CDG020D - インフィコン

Porter™ CDG020D
キャパシタンスダイアフラムゲージ
インフィコン Porter CDG020D キャパシタンスダイアフラムゲージ
は、高品質で費用対効果に優れた、ガス種に依存しない絶対圧真空
ゲージです。Porterは、一般産業の真空圧力計測において、長期間安
定した性能を発揮するよう設計されています。セラミックセンサー
は、優れたゼロ点安定性と共に、長期メンテナンスフリー動作によ
る卓越した安定性を提供します。また耐食性が高い単材センサー構
造が優れた温度補償を保証します。完全にデジタル化された電子回
路と僅かな占有面積により、様々なシステムへの統合化において柔
軟性を提供します。
特徴
■
優れたスパン安定性 - ガス種に依存しない
■
耐腐食性アルミナセンサ
■
コンパクト、クラス最小サイズ
■
統合容易性、設置方向無制限
■
デジタル信号処理
■
メンテナンスフリー
アプリケーション
■
真空コーティング
■
一般真空圧力モニタリング
■
滅菌
■
食品パッケージング
■
真空炉、結晶成長・引上装置
■
分析装置
■
化学反応プロセス装置
ご注文番号
3 CA 3 - F 5 1 - 0 1 0 0
精度
1%
0.5%
電気接続
3
4
0
1
A
フルスケール
(Torr only)
(mbar only)
10
20
50
100
200
500
1000
1100
FCC, 8-pin
D-Sub, 9-pin
Binder M12, 8-pin
継手
9
A
B
C
D
E
F
G
1
3
9
C
D
E
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD 1/2" tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female
単位
5
6
太字：標準ラインナップ
その他継手タイプやフルスケールはご要望による
2
Capacitance Diaphragm Gauge Porter™ CDG020D
Torr (× 1.33 mbar; × 133 Pa)
mbar (× 100 Pa)
仕様
測定範囲
Torr 1000 100
10
500
200
50
20
F.S.（フルスケール）
Pa 133322 13332 1333 66661 26664 6666 2666 110000 10000 1000
mbar 1333 133
13.3
667
267
66.7
27
1100 100
10
精度 1)
3CA3-xxx-xxxx
% of reading
1
3CA4-
% of reading
0.5
温度係数
ゼロ点
% F.S./°C
0.02
スパン
% of reading/°C
0.02
分解能
% F.S.
0.05
長期安定性
% F.S./year
0.5
最小測定値
% F.S.
0.05
温度補正範囲
°C
+10 … +50
許容環境温度
運転時
°C
0 … +70
°C
≤110
ベーキング（フランジ部） 2)
保管時
°C
–20 … +85
相対湿度
% RH
<80%, non-condensing
電源電圧
V DC
+13 … +30
≤0.3
消費電力
W
出力信号（アナログ）
V DC
0 … +10
最大出力電圧
V DC
+10.24
3)
ms
100
応答時間保護タイプ
IP 40
規格
ＣＥ適合
EMC (EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS
ETL認証
UL 61010‑1, CAN/CSA C22.2 No.61010‑1
SEMI準拠
SEMI S2
電気接続
3CAx-xxx-0000
FCC, 8-pin
-0100
D-Sub, 9-pin, male
-0A00
Binder M12, 8-pin, male
接ガス材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel 1.4404 / AISI 316L
外部リークレート
mbar l/s
<1×10-9
設置方向
any
内部容量
3.7 ( 0.226)
DN 16 ISO-KF
cm3 (inch3)
4 VCR male
cm3 (inch3)
6.1 ( 0.372)
4 VCR female
cm3 (inch3)
5.6 ( 0.342)
8 VCR female
cm3 (inch3)
5.1 ( 0.311)
重量
≤110
DN 16 ISO-KF
g
≤123
4 VCR male
g
4 VCR female
g
≤133
8 VCR female
g
≤159
保守
none
1)
運転２時間経過後の温度影響を含まない環境温度２５℃での、非直線性、ヒステリシス、再現性
停止時
3) 増加10…90% F.S..
2)
3
Capacitance Diaphragm Gauge Porter™ CDG020D
寸法
55
(2.16")
28.3
(1.11")
84
(3.31")
84
(3.31")
28.3
(1.11")
28.3
(1.11")
64.2
(2.53")
49.2
(1.93")
DN 16 ISO-KF
30.7
(1.21")
15
(0.59")
28.3
(1.11")
39.15
(1.54")
84
(3.31")
65
(2.56")
50
(1.97")
65
(2.56")
mm (inch)
8 VCR female
4 VCR female
w w w. inficon. com
reac [email protected] m
Due to our continuing program of product improvements, specifications are subject to change without notice.
tiba44j1 (2012-06) ©2012 INFICON
4 VCR male

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