ドライ真空ポンプカタログ

No. VP-0403
小型ドライ真空ポンプカタログ
DRY
VACUUM
PUMPS
CATALOG
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
メカニカルブースターポンプ
ドライ真空ポンプ付属部品
真空配管用部品
Creating Small Vacuum Pumps
アルバック機工株式会社
www.ulvac-kiko.com
の
と
を目指す
基本方針
宮崎工場は、各種ドライ真空ポンプの専門製造工場です。加工部門は、NC旋盤やマシニングセ
ンターなど最新の工作機械を設備しています。徹底したコスト削減と独自の製造ノウハウから生ま
れたドライ真空ポンプは、厳しい検査工程とランニングテストを経て出荷されます。また、アルバ
各業界顧客の要求を満足する
小型・高性能・高信頼性の
製品を市場に供給することを
基本方針とする
ック機工のドライ真空ポンプは、より性能を高めるためのモデルチェンジも積極的に行っています。
ドライ真空ポンプは宮崎工場、油回転真空ポンプは鹿児島工場とそれぞれ専用の工場を有している
のも、品質保証に根ざした小型真空ポンプのリーディングメーカーとしての製造ポリシーです。
ISO9001、ISO14001
品質方針
品質向上
みんなの努力と協力で
認証取得
徹底した品質保持を追求する−−ドライ真空ポンプ専門工場
機械棟全景
高精度を誇るNC旋盤も、多数導入し
ている。
組立はクリーンな
環境の中で行われ、
独自の製造ノウハ
ウにより信頼性を
高めている。
厳しいランニングテストを終えた製品は
最終検査工程を経て出荷される。
組立棟全景
カタログの見方
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-20D
DA-20D
実効排気速度表示
1段型、2段型の区分
Ｓは1段型、Ｄは2段型を示します。Cがついた場合は耐蝕型を示します。
Actual pumping speed
実効排気速度 Actual pumping speed
表記の値は50Hzにおける実効排気速度を示します。60Hzの場合は約1.2倍の能力が得られます。
型式
Type of Pump
（他社の場合、排気速度を設計排気速度で示している例がありますが、当社では一部の機種を除き
実効排気速度を採用しています）
コード付きプラグ
コード付き先ばら
コード付き圧着端子
スイッチ付き
サーマルプロテクター内蔵／アンローダーバルブ（オプション）
With built-in thermal protector/Unloader valve (option)
寸法図 Dimensions
OUT
118
64
9
6
54
端子のみコードなし
165
178
大気圧の気体を吸入した場合の実効排気速度を示します。他のメーカによっては設計排気速度標示の場合
があり、その場合は1.2倍程度にすることによって換算できます。
11
到達圧力とはポンプの真空をつくる最大の能力で、この圧力に達するとポンプの排気速度は0となります。
ゴム脚4-M4
186
70
236
108
使用しているモータの定格を示します。
カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧でご希望の場合はご照会ください。別途お見積いたします。
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DA-20D
L/min.
20/24 (50/60Hz)
Pa
Motor
5.3×103
電源コードを含むポンプの単体の質量です。
アンローダーバルブ付
with unloader valve 9.3×103
標準の吸気管の外径を示します。これと異なるサイズをご希望の場合はお問い合わせください。
1φ,100V, 60W, 4P,condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, Outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.6
kg
7.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
118(W)×236(L)×184(H)
ポンプはこの使用雰囲気温度範囲内でご使用ください。
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
2
CONTENTS
Type
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ス
タ
ン
ダ
ー
ド
タ
イ
プ
／
減
圧
・
加
圧
両
用
タ
イ
プ
高
真
空
タ
イ
プ
ケ
ミ
カ
ル
タ
イ
プ
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
回
転
翼
型
ス
ク
ロ
ー
ル
型
メブ
カーポ
ニスン
カタプ
ルー
3
目次
型式
DAL-5S
DAP-6D
DAP-12S
DA-15S
DA-15D
DA-30S
DA-20D
DA-40S
DA-30D
DA-60S
DA-41D/41DK
DA-81S/81SK
DA-60D
DA-120S
DA-121D
DA-241S
DAT-50D
DAT-100S
DAL-181D
DAL-361S
DAP-15
DAP-30
DAM-010
DAU-100
DAU-100H
MD4
MD8
MD4C
MD8C
DTC-21/21K
DTC-41/41K
DTC-60
DTC-120
DOP-9D
DOP-40D
DOP-80S
DOP-80SP
DOP-200S
DOP-50S4
DOP-100T
DOP-100ST
DOP-50DT
DOP-50F
DOP-300S
DOP-150T
DTP-45D
DTP-90S
DTP-90D
DTP-180S/180SQ
DSB-151
DSB-251
DSB-451
DSB-601
DIS-090
DIS-250
DIS-500
DVT-300
DVS-321
DVS-631
DISL-100
DISL-500
MBS-010
MBS-030
MBS-050
排気速度
L/min(50/60Hz)
到達圧力
Pa
頁
5/6
6/7
12/14
12/15
12/15
24/30
20/24
40/46
30/36
60/72
40/46
75/85
60/72
120/144
120/145
240/260
50/55
100/110
180/210
360/390
15/18
30/36
7/8
100/110
100/110
50/60
100/120
40/50
80/96
20/24
40/46
60/70
120/140
9.0/9.8
40/44
80/88
80/84
200/220
50/55
100/110
100/110
50/55
50/55
300/330
140/160
45/49
90/99
90/99
180/198
180/200
250/310
430/530
600/700
90/108
250/300
500/600
300
265/320
525/630
100/120
430/520
167/200
500/600
833/1000
24.0×103
8
9
9
10
10
11
11
12
12
13
13
14
14
15
15
16
16
17
17
17
18
19
20
20
20
21
21
22
22
23
24
24
25
26
26
27
27
28
28
29
29
30
30
31
31
32
32
33
33
34
34
35
35
36
36
37
37
38
38
39
39
40
41
41
6.65×103
24.0×103
26.6×103
6.65×103
26.6×103
5.3×103
19.9×103
6.7×103
21.3×103
3.3×103
13.3×103
3.32×103
13.3×103
3.3×103
16.0×103
3.3×103
13.3×103
3.3×103
17.3×103
39.9×103
33.3×103
400.0
266.0
1.0×103
260.0
260.0
260.0
260.0
1.0×103
1.0×103
1.0×103
1.0×103
6.7×103
1.2×103
5.4×103
加圧専用
8.0×103
8.0×103
0.4×103
8.0×103
1.2×103
0.27×103
8.0×103
0.4×103
2.7×103
9.3×103
2.7×103
10.0×103
15.0×103
15.0×103
12.0×103
12.0×103
5.0
1.6
1.0
6.7
1.5
1.0
50.0
10.0
4.0×10-2
4.0×10-2
4.0×10-2
特長
・油を使用していないためクリーンな排気が可能です。
・メンテナンスが容易なため卓上用や大量生産される装置の
組込用として多くの用途で使われております。
・小型から大型機種までそろえました。用途に応じてお選び
いただけます。
・「DAP-15、DAP-30」は0.15MPaまでの加圧が可能な減
圧・加圧両用タイプです。
・オイルレスながら、高真空を実現したポンプです。高真空
が必要でありながらオイルポンプを使用したくない場合、
短時間で一定の真空度まで排気したい場合、狭小場所の吸
着ガスを吸引したい場合などに適します。
・接ガス部材質PTFE。高真空・耐食タイプ。
・耐食性に優れ、有機溶媒ガスを直接吸引できます。高価な冷
却トラップは不要です。吸引ガスを回収するためには、排気
側に水冷管を取付ける程度で十分です。
・高真空ですから、蒸気圧の低いガスにも十分対応いたします。
・スタンダード、加圧専用、減圧・加圧両用の各タイプがあ
ります。
・加圧専用タイプは小型のコンプレッサーとしてご利用いた
だけます。
・消耗部品が少なく長寿命です。
・低真空領域で安定した圧力が得られます。
・他の方式のドライポンプにくらべ大容量（高排気速度）型の
ポンプです。
・さらに他の方式にくらべ脈動が少なく、高速で吸着をくりか
えす用途に適します。
・オイルレスながらオイルポンプなみの高真空が得られます。
・排気速度が大きくクリーンな高真空が可能です。
・オイルの管理が不要のため、オイルポンプにくらべメンテ
費用が低減。エネルギーコストも大幅低減されます。
注）
スクロール型の排気速度は設計排気速度を表示しています。
・バックポンプとの組み合わせにより、油回転真空ポンプを
超える高真空が得られます。排気速度が非常に早く、高
速／高真空が必要な用途に適します。
ポンプ選定のしおり
下記の計算式と機種別排気速度曲線により、使用目的によるポンプが選定できます。
（排気速度表は44ページ）
1．排気時間、排気速度の計算式
V
t＝
S
排気時間
（min）
example
P1
× 2.303 log
P2
タンク容積
（L）
ポンプ排気速度
（L/min）
2
80リットルのタンクを、大気圧から13kPaま
で減圧するのに要する時間は？
初期圧力
（Pa）
ポンプはDA-121Dを使用する。
最終圧力
（Pa）
S=
t0＝ t1 ＋ t2 ＋ t3 ＋ ……
example
1
大気圧→90kPa S1=124L/min t1= 80 2.303 log 101324 =0.08
90000
124
80
90000
90kPa→80kPa S2=123L/min t2=
2.303 log
=0.10
123
80000
80kPa→70kPa S3=122L/min t3= 80 2.303 log 80000 =0.10
122
70000
70kPa→60kPa S4=120L/min t4= 80 2.303 log 70000 =0.10
120
60000
80
60000
60kPa→50kPa S5=116L/min t5=
2.303 log
=0.15
116
50000
50kPa→40kPa S6=111L/min t6= 80 2.303 log 50000 =0.16
111
40000
80
40000
40kPa→30kPa S7=108L/min t7=
2.303 log
=0.21
108
30000
30kPa→20kPa S8=96L/min t8= 80 2.303 log 30000 =0.50
96
20000
20kPa→13kPa S9=86L/min t9= 80 2.303 log 20000 =0.40
13000
86
t0=t1∼＋t2∼＋t9＝1.80min
50リットルの容器を大気圧から10000Paま
で５分で減圧したい。どのポンプを選べばい
いでしょうか？
図の通り、1 0 0 0 0 P a で
23L/min以上の排気速度が
必要ですから、DA-30D以上
のポンプをお選びください。
ただし、配管コンダクタンス
や漏れ等を考慮して、実際
には安全率を見込んでお選
びください。
80
DA-121D
60
DA-60D
（L／min）
40
DAT-50D
DA-30D
20
DA-20D
4
0
S＝
1×10
Pa
V 50
t 5
2
3
× 2.303 log
v
P1 初期圧力
t ×2.303Log P2 最終圧力
P1 100000
P2 10000
（L／min）
50Hz
140
S ≒ 23 L /min (at 10000Pa)
DA-121D
120
排気速度
Pumping Speed
100
2．真空により、吸着吸引する場合の計算式
80
60
40
●真空吸着
パイプ
真空状態
真空吸着とは、真空
漏れが無い
20
と大気圧との差圧を利
用して物体を真空側に
0
1
2
3
大気の圧力
4
5
圧力
Pressure
6
7
8
9
10
×10kPa
