目次1/2 - 三弘アルバック

アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　目次1/2
分類名
<スパッタ装置　ULVAC製>
<スパッタ装置　ULVAC製以外>
<蒸着装置>
<ＣＶＤ装置>
<アッシング装置>
<エッチング装置　ULVAC製>
<エッチング装置　ULVAC製以外>
<イオン注入装置>
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
<フォトリソグラフィー工程装置>
<コーター・デベロッパー>
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
<膜厚測定・抵抗測定装置>
<外観検査装置・その他計測器>
<洗浄装置>
<めっき装置>
<顕微鏡>
<後工程・実装装置>
<ＵＶ装置>
<ディスペンサー装置>
<イオンミリング装置>
<その他真空装置>
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
<その他>
<油回転真空ポンプ>
<油回転真空ポンプ部品>
<油拡散ポンプ>
<メカニカルブースターポンプ>
<クライオポンプ　ULVAC製>
<クライオポンプ　ULVAC製以外>
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外>
<ドライポンプ>
<イオンポンプ>
<排気セット>
<真空バルブ　ULVAC製>
<真空バルブ　ULVAC製以外>
<超高真空部品>
<ピラニ真空計>
<電離真空計>
<バラトロン真空計>
<ペニング真空計>
<サーモカップル真空計>
<キャパシタンスマノメータ >
<広帯域真空計 >
<成膜コントローラー>
<ガス分析計>
<Heリークディテクタ>
<EB電源>
ページ番号
2
3
3
4
4
5
5
5
5
5
5
6
6
6
7
7
7
7
7
8
8
8
8
8
9
9
9
9
9
10
10
11
11
13
13
14
15
15
16
16
16
16
17
17
17
17
17
17
17
1　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　目次2/2
分類名
<RF電源>
<DC電源>
<AC電源>
<アナライザーマグネット電源>
<マグネット電源>
<加熱電源>
<その他電源>
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
<搬送ロボット>
<電気制御系>
<チラー・純水設備>
<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>
<スパッタ装置部品>
<蒸着装置部品>
<イオン注入装置部品>
<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD>
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>
ページ番号
17
19
19
19
19
19
20
20
20
21
21
21
21
22
22
23
23
26
今月の新掲載品
☆
☆
☆
☆
中古品番号
RS14-8069
RS16-1001
RS16-1003
RS16-1002
品名
EBｶﾞﾝ
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
EGL-206M
HC-50
HC-50
HC-50
メーカー
ULVAC
KEYENCE
KEYENCE
KEYENCE
製造番号
122584
5121385
5149398
製造年
☆
RS15-2127
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
☆
RS15-2126
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
Heliot102
ULVAC
037
2006
Heliot102
ULVAC
256
2006
☆
☆
☆
☆
☆
RS14-8068
RS14-8067
RS12-8102
RS15-1262
RS15-1261
膜厚計
膜厚計
架台・排気ﾁｬﾝﾊﾞｰ本体
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
CRTM-6000
CRTM-6000
PMB-001CM
PVD-360
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
MV99-1003
A11A-00054
NB028B-00054
1999
備考
本体のみ。
本体のみ、未使用品。
本体のみ、未使用品。
状態良好。取説あり。
付属品：ｽﾆﾌｧｰ冶具、ｷｬﾘｰｹｰｽ（ｼﾞｭﾗﾙﾐﾝ）、工具（ねじ回し）
状態良好。取説あり。
付属品：ｽﾆﾌｧｰ冶具、ｷｬﾘｰｹｰｽ（ｼﾞｭﾗﾙﾐﾝ）、工具（ねじ回し）
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
吸引物：CF4 C3F8　H2　O2 N2
<スパッタ装置　ULVAC製>
中古品番号
RS15-1190
RS15-1195
RS15-1173
品名
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
型式
CS-200
ZI-1000N
MPS-5000-HC6
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
MA06-1047
ME01-1031-0
MB01-1008
製造年
2008
2001
2001
RS15-2116
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-200S
ULVAC
MA09-3316
2010
RS15-1183
RS15-1178
RS15-1179
RS15-1180
RS15-1185
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ULDis-200UCP
ZX-1000
ZX-1000
ZX-1000
SRH-420
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
MA13-5002
ME99-4512-1
ME98-4533
SE96-9615-1
MA04-3426
2013
2000
2000
1996
2005
RS15-2094
巻取ｽﾊﾟｯﾀ装置
SPW-030
ULVAC
MF04-7002
2006
RS15-2104
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MPS-2000-HC2
ULVAC
MB97-5001
1997
ｶｿｰﾄﾞ：ﾍﾘｺﾝｶｿｰﾄﾞ源　2元　/　ECR源　1元
電源：RF電源　/　DC電源　/　加熱電源
排気系：ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ+油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
取説・図面あり、仕様書なし。
RS15-2077
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS ZX-1000
ULVAC
ME02-5001
2002
基板：200㎜
装置構成：オートローダー　+　搬送室　+　ﾌﾟﾛｾｽ室*1
成膜室：RF-Bias　式　DC-LTS　ｽﾊﾟｯﾀ　（ﾉ-ﾏﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ残留）
排気系：QDP80　+　TMP-203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/CRYO-T8P/C30Z
（30105hr）　仕様書・取説・図面あり。
RS15-1025
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME95-1042（WT0610010A）
RS15-2010
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SH-450-T10
ULVAC
MB03-5006
RS15-2008
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-550L
ULVAC
MH92-1080
2　備考
仕様書あり、取説・図面なし。
【C　to　C（2C1E4T1H）】取説・図面あり、仕様書なし。
仕様書、取説、図面なし。特ｶﾞｽ使用なし。
2012年8月頃まで稼働、欠品なし。
ﾀｰｹﾞｯﾄ　ITO　ｻｲｽﾞ300×375、ｶｿｰﾄﾞ1式　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC402B　異常放電防止
A2KH-25　搬送ｷｬﾘｱ6式　基板ﾎﾙﾀﾞｰ4ｲﾝﾁ6枚ｾｯﾄ　ｽﾊﾟｯﾀ有効範囲H200mm×
W300mm　MFC　Ar200sccm　O2　2sccm　H2O　5sccm　排気系：ｸﾗｲｵ　U-8H、
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ　ER400　制御系：GPCS-2700　仕様書あり、取説・図面なし。
年式新しく、状態良好。仕様書、取説、図面なし。
仕様書・取説・図面なし。（C　to　C枚葉式）
仕様書・取説・図面なし。（C　to　C枚葉式）
仕様書・取説・図面なし。（C　to　C枚葉式）
高年式で状態良好。仕様書、取説、図面なし。
実験機用途（使用頻度少）、ﾀｰｹﾞｯﾄ材料：ITO、Cu、SiO2
ﾌｨﾙﾑ幅：max300mm、ﾌｨﾙﾑﾛｰﾙ径：maxφ 250、ﾌｨﾙﾑ長：max550m（50μ ｍ）
ｶｿｰﾄﾞ：弱磁場　AC　Magnetron　Cathode　*2、弱磁場（400G）　DC　Magnetron
Cathode　*1
弱磁場（250G）　DC　Magnetron　Cathode　*1、電源：SP11・12用AC10KW電源、
13・14用　Pulse　DC電源　仕様書、取説、図面あり。
枚様式ｽﾊﾟｯﾀ、2C2Tﾉｰﾏﾙｶｿｰﾄﾞ搭載、S3室、6ｲﾝﾁ、S4室、8ｲﾝﾁ　ﾗﾝﾌﾟ加熱仕
様、平置き、TMP（島津載せ替え済）、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟAA-10S　※2007年ﾘﾆｭｰｱﾙ販売
している装置。仕様書・図面あり、取説なし。
構成：CA3元
1992
★2012年ﾘﾆｭｰｱﾙ装置★排気系：TMP（UTM-2300）・拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ（D-950DK）、真
空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ（GI-TL3）・ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*3（GP-1SRY(C)）・ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計（MKS
PRC-C-1C）、ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC（DC）・DC(DCS-0202B)、熱電対：PHS-07、ｽﾊﾟｯﾀｶ
ｿｰﾄﾞ：1源（φ 4in*6set）←SP-UP、材料：金属　仕様書・取説・図面あり。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
品名
【お客様用】中古品在庫リスト　型式
メーカー
2016年7月20日現在　製造年
製造番号
備考
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】　量産用　１E3T　，基板：φ 6in　Etch：ICP　SP1
～3：Metal　，加熱機構：：Infrared　Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧
型）+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※　ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様　機能充実
RS12-1061
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000
ULVAC
ME02-8012
2002
RS12-1062
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000
ULVAC
ME93-5021
1994
RS13-3017
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
CS-200
ULVAC
MA07-1009
2007
RS12-1227
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
IBS-6000
ULVAC
MB04-1012
2004
RS12-1118
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME00-5016
2000
RS13-1115
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME96-1064
1997
RS13-3127
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME99-1017
RS14-4024
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME97-1050
1998
8インチ用
RS14-1242
ﾁｬﾝﾊﾞｰ（MPS-2000部品）
-
ULVAC
MB99-1021
2000
取説なし
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】　量産用　1E1T　，基板：φ 6in　Etch：ICP　SP：
Metal　，加熱機構：：Infrared　Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※　拡張性有り
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・量産　ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ　φ 12in回転磁石型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ(誘電
体用）　1元　SP電源：RF　3ｋWx1　排気系：TMP+DRP　基板ｻｲｽﾞφ 6in　仕様書
あり、状態良好
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置　動作確認済み　使用頻度少なく良好
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】　量産用　1E2T2C，基板：φ 5in　Etch：2重極
SP1：Metal　SP2：Metal，加熱系：Infrared　Lamp　ｶｾｯﾄ室×2，排気系：CRYO＋
RP
【枚葉式】ﾌﾙﾓｼﾞｭｰﾙ（2C3T1E)　取説・図面あり
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】　量産用　1E1T1H2C　基板：φ 5in　Etch：2重極
SP：Metal　加熱系：赤外線ﾗﾝﾌﾟ　ｶｾｯﾄ室×2　排気系：CRYO＋RP
RS13-2209
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200（PME-200LE;LPO）
ULVAC
MA08-3536
2010
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送
室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×3）＋（空×2）基板：140　mmｶﾞﾗｽ基板等（180mm　ﾄﾚｲ使用）
排気系：ＴＭＰ＋DRY　成膜室：（P3：蒸着重合、P4：蒸着％UV、P5：φ 300ﾛｰﾀﾘ式
ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元）　電源：RF電源　3KW　成膜法：固定成膜　ﾃﾞﾎﾟｱｯﾌﾟ　、
PME-200LE;LPO
RS14-2292
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SBH-2306
ULVAC
ME57-5034
1983
・排気ｼｽﾃﾑ：ﾒｲﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(DP?)欠品/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ[D-950DK(Motor;D)]　・真空計：ｲｵﾝ
ｹﾞｰｼﾞ[GI-TL2RY]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ[GP-1SRY(A)]+[GP-2DA]　・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ電源
DC[DC-050-E特型　新電元]　・水晶成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ[ｲﾝﾌｨｺﾝ]　・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞｶｿｰﾄﾞ：3
源(ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝ未使用の厚膜ｶｿｰﾄﾞ)ﾃﾞﾎﾟﾀﾞｳﾝ　・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo
RS13-2204
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350-D06
ULVAC
MH62-5073
1988
RS12-1405
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-450-C10
ULVAC
MH61-0502(NH8978)
1987
RS14-2268
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-1010特
ULVAC
MA01-5007-0
2002
RS13-1116
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-3030
ULVAC
MH63-5260
2007
RS11-1021
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-850
ULVAC
MA06-1006
2006
RS13-2208
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200LDM(LCO)
ULVAC
MA08-3625
2010
RS11-2043
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SMR-2110E
SRH-420MC
ULVAC
ULVAC
ME58-0161
MA02-1038
1983
RS14-1118
RS10-2807
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7820
RS10-2808
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7818
RS15-1001
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SIH-300RD
ULVAC
MA08-7004
2009
RS15-1181
RS15-1060
磁性薄膜成膜装置
ｽﾊﾟｯﾀ装置
MPS-2000-C8
SH-450-C12
ULVAC
ULVAC
MB08-1002
-
2009
メーカー
製造番号
製造年
ｱﾈﾙﾊﾞ
EVP-37440
【バッチ式】実験・少量生産　φ 150mmカソード　1元　（スパッタアップ）　排気系：
拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A)、D-650Dスパッタ電源：ＤＣＧ－０５Ｃ　ガス：２系統ｼｰ
ｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・少量生産　φ 6in　ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ　×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源　DCx1・
RFx1　逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP
Vacuum　System・・・CP［（U10PU）　C15R（MBS）］　RP［D-650DK］　Vacuum
Gauge・・・Ion　Gauge［GI-M2］　Pirani　Gauge*3［GP-1SRY（C）］　Baratｒon
Gauge［MKS　PRC-C-1C］　Sputtering　Power　Suppy・・・DC［DC］　DC［DCS0202B］　Heater　Power［PHS-07］　Sputtering　Cathode・・・1source
(5in*10in*6t［Dual　Cathode　Remodeling　OK］）←SP-UP　Trace・・・ITO　仕様
書・取説・図面あり。(インターバック式）
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・少量生産　ｶﾞﾗｽ基板：　850×900ｶｿｰﾄﾞ3元搭載　ｽﾊﾟｯﾀ
電源：RF　片面　縦搬送　通過成膜式排気系：CRYO+RP
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送
室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×6）＋（空×1）基板：150　mmｶﾞﾗｽ基板等（200mmｳｴﾊ可能）　排
気系：ＴＭＰ＋DRY　成膜室：（P2～P6φ 300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×5元、P7φ
300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元　Cu）　電源：P2～P6　RF電源　5KW　P7　DC電
源　4KW成膜法：固定成膜　ｽﾊﾟｯﾀﾟｱｯﾌﾟ（P3は回転成膜）
ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｘ3式、ICPｴｯﾁ室　取説・図面あり
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】　量産用　2T　，基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：
Metal　，加熱機構：：Infrared　Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※　拡張性有り
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】　量産用　2T　，基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：
Metal　，加熱機構：：Infrared　Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※　拡張性有り
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式、DEPOﾀﾞｳﾝ、ｶｾｯﾄﾀｲﾌﾟ（ﾎﾙﾀﾞｰ6枚　420*420）　、ｶｿｰﾄﾞ：3元（Ti、
Cu、Ni-Cu）135*47（非磁性）、排気系：TMP+RP、GAS：Ar、電源：DC6KW
RF1KW（逆ｽﾊﾟ）使用頻度低い　仕様書・図面なし、取説あり。
使用頻度低く、優良品。仕様書・取説・図面あり。
O/H必須。Φ 6ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞ3元、RF/DC、ｴｯﾁﾝｸﾞ機構付。
<スパッタ装置　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
RS15-1251
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
L-410S-FHL
RS15-3052
Centura-PVD 150mm 2ch
Centura-PVD
AMAT
-
RS15-1026
RS12-1027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
C-7540HC
ANELVA
EVP-30782
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
-
ﾃｸﾉｺｰﾄ
-
1996
1992
RS13-8022
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
E-102
日立
6127-03
1986
RS11-1201
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
HRS-521A
島津製作所
1M9062
1994
RS12-1228
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
L-350S-C
ANELVA
EVP-30577
1996
RS11-1184
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPC-530H
ANELVA
EVP-13998-1
1983
RS12-2027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPF-540H
ANELVA
EVP-24622
RS12-1380
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置(ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式）
SPH-2019F
昭和真空
02-4191
2003
RS15-1002
RS12-2033
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀ装置
SPH-2500-RF
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置部品（RS12-8061～8066） ECR-300E
昭和真空
ANELVA
00-4422
EVP-19881
1990
メーカー
製造番号
製造年
備考
RFスパッタ仕様状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
DC電源他、軽度の欠品はあるが、補填可能。仕様書・取説・図面なし。(RS091172とRS15-3052セット販売）
Au、Cu、Ｎｉ成膜装置。仕様書、取説、図面なし。
100　角基板用　ｶｿｰﾄﾞ３元　DC　拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ＋ｱﾙｶﾃﾙRP
電源：AC100V　50/60Hz　1KVA　試料台：φ 80ｍｍ　RP付属（501-min)　放電電
圧印加法：自動ｽﾛｰｱｯﾌﾟ方式
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用（全手動操作）　φ 4inｶｿｰﾄﾞ　3元　静止成膜　ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF
逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能　小型実験装置
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　ｶｿｰﾄﾞ：　5元（DC３式＋RF２式）
ｲｵﾝ銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）
【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】　ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in　3元　DC/RF切替　排気系：DP　2004年に
ｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施
【ﾊﾞｯﾁ式】ｶｿｰﾄﾞ：φ 6in×　3元
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　基板：φ 3.4in　ｶｿｰﾄﾞ：5inx7in　MgCa　3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源：
DC/RF切替　加熱：ｼｰｽｽﾋｰﾀｰ(インターバック式）
CONT、ケーブル付属　仕様書あり
状態良好
<蒸着装置>
中古品番号
品名
型式
RS15-2124
蒸着装置
EBX-1000
ULVAC
MA06-5011
2007
RS15-1186
RS15-1187
RS15-1193
蒸着装置
ei-7L
ULVAC
MA12-5005
蒸着装置
蒸着装置
ei-7L
SEC-16C
ULVAC
昭和真空
MA13-3315
02-4069
2013
2014
2002
RS15-2065
蒸着装置
ei-5t
ULVAC
MA09-4737
2009
RS15-2067
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
ME59-5018
1985
RS15-2068
蒸着装置
EBX-16CF
ULVAC
ME59-1038
1985
3　備考
【前扉式】蒸発源：EB蒸発源[EGO-40M]、電源：EB電源 HPS1000F[31807.9hr]、
排気系：CRYO_Pump[U-16]+Rotary_Pump[VD-401]、成膜制御：CRTM9000/CRTS-0[Dual Sensor] 取説あり、仕様書・図面なし。
高年式で状態良好。仕様書、取説、図面なし。
高年式で状態良好。仕様書、取説、図面なし。
実機検品時、EB　ON確認まで実施。取説あり、仕様書・図面なし。
基板保持機構；dia.50mm　自公転ﾌﾟﾗﾈﾀ
蒸発源；EGL-35M（10㏄*4）　HPS-1000S
排気系；CRYO　U-16P　+　LR90
加熱系；赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ　4式（750W*2*4set）
仕様書・取説あり、図面なし。
EBX-16Cは生産状態で停止。EBBは、EB電源抜き取り済で部品取り用途。
EBX-16とEBBは、同時購入必須。ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。
図面あり、仕様書・取説なし。
ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。図面あり、仕様書・取説なし。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
品名
【お客様用】中古品在庫リスト　型式
メーカー
製造番号
2016年7月20日現在　製造年
備考
構成　：　処理室　2室（有機材料成膜室・電極形成室）　＋　ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ　（ｵﾘｼﾞ
ﾅﾙ）、蒸発源　：　有機材料成膜室　（Cell　；　5ヶ所）　、　電極形成室　（抵抗加
熱　2本）、排気系　：　油回転真空ポンプ（D-240DK　×　2台）　＋　CP（U-6H　+
C10）　＋　TMP（TMP-280）、制御系　：　ｼｰｹﾝｻｰ（三菱Aｼﾘｰｽﾞ　A1S）　成膜ｺ
ﾝﾄﾛｰﾗｰ　（CRTM-7000　×　2式）
RS15-2057
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MH96-5035
1998
RS15-2056
抵抗加熱蒸着装置
EX-400-D06(改C08)
ULVAC
MH92-5012
1992
RS15-1085
蒸着装置
SKF-1300
昭和真空
07-4133
2008
RS15-1084
蒸着装置
SOLCIET
ULVAC
MH10-1019
2010
RS15-2054
RS14-2289
RS13-3016
蒸着装置
真空蒸着装置
蒸着重合装置
VPC-260
特殊蒸着装置
VEP-1000
ULVAC
ANELVA
ULVAC
ZV-5468
EE995142
MF06-1008
