CP-SS-1831: マイクロフロー式渦流量計

No. CP-SS-1831
（第 13 版）
マイクロフロー式渦流量計
MVF□□□□□□□011□□□□0
特　長
•• シリコンマイクロマシニング技術、薄膜形成技術を駆使し
て製作されるμFセンサを使用。1辺わずか1.7mm、厚み
0.5mmの高感度、高速応答のセンサを渦周波数検出に利用
していますので100：1の広い計測範囲を実現しました。
•• 温度・圧力補正機能を一体化し、温度・圧力センサ・補正機
器が一切不要です。
•• 4-20mA瞬時流量出力、積算パルス出力、通信機能など豊
富なインターフェースをすべて標準装備しており、様々な外
部機器との組み合わせが可能です。
•• 表示は瞬時/積算流量表示付きですので、現場での確認が可
能です。
•• 屋外設置が可能なIP67構造です。
仕　様
項　目
接
続
内　容
口
径
MVF050
MVF080
MVF100
MVF150
50A（2B）
80A（3B）
100A（4B）
150A（6B）
流量計測範囲圧力0.05MPa時 7.4〜322m3/h（normal） 11.0〜711m3/h（normal） 13.7〜1095m3/h（normal） 24〜2356m3/h（normal）
（空気の場合圧力0.15MPa時 7.4〜535m3/h（normal） 11.8〜1181m3/h（normal） 18.2〜1819m3/h（normal） 40〜3913m3/h（normal）
@23℃）圧力0.5MPa時 12.8〜1280m3/h（normal） 28.3〜2825m3/h（normal） 43.5〜4351m3/h（normal） 94〜9364m3/h（normal）
normal は、0℃、101.325kPa（1気圧）に換算した体積流量（m3/h）を示します
温圧補正後の精度表（8ページ）をご覧ください
上記以外の条件については、
計
体
測
対
象
気
体
積流量精度
（空気の場合@23℃、
圧力0.01MPa時）
空気、窒素、アルゴン、酸素 *1、炭酸ガス、都市ガス（13A）、メタン、プロパン、ブタンその他不活性ガスおよ
び各種混合ガスおよび各種混合ガス爆発限界範囲外のガス、ただし、検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含
まないこと、および乾燥気体であること
73m3/h（actual）以上
にて±2%RD
109m3/h（actual）以上
にて±2%RD
154m3/h（actual）以上
にて±2%RD
282m3/h（actual）以上
にて±2%RD
使用圧力と流量域により体積流量精度は異なります　詳細は、
体積流量精度規定表（7ページ）をご覧ください
温圧補正後の精度
圧力0.5MPa時
74m3/h（normal）以上
にて±3.3%RD
圧力0.5MPa時
110m3/h（normal）以上
にて±3.3%RD
圧力0.5MPa時
156m3/h（normal）以上
にて±3.3%RD
圧力0.5MPa時
286m3/h（normal）以上
にて±3.5%RD
上記は0〜1MPaスパンの圧力センサを搭載したMVF□□□0の例です
温圧補正後の精度表（8ページ）をご覧ください
これ以外の機種については、
また、圧力センサはゲージ圧センサを使用しているため大気圧変動誤差は含んでいません
使
用圧力範
（圧力センサ精度）
囲
形番：MVF□□□1：0.0〜0.1MPa（±2%FS　＠23℃）
形番：MVF□□□3：0.0〜0.3MPa（±2%FS　＠23℃）
形番：MVF□□□0：0.0〜1.0MPa（±1%FS　＠23℃）
耐
圧
形番：MVF□□□1：0.15MPa
形番：MVF□□□3：0.45MPa
形番：MVF□□□0：1.5MPa
使用温度範囲（温度センサ精度） −15〜＋60℃（±2％ RD（絶対温度基準））
使
用
湿
度
範
囲
10〜90%RH　結露なきこと
流量演算／出力更新周期
100ms
定
格
電
源
DC24V
消
費
電
流
100mA以下
力
1 点
電
流
出
瞬時流量：DC4〜20mA（許容負荷抵抗 600Ω以下）　最大電流値：23.2mA
1
項　目
内　容
MVF050
パ
ル
通
信
通
表
ス
信
示
部
出
力　1点
能
1
RS-485インタフェース　3線式
最大配線距離300m、当社機器（CMC15Gなど）との接続可能
伝送速度2400、4800、9600、19200bps
積算流量値／瞬時流量値／警報／本体設定などの読み出しができます
機
能
2
PCローダ通信　メーカーサービス用
流量表示
瞬時流量表示：LCD 6桁　積算流量表示：LCD 8桁
瞬時流量
表示単位 MVF050/80/100：＊＊＊＊＊.＊m3/h
MVF150：＊＊＊＊＊m3/h（小数点なし）
積算流量
表示単位 MVF050：＊＊＊＊＊＊＊.＊m （小数点第1位まで表示）
MVF080/100/150：＊＊＊＊＊＊＊＊m3（小数点なし）
カウント99999999のあと00000000となります
ス
部
材
MVF150
（最上位は1まで）
3
（設定の詳細については、
ガ
MVF100
オープンコレクタ出力　絶対最大定格：DC30V 20mA以下
パルスウエイト MVF050：0.01、0.1、1、10（単位は瞬時流量表示単位による）
MVF080/100/150：0.1、1、10、100（単位は瞬時流量表示単位による）
パルス幅出力間隔1秒以上の場合：0.5秒
