ウェハーガード SG ガスフィルター

Data Sheet No. EDS0826
ウェハーガード SG
ガスフィルター
太陽光発電デバイスおよびディスプレイのプロセスガス用高性能フィルター
ウェハーガード SG シリーズは、太陽光発電デバイスおよび
フラットパネルディスプレイの真空プロセスに適した高性能
ガスフィルターです。
PTFE メンブレンは特殊材料ガスおよび不活性ガスに使用
可能で、ほとんどのプロセスガスに対し優れた適合性を有
します。
超高除粒子性能
0.003 µm 以上の微粒子を高い効率で除去します。
コンパクト設計
狭いスペースにも設置できるコンパクトなデザイン。
316L ステンレス鋼ハウジング
腐食性に優れたステンレス鋼に電解研磨処理を内面に施
しています。
＜お薦めアプリケーション＞
太陽光発電デバイスのプロセス装置ガスパネル
フラットパネルディスプレイのプロセス装置ガスパネル
VMB
シリンダーキャビネット低圧側
仕様
材質：
フィルター
サポート
O-リング
ハウジング
粒子捕捉率：
常用圧力：
最大許容正差圧：
最大許容逆差圧：
最高使用温度：
He リークレート：
PTFE
PFA
PFA
316L ステンレス鋼（内面電解研磨）
YY50 シリーズ：0.003 µm 以上の粒子を 99.99％以上
WGFG シリーズ：0.003 µm 以上の粒子を 99.9999999％以上
1 MPa 未満
WGFGMB シリーズ：0.7 MPa
上記以外：0.4 MPa
WGFGMB シリーズ：0.25 MPa
上記以外：0.07 MPa
120 °C
2×10-10 atm・cc/sec. （Qualified）
5×10-8 atm・cc/sec. （Tested）
寸法図
（単位：mm）
YY5001HR1 / WGFGT1PR1
YY5001HS1 / WGFGT1PS1
YY5002PR1 / WGFG02PR1
YY5002PS1 / WGFG02PS1
YY5032PR1
YY5032PS1 / WGFG32PS1
WGFG50PR1
WGFGMBSS2
WGFGMBRR2
WGFGMBSS3
WGFGMBRR4
WGFGMBSS4
流量
YY5001HR1 / YY5001HS1
WGFGT1PR1 / WGFGT1PS1
(15 PSIG)
WGFG02PR1 / WGFG02PS1
WGFG50PR1 / WGFG32PS1
YY5002PR1 / YY5002PS1
YY5032PR1 / YY5032PS1
(15 PSIG)
(15 PSIG)
Wafergard® SG Gas Filters
WGFGMBRR2 / WGFGMBSS2
WGFGMBRR4 / WGFGMBSS4
(15 PSIG)
(15 PSIG)
製品型番のご案内
接続径
6.35mm
6.35mm
9.53mm
12.7mm
6.35mm
6.35mm
9.53mm
12.7mm
6.35mm
9.53mm
12.7mm

z
z
（1/4”）
（1/4”）
（3/8”）
（1/2”）
（1/4”）
（1/4”）
（3/8”）
（1/2”）
（1/4”）
（3/8”）
（1/2”）
(梱包数 1 個/箱)
ガスケットシール
（VCR 対応）
YY50 01H R1
YY50 02P R1
YY50 32P R1
WGFG T1P R1
WGFG 02P R1
WGFG 50P R1
WGFG MBR R2
WGFG MBR R4
コンプレッションシール
（Swagelok 対応）
YY50 01H S1
YY50 02P S1
YY50 32P S1
WGFG T1P S1
WGFG 02P S1
WGFG 32P S1
WGFG MBS S2
WGFG MBS S3
WGFG MBS S4
粒子捕捉率（≥0.003 µm）
≤
≤
≤
≤
≤
≤
≤
≤
≤
≤
≤
99.99％＠ 30 SLM
99.99％＠ 90 SLM
99.99％＠ 90 SLM
99.99％＠ 90 SLM
99.9999999％＠ 30 SLM
99.9999999％＠ 90 SLM
99.9999999％＠ 90 SLM
99.9999999％＠ 90 SLM
99.9999999％＠ 500 SLM
99.9999999％＠ 500 SLM
99.9999999％＠ 500 SLM
製品の仕様は改良の為、予告なく変更する場合があります。
ご不明な点は弊社までお問い合わせ下さい。
Wafergard®および Entegris®は Entegris, Inc.の商標です。
VCR®は Swagelok Company の商標です。
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、山形県米沢市八幡原 3-3145-5（第 2 工場）
URL: http://www.Entegris.com/nihon
2010 年 5 月 11 日（第 2 版）

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