取 扱 説 明 書
kina26jp1-o ( １ ２ ０ ２ )
カ タ ロ グ No.
520-001
520-002
520-003
520-004
520-103
520-104
520-105
520-106
ソ フ ト ウ ェ アバージ ョ ン V2.8 以降
Protec P3000(XL)
ヘ リ ウ ム スニフ ァー ・ リ ークデ ィ テ ク タ
0-2
Protec P3000 Japanese2IVZ.fm
( １２０２ )
取扱説明書
Protec P3000 Japanese2IVZ.fm
( １２０２ )
取扱説明書
目　次
1
一般事項
1-1
1.1
1.1.1
1.1.2
1.1.3
1.2
1.2.1
1.3
1.3.1
1.3.2
1.4
1.4.1
1.4.2
1.5
1.6
1.6.1
1.6.2
1.6.3
1.6.4
1.6.5
は じ めに
用途
Protec P3000 の種類
テ ク ニ カルデー タ
イ ン フ ィ コ ンのサポー ト 体制
サービ ス セ ン タ ー
開梱
供給部品
ア ク セサ リ ー
本書の使用法
真空技術に関す る マー ク
用語の定義
Protec P3000 の外観
設置
セッ ト アップ
機械接続
電気接続
RS232 イ ン タ ーフ ェース
I/O ポー ト
1-1
1-1
1-2
1-3
1-5
1-6
1-8
1-8
1-9
1-11
1-11
1-11
1-13
1-14
1-14
1-15
1-18
1-18
1-19
2
Protec P3000 の働 き
2-1
2.1
2.2
2.2.1
2.2.2
2.2.3
2.2.4
2.3
2.3.1
2.3.2
2.3.3
機能の説明
サブアセ ンブ リ ーの説明
補助ポ ンプ
Wise TechnologyTM セ ンサー
バルブホルダ
コ ン ト ロ ール
デ ィ ス プ レ イ お よ びユーザー イ ン タ ーフ ェース の説明
本体デ ィ ス プ レ イ
SL3000(XL) プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ 付 き ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
内蔵 PRO-Check 基準校正 リ ー ク
3
Protec P3000 の起動操作
3-1
3.1
3.2
3.3
3.4
3.4.1
3.4.2
3.4.2.1
3.4.2.2
3.4.2.3
3.4.3
3.5
3.5.1
3.5.2
起動
メ イ ンデ ィ ス プ レ イ の コ ン ト ロ ールボ タ ン
プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ の コ ン ト ロ ールボ タ ン
測定の実施
標準操作モー ド
I ・ Guide 操作モー ド
I ・ Guide モー ド の起動
I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの選択
I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの使用
イ ン フ ォページ
校正お よ び自己診断
校正の検証 （プルーフ機能）
内部校正
3-1
3-2
3-5
3-6
3-7
3-8
3-8
3-9
3-10
3-13
3-14
3-15
3-16
目　次
2-1
2-1
2-1
2-1
2-2
2-2
2-3
2-3
2-4
2-5
0-3
0-4
目　次
外部校正
ス タ ンバ イ
シャ ッ ト ダウン
バ ッ ク ア ッ プ装置 と し て直ぐ にご使用いただ く ための保管方法
3-16
3-19
3-19
3-19
4
Protec P3000 の設定
4-1
4.1
4.2
4.3
4.3.1
4.3.2
4.4
4.4.1
4.4.2
4.4.3
4.4.4
4.4.5
4.5
4.5.1
4.5.2
4.5.3
4.5.4
4.5.5
4.5.6
4-1
4-3
4-3
4-3
4-8
4-8
4-8
4-15
4-17
4-19
4-21
4-22
4-23
4-23
4-25
4-26
4-27
4.6
4.7
メ ニ ュ ー構造
サービ ス メ ニ ュ ー
等価なガ ス種の選択お よ び ト リ ガー値の設定
ガ スパ ラ メ ー タ ーの編集
ガ スパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト の選択
設定のサブ メ ニ ュ ー
真空ア ク セ ス
オーデ ィ オ機能
デ ィ ス プ レ イ 設定
I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの設定お よ び編集
その他の設定
イ ン タ ーフ ェース
コ ン ト ロ ール方法の選択
レ コ ーダー出力
RS232 プ ロ ト コ ル
PLC 入力の選択
ボーレー ト お よ びエン ド サ イ ン
PRO-Check （ADVANCED （ア ド バン ス） モー ド
だけで使用可能）
イ ン フ ォ メ ニ ュー
履歴 と 保守
5
Protec P3000 の メ ッ セージ
5-1
5.1
エ ラ ー メ ッ セージお よ び警告
6
機器の接続
6.1
6.1.1
6.1.2
6.1.3
6.1.4
6.1.4.1
6.1.4.2
6.1.5
6.2
I/O ポー ト （ コ ン ト ロ ールの入出力）
グ ラ ウ ン ド コ ネ ク ター
24V 出力
PLC 入力
PLC 出力
リ レー出力
レ コ ーダ出力
校正の実行方法
RS232 イ ン タ ーフ ェース
7
保守
7.1
7.2
7.3
7.4
7.4.1
7.4.2
保守の ス ケ ジ ュ ール
エア フ ィ ル タ ーの交換
外付け ヒ ュ ーズの交換
ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ ーの交換
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーの フ ェ ル ト デ ィ ス ク の交換
防水チ ッ プ使用時の フ ェ ル ト デ ィ ス ク の交換
（SL3000 専用）
取扱説明書
3.5.3
3.6
3.7
3.8
4-27
4-27
4-32
5-1
6-1
6-1
6-2
6-2
6-3
6-4
6-5
6-6
6-6
( １２０２ )
6-1
7-1
7-3
7-5
7-5
7-6
7-7
Protec P3000 Japanese2IVZ.fm
7-1
7.4.3
7.5
7.6
7.6.1
7-12
7.7
7.8
焼結フ ィ ル タ ーのチ ェ ッ ク / 交換 （SL3000 専用）
フ ィ ル タ ープ レー ト の交換 （SL3000XL 専用）
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーの交換 （SL3000 専用）
メ タ ルキ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーか ら
プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーへの切替
プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーか ら
メ タ ルキ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーへの切替
PRO-Check のガ ス リ ザーバーの交換
ヒ ュ ーズの交換
8
ガス ラ イブラ リ ー
8-1
索引
A-1
7-13
7-14
7-18
Protec P3000 Japanese2IVZ.fm
( １２０２ )
取扱説明書
7.6.2
7-8
7-9
7-12
目　次
0-5
一般的な安全予防措置
告
オペレー タ ーに対す る 危険を防止す る ために、 厳格に遵守 し なければな ら ない操
作手順を説明 し ます。
取扱説明書
警
注 意
P3000(XL) リ ー ク デ ィ テ ク タ の損傷や破壊を防 ぐ ために、厳格に遵守 し なければな
ら ない操作手順を説明 し ます。
注記 操作者が守 る べ き 、 特別な技術要件を示 し ます。
INFICON Protec P3000(XL) リ ー ク デ ィ テ ク タ は、 適切に ま た こ のテ ク ニ カルハン ド
ブ ッ ク に従っ て使用 さ れ る と き 、 安全で効率的な操作を行え る よ う に設計 さ れてい
ます。 本章お よ び こ のテ ク ニ カルハン ド ブ ッ ク を通 し て説明 さ れたすべての安全予
防措置 を 注意深 く お読み に な り 、 そ れ を 厳守す る こ と は ユ ー ザー の 責任 で す。
Protec P3000(XL) は適切な条件で、 ま た こ のテ ク ニ カルハン ド ブ ッ ク で説明 し た条
件下でのみ運転す る 必要があ り ます。 本装置の運転 と メ ン テナン ス は、 訓練を受け
た ス タ ッ フ し か行 う こ と がで き ません。 特定の規定お よ び規制に関 し ては、 地方自
治体ま たは国の関係機関にお問い合わせ く だ さ い。 安全、 運転、 ま たは メ ン テナン
ス に関す る その他の質問は、 最寄 り の支店にお問い合わせ く だ さ い。
次の予防措置に従わなか っ た場合、 重傷を負 う 結果にな り ます。
警
告
爆発の危険があ り ます！
こ の機器は、 爆発の危険があ る 区域で動作 さ せ る と 、 爆発性混合物の発火につな
が る おそれがあ り ます。
( １２０２ )
こ の機器は、 必ず、 爆発の危険があ る 区域外で使用 し て く だ さ い。
警
告
Protec P3000(XL) は水中ま たは水の流れ る 場所、水滴のあ る 場所で操作 し ないで く
だ さ い。 水以外の液体について も 同様の注意が必要です。
警
告
熱い表面の上で Protec P3000(XL) を使用 し ないで下 さ い。
0-6
一般的な安全予防措置
Protec P3000 Japanese2IVZ.fm
Protec P3000(XL) は室内運転専用です。
警
告
取扱説明書
グ ラ ウ ン ド 端子を持つ 3 端子の電源 コ ー ド のみ使用可能です。 グ ラ ウ ン ド 端子の
接続を断っ て Protec P3000(XL) を運転 し ないで く だ さ い。
警
告
感電気シ ョ ッ ク の危険。
?
ス ニ フ ァ ーチ ッ プの通電 し てい る 部品に触れない よ う に し て く だ さ い。
? テ ス ト サン プルは、 リ ー ク テ ス ト 前に電気接続を切断す る 必要があ り ます。
警
告
ヒ ュ ーズ を交換す る 場合は、 まず電源 コ ー ド を抜いて く だ さ い。
次の予防措置に従わなか っ た場合、 機器が損傷す る 結果を招 き ます。
注 意
酸や塩基、 溶媒等が Protec P3000(XL) に触れない よ う に し て下 さ い。 ま た、 極端
な気候条件に さ ら さ ない よ う に し て下 さ い。
注 意
( １２０２ )
接続ナ ッ ト を 緩め る 前に、 ま ず Protec P3000(XL) の ス イ ッ チ を オ フ に し て く だ
さ い。
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を交換す る 場合、 ち り やほ こ り の粒子が開口部に入 ら ない よ う
に注意 し て く だ さ い。
注 意
Protec P3000 Japanese2IVZ.fm
まずス ニ フ ァ ー ラ イ ン を確実に接続 し てか ら 、Protec P3000(XL) を運転 し て く だ さ
い。
注 意
ウ ォ ーム ア ッ プ中に ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を テ ス ト リ ー ク の開口部に挿入 し ないで く
だ さ い。 挿入す る と 、 内部校正が無効にな り 、 エ ラ ー メ ッ セージが表示 さ れます。
一般的な安全予防措置
0-7
注 意
試 験 体 に 湿 気 が あ る 場 合 は （結 露 な ど ） 、 防 水 チ ッ プ の 使 用 を 推 奨 し ま す
（1.3.2 章 を 参照）。
取扱説明書
いかな る場合 も 、 試験体の表面上にあ る 液体を、 絶対に吸引 し ないで く だ さ い。
注 意
いかな る 場合 も 、 新 し い PIN を忘れない よ う に し て く だ さ い！
PIN は INFICON のア フ タ ーサービ ス セ ン タ ーでのみ リ セ ッ ト で き ます。
注 意
ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ を交換す る 前に、Protec P3000(XL) の ス イ ッ チを オ フ
に し て く だ さ い。
Protec P3000 Japanese2IVZ.fm
( １２０２ )
フ ィ ル タ を交換す る 際に、粒子が吸気開口部に入 ら ない よ う に注意 し て く だ さ い。
0-8
一般的な安全予防措置
1
一般事項
取扱説明書
Protec P3000 ヘ リ ウ ム リ ー ク デ ィ テ ク タ ーは、 直ちに運転可能な状態で納入 さ れま
す。 ただ し 、 最適な条件で運転を開始 し ていただけ る よ う に 「取扱説明書」 を事前
に熟読 さ れ る こ と をお勧め し ます。 本書には、 Protec P3000 の機能、 設置、 起動お
よ び操作についての重要な情報が記載 さ れてい ます。
テ ク ニ カ ルハ ン ド ブ ッ ク に記載 さ れてい ない場合は、 全て の タ イ プに適用 し ま す
（1.1.2 項を参照）。 1 つの タ イ プに特定 さ れ る セ ク シ ョ ンは 「… 専用」 と し て明記
さ れ て い ま す。 「Protec P3000XL 専用」 と し て 明記 さ れ た 章 に 関 し て は、 常 に
SL3000XL ス ニ フ ァ ー ラ イ ン （高流量モー ド 可能） 付 き の Protec P3000XL に適用 さ
れ ます。
1.1
は じ めに
1.1.1
用途
Protec P3000 は、 ス ニ フ ァ ー作業に使用す る こ と を目的 と し たヘ リ ウ ム リ ー ク デ ィ
テ ク タ ーです。 本装置は、 ヘ リ ウ ム を加圧封入 さ れた被検体の リ ー ク 部位の特定 と
リ ー ク 量の定量を、 被検体の外部か ら ス ニ フ ァ ープ ロ ーブで探 る こ と （ス ニ フ ァ ー
法） に よ り 行 う こ と がで き ます。 本装置の適正な運転には、 こ の ス ニ フ ァ ープ ロ ー
ブが必須です。 プ ロ ーブはア ク セサ リ ー （カ タ ロ グ No. 525-001 ～ 525-003） と し
て入手す る こ と がで き ます。
注 意
周囲が水に濡れた状態、 ま たは水滴がかか る 状態で Protec P3000 を運転 し ないで
く だ さ い。 水以外の液体について も 同様の注意が必要です。
本装置は室内運転専用です。
( １２０２ )
注 意
酸や塩基、 溶媒等が Protec P3000 に触れない よ う に し て く だ さ い。 ま た、 極端な
気候条件に曝 さ ない よ う に し て く だ さ い。
注 意
kina26jp Chapter 1.fm
装置が十分に空冷 さ れ る 条件で運転 し て く だ さ い （1.1.2 項を参照）。
一般事項
1-1
1.1.2
Protec P3000 の種類
Protec P3000
Protec P3000 は高感度アプ リ ケーシ ョ ンに使用 さ れ る も のです。 こ れには、 SL3000
ス ニ フ ァ ー ラ イ ンが必要です。
取扱説明書
Protec P3000 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーは、 4 種類の タ イ プか ら お客様の仕様にあ っ た タ
イ プ をお選び頂け ます。
Protec P3000,
RC バージ ョ ン
Protec RC バージ ョ ンは標準の Protec P3000 であ る と 同時に外部のデ ィ ス プ レ イ 装
置での操作が可能です。 こ れには、 SL3000 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンが必要です。
Protec P3000XL
Protec P3000XL は ProtecP3000 の高流量バージ ョ ン です。 こ の タ イ プは、 リ ー ク の
可能性のあ る 場所を遠い距離か ら 検出す る こ と がで き ますが、 通常の低流量の流れ
に戻す こ と も で き ま す。 高 ・ 低流量モー ド の使用に あ た っ て は、 SL3000XL ス ニ
フ ァ ー ラ イ ン が必要です。 通常の SL3000 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン で も 作動 し ますが、 こ
の場合、 高流量モー ド は無効にな り ます。
Protec P3000XL,
RC バージ ョ ン
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
Protec RC バージ ョ ンは標準の Protec P3000XL であ る と 同時に外部のデ ィ ス プ レ イ
装置での操作が可能です。 こ れには、 SL3000XL ス ニ フ ァ ー ラ イ ン が必要です。
1-2
一般事項
1.1.3
テ ク ニ カルデー タ
物理的デー タ
最低検出可能 リ ー ク レー ト
1 x 10-7 mbar l/s,
取扱説明書
Protec P3000
1 x 10-8 Pam3/s
低流量モー ド 時での Protec P3000XL
1 x 10-7 mbar l/s,
1 x 10-8 Pam3/s
高流量モー ド 時での Protec P3000XL
1 x 10-6 mbar l/s,
1 x 10-7 Pam3/s
測定範囲
Protec P3000
5桁
Protec P3000XL （高流量モー ド 時） 4桁
ヘ リ ウ ム セ ンサー
Wise TechnologyTM セ ンサー
セ ンサー応答時間
450 ms
キ ャ ピ ラ リ ーを通 る ガ ス流量
Protec P3000
260 - 360 sccm*
Protec P3000XL （高流量モー ド 時） 操作準備完了ま での時間
2600 - 3500 sccm*
約3分
* 標準海抜上 1 気圧 (1013 ミ リ バール ) で測定。実際流量は高度の上昇な ら びに大気
圧の低下に よ り 変動す る こ と があ り ます。
電気的デー タ
電源電圧／周波数 （固定）
90 ～ 127V、 50/60Hz
115 ～ 140V、 60Hz
消費電力
200VA
保護 タ イ プ
IP20
過電圧カ テ ゴ リ ー
II
電源 コ ー ド
2.5 m
ノ イ ズ レベル
< 54dBA
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
187 ～ 265V、 50/60Hz
一般事項
1-3
外形寸法 （W ´ H ´ D mm）
610 x 370 x 265
重量
27 kg
許容周囲温度 （運転中）
10 ℃～ 45 ℃
-40 ℃～ 60 ℃
汚染レベル
II
（IEC 61010 Part 1 に準拠 ： 「通常は、非導
電性の汚染のみが発生す る 。 ただ し 、 結
露に よ る 一時的 な 導電状態は許容 さ れ
る 」）
最高海抜レベル
2000m
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
許容保管温度
取扱説明書
その他のデー タ
1-4
一般事項
1.2
イ ン フ ィ コ ンのサポー ト 体制
取扱説明書
イ ン フ ィ コ ンに よ る サービ ス作業
Protec P3000 を イ ン フ ィ コ ン ま た は イ ン フ ィ コ ン の正規代理店に返送す る 場合、
Protec P3000 が人体に有害な物質を含んでいないか、 ま た汚染 さ れていないか明示
し て く だ さ い。 汚染 さ れてい る 場合には、 危険性の性質を明示 し て く だ さ い。 装置
に 「汚染状況申告書」 が添付 さ れていない場合、 弊社はその装置を送 り 主の住所に
返送 さ せていただ き ます。 「汚染状況申告書」 の書式を、 以下に示 し ます。
一般事項
本書に記載 さ れてい る デザ イ ン、 デー タ 等は変更 さ れ る こ と があ り ます。
こ のため、 挿入図 と 実際の製品に若干の相違が生 じ る 場合があ り ます。
Declaration of Contamination
The service, repair, and/or disposal of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has
been submitted. Non-completion will result in delay.
This declaration may only be completed (in block letters) and signed by authorized and qualified staff.
Description of product
Reason for return
Type
Article Number
Serial Number
Operating fluid(s) used (Must be drained before shipping.)
Process related contamination of product:
toxic
no 1)
caustic
no 1)
yes biological hazard
no explosive
no yes 2)
yes 2)
radioactive
no yes 2)
other harmful substances no 1)
The product is free of any substances which are damaging to
health
yes 1) or not containing any amount
of hazardous residues that
exceed the permissible exposure limits
yes yes 2) Products thus contaminated will not be accepted without written
evidence of decontamination!
Harmful substances, gases and/or by-products
Please list all substances, gases, and by-products which the product may have come into contact with:
Precautions associated
with substance
Chemical name
(or symbol)
Action if human contact
( １２０２ )
Trade/p roduct name
Legally binding declaration:
I/we hereby declare that the information on this form is complete and accurate and that I/we will assume any further costs that may
arise. The contaminated product will be dispatched in accordance with the applicable regulations.
O rganization/company
Address
Post code, place
Phone
Fax
Email
Name
kina26jp Chapter 1.fm
Date and legally binding signature
This form can be downloaded
from our website.
Company stamp
Copies:
Original for addressee - 1 copy for accompanying documents - 1 copy for file of sender
図 1-1 「汚染状況申告書」
一般事項
1-5
アルジ ェ リ ア
[email protected]
エス ト ニア
[email protected]
A’Gramkow
電話 ： +45 741 236 36
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
Sonderborg
フ ァ ッ ク ス番号 ： +45 744 336 46
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
ベ ラ ルーシ
[email protected]
フ ィンランド
[email protected]
Gertner Service
電話 ： +7 959 319 646
A’Gramkow
電話 ： +45 741 236 36
モス ク ワ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +7 959 319 645
Sonderborg
フ ァ ッ ク ス番号 ： +45 744 336 46
ベルギー
[email protected]
フランス
[email protected]
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
OLV フ ラ ン ス
電話 ： +33 476 351 584
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221 オルセー
フ ァ ッ ク ス番号 ： +33 476 351 584
ブ ラ ジル
[email protected]
ド イツ
[email protected]
MEISA S.a. de C.V.
電話 ： +52 442 225 42 80
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
ケレタ ロ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +52 442 225 41 57
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
ブルガ リ ア
[email protected]
ハン ガ リ ー
[email protected]
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
Kontrade
電話 ： +36 23 50 38 80
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221 ブダエルシ ェ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +36 23 50 38 96
カナダ
[email protected]
インド
[email protected]
Vacuum Products Canada Ltd.
電話 ： +905.672.7704
Dashpute
電話 ： +91 22 888 0324
オン タ リ オ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +905.672.2249
400 064
フ ァ ッ ク ス番号 ： +91 22 888 0324
中米
[email protected]
イタ リア
[email protected]
MEISA S.a. de C.V.
電話 ： +52 44 22 12 36 15
INFICON GmbH
電話 ： +39 045 6 40 25 56
ケレタ ロ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +52 44 22 12 19 40 カ ス テル ヌ オーボ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +39 045 6 40 24 21
中国
[email protected]
アイルラ ン ド
[email protected]
INFICON LTD
電話 ： +852.2862.8863
INFICON
電話 ： +44 1254 678 250
香港
フ ァ ッ ク ス番号 ： +852.2865.6883
Blackburn
フ ァ ッ ク ス番号 ： +44 1254 698 577
INFICON LTD
電話 ： +86.10.6590.0164
イ ス ラ エル
[email protected]
Mark Technologies Ltd.
電話 ： +972 35 34 68 22
北京
フ ァ ッ ク ス番号 ： +86.10.6590.0521
INFICON LTD
電話 ： +86.20.8723.6889
広州
フ ァ ッ ク ス番号 ： +86.20.8723.6003
INFICON LTD
電話 ： +86.21.6209.3094
上海
フ ァ ッ ク ス番号 ： +86.21.6295.2852 キ リ ヤ ト オ ノ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +972 35 34 25 89
チ ェ コ 共和国
[email protected]
日本
[email protected]
Q - Test
電話 ： +420 377 375 024
INFICON Co. Ltd
電話 ： +81.45.471.3396
フ ァ ッ ク ス番号 ： +420 377 422 608 横浜
フ ァ ッ ク ス番号 ： +81.45.471.3387
[email protected]
韓国
[email protected]
A’Gramkow
電話 ： +45 744 336 36
INFICON Ltd.
電話 ： +82 312 062 890
Sonderborg
フ ァ ッ ク ス番号 ： +45 744 336 46
城南市
フ ァ ッ ク ス番号 ： +82 312 063 058
エジプ ト
[email protected]
INFICON Ltd.
電話 ： +82 312 062 890
ス ウ ォ ン市
フ ァ ッ ク ス番号 ： +82 312 063 058
A’Gramkow
電話 ： +45 741 236 36
INFICON Ltd.
電話 ： +82 312 062 890
Sonderborg
フ ァ ッ ク ス番号 ： +45 744 336 46
天安市
フ ァ ッ ク ス番号 ： +82 312 063 058
kina26jp Chapter 1.fm
ピルゼン
デン マー ク
取扱説明書
サービ ス セン タ ー
( １２０２ )
1.2.1
1-6
一般事項
取扱説明書
ラ ト ビア
[email protected]
ブ ラ ジルを除 く 南ア メ リ カ
[email protected]
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
MEISA S.a. de C.V.
電話 ： +52 44 22 12 36 15
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
ケレタ ロ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +52 44 22 12 19 40
リ ト アニア
[email protected]
スペ イ ン
[email protected]
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
Leybold Optics Ibrica
電話 ： +34 93 66 60 778
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
バルセ ロ ナ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +34 93 66 64 612
メ キシ コ
[email protected]
ス ウ ェーデン
[email protected]
MEISA S.a. de C.V.
電話 ： +52 442 225 42 80
A’Gramkow
電話 ： +45 741 236 36
ケレタ ロ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +52 442 225 41 57
Sonderborg
フ ァ ッ ク ス番号 ： +45 744 336 46
オ ラ ンダ
[email protected]
シリア
[email protected]
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 347 42222
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
ノ ルウ ェー
[email protected]
台湾
[email protected]
A’Gramkow
電話 ： +45 741 236 36
INFICON Company Limited
電話 ： +886.3.5525.828
Sonderborg
フ ァ ッ ク ス番号 ： +45 744 336 46
新竹縣竹北市
フ ァ ッ ク ス番号 ： +886.3.5525.829
ポー ラ ン ド
[email protected]
チ ュ ニジ ア
[email protected]
VAK-POL & GAZ Sp. zo.o
電話 ： +48 60 23 15 212
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
Pulawy
フ ァ ッ ク ス番号 ： +48 60 23 15 212
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
ポル ト ガル
[email protected]
ト ルコ
[email protected]
Sociedade Zickermann S.A.R.L,
Lissabon
電話 ： +351 21 322 41 60
A’Gramkow
電話 ： +45 741 236 36
フ ァ ッ ク ス番号 ： +351 21 346 91 29
Sonderborg
フ ァ ッ ク ス番号 ： +45 744 336 46
南ア フ リ カ共和国
[email protected]
ウ ク ラ イナ
[email protected]
Vacuquip
電話 ： +27 73 15 78 355
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
Randburg
ロ シア
[email protected]
イギ リ ス
[email protected]
INFICON GmbH
電話 ： +49 221 56788-112
INFICON
電話 ： +44 1254 678 250
ケルン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +49 221 347 42221
Blackburn
フ ァ ッ ク ス番号 ： +44 1254 698 577
シ ン ガポール
[email protected]
ア メ リ カ合衆国
[email protected]
INFICON PTE LTD.
電話 ： +65.890.6250
Inficon Inc.
電話 ： +1.315.434.1167
シ ン ガポール
フ ァ ッ ク ス番号 ： +65.890.6266
イ ース ト シ ラ キ ュ ース、
ニ ュー ヨ ーク州
フ ァ ッ ク ス番号 ： +1.315.434.2551
ス ロ バキ ア
[email protected]
Inficon Inc.
電話 ： +1.408.361.1200
サン ノ ゼ、 カ リ フ ォ ルニア州
フ ァ ッ ク ス番号 ： +1.408.362.1556
電話 ： +420 377 375 024
Inficon Inc.
電話 ： +1.512.448.0488
ピルゼン
フ ァ ッ ク ス番号 ： +420 377 422 608
オース テ ィ ン、 テ キサ ス州
フ ァ ッ ク ス番号 ： +1.512.448.0398
ス ロ ベニ ア
[email protected]
ア ラ ブ首長国連邦
[email protected]
Medivac
電話 ： +386 15 63 91 50
Sel Trade Trading Est.
電話 ： +971 42 66 03 15
Ljubljani
フ ァ ッ ク ス番号 ： +386 17 22 04 51
ドバイ
フ ァ ッ ク ス番号 ： +971 42 62 81 40
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
Q - Test
一般事項
1-7
1.3
開梱
注記 Protec P3000 に損傷が発見 さ れた場合に備え て、 搬送容器や梱包材は捨てず
に保管 し ておいて く だ さ い。
Protec P3000 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの必要部品が全部揃っ てい る こ と を確認 し （1.3.1
項を参照） 、 目視で慎重にチ ェ ッ ク し て く だ さ い。 何 ら かの損傷が発見 さ れた場合
は、 直ちに輸送業者お よ び保険会社に連絡 し て く だ さ い。 損傷部品の交換が必要 と
判断 さ れ る 場合は、弊社受注担当部門（電話番号：045-471-3328） にご連絡 く だ さ い。
1.3.1
取扱説明書
すぐ に運転 し ない場合であ っ て も 、 Protec P3000 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーが納品 さ れた
ら 直ち に開梱 し て く だ さ い。 搬送容器の外面に損傷が な い こ と を 確認 し て く だ さ
い。 梱包材をすべて取 り 外 し て く だ さ い。
供給部品
Protec P3000 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーは、 直ちに運転可能な状態で納入 さ れてい ます。
装置を設置す る 前に 1.5 節を参照 し て く だ さ い。 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーには、 以下の
コ ン ポーネ ン ト が含ま れてい ます。
･
Protec P3000 （本体）
1台
･
電源コ ー ド 、 長 さ 3 m
1本
･
ヒ ュ ーズセ ッ ト （10 本入 り ´ 7 セ ッ ト ）
315mA、 500mA、 1A、 2A、 4A、 5A
SMD2 ´ 7mm
1 セッ ト
･
予備エア フ ィ ル タ ー
1枚
･
8mm 六角レ ンチ （カバーオープナー）
1本
･
マニ ュ アル
-
Protec P3000 英文取扱説明書
1冊
-
Protec P3000 和文取扱説明書
1冊
-
Protec P3000 スペアパーツ リ ス ト
1冊
-
Protec P3000 イ ン タ ーフ ェ ース説明書
1冊
望の長 さ を別途注文 し ていただ く 必要があ り ます。 SL3000 （XL） ス ニ フ ァ ー
ラ イ ンは、 装置の納入時には同梱 さ れてい ません。 （1.3.2 項 「ア ク セサ リ ー」
を参照）
( １２０２ )
注記 SL3000 及び SL3000XL ス ニ フ ァ ー ラ イ ンは異な る 形状で も 利用可能で、 ご希
注記 PRO-Check 基準校正 リ ー ク はア ク セサ リ ーです （1.3.2 項 「ア ク セサ リ ー」 を
参照）。 ご希望の場合は、 別途ご注文 く だ さ い。
注記 RC バージ ョ ン のデ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト 及び接続ケーブルは、 標準装備では
kina26jp Chapter 1.fm
あ り ませんので、 別途注文 し ていただ く 必要があ り ます。 （1.3.2 項 「ア ク セ
サ リ ー」 を参照）
1-8
一般事項
1.3.2
ア ク セサ リ ー
Protec P3000
取扱説明書
Protec P3000 用 SL3000 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
カ タ ロ グ No. ／部品 No.
