チ タ ンキ レー ト錯体 を用 い たn m オ ー ダー チ タ ン酸塩 単結晶粒 子 の 水熱合成 とそ のサイ ズ効果 に 関す る研 究 東京 工 業 大学 大 学院 理 工 学研 究科 助 教授 和 田 智 志 ー 初 めて安 定 なチ タ ンキ レ ト錯 体 の 合 成 に成 功 した ー ° そ こで ` このチ タ ンキ レ ト錯体 と水酸化 バ リウ 室温 で強誘 電性 を示す チ タ ン駿 バ リウム(BaT103)1乃 を原料 に用 い て水熱 合 成 を試 み た が 、結果 と して 等 の テ タ ン酸塩 は、そ の 自発 分極 に出来す る優れ た ム ー 手 く行 か なか つ た 。 これ は、反応 容器 で あ るオ 特性 (誘電 、圧電性等 )を持 ち、 これ を利用 した 多 くの 上 ク レー ブ に反応液 を入 れ た瞬 間 に沈殿 が生 じ、通 製 品が実用化 され てい る。 しか も現在 、そ のデ バ イ ト 常 の 水熱 法 とあま り変 わ らな い 結果 が 得 られ た た め スの大 き さはμmオ ダ に 到達 し、 これ に伴 い原料 で あ る。 チ タ ンキ レー ト錯 体 の配位 子 の 検討 や 、反 粒 子径 も100nmに 至 つて お り、更 に小 さな粒子 が望 応 条件 の検討 を行 ったが 、nmオ ー ダー のBaTi03微粒 まれ て い る。 しか し、微 粒 化 に は以 下 の 問題 が あ 子 を得 る こ とはで きな か つた。 そ こで 、水熱 法 に よ る。 (1)100nm以 下 のチ タ ン酸塩粒子 の工 業合成 の 困 るBaTi03微 粒 子 の合 成 をあ き らめ、新 しい合 成方 法 難 さ、 (2)粒径 の減少 に伴 い 強誘電性 が減少す るサイ を開発す るこ とに方針 を変更 した。 ズ効果 に よる特 ″ 性低 下。 従 って 、nmサ イ ズの チ タ ン の開発 酸塩粒 子 の 合成法 の 開発 、及 び合成 したチ タ ン酸塩 2.低 温 直 接 合 成 法 チ タ ン錯 体 は完全 に溶 液 中 に溶解 してお り、非常 粒 子 にお け るサイ ズ効果 の解 明は非常 に重要 な問題 バ ム +1り で あ る 。 しか し、現在 、 nmサ イ ズ のチ タ ン酸塩 に 安 定 な化合物 であ る。 また、水 酸化 リウ も水 液 中 に容 易 に溶 解 し、非 常 に安 定 な化 合 物 で あ 微粒子 を工業 的 に合成で きる方法は存在 しない。 溶 しなが ら、前述 した よ うに安 定 な両者 を混 BaT103は ヽ チ タ ン酸塩 の 中 で も代表 的 な強誘 電体 る 。 しか と沈殿 物 が生 じて しま う。 しか も詳細 に この で あ り、電 子材 料 には欠 かせ な い材 料 で あ る。 そ の 合 す る べ XRD測 定か らは非 晶質構 造 で い1り グル 法` 、水 沈 殿物 を調 た結果 、 微 粒 子 を合成す る方 法 と して 、 ブル ー 打りに代表 され る幾 つ か の 方 法 が 開発 され てい あ る こ と、また、 Ba7Ti比は仕 込み比通 り、100で あ ° 熱 法Ⅲ こ とが わか つた。 そ こで 、混合す る ときの 条件 を グル 法 は10nm近 いBaTi03微 粒 子 の 合成 に る る。 ブル ‐ こ とで 、混合 時 にBaT103微 粒 子 がイ オ ン 有 効 で あ る。 しか しな が ら、微 粒 子 中 に は 、有 機 最 適 化す る るこ とを考 えた。 そ の た めに、以 下 物 、水酸 基 な ど多 くの 不純物 が存在 し、 これ を完全 か ら直接 生成す を新 しく考 えた 。 まず 、 チ タ ン錯 体溶 液 に除去す るた め には500℃ 以 上での熱 処理 が必 要 で の 合成方 法 一 1.0以下の強酸性溶液 にす る。 方 、水酸化 バ あるが、粒径 は熱処理 に よつて増大 し、nmサ イ ズで を pHが ム はそれ 自体 が 強塩基性 で あ り、そ の pH 一 は な く な つ て しま う。 方 、 水 熱 法 は 20n mの リ ウ 水溶 液 130以 上で あ る。従 つて 、強酸 のチ タ ン錯 体溶 液 BaT103微 粒子 の合成 に成功 した報 告例 が あるものの は ― 対 a、 出発 原料 に水酸化チ タ ン グ ル の よ うにあ る大 き を 強塩 基 の水酸化 バ リウム水溶液 中に入れ る と、酸 が発 生す る。 この 中和 さの 重 合 体 を用 い て い るた め 、 この大 き さ以 下 の 塩 基反応 に よる巨大 な 中和熱 い ば、Tiイオ BaTi03微 粒 子 の合成 は不可能 であ る。 更 に、チ タン 熱 を反応 の 駆動 力 に用 る こ とがで きれ 源 に 出来す る水酸 基や バ リウム空子L等 の 格子欠 陥 に ン 、 Baイ オ ンの状態 か ら、直接 BaTi03微 粒 子 を合 虜 1叫19。