1992
2001
2007
RS14-2266
有機EL蒸着装置
SOLCIET
ULVAC
MF98-5013-0
1999
RS11-3206
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MF96-5002
抵抗加熱蒸発源　8元　（電源系統　2系統）,主排気系　CP化　改造済　（CP　欠
品）　＋　油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ　D-650DK,制御I系　；　成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　（RS15-2060）
CRTM8000　付属
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟが冷却水漏れ等にて熱交換器不良、また4台中1台にHe残圧0の状態
あり。取説あり、仕様書・図面なし。
SOLCIETの特型、ﾁｬﾝﾊﾞｰが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、EBX-1000の代替え
装置としてL/L・G-BOXなど付属しており、状態良好。仕様書・取説・図面あり。
製造番号　未確認、リレー　（接点）無し
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
Vacuum　System・・・CP［U6H*2］　CP-Compressor[C10*2]　TMP[TMP-403LM]
RP[D-240DK*3]　Vacuum　Gauge・・・Ion　Gauge[GI-TL3RY*3]　Pirani
Gauge*5[GP-1SRY（C）]、Bias　RF　Power　Supｐｙ・・・RF[RFS-02CA]
Trace・・・Metal&Organic　material　仕様書・取説・図面あり。
有機薄膜形成装置　有機EL　研究・生産装置
2000
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　生産用φ 900ｘ1125H　SUS製　後方排気　水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻　公
転ﾄﾞｰﾑ　蒸発源：EB蒸発源（JEOL)　JEBG-102UHO　15連ﾊｰｽ　電源JST-10F
（10Kw)　排気系　RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘ
ｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550)　その他：　RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw)　京三　/　光学膜制御
（SOCS-1α ）昭和　/　CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙｾﾝｻ）　/　ｼｰｽﾋ-ﾀｰ加熱
1990
抵抗8元　動作確認済み。　取説・図面あり。
RS13-2200
蒸着装置
SGC-22SA-RF（ﾊﾞｯﾁ式）
昭和真空
00-4561
RS14-1226
RS14-1227
RS14-1180
蒸着装置
蒸着装置
SGC-22SA-RF
SGC-22SA-RF
昭和真空
昭和真空
97-4334
94-4371
高真空蒸着装置
EX-900-C16
ULVAC
MH89-2054
RS09-2143
蒸着装置
EX-650-C16
ULVAC
MH97-5033
RS11-1191
蒸着装置
EX-550-D10-B
ULVAC
MH90-1086
RS14-1181
高真空蒸着装置
EROLA
ULVAC
-
RS12-1428
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
MH59-0112
1984
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：　500×600H　自公転治具（φ
100用）　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ(EGL-35M)　排気系：CRYO＋RP　（ｶﾞｽ導入:O2)　RS12-1233
高真空蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5039
1984
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：　500×600H　公転治具　蒸発
源：電子ﾋﾞｰﾑ　（EGL-206M）膜厚計：CRTM-9000　排気系：CRYO　＋　RP
RS14-2294
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
XC03-4012
1990
RS12-1214
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
MH89-7043
1989
RS11-3014
蒸着装置
EBX-10D
ULVAC
SE59-1362-4
1885
RS12-1419
蒸着装置(ﾊﾞｯﾁ式）
EBX-10D
ULVAC
SE56-1351-3
1981
RS10-2175
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
SE58-1359-4
RS13-1038
蒸着装置
EBS-10A特型
ULVAC
XJ99-70010A
1999
RS13-2205
蒸着装置（ﾊﾞｯﾁ式）
EBS-10A
ULVAC
ME54-0003
1979
RS12-1080
蒸着装置
EBH-6
ULVAC
MH62-5022
2005
RS14-2280
RS14-2361
真空蒸着装置
蒸着装置
BMC-700
L-300K
SHINCRON
ANELVA
900073
EVP-37391
1990
RS14-2262
蒸着装置
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ 750W×900H　自公転治具　蒸発源：
抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ　10連回転駆動）　排気系：CRYO　＋　RP　赤外線ﾗﾝ
ﾌﾟ加熱
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　蒸発源：未搭
載（選択自由）　排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）＋RP
抵抗３式　ｸﾗｲｵ排気+DRP　L/L室付　CRTM-9000　抵抗電源ｿﾘｯﾄﾞﾀｲﾌﾟ
・排気ｼｽﾃﾑ：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ[U-10P-U　H2ﾒｰﾀｰ]+[C2W-U　15462hr]/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ　D330D　・真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ[GI-TL3]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*2[GP-1SRY(A)]　・水晶成膜ｺﾝ
ﾄﾛｰﾗ*2[CRTM-1000/CRTM-5000]　・蒸発源：2源[EB　EGK-3M][R/H　2Boart]
・蒸発源使用電源：[EB　HP-510C][RH　RS-07(400A)]　・ﾋｰﾀｰ電源：PS-07[ﾒｰ
ﾀｰ　30A]ｼﾏﾃﾞﾝ製　・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ 750Wx900H　自公転治具　蒸発源：電
子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M)　電源：10ｋW(真空管）　排気系：CRYO+RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
後方排気　ﾌﾟﾗﾈﾀﾄﾞﾘｰﾑ
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　治具無し　蒸
発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系：DP　＋　RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　治具無し　蒸
発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系：DP　＋　RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
欠品：EBｶﾞﾝ（バッチ式）
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 600W×800H　蒸発源:電子
ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kw（真空管）　排気系：CRYO　＋　RP
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】　排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB003C+D-950DK　加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ　ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ　蒸発
源：抵抗蒸発源（Wﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連ｘ6点切替方式）　仕様書・取説・図面あり
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ　操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ　真空動作：
AUTO/MANUAL　成膜半自動　蒸着材料：AL・In・Sn　公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050)　ﾜｰｸ
ｻｲｽﾞ：50ｍｍｘ75ｍｍ　排気系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V　RP　D-650　PMB003C　蒸発源：E/B　EGL-35M　HP1010SG　抵抗蒸発源：1元ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源付き
MFC　Aｒ　100ｓｃｃｍ　膜厚計CRTM-6000
【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用　全手動操作　抵抗加熱式蒸発源　（欠品：ﾍﾞﾙ
ｼﾞｬｰ）
現状動作OK。
IPM-100（Load　Lock式）
ULVAC
MF03-5104
2004
製造年
Main　Vacuum　System：CRYO（U-10PUS)・・・H2　mater)+(C2W-U・・・99633hr)
Load　Lock　Chamber　Vacuum　System：Turbo-molecular　pump（UTM350FH/D1A)
Vacuum　Control　System：mks　TYPE　113
Vacuum　Gauge：Ion　Gauge(GI-TL3RY)*2　Pirani　Gauge*5（GP-1SRY(A)）
Quartz　crystal　deposition　controller　(CRTM-6000)
Deposition　Source：Erectron　Beam　Source（EB・・・EGO-35)　Power
Supply・・・（EB・・・HPS-510S)
Ion　Plating　System・・・RFS-02CA*2
Trace・・・Mo/Cr/Al/Al2O3　取説・図面あり。
<ＣＶＤ装置>
中古品番号
RS15-2118
RS12-1318
品名
CVD装置
CVD装置
型式
CME-400Et
PD-270STA
メーカー
ULVAC
SAMCO
製造番号
MA09-3487
RS10-2769
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
DWNT成膜装置
ULVAC
MB03-7002
RS12-1145
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
CPD-1210
ULVAC
-
RS13-2010
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置部品（RS13-8129～8132） CME-200J
ULVAC
MA07-5012-0
2008
RS13-1031
P-CVD装置
P-CVD装置
ULVAC
MH61-1112
1986
備考
仕様書あり、取説・図面なし。
2001
2003
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　TEOS-CVD　使用ｶﾞｽ：C2F6　Ar　O2　N2
【ﾊﾞｯﾁ式】　熱CVD　ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用　加熱系：MAX1100℃　排気系：RP
ｶﾞｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM）　基板：200mm×600mm
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD　基板：φ 200　使用ｶﾞｽ：SiH4・・O2・N2
【ＣｔｏＣ】　生産用　プラズマＣＶＤ　156基板　《ｶﾞｽ》H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,
CO2,　ｱﾓﾙﾌｧｽSi　《不足品》　防着板2室分、ｼｰﾙﾄﾞﾌﾞﾛｯｸ4ｘ2室分、ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ2
枚、防着ﾏｽｸ4ｘ2室分
研究・開発用途
<アッシング装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS13-3031
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
VA-1000
ULVAC
2215
2001
RS13-3123
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
1000P
10271
2000
RS09-1488
ｱﾗｲﾒﾝﾄﾋﾟｯｸ
GLEN
TECHNOLOGIES
ULVAC
4　備考
2013/5初旬に装置停止　その後ｸﾘｰﾝﾙｰﾑにて保管　外観上問題なし　不具合な
し
仕様書・取説あり
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<エッチング装置　ULVAC製>
中古品番号
RS15-1245
品名
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
型式
CR-500
メーカー
ULVAC
製造番号
MA06-1046
製造年
2007
RS15-2066
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-550
ULVAC
MV06-1113
2006
RS15-2090
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
NE-550
ULVAC
ME04-1105
2005
RS14-1231
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-5000N
ULVAC
MV98-1002
2000
RS11-2399
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1210
ULVAC
ME60-0230
RS10-2784
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1110
ULVAC
MH58-0012
RS12-2047
RS14-1293
ｴｯﾁﾝｸﾞ
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1000
ALBA-PEC
ULVAC
ULVAC
RE92-1023
-
RS12-1304
ICPｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CE-300I
ULVAC
MV03-1008
2004
1983
備考
排気系　搬送室　ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ　HR-60、ｴｯﾁﾝｸﾞ室　ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ　TMP-1003LM
+　HR-60 ｴｯﾁﾝｸﾞｼｽﾃﾑ　ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀｰ　RF電源　Anntena　1kw　13.56MHz　Bias
600W　12.5MHz　基板ｻｲｽﾞ　φ 200mm　ﾁﾗｰ故障　仕様書・取説あり、図面なし。
基板：200㎜　Tray
装置構成：仕込室+ﾌﾟﾛｾｽ室*1
ﾌﾟﾛｾｽ室　RF-Anntena　1KW　RF-Bias　300W
排気系：Dry+TMP（TMP起動困難）　仕様書・取説・図面あり。
CRで停止　L/L（ｶｾｯﾄ付）ｴｯﾁﾝｸﾞ装置。　程度良好・制御系動作確認済み。　取
説・図面あり。
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W　13.56MHｚ　排気系：DP＋PMB＋RP
基板：φ 200mm　（平置き）　ｶﾞｽ系：4系統
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W　13.56MHｚ　排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟ
ﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ　基板：φ 200mm　（平置き）
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　ICP方式、使用ｶﾞｽ(CF４/C3F8/SF6/He/Ar/O2)
<エッチング装置　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1021
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
RIE-200L
SAMCO
ENS990608
1999
RS11-2028
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
L-210H-WS
ANELVA
EVP-35058
2000
RS12-1311
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DES-320E
YAC
RS14-4117
ｴｯﾁﾝｸﾞ
CVE-2014ACｓ1
ｸﾚｾﾝ
CVE-2013ACｓ1
2006
RS14-4015
Ti自動ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
-
ｻﾝｴｲ
-
2008
RS10-2182
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CDE-80N
芝浦ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
WFX0013
RS15-1003
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
RIE-200IP
SAMCO
22A1347
メーカー
製造番号
備考
取説あり、仕様書・図面なし。
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　RIE方式　使用ｶﾞｽ：O2　CF4：Ａｒ　CHF3　C4F8　SF8
排気系：R/P×2台　TMP×1台
【枚葉式】　生産向け　RIE方式　基板：φ 4ﾄﾚｲ搬送　ﾁｬﾝﾊﾞｰ2室
12インチ用縦型ウェットエッチング装置。薬液は温調、循環ろ過され、純水リンス
への影響がありません。
ウェット層でTiエッチング後、純水洗い、乾燥を自動で行える装置
【枚葉式】　生産向け　ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式、電源：ﾏｲｸﾛ波　2.45GHz　1ｋW、基板：
φ 200ｍｍ　（裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）
<イオン注入装置>
中古品番号
品名
型式
RS14-1004
ｲｵﾝ注入装置
IDZ-8001
ULVAC
MI05-1001
RS07-2983
ｲｵﾝ注入装置
IMX-3500
ULVAC
MI98-0001
製造年
2005
備考
※ｾｯﾄ販売品（RS14-2326～2329：ｽｷｬﾅｰ電源4台）単品販売不可。CRにて停止
中。　制御系・電源・現行機種（ﾒﾝﾃ可能）　程度良好。　欠品なし。仕様書・図面
あり。
中電流ｲｵﾝ注入装置　(MAX　Energy　200KeV)　基板：4in　1枚仕込（ｻｲｽﾞ変更
可能）　ｴﾈﾙｷﾞｰ30～200KeV　連続可変　実験用
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
中古品番号
RS15-1252
品名
横型炉
型式
MT-8X 32-A
メーカー
光洋
製造番号
50767
製造年
RS15-2079
電気炉
206M100M30X108H
RS15-3007
RS15-3008
RS15-1020
真空乾燥炉
ｴｺﾘﾌﾛｰ炉
ｺﾞｰﾙﾄﾞｲﾒｰｼﾞ炉
QSAF-500
SNR-615
RHL-P1210CP
光洋ﾘﾝﾄﾞﾊﾞｰｸﾞ
HI-0714
1990
ULVAC
千住金属工業㈱
ULVAC
D87086
2007
RS15-2009
RTA装置
RTP-6
ULVAC
MR034020-0
2004
RS12-1320
RS12-1044
RS14-1228
電気炉
真空ｱﾆｰﾙ炉
VF-2000
TYPE　BH
KOYOｻｰﾓｼｽﾃﾑ
ｱﾕﾐ工業
枚葉式高速ｱﾆｰﾙ装置
VE-01-16
2002
RTA-4000
ULVAC
MR060013-0
RS12-1338
ﾍﾞｰｸ炉
LTI-601ED
EYELA
10225465
RS14-1003
電気ﾏｯﾌﾙ炉
KL-600
ADVANTEC
097210
RS14-2269
遠紫外線応用装置
DUV-25ｘ4B　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
日本電池
00　E 5L
RS14-1229
RS12-1316
ｵｰﾐｯｸｱﾛｲ炉
1連式横型管状炉
3連式横型管状炉
DSI-3500P
A-T-H
A-T-H
ｹﾐﾄﾛﾆｸｽ
ﾉﾘﾀｹ
ﾉﾘﾀｹ
-
RS12-1315
RS12-1373
備考
状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
基板：φ 100㎜～150㎜　加熱系：1500℃　搬送：手動　石英管：予備1式
仕様書・取説あり、図面なし。
仕様書・図面あり、取説なし。
仕様書あり、図面・取説なし。
実験機用途。構成：1枚ﾀｲﾌﾟ、ｶﾞｽ種（O2・N2）、基板：Si　2in（ｻｾﾌﾟﾀｰ改造にて6in
まで可）加熱性能MAX1000℃
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞ　φ ４X36枚　～1200℃
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用　排気系：CRYO　PumP　＋　RP
取説・図面あり/仕様書なし
350mm内径　200℃　大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)
2007
本体のみ　付属品：真空ｵｰﾌﾞﾝ（本体のみ）/型式：DP43/L/N:36800179/S/N:WA2433/ﾒｰｶｰ：ﾔﾏﾄ科学
2000年以前製。　ﾗﾝﾌﾟ型式：L258　物件番号：KBG711　基板ｻｲｽﾞ：　100
使用時間：3407ｈｒ　仕様書・取説・図面あり。
取説・図面あり/仕様書なし
φ 4ｲﾝﾁ　～1300℃
φ 4ｲﾝﾁ　～1250℃
電気炉
<フォトリソグラフィー工程装置>
中古品番号
RS15-1131
品名
ｳｴﾊ露光装置
型式
PA-150MAD
RS15-2078
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
PLA-600F
RS14-2296
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
RS14-2278
メーカー
清和光学製作所
製造年
2002
製造番号
46102
ＣＡＮＯＮ
91120311
1991
Q-4000
Quintel
114
2001
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
ML-300LF
ﾙﾐﾅｽ
-
2007
RS14-3048
ﾏｽｸｱﾗｲﾅ装置
MA8/BA8
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
MA8BA8-001104
2008
RS13-3121
RS11-1245
ﾎﾞﾝﾄﾞｱﾗｲﾅｰ装置
TFE電子ﾋﾞｰﾑ描画装置
EVG620
ELS7500EX
EVG
ｴﾘｵﾆｸｽ
S020115
H35-019
2003
2008
メーカー
清和光学
清和光学
ｴｲﾌﾞﾙ
製造番号
64531
AA-2023
製造年
備考
取説あり、仕様書・図面なし。
ﾏｽｸ：φ 7/6In/5In（SEMI規格）
基板：φ 100㎜～150㎜
照明系：ｳｼｵ250W　超高圧水銀灯（ｇ線、h線、I線の組合せ）
露光：繰返精度±3%
ﾚﾝｽﾞ：対物10X（5X、20X）接眼10X（5X、20X）
仕様書・取説あり、図面なし。
ｱｲﾋﾟｰｽ：ﾆｺﾝ　038189　cfwn　10X/20　ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾃｨﾌﾞﾚﾝｽﾞ：5X/0.04　∞　2.3*2　/
2X/0.04　∞　2.3*2　ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄｻｲｽﾞ：dia.75
試料ｻｲｽﾞ：300ｘ300　光束：160ｍｍ
水銀ﾗﾝﾌﾟ：250W　仕様書・取説・図面あり。
年式新しく、程度良好。予備部品、ﾄﾞｷｭﾒﾝﾄ関係充実。照度計あり。8ｲﾝﾁの出来
るﾏｽｸｱﾗｲﾅは希少価値あり。装置ﾒｰｶｰのｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ社の立上、改造支援も
可能。8ｲﾝﾁ　立上時ﾒｰｶｰﾗｲｾﾝｽ料必要。仕様書・取説あり、図面なし
仕様書・取説あり
<コーター・デベロッパー>
中古品番号
RS15-1248
RS15-1249
RS15-1250
品名
ｽﾋﾟﾝﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ
ｽﾋﾟﾝﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
型式
AD-1200
AD-1200
ASS-303
5　備考
状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
RS14-4034
ｺｰﾀｰﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ
SK-W80B-AVP
RS14-2276
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
MS-A500
RS13-3019
ﾚｼﾞｽﾄｺｰﾀｰ
DELTA80T2
メーカー
製造番号
DNS
38700-6637
MIKASA
-
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
-
2016年7月20日現在　製造年
備考
2005
2コーター、2デベロッパー。　2014/11月末まで稼働。　不具合・欠品なし。　8"仕
様　（6"以下も可）
2000年以前製。　試料ｻｲｽﾞ：最大350ｘ350ｍｍ基板　ｽﾋﾟﾝ室内径：φ 500ｍｍ
回転数：20～2500ｒｐｍ　（350ｘ350基板の時は2000ｒｐｍまで）　ｽﾃｯﾌﾟ・ﾊﾟﾀｰﾝ
数：100ｽﾃｯﾌﾟｘ10ﾊﾟﾀｰﾝ　仕様書・取説・図面あり。
取説あり
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-2022
X線解析装置
X Pert MRD
Panalytical
DY2576
2001
状態良好
RS12-1396
RS12-1087
RS13-3130
ｳｪｰﾊ表面検査装置
ｳｴﾊ表面検査装置
WM-3000FOUP
WM-2500
TOPCON
TOPCON
00350074
00110021
2005
2001
12インチウエハ対応
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1700
TOPCON
207013
RS12-1422
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
01250019
1997
RS12-1424
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
000370032
1997
RS13-1040
飛行時間型二次ｲｵﾝ質量分析装置
TOF-SIMS TFS-2100
ULVAC
-
1997
RS12-1384
ﾅﾉ断面形状観察装置（FIB)
SMI3050
SII
11.100.367.000.007
2006
RS14-2265
X線反射率・組織分析装置
S-MAT2000F
ﾃｸﾉｽ
172R-046
2004
2013/4まで稼動。特に問題なし。動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応仕様書・取説
あり
ﾚｰｻﾞｰ管NG、ｱｰﾑﾊﾞｷｭｰﾑ用電磁弁NG、VMEｺﾝﾋﾟｭｰﾀ-PH2ﾎﾞｰﾄﾞNG、部品取り
用。型式詳細：6ｲﾝﾁ、8ｲﾝﾁ対応
2014/1/末まで通電・使用　欠品・不具合なし
取説有り、仕様書・取説無し
1999
電気：AC200V　30A（本体）、15A（送水装置）　冷却水：25L/min　窒素：
15NL/min　真空：15NL/min　取説あり。
電子顕微鏡（ＳＥＭ）　MFG　No.114H2198-01
M-002
2003
魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を
濃淡画面で表示する
Rigaku
Rigaku
Rigaku
ﾀｲﾖｰ電機
WD2876N
UD2903N
YD2780N
-
2002
2002
島津製作所
Q23644602507AE
製造番号
730000365A
製造年
RS12-1322
SEM
S-3000H
HITACHI
RS12-2062
魔境検査装置
MIS-110
ｺﾍﾞﾙｺ技研ﾚｵ
RS14-2282
RS14-2283
X線解析装置
X線解析装置
X線解析装置
ｳｴﾊ異物検査装置
ATX-E
ATX-E
ATX-E
-
蛍光X線分析装置
EDX-720
RS14-2281
RS13-3018
RS14-3121
備考
2002
2007
状態良好。
<膜厚測定・抵抗測定装置>
中古品番号
RS15-1247
品名
光干渉式膜厚測定装置
型式
ﾗﾑﾀﾞｴｰｽ VM-1210
メーカー
DNS
RS15-1194
膜厚測定装置
ELS-7700
ｴﾘｵﾆｸｽ
H31-001
2004
RS14-4102
RS12-2067
光干渉式膜厚測定装置
全自動4探針装置
段差計
FT-IR
ﾗﾑﾀﾞｴｰｽVM-1000
WS-8800
P-15
Nicolet4700
DNS
ﾅﾌﾟｿﾝ
KLA
Thermo
60730-0304
U/A
604119287
AFZ0400155
2001
2012
Sopra(現日本ｾﾐﾗ
ﾎﾞ）
61H##3608
2008
RS14-4133
RS12-1404
RS13-3165
分光ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ
GES5e
RS13-3163
膜厚力/ｳｪﾊ反り測定装置
FSM 128L
RS13-3162
水銀ﾌﾟﾛｰﾊﾞ
CVmap 3093A
触針式表面形状測定器
分光エリプソメータ
DEKTAK8
UNECS-2000
NS-3016
NS-3014
Frontier
Semiconductor
Four　Demension
Inc.