L／min
吸い付けることです。大気圧は１kg/cm2です。したがって差圧による力は、絶対真空（真空圧力０）の場合は１
kg/cm2、真空圧力50662Pa（1/2気圧）の場合は0.5kg/cm2となります。
●実際の吸着
実際に吸着する際は、一般的に吸着パット、吸着ブロックが利用されます。
刃物
真空ポンプへ
真空ポンプへ
加工物
吸着パッド
吸着用ブロック
吸着用ブロック
真空ポンプへ
工作機械テーブル
4
真空吸着の力は、真空ポンプの性能と吸着パットや吸着ブロックの吸着面積により決まります。
多孔ブロックの場合の吸着面積Aの考え方
吸着パッドの場合の吸着面積Ａの考え方
真空ポンプへ
φD
φd
φd
吸着前はＡ＝πd2/4
φd
Ａ＝πd2/4×n（n：穴の数）となる
実際に吸着するとＡ＝πD2/4
計算式では次の通りです。
●実際の計算式
Ｗ＝
Ｗ＝理論の吸着力（kg）
Ｐ＝吸着パットの圧力（Pa）
（101324−P）A
101324
Ａ＝吸着パットの面積（cm2）
●実際の計算例
0.5kgのワークを垂直吊りする場合、吸着パットの面積は？
吸着パットの圧力を40,000Paとする。
A＝
101324×Ｗ
101324−P
＝
101324×0.5
101324−40,000
＝ 0.83cm2
垂直吊りなので、0.83×3＝2.69cm2 となります。
●安全率
垂直吊りの場合
理論計算値×３
横吊りの場合
理論計算値×６
Tips
アンローダーバルブ
UNLOADER VALVE
アンローダーバルブは、ダイアフラム型ドライ真空ポ
ンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気をすばやく
導入し、ポンプヘッドと外側の差圧をなくす機構です。
アンローダーバルブ作動図
真空 vacuum
真空 vacuum
大気圧
大気圧
atomospheric pressure
真空 vacuum
大気圧
大気圧
atomospheric pressure
真空 vacuum
大気圧
atomospheric pressure
大気圧
atomospheric pressure
大気圧
atomospheric pressure
大気圧−大気圧＝０＜起動トルク
5
大気圧
atomospheric pressure
ドライ真空ポンプ各タイプの動作原理
■ダイアフラム型
①ポンプヘッド
②ケーシング
③コネクティングロッド
④ダイアフラム
⑤ダイアフラム押え板
⑥排気弁
⑦吸気弁
ドライ真空ポンプ
排気口
1 吸気工程中間時
⑤ ⑥
⑦
吸気口
は空気の流れを示す。
はコネクティングロッドの次の工程への動きを示す。
工程順序は →
→ → 1
1 2
3 →4
2 吸気工程最終時（下死点）
①
⑦は引き込まれて開く。
⑥が引きつけられて閉じる。
⑦は完全に開く。
⑥が閉じたまま。
ダイアフラム
③
④
②
3 排気工程中間時
4 排気工程最終時（上死点）
回転軸中心
⑦は押されて閉じたまま。
⑥は押されて完全に開く。
⑦は押されて閉じる。
⑥が押されて開く。
■揺動ピストン型
ドライ真空ポンプ
排気口
■回転翼型ドライ
真空ポンプ
■メカニカルブースターポンプ
シリンダー
ローター
吸気口
反対方向に回転
するまゆ形ロータ
排気口
吸気口
ーを90°位相を
ずらせて取り付け
ピ
ス
ト
ン
A
B
ます。ローターは
シリンダーと接触
シリンダー
することなく気体
ローター
輸送します。
ベーン
C
D
この形式のポンプは、大気に放出する他の形式のポンプ（例
回
転
軸
中
心
えば油回転真空ポンプなど）を補助ポンプとして使用し、高真
空側に用います。
構造的に摺動部がなく、高速回転が可能で高排気速度のもの
ができます。
■スクロール型ドライ真空ポンプ
6
真空の圧力単位について
新計量法による圧力の単位には、ＳＩに係
る計量単位としてPa（パスカル）、N/m2（ニ
ュートン毎方平メートル）およびbar（バー
ル）が用いられるほか、非ＳＩ単位として、
生体内の圧力にTorr（トール）が、そして血
圧にmmHg（水銀柱ミリメートル）が認めら
れています。
真空圧力の表記には、次の二通りの方法が
あります。真空業界では、絶対圧力を使用し
ますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われ
るので、資料やカタログをご覧になるときは、
どちらの方法で圧力が表記されているか確認
する必要があります。
１.
絶対真空を０（ゼロ）とした絶対圧
単位の後にaまたはabsと記す（省略する
ことが多い）
２. 大気圧を０（ゼロ）としたゲージ圧
単位の後にGまたはGaugeと記す（省略
されることが多い）
■各圧力単位における大気圧の値
単位
読み方
絶対圧表記
ゲージ圧表記
真空圧力
真空圧力
大気圧
絶対真空大気圧
範囲
Pa（N/m2）
パスカル
101325
絶対真空
範囲
←→
0
0
←→
-101325
kPa
キロパスカル
101.3
←→
0
0
←→
-101.3
M Pa
メガパスカル
0.101
←→
0
0
←→
-0.101
bar
バール
1.013
←→
0
0
←→
-1.013
mbar
ミリバール
1013
←→
0
0
←→
-1013
Torr
トール
760
←→
0
0
←→
-760
mmHg
ミリメータ水銀柱
760
←→
0
0
←→
-760
mmH2O
ミリメータ水柱
10342
←→
0
0
←→
-10342
1
←→
0
0
←→
-1
14.696
←→
0
0
←→
-14.696
1.0332
←→
0
0
←→
-1.0332
（Aq）
（アクア）
atm
気圧
psi（bf/in2）
ポンド平方インチ
キログラム
kgf/cm2
平方センチメートル
■単位の比較
（絶対真空）
Torr abs
（mmHg abs）
（大気圧）
減圧（真空圧）
100
200
300
400
500
600
700
0.9
加圧
760
1
トール
（ミリメータHg）
1.013
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0
10×103
20×103
30×103
40×103
50×103
60×103
70×103
80×103
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100 101.32
0
0.01
0.02
0.03
0.04
0.05
0.06
0.07
0.08
0.09
0.1 0.101
bar abs
バール
Pa abs
90×103 100×103 101325
パスカル
kPa abs
キロパスカル
MPa abs
メガパスカル
-760
トール
（ミリメータHg）
-1.01
-700
-600
-0.9
-0.8
-500
-400
-0.7
-300
-200
-100
0
Torr G
（mmHg）
-0.6
-0.5
-0.4
-0.3
-0.2
-0.1
0
-60×103
-50×103
-40×103
-30×103
-20×103
-10×103
0
-70
-60
-50
-40
-30
-20
-10
0
9.8
19.6
-70×10-3
-60×10-3
-50×10-3
-40×10-3
-30×10-3
-20×10-3
-10×10-3
0
9.8×10-3
19.6×10-3
bar G
バール
-101325 -90×103
-80×103
-70×103
Pa G
パスカル
-101
-90
-80
kPa G
キロパスカル
-101×10-3 -90×10-3 -80×10-3
MPa G
メガパスカル
キログラム毎平方 -1
センチメートル
0
-0.9
-0.8
-0.7
-0.6
-0.5
-0.4
-0.3
-0.2
-0.1
0
0.1
0.2
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
1.1
1.2
kg/cm2 abs
kg/cm2 G
キログラム毎平方
センチメートル
■単位換算表
To
From
1 Pa（N/m2）
Pa（N/m2）
Torr（mmHg）
atm
mbar
psi（bf/in2）
kgf/cm2
mH2O（15°
）
1
7.50×10-3
9.87×10-6
10-2
1.45×10-4
1.02×10-5
1.02×10-4
1 Torr（mmHg）
133.32
1
1.316×10-3
1.33
1.93×10-2
1.359×10-3
1.36×10-2
1 atm
1.013×105
760
1
1.013×103
14.696
1.033
10.34
1 mbar
100
0.750
9.87×10-4
1
1.45×10-2
1.02×10-3
10.206×10-3
1 psi
（bf/in2）
6.89×103
51.71
6.8×10-2
68.9
1
7.031×10-2
0.703
1 kgf/cm2
9.8×104
735.56
0.968
9.81×102
14.223
1
10
1 mH2O
9.8×103
73.49
9.68×10-2
98.0
1.421
0.1
1
7
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAL Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAL-5S
■スタンダードタイプ Standard type
DAL-5S
DAP-6D
DAP-12S
DA-15S
DA-15D
DA-30S
DA-20D
DA-40S
DA-30D
DA-60S
DA-41D/41DK
DA-81S/81SK
DA-60D
DA-120S
DA-121D
DA-241S
DAT-50D
DAT-100S
DAL-181D
DAL-361S
実効排気速度表示
Actual pumping speed
特長
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
ダイアフラム型真空ポンプはゴムの薄膜（ダイアフラム）の往
復運動を利用して真空排気を行う真空ポンプです。真空ポンプ
寸法図 Dimensions
の基本性能である排気速度、到達圧力では比類のない能力を
有しています。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・小型、軽量、低価格
・すべての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も
IN
87 20
考慮
67
60
φ40
54
93
使用上の注意
１．ポンプを停止した後に再起動する場合ポンプ内を真空のま
φ10
7
67
44
15
まにしていると再起動が難しくなることがありますが、この
5
118
場合はポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
（なお
57
ゴム脚4-M3
アンローダー機構内蔵のタイプはこの必要はありません）
電源コード
（機外長約1.8m）
２．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合
は、それらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い
合わせください。
３．
「DA-15S、DA-15D、DA-30S」の長時間の連続運転はポン
仕様 Specifications
プ寿命を縮めます。スイッチの切り忘れにご注意ください。
Actual Pumping Speed
主な利用分野
メンテナンスが容易なため、大量生産される装置の組込用とし
て多くの用途で使われております。
１．吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット
Unit
DAL-5S
L/min.
5/6 (50/60Hz)
Pa
24.0×103
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
1φ, 100V, 10W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
２．分析機器、理化学機器
全負荷電流
３．半導体検査装置
Weight
４．デバイス組立
質量
５．自動機、包装機
Inlet, outlet pipe diameter
A
0.5
kg
1.3
mm
O.D.φ6×I.D.φ3.5 (M8×1)
℃
7∼40
mm
87(W)×118(L)×98(H)
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
注）DAL-5Sは組込型のため、冷却ファンがむきだしになっています。手指や異物などがからま
る危険がありますのでご注意ください。オプションでファンカバーもご用意しております。
8
98
φ54
86
・シンプルな構造でメンテナンスも容易
67
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DAP Series
スタンダードタイプ
DAP Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP-6D
DAP-12S
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
（75）
67
24
（75）
4-M3タップ
中間スイッチ付電源コード
（約2m）
M4タップ
67
80
4-ゴム脚
89.6
95.6
100.6
65±5
4
ハウジング：JST ELP-02V
ソケットコンタクト：SLF-41T-P1.3E
L/min.
