商品を探さないで、目的を探してください。 あなたのご希望どおりに、つくります。 "Don't worry about selecting the right product -- just tell us your intended application." "We can provide any type of unit to meet your precise application needs." Standard Inspection Super OPM ウシオ・オプティカル・モデュレックスは、厳しく規格化されたパーツユニットを 用途に応じてコンポーネントすることができる、新しいカタチの光源装置です。 「光源」 「光量」 「照射方法」など、貴社で必要とされているスペックの器具を短納期、 低コストでご提供することが可能です。 Ushio Optical Modulex is a new-generation light source unit that can incorporate standardized components as modules. It allows provision of a customized system that meets your required specifications for light source, dose, and radiation method with a short lead time and at low cost. 1 2 3 4 Standard Model クセノンショートアークランプ MODEL 均一平行光（バックミラー） 多目的実験・研究用光源装置 汎用性が高く、拡張性にも優れた ベ ーシックモデルです。 光源はクセノンショートアークランプと超高圧UVランプ、Deep UVランプが選べます。 Our basic models are highly versatile and expandable. As their light source, you can select either a xenon short-arc lamp or super-high-pressure mercury lamp and Deep UV lamp. UXL-500SX 高エネルギー照射（楕円ミラー） UXL-300SX UXL-150SX 超高圧UVランプ MODEL 均一平行光（バックミラー） USH-500SC 高エネルギー照射（楕円ミラー） USH-250SC 光路を換える Deep UVランプ MODEL 光を伝達する 均一平行光（バックミラー） 波長を換える UXM-500SX 5 高エネルギー照射（楕円ミラー） 6 Standard Model Standard Model クセノンショートアークランプ 均一平行光（バックミラー） クセノンショートアークランプ 高エネルギー照射（楕円ミラー） Uniform/parallel light radiation model High-energy radiation model 有効照射 有効照射 照度均一 照度均一 φ50 φ50 照射距離 230 100mm∼200mm 430∼480 ※ アタッチメント（フィルター・ファイバー・ミラー）等の装着が可能です。P.13∼14 210mm 照射距離 390mm ※ アタッチメント（フィルター・ファイバー・ミラー）等の装着が可能です。P.13∼14 145 155 202 照射距離 230 468 333 460∼510 φ80 9.5kg 202 ● 仕様／Specifications ● 仕様／Specifications 2 UV強度（mW/cm ） 照度均一度 Irradiance uniformity UV intensity 適合ランプ 照射距離 有効照射径 照 度 Model Lamp used Radiation distance Effective radiation diameter Irradiance SX-UI 501XQ クセノンショートアークランプ UXL-500SX 100mm φ50 500,000Lx 17 70％ SX-UID 501XAMQ クセノンショートアークランプ UXL-500SX 全反射ミラー（Full-reflection） SX-UI 301XQ クセノンショートアークランプ UXL-300SX 〃 〃 300,000Lx 10 〃 SX-UID 501XCMQ 〃 コールドミラー（Cold） SX-UI 151XQ クセノンショートアークランプ UXL-150SX 〃 〃 130,000Lx 〃 専用のファイバ 取付ユニットを装着すると、各種ファイバがご使用いただけます。／ If the dedicated fiber-mounting unit is installed, various fibers can be used. 型式末尾記号「Q」は、コンデンサ レンズ／コリメータ レンズ共、石英です。合成石英の対応も可能です。 ／A final letter of "Q" in a model designation indicates that the condenser lens and collimator lens are made of quartz. Synthetic quartz can be also used. 型式 適合ランプ ミラー Model Lamp used Mirror 有効照射径 照 度 UV強度（mW/cm2） 照度均一度 Radiation distance Effective radiation diameter Irradiance UV intensity Irradiance uniformity 型式 照射距離 250mm φ50 1,200,000Lx 〃 〃 1,000,000Lx SX-UID 501XUVQ 〃 UV365コート（Coated with UV365） 〃 〃 31 〃 SX-UID 501XUV2Q 〃 UV254コート（Coated with UV254） 〃 〃 30 〃 70％ 〃 ● ● ● 均一度の測定は、 照度計受光面にφ5ピンホールマスクを装着し、最高照度と最低照度の比を％で表したものです。 ／The irradiance uniformity is measured by mounting a φ5 pin-hole mask on the detector surface. It is indicated as the percentage of the ratio between the maximum and minimum irradiances. ● ● UV強度の測定はウシオ電機製「UIT-250」を使用し、365nmの強度で行なっています。／The UV intensity is measured with USHIO's UV accumulated exposure amount meter UIT-250 at a wavelength of 365 nm. フィルタ ホルダには、□50mm、厚さ3∼4mmの各種フィルタが装着できます。／A variety of filters with an area of 50 mm square and thickness of 3 to 4 mm can be mounted on the filter holder. ● 代表例としてクセノンで基本型を記載しました。 