通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
製造装置オンライン機能要求仕様書分冊
通信シナリオ参考書
<内部バッファ／バッチ処理装置編>
第 1.0 版
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
目次
1.
序論........................................................................................................................................ 7
1.1.
適用範囲............................................................................................................................. 7
1.2.
制限 .................................................................................................................................... 7
1.3.
文書構成............................................................................................................................. 7
1.3.1.
文書体系 ................................................................................................................. 7
1.3.2.
章構成 ..................................................................................................................... 8
1.4.
改版履歴............................................................................................................................. 8
1.5.
参考文献............................................................................................................................. 9
2.
2.1.
代表的な通信シナリオ ......................................................................................................... 10
通信シナリオ.................................................................................................................... 10
2.1.1.
通信シナリオについて.......................................................................................... 10
2.1.2.
通信シナリオの見方 ............................................................................................. 10
2.1.3.
装置起動時／装置シャットダウン時シナリオ ..................................................... 13
2.1.3.1.
立ち上げシナリオ ......................................................................................... 13
2.1.3.2.
立ち下げシナリオ ......................................................................................... 15
2.1.4.
2.1.4.1.
ロット処理（１） ......................................................................................... 16
2.1.4.2.
ロット処理（２） ......................................................................................... 22
2.1.4.3.
QTAT 処理（１） ......................................................................................... 28
2.1.4.4.
QTAT 処理（２） ......................................................................................... 38
2.1.5.
エラーリカバリシナリオ ...................................................................................... 49
2.1.5.1.
エラー内容一覧 ............................................................................................. 49
2.1.5.2.
キャリアハンドオフ (E84) 失敗.................................................................. 50
2.1.5.3.
スロットマップ照合 失敗............................................................................. 56
2.1.5.4.
キャリア ID 照合 失敗 ................................................................................. 77
2.1.5.5.
ジョブ作成 失敗 ........................................................................................... 83
2.1.5.6.
（アン）クランピング／（アン）ドッキング 失敗..................................... 98
2.1.6.
2.2.
ロット処理シナリオ ............................................................................................. 16
NPW 運用シナリオ .............................................................................................111
2.1.6.1.
NPW 運用シナリオ一覧 ..............................................................................111
2.1.6.2.
Filler（定常）NPW 運用シナリオ .......................................................... 112
2.1.6.3.
Filler（非定常）NPW
2.1.6.4.
モニター NPW
運用シナリオ....................................................... 129
運用シナリオ.................................................................. 145
通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット .................................................... 162
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.1.
立上げ処理.......................................................................................................... 162
2.2.2.
ロット処理.......................................................................................................... 170
2.2.3.
立ち下げ処理 ...................................................................................................... 204
2.2.4.
QTAT 処理（１） ............................................................................................... 206
2.2.5.
QTAT 処理（２） ............................................................................................... 256
2.2.6.
E84 Fail.............................................................................................................. 312
2.2.7.
スロットマップ照合エラー ................................................................................ 319
2.2.8.
キャリア ID 照合失敗......................................................................................... 360
2.2.9.
ジョブ作成失敗................................................................................................... 365
2.2.10.
（アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗 ................................................... 388
2.2.11.
Filler（定常）NPW シナリオ ......................................................................... 394
2.2.12.
Filler（非定常）NPW
2.2.13.
Monitor NPW
2.2.14.
搬入時 E84 ハンドシェークシーケンス ............................................................. 562
2.2.15.
搬出時 E84 ハンドシェークシーケンス ............................................................. 563
2.2.16.
E84 タイマー一覧............................................................................................... 564
2.2.17.
イベントレポートフォーマット ......................................................................... 565
シナリオ ..................................................................... 447
シナリオ .................................................................................. 500
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
表一覧
表 1-1 対象装置 .................................................................................................................. 7
表 1-2 改版履歴 .................................................................................................................. 8
表 2-1 ステータスモデル名略号 ....................................................................................... 12
表 2-2 ステータスモデルの状態名略号 ............................................................................ 12
表 2-3 サブストレートトラッキングロケーション情報................................................... 13
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
図一覧
図 1-1 本書の文書体系 ....................................................................................................... 7
図 2-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗 ............................................................................ 51
図 2-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗 ............................................................................ 52
図 2-3 スロットマップ読込み失敗
1/3 ............................................................................ 57
図 2-4 スロットマップ読込み失敗
2/3 ............................................................................ 58
図 2-5 スロットマップ読込み失敗
3/3 ............................................................................ 59
図 2-6 スロットマップホスト照合失敗
1/3 ..................................................................... 60
図 2-7 スロットマップホスト照合失敗
2/3 ..................................................................... 61
図 2-8 スロットマップホスト照合失敗
3/3 ..................................................................... 63
図 2-9 ダブルスロット・クロススロット
1/3................................................................ 64
図 2-10
ダブルスロット・クロススロット
2/3.............................................................. 65
図 2-11
ダブルスロット・クロススロット
3/3 .............................................................. 66
図 2-12 キャリアＩＤ読込みエラー ................................................................................. 78
図 2-13 キャリアＩＤの不一致 .......................................................................................... 79
図 2-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合 .................................... 84
図 2-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合............................. 85
図 2-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合
1/3...................... 86
図 2-17 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合
2/3...................... 87
図 2-18 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合
3/3...................... 88
図 2-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合
1/3 ................ 89
図 2-20 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合
2/3 ................ 90
図 2-21 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合
3/3 ................ 91
図 2-22 クランピング失敗.................................................................................................. 99
図 2-23 ドッキング失敗 ................................................................................................... 100
図 2-24 アンドッキング失敗 ............................................................................................ 101
図 2-25 アンクランピング失敗 ........................................................................................ 102
図 2-26
Filler(定常) 運用フロー (1).............................................................................. 113
図 2-27
Filler(定常) 運用フロー (2).............................................................................. 114
図 2-28
Filler(定常) 運用フロー (3).............................................................................. 115
図 2-29
Filler(定常) 運用フロー (4).............................................................................. 116
図 2-30
Filler(定常) 運用フロー (5).............................................................................. 117
図 2-31
Filler(非定常) 運用フロー (1) .......................................................................... 130
図 2-32
Filler(非定常) 運用フロー (2) .......................................................................... 131
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図 2-33
Filler(非定常) 運用フロー (3) .......................................................................... 132
図 2-34
Filler(非定常) 運用フロー (4) .......................................................................... 133
図 2-35
Filler(非定常) 運用フロー (5) .......................................................................... 134
図 2-36
Monitor 運用フロー (1) ................................................................................... 146
図 2-37
Monitor 運用フロー (2) ................................................................................... 147
図 2-38
Monitor 運用フロー (3) ................................................................................... 148
図 2-39
Monitor 運用フロー (4) ................................................................................... 149
図 2-40
Monitor 運用フロー (5) ................................................................................... 150
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
1. 序論
1.1.
適用範囲
本書は、次に示すバッファタイプならびに単位サイクルサイズを持つ 300 ㎜半導体製造装置
に適用される。
装置タイプ
バッファタイプ
単位サイクル
サイズ
適用
!
!
バリエーション
固定バッファ
内部バッファ
枚葉（シングルウェーハ）
シングルキャリア・マルチウェーハ・バッチ
マルチキャリア・バッチ
表 1-1 対象装置
1.2.
制限
本書に示す通信シナリオは、デバイスメーカの要求に基づいた典型的な運用をベースに作成
したものであり、デバイスメーカ各社における実際の要求仕様を示すものではない。また、
安全ならびに衛生に対しては考慮されていない。
1.3.
文書構成
1.3.1. 文書体系
本書は製造装置オンライン要求仕様書の分冊として作成されており、要求仕様の理解を深め
る際の参考書として使用されることを想定している。
なお、本書は内部バッファ／バッチ処理装置に対する要求を示す。
要求仕様書本文
製造装置
オンライン
機能要求仕様書
要求仕様書分冊
補足
固定バッファ／
枚葉処理装置編
内部バッファ／
通信シナリオ
枚葉処理装置編
通信シナリオ
図 1-1 本書の文書体系
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1.3.2. 章構成
本書は、次に示す章（この章は含まない）から構成される。
・ 通信シナリオ（第２章第一節）
：内部バッファタイプ装置における代表的な通信シナリオ
・ メッセージフォーマット（第２章第ニ節）
：第一節で記述した通信シナリオで使用する
SECSメッセージフォーマット
1.4.
改版履歴
版
第 1.0 版
日付
2002 年 3 月 31 日
内容
初版発行
表 1-2 改版履歴
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1.5.
参考文献
・ 300mm 半導体工場のための CIM グローバルジョイントガイダンス リリース 4.1
・ 300mm 半導体工場のための CIM/GJG 統合解説 第 1 巻（第 3 版）
・ SEMI E84-1101:エンハンストキャリア移載パラレル I/O インターフェイスの仕様
・ SEMI E87-1101:キャリア管理スタンダード（CMS）
・ SEMI E87.1-1101:キャリア管理スタンダード（CMS）のための SECS-Ⅱプロトコル
・ SEMI E4-0699:半導体製造装置通信スタンダード１(SECS-I)
・ SEMI E5-1101:半導体製造装置通信スタンダード 2(SECS-Ⅱ)
・ SEMI E30-1000:SEMI 製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデル（GEM）
・ SEMI E37-0298:高速 SECS メッセージサービス
・ SEMI E37.1-96E:高速 SECS メッセージサービス
（HSMS）汎用サービス
シングルセッションモード(HSMS-SS)
・ SEMI E39-1101:オブジェクトサービススタンダード：コンセプト、挙動、及びサービス
・ SEMI E39.1-1101:オブジェクトサービススタンダード（OSS）のための SECS-Ⅱプロトコル
・ SEMI E40-1101:プロセス管理スタンダード
・ SEMI E40.1-1101:プロセス管理スタンダードの SECS-Ⅱのサポート
・ SEMI E94-1101:コントロールジョブマネジメントスタンダード
・ SEMI E90-1101:サブストレートトラッキングスタンダード
・ SEMI E15.1-0600: Provisional Specification for 300mmToll Load Port
・ SEMI E99-1000: CarrierID Reader/Writer Functional Standard
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2. 代表的な通信シナリオ
2.1.
通信シナリオ
2.1.1. 通信シナリオについて
・ この章に記載されている通信シナリオは、一般的な通信シナリオとして挙げたもので、実際の装置におけるイベント発生の順序はこの通りで
はない。
・ 装置は別冊 製造装置オンライン機能要求仕様書に記載されている各機能詳細に従った操作／イベント発行を行うことを想定している。
2.1.2. 通信シナリオの見方
通信シナリオは前提条件とシナリオ本文で構成され、それぞれ以下の(1)、(2)で示される記述方法で述べる。また、シナリオ中で使用されている
略語を(3)に示す。
(1) 前提条件
記載された通信シナリオの前提となる条件を示す。
前提条件の例）
項目
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
Carrier ID／Slot Map
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
１キャリア
１コントロールジョブ
１プロセスジョブ
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
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(2) シナリオ
運用項目、処理内容、処理内容に沿ったストリームファンクション、メッセージ、及び各ステータスモデルの遷移を示す。
通信の方向を表し、H<-E なら装置からホストへメッセージが送信されていることを表す
各ステータスモデルの遷移を表す
ストリームファンクション
#
運用
#
処理
SF
方向
メッセージ
HSMS
HS
1 搬入移載
1-1 ロード開始
1-2 ロード終了
2 キャリアID照合
2-1 CarrierID読取り
2-2 ロードポートステータス送信
2-3 CarrierID照合OK
2-4 CarrierID照合完了
S6F11
S6F12
S6F11
S6F12
S6F11
S6F12
S6F11
S6F12
S3F17
S3F18
S6F11
S6F12
H<-E
H->E
H<-E
H->E
H<-E
H->E
H<-E
H->E
H->E
H<-E
H<-E
H->E
TransferBlocked
Ack
MaterialHasArrived
Ack
Waiting for Host
Ack
Associated
Ack
ProceedWithCarrier
Ack
ID Verification OK
Ack
LTS
LCAS
STL
(#n)
No
No
No
State State State
TB
CIDS
CS
CSMS
CAS
STT
STS
STP
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
WFH
SNR
NAC
A
IVO
キャリア ID ステータスが ”2-1 キャリア ID 読み取り”の開始した時点で
No State から Waiting for Host に遷移したことを表す
このように区切りが入っておらず、遷移先の状態が書かれていない間は、
ステータスに変化がないことを表す
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CJ
PJ
No
No
State State
コメント
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(3) 使用している略号の説明
通信シナリオ中で使用されている略語とその正式名称等を以下に示す。
略語
HSMS
LTS
LCAS
LPR
STL
CS
CSMS
正式文
高速 SECS メッセージサービス通信状態
ロードポート搬送状態(LoadPort Transfer State)
ロードポート／キャリア関連状態(LoadPort/Carrier Association State)
ロードポート予約状態(Load Port Reservation State)
ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾛｹｰｼｮﾝ(Substrate Tracking Location)
キャリアステータス(Carrier Status)
キャリアスロットマップステータス(Carrier Slotmap Status)
略語
STS
STT
STP
CJ
PJ
CIDS
CAS
正式文
サブストレートトラッキング(Substrate Tracking)
ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾄﾗﾝｽﾎﾟｰﾄ(Substrate Tracking Transport)
ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾛｾｯｼﾝｸﾞ(Substrate Tracking Processing)
コントロールジョブステータス(Control Job Status)
プロセスジョブステータス(Process Job Status)
キャリア ID ステータス(Carrier ID Status)
キャリアアクセッシングステータス(Carrier Accessing Status)
表 2-1 ステータスモデル名略号
略語
A
AD
AS
AW
CC
CS
HNS
HS
INA
IP
IVF
正式文
Associated
At Destination
At Source
At Work
Carrier Complete
Carrier Stopped
HSMS Not Selected
HSMS Selected
In Access
In Process
ID Verification Fail
略語
IVO
NAB
NAC
NAS
NP
NR
NS
OC
PC
R
RTU
正式文
ID Verification OK
Not Aborting
Not Accessed
Not Associated
Needs Processing
Not Reserved
Not Stopping
Occupied
Processing Complete
Reserved
Ready To Unload
表 2-2 ステータスモデルの状態名略号
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略語
RTL
SNR
SVF
SVO
TB
TNC
UOC
WFH
正式文
Ready To Load
Slot Map Not Read
Slot Map Verification Fail
Slot Map Verification OK
Transfer Blocked
TCP/IP Not Connected
Unoccupied
Waiting for Host
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Processing
Load Port
FIMS
#1
Substrate
Location ID
(FIMS Port)
内部バッファ
略語
#1
#2
Location Change
#2
Substrate
Location ID
(Boat)
モジュール
意味
FIMS ポート
Boat 内部
表 2-3 サブストレートトラッキングロケーション情報
2.1.3. 装置起動時／装置シャットダウン時シナリオ
2.1.3.1. 立ち上げシナリオ
前提条件
項目
コントロールモード
通信有効／無効設定
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
Carrier ID／Slot Map
搬送機器
条件
起動時オフライン／装置定数オフライン
有効
オート
－
－
－
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
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＃
運用
＃
0
1 通信確立
処理
SF
方向
メッセージ
初期状態
1-1 HSMS通信確立
H<-E TCP/IP Connect Succeeds
HSMS
LTS
LCAS
LPR
STL(#n)
CS
CIDS CSMS
STS
CAS
STT
STP
CJ
PJ
コメント
TNC
装置、ホストともに電源ONで、通信準備状態となっている。
HNS
ホスト：パッシブ、装置：アクディブ状態
H<-E Select.req
H->E Select.rsp
1-2 通信確立要求
通信確立要求応答
2 オンライン確認
2-1 オンライン要求
オンライン報告応答
2-2 オンライン報告
オンライン報告応答
3 日付及び時刻要求
3-1 日付及び時刻要求
日付及び時刻データ
4 装置状態把握
4-1 装置状態問合せ
（GEM関連データ確認）
装置状態問合せ応答
H->E Establish Communication Request
S1F14
H<-E Establish Communication Request Acknowledge
S1F17
H->E Request ON-LINE
S1F18
H<-E ON-LINE Acknowledge
S6F11
H<-E Event Report Send
S6F12
H->E Event Report Acknowledge
S2F31
H->E Date and Time Set Request
S2F32
H<-E Date and Time Set Acknowledge
S1F3
H->E Selected Equipment Status Request
S1F4
H<-E Selected Equipment Status Data
4-2 コントロールジョブステータス要求 S14F1
4-5 サブストレートステータス要求
S14F1
H->E GetAttr Request
サブストレートステータス応答
S14F2
H<-E GetAttr Data
（STS関係データ確認）
5 装置状態設定
5-1 有効/無効イベントレポート
有効/無効イベントレポート確認
6 アクセスモード変更
S2F37
H->E Enable/Disable Event Report
S2F38
H<-E Enable/Disable Event Report Acknowledge
5-2 アラーム報告有効/無効設定
S5F3
H->E Enable/Disable Alarm Send
アラーム報告有効/無効確認
S5F4
H<-E Enable/Disable Alarm Acknowledge
S3F23
H->E Change Access
S3F24
H<-E Ack
6-1 ｱｸｾｽﾓｰﾄﾞ設定（ｵｰﾄﾓｰﾄﾞ）
（オートへ）
6-2 アクセスモード変更通知
S6F11
H<-E Auto
S6F12
H->E Ack
No State
H<-E GetAttr Data
No State
H->E GetAttr Request
S14F2
No State
S14F1
キャリアステータス応答
No State
（CMS関係データ確認） 4-4 キャリアステータス要求
No State
S16F19 H->E PRGetAllJobs
S16F20 H<-E PRGetAllJobs Acknowledge
CJの全てのID及びそのステータスを取得
No State
H<-E GetAttr Data
No State
プロセスジョブステータス応答
H->E GetAttr Request
NA
4-3 プロセスジョブステータス要求
コントロールステータス、アクセスモード、発生中のアラームID等の情報を取得
RTL
（PJ関係データ確認）
通信確立要求は、ホストから送信、装置から送信のどちらも可能
No State
コントロールジョブステータス応答 S14F2
HS
Not Reserved
（CJ関係データ確認）
S1F13
PJの全てのID及びそのステータスを取得
全てのキャリアのID及びそのステータスを取得
（内部バッファ状態含む）
装置で管理している全てのサブストレートのID及びトランスポートステータス、プロ
セッシングステータスを取得
装置立上げ時は、アクセスモードがマニュアルの為にオートモードへ変更する
アクセスモードを確認し、マニュア
ルの場合のみオートモードへ変
更する
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2.1.3.2. 立ち下げシナリオ
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
Carrier ID／Slot Map
搬送機器
＃
運用
＃
0
1 アクセスモード
確認
処理
方向
メッセージ
HSMS
初期状態
1-1 指定装置状態要求
指定装置状態データ
S1F3
LTS
LCAS
RTL
NAS
LPR
NR
H->E Selected Equipment
Status Request
H<-E Selected Equipment
Status Data
S3F23 H->E Change Access
STL
CS
STS
CJ
PJ
コメント
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
No
No
No
No
No
No
No
No 初期条件は、左記の通りとしているが、立ち下げを
State State State State State State State State おこなう時の装置の状態に依存する
アクセスモードを取得
S1F4
S3F24 H<-E Ack
S6F11 H<-E Manual
S6F12 H->E Ack
装置属性を確認し、アクセス
モードがオートだった場合は、
マニュアルへ変更する
3-1 オフラインモード要求
S1F15 H->E Request OFF-LINE
S1F16 H<-E OFF-LINE Acknowledge
3-2 オフラインモード報告
S6F11 H<-E Equipment Requests
OFF-LINE
S6F12 H->E Equipment Requests
OFF-LINE Acknowledge
HSMS SELECTED
2 アクセスモード 2-1 アクセスモード設定
変更
（マニュアルモード）
（マニュアルへ）
2-2 アクセスモード変更通知
3 オフライン
移行
SF
条件
オンラインリモート
オート
─
─
─
─
AMHS（AGV／RGV／OHT）
装置側は、オフラインに変更されたことを確認する。
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2.1.4. ロット処理シナリオ
2.1.4.1. ロット処理（１）
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／Slot Map 照合
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
４キャリア
１コントロールジョブ
１プロセスジョブ
配送後
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
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#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
0 初期状態
LTS LCAS LPR
RTL
1 搬入移載
2 キャリアID
1-1 ロード開始
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
1-2 ロード終了
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
2-1 CarrierID読取り
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
2-2 ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
2-3 CarrierID照合OK
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
2-4 CarrierID照合完了
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
3-1 バッファキャパシティ変更報告
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
照合
3 内部バッファ
保管
3-2 キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
3-3 ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
3-4 ロードポート搬入可能状態
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
NA
NR
STL
(#n)
UOC
CS
CIDS CSMS
4-1 レシピリスト確認
4-2 LOAD問合せ
（装置にレシピがない場合）
4-3 プロセスプログラム送信
4-4 レシピ妥当性送信
S7F19
TB
WFH SNR
A
IVO
NA
RTL
H->E Current EPPD Request
S7F20
H<-E Ack
S7F1
H->E Process Program Load Inquire
S7F2
H<-E Ack
S7F23
H->E Process Program Send
S7F24
H<-E Ack
S7F27
H<-E Process Program Verification Send
S7F28
H->E Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
17
STS
CJ
STT STP
No
No
No
No No
No
(#1,#2) State State State State State
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで1-1～3-4が繰返される
4 レシピの確認
CAS
NA
State
PJ
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
5 PJ作成
#
処理
5-1 PJの空きスペースの確認
CJ作成
CJ、PJ実行
5-2 CJの空きスペースの確認
メッセージ
S16F21
H->E PRGetSpace
S16F22
H<-E Ack
S1F3
H->E CJQueueSpace
H<-E CJQueueSpaceResponse
5-3 PJ生成
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PR Job Create Ack
5-4 PJ生成完了
S6F11
H<-E PR Job Pooled
S6F12
H->E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
5-6 CJ生成完了
5-7 CJ選択報告
5-8 CJ実行報告
5-9 PJ開始準備
マップ照合
方
向
S1F4
5-5 CJ生成
6 スロット
SF
6-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
6-2 FOUP Open
6-3 スロットマップ読込み完了
6-4 ウエハオブジェクト作成
6-5 サブストレート取得
6-6 スロットマップ照合OK
6-7 スロットマップ照合完了
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
PRJob
Pooled
Queued
Selected
Executing
SettingUp
WFH
AS
OC
(#1)
SVO
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
18
NP
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
7 処理中
#
処理
7-1 キャリア処理中
7-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
7-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
7-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
IA
UOC
(#1)
AW
OC
(#2)
キャリア内のウエハ枚数分5-2～5-4を繰返す
7-5 FOUP Close
7-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
バッチ数分6-1～7-6を繰返す
8 処理終了
7-7 Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
7-8 ウエハ実処理開始
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
8-1 ウエハ実処理完了
8-2 アプローチングイベント報告
8-3 Boat Unload完了
（PJプロセス終了報告）
9 内部バッファ
保管
9-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
9-2 FOUP Open
9-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
9-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
S6F11