30.5
DAP-6D
6/7 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
Pa
6.65×103
1φ, 100V, 10W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
0.39/0.43 (50/60Hz)
kg
1.8
mm
Rc 1/8
9
Pa
24.0×103
Motor
1φ, 100V, 10W, 4P, condenser run
Full load current
A
0.39/0.43 (50/60Hz)
Weight
kg
1.8
Inlet, outlet pipe diameter
mm
Rc 1/8
℃
0∼40
mm
75(W)×156(L)×100.6(H)
吸・排気口径
℃
0∼40
使用雰囲気温度範囲
最大寸法
Ultimate pressure
質量
吸・排気口径
Overall dimensions
12/14 (50/60Hz)
全負荷電流
質量
Ambient operation temp.range
DAP-12S
使用電動機
全負荷電流
Inlet, outlet pipe diameter
Unit
L/min.
到達圧力
Motor
Weight
Actual Pumping Speed
実効排気速度
到達圧力
Full load current
39.5
コンデンサ 5.0μF（200VAC）
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
AWG20 黒UL 1015 L＝60±10
39.5
仕様 Specifications
M3タップ
M4タップ
49
57
CCW
中間スイッチ付電源コード（約2m）
AWG20 黒 UL 1015 L＝60±10
コンデンサ 5.0μF（200VAC）
IN
（89.5）
4-M3タップ
30.5
ハウジング：JST ELP-02V
ソケットコンタクト：SLF-41T-P1.3E
4-M4タップ
40±5
95.6
100.6
89.6
M3タップ
49
57
CCW
4-ゴム脚
67
80
156
65±5
4
40±5
4-M4タップ
67
24
OUT
IN
（89.6）
156
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
75(W)×156(L)×100.6(H)
Overall dimensions
最大寸法
注）DAP-6D、DAP-12Sは組込型のため、冷却ファンがむきだしになっています。手指や異物などがからまる危険が
ありますのでご注意ください。オプションでファンカバーもご用意しております。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-15S
DA-15D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
IN
176.5
45
OUT
OUT
IN
203
（65）
162
22
2×2−φ4
90
56.5
115
仕様 Specifications
2×2−φ4
56.5
90
Unit
DA-15S
L/min.
12/15 (50/60Hz)
Pa
26.6×103
1φ, 100V, 25W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
0.6
kg
3.1
mm
O.D.φ9×I.D.φ5
Pa
6.65×103
Motor
1φ, 100V, 35/37W, 4P, Condenser run
Full load current
A
0.65/0.76 (50/60Hz)
Weight
kg
3.9
Inlet, outlet pipe diameter
mm
O.D.φ9×I.D.φ5
℃
7∼40
mm
125(W)×203(L)×182(H)
吸・排気口径
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
最大寸法
Ultimate pressure
質量
吸・排気口径
Overall dimensions
DA-15D
12/15 (50/60Hz)
全負荷電流
質量
Ambient operation temp.range
Unit
L/min.
使用電動機
全負荷電流
Inlet, outlet pipe diameter
Actual Pumping Speed
到達圧力
Motor
Weight
125
実効排気速度
到達圧力
Full load current
115
ゴム脚
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
76
22
ゴム脚
125
Actual Pumping Speed
10
10
60
141
182
182
81
60
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
125(W)×176.5(L)×182(H)
Overall dimensions
最大寸法
10
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-30S
DA-20D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵／アンローダーバルブ（オプション）
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector/Unloader valve (option)
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
203
IN
（65）
54
64
76
10
60
11
141
182
165
178
9
6
20.5
162
OUT
118
OUT
ゴム脚4-M4
22
2×2−φ4
90
56.5
ゴム脚
186
70
236
108
115
125
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
24/30 (50/60Hz)
Pa
26.6×103
Motor
1φ, 100V, 35/37W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
11
DA-30S
A
0.65/0.76 (50/60Hz)
kg
3.9
mm
O.D.φ9×I.D.φ5
℃
7∼40
mm
125(W)×203(L)×182(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DA-20D
L/min.
20/24 (50/60Hz)
Pa
Motor
5.3×103
アンローダーバルブ付
with unloader valve 9.3×103
1φ,100V, 60W, 4P,Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, Outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.6
kg
7.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
118(W)×236(L)×184(H)
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-40S
DA-30D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵／アンローダーバルブ（オプション）
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector/Unloader valve (option)
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
OUT
IN
OUT
128
IN
212
167
278
84
6
27.5
22.5
95
(194)
224.5
155
186
70
236
108
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
到達圧力
Unit
DA-40S
L/min.
40/46 (50/60Hz)
Pa
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
19.9×103
アンローダーバルブ付
with unloader valve 22.6×103
1φ, 100V, 60W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
136
160
ゴム脚4-M4
Actual Pumping Speed
Unit
DA-30D
L/min.
30/36 (50/60Hz)
Pa
6.7×103
実効排気速度
Motor
Full load current
60
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
160
200
ゴム脚4-M4
12
91
165
178
電源コード
（機外長1.8m）
(160.5)
(25.5)
6φ
E
11
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
A
1.6
kg
7.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
128(W)×236(L)×184(H)
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
使用電動機
Full load current
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
kg
11.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
212(W)×278(L)×224.5(H)
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
12
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-60S
DA-41D/41DK
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual
pumping speed
Actual pumping speed
組込型 DA-41DK
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
OUT
212
IN
278
OUT
IN
（16.5）
27.5
157
320
161
22.5
160
60
200
217
192
(160.5)
224.5
136
160
ゴム脚 4-M4
10.5
E
電源コード
（機外長1.8m）
12
91
155
(194)
(25.5)
95
ゴム脚 4-M4
230
90
133
図面はDA-41D
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
L/min.
60/72 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
Pa
21.3×103
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
使用電動機
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
kg
11.0
Ambient operation temp.range
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc1/4)
最大寸法
Full load current
3.3×103
A
Weight
kg
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
Pa
1φ, 100V, 100W, 4P, Condenser run
質量
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
212(W)×278(L)×224.5(H)
Overall dimensions
最大寸法
DA-41DK
40/46 (50/60Hz)
Motor
全負荷電流
質量
DA-41D
L/min.
使用電動機
全負荷電流
Inlet, outlet pipe diameter
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
Weight
Actual Pumping Speed
実効排気速度
到達圧力
Full load current
Unit
DA-60S
2.5/2.7 (50/60Hz)
10.3
10.2
mm
O.D.φ9×I.D.φ6 (G1/4)
℃
0∼40
mm
157(W)×336.5(L)×217(H) 140(W)×288(L)×202(H)
DA-41DKはDA-41Dの装置組込型です。
13
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-81S/81SK
DA-60D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual
pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
組込型 DA-81SK
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
181
IN
(6)
150
90
108
9
225
201.5
132
238
229
217
ゴム脚4-M4
With built-in thermal protector/Unloader valve
OUT
IN
320
192
（16.5）
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）／アンローダーバルブ内蔵
寸法図 Dimensions
10.5
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
230
90
133
ゴム脚4-M4
110
140
300
340
347
図面はDA-81S
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
75/85 (50/60Hz)
Pa
13.3×103
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Actual Pumping Speed
A
kg
Ultimate pressure
到達圧力
DA-60D
60/72 (50/60Hz)
Pa
3.32×103
Motor
全負荷電流
10.2
mm
O.D.φ12×I.D.φ8 (G1/4)
℃
0∼40
mm
181(W)×336.5(L)×217(H) 153(W)×288(L)×202(H)
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
2.5/2.7 (50/60Hz)
10.3
Unit
L/min.
実効排気速度
1φ, 100V, 100W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DA-81SK
L/min.
Motor
Full load current
DA-81S
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
5.0
kg
19.0
mm
O.D.φ14×I.D.φ9 (G3/8)
℃
7∼40
mm
156(W)×347(L)×238(H)
DA-81SKはDA-81Sの装置組込型です。
14
DA Series
スタンダードタイプ
DA Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-120S
DA-121D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）／アンローダーバルブ内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector/Unloader valve
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
OUT
(6)
150
OUT
IN
193.5
(6)
272
Unit
DA-120S
L/min.
120/144 (50/60Hz)
Pa
13.3×103
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
15
180
Ultimate pressure
Unit
DA-121D
L/min.
120/145 (50/60Hz)
Pa
3.3×103
到達圧力
Motor
全負荷電流
Actual Pumping Speed
実効排気速度
到達圧力
Full load current
402
144
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
120
ゴム脚4-M4
411
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
354
363
110
140
4-M5タップ
13
225
238
229
201.5
9
ゴム脚4-M4
300
340
347
270
90
108
285
IN
Motor
1φ, 100V, 400W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
5.0
Full load current
全負荷電流
kg
19.0
Weight
質量
mm
O.D.φ14×I.D.φ9 (G3/8)
Inlet, outlet pipe diameter
A
5.1/5.6 (50/60Hz)
kg
26.0
mm
O.D.φ16×I.D.φ12 (G1/2)
℃
0∼40
mm
193.5(W)×411(L)×285(H)
吸・排気口径
℃
7∼40
mm
162(W)×347(L)×238(H)
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DA Series
スタンダードタイプ
DAT Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DA-241S
DAT-50D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
174
207
OUT
IN
54
305
OUT
10
270
272
285
IN
13
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
354
363
402
411
ゴム脚4-M4
120
144
180
4-M5タップ
仕様 Specifications
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
240/260 (50/60Hz)
Pa
16.0×103
1φ, 100V, 400W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
150
DA-241S
L/min.
Motor
Full load current
120
232
ゴム脚4-M5
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
130
A
5.6/6.2 (50/60Hz)
kg
26.0
mm
O.D.φ16×I.D.φ12 (G1/2)
℃
0∼40
mm
207(W)×411(L)×285(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DAT-50D
L/min.
50/55 (50/60Hz)
Pa
3.3×103
Motor
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
kg
11.0
mm
O.D.φ12×I.D.φ8 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
150(W)×232(L)×305(H)
16
DAT Series
スタンダードタイプ
DAL Series
スタンダードタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAT-100S
DAL-181D/361S
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
174
IN
OUT
153.5
IN
15
109
205.4
238.5
(274)
54
10
305
264
OUT
136
ゴム脚4-M5
142.4
26.4
312.8
346
364.4
388
523.6
130
120
232
150
ゴム脚4-M5
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
100/110 (50/60Hz)
Pa
13.3×103
Motor
1φ, 100V, 200W, 4P, Split phase starting
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
17
Unit
DAT-100S
A
5.6/5.0 (50/60Hz)
kg
11.0
mm
O.D.φ12×I.D.φ8 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
150(W)×232(L)×305(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Motor
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DAL-361S
180/210
360/390
(50/60Hz)
(50/60Hz)
3.3×103
17.3×103
3φ, 200V, 0.5kW, 4P
使用電動機
Full load current
DAL-181D
A
2.4/2.9 (50/60Hz)
kg
37.0
mm
O.D.φ21×I.D.φ15 (G1/2)
℃
7∼40
mm
388(W)×523.6(L)×274(H)
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP Series
減圧・加圧両用タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP-15
■減圧・加圧両用タイプ Vacuum and Pressure type
実効排気速度表示
DAP-15
Actual pumping speed
DAP-30
特長
減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口
に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれ
ば加圧ポンプとして使用することができます。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・小型、軽量、低価格
・すべての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も
考慮
・シンプルな構造でメンテナンスも容易
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
使用上の注意
寸法図 Dimensions
１．ポンプを停止した後に再起動する場合ポンプ内を真空のま
まにしていると再起動が難しくなることがありますが、この
場合はポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
63.5
２．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合
196
は、それらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い
OUT
合わせください。
133
154
３．加圧で使用する場合は、0.15MPa以下でご使用ください。
主な利用分野
メンテナンスが容易なため、大量生産される装置の組込用とし
52
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
て多くの用途で使われております。
75
１．吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット
50.5
91
4-φ5貫通
95
２．分析機器、理化学機器
111
３．半導体検査装置
４．デバイス組立
５．自動機、包装機
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Max. Pressure
加圧圧力(ゲージ圧)
Unit
DAP-15
L/min.