他のランプ、ミラー、レンズの組み合わせは、各種可能です。 ／As typical examples, the basic models (each using a xenon lamp) are shown here. Various combinations of super-high-pressure mercury lamps and other mirrors and lenses are also available. 専用のファイバ 取付ユニットを装着すると、各種ファイバがご使用いただけます。／If the dedicated fiber-mounting unit is installed, various fibers can be used. 型式末尾記号「Q」は、コンデンサ レンズ／コリメータ レンズ共、石英です。合成石英の対応も可能です。 ／A final letter of "Q" in a model designation indicates that the condenser lens and collimator lens are made of quartz. Synthetic quartz can be also used. ● ● ● 均一度の測定は、 照度計受光面にφ5ピンホールマスクを装着し、最高照度と最低照度の比を％で表したものです。 ／The irradiance uniformity is measured by mounting a φ5 pin-hole mask on the detector surface. It is indicated as the percentage of the ratio between the maximum and minimum irradiances. ● ● Standard Model UV強度の測定はウシオ電機製「UIT-250」を使用し、365nmの強度で行なっています。／ The UV intensity is measured with USHIO's UV accumulated exposure amount meter UIT-250 at a wavelength of 365 nm. フィルタ ホルダには、□50mm、厚さ3∼4mmの各種フィルタが装着できます。／A variety of filters with an area of 50 mm square and thickness of 3 to 4 mm can be mounted on the filter holder. クセノンショートアークランプ 230 Ballast クセノンショートアークランプ 500W クセノンショートアークランプ 500W用 UXL-500SX BA-X500 202 クセノンショートアークランプ 300W 入力 AC100V 50/60Hz 900VA 出力 DC25A 20V 重量 6kg 230 342 入力 AC100V 50/60Hz 700VA 出力 DC15A 20V 重量 6kg 230 342 205 155 333 廉価タイプ Lamp UXL-300SX 9.5kg クセノンショートアークランプ 150W UXL-150SX クセノンショートアークランプ 300W用 205 BA-X300 相 100 対 強 80 度 7 適合ランプ Model Lamp used SX-UI 501E クセノンショートアークランプ UXL-500SX SX-UI 301E クセノンショートアークランプ UXL-300SX SX-UI 151E クセノンショートアークランプ UXL-150SX BA-X150 60 入力 AC100V 50/60Hz 400VA 出力 DC7.5A 18V 重量 2.3kg 230 220 40 205 型式 / Relative spectral power ● 仕様／Specifications クセノンショートアークランプ 150W用 20 （％）20 300 400 500 600 700 800 900 1000 （波長）/ Wavelength(nm) 8 Standard Model Standard Model 超高圧UVランプ 均一平行光（バックミラー） 超高圧UVランプ 高エネルギー照射（楕円ミラー） Uniform/parallel light radiation model High-energy radiation model 有効照射 有効照射 照度均一 照度均一 φ50 φ 50 照射距離 230 430∼480 ※ アタッチメント（フィルター・ファイバー・ミラー）等の装着が可能です。P.13∼14 210mm 照射距離 390mm ※ アタッチメント（フィルター・ファイバー・ミラー）等の装着が可能です。P.13∼14 145 155 202 照射距離 230 468 333 460∼510 100mm∼200mm φ80 9.5kg 202 ● 仕様／Specifications ● 仕様／Specifications 2 UV 強度 mW/cm UV intensity 照度均一度 Irradiance uniformity ファイバー装着時のUV強度と照射径※ Fiber is mounted 型式 適合ランプ 照射距離 有効照射径 照 度 Model Lamp used Radiation distance Effective radiation diameter Irradiance SX-UI 251HQ 超高圧UVランプ USH-250SC 100mm φ50 400,000Lx 42 70％ 900mW/cm φ10 SX-UI 501HQ 超高圧UVランプ USH-500SC 〃 〃 600,000Lx 67 〃 1,100mW/cm φ10 専用のファイバ 取付ユニットを装着すると、各種ファイバがご使用いただけます。／ If the dedicated fiber-mounting unit is installed, various fibers can be used. 型式末尾記号「Q」は、コンデンサ レンズ／コリメータ レンズ共、石英です。合成石英の対応も可能です。 ／A final letter of "Q" in a model designation indicates that the condenser lens and collimator lens are made of quartz. Synthetic quartz can be also used. ● 2 2 ※φ5石英ファイバ先端 10mm ● ● 均一度の測定は、 照度計受光面にφ5ピンホールマスクを装着し、最高照度と最低照度の比を％で表したものです。 ／The irradiance uniformity is measured by mounting a φ5 pin-hole mask on the detector surface. It is indicated as the percentage of the ratio between the maximum and minimum irradiances. ● ● UV強度の測定はウシオ電機製「UIT-250」を使用し、365nmの強度で行なっています。