H<-E Substrate Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approching Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
Processing
INP
PRC
Process
Complete
UOC
(#2)
AD
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
19
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
9-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
OC
(#1)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
キャリア内のウエハ枚数分9-3～9-5を繰返す
9-6 PJ完了報告
9-7 CJ完了報告
9-8 CJ削除
9-9 CJ削除報告
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H->E Delete Request
S14F12
H<-E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
PRJob
Complete
↓
No
State
Complete
No
State
9-6～9-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
9-10 FOUP Close
9-11 キャリア処理完了
9-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
CC
バッチ数分9-1～9-12を繰返す
10 キャリア搬出
10-1 キャリア払出指示
10-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
10-3 ロードポートステータス送信
10-4 ロードポートステータス送信
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
TB
A
R
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
20
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
10-5 キャリアロケーション変更通知
10-6 キャリアがロードポートに払出される
10-7 キャリア搬出可能
10-8 ロードポートステータス送信
10-9 アンロード搬送開始
10-10 キャリア搬出
10-11 キャリアオブジェクト消滅
10-12 サブストレートオブジェクト消滅
10-13 ロードポートステータス送信
10-14 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
RTU
NR
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1～10-14が繰返される
終了状態
RTL
NA
NR
UOC No No
No
No
No
No
(#1,#2) State State State State State State
ロット処理（オート）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
21
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.4.2. ロット処理（２）
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／Slot Map 照合
搬送機器
条件
オンラインリモート
マニュアル
４キャリア
１コントロールジョブ
１プロセスジョブ
配送後
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
22
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
0 初期状態
LTS LCAS LPR
RTL
1 搬入移載
1-1 マニュアル搬入開始スイッチ押下
（ロード開始）
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
NA
NR
STL
CS
STS
CJ
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
UOC No No
No
No
No
No
(#1,#2) State State State State State State
TB
1-2 キャリアをロードポートに置く
1-3 マニュアル搬入完了スイッチ押下
（ロード終了）
2 キャリアID
2-1 CarrierID読取り
照合
2-2 ロードポートステータス送信
2-3 CarrierID照合OK
2-4 CarrierID照合完了
3 内部バッファ
3-1 バッファキャパシティ変更報告
保管
3-2 キャリアロケーション変更報告
3-3 ロードポートステータス送信
3-4 ロードポート搬入可能状態
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
WFH SNR
A
IVO
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで1-1～3-4が繰返される
4 レシピの確認
4-1 レシピリスト確認
4-2 LOAD問合せ
（装置にレシピがない場合）
4-3 プロセスプログラム送信
4-4 レシピ妥当性送信
S7F19
H->E Current EPPD Request
S7F20
H<-E Ack
S7F1
H->E Process Program Load Inquire
S7F2
H<-E Ack
S7F23
H->E Process Program Send
S7F24
H<-E Ack
S7F27
H<-E Process Program Verification Send
S7F28
H->E Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
23
NA
PJ
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
5 PJ作成
#
処理
5-1 PJの空きスペースの確認
CJ作成
CJ、PJ実行
5-2 CJの空きスペースの確認
メッセージ
S16F21
H->E PRGetSpace
S16F22
H<-E Ack
S1F3
H->E CJQueueSpace
H<-E CJQueueSpaceResponse
5-3 PJ生成
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PR Job Create Ack
5-4 PJ生成完了
S6F11
H<-E PR Job Pooled
S6F12
H->E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
5-6 CJ生成完了
5-7 CJ選択報告
5-8 CJ実行報告
5-9 PJ開始準備
マップ照合
方
向
S1F4
5-5 CJ生成
6 スロット
SF
6-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
6-2 FOUP Open
6-3 スロットマップ読込み完了
6-4 ウエハオブジェクト作成
6-5 サブストレート取得
6-6 スロットマップ照合OK
6-7 スロットマップ照合完了
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
PRJob
Pooled
Queued
Selected
Executing
SettingUp
WFH
AS
OC
(#1)
SVO
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
24
NP
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
7 処理中
#
処理
7-1 キャリア処理中
7-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
7-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
7-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
IA
UOC
(#1)
AW
OC
(#2)
キャリア内のウエハ枚数分7-2～7-4を繰返す
7-5 FOUP Close
7-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
バッチ数分6-1～7-6を繰返す
8 処理終了
7-7 Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
7-8 ウエハ実処理開始
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
8-1 ウエハ実処理完了
8-2 アプローチングイベント報告
8-3 Boat Unload完了
（PJプロセス終了報告）
9 内部バッファ
保管
9-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
9-2 FOUP Open
9-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
9-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
S6F11
H<-E Substrate Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approching Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
Processing
INP
PRC
Process
Complete
UOC
(#2)
AD
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
25
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
9-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
9-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
AD
CJ
PJ
OC
(#1)
キャリア内のウエハ枚数分9-3～9-5を繰返す
9-6 PJ完了報告
9-7 CJ完了報告
9-8 CJ削除
9-9 CJ削除報告
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H->E Delete Request
S14F12
H<-E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
PRJob
Complete
↓
No
State
Complete
No
State
9-6～9-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
9-10 FOUP Close
9-11 キャリア処理完了
9-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
CC
バッチ数分9-1～9-12を繰返す
10 キャリア搬出
10-1 キャリア払出指示
10-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
10-3 ロードポートステータス送信
10-4 ロードポートステータス送信
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
TB
A
R
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
26
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
10-5 キャリアロケーション変更通知
10-6 キャリアがロードポートに払出される
10-7 キャリア搬出可能
10-8 ロードポートステータス送信
10-9 マニュアル搬出開始スイッチ押下
（アンロード開始）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
RTU
NR
TB
10-10 キャリアをロードポートから取る
10-11 マニュアル搬出完了スイッチ押下
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
（アンロード終了）
S6F12
H->E Ack
10-12 キャリアオブジェクト消滅
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
10-13 サブストレートオブジェクト消滅
10-14 ロードポートステータス送信
10-15 ロードポート搬入可能状態
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1～10-15が繰返される
終了状態
RTL
NA
NR
No
No
State
State State State State State State
No
ロット処理 （マニュアル）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
27
No
No
No
No
No
No
State
State
C9
C1
C4
C8
C7
2002 年 3 月 31 日
28
次々回
C5
C9
C6
処理終了
C8
C5
C3
C7
C4
C2
待機中
C2
QTAT発生
次回
C6
処 理 中 C1 ～ C3
の処理終了にて
C1 ～ C3 を 搬 出
し、QTAT 対象の
C7～C9 を搬入す
る
待機中
C3
STL ＃1 FIMS ポート
STL ＃2 リソース
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
内部ﾊﾞｯﾌｧ
待機中
条件
オンラインリモート
オート
２
６
２（バッチ毎に１プロセスジョブ）
２（バッチ毎に１コントロールジョブ）
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
オート
３
６
CJ1、PJ1
CJ2、PJ2
CJ3、PJ3
処理中
2.1.4.3. QTAT 処理（１）
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
プロセス・ジョブ数
コントロール・ジョブ数
Carrier ID
搬送機器
スタート・メソッド
バッチ毎のキャリア数
内部バッファ数
バッチ１（C1～C3）
バッチ２（C4～C6）
バッチ３（C7～C9）(特急キャリア)
次回
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
C1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
1 CJのQueued
1-1
CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定
からSelected
LTS LCAS LPR
RTL
(P1,
P2)
S14F3
H->E SetAttr.req
S14F4
H<-E SetAttr.rsp
NA
(P1,
P2)
NR
(P1,
,P2)
STL
（#n）
OC
(#2)
CS
CIDS CSMS
CAS
IVO
(C1
～
C6)
NA
(C1
～
C6)
SNR
(C1
～
C6)
STS
STT STP
No
No
State State
(C1
(C1
～
～
C6)
C6)
CJ
PJ
Executing
(CJ1)
Queued
(CJ2)
SettingUp
(PJ1)
Queued
(PJ2)
コメント
バッチ１
の処理は
開始され
ている
への遷移
禁止設定
2 バッチ１キャリア
2-1
スロットマップ
照合
2-2
2-3
3 バッチ１処理中
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier LocationChange
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUPOpen
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
スロットマップ読込み完了
2-4
ウェハオブジェクト作成
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
2-5
サブストレート取得
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
2-6
スロットマップ照合OK
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H->E Ack
2-7
スロットマップ照合完了
S6F11
H<-E Slot Map Verification OK
S6F12
H->E Ack
3-1
3-2
3-3
3-4
キャリア処理中
S6F11
H<-E Carrier In Accsess
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがキャリアから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT WORK
（キャリアからボートへ）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがボートへ移動した）
S6F12
H->E Ack
CSMS、
CAS、
WFH
（C1）
STT、
AS
NP
（C1） （C1）
SVO
（C1）
IA
（C1）
UOC
（#1）
AW
（C1）
OC
（#2）
2002 年 3 月 31 日
29
～C3まで
順に変わる。
OC
（#1）
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
STPはC1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
キャリア内のウェハ枚数分3-2～3-4を繰返す
3-5
3-6
FOUP Close
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier LocationChange
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Ack
バッチ数分2-1から3-6を繰返す
3-7
3-8
4 バッチ１
4-1
Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
ウェハ実処理開始
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
ウェハ実処理完了
S6F11
H<-E Substrate ProcessingComplete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approchig Complete
（PJプロセス終了報告）
S6F12
H->E Ack
Boat Unload完了
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
（PJプロセス終了報告）
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUPOpen
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
処理終了
4-2
4-3
5 バッチ１
5-1
内部バッファ
保管
5-2
5-3
5-4
5-5
アプローチングイベント報告
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがポートから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT Destination
（ポートからキャリアへ）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Ack
Processing
（PJ1）
CIDS、
INP
(C1)
PRC
(C1)
CSMS、
CAS、
STT、
STPはC1
～C3まで
Process
Complete
(PJ1)
UOC
(#2）
AD
（C1）
OC
（#1）
キャリア内のウェハ枚数分5-3から5-5を繰返す
5-6
PJ完了報告
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
PRJob
Complete
(PJ1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
30
順に変わ
る
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
5-7
5-8
5-9
処理
CJ完了報告
CJ削除
CJ削除報告
SF
方
向
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
メッセージ
S14F11
H<-E Delete Request
S14F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
Complete
(CJ1)
NoState
(CJ1)
5-6から5-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
5-10
5-11
5-12
FOUP Close
キャリア処理完了
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier LocationChange
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Ack
CC
（#1）
バッチ数分5-1から5-12を繰返す
6 キャリア搬出
6-1
6-2
6-3
6-4
6-5
キャリア払出指示
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
キャリア払出
S6F11
H<-E TransferBlocked
（内部バッファ→ロードポート）
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
キャリアロケーション変更通知
S6F11
H<-E Carrier LocationChange
S6F12
H->E Ack
6-6
キャリアがロードポートに払出される
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
6-7
キャリア搬出可能
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
6-8
ロードポートステータス送信
搬出時の
TB
（P1）
ロードポー
トは、装置
A
（P1）
にまかせ
て空いて
R
(P1)
いるポート
を使用す
る。
（今回は、
全てポート
１を使用し
RTU
（P1）
ている）
NR
(P1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
31
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
6-9
6-10
6-11
6-12
6-13
6-14
処理
アンロード搬送開始
キャリア搬出
キャリアオブジェクト消滅
サブストレートオブジェクト消滅
ロードポートステータス送信
ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
TB
（P1）
No
No
No
State State
(C1) (C1) (C1)
State
No
No
State State
(C1) (C1)
NA
（P1）
RTL
（P1）
１バッチのキャリア全てが搬出されるまで6-1から6-14が繰返される
7 特急キャリア
7-1
ロード開始
搬入移動
7-2
8 キャリアID照合
8-1
8-2
9 特急キャリア
ロード終了
CarrierID読取り
ロードポートステータス送信
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
8-3
CarrierID照合OK
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
8-4
CarrierID照合完了
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
9-1
バッファキャパシティ変更報告
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
9-2
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E CarrieLocationChange
S6F12
H->E Ack
内部バッファ
保管
S6F11
TB
（P2）
WFH SNR NA
（C7） （C7） （C7）
CIDS、
CSMS、
CAS、
A
（P2）
STT、
STPはC7
～C9まで
IVO
（C7）
順に変わ
る
（8-1～1512 まで
除く13-8、
14-1）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
32
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
9-3
9-4
処理
ロードポートステータス送信
ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
NA
（P2）
RTL
（P2）
１バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで9-1～9-4が繰返される
10 レシピの確認
10-1
10-2
10-3
10-4
11 PJ作成
11-1
レシピリストの確認
11-2
H->E Current EPPD Request
S7F20
H<-E Ack
LOAD問合せ
S7F1
H->E Process Program Load Inquire
（装置にレシピがない場合）
S7F2
H<-E Ack
プロセスプログラム送信
S7F23
H->E Process Program Send
S7F24
H<-E Ack
レシピ妥当性報告
PJの空きスペースの確認
CJ作成、
CJ、PJ実行
S7F19
CJの空きスペースの確認
S7F27
H<-E Process Program Verification Send
S7F28
H->E Ack
S16F21
H->E PR Get Space
S16F22
H<-E Ack
S1F3
H->E CJ Queue Space
S1F4
H<-E CJ Queue Space Response
11-3
PJ生成
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PR Job Create Ack
11-4
PJ生成完了
S6F11
H<-E PR Job Pooled
S6F12
H->E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
11-5
11-6
11-7
11-8
11-9
CJ生成
CJ生成完了
CJ選択報告
CJ実行報告
PJ開始準備
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
Pooled
（PJ3）
Queued
（CJ3）
Selected
（CJ3）
Executiong
（CJ3）
SettingUp
（PJ3）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
33
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
12 スロットマップ
#
12-1
照合
処理
12-4
12-5
12-6
12-7
13 バッチ１処理中
13-1
13-2
13-3
13-4
方
向
メッセージ
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier LocationChange
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
12-12 FOUP Open
12-3
SF
スロットマップ読込み完了
ウェハオブジェクト作成
サブストレート取得
スロットマップ照合OK
スロットマップ照合完了
キャリア処理中
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H->E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierInAccsess
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがキャリアから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT WORK
（キャリアからボートへ）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがボートへ移動した）
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
WFH
（C7）
AS
NP
（C7） （C7）
OC
（#1）
SVO
（C7）
IA
（C7）
UOC
（#1）
AW
（C7）
OC
（#2）
キャリア内のウェハ枚数分13-2～13-4を繰返す
13-5
13-6
FOUP Close
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Ack
バッチ数分12-1～13-6を繰返す
13-7
Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
Processing
（PJ3）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
34
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
13-8
14 処理終了
14-1
14-2
14-3
15 内部バッファ
15-1
保管
15-2
15-3
15-4
15-5
処理
ウェハ実処理開始
ウェハ実処理完了
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate ProcessingComplete
S6F12
H->E Ack
アプローチングイベント報告
S6F11
H<-E Approchig Complete
（PJプロセス終了報告）
S6F12
H->E Ack
Boat Unload完了
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
（PJプロセス終了報告）
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUP Open
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがポートから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT Destination
（ポートからキャリアへ）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
INP
(C7)
PRC
(C7)
CJ
PJ
Process
Complete
(PJ3)
UOC
(#2）
AD
（C7）
OC
（#1）
キャリア内のウェハ枚数分15-3～15-5を繰返す
15-6
15-7
15-8
15-9
PJ完了報告
CJ完了報告
CJ削除
CJ削除報告
S6F11
H<-E PJ Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H<-E Delete Request
S14F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
Complete
（CJ3）
NoState
（CJ3）
15-6～15-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
35
PRJob
Complete
(PJ3)
↓
No
State
(PJ3)
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
15-10 FOUP Close
15-11 特急キャリア処理完了
15-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Change
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
CC
（C7）
バッチ数分15-1～15-12を繰返す
16 CJQueuedから
16-1
CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除
Selectedへの
遷移
16-2
16-3
16-4
17 バッチ２キャリア
17-1
スロットマップ
照合
CJ選択報告
CJ実行報告
PJ開始準備
17-4
17-5
17-6
17-7
H->E SetAttr.req
S14F4
H<-E SetAttr..rsp
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
17-17 FOUP Open
17-3
S14F3
スロットマップ読込み完了
ウェハオブジェクト作成
サブストレート取得
スロットマップ照合OK
スロットマップ照合完了
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H->E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
Selected
（CJ2）
Executiong
（CJ2）
SettingUp
（PJ2）
WFH
（C4）
AS
NP
（C4） （C4）
OC
（#1）
SVO
（C4）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
36
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
以下 通常処理と同様な流れとなる。
終了状態
RTL
NA NR
(P1， (P1， （P1，
P2
P2
P2）
OC
（#1）
IVO SVO CC
AS
NP
（C4 （C4） (C7～ （C4） （C4）
～ SNR C9）
C6） C6） NA
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
37
Executing Processing
（CJ2）
（PJ2）
コメント
C2
C5
C1
C4
STL ＃1 FIMS ポート
STL ＃2 リソース
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
38
待機中の C4～C6
を搬出し、QTAT
対 象 の C7 ～ C9
を搬入する
C3
C9
C2
C8
C6
C8
C1
C7
C5
C7
待機中
C6
内部ﾊﾞｯﾌｧ
処理中
C3
待機中
次回
条件
オンラインリモート
オート
２
６
２（バッチ毎に１プロセスジョブ）
２（バッチ毎に１コントロールジョブ）
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
オート
３
６
CJ1、PJ1
CJ2、PJ2
CJ3、PJ3
処理中
2.1.4.4. QTAT 処理（２）
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
プロセス・ジョブ数
コントロール・ジョブ数
Carrier ID
搬送機器
スタート・メソッド
バッチ毎のキャリア数
内部バッファ数
バッチ１（C1～C3）
バッチ２（C4～C6）
バッチ３（C7～C9）(特急キャリア)
次回
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
C4
QTAT発生
C9
入替え
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
LTS LCAS LPR
RTL NA
NR
（P1、 （P1、 （P1、
P2)
1 CJのQueued
1-1
CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定
からSelected
S14F3
H->E SetAttr.req
S14F4
H<-E SetAttr.rsp
S16F27
H->E CJCancel
S16F28
H<-E Ack
P2)
P2)
STL
(#n)
OC
(#2)
CS
CIDS CSMS
CAS
IVO
(C1
NA
SNR
STS
STT STP
No
No
State State
～ (C1～ (C1～ (C1～ (C1～
C6） C6） C6） C6） C6）
CJ
PJ
コメント
Executing
（CJ1）
SettingUp
（PJ1）
バッチ１の
Queued
（PJ2）
開始され
Queued
（CJ2）
への遷移
禁止設定
2 バッチ２搬出
2-1
2-2
2-3
2-4
2-5
CJ2キャンセル
CJ2中止報告
S6F11
H<-E CJ Canceled
S6F12
H->E Ack
S16F5
H->E PR Job Cancel
S16F6
H<-E Ack
バッチ２キャリアへのアクションの
S3F17
H->E Cancel Carrier
キャンセル
S3F18
H<-E Ack
キャリア払出指示
S3F17
H->E Carrier Out
（内部バッファからロードポートへ）
S3F18
H<-E Ack
PJ2キャンセル
Complete
（CJ2）
NoState
（CJ2）
PRJob
Complete
（PJ2）
バッチ内のキャリア数分2-4～2-5を繰返す
2-6
2-7
2-8
2-9
2-10
アンロード搬送開始
ロードポートステータス送信
ロードポートステータス送信
キャリアロケーション変更通知
キャリアがロードポートに払出される
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Change
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
TB
（P1）
NA
（P1）
R
(P1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
39
処理は、
ている
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
2-11
2-12
2-13
2-14
2-15
2-16
2-17
処理
キャリア搬出可能
ロードポートステータス送信
アンロード搬送開始
キャリア搬出
キャリアオブジェクト消滅
ロードポートステータス送信
ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
RTU
（P1）
NR
(P1)
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
AS,STT,
S6F12
H->E Ack
STPはC4
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
TB
（P1）
CSMS,C
No
No
～C7まで
No
State State State
順に変わ
（C4） （C4） （C4）
る（2-14～
2-15）
NA
（P1）
RTL
（P1）
バッチ内のキャリア数分2-7～2-17を繰返す
3 バッチ１キャリア
3-1
スロットマップ
照合
3-2
3-3
3-4
3-5
3-6
3-7
4 バッチ１処理中
4-1
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUPOpen
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
スロットマップ読込み完了
ウェハオブジェクト作成
サブストレート取得
スロットマップ照合OK
スロットマップ照合完了
キャリア処理中
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H->E Ack
S6F11
H<-E Slot Map Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier In Accsess
S6F12
H->E Ack
CSMS,C
AS,STT,
WFH
（C1）
STPはC1
AS
NP
（C1） （C1）
～C3まで
順に変わ
る
OC
（#1）
（3-1～46）
SVO
（C1）
IA
（C1）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
40
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
4-2
4-3
4-4
処理
SF
方
向
メッセージ
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがキャリアから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT WORK
（キャリアからボートへ）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがボートへ移動した）
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
UOC
（#1）
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
AW
（C1）
OC
（#2）
キャリア内のウェハ枚数分4-2～4-4を繰返す
4-5
4-6
FOUP Close
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Ack
バッチ数分3-1～4-6を繰返す
4-7
4-8
5 特急キャリア
5-1
Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
ウェハ実処理開始
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
ロード開始
搬入移動
5-2
6 キャリアID照合
6-1
6-2
6-3
7 特急キャリア
ロード終了
CarrierID読取り
ロードポートステータス送信
CarrierID照合OK
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
INP
(C1～
C3)
TB
（P2）
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
CIDS,
S6F12
H->E Ack
CSMS,
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
6-4
CarrierID照合完了
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
7-1
バッファキャパシティ変更報告
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
内部バッファ
Processing
（PJ1）
WFH SNR NA
（C7） （C7） （C7）
CAS,
はC7～
C9まで順
A
（P2）
に変わる
（5-1～7
-4））
IVO
（C7）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
41
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
保管
#
7-2
7-3
7-4
処理
キャリアロケーション変更報告
ロードポートステータス送信
ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E CarrieLocationChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
NA
（P2）
RTL
（P2）
１バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返される
8 レシピの確認
8-1
8-2
8-3
8-4
9 PJ作成
9-1
レシピリストの確認
9-2
H<-E Ack
LOAD問合せ
S7F1
H->E Process Program Load Inquire
（装置にレシピがない場合）
S7F2
H<-E Ack
プロセスプログラム送信
S7F23
H->E Process Program Send
S7F24
H<-E Ack
レシピ妥当性報告
PJの空きスペースの確認
CJの空きスペースの確認
S7F27
H<-E Process Program Verification Send
S7F28
H->E Ack
S16F21
H->E PR Get Space
S16F22
H<-E Ack
S1F3
H->E CJ Queue Space
S1F4
H<-E CJ Queue Space Response
9-3
PJ生成
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PR Job Create Ack
9-4
PJ生成完了
S6F11
H<-E PR Job Pooled
S6F12
H->E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
9-5
9-6
10 バッチ１
H->E Current EPPD Request
S7F20
CJ作成、
CJ、PJ実行
S7F19
10-1
CJ生成
CJ生成完了
ウェハ実処理完了
処理終了
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate ProcessingComplete
S6F12
H->E Ack
Pooled
（PJ3）
Queued
（CJ3）
PRC
(C1～
C3)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
42
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
10-2
10-3
11 バッチ１
11-1
内部バッファ
保管
11-2
11-3
11-4
11-5
処理
アプローチングイベント報告
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Approchig Complete
S6F12
H->E Ack
Boat Unload完了
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
（PJプロセス終了報告）
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUPOpen
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがポートから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT Destination
（ポートからキャリアへ）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
Process
Complete
（PJ1）
STTはC1
～C3まで
順に変わ
UOC
(#2）
る（11-4）
AD
（C1）
OC
（#1）
キャリア内のウェハ枚数分11-3～11-5を繰返す
11-6
11-7
11-8
11-9
PJ完了報告
CJ完了報告
CJ削除
CJ削除報告
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H<-E Delete Request
S14F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
PRJob
Complete
（PJ1）
Complete
（CJ1）
NoState
（CJ1）
11-6～11-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
11-10 FOUP Close
11-11 キャリア処理完了
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
CC
(C1～
C3）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
43
搬出時の
ロードポー
トは、装置
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
11-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier Location Change
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
UOC