この す る ことがで きる。 そ こで この方法 を、低温 直接 合 よる強誘 電性 の減少 も同時 に見 いだ した 1.は じ め に た め 、nmサ イ ズ で 、欠陥 の な い チ タ ン酸塩単結 晶粒 成 法 (Low Temperature Direct SyntheSs Method〓 )と 命名 した 。 この概 念 図 を図 11こ示す。 も 子 を如何 に合成す るか とい うことが重要 である。 LTDS法 この2点 を解決す るた め 、本研 究ではチ タ ン源 とし し も、LTDS法 が上手 くい つた場合 には 、以 下 の 大 き ー な メ リッ トが生ず る こ とが予測で きる。 1つ は、それ て 、過 酸化水 素等 の配位 子 を用 いた チ タ ンのキ レ 10。これ を用 い る こ とで 、数 nmサ ィ ぞれ の イオ ンか ら直接 Bario3が 生成す るた め 、 生成 卜錯 体 を用 い る ズ で しか も欠 陥 の 少 な い チ タ ン酸塩 単結 晶粒子 の合 す る粒 子 の 大 き さを極 限 まで小 さくで き る可能性 が 成 が 期 待 で き る。 実 際 に 、本研 究 の 開始 に 当た つ て 、 これ らの 可能性 につい て 検討 した 。 そ の結果 、 ある。 も う1つ は、1度 の 反応 でBaT103が 生成す るた め 、不純物 の 混入 を防 げ る可能性 が高 い とい うこ と Str◇ng Bぬ se (pX>13.0) 本わ ザ半ゲ 図 1 低 温直接合成法 によるBaTi03合 成 の概念図 で あ る。 従 つて 、実 際 にLTDS法 を用 い てBaTi03が 生成す るか ど うかを検討す る こととした。 3.実験 方 法 l LTDS法 によるBaTi03の合成 3‐ チ タ ン源 として、四塩化 チタ ン (TiCL)溶 液 を0℃ 付 近 ま で氷 冷 した硝 酸 (HN03)ヽ 塩 酸 (HCl)に ィォ ン ゆ っ く りと加 えるこ とに よ り、NOゴや C卜がTl年 の 周 りに配位 したチ タ ン錯 体溶 液 を作成 した。 チ タ 一 ン錯 体 の生 成 は、溶 液 の発色 に よ り確認 で き た。 方 、 バ リ ウ ム 源 と して 、 水 酸 化 バ リ ウ ム た 。得 られ た 粉末 は8 0 ℃ で1 6 時 間、真 空 中 で 乾燥 さ れ 、 これ らを試料 とした。 なお、L T D S 法 で変化 させ る こ とがで き るパ ラメー タは幾 つ か存在 す るが 、最 初 は、反応 温度 、及 び バ リウム水溶 液 中に含 まれ る バ リウム イ オ ンのモル 数 とチ タ ン錯 体溶 液 中 のチ タ ンイオ ンのモル 数 の比 、す なわ ちB a 7 T i 比とい う2 つ の パ ラメ ー タを変化 させ て 反応 を行 い 、そ の結 果 に ついて検討す る。 2 キ ャラ クタ リゼ ー シ ョン 3‐ 8 H 2 0 ) を 純水 に溶解 したバ リウム溶液 を (Ba(OH)2・ 作成 した もの を用 いた。 この とき、p H を よ り1 4 に近 づ け るた めに 、強 塩 基性 のテ トラメチ ル ア ンモ ニ ウ ム ヒ ドロ キシ ド水溶液 を使 用 した 。 図2 に L T D S 法 の た め の反応 装置 の概 略 図 を示す。反応 容器 は常 に窒 素流 量下 に あ り、空気 中 の水や炭酸 ガ スの 影響 を除 い た 。最 初 に、反応容器 中を真 空 ポ ンプで 排気 し、 続 い て窒素 ガ ス を導入 し、 また排 気 とい う操 作 を2 0 回近 く繰 り返す こ とで 、水 や炭酸 ガ スの影 響 を除 去 した。 そ の 後 、 一 定流速 で窒素 ガ ス を流 しなが ら、 ー 反 応 容 器 中 に バ リウ ム溶 液 を入 れ 、 ホ ッ トス タ ラー に よ り撹拌 しなが ら所 定 の温度 で保持 した。 続 一 いて 、 チ タ ン錯 体溶 液 を上部 の滴 下管 に導入 し、 定速 度 で バ リウム溶 液 中に静 か に滴 下 した。 なお 、 反応 中 の 温度 、 p H は そ の場測定 した。反応 によ り生 ー じた沈殿物 は 、反 応 管 中で何 度 もデ カ ンテ シ ョン をす る こ とで、余分 な溶液 中 のバ リウム イ オ ン を除 去 した後 、空 気 中 で 吸 引損 過 を行 う こ とで得 られ 図2 LTDS法 によるBaTi03合 成装置 の概念 図 ● 20 40 ● ●● 60 80 a‐ax′s=o.4049nm EO︺E〓 ● コ ョョ 何ヽゝ のE〇一 E” F中 BaT103 ● コ , ヨ 電ヽ . ョコ Gヽふ りEΦ一 C︼ F中 ● Dlll=28.5nm・ 37.5 20/° 38.5 " 39.5 a-2x,単 0口4043nm D200=26.4nm 44 20/° 図3 70℃ 、 Ba/Ti比10で 合成 した試 料 のXRD 測 定結果 図4 図 3の 試 料 の (111)面測 定 結果 45 46 20/° 図5 図 3の 試 料 の (200)面測 定 結果 図6 図 3の 試料 のTEM観 察結果 、(a)明視野像 、(b)暗視野像 、(c)格子像 . LTDS法 を用 い て 得 られ た試 料 の キ ャ ラ クタ リゼ ー シ ョン は 以 下 に 示 す 幾 つ も の 方 法 を用 い て 行 わ れ た 。 