SL3000-3 ： 長 さ 3 m
525-001
SL3000-5 ： 長 さ 5 m
525-002
SL3000-10 ： 長 さ 10 m
525-003
SL3000-15 ： 長 さ 15 m
525-004
SL3000 用ス ニ フ ァ ーチ ッ プ
ST312 ： 長 さ 120 mm、 ス ト レー ト
122 13
FT312 ： 長 さ 120 mm、 フ レ キ シブル
122 14
ST200 ： 長 さ 200 mm、 ス ト レー ト
FT250 ： 長 さ 250 mm、 フ レ キ シブル
122 18
122 66
ST385 ： 長 さ 385 mm、 ス ト レー ト
122 15
FT385 ： 長 さ 385 mm、 フ レ キ シブル
122 16
FT600 ： 長 さ 600 mm、 フ レ キ シブル
122 09
ST500 ： 長 さ 500 mm、 ス ト レー ト 、
角度 （45°）
122 75
ス ニ フ ァ ー用防水チ ッ プ
122 46
Protec P3000XL 専用
Protec P3000XL 用 SL3000XL ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
SL3000XL-3 ： 長 さ 3 メ ー ト ル
SL3000XL-5 ： 長 さ 5 メ ー ト ル
521-011
521-012
SL3000XL-10 ： 長 さ 10 メ ー ト ル
521-013
SL3000XL-15 ： 長 さ 15 メ ー ト ル
521-014
( １２０２ )
SL3000XL 用ス ニ フ ァ ーチ ッ プ
ST 312XL ： 長 さ 120 mm ス ト レー ト
122 80
FT 312XL ： 長 さ 120 mm フ レ キ シブル
122 81
ST 385XL ： 長 さ 385 mm ス ト レー ト
122 82
FT 385XL ： 長 さ 385 mm フ レ キ シブル
122 83
FT 250XL ： 長 さ 250 mm フ レ キ シブル
122 85
RC バージ ョ ン 専用
kina26jp Chapter 1.fm
Protec P3000RC 用内部デ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト
卓上用
551-100
ラ ッ ク 取 り 付け用
551-101
外部デ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト 用接続ケーブル
長さ 5 メー ト ル
551-102
長 さ 0.7 メ ー ト ル
551-003
一般事項
1-9
全ての Protec P3000 タ イ プ用
SL3000(XL) 用フ ォ ルダー
525-006
ヘ リ ウ ム用 PRO-Check 基準校正 リ ー ク
521-001
122 37
S-TL 5 ： 10-5 mbar l/s 範囲
S-TL 6 ： 10-6 mbar l/s 範囲
122 38
122 39
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
S-TL 4 ： 約 1 x 10-4 mbar l/s
取扱説明書
ヘ リ ウ ム用ス ニ フ ァ ー外部校正 リ ー ク
1-10
一般事項
1.4
本書の使用法
操作上の安全性確保 と 装置保護に関す る 重要な記述は、 以下の よ う に強調 し て表記
さ れてい ます。
取扱説明書
注記 ユーザーが準拠すべ き 特別な要件を示 し ます。
警
告
人体に対す る 危険を防止す る ために、 厳格に遵守 し な ければな ら ない操作手順を
示 し ます。
注 意
Protec P3000 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの損傷や破壊を防 ぐ ために、 厳格に遵守 し なけ
ればな ら ない操作手順を示 し ます。
挿入図への参照は、 （図 3-1/1） の よ う な形式で表記 さ れ、 前か ら 順に、 章番号、 図
番号、 お よ び項目番号を表 し てい ます。 例えば （図 2-1/6） は、 第 2 章の第 1 図、
項目番号 6 （本書では、 「電源ス イ ッ チ」） を表 し ます。
1.4.1
真空技術に関する マー ク
本書で使用 さ れてい る 、 真空技術に関す る 重要なマー ク を以下に説明 し ます。
( １２０２ )
ダ イ ア フ ラ ムポンプ
1.4.2
真空計
用語の定義
「Main Menu」
（ メ イ ン メ ニ ュ ー）
メ ニ ュ ーボ タ ン
を操作 し た と き に、 最初に現れ る メ ニ ュ ーです。
kina26jp Chapter 1.fm
サブ メ ニ ュ ー
「Main Menu」 （ メ イ ン メ ニ ュ ー） か ら ア ク セ ス で き る すべての下位 メ ニ ュ ーを指 し
ます。 多 く のサブ メ ニ ュ ー項目では、 不正な ア ク セ ス を防止す る ためにパ ス ワ ー ド
が設け ら れてい ます （図 4-2 を参照）。
一般事項
1-11
メ ニ ュー項目
1 つの メ ニ ュ ーを指 し ます。
Protec P3000XL の工場出荷時におけ る 設定状態です。
取扱説明書
デフ ォ ル ト 条件
サービ ス メ ニ ュ ー
「Service」 （サービ ス） サブ メ ニ ュ ーに含まれ る 複数の メ ニ ュ ー項目を指 し ます。サー
ビ ス メ ニ ュ ーに ア ク セ ス す る に は、 ナ ビ ゲー シ ョ ン ボ タ ン を 使用 し て、 基本 メ
ニ ュ ーを ス ク ロ ール し て く だ さ い （3.2 節を参照）。
オー ト ゼ ロ （Autozero）
ヘ リ ウ ム に よ る バ ッ ク グ ラ ウ ン ド を計測 し て、 その影響を補正 し ます。 こ の機能に
よ り 、 リ ー ク レー ト 信号の内部ゼ ロ レベルが決定 さ れ、 内部のヘ リ ウ ムに よ る バ ッ
ク グ ラ ウ ン ド を読み取 り 、 それを実際の測定値 と し て読み違え る こ と を防止す る こ
と がで き ます。 バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 補正の結果 と し て負の リ ー ク レー ト が得 ら れた場
合は、 得 ら れた最小測定値がゼ ロ にな る よ う に、 保存 さ れてい る オ フ セ ッ ト 値を書
き 換え ます。 こ の方式に よ り 、 測定値は減衰す る バ ッ ク グ ラ ウ ン ド に も 自動的に追
随 し て補正 さ れ ます （適応型バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 補正）。
内部バ ッ ク グ ラ ウ ン ド
測定シ ス テ ム内に存在す る 部分圧です。 内部バ ッ ク グ ラ ウ ン ド レベルは常に測定 さ
れ、 その値が測定信号か ら 差 し 引かれ ます。
I ・ Guide モー ド
被検体
リ ー ク を検査す る 必要のあ る 試験体を指 し ます。
( １２０２ )
I ・ Guide モー ド では、 複数のテ ス ト プ ラ ン を あ ら か じ めプ ロ グ ラ ムす る こ と がで き
ま す。 テ ス ト の実施中、 オペレ ー タ ーに対 し て次に行 う 操作の指示が常に出 さ れ、
テ ス ト プ ラ ン が終了す る ま で指示が続 き ます。 （3.4.2 を参照）
表示限界
kina26jp Chapter 1.fm
測定単位お よ びオペレー タ ーに よ る 設定に応 じ て、 表示 さ れ る 測定デー タ が制限 さ
れます。
1-12
一般事項
1.5
Protec P3000 の外観
取扱説明書
1
2
5
4
3
図 1-2 Protec P3000 の外観
Pos. 詳細
1
メ イ ンデ ィ ス プ レ イ
4
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン用Lemo コ ネ ク タ ー
2
ス ピーカー
5
搬送用ハン ド ル
3
PRO-Check 基準校正 リ ー ク
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
Pos. 詳細
一般事項
1-13
1.6
設置
1.6.1
セッ ト アップ
輸送用 ロ ッ ク は、 本体下面に取 り 付け ら れてい る 黄色のネジです。 Protec P3000 を
起動す る 前に、 こ のネジ を取 り 外 し て く だ さ い。 Protec P3000 は、 直ちに運転可能
な状態で納品 さ れ ます。 最初の起動手順については、 3.1 節を参照 し て く だ さ い。
取扱説明書
輸送用 ロ ッ ク の取 り 外 し ：
図 1-3 起動前に輸送用 ロ ッ ク を取 り 外す
注 意
注 意
kina26jp Chapter 1.fm
Protec P3000 の換気を十分に行 う ために、装置両側の少な く と も 20cm 以内には物
を置かないで く だ さ い。背面側には 10cm 以上の スペース が必要です。ま た、Protec
P3000 の側面にあ る 搬送用ハン ド ルは、 空気の流入口／出口にな っ てい ますので、
決 し て塞がないで く だ さ い。 Protec P3000 の近傍には、 発熱源を置かないで く だ
さ い。
( １２０２ )
設置作業前に、 輸送用 ロ ッ ク を取 り 外 し て く だ さ い。 輸送時必ず取付け て く だ さ
い。
1-14
一般事項
1.6.2
機械接続
取扱説明書
SL3000(XL)
スニフ ァーラ イ ン
Protec P3000 を運転す る には、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を接続す る 必要があ り ます。 ス ニ
フ ァ ー ラ イ ンの接続ポー ト は、 装置の前部、 PRO-Check 基準校正 リ ー ク の左側にあ
り ます。 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンのプ ラ グの赤い点 と フ ロ ン ト カバーの ス ロ ッ ト を合わせ
なが ら 、 プ ラ グ を開口に挿入 し 、 コ ネ ク タ ーを結合 さ せて く だ さ い。 プ ラ グ を外す
と き は、 カ ッ プ リ ン グ を引っぱ り なが ら 、 プ ロ ーブのプ ラ グ を外 し て く だ さ い。
防水チ ッ プ （オプシ ョ ナル）
部品が完全に乾いていない状態で リ ー ク テ ス ト （例えば、 性能試験後の凝結） を実
施す る 場合には、 防水チ ッ プの使用を強 く お勧め し ます。
防水チ ッ プ を取 り 付け る には、
1 ス ニ フ ァ ーチ ッ プの先端にあ る メ タ ルキ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーを回 し なが ら 取 り
外 し ます。
2 外 し た部分に防水チ ッ プ を取 り 付け ます。
注記 防水チ ッ プに取 り 換え る 際、 小 さ いゴ ム製のシールを貼 る こ と を忘れない よ
( １２０２ )
う に し て く だ さ い。
図 1-4 防水チ ッ プの取 り 付け方
PRO-Check 基準 リ ー ク
（オプシ ョ ナル）
kina26jp Chapter 1.fm
PRO-Check 基準 リ ー ク を本体の枠の穴に挿入 し 、D-Sub プ ラ グが正 し く PRO-Check
基準 リ ー ク に接続 さ れて る か確認 し て く だ さ い。
注記 正 し く 挿入 さ れてい る 場合には、 PRO-Check 基準 リ ー ク は、 約 10 ミ リ 突出
し た形にな り ます。
PRO-Check の使用にあ た っ ては、 まず Protec P3000 の ソ フ ト ウ ェ ア を基準 リ ー ク
使用に初期設定す る 必要があ り ます。
1 Protec P3000 の適切な開口部に PRO-Check を挿入 し て く だ さ い。
一般事項
1-15
2
ソ フ ト ウ ェ ア メ ニ ュ ーの 「History & Maintenace」 （ リ レ キ＆ メ ン テナン ス） / PRO-Check 交
換 （ コ ウ カ ン）」 に進んで く だ さ い。
注記 こ の メ ニ ュ ーア イ テ ムは、 Protec P3000 が ADVANCED MODE にセ ッ ト さ れてい
る と き だけ使用で き ます (4.4.3 章を参照、 キー ワー ド : ユーザーモー ド )
の コ ー ド が記載 さ れてい ます。 サブ メ ニ ュ ーを開 き 、 最初の行にシ リ アル番号を、
2 番目行に 12 桁の コ ー ド を入力 し て、 Ｏ Ｋ ボ タ ン を押 し て く だ さ い。
注記 Ｏ Ｋ ボ タ ン を押す時に、 Protec P3000 に PRO-Check 標準 リ ー ク を取 り 付け
取扱説明書
3 PRO-Check には証明書が同封 さ れてい ます。 こ の証明書にはシ リ アル番号 と 12 桁
て く だ さ い。
図 1-5 PRO-Check 基準 リ ー ク の初期設定
注記 PRO-Check 警告時間の有効期限 （7.7.5 節を参照）。
RC バーシ ョ ン専用
(b)
図 1-6 外部デ ィ ス プ レ イ 付 き Protec P3000 （: (a) ベンチ ト ッ プ用途 ( 左側 )、 (b)
ラ ッ ク 取 り 付け ( 右側 ) 用）
1-16
一般事項
kina26jp Chapter 1.fm
(a)
( １２０２ )
Protec P3000RC には内臓型デ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト はあ り ませんが、 その代わ り に、
コ ネ ク タ ー基板が取 り 付け ら れて い ま す。 5 メ ー ト ルの接続テーブル （カ タ ロ グ
No.551-002） を使っ て、 外部デ ィ ス プ レ イ に接続 し て く だ さ い。
SL3000 用ホルダー
取扱説明書
SL3000 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン用のオプシ ョ ン ホルダーは、 カ タ ロ グ No. 525-006 で入手
可能です。 図 1-8 に示す よ う に、 ホルダーは メ イ ン ユニ ッ ト の左右ど ち ら かに設置
し ます （右 も し く は左利 き オペレー タ ー用）。
図 1-7 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン ホルダーの取 り 扱い
( １２０２ )
取 り 付けは図 1-8 に記載 さ れてい ます。 メ イ ン ユニ ッ ト の フ ロ ン ト パネルの上部に
2 つの小 さ な ス ロ ッ ト があ り ます。 ホルダーを水平に維持 し 、 次にホルダーの 2 つ
の小 さ な フ ッ ク を 2 つの ス ロ ッ ト （左右両方のサ イ ド ） の中に挿入 し ます。 フ ッ ク
が挿入 さ れてい る 状態で、 ホルダーを下げます。 ホルダーの裏側にあ る マ グネ ッ ト
に よ り 金属前部に自動的に結合 し ます。 ス ニ フ ァ ープ ロ ーブグ リ ッ プ を ホルダーの
開口部に挿入 し て下げ、 ホルダー内に置 き ます。
kina26jp Chapter 1.fm
図 1-8 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン ホルダーの取 り 付け
一般事項
1-17
1.6.3
電気接続
2
3
4
5
6
取扱説明書
1
2
1
3
4
5
6
図 1-9 電気接続
Pos. 詳細
Pos. 詳細
1
ヘ ッ ド フ ォ ン ポー ト
4
銘板シ リ アル番号
2
I/O ポー ト
5
電源ス イ ッ チ
3
RS232 イ ン タ ーフ ェース
6
電源 コ ネ ク タ ー
注記 電気接続については、 装置を使用す る 国 （地域） の規制に従っ て く だ さ い。
Protec P3000 の定格電圧は、 電源 ス イ ッ チ左側の銘板に記 さ れ て い ま す。
Protec P3000 の電源電圧は固定 さ れてお り 、 変更す る こ と はで き ません。 電
源 ラ イ ンには導線ご と に ヒ ュ ーズが設け ら れてお り 、 電源 ソ ケ ッ ト に組み込
まれてい ます （図 1-4/6）。
Protec P3000 への電源供給には、 同梱 さ れてい る 脱着式の電源ケーブルを使用 し ま
す。 電源ケーブルを接続す る ソ ケ ッ ト は、 本体背面に設け ら れてい ます。
注 意
Protec P3000 を主電源に接続す る 前に、Protec P3000 の電圧定格が使用地域の電源
電圧 と 一致 し てい る こ と を確認 し て く だ さ い。
告
電源の供給には、 必ず保護接地導線付 き 3 芯ケーブルを使用 し て く だ さ い。 接地
導線が接続 さ れていない状態では、絶対に Protec P3000 を運転 し ないで く だ さ い。
RS232 イ ン タ ーフ ェース
Protec P3000 には、 背面の右側に RS232 イ ン タ ーフ ェ ース ポー ト が備え ら れてい ま
す。 こ の イ ン タ ーフ ェース は DCE （デー タ 通信機器） タ イ プであ り 、 PC を接続す
る こ と に よ り 、 モニ タ リ ン グお よ びデー タ ロ ギ ン グが可能 と な り ます。 接続には、
市販の D-Sub プ ラ グ を使用 し ます。詳細については、「Protec P3000 イ ン タ ーフ ェ ー
ス説明書」 を参照 し て く だ さ い。
1-18
一般事項
kina26jp Chapter 1.fm
1.6.4
( １２０２ )
警
1.6.5
I/O ポー ト
I/O ポー ト を使用す る こ と に よ り 、Protec P3000 の機能の一部を外部か ら コ ン ト ロ ー
ル し た り 、 測定デー タ や装置の ス テー タ ス を外部機器へ伝送 し た り で き ます。
リ レー切換接点を介 し て、ト リ ガーレベルお よ び Protec P3000 の動作モー ド （Ready）
を モニ タ ーす る こ と がで き ます。
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
取扱説明書
I/O ポー ト を使用す る こ と に よ り 、外部機器 と の PLC でアナ ロ グデー タ 通信な ら び
に外部機器に よ る コ ン ト ロ ールを行 う こ と がで き ます。 詳細については、 6.1 節を
参照 し て く だ さ い。
一般事項
1-19
1-20
一般事項
kina26jp Chapter 1.fm
( １２０２ )
取扱説明書
2
Protec P3000 の働 き
2.1
機能の説明
取扱説明書
Protec P3000 は、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を通 し てヘ リ ウ ム を吸い込み、 ヘ リ ウ ム感知セ
ン サーを使用 し てヘ リ ウ ム量を検出 し 、 そのセ ンサー信号を定量的な リ ー ク レー ト
に変換 し ます。
Protec P3000 は、 以下の主要なサブアセ ン ブ リ ーか ら 構成 さ れてい ます。
･
ヘ リ ウ ムデ ィ テ ク タ と し て機能す る Wise Technology セ ンサー
･
様々な動作状態を コ ン ト ロ ールす る バルブホルダ
･
ガ ス を セ ンサーにポ ン ピ ン グす る ダ イ ア フ ラ ム ポ ンプ
･
ガ ス流の吸入 （ イ ン レ ッ ト ） シ ス テ ム
･
上記それぞれのシ ス テ ム に対 し て、 電源の供給 と 信号処理を行 う 電気な ら びに電子サブ
アセ ンブ リ ー
デ ィ テ ク タ ーは、 高真空状態でのみ機能 し ます。 すなわち、 デ ィ テ ク タ ーの動作圧
力は数万 Pa に保たれてい る 必要があ り ます。 高真空は、 ダ イ ア フ ラ ム ポ ン プに よ
り 実現 さ れ ます。セ ン サー前部の圧力は、ピ エ ゾ抵抗測定シ ス テ ムに よ り 測定 さ れ、
通常の動作状態では約 25000Pa にな り ます。
2.2
サブアセンブ リ ーの説明
2.2.1
補助ポ ンプ
Protec P3000 のダ イ ア フ ラ ム ポ ン プは、 補助ポ ンプ と し て機能 し ます。 こ のポ ン プ
についてのデー タ お よ び詳細はすべて、 操作マニ ュ アルに記載 さ れてい ます。 補助
ポ ン プは、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンにガ ス流を作 り 出 し ます。
Wise TechnologyTM センサー
ヘ リ ウ ムデ ィ テ ク タ （Wise TechnologyTM セ ン サー） は、 密閉型のガ ラ ス ハ ウ ジ ン
グか ら 構成 さ れ、 ガ ラ ス ハ ウ ジ ン グには、 ハ ウ ジ ン グ内部の圧力を正確に検出す る
測定装置、 お よ び多数の小 さ な石英窓を持つ膜チ ッ プが備え ら れてい ます。 こ の膜
はヘ リ ウ ム のみを透過 し 、 その他の空気成分は膜に よ り 阻止 さ れ、 ガ ラ ス ハ ウ ジ ン
グ内に入 る こ と がで き ません。 十分な量のヘ リ ウ ムが迅速に透過す る よ う に、 石英
膜は加熱 さ れ ます。
ガ ラ ス ハ ウ ジ ン グ内部では、 全体圧力が正確に測定 さ れ ます。 ヘ リ ウ ム のみがガ ラ
ス ハ ウ ジ ン グ内に入 る こ と がで き る ので、 全体圧力は、 ヘ リ ウ ム の分圧 と 等 し く な
り ます。 従っ て、 ハ ウ ジ ン グ内で検出 さ れ る 全体圧力は、 セ ンサー外部のヘ リ ウ ム
の分圧に比例 し ます。
kina26jp Chapter 2.fm
( １２０２ )
2.2.2
Protec P3000 の働 き
2-1
バルブホルダ
バルブホルダーには、Wise Technology セ ンサーへのガ ス流量を コ ン ト ロ ールす る バ
ルブが収容 さ れてい ま す。 こ れ ら のバルブ を使用 し て、 シ ス テ ム の感度を選択 し 、
ヘ リ ウ ム に よ る 汚染度が高い場合にはプ ロ テ ク シ ョ ン モー ド を起動 し 、 ま た、 シ ス
テ ム を ス タ ンバ イ モー ド に設定 し ます。 Protec P3000 の ソ フ ト ウ ェ アは、 装置の状
態を継続的に分析 し 、 コ ン ト ロ ールユニ ッ ト を介 し てバルブ位置を正 し く 設定 し ま
す。
2.2.4
取扱説明書
2.2.3
コ ン ト ロ ール
kina26jp Chapter 2.fm
( １２０２ )
コ ン ト ロ ールアセ ン ブ リ （マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ） は、 Protec P3000 電子回路の中心
と な る アセ ン ブ リ ーです。 コ ン ト ロ ールアセ ン ブ リ は、 他のすべてのサブアセ ンブ
リ を コ ン ト ロ ール し 、 モニ タ ー し ます。 Protec P3000 全体の動作状態が こ のアセ ン
ブ リ のマ イ ク ロ プ ロ セ ッ サに通知 さ れ、 マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サは適切に対応 し ます。
オペレ ー タ が発す る コ マ ン ド を受信 し て、 測定値や メ ッ セージ を発信す る ために、
コ ン ト ロ ールサブアセ ン ブ リ ーはデ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト と リ ン ク し てい ます。
2-2
Protec P3000 の働 き
取扱説明書
2.3
デ ィ スプレ イおよびユーザーイ ン ターフ ェースの説明
2.3.1
本体デ ィ ス プ レ イ
オペ レ ー タ ーは、 本体のデ ィ ス プ レ イ を 介 し て Protec P3000 の操作 を 行い ま す。
Protec P3000 は、デ ィ ス プ レ イ の両側にあ る 8 個のボ タ ン か ら コ マ ン ド を受け、デ ィ
ス プ レ イ を介 し て測定結果 と メ ッ セージ を出力 し ます。
図 2-10 本体デ ィ ス プ レ イ
Pos. 詳細
Pos. 詳細
1
2
メ ニ ュ ーボ タ ン 1 ～ 4
メ ニ ュ ーボ タ ン 5 ～ 8
( １２０２ )
RC バージ ョ ン 専用
RC バージ ョ ンには内臓デ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト はあ り ませんが、 その代わ り に、 コ
ネ ク タ ー基板が取 り 付け ら れてい ま す。 外部デ ィ ス プ レ イ が接続 さ れてい ない時
も 、 プ ラ グの左側にあ る ２ つの LED に よ っ て Protec P3000 の状態を知 る こ と がで
き ます。
･
グ リ ーンの LED は、 Protec P3000 が作動中であ る こ と を示 し ます （ス イ ッ チがオンの状
態） グ リ ーンの LED が点灯 し てい る 時は、 外部デ ィ ス プ レ イ に接続 さ れてい る 状態で
す。 外部デ ィ ス プ レ イ が検出 し ていない時は、 点滅 し ます。
･
赤の LED の点滅は、 エ ラ ー メ ッ セージです。 こ れが連続で点滅す る と 、 警告を意味 し
ます。
kina26jp Chapter 2.fm
デ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト が接続 さ れていない場合には、 エ ラ ー メ ッ セージ あ る いは警
告が SL3000 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン の両方のボ タ ン を同時に押す こ と で、 認識 さ れ る 場
合 も あ り ます。
外部デ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト には他に 4 つのボ タ ンがあ り ます。
･
ス タ ー ト / ス ト ッ プボ タ ンには機能はあ り ません （他の こ れ ら のボ タ ンが必要な
INFICON リ ー ク デ ィ テ ク タ ーに よ っ て外部デ ィ ス プ レ イ ユニ ッ ト が使用 さ れ る 場合 も あ
り ます）
･
メ ニ ュ ーボ タ ンで ソ フ ト ウ ェ ア を開 き ます。
Protec P3000 の働 き
2-3
ゼ ロ ボ タ ン を押す と 、 現在のバ ッ ク グ ラ ウ ン ド を読み込みゼ ロ に設定 し ます。 （詳細に
ついては 4.4.1 「ゼ ロ 機能」 を参照）
取扱説明書
･
図 2-11 LED 付 き コ ネ ク タ ー基板
2.3.2
SL3000(XL) プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ 付き ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
プ ロ ーブハン ド ルには、 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーを リ モー ト 操作す る ための小型のデ ィ
ス プ レ イ が備え ら れてい ます。 こ れに よ り 、 通常の リ ー ク 検出時には、 本体を操作
す る 必要があ り ません。
1
2
1
プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ
2
ス ター ト ボ タ ン
3
「ZERO」 ボ タ ン
図 2-12 プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ 付 き SL3000(XL) ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
デ ィ ス プ レ イ に加え、 ス ニ フ ァ ープ ロ ーブには 2 つのボ タ ンが備え ら れてい ます。
左ボ タ ン は、 すべての動作モー ド において 「ZERO」 ボ タ ン と し て機能 し ま す。 左
ボ タ ン を押す こ と に よ り 、 現在のバ ッ ク グ ラ ウ ン ド 値がゼ ロ に設定 さ れ ます。 ゼ ロ
機能についての詳細は、 4.4.1 を参照 し て く だ さ い。
( １２０２ )
3
右プ ロ ーブボ タ ンは、 Protec P3000 が設定 さ れてい る 動作モー ド に応 じ て様々な働
き を し ます。
･
標準操作モー ド ：
-
Protec P3000 用の機能な し
-
Protec P3000XL 用 ： 高流量 と 低流量で切 り 替え
I ・ Guide モー ド ：
-
2-4
Protec P3000 の働 き
I ・ Guide プ ロ グ ラ ムに よ る ナビ ゲーシ ョ ン （すべての コ ン フ ィ グ レーシ ョ ンに有効）
kina26jp Chapter 2.fm
•
取扱説明書
図 2-13 プ ロ ーブハン ド ル
ま た、 プ ロ ーブハン ド ルには、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プの フ ラ ン ジ部に複数の LED が備
え ら れ、 リ ー ク テ ス ト が実施 さ れてい る 箇所を明 る く 照 ら し ます。
警
告
長時間ま たは近 く で LED を直視 し ないで く だ さ い。 目に損傷を与え る 恐れがあ り
ます。
こ の LED は、 強い照明を提供 し ます。 直視 し てい る と 、 瞬 き をせず視線が固定 さ
れ る ため、 網膜が過熱状態にな る 可能性があ り ます。
LED を 「偶然に」 直視 し て し ま う よ う な場合は、 瞬 き を し て目を保護 し て く だ さ
い。 ま た、 視線を常に動かす こ と に よ り 、 網膜の過熱、 ひいては損傷を防 ぐ こ と が
で き ます。
内蔵 PRO-Check 基準校正 リ ー ク
Protec P3000 では、 内蔵の PRO-Check 基準校正 リ ー ク を使用す る こ と がで き ます。
PRO-Check 基準校正 リ ー ク を使用す る こ と に よ り 、 校正の正確 さ を含め、 Protec
P3000 が正 し く 機能 し てい る か確認す る こ と がで き ます。ま た、必要に応 じ て Protec
P3000 を再校正す る こ と がで き ます。
PRO-Check 基準校正 リ ー ク は、 ハ ウ ジ ン グ の前部に埋め込 ま れ て い ま す。 PROCheck 基準校正 リ ー ク の円錐形の開口に ス ニ フ ァ ーチ ッ プが挿入 さ れ る と 、 光セ ン
サーに よ り 自動的に検出 さ れ ます。
kina26jp Chapter 2.fm
( １２０２ )
2.3.3
Protec P3000 の働 き
2-5
取扱説明書
図 2-14 内蔵 PRO-Check 基準校正 リ ー ク
J060-030P
図 2-15 離れた場所で使用す る ために、 PRO-Check 基準校正 リ ー ク を本体か ら
取 り 外し た
状態
( １２０２ )
J060-030P
kina26jp Chapter 2.fm
ア ク セ ス が困難な場所に本体が位置 し てい る 場合、 内蔵の PRO-Check 基準校正
リ ー ク を 本体か ら 取 り 外す こ と に よ り 操作が し やす く な り ま す。 こ の場合、 市販
の延長 コ ー ド を使用 し 、 D-Sub コ ネ ク タ ーを介 し て本体に接続す る こ と がで き ま
す。 こ の よ う にすれば、 PRO-Check 基準校正 リ ー ク を、 オペ レ ー タ ーがア ク セ ス
し やすい場所に配置す る こ と がで き ま す。
2-6
Protec P3000 の働 き
2
取扱説明書
1
図 2-16 離れた場所で使用す る ための接続
1
内蔵校正 リ ー ク の コ ネ ク タ ー
2
Protec P3000 ハ ウ ジ ン グの コ ネ ク タ ー
注記 PRO-Check 基準校正 リ ー ク は、 Protec P3000 の納入時には同梱 さ れてい ませ
ん。別途、部品番号に よ り 注文 し て く だ さ い（1.3.2 項「 ア ク セサ リ ー」 を参照）。
注記 PRO-Check 参照 リ ー ク を購入 さ れなか っ た場合、 警告 71 （「テ ス ト リ ー ク と
の非 コ ミ ュ ニ ケーシ ョ ン」） が最初の ス タ ー ト ア ッ プに際 し て発生 し ます。
Settings / Interfaces / PRO-Check （セ ッ テ ィ ン グ / イ ン タ ーフ ェ ー ス /
PRO-Check） を選択 し 、 今後の警告を防 ぐ ために PRO-Check を disable (
ム コ ウ ) に設定 し て下 さ い （4.5.6 の項を参照）。
kina26jp Chapter 2.fm
( １２０２ )
注記 PRO-Check 警告時間の有効期限 （7.7.5 節を参照）。
Protec P3000 の働 き
2-7
2-8
Protec P3000 の働 き
kina26jp Chapter 2.fm
( １２０２ )
取扱説明書
取扱説明書
3
Protec P3000 の起動操作
3.1
起動
Protec P3000 を設置 し ます （1.5 節を参照）。 電源 コ ー ド と ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を接続
し てか ら 装置の電源ス イ ッ チを入れます。 電源ス イ ッ チは装置の背面にあ り ます。
図 3-1 電源 コ ー ド の接続
Pos. 詳細
Pos. 詳細
1
2
電源ス イ ッ チ
電源 コ ー ド の接続部
Protec P3000 は、 オペレー タ ーの操作な し で自動的に起動 し ます。 電源が入 る と 、
「Wait for heater」 （ ヒ ー タ ー マチ） と い う メ ッ セージが表示 さ れ、 こ の時点では、
ポ ン プは起動 し てい ません。 こ の と き 、 予備 ラ イ ン圧力お よ びス ニ フ ァ ー ラ イ ン の
流量が表示 さ れます。
ポ ン プが起動す る と 、 自己診断が実行 さ れ、 すべてのハー ド ウ ェ アがチ ェ ッ ク さ れ
ます。 続いて、 「Wait for sensor current」 （セ ンサーカ レ ン ト ） と い う メ ッ セージが
表示 さ れ ます。 こ の と き 、バーグ ラ フ に よ り ウ ォ ーム ア ッ プの経過が表示 さ れます。
バーグ ラ フ の下には、 ウ ォ ーム ア ッ プの残 り 時間が表示 さ れ ます。
( １２０２ )
注記 起動手順は、 通常 2 ～ 3 分程度で終了 し ます。 ただ し 、 長時間にわた り 電源
を切っ ていた後では、 装置の起動に最大で 20 分を要 し ます。 （1 日電源を入
れない と 1.5 分立上 り 時間が延長 し ます。） パ ワ ーオ フ の延長時間後におけ る
Protec P3000 の ス タ ー ト ア ッ プ作動の改善には、 3.8 章を参照。
輸送用 ロ ッ ク を取 り 外 さ ない と 「セ ンサーカ レ ン ト マチ」 か ら 装置が立ち上が ら な
い場合があ り ます。
ス ニ フ ァ ーが し っ か り と 差込口に さ さ っ てい る か確認 し て下 さ い。
kina26jp Chapter 3.fm
電源が投入 さ れ、 起動手順が完了す る と 、 Protec P3000 は測定可能な状態にな り ま
す。 装置を ス タ ー ト さ せ る ための特別な機能はあ り ません。 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン の吸
入口 （ イ ン レ ッ ト 圧） は、 Protec P3000 が測定を実施で き る よ う に十分低 く 設定 さ
れ ます。
注記 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を取 り 付けない と 、 Protec P3000 は動作 し ません。
装置に電源を投入 し た後 20 分以上経過 し てか ら （ ウ ォーム ア ッ プ時間）、 3.5 節に
従っ て校正を実行す る こ と をお勧め し ます。
Protec P3000 の起動操作
3-1
注記 Pro-Check 検出 リ ー ク を ご購入 さ れていない場合は、起動時に、警告 71 （ リ ー
3.2
メ イ ンデ ィ ス プ レ イ の コ ン ト ロ ールボ タ ン
セ ッ ト ア ッ プお よ び コ ン ト ロ ール機能はすべて、 メ イ ンデ ィ ス プ レ イ に メ ニ ュ ー と
し て統合 さ れてい ます。 こ の LCD デ ィ ス プ レ イ には、 8 個の コ ン ト ロ ールボ タ ンの
機能が表示 さ れ ます。 ただ し 、 測定中は、 メ イ ン イ ン タ ーフ ェース はプ ロ ーブハン
ド ルのデ ィ ス プ レ イ と な り 、 そ こ に正確な リ ー ク テ ス ト を実施す る ために必要なす
べての情報が表示 さ れます。
取扱取扱書
ク テ ス ト のみでは対応 し てい ません） が出ます。 Pro-Check の設定 ・ 接続へ
進み、 今後 こ の警告を出 さ ないために Pro-Check を " 使用不可 " に設定 し て
く だ さ い。 （4.5.6 項を ご覧 く だ さ い）
起動後、 Protec P3000 は自動的に測定モー ド にな り ます。
1
5
2
6
3
7
4
8
図 3-2 測定画面
Pos.
