温度センサ及びパーツ 薄膜熱電対 ~ 世界最薄レベル、厚さ10μm以下を実現した薄膜型熱電対 ~ ■薄膜型熱電対の利点 数値シミュレーションによる予想しかできなかった狭い領域の温度分布を実測により知ることができ るようになりました。 ■応用性 ◎電子デバイスの性能・品質改良 ◎化学分析器のマイクロ化 ◎燃料電池の性能・品質改善 ◎微細領域のリアルタイムな熱輸送現象の解明 ◎屈曲面等の利用による測定可能範囲の拡大 ■特徴 ◎狭い隙間の計測が可能です。 nm μm mm 厚 ◎応答が速い(30nsec)ため温度変化の激しい 箇所でも計測できます。 従来技術 ◎屈曲面等どこにでも容易に貼り付け可能です。 薄膜型熱電対 ◎平面分布、連続計測が可能です。(10μm以下) ナノ技術への拡大展開 従来技術の応用展開 ■適用例 微細化領域の温度分布測定 ◎コンピューター(ICチップなど) ◎エレクトロニクス(微小部品) ◎燃料電池 ◎熱流速計 制御基板 ◎熱交換器 ◎レーザー加工 ◎化学分析器(μ-TAS) 屈曲管 35 等々 燃料電池 温度センサ及びパーツ 被覆熱電対 K・E・J・T各熱電対の素線径0.1φ~1.0φには、使用温度用途に応じて、エナメル・絹糸巻・PV D(ビニール)・弗素樹脂(FEP)・ガラスで絶縁被覆された素線があり、絶縁碍子や保護管の必要なく 使用出来ます。 (300℃、600℃、1,000℃) 熱電対素線にビニール、テフロン、ガラスウール等で被覆した熱電対で、一端に測温接点を作り、他 方を直接計測器等に接続して使用できます。比較的低い温度で圧力もなく可撓性を必要とする場所あ るいは表面温度の測定にも適しております。 被覆の種類 ビニール VKF テフロン FEP ガラス GL セラミック CMF エナメル EC 絹巻 DSC 素線の種類 K T J E K T J E K T J E K K T J E K T J E 素線径[mm] 0.1 0.2 0.32 0.65 0.1 0.2 0.32 0.65 0.1 1.0 0.2 0.32 0.65 0.65 1.0 0.1 0.2 0.32 0.65 0.1 0.2 使用温度[℃] 1条長さ 0~90 -200~200 0~200 100m 0~800 0~90 0~100 ※熱電対の種類によっては一部製作できない物もあります。詳しくは弊社迄お問い合わせ下さい。 ※熱電対溶接機も合わせてご参照下さい。(37ページ) 36 温度センサ及びパーツ シース熱電対 ■型式 ① ② ③ × 種類 ④ × 材質 ⑤ × 外径 ⑥ × L寸法 ⑦ × 熱接点 × 補償導線 部品 ① 電対種類 シングルエレメント K T ダブルエレメント J E R KD TD JD ED RD ②シース材質 SUS316 SUS310S インコネル 316 310 INC ③外径 外径 φ1.0 φ1.6 φ2.3 φ3.2 φ4.8 φ6.4 φ8.0 シングルエレメント 1.0 1.6 2.3 3.2 4.8 6.4 8.0 ダブルエレメント ― ― ― 3.2 4.8 6.4 8.0 ④L寸法 mm単位で標記願います。 ⑤熱接点 非接地 接地 露出 U G E ⑥補償導線種類 EXA ⑦部品 EXB EXC EXD EXE FEP 各種部品あります。お問い合わせ下さい。 ※ 熱電対種類によってはシース材質、シース外径がない物もありますので御確認下さい。 37 温度センサ及びパーツ シース測温抵抗体 ■適用例 ① ② ③ × 基準抵抗値 ④ × 素子数 ⑤ × 規定電流 ⑥ × 外径 × L寸法 ⑦ × リード線 部品 ①基準抵抗値 Pt100Ω JIS B級 100 JPt100Ω JIS B級 JPt100 Pt100Ω JIS A級 100A JPt100Ω JIS A級 JPt100A ②素子数 シングルエレメント S ダブルエレメント D ③規定電流 1mA 1A 2mA 2A 5mA 5A ④外径 外径 シングルエレメント ダブルエレメント φ3.2 3.2 ― φ4.8 4.8 4.8 φ6.4 6.4 6.4 φ8.0 8.0 8.0 ⑤L寸法 mm単位で表記願います ⑥リード線種類 m単位で表記願います 被覆構成 ガラス被覆外シールド ガラス被覆 ビニール内シールド被覆 ビニール被覆 シリコン被覆 テフロン被覆 断面積(1芯あたり) 芯線構成 2 [本/mm×芯数] [mm ] 20/0.18×3C 0.5 20/0.18×6C 0.5 20/0.18×3C 0.5 12/0.18×3C 0.3 20/0.18×3C 0.5 30/0.18×6C 0.75 12/0.18×3C 0.3 20/0.18×3C 0.5 19/0.18×6C 0.5 30/0.08×3C 0.15 20/0.18×3C 0.5 12/0.18×6C 0.3 7/0.2 ×3C 0.2 7/0.16×3C 0.14 20/0.18×3C 0.5 ⑦各種部品あります。