クリーンルームAの装置利用について

＜22 棟クリーンルーム A（微細加工室）
装置利用の流れ＞
【EB 描画装置】利用時間：月～土 9:00～22:00
翌月の利用について、1 次予約日に
利用希望申請書を提出する
（原則毎月 16 日：HP で要確認）
記入方法の詳細は申請書用紙を参照
1 次結果開示日に予約日を確認
空きがあれば、追加予約も可
通常予約日以降、使用記録用紙を受け取る
予約日当日、使用記録用紙を持参
36 棟正面入口の予約システムで使用開始操作
36-106（中央試験所事務室）窓口でクリーンルーム A の鍵を借りて入室
使用後、施錠・消灯を確認し、窓口にて鍵を返却
予約システムで使用終了操作
鍵の返却時、事務室が閉室している場合は、翌朝 9:00 までに
返却すること
【EB 蒸着装置】利用時間：月～金 9:00～17:00、土：9:00～16:00
通常予約日以降、36 棟正面入口の
予約システムで予約
使用記録用紙を印刷して持ち帰る
予約日当日、使用記録用紙を持参
36 棟正面入口の予約システムで使用開始操作
36-106（中央試験所事務室）窓口でクリーンルーム A の鍵を借りて入室
使用後、施錠・消灯を確認し、窓口にて鍵を返却
予約システムで使用終了操作
鍵はその日のうちに返却すること
【その他の装置（予約不要）】利用時間：月～金 9:00～17:00、
土：9:00～16:00
利用当日、36 棟正面入口の予約システム
「予約が不要な装置」ウィンドウで
装置横の開始ボタンを押す
36-106（中央試験所事務室）窓口で
クリーンルーム A の鍵を借りて入室
使用後、施錠・消灯を確認し、窓口にて鍵を返却
予約システム「予約が不要な装置」ウィンドウで
装置横の終了ボタンを押す
鍵はその日のうちに返却すること

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