まず 、試 料 の 結 晶構 造 につ い て 、平均構 造 をX線 回折 測 定 (XRD)に 定 (Raman)に よ り、局所 構 造 を ラ マ ン散 乱 測 よ り求 め た 。 ま た 、粒 子 径 に つ い て 、 単 結 晶 の 大 き さ で あ る結 晶 子 径 を XRDよ り BaTi03の (111)面を用 い て 測 定 し0、 平 均粒 子 径 に つ い て は 透 過 型 電 子 顕 微 鏡 (TEM)を 用 いて、そ の明 と( 2 0 0 ) 面の2 つ に分 裂す るが 、図5 か らは分 裂 は観 察 されず 、 一 本 の ピー クに帰 属 で き る。 これ らの こ と か ら、得 られ たB a T i 0 3 粒子 の 平均構 造 は正方 晶 で は な く、立方晶であることが確認 で きた1 助 。 図6 は 図3 に示 したの と同 じ試 料 のT E M 観 察結果 を 示す 。 左 か ら、( a ) 明 視 野/ L a 、 視 野像 、 ( c ) 格 子像 (b)暗 を示す。 まず 明視 野像 か ら表 面 に細 か い粒 子 が 付 随 してい る ものの1 つ1 つの粒 子 はほぼ球 状 で あ り、そ 視 野 及 び 暗視 野 像 よ り測 定 した 。 同様 に格 子 像 を観 察 す る こ とに よ り結 晶 性 に つ い て も検 討 した 。 一 視野像 と同 じ場所 での 暗視 野像 か ら、1 つ1 つ の粒 子 方 、粒 子 中に含 まれ る不純 物 に つ い て 、TG‐DTAや 赤 の 大 き さが明視 野像 と同 じで あ るこ とか ら、 1 つの粒 lR)を 用 い て評 価 した 。 更 に 、粒 子 外 分 光 測 定 (FT― 中に含 まれ るBa/Ti比に つ い て は 、通 常 の 重 量 分析 法 子 が 単結晶 であ る こ とが確認 で きた。 また 、 ( a ) の左 上 に小 さく示 した 制 限視 野 電子線 回折像 か ら、 この に加 えて 、 lCP分 析 に よ り損J定 した 。 粒子 がB a T 1 0 3 であ る こ とを確 認 で きた。 また格 子像 4.LTDS法 か らは格子 間隔 が ほぼ0 4 n m と 、 B a T 1 0 3 の単位 格 子 の 大 き さにほぼ等 しい こ と、 また格 子 が きれ い にそ の原 理 の確 認 図3 に 反応 温度7 0 ℃ 、仕込み段 階で のB a / T i 比1 0 と い う条 件 で作成 した試 料 のX R D 測 定結果 を示す 。 図 の 平均粒径 は4 1 . 2 n m で あ る こ とが わか る。 また 、明 ろ つてい ることか ら結晶性 が 良 い こ とがわか る。 よ り得 られ た粒 子 はB a T 1 0 3 単 相 で あ る こ とが わか 5 . L T D S 法に よ る B a T i 0 3 の 生成W i n d O w る。従 つて 、上述 したL T D S 法 は概念だ けでな く、予 以上 の ことか ら、L T D S 法 は結晶性 の 良いB a T 1 0 3 単 結 晶粒 子 の 合成 に非 常 に適 した方 法 で あ る こ とを明 測通 りにB a 及 びT i イオ ンか らB a T i 0 3 粒子 が 直接合成 で きる こ とを確認 で きた。 また 、図4 、 図5 に B a T i 0 3 らか にで きた。 そ こで 、反 応 温度 、仕 込み段 階 で の の ( 1 1 1 ) 面、お よび ( 2 0 0 ) 面の 回折 パ ター ン を示す。 B a / T i 比を変 えて合 成 を行 い 、そ の 生成W i n d O w に つ ( 1 1 1 ) 面 か ら求 め た B a T , 0 3 粒 子 の 結 晶 子 径 D l ‐ 1は 2 8 . 6 n m で あ る の に対 し、 ( 2 0 0 ) 面か ら求 めた 結 晶子 い て検討 を行 つ た。 そ の結果 を表 1 に示 す。表 か らわ 2 4 . 7 n m で あ り、 ほぼ同 じよ うな値 を示す 。 径D200は 件 下でB a T 1 0 3 が生成 してい る こ とが わか る。 