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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 目次1/2
分類名
<スパッタ装置 ULVAC製>
<スパッタ装置 ULVAC製以外>
<蒸着装置>
<CVD装置>
<アッシング装置>
<エッチング装置 ULVAC製>
<エッチング装置 ULVAC製以外>
<イオン注入装置>
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
<フォトリソグラフィー工程装置>
<コーター・デベロッパー>
<ウエハ表面検査・SEM・FIB装置・X線装置>
<膜厚測定・抵抗測定装置>
<外観検査装置・その他計測器>
<洗浄装置>
<めっき装置>
<顕微鏡>
<後工程・実装装置>
<UV装置>
<ディスペンサー装置>
<イオンミリング装置>
<その他真空装置>
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
<その他>
<油回転真空ポンプ>
<油回転真空ポンプ部品>
<油拡散ポンプ>
<メカニカルブースターポンプ>
<クライオポンプ ULVAC製>
<クライオポンプ ULVAC製以外>
<ターボ分子ポンプ ULVAC製>
<ターボ分子ポンプ ULVAC製以外>
<ドライポンプ>
<イオンポンプ>
<排気セット>
<真空バルブ ULVAC製>
<真空バルブ ULVAC製以外>
<超高真空部品>
<ピラニ真空計>
<電離真空計>
<バラトロン真空計>
<ペニング真空計>
<サーモカップル真空計>
<キャパシタンスマノメータ >
<広帯域真空計 >
<成膜コントローラー>
<ガス分析計>
<Heリークディテクタ>
<EB電源>
ページ番号
2
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 目次2/2
分類名
<RF電源>
<DC電源>
<AC電源>
<アナライザーマグネット電源>
<マグネット電源>
<加熱電源>
<その他電源>
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
<搬送ロボット>
<電気制御系>
<チラー・純水設備>
<スパッタ装置部品 ULVAC Ceraus>
<スパッタ装置部品>
<蒸着装置部品>
<イオン注入装置部品>
<スパッタ装置部品 AMAT Endura,CenturaPVD>
<プラズマCVD装置,エッチング装置 部品 AMAT Centura>
<プラズマCVD装置,エッチング装置 部品 AMAT P-5000>
ページ番号
18
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27
今月の新掲載品
☆
☆
☆
☆
☆
中古品番号
RS15-2093
RS15-2092
RS15-2091
RS15-2086
RS15-2085
品名
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
クライオポンプ
電離真空計
電離真空計
型式
D-950
D-950K
U-16
GI-TL3
GI-TL3
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC CRYO
ULVAC
ULVAC
製造番号
F42829
F42828
☆
RS15-1112
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595162
☆
RS15-1116
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594072
☆
RS15-1115
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595166
☆
RS15-1114
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594038
☆
RS15-1113
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595161
☆
RS15-1117
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
599014
☆
RS15-1125
マッチングコントローラー
AMC 6D
ULVAC
395052
☆
RS15-1126
マッチングコントローラー
AMC 6D
ULVAC
395115
☆
RS15-1124
マッチングコントローラー
AMC 6D
ULVAC
396018
☆
RS15-1121
RFマッチングボックス
MBX-05EA2
ULVAC
396006
☆
RS15-1119
RFマッチングボックス
MBX-05EA2
ULVAC
395086
☆
RS15-1122
RFマッチングボックス
MBX-05EA2
ULVAC
392013
☆
RS15-1120
RFマッチングボックス
MBX-05EA2
ULVAC
394016
備考
製造年
☆
☆
☆
☆
☆
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395038) 外寸 W240
D320 H100 保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395037) 外寸 W240
D320 H100 保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395041) 外寸 W240
D320 H100 保管状態良好。
入力 200w C/W 1L/m 0.5kg/cm² 重量 8kg 外寸 W200 D410 H200
保管状態良好。
入力 200w C/W 1L/m 2kg/cm² 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210
保管状態良好。
外寸 W200 D410 H200 保管状態良好。
入力 200w C/W 1L/m 0.2MPa 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210
保管状態良好。
☆
RS15-2077
スパッタリング装置
CERAUS ZX-1000
ULVAC
ME02-5001
2002
基板:200㎜
装置構成:オートローダー + 搬送室 + プロセス室*1
成膜室:RF-Bias 式 DC-LTS スパッタ (ノ-マルチャンバー残留)
排気系:QDP80 + TMP-203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/CRYO-T8P/C30Z
(30105hr) 仕様書・取説・図面あり。
☆
RS15-2065
蒸着装置
ei-5t
ULVAC
MA09-4737
2009
基板保持機構;dia.50mm 自公転プラネタ
蒸発源;EGL-35M(10㏄*4) HPS-1000S
排気系;CRYO U-16P + LR90
加熱系;赤外線ランプヒーター 4式(750W*2*4set) 仕様書・取説あり、図面なし。
☆
RS15-2067
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
ME59-5018
1985
☆
RS15-2068
蒸着装置
EBX-16CF
ULVAC
ME59-1038
1985
☆
RS15-2066
ドライエッチング装置
NE-550
ULVAC
MV06-1113
2006
☆
RS15-2090
ドライエッチング装置(ロードロック式)
NE-550
ULVAC
ME04-1105
2005
☆
RS15-2080
真空接合装置
-
アユミ工業㈱
-
2012
☆
☆
RS15-1132
RS15-2069
モーターコントローラ
EBガン
HC-50
EGL-35M
KEYENCE
ULVAC
-
2 EBX-16Cは生産状態で停止。EBBは、EB電源抜き取り済で部品取り用途。
EBX-16とEBBは、同時購入必須。インフィコンデュアルセンサーとCRTM-9000のセット。
図面あり、仕様書・取説なし。
インフィコンデュアルセンサーとCRTM-9000のセット。
図面あり、仕様書・取説なし。
排気系 搬送室 ドライポンプ HR-60、エッチング室 ターボ分子ポンプ TMP-1003LM +
HR-60
エッチングシステム プラズマモニター RF電源 Anntena 1kw 13.56MHz Bias 600W 12.5MHz
基板サイズ φ 200mm チラー故障
仕様書・取説あり、図面なし。
基板:200㎜ Tray
装置構成:仕込室+プロセス室*1
プロセス室 RF-Anntena 1KW RF-Bias 300W
排気系:Dry+TMP(TMP起動困難)
仕様書・取説・図面あり。
基板:φ 100㎜~150㎜
排気系:EBARA VOS100
搬送:手動 直線導入
仕様書・取説あり、図面なし。
☆
☆
☆
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アルバックテクノ株式会社
☆
中古品番号
RS15-1129
品名
ウェーハ表面検査装置(RS13-3130改造分)
【お客様用】中古品在庫リスト 型式
WM-1700
メーカー
TOPCON
2016年2月20日現在 製造番号
207013
製造年
備考
☆
光洋リンドバーグ
HI-0714
1990
基板:φ 100㎜~150㎜
加熱系:1500℃
搬送:手動
石英管:予備1式
仕様書・取説あり、図面なし。
PLA-600F
CANON
91120311
1991
マスク:φ 7/□6In/□5In(SEMI規格)
基板:φ 100㎜~150㎜
照明系:ウシオ250W 超高圧水銀灯(g線、h線、I線の組合せ)
露光:繰返精度±3%
レンズ:対物10X(5X、20X)接眼10X(5X、20X)
仕様書・取説あり、図面なし。
☆
DAD3350
DISCO
KB1256
2004
仕様書、取説、図面なし。
☆
☆
RS15-2079
電気炉
206M100M30X108H
☆
RS15-2078
マスクアライナー
☆
RS15-3031
自動ダイシング装置
☆
<スパッタ装置 ULVAC製>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2077
スパッタリング装置
CERAUS ZX-1000
ULVAC
ME02-5001
2002
RS15-2055
スパッタリング装置
SV-4540-D14
ULVAC
MH91-5008
1992
RS15-1025
スパッタリング装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME95-1042(WT06-10010A)
RS15-2010
スパッタ装置
SH-450-T10
ULVAC
MB03-5006
RS15-2008
スパッタリング装置
SH-550L
ULVAC
MH92-1080
1992
RS12-1061
スパッタリング装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME02-8012
2002
RS12-1062
スパッタリング装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME93-5021
1994
RS13-3017
ロードロック式スパッタリング装置
CS-200
ULVAC
MA07-1009
2007
RS12-1227
スパッタリング装置
IBS-6000
ULVAC
MB04-1012
2004
RS12-1118
スパッタリング装置
MLX-3000N
ULVAC
ME00-5016
2000
RS13-1115
スパッタリング装置
MLX-3000N
ULVAC
ME96-1064
1997
RS13-3127
スパッタリング装置
MLX-3000N
ULVAC
ME99-1017
RS14-4024
スパッタリング装置
スパッタリング装置
MLX-3000N
ULVAC
ME97-1050
1998
8インチ用
RS14-1242
MPS-2000
ULVAC
MB99-1021
2000
取説なし
RS13-2209
スパッタリング装置
SME-200(PME-200LE;LPO)
ULVAC
MA08-3536
2010
【枚様式】スパッタ成膜実験・生産用装置(金属、絶縁物等) 構成:カセット室+搬送
室+(プロセス室×3)+(空×2)基板:140□mmガラス基板等(180mm□トレイ使用)
排気系:TMP+DRY 成膜室:(P3:蒸着重合、P4:蒸着%UV、P5:φ 300ロータリ式
マグネトロンカソード×1元) 電源:RF電源 3KW 成膜法:固定成膜 デポアップ
RS14-2292
スパッタリング装置
SBH-2306
ULVAC
ME57-5034
1983
・排気システム:メインポンプ(DP?)欠品/拡散ポンプ[D-950DK(Motor;D)] ・真空計:イオン
ゲージ[GI-TL2RY] ピラニーゲージ[GP-1SRY(A)]+[GP-2DA] ・スパッタリング電源
DC[DC-050-E特型 新電元] ・水晶成膜コントローラ[インフィコン] ・スパッタリングカソード:3
源(マグネトロン未使用の厚膜カソード)デポダウン ・トレース:Au/AuZn/Mo
RS13-2204
スパッタリング装置
SH-350-D06(バッチ式)
ULVAC
MH62-5073
1988
【バッチ式】実験・少量生産 φ 150mmカソード 1元 (スパッタアップ) 排気系:
拡散ポンプ欠品(ULK-06A)、D-650Dスパッタ電源:DCG-05C ガス:2系統シー
ケンサー:三菱製AOJ2
RS14-2010
スパッタリング装置
SH-350EL-C06
ULVAC
MA98-5016
1999
LL式 基板□125mm 逆スパ付、DC・RF カソード3元
RS12-1405
スパッタリング装置
SH-450-C10
ULVAC
MH61-0502(NH8978)
1987
RS14-2268
インターバックス式スパッタリング装置
SIH-1010特 (ロードロック式)
ULVAC
MA01-5007-0
2002
【バッチ式】 実験・少量生産 φ 6in マグネトロンカソード ×3元 スパッタ電源 DCx1・
RFx1 逆スパッタ付(500W) 排気系:CRYO+RP
Vacuum System・・・CP[(U10PU) C15R(MBS)] RP[D-650DK] Vacuum
Gauge・・・Ion Gauge[GI-M2] Pirani Gauge*3[GP-1SRY(C)] Baratron
Gauge[MKS PRC-C-1C] Sputtering Power Suppy・・・DC[DC] DC[DCS0202B] Heater Power[PHS-07] Sputtering Cathode・・・1source (5in*10in*6t
[Dual Cathode Remodeling OK])←SP-UP Trace・・・ITO 仕様書・取説・図面
あり。
RS13-1116
スパッタリング装置
SIH-3030
ULVAC
MH63-5260
2007
RS11-1021
スパッタリング装置
SIV-850
ULVAC
MA06-1006
2006
RS11-1022
スパッタリング装置
SIV-850
ULVAC
MA03-1012
2006
RS13-2208
スパッタリング装置
SME-200LDM(LCO)
ULVAC
MA08-3625
2010
RS11-2043
RS14-1118
スパッタリング装置
スパッタリング装置
SMR-2110E
SRH-420MC
ULVAC
ULVAC
ME58-0161
MA02-1038
1983
RS10-2807
スパッタリング装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7820
RS10-2808
スパッタリング装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7818
RS15-1001
スパッタ装置
SIH-300RD
ULVAC
MA08-7004
2009
RS15-1102
スパッタリング装置
SBH-2306R
ULVAC
RE92-1011
1993
RS15-2070
スパッタリング装置
SH-450-C12
ULVAC
MH63-5223
1988
3 備考
基板:200㎜
装置構成:オートローダー + 搬送室 + プロセス室*1
成膜室:RF-Bias 式 DC-LTS スパッタ (ノ-マルチャンバー残留)
排気系:QDP80 + TMP-203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/CRYO-T8P/C30Z
(30105hr) 仕様書・取説・図面あり。
Sputtering System::Side Sputter DC [10 kW] / RF [3 kW]、Cathode:3 [5in
× 18in High Rate Cathode] … CA1 [DC/RF] CA2 [DC/RF] CA3 [RF]、
Etching System:RF 500 W 、Vacuum System:DP [ULK-14] / PMB [PMB001CM] / RP [D-950DK]、Gas System:Ar 100sccm / O2 50sccm / N2
50sccm
☆
枚様式スパッタ、2C2Tノーマルカソード搭載、S3室、6インチ、S4室、8インチ ランプ加熱仕様、
平置き、TMP(島津載せ替え済)、ドライポンプAA-10S ※2007年リニューアル販売して
いる装置。仕様書・図面あり、取説なし。
構成:CA3元
★2012年リニューアル装置★排気系:TMP(UTM-2300)・拡散ポンプ(D-950DK)、真
空計:イオンゲージ(GI-TL3)・ピラニーゲージ*3(GP-1SRY(C))・バラトロン真空計(MKS
PRC-C-1C)、スパッタ電源:DC(DC)・DC(DCS-0202B)、熱電対:PHS-07、スパッタカ
ソード:1源(φ 4in*6set)←SP-UP、材料:金属 仕様書・取説・図面あり。
【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 1E3T ,基板:φ 6in Etch:ICP SP1~
3:Metal ,加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT ,排気:TMP(旧型)
+CryoTrap,設置:階下置き仕様 ※ フルチャンバー仕様 機能充実
【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 1E1T ,基板:φ 6in Etch:ICP SP:
Metal ,加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT ,排気:TMP(旧型)
+CryoTrap,設置:階下置き仕様 ※ 拡張性有り
【ロードロック式】 実験・量産 スパッタダウン φ 12in回転磁石型マグネトロンカソード(誘電
体用) 1元 SP電源:RF 3kWx1 排気系:TMP+DRP 基板サイズφ 6in 仕様書
あり、状態良好
【ロードロック式】 イオンビームスパッタ装置 動作確認済み
使用頻度少なく良好
【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 1E2T2C,基板:φ 5in Etch:2重極
SP1:Metal SP2:Metal,加熱系:Infrared Lamp カセット室×2,排気系:CRYO+
RP
【枚葉式】フルモジュール(2C3T1E) 取説・図面あり
【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 1E1T1H2C 基板:φ 5in Etch:2重極
SP:Metal 加熱系:赤外線ランプ カセット室×2 排気系:CRYO+RP
【インターバック式】 実験・少量生産 ガラス基板: □850×900カソード3元搭載 スパッタ
電源:RF 片面 縦搬送 通過成膜式排気系:CRYO+RP
【インターバック式】 実験・少量生産 ガラス基板: □850×900カソード3元搭載 スパッタ
電源:DC 片面 縦搬送 通過成膜式 排気系:CRYO+RP
【枚様式】スパッタ成膜実験・生産用装置(金属、絶縁物等) 構成:カセット室+搬送
室+(プロセス室×6)+(空×1)基板:150□mmガラス基板等(200mmウエハ可能)
排気系:TMP+DRY 成膜室:(P2~P6φ 300ロータリ式マグネトロンカソード×5元、P7
φ 300ロータリ式マグネトロンカソード×1元 Cu) 電源:P2~P6 RF電源 5KW P7 DC
電源 4KW成膜法:固定成膜 スパッタ゚アップ(P3は回転成膜)
マルチターゲットx3式、ICPエッチ室 取説・図面あり
【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 2T ,基板:φ 6in SP1:Metal SP2:
Metal ,加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT ,排気:TMP(旧型)
+CryoTrap,設置:階下置き仕様 ※ 拡張性有り
【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 2T ,基板:φ 6in SP1:Metal SP2:
Metal ,加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT ,排気:TMP(旧型)
+CryoTrap,設置:階下置き仕様 ※ 拡張性有り
インターバック式、DEPOダウン、カセットタイプ(ホルダー6枚 420*420) 、カソード:3元(Ti、Cu、
Ni-Cu)135*47(非磁性)、排気系:TMP+RP、GAS:Ar、電源:DC6KW RF1KW(逆
スパ)使用頻度低い 仕様書・図面なし、取説あり。
状態良好。成膜履歴:SiO2,ZnO-SiO2 仕様書・取説・図面あり。
6インチ3元 非磁性カソード インデックスシャッター仕様 加熱:赤外線ランプ 3kw スパッタ電
源 RF2KW、クライオポンプ U-12SP 油拡散ポンプ:D-950D クライオコンプレッサー C30
S/N:CC2040 積算時間1,393.7Hr MFC Ar・O2・N2 真空計:GI-TL3RY GI-TL3
GP-1SRY 制御リニューアル済 タッチパネル仕様、仕様書あり、取説・図面なし。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <スパッタ装置 ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1026
スパッタリング装置
C-7540HC
ANELVA
EVP-30782
1996
備考
Au、Cu、Ni成膜装置。仕様書、取説、図面なし。
RS12-1027
スパッタリング装置
-
テクノコート
-
1992
□100 角基板用 カソード3元 DC 拡散ポンプ+アルカテルRP
RS13-8022
スパッタリング装置
E-102
日立
6127-03
1986
電源:AC100V 50/60Hz 1KVA 試料台:φ 80mm RP付属(501-min) 放電電圧
印加法:自動スローアップ方式
RS11-1201
スパッタリング装置
HRS-521A
島津製作所
1M9062
1994
RS12-1228
スパッタリング装置
L-350S-C
ANELVA
EVP-30577
1996
【バッチ式】 研究用(全手動操作) φ 4inカソード 3元 静止成膜 スパッタ電源:RF
逆スパッタ:可能 小型実験装置
【ロードロック式】 研究用 カソード: 5元(DC3式+RF2式)
イオン銃(クリーニング用)
RS11-1184
スパッタリング装置
SPC-530H
ANELVA
EVP-13998-1
1983
【カルーセル(ドラム)式】 カソード:5in×15in 3元 DC/RF切替 排気系:DP 2004年に
カソード追加・基板ホルダー改造実施
RS14-3037
RS12-2027
スパッタリング装置
ANELVA
ANELVA
EVP-22528
EVP-24622
1991
6インチ3元 ITOスパッタ RF/DC部品取りあり。仕様書あり。
スパッタリング装置
SPF-530F
SPF-540H
RS12-1380
スパッタリング装置(インターバック式)
SPH-2019F
昭和真空
02-4191
2003
【ロードロック式】 研究用 基板:φ 3.4in カソード:5inx7in MgCa 3元 スパッタ電源:
DC/RF切替 加熱:シーススヒーター
RS13-1155
RS15-1002
スパッタリング装置
インターバック式スパッタ装置
SRL-3320
SPH-2500-RF
神港精機
昭和真空
42012540
00-4422
2001
付属品:RF電源ラック、TMPセット予備品
RS12-2033
RS15-1060
スパッタリング装置部品(RS12-8061~8066) ECR-300E
SH-450-C12
スパッタ装置
ANELVA
ULVAC
EVP-19881
-
1990
【バッチ式】カソード:φ 6in× 3元
CONT、ケーブル付属 仕様書あり
状態良好
O/H必須。Φ 6インチカソード3元、RF/DC、エッチング機構付。
<蒸着装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
☆
RS15-2065
蒸着装置
ei-5t
ULVAC
MA09-4737
2009
☆
RS15-2067
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
ME59-5018
1985
☆
RS15-2068
蒸着装置
EBX-16CF
ULVAC
ME59-1038
1985
備考
基板保持機構;dia.50mm 自公転プラネタ
蒸発源;EGL-35M(10㏄*4) HPS-1000S
排気系;CRYO U-16P + LR90
加熱系;赤外線ランプヒーター 4式(750W*2*4set)
仕様書・取説あり、図面なし。
EBX-16Cは生産状態で停止。EBBは、EB電源抜き取り済で部品取り用途。
EBX-16とEBBは、同時購入必須。インフィコンデュアルセンサーとCRTM-9000のセット。
図面あり、仕様書・取説なし。
インフィコンデュアルセンサーとCRTM-9000のセット。図面あり、仕様書・取説なし。
☆
☆
JIG:JRH-075(Φ 50mm*98pcs)、蒸発源:EGL-406M/HPS-406M/HPS-1000S、
PUMP:CRYO-U16P/C30VR DRY-iH80、SubHeating:MAX350℃,仕様書あり、取
説・図面なし。防着版有り、ドーム無し
JIG:JRH-075(Φ 50mm*98pcs)、蒸発源:EGL-406M/HPS-406M/HPS-1000S、
PUMP:CRYO-U16P/C30VR DRY-iH80、SubHeating:MAX350℃,仕様書あり、取
説・図面なし。防着版無し、ドーム有り
構成 : 処理室 2室(有機材料成膜室・電極形成室) + グローブボックス (オリジナ
ル)、蒸発源 : 有機材料成膜室 (Cell ; 5ヶ所) 、 電極形成室 (抵抗加熱
2本)、排気系 : 油回転真空ポンプ(D-240DK × 2台) + CP(U-6H + C10) +
TMP(TMP-280)、制御系 : シーケンサー(三菱Aシリーズ A1S) 成膜コントローラー
(CRTM-7000 × 2式)
抵抗加熱蒸発源 8元 (電源系統 2系統),主排気系 CP化 改造済 (CP 欠品)
+ 油回転真空ポンプ D-650DK,制御I系 ; 成膜コントローラー (RS15-2060)
CRTM8000 付属
RS15-2063
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4504
RS15-2062
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4503
RS15-2057
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MH96-5035
1998
RS15-2056
抵抗加熱蒸着装置
EX-400-D06(改C08)
ULVAC
MH92-5012
1992
RS15-1085
蒸着装置
SKF-1300
昭和真空
07-4133
2008
RS15-1084
