造装置関連分野に特化した技術開発プロジェクトやコンソーシアムを組成する。 九州地域も福岡、熊本等の地域的な取り組みが核となり、地域全体を牽引しており、域 内でも各県レベルでプロジェクトを推進する過程で、相互の情報共有と連携強化が図ら れ、地域企業のポテンシャルが一層高まると考えられる。 ◆大学・研究機関の人材育成事業との連携強化と一体化 行政・支援機関は、大学、高専、工業高校等とともに人材育成事業との連携強化と一 体化を図る。 108 例えば、米沢地域における工業高校専攻科の設立、北上川流域ものづくりネットワー ク事業における技術者・技能者を小中学校へ派遣事業の推進等の先進的な取り組みを参 考として、子供や若者までを含めたものづくり人材育成事業を強化する。また、ものづ くり中堅・中小企業のエンジニア等の人材育成事業を強化するとともに、東北大学の 「半導体・ディスプレイ次世代中核人材育成事業」を核としながら、リーダーとなる人 材の育成・確保支援を充実させる。 【中長期】 ◆半導体等製造装置関連分野を核とした 東北 のイメージ形成 行政・支援機関は、域内の地域資源のプロモーションを強化し、半導体等製造装置関 連分野を核とした 東北 のイメージ形成を図る。東北地域は、九州シリコンアイラン ドと並び、半導体等関連産業の集積や東北大学の存在など豊富な地域資源を有している ので、半導体をはじめハイテク産業の集積地である米シリコンバレーのようにブランド 力を高めるための広報活動等を強化する。 ◆半導体等製造装置関連分野の研究開発機能、装置メーカー自体の誘致 行政・支援機関は、物理限界などサイエンス領域の研究開発の重要度が増す中で、半 導体等製造装置関連分野の最先端技術開発の拠点化に向け、装置メーカー等の研究開発 機能や装置メーカー自体の戦略的な誘致を強化する。東京エレクトロンによる仙台市へ の RLSA プラズマ関連技術等に関する研究拠点（東北大学との連携）の整備やエッチング 装置の生産体制の強化等の状況をふまえ、さらなる装置メーカー等の研究開発、生産機 能の誘致を図る。 ◆投資家、エンジェルのような人材・企業の招致・発掘によるコーディネート機能強化 行政・支援機関は、投資家、エンジェルのような人材・企業の招致・発掘によるコー ディネート機能強化を図る。米シリコンバレーの投資家やエンジェル等を参考にし、企 業のニーズをふまえた技術の目利き力を持ち、幅広い企業・人的なネットワークを活か しながら、必要に応じて資金の投入や自らの経営参画等も含めてビジネスとして成り立 たせることで、関係者との Win‑Win の関係作りができるような人材や企業を発掘する。 この際、経験豊富な企業の OB 人材や U ターン人材等を有効活用する。 ◆域内における港湾等の物流インフラの整備・利便性向上 行政・支援機関は、域内で半導体等製造装置の完成品を海外へ輸出できるような港湾 等の物流インフラの整備や利便性の向上に向けた取り組みを強化する。これには、船便 の往・復路における積荷の偏りなど域内物流の実態を把握し、課題解決策を検討する。 109 (3) 半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業にフ ォーカスした地域産業戦略・アクションプラン17 ①地域産業戦略 1)連携推進戦略 ◆半導体等製造装置関連分野の情報共有と人的ネットワークの形成 ものづくり中堅・中小企業は、自社の中核的な技術と半導体等製造装置関連分野との 接点がわからないので、同分野の情報共有と人的ネットワークの形成を図る。 2)技術開発戦略 ◆半導体等製造装置関連分野の技術レベルに対応できる技術開発力の強化 ものづくり中堅・中小企業が、半導体等製造装置関連分野の技術レベルに対応できる よう技術開発力を強化する。 3)人材育成戦略 ◆半導体等製造装置関連分野の技術、ものづくりのレベルに対応できる人材育成 ものづくり中堅・中小企業が、半導体等製造装置関連分野の技術、ものづくりのレベ ルに対応できる高度な人材の育成を図る。 17 半導体等製造装置関連分野に今後関わるものづくり中堅・中小企業にフォーカスした中地域 産業戦略・アクションプランは「短期」のみ検討。 110 ②戦略実現に向けたアクションプラン 1)企業 ◆装置メーカーとものづくり中堅・中小企業の接点の模索 装置メーカーは、既存の協力会社に加え、精密切削加工、板金・プレス、接合技術等 で強みを有するものづくり中堅・中小企業群の技術を有効活用できるよう、企業情報ガ イドブック・マップや商談会等を活かして情報収集をする。 一方、ものづくり中堅・中小企業は、高い技術力を持ちながら、下請の事業形態が中 心であり、そのポテンシャルを十分に活かせていない。今後は、自社の技術の特徴やレ ベルを可能な限り、加工精度など定量的かつ客観的な情報としてまとめて積極的に情報 発信や PR をすることで半導体等製造装置関連分野への参入やその他事業への裾野の拡大 につなげる。 2)大学・研究機関 ◆大学・研究機関の研究者・シーズのオープン化とコーディネート 大学・研究機関は、自らの持つ研究シーズをオープンにした上で、ものづくり中堅・ 中小企業に対して、継続的に情報を更新し、最新の研究動向等をわかりやすく発信・提 供する。また、技術開発プロジェクトや産学交流イベントを通じて、装置メーカーとも のづくり中堅・中小企業との技術のマッチングやコーディネートに資する（研究者がつ なぎ役として機能している例はあり）。 3)行政・支援機関 ◆半導体等製造装置関連分野における企業の成功事例の紹介、セミナー・研究会開催 行政・支援機関は、域内の半導体等製造装置関連分野に今後関わる企業群に対して、 参入に向けた課題の解決策を明示する。例えば、域内のものづくり中堅・中小企業は、 半導体等と聞いただけで自社とは接点がないと考えているので、同分野における企業の 成功事例の紹介やセミナー・研究会等を開催する。 ◆企業訪問等による特徴的技術の洗い出しなど草の根の情報交流の仕組みづくり 行政・支援機関は、企業情報ガイドブック・マップ等を戦略的に活用し、域内のもの づくり中堅・中小企業の情報共有や人的ネットワーク形成の支援を強化する。この際、 大型イベントによる非日常の演出ではなく、継続的な情報受発信や企業訪問等を自発的 111 かつ積極的に行い、特徴的な技術の洗い出しをするなど草の根の情報交流の仕組みづく りを行う。 ３．地域産業戦略・アクションプランの推進体制（案） 以上の状況をふまえ、地域産業戦略･アクションプランを一体的かつ効率的に推進する ために、産学官のプラットフォームとなる推進母体の設立等による体制整備を提案する。 具体的には、技術開発機能、人材育成・招致機能、連携・プロモーション機能の 3 つの 機能を有し、東北地域の半導体等製造装置関連分野のクラスター形成を牽引する役割を担 うものとする（図表 VIII‑3）。 まずは、産学官の中核的メンバーをもとに推進母体を小さく立ち上げ、メンバーを事後 的に追加しながら、民間企業出身のリーダーを核にした産業界主導のネットワークとして 拡充を図る。産業界からは、半導体等製造装置メーカーとものづくり中堅・中小企業を核 としながら、半導体等材料メーカー、デバイスメーカーまでを含めた幅広い関係者の参画 が望まれる。また、学の大学・研究機関としては、域内を中心にした大学、高専、工業高 校までを含めた関係者、官の行政・支援機関としては、国から地方自治体、公設試験研究 機関等の幅広い関係者の参画等によって密度の濃い産学官ネットワークの形成を図る。 図表 VIII‑3 地域産業戦略・アクションプランの推進体制：産学官のプラットフォーム となる推進母体の機能（案） 産 技術開発機能 技術開発機能 地域関連企業情報、技術開発 の方向性検討、新テーマ開拓等 連携・市場開拓機能 連携・市場開拓機能 人材育成・招致機能 人材育成・招致機能 産学・企業連携、 PR・マーケティング活動強化等 域内の人材育成、 域外からの招致戦略強化等 官 学 112 参 考 資 料 IX．参考資料 １．域外における半導体等関連分野のクラスター形成の動向 ここでは、域外における半導体等関連分野のクラスター形成の動向として、九州地域に おいて推進されている「九州シリコン・クラスター計画」の概要と効果的な取組みや施策 についてまとめた。 (1) 九州シリコン・クラスター計画の概要 九州地域は、半導体デバイスメーカーや半導体製造装置メーカーの進出により、半導体 関連産業群の集積が進み、シリコンアイランドと称されている。半導体関連産業は、産業 の裾野の拡大にも貢献をし、地域産業の牽引役になってきた。その中で、九州大学、福岡 大学、熊本大学等の意欲的な半導体関連研究者が、企業等との研究会を始め、国や自治体 を巻き込みながら地域発のプロジェクトを次々と立ち上げ関与をしてきた。 こうした動きを受け、九州経済産業局では、平成 13 年度から半導体関連産業群から世 界に通用する企業・産業の次々と創出することを目指し、「九州シリコン・クラスター計 画」を推進している。平成 14 年には計画の推進母体となる広域産学官のメンバーによっ て構成された「九州半導体イノベーション協議会」が設立され、地域の活動と連携を図り ながら、各種セミナーや交流会の開催、見本市出展事業等の各種活動を行い、九州発のイ ノベーション環境の創造を目指している。 (2) 九州シリコン・クラスター計画における効果的な取組・施策 九州シリコン・クラスター計画における効果的な取組・施策の具体的な内容と特徴は次 頁の通りであり、東北地域の半導体等製造装置関連分野のクラスター形成に向けた地域産 業戦略・アクションプラン等の検討のヒントとした。 113 ＜九州シリコン・クラスター計画における効果的な取組・施策＞ 具体的な内容と特徴 連携面 技術面 人材面 市場面 ・官学主導により、福岡が設計分野、熊本が製造分野、大分がテスト分野の 重点化を図るなど半導体ビジネスの流れに沿ってすみ分けをし、地域内でパ イを奪い合うのではなく、競争と協業のバランスをとることで、九州地域全 体としての一体感の醸成に成功。 ・半導体・FPD関連企業情報データベースの整備と充実によって地域の企業 同士の顔が見え、信頼感の醸成に成功。データベースは、外部ポータルサイ ト等を有効活用して情報発信し、地域外関連企業等との連携にも成功。 ・九州半導体イノベーション協議会が、プラットフォームの中核機関として 拠り所となり、産学官の関係者の求心力が増大。 ・九州大学の安浦教授、熊本大学の久保田教授など学のキーパーソンの意欲 的な活動が地域における技術開発の機運を高め、半導体設計分野のシリコン シーベルト福岡構想、製造分野のセミコンダクタフォレスト熊本構想など産 官を巻き込んだ地域主導の技術開発プロジェクトの立ち上げにつながり、技 術開発成果を連鎖的に創出。 ・システムインパッケージ（SiP）研究会、装置研究会等の立ち上げによっ て、次世代の技術トレンドをふまえた新たな技術開発の取り組みが動きも活 発化。 ・福岡システムLSIカレッジ、ネットワーク型半導体教育研修システム、産 学連携製造中核人材育成事業等によって、半導体設計から製造までの広範な 人材育成を強化し、特に半導体設計分野では人材の供給地として存在感。 ・シリコンシーベルトサミットや半導体実装国際ワークショップ（MAP）等 による海外市場開拓の動きを強化。例えば、MAPは2001年から九州の技術情 報の海外への発信を目的として年１回開催。2003年からJETROとの連携によ る逆見本市（RTS）も併設し、商談、成約実績が多数あり、アジア市場に売 り込みを図る製造装置、部材関連中小企業も着実に増加。 ・全九州半導体技術フォーラム等の大型イベントの開催と草の根の継続的な 技術・ビジネス情報の受発信によるバランスのとれた市場との対話機能が充 実。地域の研究者や経営者等の熱地域の研究者や経営者等の熱意や勢いをう まく活かし、大型イベント等による巧みな演出で九州地域のうねりを他地域 に発信することで多様な情報を引き寄せつつ、草の根のきめ細かな情報共有 の仕組みによって活性化（関係者による電子メールによる継続的な情報発信 は、草の根の情報交流を促した特筆すべき取組み）。 資料：九州経済産業局資料等より作成 114 ２．半導体等製造装置メーカーへのニーズ調査の概要 (1) 調査目的 本調査は、半導体等製造装置業界の主要半導体等製造装置メーカーの中核装置・技術の 概要、装置製造に必要な技術の実態を理解した上で、直近及び中長期的に求めている技術 等について把握し、高度なものづくり中堅・中小企業が保有する技術との接点を探ること を目的として実施した。 (2) 調査対象抽出方法 東北地域のみならず国内外の半導体等製造装置メーカーを対象とし、社団法人日本半導 体製造装置協会（SEAJ）の正会員企業をベースに民間企業情報データベースや以下の参考 資料をもとに企業を追加して、最終的に 143 社を調査対象企業として抽出した。 ＜参考資料＞ ・ 電子ジャーナル「2005 半導体製造装置データブック」 ・ 社団法人日本機械工業連合会会員名簿 等 (3) 調査実施期間 2006 年 11 月 14 日(火) 〜11 月 30 日(木) (4) 調査実施方法 郵送留置法 (5) 発送・回収状況 発送数 143 社のうち、回収数は 34 社である。今回、SEAJ の協力を得て、技術部会メン バーに対しては、SEAJ からアンケート調査票の送付をいただいた。この結果、主要企業 からの回収率は約 60％となった。なお、域内の装置メーカーは 7 社からの回答を得てい る。 115 ３．ものづくり中堅・中小企業の企業情報ガイドブック調査の概要 (1) 調査目的 東北地域には、金属、機械加工をはじめとする高度なものづくり基盤技術を持つ中堅・ 中小企業が多数存在しているが、発注側の企業においては地域技術の全容、受注側につい ては自社技術の活用先に関する理解が必ずしも十分でなく、お互いの顔が見えにくい状況 にある。このような状況をふまえ、東北地域のものづくり基盤技術分野における企業の強 みや技術の特徴・レベルを把握したうえで、主に半導体等製造装置関連分野を対象として お互いの顔が見えるネットワークづくり、ビジネスマッチングにつなげるためのツールと なる「企業情報ガイドブック」を作成することを目的として調査を行った。 なお、「企業情報ガイドブック」は広く公開して利用を促進するものであるが、調査設 問の中に 企業情報ガイドブックに回答を掲載して公開すること を希望するか希望しな いかを尋ねる設問を設け、仮に公開を希望しない場合も、回答を回収できるように図り、 集計対象には含めた。 (2) 調査対象抽出方法 民間企業情報データベースを用い、東北地域に本社を置き、以下の業種に属する従業員 数 300 人以下の企業を抽出した上で、半導体等製造装置関連分野のものづくり基盤技術を 持つ企業に該当しないと思われる企業を除外する一方、東北地域外に本社を置くものの半 導体等製造装置関連分野のものづくり基盤技術を持つ東北地域内の事業所や、上記で抽出 されなかったものの地域の中核的企業であるなど各県が追加を希望した企業・事業所を追 加し、調査対象とした。 ＜抽出業種＞ 19 プラスチック製品製造業 20 ゴム製品製造業 22 窯業・土石製品製造業（2222生コンクリート製造業、2281砕石製造業を除く） 25 金属製品製造業 26 一般機械器具製造業 27 電気機械器具製造業 28 情報通信機械器具製造業 29 電子部品・デバイス製造業 30 輸送用機械器具製造業 31 精密機械器具製造業 116 (3) 調査実施期間 2006 年 11 月 14 日(火)〜11 月 30 日(木) (4) 調査実施方法 郵送留置法 (5) 発送・回収状況 発送数、回収数、回収率は、下記の通りである。 青森県 岩手県 宮城県 秋田県 山形県 福島県 合計 発送数 回収数 回収率 97 19 19.6% 207 34 16.4% 271 43 15.9% 141 18 12.8% 308 51 16.6% 522 67 12.8% 1,546 232 15.0% 注：東京都の企業（ (株)サイトウ製作所）は、宮城県にカウント。 117 ４．半導体等製造装置関連分野の研究者の状況 (1) 域内の大学における研究者の状況 1)「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を用いた検索結果 県名 大学名 青森 八戸工業大学 八戸工業大学 キーワード 金属加工 半導体 青森 八戸大学 青森 北里大学 職名 八戸工業大学 工学部 機械情報技術学科 八戸工業大学 工学部 システム情報工学科 教授 助教授 1 高瀬 勝晤 北里大学 獣医畜産学部 獣医学科 教授 、 学部長 青森県立保健大学 健康科学部 理学療法学科 助教授 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 教授 助教授 助教授 教授 助手 助教授 教授 助教授 助教授 助教授 教授 教授 0 半導体 1 岩月 宏泰 青森 青森公立大学 0 青森 青森大学 0 青森 東北女子大学 0 青森 弘前学院大学 青森 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 所属機関名 0 半導体 青森 青森中央学院大学 青森 青森県立保健大学 研究 研究者名 者数 1 大内 清行 1 嶋脇 秀隆 0 テスト 金属加工 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 1 深瀬 政秋 2 佐藤 裕之 鈴木 裕史 9 小野 俊郎 中澤 日出樹 阿部 敏之 真下 正夫 小豆畑 敬 山本 逸郎 遠田 義晴 深瀬 政秋 星野 英興 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 教育学部 理工学部 理工学部 教育学部 電子情報システム工学科 知能機械システム工学科 物質理工学科 知能機械システム工学科 物質理工学科 物質理工学科 物質理工学科 物質理工学科 電子情報システム工学科 電子情報システム工学科 岩手 富士大学 半導体 1 小山田 了三 富士大学 経済学部 経営情報学科 教授 、 学長 岩手 岩手医科大学 金属加工 1 平 雅之 岩手医科大学 歯学部 助教授 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 助教授 助教授 助教授 助教授 教授 教授 教授 助教授 助教授 岩手 岩手県立大学 岩手 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 0 金属加工 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 2 中村 満 横尾 恒隆 7 長田 洋 吉本 則之 北爪 英一 今井 和郎 谷口 宏 岡 英夫 山口 勉功 岩手 盛岡大学 0 宮城 東北文化学園大学 0 宮城 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 マスク 表面処理 センサー センサー センサー 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 宮城 東北生活文化大学 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 宮城 仙台白百合女子大学 1 宮内 建興 1 宮内 建興 3 亀山 紘 中込 真二 望月 勝美 7 安田 隆 國分 義弘 宮内 建興 望月 勝美 中込 真二 木元 一彦 亀山 紘 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 1 森 敏美 東北生活文化大学 家政学部 生活美術学科 教授、学生部長 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 