ULVAC
ULVAC
備考
状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
TMP要O/Hであるが、状態は良好。事前検品で通電立上げ確認済。
取説あり、仕様書・図面なし。
非接触式膜厚測定器、一部故障あり
購入後未開封で未使用の装置
ビデオカメラボード故障にて修理対応中
フーリエ変換型赤外分光光度計
CCDﾏﾙﾁﾁｬﾝﾈﾙ、DUV　190-900nm　使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で
使用　取説あり動作確認済み、メーカー補正推奨　12インチウエハ対応
膜剥がれ、ﾋﾛｯｸ、ﾎﾞｲﾄﾞ形成等　使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で使用
取説有り12インチウエハ対応　動作確認済み、正常稼働。
060629-652
0903313093A
2009
メーカー
分光計器
KEITHLEY
日立
製造番号
12693
0624873
F61161
製造年
KEITHLEY
0647327
1995
ADVANTEST
溝尻工学
ICOS
04250092
7089
W2-2H019
ICOS
H2.2-H005
1995
2007
2008
2007
2点ﾌﾟﾛｰﾌﾞ方式でC-V、I-V測定　使用履歴：2014/2月まで評価用途で使用　取説
有り12インチウエハ対応
<外観検査装置・その他計測器>
中古品番号
RS15-1253
RS15-2097
RS15-1100
品名
ｿｰﾗｰｼﾐｭﾚｰﾀ
ﾋﾟｺｱﾝﾒｰﾀｰ
微小寸法測定器ﾃﾚｺﾊﾟﾚｰﾀ
RS15-2098
電位計
RS15-2099
RS12-1410
RS14-4094
RS14-4098
電位計
微小領域観察ｼｭﾘｰﾚﾝ装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
型式
OTENTO-SUNⅤ
CALIBRATOR/SOURCE_263
WF-R30-H17
PROGRAMMABLE
ELECTROMETER_6512
DIGITAL ELECTROMETER_TR8652
型式不明
WI-2000
ｳｴﾊｰ外観検査装置（部品取り機）
WI-2000
RS14-4124
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-6555
NIKON
1322183
RS14-4101
RS14-4100
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-3020
VM-250
NIKON
NIKON
1302262
-
RS14-4121
ｳｴﾊｰ外観検査装置
VI-4302
TOPCON
00264303
RS14-4084
RS14-4091
ｳｴﾊｰ外観検査装置
VI-4200
TOPCON
00654036
ｳｴﾊｰ外観検査装置
オシロスコープ
VI-4200
SS-7802A
TOPCON
IWATSU
00144018
515625579
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
SS-7602(20Mｈｚ）
SS-7602（20Mhz)
SP-500BW300
SP-500BW
IWATSU
IWATSU
東ﾚ
東ﾚ
52277869
52277872
01250002
A1012762026
ICP発光分光分析装置
Rigaku CIROS CCD
Rigaku
-
OPTISTATION　V
NM-0402
NIKON
明昌機工
-
RS12-1387
外観検査
ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置
RS14-4103
非接触三次元測定装置
NH-4N
RS12-1411
非接触三次元測定装置
NAFS3070P
RS14-4119
自動外観検査装置
Falcon300
RS14-2347
RS04-8096
RS04-8097
RS14-4120
RS14-4110
RS14-4187
RS14-4099
RS14-2290
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
DP07054
RS14-4112
強度測定装置
DAGE5000
RS14-4118
RS12-1369
RS04-8036
RS04-8037
半導体検査顕微鏡
ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
AL2100-COM
2010
2001
正常動作品。仕様書・取説・図面なし。
外観検査室が2室あり、量産性に優れる。
RS14-4094へのパーツ機として活用予定
低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立。表面形状に依存しない。パッケージ
や基板、マスク等の測長に最適。
ウエハ上の寸法測定を行う装置
ウエハ上の寸法測定を行う装置
2005
2004
最高検出性能0.65μ ｍ。前工程の生産管理からウエハ電気検査前後、ダイシン
グ後など幅広検査工程に使用可能
一部故障あり
一部故障あり
2000
スキャンモニター付　IPZ-5001用部品　付属　電源ケーブルのみ
2005
2005
バンプ等の高さを測定する装置300mm対応
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
多元素同時分析が出来るICP質量分析装置
1997
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
2006
ﾐﾀｶ
7114
2003
日本技術ｾﾝﾀｰ
17591007
2007
Camtek
82004
Tektronix
B010319
DAGE
2049294
OLYMPUS
Mertricon
312002
22184
2247186
51476829
6　備考
状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
1995
1998
ｳｴﾊ､ﾘｰﾄﾞﾌﾚｰﾑなど高密度化や大型化する半導体のそり、うねり形状を測定する
装置
後工程外観検査、目視検査から自動検査も可能。バンプ高さ測定ではウエハ全
面3次元（3D）計測にも強み
2008
2003
実装工程における接合強度試験、プルテスト、シェアテスト等がワンタッチ交換で
可能な装置　動作確認済み、故障個所あり。
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
ﾌﾟﾘｽﾞﾑとﾚｰｻﾞｰで試料の屈折率や損失を測定
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
メーカー
RS12-1030
蛍光温度計
FT1410GA
Takaoka
2016年7月20日現在　製造番号
TA01140075/TA0114
0076
製造年
2001
備考
NE-5500付属品。ｹｰﾌﾞﾙ無し。測定部分無し。
<洗浄装置>
中古品番号
品名
型式
RS14-3051
流水洗浄装置
YW-00S-RH
メーカー
製造番号
製造年
サクラ精機
09020988
2009
ﾏｶﾞｼﾞﾝ内の部品等の純水流水洗浄を行う装置。年式も新しく、使用頻度も少なく
程度良し冶具用網ｶｺﾞにて洗浄。仕様書・取説あり、図面あり
RS14-3050
手動3槽式ｼｬﾜｰ洗浄装置
WBTA03-W12
RS14-4069
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
RS14-2270
RS14-8035
三社電機製作所
4H30004
2008
12ｲﾝﾁｳｪﾊのﾌﾗｯｸｽ除去を目的とした洗浄装置。年式も新しく、使用頻度も少なく
程度良し薬液洗浄、ﾘﾝｽ乾燥付12ｲﾝﾁ。仕様書・取説あり、図面あり
SRD-470S
SEMITOOL
C175815
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
SPD-160RN
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
-
RS14-8036
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
PSC-101
PSC-101
SEMITOOL
SEMITOOL
10401,2
10401,1
RS14-2273
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
H-840SA　（ﾊﾞｯﾁ式）
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
-
RS14-4132
RS12-1392
RS12-1317
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
ｳｪﾊ洗浄装置
H1120RNN
EVG301
ﾐｸﾛ技研
EVG
K0371
S050012
ﾃﾞｨｯﾌﾟ式自動洗浄装置
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔ
ｽｸﾗﾊﾞｰ
ETN-1100-110
SPD-160RN
SS-W80A-AV
ETS
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
DNS
H9903-0437
9806090
-
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
製造年
備考
RS12-1310
RS14-4177
備考
1ドラムタイプのスピンリンスドライヤー
2000年以前製。　基板ｻｲｽﾞ：直径50～150ｍｍｘ1　回転数：槽内洗浄0～1500
ｒｐｍ　ﾄﾞﾗｲ0～3500ｒｐｍ　（直径150ｍｍ以上は、3000ｒｐｍ以下）　ﾀｲﾏｰ：槽内
洗浄0～999秒　1速　可変0～999秒　2速　可変0～999秒　仕様書・取説・図
面あり。
MODEL　No.：24-S-1-1　ML-WP
MODEL　No.：24-S-1-1　ML-WP
2000年以前製。　ｸﾚｰﾄﾞﾙ定位置停止・回転　基板ｻｲｽﾞ：直径150ｍｍｘ4　直
径200ｍｍｘ2　回転数：1速300ｒｐｍ　2速600ｒｐｍ　MAX800ｒｐｍ　ﾀｲﾏｰ：1
速　可変0～999秒　2速　可変　0～999秒　仕様書・取説・図面あり。
12インチ対応スピンドライヤー
2005
2槽式(ﾌｯ素・水）
R.P.M3500、200V、4A、50.60Hz
成膜、露光前等のウエハ洗浄装置8インチ対応可能
<めっき装置>
中古品番号
品名
<顕微鏡>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-8050
実体顕微鏡
汎用
ﾐﾂﾄﾖ
-
RS14-8049
金属顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
汎用
汎用
SZ-STS
SMZ800
NIKON
OLYMPUS
OLYMPUS
NIKON
SZ1145
1007632
金属顕微鏡
OPTIPHOT　150S
NIKON
9102568
RS14-4195
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24037
RS14-4196
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4E13791
RS14-8045
RS14-8048
金属顕微鏡
L-200
NIKON
610329
金属顕微鏡
汎用顕微鏡
ｳｴﾊｰﾛｰﾀﾞｰ
BH2-UMA
AVT-45SC
AL110-L86
OLYMPUS
明立精機
OLYMPUS
542261
A008010
メーカー
DISCO
SHUWA
製造番号
KB1256
-
SHUWA
岡本工作機械
SHUWA
7039
-
1999
ｼﾁｽﾞﾝ精密
-
2005
ﾜｰｸﾃｰﾌﾞﾙ：　480ｍｍ　ｶｯﾀｰﾕﾆｯﾄ：ｽﾗｲﾄﾞｽﾄﾛｰｸ　480mm、　送り速度　43～
540mm/seｃ　動力関係：ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰ　仕様書・取説・図面あり。
マスク枠650mm×550mm、印刷位置合せ繰返し精度(±0.003mm以下でCSPバ
ンプΦ 0.05mmに対応します。
仕様書あり。
RS14-8051
RS14-4080
RS14-4081
RS14-8047
RS12-1341
RS14-4169
実体顕微鏡
実体顕微鏡　8インチ生産、引取前動作確認済み2014/12
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。12イ
ンチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8イ
ンチ全面観察可能
汎用顕微鏡
8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定機能付き
<後工程・実装装置>
中古品番号
RS15-3031
RS14-8038
品名
自動ﾀﾞｲｼﾝｸﾞ装置
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
型式
DAD3350
SW-07
製造年
2004
RS14-8039
RS12-1376
RS14-8037
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
CMP
ﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞﾏｼﾝ
SW-07
SPP600S
SGM-6301
RS14-2279
ｶﾞﾗｽｽｸﾗｲﾊﾞｰ
SC-451CP　（ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-4136
印刷機
MK-838SV
MINAMI
-
RS14-3039
印刷機
LS-34TVA
063-1612
2008
RS13-3134
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0067
2006
RS13-3135
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0078
2006
RS13-3136
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0082
2006
RS14-3038
ﾎﾞﾝﾀﾞ
FA1000
NEW　LONG
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ADWELDS
-
2009
RS14-4192
ﾃｰﾌﾟ貼り機
DAM-812M
ﾀｶﾄﾘ
78144
2003
RS14-8028
ALｳｪｯｼﾞﾎﾞﾝﾀﾞｰ
-
ﾏﾆｭｱﾙﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
不明
-
RS14-8029
ITOｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
4523-AD
特型（半導体ﾊﾟﾗﾒｰﾀｱﾅﾗｲｻﾞｰ
4155C付）
-
Kulicke&soffa
RS14-4140
-
-
備考
仕様書、取説、図面なし。
仕様書あり。
ダイシングダイボンディングフィルム一体型の8-12インチ対応のセミオート装置
IV、CV、C-f、C-tなどの測定など半導体パラメトリックテストが可能。
<ＵＶ装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1108
UVｷｭｱ装置
UMA-802-HC553
ｳｼｵ電機
0605001
2006
RS14-3026
UVｷｭｱ
ｳｼｵ電機
9701006
1998
RS12-1379
RS14-8030
UVｼｮｳｼｬｷ
ｵｿﾞﾝUV照射装置
SAMCO
SAMCO
24A1643
22A1336
2003
UMA-1002-HC93SMV（Casette to
Casｓette）
UV-1F
UV-300
7　備考
年式新しく、使用頻度も少ない良品。C　to　C仕様。仕様書あり、取説・図面な
し。
CtoC装置8インチSMIF仕様
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<ディスペンサー装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS11-2027
ﾃﾞｨｽﾍﾟﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
MS-1
武蔵ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
1M010002412
2010
メーカー
製造番号
製造年
メーカー
製造番号
製造年
備考
15時間程度使用後、保管状態
<イオンミリング装置>
中古品番号
品名
型式
備考
<その他真空装置>
中古品番号
品名
型式
RS15-2119
真空凍結乾燥機
RLE-204（ﾊﾞｯﾁ式）
RS15-1234
凍結乾燥装置
DFM-09A-S特
RS15-2080
真空接合装置
-
RS13-1010
分子線ｴﾋﾟｷﾀｼｰ装置
-
RS11-3222
凍結乾燥装置
DF-05H
RS13-2201
凍結真空乾燥装置
DFM-09A-S
RS12-1389
凍結乾燥装置
JFD-310
RS09-1586
ELECT ASSY LIFT MOTOR
備考
真空系（Vacuum　System）　･･･Rotary　Pump（ULVAC　PVD-360A　S/N
A28A-01276）
真空計（Vacuum　Guage）　･･･Edwords　Thermocouple　/　真空制御（Vacuum
Controller）　･･･CHINO（MODEL　KP）
共晶点計（Eutectic　point　meter）　・・・KYOWA（M297-1A）　/　記録計
（Recorder）　･･･YOKOGAWA
棚温度制御器（Shelf　Temparature　Controller）　・・・KYOWA
冷凍機（Refrigerator）　・・・SANYO　C-L　28M3V　半密閉水冷式3kw　（R22）
加熱方式（Heating　System）　・・・ﾋｰﾀｰ加熱
履歴（Trace）　・・・酵母（Yeast）
仕様書・図面・取説なし。
共和真空技術㈱
85105
1985
ULVAC
MF02-1010
2002
動作確認済、欠品及び故障が無い状態を確認済。
仕様書・取説・図面あり。
ｱﾕﾐ工業㈱
-
2012
基板：φ 100㎜～150㎜
排気系：EBARA　VOS100
搬送：手動　直線導入
仕様書・取説あり、図面なし。
Eico
-
2009
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置
ULVAC
ZF93-5301
1994
棚面積：０．４９ｍ2、予備凍結温度：－３５～－４０℃、　乾燥時加熱温度：常温～
８０℃（打点記録計は故障中）
ULVAC
MF99-5104
2000
【円筒形棚段式前面扉開閉式】棚面積：０．９m2　棚冷却到達温度：約－４５℃以
下　棚温度調節可能範囲：＋６０℃～ー３０℃
日本電子ﾃﾞｰﾀﾑ
JK121026-129
2002
生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製装置
AMAT
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2059
簡易ｴｱｰｼｬﾜｰ
標準型ｴｱｰｼｬﾜｰ
AIRTECH
-
2001
RS15-2053
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
PCV-1302BN
日立
G12952111
1982
RS15-2052
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1500E/FVT-1200E
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟﾗｲ
307316/307317
1983
RS15-2060
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1200E
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟﾗｲ
-
1998
RS15-2058
ﾄﾞﾗﾌﾄﾁｬﾝﾊﾞｰ
DF-11AK
ﾀﾞﾙﾄﾝ
DF980382
2005
RS12-1357
RS12-1363
RS14-8041
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
無し
無し
DC-1802BEW-Ⅱ
IUCHI
IUCHI
ﾀﾞﾝﾀｸﾏ
RS12-1350
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1351
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1354
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS14-4095
ﾄﾞﾗﾌﾄ
-
ﾀﾞﾙﾄﾝ
-
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗｽ100対応、　HEPA
要交換
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗｽ100対応、　HEPA
要交換
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗｽ100対応、　HEPA
要交換
美品
RS14-4137
RS12-1361
RS12-1362
RS12-1364
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
-
ｱｽｸﾙ
IUCHI
IUCHI
-
程度良
RS12-1368
RS12-1375
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ﾃﾞｼｹｰﾀｰ
ﾚｼﾞｽﾄ保管用冷蔵庫
外寸；1300W*800*2375H　,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA　1枚　,扉；樹脂ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ　,その他；ｱ
ｼﾞｬｽﾀ無　・　若干の汚れ在り
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800）
-
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
IUCHI
U/N
備考
外寸；1300W*800*2375H　,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA　1枚　扉；ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ　,
その他；若干の汚れ在り
外寸；1300W*800*1875H　、ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP　1枚、扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃﾝ、その他；ｱｼﾞｬ
ｽﾀ付・若干の汚れ在り
外寸；1300W*800*1875H,　ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP　1枚　,扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃﾝ　,その他；ｱｼﾞｬｽ
ﾀ付・若干の汚れ在り
SANYO
<その他>
中古品番号
品名
型式
RS14-4194
手動式ﾘﾌﾀｰ
PL-H500-15
RS12-1029
RS09-1467
ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
メーカー
製造番号
OKUDAYA　GIKEN
152183
製造年
備考
-
ULVAC
2004AA003634-101
2001
NE-5500付属　2ｲﾝﾁ用ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
RS15-1109
ｼｽﾃﾑIFﾎﾞｯｸｽ
ｲｰｼﾞｰﾘﾌﾄ
VM140
ULVAC
ｱﾑﾝｾﾞﾝ
-
2009
取説あり。
RS13-1021
ﾌﾟﾛｾｽﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀ
C-7460
浜松ﾌｫﾄﾆｸｽ
010069
RS12-1088
ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ
-
TOPCON
-
RS09-1593
火災受信装置
LED Chip Sorter
-
ﾆｯﾀﾝ株式会社
ASM
CPC-2
76-79-2237
RS14-2288
NS-5024
NS-5025
NS-5026
NS-5027
NS-5028
フランジ
フランジ
フランジ
フランジ
NS-5029
NS-5030
NS-5031
NS-5032
NS-5033
NS-5034
NS-5037
NS-5038
フランジ
ガスケット
配管部品
配管部品
配管部品
配管部品
電流導入端子
電流導入端子
0 アルフォイルロール
UFC306-000FT
UFC253-000RH
UFC306-000RH
UFC306-250RH
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
UFC253/114
UFE070GS 10枚/組
IFE114-065
IFT152-100
IFX114-065
IFB203-150
CMS5D80-1P
CMS2D09-1PF
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
8　UJにて実験機に取付て使用（良品）　※ﾊﾟｿｺﾝ及び動作ｿﾌﾄは
別途購入が必要です。
ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ（内訳）　・発振器　型式：DLG3110　1個　・電源　型式：
GLS3140　1個　・ファン1個、ダクト1個
ﾌﾞﾗｹｯﾄ付
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
【お客様用】中古品在庫リスト　品名
型式
メーカー
NS-5039
電流導入端子
CMS10D80-1PF
ULVAC
NS-3020
除振台
MINI-560
ULVAC
2016年7月20日現在　製造番号
製造年
備考
製造年
備考
<油回転真空ポンプ>
☆
中古品番号
RS15-1261
RS15-1237
RS15-1238
RS15-1236
RS15-1235
RS15-1239
RS15-1240
RS15-1244
RS15-1243
RS15-2093
RS12-8061
RS15-1079
品名
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転式真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
PVD-360
VS2401
VS2401
VS2401
VS2401
VS2401
VS2401
VS2401
VS2401
D-950D
2063
2033SD
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ANELVA
ｱﾙｶﾃﾙ
製造番号
NB028B-00054
A36A-03585
A36A-03584
A36A-03581
A36A-03588
A36A-03592
A36A-03593
A36A-03587
A36A-03583
1-04496
187685
RS14-1104
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
PKS-016
ULVAC
2-04634
RS10-8092
RS10-8093
RS14-8023
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
GLD-100
GLD-100
ULVAC
ULVAC
72971
72975
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
EC602
ULVAC
2-00426
RS14-1144
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
2021SD
ALCATEL
AM633075
RS14-1143
RS13-8097
NS-5000
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ｵｲﾙﾁｪﾝｼﾞｬｰ
油回転真空ポンプ
2015SD
SA-30
D-240DK 200V
ALCATEL
ULVAC
ULVAC
619757
-
☆
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
2011年6月に稼働停止。TM-4付。
要O/H、特ガス吸引無。
使用履歴：真空熱処理炉に使用　ﾓｰﾀｰ200V（50/60Hz共用）　ﾓｰﾀｰﾌﾟｰﾘｰ50Hz
用　本体のみ　付属品：TM-2あり
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、未使用品
取説あり
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、未使用品
<油回転真空ポンプ部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS11-1259
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
TM-2
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
2009
PKS-016用　ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ　ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要　【全2台】
RS09-1573
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
TMX-2
ULVAC
RS12-1064
RS12-1065
RS12-1066
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
ULVAC
ULVAC
2071507
2070438
状態良好
RS12-1067
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
ULVAC
ULVAC
2002
2002
2002
2002
単相、100V、200W、4P、分相始動
RS09-1592
ON BOARD POWERｹｰﾌﾞﾙ
NS-5009
NS-5010
NS-5011
2070483
2070935
8112463G050 95E09
CTI-CRYOGENIC
PC
ULVAC
ULVAC
オイルミストトラップ
オイルミストトラップ
TMX-40
TMX-60
オイルミストトラップ
TMX-80
ULVAC
備考
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
約1ｍ
<油拡散ポンプ>
☆
中古品番号
RS15-1262
品名
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
PMB-001CM
メーカー
ULVAC
製造番号
A11A-00054
製造年
RS12-1247
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01500
2000
RS12-1251
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01502
2000
RS14-2255
RS13-2004
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
DPF-14Z
CDP-3700
DIAVAC
ANELVA
940769
1539
RS14-2073
6in 水冷ﾊﾞｯﾌﾙ
備考
☆
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、1200W、動作未確
認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、　200V、1200W、動作未確
認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、　（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
200V　3φ 4500W。　500L/sec　ｵｲﾙ1600ｃｃ　水量7/min　要O/H。
スパッタ装置SPC-530Hに使用（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）
※新品未使用品
ULVAC
<メカニカルブースターポンプ>
中古品番号
RS15-2109
RS15-2110
RS15-2113
RS15-2111
RS15-2112
RS15-2108
RS15-8006
品名
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PMB-003CM
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
A069B-00618
A069B-00645
A069B-00648
A069B-00646
A069B-00647
A069B-00617
1-00130
RS14-1142
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-006C
ULVAC
A14A-01218
RS13-8130
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-001CM
ULVAC
A11A-03318
RS12-1223
RS14-3080
RS15-2073
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
メカニカルブースタポンプ
EH500
SMB-C06
PMB-003CM
PRC-006A without Inv.