蒸着装置
SOLCIET
ULVAC
MH10-1019
2010
クライオポンプが冷却水漏れ等にて熱交換器不良、また4台中1台にHe残圧0の状態
あり。取説あり、仕様書・図面なし。
SOLCIETの特型、チャンバーが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、EBX-1000の代替え
装置としてL/L・G-BOXなど付属しており、状態良好。仕様書・取説・図面あり。
RS15-2054
蒸着装置
VPC-260
ULVAC
ZV-5468
1992
製造番号 未確認、リレー (接点)無し
RS15-2021
蒸着装置
EBX-16C(バッチ式)
ULVAC
ME58-5020
1983
蒸発源 EB EGL-35M 40㏄*3 10cc*1、抵抗蒸発2元(スイングTYPE)、 EB電源
HPS-1000F CONT EGC-10S 、抵抗蒸発電源PSH-700F-N、膜厚計CRTM9000、真空計GI-TL3RY GP-1SRY-S*2、排気系クライオU-16P コンプレッサ-C30MT
積算 93490.1hr S/N:GK1087N、制御計系タッチパネル シーケンサー A2SH CPU 蒸発材
料 Au.Ti.Ni.AuSn.Pt.Ag 欠品:プラネタリードーム
RS14-2289
RS13-3016
真空蒸着装置
蒸着重合装置
特殊蒸着装置
VEP-1000
ANELVA
ULVAC
EE995142
MF06-1008
2001
2007
RS14-2266
有機EL蒸着装置
SOLCIET(ロードロック式)
ULVAC
MF98-5013-0
1999
RS11-3206
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MF96-5002
RS13-2200
蒸着装置
SGC-22SA-RF(バッチ式)
昭和真空
00-4561
2000
RS14-1226
RS14-1227
RS14-1180
蒸着装置
蒸着装置
高真空蒸着装置
SGC-22SA-RF
SGC-22SA-RF
EX-900-C16
昭和真空
昭和真空
ULVAC
97-4334
94-4371
MH89-2054
1990
RS09-2143
蒸着装置
EX-650-C16
ULVAC
MH97-5033
RS11-1191
蒸着装置
EX-550-D10-B
ULVAC
MH90-1086
RS14-2295
蒸着装置
EX-550-D10(改C)
ULVAC
MH89-7048-0
1990
RS11-2397
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH96-1051
1996
RS14-1181
【前扉式バッチ装置】 研究用
Vacuum System・・・CP[U6H*2] CP-Compressor[C10*2] TMP[TMP-403LM]
RP[D-240DK*3] Vacuum Gauge・・・Ion Gauge[GI-TL3RY*3] Pirani
Gauge*5[GP-1SRY(C)]、Bias RF Power Suppy・・・RF[RFS-02CA] Trace・・・
Metal&Organic material 仕様書・取説・図面あり。
有機薄膜形成装置 有機EL 研究・生産装置
【前扉式バッチ装置】 生産用φ 900x1125H SUS製 後方排気 水冷パイプ巻 公
転ドーム 蒸発源:EB蒸発源(JEOL) JEBG-102UHO 15連ハース 電源JST-10F
(10Kw) 排気系 RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP(SFD-22B・昭和)+ポリ
ゴールド(PFC-550) その他: RF誘導バイアス(3Kw) 京三 / 光学膜制御(SOCS-1
α )昭和 / CRTM-6000(シングルセンサ) / シースヒ-ター加熱
抵抗8元 動作確認済み。 取説・図面あり。
【前扉式バッチ装置】 中量生産 真空槽:φ 750W×900H 自公転治具 蒸発源:
抵抗加熱式(タングステンボート 10連回転駆動) 排気系:CRYO + RP 赤外線ランプ
加熱
【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 蒸発源:未搭
載(選択自由) 排気系:DP(LN2トラップ)+RP
・排気システム:クライオポンプ[U-10PUS H2メーター]+[C2W-U 18956hr(2Tune)]/拡散ポン
プ D-950D ・真空計:イオンゲージ[GI-TL3RY] ピラニーゲージ*2[GP-1SRY©] ・水晶
成膜コントローラ[CRTM-6000] ・蒸発源:2源[EB EGL-206M] ・蒸発源使用電源:
[EB HP-1010F] ・トレース:Au/Hf/Mo/Pt/Al/Pd
【前扉バッチ装置】 少量生産・研究用 真空槽:φ 650Wx800H 自公転治具 蒸
発源:電子ビーム(EGL-35M)x2式(Au、Sn成膜) 排気系:CRYO+RP EBガン2台
(EB電源無し)・水冷ドーム使用
抵抗3式 クライオ排気+DRP L/L室付 CRTM-9000 抵抗電源ソリッドタイプ
高真空蒸着装置
EROLA
ULVAC
-
RS12-1428
蒸着装置
EBX-8C (バッチ式)
ULVAC
MH59-0112
1984
【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:□500×600H 自公転治具(φ
100用) 蒸発源:電子ビーム(EGL-35M) 排気系:CRYO+RP (ガス導入:O2) RS12-1233
高真空蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5039
1984
【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:□500×600H 公転治具 蒸発
源:電子ビーム (EGL-206M)膜厚計:CRTM-9000 排気系:CRYO + RP
RS13-2099
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5058
1983
【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:□500×600H 公転平板 □
150ガラス基板 蒸発源:抵抗加熱式(タングステンボート×3) 排気系;CP+RP
RS14-2012
クライオコンプレッサー
C30V
ULVAC CRYO
-
1985
抵抗蒸発源2元式 クライオ仕様10吋
RS14-2294
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
XC03-4012
1990
・排気システム:クライオポンプ[U-10P-U H2メーター]+[C2W-U 15462hr]/拡散ポンプ D330D ・真空計:イオンゲージ[GI-TL3] ピラニーゲージ*2[GP-1SRY(A)] ・水晶成膜コン
トローラ*2[CRTM-1000/CRTM-5000] ・蒸発源:2源[EB EGK-3M][R/H 2Boart] ・
蒸発源使用電源:[EB HP-510C][RH RS-07(400A)] ・ヒーター電源:PS-07[メーター
30A]シマデン製 ・トレース:Au/AuZn/Mo
RS14-1110
高真空蒸着装置
EBX-6D
ULVAC
MH60-0242
1985
抵抗蒸着 φ 3インチ公転ドーム12枚 ランプ加熱x2式 ULK-06A クリーンルーム保管(動
作確認済み)
4 ☆
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-1214
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
MH89-7043
1989
備考
【前扉式バッチ装置】 中量生産 真空槽:φ 750Wx900H 自公転治具 蒸発源:電
子ビーム(EGL-35M) 電源:10kW(真空管) 排気系:CRYO+RP 赤外線ランプ加熱
後方排気 プラネタドリーム
RS11-3014
蒸着装置
EBX-10D
ULVAC
SE59-1362-4
1885
【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 治具無し 蒸
発源:抵抗加熱式(タングステンボート×3) 排気系:DP + RP 赤外線ランプ加熱
RS12-1419
蒸着装置(バッチ式)
EBX-10D
ULVAC
SE56-1351-3
1981
【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 治具無し 蒸
発源:抵抗加熱式(タングステンボート×3) 排気系:DP + RP 赤外線ランプ加熱 欠
品:EBガン
RS10-2175
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
SE58-1359-4
RS13-1038
蒸着装置
EBS-10A特型
ULVAC
XJ99-70010A
1999
RS13-2205
蒸着装置(バッチ式)
EBS-10A
ULVAC
ME54-0003
1979
RS12-1080
蒸着装置
EBH-6
RS14-2280
真空蒸着装置
BMC-700
RS14-2360
RS14-2361
蒸着装置
蒸着装置
RS14-2262
蒸着装置
【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 600W×800H 蒸発源:電子
ビーム(EGL-35M) 電源:10kw(真空管) 排気系:CRYO + RP
ULVAC
MH62-5022
2005
SHINCRON
900073
1990
EX-400-C08
L-300K
ULVAC
ANELVA
MA00-5024
EVP-37391
IPM-100(Load Lock式)
ULVAC
MF03-5104
2004
製造番号
製造年
【ベルジャー式 バッチ装置】 排気系:U-12HSP(C30MT予防保全済)+PMB003C+D-950DK 加熱源:赤外線ランプヒーター ステージ回転:0~10rpm 蒸発
源:抵抗蒸発源(Wフィラメントx4連x6点切替方式) 仕様書・取説・図面あり
【ベルジャー式 バッチ装置】2006年リニューアル 操作系:タッチパネル 真空動作:
AUTO/MANUAL 成膜半自動 蒸着材料:AL・In・Sn 公転ドーム(JRA-050) ワーク
サイズ:50mmx75mm 排気系:クライオポンプ:Torr8/C30V RP D-650 PMB-003C
蒸発源:E/B EGL-35M HP1010SG 抵抗蒸発源:1元ボンバード電源付き MFC
Ar 100sccm 膜厚計CRTM-6000
【ベルジャ式バッチ装置】 研究用 全手動操作 抵抗加熱式蒸発源 (欠品:ベル
ジャー)
現状動作OK。
現状動作OK。
Main Vacuum System:CRYO(U-10PUS)・・・H2 mater)+(C2W-U・・・99633hr)
Load Lock Chamber Vacuum System:Turbo-molecular pump(UTM350FH/D1A)
Vacuum Control System:mks TYPE 113
Vacuum Gauge:Ion Gauge(GI-TL3RY)*2 Pirani Gauge*5(GP-1SRY(A))
Quartz crystal deposition controller (CRTM-6000)
Deposition Source:Erectron Beam Source(EB・・・EGO-35) Power
Supply・・・(EB・・・HPS-510S)
Ion Plating System・・・RFS-02CA*2
Trace・・・Mo/Cr/Al/Al2O3 取説・図面あり。
<CVD装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS12-1318
CVD装置
PD-270STA
SAMCO
RS14-3045
プラズマCVD装置
P-5000(MXP、DXZ)
AMAT
11738
RS10-2769
プラズマCVD装置
DWNT成膜装置
ULVAC
MB03-7002
RS12-1145
プラズマCVD装置
CPD-1210
ULVAC
-
RS13-2010
プラズマCVD装置部品(RS13-8129~8132) CME-200J
ULVAC
MA07-5012-0
RS14-2359
CVD装置
P-CVD装置
CC-200
ULVAC
MA03-5033
P-CVD装置(バッチ式)
ULVAC
MH61-1112
1986
RS13-1031
2001
備考
【バッチ式】 研究用 TEOS-CVD 使用ガス:C2F6 Ar O2 N2
取説・図面あり。
2003
【バッチ式】 熱CVD カーボンナノチューブ研究用 加熱系:MAX1100℃ 排気系:RP ガ
ス:H2(10SLM)・Co(10SLM) 基板:200mm×600mm
【バッチ式】 研究用 プラズマCVD 基板:φ 200 使用ガス:SiH4・・O2・N2
2008
【CtoC】 生産用 プラズマCVD 156基板 《ガス》H2, SiH4, N2, B2H6, PH3,
CO2, アモルファスSi 《不足品》 防着板2室分、シールドブロック4x2室分、シャワープレート2
枚、防着マスク4x2室分
現状動作OK。
研究・開発用途
<アッシング装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS13-3031
アッシング装置
VA-1000
ULVAC
2215
2001
備考
2013/5初旬に装置停止 その後クリーンルームにて保管 外観上問題なし 不具合な
し
【C to C ロードロック】 電源:マイクロ波 600~1000W 2450MHz±50MHz 高周波
200W 13.56MHz RF出力ケーブル(大分建屋保管)
RS11-2405
アッシング装置
UNA-2000N
ULVAC
RE93-1003
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-2079
アッシング装置
UNA-2000
ULVAC
XS06-4604
1992
【C to C ロードロック】 電源:マイクロ波 600~1000W 2450MHz±50MHz 高周波
200W 13.56MHz
RS13-3123
アッシング装置
1000P
GLEN TECHNOLOGIES
10271
2000
仕様書・取説あり
備考
<エッチング装置 ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
☆
RS15-2066
ドライエッチング装置
NE-550
ULVAC
MV06-1113
2006
☆
RS15-2090
ドライエッチング装置(ロードロック式)
NE-550
ULVAC
ME04-1105
2005
RS14-1231
エッチング装置
NE-5000N
ULVAC
MV98-1002
2000
RS11-2399
ドライエッチング装置
CSE-1210
ULVAC
ME60-0230
RS10-2784
ドライエッチング装置
CSE-1110
ULVAC
MH58-0012
RS12-2047
CSE-1000
ULVAC
RE92-1023
RS14-1293
エッチング
エッチング装置
ALBA-PEC
ULVAC
-
RS12-1304
ICPエッチング装置
CE-300I
ULVAC
MV03-1008
2004
1983
備考
排気系 搬送室 ドライポンプ HR-60、エッチング室 ターボ分子ポンプ TMP-1003LM +
HR-60
エッチングシステム プラズマモニター RF電源 Anntena 1kw 13.56MHz Bias 600W 12.5MHz
基板サイズ φ 200mm チラー故障
仕様書・取説あり、図面なし。
基板:200㎜ Tray
装置構成:仕込室+プロセス室*1
プロセス室 RF-Anntena 1KW RF-Bias 300W
排気系:Dry+TMP(TMP起動困難)
仕様書・取説・図面あり。
☆
☆
CRで停止 L/L(カセット付)エッチング装置。 程度良好・制御系動作確認済み。 取
説・図面あり。
【バッチ式】 研究用 RIE方式 電源:500W 13.56MHz 排気系:DP+PMB+RP
基板:φ 200mm (平置き) ガス系:4系統
【バッチ式】 研究用 RIE方式 電源:500W 13.56MHz 排気系:メカニカルブースターポン
プ+油回転真空ポンプ 基板:φ 200mm (平置き)
【ロードロック式】 研究用 ICP方式、使用ガス(CF4/C3F8/SF6/He/Ar/O2)
<エッチング装置 ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1021
エッチング装置
RIE-200L
SAMCO
ENS990608
1999
取説あり、仕様書・図面なし。
RS11-2028
ドライエッチング装置
L-210H-WS
ANELVA
EVP-35058
2000
【ロードロック式】 研究用 RIE方式 使用ガス:O2 CF4:Ar CHF3 C4F8 SF8
排気系:R/P×2台 TMP×1台
RS12-1311
RS10-2789
ドライエッチング装置
ドライエッチング装置
DES-320E
DEM-451
YAC
ANELVA
EVP-16956
1987
【バッチ式】 研究用 RIE方式 基板:φ 150mm 平置き
RS14-4117
エッチング
CVE-2014ACs1
クレセン
CVE-2013ACs1
2006
12インチ用縦型ウェットエッチング装置。薬液は温調、循環ろ過され、純水リンス
への影響がありません。
RS14-4015
Ti自動エッチング装置
-
サンエイ
-
2008
ウェット層でTiエッチング後、純水洗い、乾燥を自動で行える装置
RS10-2182
ドライエッチング装置
CDE-80N
芝浦エレクトロニクス
WFX0013
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-1003
エッチング装置
RIE-200IP
SAMCO
22A1347
5 備考
【枚葉式】 生産向け RIE方式 基板:φ 4トレイ搬送 チャンバー2室
【枚葉式】 生産向け ケミカルエッチング方式、電源:マイクロ波 2.45GHz 1kW、基板:
φ 200mm (裏面エッチング)
製造年
備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <イオン注入装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-1004
イオン注入装置
IDZ-8001
ULVAC
MI05-1001
2005
RS07-2983
イオン注入装置
IMX-3500
ULVAC
MI98-0001
備考
制御系・電源・現行機種(メンテ可能) 程度良好 欠品なし
中電流イオン注入装置 (MAX Energy 200KeV) 基板:4in 1枚仕込(サイズ変更可
能) エネルギー30~200KeV 連続可変 実験用
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
☆
中古品番号
品名
型式
RS15-2079
電気炉
206M100M30X108H
RS15-3007
RS15-3008
RS15-1020
真空乾燥炉
エコリフロー炉
ゴールドイメージ炉
QSAF-500
SNR-615
RHL-P1210CP
RS15-2009
RTA装置
RTP-6
RS13-8016
精密熱処理炉
精密熱処理炉
RS12-1320
VF-2000
RS12-1338
電気炉
真空アニール炉
枚葉式高速アニール装置
ベーク炉
RS14-1003
電気マッフル炉
KL-600
RS10-2602
抵抗加熱式真空高温炉
FHT-75S
RS14-2269
遠紫外線応用装置
RS14-1229
RS12-1316
オーミックアロイ炉
RS12-1044
RS14-1228
RS12-1315
RS12-1373
1連式横型管状炉
3連式横型管状炉
メーカー
製造番号
製造年
光洋リンドバーグ
HI-0714
1990
ULVAC
千住金属工業㈱
ULVAC
D87086
2007
仕様書あり、図面・取説なし。
ULVAC
MR034020-0
2004
ULVAC
MB61-1021
1986
実験機用途。構成:1枚タイプ、ガス種(O2・N2)、基板:Si 2in(サセプター改造にて6in
まで可)加熱性能MAX1000℃
石英炉心管(φ 86mm) 到達圧力:10-6Pa台 加熱(カンタルヒーターPID制御):
1100℃±15 排気系:TMP+RP
2002
基板:φ 100㎜~150㎜
加熱系:1500℃
搬送:手動
石英管:予備1式
仕様書・取説あり、図面なし。
☆
仕様書・図面あり、取説なし。
KOYOサーモシステム
オートローダ φ 4X36枚 ~1200℃
TYPE BH
RTA-4000
アユミ工業
ULVAC
VE-01-16
MR060013-0
LTI-601ED
EYELA
10225465
ADVANTEC
097210
ULVAC
MF99-1131
DUV-25x4B (ロードロック式)
日本電池
00 E 5L
DSI-3500P
A-T-H
ケミトロニクス
ノリタケ
-
A-T-H
備考
【バッチ式】 実験用 排気系:CRYO PumP + RP
取説・図面あり/仕様書なし
□350mm内径 200℃ 大気オーブン・DG82(ヤマト)
2007
本体のみ 付属品:真空オーブン(本体のみ)/型式:DP43/L/N:36800179/S/N:WA2433/メーカー:ヤマト科学
【バッチ式】 実験用 金属焼結等 (MAX1800℃・・・カタログ値) 排気系:RP+PMB
2000年以前製。 ランプ型式:L258 物件番号:KBG711 基板サイズ:□100
使用時間:3407hr 仕様書・取説・図面あり。
取説・図面あり/仕様書なし
φ 4インチ ~1300℃
ノリタケ
φ 4インチ ~1250℃
電気炉
<フォトリソグラフィー工程装置>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2078
マスクアライナー
PLA-600F
CANON
91120311
1991
マスク:φ 7/□6In/□5In(SEMI規格)
基板:φ 100㎜~150㎜
照明系:ウシオ250W 超高圧水銀灯(g線、h線、I線の組合せ)
露光:繰返精度±3%
レンズ:対物10X(5X、20X)接眼10X(5X、20X)
仕様書・取説あり、図面なし。
RS14-2296
マスクアライナー
Q-4000
Quintel
114
2001
アイピース:ニコン 038189 cfwn 10X/20 オブジェクティブレンズ:5X/0.04 ∞ 2.3*2 /
2X/0.04 ∞ 2.3*2 サブストレートサイズ:dia.75
RS12-2087
マスクアライナー
MPA-600Super
CANON
UM031046
2004
RS14-2278
マスクアライナー
ML-300LF (バッチ式)
ルミナス
-
2007
RS14-3048
マスクアライナ装置
MA8/BA8
ズースマイクロテック
MA8BA8-001104
2008
RS13-3121
RS11-1245
ボンドアライナー装置
EVG620
ELS7500EX
EVG
エリオニクス
S020115
H35-019
2003
2008
メーカー
製造番号
製造年
DNS
38700-6637
MIKASA
-
ズースマイクロテック
-
TFE電子ビーム描画装置
備考
☆
試料サイズ:300x300 光束:160mm
水銀ランプ:250W 仕様書・取説・図面あり。
年式新しく、程度良好。予備部品、ドキュメント関係充実。照度計あり。8インチの出来
るマスクアライナは希少価値あり。装置メーカーのズースマイクロテック社の立上、改造支援も
可能。8インチ 立上時メーカーライセンス料必要。仕様書・取説あり、図面なし
仕様書・取説あり
<コーター・デベロッパー>
中古品番号
品名
型式
RS14-4034
コーターデベロッパー
SK-W80B-AVP
RS14-2276
スピンコーター
MS-A500 (バッチ式)
RS13-3019
レジストコーター
卓上型現象装置
DELTA80T2
RS12-1385
備考
2コーター、2デベロッパー。 2014/11月末まで稼働。 不具合・欠品なし。 8"仕
様 (6"以下も可)
2000年以前製。 試料サイズ:最大350x350mm基板 スピン室内径:φ 500mm
回転数:20~2500rpm (350x350基板の時は2000rpmまで) ステップ・パターン
数:100ステップx10パターン 仕様書・取説・図面あり。
2005
ミカサ
取説あり
2006
<ウエハ表面検査・SEM・FIB装置・X線装置>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-1129
ウェーハ表面検査装置(RS13-3130改造分)
WM-1700
TOPCON
207013
RS12-2022
RS12-1396
RS12-1087
RS13-3130
X Pert MRD
WM-3000FOUP
WM-2500
WM-1700
Panalytical
TOPCON
TOPCON
TOPCON
DY2576
00350074
00110021
207013
2001
2005
2001
状態良好
RS12-1422
X線解析装置
ウェーハ表面検査装置
ウエハ表面検査装置
ウェーハ表面検査装置
ウェーハ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
01250019
1997
RS12-1424
ウェーハ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
000370032
1997
RS13-1040
飛行時間型二次イオン質量分析装置
TOF-SIMS TFS-2100(バッチ式)
ULVAC
-
1997
2013/4まで稼動。特に問題なし。動作型式詳細:6インチ、8インチ対応仕様書・取説
あり
レーザー管NG、アームバキューム用電磁弁NG、VMEコンピュータ-PH2ボードNG、部品取り
用。型式詳細:6インチ、8インチ対応
2014/1/末まで通電・使用 欠品・不具合なし
取説有り、仕様書・取説無し
RS12-1384
ナノ断面形状観察装置(FIB)
SMI3050
SII
11.100.367.000.007
2006
RS14-2265
X線反射率・組織分析装置
S-MAT2000F(ロードロック式)
テクノス
172R-046
2004
電気:AC200V 30A(本体)、15A(送水装置) 冷却水:25L/min 窒素:
15NL/min 真空:15NL/min 取説あり。
RS12-1322
SEM
S-3000H
HITACHI
1999
電子顕微鏡(SEM) MFG No.114H2198-01
RS12-2062
魔境検査装置
MIS-110
コベルコ技研レオ
M-002
2003
魔境の原理を用いて、ウエーハの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を
濃淡画面で表示する
RS14-2282
X線解析装置
X線解析装置
ATX-E
Rigaku
WD2876N
2002
Rigaku
Rigaku
タイヨー電機
島津製作所
UD2903N
YD2780N
Q23644602507AE
2002
2002
2007
RS14-2283
RS14-2281
RS13-3018
RS14-3121
X線解析装置
ウエハ異物検査装置
蛍光X線分析装置
ATX-E
ATX-E
EDX-720
6 製造年
備考
☆
12インチウエハ対応
状態良好。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <膜厚測定・抵抗測定装置>
中古品番号
品名
型式
RS14-4102
光干渉式膜厚測定装置
ラムダエースVM-1000
RS12-2067
RS14-2297
RS14-4133
RS12-1404
RS12-1374
全自動4探針装置
エリプソメーター
段差計
FT-IR
FT-IR
WS-8800
SD2300
P-15
Nicolet4700
IRP restige-21
RS13-3165
分光エリプソメーター
GES5e
RS13-3163
膜厚力/ウェハ反り測定装置
FSM 128L
Frontier Semiconductor
060629-652
RS13-3162
水銀プローバ
CVmap 3093A
Four Demension Inc.