15/18 (50/60Hz)
Pa
39.9×103
MPa
0.15
Motor
1φ, 100V, 40W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.0
kg
3.6
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
111(W)×196(L)×154(H)
18
DAP Series
減圧・加圧両用タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAP-30
■高真空タイプ High Vacuum type
DAM-010
実効排気速度表示
Actual pumping speed
DAU-100
MD4
DAU-100H
MD8
■高真空・耐食タイプ
High Vacuum and Anti-corrosive type
MD4C
MD8C
特長
高真空タイプのダイアフラム型真空ポンプは、ダイアフラム型
真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求した真空ポンプです。
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
DAU・MDシリーズでは、複数のポンプヘッドを３段式に配管
することにより、通常のダイアフラム式では得られない真空領
域を実現しています。
寸法図 Dimensions
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・広域型ターボ分子ポンプのバックポンプとしても利用可能
・
「DAU-100H」は大気、真空を繰り返すハードな間欠運転に
110
215
使用上の注意
148
１．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガス等が混入する場合
108
180
20
IN
最適
・MDシリーズには耐食タイプもあります
93
はそれらを取り除く必要があります。詳細は弊社にお問い合
12
わせください。
100
ゴム脚4-M4
23
130
12
135
主な利用分野
１．広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Max. Pressure
加圧圧力(ゲージ圧)
２．クライオポンプ排気系のバックポンプ
Unit
DAP-30
L/min.
30/36 (50/60Hz)
Pa
33.3×103
MPa
0.15
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
19
６．レーザガス循環・排気用
７．真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
1φ, 100V, 90W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
４．ロードロック室排気
５．吸着搬送、ハンドリング
Motor
Full load current
３．メカニカルブースターポンプのバックポンプ
A
2.0
kg
5.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (G1/4)
℃
7∼40
mm
142(W)×215(L)×180(H)
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DAM Series
高真空タイプ
DAU Series
高真空タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DAM-010
DAU-100/100H
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
アンローダバルブ付
With unloader valve
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
OUT
IN
118
37
120
OUT
100 48
229
81
132
310
291
123.5
31
IN
20
127.5
101
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
75
135
91
218
4-φ5貫通
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
7/8 (50/60Hz)
Pa
400
1φ, 100V, 40W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
DAM-010
L/min.
Motor
Full load current
170
190
410
437
4-5φ貫通
A
1.1
kg
4.5
mm
O.D.φ8×I.D.φ5 (Rc 1/8)
℃
7∼40
mm
135(W)×218(L)×132(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Motor
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DAU-100H
100/110 (50/60Hz)
1000
266
1φ, 100V, 300W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
DAU-100
A
6.2/5.5 (50/60Hz)
kg
24.0
mm
KF-16 (NW-16)
℃
7∼40
mm
190(W)×437(L)×310(H)
20
MD Series
高真空タイプ
MD Series
高真空タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
MD4
MD8
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
470
端子
ボックス
230
240
スイッチ
ハンドル
188
300
324
63
150
106.5
131
ガスバラスト
バルブ
OUT
24
IN
サイレンサー
ゴム脚4-M6
281
134
315
235
IN
110
240
２芯変換アダプタ−
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
MD4
L/min.
50/60 (50/60Hz)
Pa
260
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
A
3.2/3.6 (50/60Hz)
KF-16 (NW-16)
吸気管径
With silencer
排気管
21
260
Motor
1φ, 100V, 390W, 4P, Condenser run
Full load current
A
6.8/5.9 (50/60Hz)
Inlet pipe diameter
KF-25 (NW-25)
Outlet pipe
With silencer
排気管
kg
15.0
質量
最大寸法
Pa
吸気管径
Outlet pipe
Overall dimensions
Ultimate pressure
MD8
100/120 (50/60Hz)
全負荷電流
Inlet pipe diameter
使用雰囲気温度範囲
実効排気速度
Unit
L/min.
使用電動機
全負荷電流
Ambient operation temp.range
Actual Pumping Speed
到達圧力
Motor
Weight
電源コ−ド（機外長2.2ｍ）
仕様 Specifications
Unit
到達圧力
Full load current
ゴム脚4-M6
245
Weight
kg
25.0
℃
7∼40
mm
240(W)×470(L)×324(H)
質量
℃
7∼40
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
315(W)×235(L)×188(H)
Overall dimensions
最大寸法
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
MD Series
高真空・耐食タイプ
MD Series
高真空・耐食タイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
MD4C
MD8C
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
端子ボックス
ガスバラスト
バルブ
487
OUT
150
106.5
185
300
324
63
スイッチ
ハンドル
24
IN
サイレンサー
131
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
ゴム脚4-M6
281
134
315
241
IN
OUT
245
110
ゴム脚 4-M6
240
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
MD4C
L/min.
40/50 (50/60Hz)
Pa
260
到達圧力
Motor
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
A
3.2/3.6 (50/60Hz)
mm
O.D.φ11×I.D.φ6
mm
O.D.φ11×I.D.φ6
kg
16.0
℃
7∼40
mm
315(W)×241(L)×185(H)
全負荷電流
Inlet pipe diameter
吸気管径
Outlet pipe
排気管
Weight
質量
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Inlet pipe diameter
吸気管径
Outlet pipe
排気管
Weight
質量
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
MD8C
L/min.
80/96 (50/60Hz)
Pa
260
1φ, 100V, 390W, 4P, Condenser run
A
6.8/5.9 (50/60Hz)
KF-25 (NW-25)
mm
O.D.φ11×I.D.φ6
kg
25.0
℃
7∼40
mm
240(W)×487(L)×324(H)
注）MD-8Cは外国為替及び外国貿易法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当しま
す。日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りくだ
さい。
22
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DTC Series
ケミカルタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DTC-21/21K
■ケミカルタイプ Chemical type
DTC-21/21K
DTC-41/41K
DTC-60
DTC-120
特長
ケミカルタイプのダイアフラム型真空ポンプは、接ガス部に
PTFEを使用し、耐食性を高めた真空ポンプです。有機溶媒や
腐食性ガスを吸引する用途に最適です。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
組込型 DTC-21K
サーマルプロテクター内蔵
・接ガス部にPTFEを使用。到達圧力は1kPaを実現
With built-in thermal protector
・耐食性に優れ、有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に
寸法図 Dimensions
も最適
・組み込み専用のKタイプもあります
使用上の注意
（16.5）
OUT
１．吸引する気体に粉体、液体、特殊ガス溶液などが混入する
272
133
142
IN
場合、それらを取除く必要があります。ご使用の場合ご相
202
主な利用分野
175.1
談ください。
10.6
DIAPHRAGM TYPE DRY VACUUM PUMP
１．ロータリーエバポレーター
ゴム脚4-M4
186
70
118
２．真空濃縮、真空ろ過、遠心分離
３．真空乾燥
４．レーザーガス循環
図面はDTC-21
５．医療機器／製薬用機器
６．特殊ガス充填
仕様 Specifications
７．分析機器、理化学機器
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
23
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
1.0×103
1φ, 100V, 50W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DTC-21K
20/24 (50/60Hz)
Pa
Motor
Full load current
DTC-21
A
kg
1.3
7.3
7.2
mm
O.Dφ9×I.Dφ5 (G1/4)
℃
0∼40
mm
×288.5（L）×202（H） 125（W）
×242（L）×184（H）
142（W）
DTC-21KはDTC-21の装置組込型です。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DTC Series
ケミカルタイプ
DTC Series
ケミカルタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DTC-41/41K
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
228
IN
ON
OFF
90
ゴム脚4-M4
230
158
340
185
14
DIAPHRAGM TYPE DRY VACUUM PUMP
OUT
192
217
155
224
320
161
242
寸法図 Dimensions
(16.5)
DTC-60
サーマルプロテクター内蔵
組込型 DTC-41K
10.5
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
280
300
330
133
110
150
ゴム脚4-M4
図面はDTC-41
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min
40/46 (50/60Hz)
Pa
1.0×103
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
1φ, 100V, 100W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DTC-41K
Actual Pumping Speed
Motor
Full load current
DTC-41
kg
2.2/2.3 (50/60Hz)
10.3
mm
O.Dφ9×I.Dφ6 (G1/4)
℃
0∼40
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
mm
×336.5（L）×217（H） 136（W）
×288（L）×202（H）
155（W）
L/min
60/70 (50/60Hz)
Pa
1.0×103
Motor
全負荷電流
10.2
DTC-60
1φ, 100V, 200W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
A
Unit
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
A
3.6/3.7 (50/60Hz)
kg
18.0
mm
O.Dφ14×I.Dφ9 (G3/8)
℃
0∼40
mm
×340（L）
×242（H）
158（W）
24
DTC Series
ケミカルタイプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
DTC-120
■スタンダードタイプ Standard type
DOP-9D
DOP-40D
DOP-80S
DOP-200S
DOP-50S4
DOP-100T
DOP-100ST
DOP-50DT
DOP-50F
DOP-300S
DOP-150T
DTP-45D
DTP-90D
DTP-180S
DTP-180SQ
■加圧専用タイプ Pressure type
DOP-80SP
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
■減圧・加圧両用タイプ Vacuum and Pressure type
DTP-90S
寸法図 Dimensions
特長
揺動ピストン型真空ポンプは、ピストンリングに特殊樹脂を使
用し、シリンダー内でピストンが往復運動することによって真
空排気する真空ポンプです。
OUT
411
221
203
IN
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・加圧専用タイプ、減圧・加圧両用タイプもあります
・大気圧に近い圧力帯での用途でも使用可能
23
279
287
300
・シンプルな構造でメンテナスも容易
使用上の注意
１．吸入する気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場
4-M5
合はそれらを取り除く必要があります。また加圧で使用する
13
354
122
ゴム脚4-M4
360
402
144
180
場合は、最大加圧能力以上にならないよう注意してください。
２．
「DOP-80SP、DTP-90S」は加圧圧力の仕様値以下でご使
用ください。
３．
「DOP-50S4、DOP-100ST、DOP-50DT」は使用圧力に制
限があります。到達圧力∼30kPaの範囲でご使用ください。
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DTC-120
L/min
120/140 (50/60Hz)
Pa
1.0×103
（排気用）１．真空チャック、真空ピンセット
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
1φ, 100V, 400W, 4P, Condenser run
A
5.3/6.0 (50/60Hz)
kg
27.5
mm
O.Dφ16×I.Dφ10 (G1/2)
℃
0∼40
mm
203(W)×411(L)×300(H)
注）DTC-120は外国為替及び外国貿易法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当し
ます。日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りく
ださい。
25
主な利用分野
２．自動機等の真空吸着搬送
３．真空包装、印刷機械
４．吸引器
５．チップマウンター
（加圧用）１．自動機の加圧源
２．空圧機器、印刷機械
３．耳鼻科・歯科用機器
４．空気圧計測器
５．酸素濃縮装置
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
ダ
イ
ア
フ
ラ
ム
／
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
ポ
ン
プ
DOP Series
スタンダードタイプ
DOP Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-9D
DOP-40D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
（270）
OUT
(25.5)
(18)
94
(25.5)
219
8.5
16
IN
OUT
179
109
7
66.5
162.5
IN
110
75
41
126
15
15
91
（27）
170
1.5
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
4-M5タップ
（27）
192
（246）
89
104
132
4-φ5貫通仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
9.0/9.8 (50/60Hz)
Pa
6.7×103
Motor
1φ, 100V, 40W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DOP-9D
A
1.1
kg
3.0
mm
O.D.φ8×I.D.φ5 (Rc 1/8)
℃
7∼40
mm
126(W)×170(L)×110(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DOP-40D
L/min.