出力間隔1秒未満の場合：デューティ比50%
機
状態表示
接
MVF080
MVFシリーズ　通信機能編　CP-SP-1183　をご覧ください）
setting：メーカーサービス用　OVER：流量レンジオーバー
質
流路：SCS13A（SUS304）　μFセンサ：シリコン、金、他　Oリング：4種D（バイトン）
変
換
器
材
質
アルミニウム合金（ADC12）
変
換
器
塗
装
アクリル樹脂耐食塗装　塗装色：ライトベージュ
表示部ガラス材質
取
り
接
配
付
け
続
線
姿
定
接
続
強化ガラス　厚さ10mm
勢（流れ方向）水平/垂直取り付け
格
MVF□□□□□U：JIS 10Kウエハ接続
MVF□□□□CD：DIN PN10ウエハ接続
MVF□□□□CA：ANSI 150ウエハ接続
口
接続口：2カ所　接続規格：G1/2めねじ　付属品：防水グランド2個
保
護
構
造
IP67（JIS C 0920およびIEC 529による　屋外設置を前提とした防浸構造）
適
合
規
格
EN61326-2-3：2006
質　量（kg）
6.3
8
*1 計測対象気体「酸素」は、禁油処理付きの形番だけに有効です。
2
9
17
製品構造図
本体外観
渦発生体断面
センサ部分
気体の流れ方向
配管内に渦発生体を挿入することにより、流速に比例したカルマン渦が発生します。
この渦の発生周波数をマイクロフローセンサで検出しますと流速を測定することができます。
断面積を乗じれば、体積流量の測定が可能です。
また、マイクロフローセンサ上には温度センサ、変換器内部にはゲージ圧力センサが装備されており
ボイルシャルル式による温度・圧力補正演算を本体内部で行うことで質量流量測定が可能となっています。
フィルタ設置について
本製品にオイルミスト、水分などが混入しますと計測誤差や故
障の原因となります。
圧縮空気、プロパン、ブタンなど油分・水分が含まれるガスの
場合、末永くご使用いただくため、必ずフィルタの設置をお願
いします。
またダストや溶接ヒュームが渦発生体やセンサに多量に付着し
ますと、計測精度に影響がでる場合があります。
配管施工の際には、前後配管に十分なパージを行ってから設置
いただけますようお願いします。
形　番：MFF100シリーズ
仕　様：詳しくは当社スペックシートCP-SS-1824 をご覧く
ださい。
機種選定について
•• 精度と計測範囲の項を参照いただき選定ください。
•• 実流量校正（オプション）
通常の出荷品につきましては、実流量校正を実施しておりません。
弊社の渦形状はJIS Z 8766（標準Ⅰ型）に準拠し、設計製作し
ております。
渦式流量計の特性は渦発生体の物理的形状により決められ製作
時の寸法公差においてその精度（不確かさ）は一定の範囲に保証
されます。
3
形番構成表
基本
形番
接続
口径
機　種接ガス
部材質
接続
方式
ガス
種類
出　力電　源通　信方　向
付加機能
1
付　番
内　容
2
MVF
マイクロフロー式渦流量計
050
口径50A（2B）
080
口径80A（3B）
100
口径100A（4B）
150
口径150A（6B）
0
温度・圧力補正付き
L
圧力補正なし、温度補正付き
1
低圧レンジ（0〜0.1MPa）　温度・圧力補正付き
3
中圧レンジ（0〜0.3MPa）　温度・圧力補正付き
C
本体材質SCS13A
U
ウエハ接続（JIS 10Kフランジ対応スペーサ付き）
D
ウエハ接続（DIN PN10フランジ対応スペーサ付き）
A
ウエハ接続（ANSI 150フランジ対応スペーサ付き）
N
空気／窒素／アルゴン
S
酸素（禁油処理を必ず選択）*1
C
炭酸ガス
G
都市ガス13A（LNGベース）、メタン
P
プロパン
B
ブタン
0
DC4〜20mA出力＋パルス出力付き
1
電源DC24V
1
RS-485通信
0
水平（流れ方向左→右）　変換器上 *2
1
水平（流れ方向左→右）　変換器下 *2
2
水平（流れ方向右→左）　変換器上 *2
3
水平（流れ方向右→左）　変換器下 *2
4
垂直（流れ方向下→上）　変換器左 *2
5
垂直（流れ方向上→下）　変換器左 *2
0
付加機能なし
1
接ガス部禁油処理（流体：酸素の場合必須 *1）
0
付加機能なし
C
ボディ、渦発生体ミルシート
0
*1 流体が酸素の場合には必ず禁油処理を選択してください。
*2 流れ方向の解説
流れ方向左→右
流れ方向下→上
流れ方向
流れ方向
変換器左 *3
形番4
流れ方向
変換器上
形番0
変換器下
形番1
流れ方向右→左
流れ方向上→下
流れ方向
流れ方向
変換器左 *3
形番5
流れ方向
変換器上
形番2
変換器下
形番3
*3 変換器右向きは、コンジットが上向きとなり、防水性能が保てないため選択できません。
4
製品バージョン
形番外の仕様
① 4-20mAスパン
〈指定可能範囲 m3/h〉
③ 不感流量
〈指定可能範囲 m3/h〉
指定のない場合
口　径
指定範囲（1刻み）
MVFxxx0 MVFxxx1 MVFxxx3
MVFxxxL
50A
0〜2400
口　径
指定範囲（1刻み）
50A
80〜6550
2000
500
1000
80A
160〜13100
5000
1000
2000
100A
240〜24000
7000
1600
3000
150A
480〜48000
16000
3000
7000
指定可能値
50A
0.01、0.1、1、10
80A
100A
0.1、1、10、100
0〜4800
0〜7200
150A
0〜14400
0
④ TAG No.