0903313093A
2009
触針式表面形状測定器
触針式表面形状測定器
分光エリプソメータ
DEKTAK150 Auto
UNECS-2000
製造年
NS-3016
NS-3017
NS-3014
DEKTAK8
メーカー
製造番号
製造年
DNS
60730-0304
2001
備考
非接触式膜厚測定器、一部故障あり
ナプソン
PLAS-MOS
KLA
Thermo
島津製作所
U/A
40810496
604119287
AFZ0400155
無し
2012
1996
購入後未開封で未使用の装置
2004
フーリエ変換型赤外分光光度計 別途PCあり
Sopra(現日本セミラボ)
61H##3608
2008
CCDマルチチャンネル、DUV 190-900nm 使用履歴:2014/2月までプロセス評価用途で
使用 取説あり動作確認済み、メーカー補正推奨 12インチウエハ対応
ビデオカメラボード故障にて修理対応中
フーリエ変換型赤外分光光度計
膜剥がれ、ヒロック、ボイド形成等 使用履歴:2014/2月までプロセス評価用途で使用
取説有り12インチウエハ対応 動作確認済み、正常稼働。
2点プローブ方式でC-V、I-V測定 使用履歴:2014/2月まで評価用途で使用 取説
有り12インチウエハ対応
ULVAC
ULVAC
ULVAC
<外観検査装置・その他計測器>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS12-1410
微小領域観察シュリーレン装置
型式不明
溝尻工学
7089
RS14-4094
ウエハー外観検査装置
WI-2000
ICOS
W2-2H019
2008
外観検査室が2室あり、量産性に優れる。
RS14-4098
ウエハー外観検査装置(部品取り機)
WI-2000
ICOS
H2.2-H005
2007
RS14-4094へのパーツ機として活用予定
RS14-4124
CNC画像測定システム
VMR-6555
NIKON
1322183
RS14-4101
RS14-4100
CNC画像測定システム
CNC画像測定システム
VMR-3020
VM-250
NIKON
NIKON
1302262
-
RS14-4121
ウエハー外観検査装置
VI-4302
TOPCON
00264303
RS14-4084
ウエハー外観検査装置
ウエハー外観検査装置
ウエハー外観検査装置
VI-4200
TOPCON
00654036
2005
一部故障あり
VI-4200
VI-4200
TOPCON
TOPCON
00754037
00144018
2005
2004
8インチ生産 動作確認済み、故障個所あり。
RS14-2347
RS04-8096
RS04-8097
RS14-4120
RS14-4110
オシロスコープ
SS-7802A
SS-7602(20Mhz)
SS-7602(20Mhz)
SP-500BW300
SP-500BW
IWATSU
IWATSU
IWATSU
東レ
東レ
515625579
52277869
52277872
01250002
A1012762026
2000
スキャンモニター付 IPZ-5001用部品 付属 電源ケーブルのみ
2005
2005
バンプ等の高さを測定する装置300mm対応
RS14-4104
RS14-4187
RS14-4099
RS12-1387
蛍光X線検査装置
ICP発光分光分析装置
外観検査
SII
Rigaku
NIKON
明昌機工
1200194
-
2008
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
ナノインプリント装置
SEA1200VX
Rigaku CIROS CCD
OPTISTATION V
NM-0402
RS14-4103
非接触三次元測定装置
NH-4N
RS12-1411
非接触三次元測定装置
NAFS3070P
RS14-4119
自動外観検査装置
RS14-2290
RS14-4112
RS14-4097
RS14-4118
RS14-4085
RS14-4091
RS12-1369
RS04-8036
RS04-8037
RS12-1030
オシロスコープ
オシロスコープ
パンプ高さ測定装置
パンプ高さ測定装置
低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立。表面形状に依存しない。パッケージ
や基板、マスク等の測長に最適。
2001
最高検出性能0.65μ m。前工程の生産管理からウエハ電気検査前後、ダイシン
グ後など幅広検査工程に使用可能
7114
2003
17591007
2007
Falcon300
Camtek
82004
オシロスコープ
DP07054
Tektronix
B010319
強度測定装置
DAGE5000
DAGE
2049294
半導体検査顕微鏡
AL2100-COM
AL2100-COM
OLYMPUS
OLYMPUS
312001
312002
2010
Mertricon
22184
2247186
FT1410GA
Takaoka
TA01140075/TA01140076
2001
メーカー
製造番号
製造年
サクラ精機
09020988
2009
2008
オシロスコープ
蛍光温度計
一部故障あり
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
多元素同時分析が出来るICP質量分析装置
1997
2006
ミタカ
オシロスコープ
ウエハ上の寸法測定を行う装置
ウエハ上の寸法測定を行う装置
日本技術センター
半導体検査顕微鏡
プリズムカプラ
備考
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
ウエハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体のそり、うねり形状を測定する
装置
後工程外観検査、目視検査から自動検査も可能。バンプ高さ測定ではウエハ全
面3次元(3D)計測にも強み
2008
実装工程における接合強度試験、プルテスト、シェアテスト等がワンタッチ交換で
可能な装置 動作確認済み、故障個所あり。
2003
2003
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
プリズムとレーザーで試料の屈折率や損失を測定
51476829
NE-5500付属品。ケーブル無し。測定部分無し。
<洗浄装置>
中古品番号
品名
型式
RS14-3051
流水洗浄装置
YW-00S-RH
RS14-3050
手動3槽式シャワー洗浄装置
WBTA03-W12
三社電機製作所
4H30004
RS14-4069
リンサードライヤー
SRD-470S
SEMITOOL
C175815
RS14-2270
スピンドライヤー
SPD-160RN (バッチ式)
エア・ブラウン
-
RS14-8035
RS14-8036
スピン乾燥機
スピン乾燥機
PSC-101
PSC-101
SEMITOOL
SEMITOOL
10401,2
10401,1
RS14-2273
スピンドライヤー
H-840SA (バッチ式)
エア・ブラウン
-
RS14-4132
リンサードライヤー
H1120RNN
RS12-1392
RS12-1317
RS12-1310
RS14-4177
RS14-4116
ウェハ洗浄装置
ディップ式自動洗浄装置
スピンドライヤ
スクラバー
剥離装置
EVG301
ETN-1100-110
160RN
SS-W80A-AV
SST300
備考
マガジン内の部品等の純水流水洗浄を行う装置。年式も新しく、使用頻度も少なく
程度良し冶具用網カゴにて洗浄。仕様書・取説あり、図面あり
12インチウェハのフラックス除去を目的とした洗浄装置。年式も新しく、使用頻度も少なく
程度良し薬液洗浄、リンス乾燥付12インチ。仕様書・取説あり、図面あり
1ドラムタイプのスピンリンスドライヤー
2000年以前製。 基板サイズ:直径50~150mmx1 回転数:槽内洗浄0~1500
rpm ドライ0~3500rpm (直径150mm以上は、3000rpm以下) タイマー:槽内
洗浄0~999秒 1速 可変0~999秒 2速 可変0~999秒 仕様書・取説・図
面あり。
MODEL No.:24-S-1-1 ML-WP
MODEL No.:24-S-1-1 ML-WP
2000年以前製。 クレードル定位置停止・回転 基板サイズ:直径150mmx4 直
径200mmx2 回転数:1速300rpm 2速600rpm MAX800rpm タイマー:1
速 可変0~999秒 2速 可変 0~999秒 仕様書・取説・図面あり。
ミクロ技研
K0371
EVG
ETS
エア・ブラウン
DNS
SEMITOOL
S050012
H9903-0437
9806090
T238923
2005
メーカー
製造番号
製造年
12インチ対応スピンドライヤー
2槽式(フッ素・水)
R.P.M3500、200V、4A、50.60Hz
成膜、露光前等のウエハ洗浄装置8インチ対応可能
12インチ用スプレー洗浄装置
<めっき装置>
中古品番号
品名
型式
7 備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <顕微鏡>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-8050
実体顕微鏡
汎用
ミツトヨ
-
RS14-8049
RS14-8051
RS14-4080
RS14-4081
RS14-8046
RS14-8047
金属顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
金属顕微鏡
金属顕微鏡
汎用
汎用
SZ-STS
SMZ800
OPTIPHOT 150S
OPTIPHOT 150S
NIKON
OLYMPUS
OLYMPUS
NIKON
NIKON
NIKON
SZ1145
1007632
9102612
9102568
RS14-4176
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24406
RS14-4195
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24037
RS14-4149
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4D19047
RS14-4157
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
0C00889
RS14-4196
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4E13791
RS14-8045
RS14-8048
RS12-1341
RS14-4169
金属顕微鏡
金属顕微鏡
I-200
BH2-UMA
AVT-45SC
AL110-L86
NIKON
OLYMPUS
明立精機
OLYMPUS
610329
542261
A008010
汎用顕微鏡
ウエハーローダー
製造年
備考
実体顕微鏡
実体顕微鏡 8インチ生産、引取前動作確認済み2014/12
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。12イ
ンチまで対応可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。12イ
ンチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8イ
ンチ全面観察可能。ローダー付
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8イ
ンチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8イ
ンチ全面観察可能
汎用顕微鏡
8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定機能付き
<後工程・実装装置>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-3031
自動ダイシング装置
DAD3350
DISCO
KB1256
2004
RS14-8038
RS14-8039
グラインダー
SW-07
SW-07
SHUWA
SHUWA
-
岡本工作機械
SHUWA
7039
-
1999
シチズン精密
-
2005
RS12-1376
RS14-8037
グラインダー
CMP
ボンディングマシン
RS14-2279
ガラススクライバー
SC-451CP (バッチ式)
RS14-4136
印刷機
MK-838SV
MINAMI
-
RS14-3039
RS13-3134
RS13-3135
印刷機
フリップチップボンダー
LS-34TVA
FCX501
FCX501
NEW LONG
パナソニックファクトリーソリューションズ
063-1612
20RT0067
20RT0078
2008
2006
2006
ADWELDS
20RT0082
-
2006
2009
タカトリ
78144
2003
Kulicke&soffa
不明
-
-
RS13-3136
RS14-3038
フリップチップボンダー
フリップチップボンダー
SPP600S
SGM-6301
ボンダ
FCX501
FA1000
RS14-4192
テープ貼り機
DAM-812M
RS14-8028
RS14-4140
RS14-8029
ALウェッジボンダー
4523-AD
マニュアルプローバー
ITOオートプローバー
特型(半導体パラメータアナライザー4155C付)
-
パナソニックファクトリーソリューションズ
パナソニックファクトリーソリューションズ
備考
仕様書、取説、図面なし。
☆
ワークテーブル:□480mm カッターユニット:スライドストローク 480mm、 送り速度 43~
540mm/sec 動力関係:ステッピングモーター 仕様書・取説・図面あり。
マスク枠650mm×550mm、印刷位置合せ繰返し精度(±0.003mm以下でCSPバ
ンプΦ 0.05mmに対応します。
仕様書あり。
仕様書あり。
ダイシングダイボンディングフィルム一体型の8-12インチ対応のセミオート装置
IV、CV、C-f、C-tなどの測定など半導体パラメトリックテストが可能。
<UV装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1108
UVキュア装置
UMA-802-HC553
ウシオ電機
0605001
2006
備考
年式新しく、使用頻度も少ない良品。C to C仕様。仕様書あり、取説・図面なし。
RS14-3026
RS12-1379
UVキュア
UMA-1002-HC93SMV(Casette to Cassette)
UV-1F
9701006
24A1643
1998
2003
CtoC装置8インチSMIF仕様
UVショウシャキ
ウシオ電機
SAMCO
RS14-8030
オゾンUV照射装置
UV-300
SAMCO
22A1336
<ディスペンサー装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS11-2027
ディスペンサーコントローラー
MS-1
武蔵エンジニアリング
1M010002412
2010
備考
メーカー
製造番号
製造年
備考
メーカー
製造番号
製造年
備考
アユミ工業㈱
-
2012
基板:φ 100㎜~150㎜
排気系:EBARA VOS100
搬送:手動 直線導入
仕様書・取説あり、図面なし。
Eico
-
2009
【ロードロック式】 蒸発源セルx6式のMBE装置
ULVAC
ZF93-5301
1994
ULVAC
MF99-5104
2000
日本電子データム
JK121026-129
2002
棚面積:0.49m2、予備凍結温度:-35~-40℃、 乾燥時加熱温度:常温~
80℃(打点記録計は故障中)
【円筒形棚段式前面扉開閉式】棚面積:0.9m2 棚冷却到達温度:約-45℃以
下 棚温度調節可能範囲:+60℃~ー30℃
生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製装置
15時間程度使用後、保管状態
<イオンミリング装置>
中古品番号
品名
型式
<その他真空装置>
☆
中古品番号
品名
型式
RS15-2080
真空接合装置
-
RS13-1010
分子線エピキタシー装置
-
RS11-3222
凍結乾燥装置
DF-05H
RS13-2201
凍結真空乾燥装置
DFM-09A-S
RS12-1389
凍結乾燥装置
JFD-310
☆
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2059
簡易エアーシャワー
標準型エアーシャワー
AIRTECH
-
2001
RS15-2053
クリーンベンチ
PCV-1302BN
日立
G12952111
1982
RS15-2052
クリーンベンチ
FVT-1500E/FVT-1200E
㈱富士システムサプライ
307316/307317
1983
8 備考
外寸;1300W*800*2375H ,フィルター;HEPA 1枚 扉;スライドドア ,
その他;若干の汚れ在り
外寸;1300W*800*1875H 、フィルター;HEAP 1枚、扉;ビニールカーテン、その他;アジャスタ
付・若干の汚れ在り
外寸;1300W*800*1875H, フィルター;HEAP 1枚 ,扉;ビニールカーテン ,その他;アジャスタ
付・若干の汚れ在り
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
RS15-2060
クリーンベンチ
FVT-1200E
RS15-2058
ドラフトチャンバー
RS12-1357
キャビネット
キャビネット
ドラフト
RS12-1363
RS14-8040
RS14-8041
2016年2月20日現在 メーカー
製造番号
製造年
㈱富士システムサプライ
-
1998
DF-11AK
ダルトン
DF980382
2005
無し
IUCHI
無し
IUCHI
ダンタクマ
ダンタクマ
-
備考
外寸;1300W*800*2375H ,フィルター;HEPA 1枚 ,扉;樹脂スライドドア ,その他;アジャスタ
無 ・ 若干の汚れ在り
(1200Wx650Dx1800H)
(1200Wx650Dx1800)
ドラフト
DC-1802BEW-Ⅱ
DC-1802BEW-Ⅱ
RS12-1350
クリーンベンチ
BH-800
アズワン
RS12-1351
クリーンベンチ
BH-800
アズワン
RS12-1353
クリーンベンチ
BH-800
アズワン
RS12-1354
クリーンベンチ
BH-800
アズワン
RS14-4095
ドラフト
-
ダルトン
-
美品
RS14-4137
RS12-1361
ドラフト
キャビネット
-
アスクル
IUCHI
-
程度良
RS12-1362
RS12-1364
RS12-1355
RS12-1368
RS12-1375
キャビネット
キャビネット
クリーンベンチ
デシケーター
レジスト保管用冷蔵庫
W800xD700xH1800 (作業面W760xD610) 作業面環境 クラス100対応、 HEPA
要交換
W800xD700xH1800 (作業面W760xD610) 作業面環境 クラス100対応、 HEPA
要交換
W800xD700xH1800 (作業面W760xD610) 作業面環境 クラス100対応、 HEPA
要交換
W800xD700xH1800 (作業面W760xD610) 作業面環境 クラス100対応、 HEPA
要交換
(1200Wx650Dx1800H)
IUCHI
IUCHI
NIKON
U/N
(1200Wx650Dx1800H)
(1200Wx650Dx1800H)
外寸:W1900*D820*H1540内寸:W1740*D720*H650
SANYO
<その他>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-4194
手動式リフター
PL-H500-15
OKUDAYA GIKEN
152183
RS14-4179
シーラー
V-402-10W
富士インパルス
049001A
RS12-1029
RS09-1467
ホットプレート
-
ULVAC
ULVAC
2004AA003634-101
2001
NE-5500付属 2インチ用ホットプレート
RS11-2466
RS15-1109
RS15-2075
システムIFボックス
グローブボックス
イージーリフト
水封式真空ポンプ
VM140
SW-150S
美和製作所
アムンゼン
ULVAC
MF98-1018付属
-
1998
2009
2003
取説あり。
RS14-2299
RS14-2298
In貼付装置
In貼付装置
-
小板研究所
小板研究所
A488730000
3411H16670
RS13-1021
プロセスプラズマモニタ
C-7460
浜松フォトニクス
010069
RS12-1088
レーザー管点灯チェックセット
-
TOPCON
-
RS09-1593
RS14-2288
NS-5024
火災受信装置
LED Chip Sorter
-
ニッタン株式会社
ASM
ULVAC
CPC-2
76-79-2237
NS-5025
NS-5026
NS-5027
NS-5028
NS-5029
NS-5030
NS-5031
NS-5032
NS-5033
NS-5034
NS-5035
NS-5036
NS-5037
NS-5038
NS-5039
NS-3020
アルフォイルロール
フランジ
フランジ
フランジ
フランジ
フランジ
ガスケット
配管部品
配管部品
配管部品
配管部品
直線導入端子
電流導入端子
電流導入端子
電流導入端子
電流導入端子
除振台
UFC306-000FT
UFC253-000RH
UFC306-000RH
ULVAC
ULVAC
ULVAC
UFC306-250RH
UFC253/114
ULVAC
ULVAC
UFE070GS 10枚/組
配管部品
ULVAC
ULVAC
配管部品
配管部品
配管部品
ULVAC
ULVAC
ULVAC
TSU-15F
ULVAC
CMS2D09-8P
CMS5D80-1P
ULVAC
ULVAC
CMS2D09-1PF
CMS10D80-1PF
MINI-560
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造年
備考
卓上型の脱気シーラー(脱気包装機)。部品・精密機器などの
酸化防止等に活用可能
UJにて実験機に取付て使用(良品) ※パソコン及び動作ソフトは
別途購入が必要です。
レーザー管点灯チェックセット(内訳) ・発振器 型式:DLG3110 1個 ・電源 型式:
GLS3140 1個 ・ファン1個、ダクト1個
ブラケット付
<油回転真空ポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
☆
RS15-2093
油回転真空ポンプ
D-950
ULVAC
-
☆
☆
RS15-2092
RS12-8061
RS15-1078
油回転真空ポンプ
油回転式真空ポンプ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
D-950K
2063
2033SD
ULVAC
ANELVA
アルカテル
187685
☆
2033SD
VS-2401
アルカテル
ULVAC
A36A-07025
PVD-360B
PKS-030
ULVAC
ULVAC
4-00678
使用履歴:熱処理炉にて使用、付属品:TMX-1
使用履歴:真空熱処理炉に使用 モーター200V(50/60Hz共用) モータープーリー50Hz
用 本体のみ 付属品:TM-2あり
RS15-1079
RS15-2006
製造年
備考
要O/H、特ガス吸引無。
要O/H、特ガス吸引無。
2005
RS14-2068
RS14-2247
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
RS14-1104
油回転真空ポンプ
PKS-016
ULVAC
2-04634
RS10-8092
RS10-8093
RS14-8023
RS14-1255
RS14-1254
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
GLD-100
GLD-100
EC602
D-650K
D-650K
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
72971
72975
2-00426
A02B-02263
A02B-02262
RS14-1144
油回転真空ポンプ
2021SD
ALCATEL
AM633075
付属品:電源ケーブル 100V/200V(単相)切替可能、未使用品
取説あり
RS14-1143
NS-5000
NS-5001
油回転真空ポンプ
2015SD
D-240DK 200V
EC603 200V
ALCATEL
ULVAC
ULVAC
619757
付属品:電源ケーブル 100V/200V(単相)切替可能、未使用品
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
9 程度下。 モーターなし。 要O/H。
2002
2002
オイルミストトラップ付属 吸引:GaAs(ガリ砒素)
オイルミストトラップ付属 吸引:GaAs(ガリ砒素)
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <油回転真空ポンプ部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS11-1259
オイルミストトラップ
TM-2
ULVAC
シリアル無し
2009
PKS-016用 オイルミストトラップ オイルエレメント交換要 【全2台】
RS09-1573
RS12-1064
RS12-1065
RS12-1066
RS12-1067
RS09-1592
オイルミストトラップ
TMX-2
TYPE EFOU
TYPE EFOU
TYPE EFOU
TYPE EFOU
2002
2002
2002
2002
状態良好
NS-5009
NS-5010
NS-5011
コンデンサモーター
コンデンサモーター
コンデンサモーター
コンデンサモーター
ON BOARD POWERケーブル
オイルミストトラップ
オイルミストトラップ
オイルミストトラップ
ULVAC
ULVAC
2071507
ULVAC
2070438
ULVAC
2070483
ULVAC
2070935
CTI-CRYOGENIC 8112463G050 95E09 PC
TMX-40
TMX-60
TMX-80
備考
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
約1m
ULVAC
ULVAC
ULVAC
<油拡散ポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-1247
油拡散ポンプ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01500
2000
RS12-1251
油拡散ポンプ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01502
2000
RS14-2216
油拡散ポンプ
PFL-36
ULVAC
1-00391
2003
RS14-2217
油拡散ポンプ
PFL-36
ULVAC
1-00392
2003
RS14-2255
RS13-2004
RS14-2073
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ
DPF-14Z
CDP-3700
DIAVAC
ANELVA
ULVAC
940769
1539
6in 水冷バッフル
備考
排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、200V、1200W、動作未確
認、水冷バッフル付、(排気ガス:Ar、Air)
排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確
認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air)
使用履歴:2003年製巻取スパッタ装置SPW-060にて使用(Cu)。 使用頻度も低く状
態良好。本体のみ、付属品なし
使用履歴:2003年製巻取スパッタ装置SPW-060にて使用(Cu)。 使用頻度も低く状
態良好。本体のみ、付属品なし
200V 3φ 4500W。 500L/sec オイル1600cc 水量7/min 要O/H。
スパッタ装置SPC-530Hに使用(水冷バッフル無し)
※新品未使用品
<メカニカルブースターポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-1142
メカニカルブースターポンプ
PMB-006C
ULVAC
A14A-01218
RS13-8130
メカニカルブースターポンプ
PMB-001CM
ULVAC
A11A-03318
RS13-8129
メカニカルブースターポンプ
PMB-001CM
ULVAC
A11A-01405
RS12-1223
RS14-3079
RS14-3080
メカニカルブースターポンプ
メカニカルブースターポンプ
EH500
SMB-C06
SMB-C06
EDWARDS
神港精機
神港精機
006700640
280856
280855
PMB-003CM
PMB-003CM
ULVAC
ULVAC
A13A-01968
A13A-01967
2003
2003
PRC-006A without Inv.
PRC-012A without Inv.
PRC-012A without Inv.
PRC-012A without Motor & Inv.