40/44 (50/60Hz)
Pa
1.2×103
Motor
1φ, 100V, 210W, 4P, Condenser run
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
3.2/3.9 (50/60Hz)
kg
7.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
160(W)×270(L)×179(H)
26
DOP Series
スタンダードタイプ
DOP Series
加圧専用タイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-80S
DOP-80SP
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
（288）
（270）
94
(25.5)
OUT
(25.5)
16
16
IN
181
7
7
66.5
66.5
162.5
179
IN
94
(25.5)
237
OUT
85
219
164.5
(25.5)
（27）
192
（246）
89
104
（27）
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
27
80/88 (50/60Hz)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
5.4×103
到達圧力
Max. Pressure
1φ, 100V, 210W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DOP-80S
Ultimate pressure
Motor
Full load current
132
（27）
210
（264）
仕様 Specifications
Unit
実効排気速度
89
104
4-M5タップ
26 132
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
15
15
4-M5タップ
1.5
1.5
15
15
（27）
加圧圧力（ゲージ圧）
Unit
DOP-80SP
L/min.
80/84 (50/60Hz)
Pa
加圧専用 Only for pressure
MPa
0.5
Motor
A
3.2/3.9 (50/60Hz)
kg
7.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
℃
7∼40
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
160(W)×270(L)×179(H)
1φ, 100V, 300W, 4P Condenser run
使用電動機
Overall dimensions
最大寸法
A
5.0/5.5 (50/60Hz)
kg
9.0
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
160(W)×288(L)×181(H)
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DOP-Quattro Series
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-200S
DOP-50S4
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
ポンプヘッド組み合わせ
大排気量
タイプ
50L/min
４機タイプ
OUT
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
OUT
IN
OUT
IN
OUT
IN
OUT
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
IN
サイレンサー
IN
（352）
（231）
仕様 Specifications
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
136.85
（310）
ゴム脚 4-M6
DOP-200S
200/220 (50/60Hz)
8.0×103
Actual Pumping Speed
実効排気速度
到達圧力
Unit
DOP-50S4
L/min.
50/55 (50/60Hz)
Pa
8.0×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
全負荷電流
IN
（218）ゴム脚位置
Ultimate pressure
Motor
Full load current
IN
仕様 Specifications
Unit
実効排気速度
136.85
120
136.85
19
ゴム脚 4-M6
（379）
Actual Pumping Speed
サイレンサー
136.85
（160）
（315）
（155）
IN
（352）
（240）
1919
19
120
（434）
（218）ゴム脚位置
（155）
寸法図 Dimensions
IN
（155）
IN
最大寸法
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
310
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
Full load current
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
℃
0∼40
Overall dimensions
最大寸法
mm
315(W)×434(L)×231(H)
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
310(W)×352(L)×240(H)
注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、
「DOP-50S4」は、使用圧力に到
達圧力∼30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。
28
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-100T
DOP-100ST
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
ポンプヘッド組み合わせ
100L/min
ツインタイプ
３段式
高真空タイプ
OUT
IN
サーマルプロテクター内蔵
IN
OUT
OUT IN
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
サイレンサー
（231）
（434）
（434）
19
IN
IN
（379）
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
100/110 (50/60Hz)
Pa
0.4×103
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
29
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DOP-100ST
L/min.
100/110 (50/60Hz)
Pa
8.0×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
全負荷電流
DOP-100T
L/min.
Motor
Full load current
1919
ゴム脚 4-M6
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
136.85
（160）
（352）
19
（379）
120
（160）
310
（320）
136.85
120
136.85
（315）
（155）
310
（352）
1919
（218）ゴム脚位置
（160）
（218）ゴム脚位置
IN
136.85
サイレンサー
Full load current
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
全負荷電流
Weight
kg
20.0
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
℃
0∼40
Overall dimensions
最大寸法
mm
315(W)×434(L)×231(H)
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
320(W)×434(L)×231(H)
注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、
「DOP-100ST」は、使用圧力に
到達圧力∼30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DOP-Quattro Series
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-50DT
DOP-50F
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
ポンプヘッド組み合わせ
50L/min
ツインタイプ
４段式
高真空タイプ
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
OUT
IN
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
サイレンサー
（379）
（231）
サイレンサー
IN
（231）
19
（434）
19
310
（218）ゴム脚位置
（155）
136.85
120
（315）
136.85
（160）
（218）ゴム脚位置
（352）
IN
（352）
仕様 Specifications
Unit
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
50/55 (50/60Hz)
Pa
1.2×103
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
全負荷電流
DOP-50DT
Actual Pumping Speed
Motor
Full load current
19
ゴム脚 4-M6
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
IN
（379）
19
136.85
OUT
120
OUT
IN
136.85
IN
最大寸法
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
（310）
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
Unit
DOP-50F
L/min.
50/55 (50/60Hz)
Pa
0.27×103
Motor
3φ, 200V, 280W, 4P
使用電動機
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
310(W)×379(L)×231(H)
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
注）実効排気速度は大気圧時の値を記載していますが、
「DOP-50DT」は、使用圧力に到
達圧力∼30kPaの範囲制限があります。ご注意ください。
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
A
1.8/1.7 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
315(W)×434(L)×231(H)
30
DOP-Quattro Series
スタンダードタイプ
DOP-Quattro Series
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DOP-300S
DOP-150T
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
ポンプヘッド組み合わせ
ポンプヘッド組み合わせ
３段式
高真空タイプ
大排気量
タイプ
IN
OUT
OUT
IN
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
サイレンサー
サイレンサー
（231）
（443）
（231）
（443）
（227）ゴム脚位置
IN
IN
（388）
ゴム脚 4-M6
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Pa
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
31
300/330 (50/60Hz)
Actual Pumping Speed
8.0×103
Ultimate pressure
到達圧力
3φ, 200V, 400W, 4P
使用電動機
全負荷電流
DOP-300S
実効排気速度
Motor
Full load current
19
ゴム脚 4-M6
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
136.85
（155）
（361）
19
（388）
仕様 Specifications
120
136.85
（160）
（315）
310
136.85
（155）
310
（315）
120
136.85
（160）
（227）ゴム脚位置
（361）
最大寸法
スタンダードタイプ
Unit
DOP-150T
L/min.
140/160 (50/60Hz)
Pa
0.4×103
Motor
3φ, 200V, 400W, 4P
使用電動機
A
2.5/2.3 (50/60Hz)
Full load current
全負荷電流
kg
20.0
Weight
質量
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
Inlet pipe diameter
吸気口径
℃
0∼40
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
315(W)×443(L)×231(H)
Overall dimensions
最大寸法
A
2.5/2.3 (50/60Hz)
kg
20.0
mm
O.D.φ16.0×I.D.φ12.0 (Rc 1/2)
℃
0∼40
mm
315(W)×443(L)×231(H)
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DTP Series
スタンダードタイプ
DTP Series
減圧・加圧両用タイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DTP-45D
DTP-90S
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
OUT
（146）
（80）
(80)
66
161
171
電源コ−ド
（機外長200mm）
IN
(146)
(271)
66
171
OUT
（294）
(216)
IN
（200）
161
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
Ultimate pressure
到達圧力
L/min.
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
45/49 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
Pa
2.7×103
到達圧力
Max. Pressure
1φ, 100V, 230W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
DTP-45D
Actual Pumping Speed
Motor
Full load current
132
238
250
4-M6タップ
仕様 Specifications
Unit
実効排気速度
89
204
4-M6タップ
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
電源コ−ド
（機外長200mm）
89
132
204
238
250
加圧圧力(ゲージ圧)
Unit
DTP-90S
L/min.
90/99 (50/60Hz)
Pa
9.3×103
MPa
0.2
Motor
A
3.0/3.1 (50/60Hz)
kg
7.5
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
℃
7∼40
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
mm
146(W)×294(L)×200(H)
1φ, 100V, 250W, 4P, Condenser run
使用電動機
Overall dimensions
最大寸法
A
5.3/5.8 (50/60Hz)
kg
7.5
mm
O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
℃
7∼40
mm
146(W)×271(L)×216(H)
32
DTP Series
スタンダードタイプ
DTP Series
スタンダードタイプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
DTP-90D
DTP-180S/180SQ
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（DTP-180Sのみ）
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
IN
OUT
170
OUT
170
328
297
IN
37
215
235
215
235
37
電源コード
（機外長200mm）
電源コード
（機外長200mm）
216
216
266
115
136.5
4-M6 タップ 115
136.5
4-M6タップ
266
図面はDTP-180S
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Actual Pumping Speed
L/min.
90/99 (50/60Hz)
Pa
2.7×103
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
33
到達圧力
A
3.6/4.3 (50/60Hz)
kg
10.0
mm
O.D.φ14×I.D.φ9 (Rc 3/8)
℃
7∼40
mm
170(W)×328(L)×235(H)
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
DTP-180SQ
180/198 (50/60Hz)
Pa
10.0×103
使用電動機
Full load current
DTP-180S
L/min.
