Fine Purer 寸 法 ／ 重 さ／ 接 続 株式会社リキッ ドガス MFP-1/MFP-2 型式 a 寸法 （mm) b a b 重さ （kg) FLOW 接続 ① MFP-1 ② MFP-2 84.0 （226.2） 84.0 （226.2） 34.0 42.7 0.2 （0.8） 0.3 （0.9） Ultra-High Purity Gas Purifier for Point Use 1/4インチVCRタイプ オス （メス） Fine Purer ※ （ ） 内はバルブ付の場合です。 FPI-1/FPH-1 a 型式 b FPI-2/FPH-2 バルブなし 寸法 （mm) a FPI-3/FPH-3 b ④ FPI-2 ⑤ FPI-3 ③ FPH-1 ④ FPH-2 ⑤ FPH-3 a b 重さ （kg) FLOW ③ FPI-1 接続 イン ラ イン 式 ファインピュアラー 470 （612） 27.2φ 34φ 48.6φ 0.7 （1.3） 1.0 （1.6） 1.6. （2.2） 1/４インチVCRタイプ オス （メス） ※ （ ） 内はバルブ付の場合です。 バルブ付 FPI-W-3/FPH-W-3 a ⑥ FPI-W-3 型式 寸法 （mm) b ⑥ FPH-W-3 a 544 b 726 重さ （kg) 8.6 接続 3/8インチVCRタイプ メス 株式会社リキッ ドガス 産業ガス営業部 〒541-0051 大阪市中央区備後町3丁目6番14号 （アーバネックス備後町ビル4階） TEL （06） 6267-5410 FAX （06） 6267-5412 FPO-M/FPO-1/FPO-2 営業技術部技術開発チーム FPO-M FPO-1 a 〒554-0051 大阪市此花区酉島6丁目19番9号 （大阪ガスエネルギー技術研究所内） TEL （06） 6462-1713 FAX （06） 6462-4812 FPO-2 a a 型式 寸法 （mm) b ① FPO-M a b 重さ （kg) b b 接続 ② FPO-1 ② FPO-2 250 480 855 590 1,055 1,055 （25.6） （35.6） （2.6） 1/4インチVCRタイプ メス ご注文・お問い合わせ ファインピュアラーのご注文・お問い合わせの際には 下記仕様を連絡願います。 ①ガス種 ②ご使用流量 ③除去したい不純物成分 ④入口側ガス純度 ※仕様は予告なく変更することがありますので、 あらかじめご了承ください。 http://www.liquidgas.co.jp/ 4 超高純度 ガ ス 精 製 機 器 ’ 11.09 （T） LIQUID GAS CO.,LTD. 製 品 ライン ナップ ガス種 流量 型式 弁 （L/min） N2 Ar He Ne Xe Kr ① ∼ ３.０ ② ∼ 5.0 ③ ∼ 15.0 MFP-1 MFP-2 FPI-1 有/無 有/無 不 活 性 ガ ス用 ・ 水 素 用 ファ イン ピュ ア ラ ー 不活性ガス用 Fine Purer インライン 式 超 高 純 度 ガ ス 精 製 機 器 不活性ガス用 Function ［特長］ 1.超高純度・長寿命・コンパクト N2 新開発の化学吸着剤を採用し、従来のファインピュアラーに比べ 長寿命化・コンパクト化が実現しました。 また構造をシンプルにし、 コンタミネーションの原因を更に取り除きました。 Ar 2.経済的 He 構造をシンプルにし、 かつ新化学吸着剤の採用により、 より低価格を実現しました。ユーティリティは一切不要です。 Ne Xe Kr Specification ∼ 30.0 FPI-2 有/無 ⑤ ∼ 50.0 FPI-3 有/無 ⑥ ∼100.0 FPI-W-3 本精製器は、化学・物理吸着剤を充塡した精製管、 フィルター 及び弁 （弁なし仕様もございます） から構成され、不活性ガス （窒素・アルゴン・ヘリウム・ネオン・キセノン・クリプトン） 中の不純物を、 右記表の精製保証値まで除去する事が できます。 一定ガス量を精製後、当社にて再生処理を行うことにより、 繰り返しご使用が可能です。 出荷時の封入ガスは、窒素・アルゴン・ヘリウムから お選びください。 入 口ガス純 度 条 件 高純度ガスをご使用ください。 （ ＞99.999vol.