詳細
1
メ イ ンデ ィ ス プ レ イ では使用 し ません
2、 3
音量ボ タ ン ： 音量の調整を行い ます。 （
4
メ ニ ュ ーボ タ ン ： メ イ ン メ ニ ュ ー画面へ進むボ タ ン です。
5
6
校正 （
ゼロ （
7
ガ ス パ ラ メ ー タ リ ス ト ボ タ ン ： ガ ス パ ラ メ ー タ 画面へ進むボ タ ン です。
8
イ ン フ ォ ボ タ ン （ ） ： 一般情報画面へ進むボ タ ン です。
） ボ タ ン ： 外部校正画面へ進むボ タ ン です。
） ボ タ ン ： ZERO 機能を使用す る ボ タ ン です。
( １２０２ )
）
現在検出 さ れてい る リ ー ク レー ト が、 バーグ ラ フ で対数表示 さ れ ます。 バーグ ラ フ
の上部右側には、 選択 し たガ ス種が表示 さ れ ます。 現在選択 さ れてい る ト リ ガーレ
ベルが黒い線で、 現在選択 さ れてい る サーチ レベルが点線で表示 さ れ ます。 サーチ
レベルを超え る と 、 画面上部にベルのマー ク が表示 さ れ、 ト リ ガーレベルを超え る
と 、 ベルのマー ク が点滅 し （鳴 り ） 始め ます。
3-2
Protec P3000 の起動操作
kina26jp Chapter 3.fm
バーグ ラ フデ ィ ス プ レ イ
ガ ス タ イ プ （冷媒等価）
現在選択 さ れてい る ガ ス タ イ プ （ヘ リ ウ ム ま たは冷媒等価） はデ ィ ス プ レ イ の左上
に示 さ れ ます。
取扱説明書
Protec SL3000XL 専用
高流量モー ド で Protec P3000XL を操作す る 場合、ガ ス タ イ プは ス ニ フ ァ ーデ ィ ス プ
レ イ 上 と 同様に メ イ ンデ ィ ス プ レ イ に液晶が反転 さ れて表示 さ れます。
図 3-3 リ ー ク があ る 場合の測定画面
Pos. 詳細
1
選択 さ れたガ ス タ イ プ （冷媒等価ま たはヘ リ ウ ム）
2
サーチ レベルを超え てい る と い う 表示
3
4
警告が発生 し てい る と い う 表示
音量レベル
5
リ ー ク レー ト の棒グ ラ フ表示
音量ボ タ ン
( １２０２ )
デ ィ ス プ レ イ 左側中段の 2 つのボ タ ン に よ り 、 ア ラ ームの音量を いつで も 調整す る
こ と がで き ます。 2 つのボ タ ン のいずれか を押す と 、 現在選択 さ れてい る 音量が ス
ピーカーか ら 流れ、 同時に ス テー タ ス 行にバーグ ラ フ と し て表示 さ れ ま す。 ま た、
デ ィ ス プ レ イ の一番下、 ス テー タ ス行の最初の入力部分に も 選択 し た値が表示 さ れ
ます。 こ の値は、 本体の ス ピーカーにのみ適用 さ れます。 異な る タ イ プのア ラ ーム
を選択す る には、 4.4.2 を参照 し て く だ さ い。
メ ニ ューボ タ ン
kina26jp Chapter 3.fm
デ ィ ス プ レ イ 左側下の 2 ボ タ ン を押す と 、 いつで も 「Main Menu」 （ メ イ ン メ ニ ュ ー）
が開 き ます。 「Main Menu」 （ メ イ ン メ ニ ュ ー） か ら 、 ユーザーは、 Protec P3000 の
様々な設定や特別機能の入力をす る こ と がで き ます。
「CAL」 ボ タ ン
デ ィ ス プ レ イ 右側上のボ タ ン を押す と 、 いつで も Protec P3000 を外部校正す る こ と
がで き ます。 外部校正の実施方法については、 3.5.3 項を参照 し て く だ さ い。
Protec P3000 の起動操作
3-3
「ZERO」 ボ タ ン
「ZERO」 ボ タ ン を軽 く 押す と 、 ゼ ロ レベルが更新 さ れ ます。 ゼ ロ 機能についての詳
細は、 4.4.1 を参照 し て く だ さ い。
Protec P3000 には、 最大 4 種類のガ ス パ ラ メ ー タ ーを保存 さ せ る こ と がで き ます。
複数のガ ス パ ラ メ ー タ ーセ ッ ト を ア ッ プす る と 、 メ ニ ュ ーデ ィ ス プ レ イ の右側に リ
ス ト ボ タ ンが現れ ます。 こ のボ タ ン を押す と 、 新 し いガ ス パ ラ メ ー タ ー （異な る 等
価な冷媒、 異な る ト リ ガーレベルな ど） を選択す る こ と がで き ます。 様々なガ ス パ
ラ メ ー タ ーのセ ッ ト ア ッ プの詳細については、 4.3.1 を参照 し て く だ さ い。
取扱取扱書
ガ スパ ラ メ ー タ ー・ リ ス ト
ボタン
イ ンフ ォボタ ン
i
イ ン フ ォ ボ タ ン （デ ィ ス プ レ イ 右側下） を押す と 、 Protec P3000 の ス テー タ ス情
報が表示 さ れます。 詳細については、 3.4.3 項を参照 し て く だ さ い。
ス テー タ ス行
!
メ イ ンデ ィ ス プ レ イ の一番下の行に、 ス テー タ ス情報が表示 さ れ ます。 最初に、 現
在選択 さ れてい る ア ラ ーム音量が表示 さ れ ま す。 次に、 「！」 の付いた小 さ な黒い
三角が、 現在警告が発生 し てい る こ と を示 し ます。
3.3
プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ の コ ン ト ロ ールボ タ ン
プ ロ ーブハン ド ルのデ ィ ス プ レ イ には、 メ イ ンデ ィ ス プ レ イ と 同様の情報が表示 さ
れます。
1
2
( １２０２ )
3
図 3-4 標準動作モー ド におけ る ス ニ フ ァ ー表示
Pos. 詳細
Pos. 詳細
1
2
3
等価なガ ス種
現在検出 さ れてい る リ ー ク レー ト が、 バーグ ラ フ で表示 さ れ ます。 2 番目の行には、
リ ー ク レー ト が数値で表示 さ れます （ メ イ ンデ ィ ス プ レ イ と 同 じ 測定の単位）。 3 列
目の行には、 等価なガ ス種 （例 ： He ま たは R134） が表示 さ れ ます。
3-4
Protec P3000 の起動操作
kina26jp Chapter 3.fm
リ ー ク レー ト を表示す る バーグ ラ フ
絶対 リ ー ク レー ト
Protec SL3000XL 専用
高流量モー ド で Protec P3000XL を操作す る 場合、 ガ ス同等物は逆 さ 文字 （暗い背景
色上） に表示 さ れます。
ス ニ フ ァ ープ ロ ーブには 2 つの押 し ボ タ ンが備え ら れてい ます。左ボ タ ン を押す と 、
現在のバ ッ ク グ ラ ウ ン ド 値がゼ ロ に設定 さ れ ま す。 ゼ ロ 機能につい て の詳細は、
4.3.1 「ゼ ロ 」 を参照 し て く だ さ い。
取扱説明書
右プ ロ ーブボ タ ンは、 I ・ Guide モー ド （3.4.2 項を参照） を利用す る 際のナビ ゲー
シ ョ ン、 あ る いは、 内部校正 （3.5.2 項を参照） の起動に使用 し ます。
3.4
測定の実施
Protec P3000 には、 2 種類の操作モー ド があ り ます。
･
標準操作モー ド （Protec モー ド と 互換）
･
I ・ Guide 操作モー ド
警
告
感電の危険があ り ます。
ス ニ フ ァ ーチ ッ プで、 電圧の高い部分に触れない よ う に し て く だ さ い。 リ ー ク テ
ス ト を実施す る 前に、 被検体を電源か ら 切 り 離 し て く だ さ い。
ス タ ンバ イ 機能
Protec P3000 には ス タ ン バ イ モー ド が備え ら れてお り 、 使用停止時におけ る ス ニ
フ ァ ープ ロ ーブへの汚染物質の不必要な流入を防止 し 、 フ ィ ル タ ーお よ びセ ン サー
の耐用年数を延ば し ます。
Protec P3000 は、 設定 さ れた一定時間プ ロ ーブ を動か さ ない と 、 自動的に ス タ ンバ
イ モー ド にな り （設定方法の詳細については、 4.3.1 を参照）、 再びプ ロ ーブに触れ
る と 自動的に動作を回復 し ます。
リ ー ク デ ィ テ ク タ ーは、 左プ ロ ーブボ タ ン を 2 秒間押す こ と に よ り 手動で ス タ ンバ
イ モー ド にす る こ と も で き ます。 手動で ス タ ンバ イ モー ド に設定 し た場合、 解除す
る には 2 つのボ タ ンのいずれか を押 し て く だ さ い。
( １２０２ )
湿潤環境での操作
注 意
いかな る 液体 も 吸引 し ない よ う に し て く だ さ い。
kina26jp Chapter 3.fm
ウ ォー タ ープ ロ テ ク シ ョ ンチ ッ プが利用可能です。 （Cat.No.12246） は、 必要に応 じ
て液体の取入口か ら 器具を保護 し て く れ ます。 ウ ォ ー タ ープ ロ テ ク シ ョ ンチ ッ プの
設置方法の詳細については、 1.6.2 を ご覧 く だ さ い。
保護モー ド 及びヘ リ ウ ム
バッ クグラ ウン ド
Protec P3000 は多量のヘ リ ウ ム汚染に対 し て保護モー ド を備え てい ます。 こ の汚染
モー ド は、 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーがグ ロ ス リ ー ク 検出後 よ り 速 く き れいに し て く れま
す。
Protec P3000 の起動操作
3-5
膨大な量のヘ リ ウ ム が検出 さ れた場合には、 Protec P3000 は、 ヘ リ ウ ム汚染の メ ッ
セージ を示す こ と があ り ます。 き れいに し た後、 ユニ ッ ト は自動的に測定モー ド へ
戻 り ます。
イ モー ド に切 り 替え た り し ないで く だ さ い。 セ ンサー内にヘ リ ウ ム を閉 じ 込
めて し ま い、 ユニ ッ ト か ら 送 り 出せな く な る 恐れがあ り ます。 多量のヘ リ ウ
ム で汚染 さ れてい る Protec P3000 を切 り 替え る と 、 その後の立ち上げに相当
な時間がかか っ て し ま い ます。 も し も 知 ら ない う ちに こ の よ う な状況にな っ
た場合には、 Protec P3000 の ス イ ッ チを入れて、 測定モー ド にな る ま で 「起
動待機時間」 の ま ま に し ておいて く だ さ い。
取扱取扱書
注記 ヘ リ ウ ム汚染 と い う 文字が表示 さ れてい る 間は、 電源を切っ た り 、 ス タ ンバ
詳 し く は、 4.4.1 項の汚染の制限の設定方法を参照 し て く だ さ い。
3.4.1
標準操作モー ド
Protec P3000 が、 特定用途に対 し て正 し く セ ッ ト ア ッ プ さ れ、 校正が完了 し てい る
場合 （3.5 節を参照）、 測定は以下の よ う に実施 さ れ ます。
最初に、 ス ニ フ ァ ープ ロ ーブの 「ZERO」 ボ タ ン を軽 く 押 し ま す。 こ れに よ り 、 ゼ
ロ レベル （つま り 、 1 ´ 10-8Pam3/s の検出限界） に干渉す る 恐れのあ る 要素がすべ
て排除 さ れ ます。 次に、 リ ー ク の疑われ る 箇所ので き る 限 り 近 く に ス ニ フ ァ ーチ ッ
プ を保持 し ます。 こ の と き 、 必要に応 じ て被検体にチ ッ プが接触 し て も か ま い ませ
ん。溶接部な ど を テ ス ト す る 場合は、溶接部に沿っ てチ ッ プ を動かす速度を、13cm/
s 以下に し て く だ さ い。 チ ッ プ と 被検体間の距離は、 で き る 限 り 近 く し て く だ さ い。
図 3-5 リ ー ク を検出 し た場合の画面表示
ア ラ ー ム 音が鳴 っ た ら 、 直ち にチ ッ プ を テ ス ト 箇所か ら 離 し て く だ さ い。 リ ー ク
レー ト が安定表示 さ れた後、 「ZERO」 ボ タ ン を再び押 し てテ ス ト を繰 り 返 し て く だ
さ い。 こ の よ う にす る と 測定エ ラ ーを防ぐ こ と がで き 、 リ ー ク 箇所を特定す る こ と
がで き ます。
3-6
Protec P3000 の起動操作
kina26jp Chapter 3.fm
( １２０２ )
リ ー ク を検出す る と 、 バーが伸長 し ます。 Protec P3000 は、 測定 さ れた リ ー ク レー
ト と プ ロ グ ラ ム さ れてい る ト リ ガーレベルを継続的に比較 し ます。 ト リ ガーレベル
を超え る と 、 プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ の背景色が緑か ら 赤に変化 し ます。 同時に、 プ
ロ ーブハン ド ルの ス ピーカーか ら ア ラ ーム音が鳴 り 、 プ ロ ーブハン ド ルがわずかに
振動 し ます。 さ ら に、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プの フ ラ ン ジ部に備え ら れてい る 3 個の白色
LED が点滅を開始 し ます。
Protec SL3000XL 専用
取扱説明書
Protec P3000XL は高流量モー ド （SL3000XL ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を使用す る 必要あ り ）
で使用で き ます。 高流量モー ド に設定す る と 、 リ ー ク し てい る 可能性のあ る 場所を
離れた場所で検出す る 事がで き ます。 高流量モー ド は背面色 （ メ イ ンデ ィ ス プ レ イ
上 と 同様にプ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ 上において も ） で表示 さ れ る ガ ス タ イ プに よ っ て
示 さ れ ま す。 ジ ョ イ ン ト の テ ス ト の際には、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プはジ ョ イ ン ト か ら
10mm 以上離 し てはいけ ません。 溶接の継ぎ目 （同様の も の） を テ ス ト す る 場合に
は、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プは、 溶接の継ぎ目か ら 最大 10mm 以上で、 4cm/s よ り 速 く 動
か し てはいけ ません。
リ ー ク が検出 さ れた場合には （ア ク セ ス が許可 さ れれば） 、 よ り 簡単に特定す る た
めに、 Protec P3000XL を低流量モー ド 変更下 さ い。 そ し て、 再度、 ス ニ フ ァ ーチ ッ
プ を で き る だけ リ ー ク し てい る 可能性のあ る 場所に近づけて く だ さ い。 ス ニ フ ァ ー
チ ッ プ を動か し なが ら リ ー ク の疑いのあ る 場所を何回か前後 し て、 リ ー ク し てい る
場所を特定 し て く だ さ い。 リ ー ク レー ト 信号が最大 リ ー ク レー ト を示す場所が リ ー
ク 検出の場所にな り ます。
3.4.2
I ・ Guide 操作モー ド
I ・ Guide 操作モー ド は、 オペレー タ ーが正 し く ス ニ フ ァ ー リ ー ク 検出を実行で き る
よ う にサポー ト し ます。
I ・ Guide オペレー タ ー ・ ガ イ ド モー ド を利用す る と 、 テ ス ト に使用す る それぞれの
被検体について、 あ ら か じ めプ ロ グ ラ ム さ れたパ ラ メ ー タ ーを保存す る こ と がで き
ます。 1 つの被検体におけ る テ ス ト の実施箇所数、 各箇所におけ る テ ス ト 時間、 お
よ び、 次のテ ス ト 箇所に移動す る ま での時間を プ ロ グ ラ ムす る こ と がで き ます。 さ
ら に、 被検体において許容 さ れ る 最大総 リ ー ク レー ト を保存す る こ と がで き ま す。
I ・ Guide モー ド では、 最大 10 種類のテ ス ト 手順を あ ら か じ めプ ロ グ ラ ム し て保存
す る こ と がで き ます。
注記 テ ス ト 箇所の数を ゼ ロ に設定す る と 、 Protec
P3000 は、 総 リ ー ク レー ト を
チ ェ ッ ク す る こ と な く 連続モー ド で動作 し ますが、 その場合 も 、 テ ス ト を正
し く 実行す る ための タ イ マー信号は発生 し ます。
( １２０２ )
3.4.2.1
I ・ Guide モー ド の起動
I ・ Guide モー ド を起動す る には、 「Main Menu」 （ メ イ ン メ ニ ュ ー）
か ら 「Setup
I ・ GUIDE」 （セ ッ ト ア ッ プ I ガ イ ド ） を選択 し ます。 最初の メ ニ ュ ー画面において、
一番上の行に進み、 左側の押 し ボ タ ン を使っ て 「ON」 に設定 し 、 「OK」 ボ タ ン を
押 し て く だ さ い。 Protec P3000 は、 リ ス ト 内で最初に有効にな っ てい る I ・ Guide プ
ロ グ ラ ム を自動的に選択 し ます。 メ ッ セージ画面が現れ、 I ・ Guide の起動が完了 し
た こ と （I ・ Guide プ ロ グ ラ ムにおいてユーザーが選択 し たガ ス） を オペレー タ ーに
通知 し ます。
セ ッ ト ア ッ プ方法、お よ びI・Guideプ ロ グ ラ ムについては、4.4.4を参照 し て く だ さ い。
kina26jp Chapter 3.fm
標準操作モー ド に戻 る には、 「OFF」 を選択 し 、 「OK」 ボ タ ン を押 し て く だ さ い。
Protec P3000 の起動操作
3-7
取扱取扱書
図 3-6 I ・ Guide モー ド への切替
3.4.2.2
I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの選択
「SELECT I ・ GUIDE」 （セ レ ク ト I ・ GUIDE） メ ニ ュ ーを開 く には、 デ ィ ス プ レ イ 右側
の 「プ ロ グ ラ ム リ ス ト 」 ボ タ ン を押 し て く だ さ い。
図 3-7 I ・ Guide モー ド の測定画面
Pos. 詳細
1
プログ ラ ム リ ス ト ボタン
( １２０２ )
1
kina26jp Chapter 3.fm
「Select I ・ GUIDE」 （セ ン タ ク I ・ GUIDE） メ ニ ュ ーにおいて、 使用す る プ ロ グ ラ ム
番号をハ イ ラ イ ト 表示 さ せ、 「OK」 ボ タ ン を押 し て く だ さ い。 新 し いプ ロ グ ラ ムが
呼び出 さ れ ます。
3-8
Protec P3000 の起動操作
取扱説明書
図 3-8 I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの選択
3.4.2.3
I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの使用
I ・ Guide 操作モー ド の測定画面には、 選択 し たプ ロ グ ラ ム、 そのプ ロ グ ラ ムに保存
さ れてい る ガ ス タ イ プ、 そ し て、 総 リ ー ク レー ト が表示 さ れ ます。
Protec SL3000XL 専用
kina26jp Chapter 3.fm
( １２０２ )
Protec SL3000XL が高流量モー ド で作動 し て い る 場合には、 ガ ス タ イ プは、 ス ニ
フ ァ ープ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ と 同様に メ イ ンデ ィ ス プ レ イ に逆 さ 文字 （暗い背景色
上） に表示 さ れます。
Protec P3000 の起動操作
3-9
全ての Protec P3000 用
1
取扱取扱書
I ・ Guide メ ッ セージ行には、 ユーザーの操作を促す メ ッ セージ が表示 さ れ ま す。
ま ず、 最初のテ ス ト 箇所へ移動す る か尋ね ら れ ま す。 そ し て、 「ポ ジ シ ョ ン １ で よ
ろ し いですか？」 と い う メ ッ セージがプ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ 上に表示 さ れます。 ス
ニ フ ァ ーチ ッ プが正 し い場所に位置づけた ら 、 右プ ロ ーブボ タ ンに よ り 確定 し て く
だ さ い。
2
3
3
4
6
7
5
図 3-9 測定中の I ・ Guide 画面
Pos. 詳細
1
選択 し たプ ロ グ ラ ム
Pos. 詳細
4
測定時間
Pos. 詳細
6
「ZERO」 ボ タ ン
2
5
7
保存 さ れてい る ガ ス種
（選択 し たプ ロ グ ラ ム）
3
総 リ ー ク レー ト
I ・ Guide ボ タ ン
（被検体当た り ）
I ・ Guide メ ッ セージ
kina26jp Chapter 3.fm
測定時間が終了す る と 、 本体デ ィ ス プ レ イ に 「Move to point 2」 と い う メ ッ セージ
が表示 さ れ ます。 プ ロ ーブデ ィ ス プ レ イ には、 「tip to pos. 2」 と い う メ ッ セージが
表示 さ れ ます。 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を次のテ ス ト 箇所ま で動か し 、 デ ィ ス プ レ イ に表
示 さ れた待機時間が経過 し た ら 、 次の測定を開始で き ます。 待機時間が経過す る 前
にオペ レー タ ーが測定を開始 し よ う と す る と 、 次の測定が可能にな る ま で 「please
wait」 と い う メ ッ セージが メ ッ セージ行に表示 さ れ ます。 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を正 し
い位置に確実にセ ッ ト し た ら 、 右プ ロ ーブボ タ ン を押 し て く だ さ い。 次の測定を開
始す る こ と がで き ます。
( １２０２ )
最初のテ ス ト 箇所が確定す る と 、 本体デ ィ ス プ レ イ に 「Leak check point 1」 と い う
メ ッ セージが表示 さ れ、 メ ニ ュ ー画面の下部分に測定経過時間 （テ ス ト プ ロ グ ラ ム
に保存） が表示 さ れ ます。 測定時間中は、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を テ ス ト 箇所に正 し く
保持 し て く だ さ い。 こ の と き 、 本体か ら 「カチカチ」 と い う 音が発生 し 、 ビープ音
に よ り 測定時間の終了が通知 さ れた ら 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を 動かす こ と がで き ま
す。
3-10
Protec P3000 の起動操作
取扱説明書
図 3-10 次のテ ス ト 箇所への移動を要求す る I ・ Guide 画面
あ ら か じ めプ ロ グ ラ ム さ れてい る 数のテ ス ト 箇所のチ ェ ッ ク が終了す る と 、 以下の
写真の よ う に、 被検体全体のテ ス ト 結果が表示 さ れ ます。 選択 し たテ ス ト プ ロ グ ラ
ム と プ ロ グ ラ ム に保存 さ れてい る ガ ス種が再び表示 さ れ、 その後に、 総 リ ー ク レー
ト が表示 さ れ ま す。 総 リ ー ク レ ー ト が総 ト リ ガー値 よ り 低い場合は、 「Global leak
check okay!」 と い う メ ッ セージが表示 さ れ、 続いて、 各テ ス ト 箇所のテ ス ト 結果が
表示 さ れ ます。
注記 リ ー ク が全 く 検出 さ れない場所に関 し ては、 現在選択 さ れてい る 下側のデ ィ
ス プ レ イ 制限に、 ま だ各場所で起 こ っ てい る 可能性のあ る 最大の リ ー ク レー
ト であ る 総 リ ー ク レー ト を追加 し ます。（最悪の場合のアプ ロ ーチの方法 と し
て）
2
1
( １２０２ )
3
図 3-11 I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの結果 ： 被検体が合格の場合
Pos. 詳細
Pos.
詳細
1
2
3
各テ ス ト 箇所の結果
プ ロ グ ラ ム名
ガ ス種
kina26jp Chapter 3.fm
総 リ ー ク レー ト が総 ト リ ガー値を超え てい る 場合は、 「Global trigger exceeded !」 と
い う メ ッ セージが表示 さ れます。
Protec P3000 の起動操作
3-11
取扱取扱書
図 3-12 I ・ Guide プ ロ グ ラ ム の結果 ： 被検体が不合格の場合
右プ ロ ーブボ タ ン を押す こ と に よ り 、 次のテ ス ト サ イ ク ルを開始す る こ と がで き ま
す。
注記 I ・ Guide モー ド は、 タ イ マー信号だけに も 使用可能です。 ポ イ ン ト 数が ０ に
セ ッ ト さ れてい る 場合、 ProtecP3000 はグ ロ ーバル･ リ ー ク レー ト 機能を使用
す る こ と な し に、 テ ス ト の継続のために次の ロ ケーシ ョ ンへ移行 し ます。
注記 I ・ Guide モー ド は、 要求に応 じ て リ ー ク レー ト の要約に も 使用 さ れます。
ポ イ ン ト 数が 99 にセ ッ ト さ れてい る 場合、 右ボ タ ン を 2 秒間押 し 続けた後に ( あ る
いは 98 番目のポ イ ン ト の後は自動的に ) グ ロ ーバル･ リ ー ク レー ト の要約を と も な う
結果ス ク リ ーンが表示 さ れます。
3.4.3
イ ン フ ォページ
図 3-13 エ ラ ーま たは警告のない イ ン フ ォ ページ
現在警告が発生 し てい る 場合は、 以下の よ う に、 ガ ス の情報を表示す る エ リ アに警
告が表示 さ れます。
3-12
Protec P3000 の起動操作
kina26jp Chapter 3.fm
( １２０２ )
メ イ ンデ ィ ス プ レ イ の イ ン フ ォ ボ タ ン を押す と 、 「General info」 （ イ ッ パン ジ ョ ウ ホ
ウ ） のページが開 き ます。 画面には、 使用 し てい る ソ フ ト ウ ェ アのバージ ョ ン、 日
付 と 時刻の情報、 現在設定 さ れてい る 音量、 お よ び最小音量が表示 さ れ ます。
取扱説明書
図 3-14 警告が表示 さ れた イ ン フ ォ ページ
I ・ Guide モー ド で作動す る 際に、 現在選択 さ れたプ ロ グ ラ ム に関す る 情報が流れま
す。 その情報 と は、 グ ロ ーバル ト リ ガー と 同様に選択 さ れたプ ロ グ ラ ム名、 こ のプ
ロ グ ラ ム に使用 さ れ る ガ ス、 こ のプ ロ グ ラ ム で点検 さ れ る ポ イ ン ト 数、 選択測定、
お よ び待ち時間な ど です。
3.5
校正お よ び自己診断
Protec P3000 は、 内蔵の PRO-Check 基準校正 リ ー ク に よ り 、 ま たは外部校正 リ ー
ク （カ タ ロ グ No. 122 37-122 39） に よ り 校正す る こ と がで き ます。
注記 測定は、電源を入れてか ら 最初の 20 分間に開始 さ れ、その後、警告が出ます。
開始か ら 最初の 20 分間はプ ロ テ ッ ク P3000 の調整を し ないで く だ さ い。 ま
た、 測定検証は、 開始後最初の 20 分間では誤っ た結果につなが り ます。
起動時間が十分であ る 場合にのみ調整を確認 し 、 検証 し て く だ さ い。 （例 ：
( １２０２ )
注記 PRO-Check 検出 リ ー ク は、 温度セ ンサー付 き です。 こ れは、 本体に電源を入
れてい る 時、 ま たは端子に差 し 込んでい る 時、 あ る いは D-Sub 延長 コ ー ド を
通 し て本体に接続 し てい る 時にのみ使用で き ま す。 リ ー ク レ ー ト は、 PROCheck 本体に印刷 さ れ、 温度が 20 度 （華氏 68 度） の場合のみ有効であ り 、
温度に よ っ て変化 し ます。
PRO-Check 検出 リ ー ク を補正す る ために、 こ の装置には温度セ ンサー及び
補正係数が装備 さ れてお り 、 本体 と 接続 し てい る 際、 温度変更時におけ る テ
ス ト リ ー ク レー ト を補正す る ために、 自動的に補助す る ソ フ ト ウ ェ ア を格納
し てい ます。
kina26jp Chapter 3.fm
PRO-Check 検出 リ ー ク を用いた キ ャ リ ブ レーシ ョ ン ま たは検証は、本体 と 接続 し て
いない場合、 誤っ た リ ー ク 検出を引 き 起 こ し た り 、 間違っ たテ ス ト 結果につなが り
ます。
Protec P3000 の起動操作
3-13
3.5.1
校正の検証 （プルーフ機能）
注記 検査は、 ユニ ッ ト が ２ つの測定モー ド の ど ち ら かにあ る と き だけ実行可能で
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を、 PRO-Check 基準校正 リ ー ク の開口部に挿入す る 測定の時 と 、
校正の検証 （プルーフ機能） が自動的に開始 さ れ ます。 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を開口部
内に保持す る と 、 Protec P3000 が PRO-Check の値をチ ェ ッ ク し ます。 し ば ら く す
る と 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を開口部か ら 外す よ う に指示す る メ ッ セージが表示 さ れま
す。
取扱取扱書
す : 標準操作モー ド あ る いは I ・ Guide 操作モー ド 。 メ イ ン メ ニ ュ ーが開いて
い る と き には、 検査が開始で き ません。
注記 検証プ ロ セ ス の実施中、 右プ ロ ーブ ボ タ ン、 ま たは メ イ ン デ ィ ス プ レ イ の
「CAL」 ボ タ ン を押す と 、 いつで も 内部校正を開始で き ます。
検証の結果は、概要ス ク リ ーンに表示 さ れます。検証プ ロ セ ス が順調に終了す る と 、
｢感度チ ェ ッ ク OK ｣の メ ッ セージが表示 さ れ ます。
図 3-15 Protec P3000 へのプルーフ機能の結果表示
PRO-Check の測定値が範囲外であ る 場合は、｢再校正 要求 ! ｣の メ ッ セージが反転表
示 さ れます。
測定モー ド に戻 る には、 右プ ロ ーブボ タ ン ま たは、 メ イ ンデ ィ ス プ レ イ の 「OK」 ボ
タ ン を押 し ます。
kina26jp Chapter 3.fm
Protec P3000XL には、 HIGH FLOW ( 高流量 ) と LOW FLOW ( 低流量 ) モー ド の両
校正係数が検証 さ れ ます ( 図 3-16 参照 )。 選択 さ れた流量モー ド の検証結果のみ合
格あ る いは不合格 と 表示 さ れます。 選択 さ れていない流量モー ド は測定値が範囲外
であ る と き のみ参照 コ メ ン ト が表示 さ れます。
( １２０２ )
Protec P3000 Ｘ Ｌ 専用
3-14
Protec P3000 の起動操作
取扱説明書
図 3-16
3.5.2
内部校正
注記 校正は、 本体が ２ つの測定モー ド の ど ち ら かにあ る と き だけ実行可能です :
標準操作モー ド あ る いは I ・ Guide 操作モー ド 。 メ イ ン メ ニ ュ ーが開いてい る
と き には、 校正が開始で き ません。
( １２０２ )
右プ ロ ーブボ タ ン を押 し た状態で、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を PRO-Check 基準校正 リ ー
ク の開口部に挿入す る と 、 校正が自動的に開始 さ れます。 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を開口
部内に保持す る と 、 Protec P3000 は校正 リ ー ク を測定 し ます。 し ば ら く す る と 、 ス
ニ フ ァ ーチ ッ プ を開口部か ら 外 し 校正が完了す る と 、 校正結果の概要ス ク リ ーン が
表示 さ れ ます。 旧校正係数 と 新校正係数の両方が表示 さ れ ます。 警告がア ク テ ィ ブ
で、 校正プ ロ セ ス中に通告 さ れてい る 場合、 メ ッ セージには｢ア ク テ ィ ブ警告中｣の
情報が添え ら れます。
図 3-17 内部校正の結果
kina26jp Chapter 3.fm
過去の （ よ り 高精度な） 外部校正値を誤っ て上書 き し ない よ う に、 オペレー タ ーは、
新規の値を受け入れ る が新規の値を受け入れ る か選択 し ます。
Protec P3000 の起動操作
3-15
3.5.3
外部校正
外部校正の場合、Protec P3000 を校正す る 際に、5 ´ 10-7Pam3/s を超え る リ ー ク レー
ト を使用す る こ と をお勧め し ます。
開始か ら 最初の 20 分間は Protec P3000 の調整を し ないで く だ さ い。 ま た、測
定検証は、 開始後最初の 20 分間では誤っ た結果につなが り ます。
起動時間が十分で あ る 場合にのみ調整 を 確認 し 、 検証 し て く だ さ い。 （例 ：
リ ー ク 検出の迅速な起動）
取扱取扱書
注記 測定は、電源を入れてか ら 最初の 20 分間に調整 さ れ、その後、警告が出ます。
外部校正は半自動のプ ロ セ ス であ り 、 その間、 ユーザーはい く つかの指示に従 う 必
要があ り ます。 校正プ ロ セ ス は、 測定モー ド か ら 「CAL」 ボ タ ン を押す こ と に よ り
いつで も 開始で き ます （ メ ニ ュ ーが開いてい る 場合、 あ る いは、 機能が ロ ッ ク さ れ
てい る 場合を除 く ） 。 実行中の校正プ ロ セ ス は、 「Esc」 ボ タ ン に よ り キ ャ ン セルで
き ます。
「CAL」 ボ タ ン を押 し た後、 表示 さ れてい る リ ー ク レ ー ト が、 外部校正を実施 し よ
う と し てい る リ ー ク レー ト と 同 じ であ る こ と を確認 し て く だ さ い。 リ ー ク レー ト が
異な る 場合は、 「Edit leak rate」 （ リ ー ク リ ョ ウ ヘン シ ュ ウ ） ボ タ ン を押 し 、 正 し い
リ ー ク レー ト 値を入力 し て く だ さ い。 その後で 「Start」 （ス タ ー ト ） ボ タ ン を押 し 、
校正プ ロ セ ス を開始 し て く だ さ い。
kina26jp Chapter 3.fm
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を、 外部校正 リ ー ク の吐出口に保持 し て く だ さ い。 ス ニ フ ァ ー
チ ッ プ を開口部にで き る 限 り 近づけて し っ か り 保持 し ますが、 開口部を塞がない よ
う に注意 し て く だ さ い。 ス ニ フ ァ ーチ ッ プには、 外部校正 リ ー ク か ら のヘ リ ウ ムに
加え、 い く ら か空気を取 り 入れ る 必要があ り ます。 バーグ ラ フ に よ り 示 さ れ る リ ー
ク レー ト 信号が安定 し た ら 、 「OK」 ボ タ ン を押 し て く だ さ い。 Protec P3000 が校正
リ ー ク の リ ー ク レ ー ト を 読み取 っ て い る 間、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を 開口部の前部に
し っ か り と 保持 し て く だ さ い。 こ の間、 「Please wait...」 と い う メ ッ セージが表示 さ
れ ます。
( １２０２ )
図 3-18 外部校正 リ ー ク の リ ー ク レー ト の設定
3-16
Protec P3000 の起動操作
取扱説明書
図 3-19 外部校正中の画面表示
( １２０２ )
校正 リ ー ク の信号の解析が完了す る と 、 「Sniff air!」 （エ アー ヲ ス イ コ ム） と い
う メ ッ セージが表示 さ れ ま す。 校正 リ ー ク の開口部か ら ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を離 し 、
すべてのヘ リ ウ ム 源か ら で き る 限 り ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を 遠ざ け て空中に保持 し て
く だ さ い。 バーグ ラ フ が再び安定 し た信号を表示 し た ら 、 も う 一度 「OK」 ボ タ ン
を押 し て く だ さ い。
図 3-20 外部校正中の 「Sniff air!」 （エアー ヲ ス イ コ ム） メ ッ セージ
校正が完了す る ま で、 「Please wait...」 と い う メ ッ セージが表示 さ れます。
kina26jp Chapter 3.fm
外部校正が完了す る と 、 校正結果の概要ス ク リ ーンが表示 さ れ ます。 旧校正係数 と
新校正係数の両方が表示 さ れ ます。 警告がア ク テ ィ ブで、 校正プ ロ セ ス中に通告 さ
れてい る 場合、 メ ッ セージには｢ア ク テ ィ ブ警告中｣の情報が添え ら れます。
Protec P3000 の起動操作
3-17
取扱取扱書
図 3-21 外部校正の結果表示
3.6
ス タ ンバ イ
使用 し ていない時、 Protec P3000 はあ ら か じ め定め ら れた時間が経過す る と 自動的
に ス タ ン バ イ モー ド に な り 、 部品の消耗 を 防 ぐ よ う に な っ て い ま す。 ス タ ン バ イ
モー ド の時、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン のガ ス流は停止 し 、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン の フ ィ ル タ ー
が保護 さ れ る と と も に、 セ ンサーの耐用年数が延びます。
オペ レ ー タ ーが ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を 動かす と 、 こ の動 き がセ ン サーに よ り 検出 さ
れ、 Protec P3000 が通常動作に戻 り ます。 約 5 秒後に、 Protec P3000 は再び測定を
開始す る こ と がで き ます。
Protec P3000 が ス タ ン バ イ モー ド に入 る ま での時間の設定方法につい ては、 4.3.1
（真空ア ク セ ス、 ス タ ンバ イ 遅延） を参照 し て く だ さ い。
3.7
シャ ッ ト ダウン
kina26jp Chapter 3.fm
( １２０２ )
Protec P3000 の運転を停止す る には、Protec P3000 の現在の動作モー ド に関係な く 、
ON/OFF 電源ス イ ッ チ （図 3-1/6） を 「0」 位置に切 り 替え ます。 その他に必要な
操作はあ り ません。入力 し たパ ラ メ ー タ ーは、Protec P3000 の内部に保存 さ れ ます。
ス イ ッ チを ON にす る と 、 装置は前回ス イ ッ チを OFF に し た と き と 同 じ 状態で復
帰 し ます。
3-18
Protec P3000 の起動操作
3.8
バ ッ ク ア ッ プ装置 と し て直ぐ にご使用いただ く ため
の保管方法
取扱説明書
保管中のセ ンサー内のヘ リ ウ ム の蓄積 （空気か ら ） に よ り 、 Protec P3000 の起動時
間は、 最大起動時間の約 1 時間で保管 し た場合、 1 日当た り 約 1.5 分にな り ます。
生産 ラ イ ン が中断 し ない よ う にす る ため、 Protec P3000 をバ ッ ク ア ッ プ装置 と し て
使用す る 場合は、 下記の よ う に保管 し ます。
1 Protec P3000 を電源に接続 し た ま ま停止 し ます。
2 Protec P3000 と 電源の間に タ イ マーを取 り 付け ます。
3 週 2 回（少な く と も 4 日お き ）Protec P3000 の ス イ ッ チが 1 時間オ ン にな る よ う に タ
イ マーを セ ッ ト し ます。
注記 工場が停電にな っ た と き タ イ マーの電源オ ン ・ プ ロ グ ラ ム ウ ィ ン ド ウ がな く
な ら ない よ う にす る ため、 タ イ マーをバ ッ テ リ ーで緩衝 さ せます。
kina26jp Chapter 3.fm
( １２０２ )
こ の方法で最大起動時間は約 7 分にな り ます。
Protec P3000 の起動操作
3-19
3-20
Protec P3000 の起動操作
kina26jp Chapter 3.fm
( １２０２ )
取扱取扱書
取扱説明書
4
Protec P3000 の設定
4.1
メ ニ ュー構造
メ ニ ュ ーボ タ ン を 押す と 、 「Main Menu」 （ メ イ ン メ ニ ュ ー）
す。 以下の よ う なオプシ ョ ンが表示 さ れ ます。
のページ が開 き ま
図 4-1 「Main Menu」 （ メ イ ン メ ニ ュ ー） 画面
続 く サブ メ ニ ュ ーでは、 頻繁に使用す る 以下の よ う な機能が表示 さ れます。
­¯
「上矢印」 と 「下矢印」 ボ タ ン に よ り 、 表示 さ れてい る メ ニ ュ ー項目を ス
ク ロ ールす る こ と がで き ます。 現在選択 さ れてい る メ ニ ュ ー項目は、 反転
表示 さ れ ま す。 「上矢印」 と 「下矢印」 ボ タ ン を使用 し て、 数値を新 し い
設定に変え る こ と も で き ます。
?