Motor
1φ, 100V, 375W, 4P, Condenser run
使用電動機
全負荷電流
実効排気速度
Ultimate pressure
Motor
Full load current
Unit
DTP-90D
A
kg
mm
℃
mm
1φ, 100V, 375W, 4P
3φ, 200V, 375W, 4P
Condenser run
Condenser run
3.7/3.8 (50/60Hz)
2.0/1.7 (50/60Hz)
10.0
O.D.φ14×I.D.φ9 (Rc 3/8)
7∼40
170(W)×297(L)×235(H) 136.5(W)×297(L)×235(H)
揺
動
ピ
ス
ト
ン
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
回転翼型ドライ真空ポンプ
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
DSB Series
スタンダードタイプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
DSB-151/251
■スタンダードタイプ Standard type
DSB-151
DSB-251
DSB-451
DSB-601
DSB-151
特長
回転翼型真空ポンプは、シリンダー内で回転するローターの溝
に挟み込まれた特殊カーボンの翼板が、シリンダー内をしゅう
動回転することにより真空排気するタイプの真空ポンプです。
DSB-251
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
・低真空領域で大排気量を維持
・シンプルな構造でメンテナンスが容易
寸法図 Dimensions
使用上の注意
１．構造上排気中に多少摩耗したカーボン粉が含まれることが
ありますのでご注意ください。
B
K
A
J
２．加圧でのご使用は避けてください。
N
３．温度の高い気体の排気には不適当です。
14
C
R
D
回
転
翼
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
主な利用分野
１．チップマウンター
H
I
G
E
F
２．印刷機械
３．各種包装機械
４．電子部品実装装置
５．製本機械
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
DSB-151 413 229 230 198 125 157 202 100 φ9 303
DSB-251 435 229 230 198 125 157 202 100 φ9 319
K
N
75 G1/2
75 G1/2
６．各種産業機械
などの吸着源に最適。
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
Unit
DSB-151
DSB-251
L/min.
180/200 (50/60Hz)
250/310 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
Pa
15.0×103
到達圧力
Motor
3φ, 200V, 370W
3φ, 200V, 550W
A
2.15/1.99 (50/60Hz)
2.95/2.75 (50/60Hz)
kg
22.0
26.0
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
mm
O.D.φ21×I.D.φ16 (G1/2)
℃
7∼40
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
mm
229(W)×413(L)×230(H)
229(W)×435(L)×230(H)
最大寸法
34
DSB Series
スタンダードタイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
回転翼型ドライ真空ポンプ
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
DSB-451/601
■スタンダードタイプ Standard type
DIS-090
DIS-250
DIS-500
■縦型タイプ Vertical type
DVT-300
■静音タイプ Low noise type
DSB-451
DVS-321
DVS-631
■ローコストタイプ Low cost type
DISL-100
DISL-500
DSB-601
特長
スクロール型真空ポンプは、固定された渦巻き型の壁（固定ス
クロール）に対面した、もう一方の渦巻き型の壁（従動スクロ
寸法図 Dimensions
ール）が偏芯運動することにより真空排気するタイプの真空ポ
ンプです。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
B
K
A
J
・オイルを使用していない単体の真空ポンプとしては最高レベ
N
ルの到達圧力
R
・油回転真空ポンプよりも駆動効率が良く、少ない消費電力で
14
D
C
運転
H
I
G
・豊富なラインナップで、さまざまな用途をカバー
使用上の注意
E
F
１．爆発性ガス、引火性ガス、毒性ガス、腐食性ガス、有機溶
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
DSB-451 495 241 280 222 125 157 202 109 φ9 344
DSB-601 545 241 280 222 208 240 220 154 φ9 383
K
N
80 G3/4
80 G3/4
媒ガスの吸引はポンプの性能を損う場合があります。お問い
合わせください。
２．粉体、生成物の吸引はポンプを損傷する場合があります。
トラップ等をご使用ください。
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
Unit
DSB-451
DSB-601
L/min.
430/530 (50/60Hz)
600/700 (50/60Hz)
実効排気速度
Ultimate pressure
Pa
3φ, 200V, 900W
3φ, 200V, 1,250W
A
5.0/4.7 (50/60Hz)
5.2/7.3 (50/60Hz)
kg
31.0
38.0
使用電動機
５．真空乾燥装置、真空熱処理炉
６．レーザー応用機械、光学機械
全負荷電流
質量
Inlet, outlet pipe diameter
２．ドライ排気系のバックポンプ、真空排気装置
４．真空含浸装置、真空脱泡装置
Motor
Weight
１．理化学分析機器
３．Heリークディテクター
12.0×103
到達圧力
Full load current
主な利用分野
mm
O.D.φ27×I.D.φ21 (G3/4)
℃
7∼40
７．医療機械
８．真空吸着搬送装置、電子部品ハンドリング、ウエハー移送
その他
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
35
mm
241(W)×495(L)×280(H)
241(W)×545(L)×280(H)
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
回
転
翼
／
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
ポ
ン
プ
DIS Series
スタンダードタイプ
DIS Series
スタンダードタイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
Scroll Dry Vacuum Pump
DIS-090
DIS-250
設計排気速度表示
設計排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵（1φモータのみ）
With built-in thermal protector
ガスバラスト機構付
With built-in thermal protector
With gas ballast
ガスバラスト機構付 With gas ballast
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
IN
IN
252
308
123
400
96
122
副銘板
336
91
225
ガスバラスト
吸気口
38
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
154
ガスバラスト吸気口
180
112
時間計
140
52
始動スイッチ
内蔵
136
40
OUT
固定用ボルト穴
M6用穴径7
4-φ11
ゴム板
130
170
101
時間計
180
OUT
図面はDIS-250、1φモータ
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
50Hz
Full load current
60Hz
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
仕様 Specifications
Unit
DIS-090
L/min.
90/108 (50/60Hz)
Pa
5.0
A
kg
1φ, 100/115/200/230V, 150W, 4P
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
2.6/1.3/1.6(100/200/230V)
2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)
Full load current
全負荷電流 Unit
DIS-250
L/min.
250/300 (50/60Hz)
Pa
50Hz
A
60Hz
14.0
吸気口 KF25 排気口 KF16
℃
5∼40
g/hr
≦0.2（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）
dB
≦52（G.V.開時,≦57）
mm
214(W)×308(L)×225(H)
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
※使用電動機は2機種より選択
kg
1.6
1φ, 100/115/200/230V,
400W, 4P
4.8/2.6/2.4
(100/200/230V)
4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230V)
3φ, 200/208/230/380/415/460V,
400W, 4P
1.6/0.9/1.0
(200/380/415V)
1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460V)
25.0
23.0
吸気口 KF25 排気口 KF16
℃
5∼40
g/hr
≦1（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）
dB
≦58（G.V.開時,≦66）
mm
252(W)×400(L)×336(H)
252(W)×370(L)×336(H)
36
DIS Series
スタンダードタイプ
DVT Series
縦型タイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
Scroll Dry Vacuum Pump
DIS-500
DVT-300
設計排気速度表示
設計排気速度表示
Actual
pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（1φモータのみ）
With built-in thermal protector
サーマルプロテクター内蔵
ガスバラスト機構付 With gas ballast
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
120
OUT
290
372
29 36
99
インバータ用端子箱
46
2-φ21貫通
509
ガスバラスト
吸気口
227
IN
22.5°
油面計
OUT
151
182
D3
8
22
IN
φ
PC
42
232
37
排油栓
37
15°
328
397
373
注油栓（1カ所）
260
288
4-Ｍ10
240
310
42
時間計
図面はDIS-500、3φモータ
Full load current
全負荷電流 37
仕様 Specifications
Unit
DIS-500
L/min.
500/600 (50/60Hz)
Pa
50Hz
A
60Hz
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
132
257
（取付も可能です）
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
125
4-φ10穴
（等ピッチ）
kg
1.0
1φ, 100/115/200/230V,
600W, 4P
8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)
10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V)
3φ, 200/208/230/380/415/460V,
600W, 4P
2.7/1.57/1.63
(200/380/415V)
2.8/2.6/2.5/1.47
(200/208/230/460V)
44.0
38.0
吸気口 KF40 排気口 KF25
℃
5∼40
g/hr
≦1（G.V.開時,室温25℃,湿度60％以下）
dB
≦62
（G.V.開時,≦70）
≦60
（G.V.開時,≦68）
mm
290(W)×443(L)×397(H)
290(W)×372(L)×397(H)
※使用電動機は2機種より選択
Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Outlet pipe diameter
排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気範囲
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Bearing oil
軸受潤滑油
Overall dimensions
最大寸法
Unit
DVT-300
L/min.
300
Pa
A
kg
6.7
1φ, 100V インバータ付
0.4kW, 4P
3φ/1φ, 200V インバータ付
0.4kW, 4P
8.8
4.4 (1φ) 2.5 (3φ)
26.0
KF25
KF25
℃
5∼40
dB
≦58
L
0.4 (SO-H)
mm
257(W)×273(L)×509(H)
※使用電動機は2機種より選択
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
DVS Series
静音タイプ
DVS Series
静音タイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
Scroll Dry Vacuum Pump
DVS-321
DVS-631
設計排気速度表示
設計排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
サーマルプロテクター内蔵（1φモータのみ）
With built-in thermal protector
With built-in thermal protector
ガスバラスト機構付
ガスバラスト機構付 With gas ballast
With gas ballast
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
175
124
OUT
IN
（220）
（259）
（300）
48
28
184
367
（354）
（241）
（157）
OUT
IN
（15）
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
防振ゴム
（15）
（230）
280
（35）
（260）
291
101
280
（398）
300
73
330
ガスバラスト
吸気口
82
124
412
326
図面はDVS-631、3φ 200V
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
50Hz
Full load current
60Hz
全負荷電流
Weight
質量
Inlet, Outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
DVS-321
L/min.
265/320 (50/60Hz)
Pa
1.5（別売オリフィス D1.0取付時 ≦3.0）
1φ100/115/200/230V, 400W, 4P
A
kg
5.3/2.9/3.0(100/200/230V)
4.6/4.1/2.5/2.3(100/115/200/230V)
35.0
吸気口 KF25 排気口 KF16
℃
5∼35
g/hr
≦2（別売オリフィス D1.0取付時 23）
dB
≦60/65 (50/60Hz)
mm
300(W)×398(L)×354(H)
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流 Unit
DVS-631
L/min.
525/630 (50/60Hz)
Pa
50Hz
A
60Hz
Weight
質量
Inlet, outlet pipe diameter
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Max.water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Noise (at a distance of 1m)
騒音レベル
Overall dimensions
最大寸法
※使用電動機は2機種より選択
kg
1.0（別売オリフィス D1.5取付時 ≦2.5）
1φ, 100/115/200/230V
600W, 4P
8.6/4.4/4.0
(100/200/230V)
7.8/6.7/4.0/3.5
(100/115/200/230V)
3φ, 200/220/230V
600W, 4P
2.8/2.7
(200/220V)
2.7/2.5/2.5
(200/220/230V)
50.0
44.0
吸気口 KF40 排気口 KF25
℃
5∼35
g/hr
≦2 (別売オリフィス D1.5取付時 23)
dB
≦60
≦58/60 (50/60Hz)
mm
338(W)×491(D)×367(H)
326(W)×412(D)×367(H)
38
DISL Series
ローコストタイプ
DISL Series
ローコストタイプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
Scroll Dry Vacuum Pump
DISL-100
DISL-500
設計排気速度表示
設計排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
ガスバラスト機構付
ガスバラスト機構付
With gas ballast
With gas ballast
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
IN
126
時間計
（31）
OUT
350
12
237
361
335
107
IN
15
ガスバラスト
吸気口
（Rc1/8）
140
220
154
90
202
（26）
111
177
OUT
396
（27） 40
210
270
318
4-φ9
アジャスター
（40）
476
503
（48）
固定キャスター
自在キャスター
ガスバラスト吸気口
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Unit
Actual Pumping Speed
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
DISL-100
L/min.