教授 助教授 教授 助教授 教授 助教授 0 宮城 宮城学院女子大学 0 宮城 尚絅学院大学 宮城 東北薬科大学 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 理工学部 機械工学科 機械工学科 基礎理学科 情報電子工学科 情報電子工学科 情報電子工学科 情報電子工学科 機械工学科 情報電子工学科 情報電子工学科 情報電子工学科 基礎理学科 教授 教授 教授、大学開放 教授 教授 助教授 教授 教授 教授 教授 講師 教授 、 大学開放 0 宮城 東北福祉大学 宮城 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 東北学院大学 工学部 材料物性工学科 教育学部 技術教育 工学部 電気電子工学科 工学研究科 人文社会科学部 環境科学講座 工学部 機械工学科 工学部 福祉システム 工学科 工学部 電気電子工学科 工学部 材料物性工学科 0 微細加工 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 1 木村 光照 5 神永 正博 原田 隆史 菅原 文彦 木村 光照 宮下 博理 0 118 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 電気情報工学科 電気情報工学科 電子工学科 電気情報工学科 電気情報工学科 機械知能工学科 県名 大学名 キーワード 宮城 仙台大学 宮城 宮城教育大学 研究 研究者名 者数 0 所属機関名 職名 0 宮城 宮城大学 0 宮城 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 宮城 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 テスト テスト プロセス プロセス プロセス プロセス プロセス プロセス プロセス 薄膜 薄膜 薄膜 薄膜 薄膜 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 精密加工 精密加工 精密加工 精密加工 精密加工 精密加工 精密加工 精密加工 新技術 計測 装置 装置 装置 装置 装置 装置 制御 制御 制御 制御 制御 搬送 搬送 搬送 搬送 搬送 搬送 モジュール モジュール モジュール モジュール SoC SoC SoC SoC SoC マスク マスク マスク マスク マスク 製造 洗浄技術 洗浄技術 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 製造 製造 製造 製造 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 エンジニアリング 半導体製造装置 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 9 佐藤 篤 小林 正樹 浅井 和弘 四ノ宮 晴彦 阿部 俊三 村社 勝夫 庄司 忠良 鈴木 正宣 中川 武美 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 東北工業大学 2 尾辻 泰一 中嶋 一雄 7 飯塚 哲 井奥 洪二 伊藤 隆司 江刺 正喜 垣花 眞人 須川 成利 津守 利郎 5 飯塚 哲 井奥 洪二 伊藤 隆司 江刺 正喜 垣花 眞人 9 伊藤 隆司 江刺 正喜 川添 良幸 板谷 謹悟 桑野 博喜 寒川 誠二 谷垣 勝己 羽根 一博 閻 紀旺 8 伊藤 隆司 江刺 正喜 森永 均 閻 紀旺 足立 幸志 厨川 常元 高 偉 吉原 信人 1 江刺 正喜 1 江刺 正喜 6 飯塚 哲 井奥 洪二 江刺 正喜 伊藤 隆司 垣花 眞人 須川 成利 5 飯塚 哲 井奥 洪二 江刺 正喜 森永 均 垣花 眞人 2 金森 義明 川崎 雅司 4 金森 義明 川崎 雅司 足立 幸志 小菅 一弘 4 小野 泰弘 康 燕生 佐藤 岳彦 小柳 光正 5 飯塚 哲 井奥 洪二 伊藤 隆司 江刺 正喜 垣花 眞人 5 江刺 正喜 川崎 雅司 寒川 誠二 羽根 一博 湯上 浩雄 1 井奥 洪二 2 伊藤 隆司 森永 均 8 桑野 博喜 井奥 洪二 伊藤 隆司 川崎 雅司 佐藤 岳彦 祖山 均 原 信義 和田山 智正 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 119 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 環境情報工学科 電子工学科 環境情報工学科 環境情報工学科 電子工学科 電子工学科 電子工学科 電子工学科 電子工学科 電気通信研究所 ブロードバンド工学研究部門 金属材料研究所 結晶物理学研究部門 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 大学院工学研究科 技術社会システム専攻 未来科学技術共同研究センター 寄附研究部門 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 金属材料研究所 計算材料学研究部門 大学院工学研究科 応用化学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 流体科学研究所 附属流体融合研究センター 大学院理学研究科 物理学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 未来科学技術共同研究センター 寄附研究部門 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 機械システムデザイン工学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 大学院工学研究科 技術社会システム専攻 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 未来科学技術共同研究センター 寄附研究部門 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 金属材料研究所 超構造薄膜化学研究部門 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 金属材料研究所 超構造薄膜化学研究部門 大学院工学研究科 機械システムデザイン工学専攻 大学院工学研究科 バイオロボティクス専攻 大学院工学研究科 応用物理学専攻 大学院工学研究科 材料システム工学専攻 流体科学研究所 知能流システム研究部門 大学院工学研究科 バイオロボティクス専攻 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 金属材料研究所 超構造薄膜化学研究部門 流体科学研究所 附属流体融合研究センター 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 機械システムデザイン工学専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 未来科学技術共同研究センター 寄附研究部門 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 金属材料研究所 超構造薄膜化学研究部門 流体科学研究所 知能流システム研究部門 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 知能デバイス材料学専攻 大学院工学研究科 知能デバイス材料学専攻 講師 助教授 教授 その他 講師 、 助教授 助教授 教授 教授 教授 教授 教授 助教授 教授、東北大学 教授、産業技術 教授 教授 教授 教授 助教授 教授、東北大学 教授、産業技術 教授 教授 教授、産業技術 教授 教授、中国上海 教授、「固液界面 教授 教授、慶應義塾 教授 教授 助教授 教授、産業技術 教授 客員助教授 助教授 助教授、東北大 教授 助教授 助手 教授 教授 助教授 教授、東北大学 教授 教授、産業技術 教授 教授 助教授 教授、東北大学 教授 客員助教授 教授 助手 教授 助手 教授 助教授、東北大 教授 助手 助教授 助教授 教授 助教授 教授、東北大学 教授、産業技術 教授 教授 教授 教授 教授、慶應義塾 教授 教授 教授、東北大学 教授、産業技術 客員助教授 教授 教授、東北大学 教授、産業技術 教授 助教授 教授 教授 助教授 県名 大学名 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 キーワード センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー 金属加工 金属加工 金属加工 金属加工 金属加工 プラズマ プラズマ プラズマ 真空 真空 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 秋田 秋田看護福祉大学 研究 研究者名 者数 12 江刺 正喜 川崎 雅司 寒川 誠二 羽根 一博 桑野 博喜 一色 実 宇田 聡 川崎 亮 後藤 孝 佐橋 政司 原 信義 吉信 達夫 5 才田 淳治 古原 忠 正橋 直哉 山本 篤史郎 我妻 和明 3 飯塚 哲 伊藤 隆司 須川 成利 2 江刺 正喜 須川 成利 3 井奥 洪二 伊藤 隆司 垣花 眞人 7 飯塚 哲 井奥 洪二 伊藤 隆司 江刺 正喜 垣花 眞人 須川 成利 津守 利郎 128 所属機関名 職名 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 教授 教授 教授、慶應義塾 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 