ヘルプ機能－ こ のボ タ ン を押す と 、 表示中 さ れてい る ページの使用方法に
関す る 追加情報が表示 さ れ ます。
Esc
変更 し た内容を反映す る こ と な く 、 前のページに戻 り ます。
Back
メ ニ ュ ー構造上の、 1 つ上位の階層に戻 り ます。
( １２０２ )
OK
リ ス ト か ら 選択 し た項目を確定す る か、 新 し く 入力 し た値を確定 し ます。
すべての メ ニ ュ ーか ら 抜け、 メ イ ン画面に戻 り ます。 後で再び メ ニ ュ ーボ
タ ン を押す と 、 画面は
ボ タ ンに よ り 終了 し た メ ニ ュ ーページにジ ャ ン
プ し ます。 「Back」 （モ ド ル） ボ タ ン を押す と 、 画面は 1 つ上位の階層に戻
り 、 最終的には測定画面に戻 り ます。
kina26jp Chapter 4.fm
参照用に、 「Main Menu」 （ メ イ ン メ ニ ュ ー） の構造を以下に示 し ます。
Protec P3000 の設定
4-1
Standby
㧔ࠬ࠲ࡦࡃࠗ㧕
Service
㧔ࠨ࡯ࡆࠬ㧕
Gas Trigger
㧔ࠟࠬ࠻࡝ࠟ࡯㧕
Settings
㧔࠮࠶࠹ࠗࡦࠣ㧕
History & Maintenance
㧔࡝࡟ࠠ࠻ࡔࡦ࠹࠽ࡦࠬ㧕
Info
㧔ࠗࡦࡈࠜ
Gas 1
㧔ࠟࠬ㧝㧕
Gas 2
㧔ࠟࠬ㧞㧕
Gas 3
㧔ࠟࠬ㧟㧕
Gas 4
㧔ࠟࠬ㧠㧕
Name
࠽ࡑࠛ
Mode
㧔ࡕ࡯࠼㧕
Trigger & Unit
㧔࠻࡝ࠟ࠻࡙࠾࠶࠻㧕
Display limit
㧔ࡅ࡚࠙ࠫࡂࡦࠗ㧕
Search level
㧔ࠨ࡯࠴࡟ࡌ࡞㧕
Equivalent correction
㧔ࡋ࡝࠙ࡓࡃ࡯࠮ࡦ࠻㧕
㧔ࡋ࡝࠙ࡓࡊ࡟࠶ࠫࡖ࡯㧕
㧔ࡂࠬࡊ࡟࠶ࠫࡖ࡯㧕
㧔ࡎ࠮ࠗࠤࠗࠬ࠙㧕
㧕
Vacuum & Access
㧔ࠪࡦࠢ࠙ࠕࠢ࠮ࠬ㧕
Audio
㧔ࠝࡦ࠮ࠗ㧕
Setup I̒Guide
㧔࠮࠶࠻ࠕ࠶ࡊ 㧵̒ࠟࠗ࠼㧕
Miscellaneous
㧔࠰ࡁ࠲㧕
Display
㧔ࡅ࡚࠙ࠫ㧕
Interfaces
㧔ࠗࡦ࠲࡯ࡈࠚࠗࠬ
㧕
Error list
㧔ࠛ࡜࡯࡝ࠬ࠻ࡁࠛ࠷࡜ࡦ㧕
Calibration history
㧔ࠦ࠙࠮ࠗ࡝࡟ࠠ㧕
Maintenance interval
㧔ࡔࡦ࠹࠽ࡦࠬࠪࡘ࠙ࠠ㧕
Maintenance history
㧔ࡔࡦ࠹࠽ࡦࠬ࡝࡟ࠠ㧕
Confirm maintenance
㧔ࡔࡦ࠹࠽ࡦࠬࡁࠞࠢ࠾ࡦ(2)
Sniffer tip filter
ࠬ࠾ࡈࠔ࡯࠴࠶ࡊࡈࠖ࡞࠲࡯
Replace PRO-Check
㧔241%JGEMࡥࠦ࠙ࠞࡦࠪ࠹ࠢ࠳ࠨࠗ㧕(2)
Gerneral Data
㧔ࠗ࠶ࡄࡦ࡚ࠪ࠙ࡎ࠙㧕
Sensor global
㧔࠮ࡦࠨ࡯ో૕㧕
Sensor error
㧔࠮ࡦࠨ࡯ࠛ࡜࡯㧕
241%JGEMdata
㧔241%JGEM ࠺࡯࠲㧕
Sniffer line data
㧔ࠬ࠾ࡈࠔ࡜ࠗࡦ࡯࠺࡯࠲㧕
I/O port data
㧔㧵㧛㧻ࡐ࡯࠻࠺࡯࠲㧕
Analog data
㧔ࠕ࠽ࡠࠣ࠺࡯࠲㧕
Analog data
㧔ࠕ࠽ࡠࠣ࠺࡯࠲㧕
Valves
㧔Valves㧕
RS232
㧔RS232)
Zero time
㧔࠮ࡠ࠲ࠗࡓ㧕
Contamination limit
㧔ࠦࡦ࠲ࡒࡀ࡯࡚ࠪࡦ࡝ࡒ࠶࠻㧕
Flow limits(1)
㧔࡝࡙࠙࡝࡛࠙࠮ࠗࠥࡦ㧕
Flow settings(㧟)
㧔࡝࡙࠙࡝࡛࠙࠮࠶࠹ࠗࡦࠣ㧕
Standby Delay
㧔ࠬ࠲ࡦࡃࠗࠝࠢ࡟㧕
Calibration
㧔ࠦ࠙࠮ࠗ㧕
Change menu PIN
㧔ࡔ࠾ࡘ࡯㧼㧵㧺 ࡁࡋࡦࠦ࠙㧕
Gas library
㧔ࠟࠬ࡜ࠗࡉ࡜࡝࡯㧕
User gas
㧔࡙࡯ࠩ࡯ࠟࠬ㧕
Helium
㧔ࡋ࡝࠙ࡓ㧕
取扱説明書
Main Menu
㧔ࡔࠗࡦࡔ࠾ࡘ࡯㧕
Flow limit s low flow
㧔࠹ࠗ࡝ࡘ࠙࡝࡚࠙ low flow㧕
Flow limit s high flow
㧔ࠦ࠙࡝ࡘ࠙࡝࡚࠙ high flow㧕
Additional low flow error (2)
㧔࡝ࡘ࠙࡝࡚࠙࠹ࠗࠞ
ࠛ࡜࡯ࡁ࠷ࠗࠞ㧕
Flow mode
㧔࡝ࡘ࠙࡝࡚࠙ࡕ࡯࠼㧕
Limits low flow error
㧔࡝࡙࠙࡝࡛࠙࠮࠶࠹ࠗ
ࠛ࡜࡯࠴࠾ࡘ࠙࡝࡚࠙㧕
Sniffer button
㧔ࠬ࠾ࡈࠔࡏ࠲ࡦ㧕
Beep sound
㧔ࡅ࡯ࡊࠝࡦ࡚ࠠ࠙㧕
Audio intern
㧔ࠝࡦ࡝࡛࠙࠽ࠗࡊ㧕
Audio sniffer
㧔ࠬ࠾ࡈࠔ࡯ࡁࠝࡦ࠮ࠗ㧕
Alarm type
㧔ࠕ࡜࡯ࡓ࠲ࠗࡊ㧕
Volume
㧔ࡎ࡝ࡘ࡯ࡓ㧕
Name
㧔ࡔ࡚ࠗࠪ࠙㧕
Gas
㧔ࠟࠬ㧕
No. of points
㧔ࡐࠗࡦ࠻ࡁࠞࠬ㧕
Measuring time
㧔࠰ࠢ࠹ࠗࠫࠞࡦ㧕
Wait time
㧔ࡑ࠴ࠫࠞࡦ㧕
Global trigger
㧔ࠣࡠ࡯ࡃ࡞࠻࡝ࠟ࡯㧕
Language
㧔ࠤࡦࠧ㧕
Time & date
㧔ࡅ䊀䉬䋧䉳䉦䊮㧕
Pressure unit
㧔ࠕ࠷࡝࡚ࠢ࠲ࠗ㧕
Leak rate filter
㧔࡝࡯ࠢࡈࠖ࡞࠲㧕
Alarm delay
㧔ࠕ࡜࡯ࡓ࠴ࠛࡦ㧕
Sniffer light
㧔ࠬ࠾ࡈࠔ࡯ࡁ࡜ࠗ࠻㧕
Contrast
㧔ࠦࡦ࠻࡜ࠬ࠻㧕
Peak hold
㧔ࡇ࡯ࠢࡎ࡯࡞࠼㧕
Flow display
㧔ࡈࡠ࡯࠺ࠖࠬࡊ࡟࡯㧕
User mode
(࡙࡯ࠩࡕ࡯࠼)
kina26jp Chapter 4.fm
図 4-2 メ ニ ュ ー構造
Control location
㧔ࠦࡦ࠻ࡠ࡯࡞ࡠࠤ࡯࡚ࠪࡦ㧕
Recorder output
㧔࡟ࠦ࡯࠳࡯ࠪࡘ࠷࡝࡚࠙㧕
Select PLC inputs
㧔PLC ࠾ࡘ࠙࡝࡚ࠢࡁ࠮ࡦ࠲ࠢ㧕
Select PLC inputs
㧔PLC ࠾ࡘ࠙࡝࡚ࠢࡥ
࠮ࡦ࠲ࠢ࠷࠹ࠢ࠳ࠨࠗ㧕
RS232 protocol
㧔RS232 ࡊࡠ࠻ࠦ࡞㧕
Baud rate & end sign
㧔ࡏ࡯࡟࡯࠻ࠛࡦ࠼ࠨࠗࡦ㧕
PRO-Check
㧔PRO-࠴ࠚ࠶ࠢ㧕(2)
( １２０２ )
(1) for Protec P3000 only
㧔Protec P3000XL ࠮ࡦ࡛࠙㧕
(2) in advanced mode only
ࠕ࠼ࡃࡦࠬ࠼࡙࡯ࠩ࡯ࡕ࡯࠼ኾ↪
(3)for Protec P3000 only
㧔Protec P3000 ኾ↪㧕
4-2
Protec P3000 の設定
4.2
サービ ス メ ニ ュー
取扱説明書
サービ ス メ ニ ュ ーは、 パ ス ワー ド に よ り 保護 さ れてい ます。 サービ ス メ ニ ュ ーに入
る には、 PIN （個人識別番号） の入力が必要です。 サービ ス メ ニ ュ ーは、 必ず ト レー
ニ ン グ を 受け たサー ビ ス 技術者のみが操作す る よ う に し て く だ さ い。 サー ビ ス メ
ニ ュ ーを開 く ための PIN は、 サービ ス ト レーニ ン グ時に割 り 当て ら れ ます。 サービ
ス メ ニ ュ ーのサブ メ ニ ュ ーお よ び機能については、 サービ ス マニ ュ アルを参照 し て
く だ さ い。
4.3
等価なガ ス種の選択お よ び ト リ ガー値の設定
Protec P3000 は、 ヘ リ ウ ム リ ー ク レー ト ま たは冷却時におけ る 同等の リ ー ク レー ト
を検出す る こ と がで き ます。 Protec P3000 は、 異な る 最大 4 セ ッ ト のパ ラ メ ー タ を
保存す る こ と がで き ます。 １ 種類の漏出速度が、 同等のヘ リ ウ ム リ ー ク レー ト に加
え て任意のデ ィ ス プ レ イ に表示 さ れ ます。 ガ ス / ト リ ガー メ ニ ュ ーでは、 現在の ト
リ ガー値 と 選択 さ れたガ ス の相当値を表示 さ れ ます。
デフ ォ ル ト 設定では、 最初のパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト と し てヘ リ ウ ム のみが設定 さ れて
い ます。 残 り の 3 種類は空白 （「<----->」） にな っ てい ます。 すでに設定済みのパ
ラ メ ー タ ーセ ッ ト のみが、 ガ ス パ ラ メ ー タ ー リ ス ト に表示 さ れ、 リ ス ト ボ タ ン に よ
り 測定画面か ら 直接呼び出 さ れ ます。
4.3.1
ガ スパ ラ メ ー ターの編集
( １２０２ )
「GAS 1」 （ガ ス 1） か ら 「GAS 4」 （ガ ス 4） のボ タ ンのいずれか を押す と 、 対応す る
パ ラ メ ー タ ーセ ッ ト の イ ン フ ォ ページ が開 き ま す。 使用 し てい ないパ ラ メ ー タ ー
セ ッ ト は、 空白 （「<----->」） にな っ てい ます。
現在の設定を変更す る には、 ↑上矢印／↓下矢印ボ タ ン で変更 し たい項目ま で ス ク
ロ ール し 、 「Edit」 （ヘン シ ュ ウ ） ボ タ ン を使用 し て選択 し ます。
kina26jp Chapter 4.fm
図 4-3 Gas 1 の編集
イ ン フ ォ ページには、 等価なガ ス種の名前 （ま たはヘ リ ウ ム） 、 測定モー ド 、 お よ
び現在選択 さ れてい る ト リ ガー値が表示 さ れ ます。 続いて、 表示下限値が表示 さ れ
ま す。 さ ら に、 校正係数、 使用す る ヘ リ ウ ム濃度、 ヘ リ ウ ム の充填圧力、 続いて、
冷媒の充填圧力が表示 さ れ ます。
Protec P3000 の設定
4-3
等価な冷媒の リ ー ク レー ト と し て リ ー ク レー ト を表示す る には、 「Edit Gas」 （ガ ス
ノ ヘン シ ュ ウ ） のサブ メ ニ ュ ーを開 き 、 「Name」 （ナマエ） の項目を選択 し て く だ さ
い。 「Edit」 （ヘン シ ュ ウ ） ボ タ ン を押す と 、 「Gas Selection」 （ガ ス セ ン タ ク ） のサブ
メ ニ ュ ーが開 き ますので、 「Gas Library」 （ガ ス ラ イ ブ ラ リ ー） か ら 等価な冷媒を選
択 し て く だ さ い。 ガ ス パ ラ メ ー タ ーを完全に削除す る には、 ガ ス の名前を空白 （「<---->」） に戻 し ます。
注記 複数のパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト が設定 さ れてい る 場合 （2 つ以上のガ ス名が 「<---->」 にな っ ていない場合） 、 測定画面の右側に リ ス ト ボ タ ンが表示 さ れま
す。リ ス ト ボ タ ン を押す と 、別のパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト を選択す る シ ョ ー ト カ ッ
ト を使用す る こ と がで き ます。
取扱説明書
名前 （ナマエ）
付加ヘ リ ウ ム
こ のサブ メ ニ ュ ーは、 ガ ス 同等物が作用 し てい る 際のみ利用で き ます。 こ の場合、
Protec P 3000 に は主測定ス ク リ ーン では、 冷媒等価 リ ー ク レー ト に付加 さ れたヘ
リ ウ ム リ ー ク レー ト が表示 さ れ ます。 こ の機能は、 選択 さ れ る 場合 と さ れない場合
があ り ます。
デ ィ フ ォ ル ト 値 ： セ ン タ ク シテ イ ナ イ
図 4-4 付加ヘ リ ウ ム の選択
セ ッ ト が （ガ ス １ 、 ガ ス ４ ） がヘ リ ウ ム に設定 さ れてい る 場合のみ利用
で き ます。
kina26jp Chapter 4.fm
追加ヘ リ ウ ムは、 ヘ リ ウ ムが最低ガ ス数に設定 さ れた時に測定ユニ ッ ト に表示 さ
れます。
( １２０２ )
注記 「ヘ リ ウ ム を追加す る 」 と い う オプシ ョ ンは、 少な く と も １ つのパ ラ メ ー タ
4-4
Protec P3000 の設定
取扱説明書
ガ ス同等物の編集
パラ メ ータ
図 4-5 ガ ス ラ イ ブ ラ リ ーか ら のガ ス の選択
( １２０２ )
「Edit Gas」 （ガ ス ノ ヘン シ ュ ウ ） のサブ メ ニ ュ ーに戻 り 、 「He-Percentage」 （ヘ リ ウ
ムパーセ ン ト ） の項目ま で ス ク ロ ール し 、 「Edit」 （ヘン シ ュ ウ ） ボ タ ン を押 し ます。
図 4-6 等価な冷媒の校正係数の設定
kina26jp Chapter 4.fm
サブ メ ニ ュ ー 「ヘ リ ウ ム充填圧」 では、 ガ ス冷媒等価の充填圧の前に、 使用す る ヘ
リ ウ ム の濃度を先に設定 し て く だ さ い。 画面の下部右側に、 （ヘ リ ウ ム か ら 冷媒へ
の） 校正係数が表示 さ れます。 Protec P3000 の限界を超え たパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト が
入力 さ れ る と 、 校正係数は反転色で表示 さ れ ます。 こ の場合、 校正係数が通常の色
で表示 さ れ る よ う にな る ま で、 パ ラ メ ー タ ーを調整 し て く だ さ い。 必要なすべての
パ ラ メ ー タ ーを入力 し た ら 、 OK ボ タ ン を押 し て く だ さ い。
注記 こ の メ ニ ュ ーは、 希釈ヘ リ ウ ム用ではあ り ますが、 ヘ リ ウ ム リ ー ク レー ト と
し て も 表示 さ れ る よ う に使用 し て く だ さ い。
Protec P3000 の設定
4-5
注記 こ の メ ニ ュ ーは、 正 し い リ ー ク レー ト 値を表示 し た後、 プ レ テ ス ト でヘ リ ウ
取扱説明書
ム充てん圧力が冷却剤の充てん圧力 と 異な る 時はいつで も 使用す る よ う
に し て く だ さ い。
図 4-7 等価な冷媒の リ ー ク レー ト のパ ラ メ ー タ ー編集
「Edit Gas」 （ガ ス ノ ヘン シ ュ ウ ） サブ メ ニ ュ ーにおいて、 ト リ ガー値を等価な冷媒
の値 と し て入力す る こ と がで き ます。
ま た、 パ ラ メ ー タ ーセ ッ ト （冷媒 タ イ プ、 充填圧力、 お よ びヘ リ ウ ム濃度） を、 ユー
ザーガ ス と し て保存で き ます。
測定画面には、 等価な冷媒の リ ー ク レー ト と し てガ ス種 （冷媒 タ イ プ） が表示 さ れ
ます （R134a <- He な ど）。
ト リ ガー と 測定ユニ ッ ト
イ ン フ ォページの 「Edit Gas X」 （ガ ス X ノ ヘン シ ュ ウ ） メ ニ ュ ーにおいて、 対応す
る 項目を選択す る と 、 「Trigger & Unit」 （ ト リ ガーレベル & ソ ク テ イ タ ン イ ） サブ メ
ニ ュ ーが開 き ます。 左側の↑上矢印／↓下矢印ボ タ ン を使用 し て、 ト リ ガーレベル
の設定を変え る こ と がで き ます。 正 し く 設定 し 、 「OK」 ボ タ ン に よ り 確定 し て く だ
さ い。 「Esc」 ボ タ ン を使用す る と 、 内容を変更す る こ と な く サブ メ ニ ュ ーか ら 抜け
る こ と がで き ます。
ト リ ガー下限
ト リ ガー上限
g/a
0.01
999.99
oz/yr
0.001
99.999
ppm
0.01
99999.0
mbar l/s
1x10
-7
9.9x10-2
Pa m3/s
atm cc/s
1x10-8
1x10-7
9.9x10-3
9.9x10-2
Torr l/s
1x10-7
9.9x10-2
リ ー ク レ ー ト の単位は、 右側の↑上矢印／↓下矢印ボ タ ン を 使用 し て変更で き ま
す。 利用可能な リ ー ク レー ト の単位は、 mbar l/s、 Pam3/s、 Torr l/s、 atm cc/s、 g/
a、 oz/yr、 lb/yr、 ppm です。
デフ ォ ル ト 値 ： 2 ´ 10-5mbar l/s、 2 ´ 10-6Pam3/s
4-6
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
単位
( １２０２ )
以下の表に、 設定可能な ト リ ガーレ ン ジ を示 し ます。
取扱説明書
図 4-8 ト リ ガーレベルお よ び測定単位の設定
Pos. 詳細
Pos.