半角英数字8桁以内
指示なき場合は空欄となります。
② パルスウェイト
〈指定可能範囲 m3〉
口　径
80A
100A
指定のない場合
指定のない場合
1
150A
実流量校正サービス（オプション）
本製品はJIS Z 8766（標準Ⅰ型）の寸法で設計製作しており、製作時の寸法公差によりその精度（不確かさ）は一定の範囲で保証さ
れるため、標準品においては実流量校正を実施しておりません。
別途、当社販売員へご用命いただくことで以下の内容の実流量校正サービスが可能です。
1. 対象機種
マイクロフロー式渦流量計　MVF　全形番（禁油処理品を除く）
2. 校正内容
(1) 校正点：5点（MVF体積流量レンジの0、25、50、75、100％ FS）
口径 50A
0、60、120、180、240 m3/h（act）
口径 80A
0、130、260、390、520 m3/h（act）
口径100A
0、200、400、600、800 m3/h（act）
口径150A
0、400、800、1200、1600 m3/h（act）
＊検査成績書には体積流量値m3/h（act）および質量流量換算値m3/h（normal）を併記します。
＊（act）とは体積流量を表します。
＊（normal）とは0℃、101.325kPa・absの体積流量に換算した値です。
(2)
(3)
(4)
(5)
校正圧力：大気圧下
校正ガス：空気
提出書類：検査成績書（実流量校正結果）
トレーサビリティ証明書
トレーサビリティ体系図
備考
・・上記校正内容は標準校正（一般校正）仕様となっております。上記以外の校正内容がご希望の際には別途お問い合わせください。
・・ MVF実流量校正は、JCSS校正事業者であるアズビル金門株式会社　校正サービスセンターにて実施いたします。•
JCSS校正対応も可能となっておりますので、別途お問い合わせください。
5
体積流量精度規定表（空気の場合）
流量の単位：m3/h（actual）
使用圧力と流量域により精度が異なります。
流体温度が23℃の場合の精度を示します。
MVF080（口径80A）
MVF050（口径50A）
使用圧力
最小測定流量
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
±Q min
±4%RD流量
±2%RD流量
（MPa）
Qmin
±Q min
±4%RD流量
±2%RD流量
0.01
7.3
7.3≦Q≦31
31＜Q＜73
73≦Q≦234
0.01
10.9
10.9≦Q≦31
31＜Q＜109
109≦Q≦516
0.02
6.7
6.7≦Q≦29
29＜Q＜67
67≦Q≦234
0.02
10.0
10.0≦Q≦28
28＜Q＜100
100≦Q≦516
0.03
6.2
6.2≦Q≦27
27＜Q＜62
62≦Q≦234
0.03
9.2
9.2≦Q≦26
26＜Q＜ 92
92≦Q≦516
0.04
5.8
5.8≦Q≦25
25＜Q＜58
58≦Q≦234
0.04
8.6
8.6≦Q≦24
24＜Q＜ 86
86≦Q≦516
0.05
5.4
5.4≦Q≦23
23＜Q＜54
54≦Q≦234
0.05
8.0
8.0≦Q≦23
23＜Q＜ 80
80≦Q≦516
0.06
5.0
5.0≦Q≦22
22＜Q＜50
50≦Q≦234
0.06
7.5
7.5≦Q≦21
21＜Q＜ 75
75≦Q≦516
0.07
4.7
4.7≦Q≦20
20＜Q＜47
47≦Q≦234
0.07
7.1
7.1≦Q≦20
20＜Q＜ 71
71≦Q≦516
0.08
4.5
4.5≦Q≦19
19＜Q＜45
45≦Q≦234
0.08
6.7
6.7≦Q≦19
19＜Q＜ 67
67≦Q≦516
0.09
4.3
4.3≦Q≦18
18＜Q＜43
43≦Q≦234
0.09
6.3
6.3≦Q≦18
18＜Q＜ 63
63≦Q≦516
0.10
4.0
4.0≦Q≦17
17＜Q＜40
40≦Q≦234
0.10
6.0
6.0≦Q≦17
17＜Q＜ 60
60≦Q≦516
0.20
2.7
2.7≦Q≦12
12＜Q＜27
27≦Q≦234
0.20
5.2
5.2≦Q≦11
11＜Q＜ 40
40≦Q≦516
0.30
2.3
2.3≦Q≦ 9
9＜Q＜20
20≦Q≦234
0.30
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 30
30≦Q≦516
0.40
2.3
2.3≦Q≦ 7
7＜Q＜16
16≦Q≦234
0.40
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 24
24≦Q≦516
0.50
2.3
2.3≦Q≦ 6
6＜Q＜14
14≦Q≦234
0.50
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 20
20≦Q≦516
0.60
2.3
2.3≦Q≦ 5
5＜Q＜12
12≦Q≦234
0.60
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 17
17≦Q≦516
0.70
2.3
2.3≦Q≦ 4
4＜Q＜10
10≦Q≦234
0.70
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 15
15≦Q≦516
0.80
2.3
2.3≦Q≦ 4
4＜Q＜ 9
9≦Q≦234
0.80
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 13
13≦Q≦516
0.90
2.3
2.3≦Q≦ 4
4＜Q＜ 8
8≦Q≦234
0.90
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 12
12≦Q≦516
0.98
2.3
2.3≦Q≦ 4
4＜Q＜ 8
8≦Q≦234
0.98
5.2
5.2≦Q≦ 9
9＜Q＜ 11
11≦Q≦516
精　度
MVF100（口径100A）
精　度
MVF150（口径150A）
使用圧力
最小測定流量
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
±Q min
±4%RD流量
±2%RD流量
（MPa）
Qmin
±Q min
±4%RD流量
±2%RD流量
0.01
13.5
13.5≦Q≦39