PRC-036C-T
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PRC-036C-T
PRC-036C-T
PMB-003C 200V
PMB-003CM 200V
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造年
RS15-2074
RS15-2073
NS-1317
NS-2721
NS-3006
NS-3007
NS-3009
NS-3010
NS-3011
NS-5006
NS-5008
メカニカルブースターポンプ
メカニカルブースターポンプ
メカニカルブースターポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
製造年
備考
本体のみ 使用履歴:不明(UJ/貸出・社内使用機 エッチング・スパッタ他使用) 要
無害化洗浄
吸引物質:H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2,
アモルファスSi(CVD装置使用)
吸引物質:H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2,
アモルファスSi(CVD装置使用)
温度計要交換
状態良好。新品未使用
状態良好。新品未使用
<クライオポンプ ULVAC製>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-2091
クライオポンプ
U-16
ULVAC CRYO
-
RS14-2082
クライオポンプ
U8HSP
ULVAC
1202266
2012
RS14-2083
クライオポンプ
U8HSP
ULVAC
1202267
2012
RS14-1016
クライオポンプ
U8H
ULVAC
9401413D
2000
RS14-1017
クライオポンプ
U8H
ULVAC
94062980
2000
RS09-1023
RS11-2546
クライオポンプ
クライオポンプヒーター
U-6H
U-6H
ULVAC
ULVAC
9508243
RS14-2159
クライオポンプ
U20HL
ULVAC
1203586
2012
RS14-2080
クライオポンプ
U12HSPL
ULVAC
1202922
2012
RS14-2081
クライオポンプ
U12HSPL
ULVAC
1202923
2012
RS14-2160
クライオポンプ
U12HSPL
ULVAC
1203930
2012
RS08-2698
クライオポンプ
U-12HSP
ULVAC
9601334
RS13-3039
クライオポンプ
U12H-SP
ULVAC
0609016
排気速度:4100L/S 付属品無し
RS13-3035
RS13-3036
RS13-3040
RS13-3046
RS13-3053
RS05-2009
RS07-2727
クライオポンプ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0609014
0609015
0809025
0609031
0609019
9205822/9302893
9310064
排気速度:4100L/S 付属品無し
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ(2台)
クライオポンプ
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U-12HL
U-10PUS
RS13-8100
クライオポンプ
U10PUS
ULVAC
0101221
RS10-8098
クライオポンプ
U-10PU
ULVAC CRYO
9305795
RS11-8109
スーパートラップ
T8SN
ULVAC CRYO
0103767
RS11-8133
RS11-8035
スーパートラップ
スーパートラップ温調器
U8SN
STC-1(INV)
ULVAC CRYO
ULVAC
0005540
S-0823A
10 備考
☆
本体のみ 吸気口:VG MBS-C ベークヒータータイプ
冷凍機:RM10 (S/N:RMQB958H)
本体のみ 吸気口:VG MBS-C ベークヒータータイプ
冷凍機:RM10 (S/N:RMQB957H)
本体のみ 水素蒸気圧温度計付
冷凍機:R10(RC G035 LGA) 吸気口:UVG-200
本体のみ 水素蒸気圧温度計付
冷凍機:R10(MB B395 LG) 吸気口:UVG-200
排気速度:750L/S 吸気口:VG150
U-6H用バンドヒータ 【2式】
本体のみ 吸気口:VG 付属品:MBS-Cベーカブルタイプ、 冷凍機:RM80T
(S/N:RMUB336 3PT)
本体のみ 吸気口:VG MBS-C ベーガルタイプ 冷凍機:RM20 (S/N:RMSB436)
本体のみ 吸気口:VG MBS-C ベーカブルタイプ
冷凍機:RM20 (S/N:RMSB435)
本体のみ 吸気口:VG 付属品:MBS-Cベーカブルタイプ、 冷凍機:RM20
(S/N:RMSB446)
排気速度:4100L/S、吸気口:メタルガスケットフランジ、低振動モーター、アナログ水素蒸気
圧計 付属品:ハンドヒーターコンプレッサー無し(ポンプ単体)
排気速度:4100L/S 付属品無し
排気速度:4100L/S 付属品無し
排気速度:4100L/S 付属品無し
排気速度:4100L/S 付属品無し
排気速度:2300L/S 吸気口:VG250 温度計:H2VP
排気速度:2300L/S 付属品:再生用バンドヒーター(型式:RBH-10) 温度計:
MBS-2 冷凍機:R15(RG B166 LG) 吸気口:VG250
SCV-3030より抜取り 排気速度:2300L/S 水素蒸気圧温度計付 冷凍機:
RS10(RC4380) 吸気口:VG250
型式:CRYO-T8SN、冷凍機型式:RS-10、冷凍機製造番号:RF B609 LG、LG:
LG(低振動)モーター、ロッカーアーム分離型(可変型、初期型)
1999
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-2203
クライオポンプ用冷凍機
RM20
ULVAC
RMSB671
2012
★未開封・未使用品★
RS14-2205
RM10
ULVAC
RMQD318H
2012
★未開封・未使用品★
RS13-8104
クライオポンプ用冷凍機
クライオメーター
MBD
ULVAC
00121836N
RS11-2238
クライオポンプ (SUPER TRAP)
CRYO-T8C
ULVAC
9912441
付属品S/N:RFB220LG 本体のみ
冷凍機:RS10(RF B220 LG) ICF253フランジ
RS11-2239
RS12-1174
クライオポンプ (SUPER TRAP)
CRYO-T8C
C30ZR
ULVAC
ULVAC
9912442
CS1235
本体のみ 冷凍機:RS10(RF B222 LG) ICF253フランジ
C30ZR
C30ZR
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
CS1199
CS1290
XP2875B
XP2866B
XP2863B
本体のみ(付属品無し)
2012
2012
2012
本体のみ 積算時間:19349.9hr He圧:1.5MPa
C30PVRT
ULVAC
XP2848B
2012
本体のみ 積算時間:19153.8hr He圧:1.5MPa
C30PVRT
ULVAC
XP2862B
2012
本体のみ 積算時間:19304.2hr He圧:1.4MPa
C30PVRT
C30PVRT
C30PMVRT
C30PMVRT
C30
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
XP2743B
XP2769B
XQ1075B
XQ1095B
CC1606
2012
2012
2012
2012
1992
本体のみ 積算時間:19838.0hr He圧:1.4MPa
C10
U6H
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
CW3052
9511261D
危険物吸引なし。
U6H
C15V
U-22H
ULVAC CRYO
ULVAC
ULVAC
9511262D
VE1108
0108289
本体のみ 吸気フランジVG 水素蒸気圧温度計
STC-2A
C10
ULVAC
ULVAC
1201119R
C10
C10
C10
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS12-1175
RS12-1176
RS14-2135
RS14-2141
RS14-2142
RS14-2143
RS14-2145
RS14-2165
RS14-2166
RS14-2192
RS14-2193
RS12-8052
RS14-1275
RS15-1005
RS15-1006
RS13-8115
RS07-3002
RS14-2102
RS15-1074
RS15-1075
RS15-1077
RS15-1076
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオコンプレッサー
クライオポンプ
クライオモニター
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
備考
温度表示ふらつきあり 要修理
本体のみ(付属品無し)
本体のみ(付属品無し)
本体のみ 積算時間:19461.8hr He圧:1.4MPa
本体のみ 積算時間:19157.3hr He圧:1.5MPa
本体のみ 積算時間:19215.5hr He圧:1.4MPa
本体のみ 積算時間:19916.6hr He圧:1.4MPa 2又付(一式)
本体のみ 積算時間:19910.3hr He圧:1.4MPa
フレキホース(3m) 積算時間:70594hr
本体のみ 吸気フランジVG 水素蒸気圧温度計
排気速度:17000L/S、吸気口:VG550、温度計:MBS、本体のみ
2012
本体のみ
要O/H、積算約56,000Hr。
要O/H、積算約100,000Hr
要O/H、積算約100,000Hr
RS15-2026
クライオコンプレッサー
クライオコンプレッサー
RS14-2092
クライオコンプレッサー
C30PVRT
RS15-2023
クライオコンプレッサー
C30V
RS15-2025
クライオコンプレッサー
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
C30V
U8H
U8H
ULVAC
ULVAC
要O/H、特ガス吸引無。
U6H
ULVAC
要O/H、特ガス吸引無。
RS15-1071
RS15-1072
RS15-1073
C30V
要O/H、積算約100,000Hr
ULVAC CRYO
2003
本体のみ
2012
有機ELライン廃棄に伴い装置コンポーネント購入。 本体のみ。 積算時間:18336.2hr
He圧:1.4MPa 仕様書・取説・図面なし。
ULVAC CRYO
2003
本体のみ
ULVAC CRYO
2003
本体のみ
ULVAC
XP2825B
要O/H、特ガス吸引無。
<クライオポンプ ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-8002
CTI製Heコンプレッサー
9600
CTI
94B9806485
He残圧低下により要修理
RS14-8005
RS14-8006
RS14-8007
CTI製Heコンプレッサー
CTI製Heコンプレッサー
CTI製Heコンプレッサー
9600
9600
9600
CTI
CTI
CTI
94D0010828
94D0010858
94D0010856
He残圧低下により要修理
RS14-3067
RS14-8013
RS14-8014
RS14-8015
コンプレッサー
CTI製コントローラー
CTI製コントローラー
C200G
CTIコントローラー
CTIコントローラー
CTIコントローラー
アイシン
CTI
CTI
CTI
05431101
106C0001401
106H9901183
状態良好。He残圧0の為、要修理。
CTIコントローラー
CTIコントローラー
CTIコントローラー
CTI
CTI
CTI
106C9901108
k042581
106E0202064
動作未確認。
CTIコントローラー
ONBOAD WATER PUMP
ONBOAD10F
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
CTI
HELIX
HELIX
鈴木商会
鈴木商会
C0302250
S/N:MK9709651
S/NQK9709711
P064016
P064017
動作未確認。
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
鈴木商会
鈴木商会
P064013A
P064012A
状態良好。
SA12SJ-01SーE
SLP-22CD
Torr 8F
Torr8F
Torr8F
SA12SJ-01SーE
C200G
鈴木商会
アネスト岩田
HELIX
HELIX
HELIX
鈴木商会
アイシン
P072023
ED0033
S/N:70H9638328
S/N70C9529467
S/N70C9530128
P064018
06432311
状態良好。
C200G
SA12SJ-01SーE
アイシン
鈴木商会
06432216
P064014
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3058)
SA16SJ-01S
C200G
C200G
鈴木商会
アイシン
アイシン
P064008
06432309
06432301
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3070)
SA16SJ-01S
SA16SJ-01S
鈴木商会
鈴木商会
P064009
P064011
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3071)
RS14-3072
クライオポンプ
クライオポンプ
コンプレッサー
アイシン
06432179
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3066)
RS14-1169
ネオゴールド
RCT-501S
新明和
DL050507
使用履歴:コーディング装置にて使用 (2014/10頃まで都度使用時稼働) 本体の
み。 吸引ガス:Ar 冷媒:HCFC系混合冷媒 3組 200V 50/60Hz 3.75KW
RS15-1080
CPフレキホース
-
ULVAC
-
RS14-8016
RS14-8017
RS14-8018
RS14-8019
RS11-2237
RS11-2236
RS14-3059
RS14-3060
RS14-3061
RS14-3062
RS14-3063
RS12-1407
RS11-2230
RS11-2231
RS11-2232
RS14-3057
RS14-3068
RS14-3069
RS14-3058
RS14-3064
RS14-3070
RS14-3071
RS14-3065
RS14-3066
CTI製コントローラー
CTI製コントローラー
CTI製コントローラー
CTI製コントローラー
CTI製コントローラー
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
コンプレッサー
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
クライオポンプ
コンプレッサー
コンプレッサー
クライオポンプ
クライオポンプ
コンプレッサー
コンプレッサー
C200G
製造年
備考
He残圧低下により要修理
He残圧低下により要修理
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
UFC-253
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3068)
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3057)
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3069)
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3064)
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3065)
状態良好。セット販売のみ(セット品:RS14-3072)
<ターボ分子ポンプ ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-2015
ターボポンプパワーサプライ
FTI-3303W-D3-0307
ULVAC
-
RS13-2150
ターボ分子ポンプ
UTM-1001FWD3A
ULVAC
1001F0083
11 製造年
備考
パワーサプライ用ケーブル
CVD使用品 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
メーカー
RS11-2535
ターボ分子ポンフ+゚コントローラー
UTM1200FW
ULVAC
RS13-2142
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0449
RS13-2145
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0455
RS13-2147
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0447
RS13-2148
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0448
RS13-2025
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0219
RS13-2026
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0220
RS13-2027
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0221
RS13-2028
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0207
RS13-2021
ターボ分子ポンプ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0148
RS13-2179
RS04-8049
ターボ分子ポンプ
TMP
UTM-500FW
UTM-300
ULVAC
ULVAC
050F016
030P460
RS15-2043
ターボ分子ポンプ
TMP-303LM
ULVAC
FZL339
NS-3012
ターボ分子ポンプ
UTM-6300FHA
2016年2月20日現在 製造番号
製造年
備考
動作未確認軸オイルは入っていない コントローラーケーブル付きフルセット
CVD使用品 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m、吸気口フランジ:VG250
CVD使用品 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m、吸気口フランジ:VG250
CVD使用品 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m、吸気口フランジ:VG250
CVD使用品 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m、吸気口フランジ:VG250
CVD使用品使用ガス:SiH4、PH3、B2H6
付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m)
CVD使用品使用ガス:SiH4、PH3、B2H6
付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m)
CVD使用品使用ガス:SiH4、PH3、B2H6
付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m)
CVD使用品使用ガス:SiH4、PH3、B2H6
付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m)
CVD使用品使用ガス:SiH4、PH3、B2H6
付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m)
本体のみ、水冷式、吸気口:UFC-203(メタルガスケット) 排気口:NW40
2003
本体・コントローラー(EI-303M S/N JZR112)付、ケーブル無。有機EL装置ZE
LDA(L室)にて使用の為、無害。
ULVAC
<ターボ分子ポンプ ULVAC製以外>
中古品番号
品名
RS15-1041
ターボ分子ポンプ
RS14-1283
ターボ分子ポンプコントローラー
ターボ分子ポンプコントローラー
ターボ分子ポンプコントローラ
型式
メーカー
製造番号
製造年
TMP-1003LM/EI-1003M
島津製作所
2000
EI-D203M
島津製作所
EI-D1303M
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
RS11-1202
ターボ分子ポンプ
STP-300
EDWARDS
RS14-8043
ターボ分子ポンプ
TG-1003VM-70
大阪真空
RS13-2181
ターボ分子ポンプ
TG1810VM
大阪真空
RS14-2161
RS08-8008
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
TG2400MVWB
TMP-1003
大阪真空
島津製作所
RS10-8002
RS13-1011
RS09-1474
RS08-8011
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-202LM
TMP-403LM
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
RS15-2030
ターボ分子ポンプ
TMP-803LM
島津製作所
FZM-543
MKA036
0
RKD109
RKD110
RKD112
1084A
658
G1810-1292
639
CZM045
DZM031
NZM230
9006
FZL182
WZMO149
RS15-2032
ターボ分子ポンプ
TMP-303LM
島津製作所
FZL357
2003
RS15-2031
ターボ分子ポンプ
TMP-803LM
島津製作所
FZM636
2003
RS15-2029
ターボ分子ポンプ
TMP-803LM
島津製作所
FZL474
2003
RS15-2034
ターボ分子ポンプ
TMP-303LM
島津製作所
FZL341
2003
RS15-2033
ターボ分子ポンプ
TMP-303LM
島津製作所
FZL347
2003
RS14-1176
ターボ分子ポンプ
TMP-403LM
島津製作所
NZL-466
RS14-1010
ターボ分子ポンプ
TMP-803MC
島津製作所
RS11-2253
RS11-2254
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
TPU1501PC
TPU1501PC
PFEIFFER
PFEIFFER
LZM-167
13882198
14072840
RS13-2180
ターボ分子ポンプ
TS440VW
大阪真空
S440-485
RS09-1583
ターボ分子ポンプ
TURBOVAC361C
ライボルト
2-900097589
製造番号
RS10-2660
RS14-2015
RS14-2016
RS14-2017
ターボ分子ポンプコントローラ
ターボ分子ポンプコントローラ
備考
ポンプ本体+EI-1003M+ケーブル
危険物吸引なし。コントローラー本体のみ。
【2台】
2009
2009
2009
本体のみ、付属品無し
1997
空冷式フランジ:ICF152付属品:コントローラ STP-300(SCU-300)、 TMP⇔コントローラ
間ケーブル(8m)、I/Oケーブル(切断状態)AC POWERケーブル欠品
2012
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、水冷式、吸気口:VG250 排気口:NW40、
オイル付き、取扱説明書無し
本体のみ 吸気口:VG 水冷式
本体のみ
2009
1995
2003
フランジサイズ:VG100
本体・コントローラー (EI-1003M S/N FZS459)付、ケーブル無。有機EL装置Z
ELDA(搬送室)にて使用の為、無害。
本体・コントローラー (EI-303M S/N FZR338)付、ケーブル無。有機EL装置Z
ELDA(搬送室)にて使用の為、無害。
本体・コントローラー (EI-R04M S/N WRA0663)付、ケーブル無。有機EL装置
ZELDA(搬送室)にて使用の為、無害。
本体・コントローラー (EI-1003M S/N FZS613)付、ケーブル無。有機EL装置Z
ELDA(搬送室)にて使用の為、無害。
本体・コントローラー(EI-303M S/N FZR331)付、ケーブル無。有機EL装置ZE
LDA(搬送室)にて使用の為、無害。
本体・コントローラー (EI-303M S/N FZR337)付、ケーブル無。有機EL装置Z
ELDA(搬送室)にて使用の為、無害。
使用履歴:コーティング装置にて使用 停止前状況:予備として保管 吸引ガス:Ar
吸気口:VG150 水冷 付属品:コントローラー EI-D303M (LFU1)(S/N:NKB339)、
ケーブル付属なし。
本体のみ
2006
ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N:PMP03697
ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N:PMP03697
水冷式吸気口:VG150 排気口:NW25 取扱説明書無し TMPコントローラ:TC400付き 電源ケーブル切断(1m)、IOケーブル切断(3m) 、ポンプ⇔コントローラー間ケーブル
(4m) CVD装置の予備ポンプ
<ドライポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS15-1053
ドライポンプ
PDR-090CL
ULVAC
2002
本体+ケーブル
RS15-1051
RS15-1052
RS14-1007
RS14-1008
ドライポンプ
ドライポンプ
ドライポンプ
ドライポンプ
ULVAC
ULVAC
樫山
樫山
2002
2002
本体+ケーブル
00J0321
01C0605
本体のみ
RS12-1329
ドライポンプ
PDR-090CL
PDR-090CL
SDE90U-20
SDE90U-024
SD60VⅡU-189-50
樫山
00K5878
排気速度:1000L/m 吸気口:VG40 排気口:NW40
RS12-1326
ドライポンプ
SD60VⅡU-079-50
樫山
RS12-1328
ドライポンプ
SD60VⅡU079-50
樫山
RS12-1327
ドライポンプ
SD60VⅡ
RS14-1138
ドライポンプ
PDR-090CLN
備考
RS14-2213
ドライポンプ
RS14-8024
ドライポンプ
RS14-8025
ドライポンプ
MU300-002
樫山
04J0221
RS13-8131
ドライポンプ
LR60
ULVAC
A00A-00237
RS14-2208
ドライポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00035
2012
RS14-2176
ドライポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00016
2012
RS14-2177
ドライ真空ポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00019
2012
RS14-2178
ドライ真空ポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00020
2012
本体+ケーブル
本体のみ
排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40
MFG No.96G3412
排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40
MFG No.96G3415
樫山
00K5811
ULVAC
A93A-00545
MU300-102
樫山
13ZDN71515
MU300-005
樫山
06D0543
12 製造年
排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40
2012
本体のみ 使用履歴:不明(UJ/貸出・社内使用機 エッチング・スパッタ他使用) 要
無害化洗浄
★未開封・未使用品★(2013/12/17新品購入後、保管) 3φ 200V 排気速度:
5000L/m 取説あり
吸引物質:H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2,
アモルファスSi(CVD装置使用)
★未開封・未使用品★(2013/11/26新品購入後、保管) LR421-T+PRC-036
付属品:サイレンサRS-03・排気配管付 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V
50/60Hz
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-2179
ドライ真空ポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00017
2012
RS14-2180
ドライ真空ポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00014
2012
RS14-2181
ドライ真空ポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00013
2012
RS14-2182
ドライ真空ポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00018
2012
RS14-2183
ドライ真空ポンプ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00015
2012
RS13-2132
ドライ真空ポンプ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10237
RS13-2133
ドライポンプ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10013
RS13-2134
ドライポンプ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10233
RS13-2135
ドライポンプ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10296
CVD使用品 付属品:コネクタのみ 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2136
ドライポンプ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10236
RS14-2077
ドライポンプ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00007
2012
RS14-2163
ドライ真空ポンプ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00016
2012
CVD使用品 付属品:コネクタのみ 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
SMD-1200CX使用(危険物の吸引なし)特型仕様:油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口:VG150。 排気口:NW40。AC200V 50/60Hz、付
属品:サイレンサ:RS-02、 エコショックESS-6、 手動バタフライバルブ(FUJI SEIKI
MOD:1061100)、ケーブル切断(コネクタあり)仕様書・取説・図面なし。
真空搬送装置使用(危険物の吸引なし)特型仕様:油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口:VG150。 排気口:NW40。AC200V 50/60Hz、付
属品:サイレンサ:RS02、 エコショックESS-6、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)仕様書・取
説・図面なし。
RS14-2175
ドライ真空ポンプ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00013
2012
RS13-2172
ドライ真空ポンプ
LR1800特
ULVAC
A85A-03232
RS13-2173
ドライポンプ
LR1800特
ULVAC
A85A-01233
RS13-2033
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-2
RS13-2034
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-1
RS13-2037
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-4
RS13-2038
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
A1034-10409
RS13-2039
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-4
RS13-2040
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-2
RS13-2041
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-1
RS13-2042
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-1
RS13-2043
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-2
RS13-2044