助教授 教授 助教授 助手 教授 助教授 教授、産業技術 教授 教授 教授 教授、東北大学 教授、産業技術 教授 助教授 教授、東北大学 教授、産業技術 教授 教授 教授 教授 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 金属材料研究所 超構造薄膜化学研究部門 流体科学研究所 附属流体融合研究センター 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 多元物質科学研究所 多元設計研究部門 金属材料研究所 結晶材料化学研究部門 大学院工学研究科 材料システム工学専攻 金属材料研究所 複合機能材料学研究部門 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 知能デバイス材料学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 学際科学国際高等研究センター 企画部 金属材料研究所 高純度金属材料学研究部門 金属材料研究所 附属研究施設大阪センター 金属材料研究所 附属金属ガラス総合研究センター 金属材料研究所 分析科学研究部 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 技術社会システム専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大学院工学研究科 技術社会システム専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 大学院工学研究科 電子工学専攻 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 大学院工学研究科 技術社会システム専攻 未来科学技術共同研究センター 寄附研究部門 0 秋田 秋田経済法科大学 0 秋田 秋田県立大学 秋田県立大学 秋田県立大学 秋田県立大学 秋田県立大学 秋田県立大学 秋田県立大学 秋田県立大学 モジュール センサ 金属加工 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 1 熊沢 鉄雄 1 中山 昇 2 邱 建輝 熊谷 誠治 4 青山 隆 熊沢 鉄雄 中山 昇 菊地 英治 秋田 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 テスト テスト 精密加工 表面処理 表面処理 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 2 玉本 英夫 藤田 静作 1 佐藤 進 2 田口 正美 原 基 1 左近 拓男 13 堀口 誠二 河谷 正仁 佐藤 祐一 佐藤 進 山口 邦彦 玉本 英夫 鎌田 真一 原 基 田口 正美 菅原 茂夫 今清水 雄二 菅原 拓男 藤田 静作 半導体 半導体 教授 助手 助教授 助手 教授 教授 助手 助教授 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 秋田大学 工学資源学部 情報工学科 教授 教育文化学部 学校教育課程 教授、助教授 工学資源学部 電気電子工学科 教授 工学資源学部 材料工学科 助教授 工学資源学部 材料工学科 教授 工学資源学部 機械工学科 助教授 教授 大学院工学資源学研究科 電気電子情報システム工学専 医学部 医学科 教授 工学資源学部 電気電子工学科 助教授 工学資源学部 電気電子工学科 教授 工学資源学部 情報工学科 助教授 工学資源学部 情報工学科 教授 地域共同研究センター 助教授 工学資源学部 材料工学科 教授 工学資源学部 材料工学科 助教授 工学資源学部 材料工学科 教授 工学資源学部 材料工学科 助教授 工学資源学部 環境物質工学科 教授 教育文化学部 学校教育課程 助教授 、 教授 1 那須 稔雄 9 加藤 良清 後藤 源助 中川 清司 臼杵 毅 高橋 豊 亀田 恭男 八塚 京子 松下 浩一 平中 幸雄 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 地域教育文化学部 理学部 物質生命化学科 工学部 情報科学科 工学部 電気電子工学科 理学部 物質生命化学科 工学部 電気電子工学科 理学部 物質生命化学科 工学部 電気電子工学科 工学部 電気電子工学科 工学部 情報科学科 1 高重 正明 1 井上 知泰 2 竹中 久 井上 知泰 いわき明星大学 いわき明星大学 いわき明星大学 いわき明星大学 秋田 国際教養大学 0 山形 東北公益文科大学 0 山形 東北芸術工科大学 0 山形 山形県立保健医療大学 田県立大学 システム科学技術学部 機械知能システム学科 秋田県立大学 システム科学技術学部 機械知能システム学科 秋田県立大学 システム科学技術学部 機械知能システム学科 秋田県立大学 システム科学技術学部 機械知能システム学科 秋田県立大学 システム科学技術学部 電子情報システム学科 田県立大学 システム科学技術学部 機械知能システム学科 秋田県立大学 システム科学技術学部 機械知能システム学科 秋田県立大学 システム科学技術学部 経営システム工学科 0 山形 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 福島 いわき明星大学 いわき明星大学 いわき明星大学 いわき明星大学 搬送 表面処理 半導体 半導体 半導体 半導体 120 科学技術学部 科学技術学部 科学技術学部 科学技術学部 電子情報学科 電子情報学科 電子情報学科 電子情報学科 教授 教授 教授 教授 教授 助教授 教授 助教授 教授 教授 学長、教授 教授 教授 教授 県名 大学名 キーワード 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 研究 研究者名 者数 2 清水 博文 菅原 活郎 3 清水 博文 菅原 活郎 原 靖彦 1 白井 健二 3 坂野 進 清水 博文 原 靖彦 4 坂野 進 清水 博文 菅原 活郎 原 靖彦 3 坂野 進 清水 博文 原 靖彦 1 坂野 進 1 坂野 進 1 田中 宏卓 3 菅原 活郎 清水 博文 原 靖彦 2 菅原 活郎 原 靖彦 1 菅原 活郎 1 坂野 進 1 菅原 活郎 1 清水 博文 1 菅原 活郎 4 坂野 進 菅原 活郎 清水 博文 原 靖彦 56 福島 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 プロセス プロセス 薄膜 薄膜 薄膜 精密加工 計測 計測 計測 装置 装置 装置 装置 制御 制御 制御 搬送 搬送 モジュール SoC SoC SoC マスク マスク 製造 センサー プラズマ 真空 半導体製造装置 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 福島 福島県立医科大学 福島県立医科大学 センサー 半導体 福島 郡山女子大学 郡山女子大学 半導体 0 0 福島 福島学院大学 福島学院大学 半導体 0 0 福島 東日本国際大学 東日本国際大学 半導体 0 0 奥羽大学 福島 奥羽大学 奥羽大学 奥羽大学 半導体 半導体 半導体 会津大学 福島 会津大学 半導体 福島 福島大学 福島大学 福島大学 福島大学 マスク 半導体 半導体 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 製造 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 エンジニアリング 半導体製造 半導体 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 1 片平 清昭 1 片平 清昭 所属機関名 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 日本大学 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 職名 電気電子工学科 情報工学科 電気電子工学科 情報工学科 情報工学科 情報工学科 機械工学科 電気電子工学科 情報工学科 機械工学科 電気電子工学科 情報工学科 情報工学科 機械工学科 電気電子工学科 情報工学科 機械工学科 機械工学科 情報工学科 情報工学科 電気電子工学科 情報工学科 情報工学科 情報工学科 情報工学科 機械工学科 情報工学科 電気電子工学科 情報工学科 機械工学科 情報工学科 電気電子工学科 情報工学科 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 専任講師 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 福島県立医科大学 医学部 附属実験動物研究施設 福島県立医科大学 医学部 附属実験動物研究施設 助教授 助教授 0 3 車田 文雄 中川 敏浩 山本 茂久 奥羽大学 歯学部 歯学科 奥羽大学 歯学部 歯学科 奥羽大学 歯学部 歯学科 講師 助教授 教授 0 1 黒田 研一 会津大学 コンピューター理工学部 コンピューター ハードウェア学科教授 1 佐藤 理夫 3 佐藤 理夫 山口 克彦 小島 彰 福島大学 福島大学 福島大学 福島大学 121 共生システム理工学類 共生システム理工学類 共生システム理工学類 人間発達文化学類 助教授 助教授 助教授 教授 2)「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」を用いた検索結果 県名 学校名 研究者 研究 数 課題数 0 キーワード 青森 八戸工業大学 青森 八戸大学 0 青森 青森中央学院大学 0 青森 青森県立保健大学 0 青森 青森公立大学 