EDWARDS
神港精機
ULVAC
ULVAC
006700640
280855
A13A-01967
NS-1317
NS-5006
NS-5008
メカニカルブースタポンプ
PMB-003C 200V
ULVAC
メカニカルブースタポンプ
PMB-003CM 200V
ULVAC
製造年
2015
2015
2015
2015
2015
2015
1984
備考
未使用品、AC200V、ｲﾝﾊﾞｰﾀｰ付、R-4ｵｲﾙ仕様
未使用品、AC200V、ｲﾝﾊﾞｰﾀｰ付、R-4ｵｲﾙ仕様
未使用品、AC200V、ｲﾝﾊﾞｰﾀｰ付、R-4ｵｲﾙ仕様
未使用品、AC200V、ｲﾝﾊﾞｰﾀｰ付、R-4ｵｲﾙ仕様
未使用品、AC200V、ｲﾝﾊﾞｰﾀｰ付、R-4ｵｲﾙ仕様
未使用品、AC200V、ｲﾝﾊﾞｰﾀｰ付、R-4ｵｲﾙ仕様
本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要
無害化洗浄
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,
ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
温度計要交換
状態良好。新品未使用
2003
<クライオポンプ　ULVAC製>
中古品番号
RS15-1151
RS15-1155
RS15-1152
RS15-1153
RS15-1157
RS15-1156
RS15-1150
RS15-2091
品名
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
CRYO-T6E
CRYO-T8SN
CRYO-T6E
CRYO-T8SN
CRYO-T8SN
CRYO-T8SN
C30ZR
U-16
RS14-2083
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
メーカー
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
製造番号
0011128
0011686
0011129
0011689
0011687
0011688
CS1144
-
製造年
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
ULVAC
1202267
2012
9　備考
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ＋ﾌﾚｷﾎｰｽ
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌﾟ
冷凍機：RM10　（S/N:RMQB957H）
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-1016
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
9401413D
2000
RS14-1017
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
94062980
2000
RS09-1023
RS11-2546
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ
U-6H
U-6H
ULVAC
ULVAC
9508243
RS14-2159
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U20HL
ULVAC
1203586
2012
RS14-2080
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1202922
2012
RS14-2160
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1203930
2012
RS08-2698
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-12HSP
ULVAC
9601334
RS13-3036
RS13-3040
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12H-SP
U12H-SP
ULVAC
ULVAC
0609015
0809025
RS13-3046
RS05-2009
RS07-2727
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ（2台）
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12H-SP
U-12HL
U-10PUS
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0609031
9205822/9302893
9310064
RS13-8100
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U10PUS
ULVAC
0101221
RS11-8109
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
T8SN
ULVAC CRYO
0103767
RS11-8133
RS11-8035
RS14-2203
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器
U8SN
STC-1（INV)
ULVAC　CRYO
ULVAC
0005540
S-0823A
1999
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ
RM20
RM10
MBD
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RMSB671
RMQD318H
00121836N
2012
★未開封・未使用品★
RS14-2205
RS13-8104
2012
★未開封・未使用品★
RS11-2238
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ　（SUPER TRAP)
CRYO-T8C
ULVAC
9912441
RS11-2239
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ (SUPER TRAP)
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CRYO-T8C
C30ZR
C30ZR
ULVAC
ULVAC
ULVAC
9912442
CS1235
CS1199
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
C30ZR
C10
U6H
U6H
U8H
U6H
ULVAC
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC
ULVAC
CS1290
CW3052
9511261D
9511262D
0304491D
RS12-1174
RS12-1175
RS12-1176
RS14-1275
RS15-1005
RS15-1006
RS15-1072
RS15-1073
備考
本体のみ　水素蒸気圧温度計付
冷凍機：R10（RC　G035　LGA）　吸気口：UVG-200
本体のみ　水素蒸気圧温度計付
冷凍機：R10（MB　B395　LG）　吸気口：UVG-200
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
U-6H用バンドヒータ　【2式】
本体のみ　吸気口：VG　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷凍機：RM80T
(S/N:RMUB336　3PT)
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｶﾞﾙﾀｲﾌﾟ　冷凍機：RM20　（S/N:RMSB436）
本体のみ　吸気口：VG　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷凍機：RM20
(S/N:RMSB446）
排気速度：4100L/S、吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ、低振動ﾓｰﾀｰ、ｱﾅﾛｸﾞ水素蒸気
圧計　付属品：ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ無し（ﾎﾟﾝﾌﾟ単体）
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　温度計：H2VP
排気速度：2300L/S　付属品：再生用ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式：RBH-10)　温度計：
MBS-2　冷凍機：R15（RG　B166　LG）　吸気口：VG250
型式：CRYO-T8SN、冷凍機型式：RS-10、冷凍機製造番号：RF　B609　LG、LG:
LG(低振動）ﾓｰﾀｰ、ﾛｯｶｰｱｰﾑ分離型（可変型、初期型）
温度表示ふらつきあり　要修理
付属品S/N:RFB220LG　本体のみ
冷凍機：RS10（RF　B220　LG）　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
本体のみ　冷凍機：RS10（RF　B222　LG)　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
本体のみ（付属品無し）
本体のみ（付属品無し）
本体のみ（付属品無し）
危険物吸引なし。
本体のみ　吸気フランジVG　水素蒸気圧温度計
本体のみ　吸気フランジVG　水素蒸気圧温度計
要O/H、特ガス吸引無。
要O/H、特ガス吸引無。
<クライオポンプ　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-8002
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
9600
CTI
94B9806485
He残圧低下により要修理
RS14-8005
RS14-8006
RS14-8007
RS14-3067
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
9600
9600
9600
CTI
CTI
CTI
94D0010828
94D0010858
94D0010856
He残圧低下により要修理
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
C200G
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｱｲｼﾝ
CTI
05431101
106C0001401
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI
CTI
106H9901183
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI
CTI
CTI
106C9901108
ｋ042581
106E0202064
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ONBOAD　WATER　PUMP
CTI
HELIX
C0302250
S/N：MK9709651
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ONBOAD10Ｆ
HELIX
S/NQK9709711
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
P064016
P064017
P064013A
P064012A
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
SA12SJ-01SーE
SLP-22CD
Torr　8F
鈴木商会
ｱﾈｽﾄ岩田
HELIX
P072023
ED0033
S/N:70H9638328
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
Torr8F
Torr8F
HELIX
HELIX
S/N70Ｃ9529467
S/N70C9530128
SA12SJ-01SーE
C200G
SA12SJ-01SーE
C200G
SA16SJ-01S
C200G
SA16SJ-01S
C200G
SA16SJ-01S
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
P064018
06432311
P064014
06432216
P064008
06432309
P064009
06432301
P064011
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3068：ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ）。　状態良好。
RS14-3066
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-3072
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C200G
ｱｲｼﾝ
06432179
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3066：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ）状態良好。仕様書・取説・図面なし。
RS14-1169
ﾈｵｺﾞｰﾙﾄﾞ
RCT-501S
新明和
DL050507
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar　冷媒：HCFC系混合冷媒　3組　200V　50/60Hz　3.75KW
RS15-1080
CPﾌﾚｷﾎｰｽ
-
ULVAC
RS09-1595
Heﾌﾚｷﾎｰｽ
-
CTI-CRYOGENIC
8081271　058/96R
P01　260PSI
RS14-8013
RS14-8014
RS14-8015
RS14-8016
RS14-8017
RS14-8018
RS14-8019
RS11-2237
RS11-2236
RS14-3059
RS14-3060
RS14-3061
RS14-3062
RS14-3063
RS12-1407
RS11-2230
RS11-2231
RS11-2232
RS14-3057
RS14-3068
RS14-3058
RS14-3069
RS14-3064
RS14-3070
RS14-3065
RS14-3071
製造年
備考
He残圧低下により要修理
He残圧低下により要修理
状態良好。He残圧0の為、要修理。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
UFC-253
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3057：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ）。状態良好。仕様書・取説・図面なし。
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3069：ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ）。仕様書・取説・図面なし。
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3069：ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ）。状態良好。仕様書・取説・図面なし。
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3070：ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ）状態良好。仕様書・取説・図面なし。
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3064：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ）状態良好。仕様書・取説・図面なし。
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3071：ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ）状態良好。仕様書・取説・図面なし。
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3065：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ）状態良好。仕様書・取説・図面なし。
※ｾｯﾄ販売品（RS14-3072：ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ）状態良好。仕様書・取説・図面なし。
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>
☆
中古品番号
RS12-8102
RS15-1202
RS15-2100
品名
架台・排気ﾁｬﾝﾊﾞｰ本体
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
UTM-50/T9B
UTM50
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
10　製造番号
MV99-1003
005P2189
005P848
製造年
1999
備考
吸引物：CF4 C3F8　H2　O2 N2
CONT・ｹｰﾌﾞﾙ付
☆
1990
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-2015
ﾀｰﾎﾞﾎﾟﾝﾌﾟﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
FTI-3303W-D3-0307
ULVAC
-
製造年
備考
RS11-2535
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌ+ﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UTM1200FW
ULVAC
RS13-2142
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0449
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
RS13-2145
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0455
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
RS13-2147
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0447
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
RS13-2148
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0448
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
RS13-2025
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0219
RS13-2026
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0220
RS13-2027
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0221
RS13-2028
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0207
RS13-2021
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0148
RS13-2179
RS04-8049
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP
UTM-500FW
UTM-300
ULVAC
ULVAC
050F016
030P460
RS15-2043
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
ULVAC
FZL339
NS-3012
RS12-8106
ターボ分子ポンプ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ターボ分子ポンプ UTM-6300FHA
UTM2300FW
ULVAC
ULVAC
2300F0206
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ用ｹｰﾌﾞﾙ
動作未確認軸ｵｲﾙは入っていない　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰｹｰﾌﾞﾙ付きﾌﾙｾｯﾄ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
本体のみ、水冷式、吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ）　排気口：NW40
2003
本体・コントローラー（EI-303M　S/N　JZR112）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥ
ＬＤＡ（L室）にて使用の為、無害。
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外>
中古品番号
RS15-1198
RS15-1200
RS15-1220
RS15-1221
RS15-1219
RS15-1222
RS15-1141
RS15-1140
RS15-1147
RS15-1146
RS15-1145
RS15-1144
RS15-1143
RS15-1142
RS15-1148
RS14-1283
品名
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
型式
TMP-3003LM
TMP-803LM
TMP-1303LM
TMP-1303LM
TMP-1303LM
TMP-1303LM
TMP-403LM+EI-303M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-1003LM+EI-1003M
EI-D203M
EI-D1303M
EI-D1303MT(LFU1)
メーカー
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
製造番号
CZP022
TZM057
PZA407
PZA408
PZA405
PZA404
FZL297
FZL295
FZM494
FZM492
FZM498
FZL282
FZL279
FZM493
MKA036
製造年
RKD109
本体のみ、付属品無し
RS14-2017
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
島津製作所
島津製作所
RKD110
RKD112
2009
2009
2009
本体のみ、付属品無し
RS11-1202
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
STP-300
EDWARDS
1084A
1997
空冷式ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ　STP-300（SCU-300）、　TMP⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗ
間ｹｰﾌﾞﾙ（8m)、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）AC　POWERｹｰﾌﾞﾙ欠品
RS14-8043
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG-1003VM-70
大阪真空
658
RS13-2181
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG1810VM
大阪真空
G1810-1292
RS14-2161
RS08-8008
RS10-8002
RS13-1011
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG2400MVWB
TMP-1003
TMP-1003LM
TMP-1003LM
大阪真空
島津製作所
島津製作所
島津製作所
639
CZM045
DZM031
NZM230
2012
本体のみ、水冷式、吸気口：VG250　排気口：NW40、
ｵｲﾙ付き、取扱説明書無し
本体のみ　吸気口：VG　水冷式
RS09-1474
RS08-8011
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-202LM
TMP-403LM
島津製作所
島津製作所
9006
FZL182
1995
RS15-2030
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803LM
島津製作所
WZMO149
2003
RS15-2032
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
島津製作所
FZL357
2003
RS15-2031
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803LM
島津製作所
FZM636
2003
RS15-2029
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803LM
島津製作所
FZL474
2003
RS15-2034
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
島津製作所
FZL341
2003
RS15-2033
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
島津製作所
FZL347
2003
RS14-1176
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-403LM
島津製作所
NZL-466
RS14-1010
RS11-2253
RS11-2254
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803MC
TPU1501PC
TPU1501PC
島津製作所
PFEIFFER
PFEIFFER
LZM-167
13882198
14072840
RS13-2180
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TS440VW
大阪真空
S440-485
RS09-1583
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TURBOVAC361C
ﾗｲﾎﾞﾙﾄ
2-900097589
製造番号
09ZUN29046
DFB02533
A93A-00866
A93A-00242
A93A-00300
A93A-00867
00J0321
01C0605
00K5878
RS10-2660
RS14-2015
RS14-2016
備考
CONT　EI-3003M　ｹｰﾌﾞﾙ無
CONT　EI-R04M　ｹｰﾌﾞﾙ無
EI-D1303M、ｹｰﾌﾞﾙ（2m）
EI-D1303M、ｹｰﾌﾞﾙ（2m）
EI-D1303M、ｹｰﾌﾞﾙ（2m）
EI-D1303M、ｹｰﾌﾞﾙ（2m）
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ本体のみ。
【2台】
本体のみ、付属品無し
本体のみ
2009
2006
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG100
本体・コントローラー　（EI-1003M　S/N　FZS459）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-303M　S/N　FZR338）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-R04M　S/N　WRA0663）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置
ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-1003M　S/N　FZS613）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー（EI-303M　S/N　FZR331）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥ
ＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-303M　S/N　FZR337）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　停止前状況：予備として保管　吸引ｶﾞｽ：Ar
吸気口：VG150　水冷　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　EI-D303M　（LFU1）（S/N:NKB339)、
ｹｰﾌﾞﾙ付属なし。
本体のみ
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
水冷式吸気口：VG150　排気口：NW25　取扱説明書無し　TMPコントローラ：TC400付き　電源ｹｰﾌﾞﾙ切断（1ｍ）、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断（3ｍ)　、ﾎﾟﾝﾌﾟ⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ間ｹｰﾌﾞ
ﾙ(4m)　CVD装置の予備ポンプ
<ドライポンプ>
中古品番号
RS15-1203
RS15-1218
RS15-1137
RS15-1138
RS15-1139
RS15-1136
RS14-1007
RS14-1008
RS12-1329
品名
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
SDE303A
ESR20N
PDR-090CLN
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CLN
SDE90U-20
SDE90U-024
SD60VⅡU-189-50
メーカー
樫山
EBARA
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
樫山
樫山
樫山
RS12-1326
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU-079-50
樫山
11　製造年
備考
本体のみ
本体のみ
2004
2004
2004
2004
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体のみ
本体のみ
排気速度：1000L/m　吸気口：VG40　排気口：NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
MFG　No.96G3412
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
RS12-1328
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU079-50
RS12-1327
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡ
RS14-1138
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
PDR-090CLN
RS14-2213
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-8024
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-8025
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
MU300-002
樫山
04J0221
RS13-8131
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR60
ULVAC
A00A-00237
RS14-2208
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00035
2012
RS14-2176
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00016
2012
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,
ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
★未開封・未使用品★（2013/11/26新品購入後、保管）　LR421-T+PRC-036
付属品：ｻｲﾚﾝｻRS-03・排気配管付　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V
50/60Hz
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
RS14-2177
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00019
2012
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
RS14-2178
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00020
2012
RS14-2179
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00017
2012
RS14-2180
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00014
2012
RS14-2181
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00013
2012
RS14-2182
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00018
2012
RS14-2183
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00015
2012
RS13-2132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10237
RS13-2133
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10013
RS13-2134
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10233
RS13-2135
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10296
RS13-2136
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10236
RS14-2077
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00007
2012
RS14-2163
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00016
2012
RS14-2175
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00013
2012
RS13-2172
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-03232
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速
度：28000L/m　吸気口：VG150、付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
RS13-2173
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-01233
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速
度：28000L/m　吸気口：VG150　付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
RS13-2033
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-2
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2034
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-1
RS13-2037
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-4
RS13-2038
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
A1034-10409
RS13-2039
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-4
RS13-2040
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-2
RS13-2041
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-1
RS13-2042
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-1
RS13-2043
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-2
RS13-2044
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-2
RS13-2045
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-1
RS13-2046