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-2
RS13-2045
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-1
RS13-2046
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-1
RS13-2047
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-3
RS13-2048
ドライポンプ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-3
RS13-2049
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00032
RS13-2052
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00034
RS13-2054
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00100
RS13-2055
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00021
RS13-2056
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00020
RS13-2125
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00025
RS13-2126
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00362
RS13-2127
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00022
RS13-2128
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00031
RS13-2129
ドライポンプ
LR-180
ULVAC
A85A-00023
RS13-2287
ドライポンプ
IQDP80
EDWARDS
972127973
RS14-2059
ドライポンプ
IH600
EDWARDS
076238382
2004
【未使用品】購入より10年 製造年:2000年以降 本体のみ 排気速度:
8600L/min 吸気口:ISO100 排気口:NW40 消費電力:3.2kvA 重量:415kg
資料なし
RS14-2060
ドライ真空ポンプ
IH600
EDWARDS
056269793
2004
【未使用品】購入より10年 製造年:2000年以降 本体のみ 排気速度:
8600L/min 吸気口:ISO100 排気口:NW40 消費電力:3.2kvA 重量:415kg
資料なし
RS14-2061
ドライ真空ポンプ
IH600
EDWARDS
027436149
2004
【未使用品】購入より10年 製造年:2000年以降 本体のみ 排気速度:
8600L/min 吸気口:ISO100 排気口:NW40 消費電力:3.2kvA 重量:415kg
資料なし
RS14-2062
ドライ真空ポンプ
IH600
EDWARDS
037830833
2004
【未使用品】購入より10年 製造年:2000年以降 本体のみ 排気速度:
8600L/min 吸気口:ISO100排気口:NW40 消費電力:3.2kvA 重量:415kG 資
料なし
RS14-2168
ドライ真空ポンプ
HR600特型
ULVAC
A111B-00005
2012
RS14-2169
ドライ真空ポンプ
HR600特型
ULVAC
A111B-00003
2012
RS13-8132
ドライ真空ポンプ
HR-60
ULVAC
A81A-00006
RS14-2055
ドライポンプ
HC60B-1
樫山
06K3232
2012
RS14-2056
ドライ真空ポンプ
HC60B-1
樫山
06K3231
2012
RS14-2057
ドライ真空ポンプ
HC450
樫山
00F015
2000
13 備考
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
LR421-T+PRC-036 吸気口:VG150 排気口:NW50 AC200V 50/60HZ 付属
品:サイレンサ:RS-03、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)
CVD使用品 付属品:コネクタのみ 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品 付属品:コネクタのみ 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品 付属品:コネクタのみ 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
真空ベーク装置使用(危険物の吸引なし)特型仕様:油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口:VG150。 排気口:NW40。AC200V 50/60Hz、付
属品:サイレンサ:RS02、 ケーブル切断状態(コネクタのみ)。仕様書・取説・図面なし。
使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速
度:28000L/m 吸気口:VG150、付属品:コネクタのみ。
使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速
度:28000L/m 吸気口:VG150 付属品:コネクタのみ。
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6
ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6
ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サ
イレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サ
イレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サ
イレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サ
イレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6
ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6
ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6
ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サ
イレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サ
イレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6
ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6
ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サ
イレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40
CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:
SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留)
O/H済み品
HR90+PRC-006 吸気口:VG80 排気口:NW40 AC200V 50/60Hz 付属品:サ
イレンサ:RS01、ケーブル切断状態(コネクタのみ)
HR90+PRC-006 吸気口:VG80 排気口:NW40 AC200V 50/60Hz 付属品:サ
イレンサ:RS01、ケーブル切断状態(コネクタのみ)
吸引物質:H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2,
アモルファスSi(CVD装置使用)
製造年:2000年以降 運用履歴:【新品】 故障履歴:なし 本体のみ 排気速度:
900L/min ルーツポンプ付 吸気口NW80 排気口:NW40 消費電力:3.0kvA 重量:
77kg 資料なし
製造年:2000年以降 運用履歴:【新品】 故障履歴:冷却水パイプ IN/OUTともに
変形 本体のみ 排気速度:900L/min ルーツポンプ付 吸気口:NW80 排気口:
NW40 消費電力:3.0kvA 重量:77kg 資料なし
製造年:2000年以降 使用期間:15年 本体のみ 排気速度:6300L/min 吸気
口:NW80 排気口:NW40 消費電力:5.8kvA 重量:195kg 資料なし
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
RS14-2058
ドライ真空ポンプ
HC450
RS14-8026
ドライ真空ポンプ
RS15-2046
RS14-2303
スクロールポンプ
スクロールポンプ
G-200
ISP-500B
ER-80
RS08-8029
RS08-8030
ドライポンプ
ドライポンプ
RS12-1127
2016年2月20日現在 メーカー
製造番号
製造年
樫山
00F016
2000
備考
製造年:2000年以降 使用期間:15年 本体のみ 排気速度:6300L/min 吸気
口:NW80 排気口:NW40 消費電力:5.8kvA 重量:195kg 資料なし
Gardner Denver
BN10027658
アネスト岩田
ULVAC
AC8103-1502407
A95A-00198
A30W
A30W
荏原製作所
荏原製作所
C60132
C61435
ドライポンプ
A30W
EBARA
C40290
2000
RS12-1128
ドライポンプ
A30W
EBARA
C70771
2000
RS12-1129
ドライポンプ
A30W
EBARA
C80285
2000
RS14-8044
ドライポンプ
A10S-S
EBARA
A#50485S
RS14-3073
ドライポンプ
DHA00242
状態良好。
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ESA300W
ESA300W
ESA300W
EBARA
RS14-3075
RS14-3076
RS14-3077
RS14-3078
RS13-8143
EBARA
EBARA
EBARA
EBARA
ULVAC
DHA00241
DHA00240
R064313701 1/2
DHB00305
A93A-00044
状態良好。
RS15-2071
NS-1021
ドライポンプ
ULVAC
ULVAC
A93A-0073
2003
製造年
備考
備考
NS-1442
NS-1250
NS-1064
NS-1466
NS-1386
NS-1532
NS-1698
NS-3018
ドライポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ESA25-D-A
ESA25-D-A
RDR-090CL
PDR-090CLN
LR60
LR90
LR90
LR90
ULVAC
ULVAC
ULVAC
HR90
ER150
ULVAC
ULVAC
ER150
LR300
LR600
ULVAC
ULVAC
ULVAC
LR600
LR1200
ULVAC
ULVAC
NS-1485
NS-1732
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
NS-2082
ドライ真空ポンプ
LR1200
ULVAC
NS-2080
NS-2726
ドライ真空ポンプ
LR1800
LR1800
ULVAC
ULVAC
LR1800
LR1800
ULVAC
ULVAC
LR1800
LR1800
LR3600
ULVAC
ULVAC
ULVAC
LR3600
PDR-060CL
ULVAC
ULVAC
PDR-060CL
PDR-060CH
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CL
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PDR-090CL
PDR-090CH
PDR-090CH
PDR-090CH
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PDR-180C
ULVAC
PDR-180C
DYM-12MCH-09CU
ULVAC
ULVAC
DYM-12RAH-18UR-CMD
DYM-12RAH-18CU
DYM-12RAH-18CU
ULVAC
ULVAC
ULVAC
NS-3004
NS-3005
NS-1739
NS-1786
NS-1724
NS-2241
NS-1350
NS-1335
NS-1355
NS-1390
NS-1337
NS-1353
NS-1361
NS-1333
NS-1369
NS-1257
NS-1338
NS-2705
NS-1541
NS-2047
NS-2359
NS-1145
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
2003
2005
有機EL装置ZELDAで使用。「H27年2月3日」O/H済の為、無害。
NE-550に使用、予備品(整備済み)
排気速度:3000L/min 吸気口:NW50、コネクター破損
排気速度:3000L/min 吸気口:NW50
排気速度:3000L/min 吸気口:NW50
RIE装置に使用 使用ガス:CF4・O2・Ar
排気速度:3000L/min 吸気口:NW50
RIE装置に使用 使用ガス:CF4・O2・Ar
排気速度:3000L/min 吸気口:NW50
RIE装置に使用使用ガス:CF4・O2・Ar
状態良好。
状態良好。O/H済
状態良好。O/H済
<イオンポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-1009
イオンポンプ
PST-030CU
ULVAC
13-0021
RS15-1010
RS15-1011
RS15-1012
RS15-1013
RS15-1014
RS15-1015
イオンポンプ
イオンポンプ
イオンポンプ
イオンポンプ
イオンポンプコントローラ
イオンポンプコントローラ
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
GST-05A
GST-1A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
13-0036
13-0034
13-0020
13-0022
72508570
5425104
<排気セット>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-1253
排気セット
YM-SEMI-300C(特)
ULVAC
BK97-2366
1997
EC603+PMB-003CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
RS14-1250
RS14-1252
RS14-1251
RS14-1249
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AK00-3273
AK99-2032
AK99-3818
AK99-3817-1
2000
1999
1999
1999
EC603+PMB-003CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
BK97-2367
BK98-2316-2
AK99-2859
AK99-3256
1997
1998
1999
1999
EC803+PMB-006CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
排気セット
排気セット
排気セット
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
RS09-2124
排気セット
DP40-+EH250
EDWARDS
5274A/7270FF
RS15-1064
超高真空排気装置
BB6962
ULVAC
MB04-1007
RS14-1246
RS14-1245
RS14-1247
RS14-1248
14 EC603+PMB-003CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
EC603+PMB-003CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
EC603+PMB-003CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
EC803+PMB-006CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
EC803+PMB-006CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
EC803+PMB-006CM 吸引:GaAs(ガリ砒素)
【CtoC ロードロック式】 電源:マイクロ波600~1000W 2450MHz±50MHz 高周波
200W 13.56MHz
2004
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <真空バルブ ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-8072
真空L型バルブ
VULP-65CM
ULVAC
P651125
RS09-8073
RS09-8074
RS13-8056
RS11-1216
RS09-8076
RS11-1215
真空L型バルブ
VULP-65
VULP-65
VULP-40CM
VULP-25F(旧式)
VULP-250CM
VULP-25(旧式)
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P650867
P650887
P402399
シリアル無し
P250036
シリアル無し
RS09-8069
RS09-8070
RS09-8071
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
VULP-25
VULP-25
VULP-25
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P250774
P252851
P252855
RS09-8075
RS12-1072
RS12-1071
RS12-1069
真空L型バルブ
真空手動バルブ
真空手動バルブ
真空手動バルブ
VULP-200CM
VULH-40
VUH-651
VUH-251C
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P200075
MG54-0017
-
RS12-1070
RS09-8067
RS11-2155
真空手動バルブ
真空ゲートバルブ
VUH-251C
VUGP-40
VLP-U3/4S
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P400182
800456
VLP-U3/4S
VLP-U3/4S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
800361
800111
021536
021537
021544
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
021551
021552
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
ULVAC
021752
021753
021700
1989
1989
1989
圧空式 JIS規格 2inフランジ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
VLP-U2S
ULVAC
021695
1989
圧空式 JIS規格 2inフランジ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
VLP-U2S
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
020626
027242
2000
動作未確認 圧空式 JIS規格 2inフランジ
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
028933
028935
圧空式 JIS規格 2inフランジ
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
028942
028953
028995
圧空式 JIS規格 2inフランジ
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
029006
029022
圧空式 JIS規格 2inフランジ
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
029065
028891
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0170001
0170002
0170004
圧空式 JIS規格 1inフランジ
VLP-U1SW
VLP-U1SW
ULVAC
ULVAC
0170019
0170034
圧空式 JIS規格 1inフランジ
VLP-U1S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
022512
147210
147231
147278
147095
1989
2000
2000
2000
冷凍乾燥装置にて使用、状態良好。圧空式 JIS規格1inフランジ
VLP-U10S
VLP-U10S
VLP-U1_1/2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
102579
102581
518203
2000
2000
動作未確認 圧空式 JIS規格 10inフランジ
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
ULVAC
ULVAC
518215
518244
圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
ULVAC
ULVAC
518246
518249
圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ
VLP-U1_1/2
VLP-U1 1/2S
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
510332
510312
010427
017451
021755
021311
021702
圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ
VLP-U06SW-R
VLP-U06AW
VLP-U06AW
VLP-8R
VLP-01
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
070276
068772
068771
831734
-
動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ
2002
圧空式 JIS規格 1inフランジ
ULVAC
ULVAC
-
2002
2002
要無害化洗浄
RS11-2156
RS12-1295
RS09-8061
RS09-8062
RS09-8063
RS09-8064
RS09-8065
RS12-1103
RS12-1104
RS12-1105
RS12-1106
RS12-1273
RS09-8052
RS09-8053
RS09-8054
RS09-8055
RS09-8056
RS09-8057
RS09-8058
RS09-8059
RS09-8060
RS11-3142
RS09-8047
RS09-8048
RS09-8049
RS09-8050
RS09-8051
RS12-1108
RS12-1257
RS12-1258
RS12-1259
RS14-2254
RS12-1263
RS12-1264
RS09-8038
RS09-8041
RS09-8042
RS09-8043
RS09-8044
RS09-8046
RS14-2072
RS09-8028
RS09-8029
RS09-8030
RS09-8032
RS09-8033
RS11-2074
RS11-2153
RS11-2154
RS09-8077
RS12-1078
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
L型バルブ
L型バルブ
真空バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空バルブ
真空バルブ
真空バルブ
真空バルブ
真空バルブ
真空バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
製造年
備考
UFC114
Oリングフランジ
Oリングフランジ
1997
状態良好 VF-25 L型バルブ(圧空駆動)
1997
状態良好 UFC070L型バルブ(圧空駆動)
Oリングフランジ
Oリングフランジ
Oリングフランジ
2002
2002
2002
要無害化処理
2002
ICF-070 整備後、引渡し
状態良好
ICF-070
圧空式 JIS規格 3/4inフランジ
圧空式 JIS規格 3/4inフランジ
2000
動作未確認 圧空式 JIS規格 3/4inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
圧空式 JIS規格 2inフランジ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 2inフランジ
2004
圧空式 JIS規格 2inフランジ
圧空式 JIS規格 1inフランジ
圧空式 JIS規格 1inフランジ
圧空式 JIS規格 1inフランジ
動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ
動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ
動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ
動作未確認 圧空式 JIS規格 10inフランジ
圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ
圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ
圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ
★新品未使用品★ 電流導入端子、ベロー含む
圧空式 JIS規格 1inフランジ
圧空式 JIS規格 1inフランジ
圧空式 JIS規格 1inフランジ
圧空式 JIS規格 1inフランジ サイレンサー付き(ベント用)
圧空式 JIS規格 1inフランジ
動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ
動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ
RS12-1075
RS12-1076
真空手動バルブ
真空手動バルブ
VLH-2
VLH-2
RS11-2147
真空L型バルブ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000186
特型仕様 圧空式 VG300フランジ 本体のみ 取扱説明書なし
RS11-2148
真空L型バルブ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000183
特型仕様 圧空式 VG300フランジ 本体のみ 取扱説明書なし
RS11-2149
RS11-2150
RS11-2151
RS11-2152
RS12-1437
RS12-1438
RS11-1014
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空ゲートバルブ
真空ゲートバルブ
真空ゲートバルブ
真空ゲートバルブ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-250Ⅱ
VAP-250Ⅱ
VAP-200Ⅱ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
000188
000189
000185
000184
000098
000102
特型仕様 圧空式 VG300フランジ 本体のみ 取扱説明書なし
VAP-200Ⅱ
ULVAC
RS11-1015
15 要無害化洗浄
特型仕様 圧空式 VG300フランジ 本体のみ 取扱説明書なし
特型仕様 圧空式 VG300フランジ 本体のみ 取扱説明書なし
特型仕様 圧空式 VG300フランジ 本体のみ 取扱説明書なし
圧搾空気動作式真空ゲートバルブ
圧空式JIS規格 10inフランジ
動作未確認 JIS規格 8inフランジ
動作未確認 JIS規格 8inフランジ
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
メーカー
RS11-1016
真空ゲートバルブ
VAP-200Ⅱ
ULVAC
RS11-1017
RS12-1433
RS12-1434
真空ゲートバルブ
真空ゲートバルブ
真空ゲートバルブ
真空ゲートバルブ
ゲートバルブ
ゲートバルブ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
VAP-200Ⅱ
VUGH-40F
ULVAC
ULVAC
VUGH-65F
ULVAC
RS12-1435
NS-5012
NS-5013
2016年2月20日現在 製造番号
製造年
備考
動作未確認 JIS規格 8inフランジ
動作未確認 JIS規格 8inフランジ
MN03-0347-3
MN03-0347-4
圧空式JIS規格 8inフランジ
MN03-0347-5
圧空式 JIS規格 8inフランジ
圧空式 JIS規格 8inフランジ
<真空バルブ ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS11-2173
真空手動バルブ
XLH40
SMC
シリアル無し
RS09-8025
RS09-8024
RS09-8020
RS09-8021
RS09-8019
真空L型バルブ
真空L型バルブ
XLG-80
XLA-16F9NP
Series 26(KF-40)
Series 26(KF-40)
Series 26(KF-16)
SMC
SMC
VAT
VAT
VAT
F-26-60317-200
F-26-60317-201
F-26-60049-894
Series 24(KF-25)
Series 24(KF-25)
VAT
VAT
F-24-60045-1077
F-24-60045-1078
BENKAN(KITZ-SCT)
シリアル無し
シリアル無し
RS09-8016
RS09-8017
RS11-2158
RS11-2157
RS11-2216
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
製造年
備考
NW40
ガスバルブ
ガスバルブ
SCV 316L10K-3/8 STD(N.C 0.4~0.7Mpa)
PM-5
VAT
FABR.NO641PM-16PM-0002/153
本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/153
RS11-2217
RS11-2460
バルブコントローラー
バルブコントローラー
バルブコントローラー
PM-5
PM-5
VAT
VAT
FABR.NO641PM-16PM-0002/160
本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/160
RS14-1172
真空バルブ
LCAV-40
大亜真空
1201172-16
RS14-1170
真空バルブ
LAV-K6
大亜真空
120123-2
RS14-1171
真空バルブ
LAV-K3
大亜真空
1201280-11
RS11-2078
ガスバルブ
IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
シリアル無し
RS11-2077
ガスバルブ
IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
シリアル無し
RS13-8009
RS08-8035
RS11-8017
圧力制御バルブ+バルブコントローラ
バタフライバルブ
656A100IKKVVN+655AD2BJ
653B-8-200J-2
64252-JE52-ANZ1+PM5
MKS
MKS
VAT
017067580 + 017669753
64250-CE52-1101
64250-CE52-1101
VAT
VAT
F64-105808/1
F64-105808/2
64246-JE52-0101
VAT
F64-10866 1/1
SCV 316L 10K-3/8 STD(N.C.0.4~0.7Mpa) BENKAN(KITZ-SCT)
ガス配管用STOP VALVE N2流量計 (TOKYO KEISO MAX500L/min)付き
ガス配管用STOP VALVE N2流量計(TOKYO KEISO MAX500L/min)付き
102532-R1
000601724
2011
2000
使用履歴:コーディング装置にて使用 (2014/10頃まで都度使用時稼働) 本体の
み。 吸引ガス:Ar L型KF-40
使用履歴:コーディング装置にて使用 (2014/10頃まで都度使用時稼働) 本体の
み。 吸引ガス:Ar L型6” VF150 圧空駆動
使用履歴:コーディング装置にて使用 (2014/10頃まで都度使用時稼働) 本体の
み。 吸引ガス:Ar L型3” VF100 圧空駆動
ガス配管用STOP VALVE 継手:3/8(スエジ) 圧力範囲:0.4~0.7MPa N.C.
フローメーター(範囲50~500L/min N2 TOKYO KEISO製)付属
ガス配管用STOP VALVE 継手:3/8(スエジ) 圧力範囲:0.4~0.7MPa N.C.