これ ま か るよ うに、反応 温度5 0 ℃ 以 上 、 B a / T i 比5 以 上 の 条 また ( 2 0 0 ) 面は本 来 の正 方 晶構造 で あれ ば 、 ( 0 0 2 ) 面 で の報告例 では 、 B a T i 0 3 生成 の最低 温度 は7 0 ℃ が 限 表 l LTDS法 Ba/Ti atomic ratio TeIIBP―tllre C 25° 50° C 70° C 90° C = Ba/ri attmic ttjo of 35,生 BarTi atO面 c ttSo of itXlil Ba/Ti ato田 iC rado of 1511 表2 L T D S 法 平均粒子径 に よ り生成 したB a T i 0 3 の結 晶 子径及 び Ba/Ti atomic ratio Temperature SO° C 70° C 90° C 船 =5 B】 ■ ■10B】 恥 >35 BB/Ti‐ l Ba/Ti=2 B」 X 済 ! X iX C 25° 一 ! 一 一 ! ! 一 一 C) (° L コく・ 口引> ヽヨ O i宮10B■ 月酎>3S Ti=5 Ba「 B」Ti‐ l B】 Ti=2 B】 ●章 でいヽ りの〇 一ギ〓 D 一 C) (° に よ るBaTi03の 生 成 llVindow lx 341奈Ⅲ 墓 各ア 6F序 200 ‐ X I 卒 e17●ぉ 尊 3生ふ ぉ Ⅲ ,Ba Ti atomlc ratlo of 35,生 BalTi atoEllC Iatlo of ltXlぅ I Ba/「i atomlc rano cf l的, 替' 置鮒 T S t 督 解掛: 置 景 品 t 絆鮒態 i留 齢 ▼ 1鷺 界 と言 われ て きた が 、 L T D S 法 は5 0 ℃ とい う低 い 温 度 で も結 晶性 の 高 いB a T i 0 3 粒子 を合成 で きる こ とを 明 らかに した。 表 2 は 、表 1 で生成 したB a T 1 0 3 の( 1 1 1 ) 面か ら算 出 した結 晶子径 D ‐1 1 を下段 に、またT E M 観 察 か ら算 出 した 平均 粒 径 を上段 に示 す 。 縦 軸 の 温 度 に 関 して は 、粒径 の温 度依 存性 はあま り認 め られ な い 。 これ に対 して、横軸 のB a 7 T i 比に関 しては 、B a 7 T i 比が増加 す るにつ れ て 、粒径 が 急激 に小 さくな る傾 向 が明確 400 600 800 Temperature/° 1000 C 図7 図 3 の試料 のT G , D T A 測 定結果 功 した 。 更 に これ らの 画溶 体 も仕 込 み原 料 の害J 合を 制御す る ことで容易 に作成 でき る。従 つて 、 L T D S 法 はn m サ イ ズの複合酸化物 の合成 一 般 に とって も非常 に有効 な方法 で あることがわか った。 そ こで 、L T D S 法 をま とめて特許 申請 を行 つた。 6.LTDS法 に よ り得 られ た BaTi03粒 子 の キ ャ ラク タ リゼ ー シ ョン 表 1の条件 の 中で、図3で 用 いた条件 (反応 温度 10)で 合成 したBaTi03粒 子について、 70℃、BayTi比 ー 種 々のキ ャラクタ リゼ シ ョンを行つた。図7に 得 ら れたBaTiα粒子 のTG‐DTA源J定結果 を示す。 11%近 い に認 め られ る。 実際 、反応温度 5 0 ℃ 、 B a / T i 比1 0 0 で 合成 したB a T i 0 3 粒子 にお いて 、T E M か ら求 めた粒 子 ー ダー の 径 は ほ ぼ4 n m で あった。 この よ うな n m オ B a T i 0 3 粒子 は これ まで の研 究 では得 られ た こ とがな く、本研 究で開発 したL T D S 法 を用 い ることで初 めて .ロ ョ 何ヽ00CGn、0り0く 合成 できた。L T D S 法 とい う概念 を考案 した際 に、そ の 最 大 の特徴 はイ オ ンか ら粒 子 を直接 合成 で きるた め 、限 りな く臨界径 に近 い 大 き さのn m 粒 子 を合成で きる可能性 で あ つた。 4 n m と い う臨界径 に非常 に近 い サイ ズ を持 ったB a T 1 0 3 粒子 の生 成 は 、 L T D S 法 が n m サ イ ズ の 粒 子 の 合 成 に大 きなア ドバ ンテ ー ジ を 持 ってい る ことを明 らか にで きた。 また、L T D S 法 は単 にB a T 1 0 3 粒子 の合 成 に の み有 効 な方法 で はな く、他 の誘電 体粒 子 の 作成 に も有効 で あ る。 実際 に、B a イ オ ンの代 わ りに ス トロンチ ウ ム ( S r ) イ オ ン を用 いて 、 L T D S 法 を行 うとチ タ ン酸 ス トロ ンチ ウム ( S r T i 0 3 ) を合 成 で き る。 