詳細
1
ト リ ガー値の増加
3
測定単位の変換
2
ト リ ガー値の減少
4
測定単位の変換
( １２０２ )
表示制限
図 4-9 表示下限の編集
kina26jp Chapter 4.fm
各ガ ス について、 画面に表示す る 下限値を設定す る こ と がで き ます。 表示下限を変
更す る には、 「Edit Gas」 （ガ ス ノ ヘン シ ュ ウ ） サブ メ ニ ュ ーで、 「Display limit」 （ ヒ ョ
ウ ジハン イ ） の項目を選択 し て 「Edit」 （ヘン シ ュ ウ ） ボ タ ン を押 し ます。 表示下限
は、 最 も 低い表示限界の係数単位で増分す る こ と がで き ます。 係数表示の下に、 絶
対表示下限が現在選択 さ れてい る 測定単位で表示 さ れ ます。 利用可能な係数は、 1、
2、 5、 10、 20、 50、 100 です。
1 x 10-7 Pm3/s と い う Protec P3000XL の最低下限値は、 機能 1 に相当 し ます。 他の
機能においての同等な絶対下限値は、 5 x 10-8 Pm3/s を倍数化 し た も のです。 同等
な原理で低流量モー ド におけ る 表示下限はフ ァ ク タ ー 10 と な り ます。
Protec P3000 の設定
4-7
注記 Protec SL3000XL 専用
低流量か ら 高流量へ切 り 替え る 時 （逆の場合 も 同様）、 下限値は変化せず
その ま ま の状態です。 例えば、 下限値が ２ に設定 さ れ る と 、 低流量か ら
高流量へ切 り 替え る 際、 自動的に下限値が 2x10-8 Pam3/s か ら 1x10-7
Pam3/s にな り ます。
取扱説明書
デフ ォ ル ト 値 ： 2
サーチ レベル
ト リ ガーレ ベルの割合 と し て追加サーチ レベルを入れ る こ と がで き ま す。 警告は、
ト リ ガーレベル以下の リ ー ク に発行 さ れ ますが、 微量の リ ー ク も 逃 さ ない よ う 検出
レベル以上に も 対応 し てい ます。 検索レベルは 5% ～ 100% の間で設定 し て く だ さ
い。 デフ ォ ル ト 値 ： 90%
4.3.2
ガ スパ ラ メ ータ ーセ ッ ト の選択
ガ ス パ ラ メ ー タ ー セ ッ ト は、 「Edit Gas」 （ガ ス ノ ヘ ン シ ュ ウ ） サ ブ メ ニ ュ ー で、
「Mode」 （モー ド ） の項目を 「enabled」 （ユ ウ コ ウ ） に設定す る こ と で選択可能です。
1 つのパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト を有効にす る と 、 他の 3 種類のパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト は自
動的に無効にな る ため、 同時に使用で き る のは 1 つのパ ラ メ ー タ ーセ ッ ト のみ と な
り ます。
4.4
設定のサブ メ ニ ュ ー
「Vacuum & Access」 （シ ン ク ウ ア ク セ ス） サブ メ ニ ュ ーでは、 流量限界値やゼ ロ 機
能な ど の設定をす る こ と がで き ます。
4.4.1
真空ア ク セ ス
「Vacuum & Access」 （シ ン ク ウ ＆ア ク セ ス） サブ メ ニ ュ ーでは、 流量限界値やゼ ロ
機能な ど の設定をす る こ と がで き ます。
負の値が表示 さ れ る こ と がない よ う に、 バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 値が低減す る と ゼ ロ 機能
は自動的に更新 さ れ ます。 こ れに よ り 、 リ ー ク の検出漏れを防止す る こ と がで き ま
す。 「Zero time」 は、 Protec P3000 がバ ッ ク グ ラ ウ ン ド レ ベル を 更新す る た めに、
リ ー ク レー ト の負の値を ど の く ら いの頻度で検査す る か を定義 し ます。 「Zero time」
は、 1.0 ～ 9.9 秒の範囲で設定で き ます。
( １２０２ )
Zero time （ゼ ロ タ イ ム）
デフ ォ ル ト 値 ： 5.0 秒
Protec P3000 は、 高濃度のヘ リ ウ ム （ヘ リ ウ ムに よ る 汚染） に対す る プ ロ テ ク シ ョ
ン モー ド を備え てい ます。
こ の機能は、 高い濃度のヘ リ ウ ムに頻繁に さ ら さ れ る こ と に よ り 、 セ ンサーの劣化
が促進 さ れ る こ と を防止す る ための も のです。 汚染限界値は 「low」 （低）、 「normal」
（正常） 、 「high」 （高） レベルにセ ッ ト す る こ と がで き ます。 汚染限界値機能は、 最
4-8
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
Contamination Limit （コ ン
タ ミ ネーシ ョ ン リ ミ ッ ト ）
後の数秒間に吸引 さ れたヘ リ ウ ムの蓄積量を追跡 し ます。 こ のヘ リ ウ ム の蓄積量が
プ リ セ ッ ト レベル （「low」 （低）、 「normal」 （正常）、 「high」 （高）） を超え る と 、 系内
のヘ リ ウ ム量が十分下が る ま で、 「汚染」 メ ッ セージが表示 さ れ ま す。 ただ し 、 汚
染限界値の設定値が低いほ ど、 最大検出可能 リ ー ク 値が小 さ く な り ます。
取扱説明書
注記 汚染限界値の設定は 「low」 （低） か ら 開始 し ます。 「汚染」 メ ッ セージが頻繁
に表示 さ れ る 場合は、 「汚染限界値」 を 1 回 に 1 レ ベル上げ ま す （Wise
Technology セ ン サーを最善状態で使用 し ます）。
デフ ォ ル ト ： 「normal」 （正常）
汚染限界値を低めに設定す る と 、 Protec P3000 の Wise Technology セ ン サーの耐用
年数が延びます。
図 4-10 汚染限界値の設定
注記 ヘ リ ウ ム汚染 と い う 文字が表示 さ れてい る間は、 電源を切っ た り 、 ス タ ンバ
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
イ モー ド に切 り 替えた り し ないで く だ さ い。 センサー内にヘ リ ウ ム を閉じ
込めて し まい、 ユニ ッ ト か ら 送 り 出せな く な る恐れがあ り ます。 多量のヘ
リ ウ ムで汚染 さ れてい る Protec P3000 を切 り 替え る と 、 その後の立ち上げ
に相当な時間がかかっ て し まいます。 も し も 知ら ない う ちに こ の よ う な状
況にな っ た場合には、 Protec P3000 のス イ ッ チを入れて、 測定モー ド にな
る まで 「起動待機時間」 のま まに し ておいて く だ さ い。
Flow limits フ ロ ー リ ミ ッ
ト (Protec P3000 用 )
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 キ ャ ピ ラ リ ーを流れ る ガ ス の最小流量お よ び最大流量を入
力 し ま す。 実際の流量が こ の限界値 を 下回 る か （キ ャ ピ ラ リ ーの一部が詰 ま る な
ど）、 超え る と （ス ニ フ ァ ー ラ イ ンが破損 し て周囲の空気が流入す る な ど）、 ア ラ ー
ム が発生 し ます。下限流量値を実際の流量に近い値に設定す る と 、Protec P3000 は、
フ ィ ル タ ーお よ びス ニ フ ァ ー ラ イ ンの詰ま り に対 し て、 よ り 敏感に反応 し ます。 上
限流量値を実際の流量に近い値に設定す る と 、 Protec P3000 は、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
の損傷に対 し て、 よ り 敏感に反応 し ます。
Protec P3000 の設定
4-9
注記 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン の流量は大気圧に依存 し ます。 標高が高い所で操作 さ れ る
場合に、 ス ニ フ ァ ーを通 る 流量は著 し く 低下す る 場合があ り ます （標高
1000m あ た り 約 20%）。 こ の場合、 流量限界に し たがっ て調整 し て く だ さ
い。
デフ オル ト 値 ：
１８０ ｓ ｃ ｃｍ
下限流量値
３９５ ｓ ｃ ｃｍ
上限流量値
設定可能範囲
５０
下限流量値
ｓ ｃ ｃ ｍ ～２ ４ ０ ｓ ｃ ｃ ｍ
３ ０ ０ ｓ ｃ ｃ ｍ ～６ ５ ０ ｓ ｃ ｃ ｍ
取扱説明書
Protec P3000
上限流量値
下限流量値は、 150 と 240scc の間で設定す る こ と がで き ます。 デフ ォ ル ト 値は 180
です。 上限流量値は、 350 の工場出荷時設定値に従っ て、 300 と 650 の間で変え る
こ と がで き ます。
図 4-11 Protec P3000 の流量制限設定画面
Flow settings( リ ュ ウ リ ョ ウ
セ ッ テ イ ) (Protec
P3000 Ｘ Ｌ 専用 )
で き ま す。 両フ ロ ーモー ド に関す る すべての設定は、 FLOW SETTINGS ( リ ュ ウ
リ ョ ウ セ ッ テ イ ) のサブ メ ニ ュ ーにて設定す る こ と がで き ます。
kina26jp Chapter 4.fm
FLOW SETTINGS ( リ ュ ウ リ ョ ウ セ ッ テ イ ) のサブ メ ニ ュ ーに進む と 、 さ ら に図
４ ー １ ２ のサブ メ ニ ュ ーが表示 さ れます。
( １２０２ )
Protec P3000XL は、 低流量 ﾐモー ド に も 、 ま た高流量 - モー ド に も 使用す る こ と が
4-10
Protec P3000 の設定
取扱説明書
図 4-12
低流量の フ ロ ー リ ミ ッ ト
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 低流量モー ド の上限流量値お よ び下限流量値を設定す る こ
と がで き ます。 下限流量値には、 150 ～ 240sccm 間の値を選択す る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 値 : 180
上限流量値には、 300 ～ 650sccm 間で選択す る こ と がで き ます。 デフ ォ ル ト 値 : 395
( １２０２ )
高流量の フ ロ ー リ ミ ッ ト
図 4-13
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 高流量 - モー ド の上限流量値お よ び下限流量値を設定す る
こ と がで き ます。 下限流量値には、 1500 ～ 2400sccm 間の値を選択す る こ と がで き
ます。 デフ ォ ル ト 値 : 1800
kina26jp Chapter 4.fm
上限流量値には、 2700 ～ 3990sccm 間で選択す る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 値 : 3950
Protec P3000 の設定
4-11
注記 高流量 と 低流量モー ド での測定を可能にす る ために、SL3000XL は 2 つのキ ャ
高流量モー ド で小 さ な方のキ ャ ピ ラ リ ーを通 し た正常な流れを監視す る ため
に ( 詰ま っ てい る 場合は、 リ ー ク が検出 さ れ ません )、 高流量モー ド での フ
ロ ー リ ミ ッ ト は Wise Technology セ ンサーに よ り 該当す る 制限圧に変換 さ れ
ます。 制限圧が上限を上回 る あ る いは下限を下回 る 場合は、 小 さ い方のキ ャ
ピ ラ リ ーの流量が通常範囲外であ る こ と を示 し 、 警告 メ ッ セージが発 し ます
(W41 あ る いは W42)。
取扱説明書
ピ ラ リ ーを備え てい ます (~300sccm な ら びに ~2700 sccm)。 低流量モー ド では
小 さ な方のキ ャ ピ ラ リ ーだけが使用 さ れ、 高流量モー ド では両方が使用 さ れ
ますが、小 さ な方のキ ャ ピ ラ リ ーか ら のガ ス だけが Wise Technology セ ンサー
に導かれ ます。
ADDITIONAL LOW FLOW ERROR ( リ ュ ウ リ ョ ウ テ イ カエ ラ ー ノ ツ イ カ )
(ADVANCED ア ド バン ス モー ド の と き だけ有効 )
注記 こ のサブ メ ニ ュ ーは、 SL3000XL ス ニ フ ァ ープ ロ ーブが Protec P3000XL メ イ
ン ユニ ッ ト に接続 さ れていて ADVANCED ア ド ハン ス モー ド であ る 場合だけ
に使用で き ます。
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 ADDITIONAL LOW FLOW ERROR ( リ ュ ウ リ ョ ウ テ イ カ
エ ラ ー ノ ツ イ カ ) を ENABLED （ユ ウ コ ウ ） あ る いは DISABLED （ム コ ウ ） に設定
で き ます。 ENABLED （ユ ウ コ ウ ） の場合には、 補足流量エ ラ ー (E55 / E56) が標準
低流量警告に追加 さ れて発信 さ れ ます。 ADDITIONAL LOW FLOW ERROR( 補足低
流量エ ラ ー ) が ENABLED （ユ ウ コ ウ ） の と き だけ、 LIMITS LOW FLOW ERROR ( リ ュ ウ リ ョ ウ セ ッ テ ィ エ ラ ーチニ ュ ウ リ ョ ウ ) のボ タ ン が使用で き ます。
LOW FLOW ERROR ( リ ュ ウ リ ョ ウ テ イ カ エ ラ ー） が が 発 生 し た 場 合、 Protec
P3000XL は測定を停止 し ます。 低流量の問題が解決 さ れ、流量が LIMITS LOW FLOW
ERROR （ リ ュ ウ リ ョ ウ セ ッ テ イ エ ラ ーチニ ュ ウ リ ョ ウ ) 値を再び上回っ た と き だ
け、 Protec P3000XL は測定モー ド に復帰 し ます。
LOW FLOW ERROR ( 低流量エ ラ ー ) の限界値は、LIMITS LOW FLOW ERROR( リ ュ
ウ リ ョ ウ セ ッ テ イ エ ラ ーチニ ュ ウ リ ョ ウ ) のサブ メ ニ ュ ーで設定可能です ( 下記を
参照 )。
リ ュ ウ リ ョ ウ モー ド (SL3000XL ス ニ フ ァ ープ ロ ーブが接続 さ れてい る と き だけに有
効)
こ のサブ メ ニ ュ ーにて、 Protec P3000XL は低流量モー ド と 高流量モー ド 間を切 り 替
え る こ と がで き ます。
LIMITS LOW FLOW ERROR ( リ ュ ウ リ ョ ウ セ ッ テ イ エ ラ ーチニ ュ ウ リ ョ ウ )
( １２０２ )
デフ ォ ル ト の設定 : 高流量モー ド
注意 ： こ のサブ メ ニ ュ ーは、 SL3000 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンが Protec P3000XL の メ イ ン
ユニ ッ ト に接続 さ れてい る 場合には使用で き ません。
こ のサブ メ ニ ュ ーは、 ADDITIONAL LOW FLOW ERROR ( リ ュ ウ リ ョ ウ テ イ カ エ
ラ ー ノ ツ イ カ ) が ENABLED にセ ッ ト さ れて い る と き だけ使用で き ま す。 ま た、
ADDITIONAL LOW FLOW ( リ ュ ウ リ ョ ウ テ イ カエ ラ ー ノ ツ イ カ ) の限界値が設定で
き ます。 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を通 し た実際流量が LIMITS LOW FLOW ERROR ( 下限流
量エ ラ ー ) を下回 る 場合、 Protec P3000XL は測定を停止 し ます。 低流量の問題が解
決 さ れ、 流量が LIMITS LOW FLOW ERROR ( 下限流量エ ラ ー ) 値を再び上回っ た と
き だけ、 Protec P3000XL は測定モー ド に復帰 し ます。
4-12
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
デフ ォ ル ト の設定 : 高流量モー ド
取扱説明書
図 4-14 リ ュ ウ リ ョ ウ セ ッ テ イ エ ラ ーチニ ュ ウ リ ョ ウ
高流量な ら びに低 流量モー ド の ２ つの別々な値を設定す る こ と がで き ま す。 高流
量モー ド 用の値は、対応す る LOWER PRESSURE LIMIT( 下限圧 ) 値に変換 さ れます。
対応す る LOWER PRESSURE LIMIT( 下限圧 ) 値を下回 る 場合、 こ れは小 さ い方の
キ ャ ピ ラ リ ーの流量が SL3000XL ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内でブ ロ ッ ク さ れてい る こ と を
示 し 、 E55 / E56 が検知 さ れ、 Protec P3000XL は測定を停止 し ます。
低 流量モー ド のエ ラ ー リ ミ ッ ト は 150 ～ 240 sccm 間で、高流量モー ド には 1500 ～
2400 sccm 間でセ ッ ト す る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 値 : 低 流量 モー ド 150 sccm
高流量モー ド 1500 sccm
ス ニ フ ァ ーボ タ ン
こ のサブ メ ニ ュ ーにおけ る 漏れ試験中での低 流量 と 高流量モー ド 間の切 り 替え用
右ス ニ フ ァ ーボ タ ンの使用は (I ・ Guide モー ド 時を除いて )、 ENABLED( 可 ) あ る い
は DISABLED( 不可 ) です。 SNIFFER BUTTON( ス ニ フ ァ ーボ タ ン ) が DISABLED の
場合、 P3000XL は FLOW MODE のサブ メ ニ ュ ーあ る いは RS232 を通 し た場合 し か
高 流量か ら 低 流量モー ド への ( あ る いはその逆だけ ) 切 り 替えはで き ません。
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
デフ ォ ル ト の設定 : 可
Protec P3000 の設定
4-13
Protec P3000 は使用 さ れていない と き に、 ス タ ンバ イ モー ド にな る こ と で、 フ ィ ル
タ ーお よ びセ ンサーの耐用年数を延ば し てい ます。 ス タ ンバ イ モー ド にな る と 、 ス
ニ フ ァ ー ラ イ ン のガ ス流が停止 し 、 フ ィ ル タ ーを介 し て汚染物質がポ ン ピ ン グ さ れ
ないため、 テ ス ト 環境に存在す る ヘ リ ウ ムバ ッ ク グ ラ ウ ン ド にセ ンサーが さ ら さ れ
る こ と があ り ません。
Protec P3000 が ス タ ンバ イ モー ド にな る ま での時間は、 「Standby Delay」 （ス タ ンバ
イ オ ク レ） に よ り 決定す る こ と がで き ます。 こ の時間は、 10 秒～ 1 時間の範囲で選
択可能です。 設定 さ れた 「Standby Delay」 （ス タ ン バ イ オ ク レ） 時間 ま でプ ロ ーブ
を動か さ ない と 、 自動的に ス タ ンバ イ モー ド にな り ます。 こ の間にプ ロ ーブ を動か
す と 、 カ ウ ン タ ーがゼ ロ に戻 り 、 再びカ ウ ン ト が始ま り ます。
取扱説明書
Standby Delay （ス タ ンバ
イ オ ク レ）
Protec P3000 がすでに ス タ ンバ イ モー ド の と き にプ ロ ーブ を動かす と 、Protec P3000
は自動的に動作を開始 し 、 約 5 秒後に測定可能にな り ます。
デフ ォ ル ト 値 ： 10 分
注記 シ ス テ ム の消耗を最小限に抑え る ために、操作を頻繁に中断 さ せない程度に、
「Standby Delay」 （ス タ ンバ イ オ ク レ） 時間を最小限に設定す る こ と をお勧め
し ます。
CAL （ コ ウ セ イ ）
「CAL」 （ コ ウ セ イ ） サブ メ ニ ュ ーでは、 内部校正を有効化ま たは無効化す る こ と が
で き ます。 「disabled」 （ム コ ウ ） に設定す る と 、 内蔵の PRO-Check 基準校正 リ ー ク
に よ る プルーフ機能のみを実施で き ます。
デフ ォ ル ト 値 ： enabled （ユ ウ コ ウ ）
Change Menu-PIN （ メ
ニ ュー PIN ノ ヘン コ ウ）
図 4-15 パ ラ メ ー タ ー保護のための メ ニ ュ ー PIN の設定
4-14
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
現在の設定に対す る 変更は、 パ ス ワ ー ド に よ り 保護す る こ と がで き ます。 メ ニ ュ ー
PIN は、 「Change Menu-PIN」 （ メ ニ ュ ー PIN ノ ヘン コ ウ ） サブ メ ニ ュ ーに よ り 変更
可能です。
新 し い PIN （個人識別番号） を入力す る と 、 Protec P3000 の ソ フ ト ウ ェ アは、 入力
エ ラ ーを防止す る 目的で PIN の再入力を求め ます。 こ の後、 メ ニ ュ ー PIN が新 し い
数値に変更 さ れます。
注記 こ の変更を直ちに有効にす る ためには、 オペレー タ ーは 「Main Menu」 （ メ イ
取扱説明書
ン メ ニ ュ ー） に戻 る 必要があ り ます。 こ れを実施 し ない場合、 新 し い PIN は
5 分経過 し た後に有効 と な り ます。
メ ニ ュ ー PIN 「0000」 は、 パ ス ワ ー ド に よ る 保護が提供 さ れていない こ と を意味 し
ます。 こ の場合、 すべての メ ニ ュ ーに、 自由にア ク セ スす る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 設定 ： 0000
4.4.2
オーデ ィ オ機能
「Audio」 （オ ン セ イ ） サブ メ ニ ュ ーでは、 Protec P3000 の様々な音声ア ラ ーム を設定
す る こ と がで き ます。
Beep sound （ビープオン
キ ョ ウ）
ビープ音は、校正プ ロ セ ス の完了な ど、所定の機能の確認を目的 と し て発生 し ます。
こ の確認音は、 「Beep sound」 （ビープオ ン キ ョ ウ ） サブ メ ニ ュ ーに よ り 有効化ま た
は無効化す る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 値 ： enabled （ユ ウ コ ウ ）
Audio Intern （オン リ ョ ウ
ナ イ ブ）
本体に内蔵 さ れてい る ス ピーカーのオ ン／オ フ を切 り 替え る こ と がで き ます。 こ れ
は、 ヘ ッ ド フ ォ ン の出力には影響 し ません。
デフ ォ ル ト 値 ： enabled （ユ ウ コ ウ ）
( １２０２ )
Audio sniffer （ス ニ フ ァ ー
ノ オン セ イ ）
ト リ ガーレベルを越え た時は、 プ ロ ーブハン ド ルの ス ピーカ を停止す る よ う に設定
さ れ、 サーチ レベルを超え た時は、 鳴 ら な く な る 様に設定で き ます。
デフ ォ ル ト 値 ： ト リ ガー
kina26jp Chapter 4.fm
Alarm type （ア ラ ーム タ イ
プ）
本体 の ス ピ ー カ ー の 様々 な 音声 ア ラ ー ム を 選択 で き ま す。 オ プ シ ョ ン と し て、
「Setpoint」 （セ ッ ト ポ イ ン ト ）、 「Pinpoint」 （ピ ン ポ イ ン ト ）、 お よ び 「Trigger Alarm」
（ ト リ ガーア ラ ーム） があ り ます。
Setpoint （セ ッ ト
ポイン ト ）
音周波数は、 ト リ ガーレベルが超え る と 変化 し ます。 ト リ ガーレベ
ル以下では、 ス ピーカーはオ フ状態にあ り ます。
Protec P3000 の設定
4-15
Pinpoint
取扱説明書
Trigger Alarm サーチ レベルを超え る と 同時に、 継続低音に よ る 音響警告が発生 し
（ ト リ ガー
ます。 音程の違 う ２ つの音に よ る 音響警告が、 ト リ ガーレベルを超
ア ラ ム）
え る と 同時に発生 し ます。 ト リ ガーレベル以下では、 ス ピーカーは
オ フ状態にあ り ます。
Protec P3000 がア ラ ーム タ イ プ と し て Trigger Alarm にセ ッ ト さ れて
い る 場合、TONE 1,2,3 と 名付け ら れ る 補足のボ タ ンが ス ク リ ーンの
右下に表示 さ れ ます。 こ れ ら のボ タ ン で、 ト リ ガーア ラ ーム を他の
リ ー ク デ ィ テ ク タ ーか ら 明確に区別す る こ と ので き る 別々の警告
音が選択で き ます。
外部ス ピーカーは常時オ ン にな っ てい ます。 リ ー ク レー ト の範囲が
ト リ ガーレベルの ±1 桁以内の場合、 リ ー ク レー ト に応 じ て周波数
が変化 し ます。 こ の範囲外では、 ト ーンは常に低いか高 く な り ます。
ト リ ガー レ ベル よ り 依然 と し て低い リ ー ク を ピ ン ポ イ ン ト で特定
し たい場合、 ま たは、 予想 さ れ る リ ー ク レー ト が ト リ ガーレベルの
範囲内の場合、 こ の設定をお勧め し ます。
Protec P3000 がア ラ ーム タ イ プ と し て ト リ ガーア ラ ーム に設定 さ れ
る と 、 タ イ プ 1、 2、 3 と 呼ばれ る 追加ボ タ ン が右下に表示 さ れます。
近 く に あ る リ ー ク デ ィ テ ク タ と 明確に区別す る た めに、 異な る ア
ラ ーム音のボ タ ン を選択す る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 値 ： Trigger Alarm （ ト リ ガーア ラ ーム）
Volume （ボ リ ューム）
本体の ス ピーカーの、 「Minimum Volume」 （最小音量） お よ び現在の 「Volume」 （音
量） を設定で き ます。 「Minimum Volume」 は、 ス ピーカーに設定可能な最 も 低い音
量であ り 、 こ れに よ り 、 本体のア ラ ーム音を不意に消 し て し ま う こ と を回避で き ま
す。 両方の値 と も に、 ヘ ッ ド フ ォ ンの出力に対 し て も 有効です。 両方の音量 （最小
お よ び現在） と も に、 0 ～ 15 の範囲で設定す る こ と がで き ます。
最小音量のデフ ォ ル ト 値 ： 2
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
現在の音量のデフ ォ ル ト 値 ： 2
4-16
Protec P3000 の設定
4.4.3
デ ィ ス プ レ イ 設定
取扱説明書
「Display」 （ ヒ ョ ウ ジ） サブ メ ニ ュ ーでは、 表示の コ ン ト ラ ス ト お よ びピー ク ホール
ド 機能を設定で き ます。
Contrast （コ ン ト ラ ス ト ）
「Contrast」 （ コ ン ト ラ ス ト ） サブ メ ニ ュ ーでは、 本体デ ィ ス プ レ イ の コ ン ト ラ ス ト
を調整で き ます。 入力で き る 値は、 0 ～ 99 です。 ま た、 画面の色を反転 さ せ る こ と
がで き ます。
デフ ォ ル ト 値 ： 反転な し 、 レベル 30
注記 デ ィ ス プ レ イ の コ ン ト ラ ス ト が高すぎ る 値ま たは低すぎ る 値に設定 さ れ、 画
図 4-16 メ イ ンデ ィ ス プ レ イ の コ ン ト ラ ス ト 設定
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
面が見え ない場合は、 以下の手順で調整 し て く だ さ い。 Protec P3000 を停止
し 、 再び電源を投入 し ます。 起動プ ロ セ ス において、 両側の 3 番目のボ タ ン
を同時に通常画面に戻 る ま で押 し て く だ さ い。 こ の設定は、 EEPROM に保存
さ れないため、 「Contrast」 （ コ ン ト ラ ス ト ） サブ メ ニ ュ ーか ら 手動で確認す
る 必要があ り ます。 こ の よ う に し ない と 、 次の起動時に、 Protec P3000 は調
整前の設定に戻っ て し ま い ます。
Protec P3000 の設定
4-17
Peak hold （ピー ク ホール
ド）
取扱説明書
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 ピ ー ク ホ ール ド 機能の有効化 ま た は無効化がで き ま す。
ピー ク ホール ド 機能が有効な場合、 現在測定 さ れてい る 値に加え、 あ ら か じ め設定
さ れた時間だけ、 最大 リ ー ク レー ト が メ イ ンデ ィ ス プ レ イ に表示 さ れます。 こ の機
能が無効な場合、 時間設定は影響 も 与え ません。
デフ ォ ル ト 値 ： Disabled （ム コ ウ ）、 5 秒
p
図 4-17 ピー ク ホール ド 機能の設定
フ ロ ーデ ィ ス プ レ イ
(ADVANCED モー ド だけで
使用可能 )
注記 フ ロ ー・モー ド を切 り 替え る 場合 と し て警告の様な色々打つ手を認めた後に、
フ ロ ー ・ モニ タ リ ン グは短期間の間無効にな ます。 一方、 フ ロ ーは再度安定
し ます。 ま た、 新 し い警告は出 さ れません。 こ の間、 メ ッ セージ 「Flow control
inactive」 は流量の代わ り に表示 さ れます。
( １２０２ )
FLOW DISPLAY( フ ロ ーデ ィ ス プ レ イ ) のサブ メ ニ ュ ーでは、 測定中におけ る ス ニ
フ ァ ー ラ イ ン を通 し た流量の継続表示の ENABLED （ユ ウ コ ウ ） あ る いは DISABLED
（ム コ ウ ）を選択す る こ と がで き ます。 ENABLED を選択 し た場合、流量はSTANDARD
OPERATION MODE( 標準操作モー ド ) において リ ー ク レー ト のバーグ ラ フ の下に整
数で表示 さ れます。
デフ ォ ル ト の設定 : DISABLED( 不可 )
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 normal （ ノ ーマル） モー ド ま たは advanced （ア ド ヴ ァ ン ス
ド ） モー ド を選択で き ま す。 標準モー ド では、 通常操作に関す る 情報が表示 さ れ、
拡張モー ド では、 高度な操作に対応す る ための追加的情報が表示 さ れ ます。
4-18
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
USER MODE （ユーザーモー ド ）
取扱説明書
4.4.4
I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの設定お よび編集
「Setup Program」 （プ ロ グ ラ ム ノ セ ッ テ イ ） ボ タ ン を選択す る と 、 サブ メ ニ ュ ーペー
ジが開 き 、 あ ら か じ めプ ロ グ ラ ム可能な 10 種類の I ・ Guide プ ロ グ ラ ム と プ ロ グ ラ
ム の現在の ス テー タ ス （有効／無効） が表示 さ れ ま す。 プ ロ グ ラ ム が有効な場合、
そのプ ロ グ ラ ムは、 I ・ Guide モー ド において、 選択す る プ ロ グ ラ ム の リ ス ト と し て
表示 さ れ ます。プ ロ グ ラ ム の ス テー タ ス を変更す る には、デ ィ ス プ レ イ 左側の 「On/
Off」 ボ タ ン を使用 し ます。
図 4-18 I ・ Guide モー ド の設定
( １２０２ )
プ ロ グ ラ ム のパ ラ メ ー タ ーを編集す る には、 対応す る メ ニ ュ ー項目を ス ク ロ ール し
てそのプ ロ グ ラ ム を選択 し 、 「Edit」 （ヘン シ ュ ウ ） ボ タ ン を押 し てプ ロ グ ラ ム を開
いて く だ さ い。
kina26jp Chapter 4.fm
図 4-19 I ・ Guide プ ロ グ ラ ムの編集
「Edit Program」 （プ ロ グ ラ ム ノ ヘン シ ュ ウ ） サブ メ ニ ュ ーでは、 プ ロ グ ラ ム の名前、
そのプ ロ グ ラ ム で選択 さ れてい る ガ ス種、 リ ー ク テ ス ト 実施箇所の数、 各箇所の最
小測定時間、 そ し て、 ス ニ フ ァ ーを次のテ ス ト 箇所に移動 さ せ る ま での リ ー ク テ ス
ト 間の待機時間が表示 さ れ ます。 さ ら に、 被検体全体に許容 さ れ る リ ー ク レー ト に
対応 し た総 ト リ ガー値が保存 さ れ ます。
Protec P3000 の設定
4-19
パ ラ メ ー タ ーを編集す る には、 適切な項目ま で ス ク ロ ール し 、 ハ イ ラ イ ト 表示 さ れ
てい る 項目を 「Edit」 （ヘン シ ュ ウ ） ボ タ ン を押 し て選択 し て く だ さ い。
各プ ロ グ ラ ム には、 最大 6 文字ま で自由に名前をつけ る こ と がで き ます。 ま た、 名
前を 編集す る には、 該当す る 名前の行 を ハ イ ラ イ ト 表示 さ せて 「Edit」 （ヘン シ ュ
ウ ） ボ タ ン を押 し ます。 こ の場合、 英数字を入力す る 画面が表示 さ れ ます。 必要な
名前を入力 し 、 「OK」 ボ タ ン を押 し て く だ さ い。
取扱説明書
Name （ナマエ）
Gas （ガ ス）
等価なガ ス種を編集す る には、 「Gas」 の項目ま で進んで 「Edit」 （ヘン シ ュ ウ ） ボ タ
ン を押 し て く だ さ い。 「Gas/Trigger」 （ガ ス／ ト リ ガー） サブ メ ニ ュ ー （Gas 1 ～ Gas
4） に表示 さ れてい る 等価なガ ス種のみ選択す る こ と がで き ます。 等価なガ ス種は、
（ ） 内にテ キ ス ト 表示 さ れ ます。 ↑上矢印／↓下矢印ボ タ ンに よ り 、 最大 4 種類
の利用可能な等価なガ ス種を ス ク ロ ールす る こ と がで き ます。
注記 I ・ Guide モー ド は、 「Gas/Trigger」 （ガ ス／ ト リ ガー） サブ メ ニ ュ ーで選択 さ
れた等価な ガ ス 種を参照 し ま す。 「GAS」 （ガ ス） サブ メ ニ ュ ーにおいて等価
なガ ス種を変更す る と 、 I ・ Guide プ ロ グ ラ ムのために選択 し た等価なガ ス種
も 自動的に変わ り ます。
No. of Points （ポ イ ン ト ノ
カ ズ）
リ ー ク チ ェ ッ ク を行 う テ ス ト 箇所の数は、 1.0 ～ 20 の範囲で変更す る こ と がで き 、
↑上矢印／↓下矢印ボ タ ン に よ り 編集す る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 値 ： 4
注記 注意 ： I ・ Guide ド モー ド は、 タ イ マー信号だけに も 使用可能です。 ポ イ ン ト
数が ０ にセ ッ ト さ れてい る 場合、プ ロ テ ッ ク P3000 はグ ロ ーバル･ リ ー ク レー
ト 機能を使用す る こ と な し に、 テ ス ト の継続のために次の ロ ケーシ ョ ンへ移
行 し ます。
す。 ポ イ ン ト 数が 99 にセ ッ ト さ れてい る 場合、右ボ タ ン を 2 秒間押 し 続けた
後に ( あ る いは 98 番目のポ イ ン ト の後は自動的に ) グ ロ ーバル･ リ ー ク レー
ト の要約を と も な う 結果ス ク リ ーンが表示 さ れ ます。
( １２０２ )
注記 注意 ： I ・ Guide モー ド は、 要求に応 じ て リ ー ク レー ト の要約に も 使用 さ れま
測定において ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を適切な位置に保持す る 時間は、 0.7 ～ 25.0 秒の範
囲でプ ロ グ ラ ムす る こ と がで き ます。 測定時間は、 Protec P3000 の応答時間 よ り 短
く し ないで く だ さ い。 以下の よ う な最小測定時間の設定をお勧め し ます。
4-20
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
Measuring time （ ソ ク テ イ
ジ カ ン）
取扱説明書
ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの長 さ
最小測定時間
3m
0.7 s
5m
0.9 s
10m
1.4 s
15m
3.0 s
こ のパ ラ メ ー タ ー を 編集す る には、 ↑上矢印／↓下矢印ボ タ ン を使用 し て く だ さ
い。
デフ ォ ル ト 値 ： 1.0 秒
Wait time （マチジ カ ン）
1 つの リ ー ク チ ェ ッ ク か ら 次の リ ー ク チ ェ ッ ク において、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を次の
リ ー ク 検出箇所に移動 さ せ る ま での待機時間は、 0.1 ～ 25.0 秒の範囲で、 0.1 秒間
隔で設定す る こ と がで き ます。 こ のパ ラ メ ー タ ーを編集す る には、 ↑上矢印／↓下
矢印ボ タ ン を使用 し て く だ さ い。
デフ ォ ル ト 値 ： 3.0 秒
Global Trigger （グ ロ ーバ
ル ト リ ガー）
「Global Trigger」 （グ ロ ーバル ト リ ガー） サブ メ ニ ュ ーでは、 被検体全体に対 し て許
容 さ れ る 最大 リ ー ク レ ー ト を 編集す る こ と がで き ま す。 許容 さ れ る リ ー ク レ ー ト
は、 単一の ト リ ガー値に対す る も の と 同 じ レ ン ジです。 総 ト リ ガーの測定単位は、
「Edit Gas」 （ガ ス ノ ヘン シ ュ ウ ） サブ メ ニ ュ ーにおいて同 じ ガ ス 種に選択 さ れてい
る も の と 同 じ にな り ます。
デフ ォ ル ト 値 ： 2 x 10- ４ Pam ３ /s （あ る いは、 その他の測定単位におけ る 等価値）
4.4.5
その他の設定
( １２０２ )
Language （ゲ ン ゴ）
ソ フ ト ウ ェ ア を操作す る にあ た り 、 異な る 言語を選択す る こ と がで き ます。 現段階
では、 英語、 ド イ ツ語、 スペ イ ン語、 イ タ リ ア語、 フ ラ ン ス語、 ポル ト ガル語、 日
本語 （カ タ カナ）、 そ し て中国語 （北京語） か ら 選択可能です。
デフ ォ ル ト 値 ： 英語
注記 理解で き ない言語が リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの言語に設定 さ れてい る 場合は、 電
kina26jp Chapter 4.fm
源を落 と し 両側のデ ィ ス プ レーの上か ら 2 番目のボ タ ン を起動中押 し 続け ま
す。 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの メ ニ ュ ー言語が英語に リ セ ッ ト さ れ ます。 こ の設
定は自動的に保存 さ れません。 後で 「Language」 （ゲ ン ゴ） サブ メ ニ ュ ーを表
示 し て、 適切な言語を選択 し ます。
Protec P3000 の設定
4-21
Date & Time （ジ カ ン & ヒ
ヅケ）
Sniffer light （ス ニ フ ァ ー ノ
ライ ト）
取扱説明書
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 Protec P3000 の内蔵 ク ロ ッ ク を設定す る こ と がで き ます。