39＜Q＜154
154≦Q≦795
0.01
19.8
19.8≦Q≦56
56＜Q＜282
282≦Q≦1710
0.02
12.4
12.4≦Q≦35
35＜Q＜141
141≦Q≦795
0.02
18.1
18.1≦Q≦52
52＜Q＜259
259≦Q≦1710
0.03
11.4
11.4≦Q≦33
33＜Q＜131
131≦Q≦795
0.03
17.1
17.1≦Q≦48
48＜Q＜239
239≦Q≦1710
0.04
10.6
10.6≦Q≦30
30＜Q＜121
121≦Q≦795
0.04
17.1
17.1≦Q≦44
44＜Q＜222
222≦Q≦1710
0.05
9.9
9.9≦Q≦28
28＜Q＜113
113≦Q≦795
0.05
17.1
17.1≦Q≦42
42＜Q＜208
208≦Q≦1710
0.06
9.3
9.3≦Q≦27
27＜Q＜106
106≦Q≦795
0.06
17.1
17.1≦Q≦39
39＜Q＜195
195≦Q≦1710
0.07
8.8
8.8≦Q≦25
25＜Q＜100
100≦Q≦795
0.07
17.1
17.1≦Q≦37
37＜Q＜184
184≦Q≦1710
0.08
8.3
8.3≦Q≦24
24＜Q＜ 95
95≦Q≦795
0.08
17.1
17.1≦Q≦35
35＜Q＜173
173≦Q≦1710
0.09
7.9
7.9≦Q≦22
22＜Q＜ 90
90≦Q≦795
0.09
17.1
17.1≦Q≦33
33＜Q＜164
164≦Q≦1710
0.10
7.9
7.9≦Q≦21
21＜Q＜ 85
85≦Q≦795
0.10
17.1
17.1≦Q≦31
31＜Q＜156
156≦Q≦1710
0.20
7.9
7.9≦Q≦14
14＜Q＜ 57
57≦Q≦795
0.20
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜104
104≦Q≦1710
0.30
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 43
43≦Q≦795
0.30
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜ 78
78≦Q≦1710
0.40
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 34
34≦Q≦795
0.40
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜ 63
63≦Q≦1710
0.50
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 29
29≦Q≦795
0.50
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜ 52
52≦Q≦1710
0.60
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 24
24≦Q≦795
0.60
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜ 45
45≦Q≦1710
0.70
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 21
21≦Q≦795
0.70
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜ 39
39≦Q≦1710
0.80
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 19
19≦Q≦795
0.80
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜ 35
35≦Q≦1710
0.90
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 17
17≦Q≦795
0.90
17.1
17.1≦Q≦29
29＜Q＜ 31
31≦Q≦1710
0.98
7.9
7.9≦Q≦13
13＜Q＜ 16
16≦Q≦795
0.98
17.1
17.1≦Q≦29
29<Q≦1710
精　度
6
精　度
温圧補正後の精度表（空気の場合）
流量の単位：m3/h（normal）
使用圧力と流量域により精度が異なります。
流体温度が23℃の場合の精度を示します。
（1）使用圧力範囲0〜0.1MPa：MVF□□□1
MVF0801
MVF0501
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.01
7.4
0.02
7.4
0.03
7.4
0.05
7.4
0.1
7.4
精　度
±Qmin
±4.8%RD
±3.4%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦237
±Qmin
±4.8%RD
±3.3%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦258
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦279
±Qmin
±4.7%RD
±3.1%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦322
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦428
MVF1001
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.01
11.0
0.02
11.0
0.03
11.0
0.05
11.0
0.1
11.0
精　度
±Qmin
±4.8%RD
±3.4%RD
11.0≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦523
±Qmin
±4.8%RD
±3.3%RD
11.0≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦570
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