また、¬ イ オ ンの 代 わ りに ジル コニ ウム ( Z r ) イ オ ン を用 い 3600 2800 2000 1200 Wave number/cnl‐ る と、 ジル コ ン酸 バ リウム ( B a Z r O s ) の 生成 に も成 400 1 l R 測定結果 図8 図 3 の試料のF 「‐ 10 多 量 の 重 量減 少 が 観 察 され た。 700℃ 以 上 で ほぼ重 一 量減 少 は終 定、し、 ほぼ 定 とな つた 。 11%と い う値 は、格 子 内O H が 存在 し、そ の 脱離 が2 0 0 ∼ 4 0 0 ℃ の 短 い 温 度 範 囲 で急 速 に起 こ る こ とが報 告 され て い は30∼ 40nmの 微 粒 子 の比 表 面積 を考慮 して も、大 きな値 で あ り、表 面吸着種 以外 の 不純物 の 存在 を考 る。 従 って 、図7 の 2 0 0 ∼ 4 0 0 ℃ の 範 囲 にお ける重量 減少 を見 る とほぼ5 % 近 い 重量減少 が起 こって い る こ 慮す る必 要 が ある。 図8は 図7の 各熱処理緒段 階 で得 IR測定結果 を示す。合成時 のスペ ク られ た粉末 のF「― とがわか る。 この値 は式 ( 3 ) から予測 され る重量減 少 トル に 、 水 酸 基 (OH)の 大 き な 吸 収 帯 と炭 酸 (C03)の 吸収帯 が若千認 め られた。従 って 、図7の 重 量減 少 の 大部 分 はOHの 脱離 に帰 属す る こ とが で の 中で も表 面吸着種 で はな く、格子 きる。 更 に、OH‐ 内 に含 まれ る格 子 内OHは 、3500cm・付 近 に鋭 い 吸 2い 跡 収 帯 を持 つ ことが報告 され て い る 名 図 8の合成 時 のOHの スペ ク トル には3500cm」付近 に シ ョル ダ ー ピー クが認 め られ 、 この こ とか ら格 子 内水酸基 が 存 在す る こ とが確認 で きた。 値 に近 く、式 ( 3 ) は妥 当な値 である と考 え られ る。 以 上の結果 は、L T D S 法 で合成 したB a T i O s 粒子 は多 くの 格 子 内O H と B a 空 孔 を含 んでお り、 ペ ロブ ス カ イ ト構 造 を取 つてい る こ と自体 が信 じられ な い 構 造 で あ る。 これ は微粒 子 で あ るか ら許容 され てい る の か 、それ とも格子 内O H ' が存在す る ことで許容 されて い るのか 、現 段階では不明 である。 図9 に 図 8 の試 料 のX R D 測 定結果 を示 す。 8 0 0 ℃ ま で は ペ ロ ブ ス カ イ ト構 造 を保 つ て い る も の の 、 1 0 0 0 ℃ での熱 処理 に よ り、 ペ ロブ ス カイ ト構造 か ら これ とは別 に重量分析 に よ り、図3の試料 について T i リッチ相 で あるB a T i 2 0 5 の生成 が確認 され た。前 述 Ba7Ti比を測 定 した結果 、 Ba/Ti比は0635却 005で あ した よ うに格 子 内O H ‐は6 0 0 ℃ で ほぼ完 全 に脱 離 す るこ とがわか つた。通常 、BaTi03のBa7Ti比は当然 な る。 従 つて 、 も しも格 子 内O H の 存在 が ( 3 ) 式で あ り な が らペ ロ ブ ス カイ ト構 造 を保 つ 要 因 で あ る な ら が ら100で あ り、ずれ て も090∼ 110の 間 にあ る と 言 われ て い る。 しか しなが ら、LTDS法 で 得 られ た BaT103粒子 のBa7Ti比は0635と い う、多 くのBa欠 損 を伴 つてい る こ とが明 らか とな った 。 この値 を確認 す るた め同 じ試料 を用 いてiCP発 光分析 を行 つた とこ ろ、5%以 内で ほぼ 同様 な値 を得 る こ とが で きた。 従 って 、 この結 果 と、BaTi03粒子 中にTi欠損 は存在 しな い と い う仮 定 をす る と、LTDS法 で 得 られ た BaT103の化学式 は以下 の よ うに表 され る。 ば、6 0 0 ℃ でB a T 1 2 0 5 相が生成す るはず で ある。 しか しなが ら、そ の よ うな傾 向は認 め られ な い。 現段 階 でペ ロブ ス カイ ト構 造 の 安 定性 を説 明す る こ とは困 難 で ある。 7 , L T D S 法 に よ り得 られ たB a T i 0 3 粒子 の 平均 構 造 と局所構造 の違 い 図 1 0 は 図9 の 試 料 の R a m a n 散乱 ス ペ ク トル を示 す。 B a T 1 0 3 がP m 3 m と い う立方 晶構造 の場 合 には、 BaO∞5[VBゴ ∞ダiOx (1) 1。 減詠…3車 品_ale iBaT20 しか しなが ら、 (1)式は電気 的 中性 条件 を満 足 してお らず 、 正 の 電荷 を持 つ 欠 陥 を考慮す る必要 が ある。 止 上A九 ▲ 止ゴ ず 皆 l IR及研 G―DTAの 結果 は、BaTi03粒子 中に格子 内 F「‐ ・ [VBゴ 1=2tOH。 