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-1
RS13-2047
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-3
RS13-2048
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-3
RS13-2049
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00032
RS13-2052
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00034
RS13-2054
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00100
RS13-2055
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00021
RS13-2056
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00020
RS13-2125
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00025
RS13-2126
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00362
RS13-2127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00022
RS13-2128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00031
RS13-2129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00023
RS13-2287
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
IQDP80
EDWARDS
972127973
RS14-2059
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
076238382
2004
RS14-2060
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
056269793
2004
メーカー
製造番号
製造年
樫山
00K5811
ULVAC
A93A-00545
MU300-102
樫山
13ZDN71515
MU300-005
樫山
06D0543
12　備考
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
MFG　No.96G3415
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
樫山
2012
本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要
無害化洗浄
★未開封・未使用品★（2013/12/17新品購入後、保管）　3φ 200V　排気速度：
5000L/ｍ　取説あり
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
SMD-1200CX使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付
属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　手動ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（FUJI　SEIKI
MOD:1061100）、ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀあり）仕様書・取説・図面なし。
真空搬送装置使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付
属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）仕様書・取
説・図面なし。
真空ﾍﾞｰｸ装置使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付
属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）。仕様書・取説・図面なし。
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度　3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
O/H済み品
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ
資料なし
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ
資料なし
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-2061
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
027436149
2004
RS14-2062
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
037830833
2004
RS14-2168
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
ULVAC
A111B-00005
2012
RS14-2169
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
ULVAC
A111B-00003
2012
RS14-2055
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3232
2012
RS14-2056
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3231
2012
RS14-2057
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F015
2000
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ
資料なし
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100排気口：NW40　消費電力：3.2ｋｖA　重量：415ｋG　資
料なし
HR90+PRC-006　吸気口：VG80　排気口：NW40　AC200V　50/60Hz　付属品：ｻ
ｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
HR90+PRC-006　吸気口：VG80　排気口：NW40　AC200V　50/60Hz　付属品：ｻ
ｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：なし　本体のみ　排気速度：
900L/min　ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口NW80　排気口：NW40　消費電力：3.0kvA　重量：
77ｋｇ　資料なし
製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：冷却水ﾊﾟｲﾌﾟ　IN/OUTともに
変形　本体のみ　排気速度：900L/min　ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口：NW80　排気口：
NW40　消費電力：3.0kvA　重量：77ｋｇ　資料なし
製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速度：6300L/min　吸気
口：NW80　排気口：NW40　消費電力：5.8kvA　重量：195ｋｇ　資料なし
RS14-2058
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F016
2000
製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速度：6300L/min　吸気
口：NW80　排気口：NW40　消費電力：5.8kvA　重量：195ｋｇ　資料なし
RS14-8026
RS14-2303
RS08-8029
RS08-8030
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
G-200
ER-80
A30W
A30W
Gardner Denver
ULVAC
EBARA
EBARA
BN10027658
A95A-00198
C60132
C61435
2005
NE-550に使用、予備品（整備済み）
RS12-1127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C40290
2000
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
RIE装置に使用　使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C70771
2000
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
RIE装置に使用　使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C80285
2000
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
RIE装置に使用使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS14-8044
RS14-3073
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
A10S-S
ESA300W
EBARA
EBARA
A#50485S
DHA00242
RS14-3075
RS14-3076
RS14-3078
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ESA300W
ESA300W
EBARA
EBARA
DHA00241
DHA00240
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ESA25-D-A
RDR-090CL
PDR-090CLN
EBARA
ULVAC
ULVAC
DHB00305
A93A-00044
A93A-0073
ドライ真空ポンプ
LR60
ULVAC
ドライ真空ポンプ
LR90
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR90
HR90
ER150
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ER150
LR300
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR600
LR600
LR1200
LR1200
LR1800
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR1800
LR1800
LR1800
LR1800
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR1800
LR3600
LR3600
PDR-060CL
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
PDR-060CL
PDR-060CH
LR90
PDR-090CL
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
PDR-090CL
PDR-090CL
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
PDR-090CH
PDR-090CH
PDR-090CH
PDR-180C
PDR-180C
DYM-12MCH-09CU
DYM-12RAH-18UR-CMD
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
DYM-12RAH-18CU
DYM-12RAH-18CU
ULVAC
ULVAC
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
AA10N
AAL10
EBARA
EBARA
BSA0894D
BL90003
RS13-8143
RS15-2071
NS-1021
NS-1442
NS-1064
NS-1466
NS-1386
NS-1532
NS-1698
NS-3018
NS-1485
NS-1732
NS-2082
NS-2080
NS-2726
NS-3004
NS-3005
NS-1739
NS-1786
NS-1724
NS-2241
NS-1350
NS-1335
NS-1355
NS-1390
NS-1337
NS-1353
NS-1361
NS-1333
NS-1369
NS-1257
NS-1338
NS-2705
NS-1541
NS-2047
NS-2359
NS-1145
RS12-8093
RS12-8094
備考
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。O/H済
2003
<イオンポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-1009
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
PST-030CU
ULVAC
13-0021
RS15-1010
RS15-1011
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
PST-030CU
PST-030CU
ULVAC
ULVAC
13-0036
13-0034
RS15-1012
RS15-1013
RS15-1015
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
PST-030CU
PST-030CU
GST-1A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
13-0020
13-0022
5425104
製造年
備考
<排気セット>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS14-1253
排気セット
YM-SEMI-300C(特)
ULVAC
BK97-2366
1997
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）⇒GaAs基板ｱﾆｰﾙにて使用（無害化
不要）
13　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS14-1250
排気セット
YM-SEMI-300C(特)
ULVAC
AK00-3273
2000
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）⇒GaAs基板ｱﾆｰﾙにて使用（無害化
不要）
RS14-1252
排気セット
YM-SEMI-300C(特)
ULVAC
AK99-2032
1999
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）⇒GaAs基板ｱﾆｰﾙにて使用（無害化
不要）
RS14-1245
排気セット
YM-SEMI-600C(特)
ULVAC
BK98-2316-2
1998
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）⇒GaAs基板ｱﾆｰﾙにて使用（無害化
不要）
RS14-1247
排気セット
YM-SEMI-600C(特)
ULVAC
AK99-2859
1999
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）⇒GaAs基板ｱﾆｰﾙにて使用（無害化
不要）
RS14-1248
排気セット
YM-SEMI-600C(特)
ULVAC
AK99-3256
1999
RS09-2124
排気ｾｯﾄ
DP40-+EH250
EDWARDS
5274A/7270FF
RS15-1064
超高真空排気装置
BB6962
ULVAC
MB04-1007
2004
製造年
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）⇒GaAs基板ｱﾆｰﾙにて使用（無害化
不要）
【CtoC　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　電源：ﾏｲｸﾛ波600～1000W　2450MHｚ±50MHｚ　高周波
200W　13.56MHｚ
<真空バルブ　ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-8072
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-65CM
ULVAC
P651125
RS09-8073
RS09-8074
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-65
VULP-65
VULP-40CM
VULP-25F（旧式）
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P650867
P650887
P402399
ｼﾘｱﾙ無し
RS11-1215
RS09-8069
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-250CM
VULP-25（旧式）
VULP-25
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P250036
ｼﾘｱﾙ無し
P250774
RS09-8070
RS09-8071
RS09-8075
RS12-1072
RS12-1071
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-25
VULP-25
VULP-200CM
VULH-40
VUH-651
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P252851
P252855
P200075
MG54-0017
2002
2002
要無害化処理
RS12-1069
RS12-1070
RS09-8067
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
VUH-251C
VUH-251C
ULVAC
ULVAC
-
2002
2002
ICF-070
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VUGP-40
VLP-U3/4S
ULVAC
ULVAC
P400182
800456
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U3/4S
ＶＬＰ－Ｕ３/４Ｓ
ULVAC
ＵＬＶＡＣ
800361
800111
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
021536
021537
021544
021551
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
ULVAC
021552
021752
021753
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
021700
021695
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
ＶＬＰ－Ｕ２Ｓ
VLP-U2
ＵＬＶＡＣ
ULVAC
020626
027242
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
028933
028935
028942
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
028953
028995
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
ULVAC
029006
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U1SW
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
029022
029065
028891
0170001
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0170002
0170004
0170019
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1SW
VLP-U1S
ULVAC
ULVAC
0170034
022512
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U14S
VLP-U14
VLP-U10S
VLP-U10S
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
147231
147095
102579
102581
518203
518215
518244
518246
518249
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1_1/2
VLP-U1 1/2S
ULVAC
ULVAC
510332
510312
圧空式　JIS規格　1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
RS09-8028
RS09-8029
RS09-8030
RS09-8033
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
010427
017451
021755
021702
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2074
RS11-2153
RS11-2154
RS12-1078
RS12-1075
RS11-2147
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U06SW-R
VLP-U06AW
VLP-U06AW
VLP-01
VLH-2
VAP-300WⅡ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
070276
068772
068771
000186
動作未確認　圧空式　JIS規格　6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2148
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000183
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
RS11-2149
RS11-2150
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
ULVAC
ULVAC
000188
000189
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
RS13-8056
RS11-1216
RS09-8076
RS11-2155
RS11-2156
RS12-1295
RS09-8061
RS09-8062
RS09-8063
RS09-8064
RS09-8065
RS12-1103
RS12-1104
RS12-1105
RS12-1106
RS12-1273
RS09-8052
RS09-8053
RS09-8054
RS09-8055
RS09-8056
RS09-8057
RS09-8058
RS09-8059
RS09-8060
RS11-3142
RS09-8047
RS09-8048
RS09-8049
RS09-8050
RS09-8051
RS12-1108
RS12-1258
RS14-2254
RS12-1263
RS12-1264
RS09-8038
RS09-8041
RS09-8042
RS09-8043
RS09-8044
RS09-8046
RS14-2072
14　備考
UFC114
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
1997
状態良好　VF-25　L型ﾊﾞﾙﾌﾞ（圧空駆動）
1997
状態良好　UFC070L型ﾊﾞﾙﾌﾞ（圧空駆動）
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
状態良好
ICF-070　整備後、引渡し
圧空式　JIS規格　3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2000
動作未確認　圧空式　JIS規格　3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
1989
1989
1989
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
1989
2000
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
動作未確認　圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2004
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
1989
2000
冷凍乾燥装置にて使用、状態良好。圧空式　JIS規格1inﾌﾗﾝｼﾞ
2000
2000
動作未確認　圧空式　JIS規格　10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格　14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格　10inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
★新品未使用品★　電流導入端子、ﾍﾞﾛｰ含む
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格　6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格　6inﾌﾗﾝｼﾞ
2002
2002
圧空式　JIS規格　1inﾌﾗﾝｼﾞ
要無害化洗浄
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS11-2151
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000185
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
RS11-2152
RS12-1438
RS11-1014
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
VAP-250Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
000184
000102
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ゲートバルブ
ゲートバルブ
VAP-200Ⅱ
VUGH-40F
VUGH-65F
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS11-1015
RS11-1016
RS11-1017
RS12-1433
RS12-1434
NS-5012
NS-5013
製造年
備考
圧空式JIS規格　10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格　8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格　8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格　8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格　8inﾌﾗﾝｼﾞ
MN03-0347-3
圧空式JIS規格　8inﾌﾗﾝｼﾞ
MN03-0347-4
圧空式　JIS規格　8inﾌﾗﾝｼﾞ
<真空バルブ　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
RS15-1217
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
VAT-PM5
VAT
RS09-8025
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
XLG-80
XLA-16F9NP
Series　26（KF-40）
SMC
SMC
VAT
製造番号
641PM-16BC0002/1238
F-26-60317-200
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
Series　26（KF-40）
Series　26（KF-16）
VAT
VAT
F-26-60317-201
F-26-60049-894
RS09-8017
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
RS11-2157
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
VAT
VAT
BENKAN（KITZSCT）
BENKAN（KITZSCT）
F-24-60045-1077
F-24-60045-1078
RS11-2158
Series　24（KF-25)
Series　24（KF-25）
SCV 316L10K-3/8　STD（N.C 0.4～
0.7Mpa)
SCV 316L 10K-3/8　STD（N.C.0.4～
0.7Mpa)
RS09-8024
RS09-8020
RS09-8021
RS09-8019
RS09-8016
メーカー
製造年
備考
本体のみ
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計　(TOKYO　KEISO　MAX500L/min)付き
ｼﾘｱﾙ無し
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISO　MAX500L/min)付き
ｼﾘｱﾙ無し
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/153
RS11-2216
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
VAT
RS11-2217
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
VAT
RS11-2460
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
VAT
FABR.NO641PM16PM-0002/153
FABR.NO641PM16PM-0002/160
102532-R1
RS14-1172
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LCAV-40
大亜真空
1201172-16
RS14-1170
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K6
大亜真空
120123-2
RS14-1171
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K3
大亜真空
1201280-11
RS11-2078
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
ｼﾘｱﾙ無し
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Aｒ　L型KF-40
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar　L型6”　VF150　圧空駆動
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar　L型3”　VF100　圧空駆動
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　圧力範囲：0.4～0.7MPa　N.C.
ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2　TOKYO　KEISO製）付属
RS11-2077
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
ｼﾘｱﾙ無し
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　圧力範囲：0.4～0.7MPa　N.C.
ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2　TOKYO　KEISO製）付属
RS13-8009
圧力制御ﾊﾞﾙﾌﾞ+ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
656A100IKKVVN+655AD2BJ
MKS
RS11-2223
RS11-2224
RS07-2961
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
64250-CE52-1101
64250-CE52-1101
VAT
VAT
017067580　+
017669753
F64-105808/1
F64-105808/2
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
64246-JE52-0101
VAT
F64-10866　1/1
RS10-2762
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
28332-GE41-0003
VAT
-
RS09-8009
RS09-8010
RS09-8011
RS09-8012
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
VAT
VAT
VAT
0158
0241
0247
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
VAT
VAT
0250
0251
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal　Close
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001
VAT
0252
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal　Close
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
APCﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001
253A-11792
20044-CE24-1001/0006
1-800-345-1967
1-800-345-1967
16250-JA28
16250-JA28
VAT
MKS
VAT
MKS
MKS
VAT
VAT
0253
92031106L
A-249751
9928670041
9928670044
不明
不明
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal　Close
RS11-2071
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
16250-JA28
16250-JA28
VAT
VAT
不明
不明
RS13-8010
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）
14048-JE44
VAT
不明
2011
RS13-8011
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）
14048-JE44
VAT
不明
2011
RS11-2222
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
14048-CE34-0005
VAT
F14-104723/2
RS11-8182
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
14040-CE24-1004
VAT
F14-100068/2
RS13-8013
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
12146-JA14
VAT
不明
RS09-8007
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
11220-0150X
HVA
01-17156
RS09-8006
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
11210-0159
HVA
95-01971
RS09-8004
RS07-2931
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
1021001
02112-BA24-001-0031
14036-CE44-AAC1
ﾌｼﾞ精機
VAT
VAT
100003
A-289817
F14-109375/3
APC
VAT　65048-JH52
VAT
A-247132
メーカー
製造番号
RS09-8013
RS09-8014
RS09-8015
RS09-1149
RS10-8026
RS10-8024
RS10-8025
RS11-2072
RS11-2066
RS11-2069
RS11-2226
RS12-8101
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/160
2011
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ付。ﾌﾗﾝｼﾞ外径φ 135ｍｍ。ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞ
ｽ：Ar
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