／The UV intensity is measured with USHIO's UV accumulated exposure amount meter UIT-250 at a wavelength of 365 nm. フィルタ ホルダには、□50mm、厚さ3∼4mmの各種フィルタが装着できます。／A variety of filters with an area of 50 mm square and thickness of 3 to 4 mm can be mounted on the filter holder. UV 強度 mW/cm 2 UV intensity 型式 適合ランプ ミラー 照 度 Model Lamp used Mirror Irradiance SX-UID 501HAMQ 超高圧UVランプ USH-500SC 全反射ミラー Full-reflection 1,000,000Lx 以上 SX-UID 501HCMQ 〃 コールドミラー Cold 1,000,000Lx 以上 SX-UID 501HUVQ 〃 UV365コート Coated with UV365 SX-UID 501HUV2Q 〃 UV254コート Coated with UV254 SX-UID 251HAMQ 超高圧UVランプ USH-250SC 全反射ミラー Full-reflection 750,000Lx SX-UID 251HCMQ 〃 コールドミラー Cold 650,000Lx SX-UID 251HUVQ 〃 UV365コート Coated with UV365 76 SX-UID 251HUV2Q 〃 UV254コート Coated with UV254 71 122 108 UV強度の測定はウシオ電機製「UIT-250」を使用し、365nmの強度で行なっています。 ／ The UV intensity is measured with USHIO's UV accumulated exposure amount meter UIT-250 at a wavelength of 365 nm. ● ● 均一度の測定は、 照度計受光面にφ5ピンホールマスクを装着し、最高照度と最低照度の比を％で表したものです。 ／The irradiance uniformity is measured by mounting a φ5 pin-hole mask on the detector surface. It is indicated as the percentage of the ratio between the maximum and minimum irradiances. Standard Model 超高圧UVランプ 230 Lamp Ballast 超高圧UVラ ンプ 500W 超高圧UVラ ンプ 500W用 USH-500SC BA-H501 155 333 廉価タイプ 202 9.5kg 230 342 205 超高圧UVラ ンプ 250W 入力 AC100V 50/60Hz 1000VA 出力 DC8.5A 60V 重量 6kg USH-250SC 超高圧UVラ ンプ 250W用 型式 適合ランプ Model Lamp used SX-UI 251HE 超高圧UVランプ USH-500SC SX-UI 501HE 超高圧UVランプ USH-250SC 9 / Relative spectral power ● 仕様／Specifications 80 入力 AC100V 50/60Hz 600VA 出力 DC6.5A 40V 重量 2.3kg 230 220 205 相 対 強 度 BA-H250 100 60 40 20 （％） 20 300 400 500 600 700 800 900 1000 （波長） / Wavelength(nm) 10 Standard Model Standard Model Deep UVランプ 均一平行光（バックミラー） Deep UVランプ 高エネルギー照射（楕円ミラー） Uniform/parallel light radiation model High-energy radiation model 有効照射 レンズ 合成石英 照度均一 照射距離 460∼510 230 210mm 170mm φ50 φ50mm φ30mm 100mm∼200mm 388∼416 ※ アタッチメント（フィルター・ファイバー・ミラー）等の装着が可能です。P.13∼14 230 390mm φ80mm UV-254 330mW/cm 2 123mW/cm 2 45mW/cm UV-365 2 2 43mW/cm 315mW/cm 118mW/cm 2 70％ 155 465 333 照度均一度 2 ※ アタッチメント（フィルター・ファイバー・ミラー）等の装着が可能です。P.13∼14 146 270 202 270 202 ● 仕様／Specifications ● 仕様／Specifications 有効照射径 Effective radiation diameter 型式 Model UV-254 UV-365 照 度 照度均一度 型式 ミラー 照射距離 有効照射径 照 度 Irradiance Irradiance uniformity Model Mirror Radiation distance Effective radiation diameter Irradiance SX-UI 501MQQ φ50 48mW/cm2 50mW/cm2 600,000Lx 70％ SX-UID 501MAMQQ アルミ全反射ミラー（Full-reflection aluminum） 250mm φ50 1,200,000Lx 〃 φ30 75mW/cm2 80mW/cm2 960,000Lx 〃 SX-UID 501MUVQQ UV365コート（Coated with UV365） 〃 〃 1,000,000Lx SX-UID 501MUV2QQ UV254コート（Coated with UV254） 〃 〃 コリメータレンズ先端より100mm。強度はランプ初期値。／The intensity at 100 mm from the collimator lens tip shall be the initial value of the lamp. 型式末尾記号「QQ」はコンデンサレンズ/コリメータレンズ共、合成石英です。／The final two letters "QQ" of a model designation indicate that the condenser lens and collimator lens are made of quartz or synthetic quartz. ● UV強度の測定はウシオ電機製 「UIT-250」を使用し、254nmと365nmの強度で行なっています。 ／ The UV intensity is measured with USHIO's UV accumulated exposure amount meter UIT-250 at a wavelength of 365 nm and 254 nm. UV強度（mW/cm2 ） 照度均一度 Irradiance uniformity UV intensity 70％ 〃 〃 31 ● ● 均一度の測定は、照度計受光面にφ5ピンホールマスクを装着し、最高照度と最低照度の比を％で表したものです。 ／The irradiance uniformity is measured by mounting a φ5 pin-hole mask on the detector surface. It is indicated as the percentage of the ratio between the maximum and minimum irradiances. ● 型式末尾記号「QQ」はコンデンサレンズ/コリメータレンズ共、合成石英です。／The final two letters "QQ" of a model designation indicate that the condenser lens and collimator lens are made of quartz or synthetic quartz. UV強度の測定はウシオ電機製「UIT-250」を使用し、254nmと365nmの強度で行なっています。 ／ The UV intensity is measured with USHIO's UV accumulated exposure amount meter UIT-250 at a wavelength of 365 nm and 254 nm. ● ● 均一度の測定は、照度計受光面にφ5ピンホールマスクを装着し、最高照度と最低照度の比を％で表したものです。 ／The irradiance uniformity is measured by mounting a φ5 pin-hole mask on the detector surface. It is indicated as the percentage of the ratio between the maximum and minimum irradiances. ● ※強度はランプ初期値／* The intensity shall be the initial value of the lamp. Standard Model Deep UVランプ 230 Lamp Ballast Deep UVランプ 500W UXM-500SX Deep UVランプ 500W用 BA-M500 155 333 廉価タイプ 202 入力 AC100V 50/60Hz 900VA 出力 DC20A 25V 重量 6kg 230 342 205 9.5kg 相 対 強 度 型式 適合ランプ Model Lamp used SX-UI 501ME 11 Deep UVランプ / Relative spectral power ● 仕様／Specifications 100 80 60 ● クセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した、 高輝度・点光源のDeepUVランプ は、 より微細な半導体回線パターンの露光用として開発 されたもので、遠紫外線に強いスペクトルを持っています。さらに、この領域の波長は化学的に活性であることから、焼付以外の用途も研究されています。 40 20 （％） 20 300 400 500 600 700 800 900 1000 （波長）/ Wavelength(nm) ／DeepUV lamps are a high-brightness point light source that contain metallic vapor such as mercury and use a xenon lamp base. These lamps have been developed to achieve higher resolution for finer semiconductor circuit patterns. They have a strong spectrum in the far ultraviolet region. In addition, the light in this wavelength region is chemically active; applications other than microlithography have been researched. 12 Standard Model アタッチメント Filter IRC / UVコールド 光は自在に換えられます。 石英蒸着 透 1.0 過 率 0.8 （％） 60 0.6 0.6 40 0.4 0.4 20 0.2 0.2 20 20 波長 200 320 440 560 680 800 920 1040 1160 1280 1400 （nm） CRND 20 / 20％透過 石英蒸着 透 100 （％／DIV.） 過 率 （％） Changing the focus GG 395 / 熱強化 透 1.0 過 率 0.8 （％） Options for Changing Light 焦点を換える。 WG 320 / 熱強化 透 100 過 率 80 （％） 波長 200 300 （nm） 400 500 600 700 800 20 900 1000 1100 波長 200 300 （nm） UG 11 / 熱強化 400 500 600 700 800 900 1000 1100 700 800 900 1000 1100 WG 295 / 熱強化 透 1.0 過 率 0.8 （％） 透 1.0 過 率 0.8 （％） 0.6 0.6 0.4 0.4 0.2 0.2 20.0 波長を換える。 向きを換える。 Changing the wavelength Changing the direction 長焦点コリメータレンズ （NM／DIV.） 0 波長 400.0 （nm） 500.0 700.0NM SCF / 可視光透過 Long-focus collimator lens UI-OP50B（石英／Quartz） UI-OP50C（合成石英／Synthetic quartz） フィルタホルダ 下方照射ミラー Filter holder Downward radiation mirror UI-OP200FU UI-OP300DMA / 全反射 フィルタ（□50 m/m） 波長 200 300 （nm） 400 500 600 700 800 900 1000 1100 波長 200 300 （nm） OG 590 / 熱強化 透 1.0 過 率 0.8 （％） 透 1.0 過 率 0.8 （％） 60 0.6 0.6 40 0.4 0.4 20 0.2 0.2 20 20 300 400 500 600 700 800 900 1000 500 600 BG 25 / 熱強化 透 100 過 率 80 （％） 波長 （nm） 400 20 波長 200 300 （nm） 400 500 600 700 800 900 1000 1100 波長 200 300 （nm） 400 500 600 700 800 900 1000 1100 600 800 Full-reflection mirror UI-OP300DMB / コールド 短焦点コリメータレンズ Filter (50 mm square) Cold mirror Short-focus collimator lens 右図 Filter をご覧ください UI-OP300DMC / UV365 UI-OP300DMD / UV254 UI-OP100B（石英／Quartz） UI-OP100C（合成石英／Synthetic quartz） 石英蒸着 20 20 CRND 50 / 50％透過 石英蒸着 透 100 （％／DIV.） 