1 (2) 一 ( 2 ) 式を用 いて 、 ( 1 ) 式の 酸 素位 置 の 部 を格子 内O H で 置 き換 える と以下 の化学 式 を得 るこ とができる。 も しも( 3 ) 式の化学 式 を持 つ 場合 には、6 0 0 ℃ 以 上の 熱 処理 で格子 内O H ‐が す べ て脱 離す る と考 える と、 3 5 7 % の 重量減少 が生 じる こ とにな る。 この 結果 に 基 づ いて 図 7 を 見 る と、2 0 0 ℃ と4 0 0 ℃ 付近 に明瞭 な 変 曲点 が 存在す る。水熱法 で得 られ たB a T i 0 3 粒子 に と 出 上 止 ‐ ‐ _止 _九 C‐lh S00° ―J性 上一 ____ l ■ Wl。 Ba。 7ざ∞ ( 3 ) 苺[ V 磁 亜5 T i 0 2 2 7 0 1 01H。 800°C‐lh I A の欠陥が存在 して い るこ とがわか る。 . . ョ G ヽ卜〓りEO”E一 OHの 存在 を明 らかに した。従 つて 、LTDS法 で得 ら れたBaTi03粒子 中では、Ba空 孔 と格子 内OHの 2種 類 2出 上上 A⊥__上… 台 40 60 20/° 図9 図 8 の 試 料 のX R D 測 定結 果 率 は粒径 の 減 少 と共 に単調 に減少 す る のでは な く、 軸 比 の減 少 に伴 う誘 電 率 の 減少 と フ リッ ピン グ の 発 生 に よる誘 電 率 の上 昇 とい う2 つ の 効果 の 寄 与 に よ り、 かな り小 さな粒径 で誘 電 率 が極 大値 を持 つ こ と After TC・DTA . . ョ 電 ヽ 卜〓のこ0”EいCGE G伍 れる。 が予測 さオ 8 . L T D S 法の 改 良 一 連 の研 究 を通 して明 らか とな つた 格子 内OHと そ れ に伴 うBa空 孔 とい う欠 陥生成 を抑制す る こ とが 、 欠 陥 の な いBaTi03粒 子 の 合成 に とつて 非常 に重要 で あ る。そ のた めには如何 に反応 の 途 中 で水酸 基 を取 り込 ま な い よ うにす るか が ポ イ ン トで あ る。 そ こ で 、 チ タ ン錯 体 のキ レー ト化剤 の 選択 、酸溶 液 の 選 択 、Ti濃度依 存性 等 、 ポイ ン トを絞 つて 検討 を行 つ た 。 そ の 結 果 、最終 的 な結論 と して 、反応 に全 く水 を使 用 しな い 反 応 形 態 が 重 要 で あ る こ とが わ か つ 1200 800 400 0 1 Raman shift/cm‐ 図10 図 9の試料のRaman測定結果 ー R a m a n 活 性 なモ ー ドは存在 しな いた め 、 ピ クは現 ー れ な い。 図1 0 にお いて 非常 にブ ロ ドでは あ るもの の 何本 も ピー クが認 め られ 、 これ らはす べ てP 4 m m た。 そ の 究極 のLTDS法 は以下 の通 りで ある。 まず 、 ¬源 として純粋な¬Ci4溶液 を使用 し、水 は全 く使 用 し な い 。 これ に対 して 、 Ba源 は無機 化合物 として最終 的 に残 つた のは 、や は りBa(OH)2・8H20で あ つた 。 8H20は 78℃ に融点 を持 つてお り、100℃ 以 Ba(OH)2・ 下 で は粘性 の 非 常 に低 い 液 体 と して存在 で き る。 但 8H20は あ くま で も水和物 し、問題 点 としてBa(OH)2・ できる。 い正 に帰属 たな 方 晶 い を持 心対称性 と う中 で あ るた め 、水 を含 ん でい る とい う点 で あ る。 この この こ とは L T D S 法 に よ り合成 したB a T i 0 3 粒子 の 局 溶融塩 をBa源 としてLTDS法 を行 つた。 所構 造 が 、 中 心対称性 を持 たな い正 方 晶 で ある こ と そ の 結 果 、 生 成 した BaTi03粒 子 中 の Ba/Ti比 は 一 の を明 らか に した。 方 、前 述 した よ うに結 晶 平均 0786と 改 良前 の0635と い う値 か らか ら08に 近 い 構 造 を測 定で き るX R D 測 定 か らは中心対称性 の ある 立 方 晶 に帰 属 され た 。 この違 い はL T D S 法 に よ る B a T i 0 3 粒子 の構 造 に揺 らぎがある ことを示 した。 純粋 なB a T 1 0 3 単結 晶 はX R D 測 定では室温 でP 4 m m B , コ 電 ヽ 卜営 りEO”E 一EGE 付E で あ るが 、 1 3 0 ℃ 以 上 でP m 3 m に 変化 す る こ とが知 られ てい る。 しか し、 R a m a n 測 定で観 察 できる局所 構造 は、 1 3 0 ℃で変わ らず 、2 0 0 ℃付近まで正方晶構 造 を保 つ こ とが報告 され 、 B a T i O s その も のが1 3 0 ℃ 直 上 で 、結 晶構 造 に揺 らぎを持 つてい る。 