付属品（ｺﾝﾄﾛｰﾗ・ｲﾝﾀｰﾌｪイｽﾎﾞｰﾄﾞ）あり、ｺﾝﾄﾛｰﾗｹｰﾌﾞﾙは無し。
2000
26132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、26124-KA21（NW16）2個A719543(IFC070)
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal　Close
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal　Close
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal　Close
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal　Close
Zi　LL室ｺｱﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。
Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。
Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
2011
JISﾌﾗﾝｼﾞ（10in)=VF250、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：
14048-JE44-0006/0044、圧空駆動式
JISﾌﾗﾝｼﾞ（10in)=VF250、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：
14048-JE44-0006/0045、圧空駆動式
本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF306、圧空駆動式
超高真空排気装置から部品抜取り。ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152　圧空作動式（電磁弁無し・
ﾘﾐｯﾄｽｲｯﾁ付仕様）※圧空導入部分欠品
JISﾌﾗﾝｼﾞ（8in)=VF200、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：
12146-JA14-ASQ1/0002、複動圧空駆動式
ICF070　ｹﾞｰﾄ圧空【C　to　C　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】量産用　ISM方式、電源：Antena　1ｋW
13.56MHｚ/BIAS　300W　12.5MHｚ　排気系：TMP・DRP・APC、基板：φ 50ｍｍ
（ESCﾎｰﾙﾄﾞ）、使用ｶﾞｽ：CF4/CI2/SF6/He/Ar/O2
ICF070　圧空作動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（ﾎﾟｼﾞｼｮﾝ付き）
（ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）
本体のみ。ICF114、圧空駆動式
<超高真空部品>
中古品番号
品名
型式
15　製造年
備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<ピラニ真空計>
中古品番号
RS15-1212
RS15-1213
RS15-1214
RS11-2326
RS11-2327
品名
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
型式
SP-1
SP-1
SP-1
DV-6200
DV-6200
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
21402G
21406G
22023G
07240212184
006760116373
RS11-2328
ﾋﾟﾗﾆ真空計
DV-6200
ULVAC
006740115388
RS13-2123
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8401
2008
RS13-2124
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8402
2008
RS11-2102
RS11-2103
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM-301　8CH
EM-301　8CH
ULVAC
ULVAC
PH1508
PH1509
RS11-2189
RS14-3086
RS14-3088
RS14-3098
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM-301　8CH
GP-1000
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PH7301
23791
23796
23683
RS13-2309
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1000G
ULVAC
RS14-1156
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1000G
ULVAC
03467G
RS13-2284
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SSW
ULVAC
2603
RS11-2529
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
G-TRAN SP-1/ISP
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
17827G/01846
2131　0212188
28370419173
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
28310418377
018130116195
2127　0212184
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2308
RS11-2309
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
RS11-2310
RS11-2311
RS11-2312
RS11-2313
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
21320212189
ｼﾘｱﾙ無し
018140116196
018110116193
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2314
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
ULVAC
018080116190
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2315
RS11-2316
RS11-2317
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
018370116197
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
018070116199
018090116191
018100116192
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ピラニ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
GP-2ARY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
018120116194
018390116199
28400419176
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ピラニ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-2001
GP-1SRY
GP-1SRY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
-
メーカー
ULVAC
ULVAC
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
製造番号
18036G
18037G
EL057222
EL057267
EL057213
EL057211
EL057215
EL057216
RS11-2303
RS11-2305
RS11-2307
RS11-2318
RS11-2319
RS11-2320
RS11-2321
RS11-2323
RS11-2325
NS-5014
NS-5015
RS12-8104
RS12-8105
製造年
備考
本体のみ
本体のみ
本体のみ
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示
機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、　付属品：表示
機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
状態良好。
状態良好。
状態良好。
2008
使用履歴：真空熱処理装置に付属、有害物質不使用　本体のみ、（測定子ｹｰﾌﾞ
ﾙ・検出ﾕﾆｯﾄ付属無し）　仕様書・取説・図面無し
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ　液晶一部表示NG
ﾒｰﾀｰ無し　付属品：WP用測定子ｹｰﾌﾞﾙ（4m）（ｱﾝﾌﾟ表示10m）
動作確認ＯＫ
ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ　SP1φ 18　表示器のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
<電離真空計>
中古品番号
RS15-1209
RS15-1210
RS14-3105
RS14-3106
RS14-3107
RS14-3108
RS14-3109
RS14-3110
品名
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
型式
GTRANBMR-2
GTRANBMR-2
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
製造年
RS12-8063
電離真空計
MIG-721
ANELVA
N9011078
RS15-2084
電離真空計
GI-TL3
ULVAC
5585
-
NS-3019
電離真空計
GI-TL3RY
ULVAC
メーカー
製造番号
製造年
MKS
000,206,023
備考
本体のみ
本体のみ
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
<バラトロン真空計>
中古品番号
品名
型式
RS10-8044
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
真空計　186B-BOJOAANV
RS09-1421
RS13-2241
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子
CMX-1110
CELERITY
A819647727
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
MKS
MKS
016335508
016293672
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
MKS
MKS
016293679
016293683
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
651CD2S1NJ
628A.1TBF-S
TYPE 113B
MKS
MKS
MKS
RS13-2174
RS13-2175
RS13-2176
RS13-2178
RS11-3007
RS12-8062
備考
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
2008
2008
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　ｷｰ部破損
000740759
000065664
SN3449
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
製造番号
製造年
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無ﾚﾝｼﾞ：1Pa/133.32
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子：627A01TBC　測定子ｹｰﾌﾞﾙ（9m）　電源ｹｰﾌﾞﾙ付属
<ペニング真空計>
中古品番号
NS-5040
品名
型式
メーカー
ペニング真空計
GI-PRYS
ULVAC
16　備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<サーモカップル真空計>
中古品番号
RS12-8064
RS12-8065
品名
ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計
ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計
型式
MTG-012
MTG-012
メーカー
ANELVA
ANELVA
製造番号
M9156827
M9156829
製造年
備考
製造番号
製造年
備考
測定子ｹｰﾌﾞﾙ8m　電源ｹｰﾌﾞﾙ　付属
測定子ｹｰﾌﾞﾙ8m　電源ｹｰﾌﾞﾙ　付属
<キャパシタンスマノメータ >
中古品番号
NS-5016
品名
型式
メーカー
キャパシタンスマノメータ
CCMH-1000A
ULVAC
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
0034
0123
製造年
備考
<広帯域真空計 >
中古品番号
品名
<成膜コントローラー>
中古品番号
☆
☆
RS14-8068
RS14-8067
RS15-1215
RS14-2295
RS13-8126
RS11-2012
RS11-8028
RS11-8029
RS11-8070
RS11-8071
RS11-8072
品名
膜厚計
膜厚計
膜厚計
膜厚計
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
水晶振動式膜厚計
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
MDC-260
CRTS-12NS
CRTS-12NS
MAXTEK,INC
ULVAC
ULVAC
121
134-134　Ver.2.04
136-136　Ver.2.04
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CRTS-12NS
CRTS-12NS
ULVAC
ULVAC
135-135　Ver.2.04
137-137　Ver.2.04
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CRTS-12NS
ULVAC
252-252　Ver.2.04
CRTM-6000
CRTM-6000
CRTM-8000EX
CRTM-6000
CRTM-8000
☆
☆
本体のみ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　HS/Sｶｰﾄﾞ4個。　部品抜き前、通電のみ確認済。
本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）
<ガス分析計>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-1143
TRANSPECTOR　XPR
INFICON
H8TR15B00372
RS11-1170
質量ｶﾞｽ分析計
INFICON
70003237
RS11-1169
RS14-2284
RS14-2287
RS14-2286
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
XPR-TR100　（0397）
Transpector2（911-242-G1U
H100M)
Transpector2
Transpector2
Transpector2
製造年
INFICON
Inficon
Inficon
LOTT23B02800
LOTT23C02894
C1TT24C03427
RS14-2285
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
Transpector2
Transpector2
Inficon
Inficon
MOTT23C02969
B2TT26C03925
RS14-2250
ﾌﾟﾛｾｽﾓﾆﾀｰ
RG-202R
ULVAC
AK97-3487
1997
備考
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
Transpector　2（911-242-G1U　H100M)
動作未確認。　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾕﾆｯﾄ　S/N:00032　ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ　S/N:00032　本体（ｼﾞｭﾗﾙ
ﾐﾝｹｰｽ付）　+　PC（HITACHI製）　+　ｿﾌﾄ付（Windows3.1)　欠品なし。　使用履歴：
N2ｶﾞｽ分析　取説あり。
<Heリークディテクタ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
☆
RS15-2127
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
Heliot102
ULVAC
037
2006
☆
RS15-2126
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
Heliot102
ULVAC
256
2006
RS15-2121
RS15-2089
RS11-2208
ﾍﾘｳﾑﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
ﾘｰｸﾃｽﾄ設備（RS15-8004～8007）
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
HELIOT102
Heliot700Series
HELIOT　302s特
ULVAC
ULVAC
ULVAC
3836
2000
2003
メーカー
製造年
ULVAC
ULVAC
製造番号
BS101106-55 AB
Z280
20020012
20020011
JEOL
-
備考
状態良好。取説あり。
付属品：ｽﾆﾌｧｰ冶具、ｷｬﾘｰｹｰｽ（ｼﾞｭﾗﾙﾐﾝ）、工具（ねじ回し）
状態良好。取説あり。
付属品：ｽﾆﾌｧｰ冶具、ｷｬﾘｰｹｰｽ（ｼﾞｭﾗﾙﾐﾝ）、工具（ねじ回し）
ｽﾆﾌｧー仕様、起動確認済。付属品（ACｹｰﾌﾞﾙのみ）
☆
☆
本体は含まず
スニファー専用機器
<EB電源>
中古品番号
品名
型式
RS13-1035
EB電源
JST-10F
RS11-8010
RS11-8048
EB電源
EB電源
HPS-1600F
HPS-1600F
RS13-8142
EB電源ｾｯﾄ
JST-16F
JEOL
備考
EB1ｺﾝﾄﾛｰﾗ、EB2ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｶﾞﾝ1ｹｰﾌﾞﾙ*2、ｶﾞﾝ2ｹｰﾌﾞﾙ*2、ｺｲﾙｹｰﾌﾞﾙ(ｶﾞﾝ1)、ｺｲﾙ
ｹｰﾌﾞﾙ(ｶﾞﾝ2)、高圧ｹｰﾌﾞﾙ*4本。
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し
【EB電源ｾｯﾄ】電源ﾗｯｸ1個、ｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾕﾆｯﾄ（JST-16F　1個、EBG-HV025G02　2
個、EBG-LV025G01　1個）　ﾊｰｽ　1個
<RF電源>
中古品番号
RS15-1230
RS15-1229
RS15-1228
RS15-1231
RS15-1227
RS15-1225
RS15-1226
RS15-1232
RS15-1224
RS15-1223
RS15-1165
RS15-1166
RS15-1163
RS15-1164
品名
RF-PhaseShifter
RF-PhaseShifter
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
型式
APG-201-MA1
APG-201-MA1
AX-600Ⅲ（12.5MHz）
TX10-D0000-00
AX-600Ⅲ（12.5MHz）
AX-1000（13.56MHz）
AX-1000（13.56MHz）
TX10-D0000-00
AX-3000（13.56MHz）
AX-3000（13.56MHz）
OEM-1250-01
OEM-1250-01
OEM-2000-01M1
OEM-1250-01
メーカー
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ENI
ENI
AE
ENI
製造番号
10217800004
10217800003
－
10237600003
－
－
－
10237600009
－
－
C112
C278
C116
C152
RS15-1112
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595162
RS15-1116
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594071
RS15-1115
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595166
17　製造年
備考
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
2004
2004
2004
2004
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
入力　600VA　出力　200W　C/W　2ℓ/m.　(2Kg/cm2)　製品重量　15Kg
W240　D495　H100　保管状態良好。
入力　600VA　出力　200W　C/W　2ℓ/m.　(2Kg/cm2)　製品重量　15Kg
W240　D495　H100　保管状態良好。
入力　600VA　出力　200W　C/W　2ℓ/m.　(2Kg/cm2)　製品重量　15Kg
W240　D495　H100　保管状態良好。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-1114
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594038
RS15-1113
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595161
RS15-1117
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
599014
RS15-1126
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
AMC 6D
ULVAC
395115
RS15-1124
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
AMC 6D
ULVAC
396018
RS15-1121
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
396006
RS15-1119
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
395086
RS15-1122
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
392013
入力　600VA　出力　200W　C/W　2ℓ/m.　(2Kg/cm2)　製品重量　15Kg
W240　D495　H100　保管状態良好。
入力　600VA　出力　200W　C/W　2ℓ/m.　(2Kg/cm2)　製品重量　15Kg
W240　D495　H100　保管状態良好。
入力　600VA　出力　200W　C/W　2ℓ/m.　(2Kg/cm2)　製品重量　15Kg
W240　D495　H100　保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC　5A　90~110V　50/60Hz　単相　S/N　395037)　外寸
W240　D320　H100　保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC　5A　90~110V　50/60Hz　単相　S/N　395041)　外寸
W240　D320　H100　保管状態良好。
入力　200w　C/W　1L/m　0.5kg/cm²　重量　8kg　外寸　W200　D410　H200　保
管状態良好。
入力　200w　C/W　1L/m　2kg/cm²　重量　7kg　外寸　W200　D430　H210　保管
状態良好。
外寸　W200　D410　H200　保管状態良好。
RS15-1120
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
394016
入力　200w　C/W　1L/m　0.2MPa　重量　7kg　外寸　W200　D430　H210　保管
状態良好。
RS11-2291
VDCﾓﾆﾀ
VDC-1A
ULVAC
086008
RS11-2292
RS10-8082
RS14-2020
VDCﾓﾆﾀ
VDCﾓﾆﾀｰ
VDC-1A
VDC05A
ULVAC
ULVAC
91020
392025
RS14-2022
RS14-2023
RF電源
RF電源
RF電源
TX10-D000-00-12.5M
TX10-D000-00
TX10-D000-00
ADTEC
ADTEC
ADTEC
102403000012
10237600009
10237600002
RS15-2035
RF電源
RFS-2710H
ULVAC
RS13-2252
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207015
RS13-8027
RF電源
AX-1000LFⅢ
ADTEC
10154000084
RS13-2112
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207005
2008
RS11-2268
RS11-2269
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
SP-RKC
KYOSAN
L/N　WB3563
SP-RKC
RFS-27400F
RFS-27400F
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
L/N　WB3563
210001
210002
2004
2004
RS13-2151
RS13-2152
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF電源
RF電源
RS13-2153
RF電源
RFS-27200L
ULVAC
208005
RS06-2704
RF電源
RFS-2712K
ULVAC
306001
RS14-1277
RS13-2158
RS14-1278
RF電源
RF電源
RFS-1350LH
RFS-1310L
ULVAC
ULVAC
209021
209008
RF電源
RF電源
RFS-1310A3
RFS-1310A3
ULVAC
ULVAC
205010
204026
RS10-8078
RS10-8080
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
RFP-10CA0
RFP-05CA0
RFP-05CA0
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS09-1502
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFP-05CA/VDC5A
ULVAC
RS11-2266
RS11-2267
RS13-8106
RF電源(1kw）
RF電源(1kw）
RFK10Z-SK5
RFK10Z-SK5
KYOSAN
KYOSAN
088017P
388022
387089
S/N:395048
L/N:56170270･
S/N:395087　L/N：
66170092
0107014
0107015
RF電源
RF電源
PHASE　SHIFTER
PHASE　SHIFTER
RFK05ZFSW2
RF-50
PLFⅢ
PLFⅢ
KYOSAN
日本高周波
AE
AE
0103037
96140516
813660
814211
PHASE　SHIFTER
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀｰ
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀ
PLFⅢ
PHS36VM
PHS-2C-SK1
AE
ULVAC
KYOSAN
813661
393005
L/N　WB3569
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
5kw用ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
NAK5A
NAK5A
NAK5A
MCP-1010E
MBX-50A
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
0107016
0107015
0107014
1032
090003
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
MBX-27400F
MBX-27400F
ULVAC
ULVAC
310001
310002
40kw、27.12MHz用
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-27200L
MBX-1310L
MBX-10EA
MBX-10EA
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
308001
309009
393007
394011
395079
395030
397036
20kw、27.12MHz用
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
MBX-05EA2
ULVAC
ULVAC
397034
394017
RF電源
高周波電源
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
HFS-005
HFM-D20UL-AX7
AMVG-1000-AV3
日本高周波
島田理化
ADTEC
207677・5
10220600019
1996
2009
本体のみ、付属品無し
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
ADTEC
ADTEC
10220600022
10220600021
本体のみ、付属品無し
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
AMVG-1000-12.5M-CT
AMVG-1000-12.5M-CT
ADTEC
ADTEC
10235800007
10179100020
2009
2009
2009
2009
本体のみ、付属品無し
RFﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
AMC-6D
AMC-1AR
AMC-1AR
ULVAC
ULVAC
ULVAC
395004
395008
92005
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し
RS14-3119
ＲＦ電源
RFK200ZD
京三製作所
0605001
状態良好。
RS12-8096
RF電源
Cesar1330
AE
613000860099
RS12-8097
RF電源
Cesar1310 D
AE
9811023B
RS14-1279
RS10-8081
RS09-1152
RS14-2128
RS14-2129
RS14-2130
RS11-8134
RS11-2273
RS11-2270
RS11-2271
RS11-2272
RS11-2212
RS09-1297
RS13-2160
RS13-2161
RS13-2162
RS13-2167
RS10-8075
RS10-8076
RS13-1051
RS13-1056
RS13-1105
RS13-1106
RS13-1108
RS14-8052
RS14-1112
RS14-2025
RS14-2026
RS14-2027
RS14-2030
RS14-2031
RS13-1060
RS11-2289
RS11-2290
18　製造年
備考
2009
本体のみ、付属品無し
2009
2009
本体のみ、付属品無し
2003
2008
本体のみ、付属品無し
本体・M/BOX（MBX-2710H　S/N311002）マッチングコントローラー（AMC-H
S/N411005）付、ケーブル無。CVD装置で使用。
太陽電池生産用　CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ（2013/07/末まで稼動）、使用ｶﾞｽ：SiH4、
PH3、B2H6、出力：：1KW　13.56MHｚ、付属品：M/BOX（MBX-1310A）
（S/N:307008)、電源間ｹｰﾌﾞﾙ(16m）、電源ｹｰﾌﾞﾙ（1m）
1ｋｗ、400KHｚ、M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800004）、RF出力ｹｰﾌﾞﾙ
(8m)、M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m)、RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m)、RF電源ｹｰﾌﾞﾙ
(切断　ｺﾈｸﾀのみ)※RF　CONT無し。
CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ、仕様書・取説・図面無し、付属品：ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ（MBX1310A）（S/N:306030）、ｹｰﾌﾞﾙ（16ｍ）、出力：1Kw　13.56MHｚ
本体のみ
本体のみ
出力:40KW　27.12MHz、　付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:40KW　27.12MHz、　付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:20KW　27.12MHz、　付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力：1KW　27.12MHz
付属品：M/BOX（MBX-2712A）ｹｰﾌﾞﾙ無し
危険物吸引なし
出力:1KW　13.56MHz、　付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
危険物吸引なし
危険物吸引なし
2004
2004
本体のみ(1kw）
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101　B　F/R　B
2012
2012
1999
2004
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101　B　F/R　B
2004
本体のみ
2004
2004
本体のみ
本体のみ(1kw）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101　B　F/R　B
本体のみ
エッチング電源
5kw用
40kw、27.12MHz用
1kw用
未整備
未整備
付属品無し　200W
付属品無し　200W
1998
1998
付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し　200W
M/BOX：201631
電源本体のみ　20ｋW
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<DC電源>
中古品番号
品名
RS15-1233
DC電源
RS15-1162
RS15-1160
RS15-1159
RS15-1158
RS15-1047
RS15-1049
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
型式
Pinnacle plus 5Kw（M/N；3162435107M）
Pinnacle 200kW
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DC電源
DC電源
DC電源
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
異常放電防止器
異常放電防止器
DC電源(新古品)
A2KH-50
A2KH-50
Pinnacle 10K
ULVAC
ULVAC
ULVAC
C631478
Pinnacle 10ｋW
Pinnacle 10ｋW
AE
AE
792289
792288
2012
本体のみ　M/N:3152533-306C　F/R　C
RS14-2195
DC電源
DC電源
2012
付属品：出力ｹｰﾌﾞﾙ（約5.5ｍ）　M/N:3152533-306C　F/R　C
RS14-2114
DC電源
Ulstream20
ULVAC
E0656711UL02510
2012
RS11-2029
RS14-1125
DC電源
PR-500-10LGB
松定ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ
045547S
2009
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
PNCL20K　Hi-Z
PAK20-18A
MDX-L6
MDX-L6
MDX-L6
AE
KIKUSUI
AE
AE
AE
267451
本体のみ　M/N:3152420-117C　F/R　C
70742
36941
P/N:0190-76006
RS08-2041
RS14-1120
DC電源
DC電源
DC電源
MDL1501
MDL-15
MDL-15
ULVAC
ULVAC
ULVAC
145679F/RC
191720
RS13-3089
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C442141
RS14-1121
RS14-2222