過 率 （％） GG 495 / 熱強化 BG 40 / 熱強化 透 1.0 過 率 0.8 （％） 透 1.0 過 率 0.8 （％） 0.6 0.6 0.4 0.4 20.0 0.2 0.2 （NM／DIV.） 0 波長 400.0 （nm） 500.0 700.0NM 20 20 波長 200 300 （nm） 400 500 600 700 800 900 1000 1100 波長 200 300 （nm） 400 500 700 900 1000 1100 ● ファイバ仕様／Fiber Specifications 型式 分岐 Model 光路を換える。 Changing the optical path 液体ファイバ Liquid fiber バンドル径 Bundle diameter φ5 GF5L500 多成分硝子 Multi component glass 1 500 GF5L1000 〃 1 1000 〃 GF8L500 〃 1 500 φ8 GF8L1000 〃 1 1000 〃 GFQ5L500 石英硝子 Quartz glass 1 500 φ5 GFQ5L1000 〃 1 1000 〃 GFQ8L500 〃 1 500 φ8 Parallel-light radiation lens GFQ8L1000 〃 1 1000 〃 UI-OP400PFLQ（合成石英／Synthetic Quartz） LF5L500 液 体 Liquid 1 500 φ5 LF5L1000 〃 1 1000 〃 LF8L500 〃 1 500 φ8 LF8L1000 〃 1 1000 〃 Fiber mount UI-OPFM-02 ● Glass fiber (Quartz or multi-component glass) 長さ Length 平行光照射レンズ ファイバマウント ガラスファイバ（石英 多成分硝子） Branch 拡散光照射レンズ Diffused-light radiation lens バンドル径は、φ10mm以上も承ります。但しファイバマウントも専用品が必要です。 ／ The bundle with diameter of 10 mm is also available. However, a dedicated fiber mount for this bundle is required. ● その他の仕様も特注として承ります。 ／ Other specifications are also accepted as custom orders. UI-OP400DFLQ（合成／Synthetic Quartz） Others シャッタタイムコントローラ／ Shutter-time controller UI-OP500STC 露光の時間を秒単位で正確に制御することができます。／ This controller allows precise control of the exposure time in seconds. 専用キャリングケース／ Dedicated carrying case スリット、円形なども承ります。 Slit-type and round-type are available. 13 UI-OP 保管、移動に安心なハードケースです。キャスタ付き、内側はウレタン加工です。 ／ Hard case ensuring safety for storage and transportation. This case is provided with casters, and the inside of the case is lined with urethane form. 14 Inspection Model ベーシックモデル 適合ランプ 検査方法 各種検査用光源装置 超高圧UVランプ 500W 透過投影式 ガラス等の「キズ検査」を目的としたモデルです。 クセノンショートアークランプ 500W 反射投影式 超高圧UVランプ 250W 対象物を挟み込む「スリット式」と「投影式」が選べます。 主な用途 This model is exclusively used for inspecting scratches on a glass, etc. It can be divided into two types: a slit type that sandwiches the object to be inspected, and a projection type. フィルム・ガラス・レンズ・鋼板など コリメータレンズモデル 適合ランプ 検査方法 超高圧UVランプ 500W 透過投影式 反射投影式 超高圧UVランプ 250W クセノンショートアークランプ 500W 主な用途 フィルム・ガラス・レンズ・鋼板（塗装）など 検査の参考例 マイクロプロジェクションモデル これら以外の検査も、お気軽にお問い合わせください。 鋼板の表面検査 マイクロレンズの欠陥検査 平行光 （開角のある）を利用して 光をワーク面の大きさに絞り、 スクリーンに反射投影させる。 ワーク面を50倍 （スクリーンまで1mの距離） 適合ランプ 検査方法 クセノンショートアークランプ 500W 結像式 拡大でスクリーンに結像させる。 (倍率は距離により変動します） 主な用途 マイクロレンズ・ウェハ（反射式）・液晶ガラス フォトマスクの不良検査 ガラスのキズ・みゃくり検査 φ40の照射面（ワーク面）を 平行光 （開角のある）を利用して 50倍 （スクリーンまで1mの距離） スクリーンに透過投影させる。 拡大でスクリーンに結像させる。 フォトマスクなど スリットモデル (倍率は距離により変動します） 液晶ガラスのキズ検査 フィルムのキズ検査 φ40の照射面（ワーク面）を 平行光 （開角のある）を利用して 50倍 （スクリーンまで1mの距離） スクリーンに透過投影させる。 適合ランプ 検査方法 超高圧UVランプ 500W 直視式 クセノンショートアークランプ 500W 拡大でスクリーンに結像させる (倍率は距離により変動します） 主な用途 ガラス基盤など 15 16 Inspection Model Inspection Model ベーシック モデル 投影式 コリメータレンズ モデル 投影式 ガラス、レンズ及びフィルムや透過性樹脂のキズや気泡脈理などの目視検査専用品です。 【高照度タイプ】 目視 【高平行（開角有） タイプ】 ガラス、レンズ及びフィルムや透過性樹脂のキズや気泡脈理などの目視検査専用品です。 目視 スクリーン フィルム レンズ ガラス類 フィルム レンズ ガラス類 ● キズがある場合透過率の減衰が影となりスクリーンに投影 ● キズがある場合透過率の減衰が影となりスクリーンに投影 ● コーティングなどのムラも目視可能 ● コーティングなどのムラも目視可能 230 436∼451 鏡面のみならず、アルミ板や銅板等、各 種高反射物体の表面を反射投影した像を スクリーンに映し、目 視で表面のキズや異物、磨きムラ等を検査するものです。 反射投影式 202 鏡面のみならず、アルミ板や銅板等、各種高反射物体の表面を反射投影した像を スクリーンに映し、目 視で表面のキズや異物、磨きムラ等を検査するものです。 