この現象 モル を用 いた説 明 が試 は最近 、 S u p e r p a r a e t e c t t t cデ ー み られ た。 これ は、数 n m の クラス タ 領域 では正方 晶構 造 を持 つ も の の 、 そ の 分 極 軸 は 固 定 されず 、 G H z 以 上 の 高速 で等価 なサイ ト間を フ リッ ピング し て い る とい うモ デ ル で あ る。 これ を考慮す る と、平 均構 造 と局所構造 の違 い を説 明す ることができる。 . この モ デ ル はL T D S 法 に よるB a T i 0 3 粒子 に も適用 ● A ● BaT103 ! ! . ! ・ . で き る と思 われ る。従 つて 、 このB a T i 0 3 粒子 は正方 晶 とい う双極 子 が高速 で動 いてい る こ とにな り、そ の結 果 は誘 電 率 に反映 され るはず で ある。 この こ と か ら一 般 に言 われて い るよ うに、B a T i 0 3 粒子 の誘 電 20/° 図1 1 改 良L T D S 法による試料のX R D 測 定結果 12 値 に ま で 大 き く改 善 す る こ とがで き た 。 そ の 結 果 、 図 1 1 に 示 され る よ うに 、 1 0 0 0 ℃ 以 上 で 生 成 す るT i リ ッチ 相 で あ るB a T i 2 0 5 相の 生 成 量 が 非 常 に少 な く な った 。 しか しなが ら、依 然 と してB a 7 T i 比1 0 0 か ら は ほ ど遠 く、欠 陥 の な いB a T i O e 粒子 の 生 成 とい う目 標 は達せ られ て い な い 。 も しもL T D S 法 で 欠 陥 の な い B a T i 0 3 粒 子 の生 成 を あ くま で も追 求す る の で あれ ば 、非 常 に危 険 で は あ るが 、 そ の ときはT i 源 と して 純 粋 なT i C 1 4 溶液 を使 用 Publications Ltd,S宙 tzcriand,1999),in prcss / 15 R VrVEKANANDが ,S PHコ とIP and T R N KUTTY,Ma″ 択σ5β ″″ 22(1986)99 16 M KTYONO, in Ⅲ Satta Chtan ttitatturn Oxides)Ⅲ chOudO, Tolげo,1991)Cap.10 17 S WADA,H CIIIKAMORI,T NOWし ヽand T SU和 ,submittCd 的 ユ 比匂″/ S c , と2 r r 18 B D CLILLr「 Y, in ''Elcnents of X‐ ray Diftactlon, 2nd EditionⅢ (Addison‐Wesley,London,1978)P102 19 H F KAYandP VOUSDEN,P力 ,めsA/ag 40(1949)1019 20 K NAKAMSIII, P H SOLOMON and N ttUTACIII, in Ⅲ Hrared Absorption SpectroscopyⅢ QヾadOdO,Tol守 o,1978)p29 21 S KAPPIIAN and G WEBE軋 乃 ″οタルCrrrcs 37(1981)673 本研 究 に 関す る発 表 論 文 し、 B a 源 と して は純 粋 なB a C 1 2 の溶 融塩 を使 用 し、そ の 反 応 を常 圧 の 酸 素 ガ ス 、又 は高圧 の 酸 素 雰 囲気 中 は , [1l S.WADA_H CHIKAMOH,T,SUZUKI and T.NOヽ ″クセ Cり sttrF7″s 町 放 筋 Cttα ′ 駒脇筋夕S'Sてァ 駒 ガ″″ 分rα ' ″ず ″s,″ ″ Cカタ筋″ブ Cθ打″′ cメ 5b′″r7ο g刃 セwS,α うた 分raz,″ 」 oumal of Matettals Science Lctters,19245‐ 247(2000). で行 う こ とにな る と予 測 され る。 9.結 論 n m オ ー ダー のチ タン酸塩 単結晶粒子 を合成す るた め 、L T D S 法 とい う新 しい方 法 を提案 し、実際4 n m の B a T i 0 3 粒子 の 作成 に初 めて成 功 した 。 また 、 L T D S 法 は他 の誘 電体粒 子 の 合成 に も適用 で きる普遍 的 な 方 法 で あ る こ とを明 らか に した。 しか しなが ら、完 全 に 反 応 系 か ら水 を除去 で き な い た め 、生 成 した B a T 1 0 3 粒子 中に格 子 内水酸基 とB a 空 孔 とい う2 種 類 の 欠 陥 が生 成 し、それ を除去 で きなか つた 。 