0 青森 青森大学 0 青森 東北女子大学 0 青森 弘前学院大学 0 青森 弘前大学 半導体 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 弘前大学 半導体 弘前大学 半導体 弘前大学 弘前大学 弘前大学 半導体 半導体 半導体 弘前大学 半導体 弘前大学 半導体 弘前大学 弘前大学 弘前大学 半導体 半導体 半導体 19 研究課題 研究期間 研究者名 光化学変換素子創製のための有機光 9 起電力発生材料を用いた新しい湿式 2003-2004 研究代表者 阿部 敏之 系光電極の開発 2003-2005 研究代表者 真下 正夫 研究分担者 小豆畑 敬 半導体柱状量子構造の新規作製法 研究分担者 中澤 日出樹 研究分担者 佐々木 正洋 2001-2002 研究代表者 真下 正夫 新規作製法による半導体柱状量子構 研究分担者 小豆畑 敬 造 研究分担者 中澤 日出樹 研究分担者 佐々木 正洋 スクッテルダイト型3元化合物の電子 2000-2002 研究代表者 竹ケ原 克彦 状態の総合的な理論研究 リアルタイム光電子分光法によるシリ 1999-2000 研究代表者 遠田 義晴 コン熱酸化過程の研究 1999-2000 研究分担者 真下 正夫 分子線エピタキシー技術を用いた半導 研究分担者 小豆畑 敬 体量子構造の新規作製法 研究分担者 佐々木 正洋 高圧下におけるカルコゲン半導体-金 1999-2000 研究代表者 山本 逸郎 属転移の光学測定 エレクトロマイグレーション支配パラ メーターの特定と電子パッケージ薄膜 1998-1999 研究代表者 笹川 和彦 配線の強度評価 1998-2000 研究代表者 真下 正夫 ホウ素-炭素-窒素系直接遷移型半導 研究分担者 宮永 崇史 体薄膜 研究分担者 鈴木 裕史 岩手 富士大学 所属機関名 所属部署名 職名 弘前大学 理工学部 助教授 弘前大学 弘前大学 弘前大学 筑波大学 弘前大学 弘前大学 弘前大学 筑波大学 理工学部 理工学部 理工学部 物質工学系 理工学部 理工学部 理工学部 物質工学系 教授 助教授 助手 教授 教授 助教授 助手 教授 弘前大学 理工学部 教授 弘前大学 理工学部 助教授 弘前大学 弘前大学 筑波大学 理工学部 理工学部 物質工学系 教授 助教授 教授 弘前大学 教育学部 教授 弘前大学 理工学部 助教授 弘前大学 弘前大学 弘前大学 理工学部 理工学部 理工学部 教授 助教授 助教授 0 岩手 岩手医科大学 半導体 岩手医科大学 半導体 2 岩手 岩手県立大学 1 半導体レ-ザ-光の生体活性効果に関 1987-1989 研究代表者 武田 泰典 する基礎的研究、とくに硬組織誘導能 研究分担者 福田 容子 について 岩手医科大学 歯学部 講師 岩手医科大学 歯学部 助手 助手 0 岩手 岩手大学 センサー 半導体 岩手大学 センサー 半導体 岩手大学 センサー 半導体 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 岩手大学 半導体 岩手大学 半導体 岩手大学 半導体 岩手大学 岩手大学 岩手大学 半導体 半導体 半導体 岩手大学 半導体 岩手大学 半導体 岩手大学 半導体 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 3 20 高度アメニティライフにおける磁性体 3 の快適性計測装置への新しい応用に 関する研究 薄膜磁性半導体による人工感覚素子 の開発 磁性半導体を用いた新しい受光素子 の開発 12 磁場配向による高品質有機薄膜の作 製とデバイス応用 0 0 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 半導体 半導体 半導体 半導体 石巻専修大学 半導体 工学部 岩手大学 工学部 教授 1991-1992 研究代表者 関 享士郎 岩手大学 工学部 教授 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 東北大学 工学研究科 工学部 工学研究科 工学研究科 工学部 金属材料研究所 助教授 助教授 教授 助手 助教授 助教授 吉本 則之 小川 智 吉澤 正人 中西 良樹 稲岡 毅 長尾 忠昭 山口 勉功 岩手大学 工学部 助教授 鎌田 康寛 岩手大学 工学部 助教授 長田 洋 岩手大学 工学部 助手 稲岡 毅 吉本 則之 吉澤 正人 岩手大学 岩手大学 岩手大学 工学部 工学研究科 工学部 助教授 講師 助教授 山口 勉功 薄膜磁性半導体による人工感覚素子 1993-1994 研究代表者 関 享士郎 の開発 磁性半導体を用いた新しい受光素子 1991-1992 研究代表者 関 享士郎 の開発 半導体黒リンを用いた赤外線デバイス 1989-1990 研究代表者 馬場 守 の基礎的研究 研究分担者 池田 俊夫 1987-1988 研究代表者 柴田 清孝 黒リンの磁気抵抗効果 研究分担者 馬場 守 研究分担者 森田 章 宮城 東北文化学園大学 半導体 岩手大学 2002-2004 研究代表者 研究分担者 研究分担者 研究分担者 半導体表面に吸着した有限領域金属 2001-2003 研究代表者 原子層に生ずる低次元電子励起 研究分担者 Zn-Te系化合物半導体材料の蒸気圧 2000-2001 研究代表者 -温度-組成相関図 コンビナトリアル法による水素化磁性 2000-2001 研究代表者 人工格子の作製と特性評価 高度アメニティライフにおける磁性体 の快適性計測装置への新しい応用に 1997-1998 研究代表者 関する研究 半導体吸着制御表面における素励起 1997-1999 研究代表者 1996-1996 研究代表者 半導体融体の超音波物性 研究分担者 InPAs混晶半導体材料の化学熱力学 1994研究代表者 的研究 岩手 盛岡大学 宮城 石巻専修大学 1997-1998 研究代表者 長田 洋 1993-1994 研究代表者 関 享士郎 6 II-VI族希薄磁性半導体量子構造にお 4 けるキャリアと磁性スピンの相互作用 とその応用 励起希ガス雰囲気中の半導体クラス タ-生成とその応用 黒リンの新しい圧力誘起構造相転移 の理論的研究 多元系新固溶半導体の組成およびス トイキオメトリ-の同時制御 122 岩手大学 工学部 助手 岩手大学 工学部 教授 岩手大学 工学部 教授 岩手大学 岩手大学 岩手大学 岩手大学 東北大学 工学部 工学部 工学部 工学部 助教授 教授 助手 助教授 名誉教授 1998-1998 研究代表者 安田 隆 石巻専修大学 理工学部 助教授 1995-1997 研究代表者 研究分担者 1991-1991 研究代表者 研究分担者 石巻専修大学 石巻専修大学 石巻専修大学 岩手大学 講師 教授 教授 教授 前田 敏輝 仁科 雄一郎 森田 章 進藤 浩一 1989-1989 研究代表者 望月 勝美 理工学部 理工学部 理工学部 人文社会科学部 石巻専修大学 理工学部 助教授 県名 学校名 研究者 研究 数 課題数 0 キーワード 宮城 東北生活文化大学 宮城 仙台白百合女子大学 0 宮城 東北福祉大学 0 宮城 宮城学院女子大学 0 宮城 尚絅学院大学 センサー 半導体 東北学院大学 東北学院大学 センサー センサー 半導体 半導体 東北学院大学 半導体 東北学院大学 東北学院大学 半導体 半導体 2 3 宮城 東北薬科大学 研究者名 所属機関名 所属部署名 職名 超小型熱分析計とその熱分析方法に 1998-1999 研究代表者 木村 光照 関する研究 集積化可能な三端子シリコン磁気セ 研究代表者 木村 光照 ンサの研究 研究分担者 菅原 文彦 超小型熱分析計とその熱分析方法に 2 1998-1999 研究代表者 木村 光照 関する研究 集積化可能な三端子シリコン磁気セ 研究代表者 木村 光照 ンサの研究 研究分担者 菅原 文彦 2 東北学院大学 工学部 教授 東北学院大学 工学部 東北学院大学 工学部 教授 助手 東北学院大学 工学部 教授 東北学院大学 工学部 東北学院大学 工学部 教授 助手 宮城教育大学 教育学部 宮城教育大学 教育学部 宮城教育大学 教育学部 東京大学 宇宙線研究所 東京大学 宇宙線研究所 助教授 教授 教授 助教授 助手 0 宮城 仙台大学 0 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 5 1 インジウムを用いた陽子・陽子核融合 反応からの太陽ニュートリノ観測装置 の開発 宮城 宮城大学 0 宮城 東北工業大学 0 宮城 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 研究期間 0 宮城 東北学院大学 宮城 宮城教育大学 宮城教育大学 宮城教育大学 宮城教育大学 宮城教育大学 研究課題 プロセス プロセス プロセス 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 微細加工 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 1 1 3 5 1 1 2 2 東北大学 精密加工 東北大学 装置 半導体製造 東北大学 装置 半導体製造 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 装置 装置 装置 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 表面処理 センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー センサー 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 東北大学 センサー 半導体 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 