RS14-2230
RS10-8035
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
MDL-1001A
HPK-15ZI-S1
HPK-15ZI-S1
HAR-1P100-L0L
ULVAC
ULVAC
ULVAC
松定プレシジョン
300059
WA5504
WA4468
52945
RS10-8036
RS09-1499
RS12-8098
RS12-8099
DC電源
DC電源
直流電源
直流電源
HAR-1N100-LOL
DCR-1502A
EX-750L2
EX-750L2
松定プレシジョン
ULVAC
高砂製作所
高砂製作所
52933
19922010
1230599173
1230599060
RS12-8100
RS14-2123
RS14-2124
RS14-2125
直流電源
異常放電防止機構
異常放電防止機構
EX-1500L2
A2KH-50
A2KH-50
高砂製作所
ULVAC
ULVAC
1211598046
011022
011023
異常放電防止機構
異常放電防止機構
A2KH-50
A2KH-50
ULVAC
ULVAC
011021
011019
異常放電防止機構
A2KH-50
ULVAC
型式
メーカー
RS15-1048
RS15-1050
RS15-1056
RS15-1055
RS15-2012
RS14-2194
RS10-2721
RS09-1161
RS09-1289
RS12-8059
RS11-8019
RS14-2126
RS14-2127
製造年
メーカー
製造番号
AE
731514F/RM
AE
京三製作所
京三製作所
京三製作所
ULVAC
333645 F/R B
WA2899/WA2900
WA2923/WA2924
WA2921/WA2922
備考
本体のみ
2004
2004
2004
2004
2002
2002
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
2002
2002
2002
2002
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
新古品
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　Product　No.:EU-01010107
出力：800V　50A　20ｋW
新古品　5kw　（500V／10A仕様）
P/N:0190-70085
＊２台
出力：15ｋｗ
本体のみ　M/N:3152345-101F　F/R　F
出力：１０ｋｗ　付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式　2014/07/14計測ｾﾝﾀｰにて動作確認　★
故障（出力はOK、左右FANから大きな異音あり）
本体のみ　M/N:3152354-000D　F/R　D
2003
2003
RS14-2221とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
RS14-2229とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
出力：1kv　（正極性　100mA/100W）
出力：1kv　（負極性　100mA/100W）
出力：15ｋｗ
2012
2012
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
011020
2012
2012
製造番号
製造年
製造年
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
<AC電源>
中古品番号
品名
備考
<アナライザーマグネット電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS04-8017
ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
KS40-50S
ULVAC
12762
RS04-8083
ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
KS40-50S
平和電源
12761
備考
中電流イオン注入装置用
<マグネット電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1496
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
MCP-1010E
ULVAC
1088
RS10-8043
RS11-2278
RS11-2279
RS11-2369
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
MCP-1010E
MCP-1010SX
MCP-1010SX
MCP-1010SX
ﾃｸﾉ電気
ULVAC
ULVAC
ULVAC
1092
2310
2449
2253
製造年
備考
備考
<加熱電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-2077
AMAT Endura用ESC部品
0010-01465
AMAT
H5-100、H5-077
2006
RS12-8090
RS12-8091
AMAT Endura用ESC部品
0010-01465
AMAT
-
AMAT Endura用ESC部品
0010-01465
AMAT
-
2006
2006
RS12-8092
RS13-8061
RS09-2666
RS13-2075
RS13-2076
AMAT Endura用ESC部品
抵抗加熱電源
加熱電源
加熱電源
0010-01465
PSE-700H-N
PSH-072SP
PSH-306C
AMAT
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
502068
S-7881
U406-024
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-038
410052-001
U406-029
U406-018
U406-036
U406-021
U406-017
U406-037
U406-014
RS13-2077
RS13-2078
RS13-2079
RS13-2080
RS13-2081
RS13-2082
RS13-2083
RS13-2084
19　2006
本体のみ
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-2085
加熱電源
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-027
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
RS13-2086
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-026
U406-025
U406-039
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-050
U406-056
U406-058
U406-077
U406-069
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
RS13-2094
加熱電源
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-071
RS15-2037
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M07１
2003
RS15-2038
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M072
2003
RS15-2036
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M070
2003
RS15-2039
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M064
2003
メーカー
KEYENCE
KEYENCE
KEYENCE
ULVAC
製造番号
122584
5121385
5149398
2002002
製造年
三菱
-
RS13-2087
RS13-2088
RS13-2089
RS13-2090
RS13-2091
RS13-2092
RS13-2093
製造年
備考
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。
有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
本体のみ、ケーブル無、有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。
有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
本体のみ、ケーブル無、有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
<その他電源>
☆
☆
☆
中古品番号
RS16-1001
RS16-1003
RS16-1002
RS12-1020
品名
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｉｏｎ　bombard　power　supply
型式
HC-50
HC-55
HC-55
DCP-505
RS14-1173
PLC
Q2ASH
備考
☆
☆
☆
本体のみ。
本体のみ、未使用品。
本体のみ、未使用品。
要整備
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
中古品番号
品名
型式
RS13-3013
ｶﾞｽ処理設備一式
WGC-10B-2-FS
メーカー
製造番号
製造年
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
WG-2319
2005
RS09-1199
ｶﾞｽ導入用ｴｱｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ・ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙ
ﾌﾞ
RS12-1033
0050-21303
AMAT
-
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC-770AC
Aere
-
RS09-1028
RS09-1029
RS09-1038
RS14-1202
RS11-1168
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC780C
Aere
24J0252
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC780C
FC780C
SEC-310-N1
SEC-4400M
Aere
Aera
STEC
STEC
23E1149
24J0256
4137400200
3424592121
RS11-2093
RS11-2177
RS11-2180
RS11-2182
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
STEC
STEC
STEC
3422582475
291502488
291502486
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
SEC-4400M（MK3)
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
STEC
STEC
291502490
281505605
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
SEC-E440J
STEC
STEC
1312500580
3430014434
RS09-2672
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-E440J
SEC-F740MCA1
STEC
STEC
3463572997
2451023
RS12-8066
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC-770C/FC-770AC
Aere
４YEP035/20J0557
RS12-8095
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
SEC-E40
HORIBA STEC
-
RS11-2118
RS11-2083
RS14-3111
RS14-3112
電磁弁ﾕﾆｯﾄ
ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰﾕﾆｯﾄ
APC
SQｼﾘｰｽﾞ
W3000
600ｼﾘｰｽﾞ
SMC
CKD
MKS
ｼﾘｱﾙ無し
1808
001814998
APC
APC
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
MKS
MKS
001843366
001843367
状態良好。
APC
N2精製装置
600ｼﾘｰｽﾞ
JIP-10E-S
MKS
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
001788273
D-3890
状態良好。
メーカー
ULVAC
製造番号
S03547-1-04
製造年
2000
ULVAC
S03547-1E-03
2000
KEYENCE
RORZE
-
RS14-1200
RS14-1199
RS11-1166
RS11-1167
RS14-3113
RS14-3114
RS14-2362
2001
2000
備考
ｴｱﾊﾞﾙﾌﾞｘ８個、ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞｘ4個、ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰｘ4個（VCR)　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸA　ﾍﾞﾝﾄﾗｲﾝに
使用　ｶﾞｽ使用履歴：Ar　【ｴｱｵﾍﾟ】型式：944AOPLPNCSFSFF、ﾒｰｶｰ：VERIEFLO
CORP　【ﾆｰﾄﾞﾙ】型式：不明、ﾒｰｶｰ：NUPRO　【ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰ】型式：WG3NS1RR2、
ﾒｰｶｰ：MILLIPORE
ｹｰﾌﾞﾙ無し電源無し（4式ｾｯﾄ)　Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF4
50sccm(S/N:26F0358)、　Sicl4　20sccm(S/N:26F0278)、O2
50sccm(S/N:26F0275)
本体のみ。
CH4　10sccm　VCR継手
2007
2001
2001
2001
Ar　1000sccm　VCR継手→Swagelok　Kits　Valve付
2000
2000
N2　5sccm　VCR　本体のみ。ｲﾝﾌﾟﾗ(ｶﾞｽ:BF3)にて使用品。
Ar　200sccm　VCR継手
Ar:200sccm、VCR継手仕様、VCR-SWEGE変換配管付(1個）
Ar　1000sccm　VCR継手→Swagelok　Venkan　Valve付
N2　5sccm　VCR　本体のみ。ｲﾝﾌﾟﾗ(ｶﾞｽ:不明)にて使用品。
Co　10sccm　VCR継手
2006
H2　10sccm　VCR継手
Ar　2SLM　VCR継手　Fujikin　Valve付
2式ｾｯﾄ　N2　50sccm　O2　50sccm　接続口1/4　VCR　ANELVA製MFC電源
（CMS-770C）付属　電源～MFC間ｹｰﾌﾞﾙ1本付属（1本欠品）
状態良好。
状態良好。
現状動作OK。
<搬送ロボット>
中古品番号
RS15-1168
品名
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
RS15-1167
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
RS15-1132
RS09-2604
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
型式
K4Z-027(XU-MVS3102)
K4Z-026(XU-BDB0602)+KRC4000Z)
HC-50
31RU8141-002-001
RS09-2670
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
KEYTRANⅢ（部品破損有）
ULVAC
-
RS10-8031
RS08-8028
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
JZMQZ-TB38A
MAG6
ULVAC
ﾌﾞﾙｯｸｽ
R11862-717-01
9608-0028
RS14-1023
RS14-2352
RS04-8076
RS04-8077
RS08-8027
大気ﾛﾎﾞｯﾄ
大気ロボット
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
SPR-101-X099
SPR-101-X1099
UT0100
UT0150
UTMF5000
ﾀﾞｲﾍﾝ
ダイヘン
MECS
MECS
ASYST
X0333Y3996901
X0333Y3912901
3X0409A01
481903A01
A06260950-1
RS08-8026
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
UTV-UTV-F2620W
ASYST
502000000159
RS14-4089
移載機
WL300-Sorter-HW
ITOCHU
-
RS13-1113
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
Zi-1000用
ULVAC
ME97-1038
1998
RS11-2496
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ｱﾙﾌｧｰｽⅡ
ULVAC
0190
1994
RS12-8103
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
SPR-301-X1559
ﾀﾞｲﾍﾝ
X1559Y3832401
1999
20　備考
本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置　ZX-1000　搭載
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ　ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
JZMQZ-TB38A　KEYTRAN-4ZEX-172用
製造番号未確認
本体のみ
2000
IPZ-5001用部品　付属ピックアップのみ　ケーブル無
3軸
3軸
12インチウエハソート機能と保護シートを重ねウェーハ梱包（コインスタック収納）
を自動に行う装置
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置　MLX-3000　搭載
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<電気制御系>
中古品番号
RS14-8066
RS15-1216
RS04-8014
RS04-8080
RS04-8012
RS04-8054
RS04-8056
品名
IGｺﾝﾄﾛｰﾗ
ｼｰｹﾝｻ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ﾊﾟｿｺﾝ
ﾊﾟｿｺﾝ
ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ
RS09-1597
Single Tower
RS04-8013
RS04-8053
型式
IG45DC-E1P
Q12H
CYCMAC　C1000H
CYCMAC　C1000H
CYCMAC　C500-PS221
CYCMAC　C500-PS222
PC9801S
PC9801S
PC9801S付属
メーカー
ULVAC
三菱
OMRON
ｵﾑﾛﾝ
OMRON
OMRON
NEC
NEC
PATLITE
製造年
製造番号
98480
－
備考
QX42×4、QY×4他
-
S369148CA
S369148CA
S360026
SEF-A　24V　AC/DC
2W/1STACK
PC9801Sの付属品
<チラー・純水設備>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-1050
水冷ﾁﾗｰ【2台】
CH-2200WS、CH-5500WS
ﾀｲﾃｯｸ
4090345、4090212
2004
RS08-2013
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
CH-5500WS
EXL-1006
EXL-1006
ﾀｲﾃｯｸ
ﾘｯｼｰ
ﾘｯｼｰ
2110195
0309215
0404136
2009
2009
ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
EXL-1006
MMR-101
ﾘｯｼｰ
RISSHI
0404137
0707467
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
超純水製造装置
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ
MMR-101
MMR-101
PURIC-MXⅡ-LS
SCS-3WT
CS1000
RISSHI
RISSHI
ｵﾙｶﾞﾉ㈱
ｽﾃｯﾌﾟｻｲｴﾝｽ
ﾘｯｼｰ
0708575
0707466
MLD2173321
9904132
RS14-2032
RS14-2033
RS14-2034
RS10-2801
RS10-2802
RS10-2803
RS12-1048
RS12-1049
RS12-1324
備考
水冷ﾁﾗｰ
2009
200401
2004
装置状態良好。EB・RH仕様。付属品：4点切替式抵抗蒸着源（PSE-076)付。
CS1000ｘ1台　CS6000ｘ1台
<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1500
ｼｬｯﾀｰ
-
ULVAC
NTZX0129
RS09-1501
RS10-8053
RS10-8054
ｼｬｯﾀｰ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
1420A　TKK-5
ULVAC
Adme
NTZX0130
ｼﾘｱﾙ無し
RS10-8052
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
1420A　TKK-6
1608ATKK-5
Adme
Adme
RS10-8055
通信COM
AT-MX10
RS10-8042
RS09-1484
RS12-1154
制御系
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
Contunit型式001-8185-05
GS-IG
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
000010280100050
Rev2A
9910-10099
P196
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
GS-IG
GS-IG
ULVAC
ULVAC
P236
P237
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P238
P247
P248
P249
P271
ULVAC
RS12-1155
RS12-1156
RS12-1157
RS12-1158
RS12-1159
RS12-1160
RS12-1161
Allied　ＴｅｌｅｓｙｎI
製造年
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
GS-IG
RS10-8051
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
KU80376
RS11-8139
RS11-8140
RS11-8141
RS11-8142
RS11-8143
RS11-8144
RS10-8048
制御BOX
制御BOX
制御BOX
ME-Ⅱ　①
ME-Ⅱ　②
ME-Ⅱ　③
-
445
96-1500-27001
PMC-1
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
制御BOX
制御BOX
制御BOX
ME-Ⅱ　④
ME-ⅡA　①
ME-ⅡA　②
-
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
PI-30
PMC-6
旭ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
-
ﾌﾟﾛｾｽﾓｼﾞｭｰﾙｺﾝﾄﾛｰﾗ
制御系
制御系
制御系
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
RYB
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
制御系
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PVME-387
RYB1
SG6100S
SG6100S
SYSTEM　I/F　BOX
制御系
SYSTEM　I/F　BOX
RS10-8049
RS09-1465
RS10-8045
RS10-8046
RS10-8047
RS10-8050
RS09-1483
RS09-1504
RS09-1505
RS10-8040
RS10-8041
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｵﾝﾃｯｸ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
備考
000010280100050　Rev2A
1999
1999
1999
1999
1999
1999
ｽﾊﾟｯﾀ用
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
IPC用
ｱﾆｰﾙ用
980309-1　KEPB-372
№2
№1
<スパッタ装置部品>
中古品番号
RS15-1174
RS15-1175
RS11-2495
RS13-1022
品名
ﾍﾘｺﾝｶｿｰﾄﾞ
ﾍﾘｺﾝｶｿｰﾄﾞ
ｶｿｰﾄﾞ
ﾗｲﾄｳｪｰﾌﾞﾒｼﾞｬﾒﾝﾄｼｽﾃﾑ
型式
φ 4ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ
81640A
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｱｼﾞﾚﾝﾄ
21　製造番号
DE39402101
製造年
2001
2001
1994
備考
※MPS-5000-HC6（MB01-1008）より抜取分
※MPS-5000-HC6（MB01-1008）より抜取分
光測定ｼｽﾃﾑの計測機。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<蒸着装置部品>
☆
中古品番号
RS14-8069
品名
EBｶﾞﾝ
型式
EGL-206M
メーカー
ULVAC
製造番号
-
製造年
RS15-2095
電子銃
JST-100C
JEOL
-
2003
RS11-8162
RS11-8163
EB蒸発源
EGK-3C
ULVAC
183100264
EB蒸発源
EBｶﾞﾝ
EB蒸発源
EGK-3C
EGL-35
EGL-35
ULVAC
ULVAC
ULVAC
183100262
1991
1991
177100197
1991
EBｶﾞﾝ
EGL-35M
ULVAC
RS11-2558
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
LIS
RS11-2559
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
LIS
RS10-8064
抵抗加熱蒸発源ﾕﾆｯﾄ
RA0419-021A＋RA0419-022A
RS10-2682
EBX-10Cｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ・部品
RS09-1309
RS11-8164
RS10-8101
AE
備考
☆
電子銃+電源（ｹｰﾌﾞﾙ一部切断）電子銃用排気系
取説あり、仕様書・図面なし。
超高真空仕様
超高真空仕様
本体のみ
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)
程度良品ほぼ未使用
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)
程度良品ほぼ未使用
579883
AE
579882
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：φ 650Wx800H　蒸発源：電子
ﾋﾞｰﾑ（EGK-3)、電源：5ｋW（Solid）　排気系：CRYO+RP
ULVAC
<イオン注入装置部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-1034
Qﾚﾝｽﾞ
-
ULVAC
-
本体のみ
RS14-1057
RS14-1061
RS04-8034
ｳｪｰﾌﾞｶﾞｲﾄﾞﾍﾞﾛｰ
ｸﾗｲｵ温度計ﾊﾟﾈﾙ
ｺｯｸﾛﾌﾄ
-
-
-
本体のみ
RS14-1031
RS14-1059
RS14-1056
ｺﾝﾀﾐﾄﾞﾘﾌﾄﾁｭｰﾌﾞ
ｽｷｬﾅｰﾕﾆｯﾄ
-
-
-
本体のみ
ｿｰｽｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾍﾟｰﾊﾟﾗｲｻﾞ電源
ﾏﾆｭｱﾙｽｲｯﾁ
-
川崎ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
-
U-00005
009
-
本体のみ
3801EI00
CPU　BOX
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｽﾃﾑｽﾞ
N8976
本体のみ
RS04-8026
ﾛｯｸ室ﾌﾚｷﾎｰｽ（4本）
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
RS04-8027
RS04-8093
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
DOSE　DISPLEY
DOSE　DISPLEY
RS14-2344
RS14-2317
RS14-2311
RS14-2312
ティーチングBOX
ベーパライザー電源
EXTターミナルCONT
E4477A
EM-ABP1
EM-BEX0
HVターミナルCONT
GNDﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
EM-BHV0
ESS50-200-2-D-GBⅡ
ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰ　MAIN
プリアンプ
FC-9821Xa model　2
KW-FPR3
RS14-1026
RS14-1192
ACCEL/DECEL　P/S
ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ
E/Sﾊﾞｲｱｽ電源
MDL-2/10
MPG16/12ｃｈ
PCM5N120X
RS04-8022
HV　P/S（DEC　P/S）
PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA）
RS04-8088
ＨＶP/S(DEC　P/S）
PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA）
RS14-1042
ﾃﾞｨｾﾙ電源
PS/ER30N10-Y10A
GLASSMAN
RS04-8025
Q-LENS　P/S
Q-LENS　P/S
PS/UL-15-2G1255
PS/UL-15-2G1255
GLASSMAN/高砂
GLASSMAN/高砂
ＨＶ　P/S
PS/UL180P5X1222
GLASSMAN/高砂
RS04-8087
ＨＶP/S
PS/UL180P5X1222
GLASSMAN/高砂
RS04-8023
HV　P/S(EXT　P/S)
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ)
GLASSMAN/高砂
RS04-8089
RS14-1214
HV　P/S(EXT　P/S)
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ)
GLASSMAN/高砂
880258
M67407001DW930922
2900392
ﾓﾆﾀｰ
ディスプレー
RDT141S
S501J
三菱
IIYAMA
30031090
RS14-1190
RS14-2308
HV電源
引出電源
ディスプレー
SL260P2080X2652
SL40N300X
T1501-GY
ｽﾍﾟﾙﾏﾝ
SPELLMAN
ナナオ
-
RS14-2320
アクセルディセル電源
TK-A0021
テクノ電気
2000
RS14-2328
スキャナー電源③
TR-898
TREK
2000
RS14-2326
スキャナー電源①
TR-898
TREK
2000
RS14-2327
スキャナー電源②
TR-898
TREK
2000
RS14-2329
スキャナー電源④
TR-898
RS14-2339
RS14-2325
RS14-2334
オフセット電源
DCオフセット電源
HV電源
UL152G1255
UL152G1255
UL180P5G1255
グラスマン
グラスマン
グラスマン
5990053
RS14-2346
RS14-2319
RS14-2321
HV電源増幅器
引出電源
UL180P5GI222
UL3517G1254
高砂
グラスマン
5990018
アナライザーマグネット電源
SOURCE　MAGNET　P/S
UX035-60
ｻﾌﾟﾚｯｼｮﾝﾊﾞｲｱｽ電源
ﾌﾟﾘｱﾝﾌﾟ
BEAM　CONT　INTERFACE　UNIT
HVﾃﾞﾊﾞｲﾀﾞｰ
SOURCE　MAGNETP/S
SWING　MOTOR　DRIVER
ｺｯｸﾛﾌﾄ
IDZ-8000用
ﾎﾟﾝﾋﾟﾝｸﾞﾁｭｰﾌﾞ
無し
無し
加速管
無し
無し
RS14-1055
RS14-1060
RS14-1085
RS14-1076
RS14-1219
RS14-1032
RS14-2315
RS04-8015
RS04-8091
RS04-8021
RS14-2343
RS14-1217
RS04-8016
RS04-8071
RS04-8057
RS14-2349
RS04-8086
RS04-8082
RS04-8090
RS04-8085
RS04-8094
RS04-8095
無し
不明
無し
製造年
備考
本体のみ
高圧電圧昇圧
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
演算制御部
演算制御部
演算制御部
60055
ダイヘン
EME
EME
EME
EMI
NEC
関西電子
ULVAC
SPELLMAN
GLASSMAN/高砂
E4477Y329111
-
22　2000
本体のみ。
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
本体のみ
2000
51876
FPGO-045
M669040-01C　V
930630
99993103
M91880801FR001004
IPZ-5001用部品
本体のみ
2000
本体のみ。
ﾃﾞｨｾﾙ電源
ﾃﾞｨｾﾙ電源
本体のみ
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
2930099
高圧電源（180ｋV）
高圧電源（180ｋV）
引出電源（30ｋV）
引出電源（30ｋV）
2000
本体のみ。
2000
2000
IPZ-5001用部品
2000
2000
本体のみ。
2000
高砂
ULVAC
IPZ-5001用部品
S082007MA
TREK
ULVAC
ULVAC
アルバック
ULVAC
2000
2000
2000
2000
52611
29
BM0301
無し
不明
20Z30043
880258
2000
2000
2000
2000
2000
2000
本体のみ。
IPZ-5001用部品　本体のみ
IPZ-5001用部品
※ｾｯﾄ販売品（RS14-1004：ｲﾝﾌﾟﾗ装置　IDZ-8001）IPZ-500１用部品　RS141004付属予定　付属電源ケーブルのみ
※ｾｯﾄ販売品（RS14-1004：ｲﾝﾌﾟﾗ装置　IDZ-8001）PZ-500１用部品　RS14-1004
付属予定　付属電源ケーブルのみ
※ｾｯﾄ販売品（RS14-1004：ｲﾝﾌﾟﾗ装置　IDZ-8001）IPZ-500１用部品　RS141004付属予定　付属電源ケーブルのみ
※ｾｯﾄ販売品（RS14-1004：ｲﾝﾌﾟﾗ装置　IDZ-8001）IPZ-500１用部品　RS141004付属予定　付属電源ケーブルのみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品　本体のみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IDZ-8000用　動作未確認
2000
IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1506
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ　8510 Compressor
8510
CTI
67A9608665
RS09-1509
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
0020-20676
AMAT
P/N:0020-20676
RS09-1510
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
0020-20676
AMAT
P/N:0020-20676
RS09-1555
RS09-1540
Hose Push-Lok 5/8　300PSI
SPLTR BOX　HELIX
AIﾀｰｹﾞｯﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　ALﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　Ti　ﾀｰｹﾞｯﾄ付き
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
約11ｍ
ﾌﾟﾘｸﾘｰﾝTMP取付配管
真空配管類
-
AMAT
AMAT
RS09-1512
中古ﾎｰｽ
STD Lifter
0010-20300
AMAT
AMAT
RS09-1551
PVD HP LIFT
0010-70441
AMAT
RS09-1507
Nallow Load/Lock　LLA
0010-75004