11.0≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦617
±Qmin
±4.7%RD
±3.1%RD
11.0≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦711
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
11.0≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦946
MVF1501
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.01
13.7
0.02
13.7
0.03
13.7
0.05
13.7
0.1
14.6
精　度
±Qmin
±4.8%RD
±3.4%RD
13.7≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦805
±Qmin
±4.8%RD
±3.3%RD
13.7≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦878
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
13.7≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦905
±Qmin
±4.7%RD
±3.1%RD
13.7≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦1095
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
14.6≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦1457
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.01
20.0
0.02
20.0
0.03
20.4
0.05
23.6
0.1
31.3
精　度
±Qmin
±4.8%RD
±3.4%RD
20≦Q≦57
57＜Q＜286
286≦Q≦1733
±Qmin
±4.8%RD
±3.3%RD
20≦Q≦57
57＜Q＜286
286≦Q≦1889
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
20.4≦Q≦57
57＜Q＜286
286≦Q≦2045
±Qmin
±4.7%RD
±3.1%RD
23.6≦Q≦57
57＜Q＜286
286≦Q≦2356
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
31.3≦Q≦57
57＜Q＜286
286≦Q≦3135
（2）使用圧力範囲0〜0.3MPa : MVF□□□3
MVF0803
MVF0503
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.1
7.4
0.15
7.4
0.2
7.4
0.3
8.5
精　度
±Qmin
±5.4%RD
±4.1%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦428
±Qmin
±5.1%RD
±3.7%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦535
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
7.4≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦641
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
8.5≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦854
MVF1003
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.1
14.6
0.15
18.2
0.2
21.8
0.3
29.0
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.1
11.0
0.15
11.8
0.2
14.2
0.3
18.9
精　度
±Qmin
±5.4%RD
±4.1%RD
11.0≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦946
±Qmin
±5.1%RD
±3.7%RD
11.8≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦1181
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
14.2≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦1461
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
18.9≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦1886
MVF1503
精　度
±Qmin
±5.4%RD
±4.1%RD
14.6≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦1457
±Qmin
±5.1%RD
±3.7%RD
18.2≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦1819
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
21.8≦Q≦39
39＜Q＜156
156≦Q≦2180
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
29.0≦Q≦48
48＜Q＜156
156≦Q≦2904
7
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.1
31.3