金属加工 金属加工 金属加工 金属加工 金属加工 金属加工 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 東北大学 半導体製造装置 2 2 26 9 1 1 2 2 2001-2003 研究代表者 研究分担者 研究分担者 研究分担者 研究分担者 1992-1993 研究代表者 研究分担者 研究分担者 1996-1998 研究代表者 希薄磁性半導体ナノ構造格子の開発 研究分担者 と応用 研究代表者 1996-1998 研究代表者 界面トンネリングの基礎と応用ー低温 研究分担者 長高真空BEEMの開発ー 研究分担者 1987-1989 研究代表者 レ-ザを用いる細胞生命工学用超精 研究分担者 密アクチュエ-タシステムの研究開発 研究分担者 1985-1986 研究代表者 新しい光集積化多機能光デバイス用 研究分担者 面発光半導体レ-ザ-の研究 研究分担者 研究分担者 光通信用マイクロ非球面レンズ金型 1997-1998 研究代表者 の超精密研削に関する研究 半導体エッチング過程のデブリ除去を 1999-2000 研究代表者 目的とする噴流中でのレーザ照射衝 研究分担者 撃波生成の研究 1992-1993 研究代表者 超LSIの完全ドライ・ト-タル低温製造ラ 研究分担者 インシステムの試作研究 研究分担者 ラングミュア吸着・反応制御プロセスを 1996-1998 研究代表者 駆使して製作するIV族半導体極微細 研究分担者 デバイス 研究分担者 1993-1995 研究代表者 赤外反射分光法による半導体結晶表 研究分担者 面の原子制御計測の開発 研究分担者 消化管で発生する悪臭の呼気移行- 2002-2004 研究代表者 同時に発生する水素を指標とした口 研究分担者 臭評価法の開発 研究分担者 TiO̲2半導体pHセンサ-を用いる高温 1990-1991 研究代表者 高圧水用pH計測器の試作 研究分担者 1990-1991 研究代表者 集積化容量形圧力センサの高性能化 研究分担者 研究分担者 1988-1989 研究代表者 半導体薄膜センサを用いた口臭の簡 研究分担者 易測定法の研究 研究分担者 1988-1989 研究代表者 体内埋込圧力計測システムの開発 研究分担者 研究分担者 1988-1989 研究代表者 膵管胆道合流形態、括約作用に関す 研究分担者 る半導体センサ-を用いた生理学的研 研究分担者 究 研究分担者 1988研究代表者 研究分担者 研究分担者 高機能センサ素子に関する研究 研究分担者 研究分担者 研究分担者 研究分担者 高温高圧水用TiO̲2半導体pHセン 1986-1987 研究代表者 サーの試作 1985-1986 研究代表者 研究分担者 原基的工業化問題をめぐる社会経済 研究分担者 的発展の比較研究 研究分担者 研究分担者 研究分担者 1992-1993 研究代表者 超LSIの完全ドライ・ト-タル低温製造ラ 研究分担者 インシステムの試作研究 研究分担者 半導体エッチング過程のデブリ除去を 1999-2000 研究代表者 目的とする噴流中でのレーザ照射衝 研究分担者 撃波生成の研究 超LSIの完全ドライ・ト-タル低温製造ラ インシステムの試作研究 123 福田 千葉 太田 森山 塩澤 善之 芳明 忠之 茂栄 真人 大見 忠弘 柴田 直 森田 瑞穂 岡 泰夫 梁田 興平 岡 泰夫 櫻井 利夫 長谷川 幸雄 小林 力 稲場 文男 伊藤 弘昌 佐藤 俊一 伊藤 弘昌 稲場 文男 鈴木 隆之 佐藤 俊一 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 工学部 教授 工学部 助教授 大学院・情報科学研究助教授 科学計測研究所 教授 科学計測研究所 助手 科学計測研究所 教授 金属材料研究所 教授 金属材料研究所 助教授 金属材料研究所 助手 電気通信研究所 教授 電気通信研究所 助教授 電気通信研究所 助手 電気通信研究所 助教授 電気通信研究所 教授 電気通信研究所 助手 電気通信研究所 助手 庄司 克雄 東北大学 大学院・工学研究科 教授 斎藤 務 東北大学 流体科学研究所 助教授 高山 和喜 東北大学 流体科学研究所 教授 大見 忠弘 柴田 直 森田 瑞穂 室田 淳一 松浦 孝 櫻庭 政夫 庭野 道夫 宮本 信雄 遠田 義晴 岩倉 政城 井川 恭子 丹田 奈緒子 杉本 克久 原 信義 江刺 正喜 庄子 習一 仁田 新 島田 義弘 岩倉 政城 小原 陽子 江刺 正喜 庄子 習一 仁田 新 千葉 庸夫 林富 千葉 敏雄 松本 勇太郎 南原 利夫 松本 勇太郎 荒井 弘通 左右田 健次 波多野 博行 柳田 博明 四ツ柳 隆夫 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 九州大学 京都大学 京都大学 東京大学 東北大学 工学部 教授 工学部 助教授 大学院・情報科学研究助教授 電気通信研究所 教授 電気通信研究所 助教授 電気通信研究所 助手 電気通信研究所 助教授 電気通信研究所 教授 電気通信研究所 助手 大学院・歯学研究科 助教授 大学院・歯学研究科 助手 病院 医員 工学部 教授 工学部 助教授 工学部 教授 工学部 助手 抗酸菌研究所 助教授 歯学部 教授 歯学部 助教授 歯学部附属病院 助手 工学部 教授 工学部 助手 抗酸菌研究所 助教授 附属病院 助教授 附属病院 講師 附属病院 助手 附属病院 助手 薬学部 教授 附属病院 助手 大学院・総合理工学研教授 化学研究所 教授 理学部 名誉教授 工学部 教授 工学部 教授 杉本 克久 東北大学 工学部 篠塚 安元 佐村 柳沢 松尾 斎藤 大見 柴田 森田 斎藤 東北大学 経済学部 教授 桃山大学 経済学部 教授 大阪大学 経済学部 講師 東京都立大学 経済学部 教授 法政大学 経済学部 教授 一橘大学 経済研究所 助教授 東北大学 工学部 教授 東北大学 工学部 助教授 東北大学 大学院・情報科学研究助教授 東北大学 流体科学研究所 助教授 信義 稔 明知 治 太郎 修 忠弘 直 瑞穂 務 高山 和喜 東北大学 流体科学研究所 助教授 教授 県名 学校名 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 キーワード 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 東北大学 半導体製造 東北大学 半導体 研究者 研究 数 課題数 2 2 研究課題 研究期間 1992-1993 研究代表者 研究分担者 研究分担者 半導体エッチング過程のデブリ除去を 1999-2000 研究代表者 目的とする噴流中でのレーザ照射衝 研究分担者 撃波生成の研究 超LSIの完全ドライ・ト-タル低温製造ラ インシステムの試作研究 研究者名 所属機関名 所属部署名 大見 柴田 森田 斎藤 忠弘 直 瑞穂 務 東北大学 東北大学 東北大学 東北大学 工学部 教授 工学部 助教授 大学院・情報科学研究助教授 流体科学研究所 助教授 職名 高山 和喜 東北大学 流体科学研究所 教授 243 秋田 秋田看護福祉大学 0 秋田 秋田経済法科大学 0 秋田 秋田県立大学 金属加工 1 絶縁チューブ包覆金属線による難加 1 工点での微小金属放電掘削,溶接及 び成膜技術の開発 秋田 秋田大学 半導体 3 3 秋田大学 半導体 秋田大学 半導体 秋田 国際教養大学 0 山形 東北公益文科大学 0 山形 東北芸術工科大学 0 山形 山形県立保健医療大学 2004-2005 研究代表者 熊谷 誠治 秋田県立大学 システム科学技術学部 助手 回路シュミレータを用いたセラミック半 1999-2000 研究代表者 鈴木 雅史 導体設計に関する研究 磁性金属/磁性層状半導体ヘテロ接 合における弾性・非弾性トンネリング 1995-1997 研究代表者 山口 邦彦 効果 不定比性制御による高温酸化皮膜の 1994-1995 研究代表者 原 基 光電気化学反応の活性化 秋田大学 工学資源学部 助教授 秋田大学 鉱山学部 助教授 秋田大学 鉱山学部 助教授 2004-2005 研究代表者 河口 仁司 研究分担者 高橋 豊 研究分担者 片山 健夫 山形大学 山形大学 山形大学 工学部 工学部 工学部 教授 助教授 助手 山形大学 工学部 助手 山形大学 山形大学 工学部 工学部 教授 助手 山形大学 工学部 助教授 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 教授 助教授 助手 教授 助教授 助手 山形大学 理学部 助教授 山形大学 工学部 教授 山形大学 工学部 助教授 0 山形 山形大学 山形大学 山形大学 半導体 半導体 半導体 山形大学 半導体 山形大学 山形大学 半導体 半導体 山形大学 半導体 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 山形大学 半導体 山形大学 半導体 山形大学 半導体 山形大学 半導体 山形大学 山形大学 半導体 半導体 山形大学 半導体 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 山形大学 半導体 山形大学 山形大学 山形大学 半導体 半導体 半導体 山形大学 半導体 山形大学 半導体 山形大学 半導体 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 山形大学 半導体 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 51 25 光通信波長帯超高速光バッファメモリ の研究 広い波長幅を持つ極短光パルスの発 生と半導体光増幅器ダイナミクス測定 2003-2004 研究代表者 片山 健夫 への応用 シフトレジスタ機能付超高速光メモリ 2003-2004 研究代表者 河口 仁司 構成法の研究 研究分担者 片山 健夫 量子計算機への応用を目指した、結 