(#1)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
12-1
12-2
12-3
12-4
12-5
12-6
12-7
12-8
12-9
キャリア払出指示
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
キャリア払出
S6F11
H<-E TransferBlocked
（内部バッファ→ロードポート）
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更通知
キャリアがロードポートに払出される
キャリア搬出可能
ロードポートステータス送信
アンロード搬送開始
12-10 キャリア搬出
12-11 キャリアオブジェクト消滅
て空いて
S6F11
H<-E Carrier Location Change
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
を使用す
る。
（今回は、
TB
(P1)
全てポート
１を使用し
A
(P1)
ている）
R
(P1)
RTU
(P1)
NR
(P1)
TB
(P1)
No
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
No
No
State State State
（C1
～
C3）
12-12 サブストレートオブジェクト消滅
コメント
いるポート
S3F17
ロードポートステータス送信
PJ
にまかせ
バッチ数分11-1～11-12を繰返す
12 キャリア搬出
CJ
（C1
～
C3）
（C1
～
C3）
No
No
State State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
44
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
12-13 ロードポートステータス送信
12-14 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
SettingUp
（PJ3）
CSMS,C
NA
(P1)
RTL
(P1)
１バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで12-1～12-14が繰返される
13 特急キャリア
13-1
CJ選択報告
処理
13-2
13-3
14 スロットマップ
14-1
照合
14-2
14-3
14-4
14-5
14-6
14-7
15 特急キャリア
15-1
CJ実行報告
PJ開始準備
15-3
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
Selected
（CJ3）
Executing
（CJ3）
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUP Open
S6F11
H<-E Carrier Opened
で順に変
S6F12
H->E Ack
わる（14-1
スロットマップ読み込み完了
ウェハオブジェクト作成
サブストレート取得
スロットマップ照合OK
スロットマップ照合完了
キャリア処理中
処理中
15-2
S6F11
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H->E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierInAccsess
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがキャリアから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT WORK
（キャリアからボートへ）
S6F12
H->E Ack
AS,STT,
STPは、
C7～C9ま
～15-6）
WFH
(C7)
AS
(C7)
OC
（#1）
SVO
（C7）
IA
（C7）
UOC
（#1）
AW
（C7）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
45
NP
(C7)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
15-4
処理
SF
方
向
メッセージ
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがボートへ移動した）
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
OC
（#2）
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
キャリア内のウェハ枚数分15-2～15-4を繰返す
15-5
15-6
FOUP Close
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Ack
バッチ数分14-1～15-6を繰返す
15-7
15-8
16 処理終了
16-1
16-2
16-3
17 内部バッファ
17-1
保管
17-2
17-3
17-4
17-5
Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
ウェハ実処理開始
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
ウェハ実処理完了
アプローチングイベント報告
S6F11
H<-E Substrate ProcessingComplete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approchig Complete
S6F12
H->E Ack
Boat Unload完了
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
（PJプロセス終了報告）
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUP Open
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
（ウェハがポートから取られた）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate AT Destination
（ポートからキャリアへ）
S6F12
H->E Ack
ウェハ移動
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
（ウェハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Ack
Processing
（PJ3）
INP
(C7～
C9)
PRC
(C7～
C9)
Process
Complete
（PJ3）
GAS,STP
UOC
(#2）
は、C7～
AD
（C7）
OC
（#1）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
46
C9まで順
に変わる
（17-3～
17-11）
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
キャリア内のウェハ枚数分17-3～17-5を繰返す
17-6
17-7
17-8
17-9
PJ完了報告
CJ完了報告
CJ削除
CJ削除報告
S6F11
H<-E PJ Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CJ Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H<-E Delete Request
S14F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
Complete
（CJ3）
PRJob
Complete
（PJ3）
↓
No
State
（PJ3）
NoState
（CJ3）
17-6～17-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
17-10 FOUP Close
17-11 特急キャリア処理完了
17-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Change
S6F12
H->E Ack
CC
（C7）
バッチ数分17-1～17-12を繰返す
18 CJのQueued
18-1
CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除
から
Selectedへの
18-2
CJ選択報告
遷移
18-3
18-4
19 バッチ２キャリア
19-1
スロットマップ
照合
19-2
19-3
CJ実行報告
PJ開始準備
S14F3
H->E SetAttr.req
S14F4
H<-E SetAttr.rsp
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Ack
FOUP Open
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
スロットマップ読込み完了
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
Selected
（CJ2）
Executing
（CJ2）
SettingUp
（PJ2）
WFH
（C4）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
47
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
19-4
19-5
19-6
19-7
処理
ウェハオブジェクト作成
サブストレート取得
スロットマップ照合OK
スロットマップ照合完了
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H->E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
AS
NP
（C4） （C4）
CJ
PJ
Executing
（CJ2）
SettingUp
（PJ2）
OC
（#1）
SVO
（C4）
以下 通常処理と同様な流れとなる。
終了状態
RTL
NA NR
（P1， （P1， （P1，
P2） P2） P2）
OC
（#1）
IVO
（C4
～
C6）
SVO CC
AS
NP
（C4） (C7～ （C4） （C4）
SNR C9）
C5、 NA
C6） （C4、
C6）
2002 年 3 月 31 日
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48
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.5. エラーリカバリシナリオ
2.1.5.1. エラー内容一覧
装置で発生するであろう代表的な異常ケースを、以下の表に示す。次のセクションではこれらに
ついての運用フローの詳細とシナリオを示す。
エラー内容
キャリアハンドオフ (E84) 失敗
FIMS ポートでのスロットマップ照
合失敗
キャリアＩＤ照合失敗
ジョブ作成失敗
詳細条件
キャリア搬入時ハンドオフ失敗
キャリア搬出時ハンドオフ失敗
スロットマップ読み込みエラー
スロットマップ情報不一致
ダブルスロット、クロススロット
キャリアＩＤ読み込み失敗
キャリア ＩＤ情報不一致
プロセスジョブ作成エリア不足
コントロールジョブ作成エリア不足
間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成指示
間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成指示ま
指示されたコントロールジョブの中に存在しないプロセ
スジョブが含まれていた
（アン）クランプ／（アン）ドッキ デリパリポジションでのクランプ失敗
ング失敗
デリパリポジションでのアンクランプ失敗
ドックドポジションでのドッキング失敗
ドックドポジションでのアンドッキング失敗
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
49
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.5.2. キャリアハンドオフ (E84) 失敗
キャリアハンドオフにて異常が発生した場合、装置はホストに異常発生を通知し、キャリ
アハンドオフ動作を終了する。（自動搬送機側のタイマーがタイムアウトすることにより、
それ以上キャリアハンドオフの動作が進行しないため、必然的に装置側のタイマーがタイ
ムアウトすることになる。）
装置は異常状態が解除された時点で、キャリアハンドオフパラレル I/O インターフェイス
信号を初期状態に戻した後、ロードポート上のキャリア有無を調べ、以下に示す処理をお
こなう。
ｷｬﾘｱﾊﾝﾄﾞｵ
ﾌの方向
搬入
搬出
異常解除時ﾛ
ｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上の
ｷｬﾘｱ有無
ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｰｽﾒﾝ
ﾄｾﾝｻｰ:OFF
ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｰｽﾒﾝ
ﾄｾﾝｻｰ:ON
ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｾﾞﾝｽ
ｾﾝｻｰ:OFF
ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｾﾞﾝｽ
ｾﾝｻｰ:ON
異常解除前のﾛｰ
ﾄﾞﾎﾟｰﾄのｽﾃｰﾀｽ
異常解除後の装置動作
異常解除後のﾛｰ
ﾄﾞﾎﾟｰﾄのｽﾃｰﾀｽ
RTL
TB
TB
なにもしない
キャリアハンドオフをなかったことにする。
キャリアハンドオフを終わったことにする。
キャリア搬入完了後の処理を継続する。
キャリアハンドオフを終わったことにする。
キャリア搬出後の後処理をおこなう。
なにもしない
キャリアハンドオフをなかったことにする。
RTL
RTL
TB
TB
RTU
TB
RTL
RTU
RTU
注) RTL:搬入可能状態(ReadyToLoad)
TB :ｷｬﾘｱﾊﾝﾄﾞｵﾌ中(TransferBlocked)
RTU:搬出可能状態(ReadyToUnload)
エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の２パターンについて示す。
(1) キャリア搬入時 キャリアハンドオフ失敗
(2) キャリア搬出時 キャリアハンドオフ失敗
なお、E84 ハンドシェイク及びタイマー値については、次の章を参照のこと。
5.2.11.、5.2.12
5.2.13
搬入時 E84 ハンドシェイク、搬出時 E84 ハンドシェイク
E84 タイマー一覧
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
1) キャリア搬入時　キャリアハンドオフ失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
BEGIN
S6F11：Ready To Load
キャリア搬入可能
を報告する
搬入指示
キャリア搬送
ロードポート到着
L_REQ：ON
ハンドオフ開始
TR_REQ：ON
搬入要求
S6F11：Transfer Blocked
ハンドオフ許可
READY：ON
ハンドオフ中
搬入指示
CS_0：ON
CS_1：OFF
VALID：ON
BUSY：ON
TP3 Timer起動
TA4 Timer起動
キャリア
センサー：ON？
L_REQ：OFF？
TA4
タイムアウト？
TP3
タイムアウト？
No
No
Yes
アラーム報告
Yes
S5F1：Carrier Hand off Fail
アラーム報告
オペレータ通知
オペレータ通知
ｱﾗｰﾑ解除報告
Yes
S5F1：Carrier Handoff Fail Recover
ｷｬﾘｱを適切な位置に
ｾｯﾄし、ｱﾗｰﾑをﾘｾｯﾄ
する
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上に
ｷｬﾘｱがあるか
No
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬入可能
な状態とする
S6F11: Ready To Load
END
ｷｬﾘｱ搬入完了とする
この場合は、ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄが
T/B状態となっているた
め、ｱﾗｰﾑﾘｾｯﾄ時にﾛｰﾄﾞﾎﾟ
ｰﾄ上にｷｬﾘｱが存在すれ
ば、搬入完了としている。
S6F11: Material Has Arrived
END
図 2-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
51
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
2) キャリア搬出時　キャリアハンドオフ失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
BEGIN
S6F11：Ready To Unload
キャリア搬出可能
を報告する
搬出指示
キャリア搬送
ロードポート到着
L_REQ：ON
ハンドオフ開始
TR_REQ：ON
搬出要求
S6F11：Transfer Blocked
ハンドオフ許可
READY：ON
ハンドオフ中
搬出指示
CS_0：ON
CS_1：OFF
VALID：ON
BUSY：ON
TP3 Timer起動
TA4 Timer起動
キャリア
センサー：OFF？
L_REQ：OFF？
TA4
タイムアウト？
TP3
タイムアウト？
No
No
Yes
アラーム報告
Yes
S5F1：Carrier Hand off Fail
アラーム報告
オペレータ通知
オペレータ通知
ｱﾗｰﾑ解除報告
No
S5F1：Carrier Handoff Fail Recover
ｷｬﾘｱを適切な位置に
ｾｯﾄし、ｱﾗｰﾑをﾘｾｯﾄ
する
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上に
ｷｬﾘｱがあるか
Yes
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬出可能
な状態とする
S6F11: Ready To Unload
END
ｷｬﾘｱ搬出完了とする
この場合は、ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄが
T/B状態となっているた
め、ｱﾗｰﾑﾘｾｯﾄ時にﾛｰﾄﾞﾎﾟ
ｰﾄ上にｷｬﾘｱが存在しなけ
れば、搬入完了としてい
る。
S6F11: Material Has Removed
END
図 2-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗
2002 年 3 月 31 日
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52
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
自動ハンドオフ中 E84 失敗
項目
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／Slot Map 照合
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
４
１
１
配送後
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
Processing
Load Port
FIMS
1
0
10
2
2'
9
#1
Substrate
Location ID
(FIMS Port)
5
3
8
5'
4
#2
Substrate
Location ID
(Boat)
7
6'
内部バッファ
略語
#1
#2
Location Change
6
モジュール
意味
FIMS ポート
モジュール（ボート）
2002 年 3 月 31 日
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53
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
キャリア搬入時
#
1
運用
キャリア搬入
#
1-1
1-2
キャリアハンドオフ失敗
処理
SF
方
向
メッセージ
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Ready To Load
（キャリア搬入可能報告）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Transfer Blocked
（Transfer Blocked）
S6F12
H->E Acknowladge
S5F1
H<-E Carrier Transfer Fail Occurred
S5F2
H->E Acknowladge
S5F1
H<-E Carrier Transfer Fail Recovered
S5F2
H->E Acknowladge
LTS LCAS LPR
RTL
NAS
NR
STL
CS
STS
STT
STP
(#n) CIDS CSMS CAS
UOC
No
No
No
No
No
(#1,#4) State State State State State
TB
キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生
1-3
２ 異常状態復帰
オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示
2-1
３ キャリア
搬入完了
キャリア搬入失敗
キャリアハンドオフ復旧
異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがあれば、搬入完了とみなす
3-1
搬入完了
S6F11
H<-E Material Has Arrived
S6F12
H->E Acknowladge
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
54
CJ
PJ
No State
No State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
キャリア搬出時
#
1
運用
キャリア搬出
#
1-1
1-2
キャリアハンドオフ失敗
処理
SF
方
向
メッセージ
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Ready To Unload
（キャリア搬入可能報告）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Transfer Blocked
（Transfer Blocked）
S6F12
H->E Acknowladge
S5F1
H<-E Carrier Transfer Fail Occurred
S5F2
H->E Acknowladge
S5F1
H<-E Carrier Transfer Fail Recovered
S5F2
H->E Acknowladge
LTS LCAS LPR
RTU
NAS
NR
STL
(#n)
OC
(#1)
CS
CIDS
STS
CSMS
CAS
STT
STP
IVO SVO
CC
AD
PC
TB
キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生
1-3
２ 異常状態復帰
オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示
2-1
３ キャリア
搬出完了
キャリア搬出失敗
キャリアハンドオフ復旧
異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがなければ、搬出完了とみなす
3-1
3-2
3-3
3-4
3-5
3-6
キャリア搬出移載完了
S6F11
H<-E Material hs Removed
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Substrate Unoccupied
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Not Associated
（Not Associated）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Ready To Load
（キャリア搬入可能報告）
S6F12
H->E Acknowladge
キャリア移動
キャリアオブジェクト消滅
サブストレートオブジェクト消滅
UOC
(#U1)
No
No
No
State State State
No
No
State State
NAS
RTL
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
55
CJ
PJ
No State
No State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.5.3. スロットマップ照合 失敗
スロットマップ照合が異常終了したとしても、ホストからウェーハの情報をコンテンツマップと
して装置に与えることによって、処理の継続は可能である。しかし、エラーが発生した場合には、
オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認すべきである。従って、どの場合でもオペレータ
がキャリア内のウェ－ハ状態を確認することとする。
スロットマップ照合に失敗したキャリアが再度ロードポートから搬入されれば、コントロールジ
ョブは既に装置内に存在するため、装置は直ちにスロットマップ照合に取りかからなければなら
ない。
また、スロットマップ照合に失敗したキャリア以外を使用する場合は、ジョブのキャンセルが行
われる。装置は、ジョブがキャンセルされることにより、既にボートに投入済みのウェーハを元
のキャリアに回収し、そのキャリアを未使用の状態(Not Accessed)にしなければならない。これ
により、キャリアを搬出することなく、再バッチ組が可能となる。
エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の３パターンについて示す。
(1) スロットマップ読み込み失敗
(2) スロットマップデータエラー
(3) ダブルスロット、クロススロット
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
56
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
(1) スロットマップ読込み失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
BEGIN
内部バッファから
FIMSポートへ
キャリア移動
FOUPドア OPEN
S6F11：Carrier Location Change
S6F11：FOUP Opened
スロットマップ
読込みエラー発生
S5F1：SlotMap Read Fail
スロットマップ読込み
結果を通知する
S6F11：Waiting For Host
オペレータ通知
S3F17：Cancel Carrier
スロットマップ照合完
了を通知する
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから
内部バッファへ
キャリア移動
キャリアの取消を
要求する
S5F1：SlotMap Verification Failed
S6F11：FOUP Closed
S6F11：Carrier Location Change
キャリアの払出しを
要求する
S3F17：Carrier Out
ロードポートのアクセ
スステータスを
更新する
S6F11：Transfer Blocked
ロードポート予約ス
テータスを更新する
S6F11： Reserved
ロードポートステータ
スを更新する
S6F11：Associated
内部バッファからロー
ドポートへ
キャリア移動
S6F11：Carrier Location Change
内部バッファのキャ
パシティ変更を報告
S6F11：Buffer Capacity Change
ロードポート予約ス
テータスを更新する
S6F11： Not Reserved
キャリア搬出可能
な状態とする
S6F11：Ready To Unload
2a
図 2-3 スロットマップ読込み失敗 1/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
57
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
(1) スロットマップ読込み失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
2a
異常発生した
ｷｬﾘｱを再投入す
るか？
No
Yes
スロットマップリータ
が正常動作するよう
メンテナンスしたのち
キャリアの再搬入を
行う
END
※１
S16F27：CJStop
ジョブキャンセル
コントロールジョブ
停止要求
ジョブキャンセル
停止要求された
コントロールジョブに
関するプロセスジョブ
の停止を開始する
S6F11：Process Job Stopping
プロセスジョブが
停止したことを
報告する
※１ Active状態にある
プロセスジョブ全てについ
て伴う
S6F11：Process Job Complete
※３
内部バッファからFIM
Sポートへ
キャリア移動
FOUPドア OPEN
S6F11：Carrire Location Change
S6F11：FOUP Opend
※２
ウェハをポートから取
り出す
ウェハの移動報告
ウェハをキャリアに戻
す
S6F11：Unoccupied（ボート）
S6F11：Substrate At Distination
※２ FIMSポート上のキャ
リアに戻すべきウェハ全
てについて行う
※３ ボートへウェハ投入
しているキャリア全てにつ
いて行う
S6F11：Occupied（FIMS）
3a
図 2-4 スロットマップ読込み失敗 2/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
58
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
(1) スロットマップ読込み失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
No
最後の
キャリア？
Yes
コントロールジョブの
終 了を報告する
S6F11：CJComplete
コントロールジョブの
削除を要求する
S16F27：CJ Delete
コントロールジョブを
S6F11：Deleteｄ
削 除する
キャリアの中断を
報 告する
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから内部
バッファへ
キャ リア移動
S6F11：Carrier Stopped
S6F11：FOUP Closed
S6F11：Carrier Location Change
※４
Activeでなか ったプロ
セスジョブをキャンセ
ルする
S16F5：PRJob Cancel
Queued/Pooled状態
にあるプロセスジョブ
を削除する
S6F11：PRJob Deleted
※４
Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態 に
あるプロセスジョブ全てに
ついて行う
END
図 2-5 スロットマップ読込み失敗 3/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
59
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
(2) スロットマップ　ホスト照合失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
BEGIN
内部バッファから
FIMSポートへ
キャリア移動
FOUPドア OPEN
S6F11：Carrier Location Change
S6F11：FOUP Opened
スロットマップ読込み S6F11：Waiting For Host
結果を通知する
ウェハオブジェクトを
生成する
S6F11：Substrate At Source
サブストレート情報を S6F11：Occupied（FIMS）
取得する
キャリアの取消を
要求する
S3F17：Cancel Carrier
オペレータ通知
スロットマップ照合完
了を通知する
S5F1：SlotMap Verification Failed
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから
内部バッファへ
キャリア移動
S6F11：FOUP Closed
S6F11：Carrier Location Change
キャリアの払出しを
要求する
S3F17：Carrier Out
ロードポートの
S6F11：Transfer Blocked
アクセスステータスを
更新する
ロードポートステータ S6F11：Associated
スを更新する
ロードポート予約ス
テータスを更新する
内部バッファからロー
ドポートへ
キャリア移動
内部バッファのキャ
パシティ変更を報告
S6F11：Reserved
S6F11：Carrier Location Change
S6F11：Buffer Capacity Change
ロードポートを搬出可 S6F11：Ready To Unload
能な状態とする
ロードポート予約ス
テータスを更新する
S6F11：Not Reserved
2a
図 2-6 スロットマップホスト照合失敗 1/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
60
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
(2) スロットマップ ホスト照合失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
2a
異常発生した
ｷｬﾘｱを再投入す
るか？
No
Yes
スロットマップリータ
が正常動作するよう
メンテナンスしたのち
キャリアの再搬入を
行う
END
※１
S16F27：CJStop
ジョブキャンセル
コントロールジョブ
停止要求
ジョブキャンセル
停止要求された
コントロールジョブに
関するプロセスジョブ
の停止を開始する
S6F11：Process Job Stopping
プロセスジョブが
停止したことを
報告する
※１ Active状態にある
プロセスジョブ全てについ
て伴う
S6F11：Process Job Complete
※３
内部バッファからFIM
Sポートへ
キャリア移動
FOUPドア OPEN
S6F11：Carrire Location Change
S6F11：FOUP Opend
※２
ウェハをポートから取
り出す
ウェハの移動報告
ウェハをキャリアに戻
す
S6F11：Unoccupied（ボート）
S6F11：Substrate At Distination
※２ FIMSポート上のキャ
リアに戻すべきウェハ全
てについて行う
※３ ボートへウェハ投入
しているキャリア全てにつ
いて行う
S6F11：Occupied（FIMS）
3a
図 2-7 スロットマップホスト照合失敗 2/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
61
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
(2) スロットマップ ホスト照合失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
No
最後の
キャ リア？
Yes
コントロールジョブの
終了を報 告する
S6F11：CJComplete
コントロールジョブの
削除を要求 する
S16F27：CJ Delete
コントロールジョブを
S6F11：Deleteｄ
削除する
キャ リアの中断を
報告する
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから内部
バッファへ
キャリア移 動
S6F11：Carrier Stopped
S6F11：FOUP Closed
S6F11：Carrier Location Change
※４
Activeでなかったプロ
セスジョブをキャンセ
ルする
S16F5：PRJob Cancel
Queued/Pooled状態
にあるプロセスジョブ
を削 除する
S6F11：PRJob Deleted
※４
Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態に
あるプロセスジョブ全てに
ついて行う
END
図 2-8 スロットマップホスト照合失敗 3/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
63
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
(3) ダブルスロット／クロススロット
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
BEGIN
内部ﾊﾞｯﾌｧからFIMS
ﾎﾟｰﾄへｷｬﾘｱ移動
FOUPドア OPEN
S6F11：Carrier Location Change
S6F11：FOUP Opened
ﾀﾞﾌﾞﾙ（ｸﾛｽ）ｽﾛｯﾄのｱ S5F1：Improper Wafer Position
ﾗｰﾑを報告する
オペレータ通知
ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ読込み結
果を通知する
S6F11：Waiting For Host
ｳｪﾊｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄを生成
する
S6F11：Substrate At Source
ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄ情報を取
得する
S6F11：Occupied（FIMS）
S3F17：Cancel Carrier
ｷｬﾘｱの取消を
要求する
ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合完了を
通知する
S5F1：SlotMap Verification Failed
FOUPドア CLOSE
S6F11：FOUP Closed
FIMSポートから内部
ﾊﾞｯﾌｧへｷｬﾘｱ移動
S6F11：Carrier Location Change
ｷｬﾘｱの払出しを
要求する
S3F17：Carrier Out
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｱｸｾｽｽﾃ
ｰﾀｽを更新する
S6F11：Transfer Blocked
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄｽﾃｰﾀｽを更
新する
S6F11：Associated
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ予約ｽﾃｰﾀｽ
を更新する
S6F11：Reserved
内部ﾊﾞｯﾌｧからﾛｰﾄﾞ
ﾎﾟｰﾄトへｷｬﾘｱ移動
S6F11：Carrier Location Change
内部ﾊﾞｯﾌｧのｷｬﾊﾟｼﾃ
ｨ変更を報告
S6F11：Buffer Capacity Change
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬出可能 S6F11：Ready To Unload
な状態とする
ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ予約ｽﾃｰﾀｽ
を更新する
S6F11：Not Reserved
2a
図 2-9 ダブルスロット・クロススロット 1/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
64
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
(3) ダブルスロット／クロススロット
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
2a
異常発生した
ｷｬﾘｱを再投入す
るか？
No
Yes
スロットマップリータ
が正常動作するよう
メンテナンスしたのち
キャリアの再搬入を
行う
END
※１
S16F27：CJStop
ジョブキャンセル
コントロールジョブ
停止要求
ジョブキャンセル
停止要求された
コントロールジョブに
関するプロセスジョブ
の停止を開始する
S6F11：Process Job Stopping
プロセスジョブが
停止したことを
報告する
※１ Active状態にある
プロセスジョブ全てについ
て伴う
S6F11：Process Job Complete
※３
内部バッファからFIM
Sポートへ
キャリア移動
FOUPドア OPEN
S6F11：Carrire Location Change
S6F11：FOUP Opend
※２
ウェハをポートから取
り出す
ウェハの移動報告
ウェハをキャリアに戻
す
S6F11：Unoccupied（ボート）
S6F11：Substrate At Distination
※２ FIMSポート上のキャ
リアに戻すべきウェハ全
てについて行う
※３ ボートへウェハ投入
しているキャリア全てにつ
いて行う
S6F11：Occupied（FIMS）
3a
図 2-10 ダブルスロット・クロススロット 2/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
65
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
(3) ダブルスロット／クロススロット
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
No
最後の
キャリア？
Yes
コントロールジョブの
終了を報告する
S6F11：CJComplete
コントロールジョブの
削除を要求する
S16F27：CJ Delete
コントロールジョブを
S6F11：Deleteｄ
削除する
キャリアの中断を
報告する
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから内部
バッファへ
キャリア移動
※４
S6F11：Carrier Stopped
S6F11：FOUP Closed
S6F11：Carrier Location Change
Activeでなかったプロ
セスジョブをキャンセ
ルする
S16F5：PRJob Cancel
Queued/Pooled状態
にあるプロセスジョブ
を削除する
S6F11：PRJob Deleted
※４
Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態に
あるプロセスジョブ全てに
ついて行う
END
図 2-11 ダブルスロット・クロススロット 3/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
66
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
スロットマップ照合失敗
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／Slot Map 照合
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
４
１
１
配送後
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
Processing
Load Port
FIMS
1
0
10
2
2'
9
#1
Substrate
Location ID
(FIMS Port)
5
3
8
5'
4
#2
Substrate
Location ID
(Boat)
7
6'
内部バッファ
略語
#1
#2
Location Change
6
モジュール
意味
FIMS ポート
モジュール（ボート）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
67
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
スロットマップリードエラー
#
1
運用
スロット
#
1-1
マップ照合
1-2
方
向
メッセージ
キャリアロケーションチェンジ
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Acknowledge
FOUP Open
S6F11
H<-E FOUP Open
S6F12
H->E Acknowledge
H<-E Slot Map read ｆailed Occurred
スロットマップ読込み異常発生
S5F1
S5F2
H->E Acknowledge
1-4
スロットマップ読込み完了
S6F11
H<-E Waiting For Host
S6F12
H->E Acknowladge
S3F17
H->E Cancel Carrier
1-6
1-7
1-8
異常キャリアの
SF
1-3
1-5
2
処理
ジョブキャンセル
スロットマップ読込みNG
スロットマップ照合完了
FOUP Close
S3F18
H<-E Acknowledge
S6F11
H<-E Slot Map Verification Failed
S6F12
H->E Acknowledge
S6F11
H<-E FOUP Closed
S6F12
H->E Acknowledge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Acknowledge
2-1
キャリア払出指示
S3F17
H->E Carrrier Out
S3F18
H<-E Acknowladge
2-2
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Transfer Blocked
（Transfer Blocked）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Associated
（Associated）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Reserved
（Reserved）
S6F12
H->E Acknowladge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからロードポートへ）
S6F12
H->E Acknowladge
2-6
内部バッファキャパシティ変更報告
S6F11
H<-E Buffer Capacity Change
S6F12
H->E Acknowladge
2-7
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Ready To Unload
（キャリア搬出可能報告）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Not Reserved
（Not Reserved）
S6F12
H->E Acknowladge
払出し
2-3
2-4
2-5
2-8
LTS LCAS LPR
RTL
NAS
NR
STL
(#n)
UOC
(#1)
CS
CSMS
IVO
SNR NAC
WFH
SVF
TB
A
R
RTU
NR
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
68
STS
CIDS
CAS
STT
CJ
PJ
Executing
SettingUp
STP
No
No
State State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
3
運用
ジョブキャンセル
#
3-1
3-2
3-3
処理
CJ停止要求
PJ状態変更報告
PJ完了報告
SF
S16F27
方
向
メッセージ
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS
CSMS
STS
CAS
STT
CJ
H->E CJStop
S16F28
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Process Job Ｓｔｏｐｐｉｎｇ
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Process Job Complete
S6F12
H->E Acknowladge
Stopping
PR Job
Complete
↓
No
State
STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2～3-3を繰り返す。
3-4
3-5
3-6
3-7
3-8
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからＦＩＭＳポートへ）
S6F12
H->E Acknowladge
FOUP Open
S6F11
H<-E FOUP Opened
S6F12
H->E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H->E Substarate Location Unoccuppied
（ウェーハがボートから取られた）