0.15
39.1
0.2
46.9
0.3
62.5
精　度
±Qmin
±5.4%RD
±4.1%RD
31.3≦Q≦57
57＜Q＜286
286≦Q≦3135
±Qmin
±5.1%RD
±3.7%RD
39.1≦Q≦65
65＜Q＜286
286≦Q≦3913
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
46.9≦Q≦78
78＜Q＜286
286≦Q≦4692
±Qmin
±4.7%RD
62.5≦Q≦104 104＜Q＜286
±3.2%RD
286≦Q≦6249
（3）使用圧力範囲0〜1.0MPa：MVF□□□0
MVF0800
MVF0500
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.3
8.5
0.4
10.7
0.5
12.8
0.6
14.9
0.7
17.1
0.8
19.2
0.9
21.3
0.98
23.0
精　度
±Qmin
±5.1%RD
±3.8%RD
8.5≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦854
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
10.7≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦1067
±Qmin
±4.8%RD
±3.3%RD
12.8≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦1280
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
14.9≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦1493
±Qmin
±4.6%RD
±3.1%RD
17.1≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦1706
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
19.2≦Q≦32
32＜Q＜74
74≦Q≦1919
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
21.3≦Q≦36
36＜Q＜74
74≦Q≦2131
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
23.0≦Q≦38
38＜Q＜74
74≦Q≦2302
MVF1000
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.3
18.9
0.4
23.6
0.5
28.3
0.6
33.0
0.7
37.6
0.8
43.0
0.9
48.0
0.98
51.0
精　度
±Qmin
±5.1%RD
±3.8%RD
18.9≦Q≦31
31＜Q＜110
110≦Q≦1886
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
23.6≦Q≦39
39＜Q＜110
110≦Q≦2355
±Qmin
±4.8%RD
±3.3%RD
28.3≦Q≦47
47＜Q＜110
110≦Q≦2825
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
33.0≦Q≦55
55＜Q＜110
110≦Q≦3295
±Qmin
±4.6%RD
±3.1%RD
37.6≦Q≦63
63＜Q＜110
110≦Q≦3765
±Qmin
±4.6%RD
±3.1%RD
43.0≦Q≦71
71＜Q＜110
110≦Q≦4235
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
48.0≦Q≦78
78＜Q＜110
110≦Q≦4705
±Qmin
±4.6%RD
±3.0%RD
51.0≦Q≦85
85＜Q＜110
110≦Q≦5081
MVF1500
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.3
29
0.4
36.3
0.5
43.5
0.6
50.7
0.7
58
0.8
65.2
0.9
72.5
0.98
78.2
精　度
±Qmin
±5.1%RD
±3.8%RD
29.0≦Q≦48
48＜Q＜156
156≦Q≦2904
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
36.3≦Q≦60
60＜Q＜156
156≦Q≦3628
±Qmin
±4.8%RD
±3.3%RD
43.5≦Q≦73
73＜Q＜156
156≦Q≦4351
±Qmin
±4.7%RD
±3.2%RD
50.7≦Q≦85
85＜Q＜156
156≦Q≦5705
±Qmin
±4.6%RD
±3.1%RD
58.0≦Q≦97
97＜Q＜156
156≦Q≦5799
±Qmin
±4.6%RD
65.2≦Q≦109 109＜Q＜156
±Qmin
±4.6%RD
72.5≦Q≦121 121＜Q＜156
±Qmin
±4.6%RD
78.2≦Q≦130 130＜Q＜156
±3.1%RD
156≦Q≦6522
±3.0%RD
156≦Q≦7246
±3.0%RD
156≦Q≦7825
8
使用圧力
最小測定流量
（MPa）
Qmin
0.3
62.5
0.4
78.1
0.5
93.6
0.6
109.2
0.7
124.8
0.8
140.4
0.9
155.9
0.98
168.4
精　度
±Qmin
±5.6%RD
62.5≦Q≦104 104＜Q＜286
±Qmin
±5.1%RD
78.1≦Q≦130 130＜Q＜286
±4.4%RD
286≦Q≦6249
±3.8%RD
286≦Q≦7806
±Qmin
±4.9%RD
±3.5%RD
93.6≦Q≦156
156＜Q＜286
286≦Q≦9364
±Qmin
±4.8%RD
109.2≦Q≦182 182＜Q＜286
±Qmin
±4.7%RD
124.8≦Q≦208 208＜Q＜286
±3.3%RD
286≦Q≦10921
±3.2%RD
286≦Q≦12478
±Qmin
±4.6%RD
±3.1%RD