お問い合わせ下さい。 38 外被覆色 銀 銀 灰 灰 灰 灰 灰 灰 灰 灰 白 灰 灰 白 灰 使用温度範囲 [℃] 0~200 0~60 0~60 -75~180 -50~200 温度センサ及びパーツ 圧力・真空用シール部品 ■特徴 1. 1つのグランドで複数の熱電対・電線・光ファイバーなどを同時にシールできます。 2. あらゆる雰囲気に対応するため、各種シール材が準備されています。 3. 金属シールでないため、シールされる熱電対・電線等を傷めることがありません。 4. 700kg/cm2~10-7Torr,-184℃+980℃の圧力温度雰囲気での使用が可能です。 ■シーリング・グランド標準品 下記に示すシーリング・グランドは標準品です。シーリング・グランド材質は標準品SUS303、準標準 品SUS316となります。 PGグランドについては、特殊材質モネル(M405)、ハステロイ(C276)があります。 標準品以外にも、各種使用条件に合わせた、シーリング・グランドの製作も行ないます。 PGグランド MHMグランド 用途:熱電対,RTD,サーミスタ,ダイヤル温度計, 用途:複数本の熱電対,RTD,サーミスタ等のシール ステンレス棒等のシール 特徴:特殊形状プローブ用,20 本以上貫通のも 特徴:プローブを挿入し、キャップを締めることに のも製作可能。 より簡単にシールが出来ます。 シーラントのタイプによりシーラントの再使用可 MKグランド EGグランド 用途:熱電対,RTD,ステンレスパイプ,ステンレス棒等 のシール 用途:真空,圧力容器,変圧器,反応容器,環境 特徴:ステンレス・フェルールによるシール。 一旦締め 特徴:セラミックとシーラントによる絶縁。高温下で 試験器等の貫通電極。, 付けるとプローブに対してフェノールは動か の使用も可。両端端子付きのため せないがキャップを緩めて、プローブを取 現場での接続が容易。 り出しても再シールは可能。 熱電対の シース等も破損されません。 TGグランド EGTグランド 用途:熱電対,ひずみゲージ,サーミスタ等の裸線 用途:真空,圧力容器,変圧器,反応容器,環境 のシール 試験器等の貫通電極,液体レベルセンサー 特徴:裸線のシール、複数本の同時シール として。 特徴:一体成形のテフロンによる絶縁。EGに比 べ絶縁耐圧は高いです。 PLグランド SPGグランド 用途:オートクレーブ,変圧器,モータ動力線等の 用途・特徴:プローブ先端がシールする部分の シール プローブ径より大きい場合 特徴:被覆電線(単線)の複数同時シール。 (例えば先端にコネクタが取付け 標準品は、カプトン被覆単線を使用。電線 られたプローブ等)もシールが可能 の位置合せ、交換等が容易に現場で です。又シーラントの交換もプローブ 行なえます。 全体を引き抜くことなく容易に行 なえます。 MHCグランド 用途:複数本の熱電対,RTD,サーミスタ,液体レベル センサ等のシール 特徴:1 本 1 本のプローブの位置の調整が 可能。又プローブ 1 本のみの取換が 可能。 39 温度センサ及びパーツ 補償導線 ■概要 補償導線はある温度範囲に於いて熱電対と同じ熱起電力を有するような材料を導線とした構造のリー ドで、熱電対の端子と基準接点の間に接続し端子の温度変化によって起こる誤差を補償するものです。 ※ 補償導線は熱電対の種類と使用雰囲気によって選定して下さい。 種類 記号 B EXD EXB EXD EXA EXB EXC EXD EXE EXB EXD EXB EXD EXB EXD R K E J T ※ 外装 材質 ビニール ガラスウール編組 ビニール ガラスウール編組 外SUSシールド ガラスウール編組 ビニール内銅シールド ビニール シリコン ガラスウール編組 ビニール ガラスウール編組 ビニール ガラスウール編組 ビニール 色 灰 芯線構成 〔本/mm〕 7/0.3×2 黒 7/0.3×2 青 7/0.3×2 20/0.3×2 紫 7/0.3×2 黄 7/0.3×2 茶 7/0.3×2 外形寸法 〔mm〕 約3.2×約5.6 約2.3×約4.0 約3.5×約5.6 約2.9×約4.6 約2.3×約4.0 約4.1×約6.2 約3.5×約5.6 約φ4.8 約2.3×約4.0 約3.5×約5.6 約2.3×約4.0 約3.5×約5.6 約2.3×約4.0 約3.5×約5.6 上記以外にもネオプレンゴム・シリコンゴム及び多対式特殊補償導線も販売しております。 40
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