フローメーター(範囲50~500L/min N2 TOKYO KEISO製)付属
バルブコントローラ、ケーブル付。フランジ外径φ 135mm。プラズマ処理装置に使用。吸引ガ
ス:Ar
RS07-2961
ゲートバルブ
ゲートバルブコントロールシステム
ゲートバルブコントロールシステム
ゲートバルブ
RS10-2762
真空L型バルブ
28332-GE41-0003
VAT
-
RS09-8009
真空L型バルブ
真空L型バルブ
26328-KA11-0001
VAT
0158
KF25 圧空L型バルブ、排気:Air、Normal Close
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
VAT
VAT
VAT
VAT
0241
0247
0250
0251
KF25 圧空L型バルブ、排気:Air、Normal Close
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
253A-11792
VAT
VAT
MKS
0252
0253
92031106L
KF25 圧空L型バルブ、排気:Air、Normal Close
20044-CE24-1001/0006
1-800-345-1967
VAT
MKS
A-249751
9928670041
Zi LL室コアメインバルブに使用。
1-800-345-1967
16250-JA28
MKS
VAT
9928670044
不明
Zi LL室メインバルブに使用。
VAT
VAT
VAT
不明
不明
不明
不明
2011
2011
RS11-2223
RS11-2224
RS09-8010
RS09-8011
RS09-8012
RS09-8013
RS09-8014
RS09-8015
RS09-1149
RS10-8026
RS10-8024
RS10-8025
RS11-2072
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
APCバルブ
バタフライバルブ
真空L型バルブ
真空L型バルブ
振子式高真空バルブ
PM5(コントローラー) P/N:641PM-16BE-0003/0001
本体のみ、ゲートバルブコントロールシステム、ICF356、 ステッピングモータ作動式
本体のみ、ゲートバルブコントロールシステム、ICF356、 ステッピングモータ作動式
付属品(コントローラ・インターフェイスボード)あり、コントローラケーブルは無し。
2000
26132-KA21(NW40)2個、24128-KA21(NW25)2個、26124-KA21(NW16)2個A719543(IFC070)
KF25 圧空L型バルブ、排気:Air、Normal Close
KF25 圧空L型バルブ、排気:Air、Normal Close
KF25 圧空L型バルブ、排気:Air、Normal Close
KF25 圧空L型バルブ、排気:Air、Normal Close
Zi LL室メインバルブに使用。
振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式
RS11-2066
RS11-2069
RS11-2071
振子式高真空バルブ
振子式高真空バルブ
振子式高真空バルブ
16250-JA28
16250-JA28
16250-JA28
RS13-8010
高真空ゲートバルブ(Oリング回転軸シール)
14048-JE44
VAT
RS13-8011
高真空ゲートバルブ(Oリング回転軸シール)
14048-JE44
VAT
不明
RS11-2222
高真空ゲートバルブ
14048-CE34-0005
VAT
F14-104723/2
本体のみ、高真空ゲートバルブ、ICF306、圧空駆動式
RS11-8182
高真空ゲートバルブ
14040-CE24-1004
VAT
F14-100068/2
RS13-8013
ゲートバルブ
12146-JA14
VAT
不明
RS09-8007
真空ゲートバルブ
11220-0150X
HVA
01-17156
超高真空排気装置から部品抜取り。フランジ:ICF152 圧空作動式(電磁弁無し・
リミットスイッチ付仕様)※圧空導入部分欠品
JISフランジ(8in)=VF200、プラズマ処理装置に使用。吸引ガス:Ar、シリンダー型式:
12146-JA14-ASQ1/0002、複動圧空駆動式
ICF070 ゲート圧空【C to C ロードロック式】量産用 ISM方式、電源:Antena 1kW
13.56MHz/BIAS 300W 12.5MHz 排気系:TMP・DRP・APC、基板:φ 50mm
(ESCホールド)、使用ガス:CF4/CI2/SF6/He/Ar/O2
RS09-8006
RS09-8004
真空ゲートバルブ
真空圧空式バタフライバルブ
真空ゲートバルブ
11210-0159
1021001
HVA
フジ精機
95-01971
100003
VAT
VAT
A-289817
F14-109375/3
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
備考
RS07-2931
RS11-2226
高真空ゲートバルブ
02112-BA24-001-0031
14036-CE44-AAC1
振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式
2011
JISフランジ(10in)=VF250、プラズマ処理装置に使用。吸引ガス:Ar、シリンダー型式:
14048-JE44-0006/0044、圧空駆動式
JISフランジ(10in)=VF250、プラズマ処理装置に使用。吸引ガス:Ar、シリンダー型式:
14048-JE44-0006/0045、圧空駆動式
ICF070 圧空作動式ゲートバルブ
圧空式バタフライバルブ(ポジション付き)
(ISOバルブ)
本体のみ。ICF114、圧空駆動式
<超高真空部品>
中古品番号
品名
<ピラニ真空計>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2020
ピラニー真空計
GP-1G
ULVAC
08239G
2015
新品未使用、ケーブルなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
RS15-2019
RS11-2326
RS11-2327
RS11-2328
ピラニー真空計
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
08238G
07240212184
006760116373
006740115388
2015
新品未使用、ケーブルなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
GP-1G
DV-6200
DV-6200
DV-6200
RS13-2123
ピラニ真空計
EM301
ULVAC
PH8401
2008
16 MCH・MLXシリーズ搭載品
MCH・MLXシリーズ搭載品
MCH・MLXシリーズ搭載品
12CH(35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m)、付属品:表示
機(表示機⇔ピラニ真空計間ケーブル付)、取説無し
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS13-2124
ピラニ真空計
EM301
ULVAC
PH8402
2008
RS13-2231
ピラニー真空計
EM-301
ULVAC
PH8602
2008
RS11-2102
RS11-2103
ピラニ真空計
EM-301 8CH
EM-301 8CH
ULVAC
ULVAC
PH1508
PH1509
MAX8点測定
EM-301 8CH
GP-1000
ULVAC
ULVAC
PH7301
23791
MAX8点測定
GP-1000
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
ULVAC
23666
23796
23789
状態良好。
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
23688
23692
状態良好。
RS14-3096
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
GP-1000
ULVAC
23793
状態良好。
RS14-3097
ピラニ真空計
GP-1000
ULVAC
23662
状態良好。
RS14-3098
RS14-3102
ピラニ真空計
ピラニ真空計
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
23683
23686
状態良好。
RS13-2309
ピラニー真空計
GP-1000G
ULVAC
RS14-1156
ピラニ真空計
GP-1000G
ULVAC
03467G
付属品:電源ケーブルのみ 液晶一部表示NG
RS14-3104
RS14-1285
RS13-2302
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニー真空計
GP-1000G
GP-1GRY
GP-1SRY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
01005G
02543G
73967
状態良好。
1987
メーターA(S)タイプ、 Pa/Torr表示、 電源ケーブル要交換(被覆損傷あり)
RS13-2303
ピラニー真空計
GP-1SRY
ULVAC
19896
1987
使用履歴:ALロウ付け装置、購入直前まで稼働。測定しケーブル無、電源ケール
ブル付属あり(丸端子)、200m構成(WP01)、
Pa-torr表示。メーターAタイプ
RS13-2340
ピラニー真空計
GP-1SRY
ULVAC
71937
本体のみ、メータータイプB、(WP-01、100m校正)
RS13-8128
ピラニー真空計
GP-1SRY
ULVAC
73966
RS13-2284
ピラニー真空計
GP-1SSW
ULVAC
2603
付属品:電源ケーブル (WP-01/100m 校正品)。
部品抜き前、通電のみ確認済。
メーター無し 付属品:WP用測定子ケーブル(4m)(アンプ表示10m)
動作確認OK
RS08-2159
ピラニゲージボックスユニット
G-TRAN BPR2
ULVAC
3364
ケーブル 付属無しSENSOR CABLE 40m
RS08-2160
ピラニゲージボックスユニット
G-TRAN BPR2
ULVAC
3365
ケーブル 付属無しSENSOR CABLE 40m
RS11-2529
ピラニ真空計
G-TRAN SP-1/ISP
ULVAC
17827G/01846
センサーユニット SP1φ 18 表示器のみ、ケーブル無し
RS11-2303
ピラニ真空計
PG-6200
ULVAC
2131 0212188
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
RS11-2305
RS11-2307
ピラニ真空計
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
28370419173
28310418377
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
018130116195
2127 0212184
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
21320212189
シリアル無し
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
018140116196
018110116193
018080116190
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
シリアル無し
018370116197
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
シリアル無し
018070116199
018090116191
018100116192
018120116194
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
RS11-2323
RS11-2325
NS-5014
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
PG-6200
PG-6200
GP-2ARY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
018390116199
28400419176
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
NS-5015
ピラニ真空計
GP-2001
ULVAC
型式
GI-TL3
GI-TL3
GI-M2
GI-M2
GI-M
M-420HG
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
キヤノンアネルバ
製造番号
F42829
F42828
22145
01931
3299
EL057222
M-420HG
M-420HG
キヤノンアネルバ
キヤノンアネルバ
EL057267
EL057213
状態良好。
M-420HG
M-420HG
M-420HG
GI-D6
GI-D6
キヤノンアネルバ
キヤノンアネルバ
キヤノンアネルバ
ULVAC
ULVAC
EL057211
EL057215
EL057216
0384
0428
状態良好。
N9011078
RS11-2189
RS14-3086
RS14-3087
RS14-3088
RS14-3089
RS14-3094
RS14-3095
RS11-2308
RS11-2309
RS11-2310
RS11-2311
RS11-2312
RS11-2313
RS11-2314
RS11-2315
RS11-2316
RS11-2317
RS11-2318
RS11-2319
RS11-2320
RS11-2321
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
ピラニ真空計
備考
12CH(35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m)、 付属品:表示
機(表示機⇔ピラニ真空計間ケーブル付)、取説無し
12CH(35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m)、付属品:表示
機(表示機⇔ピラニ真空計間ケーブル付)、取説無し
MAX8点測定
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
2008
使用履歴:真空熱処理装置に付属、有害物質不使用 本体のみ、(測定子ケーブ
ル・検出ユニット付属無し) 仕様書・取説・図面無し
危険物吸引なし。フルセット。
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品
<電離真空計>
☆
☆
中古品番号
RS15-2086
RS15-2085
RS15-1095
RS15-1092
RS14-1286
RS14-3105
RS14-3106
RS14-3107
品名
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
RS14-3108
RS14-3109
RS14-3110
RS15-1016
RS15-1017
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
RS12-8063
電離真空計
MIG-721
ANELVA
NS-3019
電離真空計
GI-TL3RY
ULVAC
製造年
-
備考
☆
☆
危険物吸引なし。AC100V入力ケーブル付。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
<バラトロン真空計>
中古品番号
品名
型式
RS10-8044
バラトロン真空計
真空計 186B-BOJOAANV
RS09-1421
RS13-2241
RS13-2174
RS13-2175
RS13-2176
RS13-2177
バラトロン測定子
バラトロン真空計コントローラ
バラトロン真空計コントローラー
バラトロン真空計コントローラー
バラトロン真空計コントローラー
バラトロン真空計コントローラー
CMX-1110
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
メーカー
製造番号
MKS
000,206,023
CELERITY
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
A819647727
016335508
016293672
016293679
016293683
016293684
17 製造年
2008
2008
2008
2008
2008
備考
付属品:電源ケーブル
付属品:電源ケーブル キー部破損
付属品:電源ケーブル
付属品:電源ケーブル
付属品:電源ケーブル
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS13-2178
バラトロン真空計コントローラー
651CD2S1NJ
MKS
000740759
2008
備考
RS11-3007
RS12-8062
バラトロン真空計
バラトロン真空計
628A.1TBF-S
TYPE 113B
MKS
MKS
000065664
SN3449
製造番号
製造年
備考
製造年
備考
付属品:電源ケーブル
外観問題なし、動作未確認、ケーブル無レンジ:1Pa/133.32
バラトロン測定子:627A01TBC 測定子ケーブル(9m) 電源ケーブル付属
<ペニング真空計>
中古品番号
NS-5040
品名
型式
メーカー
ペニング真空計
GI-PRYS
ULVAC
<サーモカップル真空計>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS12-8064
RS12-8065
サーモカップル真空計
サーモカップル真空計
MTG-012
MTG-012
ANELVA
ANELVA
M9156827
M9156829
製造番号
製造年
備考
測定子ケーブル8m 電源ケーブル 付属
測定子ケーブル8m 電源ケーブル 付属
<キャパシタンスマノメータ >
中古品番号
NS-5016
品名
型式
メーカー
キャパシタンスマノメータ
CCMH-1000A
ULVAC
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
製造年
備考
<広帯域真空計 >
中古品番号
品名
<成膜コントローラー>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-8124
成膜コントローラー
CRTM-5000
ULVAC
0243
本体のみ。 部品抜き前、通電のみ確認済。
RS13-8126
RS11-2012
成膜コントローラー
ULVAC
MAXTEK,INC
0123
121
付属品:電源ケーブル HS/Sカード4個。 部品抜き前、通電のみ確認済。
水晶振動式膜厚計
CRTM-8000
MDC-260
RS14-2363
膜厚計
CRTM-6000
ULVAC
00557
現状動作OK。電源ケーブル・I/Oコネクタ付属。購入時、通電・膜厚センサー表示確認、テ
ストモードでのコントロール動作確認済。
RS11-8028
RS11-8029
マルチセンサーコントローラー
CRTS-12NS
CRTS-12NS
ULVAC
ULVAC
134-134 Ver.2.04
136-136 Ver.2.04
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
ULVAC
ULVAC
ULVAC
135-135 Ver.2.04
137-137 Ver.2.04
252-252 Ver.2.04
RS11-8070
RS11-8071
RS11-8072
マルチセンサーコントローラー
マルチセンサーコントローラー
マルチセンサーコントローラー
マルチセンサーコントローラー
本体、ケーブルのみ(センサー無し)
<ガス分析計>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-1143
TRANSPECTOR XPR
XPR-TR100 (0397)
INFICON
H8TR15B00372
RS11-1170
質量ガス分析計
質量ガス分析計
質量ガス分析計
質量ガス分析計
質量ガス分析計
Transpector2(911-242-G1U H100M)
INFICON
70003237
Transpector2
Transpector2
INFICON
Inficon
LOTT23B02800
LOTT23C02894
質量ガス分析計
Transpector2
Transpector2
Transpector2
Inficon
Inficon
Inficon
C1TT24C03427
MOTT23C02969
B2TT26C03925
プロセスモニター
RG-202R
ULVAC
AK97-3487
1997
製造年
RS11-1169
RS14-2284
RS14-2287
RS14-2286
RS14-2285
RS14-2250
製造年
備考
本体のみ、ケーブル無し
Transpector 2(911-242-G1U H100M)
動作未確認。 コントロールユニット S/N:00032 センサーユニット S/N:00032 本体(ジュラル
ミンケース付) + PC(HITACHI製) + ソフト付(Windows3.1) 欠品なし。 使用履歴:
N2ガス分析 取説あり。
<Heリークディテクタ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS11-2208
Heリークディテクタ
HELIOT 302s特
ULVAC
3836
RS13-3145
RS13-3152
Heリークディテクター
Heリークディテクター
UL-200
UL-200
INFICON
INFICON
90001015459
20600033255
備考
スニファー専用機器
付属品:電源ケーブル、取説(英文)あり。、
付属品:電源ケーブル、取説(英文)あり。
<EB電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS10-8060
ビームスイープコントローラ
PSG-004S
ULVAC
19912145
製造年
RS10-8102
ビームスイープコントローラ
PSG-004S
ULVAC
19912040
RS13-1035
EB電源
JST-10F
JEOL
BS101106-55 AB Z280
RS11-8010
RS11-8048
EB電源
EB電源
HPS-1600F
HPS-1600F
ULVAC
ULVAC
20020012
20020011
RS13-8142
EB電源セット
JST-16F
JEOL
-
備考
本体のみ
EB1コントローラ、EB2コントローラ、ガン1ケーブル*2、ガン2ケーブル*2、コイルケーブル(ガン1)、コイル
ケーブル(ガン2)、高圧ケーブル*4本。
電源本体鍵無、コントローラはハイパワー仕様
電源本体鍵無、コントローラはハイパワー仕様、フィラメントBOX付属無し
【EB電源セット】電源ラック1個、コントローラーユニット(JST-16F 1個、EBG-HV025G02 2
個、EBG-LV025G01 1個) ハース 1個
<RF電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
☆
RS15-1112
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595162
☆
RS15-1116
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594072
☆
RS15-1115
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595166
☆
RS15-1114
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594038
☆
RS15-1113
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595161
18 製造年
備考
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
☆
☆
☆
☆
☆
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
☆
RS15-1117
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
599014
☆
RS15-1125
マッチングコントローラー
AMC 6D
ULVAC
395052
☆
RS15-1126
マッチングコントローラー
AMC 6D
ULVAC
395115
☆
RS15-1124
マッチングコントローラー
AMC 6D
ULVAC
396018
☆
RS15-1121
MBX-05EA2
ULVAC
396006
☆
☆
☆
RS15-1119
RS15-1122
RS15-1120
RS11-2291
RS11-2292
RFマッチングボックス
RFマッチングボックス
RFマッチングボックス
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
VDC-1A
VDC-1A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
395086
392013
394016
086008
91020
RS10-8082
RFマッチングボックス
VDCモニタ
VDCモニタ
VDCモニター
2016年2月20日現在 製造年
備考
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100 保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395038) 外寸 W240
D320 H100 保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395037) 外寸 W240
D320 H100 保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395041) 外寸 W240
D320 H100 保管状態良好。
入力 200w C/W 1L/m 0.5kg/cm² 重量 8kg 外寸 W200 D410 H200 保管状態良
好。
入力 200w C/W 1L/m 2kg/cm² 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210 保管状態良
好。
外寸 W200 D410 H200 保管状態良好。
入力 200w C/W 1L/m 0.2MPa 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210 保管状態良
好。
VDC05A
ULVAC
392025
TX10-D000-00-12.5M
ADTEC
102403000012
2009
本体のみ、付属品無し
RS14-2022
RS14-2023
RF電源
RF電源
RF電源
TX10-D000-00
TX10-D000-00
ADTEC
ADTEC
10237600009
10237600002
2009
2009
本体のみ、付属品無し
RS15-2035
RF電源
RFS-2710H
ULVAC
2003
RS13-2111
RF電源
RFS-1310A3
ULVAC
207004
2008
RS13-2252
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207015
2008
RS13-8027
RF電源
AX-1000LFⅢ
AD-TEC
10154000084
RS13-2112
RF電源
RFS-1310A
本体・M/BOX(MBX-2710H S/N311002)マッチングコントローラー(AMC-H
S/N411005)付、ケーブル無。CVD装置で使用。
CCV-1400コンポーネント、仕様書・取説・図面無し、付属品:マッチングボックス(MBX1310A)(S/N:306029)、ケーブル(16m)、出力:1Kw 13.56MHz
太陽電池生産用 CCV-1400コンポーネント(2013/07/末まで稼動)、使用ガス:SiH4、
PH3、B2H6、出力::1KW 13.56MHz、付属品:M/BOX(MBX-1310A)
(S/N:307008)、電源間ケーブル(16m)、電源ケーブル(1m)
1kw、400KHz、M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2(S/N:1090800004)、RF出力ケーブル
(8m)、M/BOX⇔RF CONTケーブル(10m)、RF電源I/Oケーブル(3m)、RF電源ケーブル
(切断 コネクタのみ)※RF CONT無し。
CCV-1400コンポーネント、仕様書・取説・図面無し、付属品:マッチングボックス(MBX1310A)(S/N:306030)、ケーブル(16m)、出力:1Kw 13.56MHz
RS11-2268
RS11-2269
RF コントロールパネル
RF コントロールパネル
RF電源
RF電源
SP-RKC
SP-RKC
RS14-2020
ULVAC
207005
2008
L/N WB3563
L/N WB3563
2004
2004
ULVAC
ULVAC
ULVAC
210001
210002
208005
出力:40KW 27.12MHz、 付属品:ケーブル8m
RF電源
RFS-27400F
RFS-27400F
RFS-27200L
RS06-2704
RF電源
RFS-2712K
ULVAC
306001
出力:1KW 27.12MHz
付属品:M/BOX(MBX-2712A)ケーブル無し
RS14-1277
RF電源
RFS-1350LH
ULVAC
209021
危険物吸引なし
RS13-2158
RS14-1278
RF電源
RFS-1310L
RFS-1310A3
ULVAC
ULVAC
209008
205010
出力:1KW 13.56MHz、 付属品:ケーブル8m
RFS-1310A3
ULVAC
204026
危険物吸引なし
付属品:AMC-6D(S/N:300175)、VPP-5D(S/N:300016)、
VDC-5D(S/N:300013)
RS14-1279
RF電源
RF電源
RS13-1020
RF電源コントローラー他
RFP-20CA
ULVAC
399004
RS10-8081
RS10-8078
RS10-8080
操作パネル
操作パネル
RFP-10CA0
RFP-05CA0
RFP-05CA0
ULVAC
ULVAC
ULVAC
088017P
388022
387089
RS09-1502
RS11-2266
RS11-2267
RS13-8106
RS09-1152
RS14-2128
RS14-2129
RS14-2130
RS11-8134
RS11-2273
RS11-2270
RS11-2271
RS11-2272
RS11-2212
RS09-1297
RS13-2160
RS13-2161
RS13-2162
RS13-2167
RS10-8075
RS10-8076
RS13-1051
RS13-1056
RS13-1105
RS13-1106
RS13-1108
RS14-8052
RS14-1111
RS14-1112
RS14-2025
RS14-2026
RS14-2027
RS14-2030
RS14-2031
RS13-1060
RS11-2289
RS11-2290
RS14-3119
操作パネル
マッチングコントローラー
RF電源(1kw)
RF電源(1kw)
RF電源
RF電源
PHASE SHIFTER
RFP-05CA/VDC5A
RFK10Z-SK5
RFK10Z-SK5
RFK05ZFSW2
危険物吸引なし
S/N:395048 L/N:56170270・S/N:395087 L/N:66170092
0107014
0107015
0103037
2004
2004
本体のみ(1kw)
本体のみ(1kw)
AE
ULVAC
813661
393005
2012
1999
ケーブル切断(コネクタのみ付属) M/N:3155143-101 B F/R B
PHS-2C-SK1
NAK5A
KYOSAN
KYOSAN
L/N WB3569
0107016
2004
2004
NAK5A
NAK5A
MCP-1010E
MBX-50A
MBX-27400F
MBX-27400F
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0107015
0107014
1032
090003
310001
310002
2004
2004
MBX-27200L
MBX-1310L
MBX-10EA
MBX-10EA
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
308001
309009
393007
394011
395079
395030
397036
397034
394017
日本高周波
島田理化
島田理化
ADTEC
207677・5
10220600019
1996
2009
本体のみ、付属品無し
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-12.5M-CT
ADTEC
ADTEC
ADTEC
10220600022
10220600021
10235800007
2009
2009
2009
本体のみ、付属品無し
ADTEC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
10179100020
395004
395008
92005
2009
本体のみ、付属品無し
RFマッチングコントローラ
RFオートマッチングコントローラ
RFオートマッチングコントローラ
AMVG-1000-12.5M-CT
AMC-6D
AMC-1AR
AMC-1AR
RF電源
RFK200ZD
京三製作所
0605001
マグネット電源
5kw用マッチングBOX
マッチングBOX
マッチングBOX
マッチングBOX
マッチングBOX
マッチングボックス
マッチングボックス
RFマッチングボックス
RFマッチングボックス
RFマッチングボックス
RFマッチングボックス
RFマッチングボックス
RF電源
高周波電源
高周波電源
マッチングボックス
マッチングボックス
マッチングボックス
マッチングボックス
マッチングボックス
HFS-005
HFM-D20UL-AX7
HFM-D20UL-AX7
AMVG-1000-AV3
19 ☆
☆
☆
出力:20KW 27.12MHz、 付属品:ケーブル8m
ケーブル切断(コネクタのみ付属) M/N:3155143-101 B F/R B
RFオートマッチングコントローラー
RFオートマッチングコントローラー
☆
出力:40KW 27.12MHz、 付属品:ケーブル8m
2012
2012
フェーズシフター
フェーズシフタ
RFオートマッチングコントローラー
☆
本体のみ
96140516
813660
814211
PLFⅢ
PHS36VM
☆
本体のみ
日本高周波
AE
AE
PHASE SHIFTER
PHASE SHIFTER
RF-50
PLFⅢ
PLFⅢ
ULVAC
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
☆
本体のみ、付属品無し
KYOSAN
KYOSAN
RS13-2151
RS13-2152
RS13-2153
☆
ケーブル切断(コネクタのみ付属) M/N:3155143-101 B F/R B
本体のみ
本体のみ
本体のみ
エッチング電源
5kw用
40kw、27.12MHz用