140.4≦Q≦234
234＜Q＜286
286≦Q≦14035
±Qmin
±4.6%RD
155.9≦Q≦260 260＜Q＜286
±Qmin
±4.6%RD
168.4≦Q≦281 281＜Q＜286
±3.0%RD
286≦Q≦15593
±3.0%RD
286≦Q≦16838
外形寸法図
（単位：mm）
● MVF050□C
● MVF080□C
117
127
50
127
117
61
50
61
130
CO
VE
E
LIV
WH
I
130
ST BE K E P
TT
MU
HT
IG
LE
CUITS ARE
CIR
A
208
208
CUITS ARE
CIR
A
WH
I
E
LIV
R
LE
ST BE KEP
TT
MU
HT
IG
CO
VE
ADE IN JAPAN
ADE IN JAPAN
R
φ59
367
351
φ59
126
60
44
96
70
70
● MVF100□C
● MVF150□C
117
50
127
117
127
50
61
208
208
130
130
61
φ59
212
427
399
φ59
99
70.5
151
60
100
140
9
配線接続図
DA
1
DB
7
2
8
3
6
5
COM P+
4
9
11
10
I+
COM +24V SG
配線ラベル
端子番号
信号名
1
DA
RS-485通信 DA
2
DB
RS-485通信 DB
3
未使用
接続しないでください
4
未使用
接続しないでください
5
P＋
6
COM
7
SG
8
＋24V
9
COM
10
I＋
内　容
パルス出力（NPNオープンコレクタ）
コモン
RS-485通信コモン
電源＋24V
コモン
4〜20mA出力
接地端子
11
取扱い上の注意
•• 各端子への接続は、接触が確実になるよう圧着端子などを使用し、しっかりと接続してください。
•• 圧着端子は、M4ねじに適合するものを使用してください。
•• 端子ねじの締付トルクは0.8N･m以下にしてください。
•• RS-485通信以外の配線はJIS C 3401用制御ケーブル（CVVなど）外形2.2mm以上のものを使用してください。
•• RS-485通信の配線には、ツイストペアシールド線を使用してください。•
また、終端抵抗（150Ω 1/2W）を必ず取り付けてください。
•• 配線接続口はＧ1/2めねじです。電線管を直接接続する場合以外は同梱の防水グランド（2個付属）をご使用ください。
外部結線例
外部結線
内部回路
＋24V
8
COM
9
I＋
10
DC24V
電源
4∼20mA 出力
パルス出力の結線例
負荷
①無電圧入力タイプの場合
P＋
5
5
COM
6
パルス出力
6
プルアップ抵抗
1
2
SG
カウンタ
②電圧入力タイプの場合
DA
DB
入力
0V
RS-485 通信
（本器に終端抵抗は
付属していません）
5
6
入力
0V
DC 電源
（30V 以下）
カウンタ
7
FG
11
取扱い上の注意
•• 4〜20mA出力のCOMは端子台から直接接続してください。
•• 電源COM（4〜20mA COM）、パルス出力COMはすべて内部で接続されています。外部機器と共通の電源で配線しないでく
ださい。干渉して故障や誤動作の原因となる恐れがあります。
•• パルス出力は、本器の出力定格を超えないように注意してください。また、リレーを駆動する場合は、コイルサージ吸収用ダ
イオードが内蔵されたリレーを使用してください。故障の恐れがあります。
10
圧力損失
50A： 920
80A：1020
100A：1580
150A：3400
m3/h（normal）において3kPa以下（空気：流速30m/s　圧力100kPa）
m3/h（normal）において3kPa以下（空気：流速30m/s　圧力100kPa）
m3/h（normal）において3kPa以下（空気：流速30m/s　圧力100kPa）
m3/h（normal）において3kPa以下（空気：流速30m/s　圧力100kPa）
一次圧力　0.3MPa
50A
80A
100A
150A
3.5
3
圧力損失
（kPa）
圧力損失（kPa）
一次圧力　0.01MPa
6.0
2.5
5.0
2
4.0
1.5
3.0
1
2.0
0.5
1.0
0
0
200
400
600
800
0
1,000 1,200 1,400 1,600 1,800 2,000
流量
50A
80A
100A
150A
7.0
0
1,000
3,000
4,000
5,000
6,000
7,000
流量 m3/h (normal)
一次圧力　0.5MPa
一次圧力　0.7MPa
50A
80A
100A
150A
10.0
9.0
圧力損失（kPa）
圧力損失（kPa）
2,000
m3/h（normal）
8.0
7.0
50A
80A
100A
150A
14
12
10
6.0
8
5.0
6
4.0
3.0
4
2.0
2
1.0
0.0
0
0
1,000 2,000 3,000 4,000 5,000 6,000 7,000 8,000 9,000 10,000
流量
m3/h
10
8
6
4
圧力損失（kPa）
8,000
10,000
12,000
14,000
アルゴン
1.38
炭酸ガス
1.53
酸素
1.11
都市ガス13A（LNGベース）
0.64
メタン100%
0.56
プロパン100%
1.56
ブタン100%
2.08
例：機種MVF150、一次圧力0.9MPa、流量6000m3/h
（normal）時、都市ガス13Aにおける圧力損失を求める
一次圧力0.9MPaのグラフより、流量6000m3/h
（normal）時の圧力損失は約2kPaとなります。
これに都市ガス13A比重0.64で乗ずると
2kPa×0.64＝1.28kPaとなります。
2
0
6,000
各ガスの比重（空気＝1.0とした場合）
12
0
4,000
空気以外のガスで使用する場合、下記の比重を乗じてください。
50A
80A
100A
150A
14
2,000
流量 m3/h（normal）
一次圧力　0.9MPa
16
0
(normal)
2,000 4,000 6,000 8,000 10,000 12,000 14,000 16,000 18,000
流量 m3/h（normal）
11
設置方法と設置上の注意
● バイパス配管について
本器を設置する場合は、以下のように必ずバイパス配管を設置してください。
また、流量計前後のバルブはボール弁など流れを乱さない構造のバルブをご使用ください。