155 155 333 反射投影式 230 333 326 202 9.5kg 9.5kg スクリーン スクリーン 目視 目視 ウェーハ 鏡面類 ウェーハ 鏡面類 ● ● 鋼板等反射した光を拡大投影し微細なキズを検査 ● 仕様／Specifications ● 仕様／Specifications 適合ランプ 照射距離 有効照射径 照 度 型式 適合ランプ 照射距離 有効照射径 照 度 Model Lamp used Radiation distance Effective radiation diameter Irradiance Model Lamp used Radiation distance Effective radiation diameter Irradiance SX-UI 251HGC 超高圧UVランプ USH-250SC 1,500mm φ650mm 850Lx SX-UI 251HEG 超高圧UVランプ USH-250SC 1,000mm φ300mm 120Lx SX-UI 501HGC 超高圧UVランプ USH-500SC 1,500mm φ650mm 1,700Lx SX-UI 251HEGW 超高圧UVランプ USH-250SC 1,000mm φ1,000mm 80Lx SX-UI 501XGC クセノンショートアークランプ UXL-500SX 1,500mm φ650mm 1,050Lx SX-UI 501HEGW 超高圧UVランプ USH-500SC 1,000mm φ1,000mm 160Lx SX-UI 501XEGW クセノンショートアークランプ UXL-500SX 1,000mm φ1,000mm 100Lx Ballast 超高圧UVランプ 250W 超高圧UVランプ 250W 用 USH-250SC BA-H250 入力 AC100V 50/60Hz 600VA 出力 DC6.5A 40V 重量 2.3kg 230 220 Ballast 超高圧UVランプ 250W 超高圧UVランプ 250W 用 USH-250SC BA-H250 超高圧UVランプ 500W 205 100 クセノンショートアークランプ 500W用 60 BA-X500 40 20 入力 AC100V 50/60Hz 900VA 出力 DC25A 20V 重量 6kg 超高圧UVランプ クセノンショートアークランプ 342 相 対 強 度 / Relative spectral power / Relative spectral power 80 230 700 800 900 1000 （波長）/ Wavelength(nm) BA-H501 100 80 クセノンショートアークランプ 500W用 60 BA-X500 40 入力 AC100V 50/60Hz 1000VA 出力 DC8.5A 60V 重量 6kg 入力 AC100V 50/60Hz 900VA 出力 DC25A 20V 重量 6kg 230 342 20 （％） 20 600 超高圧UVランプ 500W 用 205 BA-H501 入力 AC100V 50/60Hz 1000VA 出力 DC8.5A 60V 重量 6kg 205 超高圧UVランプ 500W 用 超高圧UVランプ クセノンショートアークランプ 500 220 UXL-500SX UXL-500SX 400 230 クセノンショートアークランプ 500W クセノンショートアークランプ 500W 300 入力 AC100V 50/60Hz 600VA 出力 DC6.5A 40V 重量 2.3kg USH-500SC USH-500SC （％） 20 Lamp 205 Lamp 超高圧UVランプ 500W 17 鋼板等反射した光を拡大投影し微細なキズを検査 型式 相 対 強 度 スクリーン 300 400 500 600 700 800 900 1000 （波長）/ Wavelength(nm) 18 Inspection Model Inspection Model マイクロプロジェクション モデル 結像式 スリット ル スリット モデ モデル 目視 マイクロレンズ 板状のガラスなどをス リット部に当て、エッジより光を導入することで、 20ミクロンのキズやホコリがくっきりと目視できます。 直視式 ガラス、レンズ及びフィルムや透過性樹脂のキズや気泡脈理などの目視検査専用品です。 スクリーン 目視 欠陥箇所 気泡 ● 436∼451 ワーク面φ40 がスクリーンに拡大結像します。 ● ガラスのエッジから光を入れる事により表面のキズ・汚れ・気泡などが光の乱反射で目視可能 230 257 230 キズ 板状のガラスなどをスリット部に当て、エッジより光 を導入することで、20ミクロンのキズやホコリがくっ 155 155 333 333 きりと目視できます。 202 202 ／Put board-shaped glass and so on. The wound of 20 microns and dirt can do visual observation clearly. 25 0∼3mm開口 最大開口時φ104 メインスライド板 最大開口φ104。 サブスライド板 開口 ±1.5mm（ネジ微動）。 但し、サブスライドユニットは取りはずし式 ● UVカットフィルター灯具内に装着。 ● ● ● 仕様／Specifications 型式 適合ランプ 照射距離 Model Lamp used Radiation distance Irradiance SX-UI 501XMLS クセノンショートアークランプ UXL-500SX 1,000mm 照 度 6Lx 型式 撮影倍率 適合ランプ Model 50倍 Lamp Ballast クセノンショートアークランプ 500W クセノンショートアークランプ 500W用 UXL-500SX BA-X500 入力 AC100V 50/60Hz 900VA 出力 DC25A 20V 重量 6kg 230 342 Lamp used SX-UI 501HS 超高圧UVランプ USH-500SC SX-UI 501XS クセノンショートアークランプ UXL-500SX Lamp Ballast 超高圧UVランプ 500W 超高圧UVランプ 500W用 USH-500SC BA-H501 205 クセノンショートアークランプ 500W 相 対 強 度 / Relative spectral power / Relative spectral power 相 対 強 度 80 60 40 20 300 400 500 600 700 800 900 1000 （波長）/ Wavelength(nm) 19 BA-X500 入力 AC100V 50/60Hz 900VA 出力 DC25A 20V 重量 6kg 230 342 超高圧UVランプ クセノンショートアークランプ 100 （％） 20 クセノンショートアークランプ 500W用 UXL-500SX 入力 AC100V 50/60Hz 1000VA 出力 DC8.5A 60V 重量 6kg 205 ● 仕様／Specifications 100 80 60 40 20 （％） 20 300 400 500 600 700 800 900 1000 （波長）/ Wavelength(nm) 20 21 22 Super ● 仕様 平 行 光 仕 様 照射面積 大型（1kw 以上）のランプを使用し、大面積のワークに照射し各種露光、光触媒、 光化学反応等の実験や、高強度の光束で簡易的耐光試験、加速試験、加熱試験等にご使用下さい。 