AMAT
T-21495-63-3571
RS09-1508
Nallow Load/Lock　LLB
0010-75005
AMAT
T-21495-64-3571
RS09-1534
RS09-1539
MAGNET
0020-20221
AMAT
SPACER INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
0020-20521
0020-20521
0020-20522
AMAT
AMAT
AMAT
WSHR INSULATOR LIFTER
Shield 8"
0020-20522
0020-21665
AMAT
AMAT
0020-21665
0020-23278
011222-103
AMAT
AMAT
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21011
AMAT
RS09-1526
Shield 8"
Shield Upper
ｲｵﾝﾎﾞｰﾄﾞ
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ
（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ
（MONITOR)
SYS.CONT. BULKHEAD CABLE
0150-21234
AMAT
RS09-1524
ION GAUGE　CABLE
0190-21305
AMAT
RS09-1525
RS09-1529
ION GAUGE　CABLE
0190-21305
AMAT
ION GAUGE　CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
0190-21305
0620-01201
0620-01201
AMAT
AMAT
AMAT
CRYO PUMP CABLE
VAT 弁体+O/H Kit
0620-01201
3870-02524
AMAT
AMAT
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置ﾁｬﾝﾊﾞｰ
MFC N2200sccm　STEC
MFC AR100sccm
3870-02524
3870-02524
ENDURA5500ﾁｬﾝﾊﾞ
SEC4400M
SEC-4400M
AMAT
AMAT
AMJ
HORIBA STEC
HORIBA STEC
2個一式　※改造に最適
MFC AR100sccm
SEC-4400M
HORIBA STEC
M/N:3461442376
RS09-1559
RS09-1560
RS09-1517
RS09-1518
RS09-1562
RS09-1558
RS09-1557
RS09-1538
RS09-1536
RS09-1537
RS09-1514
RS09-1515
RS09-1516
RS09-1262
RS09-1520
RS09-1521
RS09-1527
RS09-1528
RS09-1530
RS09-1547
RS09-1548
RS09-1549
RS09-1390
RS09-1541
RS09-1545
RS09-1546
製造年
P/N:8135240G001
※中古
※中古
※使用済み
※使用済み
T-3295-17-3425
M/N:2365831
M/N:3471316094
完全予備保全ﾊﾟｰﾂとして保管されていたものであり概観良好。
RS12-2091
Endura　ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX他ﾊﾟｰﾂ一式
RS09-1602
A101Heater
0010-21246
AMAT
RS09-1599
ASSY,101WAFER LIFT
0010-70271
AMAT
RS09-1594
CONTROLLER I/O
AMAT
RS09-1588
WAF LIFTｼﾘﾝﾀﾞｰ（ｾﾝｻｰ付）
SMC
0130-35100　REV
P1
NCDQ2B63-20D
RS09-1584
SMOKE/WATER LEAK　DETECT
0130-20177
AMAT
0100－20177REV B
RS09-1218
ｵﾘｴﾝﾀｰﾁｬﾝﾊﾞｰ
-
AMAT
RS09-1255
APS-A-0556-07
AMAT
0040-20257
AMAT
RS09-1531
ｺﾝﾀｰｸﾀｲﾝﾀｰﾛｯｸ
ASSY LIFT HOOP 8" WIDE BODY
CHAMBER
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝｼｭﾚｰﾀｰ
-
AMAT
RS09-1585
ELECT ASSY LIFT MOTOR
RS09-1535
備考
AMAT
AMAT
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>
中古品番号
品名
型式
RS09-1067
4,5,6,”ROBOT
-
RS09-1080
ﾃﾞｨｽｸﾄﾞﾗｲﾌﾞとﾎﾞｰﾄﾞ
-
RS09-1087
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ用ﾌｧﾝ
ﾌﾟﾛｾｽｷｯﾄ（CVD）
-
AMAT
HEWLETT
PACKARD
CAPACITOR
AMAT
REDUCER BOX
ﾎﾞｰﾄﾞ
FAN
-
AMAT
AMAT
AMAT
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗLL室ｽﾃｰｼﾞ
ｶｾｯﾄ
Cable
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
-
AMAT
AMAT
RS09-1200
ｽﾘｯﾄASSY
-
AMAT
RS09-1201
RS09-1202
RS09-1203
RS09-1204
RS09-1210
信号Cable
ｴｱｵﾍﾟ
STD　Body
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｶｾｯﾄ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾘｯﾄﾞ
-
AMAT
ﾌｼﾞｷﾝ
AMAT
VAT
AMAT
AMAT
RS09-1089
RS09-1090
RS09-1110
RS09-1135
RS09-1141
RS09-1186
RS09-1195
RS09-1196
RS09-1197
RS09-1198
RS09-1219
メーカー
23　製造年
製造番号
備考
※2式
T-11696-38-2560
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
RS09-1222
LLｶﾊﾞｰ
-
AMAT
RS09-1259
SBC
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
-
AMAT
AMAT
AMAT
ﾊﾞｯﾌｧｰｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
O/D Body
O/D Body
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
STD ﾋﾝｼﾞ
-
AMAT
AMAT
AMAT
VAT
AMAT
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
Cntura ｲﾝﾀｰｺﾈｸﾄ
-
VAT
AMAT
Cnturaﾊﾞｯﾌｧｰﾘｯﾄﾞ
ﾌﾞﾚｰｶｰ他 1式
-
AMAT
AMAT
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
PCB　ASSY　SBC　I/O　BREAKOUT
ﾓﾆﾀｰﾍﾞｰｽ
PCB　ASSEMBLY　ENCODER
INTERFACE
DC POWER SUPLY
0010-09019
0010-09071
0010-09103
AMAT
AMAT
AMAT
0221304
SN BUK4
381
0010-09137
0010-09181
AMAT
AMAT
798
電源
O/D Lid
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”　Ａｌ
0010-20000
0010-20278
0010-20328
AMAT
AMAT
AMAT
PC1　MATCH　ASSY
ｽﾘｯﾄAssy
0010-20441
0010-20664
AMAT
AMAT
200V　DEGAS　DRIVER
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
0010-20697
0010-20764
0010-20764
AMAT
AMAT
AMAT
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
0010-20764
0010-20764
AMAT
AMAT
27894-02
08196-02
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
200V PVD DRIVER
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”JMW-1
ASSY STORAGE ELEV WAFER
CASSETTE HNDLR
DI/Oボード
ﾓﾆﾀｰ制御BOX（2個口）
0010-20764
0010-20764
0010-21206
AMAT
AMAT
AMAT
11696-17
08796-01
0010-76001
AMAT
73
0010-76124
0010-76244
AMAT
AMAT
22295-03
HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIVE
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
BASE,DOUBLE　SEALING　RING　LAMP
MODULE
BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP
MODULE
ｽﾘｯﾄAssy
SHILD AL/TI 8INCH WAFER
ｵﾘｴﾝﾀｰﾊﾟｰﾂ
ﾋｰﾀｰ
0015-09077
AMAT
0015-09091
AMAT
0015-09091
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-20587
0020-21665
0020-23591-B CDSC
0040-06421
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
WELDMENT,8"FOOP PVD W/B
CHAMBER
ﾎﾞｰﾄﾞ
0040-06421
0040-06421
0040-76308
0090-76110
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1265
RS09-1271
RS09-1272
RS09-1275
RS09-1276
RS09-1278
RS09-1281
RS09-1283
RS09-1284
RS09-1286
RS09-1556
RS09-1326
RS09-1078
RS09-1092
RS09-1079
RS09-1088
RS09-1104
RS09-1273
RS09-1044
RS09-1039
RS09-1287
RS09-1041
RS09-1030
RS09-1031
RS09-1033
RS09-1034
RS09-1035
RS09-1091
RS09-1043
RS09-1082
RS09-1252
RS09-1221
RS09-1075
RS09-1083
RS09-1084
RS09-1066
RS09-1086
RS09-1282
RS09-1601
RS09-1587
RS09-1098
RS09-1099
RS09-1100
RS09-1600
RS09-1115
RS09-1046
メーカー
55149
F10-8753310112
2個一式
F10-8753310112
Blaker,MC　一式　Gen-Rack,　,Gen-Psの台　ﾌﾞﾗｹｯﾄ
T-12196-29-2560
4304
-
0100-00003
AMAT
VME　STPPER　CONTROLLERⅠ
0100-00003
AMAT
RS09-1057
RS09-1058
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
0100-00003
AMAT
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE
MONITOR
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE
MONITOR
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00008
0100-00008
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-00008
0100-00008
AMAT
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
SBC　BOARD
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-00011
0100-00011
0100-00011
0100-00014
0100-00014
0100-09002
0100-09006
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-09009
AMAT
PCB　ASSY　AI　MUX
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾛﾎﾞｯﾄ
SUSCEPTOR　LIFT
0100-09011
0100-09011
0100-09029
0100-09058
0100-09139
0100-09340
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
SN0AZN8
SUSCEPTOR　LIFT
WAFER　LIFT
WAFER　LIFT
ASSY　RF　MATCH,ETCH
RF MATCH PHASE IV
RF MATCH PHASE IV
CVD　RF-MATCH
0100-09340
0100-09341
0100-09341
0100-09416
0100-09416
0100-09416
0100-09750
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
20295-05
625
RS09-1132
RS09-1109
RS09-1111
RS09-1112
RS09-1129
RS09-1130
RS09-1101
RS09-1120
RS09-1126
RS09-1061
RS09-1128
RS09-1133
RS09-1134
RS09-1108
RS09-1073
RS09-1077
RS09-1074
RS09-1076
RS09-1070
RS09-1102
RS09-1103
RS09-1072
24　備考
2個一式
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
RS09-1060
RS09-1131
製造年
製造番号
RS09-1047
RS09-1116
RS09-1117
RS09-1118
RS09-1119
RS09-1059
2016年7月20日現在　SNOKY06
ZYOCAR8
6M0ABA0
311
E2-010-09A
26295-01A
E01-207-03A
11895-03
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年7月20日現在　中古品番号
品名
型式
RS09-1055
PCB　ASSY,ANALOG　INPUT
0100-11000
AMAT
RS09-1048
ANALOG　OUTPUT　BOARD
ANALOG　OUTPUT　BOARD
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-11001
0100-11001
0100-11001
AMAT
AMAT
AMAT
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-11002
0100-11002
AMAT
AMAT
RS09-1124
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-11002
0100-11002
AMAT
AMAT
RS09-1125
RS09-1225
RS09-1227
ﾎﾞｰﾄﾞ
DI/Oボード
DI/Oボード
0100-11002
0100-20003
0100-20003
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1230
RS09-1231
RS09-1261
DI/Oボード
DI/Oボード
0100-20003
0100-20003
AMAT
AMAT
DI/Oボード
DI/Oボード
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
0100-20003
0100-20003
0100-20040
AMAT
AMAT
AMAT
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
0100-20040
0100-20040
AMAT
AMAT
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
0100-20100
0100-20100
0100-20100
AMAT
AMAT
AMAT
AI/Oボード
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-20100
0100-20173
AMAT
AMAT
CHOPPER　DRIVER
Slit　Valve　ASSY
Slit　Ｖａｌｖｅ　Assy
0100-51017
0100-70089
0100-70089
AMAT
AMAT
AMAT
DI/Oボード
0100-76124
AMAT
DI/Oボード
0100-76124
AMAT
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｽﾃｯﾊﾟｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾎﾞｰﾄﾞ
Cable Assy Source Water Manifold
Ground　ｱｰｽ線
Cable Assy Source Water Manifold
Ground　ｱｰｽ線
WMAGNET DRIVE ASSY
011222-103
011222-103
0120-20162
AMAT
AMAT
AMAT
0150-20186
AMAT
0150-20186
AMAT
0190-70060
AMAT
4189R
RF　POWER　SOURCE
PC-I
0190-70079
0220-21472
AMAT
AMAT
2762
1-18994-95-3277
PRCOIｼﾞｪﾈﾚｰﾀｰ
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
0920-01005
10A0207
AMAT
IPT
102
29305
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ
Dry　Pump
ATP100
127AA-00001E
A30W
ATP100C
MSK
EBARA
adixen
78760-130
INTERFACEボード
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
AMAT
AMAT
P/N:0010-35054
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
AMAT
AMAT
P/N:0100-35054
RS09-1239
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
RS09-1240
RS09-1106
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
FAN　PAC
CHAMBER INTERFACE BD
D299-857
P/N:0100-35054
RS09-1164
DCPS
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
RS09-1165
DCPS
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
RS09-1268
RS14-8053
RS09-1171
RS09-1172
RS09-1173
RS09-1174
POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源
DC電源
DCL1000-MC
DI/Oボード
DIGITAL　I/O　BOARD
DI/Oボード
DIGITAL　I/O　BOARD
DI/Oボード
DIGITAL　I/O　BOARD
AMAT
AMAT
POWER
STANDARD
ELECTRONICS
POWER
STANDARD
ELECTRONICS
AMAT
ULVAC
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1049
RS09-1113
RS09-1050
RS09-1051
RS09-1052
RS09-1053
RS09-1054
RS09-1121
RS09-1122
RS09-1123
RS09-1228
RS09-1247
RS09-1248
RS09-1249
RS09-1250
RS09-1251
RS09-1253
RS09-1257
RS09-1114
RS09-1065
RS09-1068
RS09-1069
RS09-1224
RS09-1229
RS09-1263
RS09-1264
RS09-1226
RS09-1542
RS09-1543
RS09-1085
RS09-1040
RS09-1217
RS09-1105
RS09-1081
RS09-1094
RS09-1220
RS09-1095
RS09-1178
RS09-1236
RS09-1237
RS14-2314
RS09-1211
RS09-1177
RS09-1233
RS09-1175
RS09-1181
RS09-1232
RS09-1473
RS09-1062
RS09-1063
RS09-1064
RS09-1127
RS09-1136
RS09-1185
RS09-1238
RS09-1179
RS09-1036
RS09-1269
RS09-1192
RS09-1025
RS09-1026
メーカー
DI/Oボード
IG CONT
DIGITAL　I/O　BOARD
EM-FIG1
AMAT
EME
CRTﾓﾆﾀｰ
INTERLOCKボード
ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄBD
ISOLボード
ISOLボード
ｱｲｿﾚｰｼｮﾝｱﾝﾌﾟ
DIO
FMV-DP846
INTERLOCK　SELECT　BD
INTERLOCK　SELECT　BD
ISOLATION　AMPLIFTER BD
ISOLATION　AMPLIFTER BD
ISOLATION　AMPLIFTER BD
K-380-02
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ULVAC
LAMBDA　LIS-3I-12
LAMBDA　LIS-7Ｉ-15
LAMBDA　LIS-7I-15
LAMBDA　LIS　7I-15
LAMBDA　LIS-7I-15
INTERLOCKボード
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｲﾝﾀｰﾛｯｸ
LIS-32-12
LIS-72-15
LIS-72-15
LIS-7I-15
LIS-7I-15
LOADLOCK　INTERLOCKS
LOADLOCK　INTERLOCKS
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
AMAT
AMAT
INTERLOCKボード
DC電源
DC電源
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾁｬﾝﾊﾞｰ
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
MAINFRAME　INTERLOCK
MDX-L6
MDX-L6（0190-76006）
O/D
OEM-12A-21041-51
OEM-12A-21041-51
AMAT
AE
AE
AMAT
ENI
ENI
25　製造年
製造番号
備考
SNOQA09
125-92-96-01-R
125-92-96-03-R
1990
ﾕﾆｯﾄNo.:C#50375
ATP508535
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0190-76198
61006244
61433023
000011
Centre用
2001
P/N:0010-20003
P/N:0010-20003(RS09-1172とRS15-3052セット販売）
P/N:0010-76124
P/N:0010-20003
7Z83552
2000
1997
IPZ-5001用部品
P/N:CA01134-B371　AC100V、50/60Hz、75W、　12.5Kg
P/N:0010-20037
P/N:0100-20037
P/N:0010-20012
P/N:0100-35049、0100-20012、0130-35065
P/N:0100-20012
2個一式　P/N:0130-35058、0100-20063
P/N:0100-35058
P/N:0010-20053
36523
70451
2028
2649
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
RS09-1027
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
OEM-12A-21041-51
RS09-1151
ALｴｯﾁｬｰ
RELAYボード
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
P-5000
RELAY　CONTROL　BD
RELAY　CONTROL　BD
AMAT
AMAT
AMAT
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
15V　PWR　SUPPLY（CEN/END)
ﾓﾆﾀｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RELAY　CONTROL　BD
REV.E
SD5904C
SEC-400MK3-UL
SEC-400MK3-UL
AMAT
AMAT
AMAT
STEC
STEC
09398-03
908736068
2577231
2577230
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-4400M
SEC-F730MA1
STEC
STEC
261501822
292102081
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PVD Lid
SEC-F730MA1
STD Lid
STEC
AMAT
252508127
RS09-1188
RS09-1242
RS09-1243
RS09-1241
ｼｽﾃﾑﾘｾｯﾄ/ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ
TC GAUGEボード
SYS　RESET/INTLK　SEL　BD
0100-35065
TC GAUGE BD
AMAT
AMAT
RS09-1482
RS09-1485
RS09-1093
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
UDK5114VN
UDK5114VN
ULVAC
ULVAC
TON02919
TON02918
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UDX5114N
UR-7340MO-UC
UR-7340MO-UC
AMAT
STEC
STEC
63168
3103050100
2540681
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
UR-7340MO-UC
wide
STEC
AMAT
3103050102
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｽﾃｰｼﾞｴﾚﾍﾞｰﾀｰASSY
Wideｲﾝﾃﾞｸｻｰ
AMAT
0010-40073
RS09-1176
RS09-1234
RS09-1235
RS09-1267
RS09-1096
RS09-1138
RS09-1139
RS09-1137
RS09-1143
RS09-1144
RS09-1145
RS09-1146
RS09-1142
RS09-1206
RS09-1213
メーカー
製造番号
ENI
2716
2016年7月20日現在　製造年
備考
※部品
P/N:0100-20038
P/N:0100-20038
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1317
3連ﾌｧﾝ
UES17H115S29
AMAT
9623624077
RS09-1362
手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
SS-BNVS1-AB
NUPRO
RS09-1339
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
SEC-4400M
STEC
251400220
TYPE　No:000448
RS09-1340
RS09-1341
RS09-1342
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
SEC-4400M
SEC-4400M
STEC
STEC
251400215
251400227
TYPE　No:000175
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
SEC-4400M
SEC-4400M
STEC
STEC
251400237
251400236
TYPE　No:000399
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
VACUUM VALVE
SEC-400MK3
SCV
STEC
BENKANUCT
ﾎｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｵｰﾌﾞﾝﾕﾆｯﾄ
ｴｱｵﾍﾟﾊﾞﾙﾌﾞ
IVBH-0004
IFGG7005M-C
FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP
BENKANUCT
大日本ｽｸﾘｰﾝ
ﾌｼﾞｷﾝ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ELECTROSTATIC CHUCK COVER
ｾﾗﾐｯｸｶﾊﾞｰﾘﾝｸﾞ
ﾄｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ
DBM-P21（DBM-K4PC)
DBM-P21（DBM-K4PC)
AMAT部品
AMAT部品
AMAT部品
電磁弁
電磁弁
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
AB31-2N-2-04A
AB31-2N-2-04A
3870-01455
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1
3870-01455
3870-01245
NC
ｽｴｼﾞﾛｯｸ
GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR FEM
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN
PACKAGE
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN
PACKAGE
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
3310-01074
VARIAN
3250-01007
AMAT
3250-01007
AMAT
ﾏｽﾌﾛ
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
PROM KIT ASSY
KIT, 6" MAINTENANCE ESC
PLATE, COVER, 6" HEATER, ALUMINUM
NITRID
WINDOW, SIDE, UV COATED, SAPPHIRE,
DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
RS09-1343
RS13-2002
RS09-1320
RS09-1313
RS09-1375
RS09-1361
RS09-1367
RS09-1368
RS09-1334
RS09-1335
RS09-1386
RS09-1387
RS09-1385
RS09-1363
RS09-1364
RS09-1365
RS09-1366
RS09-1360
RS09-1389
RS09-1330
RS09-1331
RS09-1333
RS09-1332
RS09-1338
RS09-1344
RS09-1345
RS09-1323
RS09-1314
RS09-1381
RS09-1350
RS09-1315
RS09-1316
RS09-1359
RS09-1346
RS09-1347
RS09-1354
RS09-1355
RS09-1356
RS09-1324
RS09-1328
RS09-1371
RS09-1369
RS09-1321
RS09-1322
RS09-1357
3155094-003A
3155077-003A
AISIN
AISIN
AMAT
AMAT
AMAT
OKD
OKD
NC
備考
TYPE　No:000448
TYPE　No:000399
Ar　50SCCM、ｹｰﾌﾞﾙ付
C51206
7ID009
2KB023
125362
122606
AE
AE
701426
108027
1159B-00020RU-S
0600-01011
0600-01011
0300-09055
0240-32135
MKS
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
000026334
0200-36629
AMAT
WO-35820/1
0200-09969
AMAT
0190-35413
AMAT
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
ｽﾛｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
0190-35413
0190-09663
AMAT
AMAT
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
0190-09533
0190-09533
0190-09533
AMAT
AMAT
AMAT
GATE 5000 ZA SLITVALV
ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICS
AC PWRCHO
CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX 34
POS
HARNESS ASSY,MOLDED POWER CORD
VGA VIDEO CONTROLLER BOAD
SERIAL SIDE BOAD ASSY
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS
0190-09533
AMAT
0150-75202
AMAT
0150-70018
AMAT
0140-09551
0100-00793
0100-00165
0100-00084
0100-00084
0090-02980
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
26　製造年
181067-1338-0166
181067-1338-0168
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
RS09-1358
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS 0090-02980
AMAT
RS09-1377
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
00410117E326119423
00410117E038119423
004101117E284119423
AMAT
AMAT
AMAT
00310117E038119423
0021-00042
0020-34727
0020-34726
0020-34131
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0020-30570
0020-30570
AMAT
AMAT
RS09-1374
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD
CLAMP, ACME LEAD SCREW
CAP, BEARING, DXZ
BASE,RF
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM
ASSEMBLY BEARING
0020-30570
0010-30583
AMAT
AMAT
RS09-1312
RS09-1327
RS09-1329
ASSY RF MATCH BW ETCHBACK
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ
0010-09490
0010-09019
0010-05256
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1353
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
0010-00084
AMAT
RS09-1380
RS09-1378
RS09-1379
RS09-1388
RS09-1352
RS09-1351
RS09-1348
RS09-1382
RS09-1383
RS09-1384
型式
メーカー
27　製造番号
2016年7月20日現在　製造年
備考
B358
O713601
22394-09A
0899
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。

Download Report