S6F12
H<-E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H<-E Substarate At Distination
（ウェーハがボートからキャリアへ）
S6F12
H->E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H<-E Substarate Location Occuppied
（ウェーハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Acknowladge
OC
(#2)
IVO SVO
INA
AW
NP
UOC
(#2)
AD
OC
(#1)
1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6～3-8を繰り返す。
3-9
3-10
3-11
CJ完了報告
CJ削除要求
CJ削除報告
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Acknowladge
S16F27
H->E CJ Delete
S16F28
H<-E Acknowladge
S6F11
H<-E Delete
S6F12
H->E Acknowladge
Complete
No State
最後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9～3-11を行う。
3-12
3-13
3-14
FOUP Close
S6F11
H<-E FOUP Closed
S6F12
H->E Acknowledge
S6F11
H<-E Carrier Stopped
S6F12
H->E Acknowladge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ)
S6F12
H->E Acknowladge
キャリア処理中断
PJ
STP
CS
UOC
(#1)
ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4～3-14を繰り返す。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
69
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
3-15
3-16
処理
プロセスジョブキャンセル
プロセスジョブ完了報告
SF
方
向
メッセージ
S16F5
H->E PRJob Cancel
S16F6
H<-E Acknowladge
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Acknowladge
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS
CSMS
STS
CAS
STT
CJ
PJ
STP
Queued
No State
Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15～3-16を繰り返す。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
70
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
スロットマップホスト照合異常 ジョブキャンセル
#
1
運用
スロット
#
1-1
マップ照合
1-2
1-3
1-4
1-5
1-6
1-7
1-8
1-9
2
異常キャリアの
処理
SF
方
向
メッセージ
キャリアロケーションチェンジ
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Acknowledge
FOUP Open
S6F11
H<-E FOUP Open
スロットマップ読込み完了
ウェーハオブジェクト作成
サブストレート取得
スロットマップ読込みNG
スロットマップ照合完了
FOUP Close
S6F12
H->E Acknowledge
S6F11
H<-E Waiting For Host
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Substarate At Source
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Substarate Occupied
S6F12
H->E Acknowladge
S3F17
H->E Cancel Carrier
S3F18
H<-E Acknowledge
S6F11
H<-E Slot Map Verification Failed
S6F12
H->E Acknowledge
S6F11
H<-E FOUP Closed
S6F12
H->E Acknowledge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Acknowledge
2-1
キャリア払出指示
S3F17
H->E Carrrier Out
S3F18
H<-E Acknowladge
2-2
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Transfer Blocked
（Transfer Blocked）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Associated
（Associated）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Reserved
（Reserved）
S6F12
H->E Acknowladge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからロードポートへ）
S6F12
H->E Acknowladge
2-6
内部バッファキャパシティ変更報告
S6F11
H<-E Buffer Capacity Change
S6F12
H->E Acknowladge
2-7
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Ready To Unload
（キャリア搬出可能報告）
S6F12
H->E Acknowladge
払出し
2-3
2-4
2-5
LTS LCAS LPR
RTL
NAS
NR
STL
(#n)
UOC
(#1)
CS
STS
CIDS
CSMS
CAS
IVO
SNR NAC
STT
No
No
State State
WFH
AS
OC
(#1)
SVF
TB
A
R
RTU
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
71
CJ
PJ
Executing
SettingUp
STP
NP
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
2-8
3
ジョブキャンセル
3-1
3-2
3-3
処理
SF
方
向
メッセージ
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Not Reserved
（Not Reserved）
S6F12
H->E Acknowladge
CJ停止要求
S16F27
H->E CJStop
PJ状態変更報告
PJ完了報告
S16F28
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Process Job Ｓｔｏｐｐｉｎｇ
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Process Job Complete
S6F12
H->E Acknowladge
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS
CSMS
STS
CAS
STT
CJ
NR
Stopping
PR Job
Complete
↓
No
State
STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2～3-3を繰り返す。
3-4
3-5
3-6
3-7
3-8
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからＦＩＭＳポートへ）
S6F12
H->E Acknowladge
FOUP Open
S6F11
H<-E FOUP Opened
S6F12
H->E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H->E Substarate Location Unoccuppied
（ウェーハがボートから取られた）
S6F12
H<-E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H<-E Substarate At Distination
（ウェーハがボートからキャリアへ）
S6F12
H->E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H<-E Substarate Location Occuppied
（ウェーハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Acknowladge
OC
(#2)
IVO SVO
INA
AW
NP
UOC
(#2)
AD
OC
(#1)
1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6～3-8を繰り返す。
3-9
3-10
3-11
CJ完了報告
CJ削除要求
CJ削除報告
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Acknowladge
S16F27
H->E CJ Delete
S16F28
H<-E Acknowladge
S6F11
H<-E Delete
S6F12
H->E Acknowladge
Complete
No State
最後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9～3-11を行う。
3-12
3-13
FOUP Close
キャリア処理中断
S6F11
H<-E FOUP Closed
S6F12
H->E Acknowledge
S6F11
H<-E Carrier Stopped
S6F12
H->E Acknowladge
PJ
STP
CS
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
72
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
3-14
処理
SF
方
向
メッセージ
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ)
S6F12
H->E Acknowladge
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
UOC
(#1)
CS
CIDS
CSMS
STS
CAS
STT
CJ
PJ
STP
ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4～3-14を繰り返す。
3-15
3-16
プロセスジョブキャンセル
プロセスジョブ完了報告
S16F5
H->E PRJob Cancel
S16F6
H<-E Acknowladge
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Acknowladge
Queued
No State
Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15～3-16を繰り返す。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
73
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ダブルスロット／クロススロット後
#
1
運用
スロット
#
1-1
マップ照合
1-2
方
向
メッセージ
キャリアロケーションチェンジ
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
（内部バッファからFIMSポートへ）
S6F12
H->E Acknowledge
FOUP Open
S6F11
H<-E FOUP Open
S6F12
H->E Acknowledge
H<-E Improper Wafer Position
ダブル（クロス）スロット発生
S5F1
S5F2
H->E Acknowledge
1-4
スロットマップ読込み完了
S6F11
H<-E Waiting For Host
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Substarate At Source
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Substarate Occupied
S6F12
H->E Acknowladge
S3F17
H->E Cancel Carrier
1-6
1-7
1-8
1-9
1-10
異常キャリアの
SF
1-3
1-5
2
処理
ジョブキャンセル
ウェーハオブジェクト作成
サブストレート取得
スロットマップ読込みNG
スロットマップ照合完了
FOUP Close
S3F18
H<-E Acknowledge
S6F11
H<-E Slot Map Verification Failed
S6F12
H->E Acknowledge
S6F11
H<-E FOUP Closed
S6F12
H->E Acknowledge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F12
H->E Acknowledge
2-1
キャリア払出指示
S3F17
H->E Carrrier Out
S3F18
H<-E Acknowladge
2-2
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Transfer Blocked
（Transfer Blocked）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Associated
（Associated）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Reserved
（Reserved）
S6F12
H->E Acknowladge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからロードポートへ）
S6F12
H->E Acknowladge
内部バッファキャパシティ変更報告
S6F11
H<-E Buffer Capacity Change
S6F12
H->E Acknowladge
払出し
2-3
2-4
2-5
2-6
LTS LCAS LPR
RTL
NAS
NR
STL
(#n)
UOC
(#1)
CS
STS
CIDS
CSMS
CAS
IVO
SNR NAC
STT
No
No
State State
WFH
AS
OC
(#1)
SVF
TB
A
R
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
74
CJ
PJ
Executing
SettingUp
STP
NP
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
2-7
2-8
3
ジョブキャンセル
3-1
3-2
3-3
処理
SF
方
向
メッセージ
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Ready To Unload
（キャリア搬出可能報告）
S6F12
H->E Acknowladge
ロードポートステータス変更報告
S6F11
H<-E Not Reserved
（Not Reserved）
S6F12
H->E Acknowladge
CJ停止要求
S16F27
H->E CJStop
PJ状態変更報告
PJ完了報告
S16F28
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Process Job Ｓｔｏｐｐｉｎｇ
S6F12
H->E Acknowladge
S6F11
H<-E Process Job Complete
S6F12
H->E Acknowladge
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS
CSMS
STS
CAS
STT
CJ
RTU
NR
Stopping
PR Job
Complete
↓
No
State
STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2～3-3を繰り返す。
3-4
3-5
3-6
3-7
3-8
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
（内部バッファからＦＩＭＳポートへ）
S6F12
H->E Acknowladge
FOUP Open
S6F11
H<-E FOUP Opened
S6F12
H->E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H->E Substarate Location Unoccuppied
（ウェーハがボートから取られた）
S6F12
H<-E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H<-E Substarate At Distination
（ウェーハがボートからキャリアへ）
S6F12
H->E Acknowladge
ウェーハ移動
S6F11
H<-E Substarate Location Occuppied
（ウェーハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Acknowladge
OC
(#2)
IVO SVO
INA
AW
NP
UOC
(#2)
AD
OC
(#1)
1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6～3-8を繰り返す。
3-9
3-10
3-11
CJ完了報告
CJ削除要求
CJ削除報告
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Acknowladge
S16F27
H->E CJ Delete
S16F28
H<-E Acknowladge
S6F11
H<-E Delete
S6F12
H->E Acknowladge
Complete
No State
最後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9～3-11を行う。
3-12
FOUP Close
S6F11
H<-E FOUP Closed
S6F12
H->E Acknowledge
PJ
STP
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
75
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
3-13
3-14
処理
キャリア処理中断
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier Not Accessed
S6F12
H->E Acknowladge
キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ)
S6F12
H->E Acknowladge
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS
CSMS
STS
CAS
STT
CJ
PJ
STP
CS
UOC
(#1)
ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4～3-14を繰り返す。
3-15
3-16
プロセスジョブキャンセル
プロセスジョブ完了報告
S16F5
H->E PRJob Cancel
S16F6
H<-E Acknowladge
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Acknowladge
Queued
No State
Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15～3-16を繰り返す。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
76
コメント
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2.1.5.4. キャリア ID 照合 失敗
キャリア ID 照合失敗のパターンは、次の２つが考えられる。
(1) キャリア ID 読み込み失敗
(2) キャリア ID の不一致
どちらの場合とも、エラーが発生しても処理続行をおこなうことは可能だが､オペレータが介入
してキャリアの異常、装置の異常がないかの確認をおこなうことを基本とする。
エラー発生時の対応運用フローとシナリオを上記の２パターンについて示す。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
77
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（１）　キャリアID読込みエラー
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
キャリア搬入
完了
キャリアID読込み
キャリアIDが
読込めた？
No
Yes
キャリアID照合へ
アラーム通知
（CarrierID
Read Failure）
S5F1 Alarm Report Send
イベント通知
（CarrierID
Read Failure）
S6F11 CarrierID Read Failure
キャリアの処理
キャンセルを指示する
（CancelCarrierAtPort）
キャリアアンロードの
準備をおこなう
S3F17 CancelCarrierAtPort
キャリア搬出準備
完了通知
（ReadyToUnload）
S6F11 Ready To Unload
必要に応じてキャリアま
たは、装置のメンテナン
スをおこなう。
復旧までに時間がかかり
そうな場合には、オペ
レータの判断により、
エラーが発生したロード
ポートをOutofServiceに
する。
なお、ロードポートを
OutofServiceにする場合
は、復旧時には、ロード
ポートにはキャリアがな
い状態にて運用する。
ここで復旧時にロード
ポートにキャリアがあった
場合の動作は、装置に依
存する。
図 2-12 キャリアＩＤ読込みエラー
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
78
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（２）　キャリアＩＤの不一致
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
キャリア搬入
完了
キャリアID読込み
キャリア
オブジェクト作成
キャリアID読込み
通知
（Waiting forHost）
キャリアとロードポー
トを関連づける
(Associated)
S6F11 Waiting for Host
キャリアIDが期
待していたもの
と同じか
S6F11Associated
Yes
通常処理へ
(キャリアのドック）
S3F17 CancelCarrier
キャリアID照合
失敗通知
（ID Verification
Failed）
No
キャリアの処理
キャンセルを
指示する
（CancelCarrier）
S6F11 ID Verification Failed
キャリアアンロードの
準備をおこなう
キャリア搬出準備
完了通知
（Ready To
UnLoad）
S6F11 Ready To Unload
必要に応じてキャリアの
確認をおこなう
図 2-13 キャリアＩＤの不一致
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
79
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
キャリア ID 照合失敗
キャリア ID が読み込めない場合と、キャリア ID は読み込めたが、ホスト照合にてエラーとなった場合の２つの場合を示す。
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
Carrier ID
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
２
１
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
搬 入完了 したキ ャ
リアの ID を読み込
も うとし たが読 み
込 時にエ ラーが 発
生した。
C1
C1
キャリアＩＤ
読み込みエ
ラー発生
搬入完了
搬 入完了 したキ ャ
リアの ID を読み込
めたが、ホスト照合
で エラー が発生 し
た。
C1
搬入完了
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
80
C1
キャリアＩＤの
不一致発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
キャリア ID 読み込み失敗
#
運用
#
0
処理
（処理続行不可能な場合）
SF
方
向
メッセージ
初期状態
TB
(P1)
RTL
(P2,
P3)
（ロードポート１にキャリアC1
搬入完了状態）
1
キャリアID照合
1-1
LTS LCAS LPR
CarrierID読取り
S5F1
（読み込み失敗アラーム通知）
S5F2
H->E Ack
1-2
キャリアID読み取りエラー
S6F11
H<-E CarrierID Read Fail
S6F12
H->E Ack
NAS
(P1,
P2,
P3)
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
(#n) CIDS CSMS CAS
No
No
No
No
State State State State
H<-E Alarm Report Send
2
処 理 続 行 可
能？
2-1
ホストで処理続行するか判断する
3
処理続行不可
能
な場合
3-1
キャリアへの処理キャンセル
S3F17
H->E CancelCarrierAtPort
S3F18
H<-E Ack
3-2
キャリア搬出可能
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
RTU
(P1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
81
STS
STT STP
No
No
State
State
CJ
PJ
No
State
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
キャリア ID の不一致
#
運用
#
0
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
TB
(P1)
RTL
(P2,
P3)
（ロードポート１にキャリアC1
搬入完了状態）
1
キャリアID照合
1-1
1-2
1-3
1-4
2
キャリア搬出
2-1
CarrierID読取り
S6F11
H<-E Waiting for Host
（キャリアIDは、読み込めた）
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
キャリアへの処理キャンセル
キャリアID照合失敗
キャリア搬出可能
LTS LCAS LPR
S3F17
H->E CancelCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification Failed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
NAS
(P1,
P2,
P3)
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
(#n) CIDS CSMS CAS
No
No
No
No
State State State State
WFH SNR
STS
STT STP
No
No
State
State
CJ
PJ
No
State
No
State
コメント
NAC
A
(P1)
IVF
必要に
応じて
キャリアの
チェックを
RTU
(P1)
おこなう
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
82
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.5.5. ジョブ作成 失敗
エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の５パターンについて示す。
(1) プロセスジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合（フローのみ）
(2) コントロールジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合（フローのみ）
(3) ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合
(4) ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合
(5) ホストからコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブ指示された場合
（フロー、シナリオは、
（４）、
（５）で共通）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
83
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（１）　プロセスジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
S16F21 PRGetSpace PJ作成用の空きエ
リア確認
作成可能なPJの空
きエリアを報告
S16F22 PRGetSpace Send
コメント
ＰＪ、ＣＪの両方の空きエリア
があることを確認してから、
ＰＪ、ＣＪの順序でジョブを
作成する。
PJの空きエリア
は足りている？
Yes
No
通常処理と同様となる
作成済みPJの完了ま
たは、キャンセルを待
つ
図 2-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
84
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（２）　コントロールジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合
AMHS
装置
ホスト
S1F3 CJQueueSpace
作成可能なCJの空
きエリアを報告
オペレータ
コメント
CJ作成用の空きエ
リア確認
ＰＪ、ＣＪの両方の空きエリア
があることを確認してから、
ＰＪ、ＣＪの順序でジョブを
作成する。
S1F4
CJQueueSpaceResponse
CJの空きエリア
は足りている？
Yes
No
通常処理と同様となる
作成済みCJの削除ま
たは、キャンセルを待
つ
図 2-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
85
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合
AMHS
装置
ホスト
S16F21 PRGetSpace
オペレータ
コメント
PJ作成用の
空きｴﾘｱ確認
作成可能なPJの
空きｴﾘｱを報告
ＰＪ、ＣＪの両方の空きエリア
があることを確認してから、
ＰＪ、ＣＪの順序でジョブを
作成する。
S16F22 PRGetSpace Send
PJの空きｴﾘｱは
足りている？
No
PJ作成用の空きｴﾘｱ
ができるのを待つ
Yes
S1F3 CJQueueSpace
作成可能なCJの
空きｴﾘｱを報告
CJ作成用の
空きｴﾘｱ確認
S1F4 CJQueueSpace Response
CJの空きｴﾘｱは
足りている？
ジョブ作成時のエラー
は、エラーコードにより
エラー内容の判断が
できること
No
Yes
PJ作成
(PRJobMultiCreate)
S16F15 PRJobMultiCreate
Variableパラメー
タ内容が正しい
？
Yes
Variableパラメー
タ以外の内容が
正しい？
CJ作成用の空きｴﾘｱ
ができるのを待つ
No
No
S16F16 PRJobCreate Ack
PJ作成失敗
S16F16 PRJobCreate Ack
Yes
通常処理と同様と
なる
オペレータ通知
オペレータの判断でＰ
Ｊを作り直すかどうか
を決める。
ＰＪを作り直す？
Yes
2a
No
3a
図 2-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 1/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
86
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
2a
S16F21 PRGetSpace
PJ作成用の
空きｴﾘｱ確認
作成可能なPJの
空きｴﾘｱを報告
PJの作成を指示する
ＰＪ、ＣＪの両方の空きエリア
があることを確認してから、
ＰＪ、ＣＪの順序でジョブを
作成する。
S16F22 PRGetSpace Send
PJの空きｴﾘｱは
足りている？
No
Yes
S1F3 CJQueueSpace
作成可能なCJの
空きｴﾘｱを報告
PJ作成用の空きエリ
アができるのを待つ
CJ作成用の
空きｴﾘｱ確認
S1F4 CJQueueSpace Response
CJの空きｴﾘｱは
足りている？
No
Yes
S16F15 PRJobMultiCreate
CJ作成用の空きエリ
アができるのを待つ
PJ作成
(PRJobMultiCreate)
間違ったPJの修正を
おこなう
PJ作成
S16F16 PRJobCreate Ack
以下は、通常処理と
同様となる
図 2-17 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 2/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
87
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
S3F17 CancelCarrier
キャリア払い出し
(Transfer Blocked)
バッチ内のキャリア数分
だけ処理を繰り返す
ｷｬﾘｱの処理ｷｬﾝｾﾙ
を指示する
(CancelCarrier)
ｷｬﾘｱの処理ｷｬﾝｾﾙ
を指示する
エラーが発生したバッチの
キャリアを全て搬出する
S6F11：Transfer Blocked
ロードポートステータ
スを更新する
(Associated)
S6F11：Associated
ロードポートステータ
スを更新する
(Reserved)
S6F11：Reserved
内部バッファからロー
ドポートへ
キャリア移動
S6F11：Carrier Location Change
内部バッファのキャ
パシティ変更を報告
S6F11：Buffer Capacity Change
S6F11：Ready To Unload
キャリア搬出可能
キャリア搬出指示
ロードポート予約
解除
S6F11：Not Reserved
搬出開始
搬出指示
搬出開始報告
キャリア搬出
S6F11：Transfer Blocked
搬出完了
搬出完了報告
S6F11：Material Has Removed
キャリアオブジェクト
を削除する
S6F11：Deleted
ロードポートステータ
スを変更する
(Not Associated)
S6F11：Not Associated
キャリア搬入可能
を報告する
S6F11：Ready To Load
図 2-18 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 3/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
88
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合
AMHS
装置
ホスト
S16F21 PRGetSpace
オペレータ
コメント
PJ作 成 用の
空 きエリア確 認
作 成可 能 なPJの
空 きエ リアを報 告
ＰＪ、ＣＪの 両方 の 空きエリア
が あることを確認 してから、
ＰＪ、ＣＪの順 序でジョブを
作 成する。
S16F22 PRGetSpace Send
PJの空 きエリア
は足 りている？
No
CJ作 成 用の 空きエ リ
アが できるの を待つ
Yes
S1F3 CJQueueSpace
CJ作 成用 の
空 きエリア確 認
Yes
作 成 可能 なCJの
空 きエ リアを報 告
S1F4 CJQueueSpace Response
S16F15 PRJobMultiCreate
CJの 空 きエ リア
は足 りている？
No
CJ作 成用 の 空きエリ
アが できるの を待つ
Yes
Variableパラメー
タ内 容 が正 しい
？
PJ作 成
(PRJobMultiCreate)
No
Yes
S16F16 PRJobCreate Ack
ホストから間 違っ たﾌﾟﾛｾ
ｽｼﾞｮﾌﾞ作成 が 指示 され
た場 合 と同 様となる
Variableパラメー
タ以外 の内 容 が
正しい？
YesS16F16 PRJobCreate Ack
S14F9 CJCreate
オ ペレータ通 知
CJ作成
(CJCreate)
S14F10 CJCreate Ack
No
メッセ ージフォー
マットが 正しい？
No
ジ ョブ作成 時 のエ ラー
は 、エ ラーコードにより
エ ラー内容 の 判断 が
できること
CJを再 作成 する
？
Yes
Yes
No
2a
CJで指 定 してい
るPJがある？
CJ作 成 失敗
No
No
キャリアをその まま の状 態 に
してお きＣＪの 再作 成 をおこ
なう場合 と、作 成 済み の ＰＪ
をキャンセル して、キャリア
を払 い出す場 合 がある。
S14F10 CJCreate Ack
通常 処 理と同様 と
なる
3a
図 2-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 1/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
89
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
2a
既にＰＪは作成済みだが、
ＰＪから再作成するかを
オペレータが判断する
PJから再作成
する？
Yes
S16F5 PRJobCancel
PJキャンセル報告
今回作成したPJを
キャンセルする
(PRJobCancel)
今回作成したＰＪを削
除し、ＰＪ、ＣＪともに
再作成する
S6F11 PRJob Complete
No
通常のＰＪ、ＣＪ作成
処理と同様となる
S1F3 CJQueueSpace
作成可能なCJの空き
リアを報告
CJ作成用の
空きエリアの確認
CJだけを再作成する
正しいCJを再作成する
CJだけを再作成する
S1F4 CJQueueSpace
Response
CJの空きエリア
は足りている？
No
Yes
S14F9 CJCreate
CJを再作成する
S14F10 CJCreate Ack
ＣＪ作成用の空きエリ
アができるのを待つ
CJを再作成する
(CJCreate)
正しいCJを再作成する
通常処理と同様と
なる
図 2-20 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 2/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
90
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
今回作成したPJを
キャンセルする
(PRJobCancel)
S16F5 PRJobCancel
PJキャンセル報告
(PRJob Complete)
S6F11 PRJob Complete
S3F17 CancelCarrier
キャリア払い出し
(Transfer Blocked)
作成済みのＰＪをキャ
ンセルし、バッチ分の
キャリアを全て搬出
する
既に作成済みのＰＪをキャ
ンセルし、バッチ分のキャ
リアを全て搬出する
ｷｬﾘｱの処理ｷｬﾝｾﾙ
を指示する
(CancelCarrier)
S6F11：Transfer Blocked
バッチ内のキャリア数分
だけ処理を繰り返す
ロードポートステータ
スを更新する
(Associated)
S6F11：Associated
ロードポートステータ
スを更新する
(Reserved)
S6F11：Reserved
内部バッファからロー
ドポートへ
キャリア移動
S6F11：Carrier Location Change
内部バッファのキャ
パシティ変更を報告
S6F11：Buffer Capacity Change
S6F11：Ready To Unload
キャリア搬出可能
キャリア搬出指示
ロードポート
予約解除
S6F11：Not Reserved
搬出指示
搬出開始
キャリア搬出
搬出開始報告
搬出完了
搬出完了報告
S6F11：Transfer Blocked
S6F11：Material Has Removed
キャリアオブジェクト
を削除する
S6F11：Deleted
ロードポートステータ
スを変更する
(Not Associated)
S6F11：Not Associated
キャリア搬入可能
を報告する
S6F11：Ready To Load
図 2-21 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 3/3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
91
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ジョブ作成失敗シナリオ
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
プロセス・ジョブ数
コントロール・ジョブ数
Carrier ID
搬送機器
バッチ毎のキャリア数
内部バッファ数
バッチ１（C1～C3）
条件
オンラインリモート
オート
２
３
１
１
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
３
６
CJ1、PJ1
内部ﾊﾞｯﾌｧ
C3
C2
C1
搬入完了
STL ＃1 FIMS ポート
STL ＃2 リソース
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
92
ジョブ作成でエ
ラーが発生した
ら、内部バッファ
へ搬入済みの C1
～C3 キャリアを
搬出する。
内部ﾊﾞｯﾌｧ
C3
C2
C1
C3
C2
C1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合
#
運用
#
0
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
LTS LCAS LPR
RTL
(P1,
P2,
P3)
（内部バッファ内のキャリアC1～C3
キャリアＩＤ照合完了状態）
レシピ妥当性に問題ないことを
（ＰＪの再作成をおこなう場合）
NAS
(P1,
P2,
P3)
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
STS
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
No
IVO SNR NAC No
No
State (C1～ (C1～ (C1～ State Stete
C3) C3) C3)
CJ
PJ
No
State
No
State
コメント
確認済み
1
PJ作成
1-1
ＰＪの空きスペースの確認
失敗
2
ＰＪを再作成す
る
か判断する
3a ＰＪの再作成を
S16F21
H->E PRGetSpace
S16F22
H<-E PRGetSpace Send
H->E CJQueueSpace
1-2
CJの空きスペースの確認
S1F3
S1F4
H<-E CJQueueSpaceResponse
1-3
PJ作成失敗
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PRJob Create Ack
2-1
ＰＪの再作成をおこなうか判断する
3a-1
ＰＪの空きスペースの確認
S16F21
H->E PRGetSpace
オペレータをコールし、ジョブ内容の
S16F22
H<-E PRGetSpace Send
修正をおこなう
H->E CJQueueSpace
おこなう場合
3a-2
CJの空きスペースの確認
S1F3
S1F4
H<-E CJQueueSpaceResponse
3a-3
PJ作成
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PRJob Create Ack
3a-4
ＰＪ作成完了
S6F11
H<-E PRJob Pooled
S6F12
H->E Ack
PRJob
Pooled
以下通常処理と同様となる
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
93
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合
#
運用
3b ＰＪの再作成を
#
3b-1
処理
キャリアへの処理キャンセル
おこなわない
場合
3b-2
3b-3
3b-4
3b-5
3b-6
3b-7
3b-8
3b-9
SF
方
向
メッセージ
S3F17
H->E CancelCarrier
S3F18
H<-E Ack
キャリア払出
S6F11
H<-E Transfer Blocked
（内部バッファからロードポート）
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
キャリアロケーション変更通知
キャリアがロードポートに払出される
キャリア搬出可能
ロードポートステータス送信
アンロード搬送開始
3b-10 キャリア搬出
3b-11 キャリアオブジェクト消滅
3b-12 ロードポートステータス送信
3b-13 ロードポート搬入可能状態
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Transfer Blocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
（ＰＪの再作成をおこなわない場合）
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
A(P1)
R(P1)
RTU
(P1)
NR
(P1)
TB
(P1)
No
CIDS,
State State
State
CSMS,
(C1) (C1)
(C1)
STPは、
No
NAS
(P1)
No
C1から
C3まで
RTL
(P1)
繰返す
バッチ内のキャリア数分3b-1～3b-13を
繰返す
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
94
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合
（ＣＪだけの再作成をおこなう場合）
#
運用
#
0
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
LTS LCAS LPR
RTL
(P1,
P2,
P3)
（内部バッファ内のキャリアC1～C3
キャリアＩＤ照合完了状態）
レシピ妥当性に問題ないことを
NAS
(P1,
P2,
P3)
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
STS
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
No
IVO SVO NAC No
No
State (C1～ (C1～ (C1～ State Stete
C3) C3) C3)
CJ
PJ
No
State
No
State
コメント
確認済み
1
PJ作成
1-1
ＰＪの空きスペースの確認
失敗
ＣＪを再作成
H->E PRGetSpace
S16F22
H<-E PRGetSpace Send
H->E CJQueueSpace
1-2
CJの空きスペースの確認
S1F3
S1F4
H<-E CJQueueSpaceResponse
1-3
PJ作成失敗
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PRJob Create Ack
1-4
PJ生成完了
S3F17
H->E PR Job Pooled
S3F18
H<-E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
S1F3
H->E CJQueueSpace
S1F4
H<-E CJQueueSpaceResponse
