外気汚染ガス処理用エアーワッシャー

■ 外気汚染ガス処理用エアワッシャ（ケミカル汚染対策）
【概要】
工業用のクリーンルームにおいては微粒子の除去は当然のことながら、空気中のガス成分の
除去に関心が高まっております。ガス汚染源となる大気中からのＳＯxやＮＯxを可能な限り
外気処理空調機で処理しておくことは、室内側に設けられるケミカル・フィルタの耐用年数
の延長に効果があり、ひいてはランニングコスト低減にも有効となります。
当社は外気処理空調機で加熱・加湿を行い、冷水のエアワッシャにて凝縮させる核凝縮作
用を採り入れ、従来のエアワシャ方式に比べ高効率のガス除去システムを開発いたしました。
【特徴】
①ケミカル・フィルタの耐用年数を大幅に延長出来ます。
②夏期は外気処理空調機の冷却に効果が有るため、省エネルギーとなります。
③加熱、冷却に用いる熱源に蓄熱槽を組み合わせたヒートポンプの廃熱利用システムを用
いることよりランニングコストの低減を図っています。
【応用例】
半導体製造工場、各種エレクトロニクス工場
【概念図】
加熱
温水･蒸気
ワッシャー
加湿
エリミネータ再加熱
給気
外気
温水 (40～45℃)
冷水(2～4℃)
有害ガス除去システム
温度成層型蓄熱槽
（省エネルギーと高効率除去）
HP
高効率有害ガス除去システムの構成
a)核化とガス吸着
b)凝縮成長とガス吸着
c)慣性衝突
清浄空気
飽和蒸気圧曲線
断熱冷却線
エリミネータ
B
Xm1
△X1
冷却
ドレン
D
D～E～F：
エアワッシャに
より、過飽和状
態を作り出す。
：水蒸気分子
B～C～D：
冷却コイルに
より、核凝縮
を促進させる。
E
Xsm
Xm2
：水溶性ガス分子
△X2
：微粒子（大気塵）
絶対湿度
冷却
Xs1
C
A～B：
蒸気加湿により
過飽和状態を作
り出す。
F
出口空気の状態点
A
Xs2
Xa
入口空気の状態点
Tm2
凝縮によるガス浄化の原理
Ts2
Ta
Tm1
Ts1
温度
高効率ガス除去システムの空気状態点

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