40kw、27.12MHz用
20kw、27.12MHz用
1kw用
未整備
未整備
付属品無し 200W
付属品無し 200W
1998
1998
付属品無し 200W 内部錆あり(バリコン周り)
付属品無し 200W 内部錆あり(バリコン周り)
付属品無し 200W
M/BOX:201631
電源本体のみ 20kW
電源本体のみ 20kW
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
VDCモニター付属:VDC5A(S/N:395001)、ケーブル無し
状態良好。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <DC電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS15-1047
DC電源
DCL-1000(20kW) タンデム
ULVAC
2002
本体+ケーブル
RS15-1049
RS15-1048
DC電源
DCL-1000(20kW) タンデム
DCL-1000(20kW) タンデム
ULVAC
ULVAC
2002
2002
本体+ケーブル
DCL-1000(20kW) タンデム
DCL-1000(10kW) シングル
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
PINACLE10K
PINACLE10K
ピナクル10kW
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AE
2002
2002
2002
2002
2002
本体+ケーブル
C631478
C631479
792289
2012
本体のみ M/N:3152533-306C F/R C
ピナクル10kW
AE
792288
2012
付属品:出力ケーブル(約5.5m) M/N:3152533-306C F/R C
ULVAC
E0656711UL02510
2012
ケーブル切断(コネクタのみ付属) Product No.:EU-01010107
出力:800V 50A 20kW
ケーブル切断(コネクタのみ付属) Product No.:EU-01010107
出力:800V 50A 20kW
RS15-1050
RS15-1046
RS15-1054
RS15-1056
RS15-1055
RS15-2012
RS15-2013
RS14-2194
DC電源
DC電源
DC電源
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
DC電源(新古品)
DC電源(新古品)
RS14-2195
DC電源
DC電源
RS14-2114
DC電源
Ulstream20
RS14-2115
DC電源
Ulstream20
RS11-2029
RS14-1125
RS10-2721
DC電源
DC電源
PR-500-10LGB
PNCL20K Hi-Z
PAK20-18A
RS09-1161
RS09-1289
DC電源
DC電源
DC電源
製造番号
製造年
備考
本体+ケーブル
本体+ケーブル
本体+ケーブル
本体+ケーブル
本体+ケーブル
新個品
新個品
ULVAC
E1080311UL02617
2012
松定プレシジョン
アドバンストエナジー
KIKUSUI
045547S
267451
2009
MDX-L6
MDX-L6
ADVANCED ENERGY
ADVANCED ENERGY
70742
36941
AMAT
ULVAC
ULVAC
145679F/RC
新古品 5kw (500V/10A仕様)
本体のみ M/N:3152420-117C F/R C
P/N:0190-76006
P/N:0190-70085
RS12-8059
RS11-8019
RS08-2041
DC電源
DC電源
DC電源
MDX-L6
MDL1501
MDL-15
RS14-1120
DC電源
MDL-15
ULVAC
191720
RS13-3089
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C442141
RS14-1121
RS14-2222
RS14-2230
DC電源
DC電源
DC電源
MDL-1001A
HPK-15ZI-S1
HPK-15ZI-S1
ULVAC
ULVAC
ULVAC
300616
WA5504
WA4468
2003
2003
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS10-8035
DC電源
HAR-1P100-L0L
MITUSADA
52945
出力:1kv (正極性 100mA/100W)
RS10-8036
DC電源
DC電源
異常放電防止機構
異常放電防止機構
異常放電防止機構
HAR-1N100-LOL
MATUSADA
52933
出力:1kv (負極性 100mA/100W)
DCR-1502A
A2KH-50
ULVAC
ULVAC
19922010
011022
2012
ケーブル切断(コネクタのみ付属) L/N:16170068
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
ULVAC
ULVAC
ULVAC
011023
011021
011019
2012
2012
2012
ケーブル切断(コネクタのみ付属) L/N:16170068
A2KH-50
A2KH-25
ULVAC
ULVAC
011020
009050
2012
ケーブル切断(コネクタのみ付属) L/N:16170068
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
製造年
備考
RS09-1499
RS14-2123
RS14-2124
RS14-2125
RS14-2126
RS14-2127
RS14-1282
異常放電防止機構
異常放電防止機構
異常放電防止器
*2台
出力:15kw
本体のみ M/N:3152345-101F F/R F
出力:10kw 付属品: ケーブル類一式 2014/07/14計測センターにて動作確認 ★
故障(出力はOK、左右FANから大きな異音あり)
本体のみ M/N:3152354-000D F/R D
RS14-2221とSET(コントローラー、ケーブル付属あり)
RS14-2229とSET(コントローラー、ケーブル付属あり)
備考
出力:15kw
ケーブル切断(コネクタのみ付属) L/N:16170068
ケーブル切断(コネクタのみ付属) L/N:16170068
危険物吸引なし
<AC電源>
中古品番号
品名
<アナライザーマグネット電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS04-8017
アナライザーマグネット電源
KS40-50S
ULVAC
12762
RS04-8083
アナライザーマグネット電源
KS40-50S
平和電源
12761
中電流イオン注入装置用
<マグネット電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1496
マグネット電源
MCP-1010E
ULVAC
1088
RS10-8043
RS11-2278
マグネット電源
MCP-1010E
MCP-1010SX
テクノ電気
ULVAC
1092
2310
MCP-1010SX
MCP-1010SX
ULVAC
ULVAC
2449
2253
RS11-2279
RS11-2369
マグネット電源
マグネット電源
マグネット電源
製造年
備考
備考
<加熱電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-2077
Hearter ASSY 【2個】
0010-01465 AMAT
H5-100、H5-077
2006
RS13-8061
RS09-2666
RS13-2075
抵抗加熱電源
加熱電源
PSE-700H-N
PSH-072SP
PSH-306C
シマデン
シマデン
シマデン
502068
S-7881
U406-024
RS13-2076
RS13-2077
RS13-2078
RS13-2079
RS13-2080
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
U406-038
410052-001
U406-029
U406-018
U406-036
基板加熱用 トランス無し
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
シマデン
U406-021
U406-017
U406-037
U406-014
U406-027
U406-026
U406-025
U406-039
U406-050
基板加熱用 トランス無し
RS13-2081
RS13-2082
RS13-2083
RS13-2084
RS13-2085
RS13-2086
RS13-2087
RS13-2088
RS13-2089
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
20 本体のみ
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-2090
加熱電源
PSH-306C
シマデン
U406-056
基板加熱用 トランス無し
RS13-2091
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
シマデン
U406-058
基板加熱用 トランス無し
シマデン
シマデン
シマデン
U406-077
U406-069
U406-071
基板加熱用 トランス無し
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
RS15-2037
レートコントローラー
RCT-040L
ULVAC
2003
本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。
有機EL装置ZELDAで使用。
RS15-2038
レートコントローラー
RCT-040L
ULVAC
2003
本体のみ、ケーブル無、有機EL装置ZELDAで使用。
RS15-2036
レートコントローラー
RCT-040L
ULVAC
2003
本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。
有機EL装置ZELDAで使用。
RS15-2039
レートコントローラー
RCT-040L
ULVAC
2003
本体のみ、ケーブル無、有機EL装置ZELDAで使用。
RS13-2092
RS13-2093
RS13-2094
製造年
備考
基板加熱用 トランス無し
基板加熱用 トランス無し
<その他電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS12-1020
ion bombard power supply
DCP-505
ULVAC
2002002
RS14-1173
PLC
Q2ASH
三菱
-
製造年
備考
要整備
使用履歴:コーティング装置にて使用 (2014/10頃まで都度使用時稼働) 本体の
み。 吸引ガス:Ar
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
中古品番号
品名
型式
RS13-3013
ガス処理設備一式
WGC-10B-2-FS
メーカー
製造番号
製造年
日本パイオニクス
WG-2319
2005
RS09-1199
ガス導入用エアオペレーションバルブ・ニードルバル
ブ
RS12-1033
RS09-1028
0050-21303
AMAT
-
マスフローコントローラー
FC-770AC
Aere
-
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
FC780C
Aere
24J0252
RS09-1029
RS09-1038
FC780C
FC780C
Aere
Aera
23E1149
24J0256
RS14-1202
マスフローコントローラ
SEC-310-N1
STEC
4137400200
RS11-1168
RS11-2087
マスフローコントローラー
SEC-4400M
SEC-4400M(MK3)
STEC
STEC
3424592121
291502489
SEC-4400M(MK3)
SEC-4400M(MK3)
STEC
STEC
3458018281
3422582475
2007
2007
Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Kits Valve付
SEC-4400M(MK3)
SEC-4400M(MK3)
SEC-4400M(MK3)
STEC
STEC
STEC
291502488
291502487
291502486
2001
2001
2001
Ar 200sccm VCR継手
SEC-4400M(MK3)
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
STEC
STEC
291502490
281505605
2001
2000
Ar 1000sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
STEC
1312500580
2000
N2 5sccm VCR 本体のみ。インプラ(ガス:不明)にて使用品。
SEC-E440J
SEC-E440J
STEC
STEC
3430014434
3463572997
2006
SEC-F740MCA1
STEC
2451023
RS11-2092
RS11-2093
RS11-2177
RS11-2178
RS11-2180
RS11-2182
RS14-1200
RS14-1199
RS11-1166
RS11-1167
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラ
マスフローコントローラ
マスフローコントローラ
マスフローコントローラー
備考
エアバルブx8個、ニードルバルブx4個、ガスフィルターx4個(VCR) ロードロックA ベントラインに
使用 ガス使用履歴:Ar 【エアオペ】型式:944AOPLPNCSFSFF、メーカー:VERIEFLO
CORP 【ニードル】型式:不明、メーカー:NUPRO 【ガスフィルター】型式:WG3NS1RR2、
メーカー:MILLIPORE
2001
ケーブル無し電源無し(4式セット) Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF4
50sccm(S/N:26F0358)、 Sicl4 20sccm(S/N:26F0278)、O2
50sccm(S/N:26F0275)
2000
本体のみ。
CH4 10sccm VCR継手
Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 1000sccm VCR継手→Swagelok Kits Valve付
Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar:200sccm、VCR継手仕様、VCR-SWEGE変換配管付(1個)
N2 5sccm VCR 本体のみ。インプラ(ガス:BF3)にて使用品。
Co 10sccm VCR継手
RS09-2672
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
RS12-8066
マスフローコントローラー
FC-770C/FC-770AC
Aere
4YEP035/20J0557
RS11-2118
RS11-2083
RS12-1370
電磁弁ユニット
レギュレーターユニット
SQシリーズ
W3000
SMC
CKD
シリアル無し
1808
TEOS用除外装置
APC
600シリーズ
MKS
001814998
状態良好。
600シリーズ
600シリーズ
MKS
MKS
001843366
001843367
状態良好。
600シリーズ
JIP-10E-S
MKS
日本パイオニクス
001788273
D-3890
状態良好。
メーカー
KEYENCE
RORZE
製造番号
-
ULVAC
-
ULVAC製スパッタ装置 ZX-1000 搭載
真空搬送ロボット トレイ搬送用ピックアップハンド
RS14-3111
RS14-3112
RS14-3113
RS14-3114
RS14-2362
APC
APC
APC
N2精製装置
H2 10sccm VCR継手
Ar 2SLM VCR継手 Fujikin Valve付
2式セット N2 50sccm O2 50sccm 接続口1/4 VCR ANELVA製MFC電源
(CMS-770C)付属 電源~MFC間ケーブル1本付属(1本欠品)
状態良好。
現状動作OK。
<搬送ロボット>
☆
中古品番号
RS15-1132
RS09-2604
品名
モーターコントローラ
オートローダー
型式
HC-50
31RU8141-002-001
RS09-2670
真空搬送ロボット
KEYTRANⅢ(部品破損有)
RS10-8031
ティーチングペンダント
搬送ロボット
搬送ロボット
真空搬送ロボット
ティーチングペンダント
ロボットアーム
大気ロボット
大気ロボット
JZMQZ-TB38A
ULVAC
R11862-717-01
JZMQZ-TB38A KEYTRAN-4ZEX-172用
RS08-8028
RS13-1141
RS10-8028
RS10-8029
RS10-8030
RS14-1023
RS14-2352
MAG6
Mag-7 003-1600-11
Mag7型003-1600-11
Mag7用型式001-1984-07
Mag7用型式002-0015-50
SPR-101-X099
SPR-101-X1099
ブルックス
ブルックス
ブルックス
ブルックス
ブルックス
ダイヘン
ダイヘン
9608-0028
000C-10578
9911-10601
HH135074
9911-10602
X0333Y3996901
X0333Y3912901
製造番号未確認
RS04-8076
RS04-8077
RS08-8027
RS08-8026
大気搬送ロボット
大気搬送ロボット
搬送ロボット
搬送ロボット
UT0100
UT0150
UTMF5000
UTV-UTV-F2620W
MECS
MECS
ASYST
ASYST
3X0409A01
481903A01
A06260950-1
502000000159
RS14-4089
移載機
WL300-Sorter-HW
ITOCHU
-
RS13-1113
オートローダー
Zi-1000用
ULVAC
ME97-1038
1998
RS11-2496
搬送ロボット
アルファースⅡ
ULVAC
0190
1994
21 製造年
備考
☆
本体のみ、ケーブル無し Zi-1000ロボットアーム付
型式001-1984-07
型式002-0015-50
本体のみ
2000
IPZ-5001用部品 付属ピックアップのみ ケーブル無
3軸
3軸
12インチウエハソート機能と保護シートを重ねウェーハ梱包(コインスタック収納)
を自動に行う装置
ULVAC製スパッタ装置 MLX-3000 搭載
真空搬送ロボットトレイ搬送用ピックアップハンド
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <電気制御系>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS04-8014
シーケンサー
CYCMAC C1000H
OMRON
RS04-8080
RS04-8012
シーケンサー
CYCMAC C1000H
CYCMAC C500-PS221
オムロン
OMRON
CYCMAC C500-PS222
PC9801S
PC9801S
PC9801S付属
OMRON
NEC
NEC
RS04-8013
RS04-8053
RS04-8054
RS04-8056
RS09-1597
シーケンサー
シーケンサー
パソコン
パソコン
キーボード
PATLITE
Single Tower
製造番号
製造年
備考
-
S369148CA
S369148CA
S360026
PC9801Sの付属品
SEF-A 24V AC/DC 2W/1STACK
<チラー・純水設備>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-1050
水冷チラー【2台】
CH-2200WS、CH-5500WS
タイテック
4090345、4090212
2004
RS08-2013
水冷チラー
チラー
チラー
CH-5500WS
タイテック
2110195
EXL-1006
EXL-1006
EXL-1006
MMR-101
MMR-101
リッシー
リッシー
リッシー
RISSHI
RISSHI
0309215
0404136
0404137
0707467
0708575
RISSHI
オルガノ㈱
0707466
MLD2173321
200401
ORION
808043
2005
冷却能力:20.3kW 使用温度範囲:5~35℃ 電源:三相 200±10%(50/60Hz) 凝
縮器:フィンアンドチューブ型強制空冷 冷却器:プレート式熱交換器
ステップサイエンス
9904132
2004
装置状態良好。EB・RH仕様。付属品:4点切替式抵抗蒸着源(PSE-076)付。
RS14-2032
RS14-2033
RS14-2034
RS10-2801
RS10-2802
チラー
水冷チラー
RS10-2803
RS12-1048
水冷チラー
水冷チラー
超純水製造装置
RS14-2300
チラー
RKE-5500A-K
RS12-1049
水冷チラー
チラーユニット
SCS-3WT
RS12-1324
MMR-101
PURIC-MXⅡ-LS
CS1000
備考
水冷チラー
2009
2009
2009
リッシー
CS1000x1台 CS6000x1台
<スパッタ装置部品 ULVAC Ceraus>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1500
シャッター
-
ULVAC
NTZX0129
RS09-1501
シャッター
制御ボード
-
ULVAC
NTZX0130
Adme
Adme
シリアル無し
シリアル無し
RS10-8053
RS10-8054
RS10-8052
RS10-8055
RS10-8042
RS09-1484
RS12-1154
制御ボード
制御ボード
通信COM
制御系
真空計用ボードゲージ
1420A TKK-5
1420A TKK-6
1608ATKK-5
AT-MX10
製造年
Adme
シリアル無し
Allied TelesynI 000010280100050 Rev2A
000010280100050 Rev2A
Contunit型式001-8185-05
GS-IG
GS-IG
ブルックス
ULVAC
ULVAC
9910-10099
P196
P236
GS-IG
GS-IG
ULVAC
ULVAC
P237
P238
ZX-1000用IGボード
ZX-1000用IGボード
ZX-1000用IGボード
ZX-1000用IGボード
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P247
P248
P249
P271
445
RS10-8051
RS11-8139
RS11-8140
制御ボード
制御BOX
制御BOX
KU80376
ME-Ⅱ ①
ME-Ⅱ ②
-
シリアル無し
シリアル無し
1999
1999
RS11-8141
RS11-8142
制御BOX
制御BOX
制御BOX
ME-Ⅱ ③
ME-Ⅱ ④
-
シリアル無し
シリアル無し
1999
1999
ME-ⅡA ①
ME-ⅡA ②
-
シリアル無し
シリアル無し
1999
1999
PI-30
PMC-6
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PVME-387
旭エンジニアリング
-
RS12-1155
RS12-1156
RS12-1157
RS12-1158
RS12-1159
RS12-1160
RS12-1161
RS11-8143
RS11-8144
RS10-8048
RS10-8049
RS09-1465
RS10-8045
RS10-8046
RS10-8047
RS10-8050
RS09-1483
RS09-1504
RS09-1505
RS10-8040
RS10-8041
ZX-1000用IGボード
ZX-1000用IGボード
ZX-1000用IGボード
ZX-1000用IGボード
制御BOX
制御ボード
制御ボード
プロセスモジュールコントローラ
制御系
制御系
制御系
制御ボード
RYB
シャッタードライバー
シャッタードライバー
制御系
制御系
RYB1
SG6100S
SG6100S
SYSTEM I/F BOX
SYSTEM I/F BOX
備考
96-1500-27001 PMC-1
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
オンテック
シリアル無し
シリアル無し
シリアル無し
980309-1 KEPB-372
スパッタ用
IPC用
アニール用
ULVAC
ULVAC
ULVAC
№2
№1
<スパッタ装置部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS11-2495
カソード
φ 4インチマグネトロンカソード
ULVAC
製造番号
RS13-1022
ライトウェーブメジャメントシステム
81640A
アジレント
DE39402101
製造年
備考
1994
光測定システムの計測機。
<蒸着装置部品>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-2069
EBガン
EGL-35M
ULVAC
-
RS11-8162
RS11-8163
RS09-1309
EB蒸発源
EB蒸発源
EBガン
EGK-3C
EGK-3C
EGL-35
ULVAC
ULVAC
ULVAC
183100264
183100262
1991
1991
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
22 製造年
備考
☆
超高真空仕様
超高真空仕様
備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト RS11-8164
EB蒸発源
EGL-35
ULVAC
RS10-8101
EBガン
EGL-35M
ULVAC
RS09-1576
EBガン
EGO-40M
ULVAC
179800134
RS11-2558
イオンソース、イオンガン
LIS
AE
579883
RS11-2559
イオンソース、イオンガン
LIS
RS10-8064
抵抗加熱蒸発源ユニット
RS12-1224
蒸着装置部品
RS10-2682
EBX-10Cコンポーネント・部品
EBX-8C
2016年2月20日現在 177100197
1991
本体のみ
イオンソース部 M/N:3151900-005A(メーカー:AE)
程度良品ほぼ未使用
イオンソース部 M/N:3151900-005A(メーカー:AE)
程度良品ほぼ未使用
AE
579882
ULVAC
シリアル無し
ULVAC
-
1983
製造年
ULVAC
【前扉式バッチ装置】 少量生産・研究用 真空槽:□500x600H 自公転治具
(JPD-050C) 蒸発源:抵抗加熱式(タングステンボートx3) 排気系:CP+RP 赤外線
ランプ加熱ヒーター:3基 使用履歴:Au、仕様書・取説・図面あり。
【前扉式バッチ装置】 少量生産・研究用 真空槽:φ 650Wx800H 蒸発源:電子
ビーム(EGK-3)、電源:5kW(Solid) 排気系:CRYO+RP
<イオン注入装置部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-1034
Qレンズ
-
ULVAC
-
本体のみ
RS14-1057
RS14-1061
ウェーブガイドベロー
クライオ温度計パネル
-
-
-
本体のみ
RS04-8034
RS14-1031
RS14-1059
コックロフト
コンタミドリフトチューブ
-
-
-
本体のみ
-
川崎エンジニアリング
U-00005
009
本体のみ
タッチパネルシステムズ
N8976
本体のみ
タッチパネルコントローラー
3801EI00
RS14-1174
タッチパネル
A970GOT-TBA-B
三菱
-
RS04-8026
RS04-8027
RS04-8093
インテグレータープロセッサー
インテグレータープロセッサー
CPU BOX
DOSE DISPLEY
DOSE DISPLEY
RS14-1056
RS14-1055
RS14-1060
RS14-1085
RS14-1076
RS14-2344
RS14-2317
スキャナーユニット
ソースゲートバルブ
ペーパライザ電源
マニュアルスイッチ
ロック室フレキホース(4本)
インテグレータープロセッサー
ティーチングBOX
ベーパライザー電源
RS14-2311
RS14-2312
RS14-1219
RS14-1032
RS14-2315
EXTターミナルCONT
RS04-8015
RS14-1026
RS14-1192
RS04-8022
ACCEL/DECEL P/S
ピラニーゲージコントロール
E/Sバイアス電源
RS04-8088
RS14-1042
RS04-8025
RS04-8091
RS04-8021
RS04-8087
RS04-8023
RS04-8089
RS14-1214
RS14-2343
RS14-1217
HVターミナルCONT
GNDマグネット電源
コンピューター MAIN
プリアンプ
HV P/S(DEC P/S)
HVP/S(DEC P/S)
ディセル電源
Q-LENS P/S
Q-LENS P/S
HV P/S
HVP/S
HV P/S(EXT P/S)
HV P/S(EXT P/S)
モニター
ディスプレー
本体のみ
高圧電圧昇圧
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
使用履歴:コーティング装置にて使用 (2014/10頃まで都度使用時稼働) 本体の
み。 吸引ガス:Ar
演算制御部
演算制御部
60055
E4477A
EM-ABP1
ダイヘン
EME
EM-BEX0
EM-BHV0
ESS50-200-2-D-GBⅡ
FC-9821Xa model 2
KW-FPR3
EME
EME
EMI
NEC
関西電子
MDL-2/10
MPG16/12ch
PCM5N120X
PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA)
備考
ULVAC
SPELLMAN
演算制御部
E4477Y329111
S082007MA
2000
2000
IPZ-5001用部品
2000
2000
2000
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
本体のみ。
本体のみ
2000
51876
FPGO-045
-
IPZ-5001用部品
本体のみ
2000
本体のみ。
M669040-01C V 930630
ディセル電源
PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA)
PS/ER30N10-Y10A
PS/UL-15-2G1255
PS/UL-15-2G1255
GLASSMAN/高砂
99993103
M918808-01FR001004
GLASSMAN
GLASSMAN/高砂
GLASSMAN/高砂
2930099
ディセル電源
PS/UL180P5X1222
PS/UL180P5X1222
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mA)
GLASSMAN/高砂
GLASSMAN/高砂
880258
GLASSMAN/高砂 M674070-01DW930922
高圧電源(180kV)
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mA)
RDT141S
GLASSMAN/高砂
三菱
2900392
-
2000
本体のみ。
IIYAMA
スペルマン
30031090
-
2000
2000
IPZ-5001用部品
SL40N300X
T1501-GY
SPELLMAN
ナナオ
-
2000
2000
本体のみ。
テクノ電気
2000
IPZ-5001用部品
S501J
SL260P2080X2652
本体のみ
Qレンズ電源(15kV)
Qレンズ電源(15kV)
高圧電源(180kV)
引出電源(30kV)
引出電源(30kV)
RS14-1190
RS14-2308
HV電源
引出電源
ディスプレー
RS14-2320
アクセルディセル電源
TK-A0021
RS14-2328
スキャナー電源③
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品 RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
RS14-2326
スキャナー電源①
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品 RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
RS14-2327
スキャナー電源②
スキャナー電源⑥
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品 RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
TR-898
TR-898
TREK
TREK
2000
2000
IPZ-5001用部品 付属電源ケーブルのみ
TREK
TREK
グラスマン
グラスマン
グラスマン
高砂
グラスマン
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
IPZ-5001用部品 RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
2000
IPZ-5001用部品
RS14-2331
RS14-2332
RS14-2329
RS14-2330
RS14-2339
RS14-2325
RS14-2334
RS14-2346
RS14-2319
RS14-2321
RS04-8016
RS04-8071
RS04-8057
RS14-2349
RS04-8086
RS04-8082
RS04-8090
RS04-8085
スキャナー電源⑦
スキャナー電源④
スキャナー電源⑤
オフセット電源
DCオフセット電源
HV電源
HV電源増幅器
引出電源
アナライザーマグネット電源
SOURCE MAGNET P/S
サプレッションバイアス電源
プリアンプ
BEAM CONT INTERFACE UNIT
HVデバイダー
SOURCE MAGNETP/S
SWING MOTOR DRIVER
TR-898
TR-898
UL152G1255
UL152G1255
UL180P5G1255
UL180P5GI222
UL3517G1254
UX035-60
IDZ-8000用
無し
不明
5990053
5990018
高砂
ULVAC
52611
ULVAC
アルバック
ULVAC
29
BM0301
無し
不明
ULVAC
IPZ-5001用部品 本体のみ
IPZ-5001用部品 付属電源ケーブルのみ
IPZ-5001用部品 付属電源ケーブルのみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品 本体のみ
IPZ-5001用部品
IDZ-8000用 動作未確認
2000
IPZ-5001用部品 付属電源ケーブルのみ
20Z30043
880258
コックロフト
無し
RS04-8094
ポンピングチューブ
無し
無し
RS04-8095
加速管
無し
無し
23 本体のみ。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 2016年2月20日現在 <スパッタ装置部品 AMAT Endura,CenturaPVD>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1506