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
1-5
2
S16F21
CJ生成失敗
2-1
ＣＪの再作成をおこなうか判断する
3a-1
CJの空きスペースの確認
PRJob
Pooled
するか判断する
3a ＣＪの再作成を
オペレータをコールし、ジョブ内容の
おこなう場合
3a-2
3a-3
CJ生成
CJ生成完了
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
修正をおこなう
Queued
以下通常の処理と同様となる
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
95
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合
（ＰＪ、ＣＪともに再作成をおこなう場合）
#
運用
3b PＪのキャンセル
#
3b-1
3b-2
4b 通常のＰＪ、ＣＪ
処理
PJキャンセル
PJキャンセル報告
SF
方
向
メッセージ
S16F5
H->E PR Job Cancel
S16F6
H<-E Ack
S6F11
H<-E PR Job Complete
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
コメント
PRJob
Canceled
↓
No State
以下通常のＰＪ、ＣＪ作成の処理と
作成処理
PJ
同様となる
ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合
（ＣＪの再作成をおこなわない場合）
#
運用
3c ＣＪの再作成を
#
3c-1
処理
PJキャンセル
おこなわない
場合
3c-2
3c-3
4c キャリア搬出
4c-1
4c-2
4c-3
4c-4
PJキャンセル報告
キャリアへの処理キャンセル
SF
方
向
メッセージ
S16F5
H->E PR Job Cancel
S16F6
H<-E Ack
S6F11
H<-E PR Job Complete
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E CancelCarrier
S3F18
H<-E Ack
キャリア払出
S6F11
H<-E Transfer Blocked
（内部バッファからロードポート）
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
ロードポートステータス送信
キャリアロケーション変更通知
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
Process
Job
Canceled
↓
NoState
TB
(P1)
A(P1)
R(P1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
96
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
4c-5
4c-6
4c-7
4c-8
4c-9
処理
キャリアがロードポートに払出される
キャリア搬出可能
ロードポートステータス送信
アンロード搬送開始
キャリア搬出
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Transfer Blocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
4c-10 キャリアオブジェクト消滅
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
4c-11 ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
4c-12 ロードポート搬入可能状態
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
RTU
(P1)
NR
(P1)
TB
(P1)
CIDS,
No
NAS
(P1)
No
No
CSMS,
State State
State
CAS、
(C1) (C1)
(C1)
C1から
C3まで
繰返す
RTL
(P1)
バッチ内のキャリア数分3c-3～4c-12を
繰返す
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
97
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.5.6. （アン）クランピング／（アン）ドッキング 失敗
（アン）クランプ／（アン）ドッキングは、どの処理とも論理的なものではなく、固定する／開
放するという物理的な動作を伴う。従ってどの場合の失敗でもオペレータが介入し、どのように
対応するかの判断をおこなう。
エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次のパターンについて示す。
(1) デリバリポジションでクランピングに失敗した場合
(2) ドックドポジションでドッキングに失敗した場合
(3) ドックドポジションでアンドッキングに失敗した場合
(4) デリバリポジションでアンクランピングに失敗した場合
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
98
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（１）　クランピング失敗
AMHS
キャリアを
持って来る
キャリアを移載
完了し移動する
装置
PIO
ホスト
オペレータ
コメント
キャリアハンドオフ
パラレルI/O
インタフェース
正常終了
キャリアIDの読込み
はクランプ完了後に
おこなう
デリバリポジションで
キャリアを
クランプする
キャリアを
クランプできた？
クランプ時にエラー
が発生した場合に
は、アラームを上げ
ること。
なお、アラームを上
げる前 に装置側で
内部的にリトライ処
理をおこなうこと
Yes
通常処理と同様と
なる
アラーム通知
（Clamp Failure）
No
S5F1 Alarm Report Send
オペレータ通知
キャリア、クランプ機
構をチェックする
キャリアまたは、クラ
ンプ機構をメンテナン
スする
オペレータをコール
し、チェック及びメン
テナンスをおこなう。
なお、メンテナンスを
おこなう場合には、
オペレータが判断
し、必要な場合に
は、ロードポートを
OutofServiceにする
なお、ロードポートを
OutofServiceにする
場合
は、復旧時には、
ロードポートには
キャリアがない状態
にて運用する。
ここで復 旧時にロー
ドポートにキャリアが
あった場合の動作
は、装置に依存す
る。
図 2-22 クランピング失敗
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
99
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（２）　ドッキング失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
CJ:Executing
PJ:Setup状態
内部バッファから
FIMSポートへの
キャリア移動
キャリア
ロケーション
変更報告
S6F11 Carrier Location Change
FIMSポートで
キャリアを
ドックする
キャリアを
ドッキング
できた？
ドック時にエラーが
発生した場合には、
アラームを上げるこ
と。
なお、アラームを上
げる前に装置側で
内部的にリトライ処
理をおこなうこと
Yes
通常処理と同様と
なる
No
S5F1 Alarm Report Send
アラーム通知
（Dock Failure）
アラーム受信
オペレータ通知
エラーが発生した
キャリアに対しての
CJ,PJを止める
（PJはCJを止める
ことにより止まる）
S16F27 CJStop
CJをStopする
PJ終了中報告
PJ終了報告
ＣJ終了報告
CJをStopする
S6F11 PRJob Stopping
S6F11 PRJob Complete
S6F11 Stopped
キャリア、ドック機構
をチェックする
キャリアまたは、ドッ
ク機構のメンテナンス
をおこなう
オペレータをコール
し、チェック及びメン
テナンスをおこなう。
なお、メンテナンスを
おこなう場合には、
オペレータが判断
し、必要な場合に
は、ロードポートを
OutofServiceにする
なお、ロードポートを
OutofServiceにする
場合
は、復旧時には、
ロードポートには
キャリアがない状態
にて運用する。
ここで復旧時にロー
ドポートにキャリアが
あった場合の動作
は、装置に依存す
る。
図 2-23 ドッキング失敗
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
100
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（３）　アンドッキング失敗
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
キャリア内のウェハ
への処理が全て終了
しFOUPが閉じられ
ている
キャリアを
アンドックする
キャリアを
アンドッキング
できた？
アンドック時にエラー
が発生した場合に
は、アラームを上げ
ること。
なお、アラームを上
げる前に装置側で
内部的にリトライ処
理をおこなうこと
Yes
通常の処理と同様と
なる
No
S5F1 Alarm Report Send
アラーム通知
（Undock Failure）
アラーム受信
オペレータ通知
S16F27 CJStop
エラーが発生した
キャリアに対しての
CJ,PJを止める
（PJはCJを止める
ことにより止まる）
CJをStopする
CJをStopする
PJ終了中報告
PJ終了報告
ＣJ終了報告
S6F11 PRJob Stopping
S6F11 PRJob Complete
S6F11 Stopped
キャリア、アンドック
機構をチェックする
キャリアまたは、アン
ドック機構のメンテナ
ンスをおこなう
オペレータをコール
し、チェック及びメン
テナンスをおこなう。
なお、メンテナンスを
おこなう場合には、
オペレータが判断
し、必要な場合に
は、ロードポートを
OutofServuceにする
なお、ロードポートを
OutofServiceにする
場合
は、復旧時には、
ロードポートには
キャリアがない状態
にて運用する。
ここで復旧時にロー
ドポートにキャリアが
あった場合の動作
は、装置に依存す
る。
図 2-24 アンドッキング失敗
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
101
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
（４）　アンクランピング失敗
AMHS
搬出処理開始
装置
PIO
ホスト
オペレータ
コメント
AMHSのPIO
開始にて
アンクランピングを開
始する
アンクランピング
成功？
アンクランプ時にエ
ラーが発生した場合
には、アラームを上
げること。
なお、アラームを上
げる前に装置側で
内部的にリトライ処
理をおこなうこと
Yes
通常処理と同様と
なる
アラーム通知
（Unclamp Failure）
No
S5F1 Alarm Report Send
オペレータ通知
キャリア、アンクラン
プ機構をチェックする
キャリア、アンクラン
プ機構のメンテナン
スをおこなう
オペレータをコール
し、チェック及びメン
テナンスをおこなう。
なお、メンテナンスを
おこなう場合には、
オペレータが判断
し、必要な場合に
は、ロードポートを
OutofServiceにする
なお、ロードポートを
OutofServiceにする
場合
は、復旧時には、
ロードポートには
キャリアがない状態
にて運用する。
ここで復旧時にロー
ドポートにキャリアが
あった場合の動作
は、装置に依存す
る。
図 2-25 アンクランピング失敗
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
102
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
クランピング失敗
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジ
ョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／スロットマップ照合
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
２
３
１
１
配送後
搬 入完了 したキ ャ
リ アのク ランプ 時
に エラー が発生 し
た。
C1
搬入完了
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
103
C1
クランプ時にエ
ラー発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
クランプに失敗した場合
#
運用
#
0
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
TB
(P1)
RTL
(P2,
P3)
（ロードポート１のキャリアC1
搬入完了状態）
1
2
クランプ失敗
メンテナンス
操作
1-1
2-1
LTS LCAS LPR
Carrierクランピング失敗
S5F1
H<-E Alarm Report Send
（クランピング失敗アラーム通知）
S5F2
H->E Ack
NAS
(P1,
P2,
P3)
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
STS
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
No
No
No
No
No
No
State State State State State State
キャリアまたは、クランプ機構の
メンテナンスをおこなう
（オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
104
CJ
PJ
No
State
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ドッキング失敗
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジ
ョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／スロットマップ照合
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
２
３
１
１
配送後
Process
Module
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
ドッキング時に
エラー発生
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
105
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
ドッキングに失敗した場合
#
運用
#
0
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
RTL
(P1,
P2,
P3)
（内部バッファ内のキャリアC1～C3
キャリアＩＤ照合完了状態）
1
2
ドック失敗
1-1
ジョブのストップ
Carrierドック失敗
S5F1
（ドッキング失敗アラーム通知）
S5F2
H->E Ack
2-1
CJをストップする
S16F27
H->E CJStop
S16F28
H<-E Ack
2-2
PJストップ処理中報告
S6F11
H<-E PRJob Stopping
S6F12
H->E Ack
2-3
2-4
3
メンテナンス
操作
3-1
PJストップ報告
CJストップ報告
LTS LCAS LPR
NAS
(P1,
P2,
P3)
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
STS
CJ
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
No
IVO SNR NAS No
No
Executing
State (C1～ (C1～ (C1～ State State
C3) C3) C3) (C1～ (C1～
C3)
C3)
PJ
SettingUp
H<-E Alarm Report Send
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Stopped
S6F12
H->E Ack
Completed
キャリアまたは、ドッキング機構の
メンテナンスをおこなう
（オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
106
PJC
↓
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
アンドッキング失敗
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジ
ョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／スロットマップ照合
搬送機器
条件
オンラインリモート
オート
２
３
１
１
配送後
Process
Module
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
アンドッキング時に
エラー発生
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
107
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
アンドッキングに失敗した時でオペレータが介入し、処理続行可能かを判断する場合
#
運用
#
0
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
LTS LCAS LPR
RTL
(P1,
P2,
P3)
（ボート内のウエハへの処理が全て
終了し、1キャリア目のウエハは、内部
バッファに戻っている。2キャリア目に
NAS
(P1,
P2,
P3)
ウエハが全て戻り、FOUPが閉じられて
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
(#n) CIDS CSMS CAS
OC
IVO SVO CC
(#1,#2) (C1, (C1, (C1,
C2, C2
C2)
C3) C3) INA
(C3)
STS
STT STP
AD
PC
(C1, (C1,
C2)
C2,
AW
C3)
(C3)
CJ
PJ
Executing
Process
Complete
いる。）
1
2
アンドック失敗
ジョブのストップ
1-1
Carrierアンドック失敗
S5F1
（アンドッキング失敗アラーム通知）
S5F2
H->E Ack
2-1
CJをストップする
S16F27
H->E CJStop
S16F28
H<-E Ack
2-2
PJストップ処理中報告
S6F11
H<-E PRJob Stopping
S6F12
H->E Ack
2-3
2-4
3
メンテナンス
操作
3-1
PJストップ報告
CJストップ報告
H<-E Alarm Report Send
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Stopped
S6F12
H->E Ack
Completed
キャリアまたは、ドッキング機構の
メンテナンスをおこなう
（オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
108
PJC
↓
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
アンクランピング失敗
前提条件
項目
コントロールモード
アクセスモード
ロードポート数
製品処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジ
ョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／スロットマップ照合
搬送機器
デ リバリ ポジシ ョ
ン でのア ンクラ ン
プ 時にエ ラーが 発
生した。
条件
オンラインリモート
オート
２
３
１
１
配送後
C1
デリバリポジション
への完了
HOST 照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
109
C1
アンクランプ時
にエラー発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
アンクランピングに失敗した時で、オペレータ介入にて処理可能か判断する場合
#
運用
#
0
処理
SF
方
向
メッセージ
初期状態
LTS LCAS LPR
TB
(P1)
RTL
P2,
P3)
（ウエハへの処理が全て終了し、
処理終了したウエハは、内部バッファ内
のキャリアに戻っている。1キャリア目
は、搬出済み。２キャリア目の
A
(P1)
NAS
(P2,
P3)
NR
(P1,
P2,
P3)
STL
CS
(#n) CIDS CSMS CAS
No
IVO SVO CC
State (C2, (C2, (C2,
C3) C3) C3)
アンクランピングでエラー発生）
1
アンクランプ
1-1
失敗
2
メンテナンス
操作
2-1
Carrierアンクランピング失敗
S5F1
H<-E Alarm Report Send
（アンクランピング失敗アラーム通知）
S5F2
H->E Ack
キャリアまたは、アンクランプ機構の
メンテナンスをおこなう
（オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
110
STS
STT STP
AD
PC
(C2, (C2,
C3)
C3)
CJ
PJ
NoState
NoState
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.6. NPW 運用シナリオ
代表的な NPW の運用モデルを使用する際に想定されるシナリオを示す。代表的な
NPW の種別については 製造装置オンライン要求仕様書 2.2.2.2. 代表的な NPW 運用
モデルを参照のこと。
2.1.6.1. NPW 運用シナリオ一覧
NPW を使用した次のケースのシナリオを示す。
次のセクションではこれらについての運用フローの詳細とシナリオを示す。
ＮＰＷ使用目的
Ｆｉｌｌｅｒ（定常）
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）
Ｍｏｎｉｔｏｒ
詳細条件
条件指定を装置定数にておこなう
条件指定を装置定数にておこなう
ジョブにて条件指定をおこなう
なお、NPW 回収用の空キャリアを製品キャリアとは別に用
意する。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
111
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.6.2. Filler（定常）NPW
運用シナリオ
内部バッファ装置に用いる Filler（定常）は、プロセス処理室内における製品品質の均一化の
ために、品質のばらつきが大きくなる可能性のあるプロセス処理室内の上部／下部をうめるた
めに使用される。
以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。
1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。
2) 装置定数に以下の情報を用意すること。
上（左）側 Filler（定常）ウェーハ使用枚数
下（右）側 Filler（定常）ウェーハ使用枚数
累積使用回数基準値：NPW の交換を推奨する累積使用回数
累積使用回数上限値：NPW の使用限界を示す累積使用回数
3) Filler(定常)用 NPW キャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用意
すること。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
112
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
定常型のＦｉｌｌｅｒを搬入する
前に、あらかじめ装置定数
にて次の項目を設定する。
１．上（左）側使用枚数
２．下（右）側使用枚数
３．累積使用回数基準値
４．累積使用回数上限値
装置定数設定
Filler(定常）キャリア
搬入処理
Filler（定常）キャリア
ID照合処理
製品キャリアとは別に、
キャリアＵｓａｇｅがFiller(定常
）のキャリアを前もって搬入
し、キャリアID照合、スロット
マップ照合をおこなったうえ
で、内部バッファで保管して
おく
Filler（定常）キャリア内
部バッファ保管処理
製品キャリア
搬入処理
製品キャリア
ID照合処理
製品キャリア内部
バッファ保管処理
レシピの確認
ＰＪ作成、ＣＪ作成
ジョブは、Filler(定常）以外に
ついての処理条件を設定す
る。
2a
図 2-26 Filler(定常) 運用フロー (1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
113
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
2a
ジョブを開始する
Ｆｉｌｌｅｒ（定常）
の場所に
ウェーハが
入っている？
No
Ｆｉｌｌｅｒ（定常）が必要な枚数
だけウェーハを持って来る。
１つのキャリアだけでは足り
ない場合には、処理を複数
回繰り返す
Ｆｉｌｌｅｒ（定常）用の
キャリアを内部バッ
ファからＦＩＭＳポー
トへ移動させる
ＦＯＵＰを空け、ス
ロットマップ照合
をおこなう
Yes
スロットマップ照合
ＯＫ
ウェーハを処理位
置へ移動する
FOUPを閉じ、キャリ
アを内部バッファへ
移動する
3a
図 2-27 Filler(定常) 運用フロー (2)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
114
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
製品用キャリアのス
ロットマップ照合
製品バッチ数のキャリアを全
て、処理位置へ移動する。
バッチ数分だけ、キャリアの
処理を繰り返す。
処理中
処理完了
Filler（定常）のウェーハ毎に
使用回数履歴を管理するこ
と
Ｆｉｌｌｅｒ（定常）ウェーハ毎
の使用回数履歴を更新
する
Filler（定常）のウェーハは、
偏った使用をしないこと。
搬入元が同じ
キャリアの各
ウェーハが累
積使用回数上
限値を超えた
か？
Yes
Filler(定常）用ウェーハ
をキャリアへ払出す
No
Filler(定常）用ウェー
ハを払出す
搬入元が同じ
キャリアの各
ウェーハが累
積使用回数基
準値を超えた
か？
Filler（定常）キャリア内の全
ウェーハが累積使用回数上
限値となった場合には、その
ウェーハをキャリアへ払い出
すこと。
4b
No
4d
Yes
アプローチングコン
プリートイベント通知
Filler(定常）用ウェーハ
を払出すか決める
Filler（定常）キャリア内の全
ウェーハが累積使用回数基
準値となった場合には、その
キャリアに対するApproachin
gComplteイベントを上げるこ
と。
4a
図 2-28
Filler(定常) 運用フロー (3)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
115
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
４
Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
4a
コメント
Filler(定常)キャリアを払出す
か判断する時に、ホストは、
次回処理でもＦｉｌｌｅｒ(定常）ウ
ェーハが足りるかをこ考慮す
る。
Filler(定常）を
払出す？
4c
Yes
キャリア払出し指
示受信
Filler(定常）用
キャリア
を払出す
No
4b
4d
Ｆｉｌｌｅｒ（定常）用の
キャリアを内部
バッファからＦＩＭ
Ｓポートへ移動さ
せる
S2F41 CarrierStatusChange
にてそのキャリアへの処理
を終了すること。
払出すFiller(定常）用キャリ
アが複数ある場合は、払出
すキャリア数分だけ、処理を
繰り返す。
Filler(定常）用
ウェーハを処理
位置からFOUPへ
移動する
FOUPを閉じ、キャ
リアを内部バッファ
へ移動する
4d
Filler(定常）用
キャリア
搬出処理
製品キャリア内部
バッファ保管処理
Filler(定常）用キャリアが複
数ある場合は、払出すキャリ
ア数分だけ、処理を繰り返
す。
5a
5b
図 2-29
Filler(定常) 運用フロー (4)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
116
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
５
Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
5a
Filler（定常）キャリア
払出通知
製品キャリアは、バッチ数分
だけ搬出する
Filler(定常）用キャリ
ア搬出処理
5b
製品キャリア搬出
処理
Filler(定常）
キャリア搬出
済み？
Yes
通常の製品キャリアの搬入
と同様となる。
Filler(定常）用キャリア
搬入処理
次の製品キャリアの搬入可
能状態となる。
キャリア搬入可能
通知
図 2-30
Filler(定常) 運用フロー (5)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
117
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
Filler（定常）
前提条件
項目
条件
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／Slot Map 照合
搬送機器
Filler（定常）への条件指定
オンラインリモート
オート
４キャリア
１コントロールジョブ
１プロセスジョブ
配送後
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
装置定数
内部ﾊﾞｯﾌｧ
C3
C6
C2
C5
C1
C4
製品キャリア C1～C4、
Filler（定常）キャリア C5、
Filler（非定常）キャリア C6
がある。
製品 Filler(定常） Filler(非定
キャリア キャリアC5 常）キャリア
C6
C1～C4
2002 年 3 月 31 日
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119
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
0 初期状態
LTS LCAS LPR
RTL
1 装置定数設定
1-1 装置定数設定
S2F15
H->E Equipment Constant Send
S2F16
H->E Ack
2 Filler（定常）
2-1 ロード開始
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
キャリア搬入
移載
2-2 ロード終了
3 Filler（定常）
3-1 CarrierID読取り
キャリアID照合
3-2 ロードポートステータス送信
3-3 CarrierID照合OK
3-4 CarrierID照合完了
4 Filler（定常）
4-1 バッファキャパシティ変更報告
内部バッファ
保管
4-2 キャリアロケーション変更報告
4-3 ロードポートステータス送信
4-4 ロードポート搬入可能状態
5 製品キャリア
5-1 ロード開始
搬入移載
5-2 ロード終了
6 製品キャリアID
6-1 CarrierID読取り
照合
6-2 ロードポートステータス送信
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
NA
NR
STL
CS
STS
CJ
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
UOC No No
No
No
No
No
(#1,#2) State State State State State
State
TB
WFH SNR
A
IVO
NA
RTL
TB
A
2002 年 3 月 31 日
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120
NA
PJ
No
State
コメント
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#
運用
#
処理
6-3 CarrierID照合OK
6-4 CarrierID照合完了
7 内部バッファ
7-1 バッファキャパシティ変更報告
保管
7-2 キャリアロケーション変更報告
7-3 ロードポートステータス送信
7-4 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
WFH SNR
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
NA
IVO
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返される
8 レシピの確認
8-1 レシピリスト確認
8-2 LOAD問合せ
（装置にレシピがない場合）
8-3 プロセスプログラム送信
8-4 レシピ妥当性送信
9 PJ作成
9-1 PJの空きスペースの確認
CJ作成
CJ、PJ実行
9-2 CJの空きスペースの確認
S7F19
H->E Current EPPD Request
S7F20
H<-E Ack
S7F1
H->E Process Program Load Inquire
S7F2
H<-E Ack
S7F23
H->E Process Program Send
S7F24
H<-E Ack
S7F27
H<-E Process Program Verification Send
S7F28
H->E Ack
S16F21
H->E PRGetSpace
S16F22
H<-E Ack
S1F3
H->E CJQueueSpace
S1F4
H<-E CJQueueSpaceResponse
9-3 PJ生成
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PR Job Create Ack
9-4 PJ生成完了
S6F11
H<-E PR Job Pooled
S6F12
H->E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
9-5 CJ生成
PRJob
Pooled
2002 年 3 月 31 日
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121
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#
運用
#
処理
9-6 CJ生成完了
9-7 CJ選択報告
9-8 CJ実行報告
9-9 PJ開始準備
SF
方
向
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
メッセージ
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
Selected
Executing
SettingUp
Filler（定常）用ウェーハが必要か装置が判断する
不要な場合は、No.12の処理へ
ウェーハが必要
な場合
10-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
10-2 FOUP Open
（Filler（定常）の
スロットマップ
10-3 スロットマップ読込み完了
照合）
10-4 ウエハオブジェクト作成
10-5 サブストレート取得
10-6 スロットマップ照合OK
10-7 スロットマップ照合完了
11 Filler（定常）
11-1 キャリア処理中
キャリア処理中
11-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
11-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
PJ
Queued
必要な場合は、No.10,11の処理をおこなう。
10 Filler（定常）用
CJ
AS
OC
(#1)
SVO
IA
UOC
(#1)
AW
2002 年 3 月 31 日
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122
NP
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#
運用
#
処理
11-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
OC
(#2)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
キャリア内の必要ウエハ枚数分112～11-4を繰返す
11-5 FOUP Close
11-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
12 製品キャリア
スロットマップ
照合
12-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
12-2 FOUP Open
12-3 スロットマップ読込み完了
12-4 ウエハオブジェクト作成
12-5 サブストレート取得
12-6 スロットマップ照合OK
12-7 スロットマップ照合完了
13 製品キャリア
13-1 キャリア処理中
処理中
13-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
13-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
13-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
WFH
AS
OC
(#1)
SVO
IA
UOC
(#1)
AW
OC
(#2)
キャリア内のウエハ枚数分13-2～13-4を繰返す
13-5 FOUP Close
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
2002 年 3 月 31 日
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123
NP
CJ
PJ
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#
運用
#
処理
13-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
バッチ数分12-1～13-6を繰返す
13-7 Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
13-8 ウエハ実処理開始
14 処理終了
14-1 ウエハ実処理完了
14-2 アプローチングイベント報告
14-3 Boat Unload完了
（PJプロセス終了報告）
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approching Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
S6F12
H->E Ack
Processing
INP
PRC
Process
Complete
Filler（定常）ウェーハの使用履歴を更新する
15 製品処理終了で
No.17の処理へ
Filler（定常）
ウェーハの累積
使用回数上限
値
を超えた場合
（キャリア内の
全ウェーハ)
16 製品処理終了で
16-1 アプローチングイベント報告
Filler（定常）
S6F11
H<-E Approching Complete
S6F12
H->E Ack
ウェーハの累積
新しいFiller（定常）キャリアを使用するか判断する。
使用回数基準
値
を超えた場合
新しいFiller（定常）キャリアを使用する場合は、No.17の処理へ
（キャリア内の
新しいFiller（定常）キャリアを使用しない場合は、Np.18の処理へ
16-2 キャリアステータス変更要求
全ウェーハ）
S2F41
H->E CarrierComplete
S2F42
H<-E Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
124
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#
運用
製品処理終了で
#
処理
SF
方
向
メッセージ
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
No.18の処理へ
Filler（定常）
ウェーハの累積
使用回数基準
値
を超えなかった
場合（キャリア内
の全ウェーハ）
17 Filler（定常）
キャリア
17-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
内部バッファ
17-2 FOUP Open
保管
17-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
17-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
17-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
UOC
(#2)
AD
OC
(#1)
キャリア内のウエハ枚数分17-3～17-5を繰返す
17-6 FOUP Close
17-7 キャリア処理完了
17-8 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
18 製品キャリア
内部バッファ
保管
18-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
18-2 FOUP Open
18-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
18-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Destination
S6F12
H->E Ack
CC
UOC
(#2)
AD
2002 年 3 月 31 日
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125
CJ
PJ
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#
運用
#
処理
18-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
OC
(#1)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
キャリア内のウエハ枚数分18-3～18-5を繰返す
18-6 PJ完了報告
18-7 CJ完了報告
18-8 CJ削除
18-9 CJ削除報告
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H->E Delete Request
S14F12
H<-E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
PRJob
Complete
↓
No
State
Complete
No
State
18-6～18-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
18-10 FOUP Close
18-11 キャリア処理完了
18-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
CC
バッチ数分18-1～18-12を繰返す
19 Filler（定常）
19-1 キャリア払出指示
キャリアの搬出
が必要な場合
No.17のFiller(定
常)キャリアの保
19-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
19-3 ロードポートステータス送信
管処理をおこな
った場合
19-4 ロードポートステータス送信
19-5 キャリアロケーション変更通知
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
TB
A
R
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
126
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#
運用
#
処理
19-6 キャリアがロードポートに払出される
19-7 キャリア搬出可能
19-8 ロードポートステータス送信
19-9 アンロード搬送開始
19-10 キャリア搬出
19-11 キャリアオブジェクト消滅
19-12 サブストレートオブジェクト消滅
19-13 ロードポートステータス送信
19-14 ロードポート搬入可能状態
20 製品
20-1 キャリア払出指示
キャリアの搬出
20-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
20-3 ロードポートステータス送信
20-4 ロードポートステータス送信
20-5 キャリアロケーション変更通知
20-6 キャリアがロードポートに払出される
20-7 キャリア搬出可能
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
RTU
NR
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
NA
RTL
TB
A
R
RTU
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
127
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
20-8 ロードポートステータス送信
20-9 アンロード搬送開始
20-10 キャリア搬出
20-11 キャリアオブジェクト消滅
20-12 サブストレートオブジェクト消滅
20-13 ロードポートステータス送信
20-14 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
NR
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで20-1～20-14が繰返される
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
128
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.6.3. Filler（非定常）NPW
運用シナリオ
Filler(非定常)はプロセス処理室内における製品品質の均一化をはかるために、ボート内のウ
ェーハの歯抜けを補うために用いる。なお、Filler（非定常）用の NPW は再利用可能である
ものとする。
以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。
1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。
2) 装置定数に以下の情報を用意すること。
累積使用回数基準値：NPW の交換を推奨する累積使用回数
累積使用回数上限値：NPW の使用限界を示す累積使用回数
3) Filler(非定常)用 NPW キャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用
意すること。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
129
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
非定常型のＦｉｌｌｅｒを搬入する
前に、あらかじめ装置定数に
て次の項目を設定する。
１．累積使用回数基準値
２．累積使用回数上限値
装置定数設定
Filler(非定常）キャリア
搬入処理
Filler（非定常）キャリア
ID照合処理
製品キャリアとは別に、
キャリアＵｓａｇｅがFiller(非定
常）のキャリアを前もって搬
入し、キャリアID照合、スロッ
トマップ照合をおこなったう
えで、内部バッファで保管し
ておく
Filler（非定常）キャ
リア内部バッファ保
管処理
製品キャリア
搬入処理
製品キャリア
ID照合処理
製品キャリア内部
バッファ
保管処理
レシピの確認
ＰＪ作成、ＣＪ作成
ジョブは、製品についての処
理条件を設定する。
ジョブ開始
製品キャリア
スロットマップ
照合
2a
図 2-31
Filler(非定常) 運用フロー (1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
130
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
2a
製品、Ｆｉｌｌｅｒ（定常）等
必要なウェーハを処理
室へ入れる
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）用のキャ
リアを内部バッファからＦ
ＩＭＳポートへ