2002-2003 研究代表者 高橋 豊 合多重量子井戸中の電子スピン制御 2002-2003 研究代表者 河口 仁司 偏光双安定面発光半導体レーザを用 研究分担者 高橋 豊 いた超高速光信号処理の研究 研究分担者 片山 健夫 2002-2003 研究代表者 河口 仁司 半導体光増幅器中の4光波混合を用 研究分担者 高橋 豊 いた波長選択信号再生の研究 研究分担者 片山 健夫 n型伝導性(GeSe̲<3.5>)̲<100-x>Bi̲x 2001-2002 研究代表者 臼杵 毅 系アモルファスの構造特性 2001-2001 研究代表者 河口 仁司 半導体レーザ増幅器中の4光波混合 を用いた波長選択信号再生の研究 研究分担者 高橋 豊 半導体ヘテロ構造におけるスピン偏 極2次元電子系のスピン拡 散:Leggett-Rice効果の可能性 強磁性体―半導体接合を用いたスピ ン偏極電子注入の研究 アイクロアレイ電極を用いる風体内高 速リチウム輸送速度の直接測定 半導体レーザ増幅器中の4光波混合 とその応用に関する研究 1999-2000 研究代表者 高橋 豊 山形大学 工学部 助教授 1999-2001 研究代表者 河口 仁司 研究分担者 高橋 豊 山形大学 山形大学 工学部 工学部 教授 助教授 1997-1997 研究代表者 仁科 辰夫 1999-2001 研究代表者 研究分担者 1996-1998 研究代表者 研究分担者 面発光半導体レ-ザを用いた超高速 研究分担者 光フリップ・フロップの研究 研究代表者 研究分担者 研究分担者 ウエハ浮上型枚葉式表面処理装置の 1996研究代表者 開発とその特性解析 研究分担者 半導体ヘテロ構造中の低次元スピン 1995-1995 研究代表者 偏極電子系の輸送現象 1995-1997 研究代表者 超高速非線形光機能回路の開発 研究分担者 清浄表面を確保した枚葉式シリコンウ 1995-1995 研究代表者 エハ表面処理装置の開発とその特性 研究分担者 解析 半導体量子井戸構造中のサブバンド 間結合によるバンド間遷移電気感受 1994率の制御 多価金属-カルコゲン系液体半導体の 1994-1994 局所構造に関する研究 1994-1995 超高速半導体レ-ザ光メモリの研究 仁司 豊 仁司 豊 浩一 仁司 豊 浩一 昌之 昌広 山形大学 工学部 助教授 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 教授 助教授 教授 助教授 助教授 教授 助教授 助教授 教授 助教授 高橋 豊 山形大学 工学部 助教授 河口 仁司 高橋 豊 都田 昌之 山形大学 山形大学 山形大学 工学部 工学部 工学部 教授 助教授 教授 宍戸 昌広 山形大学 工学部 助教授 山形大学 工学部 助教授 研究代表者 高橋 豊 研究代表者 臼杵 毅 研究代表者 研究分担者 研究分担者 1992-1994 研究代表者 半導体レ-ザ短光パルス発生装置の 研究分担者 開発 研究分担者 溶融Tl-S系の中性子およびX線回折 1991-1992 研究代表者 汎用光音響分光分析装置の開発とそ 1990-1991 研究代表者 の応用に関する基礎研究 1989-1991 研究代表者 研究分担者 多次元量子井戸構造超高速光双安 研究分担者 定素子の研究 研究分担者 研究分担者 研究分担者 124 河口 高橋 河口 高橋 松下 河口 高橋 松下 都田 宍戸 山形大学 理学部 助手 仁司 豊 浩一 仁司 直弘 忠幸 治 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 理学部 教授 講師 助教授 教授 教授 助手 教授 志田 惇一 山形大学 工学部 助教授 河口 丹野 松下 横戸 大嶋 土肥 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 山形大学 埼玉大学 工学部 工学部 工学部 工学部 工学部 教育学部 教授 教授 講師 教授 助教授 助教授 河口 高橋 松下 河口 丹野 船場 植村 仁司 直弘 浩一 健一 重利 俊郎 県名 学校名 キーワード 福島 いわき明星大学 福島 日本大学 日本大学 精密加工 精密加工 日本大学 精密加工 研究者 研究 数 課題数 0 2 0 福島 郡山女子大学 0 福島 福島学院大学 0 福島 東日本国際大学 0 福島 奥羽大学 0 福島 福島大学 半導体製造 半導体 1 1 研究期間 研究者名 2 量産を目的としたマイクロ光造形法に 2000-2001 研究代表者 白井 健二 関する研究 研究分担者 小林 義和 AFM触針を用いた微小領域における 機能的表面テクスチャ作用装置の開 1999-2000 研究代表者 小林 義和 発 福島 福島県立医科大学 福島 会津大学 会津大学 研究課題 1 多品種の半導体集積回路を効率的に 2003-2004 研究代表者 齋藤 和之 1 生産する手法に関する研究 研究代表者 齋藤 和之 0 125 所属機関名 所属部署名 職名 日本大学 日本大学 工学部 工学部 教授 助手 日本大学 工学部 助手 会津大学 会津大学 コンピュータ理工学部教授 コンピュータ理工学部教授 (2) 域内の工業高等専門学校における研究者の状況 1)「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を用いた検索結果 県名 学校名 青森 八戸工業高等専門学校 八戸工業高等専門学校 キーワード 半導体 テスト 半導体 研究者数 研究者名 1 久慈 憲夫 1 久慈 憲夫 所属機関名 八戸工業高等専門学校 電気情報工学科 八戸工業高等専門学校 電気情報工学科 職名 教授 教授 岩手 一関工業高等専門学校 半導体 1 佐々木 晋五 一関工業高等専門学校 制御情報工学科 助手 宮城 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 表面処理 半導体 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 1 羽賀 浩一 1 海野 啓明 4 川崎 浩司 羽賀 浩一 小野寺 重文 浅見 誠治 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 仙台電波工業高等専門学校 教授 教授 講師 教授 教授 教授 宮城 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 表面処理 半導体 表面処理 半導体 金属加工 半導体 半導体 半導体 半導体 2 桜庭 鈴木 1 池田 4 小野 野角 桜庭 鈴木 弘 勝彦 千里 堯之 光治 弘 吉朗 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 電気工学科 助教授 総合科学系 教授 材料工学科 副校長、教授 地域共同テクノセンター 名誉教授 電気工学科 助教授 電気工学科 助教授 材料工学科 教授 秋田 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 プロセス 半導体製造 精密加工 精密加工 表面処理 半導体 センサー 半導体 半導体 半導体 1 落合 雄二 2 落合 雄二 浅野 清光 1 浅野 清光 1 落合 雄二 2 落合 雄二 浅野 清光 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 秋田工業高等専門学校 機械工学科 機械工学科 電気情報工学科 電気情報工学科 機械工学科 機械工学科 電気情報工学科 山形 鶴岡工業高等専門学校 鶴岡工業高等専門学校 半導体 半導体 2 佐藤 秀昭 野中 勉 鶴岡工業高等専門学校 電気電子工学科 鶴岡工業高等専門学校 教授 その他 、 名誉教授 、 福島 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 テスト 半導体 精密加工 搬送 半導体 半導体 半導体 半導体 1 1 1 3 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 福島工業高等専門学校 助教授 助教授 助教授 教授 教授 助教授、教授 鈴木 松本 鈴木 伊藤 根本 鈴木 晴彦 匡以 晴彦 正義 信行 三男 電子工学科 電子制御工学科 情報通信工学科 電子工学科 電子工学科 電子工学科 電気工学科 機械工学科 電気工学科 物質工学科 一般教科 一般教科 教授 教授 教授 教授 教授 教授 教授 2)「科学研究費補助金採択課題・成果概要データベース」を用いた検索結果 県名 学校名 キーワード 青森 八戸工業高等専門学校 研究者 研究 研究課題 数 課題数 0 岩手 一関工業高等専門学校 研究期間 研究者名 所属機関名 所属部署名 職名 0 宮城 仙台電波工業高等専門学校 金属加工 宮城 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 半導体 宮城工業高等専門学校 半導体 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 半導体 半導体 半導体 半導体 1 1 11 4 秋田 秋田工業高等専門学校 0 山形 鶴岡工業高等専門学校 0 福島 福島工業高等専門学校 0 強力超音波キャビテーション照射によ 2002-2003 研究代表者 青柳 良二 るノズルの流量調節加工 1999-2000 研究代表者 研究分担者 研究分担者 1995-1996 研究代表者 半導体微粒子を用いた太陽エネルギ研究分担者 による水素製造に関する研究 研究分担者 赤外光を用いた半導体の内部応力測 1988-1989 研究代表者 定システムの開発 1987-1988 研究代表者 地域電子技術者と学内の共同利用半 研究分担者 導体集積回路機能デバイス試作研究 研究分担者 システムの開発 研究分担者 マイクロカプセル化重合法による水素 製造用光触媒 126 小野 丹野 松浦 小野 丹野 松浦 尭之 浩一 眞 尭之 浩一 眞 仙台電波工業高等専門学校電子工学科 助教授 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 教授 教授 教授 教授 教授 教授 総合科学系・理数科 材料工学科 総合科学系・理数科. 