最初の画面において、 日付を DD.MM.YYYY （日／月／年） フ ォーマ ッ ト で入力 し て
く だ さ い。 続いて、 右下のボ タ ン （®） で次の画面を開 き 、 時刻を HH.MM （時／
分） フ ォーマ ッ ト で入力 し て く だ さ い。
ス ニ フ ァ ー ラ イ ト の明 る さ を、必要な レベルに調整す る こ と がで き ます。明 る さ は、
1 ～ 6 の範囲で選択で き ます。 ま た、 「Disable/Enable」 （ム コ ウ ／ユ ウ コ ウ ） ボ タ ン
に よ り 、 ラ イ ト のオ ン／オ フ を行 う こ と がで き ます。 新 し い設定は、 「OK」 ボ タ ン
で確定 し て く だ さ い。
デフ ォ ル ト 値 ： オ ン、 レベル 4
Pressure unit （ア ツ リ ョ ク
タ ン イ）
Protec P3000 において表示で き る 圧力単位は、 Pa、 Torr、 atm、 お よ び mbar です。
デフ ォ ル ト 値 ： mbar
Leak rate filter （ リ ー ク
レー ト フ ィ ル タ ー）
通常操作においては、 「I ・ Filter」 を選択 し て く だ さ い。 I ・ Filter は、 ノ イ ズ レベル
お よ び リ ー ク レ ー ト 値の安定につい て最高の結果 を 実現す る イ ン テ リ ジ ェ ン ト ・
フ ィ ル タ リ ン グ ・ アルゴ リ ズ ム と し て、 Protec P3000 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーのために
特別に開発 さ れた も のです。
旧バージ ョ ン の Protec モデルを Protec P3000 に交換 し 、すでに確立 さ れてい る テ ス
ト シ ス テ ム で使用 し てい る 場合、 Protec モデルで使用 し ていた 「固定」 フ ィ ル タ ー
を使用す る こ と が必要にな る こ と も あ り ます。
デフ ォ ル ト 値 ： I ・ Filter
（ア ラ ームチ
バ ッ ク グ ラ ウ ン ド の状態が非常に不安定な場合、 直ちにア ラ ーム を発生 さ せずに、
ト リ ガー レ ベル を超え て か ら 一定時間経過 し た後に音声ア ラ ーム を発生 さ せ る こ
と が望ま し い場合 も あ り ます。 こ の よ う な ア ラ ーム遅延は、 0.1 秒単位で入力で き
ます。 設定可能範囲は、
0 ～ 9.9 秒です。 デフ ォ ル ト 値 ： 0.0 秒 （disabled） （無効）
イ ン タ ーフ ェース
「Interfaces」 （ イ ン タ ーフ ェース） サブ メ ニ ュ ーでは、 コ ン ト ロ ール元、 レ コ ーダー
出力 PLC 入力の選択、 RS232 プ ロ ト コ ル、 お よ びボーレー ト ／終了記号を変更で
き ます。
4-22
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
4.5
( １２０２ )
Alarm delay
エン）
4.5.1
コ ン ト ロール方法の選択
取扱説明書
「Control location」 （ コ ン ト ロ ール ロ ケーシ ョ ン） では、 「Local」 、 「RS232」 、 ま たは
「Local and RS232」 を選択で き ます。 「Local」 モー ド では、 RS232 イ ン タ ーフ ェ ース
のみを使用 し てデー タ を読み取 り 、 コ ン ト ロ ールは行い ません。 「RS232」 モー ド で
は、 イ ン タ ーフ ェ ース に よ っ てのみ 「Zero」 お よ び 「Cal」 機能を コ ン ト ロ ール し ま
す。 「Local and RS232」 モー ド の場合、 装置は、 イ ン タ ーフ ェ ー ス を介 し ての コ ン
ト ロ ールに加え、 メ イ ンデ ィ ス プ レ イ か ら の入力に よ る コ ン ト ロ ール も 可能です。
デフ ォ ル ト 設定 ： Local お よ び RS232
注記 コ ン ト ロ ール元が RS232 に設定 さ れていて も 、 本体の ソ フ ト ウ ェ ア メ ニ ュ ー
に よ り 変更で き る パ ラ メ ー タ ーがあ り ます。 意図 し ない変更を防 ぐ ため、 メ
ニ ュ ー PIN を有効に し て こ れ ら のパ ラ メ ー タ ーを ロ ッ ク し ます。
4.5.2
レ コーダー出力
「Recorder output scale」 （レ コ ーダーシ ュ ツ リ ョ ク ス ケール） では、 リ ニ ア ま たは対
数を選択で き ます。 リ ニ ア出力信号は、 チ ャ ン ネル 1 （I/O ポー ト の ピ ン 1） を介 し
て供給 さ れ ます。 対数出力は、 チ ャ ン ネル 2
（I/O ポー ト の ピ ン 14） を介 し て供給 さ れます （6.1 節を参照）。
対数出力ス ケールでは、 電圧の範囲は 0V ～ 10V です。 1V か ら 始ま り 、 各 リ ー ク
レー ト は、 1 桁ご と に 2 ボル ト 間隔で増分 し ます。
1 ﾉ 3V:
3 ﾉ 5V:
5 ﾉ 7V:
7 ﾉ 9V:
1 桁目
2 桁目
3 桁目
4 桁目
4 桁の リ ー ク レー ト 範囲が、 アナ ロ グ信号 と し て出力 さ れ ます。 4 桁は、 ト リ ガー
レベルの値 と 測定単位に よ り 設定 さ れ ます。 標準の ソ フ ト ウ ェ アでは、 ト リ ガーレ
ベル自体が常に 2 桁の間 （3 ～ 5V の範囲） に設定 さ れ る 方法に従い、 出力電圧を
設定 し ます。
ト リ ガーレベル
対応する 出力電圧 （1 ～ 9V）
3 g/a
0.1 ～ 1000g/a
0.2 oz/yr
0.01 ～ 100 oz/yr
5 ´ 10-4mbar l/s
1 ´ 10-5 to 1 ´ 10-1 mbar l/s
以下に、 出力電圧 と リ ー ク レー ト の対応を明確に し た表を示 し ます。
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
例：
Protec P3000 の設定
4-23
取扱説明書
出力電圧の、 リ ー ク レー ト
への変換
記録器が特定の電圧を出力 し 、 こ れを リ ー ク レー ト に変換す る 場合は、 以下の公式
を適用 し て く だ さ い ：
(2 は、 ひ と つのデケ イ ド が 2 ボル ト を超え る 場合に使用 さ れ ます。 3 は、 ト リ ガー
レベルが常に 3 ～ 5V 間にあ る ために使用 さ れます )。
計算例 ：
出力電圧
0.1 oz/yr
-1
5.35V
3 g/a
0
5.60V
リ ー ク レー ト
10
10
6.4V
5 x 10-4
mbar l/s
4-24
Protec P3000 の設定
-4
–1+5
--,---35
-----–---3
2
– 0 + -5--,--6---–---3
2
10
2.8V
10
6.556V
10
= 1, 5oz ､ yr
= 20g ､ a
– 0 + -6--,-4---–---32
– 4 + -2--,--8---–---3
2
6, 55 – 3
– 4 + ------------2
= 50g ､ a
( １２０２ )
ト リ ガー
指数
–5
= 8 ﾗ 10 mbarl ﾗ s
= 1, 5mbarl ﾗ s
kina26jp Chapter 4.fm
ト リ ガー
ト リ ガー リ ー ク レー ト の、
ト リ ガー出力電圧への変換
特殊 ト リ ガー リ ー ク レー ト の対応電圧を知 る ためには、 以下の公式を適用 し て く だ
さい ：
U = 3 + 2² ロ グ ( ト リ ガー値の科学的算出仮数 )
取扱説明書
( 係数 2 は、 ひ と つのデケ イ ド が 2 ボル ト を超え る 場合に使用 さ れます。 被加数 3
は、 ト リ ガーレベルが常に 3 ～ 5V 間にあ る ために使用 さ れ ます )。
例：
ト リ ガー リ ー ク
レー ト
科学的記数法
仮数
ト リ ガー電圧
2*10-5 mbarl/s
2*10-5
2
3+2·log(2) = 3.6 V
5 g/a
5*100
5
3+2·log(5) = 4.4 V
0.4 oz/yr
4*10-1
4
3+2·log(-1) = 4.2 V
レ コ ーダ出力
リ ニ ア 出力 ス ケ ールでは、 「Recorder output」 （レ コ ーダーシ ュ ツ リ ョ ク ） サ ブ メ
ニ ュ ーか ら 様々な設定を選択す る こ と がで き ます。 電圧の範囲は 0V ～ 10V です。
レ コ ーダー出力は、 最大 10V が、 1 x 10-4 mbar l/s、 1 x 10-3 mbar l/s、 1 x 10-2 mbar
l/s、 1 x 10-4 Torr l/s、 1 x 10-3 Torr l/s、 1 x 10-2 Torr l/s に対応す る よ う に設定で
き ます。 あ る いは、 レ コ ーダー出力を、 10V が 10 x ト リ ガーレベルに対応す る よ う
に、 つ ま り 、 1V が選択 し た ト リ ガーレベルに対応す る よ う に設定す る こ と も で き
ます。
エ ラ ーモー ド 、 測定準備モー ド 、 お よ びス タ ンバ イ モー ド では、 U = 10 V の電圧が、
チ ャ ン ネル 1 お よ び 2 を通 じ て出力 さ れます。
デフ ォ ル ト 設定 ： Auto
RS232 プ ロ ト コ ル
RS232 プ ロ ト コ ルは 「ASCII」、 「Diagnostics」、 「Printer auto」、 「Printer manual」 に設
定す る こ と がで き ます。 ASCII プ ロ ト コ ルは、 測定機器で広 く 使用 さ れてい る 標準
プ ロ ト コ ルの SCPI と 類似 し てい ま す。 こ のプ ロ ト コ ルの詳細については、 「 イ ン
タ ーフ ェ ース説明書」 （kins26e1） を参照 し て く だ さ い。
( １２０２ )
4.5.3
デ ィ フ ォ ル ト 設定 ： ASCII
自己診断
kina26jp Chapter 4.fm
自己診断プ ロ ト コ ルは、 INFICON の製造及びサービ ス 中に、 品質管理 と ト ラ ブル
シ ュ ーテ ィ ン グに関す る 分析に使用 さ れ る バ イ ナ リ ープ ロ ト コ ルです。
プ リ ン タ ーマニ ュ アル
プ リ ン タ ーマニ ュ アルは、 右の ス ニ フ ァ ープ ロ ーブボ タ ン を押す こ と に よ り リ ー ク
レー ト が送信で き ます。
Protec P3000 の設定
4-25
注記 2 種類のプ リ ン タ ーモー ド にな っ てい る 場合には、 プ リ ン タ モー ド を中断 し
て し ま う ため、 ASCII コ マ ン ド を Protec P3000 に送信 し ない よ う に し て
く だ さ い。
日
時間
ガ ス同等物
リ ー ク レー ト
単位
12:31
ヘリ ウム
6x10-4
mbar l/s
例
03.05.2005
I ・ Guide モー ド に設定 さ れ る と 、 プ リ ン タ ーモー ド は機能 し ません。
取扱説明書
初期化
自動プ リ ン タ ー
自動プ リ ン タ ーでは リ ー ク レー ト は、 セ ッ ト ト リ ガーレベルを越え る 時に送信 さ れ
ます。 こ の場合、 信号が最大検出 ト リ ガーレベル よ り 下の リ ー ク レー ト を送信 し ま
す。
初期化
日
時間
ガ ス同等物
リ ー ク レー ト
単位
12:31
R134a
2.34
g/a
例
03.05.2005
I ・ Guide モー ド に設定 さ れ る と 、 リ ー ク レー ト の結果は、 テ ス ト 箇所番号 と 一緒に
各テ ス ト 箇所後に送信 さ れ ます。 全てのテ ス ト が完了 し た後に、 総 リ ー ク レー ト が
送信 さ れ ます。
例
ポ イ ン ト 番号
リ ー ク レー ト
単位
ポ イ ン ト 01
8.3 E-6
mbar l/s
ポ イ ン ト 02
2.0 E-6
mbar l/s
ポ イ ン ト 03
8.4 E-6
mbar l/s
ポ イ ン ト 04
1.2 E-6
mbar l/s
1.8 E-6
mbar l/s
総
13.04.2007
時間
11:57:03
「Select PLC inputs」 （Select PLC Input） サブ メ ニ ュ ーで、 （PLC 入力に適 し た） I/O
ポー ト の ど の ピ ンが ど の コ マ ン ド を表すか を選択す る こ と がで き ます。 デフ ォ ル ト
設定は次の と お り です。
4-26
ピン
デフ ォ ル ト コ マ ン ド
7
ス タ ンバ イ
8
エ ラ ー消去
9
校正中止
13
校正
20
25
ゼロ
不使用
Protec P3000 の設定
( １２０２ )
PLC 入力の選択
kina26jp Chapter 4.fm
4.5.4
日
取扱説明書
こ れ ら の設定を変更す る には、 デ ィ ス プ レ イ の左側の上向 き 矢印 と 下向 き 矢印で該
当す る ピ ン を選択 し 、 デ ィ ス プ レ イ の右側の上向 き ボ タ ン と 下向 き ボ タ ン で コ マ ン
ド リ ス ト か ら 目的の コ マ ン ド を選択 し ます。 OK を押 し て設定を保存 し ます。
図 4-20 PLC 入力の調整
4.5.5
ボーレー ト お よびエン ド サ イ ン
「Baud rate」 （ボーレー ト ） は、 1200 ～ 19200 の範囲で設定す る こ と がで き ます。
デフ ォ ル ト 設定 ： 9600
「End signs」 （エ ン ド サ イ ン） で は、 「Carriage Return」 （CR ： 復帰） 、 「Line Feed」
（LF ： 改行）、 ま たは 「CR + LF」 を設定で き ます。
デフ ォ ル ト 設定 ： CR + LF
4.5.6
PRO-Check （ADVANCED （ア ド バン ス） モー ド
だけで使用可能）
PRO-Check が搭載 さ れてい る Protec P3000 で基準 リ ー ク と の接続がチ ェ ッ ク さ れ
ない よ う に し 、 かつ、 エ ラ ー メ ッ セージが出 さ れない よ う にす る ため、 こ のサブ メ
ニ ュ ーで PRO-Check 基準 リ ー ク を完全に無効にす る こ と がで き ます。
( １２０２ )
デフ ォ ル ト 値 ： Enable （ユ ウ コ ウ ）
4.6
イ ン フ ォ メ ニ ュー
kina26jp Chapter 4.fm
「Info」 （ イ ン フ ォ） メ ニ ュ ーには、 Protec P3000 の ト ラ ブルシ ュ ーテ ィ ン グに役立
つすべての内部デー タ が表示 さ れ ます。 「Info」 （ イ ン フ ォ ） メ ニ ュ ーは、 10 ページ
か ら 構成 さ れてい ま す。 各ページ と も に、 左上の 「Back」 （モ ド ル） ボ タ ン に よ り
「Info」 （ イ ン フ ォ ） メ ニ ュ ーか ら 抜け る こ と がで き ま す。 左下のボ タ ン を押す と 1
ページ前に戻 り 、 右下のボ タ ン を押す と 次のページに進みます。 ページ番号は、 右
上に表示 さ れます。
Protec P3000 の設定
4-27
メ ニ ュ ー項目
フ ォ ーマ ッ ト
説明
Foreline pressure
Pa
Flow
sccm
Time since power on
分
Operation hours
時間
Serial number
11 桁の数
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン の流量
取扱説明書
1 ページ ： General Data （一般デー タ ）
Wise Serial number
Software version
x.xx.xx
Circuit temperature
°C
Test leak temperature
°C
Sensor block
Protec P3000 1 / 2
メ イ ン基板の温度
1 = Protec P3000
2 = 拡張測定範囲付 き Protec P3000
3 = Protec P3000XL
2 ページ ： Sensor Info Global （一般的なセ ンサー情報）
A
B-Filter
A
I-Filter
A
Q-Filter
A
Leak rate
mbar l/s
PWM-Membrane
整数
Heater Voltage
V
High Voltage
V
Wise-State
整数
バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 測定
ボ タ ン を押 し て く だ さ い。
ヘ リ ウ ム リ ー ク レー ト
( １２０２ )
I akt.
kina26jp Chapter 4.fm
バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 測定ボ タ ン を押す と 、 ユニ ッ ト は、 特別な
測定モー ド に入 り 、 現在環境で一般的なヘ リ ウ ムのバ ッ ク グ
ラ ウ ン ド 濃度を決定 し ます。 こ の過程には 2、 3 秒間要 し ま
す。 こ れは、 連続 し た信号表示ではあ り ませんが、 ト ラ ブル
シ ュ ーテ ィ ン グの目的のみに使用す る も のです。
4-28
Protec P3000 の設定
メ ニ ュ ー項目
フ ォーマ ッ ト
説明
取扱説明書
3 ページ ： Sensor Info Errors （エ ラ ーに関す る セ ン サー情報）
Sensor Error
16 進 コ ー ド
Sensor Warning
16 進 コ ー ド
Adjust Error
16 進 コ ー ド
４ ページ ： PRO-Check data （Pro-Check デー タ ）
Gas
Helium
Leak rate nom. / at T
mbar l/s mbar l/s
Version / Checksum
16 進法 コ ー ド
内部 リ ー ク のガ ス タ イ プ
Serial no.
Serial no reservoir
Manufacturing date
DD.MM.YYYY
Expiry Date
DD.MM.YYYY
Gain / Offset
Test leak temperature
°C / °F
State
( １２０２ )
5 ページ ： Sniffer data （ス ニ フ ァ ーデー タ ）
Type
SL3000 / SL3000XL / system
Software version
x.x
Length
3m / 5m / 10m / 15m
Serial no.
9000 xxx xxxx
Switch left
オ ン／オ フ
Switch right
オ ン／オ フ
Color
グ リ ーン／赤
Bar graph
kina26jp Chapter 4.fm
Acceleration x / y
Flow at calibration
sccm / sccm
Protec P3000 の 2 つの値
Pressure at calibration
Pa / Pa
Protec P3000 の 2 つの値
Protec P3000 の設定
4-29
メ ニ ュ ー項目
フ ォ ーマ ッ ト
説明
6 ページ ： I/O Port data （ I/O ポー ト デー タ ）
取扱説明書
こ れは現在の PIN 割当です。 デフ ォ ル ト 設定が図に表示 さ れてい ます。
AIN3 Sniffer length
V
AIN4 +5V II Leak
V
AIN5 +24V III ext
V
AIN6 +5V I Sniffer
V
AIN8 -15V MC50
V
AIN9 +15V MC50
V
AIN10 +24V MC50
V
AIN11 +24V I QMS
V
AIN12 +24V II
V
8 ページ ： Analog data （アナ ロ グデー タ ）
AIN0
V
AIN0 offset
V
Foreline pressure
Pa
4-30
Protec P3000 の設定
V
Flow
sccm
AIN2
V
kina26jp Chapter 4.fm
AIN1
( １２０２ )
7 ページ ： Analog data （アナ ロ グデー タ ）
メ ニ ュ ー項目
フ ォーマ ッ ト
説明
取扱説明書
9 ページ ： Info valves （バルブ情報）
V1: bypass
開／閉
V2: measure
開／閉
V3: purge inlet
開／閉
V4: purge sniffer
開／閉
V5: sniffer
開／閉
V6 / V7: HIGH FLOW
開 ／閉 ／ イ ン ス ト ール さ れ
ていない
Air pressure
Pa
Normal mode
Pa
Gross mode
Pa
Zero pressure
Pa
P3000XL 専用
10 ページ ： RS232 Info （RS232 情報）
ASCII 文字列
コ マ ン ド は メ イ ン ユニ ッ ト
か ら ス ニ フ ァ ーに送信
Sniffer ® Protec P3000
ASCII 文字列
コ マ ン ド は メ イ ン ユニ ッ ト
か ら ス ニ フ ァ ーに送信
Host ® Protec P3000
ASCII 文字列
コ マ ン ド はホ ス ト か ら
Protec P3000 に送信
Protec P3000 ® Host
ASCII 文字列
コ マ ン ド は Protec P3000 か
ら ホ ス ト に送信
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
Protec P3000 ® sniffer
Protec P3000 の設定
4-31
4.7
履歴 と 保守
View Error list （エ ラ ー リ
ス ト ノ エ ツ ラ ン）
エ ラ ー リ ス ト では、 リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの運転中に発生 し たすべてのエ ラ ー （お よ
び警告） が概説 さ れ ま す。 リ ス ト には、 エ ラ ーが発生 し た日付 と 時刻、 続い て エ
ラ ーま たは警告番号 （Exx はエ ラ ー、 Wxx は警告を意味 し ます） が、 短い説明 と と
も に表示 さ れ ます。 該当す る 行項目を ス ク ロ ール し た り 拡大鏡ボ タ ン を押 し た り
す る と 、 エ ラ ー メ ッ セージ あ る いは警告が フル ス ク リ ーン で表示 さ れ ます。
取扱説明書
履歴 と 保守には、 Protec P3000 の運転中に収集 さ れた履歴デー タ と 、 リ ー ク デ ィ テ
ク タ ーの保守の状態に関す る 情報を表示す る こ と がで き ます。
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
図 4-21 Protec P3000 のエ ラ ー リ ス ト の例
4-32
Protec P3000 の設定
Calibration history （ コ ウ セ
イ リ レ キ）
取扱説明書
こ の リ ス ト には、 Protec P3000 の運転中に実施 さ れたすべての校正の履歴が一覧で
き ます。 校正が実施 さ れた日付 と 時刻、 校正の種類 （ナ イ ブ／ガ イ ブ） 、 お よ び校
正係数が表示 さ れます。
図 4-22 Protec P3000 の校正履歴の例
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ー （標準ユーザーモー ド 専用）
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーの保守間隔は作動環境に依存 し 、 10 時間か ら 999 時
間の間の値に設定す る こ と がで き ます。 ¥ に設定 さ れ る と 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ
ル タ ー用の注意喚起 メ ッ セージが無効化 さ れ ます。
デフ ォ ル ト 値 ： 100 時間
保守作業実施方法に関す る 詳細は、 8 章 保守を参照 し て下 さ い。
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
保守間隔を変更せずに フ ィ ル タ が交換 さ れた事を確認で き た ら 「Ｏ Ｋ」 ボ タ ン を押
し て下 さ い。 カ ウ ン タ ーが再ス タ ー ト し ます。
図 4-23 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーの保守間隔設定お よ びその交換の確認
Protec P3000 の設定
4-33
Maintenance interval （ メ ン
テナン ス シ ュ ウ キ）
運転時間の期限が切れ る と 、 作業 を適切に行 う ための注意喚起の警告が出 さ れ ま
す。 注意喚起が出 さ れ る のは、 ダ イ ア フ ラ ム ポ ン プ と 本体エア フ ィ ル タ ーです。 5.1
節 （エ ラ ー メ ッ セージ と 警告） を参照 し て く だ さ い。
取扱説明書
「Maintenance interval」 （ メ ン テナン ス シ ュ ウ キ） サブ メ ニ ュ ーには、 本体の合計運
転時間のほか、 ダ イ ア フ ラ ム ポ ン プ、 ワ イ ズセ イ テ キ カ、 本体エア フ ィ ル タ ーの次
回の保守ま での時間 と 、 Wise Technology セ ンサーの最適化が表示 さ れ ます。
図 4-24 保守間隔 メ ニ ュ ーページの例
Maintenance history （ メ ン
テナン ス リ レ キ）
図 4-25 保守履歴 リ ス ト の例
4-34
Protec P3000 の設定
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
保守履歴 リ ス ト には、行われたすべての保守作業が表示 さ れ ます。表示 さ れ る のは、
保守作業が行われた日付 と 時刻、 その と き ま での装置の運転時間、 行われた保守の
種類です。各保守作業の詳細を表示す る には、該当す る 項目を選択 し 、「View」 （ ヒ ョ
ウ ジ） ボ タ ン を押 し ます。
取扱説明書
Confirm maintenance （ メ ン
テナン ス ノ カ ク ニ ン） (ADVANCED （ア ド バン
ス） モー ド の と き だけ有効
)
こ のサブ メ ニ ュ ーでは、 本体エア フ ィ ル タ ーの交換を確認す る こ と がで き 、 保守作
業が行われた日付 と その と き ま での運転時間が ソ フ ト ウ ェ アに保存 さ れ ます。
注記 ダ イ ア フ ラ ム ポ ン プの メ ン テナン ス は、 パ ス ワー ド で保護 さ れたサービ ス メ
ニ ュ ーにおいて、 訓練を受けたサービ ス マ ンだけが行っ て く だ さ い。
図 4-26 保守作業の確認
保守作業の実施方法については、 7 章 「保守」 を参照 し て く だ さ い。
PRO-Check 基準 リ ー ク のガ ス リ ザーバーを交換す る と き は、 新 し い交換用ガ ス リ
ザーバーのシ リ アル番号 と コ ー ド （校正デー タ を含む） を、 こ のサブ メ ニ ュ ーに入
力す る 必要があ り ます。PRO-Check 基準 リ ー ク のガ ス リ ザーバーの交換方法につい
ては、 7.7 節を参照 し て く だ さ い。
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
PRO-Check ヲ コ ウ カ ン シ
テ ク ダサ イ （ADVANCED
（ア ド バン ス） モー ド の と
き だけ有効 )
Protec P3000 の設定
4-35
取扱説明書
図 4-27 新 し い PRO-Check ガ ス リ ザーバーの起動
kina26jp Chapter 4.fm
( １２０２ )
注記 PRO-Check 警告時間の有効期限 （7.7.5 節を参照）。
4-36
Protec P3000 の設定
5
Protec P3000 の メ ッ セージ
取扱説明書
リ ー ク 検出の作業中、 Protec P3000 の LCD デ ィ ス プ レ イ には、 オペレー タ ーの作業
に役立つ様々な メ ッ セージが表示 さ れ ます。 測定デー タ 以外に も 、 装置の現在の状
態や作業上の ヒ ン ト が表示 さ れ る ほか、 警告やエ ラ ー メ ッ セージ も 表示 さ れます。
5.1
エ ラ ー メ ッ セージお よ び警告
Protec P3000 は、統合的な自己診断機能を備え てい ます。コ ン ト ロ ール基板がエ ラ ー
状態を検出す る と 、 表示可能な内容について、 LCD デ ィ ス プ レ イ に故障の内容を表
示す る こ と で、 オペレー タ ーに こ れを通知 し ます。
エ ラ ー メ ッ セージ
エ ラ ーが発生す る と 測定が途中で中断 さ れ、 Protec P3000 は自身で復帰で き ない状
態 と な り ます。 エ ラ ーは、 エ ラ ー番号 と と も に文章で LCD デ ィ ス プ レ イ に表示 さ
れます。
Protec P3000 は、エ ラ ー状態に留ま り ます。エ ラ ーの原因を排除 し てか ら 、 リ ス タ ー
ト のボ タ ン を押 し て装置に通知 し て く だ さ い。 こ れで、 Protec P3000 は測定モー ド
に戻 り ます。
測定の精度に影響を与え る 可能性があ る も のの、 測定を完全に中断 さ せ る ほ ど では
ない異常状態が検出 さ れた場合は、 警告 メ ッ セージが表示 さ れます。
以下の表
以下の表は、 デ ィ ス プ レ イ に表示 さ れ る すべてのエ ラ ー メ ッ セージ と 、 そのエ ラ ー
について考え ら れ る 原因 （ま たは対処法） を示 し た も のです。 原因 （ま たは対処法）
が記載 さ れていない項目につ き ま し ては、 お近 く の イ ン フ ィ コ ン サービ ス セ ン タ ー
ま でご連絡 く だ さ い （1.2.1 項を参照）。
( １２０２ )
以下の表には、 起 こ り 得 る ト ラ ブルに関す る すべてのエ ラ ー メ ッ セージ、 考え ら れ
る 原因な ら びに推薦す る ト ラ ブルシ ュ ーテ ィ ン グ が列記 さ れて い ま す。 ト ラ ブル
シ ュ ーテ ィ ン グが記載 さ れていない場合 ( あ る いは ト ラ ブルシ ュ ーテ ィ ン グの実行
後に も 問題が解決 さ れない場合 ) は、最寄の INFICON サービ ス セ ン タ ーにご連絡 く
だ さ い (1.2.1 章を参照 )。
注記 弊社へのお問い合わせの際は、 Protec P3000 のシ リ アル番号 と ソ フ ト ウ ェ ア
のバージ ョ ン番号をお手元にご用意 く だ さ い。
エ ラ ー メ ッ セージの表示には、 以下の よ う な略語が使用 さ れ ます。
kina26jp Chapter 5.fm
MC50 =
CPU 基板
エ ラ ー番
号
通知
表示内容
考え ら れ る 原因 （対処法）
E1
24V of the MC50 too low
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F1 が切れ
てい ます
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F1 を
交換す る *
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F2 が切れ
てい ます
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F2 を
交換す る *
（MC50 の 24V が低すぎ ます。）
E2
24V of sensor heating too low
（セ ンサー加熱用の 24V が低すぎ
ます。）
Protec P3000 の メ ッ セージ
5-1
通知
表示内容
考え ら れ る 原因 （対処法）
E3
24V II too low
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F3 が切れ
てい ます
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F3 を
交換す る *
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F4 が切れ
てい ます
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F4 を
交換す る *
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F5 が切れ
てい ます
マザーボー ド 上の フ ュ ーズ F5 を
交換す る *
PRO-Checkのエ レ ク ト ロ ニ ク ス が故障
し てい ます
PRO-Check 基準校正 リ ー ク を交
換す る 、 あ る いは最寄の
INFICON サービ ス セ ン タ ーにご
連絡 く だ さ い
マザーボー ド が故障 し てい ます
最寄の INFICON サービ ス セ ン
タ ーに ご連絡 く だ さ い
マザーボー ド が故障 し てい ます
最寄の INFICON サービ ス セ ン
タ ーに ご連絡 く だ さ い
セ ンサーエ レ ク ト ロ ニ ク ス に問題あ り
最寄の INFICON サービ ス セ ン
タ ーに ご連絡 く だ さ い
24V of the OPTION socket too low
（OPTION ソ ケ ッ ト の 24V が低すぎ
ます。）
W5
5V of the Sniffer is too low
（ス ニ フ ァ ーの 5V が低すぎ ます。）
W6
5V of the internal Leak too low
（内部校正 リ ー ク の 5V が低すぎ ま
す。）
E7
-15V of the MC50 is too low
（MC50 の -15V が低すぎ ます。）
E8
15V of the MC50 is too low
（MC50 の 15V が低すぎ ます。）
E9
High Voltage error
（高電圧エ ラ ーが発生 し てい ます。）
W11
Wise current unstable
（ ワ イ ズ電流が不安定。）
Wise Technology セ ン サーか ら の電流が
ス タ ー ト ア ッ プ後 20 分以内に安定 し
ない。 Protec P3000 が、 数日間使用 さ
れていなか っ た ため。 電流の安定には
時間が必要です。
Protec P3000 を再起動 し てみ る 。
それで も 問題が解決 さ れない場
合は、 最寄の INFICON サービ ス
セ ン タ ーに ご連絡 く だ さ い
E12
Wise Sensor not ignited
Wise Technology セ ン サーか ら の電流が
電源入電後 10 分以上経過 し て も 低過
ぎる
Protec P3000 を再起動 し てみ る 。
それで も 問題が解決 さ れない場
合は、 最寄の INFICON サービ ス
セ ン タ ーに ご連絡 く だ さ い
Wise Technology セ ン サー用の ヒ ー タ ー
コ ン ト ロ ールが故障 し てい ます
最寄の INFICON サービ ス セ ン
タ ーに ご連絡 く だ さ い
（Wise セ ン サーが点火 し てい ませ
ん。）
E13
Problem in Heater Control
（ ヒ ー タ ー コ ン ト ロ ールに問題があ
り ます。）
W14
Discharge gone out
（排気が行われてい ません。）
Wise Technology セ ン サーの感度に問題
あ り 、 あ る いは周囲にヘ リ ウ ム がない
( 例えばス ニ フ ァ ーが窒素で浄化 さ れ
てい る )
2 時間ご と の警告時間
W17
Fore pump service interval expired!
（予備ポ ン プのサービ ス作業の時期
が過ぎ てい ます。）
W18
Air filter service interval expired!
（エア フ ィ ル タ ーのサービ ス作業の
時期が過ぎ てい ます。）
E19
No communication with Wise ADC
（Wise ADC と の通信があ り ませ
ん。）
5-2
Protec P3000 の メ ッ セージ
警
告
校正お よ び自己診断 し て く だ さ
い。
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を新鮮な空気
につないで再起動 し てみ る 。 それで も 問題が解決 さ れない場
合は、 最寄の INFICON サービ ス
セ ン タ ーに ご連絡 く だ さ い
最後の補助ポ ン プの保守か ら 、 10,000
稼動時間以上経過 し てい る
ダ イ ア フ ラ ム ポ ンプの メ ン ブ ラ
ン を交換す る *
最後の メ イ ン･エア フ ィ ル タ ーの保守
か ら 、 10,000 稼動時間以上経過 し てい
る
メ イ ン･エア フ ィ ル タ ーを洗浄あ
る いは交換す る 。 7.2 章を参照
Wise Technology セ ン サーが故障、 あ る
いは CPU 基板が故障 し てい ます
最寄の INFICON サービ ス セ ン
タ ーに ご連絡 く だ さ い
( １２０２ )
W4
kina26jp Chapter 5.fm
（24V II が低すぎ ます。）
取扱説明書
エ ラ ー番
号
エ ラ ー番
号
通知
表示内容
考え ら れ る 原因 （対処法）
E20
Temperature at electronic unit is
too high (>60°)
周囲温度が高過ぎ る
周囲温度を下げ る 、 あ る いは
Protec P3000 を涼 し い場所へ置
く。
ベンチ レーシ ョ ン に欠陥あ り
メ イ ン ユニ ッ ト の両サ イ ド の
フ ァ ンが作動 し てい る か、
チ ェ ッ ク す る ( メ イ ン ユニ ッ ト
ケース の両サ イ ド の イ ン レ ッ ト
を通 し て通風があ る かチ ェ ッ ク )
エア フ ィ ル タ ーの汚れ
メ イ ン･エア フ ィ ル タ ーを洗浄あ
る いは交換す る 、 7.2 章を参照
RC バージ ョ ン のみ : RC- ド ラ イ バー
基板上の フ ュ ーズが切れてい ます。
RC- ド ラ イ バー基板上の フ ュ ー
ズ を交換す る *
ス ニ フ ァ ーが ス タ ー ト ア ッ プ中に校正
ポー ト に挿入 さ れた、　あ る いは内部
較正プ ロ セ ス中に ス ニ フ ァ ーを取 り 外
す必要が発生 し た
ス ニ フ ァ ーを PRO-Check の校正
ポー ト か ら 外 し ます
PRO-Check の ラ イ ト バ リ アの汚れ
プ レ ス エアで洗浄そ し て / あ る
いは清潔な布でふ き 取 る
CPU 基板が交換 さ れてい る
日付け と 時間を設定す る 4.4.5 章
を参照
CPU 基板上のバ ッ テ リ ーの故障
CPU 基板を交換す る *
Wise Technology セ ンサーの電流が基準
値を超え てい る
Protec P3000(XL) の電源を切 ら な
いで く だ さ い !!!
急いで ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を通 し
て フ レ ッ シ ュ エア を供給 し 、
Protec P3000 を再起動す る 、 そ し
て Protec P3000 が正常作動す る
か、 確認す る ！ それで も 問題
が解決 さ れない場合は、 最寄の
INFICON サービ ス セ ン タ ーに ご
連絡 く だ さ い
最後の校正以来、 流量が 30% 以上変動
し た ( 変動が再び 20% 以下に減少す る
場合、 警告は出ない )。
イ ン ス ツル メ ン ト を再校正す る
（3.5 章を参照）、 ま たは ス ニ
フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ ーを交
換す る
取扱説明書
（電子ユニ ッ ト の温度が高すぎ ます
（>60 ℃）。）
W24*
24V for the ext. control unit too low
（ コ ン ト ロ ールユニ ッ ト への ２ ４ V
電圧が低すぎ ます。）
E25
Remove sniffer from CAL port
（CAL ポー ト か ら ス ニ フ ァ ーを外
し て く だ さ い。）
W28
Real time clock reset! Please enter
date and time!