移動させる
Filler（非定常）のウェーハが
必要かどうかは、装置が判
断すること。
ＦＯＵＰを空け、スロッ
トマップ照合をおこなう
スロットマップ照合ＯＫ
ウェーハを処理位置
へ移動する
FOUPを閉じ、キャリア
を内部バッファへ移動
する
3a
図 2-32
Filler(非定常) 運用フロー (2)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
131
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
処理中
処理完了
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）ウェー
ハ毎の使用回数履歴
を更新する
搬入元が同じ
キャリアの各
ウェーハが累
積使用回数上
限値を超えた
か？
Yes
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）
キャリア搬出処理
Filler（非定常）キャリア内の
全ウェーハが累積使用回数
上限値となった場合には、ウ
ェーハをキャリアに払い出す
こと。
No
搬入元が同じ
キャリアの各
ウェーハが累
積使用回数基
準値を超えた
か？
4b
Yes
アプローチング
コンプリート
イベント通知
Filler（非定常）キャリア内の
全ウェーハが累積使用回数
基準値となった場合には、そ
のキャリアに対するApproac
hingComplteイベントを上げ
ること。
No
Filler(非定常）
を搬出する？
Yes
4a
No
4c
図 2-33
Filler(非定常) 運用フロー (3)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
132
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
４
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
4a
キャリア払出し指
示受信
Filler(非定常）用
キャリアを払出す
S2F41 CarrierComplete
にてそのキャリアへの処理
を終了すること。
4b
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）用の
キャリアを内部バッ
ファからＦＩＭＳポー
トへ移動させる
払出すFiller(非定常）用キャ
リアが複数ある場合は、払
出すキャリア数分だけ、処理
を繰り返す。
Filler(非定常）用
ウェーハを処理
位置からFOUPへ
移動する
FOUPを閉じ、キャ
リアを内部バッファ
へ移動する
Filler(非定常）用
キャリアのロード
ポートへの払出を
指示する
4c
製品キャリア内部
バッファ保管処理
5a
Filler(非定常）用キャリアが
複数ある場合は、払出すキ
ャリア数分だけ、処理を繰り
返す。
5b
図 2-34
Filler(非定常) 運用フロー (4)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
133
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５
Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
5a
Filler(非定常）用
キャリアのロード
ポートへの払出を
指示する
製品キャリアは、バッチ数分
だけ搬出する
Filler(非定常）用
キャリア搬出処理
5b
製品キャリア搬出
処理
通常の製品キャリアの搬入
と同様となる。
Filler(非定常）
キャリア搬出
済み？
Yes
Filler（非定常）
キャリア
搬入処理
キャリア搬入可能
通知
図 2-35
Filler(非定常) 運用フロー (5)
2002 年 3 月 31 日
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134
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Filler（非定常）
前提条件
項目
条件
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／Slot Map 照合
搬送機器
Filler（定常）への条件指定
オンラインリモート
オート
４キャリア
１コントロールジョブ
１プロセスジョブ
配送後
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
ジョブ
内部ﾊﾞｯﾌｧ
C3
C6
C2
C5
C1
C4
製品キャリア C1～C4、
Filler（定常）キャリア C5、
Filler（非定常）キャリア C6
がある。
製品 Filler(定常） Filler(非定
キャリア キャリアC5 常）キャリア
C6
C1～C4
2002 年 3 月 31 日
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135
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#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
0 初期状態
RTL
1 装置定数設定
1-1 装置定数設定
S2F15
H->E Equipment Constant Send
S2F16
H->E Ack
2 Filler（非定常）
2-1 ロード開始
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
キャリア搬入
移載
2-2 ロード終了
3 Filler（非定常）
3-1 CarrierID読取り
キャリアID照合
3-2 ロードポートステータス送信
3-3 CarrierID照合OK
3-4 CarrierID照合完了
4 Filler（非定常）
4-1 バッファキャパシティ変更報告
内部バッファ
保管
LTS LCAS LPR
4-2 キャリアロケーション変更報告
4-3 ロードポートステータス送信
4-4 ロードポート搬入可能状態
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
NA
NR
STL
CS
STS
CJ
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
UOC No No
No
No
No
No
(#1,#2) State State State State State
State
TB
WFH SNR
A
IVO
NA
RTL
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
136
NA
PJ
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
5 製品キャリア
#
処理
5-1 ロード開始
搬入移載
5-2 ロード終了
6 製品キャリアID
6-1 CarrierID読取り
照合
6-2 ロードポートステータス送信
6-3 CarrierID照合OK
6-4 CarrierID照合完了
7 製品キャリア
7-1 バッファキャパシティ変更報告
内部バッファ
保管
7-2 キャリアロケーション変更報告
7-3 ロードポートステータス送信
7-4 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
TB
WFH SNR
A
IVO
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返される
8 レシピの確認
8-1 レシピリスト確認
8-2 LOAD問合せ
（装置にレシピがない場合）
8-3 プロセスプログラム送信
8-4 レシピ妥当性送信
S7F19
H->E Current EPPD Request
S7F20
H<-E Ack
S7F1
H->E Process Program Load Inquire
S7F2
H<-E Ack
S7F23
H->E Process Program Send
S7F24
H<-E Ack
S7F27
H<-E Process Program Verification Send
S7F28
H->E Ack
CAS
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
137
NA
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
9 PJ作成
#
処理
9-1 PJの空きスペースの確認
CJ作成
CJ、PJ実行
9-2 CJの空きスペースの確認
S16F21
H->E PRGetSpace
S16F22
H<-E Ack
S1F3
H->E CJQueueSpace
H<-E CJQueueSpaceResponse
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PR Job Create Ack
9-4 PJ生成完了
S6F11
H<-E PR Job Pooled
S6F12
H->E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
9-7 CJ選択報告
9-8 CJ実行報告
9-9 PJ開始準備
照合
メッセージ
9-3 PJ生成
9-6 CJ生成完了
スロットマップ
方
向
S1F4
9-5 CJ生成
10 製品キャリア
SF
10-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
10-2 FOUP Open
10-3 スロットマップ読込み完了
10-4 ウエハオブジェクト作成
10-5 サブストレート取得
10-6 スロットマップ照合OK
10-7 スロットマップ照合完了
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
PRJob
Pooled
Queued
Selected
Executing
SettingUp
WFH
AS
OC
(#1)
SVO
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
138
NP
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
11 製品キャリア
#
処理
11-1 キャリア処理中
処理中
11-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
11-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
11-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
IA
UOC
(#1)
AW
OC
(#2)
キャリア内のウエハ枚数分11-2～11-4を繰返す
11-5 FOUP Close
11-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
バッチ数分10-1～11-6を繰返す
Filler(非定常)ウェーハが必要かを装置が判断する。
Filler（非定常）ウェーハが必要な場合は、No.12以降の処理をおこなう。
Filler(非定常)ウェーハが不要な場合は、No.14以降の処理をおこなう。
12 Filler（非定常）
用ウェーハが
12-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
12-2 FOUP Open
必要
（Filler（非定常）
のスロットマップ
12-3 スロットマップ読込み完了
照合）
12-4 ウエハオブジェクト作成
12-5 サブストレート取得
12-6 スロットマップ照合OK
12-7 スロットマップ照合完了
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
AS
OC
(#1)
SVO
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
139
NP
CJ
PJ
コメント
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#
運用
13 Filler（非定常）
#
処理
13-1 キャリア処理中
キャリア処理中
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
IA
ウェーハ1枚目の処理開始時のみ
13-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
13-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
13-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
UOC
(#1)
AW
OC
(#2)
キャリア内の必要ウエハ枚数分13-2～13-4を繰返す
13-5 FOUP Close
13-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
14 実処理
処理終了
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
14-1 Boat Load開始
S6F11
H<-E PRJob Processing
（PJ開始報告）
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
14-2 ウエハ実処理開始
14-3 ウエハ実処理完了
14-4 アプローチングイベント報告
14-5 Boat Unload完了
（PJプロセス終了報告）
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approching Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
S6F12
H->E Ack
Processing
INP
PRC
Process
Complete
Filler（非定常）ウェーハの使用履歴を更新する
15 Filler（非定常）
キャリア
15-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
内部バッファ
15-2 FOUP Open
保管
15-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
UOC
(#2)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
140
コメント
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#
運用
#
処理
15-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
15-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
AD
OC
(#1)
キャリア内のウエハ枚数分17-3～17-5を繰返す
15-6 FOUP Close
15-7 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
15-8 アプローチングイベント報告
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approching Complete
S6F12
H->E Ack
処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェーハの類積使用回数が基準値を越えた場合、1回のみ送信
15-9 キャリアステータス変更要求
S2F41
H->E CarrierComplete
S2F42
H<-E Ack
CC
ホストが新しいFiller(非定常)キャリアを使用することを決定した場合、上記コマンドを送信
15-10 キャリア処理完了
16 製品キャリア
内部バッファ
保管
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
ホストからキャリアステータス変更要求を受信するか、もしくは、処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェ
ーハの累積使用回数が上限値を越えた場合に送信
16-1 キャリアロケーション変更報告
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
（内部バッファからFIMSポートへ）
16-2 FOUP Open
16-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
16-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
16-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
UOC
(#2)
AD
OC
(#1)
キャリア内のウエハ枚数分18-3～18-5を繰返す
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
141
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
16-6 PJ完了報告
16-7 CJ完了報告
16-8 CJ削除
16-9 CJ削除報告
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H->E Delete Request
S14F12
H<-E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
16-11 キャリア処理完了
16-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
Complete
No
State
CC
バッチ数分18-1～18-12を繰返す
17 Filler（非定常）
17-1 キャリア払出指示
キャリアの搬出
が必要な場合
17-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
17-3 ロードポートステータス送信
17-4 ロードポートステータス送信
17-5 キャリアロケーション変更通知
17-6 キャリアがロードポートに払出される
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
CJ
PJ
PRJob
Complete
↓
No
State
18-6～18-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
16-10 FOUP Close
STS
STT STP
TB
A
R
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
142
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
17-7 キャリア搬出可能
17-8 ロードポートステータス送信
17-9 アンロード搬送開始
17-10 キャリア搬出
17-11 キャリアオブジェクト消滅
17-12 サブストレートオブジェクト消滅
17-13 ロードポートステータス送信
17-14 ロードポート搬入可能状態
18 製品
18-1 キャリア払出指示
キャリアの搬出
18-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
18-3 ロードポートステータス送信
18-4 ロードポートステータス送信
18-5 キャリアロケーション変更通知
18-6 キャリアがロードポートに払出される
18-7 キャリア搬出可能
18-8 ロードポートステータス送信
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
RTU
NR
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
NA
RTL
TB
A
R
RTU
NR
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
143
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
18-9 アンロード搬送開始
18-10 キャリア搬出
18-11 キャリアオブジェクト消滅
18-12 サブストレートオブジェクト消滅
18-13 ロードポートステータス送信
18-14 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで20-1～20-14が繰返される
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
144
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.1.6.4. モニター NPW
運用シナリオ
内部バッファ装置に用いるモニターは、ボート内での処理品質のばらつきを確かめるため、ボ
ート内を均等に分けるように用いられる。なお、モニター用の NPW は再利用不可であるもの
とする。
以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。
1) モニター用 NPW 保管キャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用
意すること。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
145
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
１
モニター
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
Monitorキャリア
搬入処理
コメント
製品キャリアとは別に、
キャリアＵｓａｇｅがMonitorの
キャリアを前もって搬入し、キ
ャリアID照合をおこなったうえ
で、内部バッファで保管してお
く
Monitorキャリア
ID照合処理
Monitorキャリア
内部バッファ保管処理
製品キャリア
搬入処理
製品キャリア
ID照合処理
製品キャリアを搬入し、キャリ
アID照合をおこなったうえで、
内部バッファに保管する。
製品キャリア内部バッファ
保管処理
モニター回収用キャリア
搬入処理
続けて、Monitor用NPWを回
収するための空キャリアを搬
入し、キャリアID照合をおこな
ったうえで、内部バッファに保
管する。
モニター回収用キャリア
ID照合処理
モニター回収用キャリア
内部バッファ保管処理
ジョブで、どのMonitor用NPW
を使用するかを指定する。
レシピの確認
ＰＪ作成、ＣＪ作成
2a
図 2-36
Monitor 運用フロー (1)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
146
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
２
モニター
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
ここでは、ジョブ開始後にジョ
ブで指定されているMonitor用
NPWの処理について示してい
る。
2a
ここでは、製品ウェーハの移
動より先にMonitor用NPWの
移動をおこなっているが、製
品ウェーハの移動をが先にな
っても問題はない。
ジョブを開始する
Monitor用のキャ
リアを内部バッ
ファからＦＩＭＳ
ポートへ
移動させる
FOUPを開け、ス
ロットマップを読
み込む
一度スロットマップ照合を完
了しているNPWキャリアであ
れば、再びスロットマップ照合
をおこなう必要はない。
スロットマップ照
合ＯＫ
Monitor用NPWをジョ
ブで指定された位置
へ移動する
FOUPを閉じ、キャリ
アを内部バッファへ
移動する
3a
図 2-37
Monitor 運用フロー (2)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
147
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
３
モニター
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
3a
製品キャリアを内部
バッファからＦＩＭＳ
ポートへ移動させる
FOUPを開け、スロッ
トマップを読み込む
ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合OK
製品ウェーハをジョ
ブで指定された位置
へ移動する
FOUPを閉じ、キャリ
アを内部バッファへ
移動する
Monitor回収用キャ
リアを内部バッファ
からＦＩＭＳポートへ
移動させる
回収用空キャリアについても
スロットマップ照合をおこなう
必要がある。
なお、空キャリアにはウェー
ハがないはずなので、CarrierI
nAccess状態になるタイミング
は、スロットマップ照合完了時
とする。
FOUPを開け、スロッ
トマップ読込みをお
こなう
ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合OK
CarrierInAccessにならなけれ
ば、ジョブ開始後に、誤って空
キャリアを払出される恐れが
ある。
FOUPを閉じ、キャリ
アを内部バッファへ
移動する
4a
図 2-38
Monitor 運用フロー (3)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
148
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
４
モニター
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
4a
ウェーハ処理開始
ウェーハ処理中
ウェーハ処理終了
製品キャリアを内部
バッファからＦＩＭＳ
ポートへ移動させる
ＦＯＵＰを開け、
製品ウェーハを回
収する
FOUPを閉じ、キャリ
アを内部バッファへ
移動する
空キャリアを内部
バッファからＦＩＭＳ
ポートへ移動させる
FOUPを開け、
Montior用NPWを回
収する
FOUPを閉じ、キャリ
アを内部バッファへ
移動する
5a
図 2-39
Monitor 運用フロー (4)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
149
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
５
モニター
AMHS
装置
ホスト
オペレータ
コメント
5a
製品キャリア搬出
処理
Monitor回収lキャ
リア搬出処理
Ｍｏｎｉｔｏｒ用
ＮＰＷキャリアを
払出す？
Yes
Monitor用キャリア
終了処理
Monitor用キャリ
ア搬出処理
図 2-40
Monitor 運用フロー (5)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
150
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
Monitor
前提条件
項目
条件
コントロールモード
アクセスモード
処理キャリア数
コントロールジョブ数
プロセスジョブ数
コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
Carrier ID／Slot Map 照合
搬送機器
Filler（定常）への条件指定
オンラインリモート
オート
４キャリア＋Ｍｏｎｉｔｏｒ回収用１キャリア
１コントロールジョブ
１プロセスジョブ
配送後
ホスト照合
AMHS（AGV／RGV／OHT）
装置定数
内部ﾊﾞｯﾌｧ
C4
C8
C3
C7
C2
C6
C1
C5
Filler(定常）
キャリアC6
Filler(非定常）
キャリアC7
Monitor
キャリアC8
製品 Monitor回収
キャリア
キャリア
C5
C1～C4
製品キャリア C1～C2、
Monitor 回収用キャリア C3、
Filler（定常）キャリア C4、
Filler（非定常）キャリア C5
Monitor キャリア C6
がある。
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
151
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
SF
方
向
メッセージ
0 初期状態
LTS LCAS LPR
RTL
1 装置定数設定
2 Ｍｏｎｉｔｏｒ
1-1 装置定数設定
2-1 ロード開始
キャリア搬入
移載
2-2 ロード終了
3 Ｍｏｎｉｔｏｒ
3-1 CarrierID読取り
キャリアID照合
3-2 ロードポートステータス送信
3-3 CarrierID照合OK
3-4 CarrierID照合完了
4 Ｍｏｎｉｔｏｒｷｬﾘｱ
4-1 バッファキャパシティ変更報告
内部バッファ
保管
4-2 キャリアロケーション変更報告
4-3 ロードポートステータス送信
4-4 ロードポート搬入可能状態
5 製品キャリア
5-1 ロード開始
搬入移載
5-2 ロード終了
6 製品キャリアID
6-1 CarrierID読取り
照合
6-2 ロードポートステータス送信
S2F15
H->E Equipment Constant Send
S2F16
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasArrived
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Waiting for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
NA
NR
STL
CS
STS
CJ
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
UOC No No
No
No
No
No
(#1,#2) State State State State State State
TB
WFH SNR
NA
A
IVO
NA
RTL
TB
WFH SNR
A
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
152
NA
PJ
No
State
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
6-3 CarrierID照合OK
6-4 CarrierID照合完了
7 内部バッファ
7-1 バッファキャパシティ変更報告
保管
7-2 キャリアロケーション変更報告
7-3 ロードポートステータス送信
7-4 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S3F17
H->E ProceedWithCarrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E ID Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
IVO
NA
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返される この中には回収用ｷｬﾘｱも含める
8 レシピの確認
8-1 レシピリスト確認
8-2 LOAD問合せ
（装置にレシピがない場合）
8-3 プロセスプログラム送信
8-4 レシピ妥当性送信
9 PJ作成
9-1 PJの空きスペースの確認
CJ作成
CJ、PJ実行
9-2 CJの空きスペースの確認
Ｍｏｎｉｔｏｒについ
ての処理条件も
H->E Current EPPD Request
S7F20
H<-E Ack
S7F1
H->E Process Program Load Inquire
S7F2
H<-E Ack
S7F23
H->E Process Program Send
S7F24
H<-E Ack
S7F27
H<-E Process Program Verification Send
S7F28
H->E Ack
S16F21
H->E PRGetSpace
S16F22
H<-E Ack
S1F3
H->E CJQueueSpace
S1F4
H<-E CJQueueSpaceResponse
9-3 PJ生成
S16F15
H->E PRJobMultiCreate
S16F16
H<-E PR Job Create Ack
9-4 PJ生成完了
S6F11
H<-E PR Job Pooled
S6F12
H->E Ack
S14F9
H->E CJCreate
S14F10
H<-E Ack
ジョブの中に含
める。
S7F19
9-5 CJ生成
PRJob
Pooled
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
153
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
9-6 CJ生成完了
9-7 CJ選択報告
9-8 CJ実行報告
9-9 PJ開始準備
10 Ｍｏｎｉｔｏｒ用
10-1 キャリアロケーション変更報告
キャリア
（内部バッファからFIMSポートへ）
ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合
10-2 FOUP Open
10-3 スロットマップ読込み完了
10-4 ウエハオブジェクト作成
10-5 サブストレート取得
10-6 スロットマップ照合OK
10-7 スロットマップ照合完了
11 Ｍｏｎｉｔｏｒ用
11-1 キャリア処理中
ウェーハ投入
11-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
11-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
11-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
SF
方
向
S6F11
H<-E Queued
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Selected
S6F12
H->E Ack
メッセージ
S6F11
H<-E Execution began
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Setup
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
Queued
Selected
Executing
SettingUp
AS
OC
(#1)
SVO
IA
UOC
(#1)
AW
OC
(#2)
Monitor用ウェーハとして必要枚数分11-2～11-4を繰返す
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
154
NP
コメント
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#
運用
#
処理
11-5 FOUP Close
11-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
12 製品キャリア
スロットマップ
照合
12-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
12-2 FOUP Open
12-3 スロットマップ読込み完了
12-4 ウエハオブジェクト作成
12-5 サブストレート取得
12-6 スロットマップ照合OK
12-7 スロットマップ照合完了
13 製品ウェーハ
13-1 キャリア処理中
投入
13-2 ウエハ移動
（ウエハがキャリアから取られた）
13-3 ウエハ移動
（キャリアからボートへ）
13-4 ウエハ移動
（ウエハがボート移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Source
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Occupied
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier In Access
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccupied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Work
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occupied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
13-6 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
STS
STT STP
WFH
AS
OC
(#1)
SVO
IA
UOC
(#1)
AW
OC
(#2)
キャリア内のウエハ枚数分13-2～13-4を繰返す
13-5 FOUP Close
CAS
バッチ数分12-1～13-6を繰返す
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
155
NP
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
14 Monitor回収用
キャリア
#
処理
14-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
スロットマップ
14-2 FOUP Open
照合
14-3 スロットマップ読込み完了
14-4 スロットマップ照合OK
14-5 スロットマップ照合完了
14-6 FOUP Close
14-7 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
15 実処理
処理終了
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Wairing for Host
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E Proceed With Carrier
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E SlotMap Verification OK
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PRJob Processing
S6F12
H->E PRJob Processing Ack
15-4 アプローチングイベント報告
15-5 Boat Unload完了
（PJプロセス終了報告）
に回収
メッセージ
（PJ開始報告）
15-3 ウエハ実処理完了
回収用キャリア
方
向
15-1 Boat Load開始
15-2 ウエハ実処理開始
16 Monitorウェーハ
SF
16-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
16-2 FOUP Open
16-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
16-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
S6F11
H<-E Substrate InProcess
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Approching Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E PJ Processing Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
WFH
SVO
Processing
INP
PRC
Process
Complete
UOC
(#2)
AD
2002 年 3 月 31 日
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156
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
16-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
OC
(#1)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
ﾎﾞｰﾄ内のMonitorウェーハ枚数分15-3～15-5を繰返す
16-6 FOUP Close
16-7 キャリア処理完了
16-8 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
17 製品ウェーハ
キャリアに回収
17-1 キャリアロケーション変更報告
（内部バッファからFIMSポートへ）
17-2 FOUP Open
17-3 ウエハ移動
（ウエハがボートから取られた）
17-4 ウエハ移動
（ボートからキャリアへ）
17-5 ウエハ移動
（ウエハがキャリアへ移動した）
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Location Changed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Opened
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Unoccuppied
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate At Distination
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Substrate Location Occuppied
S6F12
H->E Ack
CC
UOC
(#2)
AD
OC
(#1)
キャリア内のMonitorウエハ枚数分16-3～16-5を繰返す
17-6 PJ完了報告
17-7 CJ完了報告
17-8 CJ削除
17-9 CJ削除報告
S6F11
H<-E PRJob Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Complete
S6F12
H->E Ack
S14F11
H->E Delete Request
S14F12
H<-E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
PRJob
Complete
↓
No
State
Complete
No
State
17-6～17-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
157
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
17-10 FOUP Close
17-11 キャリア処理完了
17-12 キャリアロケーション変更報告
（FIMSポートから内部バッファへ）
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Carrier Closed
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
CC
バッチ数分17-1～17-12を繰返す
18 Monitor回収用
18-1 キャリア払出指示
キャリアの搬出
18-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
18-3 ロードポートステータス送信
18-4 ロードポートステータス送信
18-5 キャリアロケーション変更通知
18-6 キャリアがロードポートに払出される
18-7 キャリア搬出可能
18-8 ロードポートステータス送信
18-9 アンロード搬送開始
18-10 キャリア搬出
18-11 キャリアオブジェクト消滅
18-12 サブストレートオブジェクト消滅
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
TB
A
R
RTU
NR
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
2002 年 3 月 31 日
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158
CJ
PJ
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#
運用
#
処理
18-13 ロードポートステータス送信
18-14 ロードポート搬入可能状態
19 製品
19-1 キャリア払出指示
キャリアの搬出
19-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
19-3 ロードポートステータス送信
19-4 ロードポートステータス送信
19-5 キャリアロケーション変更通知
19-6 キャリアがロードポートに払出される
19-7 キャリア搬出可能
19-8 ロードポートステータス送信
19-9 アンロード搬送開始
19-10 キャリア搬出
19-11 キャリアオブジェクト消滅
19-12 サブストレートオブジェクト消滅
19-13 ロードポートステータス送信
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
NA
RTL
TB
A
R
RTU
NR
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
NA
2002 年 3 月 31 日
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159
CJ
PJ
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#
運用
#
処理
19-14 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
CAS
STS
STT STP
RTL
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで20-1～20-14が繰返される
Monitor保管用キャリアをキャリアを搬出するかをホストが判断する。
20 Monitor保管用
20-1 キャリアステータス変更要求
キャリア終了
要求
20-2 キャリア処理完了
21 Monitor保管用
21-1 キャリア払出指示
キャリアの搬出
21-2 キャリア払出
（内部バッファ→ロードポート）
21-3 ロードポートステータス送信
21-4 ロードポートステータス送信
21-5 キャリアロケーション変更通知
21-6 キャリアがロードポートに払出される
21-7 キャリア搬出可能
21-8 ロードポートステータス送信
21-9 アンロード搬送開始
21-10 キャリア搬出
21-11 キャリアオブジェクト消滅
21-12 サブストレートオブジェクト消滅
S2F41
H->E CarrierComplete
S2F42
H<-E Ack
S6F11
H<-E Carrier Complete
S6F12
H->E Ack
S3F17
H->E CarrierOut
S3F18
H<-E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E CarrierLocationChanged
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E BufferCapacityChange
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToUnload
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Not Reserved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E TransferBlocked
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E MaterialHasRemoved
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E Deleted
S6F12
H->E Ack
CC
TB
A
R
RTU
NR
TB
UOC No No
No
(#1,#2) State State State
No
No
State State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
160
CJ
PJ
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通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
#
運用
#
処理
21-13 ロードポートステータス送信
21-14 ロードポート搬入可能状態
SF
方
向
メッセージ
S6F11
H<-E Not Associated
S6F12
H->E Ack
S6F11
H<-E ReadyToLoad
S6F12
H->E Ack
LTS LCAS LPR
STL
(#n)
CS
CIDS CSMS
NA
RTL
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
161
CAS
STS
STT STP
CJ
PJ
コメント
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.