コンプレッサー 8510 Compressor
8510
CTI
67A9608665
RS09-1509
チャンバーリッドカバー
0020-20676
AMAT
RS09-1510
チャンバーリッドカバー
0020-20676
AMAT
RS09-1554
Hose Push-Lok5/8250PSI
Hose Push-Lok 5/8 300PSI
SPLTR BOX HELIX
-
AMAT
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
-
AMAT
RS09-1558
RS09-1561
プリクリーンTMP取付配管
真空配管類
水冷コネクター、水冷パーツ
-
AMAT
AMAT
RS09-1557
中古ホース
-
AMAT
RS09-1512
STD Lifter
0010-20300
AMAT
RS09-1551
PVD HP LIFT
0010-70441
AMAT
RS09-1507
Nallow Load/Lock LLA
0010-75004
AMAT
T-21495-63-3571
RS09-1508
Nallow Load/Lock LLB
0010-75005
AMAT
T-21495-64-3571
RS09-1534
RS09-1539
RS09-1538
RS09-1536
MAGNET
SPACER INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
0020-20221
0020-20521
0020-20521
0020-20522
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1537
RS09-1514
RS09-1515
WSHR INSULATOR LIFTER
Shield 8"
0020-20522
0020-21665
0020-21665
AMAT
AMAT
AMAT
0020-23278
011222-103
AMAT
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21234
AMAT
RS09-1555
RS09-1540
RS09-1559
RS09-1560
RS09-1517
RS09-1518
RS09-1562
AIターゲット
バッキングプレート
バッキングプレート ALターゲット付き
バッキングプレート Ti ターゲット付き
RS09-1526
Shield 8"
Shield Upper
イオンボード
REMOTE/SYSTEM VIDEDO ケーブル
(MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO ケーブル
(MONITOR)
SYS.CONT. BULKHEAD CABLE
RS09-1523
ION GAUGE CABLE
0190-21305
AMAT
RS09-1524
ION GAUGE CABLE
0190-21305
AMAT
RS09-1525
RS09-1529
RS09-1527
RS09-1528
ION GAUGE CABLE
0190-21305
0190-21305
0620-01201
0620-01201
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0620-01201
AMAT
3400-01073
AMAT
3870-02524
3870-02524
3870-02524
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1516
RS09-1262
RS09-1520
RS09-1521
RS09-1530
RS09-1552
RS09-1547
RS09-1548
RS09-1549
RS09-1390
RS09-1541
RS09-1545
ION GAUGE CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD 200PSI
SYNTH
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
スパッタリング装置チャンバー
MFC N2200sccm STEC
RS09-1546
MFC AR100sccm
MFC AR100sccm
RS12-2091
Endura マッチングBOX他パーツ一式
製造年
備考
P/N:0020-20676
P/N:0020-20676
3400-01074
P/N:3400-01074
約11m
P/N:8135240G001
※中古
※中古
※使用済み
※使用済み
T-3295-17-3425
ENDURA5500チャンバ SEC4400M
SEC-4400M
AMJ
HORIBA STEC
HORIBA] STEC
2個一式 ※改造に最適
SEC-4400M
HORIBA STEC
M/N:3461442376
M/N:2365831
M/N:3471316094
AMAT
完全予備保全パーツとして保管されていたものであり概観良好。
<プラズマCVD装置,エッチング装置 部品 AMAT Centura>
中古品番号
品名
型式
RS09-1067
4,5,6,”ROBOT
-
AMAT
RS09-1080
RS09-1087
RS09-1089
RS09-1090
ディスクドライブとボード
-
HEWLETT PACKARD
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ブレーカー
-
AMAT
AMAT
RS09-1198
ブレーカー
-
AMAT
RS09-1200
スリットASSY
-
AMAT
RS09-1201
信号Cable
-
AMAT
RS09-1202
RS09-1203
RS09-1204
RS09-1210
エアオペ
STD Body
ゲートバルブ
カセット
オリエンターデガスリッド
-
フジキン
AMAT
VAT
AMAT
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
VAT
RS09-1110
RS09-1135
RS09-1141
RS09-1186
RS09-1195
RS09-1196
RS09-1197
RS09-1219
RS09-1222
RS09-1259
RS09-1265
RS09-1271
RS09-1272
RS09-1275
RS09-1276
RS09-1278
ロードロック用ファン
プロセスキット(CVD)
REDUCER BOX
ボード
FAN
マスフローコントローラLL室ステージ
カセット
Cable
LLカバー
SBC
Centura イオンゲージコントローラー
ブレーカー
バッファーゲートバルブ
O/D Body
O/D Body
ゲートバルブ
メーカー
製造番号
製造年
備考
CAPACITOR
AMAT
AMAT
24 ※2式
T-11696-38-2560
2個一式
55149
F10-8753310112
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
RS09-1281
STD ヒンジ
-
AMAT
RS09-1283
ゲートバルブ
Cntura インターコネクト
Cnturaバッファーリッド
-
VAT
RS09-1284
RS09-1286
RS09-1556
RS09-1326
RS09-1078
RS09-1092
RS09-1079
RS09-1088
RS09-1104
RS09-1273
ブレーカー他 1式
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
PCB ASSY SBC I/O BREAKOUT
モニターベース
PCB ASSEMBLY ENCODER
INTERFACE
DC POWER SUPLY
電源
メーカー
0010-09019
0010-09071
0010-09103
0010-09137
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0010-09181
0010-20000
0010-20278
AMAT
AMAT
AMAT
0010-20328
AMAT
製造番号
Blaker,MC 一式 Gen-Rack, ,Gen-Psの台 ブラケット
0221304
SN BUK4
381
798
T-12196-29-2560
RS09-1039
RS09-1287
RS09-1041
PC1 MATCH ASSY
スリットAssy
200V DEGAS DRIVER
0010-20441
0010-20664
0010-20697
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1030
RS09-1031
RS09-1033
PVDドライバー(centura)
PVDドライバー(centura)
0010-20764
0010-20764
0010-20764
AMAT
AMAT
AMAT
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-21206
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
08196-02
11696-17
08796-01
0010-76001
AMAT
73
0010-76124
0010-76244
0015-09077
AMAT
AMAT
AMAT
22295-03
0015-09091
AMAT
0015-09091
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-20587
0020-21665
0020-23591-B CDSC
AMAT
AMAT
AMAT
0040-06421
0040-06421
0040-06421
AMAT
AMAT
AMAT
0040-76308
0090-76110
AMAT
AMAT
RS09-1082
RS09-1252
RS09-1221
RS09-1075
RS09-1083
RS09-1084
RS09-1066
RS09-1086
RS09-1282
RS09-1601
RS09-1587
RS09-1098
RS09-1099
RS09-1100
200V PVD DRIVER
Dura Source 13”JMW-1
ASSY STORAGE ELEV WAFER
CASSETTE HNDLR
DI/Oボード
モニター制御BOX(2個口)
HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIVE
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP
MODULE
BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP
MODULE
スリットAssy
SHILD AL/TI 8INCH WAFER
オリエンターパーツ
ヒーター
ヒーター
27894-02
4304
RS09-1600
RS09-1115
ヒーター
WELDMENT,8"FOOP PVD W/B
CHAMBER
ボード
RS09-1046
VME STEPPER CONTROLLERⅠ
0100-00003
AMAT
RS09-1047
VME STPPER CONTROLLERⅠ
0100-00003
AMAT
RS09-1057
RS09-1058
RS09-1116
RS09-1117
VME STEPPER CONTROLLERⅠ
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-00003
0100-00003
0100-00008
AMAT
AMAT
AMAT
0100-00008
0100-00008
0100-00008
AMAT
AMAT
AMAT
0100-00011
0100-00011
0100-00011
0100-00014
0100-00014
0100-09002
0100-09006
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-09009
0100-09011
AMAT
AMAT
SN0AZN8
0100-09011
0100-09029
0100-09058
0100-09139
0100-09340
0100-09340
0100-09341
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
311
20295-05
625
0100-09341
0100-09416
0100-09416
0100-09416
0100-09750
0100-11000
0100-11001
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-11001
0100-11001
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1118
RS09-1119
RS09-1059
RS09-1060
RS09-1131
RS09-1132
RS09-1109
RS09-1111
RS09-1112
RS09-1129
RS09-1130
RS09-1101
RS09-1120
RS09-1126
RS09-1061
RS09-1128
RS09-1133
RS09-1134
RS09-1108
RS09-1073
RS09-1077
RS09-1074
RS09-1076
RS09-1070
RS09-1102
RS09-1103
RS09-1072
RS09-1055
RS09-1048
RS09-1049
RS09-1113
RS09-1050
RS09-1051
RS09-1052
RS09-1053
VME STEPPER CONTROLLERⅠ
ボード
ボード
ボード
ボード
PCB ASSEMBLY T,C,GAUGE
MONITOR
PCB ASSEMBLY T,C,GAUGE
MONITOR
ボード
ボード
ボード
ボード
ボード
ボード
ボード
SBC BOARD
ボード
ボード
PCB ASSY AI MUX
ボード
ボード
ボード
ロボット
SUSCEPTOR LIFT
SUSCEPTOR LIFT
WAFER LIFT
WAFER LIFT
ASSY RF MATCH,ETCH
RF MATCH PHASE IV
RF MATCH PHASE IV
CVD RF-MATCH
PCB ASSY,ANALOG INPUT
ANALOG OUTPUT BOARD
ANALOG OUTPUT BOARD
ボード
PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O
PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O
PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O
PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O
25 備考
2個一式
O/D Lid
Dura Source 13” Al
PVDドライバー(センチュラ)
PVDドライバー(センチュラ)
PVDドライバー(センチュラ)
製造年
F10-8753310112
RS09-1044
RS09-1034
RS09-1035
RS09-1091
RS09-1043
2016年2月20日現在 -
SNOKY06
ZYOCAR8
6M0ABA0
E2-010-09A
26295-01A
E01-207-03A
11895-03
SNOQA09
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
RS09-1054
PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O
0100-11002
AMAT
RS09-1121
ボード
ボード
ボード
0100-11002
AMAT
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-20003
0100-20003
0100-20003
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-20003
0100-20003
0100-20003
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1122
RS09-1123
RS09-1124
RS09-1125
RS09-1225
RS09-1227
RS09-1230
RS09-1231
RS09-1261
RS09-1228
ボード
ボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
メーカー
2016年2月20日現在 製造番号
製造年
備考
RS09-1247
DI/Oボード
リモートサプライヂストリビューション
0100-20040
AMAT
RS09-1248
RS09-1249
RS09-1250
リモートサプライヂストリビューション
リモートサプライヂストリビューション
AI/Oボード
0100-20040
0100-20040
0100-20100
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1251
RS09-1253
RS09-1257
AI/Oボード
AI/Oボード
0100-20100
0100-20100
0100-20100
AMAT
AMAT
AMAT
0100-20173
0100-51017
0100-70089
0100-70089
0100-76124
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-76124
011222-103
AMAT
AMAT
Centura イオンゲージコントローラー
ステッパーコントローラーボード
Cable Assy Source Water Manifold
Ground アース線
Cable Assy Source Water Manifold
Ground アース線
WMAGNET DRIVE ASSY
011222-103
0120-20162
AMAT
AMAT
0150-20186
AMAT
0150-20186
AMAT
0190-70060
AMAT
4189R
RS09-1040
RS09-1217
RS09-1105
RS09-1081
RS09-1094
RF POWER SOURCE
PC-I
PRCOIジェネレーター
パワーサプライ
バラトロン
0190-70079
0220-21472
0920-01005
10A0207
127AA-00001E
AMAT
AMAT
AMAT
IPT
MSK
2762
1-18994-95-3277
102
29305
78760-130
RS09-1167
IG CONT
344VACUUM GAUGE CONTROLLER
RS09-1220
RS09-1095
Dry Pump
A30W
ATP100C
EBARA
adixen
CH1,CH2のみDRVERあり
CHAMBER INTERFACE BD
AMAT
AMAT
P/N:0010-20701
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
AMAT
AMAT
AMAT
P/N:0100-35054
CHAMBER INTERFACE BD
D299-857
AMAT
AMAT
P/N:0100-35054
RS09-1114
RS09-1065
RS09-1068
RS09-1069
RS09-1224
RS09-1229
RS09-1263
RS09-1264
RS09-1226
RS09-1542
RS09-1543
RS09-1085
RS09-1166
RS09-1178
RS09-1236
RS09-1237
RS09-1239
RS09-1240
RS09-1106
RS09-1164
RS09-1165
RS09-1268
RS14-8053
RS09-1171
RS09-1172
RS09-1173
RS09-1174
RS14-2314
RS09-1211
RS09-1177
RS09-1233
RS09-1175
RS09-1181
RS09-1232
RS09-1473
RS09-1062
RS09-1063
RS09-1064
RS09-1127
RS09-1136
RS09-1185
RS09-1238
RS09-1179
RS09-1036
RS09-1269
RS09-1192
RS09-1025
RS09-1026
RS09-1027
RS09-1151
RS09-1176
RS09-1234
RS09-1235
RS09-1267
RS09-1096
AI/Oボード
ボード
CHOPPER DRIVER
Slit Valve ASSY
Slit Valve Assy
DI/Oボード
DI/Oボード
Centura イオンゲージコントローラー
ATP100
DRVER BOX
INTERFACEボード
チャンバーインターフェイス
チャンバーインターフェイス
チャンバーインターフェイス
チャンバーインターフェイス
FAN PAC
DCPS
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
DCPS
POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源
DCL1000-MC
DC電源
DIGITAL I/O BOARD
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
IG CONT
CRTモニター
INTERLOCKボード
インターロックセレクトBD
ISOLボード
ISOLボード
アイソレーションアンプ
DIO
LAMBDA LIS-3I-12
LAMBDA LIS-7I-15
LAMBDA LIS-7I-15
LAMBDA LIS 7I-15
LAMBDA LIS-7I-15
INTERLOCKボード
ロードロックインターロック
INTERLOCKボード
DC電源
DC電源
オリエンターデガスチャンバー
SOLD STATE POWER GENERATOR
SOLD STATE POWER GENERATOR
SOLD STATE POWER GENERATOR
ALエッチャー
RELAYボード
リレーコントロール BD
リレーコントロール BD
15V PWR SUPPLY(CEN/END)
モニター
DIGITAL I/O BOARD
DIGITAL I/O BOARD
DIGITAL I/O BOARD
EM-FIG1
FMV-DP846
INTERLOCK SELECT BD
INTERLOCK SELECT BD
125-92-96-01-R
125-92-96-03-R
1990
GRANVILLE PHILLIPS
ユニットNo.:C#50375
ATP508535
P/N:0010-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0190-76198
POWER STANDARD ELECTRONICS INC
POWER STANDARD ELECTRONICS INC
AMAT
ULVAC
61006244
61433023
000011
Centre用
2001
AMAT
P/N:0010-20003
AMAT
AMAT
AMAT
P/N:0010-20003
EME
-
P/N:0010-76124
P/N:0010-20003
7Z83552
2000
1997
IPZ-5001用部品
P/N:CA01134-B371 AC100V、50/60Hz、75W、 12.5Kg
AMAT
AMAT
P/N:0010-20037
ISOLATION AMPLIFTER BD
ISOLATION AMPLIFTER BD
ISOLATION AMPLIFTER BD
K-380-02
LIS-32-12
LIS-72-15
LIS-72-15
AMAT
AMAT
AMAT
ULVAC
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
P/N:0010-20012
LIS-7I-15
LIS-7I-15
LOADLOCK INTERLOCKS
LOADLOCK INTERLOCKS
LAMBDA
LAMBDA
AMAT
AMAT
MAINFRAME INTERLOCK
MDX-L6
MDX-L6(0190-76006)
AMAT
ADVANCED ENERGY
AE
O/D
OEM-12A-21041-51
OEM-12A-21041-51
OEM-12A-21041-51
P-5000
RELAY CONTROL BD
RELAY CONTROL BD
AMAT
ENI
ENI
ENI
AMAT
AMAT
AMAT
RELAY CONTROL BD
REV.E
SD5904C
AMAT
AMAT
AMAT
26 P/N:0100-20037
P/N:0100-35049、0100-20012、0130-35065
P/N:0100-20012
2個一式 P/N:0130-35058、0100-20063
P/N:0100-35058
P/N:0010-20053
36523
70451
2028
2649
2716
※部品
P/N:0100-20038
P/N:0100-20038
09398-03
908736068
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1138
マスフローコントローラー
SEC-400MK3-UL
STEC
2577231
RS09-1139
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
SEC-400MK3-UL
STEC
2577230
SEC-4400M
SEC-F730MA1
SEC-F730MA1
STD Lid
SYS RESET/INTLK SEL BD
0100-35065
TC GAUGE BD
STEC
STEC
STEC
AMAT
AMAT
AMAT
261501822
292102081
252508127
UDK5114VN
UDK5114VN
UDX5114N
ULVAC
ULVAC
AMAT
TON02919
TON02918
63168
RS09-1137
RS09-1143
RS09-1144
RS09-1188
RS09-1242
RS09-1243
RS09-1241
RS09-1482
RS09-1485
RS09-1093
マスフローコントローラー
PVD Lid
システムリセット/インターロックセレクト
インターロックセレクト
TC GAUGEボード
ドライバー
ドライバー
RS09-1145
ドライバー
マスフローコントローラー
UR-7340MO-UC
STEC
3103050100
RS09-1146
RS09-1142
RS09-1206
マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
アダプター
UR-7340MO-UC
UR-7340MO-UC
wide
STEC
STEC
AMAT
2540681
3103050102
RS09-1213
ロードロックステージエレベーターASSY
Wideインデクサー
AMAT
0010-40073
2016年2月20日現在 製造年
備考
<プラズマCVD装置,エッチング装置 部品 AMAT P-5000>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1317
3連ファン
UES17H115S29
AMAT
9623624077
RS09-1362
手動バルブ
マスフローコントローラ
マスフローコントローラ
SS-BNVS1-AB
NUPRO
RS09-1339
RS09-1340
RS09-1341
RS09-1342
RS09-1343
マスフローコントローラ
マスフローコントローラ
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
RS13-2002
RS09-1320
マスフローコントローラ
マスフローコントローラ
VACUUM VALVE
RS09-1313
ホットバルブヒーターコントローラー
IVBH-0004
RS09-1375
RS09-1361
RS09-1367
オーブンユニット
エアオペバルブ
IFGG7005M-C
FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
大日本スクリーン
フジキン
東京フロコーポレーション
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
DBM-P21(DBM-K4PC)
DBM-P21(DBM-K4PC)
AMAT部品
東京フロコーポレーション
AISIN
AISIN
AMAT
RS09-1368
RS09-1334
RS09-1335
RS09-1386
RS09-1387
RS09-1385
RS09-1363
RS09-1364
RS09-1376
RS09-1365
RS09-1366
RS09-1360
RS09-1389
RS09-1330
RS09-1331
RS09-1333
RS09-1332
RS09-1338
RS09-1344
RS09-1345
RS09-1323
RS09-1314
RS09-1381
RS09-1350
RS09-1315
RS09-1316
RS09-1359
RS09-1346
RS09-1347
RS09-1354
RS09-1355
RS09-1356
RS09-1324
RS09-1328
RS09-1371
RS09-1369
RS09-1321
RS09-1322
RS09-1357
RS09-1358
RS09-1377
RS09-1380
RS09-1378
RS09-1379
RS09-1388
フロメーター
フロメーター
ポンプモジュール
ポンプモジュール
ELECTROSTATIC CHUCK COVER
セラミックカバーリング
トッププレート
電磁弁
電磁弁
COAXIAL RESISTOR
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1
GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR FEM
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN
PACKAGE
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN
PACKAGE
マルチファンクション アダプター
マルチファンクション アダプター
マスフロ
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
PROM KIT ASSY
KIT, 6" MAINTENANCE ESC
PLATE, COVER, 6" HEATER, ALUMINUM
NITRID
WINDOW, SIDE, UV COATED, SAPPHIRE,
DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
スロットバルブ
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICS
AC PWRCHO
CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX 34
POS
HARNESS ASSY,MOLDED POWER CORD
VGA VIDEO CONTROLLER BOAD
SERIAL SIDE BOAD ASSY
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS
シャワープレート
シャワープレート
シャワープレート
シャワープレート
FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD
SEC-400MK3
SCV
251400220
251400215
251400227
251400237
251400236
BENKANUCT
AMAT
AMAT
OKD
AB31-2N-2-04A
8860
OKD
TERMALINE
3870-01455
3870-01455
NC
NC
3870-01245
3310-01074
スエジロック
VARIAN
3250-01007
AMAT
3250-01007
AMAT
備考
TYPE No:000448
TYPE No:000175
TYPE No:000448
TYPE No:000399
TYPE No:000399
STEC
BENKANUCT
AMAT部品
AMAT部品
AB31-2N-2-04A
3155094-003A
3155077-003A
1159B-00020RU-S
製造年
Ar 50SCCM、ケーブル付
C51206
7ID009
2KB023
125362
122606
AE
AE
MKS
701426
108027
000026334
0600-01011
0600-01011
AMAT
AMAT
0300-09055
0240-32135
AMAT
AMAT
0200-36629
AMAT
0200-09969
AMAT
0190-35413
0190-35413
0190-09663
0190-09533
0190-09533
0190-09533
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0190-09533
AMAT
0150-75202
AMAT
0150-70018
AMAT
0140-09551
0100-00793
0100-00165
0100-00084
0100-00084
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
181067-1338-0166
181067-1338-0168
0090-02980
0090-02980
00410117E326119423
00410117E038119423
004101117E284119423
00310117E038119423
0021-00042
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
B358
27 WO-35820/1
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト 中古品番号
品名
型式
RS09-1352
CLAMP, ACME LEAD SCREW
0020-34727
メーカー
AMAT
RS09-1351
CAP, BEARING, DXZ
BASE,RF
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM
ASSEMBLY BEARING
ASSY RF MATCH BW ETCHBACK
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
0020-34726
AMAT
RS09-1348
RS09-1382
RS09-1383
RS09-1384
RS09-1374
RS09-1312
RS09-1327
0020-34131
0020-30570
0020-30570
0020-30570
0010-30583
0010-09490
0010-09019
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1329
RS09-1353
ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
0010-05256
0010-00084
AMAT
AMAT
28 製造番号
2016年2月20日現在 製造年
備考
O713601
22394-09A
0899
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