このた め欠 陥 の な い粒子作成 とい う目標 の1 つは未 だ達成 さ [2]S_WADA_H.CHIKAMOM,T.SUZUKI and To NONIA, Ⅲ ″αセ Z"ァでcr 働 ″協夕S'S ヴ S7ZC冴 』 arテ ″″ 抑 rα ″ ″― C//sttrF7″s ″ s力g 二 死 )S 挽 筋ο冴 ″ ″挽 ″ Cθ タ チ タc 文初 θ馬″力2″ ず' JOumal of Mate五 als Science Lettcrs, 19 283‐285(2000). [3]並 且ぬ邑嵐 T.TSLIRUMI,H.CHIKAMORI,T.SUZUKIand T` 御 α彪 NONIA,'り ,″crゥ 閉 弦 曲 ザ ″″打rzcど βαガ″″ 分古 3っ s筋′ ′ デ 惚s ″ s力g α ttw P万 ?α ″,θ″ 擁 協04Ⅲ Transaction of the Materials Research Society of Japan,25 15-18(2000). [4]R_WADA_H.CHIKAMOM,T.SUZLIKI and T.NOMA, Ⅲ 均脅Crヴ Cみマねri4g A彗 ″rs切 的 sttF Srpc物 で ゲ ″″… s7z夕 ど βαガ″初 分rttη α″ cPsttFF7″ sP耗 フα″び ″s,″ gL班 )S 地修協θ4"JOumal of Materials Science Leters,19935‐ 938 (2000). れ て い な い。今後 更な る研究が必要である。 謝辞 本研 究 に対 して 多大 な ご支援 をい ただ きま した 高 柳記 念 科学 技術振 興財 団お よび財 国 の 関係 者 の 皆様 に心か ら感謝 い た します。 [5]ミ_WADA_H,CHIKAMOH,T,NOMA and T.SUZUKI, S彦夕ど 乃 //o冴θc"cCり s惚腕 s″ s,″ レ 協夕S'Sザ ″″― gα 陀 w ttTDS れ を筋冴 御 ど 駒 cル 働 α″cセ/7zarゎ″,ⅢKり Enginecring Materials,181‐ 18219‐ 22(2000). C9s筋 ′ [6]鼠 』堕虹泌じM.YANO,T.SUZLIKI and T.NONIA,Ⅲ ″冴,″ Srmc筋 ″ ヴ 挽 ガ″″ T7絃″αtt FカタParricルs ttc′ gル を ⅢJoumal of α ″冴 ス″ αィ が″二αrric夕 路う ″ガο ″ゥ がお q√ r乃 Materials Science,353889‐ 3902(2000). 参考文献 l K KINOSШ 『A and A YAMAJl,ユ 2 G ARLT,D IIENNINGS and G DEヽ 3 K 4 K 5 H 6 M 7 S [7]S.WADAtt H.CHlKAMOH,T,SUZLIKI and T.NOMA, 輝 力 協夕S'S ヴ ″ ″村 ″ブ 』 arデ″初 野 rttαセ の ン物βI Pゎ ,S45(1976)371, 江TH,ユ 々 ″えPttS S8 (1985)1619 s_沢タレ β ISIIIKAWA,K YOSIIIKAWA and N OKADA,Pり 37(1988)5852 И″ C夕″″ Soc UCIIINO,E SADANAGA and T IIIROSE,ユ 72(1989)1555 Ⅲ Dielecdc Ceramcs;Cemmic Transacお ons,Vol. IKAWA,血 32Ⅲ (Am Ceram Soc,1993)p19 H FREYandD A PAYNE,P均 四 Rをレ β 54(1996)3158 WADA,T SU四 慨包 and T NOMA,ユ Ccr翻 助 Jqr″″ 104 (1996)383 8 K ISIIIKAWA,T NOntURA,N OKADA and K TAKADA, ゝ 弾 _ユ ンタフIPル S35(1996)5196 9 D McCAULEY,R E NEWNHAM andC A RANDALL,ユ C夕rm Sο c 81(1998)979 10 D IIENNINGS and S SCHREINEMACHER,ユ (1992)41 1l S WADA,T SUtt and (1995)5368 12 S WADA,T SUZUKI and T NONIA,〕 T.NOntA,ユ И″ E2r″Ccrtt S9o 9 沖 ユ 々 ″IPわ C夕″″ 駒 oJ抑 S 34 103 (1995)1220 H,CHIKAMORI,T SUZUKI and T.NOMA, 18]単 Ⅲ ″協夕 W 野 惣が″″ Cカ タ筋惚が Cθ ヵ Sな 勧 ヴ 対 α ヮ :αcs sraあガizc冴】 ″スタ″夕ο″s Sθ′ ″riθ ″ α″ブ 助 夕,/Stαう′ ″ゥ θ″ク〃 切 ガ 免 ″P夕″ 物ァ で,ⅢJOurrlal of Matettais Sciencc Lcmers, 191855‐ 1858(2000). ,T.SUZUKI,T.NONIA and T. 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