通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット
通信シナリオで使用した SECS-Ⅱメッセージ及び E87 ハンドシェークシーケンスを例として、
立上げ処理、ロット処理、立ち下げ処理の 3 つに分けて示す。
なお、
で囲んだ番号とシナリオの処理番号は一致している。
2.2.1. 立上げ処理
1-2
S1F13 H->E
< S1F13 W
<L>
>
Establish Communication Request
S1F14 H<-E
Establish Communication Request Acknowledge
< S1F14
<L2
< B[1] 0 >
<L2
< A[n] > // MDLN
< A[n]> // SOFTREV
>
>
>
2-1
S1F17 H->E
<SIF17>
S1F18 H<-E
<S1F18
<B[1] 0>
>
Request ON-LINE
ON-LINE Acknowledge
//ONLACK
2-2
S6F11
H<-E
Event Report Send
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 100 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 100 >
<L2
<A[16] >
// GEM timestamp
<U1[1] 2 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Event Report Acknowledge
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
162
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-1
S2F31 H->E
Date and Time Set Request
< S2F31 W
< A[16] > // YYYYMMDDhhmmsscc
>
S2F32 H<-E
Date and Time Set Request Ack
< S2F32
< B[1] 0 > // TIACK
>
4-1
S1F3
H->E
Selected Equipment Status Request
< S1F3 W
<Ln
< U2[1] > // SVID
:
:
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
<Ln
<?>
:
:
<?>
>
>
Selected Equipment Status Data
// SV
// SV
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
163
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
4-2
S14F1 H->E
GetAttr Request
< S14F1 W
<L5
< A[0] >
// OBJSPEC
< A "ControlJob" > // OBJTYPE
<L0>
<L0>
<L1
< A "State" >
>
>
>
S14F2 H<-E
GetAttr Data
< S14F2
<L2
<L#
// # = number of Objects
<L2
< A[n] >
// ObjID
<L1
<L2
< A "State" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
>
>
:
:
<L2
< A[n] >
// ObjID
<L1
<L2
< A "State" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
>
>
>
<L2
< B[1] >
// OBJACK
<L0>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
164
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
4-3
S16F19 H->E
< S16F19
>
PR Get All Jobs
S16F20 H->E
< S16F20
<Ln
<L2
PR Get All Jobs Acknowledge
>
<L2
>
<L2
>
>
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n] "PRJob002" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model
:
:
<A[n] "PRJob005" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model
>
4-4
S14F1 H->E
GetAttr Request
< S14F1 W
<L5
< A[0] >
// OBJSPEC
< A "Carrier" >
// OBJTYPE
<L0>
<L0>
<L4
< A "CarrierIDStatus" >
< A "CarrierAccessingStatus" >
< A "SlotMapStatus" >
< A "LocationID" >
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
165
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S14F2 H<-E
GetAttr Data
< S14F2
<L2
<L#
// # = number of Objects
<L2
< A[n] >
// ObjID
<L4
<L2
< A "CarrierIDStatus" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "SlotMapStatus" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "LocationID" >
// ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
>
>
:
:
<L2
< A[n] >
// ObjID
<L4
<L2
< A "CarrierIDStatus" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "SlotMapStatus" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "LocationID" >
// ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
>
>
>
<L2
< B[1] >
// OBJACK
<L0>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
166
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
4-5
S14F1 H->E
GetAttr Request
< S14F1 W
<L5
< A[0] >
// OBJSPEC
< A "Substrate" > // OBJTYPE
<L0>
<L0>
<L2
< A "SubstrateProcState" >
< A "SubstrateLocID" >
>
>
>
S14F2 H<-E
GetAttr Data
< S14F2
<L2
<L#
// # = number of Objects
<L2
< A[n] >
// ObjID
<L2
<L2
< A "SubstrateProcState" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "SubstrateLocID" >
// ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
>
>
:
:
<L2
< A[n] >
// ObjID
<L2
<L2
< A "SubstrateProcState" > // ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A "SubstrateLocID" >
// ATTRID
< A[n] >
// ATTRDATA
>
>
>
>
<L2
< B[1] >
// OBJACK
<L0>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
167
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
5-1
S2F37 H->E
Enable/Disable Event Report
< S2F37 W
<L2
< Bool TRUE >
<L 0>
// All Event Enable
>
>
S2F38 H<-E
< S2F38
< B[1] 0 >
>
Enable/Disable Event Report Acknowledge
5-2
S5F3
H->E
Enable/Disable Alarm Send
< S5F3 W
< Bool TRUE > // ALED
< U2[0]
> // ALID ( All Alarm Enable )
>
S5F4
H<-E
< S5F4
< B[1] 0 >
>
Enable/Disable Alarm Acknowledge
6-1
S3F23 H->E
Change Access
< S3F23 W
<L3
< A[n] "CHANGEACCESS" >
< A[n] >
// Port Group Name
<L2
< A[n] "AccessMode" >
< U1[1] 1 >
// Access Mode 0=Manual, 1=Auto
>
>
>
S3F24 H<-E
Ack
< S3F24
< U1[1] 0 > CAACK
>
6-2
S6F11
H<-E
Auto
< S6F11 W
< L, 3
< U4 0 >
< U4 260 >
< L, 1
< L, 2
< U4 503 >
< L, 2
<U1[1]>
<U1[1] 1>
>
>
>
// DATAID
// CEID
// RPTID
// PortID
// AccessMode
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
168
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
169
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.2.
ロット処理
1-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
1-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
170
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
171
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2-3
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier001wf01”>
// CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier001wf25”>
// CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "PRUDUCT" >
// CATTRDATA
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
2-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
172
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-1
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
173
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
174
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
4-1
S7F19 H->E
< S7F19 W >
Current EPPD Request
S7F20 H<-E
< S7F20
<Ln
< A[n] >
:
:
< A[n] >
>
>
Ack
// PPID
// PPID
4-2
S7F1
H->E
Process Program Load Inquire
< S7F1 W
<L2
< A[n] >
// PPID
< U2[1] > // Length
>
>
S7F2
H<-E
< S7F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// PPGNT
4-3
S7F23 H->E
Process Program Send
< S7F23 W
<L4
< A[n] >
// PPID
< A[n] >
// MDLN
< A[n] >
// SOFTREV
<Ln
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
:
:
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
175
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S7F24 H<-E
Ack
< S7F24
< B[1] 0 > // ACKC7
>
4-4
S7F27 H<-E
< S7F27 W
<L2
< A[n] >
<L>
>
Process Program Verification Send
S7F28 H->E
< S7F28 >
Ack
// PPID
// No Error
5-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
5-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
5-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob001" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
176
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
// Sets start method to autostart
<L
// PRPAUSEEVENT List of CEID
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
<L2
<L
< A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID
>
<L
< B[1] 0 > // ACKA
<L>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
177
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
5-4
S6F11
H<-E
PRJob Pooled
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-5
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L
< A[n] "Equipment" >
// OBJSPEC
< A[n] "ControlJob" > // ObjType
<L
<L2
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L1
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
178
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L
<L
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L
< U1[1] 0 > // OBJACK
<L>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
179
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
5-6
S6F11
H<-E
Queued
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 500 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 1 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-7
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-8
S6F11
H<-E
Execution began
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
180
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-9
S6F11
H<-E
PRJob Setup
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
181
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
6-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
182
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
6-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
183
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
184
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
6-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
185
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
7-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
186
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
7-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
187
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
7-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-7
S6F11
H<-E
PRJob Processing
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
188
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
7-8
S6F11
H<-E
Substrate In Process
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-1
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
189
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
8-2
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-3
S6F11
H<-E
Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
190
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
191
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
192
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-6
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
193
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
<L>
>
>
>
// OBJACK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
194
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-9
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
195
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-12
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
196
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
10-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
197
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
198
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
199
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
200
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
201
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
202
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
203
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.3. 立ち下げ処理
1-1
S1F3
H->E
Selected Equipment Status Request
< S1F3 W
<Ln
< U2[1] > // SVID
:
:
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
Selected Equipment Status Data
< S1F4
<Ln
<?>
// SV
:
:
<?>
// SV
>
>
2-1
S3F23 H->E
Change Access
< S3F23 W
<L3
< A[n] "CHANGEACCESS" >
< A[n] >
// Port Group Name
<L2
< A[n] "AccessMode" >
< U1[1] 0 >
// Access Mode 0=Manual, 1=Auto
>
>
>
S3F24 H<-E
Ack
< S3F24
< U1[1] 0 > CAACK
>
2-2
S6F11
H<-E
Manual
< S6F11 W
< L, 3
< U4 0 >
< U4 260 >
< L, 1
< L, 2
< U4 503 >
< L, 2
<U1[1]>
<U1[1] 0>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
// DATAID
// CEID
// RPTID
// PortID
// AccessMode
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
204
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
3-1
S1F15 H->E
< S1F15 W >
Request OFF-LINE
S1F16 H<-E
OFF-LINE Acknowledge
< S1F16
< B[1] 0 > // OFLACK
>
3-2
S6F11
H<-E
Equipment Requests OFF-LINE
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 100 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 100 >
<L2
<A[16] >
// GEM timestamp
<U1[1] 0 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Equipment Requests OFF-LINE Acknowledge
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
205
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.4. QTAT 処理（１）
内部バッファ内のキャリアを搬出せずに、現在処理中のキャリアが終了してから特急キャ
リアの処理をおこなう場合を示す。
1-1
S14F3 H->E
SetAttr for ControlJob Object
< S14F3 W
<L4
< A[0] >
// OBJSPEC
< A "ControlJob" >
// OBJTYPE
<L1
< A[n] >
// ControlJobID
>
<L1
<L2
< A "Damming" >
< Bool TRUE >
>
>
>
S14F4 H<-E
SetAttr Data
< S14F4 H<-E
<L2
<L1
<L2
< A[n] >
// ControlJobID
<L1
<L2
< A "Damming" >
// ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
<L2
< U1[1] > // OBJACK
<L0>
>
>
>
2-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
206
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
207
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
208
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
2-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
3-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
209
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
210
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
211
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-7
S6F11
H<-E
PRJob Processing
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
3-8
S6F11
H<-E
Substrate In Process
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
212
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-1
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-2
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
213
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-3
S6F11
H<-E
PJ Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
214
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
5-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-4
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
215
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-6
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
216
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
<L>
// OBJACK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
217
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
5-9
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
218
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-12
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
// CAACK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
219
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L>
>
>
6-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-4
S6F11
H<-E
<S6F11 W
<L
Reserved
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
220
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U2 1>
<U2 241>
//Event= NotReservedToReserved
<L
<L
<U2 515>
//Report 515
<L
<A[16] >
//GEM timestamp- CLOCK
<U1[1] 1> // PortTransfer State
<U1[1] 1> // PortID
<A[0]>
// CarrierID
<U1[1] 0> // Port Reservation State
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-5
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
221
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
<S6F11 W
<L
<U2 1>
<U2 242>
//Event= ReservedToNotReserved
<L
<L
<U2 515>
//Report 515
<L
<A[16] >
//GEM timestamp- CLOCK
<U1[1] 1> // PortTransfer State
<U1[1] 1> // PortID
<A[0]>
// CarrierID
<U1[1] 1> // Port Reservation State
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
222
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
6-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
223
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
6-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-13
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
Not Associated
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
224
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205>
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
225
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
226
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-3
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier00Nwf01”> // CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier00Nwf25”> // CATTRDATA
>
>
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
227
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "PRUDUCT" >
// CATTRDATA
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
8-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-1
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
228
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
229
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-1
S7F19 H->E
< S7F19 W >
Current EPPD Request
S7F20 H<-E
< S7F20
<Ln
< A[n] >
:
:
< A[n] >
>
>
Ack
// PPID
// PPID
10-2
S7F1
H->E
Process Program Load Inquire
< S7F1 W
<L2
< A[n] >
// PPID
< U2[1] > // Length
>
>
S7F2
H<-E
< S7F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// PPGNT
10-3
S7F23 H->E
< S7F23 W
<L4
Process Program Send
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
230
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// PPID
< A[n] >
// MDLN
< A[n] >
// SOFTREV
<Ln
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
:
:
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
>
>
>
S7F24 H<-E
Ack
< S7F24
< B[1] 0 > // ACKC7
>
10-4
S7F27 H<-E
< S7F27 W
<L2
< A[n] >
<L>
>
Process Program Verification Send
S7F28 H->E
< S7F28 >
Ack
// PPID
// No Error
11-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
11-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
Selected Equipment Status Data
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
231
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S1F4
< U1[1] >
// SV
>
11-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob00n" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
<L
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
<L2
<L
<A “PRJob00n”> //PROCESSJOB ID
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
232
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
<Bool TRUE>
<L
>
>
>
>
11-4
S6F11
H<-E
PRJob Pooled
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-5
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L3
< A[n] "Equipment" >
// OBJSPEC
< A[n] "ControlJob" > // ObjType
<L6
<L2
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
233
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L3
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L6
<L2
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< U1[1] 0 > // OBJACK
<L>
>
>
>
11-6
S6F11
H<-E
< S6F11 W
Queued
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
234
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 500 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID
<U1[1] 1 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-7
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-8
S6F11
H<-E
Execution began
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
235
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
11-9
S6F11
H<-E
PRJob Setup
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
12-2
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
Carrier Opened
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
236
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
237
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
12-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
12-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
238
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
12-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
239
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
240
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
13-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
241
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
242
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
13-7
S6F11
H<-E
PRJob Processing
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
13-8
S6F11
H<-E
Substrate In Process
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-1
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
243
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-2
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-3
S6F11
H<-E
PJ Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
244
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
15-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
245
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
15-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
246
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
15-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-6
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
247
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
15-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
<L>
>
>
>
// OBJACK
15-9
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
248
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
249
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
15-12
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-1
S14F3 H->E
SetAttr for ControlJob Object
< S14F3 W
<L4
< A[0] >
// OBJSPEC
< A "ControlJob" >
// OBJTYPE
<L1
< A[n] >
// ControlJobID
>
<L1
<L2
< A "Damming" >
< Bool FALSE >
>
>
>
S14F4 H<-E
SetAttr Data
< S14F4 H<-E
<L2
<L1
<L2
< A[n] >
// ControlJobID
<L1
<L2
< A "Damming" >
// ATTRID
< Bool FALSE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
250
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1[1] > // OBJACK
<L0>
>
>
>
16-2
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-3
S6F11
H<-E
Execution began
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-4
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
PRJob Setup
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
251
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
17-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
252
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
17-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
253
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
254
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
17-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
255
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.5. QTAT 処理（２）
内部バッファ内のキャリアを搬出してから特急キャリアの処理をおこなう場合を示す。
1-1
S14F3 H->E
SetAttr for ControlJob Object
< S14F3 W
<L4
< A[0] >
// OBJSPEC
< A "ControlJob" >
// OBJTYPE
<L1
< A[n] >
// ControlJobID
>
<L1
<L2
< A "Damming" >
< Bool TRUE >
>
>
>
S14F4 H<-E
SetAttr Data
< S14F4 H<-E
<L2
<L1
<L2
< A[n] >
// ControlJobID
<L1
<L2
< A "Damming" >
// ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
<L2
< U1[1] > // OBJACK
<L0>
>
>
>
2-1
S16F27 H->E
CJCancel
< S16F27 W
<L3
< A[n] >
// ControlJobID
< U1[1] 4 >
// CTLJOBCMD (CJCancel=4)
<L>
>
>
< S16F28 H<-E
<L2
< Bool TRUE >
<L>
>
>
// ACKA
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
256
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2-2
S6F11
H<-E
CJ Canceled
<S6F11 W
<L
<U2 1>
<U2 505>
//Event= CJCanceled
<L
<L
<U2 600>
//Report 600
<L
<A[16] >
//GEM timestamp- CLOCK
<A[n]>
// Control Job ID
<U1[1] 7> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-3
S16F5 H->E
PJCancel
< S16F5 W
< A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID
< A[n] >
// PRJobID
< A[n] "CANCEL" >
// PRCMDNAME
<L>
>
S16F6 H<-E
<
< A[n] >
<L
< Bool TRUE >
<L>
>
>
// PRJobID
// ACKA
2-4
3F17 H->E
CancelCarrier
< S3F17 W
<L
< A[n] "CANCELCARRIER" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
257
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2-5
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
2-6
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-7
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
258
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-8
S6F11
H<-E
Reserved
<S6F11 W
<L
<U2 1>
<U2 241>
//Event= NotReservedToReserved
<L
<L
<U2 515>
//Report 515
<L
<A[16] >
//GEM timestamp- CLOCK
<U1[1] 1> // PortTransfer State
<U1[1] 1> // PortID
<A[0]>
// CarrierID
<U1[1] 0> // Port Reservation State
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-9
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
259
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
260
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2-10
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2-11
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
261
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2-12
S6F11
H<-E
Not Reserved
<S6F11 W
<L
<U2 1>
<U2 242>
//Event= ReservedToNotReserved
<L
<L
<U2 515>
//Report 515
<L
<A[16] >
//GEM timestamp- CLOCK
<U1[1] 1> // PortTransfer State
<U1[1] 1> // PortID
<A[0]>
// CarrierID
<U1[1] 1> // Port Reservation State
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-13
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
>
2-14
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
262
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-15
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-16
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
263
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-17
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
3-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
264
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
265
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
266
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
3-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
4-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
267
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
268
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
269
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-7
S6F11
H<-E
PRJob Processing
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
270
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
4-8
S6F11
H<-E
Substrate In Process
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
MaterialHasArrived
5-2
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
271
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
272
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-3
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier00Nwf01”> // CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier00Nwf25”> // CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "PRUDUCT" >
// CATTRDATA
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
6-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
273
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-1
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
274
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
275
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
S7F19 H->E
< S7F19 W >
Current EPPD Request
S7F20 H<-E
< S7F20
<Ln
< A[n] >
:
:
< A[n] >
>
>
Ack
8-1
// PPID
// PPID
8-2
S7F1
H->E
Process Program Load Inquire
< S7F1 W
<L2
< A[n] >
// PPID
< U2[1] > // Length
>
>
S7F2
H<-E
< S7F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// PPGNT
8-3
S7F23 H->E
Process Program Send
< S7F23 W
<L4
< A[n] >
// PPID
< A[n] >
// MDLN
< A[n] >
// SOFTREV
<Ln
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
:
:
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
276
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
S7F24 H<-E
Ack
< S7F24
< B[1] 0 > // ACKC7
>
8-4
S7F27 H<-E
< S7F27 W
<L2
< A[n] >
<L>
>
Process Program Verification Send
S7F28 H->E
< S7F28 >
Ack
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
// PPID
// No Error
9-1
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
9-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
9-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob00n" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
277
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
<L
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
<L2
<L
<A “PRJob00n”> //PROCESSJOB ID
>
<L
<Bool TRUE>
<L
>
>
>
>
9-4
S6F11
H<-E
PRJob Pooled
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
278
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-5
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L3
< A[n] "Equipment" >
// OBJSPEC
< A[n] "ControlJob" > // ObjType
<L6
<L2
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L3
< A[n] "EQUIPMENT" >
<L6
<L2
// OBJSPEC
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
279
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< U1[1] 0 > // OBJACK
<L>
>
>
>
9-6
S6F11
H<-E
Queued
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 500 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID
<U1[1] 1 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
280
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
10-1
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-2
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-3
S6F11
H<-E
PJ Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
281
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
282
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
283
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
11-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-6
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
< U1[1] 503 >
<L1
// DATAID
// CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
284
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
<L>
>
>
>
// OBJACK
11-9
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
285
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
11-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-12
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
286
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
12-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
287
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-4
S6F11
H<-E
Reserved
<S6F11 W
<L
<U2 1>
<U2 241>
//Event= NotReservedToReserved
<L
<L
<U2 515>
//Report 515
<L
<A[16] >
//GEM timestamp- CLOCK
<U1[1] 1> // PortTransfer State
<U1[1] 1> // PortID
<A[0]>
// CarrierID
<U1[1] 0> // Port Reservation State
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
288
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
12-5
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
12-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
289
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
<S6F11 W
<L
<U2 1>
<U2 242>
//Event= ReservedToNotReserved
<L
<L
<U2 515>
//Report 515
<L
<A[16] >
//GEM timestamp- CLOCK
<U1[1] 1> // PortTransfer State
<U1[1] 1> // PortID
<A[0]>
// CarrierID
<U1[1] 1> // Port Reservation State
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
290
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
291
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
292
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
12-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-1
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-2
S6F11
H<-E
Execution began
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
293
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-3
S6F11
H<-E
PRJob Setup
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
294
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
295
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
14-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
296
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
14-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
297
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
298
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
299
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-7
S6F11
H<-E
PRJob Processing
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
15-8
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
300
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
Substrate In Process
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-1
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-2
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
301
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-3
S6F11
H<-E
PJ Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
302
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
303
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
17-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-6
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
PJ Complete
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
304
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
< S14F12
<L2
<L>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
305
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1[1] 0 >
// OBJACK
<L>
>
>
>
17-9
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
306
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-12
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-1
S14F3 H->E
SetAttr for ControlJob Object
< S14F3 W
<L4
< A[0] >
// OBJSPEC
< A "ControlJob" >
// OBJTYPE
<L1
< A[n] >
// ControlJobID
>
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
307
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A "Damming" >
< Bool FALSE >
>
>
>
S14F4 H<-E
SetAttr Data
< S14F4 H<-E
<L2
<L1
<L2
< A[n] >
// ControlJobID
<L1
<L2
< A "Damming" >
// ATTRID
< Bool FALSE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
<L2
< U1[1] > // OBJACK
<L0>
>
>
>
18-2
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-3
S6F11
H<-E
Execution began
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
308
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-4
S6F11
H<-E
PRJob Setup
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
19-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
309
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
19-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
310
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
19-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
311
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
19-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
19-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2.2.6. E84 Fail
（１）キャリア搬入時
キャリアハンドオフ失敗
1-1
S6F11
H<-E
Ready To Load
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
312
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
313
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
1-3
S5F1 H<-E
Carrier Transfer Failed (Alarm)
<S5F1 W
<L 3
<B[1]> // ALCD
<U4[1]> // ALID
<A[40]> // ALTX
>
>
S5F2 H->E
ON-LINE Acknowledge
<S5F2
<B[1] 0>
//ACKC5
>
2-1
S5F1 H<-E
Carrier Transfer Fail Recover
<S5F1 W
<L 3
<B[1]> // ALCD
<U4[1]> // ALID
<A[40]> // ALTX
>
>
S5F2 H->E
ON-LINE Acknowledge
<S5F2
<B[1] 0>
//ACKC5
>
3-1
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
314
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（２）キャリア搬出時
キャリアハンドオフ失敗
1-1
S6F11
H<-E
Ready To Unload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-3
S5F1 H<-E
Carrier Transfer Failed (Alarm)
< S5F1 W
<L3
< B[1] > // ALCD
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
315
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U4[1] > // ALID
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H->E
ON-LINE Acknowledge
<S5F2
< B[1] 0 >
//ACKC5
>
2-1
S5F1 H<-E
Carrier Transfer Fail Recover
<S5F1 W
<L 3
<B[1]> // ALCD
<U4[1]> // ALID
<A[40]> // ALTX
>
>
S5F2 H->E
ON-LINE Acknowledge
<S5F2
<B[1] 0>
//ACKC5
>
3-1
S6F11
H<-E
Material Has Removed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-2
S6F11
H<-E
Substrate Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
316
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-3
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-4
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
317
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-5
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-6
S6F11
H<-E
Ready To Load
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
318
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.7. スロットマップ照合エラー
（１）スロットマップリードエラー発生後 ジョブキャンセル
1-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1] > // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-3
S5F1 H<-E
< S5F1 W
Slot Map Read Failed (Alarm)
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
319
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< B[1] > // ALCD
< U4[1] > // ALID
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H->E
Acknowledge
<S5F2
< B[1] 0 >
//ACKC5
>
1-4
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
< L 10
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1] > // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[9] “READ FAIL” > // Reason
<Ln
< U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined
:
1: Empty
:
2: Not Empty
:
3: Normal
:
4: Double Slotted
< U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
1-5
S3F17 H->E
Cancel Carrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "CANCELCARRIER" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrier" >
// CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
320
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
1-6
S6F11
H<-E
Slot Map Verification NG
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-7
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-8
S6F11
H<-E
< S6F11 W
< A[n] >
Carrier Location Change
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
321
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] >
// CAACK
<L>
>
>
2-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
322
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
323
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-7
S6F11
H<-E
Ready To Unload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
324
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-1
S16F27 H->E
CJStop
< S16F27 W
<L3
< A[n] >
// CTLJOBID
< U1[1] 4 >
// CTLJOBCMD
<L>
>
>
S16F28 H->E
Ack
< S16F28
< B[1] 0 >
// ACKA
<L>
>
3-2
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
PJ Stopping
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
325
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-3
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-4
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
326
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-5
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-6
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
327
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-7
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-8
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-9
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
328
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-10
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ObjID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
// OBJACK
<L>
>
>
>
3-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
329
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-12
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-13
S6F11
H<-E
Carrier Stopped
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 211 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-14
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
330
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-15
S16F5 H->E
PJ Cancel Request
< S16F5 W
<L4
< A[n] “CANCEL” > // DATAID
< A[n] “PRJob001” > // PRJOBID
< A [n] “Cancel” > // PRCMDNAME
<L>
>
>
S16F6 H->E
Ack
< S16F6
<L 2
< B[1] 1 > // ACKA
<L>
>
>
3-16
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
331
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（２）スロットマップ ホスト照合異常発生後
ジョブキャンセル
1-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
332
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
< L 10
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[n] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined
:
1: Empty
:
2: Not Empty
:
3: Normal
:
4: Double Slotted
< U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-4
S6F11
H<-E
Substarate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
333
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
1-5
S6F11
H<-E
Substarate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-6
S3F17 H->E
Cancel Carrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "CANCELCARRIER" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrier" >
// CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
1-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification NG
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
334
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-8
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-9
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
335
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] >
// CAACK
<L>
>
>
2-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
336
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
337
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-7
S6F11
H<-E
Ready To Unload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-8
S6F11
H<-E
< S6F11 W
Not Reserved
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
338
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-1
S16F27 H->E
CJStop
< S16F27 W
<L3
< A[n] >
// CTLJOBID
< U1[1] 4 >
// CTLJOBCMD
<L>
>
>
S16F28 H->E
Ack
< S16F28
< B[1] 0 >
// ACKA
<L>
>
3-2
S6F11
H<-E
PJ Stopping
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
339
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-3
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-4
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-5
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
340
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-6
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-7
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
341
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-8
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-9
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-10
S14F11 H->E
Delete Request
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
342
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ObjID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
// OBJACK
<L>
>
>
>
3-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-12
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
343
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-13
S6F11
H<-E
Carrier Stopped
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 211 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-14
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
344
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-15
S16F5 H->E
PJ Cancel Request
< S16F5 W
<L4
< A[n] “CANCEL” > // DATAID
< A[n] “PRJob001” > // PRJOBID
< A [n] “Cancel” > // PRCMDNAME
<L>
>
>
S16F6 H->E
Ack
< S16F6
<L 2
< B[1] 1 > // ACKA
<L>
>
>
3-16
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
345
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（３）ダブルスロット/クロススロット発生後、ジョブキャンセル
1-1
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-3
S5F1 H<-E
Improper Wafer Position (Alarm)
< S5F1 W
<L3
< B[1] > // ALCD
< U4[1] > // ALID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
346
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H->E
Acknowledge
<S5F2
< B[1] 0 >
//ACKC5
>
1-4
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
< L 10
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[n] “IMPROPER WAFER POSITION” > // Reason
<Ln
< U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined
:
1: Empty
:
2: Not Empty
:
3: Normal
:
4: Double Slotted
< U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-5
S6F11
H<-E
Substarate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
347
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-6
S6F11
H<-E
Substarate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-7
S3F17 H->E
Cancel Carrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "CANCELCARRIER" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrier" >
// CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
1-8
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
Slot Map Verification NG
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
348
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-9
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
1-10
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
349
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< U1[1] >
// CAACK
<L>
>
>
2-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-3
S6F11
H<-E
Associated
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
350
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
351
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-7
S6F11
H<-E
Ready To Unload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
352
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-1
S16F27 H->E
CJStop
< S16F27 W
<L3
< A[n] >
// CTLJOBID
< U1[1] 4 >
// CTLJOBCMD
<L>
>
>
S16F28 H->E
Ack
< S16F28
< B[1] 0 >
// ACKA
<L>
>
3-2
S6F11
H<-E
PJ Stopping
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
353
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-3
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-4
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
354
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3-5
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-6
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-7
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
355
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-8
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-9
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
356
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-10
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ObjID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
// OBJACK
<L>
>
>
>
3-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-12
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
357
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-13
S6F11
H<-E
Carrier Stopped
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 211 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-14
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
358
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
3-15
S16F5 H->E
PJ Cancel Request
< S16F5 W
<L4
< A[n] “CANCEL” > // DATAID
< A[n] “PRJob001” > // PRJOBID
< A [n] “Cancel” > // PRCMDNAME
<L>
>
>
S16F6 H->E
Ack
< S16F6
<L 2
< B[1] 1 > // ACKA
<L>
>