総合科学系・理数科 材料工学科 総合科学系・理数科. 伊達 和博 宮城工業高等専門学校 機械工学科 助教授 唐澤 信司 小枝 昌造 八木 正昭 佐々木 〓彦 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 宮城工業高等専門学校 電気工学科 電気工学科 電気工学科 電気工学科 教授 教授 教授 助教授 (3) 全国における研究者の状況（参考） 全国の全国公私立大学について、「半導体製造装置」および「半導体製造」というキー ワードで、「研究開発支援総合ディレクトリ（ReaD）」を検索した結果は、下表の通りで ある。「半導体製造装置」で検索された研究者は延べ 25 人、「半導体製造」では 73 人で ある。 キーワード 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造装置 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 研究者数 研究者名 25 井奥 洪二 伊藤 隆司 伊東 維年 大久保 雅章 大竹 尚登 奥山 喜久夫 垣花 眞人 川嶋 健嗣 久保田 弘 黒木 智之 黒澤 宏 桑野 博 坂本 治久 志村 考功 菅原 活郎 関野 秀明 多々見 純一 田村 吉章 橋本 洋志 藤田 隆史 藤村 修三 藤森 宏高 山本 俊昭 吉村 昌弘 渡辺 仁三 73 浅田 敏勝 飯塚 哲 井奥 洪二 石飛 学 伊藤 隆司 伊東 維年 犬塚 正智 植田 敏嗣 内田 尚志 江刺 正喜 大久保 雅章 大竹 尚登 大前 和幸 奥山 喜久夫 香川 貴司 垣花 眞人 金竹 隆志 鴨志田 隼司 川嶋 健嗣 季村 峯生 久保田 弘 栗原 謙三 黒木 智之 黒澤 宏 桑野 博 小山 通榮 坂上 弘之 坂野 進 坂本 治久 佐藤 哲也 佐藤 憲正 重森 啓介 柴田 直 清水 博文 志村 考功 須川 成利 菅原 活郎 杉田 和之 所属機関名 職名 東北大学 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 教授、東北大学歯学 東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻 教授、産業技術総合 熊本学園大学 経済学部 経済学科 教授 大阪府立大学 大学院工学研究科 機械系専攻 助教授 転出・退職者 所属機関確認中 助教授 広島大学 大学院工学研究科 物質化学システム専攻 教授 東北大学 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 教授 東京工業大学 精密工学研究所 高機能化システム部門 助教授 熊本大学 衝撃・極限環境研究センター 教授 大阪府立大学 大学院工学研究科 機械系専攻 助手 独立行政法人科学技術振興機構 館長 慶應義塾大学 理工学部 電子工学科 教授 上智大学 理工学部 機械工学科 講師 大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 助手 日本大学 工学部 情報工学科 教授 下関市立大学 経済学部 講師、助手 横浜国立大学 大学院環境情報研究院 人工環境と情報部門 助教授 小山工業高等専門学校 電気情報工学科 教授 東京工科大学 バイオニクス学部 バイオニクス学科 助教授 東京大学 生産技術研究所 情報・システム部門 教授 東京工業大学 大学院イノベーションマネジメント研究科 技術経営 教授 山口大学 大学院 医学研究科 助教授 大阪府立大学 大学院工学研究科 機械系専攻 教授 東京工業大学 応用セラミックス研究所 教授 徳島文理大学 工学部 情報システム工学科 教授 福井工業大学 工学部 機械工学科 東北大学 大学院工学研究科 電気・通信工学専攻 東北大学 大学院環境科学研究科 環境科学専攻 奈良工業高等専門学校 電気工学科 東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻 熊本学園大学 経済学部 経済学科 創価大学 経営学部 早稲田大学 大学院情報生産システム研究科 北海道工業大学 工学部 総合教育研究部 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 大阪府立大学 大学院工学研究科 機械系専攻 転出・退職者 所属機関確認中 広島大学 大学院工学研究科 物質化学システム専攻 奈良女子大学 理学部 物理科学科（教員） 東北大学 多元物質科学研究所 多元制御研究部門 東京電機大学 理工学部 知能機械工学科 芝浦工業大学 工学部 機械系機械工学第二学科 東京工業大学 精密工学研究所 高機能化システム部門 転出・退職者 所属機関確認中 熊本大学 衝撃・極限環境研究センター 神奈川大学 工学部 経営工学科 大阪府立大学 大学院工学研究科 機械系専攻 独立行政法人科学技術振興機構 慶應義塾大学 理工学部 電子工学科 呉工業高等専門学校 一般科目 広島大学 大学院先端物質科学研究科 量子物質科学専攻 日本大学 工学部 機械工学科 上智大学 理工学部 機械工学科 山梨大学 クリーンエネルギー研究センター 桜美林大学 経営政策学部 ビジネスマネージメント学科 大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター 東京大学 大学院新領域創成科学研究科 基盤情報学専攻 日本大学 工学部 電気電子工学科 大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 東北大学 大学院工学研究科 技術社会システム専攻 日本大学 工学部 情報工学科 千葉大学 工学部 共生応用化学科 127 教授 助教授 教授、東北大学歯学 助手 教授、産業技術総合 教授 教授 教授 教授 教授 助教授 助教授 教授 教授 教授 教授 講師 教授 助教授 教授 教授 教授 助手 館長 教授 教授 助手 教授 講師 助教授 教授 助手 教授 教授 助手 教授 教授 教授 キーワード 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 半導体製造 研究者数 研究者名 鈴木 和幸 関野 秀明 高柳 正夫 武林 亨 多々見 純一 田村 吉章 津守 利郎 寺重 隆視 中尾 憲司 中田 明良 中前 幸治 野崎 眞次 橋本 洋志 浜田 利満 林 伸行 原 靖彦 馬場 恒明 平井 信充 藤井 克司 藤井 隆雄 藤田 隆史 藤村 修三 藤森 宏高 前田 正彦 松尾 博文 松本 浩二 宮下 和雄 宮永 憲明 山口 栄一 山本 俊昭 山本 秀樹 山本 渉 横田 眞一 吉村 昌弘 渡辺 仁三 所属機関名 職名 電気通信大学 電気通信学部 システム工学科 教授 下関市立大学 経済学部 講師、助手 東京農工大学 大学院共生科学技術研究院 環境資源共生科学部教授 慶應義塾大学 医学部 教授 横浜国立大学 大学院環境情報研究院 人工環境と情報部門 助教授 小山工業高等専門学校 電気情報工学科 教授 東北大学 未来科学技術共同研究センター 寄附研究部門 教授 広島国際大学 社会環境科学部 情報通信学科 助教授 転出・退職者 所属機関確認中 教授 熊本大学 工学部 電気システム工学科 助教授 大阪大学 大学院情報科学研究科 情報システム工学専攻 助教授 電気通信大学 電気通信学部 電子工学科 教授、ベンチャー創 東京工科大学 バイオニクス学部 バイオニクス学科 助教授 転出・退職者 所属機関確認中 教授 久留米工業大学 教授 日本大学 工学部 情報工学科 教授 長崎県工業技術センター 部長、科長 大阪大学 大学院工学研究科 マテリアル生産科学専攻 助手 独立行政法人科学技術振興機構 大阪大学 大学院基礎工学研究科 システム創成専攻 教授 東京大学 生産技術研究所 情報・システム部門 教授 東京工業大学 大学院イノベーションマネジメント研究科 技術経営 教授 山口大学 大学院 医学研究科 助教授 金沢工業大学 工学部 教授 転出・退職者 所属機関確認中 教授 中央大学 理工学部 教授 独立行政法人産業技術総合研究所 教授 大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター 光・量子放射学研究 同志社大学 大学院ビジネス研究科（ビジネススクール 博士後期課程教授 大阪府立大学 大学院工学研究科 機械系専攻 教授 関西大学 工学部 化学工学科 電気通信大学 電気通信学部 システム工学科 講師、大学教育セン 東京工業大学 精密工学研究所 高機能化システム部門 教授その他 東京工業大学 応用セラミックス研究所 教授 徳島文理大学 工学部 情報システム工学科 教授 ５．東北地域の半導体等製造装置別の関連企業情報マップ 以下、東北地域の半導体等製造装置別の関連企業情報マップを示す。 128 平成 18 年度地域活性化推進委託費調査 東北地域における半導体デバイス等に係る製造装置 関連産業の競争力強化に関する調査 調査報告書 平成 19 年 3 月 発 行 ： 経済産業省 東北経済産業局 地域経済部 情報・製造産業課 〒980‑8403 仙台市青葉区本町 3 丁目 3 番 1 号 電話：022（263）1111（代表） FAX：022（223）2658 調査委託先 ： 三菱ＵＦＪリサーチ＆コンサルティング株式会社 （旧・株式会社 ＵＦＪ総合研究所） ※無許可の転載・掲載を禁じます。
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