（ リ アル タ イ ム ク ロ ッ ク が リ セ ッ ト
さ れてい ます。 日付 と 時刻を入力
し て く だ さ い 。）
E32
Wise Technology current too high
（Wise Technology の電流が高すぎ
ます。）
W34
Flow has changed!
kina26jp Chapter 5.fm
( １２０２ )
（流量が変わ り ま し た。）
Protec P3000 の メ ッ セージ
5-3
通知
表示内容
W35
Flow through sniffer is too low
LOW FLOW モー ド にて実際流量が下
限流量 よ り も 低い、
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内の フ ィ ル タ ーの詰
まり
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換す る 、 7.4 章を参照
キ ャ ピ ラ リ ーの詰ま り
ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ ー
を交換す る ( フ ェ ル ト フ ィ ル
タ ー、 キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ー
そ し て / ま たは SL3000XL ス ニ
フ ァ ー ラ イ ン の フ ィ ル タ ーパ ッ
ド ) 7.4 章を参照、　ま たはプ ロ ーブケーブルを交換
す る *、　内部フ ィ ル タ ーを交換
す る *、　下限流量を下げ る (4.4.1 章を参照
)
メ イ ン ユニ ッ ト の フ ィ ル タ ーの詰ま り
下限流量の設定が高過ぎ る
E37
Flow through sniffer line too low
（ス ニ フ ァ ーを通 し た流量が高過ぎ
る 。）
E38
実際流量値が上限流量値 よ り も 高い (
低流量 と 高流量モー ド で )、 あ る いは
実際圧値が上限圧値 よ り も 高い ( 高流
量モー ド のみ ):
キ ャ ピ ラ リ ーの破損あ る いは漏れ
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を交換す る あ る いは
プ ロ ーブケーブルを交換す る *、
下限流量の設定が低過ぎ る
下限流量値を上げ る 4.4.1 章
を参照 補助ポ ン プが故障 し てい ます。
最寄の INFICON サービ ス セ ン
タ ーに ご連絡 く だ さ い
（バルブ詰 り が発生 し ま し た。）
セルフ テ ス ト 中にバルブ詰ま り のバー
ジ ョ ンが認識で き ない
最寄の INFICON サービ ス セ ン
タ ーに ご連絡 く だ さ い
Ratio of HIGH FLOW to LOW FLOW
failed
HIGH FLOW （高流量） での P3000XL
のみ ：
( 高流量 か ら 低流量 の比率が不合
格です。 )
HIGH FLOW モー ド での流量が、 LOW
FLOW モー ド での流量の 5 倍以下
( ス ター ト ア ッ プ中あ る いは校正中のみ )
Pump error
（ポ ン プ故障が発生 し ま し た。）
W39
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内フ ィ ル タ ーの詰ま
り
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換 し て再校正 (7.4 章を参照 )
メ イ ン ユニ ッ ト の内部フ ィ ル タ ーの詰
まり
内部フ ィ ル タ ーを交換 * し て再
校正
低流量･キ ャ ピ ラ リ ーで漏れあ り 内部
漏れ
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を交換 し て再
校正
それで も 問題が解決 さ れない場
合は、 最寄の INFICON サービ ス
セ ン タ ーに ご連絡 く だ さ い！
kina26jp Chapter 5.fm
W40
Valve block error!
( １２０２ )
( ス ニ フ ァ ーの流量が低すぎ ます。）
考え ら れ る 原因 （対処法）
取扱説明書
エ ラ ー番
号
5-4
Protec P3000 の メ ッ セージ
エ ラ ー番
号
通知
W41
HIGH FLOW
表示内容
too low
( 高流量の流量が低い）
考え ら れ る 原因 （対処法）
HIGH FLOW （高流量） での P3000XL
のみ :
取扱説明書
実際流量がハ イ フ ロ ーモー ド で下限流
量 よ り も 低い、 あ る いは Wise
Technology セ ン サーでの実際圧が制限
圧以下
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内フ ィ ル タ ーの詰ま
り
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換す る (7.4 章を参照 )
メ イ ン ユニ ッ ト の内部フ ィ ル タ ーの詰
まり
内部フ ィ ル タ ーを交換 * す る
ロ ーフ ロ ー･キ ャ ピ ラ リ ーで漏れあ り
内部漏れ
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を交換す る 。
あ る いは : プ ロ ーブケーブルを
交換す る *
7 章を参照
W42
Pressure at calibration differs between
HIGH and LOW FLOW
( ス タ ー ト ア ッ プ中あ る いは校正中
のみ )
（HIGH FLOW と LOW FLOW の間の校
正の圧力差があ り ます。）
Wise Technology セ ンサーでの圧力が
LOW FLOW モー ド と HIGH FLOW
モー ド 間で異な る ( ス タ ー ト ア ッ プ中
あ る いは校正中のみ )
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内の フ ィ ル タ ーの詰
まり
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換 し て再校正 (7.4 章を参照 )
メ イ ン ユニ ッ ト の内部フ ィ ル タ ーの詰
まり
内部フ ィ ル タ ーを交換 * し て再
校正
キ ャ ピ ラ リ ーの詰ま り
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を交換 し て再
校正。 あ る いは : プ ロ ーブケー
ブルを交換す る *
kina26jp Chapter 5.fm
( １２０２ )
7 章を参照
Protec P3000 の メ ッ セージ
5-5
通知
表示内容
W53
Flow at calibration out of limits.
LOW FLOW （低流量） での、 Protec
P3000XL ま たは Protec P3000 の ど ち ら
か:
校正時の流量が上限流量値 よ り も 高
い、 あ る いは下限流量値 も し く は下限
流量エ ラ ー値 ( ユ ウ コ ウ の場合、 ど ち
ら か先に来たほ う ) よ り も 低い
W54
Flow at calibration out of limits.
( 校正時の流量が リ ミ ッ ト を超過 し
てい ます。 )
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内の フ ィ ル タ ーの詰
ま り！
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換 し て再校正 し て く だ さ い！
(7.4 章を参照 )
メ イ ン ユニ ッ ト の内部フ ィ ル タ ーの詰
まり
内部フ ィ ル タ ー * を交換 し て再
校正 し て く だ さ い
( 低流量 ) キ ャ ピ ラ リ ーか ら の漏れ
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を交換す る ( あ
る いは ： プ ロ ーブケーブル * を
交換す る )、 そ し て再校正 し て く
ださい
流量制限値あ る いは下限流量エ ラ ー値
の不良設定 (LOW FLOW モー ド 用 )
流量制限設定値お よ び下限流量
エ ラ ー値をチ ェ ッ ク (LOW FLOW
モー ド 用 ) し て く だ さ い。 4.4.1 章
を参照
HIGH FLOW （高流量） での Protec
P3000XL のみ ：
校正時の流量が上限流量値 よ り も 高
い、 あ る いは下限流量値 も し く は下限
流量エ ラ ー値 ( ユ ウ コ ウ の場合、 ど ち
ら か先に来たほ う ) よ り も 低い
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内の フ ィ ル タ ーの詰
まり
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換 し て再較正 し て く だ さ い。
(7.4 章を参照 )
メ イ ン ユニ ッ ト の内部フ ィ ル タ ーの詰
まり
内部フ ィ ル タ ー * を交換 し て再
較正 し て く だ さ い
プ ロ ーブケーブル内の リ ー ク
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を交換す る ( あ
る いは ： プ ロ ーブケーブル * を
交換す る )、 そ し て再校正 し て く
ださい
流量制限値設定お よ び下限流量
エ ラ ー値 ( 高流量モー ド 用 ) を
チ ェ ッ ク し て く だ さ い。 4.4.1 章
を参照
kina26jp Chapter 5.fm
流量制限値あ る いは下限流量エ ラ ー値
の不良設定 ( 高流量モー ド 用 )
( １２０２ )
（校正時の流量が リ ミ ッ ト を超過 し
てい ます。）
考え ら れ る 原因 （対処法）
取扱説明書
エ ラ ー番
号
5-6
Protec P3000 の メ ッ セージ
エ ラ ー番
号
通知
表示内容
E55
(Flow through sniffer below error
limit.)
LOW FLOW （低流量） での、 Protec
P3000XL ま たは Protec P3000 の ど ち ら
か:
取扱説明書
ス ニ フ ァ ーを通 し た流量がエ ラ ー
制限値を下回 る
E56
(High Flow below error limit)
（高流量の設定エ ラ ー値を こ え ま し
た。）
考え ら れ る 原因 （対処法）
低流量モー ド で、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を
通 し た流量が下限流量エ ラ ー値を下回
る
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内の フ ィ ル タ ーの詰
ま り！
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換 し て再校正 し て く だ さ い (7.4
章を参照 )
メ イ ン ユニ ッ ト の内部フ ィ ル タ ーの詰
まり
内部フ ィ ル タ ー * を交換 し て再
校正 し て く だ さ い
低流量モー ド の下限流量エ ラ ー値が高
すぎ る
低流量モー ド の下限流量エ ラ ー
値をチ ェ ッ ク し て く だ さ い！
4.4.1 章を参照
High Flow （高流量） での Protec
P3000XL のみ ：
高流量モー ド での ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を
通 し た流量が下限流量エ ラ ー値以下、
あ る いは Wise Technology セ ンサーで
の圧力が対応す る 下限圧力値 よ り も 低
い
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン内の フ ィ ル タ ーの詰
ま り！
メ イ ン ユニ ッ ト の内部フ ィ ル タ ーの詰
まり
高流量モー ド の下限流量エ ラ ー値が高
すぎ る
W59
EEPROM parameter queue
overflow!
( １２０２ )
All EEPROM parameter lost!
（EEPROM のすべてのパ ラ メ ー
タ ーが失われてい ます。）
W61
EEPROM parameter initialised!
kina26jp Chapter 5.fm
（EEPROM のパ ラ メ ー タ ーが初期
化 さ れてい ます。）
内部フ ィ ル タ ー * を交換 し て再
校正 し て く だ さ い
高流量モー ド の下限流量エ ラ ー
値をチ ェ ッ ク し て く だ さ い！
4.4.1 章を参照
古いバージ ョ ンの ソ フ ト ウ ェ アか ら
ア ッ プデー ト さ れた場合、 発生 し 得 る
Protec P3000 を再起動 し てみ る 。
それで も 問題が解決 さ れない場
合は、 最寄の INFICON サービ ス
セ ン タ ーにご連絡 く だ さ い
新規の EEPROM が イ ン ス ト ール さ れ
てい る 、 マザーボー ド の EEPROM が
空状態
ソ フ ト ウ ェ ア･ メ ニ ュ ー内のすべ
ての設定はデフ ォ ル ト に リ セ ッ
ト さ れてい る 。 再設定 し て く だ
さ い。
ス タ ー ト ア ッ プ中に メ ッ セージが再度
表示 さ れ る 場合は、 マザーボー ド の
EEPROM が故障
EEPROM を交換す る *
ソ フ ト ウ ェ アのア ッ プデー ト が実行 さ
れ、 新規パ ラ メ ー タ が導入 さ れ ま し た
警告に し たが う
（EEPROM パ ラ メ ー タ ーキ ュ ーが
オーバーフ ロ ー し てい ます。）
W60
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーを
交換 し て再校正 し て く だ さ い (7.4
章を参照 )
新規に導入 さ れたパ ラ メ ー タ は警告に
リ ス ト される
ス タ ー ト ア ッ プ中に メ ッ セージが再度
表示 さ れ る 場合は、 マザーボー ド の
EEPROM が故障 し てい ます
EEPROM を交換す る *
Protec P3000 の メ ッ セージ
5-7
通知
表示内容
考え ら れ る 原因 （対処法）
W62
EEPROM parameter lost! Please
check your settings!
パ ラ メ ー タ が ソ フ ト ウ ェ ア ア ッ プデー
ト 中に変更 さ れ、 デフ ォ ル ト 値に リ
セ ッ ト さ れた。 影響を受け たパ ラ メ ー タ は警告に リ ス
ト される
変更 さ れたパ ラ メ ー タ の設定を、
該当す る ソ フ ト ウ ェ ア･ メ ニ ュ ー
でチ ェ ッ ク し 、 希望す る 値に
セッ ト して く ださい
ス タ ー ト ア ッ プ中に メ ッ セージが再度
表示 さ れ る 場合は、 マザーボー ド の
EEPROM が故障
EEPROM を交換す る *
確認後に も い ま だに 2 時間毎に、 あ る
いは電源を入れ る 度に警告が発生す る
警告を再度チ ェ ッ ク し て く だ さ
い
新 PRO-Check 基準校正 リ ー ク が メ イ
ン ユニ ッ ト に イ ン ス ト ール さ れた
シ リ アル番号 と コ ー ド を入力 し
て く だ さ い。
（EEPROM のパ ラ メ ー タ ーが失わ
れてい ます。 設定をチ ェ ッ ク し て
く だ さ い。）
W64
There are outstanding warnings!
（解決 さ れていない警告があ り ま
す。）
W66
PRO-Check virgin!
（新品の PRO-Check！）
取扱説明書
エ ラ ー番
号
4.7 章を参照、 PRO-Check を交換
する
W67
PRO-Check will be expired at
DD.MM.YYYY
差 し 迫っ た期限切れに対す る 警告は、
実際の期限切れの 14、 30、 60、 ま たは
90 日前に調整 し て出 さ れ ます。
新 し い PRO-Check ガ ス リ ザーブ
を注文 し て く だ さ い！ ( カ タ ロ グ
番号 ： 521-010)
（PRO-Check の使用期限が切れ ま
し た。）
PRO-Check が 1 年以上に渡っ て使用 さ
れた、 あ る いは 2 年以上前に製造 さ れ
た
新 し い PRO-Check ガ ス リ ザーブ
を交換 し て く だ さ い！ 7.7 章を参
照
All EEPROM parameter of PROCheck lost!
PRO-Check の EEPROM が空、 あ る い
は故障 し てい ます。
PRO-Check を交換 し て く だ さ い
PRO-Check と メ イ ン ユニ ッ ト 間に電気
的接続がない、 あ る いは故障 し てい ま
す。
PRO-Check と メ イ ン ユニ ッ ト の
接続をチ ェ ッ ク す る 。 それで も
問題が解決 さ れない場合は、 最
寄の INFICON サービ ス セ ン タ ー
にご連絡 く だ さ い！
PRO-Check が メ イ ン ユニ ッ ト に イ ン ス
ト ール さ れていない
PRO-Check を イ ン ス ト ール し て
く ださい !
PRO-Check が使用で き ない
ソ フ ト ウ ェ ア･ メ ニ ュ ーで PROCheck を無効にす る 。 4.5.6 章を
参照
PRO-Check と メ イ ン ユニ ッ ト 間に電気
的接続がない、 あ る いは故障
ス ニ フ ァーラ イ ン と メ イ ンユ
ニ ッ ト 間の接続をチ ェ ッ ク す る (
一旦外 し て再度接続 し てみ る 、
可能な ら 他の ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
を接続 し てみ る )、 それで も 問題
が解決 さ れない場合は、 最寄の
INFICON サービ ス セ ン タ ーにご
連絡 く だ さ い
（ こ の PRO-Check は～に期限切れ
にな り ます。）
W68
W70
PRO-Check expired!
W71
No communication with PROCheck!
（内部校正 PRO-Check と の通信が
あ り ません。）
W72
No communication with Sniffer!
kina26jp Chapter 5.fm
（ス ニ フ ァ ー と の通信があ り ませ
ん。）
( １２０２ )
（PRO-Check の EEPROM のパ ラ
メ ー タ ーがすべて失われてい ま
す。）
5-8
Protec P3000 の メ ッ セージ
エ ラ ー番
号
通知
表示内容
考え ら れ る 原因 （対処法）
W78
Signal difference between calibrated
leak and air too small!
校正 し た リ ー ク が少な過ぎ る / 校正中
あ る いはテ ス ト 中に空にな る
検査 リ ー ク の リ ー ク レー ト を
チ ェ ッ ク す る 、 あ る いは よ り 高
い リ ー ク レー ト の リ ー ク を使用
する
校正中でのバ ッ ク グ ラ ウ ン ド が高過ぎ
る
ヘ リ ウ ム のバ ッ ク グ ラ ウ ン ド を
チ ェ ッ ク す る 4.6 章 イ ン フ ォ
ページ 2 を参照
エア信号が安定す る ま で十分な時間が
経っ ていない ( 「OK」 ボ タ ン を押すの
が早い。 )
校正を再実行 し 、 エア信号が安
定す る ま で十分な時間を取 る
取扱説明書
（校正 さ れた リ ー ク と 空気の信号差
が小 さ すぎ ます。）
E81
Calibration factor too low!
（校正係数が低すぎ ます。）
校正中に、 < 0.1 の校正係数が測定 さ れ
た
検査 リ ー ク の リ ー ク レー ト が正 し く な
い ( 特に外部校正中 )
E82
Calibration factor too high!
（校正係数が高すぎ ます。）
W86
Internal Calibration not possible
（内部校正が実施で き ません。）
E87
W88
校正中に、 > 10 の校正係数が測定 さ れ
た
検査 リ ー ク の リ ー ク レー ト が正 し く な
い ( 特に外部校正中 )
検査 リ ー ク 値の正 し い設定を
チェ ッ ク し て く ださい
検査 リ ー ク が正 し く 吸引 さ れていない
/ 吸引時間が短すぎ る
検査 リ ー ク が正 し く 吸引 さ れ る
よ う に十分な効果時間を取っ て、
較正を再実行す る
校正の実行時に測定モー ド にな っ てい
ない
Protec P3000 が測定モー ド に切 り
替わ る ま で待つ
Not supported gas in PRO-Check
（PRO-Check がサポー ト し ていな
いガ ス です。）
内部校正時あ る いはテ ス ト 機能の起動
中にだけ発生す る
ECO-Check が間違え て イ ン ス ト ール
さ れた、　PRO-Check の EEPROM がプ
ロ グ ラ ム さ れていない
ECO-Check を取 り 出 し 、 PROCheck を イ ン ス ト ール し て く だ さ
い ! PRO-Check 基準校正 リ ー ク
を交換 し て く だ さ い
PRO-Check defekt
内部校正時あ る いはテ ス ト 機能の起動
中にだけ発生す る ： 温度セ ン サーが
故障
PRO-Check 基準校正 リ ー ク を交
換し て く だ さ い !
Protec P3000 がヘ リ ウ ム で汚染 さ れて
いる
Protec P3000(XL) の電源を切 ら な
いで下 さ い !!! ス ニ フ ァ ー ラ イ ン
への フ レ ッ シ ュ エアの供給中は
Protec P3000 を作動 さ せてお く こ
と ( 警告が解除 さ れ る ま で )。 こ
の警告がたびたび発生す る 場合
には、 汚染 リ ミ ッ ト 値を上げて
く ださい
（PRO-Check に欠陥があ り ます。）
W89
検査 リ ー ク 値の正 し い設定を
チェ ッ ク し て く ださい
Overrange!
( １２０２ )
（範囲を超え てい ます。）
ヘ リ ウ ム のバ ッ ク グ ラ ウ ン ド を
チ ェ ッ ク す る 4.6 章 イ ン フ ォ
ページ 2 を参照
kina26jp Chapter 5.fm
外部校正での検査 リ ー ク 値が高過ぎ る
E90
Calibration conditions not
maintained
（校正の条件が守てい ません。）
内部校正中に ス ニ フ ァ ーを動か し た /
内部校正が中断 さ れた
外部校正用に よ り 低い検査 リ ー
ク 値を使用 し て く だ さ い
再度内部校正を行 う
* * 公認の INFICON サービ ス エ ン ジニ アだけが実行で き ます。
Protec P3000 の メ ッ セージ
5-9
5-10
Protec P3000 の メ ッ セージ
kina26jp Chapter 5.fm
( １２０２ )
取扱説明書
6
機器の接続
取扱説明書
Protec P3000 には、 2 つの電気調節 コ ネ ク タ ーが備え ら れてい ます。 さ ら に別の電
気接続部 （ヘ ッ ド フ ォ ン、 I/O ポー ト 、 お よ び RS232 ポー ト ） が、 装置背面の電源
コ ー ド ソ ケ ッ ト のす ぐ 横にあ り ます。
6.1
I/O ポー ト （コ ン ト ロ ールの入出力）
警
告
最大電圧が 60V DC あ る いは 25V AC の最大電圧の入出力の全ての接触は、 接地ま
たは接地装置導線を越えてはいけ ません。 入出力の型式に準 じ て、 低電圧に し なけ
ればいけ ません。
I/O ポー ト を使用す る こ と に よ り 、Protec P3000 の機能の一部を外部か ら コ ン ト ロ ー
ル し た り 、 測定デー タ や装置の ス テー タ ス を外部装置へ伝送 し た り で き ます。
リ レー切換接点を介 し て、ト リ ガーレベルお よ び Protec P3000 の動作モー ド （Ready）
を モニ タ ーす る こ と がで き ます。
リ ニア 0.100 V
対数 1000 V
リ ーク
準備完了
エラー
校正安定
24 V 出力
ス タ ンバ イ
ゼロ
エ ラ ー消去
( １２０２ )
校正中止
不使用
リ ーク
準備完了
校正
kina26jp Chapter 6.fm
図 6-1 ピ ン割当
6.1.1
グ ラ ウ ン ド コ ネ ク ター
ピ ン 2、 3、 18、 19、 21 はグ ラ ウ ン ド コ ネ ク タ ーです。
機器の接続
6-1
6.1.2
24V 出力
6.1.3
PLC 入力
こ れ ら の入力は、 Protec P3000 を プ ロ グ ラ マブル ロ ジ ッ ク コ ン ト ロ ール (PLC) に よ
り 制御す る ために使用す る こ と がで き ます。
取扱説明書
ピ ン 6 は PLC 入出力を供給す る ための +24 V 出力で、 内部が ヒ ュ ーズ F4 に よ り 保
護 さ れてい ます。
注 意
許容最大入力電圧は 28V です。
技術デー タ
24V 公称入力
最大 28V 設計
ロ ーレベル ： 0 ﾉ 7 V
ハ イ レベル ： 13 ﾉ 28 V
ピ ン割当 （デフ ォ ル ト ）
ス タ ンバ イ
8
エ ラ ー消去
9
校正中止
13
校正
20
ゼロ
25
不使用
PLC 入力は、 すべて コ マ ン ド リ ス ト か ら 定義す る こ と がで き ま す。 コ マ ン ド は、
Settings （セ ッ テ ィ ン グ） / Interfaces （ イ ン タ ーフ ェ イ ス） / Select PLC inputs （Select
PLC Input） サブ メ ニ ュ ーで選択す る こ と がで き ます。 こ のサブ メ ニ ュ ーの詳細につ
いては、 4.4.4 節を参照 し て く だ さ い。 選択 し てい る コ マ ン ド は INFO ページ #7 に
表示す る こ と がで き ます。
( １２０２ )
ピ ン デフ ォ ル ト コ マ ン ド
7
ス タ ンバ イ
ス タ ンバ イ 機能を有効にす る と き は、 「low」 （低） か ら 「high」 （高） に切 り 替え ます。
kina26jp Chapter 6.fm
ス タ ンバ イ 機能を無効 （ウ ェ イ ク ア ッ プ） にす る と き は、 「high」 （高） か ら 「low」
（低） に切 り 替え ます。
6-2
機器の接続
校正
校正 リ ー ク か ら の信号が十分安定 し 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プが校正 リ ー ク か ら 離れた
後、校正プ ロ セ ス を開始 し 、校正の実行を確認 し ます （下記の校正 タ イ ミ ン グチ ャ ー
ト を参照 し て く だ さ い）。
取扱説明書
校正中止
校正プ ロ セ ス の途中で校正を いつで も 中止 し ます。
ゼロ
ゼ ロ 機能を実行 し ます （ゼ ロ ボ タ ン を押すの と 同 じ です）。
エ ラ ー消去
警告ま たはエ ラ ー メ ッ セージ を認識 し ます。 校正の継続中に使用す る と 、 校正は中
止 さ れます。
6.1.4
PLC 出力
こ れ ら の出力は、 Protec P3000 を プ ロ グ ラ マブル ロ ジ ッ ク コ ン ト ロ ール (PLC) に よ
り 監視す る ために使用す る こ と がで き ます。
PLC 出力は 「オープ ン コ レ ク タ ー出力」 ま た は リ レ ー出力 と し て設計 さ れ ま す。
オープン コ レ ク タ ー出力の 「エ ラ ー」 については、 下記に記載 し てい る 例を参照 し
て く だ さ い。
I/O Port (open
collector
入出力ポー
ト （オープン
コ レoutput)
ク タ ー出力）
24 V
6
( １２０２ )
10 K Ω
17
エ ラ ー稼働
0V
Error
active =＝ 0 Volt
エ ラ ー非稼働＝
V
Error
inactive = 2424
Volt
kina26jp Chapter 6.fm
図 6-2 オープン コ レ ク タ ー出力の 「エ ラ ー」 回路
機器の接続
6-3
技術デー タ
注 意
オープ ン コ レ ク タ ー出力
取扱説明書
許容最大入力電圧及びオープ ン コ レ ク タ ー出力回路は 28V;50ｍA です。
有効 = 低
ピ ン割当
ピ ン コ マ ン ド （変更不可）
4
準備完了
5
校正安定
16
リ ーク
17
エラー
準備完了
Protec P3000 の測定準備が完了 し てい る と き は、 信号が low （低） にな り ます。
校正安定
校正中に検出 さ れた信号が十分安定す る と 、 信号は low （低） にな り 、 バ ッ ク グ ラ
ウ ン ド 信号が十分安定 し た後、 high （高） に戻 り ます。
リ ーク
プ リ セ ッ ト ト リ ガーレベルを超え る と 、 信号は low （低） にな り ます。
警告ま たはエ ラ ー メ ッ セージが有効にな る と 、 信号は low （低） にな り ます。
6.1.4.1
リ レー出力
( １２０２ )
エラー
技術デー タ
最大定格荷重出力は、 60 V DC / 25 V AC で、 １ リ レーあ た り 1 A です。
リ レー
ア ク テ ィ ブ ノ ーマルオープ ン （NO）
6-4
機器の接続
kina26jp Chapter 6.fm
注 意
取扱説明書
ピ ン割当
ピン
接続 タ イ プ
コ マ ン ド （編集不可）
22,10
通常閉 （NC）
リ ーク
22, 23
通常開 （NO）
11,24
通常閉 （NC）
11,12
常時開 （NO）
準備完了
リ ーク
リ レーは、 プ リ セ ッ ト ト リ ガーレベルが超え た場合にオ ン にな り ます。
準備完了
リ レーは、 Protec P3000 の測定の準備がで き てい る な ら ば、 作動中 （開いてい る 状
態） にな り ます。
6.1.4.2
レ コーダ出力
技術デー タ
アナ ロ グ出力
0 ﾉ 10 V
最大 1mA
ピ ン割当
ピ ン コ マン ド
1
リ ー ク レー ト 、 アナ ロ グ出力、 均等目盛
14
リ ー ク レー ト 、 アナ ロ グ出力、 対数目盛
kina26jp Chapter 6.fm
( １２０２ )
詳細については、 4.5.2 （ レ コ ーダー出力） を参照 し て く だ さ い。
機器の接続
6-5
6.1.5
校正の実行方法
Leak
rate
リ ーク
レー ト
取扱説明書
Cal
(Input)
校正（入力）
Ready
(Output)
準備完了（出力）
Cal
stable (Output)
校正安定（出力）
Measurement
ヘ リ ウ ム測定
helium
Measurement
空気測定
air
図 6-3 校正プ ロ セ ス を開始す る と き は、 ス ニ フ ァ ープ ロ ーブチ ッ プ を校正 リ ー ク の前に置
いた後、 校正入力を HIGH （高） にセ ッ ト し ます。 校正プ ロ セ ス が開始す る と 、 準備
完了信号が high （高） にな り ます。
注記 電源オ ン の後 20 分以内に校正が開始す る と 、 警告が出ます。 Error （エ ラ ー）
出力信号が low （低） にな り 、 Ready （準備完了） 信号が high （高） （準備完
了でない） にな り ます。 その場合、 校正は Clear Error （エ ラ ー消去） 入力信
号を high （高） にセ ッ ト す る ま で開始 し ません （校正はセ ッ ト し た後に開始
し ます） 。 校正を中止す る と き は、 Calibration Abort （校正中止） 入力信号を
high （高） にセ ッ ト し ます。
校正プ ロ セ ス が開始 し 、 信号が十分安定す る と 、 Protec P3000 の校正安定出力信号
が low （低） にな り ます。 その後、 ス ニ フ ァ ープ ロ ーブチ ッ プ を校正 リ ー ク か ら 離
し 、 校正入力を low （低） に戻 し ます。
校正中にエ ラ ーが発生 し た場合、 エ ラ ー消去入力信号に よ り エ ラ ーが消去 さ れ る ま
で、 準備完了出力信号は high （高） の ま ま変わ り ません。
6.2
( １２０２ )
校正安定出力信号は low （低） の ま ま ですが、 バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 信号が十分安定す
る と 、 high （高） に戻 り ます。 こ の と き 校正が終了 し 、 校正プ ロ セ ス の結果が メ イ
ンデ ィ ス プ レ イ に 3 秒間表示 さ れ ます。 その後、 メ イ ンデ ィ ス プ レ イ は測定モー ド
に戻 り ます。 そ し て、 準備完了出力信号は low （低） に戻 り ます。
校正中、 最後の校正信号の前に、 中止ま たはエ ラ ー消去が送信 さ れ る と 、 校正プ ロ
セ ス は中止 さ れ ます。
RS232 イ ン タ ーフ ェース
RS232 イ ン タ ーフ ェース を使用す る こ と に よ り 、 Protec P3000 の外部 コ ン ト ロ ール
だけでな く 、 テ ス ト 結果を記述す る デー タ を送出す る こ と がで き ます。
RS232 イ ン タ ーフ ェース と その コ マ ン ド の詳細については、「Protec P3000 イ ン タ ー
フ ェ ース説明書」 （kins26e1） を参照 し て く だ さ い。
6-6
機器の接続
kina26jp Chapter 6.fm
RS232 イ ン タ ーフ ェース の設定方法については、 4.5 項を参照 し て く だ さ い。
7
保守
警
告
取扱説明書
Protec P3000 の保守作業を実施す る 場合は、 最初に電源を必ず切 り 離 し て く だ さ
い。
7.1
保守の ス ケ ジ ュール
必要な ツール
ド ラ イ バー （サ イ ズ 2） 2 本
･
めがねレ ンチ （19 mm） 1 本
･
6 角 ド ラ イ バー （8 mm） ： Protec P3000 に同梱 さ れてい ます。
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
･
保守
7-1
7-2
サブ
部品
アセ ン ブ リ ー
説明
焼結フ ィ ル タ ーのチ ェ ッ ク と 必要な場合の交換
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ用焼結フ ィ ル タ ー
SL3xx、 SL3000-x （5 個）
W35 の 「流量が低すぎ る 」 場合の交換
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ー用フ ェ ル ト ： 200 001 116
SL3xx、 SL3000-x （50 個）
（XL) 200 002 251
必要な保守
保守
必要に応 じ て、 内部フ ィ ル タ ーを点検 し 、 交換 し
本体
て く だ さ い。
内部フ ィ ル タ ー （10 個）
ダ イ ア フ ラ ムポンプ
MVP015
部品 No.