バイパス配管のバルブ
上流側のバルブ
流量計
下流側のバルブ
● 直管部の設定について
設置場所の上流側と下流側には直管部を設けてください。
直管部の長さは以下の図を参考にしてください。Dは口径です。
配管には50AはSch20、80A/100A/150AはSch40をご使用ください。
下流直管部は5D以上としてください。
設置
条件
縮小管
流れ方向
10D以上
5D以上
拡大管
流れ方向
10D以上
5D以上
単一曲がり
流れ方向
10D以上
5D以上
同一平面二重曲がり
流れ方向
10D以上
5D以上
立体二重曲がり
流れ方向
20D以上
12
5D以上
● 配　管
フランジ間に挟み込むウエハ接続です。通しボルト・ナット・ガスケットはお客様にて準備ください。
フランジ
ガスケット
ガスケット
フランジ
スペーサ
流れ
方向
（MVF100□Sの場合）
・本器には芯ずれ防止のためスペーサを標準付属しています。
・スペーサの数は、形番によって異なります。•
MVF050□C：8個、MVF080□C：12個•
MVF100□S/MVF150□S：6個
取扱い上の注意
MVF□□□□Cの場合
・スペーサはフランジ両側に設置してください。
・芯を出すためウエハボディの両端の溝に確実に設置してく
ださい。
● ガスケットの取り付け
フランジ接続にはガスケットが必要です。
ガスケットの内径寸法は、下表を参考にしてください。
口　径
ガスケット内径（参考値）
50A
61mm
80A
90mm
100A
115mm
150A
167mm
取扱い上の注意
•• ガスケットの内径が小さすぎると流路内にはみ出し、流速分布を乱して精度に悪影響をおよぼす恐れがあります。
•• ガスケットの内径が大きすぎると漏れの原因となります。
● フィルタ等の設置のお願い
計測流体に油分・水分・ごみなどが含まれる場合、これらを除去するフィルタ等の装置を設置してください。
含まれていると計測誤差や故障の原因となります。
＊水分は管内で結露しないようドライヤにて除去してください。
＊ごみ取り用フィルタは、1μｍ以上の異物を除去できる能力のものを設けてください。
＊油分除去用ミストセパレータは残留油分濃度0.01mg/ｍ3以下の除去能力のあるものをご使用ください。
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直射日光が当たる箇所に設置する場合、日除けを設置してください。
本器は屋外設置が可能ですが、直射日光が当たると誤動作、故障の原因となります。
日除けを必ず設置してください。
●
●
脈動流や偏流の影響がある箇所には取り付けないようにしてください。
●
コンプレッサ（圧縮機）の出力端近傍での計測は行わないでください。
コンプレッサ
（スクリュー式など）
コンプレッサ
MVF
フィルタ
ドライヤ
レシーバ
タンク
MVF
圧縮機の出力付近は、偏流が激しくまた、方式によっては鉄粉等飛散する場合があり、本器の故障の原因となる可能性があります。
上図のように、油分・水分・鉄粉等ごみを除去する器具を設置し、偏流対策として、レシーバタンクなどの２次側に設置してください。
●
●
ポンプやルーツ式ブロアなど脈動発生源付近への取り付けの場合、十分な対策を取ってください。
脈動発生源の近くに設置する場合、脈動の影響を受ける場合があります。
脈動発生源と本器の間に、ボリュームタンクなど設置し脈動の影響を極力抑えるよう対策してください。
分枝配線の下流に設置する場合、逆流などにより流量検出することがあります。下記対策を行ってください。
例）
Aラインは使用中
Bラインは停止中とします
BラインのMVFは本来流量ゼロのはずが、Aラインの流れの影響で流量検出し、
MVF
MVF
積算カウントしてしまう。
A
B
対策①
未使用のラインは、MVF上流側にバルブを設置して、他方の流れ影響を回避する。
バルブ
バルブ
MVF
MVF
A
対策②
●
B
未使用ラインのMVF出力（4-20mA、パルス）を上位側機器で無視するよう設計する。
電源投入後約13秒間は起動準備動作となります。その間の演算、出力等は以下の通りとなります。
•• 表示
：指示値の表示は行いません（デモ表示となります）
•• 積算演算
：行いません
•• アナログ出力：200〜300ms間20mAより大きい電流を出力して、出力の調整、状態確認後に瞬時値を出力します
•• パルス出力：行いません
•• 通信
：行いません
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■ お客様仕様確認シート：MVF
ガス種
流量範囲
最大常用最小 m3/h（normal）
流体圧力
kPa（gauge）
流体／周囲温度範囲
℃
配管接続
□ JIS 10K ウエハ　□ DIN PN10フランジ　□ ANSI 150フランジ
温度圧力補正
□ 温度圧力補正付き　□ 圧力補正なし、温度補正付き
接ガス部禁油処理
□ 要　□ 不要
4-20mA出力スパン
4mA時 m3/h（normal）　20mA時 m3/h（normal）
パルスウェイト設定
□ 0.01m3/パルス（50Aのみ）　□ 0.1m3/パルス　□ 1m3/パルス
□ 10m3/パルス　□ 100m3/パルス（50A以外）
不感流量
m3/h
TAG（半角英数8桁以内）
実流量校正
□ 実流量校正、トレーサビリティ（オプション）　□ 不要
流れ方向
□ 左→右　□ 右→左　□ 上→下　□ 下→上
変換器向き
水平配管時：□ 上　□ 下　垂直配管時：□ 左のみ
流量計設置状況
入口配管サイズ
出口配管サイズ
MVF
フィルタ
お客様接続器具名称
お客様接続器具名称
フィルタ＋流量計の許容圧力損失
kPa（gauge）
ご注文・ご使用に際しては、下記URLより
「ご注文・ご使用に際しての
ご承諾事項」を必ず読んでいただきたくお願い申し上げます。
http://www.azbil.com/jp/product/cp/order.html
お断りなく変更する場合もありますのでご了承ください。
〔ご注意〕この資料の記載内容は、
本資料からの無断転載、複製はご遠慮ください。
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2005 年 2 月初版発行
2014 年 6 月改訂 13 版
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