汎用・低価格 RoHS 指令対応製品マスフローメータ　マスフローコントローラ HM1000 シリーズ用途 ⨋⨋ 一般工業プロセス用 ⨋⨋ 各種化学分析用 ⨋⨋ 各種の流量・測定・制御・混合・分割システム特長 ⨋⨋ 手軽に使えるエコノミー価格 ⨋⨋ 仕様は高性能品並み ⨋⨋ 取付姿勢自由 ⨋⨋ 5SCCM ～ 20SLM まで同一サイズ ⨋⨋ 目詰りのない特殊バイパス ⨋⨋ RoHS 指令対応製品仕様分類区分形式流量制御範囲精マスフローメータ低価格マスフローコントローラ汎用 HM1121B HM1111B 汎用低価格 HM1171B HM1181B（NO） HM1141B HM1151B（NO） 5/10/20/30/50/100/200/300/500/1000SCCM　2/3/5/10/20 SLM ー SPAN の 2 ～ 100% 度 ± 2％ ± 1.5％ ± 2％ ± 1.5％直線性 ± 1％ ± 0.7％ ± 1％ ± 0.7％再現性 ± 0.2％ ± 0.2％ ± 0.2％ ± 0.2％応答性 2 秒以内（最小流量値から SPAN に対し ±2％に収束する時間）力 970kPa 圧 1470kPa 最高動作圧耐圧力動リ損作ー失差ク圧規 4.9kPa ー 34.3 ～ 274.4kPa：5SCCM ～ 5SLM 68.6 ～ 274.4kPa：10 ～ 20SLM ー 1 × 10-9Pa・m3/s（He）以内格設定信号出力信号 0 ～ 5VDC 使用温度 5 ～ 45℃（ガス温度も同じ）接ガス材継取付姿質質ー 0.1 ～ 5VDC SUS316 FKM（バイトン） SUS316 FKM（バイトン）PTFE（テフロン）手標準：1/4 スウェジロック勢取付姿勢は自由（± 0.5％ of SPAN）量駆動電源消費電力 680 ｇ 800 ｇ ± 15VDC 1W 以内形式中の（NO）はノーマルオープンタイプの略です。無記名のものはノーマルクローズタイプです。 3W 以内外形寸法図周辺機器下記をご指定ください。〇〇ディジタル指示計（3 1/2 桁） DM1501B □□ ４８×２４×７３（W×H×D） ※□□流量レンジをご指定ください。（下記レンジ参照）〇〇電源ユニット 1 台用 PU1501B 80 × 120 × 53 （W×H×D） 4 台用 PU1004B 80 × 120 × 170（W×H×D）〇〇コネクタ付ケーブルマスフローコントローラ用 CA1152B：2m（標準）　CA1153B：3m CA1155B：5m マスフローメータ用 CA1252B：2m（標準）　CA1253B：3m　CA1255B：5m 〇〇ディジタル設定器 DP1001B 〇〇電源付流量設定表示器 PM1000A 形式番号構成 HM1141B05 AS 基本形式流量レンジガス種継手記号ガス種記号 01 5SCCM 09 500SCCM A N2 S 1/4 スウェジロック標準 02 10SCCM 10 1000SCCM B Air R 1/4 VCR オプション Z その他特殊コードスパン流量コードスパン流量 03 20SCCM 11 2SLM C O2 04 30SCCM 12 3SLM D H2 05 50SCCM 13 5SLM E He 06 100SCCM 14 10SLM F Ar 07 200SCCM 15 20SLM Z その他 08 300SCCM 99 特殊オプション本体取付金具 V4P00458 継手備考〇〇流量レンジは N2 ガスに対するものです。〇〇校正基準は 0℃ 1013hPa です。〇〇低価格品は N2、Air、O2、He、H2、Ar 限定です。〇〇汎用品はオプションでソフトスタート機能付加が可能です。⨋ （但し NC タイプのみ）〇〇取付金具はオプションで準備いたします。ヘンミ計算尺株式会社 http://www.hemmi-inc.co.jp/ 産機営業部：〒 355-0812 埼玉県比企郡滑川町都 25-25 TEL. 0493-56-4385 FAX. 0493-56-5621 美里工場：〒 367-0115 埼玉県児玉郡美里町猪俣 1019 TEL. 0495-75-2075 FAX. 0495-76-2727 仕様・寸法等は改良のためお断りなく変更することがあります。 Printed in JAPAN 0810（1）