200 03 500
2000
5000
I
1)
I
（XL) 200 002 261
200 03 504
シ ャ ーシ底部のエア フ ィ ル タ ーの ク リ ーニ ン グ ま
本体
たは交換
エア フ ィ ル タ ー
（104x154 mm、 5 枚）
200 001 552
ガ ス リ ザーバーの交換 （1 年ご と ）
PRO-Check
交換用ガ ス リ ザーバー
PRO-Check 用
521-010
フ ィ ル タ ーパ ッ ド 交換
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ
フ ィ ルター
SL3000-XL
200 002 251
10.000
X
II
X
III
X
I
1)
I
I
保守ス ケ ジ ュ ールのポ イ ン ト ：
･
I
修理レベル
I
ユーザーが実施
･
II
修理レベル
II
イ ン フ ィ コ ンに よ る ト レーニ ン グ を受けたユーザーが実施
･
III 修理レベル
III INFICON の サービ ス エン ジニ アが実施
1) 使用環境に よ り 異な る
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
修理
レベル
X
200 001 680
ダ イ ア フ ラ ム ポ ン プ用消耗部品キ ッ
ト
ダ イ ア フ ラ ム ポ ン プの保守
稼働時間
取扱説明書
7.2
エア フ ィ ル タ ーの交換
注 意
取扱説明書
少な く と も 6 ヶ 月ご と にエア フ ィ ル タ ーの汚れをチ ェ ッ ク し 、2 年経過 し た ら 必ず
交換 し て く だ さ い。
警
告
フ ィ ル タ ーを交換す る 前に、 Protec P3000 を電源か ら 必ず切 り 離 し て く だ さ い。
エア フ ィ ル タ ーを交換す る 場合は、 Protec P3000 の前面を下に向け る か、 頑丈な作
業台の端に載せて く だ さ い。 作業台の端に載せ る 場合は、 重心の位置に注意 し て く
だ さ い。 前面を下に向け る 場合は、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン と 内蔵の PRO-Check 基準校
正 リ ー ク を最初に外 し て く だ さ い。
注記 フ ロ ン ト カバーを傷つけない よ う にす る ため、 柔 ら かな表面の台を使用す る
こ と をお勧め し ます。
エアーマ ッ ト のネジは、 Protec P3000 の底部にあ り ます。
( １２０２ )
1
kina26jp Chapter 7.fm
図 7-1 Protec P3000 の底部にあ る エアーマ ッ ト のネジ
2
3
固定ネジ を取 り 外 し て く だ さ い。
エアーマ ッ ト を引 き 出 し ます。
保守
7-3
取扱説明書
図 7-2 エアーマ ッ ト の取 り 出 し
汚れの程度に よ り 、 必要に応 じ て、 エア フ ィ ル タ ーの ク リ ーニ ン グ ま たは交換を
行っ て く だ さ い。
( １２０２ )
4
7-4
保守
5
新 し い （交換用） エア フ ィ ル タ ーを、 完全に奥に突 き 当た る よ う に押 し 込んで く
だ さ い。
6
エア フ ィ ル タ ーのネジ を締めて く だ さ い。
7
メ イ ン メ ニ ュ ーか ら 、 履歴 リ ス ト / メ ン テナン ス確認に進んで く だ さ い。 表示右
側の適切なボ タ ン でエア フ ィ ル タ ーを取 り 替え る か掃除を し て く だ さ い。 起動時
間の実数 と 同様に実際の日時が保存 さ れます。 再度、 こ の保守作業が実行 さ れ る
のは、 起動後 10,000 時間後か ら と な り ます。
kina26jp Chapter 7.fm
図 7-3 エアーマ ッ ト の挿入
7.3
外付け ヒ ューズの交換
警
告
取扱説明書
ヒ ュ ーズ を交換す る 前に、 電源 コ ー ド を必ず外 し て く だ さ い。
ド ラ イ バーを使用 し て、 電源 ソ ケ ッ ト の蓋を右側か ら 開け る よ う に し ます （電源ス
イ ッ チに触れ る こ と な く 作業で き ます）。
矢印マー ク の付いた ヒ ュ ーズボ ッ ク ス を引 き 出す こ と に よ り 、 ヒ ュ ーズ を取 り 出す
こ と がで き ます。 ヒ ュ ーズボ ッ ク ス を挿入す る と き は、 矢印の先端を必ず下に向け
て く だ さ い。
2 本の ヒ ュ ーズは、 同一定格の ヒ ュ ーズ 2 本 と 交換 し て く だ さ い。 使用す る 電源
ヒ ュ ーズは、 カ タ ロ グ よ り 入手で き ます。
ヒ ュ ーズの交換が終了 し た ら 、 電源 ソ ケ ッ ト の蓋を も と の位置に し っ か り と 戻 し ま
す。
電源 コ ー ド を Protec P3000 の電源 ソ ケ ッ ト に挿入 し 、装置の電源を入れて く だ さ い。
図 7-4 メ イ ン ヒ ュ ーズの交換
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
7.4
ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ ーの交換
ス ニ フ ァ ープ ロ ーブが詰 ま っ て い る と 、 「Flow through capillary too low （キ ャ ピ ラ
リ ーの流量が低すぎ ます」 （警告 35 か警告 41） と い う メ ッ セージが表示 さ れます。
ス ニ フ ァ ープ ロ ーブの詰ま り の原因 と し て、 以下の も のが考え ら れます。
･
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーの詰ま り ： 7.4.1 項を参照 (SL3000XL 専用 )
･
焼結フ ィ ル タ ーの詰ま り ： 7.4.3 項を参照 (SL3000XL 専用 )
･
ス ニ フ ァ ーチ ッ プの詰ま り (SL3000XL 専用 )
･
ス ニ フ ァ ープ ロ ーブのキ ャ ピ ラ リ ーの詰ま り
･
ス ニ フ ァ ーチ ッ プの損傷
･
ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの詰ま り ／損傷
保守
7-5
7.4.1
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーの フ ェ ル ト デ ィ ス ク の交換
注 意
1
リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの ス イ ッ チを切っ て く だ さ い。
取扱説明書
ス ニ フ ァ ーチ ッ プの保守を行っ た後は、 必ず装置の再校正を行っ て く だ さ い。
( １２０２ )
図 7-5 キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーを緩め る
図 7-6 フ ィ ル タ ーパ ッ ド を押 し 出す
キ ャ ピ ラ リ ーフ ェ ル ト フ ィ ル タ ーを緩め、 古い フ ェ ル ト フ ィ ル タ を後ろ側か ら 押
し 出す。
kina26jp Chapter 7.fm
2
7-6
保守
取扱説明書
図 7-7 新旧の フ ェ ル ト フ ィ ル タ ー
3
新 し い フ ェ ル ト フ ィ ル タ ーを押 し 込む。
注記 スペア フ ェ ル ト フ ィ ル タ ーには メ タ ルグ リ ッ ド が付いてい ません。 メ タ ルグ
リ ッ ド を丁寧に ク リ ーニ ン グ し 、 再使用 し て く だ さ い。
4
5
リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの ス イ ッ チを入れて く だ さ い。
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーに指を当て ます。
流れを感 じ る こ と がで き ます。
6
依然 と し て 「キ ャ ピ ラ リ ーの流量が低すぎ ます」 と い う メ ッ セージが表示 さ れ る
場合は、 焼結フ ィ ル タ ーを交換 し て く だ さ い （7.2 項を参照）。
7
メ イ ン メ ニ ュ ーで History & Maintenance / Confirm maintenance / Sniffer tip filter （ リ
レ キ リ ス ト / メ ン テナン ス ノ カ ク ニ ン / ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ー） を選択 し 、
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーの交換が終わ っ てい る こ と をデ ィ ス プ レ イ の右側の
OK ボ タ ン で確認 し ます。 実際の日付 と 時刻、 稼働時間が保存 さ れ、 設定時間数が
経過す る と 、 保守の注意喚起が出 さ れます。 詳細については、 4.7 章を参照 し て く
だ さ い。
注記 メ ン テナン ス タ ス ク の確定には、 Protec P3000 を ADVANCED モー ド にセ ッ
( １２０２ )
ト し て く だ さ い。
8
kina26jp Chapter 7.fm
7.4.2
リ ー ク レー ト の正確な表示の為、 再校正を行っ て下 さ い。
防水チ ッ プ使用時のフ ェル ト デ ィ ス ク の交換
（SL3000 専用）
1
2
3
4
5
6
Protec P3000 の ス イ ッ チを切っ て く だ さ い。
防水チ ッ プ を緩め ます。
フ ィ ル タ ーパ ッ ド と メ タ ルグ リ ッ ド を後ろ側か ら 押 し 出 し ます。
防水チ ッ プの底部に メ タ ルグ リ ッ ド を取 り 付け ます。
2 枚の新 し い フ ィ ル タ ーパ ッ ド を押 し 込みます （防水チ ッ プの底部全体に）。
Protec P3000 の ス イ ッ チを入れます。
保守
7-7
注記 流量の変化が 30% を超え た場合は、 装置の再校正が必要にな り 、 それに対応
7.4.3
7
メ イ ン メ ニ ュ ーで History & Maintenance / Confirm maintenance / Sniffer tip filter （ リ
レ キ リ ス ト / メ ン テナン ス ノ カ ク ニ ン / ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ー） を選択 し 、
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ィ ル タ ーの交換が終わ っ てい る こ と をデ ィ ス プ レ イ の右側の
OK ボ タ ン で確認 し ます。 実際の日付 と 時刻、 稼働時間が保存 さ れ、 設定時間数が
経過す る と 、 保守の注意喚起が出 さ れます。 詳細については、 4.7 章を参照 し て く
だ さ い。
8
リ ー ク レー ト の正確な表示の為、 再校正を行っ て下 さ い。
取扱説明書
す る 警告が出 さ れ ます。
焼結フ ィ ル タ ーのチ ェ ッ ク / 交換 （SL3000 専用）
注記 流量の変化が 30% を超え た場合は、 装置の再校正が必要にな り 、 それに対応
す る 警告が出 さ れ ます。
1
2
Protec P3000 の ス イ ッ チを切っ て く だ さ い。
プ ラ ス ネジ を 2 個外 し 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を取 り 出 し ます。
図 7-8 ス ニ フ ァ ーチ ッ プの取出 し
O リ ン グ と と も に焼結フ ィ ル タ ーを外 し ます。
図 7-9 焼結フ ィ ル タ ー
7-8
保守
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
3
4
5
取扱説明書
6
7
8
9
10
7.5
フ ィ ル タ ーの汚れを目視でチ ェ ッ ク し て く だ さ い。
新 し い焼結フ ィ ル タ ーを O リ ン グ と と も に フ ィ ル タ ーチ ッ プの底部に取 り 付け ま
す。
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を再度取 り 付けて く だ さ い。
Protec P3000 の ス イ ッ チを入れて く だ さ い。
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーに指を当て ます。
発生す る 真空を感 じ る こ と がで き ます。
キ ャ ピ ラ リ ーを通 し た流量が低過ぎ る の警告が、 キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーか ら 指
を除いて も 続 く 場合には、 まずス ニ フ ァ ーチ ッ プ を交換 し て く だ さ い。 こ れで も
問題が解決 し ない場合は、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンのキ ャ ピ ラ リ ーが詰ま っ てい ます。
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン ご と 交換す る 必要があ り ます。
リ ー ク レー ト の正確な表示の為、 再校正を行っ て下 さ い。
フ ィ ル タ ープ レー ト の交換 （SL3000XL 専用）
フ ィ ル タ ー先端 と グ リ ッ プ間の フ ィ ル タ ープ レー ト を交換す る には、 事前に フ ィ ル
タ ー先端を取 り 外す必要があ り ます。
1
ユニオ ンナ ッ ト を反時計方向に回 し て取 り 外 し ます。
注記 ナ ッ ト が硬 く 締ま っ てい る 場合は、 レ ンチの使用 も 可能です (SW21)。
あ る いは : レ ンチでユニオ ンナ ッ ト を挟み、 注意深 く 反時計方向に回 し なが ら ナ ッ
( １２０２ )
ト を外 し ます。
図 7-10 ： グ リ ッ プ と フ ィ ル タ ー先端を離す
注記 注意 ： 各フ ィ ル タ ーパ ッ ド 間にブルーペーパーパ ッ ド を使用 し ないで く だ さ
kina26jp Chapter 7.fm
い。
保守
7-9
フ ィ ル タ ープ レー ト を取 り 外 し ます。
取扱説明書
2
図 7-11 フ ィ ル タ ープ レー ト の取 り 外 し
3
フ ィ ル タ ーを ユニオ ンナ ッ ト に挿入 し 、 注意深 く 均等に押 し 込みます。 フ ィ ル
タ ーパ ッ ド はど ち ら 方向で も 使用で き ます。
図 7-12 ユニオ ンナ ッ ト 内の フ ィ ル タ ープ レー ト
フ ィ ル タ ー先端を グ リ ッ プに取 り 付け、 ネジ固定 し ます。
図 7-13 取 り 付け後の外観
その後、 Protec P3000XL をいつ も の よ う に使用す る こ と がで き ます。
5
7-10
保守
取 り 付けチ ェ ッ ク
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
4
注記 新 し い フ ィ ル タ ーシー ト ( パ ッ ド ) が正 し く 取 り 付け さ れたか ど う か をチ ェ ッ
5a
5b
フ ィ ル タ ーチ ッ プ末端のユニオ ンナ ッ ト ( キ ャ ッ プ ) を取 り 外 し ます。
5c
プ ロ テ ッ ク P3000XL には、 フ ィ ル タ ー設置 OK の確認通知機能 W41 があ り ます
（Protec P3000XL は W41、 LOW FLOW は W35）。 確認通知 W41 がなければ、 ユ
ニオ ンナ ッ ト を締め直 し て機能テ ス ト を行っ て く だ さ い。 確認通知 W41 がい ま だ
にない場合には、 も う 一度ユニオ ンナ ッ ト を取 り 外 し て フ ィ ル タ ーシー ト ( パ ッ
ド ) の座 り 具合を正 し ます。
5d
6
座 り 具合を正 し た ら 、 検知パ イ プのプ ラ ス チ ッ ク キ ャ ッ プ を再取 り 付け し ます。
こ の検知パ イ プ末端部を支え て、 フ ィ ル タ ーシー ト ( パ ッ ド ) を指でキ ャ ッ プ内に
均一に押 し 込んで く だ さ い。
リ ー ク レー ト の正確な表示の為、 再校正を行っ て下 さ い。
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
取扱説明書
ク をす る 場合は以下の よ う に行っ て く だ さ い ：
保守
7-11
7.6
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーの交換 （SL3000 専用）
2 枚の異な る キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーを ス ニ フ ァ ーチ ッ プの頭部に取 り 付け る こ と
がで き ます。
2
取扱説明書
1
3
図 7-14 7.6.1
位置説明
位置説明
1
テーパーガ ス ケ ッ ト （黒ま たは白）
3
2
メ タ ルキ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ー
プラ ステ ィ ッ クキャピラ
リ ーフ ィ ル タ ー
メ タ ルキ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーか ら プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ
ラ リ ーフ ィ ル タ ーへの切替
メ タ ルキ ャ ピ ラ リ ー フ ィ ル タ ーか ら プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ ラ リ ー フ ィ ル タ ーへ切
り 替え る と き は、 テーパーガ ス ケ ッ ト を 取 り 外 し ま す。 プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ ラ
リ ーフ ィ ル タ ーは、 取 り 付け ら れてい る テーパーガ ス ケ ッ ト に合い ません。
ス ニ フ ァ ーチ ッ プの フ ラ ン ジのプ ラ ス ネジ を 2 個外 し 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を取 り
出 し ます。
2
小 さ な ピ ン ま たは針 （約 0.5 mm） を使っ て、 鋼キ ャ ピ ラ リ ーを頭部のチ ッ プか ら
押 し 出 し ます。
図 7-15 鋼キ ャ ピ ラ リ ーを押 し 出す
7-12
保守
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
1
取扱説明書
図 7-16 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ フ ラ ン ジか ら 突 き 出てい る 鋼キ ャ ピ ラ リ ー
こ の よ う に し て、 下記の ス ニ フ ァ ーチ ッ プの鋼キ ャ ピ ラ リ ーを取 り 外す こ と がで き
ます。
カ テ ゴ リ ー番
号
長さ
122 09
FT600
600 mm
フ レ キ シブル
122 13
ST312
120 mm
ス ト レー ト
122 14
FT312
120 mm
フ レ キ シブル
122 15
ST385
385 mm
ス ト レー ト
122 16
FT385
385 mm
フ レ キ シブル
122 18
FT200
200 mm
ス ト レー ト
122 66
FT250
250 mm
フ レ キ シブル
122 72
ST500
500 mm
角度 45 ℃
注記 鋼キ ャ ピ ラ リ ーは圧縮空気ま たは細い鋼針金で ク リ ーニ ン グす る こ と がで き
( １２０２ )
ます。
3
鋼キ ャ ピ ラ リ ーを取 り 出 し 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ頭部のテーパーガ ス ケ ッ ト を取 り
外 し ます。
4
5
ス チールキ ャ ピ ラ リ ーを再挿入 し て ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を入れなお し て く だ さ い。
6
kina26jp Chapter 7.fm
7.6.2
プ ラ ス チ ッ ク キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーを ス ニ フ ァ ーチ ッ プ上にネジ止め し て く だ
さ い。
リ ー ク レー ト の正確な表示の為、 再校正を行っ て下 さ い。
プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル ターか ら メ タ ルキ ャ ピ
ラ リ ーフ ィ ル ターへの切替
注記 プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーか ら メ タ ルキ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ー
へ切 り 替え る と き は、 テーパーガ ス ケ ッ ト を取 り 付け る のを忘れないで く だ
さ い。 取 り 付けない と 、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン が漏れ ます。
保守
7-13
7.7
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーを緩め ます。
テーパーガ ス ケ ッ ト を挿入 し ます （図 7-14/1）
キ ャ ピ ラ リ ーを ス ニ フ ァ ーチ ッ プに取 り 付け ます。
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を プ ロ ーブハン ド ルに取 り 付け ます。
プ ラ ス テ ィ ッ ク キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ーを ス ニ フ ァ ーチ ッ プの先にね じ 込みます。
リ ー ク レー ト の正確な表示の為、 再校正を行っ て下 さ い。
取扱説明書
1
2
3
4
5
6
PRO-Check のガ ス リ ザーバーの交換
注記 取付けの 24 時間前に新 し いガ ス貯蔵器か ら ふた を取 り 外 し て く だ さ い。格納
中、 膜内にガ ス が蓄積す る ために、 漏出速度は開口直後の認定値 よ り 高 く な
り ます。 こ の間、 キ ャ リ ブ レーシ ョ ン のために新 し いガ ス貯蔵器を使用 し な
いよ う にして く ださい
1
PRO-Check を抜 き 出 し ます。 PRO-Check 基準 リ ー ク は磁気ホルダーで固定 さ れて
い る ので、 簡単に抜 き 出す こ と がで き ます。
図 7-17 PRO-Check 基準 リ ー ク の本体か ら の取外 し
ガ ス リ ザーバーを反時計方向に緩め ます。
注 意
( １２０２ )
2
注記 ガ ラ ス チ ュ ーブが汚れてい る 場合は、 慎重に ク リ ーニ ン グ し て く だ さ い。
7-14
保守
kina26jp Chapter 7.fm
ホルダーの内部には、 ガ ラ ス チ ュ ーブ と フ ォ ト セルを汚れない よ う にす る O リ ン
グが入っ てい ます。 こ のガ ラ ス チ ュ ーブ を緩めた り 壊 し た り し ない よ う に注意 し
て く だ さ い。
取扱説明書
図 7-18 O リ ン グ
新 し い リ ザーバーをね じ 込みます。
( １２０２ )
3
図 7-19 ガ ス リ ザーバーの取付け
注記 新 し い リ ザーバーは六角ナ ッ ト キーのみでね じ 込みます。
kina26jp Chapter 7.fm
4
PRO-Check を Standards に取 り 付け ます。
注記 PRO-Check は Standards にぴっ た り 合い ません。 Standards の フ ロ ン ト パネル
と PRO-Check の間には、 わずかな隙間があ り ます。
保守
7-15
取扱説明書
図 7-20 PRO-Check と フ ロ ン ト パネルの間の隙間
交換用ガ ス リ ザーバー と 同梱 さ れ る 証明書には、新 し いシ リ アル番号 と 12 桁の コ ー
ド （新 し い リ ー ク レ ー ト な ど の リ ー ク 固有情報が含 ま れ る ） が記載 さ れてい ます。
ソ フ ト ウ ェ ア メ ニ ュ ーで 「History & Maintenance / Replace PRO-Check」 （シ ン ク ウ
& ア ク セ ス /PRO-Check ヲ コ ウ カ ン シ テ ク ダサ イ ） を表示 し ます。 オープニ ン グサ
ブ メ ニ ュ ーフ ェーズの 1 行目に新 し いシ リ アル番号、2 行目に 12 桁の コ ー ド を入力
し 、 OK を押 し ます。
注記 Protec P3000 が ADVANCED モー ド の場合のみ、 こ のサブ メ ニ ュ ーが使用で
き ます (4.4.3 章のユーザーモー ド を参照 )
注記 OK を押す と き には、 PRO-Check 基準 リ ー ク が Protec P3000 に取 り 付け ら れ
kina26jp Chapter 7.fm
ていなければな り ません。
( １２０２ )
注記 保守作業を確認す る と き は、装置を進行モー ド にセ ッ ト す る 必要があ り ます。
7-16
保守
取扱説明書
図 7-21 PRO-Check の交換の入力画面
注記 新 し い リ ー ク 関連 コ ー ド の入力は重要です。 こ れを入力 し ない と 、 内部校正
リ ー ク に よ る 正確な校正 と 校正の ト レーサ ビ リ テ ィ が保証 さ れません。
注記 空の容器は再使用で き ませんので、 自国の法規に基づいて廃棄処分 し て く だ
さ い。
5
PRO-Check 警告時間の有効期限
PRO-Check の交換の警告時間は 14、 30、 60 ま たは 90 日で調整で き ます。
[ メ イ ン ] メ ニ ュ ーで、 以下に進みます :
kina26jp Chapter 7.fm
( １２０２ )
設定 ® その他 ® PRO-Check 警告時間の有効期限 ® 14、30、60 ま たは 90 日 ® OK。
保守
7-17
7.8
ヒ ュ ーズの交換
5.1 に記載 さ れてい る エ ラ ー メ ッ セージ E1 ～ W5 が表示 さ れた場合、 ヒ ュ ーズが切
れてい ますので交換 し て く だ さ い。
リ ー ク デ ィ テ ク タ ーの電源ス イ ッ チを切っ て く だ さ い。
取扱説明書
1
2
3
6 角 ド ラ イ バーを使用 し 本体カバーを取 り 外 し ます。
ヒ ュ ーズは本体内部の背面にあ る マザーボー ド 部にあ り ます。
下記の写真を参考に交換 し て下 さ い。
F1
F5
F2
F3
F4
図 7-22
各 ヒ ュ ーズの定格、 用途
エ ラ ー番号
F1
2A
MC50 （ コ ン ト ロ ールボー ド ）、 ス ピーカー E1
F2
2A
各種バルブ、 フ ァ ン
E2
F3
5A
TC100
E3
F4
0.5A
各種シ グナル
W4
F5
0.315A
MC50、 ス ニ フ ァ ー
W5
( １２０２ )
用途
kina26jp Chapter 7.fm
ヒ ュ ーズ 定格
7-18
保守
kina26jp Chapter 8.fm
( １２０２ )
取扱説明書
8
ガス ラ イブラ リ ー
Protec P3000 の操作 ソ フ ト ウ ェ アには、 冷媒 メ ーカーに対応す る 約 100 種類の等価
なガ ス の リ ス ト が含まれてい ます。こ れ ら の等価なガ ス の リ ス ト は ROM（Read Only
Memory） に保存 さ れてお り 、 こ の メ モ リ ーの リ ス ト か ら 、 対応す る サブ メ ニ ュ ーを
利用 し てガ ス お よ び ト リ ガーレベルを選択す る こ と がで き ます。 ROM に保存 さ れ
てい る デー タ は変更す る こ と がで き ません。 さ ら に、 こ のプ ロ グ ラ ムは、 自由に設
定可能な 40 の メ モ リ ー ロ ケーシ ョ ン （ユーザー ラ イ ブ ラ リ ー EEPROM メ モ リ ー）
を備え てい ます。 こ れに よ り 、 ユーザーは、 自分でパ ラ メ ー タ ーを定義 し たガ ス の
デー タ を保存す る こ と がで き ます （ユーザー ラ イ ブ ラ リ ーを参照） 。 ま た、 あ ら か
じ め定義 さ れてい る ガ ス を選択す る こ と も で き ます。 Protec P3000 の ラ イ ブ ラ リ ー
には、 デフ ォ ル ト と し て以下のガ ス が含まれてい ます。
ガ ス名称
（最大 5 文字）
その他の名称
分子質量
（xxx.x amu）
R11
CCI3F
137.4
R12
CCI2F2
120.9
R13
CBIF3
104.5
R14
CF4
80.0
R21
CHCI2F
102.9
R22
CHCIF2
86.5
R23
CHF3
70.0
R32
CH2F2
52.0
R41
CH3F
34.0
R50
CH4
メ タン
16.0
R113
CCIF2CCI2F
187.4
R114
CCIF2CCIF2
170.9
R115
CCIF2CF3
154.5
R116
C2F6
138.0
R123
CHCIFCF3
152.9
R124
CHCIFCF3
136.5
R125
CHF2CF3
120.0
R134a
CF3CH2F
102.0
R141b
CCI2FCH3
117.0
R142b
CCIF2CH3
100.5
ガス ラ イブラ リ ー
8-1
8-2
ガス ラ イブラ リ ー
R143a
CF3CH3
84.0
R152a
CHF2CH3
66.1
R170
エ タ ン C2H6
30.1
R218
C3 F 8
188.0
R245fa
CF3CH2CF2H
134.0
R290
プ ロ パン C3H8
44.1
R356
CF3(CH2)2 x CF3 の
混合ガ ス
166.1
R400
50%R12
50%R114 の混合ガ ス
141.6
R401A
53% R22
13% R152a
34% R124 の混合ガ ス
94.4
R401B
61% R22
11% R152a
28% R124 の混合ガ ス
92.8
R401C 33% R22
33% R22
15% R152a
52% R124 の混合ガ ス
101.0
R402A
38% R22
60% R125
2% R290 の混合ガ ス
101.6
R402B
60% R22
38% R125
2% R290 の混合ガ ス
94.7
R403A
混合ガ ス
92.0
R403B
56% R22
39% R218
5% R290 の混合ガ ス
103.3
R404A
44% R125
52% R143a
4% R134a の混合ガ ス
97.6
R405A
45% R22
7% R152a
5.5% 142b
42.5% RC318 の混合ガ ス
111.9
R406A
55% R22
4% R600a
41% R142b の混合ガ ス
89.9
取扱説明書
分子質量
（xxx.x amu）
( １２０２ )
その他の名称
kina26jp Chapter 8.fm
ガ ス名称
（最大 5 文字）
取扱説明書
( １２０２ )
kina26jp Chapter 8.fm
ガ ス名称
（最大 5 文字）
その他の名称
分子質量
（xxx.x amu）
R407A
20% R32
40% R125
40% R134a の混合ガ ス
90.1
R407B
10% R32
70% R125
20% R134a の混合ガ ス
102.9
R407C
23% R32
25% R125
52% R134a の混合ガ ス
86.2
R407D
15% R32
15% R125
70% R134a の混合ガ ス
91.0
R407E
25% R32
15% R125
60% R134a の混合ガ ス
83.8
R408A
7% R125
46% R143a
47% R22 の混合ガ ス
87.0
R409A
60% R22
25% R124
15% R142b の混合ガ ス
97.4
R409B
65% R22
25% R124
10% R142b の混合ガ ス
96.7
R410A
50% R32
50% R125 の混合ガ ス
72.6
R410B
45% R32
55% R125 の混合ガ ス
75.6
R411A
1.5% R1270
87.5% R22
11% R152a の混合ガ ス
82.4
R411B
3% R1270
94% R22
3% R152a の混合ガ ス
83.1
R411C
3% R1270
95.5% R22
1.5% R152a の混合ガ ス
83.4
R412A
70% R22
5% R218
25% R142b の混合ガ ス
92.2
R413A
9% R218
88% R134a
3% R600 の混合ガ ス
104.0
ガス ラ イブラ リ ー
8-3
8-4
ガス ラ イブラ リ ー
R414A
51% R22
28.5% R124
4% R600a
16.5% R142b の混合ガ ス
96.9
R415A
82% R22
18% R152a の混合ガ ス
81.7
R416A
59% R134a
39.5% R124
1.5% R600 の混合ガ ス
111.9
R500
74% R12
26% R152a の混合ガ ス
99.3
R501
75% R22
25% R12 の混合ガ ス
93.1
R502
49% R22
51% R115 の混合ガ ス
111.6
R503
40% R23
60% R13 の混合ガ ス
87.3
R504
48% R32
52% R115 の混合ガ ス
79.3
R505
78% R12
22% R31 の混合ガ ス
103.5
R506
55% R31
45% R114 の混合ガ ス
93.7
R507A
50% R125
50% R143a の混合ガ ス
98.9
R508A
39% R23
61% R116 の混合ガ ス
100.1
R508B
46% R23
54% R116 の混合ガ ス
95.4
R600
C4H10
ブタン
58.1
R600a
C4H10
イ ソブタン
58.1
R601
C5H12
ペン タ ン
72.2
R601a
C5H12
イ ソ ペン タ ン
72.2
R601b
C5H12
ネオペン タ ン
72.2
取扱説明書
分子質量
（xxx.x amu）
( １２０２ )
その他の名称
kina26jp Chapter 8.fm
ガ ス名称
（最大 5 文字）
取扱説明書
ガ ス名称
（最大 5 文字）
その他の名称
分子質量
（xxx.x amu）
R601c
C5H12
シ ク ロ ペン タ ン
70.1
H2
水素
2.0
He
ヘリ ウム
4.0
Air
29.0
NH3
R717
17.0
H2O
R718
18.0
Ne
ネオ ン
20.2
N2
窒素
28.0
O2
酸素
32.0
Ar
アルゴ ン
40.0
CO2
R744
44.0
Kr
ク リプトン
84.0
Xe
キセ ノ ン
131.3
146.1
kina26jp Chapter 8.fm
( １２０２ )
SF6
ガス ラ イブラ リ ー
8-5
8-6
ガス ラ イブラ リ ー
kina26jp Chapter 8.fm
( １２０２ )
取扱説明書
kina26jp Chapter 8.fm
図 8-1 適合宣言書
ガス ラ イブラ リ ー
8-7
( １２０２ )
取扱説明書
8-8
ガス ラ イブラ リ ー
kina26jp Chapter 8.fm
( １２０２ )
取扱説明書
A
お
Alarm delay （ア ラ ームチエン） 73
オー ト ゼ ロ （Autozero） 19
音量 36, 37, 46
C
Calibration history （ コ ウ セ イ リ レ キ） 81
か
F
外形寸法 11
外部校正 49
flow 10
Flow limits （ リ ュ ウ リ ョ ウ セ イ ゲン） 63
き
I
基本 メ ニ ュ ー 19
キ ャ ピ ラ リ ーフ ィ ル タ ー 100
I/O ポー ト 24, 25, 73, 78, 89
I ・ Guide 42, 43, 69
I ・ Guide モー ド 19
取扱説明書
索引
く
グ ロ ーバル ト リ ガー （総 ト リ ガー） 70, 71
L
け
Language （ゲ ン ゴ） 72
Lemo コ ネ ク タ ー 20
警告 47, 85
こ
P
PIN （個人識別番号） 56, 66
Pro-Check 15, 20, 31, 32, 48, 49
校正 35, 36, 37, 47, 49, 80
校正係数 81, 88
校正 リ ー ク 47
コ ネ ク タ ー 32, 33
R
Standby Delay （ス タ ンバ イ オ ク レ） 65
Z
Zero time （ゼ ロ タ イ ム） 62
「ZERO」 ボ タ ン 30, 37, 41, 45
自己診断 47
周囲温度 11
重量 11
出力 73, 89
焼結フ ィ ル タ ー 101
す
ア ク セサ リ ー 9, 16
ア ラ ーム 41, 66, 67
ス ニ フ ァ ー 78
ス ニ フ ァ ーチ ッ プ 5, 16, 40, 45, 48, 49, 50
ス ニ フ ァ ープ ロ ーブ 9, 30, 38, 99
ス ニ フ ァ ー ラ イ ト 72
ス ニ フ ァ ー ラ イ ン 20, 22, 30, 63, 77, 99
ス ピーカー 67
い
せ
イ ン タ ーフ ェ ース 29, 73
設置 21
ゼ ロ 19, 30, 37, 38, 41, 62
あ
え
エア フ ィ ル タ ー 97
エ ラ ー 47, 80, 85
エ ラ ー番号 85
エ ラ ー メ ッ セージ 85
エ ラ ー リ ス ト 80
て
電気コ ネ ク タ ー 89
電気接続 24
と
ト リ ガー 75
A-1
索引
( １２０２ )
S
し
kina26jpSIX.fm
RS232 イ ン タ ーフ ェ ース 24, 25, 73, 94
RS232 プ ロ ト コ ル 75
な
内部校正 49
は
ひ
ヒ ュ ーズ 15, 24, 85, 99
取扱説明書
バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 19, 30
ふ
フ ィ ル タ ー 99
プルーフ機能 48
ほ
保守 95
み
右プ ロ ーブボ タ ン 30, 39, 45, 46, 48, 49
め
メ ニ ュ ー 18
メ ニ ュ ーボ タ ン 37
ゆ
輸送用 ロ ッ ク 21
り
リ ー ク レー ト 75
流量 63, 77, 79, 86, 99, 103
履歴 80
れ
レ コ ーダー出力 73
kina26jpSIX.fm
( １２０２ )
右プ ロ ーブボ タ ン 44, 75
A-2
索引
INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany
UNITED STATES
TAIWAN
JAPAN
KOREA
SINGAPORE
GERMANY
FRANCE
Vis it our websi te for c ontact inf orm ation and ot her sa les off ice s w orldw ide.
Dokument: kina26j1-o ( １ ２ ０ ２ )
UNITED KINGDOM
HONG KONG
www .i n fic o n . co m

平成 27 年 5 月 25 日 各位 会社名 富士機械製造株式会社 代表者名

PDF：133KB - 日本ロボット工業会

ロータリーヒートシーラー

安全データシート Protec II GW

シートベルトの取扱説明書

キャット プレイキューブ たたみ方 - D

ドリフトセンサードブラシレスESC セッティングボード付とドリフト

アプニア換気リセット プニア時間 RR アプニア 気道内圧 フロー

この商品の取扱説明書PDFファイル

0103 取扱説明書