集 光 光 仕 様 1kw 2kw 3.6kw 5kw 1kw 2kw 3.6kw 5kw φ140 φ220 φ300 φ360 3φ 4φ 6φ 10φ 照射距離 200 200 200 300 ー ー ー ー 照射方向 タテ・横 タテ・横 タテ・横 タテ・横 タテ・横 タテ・横 タテ・横 タテ・横 照射強度 100mW/cm2 100mW/cm2 100mW/cm2 100mW/cm2 700℃ 1,000℃ 1,300℃ 1,500℃ 照射均一度 ±5％ ±5％ ±5％ ±5％ ー ー ー ー 3° 5° 8° ー ー ー ー 平行度 13.5° ※照射面積、照射強度は実験目的に応じてご相談下さい。 Lamps ● UXL-1000D-O/UXL-2003D-O 参考図 ■ 分光分布図 ランプ仕様詳細はウシオ電機（株）USHIO DISCHARGE LAMPS カタログを 参照下さい。 相 100 対 強 80 度 （％） 尚、本カタログはクセノンランプのみ記載しておりますが、超高圧水銀ランプ Deep UV ランプについても製作可能です。お問い合わせ下さい。 60 40 20 0 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 波長 （nm） ■ クセノンランプと昼光のスペクトル比較 横型平行光タイプ ランプ型式 L3 L1 定格入力 ランプ電圧 定格電流 全光束 平均寿命 相 100 対 強 80 度 L2 UXL-1000D-O 1,000W 45A 22V 34,000Lm 1,500h UXL-2003D-O 1,890W 70A 27V 72,000Lm 1,500h UXL-3601HK-O 3,360W 120A 28V 130,000Lm 1,200h 40 UXL-5000DKB-O 4,200W 140A 30V 165,000Lm 600h 20 （％） 60 0 ■ 外観寸法（mm） L1 1kw 405.6 2kw 405.6 3.6kw 405.6 564.2 5kw 下方照射取付参考図 下方照射ユニットはオプションになります。 照射径により大きさが異なりますので、 お求めの際はご相談下さい。 L2 437.5 482 482 557.5 L3 888 1,317 1,317 1,449 1,000W クセノンランプ 自然昼光 3,000K白熱電球 300 400 500 600 700 800 波長 （nm） Power Supply ● 仕様 1kw 2kw 3.6kw 5kw 入力電圧 1φ 200V 3φ 200V 3φ 200V 3φ 200V 入力電力 1.7KVA 3.7KVA 7.6KVA 8.5KVA 入力電流 8.5A 10.7A 22A 24.5A 周波数 50/60Hz 50/60Hz 50/60Hz 50/60Hz 出力電圧 DC22V DC27V DC30V DC33V 出力電流 45A 80A 140A 160A 電流範囲 22∼45A 20∼80A 25∼140A 25∼160A 連続 タテ型平行光タイプ L3 L1 L2 ■ 外観寸法（mm） L1 427.6 1kw 427.6 2kw 3.6kw 427.6 586.2 5kw L2 940 940 940 1,040 L3 756 756 756 876 定格 連続 連続 連続 リップル 5％ 10％ 10％ 10％ 方式 定電流 定電流 定電流 定電流 外形寸法（W×D×H） 250×500×400 280×440×700 280×440×700 280×440×700 ※改良の為、予告なく仕様変更する場合があります。 23 24 ご希望どおりに、形状を変えられます。 ランプ寿命について Configurable in Any Shape Required for Your Application About Lamp Life 全波長域、紫外線域、赤外 線域など、光には多くの要 素があります。その要素の 一部を自在に、扱うことが できると用途は無限です。 ランプ単体の水平放射照度または全光束が初期値の 70％になったとき。また点灯ができなくなったときをランプ寿命としています。 製作例 Custom-made Sample Units for Specific User Applications ごくまれに、ちらつきや破裂を起こす場合もありますので、ランプは定期的に点検してください。 A lamp is considered at the end of its operating life when the horizontal luminous intensity or total flux has dropped to 70% of its initial value, or when the lamp fails to turn on. Be sure to inspect the lamp periodically to guard against flickering or brokage. 全波長域／Entire Wavelength クセノンショートアークランプや超高圧UVランプの全波長域での研究に活用しています。 These light source units are fully used for research on xenon short-arc lamps and super-high-pressure UV lamps. Light has several wavelength regions, such as the entire wavelength region, UV region, and infrared region. Proper control over each of these wavelength regions allows an unlimited range of light applications. 太陽電池特性試験光源装置 クセノンショートアークランプ500W 2灯 フィルム画像CG合成光源装置 クセノンショートアークランプ500W 照度劣化／ 不点灯／ 点灯中に電極材料や始動性をよくするための物質が徐々に飛散し、発光 始動性を良くするための物質が長時間点灯で徐々に飛散して完 管である石英の内面に黒く付着します。そのため石英ガラスの透過率が 全になくなると、熱電子放射が低下し、放電を維持するために 落ち照度が減衰します。 必要な電圧が高くなるため不点灯や立ち消え現象を起こします。 During operation of the lamp, the electr ode material and the material for impr oving star ting characteristics gradually scatter and adher e to the inner sur face of the quar tz bulb, blackening the bulb. This causes lowering of the transmittance of the quar tz glass to attenuate the irradiance. 