% ） ［仕様］ 不活性ガス中の 不純物を除去 精製管・配管 SUS316L EP フィルター 0.003μm SUS316L 弁 弁なしまたはEPメタルダイヤフラム弁※ 使用圧力 0.0098 ∼0.971MPa 圧損 0.0098MPa 以下 温度 常温 水素用 ※W-3型はEPメタルダイヤフラム弁付のみ ［FPH型］ 有/無 ④ ［FPI型］ 概 要 H2 不純物成分 O2 CO CO2 H2O 精製ガス ＜1 ＜1 ＜1 ＜1 （DP-110℃） 分析計 API-MS GC API-MS API-MS or 露点計 寿 命 の 目 安 6N 5N ① MFP-1 330 33 ② MFP-2 560 56 ③ FPI-1 5,850 585 ④ FPI-2 9,165 916 本精製器は、化学・物理吸着剤を充塡した精製管、 フィルター 及び弁 （弁なし仕様もございます） から構成され、水素ガス中の 不純物を、右記表の精製保証値まで除去する事ができます。 一定ガス量を精製後、当社にて再生処理を行うことにより、 繰り返しご使用が可能です。 出荷時の封入ガスはヘリウムです。 高純度ガスをご使用ください。 （ ＞99.999vol.% ） 水素用 ① ∼ ３.０ MFP-1 有/無 ② ∼ 5.0 MFP-2 有/無 ③ ∼ 30.0 FPH-1 有/無 ④ ∼ 60.0 FPH-2 有/無 ⑤ ∼100.0 ⑥ ∼200.0 FPH-3 FPH-W-3 有/無 有 FPI 型 FPH 型 酸素用 ［ PRODUCT LINE-UP ］ H2 酸素用 ① ∼ ② 0.5 ∼ 20.0 1 Function ［特長］ FPO-M FPO-1,2 有 有 FPO 型 酸素用 ［FPO型］ 1.超高純度 高活性クリーン触媒により、不純物除去性能が飛躍的にアップしました。シンプルな構造なので、 コンタミネーションを極力低減できました。反応管の断熱に真空断熱法を採用していますので、 クリーンルーム内に設置してもダストの発生がほとんどありません。 （FPOー1,2型） ２.経済的 従来型の精製装置に比べ、 イニシャルコストは ∼ と、低価格化を実現しました。 Specification （L/min） O2 水素ガス中の 不純物を除去 O2 CO CO2 H2O 精製ガス ＜1 ＜1 ＜1 ＜1 （DP-110℃） API-MS API-MS or 露点計 O2 ［仕様］ 精製管・配管 SUS316L EP フィルター 0.003μm SUS316L 入 口ガス純 度 条 件 高純度ガスをご使用ください。 （ ＞99.999vol.% ） GC API-MS 3 6N 5N 330 33 ② MFP-2 560 56 ③ FPH-1 5,310 531 ④ FPH-2 8,330 833 18,670 1,867 102,000 10,200 精 製 保 証 値 用 途 （単位ppb） 不純物成分 H2 CH4 CO CO2 精製ガス ＜10 ＜10 ＜10 ＜10 分析計 RGA GC GC GC 寿 命 の 目 安 3 型式 精製量 （Nm ） 5N EPメタルダイヤフラム弁 使用圧力 0.098∼0.971MPa ② FPO-1 1,460 圧損 0.049MPa 以下 ② FPO-2 4,380 350℃ /常温 100V単相×3A オプション FPO-1、-2はヒーター断線警報、温度警報のドライ接点出力が可能 2 H2O ＜10 （DP-100℃） 露点計 ■半導体向 CVD装置・スパッタリング装置・ 酸化炉・エッチング装置洗浄用・ アニール炉・イオン注入装置・ アッシャー用オゾン発生用 ■化学向 分析器のキャリアガス・ゼロガス用・ 高純度ガス充塡用 弁 電源 ■化学向 分析器のキャリアガス・ゼロガス用・ 高純度ガス充塡用 精製量 （Nm ） 型式 ① FPO-M 温度 （反応筒/吸着筒） ■半導体向 CVD装置・酸化炉・エッチング装置 ■その他 各種雰囲気調整用 寿 命 の 目 安 ⑥ FPH-W-3 本精製器は、 主としてユースポイント用超高純度仕様として 開発したもので、燃焼触媒を充塡した反応管・物理吸着剤を 充塡した吸着管、 フィルター及びバルブからなり、 酸素ガスの中の不純物を右記表のように極限まで除去 することができます。 一定量のガスを精製した後、当社にて 再生処理をすることにより繰り返しご使用が可能です。 ■化学向 分析器のキャリアガス・ゼロガス用・ 高純度ガス充塡用 用 途 不純物成分 ⑤ FPH-3 概 要 2,054 11,200 （単位ppb） ① MFP-1 （L/min） 20,540 112,000 精 製 保 証 値 分析計 ■半導体向 CVD装置・スパッタリング装置・酸化炉・ エッチング装置・イオン注入装置パージ用・ アニール炉・Si単結晶引上用 ■その他 グローブボックス用、各種雰囲気調整用 3 精製量 （Nm ） 型式 ⑥ FPI-W-3 概 要 用 途 （単位ppb） ⑤ FPI-3 入 口ガス純 度 条 件 有 精 製 保 証 値 45 酸素ガス中の 不純物を除去 3 ■その他 高温超電導材料焼成用
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