新製品!! 真空対応エキシマ照射装置従来不可能だった、真空槽へエキシマランプの設置が可能です！! 社内照射実験設備・デモ機をご用意しております。光 CVD 表面改質洗浄親水性(濡れ性)向上密着・接着性向上 ● 波長 172nm 光エネルギー:166.7Kcal/mol・7.21eV ● 高真空対応真空度: 10-5 Pa ● 合成石英窓が必要ないランプ管面直接照射方式光損失がほとんどなく真空紫外光の照射が可能 ● 試料サイズにあわせたオーダーメイド設計ランプ数(1 本～)・光有効長(200mm～) ● バッチ処理・試料搬送処理等用途に応じた装置設計 ● 単一波長 NEW PRODUCT 真空対応エキシマランプユニット Model: MEUTV-2-260 ランプ本数: 2 灯光有効長: 260mm 真空度: 10 -3 Pa 正面図下面図エキシマランプ ※合成石英窓無ランプシール部窒素雰囲気点灯電源真空槽従来のエキシマランプを真空槽に設置するとアノード電極部と筐体との間で異常放電が発生し正常な点灯が不可能でした。照射面側に網状の金属電極が必要な従来のエキシマランプは、アノード電極部の真空シールが容易ではなく、大気雰囲気のランプハウスが必要となり、合成石英光取出窓でランプハウスと真空槽を分け、エキシマ光の照射を行っておりました。しかしながら、この方式では、光の減衰が大きく充分な光強度を得ることが出来ませんでした。弊社が開発した真空対応エキシマ照射装置はランプの照射面側に網状の金属電極が必要ない、無電極照射ユニット構造 PAT を採用したことにより、アノード電極部とランプ照射部の真空シールが容易で、試料に対しランプ管面から直接エキシマ光の照射が可能となりました。これにより、合成石英窓を必要とせず、ランプ管面から試料への照射距離を 1mm～3mm と近づけることが可能となり、真空環境でも高い光強度のエキシマ光照射が可能です。研究開発・少量生産用真空対応エキシマ照射装置研究開発・少量生産用真空対応エキシマ照射装置 Model: MESV-M-2-200 ランプ本数: 2 灯光有効長: 200mm 真空度: 10 -1 Pa 試料搬送機構付（試料加熱冷却可能）