100/120 (50/60Hz)
Pa
50.0
Motor
1φ, 100/115/200/230V, 300W, 4P
使用電動機
Full load current
50Hz
全負荷電流
60Hz
Weight
質量
A
kg
2.8/1.4/1.6(100/200/230V)
3.0/2.7/1.5/1.4(100/115/200/230V)
15.0
Inlet, Outlet pipe diameter
使用雰囲気温度範囲
Max. water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Overall dimensions
最大寸法
39
設計排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Unit
DISL-500
L/min.
430/520(50/60Hz)
Pa
10.0
Motor
50Hz
3φ, 200/380/415V, 900W, 2P
使用電動機
60Hz
3φ, 200/208/230/460V, 1100W, 2P
Full load current
50Hz
全負荷電流
60Hz
Weight
質量
A
kg
Inlet pipe diameter
吸気口 KF25 排気口 KF16
吸・排気口径
Ambient operation temp.range
Actual Pumping Speed
℃
g/hr
mm
5∼40
≦4 (G.V. 開時)
220(W)×350(L)×237(H)
使用雰囲気温度範囲
Max. water vapor torelance
水蒸気吸引の許容値
Overall dimensions
最大寸法
52.0
KF25
吸気管
Ambient operation temp.range
3.6/1.9/1.8 (200/380/415V)
4.2/4.1/3.9/1.95 (200/208/230/460V)
℃
5∼40
g/hr
≦10 (G.V. 開時)
mm
318(W)×503(L)×361(H)
ス
ク
ロ
ー
ル
型
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
メカニカルブースターポンプ
Mechanical Booster Pump
MBS Series
スタンダードタイプ
メカニカルブースターポンプ
Mechanical Booster Pump
MBS-010
■スタンダードタイプ Standard type
MBS-010
実効排気速度表示
Actual pumping speed
MBS-030
MBS-050
特長
ケーシング内にある２個のまゆ型ローターが反対方向に同期回
転することにより真空排気するタイプの真空ポンプです。バッ
クポンプとの組み合わせで、高速排気、高真空排気が可能にな
ります。
・多くの実績で証明された確かな品質と信頼性
サーマルプロテクター内蔵
With built-in thermal protector
・他に類を見ない超小型
・当社の油回転真空ポンプとの組み合わせで、高速排気、高真
空排気が可能
寸法図 Dimensions
・接ガス部には特殊表面処理（タフラム®処理）を施し、耐食
性も抜群
4-M8
φ7
0
１．構造上わずかな隙間でローターが回転するのでゴミやチリが
363
153.5
100.5
86
67.5
67.5
123
２．バックポンプが必要です。本シリーズの他、バックポンプ
をご用意ください。
推奨バックポンプ仕様
120
最高到達圧力：１Pa以下
排気速度：MBS-010
135
IN
66.5
62
入らないよう配管の清掃、洗浄をしてから接続してください。
注油栓
127.5
51
使用上の注意
61
メ
カ
ニ
カ
ル
ブ
ー
ス
タ
ー
ポ
ン
プ
20 20
排油栓
40
2×2-M6
OUT
φ7
30∼ 50L/min以上
0
4-M8
MBS-030 100∼135L/min以上
MBS-050 160∼200L/min以上
仕様 Specifications
主な利用分野
１．分析機器、CVD装置
２．真空乾燥器、凍結真空乾燥装置
３．Heリークテスト、CO2ガスレーザー
４．真空脱泡、真空熱処理
５．液晶注入
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Outlet pipe diameter
排気口径
Operation pressure
駆動圧力
Backing pump
バックポンプ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
Unit
MBS-010
m3/h
10/12 (50Hz/60Hz)
Pa
4.0×10-2
1φ, 100V, 150W, 2P, Condenser run
A
mL
2.8/2.8 (50Hz/60Hz)
150
SMR-100
kg
7.8
mm
25 (VG-25)
mm
25 (VF-25)
Pa
4.0×103
GVD-050A, GLD-051, GCD-051X
℃
7∼40
mm
153.5(W)×363(L)×123(H)
40
MBS Series
スタンダードタイプ
MBS Series
スタンダードタイプ
メカニカルブースターポンプ
メカニカルブースターポンプ
Mechanical Booster Pump
Mechanical Booster Pump
MBS-030
MBS-050
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（100Vのみ）
サーマルプロテクター内蔵（100Vのみ）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
4-M8
φ7
488
86
74
φ90
105
69
234
149
IN
86
83.5
4-M8
518
125
87
159
232
IN
160
80
注油栓
142
80
71
145
137
φ70
4-M8
180
140
50
OUT
仕様 Specifications
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
100V
全負荷電流
200V
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Outlet pipe diameter
排気口径
Operation pressure
駆動圧力
Backing pump
バックポンプ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
4-φ7
147
排油栓
5
φ8
4-M8
30
排油栓
4-φ7
30
160
140
41
5
89
83.5
φ105
71
注油栓
φ8
175
0
172
86
74
With built-in thermal protector
50
OUT
仕様 Specifications
Unit
MBS-030
m3/h
30/36 (50/60Hz)
Pa
4.0×10-2
1φ, 100V/200V, 300W, 2P, Condenser starting
A
mL
6.5/6.0 (50/60Hz)
3.3/3.0 (50/60Hz)
250
SMR-100
kg
14.0
mm
25 (VG-25)
mm
25 (VF-25)
Pa
4.0×103
GLD-136A, GLD-136C, GCD-136X
℃
7∼40
mm
172(W)×488(L)×145(H)
Actual Pumping Speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
100V
全負荷電流
200V
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気口径
Outlet pipe diameter
排気口径
Operation pressure
駆動圧力
Backing pump
バックポンプ
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度
Overall dimensions
最大寸法
Unit
MBS-050
m3/h
50/60 (50/60Hz)
Pa
4.0×10-2
1φ, 100V/200V, 300W, 2P, Condenser starting
A
mL
6.5/6.0 (50/60Hz)
3.3/3.0 (50/60Hz)
320
SMR-100
kg
16.0
mm
40 (VG-40)
mm
40 (VF-40)
Pa
4.0×103
GLD-201A, GLD-201B, GCD-201X
℃
7∼40
mm
175(W)×518(L)×160(H)
メ
カ
ニ
カ
ル
ブ
ー
ス
タ
ー
ポ
ン
プ
ドライ真空ポンプ用オプション部品&その他
真空ピンセット
Vacuum tweezers
ブルドン管真空計
Bourdon's tube pressure
真空ピンセットは、クリーンで精密な時計・貴金
属・眼鏡・光学部品等の吸着用として幅広い分野
で利用されています。ペンタッチの要領で品物に傷
や汚れをつけることなく、完全に吸着・手放しがで
きます。
目盛は絶対圧力をしめすMPa単位目盛で表示されて
います。目盛の数字がそのまま真空度として使用で
きます。
取付方向に合わせて、①ADTと②AT型の2機種から
お選びください。
真空ピンセット
集塵用捕集ビン
Dust catcher
φ79
3-PT3/8
24
18
DA-15S
φ52.4
0
34
OUTLET
0.06
VACUUM GAUGE
0.08
0.1
47
MPa
R1/4
φ57
φ96
18.5
□14
取付ネジ径R1/4
Diaphragms
DAL-5S
DA-30S
DA-30D
DA-60S
DAT-50D
DAT-100S
NBR
●
●
●
●
FPM
●
●
●
●
●
テフロンシート
張り
●
●
●
●
DA-15D
0.04
0.02
φ57
□14
50
（注）排気速度150L/min以上のポンプに付属した場合は
排気速度が低下いたします。
■各種ダイアフラム対応表
12
233
R1/4
2-M6深さ15
12
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
②AT型
①ADT型
INTLET
●適用機種
DA-30D、DA-60S、DAT-50D、DAT-100S、
DA-60D、DA-120S、DA-121D、DA-241S、
DOP-40D、DOP-80S、DSB-151、DSB-251、
DSB-451、DSB-601、DTP-45D、DTP-90S、
DTP-90D、DTP-180S、DTP-180SQ
18
吸着、吸引の用途で真空ポンプをご使用の場合、
様々な粉塵を吸いこみます。それら粉塵をポンプの
前段で捕集しポンプを保護するための部品です。
DAP-6D
DAP-12S
DA20D
(耐熱 NBR) DA-60D
DA-40S DA-120S
(耐熱 NBR)
DAM-010
DAU-100
DA-121D DTC-21/21K
DA-241S DTC-41/41K
DAL-181D DTC-60
DAL-361S DTC-120
●
DAP-15
DAP-30
●
●
●
●
CR
●
●
EPDM
●
●
●
（注） ●印：標準 ●印：オプション
■ドライ真空ポンプ別ホースニップル対応表
Dry Vacuum Pump Hose Nipple Correspondence Table
備考
標準に使用
DOP-200S
DOP-50S4
DA-15S
DOP-9D DOP-100T
DA-15D
DA-20D DA-60D DA-30S DAT-50D DAL-5S DAP-6D DAL-181D DAP-15 DAU-100 DOP-40D DOP-100ST DA-121D
ネジ径外径内径長さ材質角
DAP-12S DAL-361S DAP-30 DAU-100H DOP-80S DOP-50DT DA-241S
DA-40S DA-120S DA-30D DAT-100S
DOP-80SP DOP-50F
DA-60S
DOP-300S
DOP-150T
10
M8×P1 6.5 3.0 9.0 PPG
注2
M8×P1 6.5 3.0 9.0 PPG
10
M8×P1 6.5 3.0 9.0 PPG
10
M8×P1 6.0 3.5 7.0 BSBM 14
Rc 1/8 9.0 5.0
Rc 1/4 9.0 5.0 18.5 Cr メッキ 14
Rc 1/4 9.0 5.0 11.5 Cr メッキ 14
Rc 1/4 9.0 5.0 18.5 BSBM 14
Rc 1/4 12.0 8.0 23.5 BSBM 14
Rc 1/4 11.0 8.0 24.5 BSBM 14
G 3/8 14.0 9.0 27.5 Ni メッキ 17
G 3/8 10.0 6.0 30.0 Cr メッキ 21
G 3/8 14.0 10.0 37.0 Cr メッキ 21
Cr メッキ
Rc 1/2 16.0 12.0
Rc 1/2 21.0 15.0 78.0 Cr メッキ 23
G 1/2 16.0 12.0 30.0 Cr メッキ
G 3/8 NW-16
SUS
9.0 5.0
PTFE
G 1/4
G 1/2 16.0 10.0
PTFE
G 3/8
9.0 6.0
PTFE
変換アダプター
Rc1/4 × R1/2 ホースニップル変更にご利用ください。
Rc1/4 × R3/8 ホースニップル変更にご利用ください。
特型仕様
DTC-21
DTC-21K
DTC-41 DTC-60 DTC-120
DTC-41K
その他機種はお問合わせください。
42
Accessories for Dry Vacuum Pumps & Others
真空ポンプ用吸排気フィルター
特長
仕様
①各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフ
ィルターです。
②真空側、排気側いずれにも設置可能です。
③本製品は、ステンレス製の本体にイオン交換樹脂繊維
を素材としたフィルターです。
④排ガス中のパウダーのみではなく酸性ガス・オイルミス
トを効率よく捕捉することが出来ます。
⑤本機をご使用頂くことで、排気系の保守作業が軽減さ
れることに加え、操業性の向上、除外設備への負荷が
低減されます。
⑥取付けには、別途KF-クランプ、レジューサー、センタ
ーリング等が必要になります（別途、お問い合わせくだ
さい）
。
型式
SGT-200
SGT-100
SGT-200
ろ過方式
アウト・イン・パス方式
適用機種
実効排気速度500L/min以下
使用圧力範囲
0.1MPa
使用雰囲気温度
7∼40℃
使用雰囲気湿度
SGT-100