樹脂フィルム検査光源装置 超高圧UVランプ 250W The material for improving the starting characteristics gradually scatters; when it completely disappears, after the lamp has been operating for a long period of time, the lamp may fail to be turned on or turns off immediately after being turned on because the voltage required for maintaining discharge is increased. ちらつき／ 陰極が消耗すると、アークの起点が一定に固定しなくなるため に起こる現象です。 It happens because the starting point of Arc stops fixing it the same when the cathode is exhausted. 液晶ガラス強制爆露光源装置 クセノンショートアークランプ1.6KW 送電線日射試験光源装置 クセノンショートアークランプ500W 7灯 塗膜耐久試験光源装置 クセノンショートアークランプ500W 紫外線／UV 超高圧UVランプやDeepUVランプの強力で安定した紫外線を活用しています。 These light source units fully use the powerful and stable UV radiated from super-high-pressure UV lamps and Deep UV lamps. 初期性能を維持し常に一定の検査や測定を行うために、定期的にランプを ウシオ・オプティカル・ 交換されることをお勧めしています。 モデュレックスの専用 ランプは、 リード線付 We recommend that you periodically replace lamps to maintain initial performance levels, and conduct regular inspection and measurement. きですので交換ごと にリード線も新しい も の に な り 、配 線 の UVケア化粧品素材研究光源装置 クセノンショートアークランプ150W 6分岐ファイバ使用 紫外線発色検査光源装置 超高圧UVランプ 250W # # # !# # # 真空層直下照射光源装置 DeepUV ランプ500W ! " 疲労による発熱など も予防することがで きます。 赤外線／Infra red Wavelength ランプの発する安定した赤外線を熱源として活用しています。 These light sources use the stable infrared rays radiated from the lamp as a heat source. ウシオ・オプティカル・モデュレックスに関する注意事項 警告 ウェハーアニール試験光源装置 クセノンショートアークランプ3.6KW 石英ロッド熱線照射試験光源装置 クセノンショートアークランプ500W お気軽にご相談ください。 Please feel free to contact USHIO. 25 資料加熱光源装置 クセノンショートアークランプ3.6KW 本装置を操作する場合は、装置に添付されている取り扱い説明書をよく読み、操作方法・安全に関する事項を確認してください。操作を誤ると重大な事故につながる場合があります。 【火災の原因】灯具、電源共に冷却の為に通風口があります。灯具は点灯中高温になりま すので、通風口をふさぐような紙、布等で装置を覆ったり、燃えやすいものを近付けな いでください。また過度な近接照射はおやめください。 【火傷の原因】点灯中、及び消灯直後はランプと周辺の金具が高温になっています。消灯 後30分間程は手を触れないでください。 【火災・感電・故障の原因】装置の改造や変更はしないでください。使用中に不審な点が ある場合は、ただちに使用を止め、販売店に御連絡ください。 【目の痛み・視力障害・火傷の原因】装置は強力な紫外線を照射します。直接光を見たり、 皮膚に当てたりすることは絶対にやめてください。直接光に限らず、間接光でも目や皮 膚に照射すると障害を発生します。必ず保護具を装着してください。 【感電・ケガの原因】設置・ランプ交換・メンテナンスを行うときは、必ず電源を切って下 さい。電源を切っても、しばらくは危険電圧が残りますので3分程度経ってからおこな ってください。 【火災・感電・電撃によるケガ・火傷の原因】装置は使用時高電圧が流れます。電源接続は 必ず付属の接続コード・リード線を使用して下さい。 【感電の原因】灯具・電源共に必ずアースを取付け、第3種設置工事を行ってください。 製品は改良のため、予告なく仕様変更する場合があります。 本カタログに掲載されている仕様、デザイン等は改良のため予告なく変更する場合がございますのでご了承ください。 All the information, data and specifications shown are subject to change without notice. 26 ●本装置及び本装置を使用した製品または本装置に関わる技術は、外国為替及び外国貿易法の ! 輸出に関するご注意 Notice 規定により、安全保障貿易管理関連貨物及び技術に該当する場合があります。したがって、 日本国外に持ち出す場合には、輸出許可申請等必要な手続きをおとりください。 ●Equipment shown in this catalog, any products using the equipment or technologies relating the equipment fall under the category of security control relating freight or technologies under the provisions of the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. You have to obtain permission from the Government of Japan before exporting them from Japan. 東京／〒100-8150 東京都千代田区大手町2-6-1 Tokyo／ 6-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8150, Japan TEL.03-3242-5614 FAX.03-3242-2700 大阪／〒532-0011 大阪市淀川区西中島5-13-9 新大阪MTビル1号館 Osaka／Shin Osaka MT Building, 13-9, Nishinakajima 5-chome, Yodogawa-ku, Osaka 532-0011, Japan TEL.06-6306-5711 FAX.06-6306-5718 古紙配合率 100％再生紙を使用しています 横浜／〒225-0002 横浜市青葉区美しが丘5-14-6 はづきビル Yokohama／Hazuki Building, 14-6, Utsukushigaoka 5-chome, Aoba-ku, Yokohama 225-0002, Japan TEL.045-901-2572 FAX.045-901-0883 1200/06,12 TA①
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