85％（結露なきこと）
吸気接続口径
KF-25
KF-40
排気接続口径
KF-25
KF-40
真空配管用部品
品名
①クランプ
②センターリング
③ブランクフランジ
④ノズル
⑤ニップル
⑥エルボ
⑦テイ
⑧クロス
⑨KFフランジ
⑩変換フランジ
①
規格
SCK-1016
SCK-1025
SCK-1040
SCK-2016
SCK-2025
SCK-2040
SCK-4016
SCK-4025
SCK-4040
SCK-2512
SCK-2518
SCK-5016
SCK-5025
SCK-5040
SCK-6016
SCK-6025
SCK-6040
SCK-7016
SCK-7025
SCK-7040
SCK-8016
SCK-8025
SCK-3016
SCK-3025
SCK-3040
SCK-9025
SCK-9040
フランジサイズ
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF25
KF25
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF40
KF16
KF25
KF16
KF25
KF40
KF16/25
KF25/40
④
品名
規格
SCO-1025
SCO-1040
SCO-2025
SCO-2040
SCO-3016
SCO-3025
SCA-1614F
SCA-1638F
SCA-1612F
SCA-2514F
SCA-2538F
SCA-2512F
SCA-1614M
SCA-1638M
SCA-1612M
SCA-2514M
SCA-2538M
SCA-2512M
STK-016-250
STK-016-500
STK-016-1000
STK-025-250
STK-025-500
STK-025-1000
STK-040-250
STK-040-500
STK-040-1000
⑪ゲージポート
⑫リークポート
⑬VCRアダプタ
⑭フレキシブル
チューブ
フランジサイズ
KF25
KF40
KF25
KF40
KF16
KF25
KF16/メス
KF16/メス
KF16/メス
KF25/メス
KF25/メス
KF25/メス
KF16/オス
KF16/オス
KF16/オス
KF25/オス
KF25/オス
KF25/オス
KF16/250mm
KF16/500mm
KF16/1000mm
KF25/250mm
KF25/500mm
KF25/1000mm
KF40/250mm
KF40/500mm
KF40/1000mm
⑩
⑦
⑬
②
⑧
⑤
⑪
⑫
③
43
⑥
⑨
⑭
ド
ラ
イ
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
機種別排気速度曲線一覧表
Pumping Speed Curves
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
スタンダードタイプ
（L／min）
（NL／min）
（L／min）
（NL／min）
60
50Hz
50Hz
15
DA-40S
DA-15D
DA-15S
10
DAP-6D
DAL-5S
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DAP-12S
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
9
10
（×10kPa）
0
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
8
9
10
（×10kPa）
L／min
NL／min
（L／min）
（NL／min）
150
50Hz
80
50Hz
DA-121D
DA-120S
DA-60S
DA-60D
60
DAT-50D
40
DAT-100S
100
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DA-20D
L／min
NL／min
（L／min）
（NL／min）
100
50
20
0
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
8
0
9
10
（×10kPa）
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
L／min
NL／min
8
9
10
（×10kPa）
L／min
NL／min
減圧・加圧両用タイプ
L min
NL min
（NL／min）
40
50Hz
400
50Hz
DAL-361S
360
320
30
DAP-30
20
Booster Speed
240
DA-241S
200
DAL-181D
160
排気速度
Pumping Speed
280
排気速度
Pumping Speed
資
料
デ
ー
タ
集
8
DA-30S
20
5
0
DA-30D
40
DAP-15
120
10
80
40
0
1
2
3
4
5
圧力
Pressure
6
7
8
L min
NL min
9
10
10kPa
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9 10
（×10kPa）
0
0.5
1.0
1.5
2.0
（×10-1MPa）
圧力
Pressure
44
L／min ：排気速度
NL／min：標準状態における流量
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
Diaphragm Type Dry Vacuum Pump
高真空タイプ
L min
NL min
（m2／h）（L／min）
102
50Hz
120
50Hz
103
DAU-100
110
100
10
MD8C
80
70
60
50
40
MD8
102
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
90
MD4C
MD4
1
10
30
20
10
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10-1
10
（×10kPa）
圧力
Pressure
1
102
L/min
NL/min
103
104
105
（Pa）
圧力
Pressure
ケミカルタイプ
L min
NL min
50Hz
DTC-120
120
DTC-41
DTC-41K
40
排気速度
Pumping Speed
L min
NL min
50Hz
100
30
DTC-21
DTC-21K
20
排気速度
Pumping Speed
50
80
DTC-60
60
40
10
20
0
0
0
1
2
3
4
5
6
7
圧力
Pressure
8
9
0
10
10kPa
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
10kPa
圧力
Pressure
L min
NL min
L min
NL min
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
Rocking Piston Type Dry Vacuum Pump
（NL／min）
DOP-300S
250
DOP-80SP
60
50
DOP-40D
DTP-45D
40
50Hz
300
DOP-50DT
DOP-50S4
70
排気速度
Pumping Speed
80
排気速度
Pumping Speed
（NL／min）
350
50Hz
DTP-90D
DTP-90S
DOP-80S
90
30
DOP-200S
DTP-180S
DTP-180SQ
200
DOP-150T
150
100
20
50
10
DOP-9D
0
45
1
2
3 4
5
6
7 8 9 10
（×10kPa）
0
圧力
Pressure
1
2
3
4
5
（×10-1Mpa）
0
0
1
2
3
4
5
圧力
Pressure
6
7
8
9
10
（×10kPa）
資
料
デ
ー
タ
集
機種別排気速度曲線一覧表
L／min ：排気速度
NL／min：標準状態における流量
Pumping Speed Curves
回転翼型ドライ真空ポンプ
メカニカルブースターポンプ
Sliding Vane Type Dry Vacuum Pump
Mechanical Booster Pump
（m2／h）（L／min）
103
（L／min）
700
50Hz
104
DSB-601
600
500
400
300
DSB-251
102
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DSB-451
103
MBS-050
MBS-030
10
2
10
200
DSB-151
MBS-010
100
1
0
1
2
3
4
5
6
7
8
10
10-2
9
10
（×10kPa）
50Hz
圧力
Pressure
10-1
1
102
10
103
圧力
Pressure
60Hz
104
（Pa）
スクロール型ドライ真空ポンプ
Scroll Dry Vacuum Pump
スタンダードタイプ
（L／min）
1000
50Hz
50／60Hz
（L／min）
1000
DIS-500
DVT-300
100
DIS-090
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
DIS-250
100
10
10
1
1
102
10
103
104
1
1
105
102
10
103
104
圧力
Pressure
（Pa）
圧力
Pressure
静音タイプ
105
（Pa）
ローコストタイプ
（L／min）
1000
50Hz
（L/min）
50Hz
DVS-631
1000
DISL-500
排気速度
Pumping Speed
DVS-321
排気速度
Pumping Speed
資
料
デ
ー
タ
集
縦型タイプ
100
10
1
100
DISL-100
10
1
10−1
1
10
102
103
圧力
Pressure
104
105
（Pa）
1
101
102
10
圧力
Pressure
3
104
105
（Pa）
排気速度曲線不記載の機種は、ご要求ください。
46
特約店一覧
ULVACグループ
北海道地区
㈱タナカ
011-731-0291
東北地区
東北化学薬品㈱（本社：青森県）
0172-33-8131
関東地区
三益半導体工業㈱（本社：群馬県）
アルバックイーエス㈱（本社：東京都）
稲畑産業㈱（本社：東京都）
高千穂精機㈱（本社：東京都）
0273-61-7511
03-3578-6611
03-3639-6556
03-3204-0611
信越地区
アルバックイーエス㈱（松本支店）
アヅマテクノス（本社：新潟県）
0263-51-0888
025-247-8386
北陸地区
㈱勝木太郎助商店（本社：石川県）
0761-22-6288
東海地区
遠藤科学㈱（本社：静岡県）
三弘アルバック㈱（本社：愛知県）
054-283-6222
052-702-6811
近畿地区
㈱京都タカオシン（本社：京都府）
三ツワ理化学工業㈱（本社：大阪府）
075-751-7755
06-6351-9631
中国地区
㈲友田大洋堂（本社：島根県）
㈱大熊（本社：岡山県）
0852-24-3456
0862-93-2171
株式会社アルバック
株式会社アルバック・コーポレートセンター
アルバックテクノ株式会社
アルバック九州株式会社
アルバック東北株式会社
アルバック精機株式会社
真空冶金株式会社
アルバック機工株式会社
アルバック理工株式会社
アルバック成膜株式会社
株式会社昭和真空
日本リライアンス株式会社
アルバック・クライオ株式会社
アルバック・ファイ株式会社
アルバックイーエス株式会社
三弘アルバック株式会社
ULVAC Technologies, Inc.
ULVAC G.m.b.H.
ULVAC TAIWAN Inc.
ULVAC KOREA, Ltd.
Litrex Corporation
ULVAC (SHANGHAI) Co., LTD.
ULVAC (SUZHOU) Co., LTD.
ULVAC SINGAPORE PTE LTD
ULVAC NINGBO Co., Ltd.
Hong Kong ULVAC Co., Ltd.
ULVAC System Control, TAIWAN, Ltd.
四国地区
㈱大一器械（本社：徳島県）
増田薬品㈱（本社：香川県）
はじめ科学㈱（本社：愛媛県）
0886-56-8122
0878-51-0631
0899-22-2151
九州地区
アルバック九州㈱（本社：福岡県）
092-473-7191
海外
(1) 800-245-1656
ULVAC Technologies, Inc (U.S.A.)
(1) 510-226-0151
ULVAC TAIWAN, Inc. (TAIWAN)
(886)2-8866-1700
Poongil Physics & Chemistry
47
“ULVAC”とは“Ultimate in Vacuum（究極の真空）
”を
意味するULVACグループの真空応用製品のブランド名で
す。ULVACグループは、真空応用技術の極限に挑戦する
世界に類をみない先端技術企業群からなり、そのグループ
企業は国内外合わせて30社以上。アルバック機工は、その
グループの中でも特異な存在を誇り、利用分野の広い小型
真空ポンプを一手に担う中核企業の一つです。
Ultimate in Vacuum
Kurt J. Lesker Company (U.S.A.)
ULVAC SINGAPORE PTE
「真空の極限」を追求する
先端技術企業群
ULVAC（アルバック）とアルバック機工
Co. (KOREA)
LTD (SINGAPORE)
(82) 2-765-1477
(65)-65422700
ULVAC is an international organization made up of more
than 30 member companies with its primary
headquarters and manufacturing operations based in
Japan. The name “ULVAC” is derived from the words
“ULtimate in VACuum”.
ULVAC KIKO, as a division of ULVAC, manufactures
and markets a wide range of small vacuum pumps that
are utilized throughout many industries.

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