>
3-16
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
359
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.8. キャリア ID 照合失敗
（１）キャリア ID 読み込み失敗
1-１
S5F1 H<-E Alarm Report Send
<S5F1 W
<L, 3
<B>
// ALCD
< U4 >
// ALID
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// ACKC5
1-2
S6F11
H<-E
Carrier ID Read Fail
< S6F11 W
< L, 3
< U4 0 >
// DATAID
< U4 295 >
// CEID
< L, 1
< L, 2
< U4 500 > // RPTID
< L, 9 >
<A[16]>
// GEM timestamp
<U1[1] 1> // PortTransfer State
<U1[1]>
// PortID
<A[0]>
// CarrierID
<U1[0]>
// CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]>
// SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1> // Port Association State VID
<U1[0]>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-1
S3F17 H->E
CancelCarrier at Port
< S3F17 W
<L
< A[n] "CANCELCARRIERATPORT" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrieratPort" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
< S3F18
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
360
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
3-2
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
361
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（２）キャリアＩＤの不一致
1-１
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
1-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
362
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
1-3
S3F17 H->E
CancelCarrier
< S3F17 W
<L
< A[n] "CANCELCARRIER" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
1-4
S6F11
H<-E
ID Verification Failed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 216 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
<U1[1] 4 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-1
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] > // CarrierID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
363
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
364
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.9. ジョブ作成失敗
（１）プロセスジョブ作成失敗
1-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
1-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
1-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob001" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
365
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
// Sets start method to autostart
<L
// PRPAUSEEVENT List of CEID
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
< L2
<L
< A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID
>
<L
< B[1] 1 > // ACKA
<L>
>
>
>
3a-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
3a-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
3a-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob00n" >
// PRJobID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
366
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
<L
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
<L2
<L
<A “PRJob00n”> //PROCESSJOB ID
>
<L
<Bool TRUE>
<L
>
>
>
>
3a-4
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
PRJob Pooled
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
367
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-1
S3F17 H->E
CancelCarrier
< S3F17 W
<L
< A[n] "CANCELCARRIER" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
3b-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
368
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
369
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
3b-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
370
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
371
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
372
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-12
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3b-13
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
373
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
374
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（２）コントロールジョブ作成失敗
1-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
1-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
1-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob001" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
375
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<?>
// RCPPARVAL
>
:
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
// Sets start method to autostart
<L
// PRPAUSEEVENT List of CEID
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
< L2
<L
< A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID
>
<L
< B[1] 0 > // ACKA
<L>
>
>
>
1-4
S6F11
H<-E
PRJob Pooled
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
1-5
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L3
< A[n] "Equipment" >
< A[n] "ControlJob" >
// OBJSPEC
// ObjType
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
376
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L6
<L2
< A[n] "ObjID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L3
< A[n] " ControlJob00n " >
// OBJSPEC
<L6
<L2
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
377
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< U1[1] 1 > // OBJACK
<L>
>
>
>
3a-1
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
3a-2
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L3
< A[n] "Equipment" >
// OBJSPEC
< A[n] "ControlJob" > // ObjType
<L6
<L2
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
378
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L3
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L6
<L2
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob00n" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "PRJob00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "PRJob00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<Ln
< A[n] "Carrier00m" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< U1[1] 0 > // OBJACK
<L>
>
>
>
3a-3
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
Queued
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
379
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 500 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID
<U1[1] 1 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
3b-1
S16F5 H->E
PJCancel
< S16F5 W
< A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID
< A[n] >
// PRJobID
< A[n] "CANCEL" >
// PRCMDNAME
<L>
>
S16F6 H<-E
<
< A[n] >
<L
< Bool TRUE >
<L>
>
>
// PRJobID
// ACKA
3b-2
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3c-1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
380
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S16F5 H->E
PJCancel
< S16F5 W
< A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID
< A[n] >
// PRJobID
< A[n] "CANCEL" >
// PRCMDNAME
<L>
>
S16F6 H<-E
<
< A[n] >
<L
< Bool TRUE >
<L>
>
>
// PRJobID
// ACKA
3c-2
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3c-3
S3F17 H->E
CancelCarrier
< S3F17 W
<L
< A[n] "CANCELCARRIER" >
// DATAID
< A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// Carrier ID
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L
< U1[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
4c-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
381
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205>
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-3
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
382
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-4
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-5
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
383
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-6
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-7
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
384
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
4c-8
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-9
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-10
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
Deleted
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
385
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-11
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4c-12
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
386
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
387
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.10. （アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗
（１）クランプ失敗
1-１
S5F1 H<-E Alarm Report Send
<S5F1 W
<L, 3
<B>
// ALCD
< U4 >
// ALID
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// ACKC5
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
388
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（２）ドッキング失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send
<S5F1 W
<L, 3
<B>
// ALCD
< U4 >
// ALID
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// ACKC5
2-1
S16F27 H->E
CJStop
< S16F27 W
<L3
< A[n] >
// CTLJOBID
< U1[1] 4 >
// CTLJOBCMD
<L>
>
>
S16F28 H->E
Ack
< S16F28
< B[1] 0 >
// ACKA
<L>
>
2-2
S6F11
H<-E
PJ Stopping
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-3
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
PJ Complete
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
389
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-4
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
390
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（３）アンドッキング失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send
<S5F1 W
<L, 3
<B>
// ALCD
< U4 >
// ALID
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// ACKC5
2-1
S16F27 H->E
CJStop
< S16F27 W
<L3
< A[n] >
// CTLJOBID
< U1[1] 4 >
// CTLJOBCMD
<L>
>
>
S16F28 H->E
Ack
< S16F28
< B[1] 0 >
// ACKA
<L>
>
2-2
S6F11
H<-E
PJ Stopping
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-3
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
PJ Complete
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
391
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
2-4
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
392
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
（４）アンクランピング失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send
<S5F1 W
<L, 3
<B>
// ALCD
< U4 >
// ALID
< A[40] > // ALTX
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// ACKC5
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
393
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.11. Filler（定常）NPW
シナリオ
1-1
S2F15 H->E Equipment Constant Send
<S2F15 W
<L, n
<L,2
< ??? >
// ECID
< ??? >
// ECV
>
：
<L,2
< ??? >
//ECID
< ??? >
// ECV
>
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// EAC
2-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
394
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
395
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-3
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier001wf01”>
// CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier001wf25”>
// CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "SFILLER" >
// CATTRDATA (Static Filler)
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
>
3-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
396
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-1
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
397
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
398
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
399
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
6-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-3
S3F17 H->E
< S3F17 W
ProceedWithCarrier
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
400
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier001wf01”>
// CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier001wf25”>
// CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "PRODUCT" >
// CATTRDATA
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
>
6-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
401
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
402
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-1
S7F19 H->E
< S7F19 W >
Current EPPD Request
S7F20 H<-E
< S7F20
<Ln
< A[n] >
:
:
< A[n] >
>
>
Ack
// PPID
// PPID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
403
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
8-2
S7F1
H->E
Process Program Load Inquire
< S7F1 W
<L2
< A[n] >
// PPID
< U2[1] > // Length
>
>
S7F2
H<-E
< S7F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// PPGNT
8-3
S7F23 H->E
Process Program Send
< S7F23 W
<L4
< A[n] >
// PPID
< A[n] >
// MDLN
< A[n] >
// SOFTREV
<Ln
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
:
:
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
>
>
>
S7F24 H<-E
Ack
< S7F24
< B[1] 0 > // ACKC7
>
8-4
S7F27 H<-E
< S7F27 W
<L2
< A[n] >
<L>
>
Process Program Verification Send
S7F28 H->E
< S7F28 >
Ack
// PPID
// No Error
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
404
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
9-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
9-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob001" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
405
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
// Sets start method to autostart
<L
// PRPAUSEEVENT List of CEID
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
<L2
<L
< A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID
>
<L
< B[1] 0 > // ACKA
<L>
>
>
>
9-4
S6F11
H<-E
PRJob Pooled
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-5
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L
< A[n] "Equipment" >
< A[n] "ControlJob" >
<L
<L2
// OBJSPEC
// ObjType
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
406
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L1
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L
<L
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
407
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L
< U1[1] 0 > // OBJACK
<L>
>
>
>
9-6
S6F11
H<-E
Queued
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 500 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 1 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-7
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-8
S6F11
H<-E
Execution began
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
408
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-9
S6F11
H<-E
PRJob Setup
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
409
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
410
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
411
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
10-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
412
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
11-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
413
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
11-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
11-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-5
S6F11
H<-E
< S6F11 W
Carrier Closed
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
414
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
415
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
416
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
417
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
12-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
418
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
419
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
13-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
13-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
420
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
13-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-7
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
PRJob Processing
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
421
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
13-8
S6F11
H<-E
Substrate In Process
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-1
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
422
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-2
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-3
S6F11
H<-E
Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
423
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-1
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-2
S2F41 H->E
CarrierComplete
< S2F41 W
<L2
< A[n] “CarrierComplete” >
// RCMD
<L1
<L2
<A[n] “CARRIEID” > // CPNAME
<U1[1] 2 > // CPVAL (CarrierComplete)
>
>
>
>
S2F42 H->E
< S2F42
<L 2
< B[1] 0 >
<L0
>
>
>
Ack
//HCACK
17-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
424
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
425
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
426
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-6
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-7
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
427
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-8
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
428
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
18-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-4
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
429
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-6
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
430
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
<L>
>
// OBJACK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
431
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
18-9
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
432
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-12
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
433
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
// CAACK
<L>
>
>
19-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
434
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
19-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-6
S6F11
H<-E
< S6F11 W
BufferCapacityChange
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
435
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
436
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
437
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
438
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
439
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
20-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-3
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
Associated
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
440
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
441
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
442
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
443
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
20-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
444
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
20-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
445
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
446
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.12. Filler（非定常）NPW
シナリオ
1-1
S2F15 H->E Equipment Constant Send
<S2F15 W
<L, n
<L,2
< ??? >
// ECID
< ??? >
// ECV
>
：
<L,2
< ??? >
//ECID
< ??? >
// ECV
>
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// EAC
2-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
447
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
448
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-3
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier001wf01”>
// CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier001wf25”>
// CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "DFILLER" >
// CATTRDATA (Dynamic Filler)
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
>
3-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
449
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-1
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
450
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
451
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
452
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
6-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-3
S3F17 H->E
< S3F17 W
ProceedWithCarrier
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
453
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier001wf01”>
// CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier001wf25”>
// CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "PRODUCT" >
// CATTRDATA
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
>
6-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
454
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
455
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-1
S7F19 H->E
< S7F19 W >
Current EPPD Request
S7F20 H<-E
< S7F20
<Ln
< A[n] >
:
:
< A[n] >
>
>
Ack
// PPID
// PPID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
456
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
8-2
S7F1
H->E
Process Program Load Inquire
< S7F1 W
<L2
< A[n] >
// PPID
< U2[1] > // Length
>
>
S7F2
H<-E
< S7F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// PPGNT
8-3
S7F23 H->E
Process Program Send
< S7F23 W
<L4
< A[n] >
// PPID
< A[n] >
// MDLN
< A[n] >
// SOFTREV
<Ln
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
:
:
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
>
>
>
S7F24 H<-E
Ack
< S7F24
< B[1] 0 > // ACKC7
>
8-4
S7F27 H<-E
< S7F27 W
<L2
< A[n] >
<L>
>
Process Program Verification Send
S7F28 H->E
< S7F28 >
Ack
// PPID
// No Error
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
457
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
9-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
9-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob001" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
458
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
// Sets start method to autostart
<L
// PRPAUSEEVENT List of CEID
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
<L2
<L
< A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID
>
<L
< B[1] 0 > // ACKA
<L>
>
>
>
9-4
S6F11
H<-E
PRJob Pooled
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-5
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L
< A[n] "Equipment" >
< A[n] "ControlJob" >
<L
<L2
// OBJSPEC
// ObjType
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
459
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L1
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L
<L
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
460
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L
< U1[1] 0 > // OBJACK
<L>
>
>
>
9-6
S6F11
H<-E
Queued
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 500 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 1 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-7
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-8
S6F11
H<-E
Execution began
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
461
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-9
S6F11
H<-E
PRJob Setup
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
462
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
463
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
464
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
10-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
465
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
11-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
466
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
11-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
11-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-5
S6F11
H<-E
< S6F11 W
Carrier Closed
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
467
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
468
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
469
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
470
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
12-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
471
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
472
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
13-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
13-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
473
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
13-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-1
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
PRJob Processing
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
474
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
14-2
S6F11
H<-E
Substrate In Process
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-3
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
475
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-4
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-5
S6F11
H<-E
Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
476
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
477
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
15-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
478
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-6
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-7
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
479
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-8
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-9
S2F41 H->E
CarrierComplete
< S2F41 W
<L2
< A[n] “CarrierComplete” >
// RCMD
<L1
<L2
<A[n] “CARRIERID” > // CPNAME
<A[n] “Carrier00n” > // CPVAL (CarrierComplete)
>
>
>
>
S2F42 H->E
< S2F42
<L 2
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
480
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
//HCACK
<L0
>
>
>
15-10
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
481
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-4
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
Substrate AT DESTINATION
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
482
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-6
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
483
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
<L>
>
>
>
// OBJACK
16-9
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
484
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
485
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-12
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
// CAACK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
486
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
17-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-4
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
487
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-6
S6F11
H<-E
< S6F11 W
< A[n] >
< U1[1] 275 >
<L1
<L2
BufferCapacityChange
// DATAID
// CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
488
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
489
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
490
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
491
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
492
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
18-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
18-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
493
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
494
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
495
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
496
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
18-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-12
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
497
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-14
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
ReadyToLoad
// DATAID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
498
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
499
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.13. Monitor NPW
シナリオ
1-1
S2F15 H->E Equipment Constant Send
<S2F15 W
<L, n
<L,2
< ??? >
// ECID
< ??? >
// ECV
>
：
<L,2
< ??? >
//ECID
< ??? >
// ECV
>
>
>
S5F2 H<-E
< S5F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// EAC
2-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
500
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
501
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
3-3
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier001wf01”>
// CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier001wf25”>
// CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "MONITOR" >
// CATTRDATA
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
>
3-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
502
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-1
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
503
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
4-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
504
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-1
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
5-2
S6F11
H<-E
MaterialHasArrived
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[0]> // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
505
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
6-1
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 214 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-2
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
6-3
S3F17 H->E
< S3F17 W
ProceedWithCarrier
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
506
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L2
<L2
< A[n] “ContentMap”> // CATTRID
<Ln
< A[n] “Carrier001wf01”>
// CATTRDATA
:
:
< A[n] “Carrier001wf25”>
// CATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "Usage" >
// CATTRID
< A[n] "PRODUCT" >
// CATTRDATA
>
>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
>
6-4
S6F11
H<-E
ID Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 215 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
507
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-2
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-3
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
508
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
7-4
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
8-1
S7F19 H->E
< S7F19 W >
Current EPPD Request
S7F20 H<-E
< S7F20
<Ln
< A[n] >
:
:
< A[n] >
>
>
Ack
// PPID
// PPID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
509
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
8-2
S7F1
H->E
Process Program Load Inquire
< S7F1 W
<L2
< A[n] >
// PPID
< U2[1] > // Length
>
>
S7F2
H<-E
< S7F2
< B[1] 0 >
>
Ack
// PPGNT
8-3
S7F23 H->E
Process Program Send
< S7F23 W
<L4
< A[n] >
// PPID
< A[n] >
// MDLN
< A[n] >
// SOFTREV
<Ln
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
:
:
<L2
< ? > // CCODE
<Ln
< ? > // PPARM
:
:
< ? > // PPARM
>
>
>
>
>
S7F24 H<-E
Ack
< S7F24
< B[1] 0 > // ACKC7
>
8-4
S7F27 H<-E
< S7F27 W
<L2
< A[n] >
<L>
>
Process Program Verification Send
S7F28 H->E
< S7F28 >
Ack
// PPID
// No Error
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
510
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
9-1
S16F21 H->E
< S16F21 W >
PR Get Space
S16F22 H<-E
PR Get Space Response
< S16F22
< U1[1] >
// PRJOBSPACE
>
9-2
S1F3
H->E
CJ Queue Space
< S1F3 W
<L1
< U2[1] > // SVID
>
>
S1F4
H<-E
< S1F4
< U1[1] >
>
Selected Equipment Status Data
// SV
9-3
S16F15 H->E
PRJobMultiCreate
< S16F15 W
<L
< A[n] >
// DATAID
<L1
<L6
< A[n] "PRJob001" >
// PRJobID
< B[1] 13 >
// MF
< L n // # is numbers of carrier
<L2
< A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
:
:
<L
< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID
<L
< U1[1] 1 >
:
< U1[1] 25 >
>
>
>
<L
< A[n] >
// PRRECIPEMETHOD
< A[n] >
// RECIPESPEC
<L
<L
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
:
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
511
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
:
<L
< A[n] >
// RCPPARNM
<?>
// RCPPARVAL
>
>
>
>
< Bool TRUE >
// Sets start method to autostart
<L
// PRPAUSEEVENT List of CEID
>
>
>
>
>
S16F16 H<-E
RPJobMultiCreate Acknowledge
< S16F16
<L2
<L
< A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID
>
<L
< B[1] 0 > // ACKA
<L>
>
>
>
9-4
S6F11
H<-E
PRJob Pooled
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-5
S14F9 H->E
CJCreate
< S14F9 W
<L
< A[n] "Equipment" >
< A[n] "ControlJob" >
<L
<L2
// OBJSPEC
// ObjType
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
512
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L2
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L1
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L2
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F10 H<-E
Ack
< S14F10
<L
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L
<L
< A[n] "ControlJobID" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "PRJob001" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID
<L
< A[n] "Carrier001" >
// ATTRDATA
:
:
< A[n] "Carrier00n" >
// ATTRDATA
>
>
<L
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
< A[0] >
// ATTRDATA
>
<L
< A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID
< A[0] "LIST" >
// ATTRDATA
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
513
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID
< Bool TRUE >
// ATTRDATA
>
>
<L
< U1[1] 0 > // OBJACK
<L>
>
>
>
9-6
S6F11
H<-E
Queued
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 500 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 1 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-7
S6F11
H<-E
Selected
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 501 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 2 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-8
S6F11
H<-E
Execution began
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
514
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 502 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
9-9
S6F11
H<-E
PRJob Setup
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 601 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
515
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
516
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
517
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
10-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
10-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
518
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< B[1] 0 >
>
11-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
519
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
11-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
11-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-5
S6F11
H<-E
< S6F11 W
Carrier Closed
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
520
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
11-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
521
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
522
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-4
S6F11
H<-E
Substrate At Source
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 402 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 531 >
<L7
< A[16] > // GEM timestamp
<A[n]> // LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute
<U1[1] 1 > // SubstState Attribute
<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-5
S6F11
H<-E
Substrate Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
523
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
12-6
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
12-7
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
524
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-1
S6F11
H<-E
CarrierInAccsess
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 208 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-2
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
525
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
13-3
S6F11
H<-E
Substrate AT WORK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 403 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
13-4
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
526
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
13-5
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
13-6
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
527
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-3
S6F11
H<-E
Waiting for Host
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 222 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 502 >
<L9
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
528
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason
<Ln
< U1[1] 1 > // Slotmap
:
:
< U1[1] 1 > // Slotmap
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-4
S3F17 H->E
ProceedWithCarrier
< S3F17 W
<L5
< A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID
< A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION
< A[n] "Carrier001" >
// Carrier ID
< U1[1] 1 >
// PTN
<L>
>
>
S3F18 H<-E
Ack
< S3F18
<L2
< B[1] 0 > // CAACK
<L>
>
>
14-5
S6F11
H<-E
Slot Map Verification OK
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 223 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
529
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-6
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
14-7
S6F11
H<-E
Carrier Location Change
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
530
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-1
S6F11
H<-E
PRJob Processing
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 602 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
PRJob Processing Ack
15-2
S6F11
H<-E
Substrate In Process
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 404 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
531
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
15-3
S6F11
H<-E
Substrate ProcessingComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 405 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-4
S6F11
H<-E
Approching Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 250 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 501 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min]
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
15-5
S6F11
H<-E
Processing Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 605 > // CEID
<L1
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
532
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
533
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-3
S6F11
H<-E
Substrate Location Unoccupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
534
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-6
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
535
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
Ack
< S6F12
< B[1] 0 >
>
16-7
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
16-8
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
536
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
17-1
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-2
S6F11
H<-E
Carrier Opened
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 220 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-3
S6F11
H<-E
< S6F11 W
<L3
Substrate Location Unoccupied
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
537
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 411 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L 3
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-4
S6F11
H<-E
Substrate AT DESTINATION
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 406 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-5
S6F11
H<-E
Substrate Location Occupied
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 410 > // CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
538
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-6
S6F11
H<-E
PJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 606 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 700 >
<L4
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-7
S6F11
H<-E
CJ Complete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 503 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID
<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
539
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-8
S14F11 H->E
Delete Request
< S14F11 W
<L2
< A[n] "EQUIPMENT" >
// OBJSPEC
<L1
<L2
< A[n] "ControlJob" >
// ATTRID
< A[n] "ControlJob001" >
// ATTRDATA
>
>
>
>
S14F12 H<-E
Ack
< S14F12
<L2
<L>
<L2
< U1[1] 0 >
<L>
>
>
>
// OBJACK
17-9
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 504 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 600 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
<U1[0]> // Current State of the CJ model
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-10
S6F11
H<-E
Carrier Closed
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 221 >
// CEID
<L1
<L2
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
540
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-11
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
17-12
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
541
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
18-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
542
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
18-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-5
S6F11
H<-E
< S6F11 W
CarrierLocationChange
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
543
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
544
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
545
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
546
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
547
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
18-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
19-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
548
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-4
S6F11
H<-E
Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
549
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
550
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12
H->E
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
551
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F12
< B[1] 0 >
>
19-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
552
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
19-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-13
S6F11
H<-E
< S6F11 W
Not Associated
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
553
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
19-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
20-1
S2F41 H->E
CarrierComplete
< S2F41 W
<L2
< A[n] “CarrierComplete” >
// RCMD
<L1
<L2
<A[n] “CARRIERID” > // CPNAME
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
554
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n] “Carrier00n”> // CPVAL (CarrierComplete)
>
>
>
>
S2F42 H->E
< S2F42
<L 2
< B[1] 0 >
<L0
>
>
>
Ack
//HCACK
20-2
S6F11
H<-E
CarrierComplete
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 209 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-1
S3F17 H->E
CarrierOut
< S3F17 W
<L5
< A[n] >
// DATAID
< A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION
< A[n] >
// CARRIERSPEC(CarrierID)
< U1[0] >
// PTN
<L>
>
>
< S3F18
<L2
< U1[1] >
<L>
>
>
// CAACK
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
555
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
21-2
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-3
S6F11
H<-E
Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 227 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-4
S6F11
H<-E
< S6F11 W
Reserved
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
556
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 241 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-5
S6F11
H<-E
CarrierLocationChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 280 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 512 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-6
S6F11
H<-E
BufferCapacityChange
< S6F11 W
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 275 > // CEID
<L1
<L2
< U1[1] 510 > // RPTID
<L
<A[16]> // GEM timestamp
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
557
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<A[n]> // CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-7
S6F11
H<-E
ReadyToUnload
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 206 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 3 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-8
S6F11
H<-E
Not Reserved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 242 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<>
// CarrierID
<>
// CarrierIDStatus Attribute
<>
// SlotMapStatus Attribute
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
558
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
<>
// Port Association State VID
<>
// Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-9
S6F11
H<-E
TransferBlocked
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 207 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 0 > // Port Association State VID
<U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-10
S6F11
H<-E
MaterialHasRemoved
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 300 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
559
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-11
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 290 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n] "Carrier001"> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-12
S6F11
H<-E
Deleted
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 407 > // CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 530 >
<L3
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L n
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
>
>
>
>
>
S6F12
H->E
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
560
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
< S6F12
< B[1] 0 >
>
21-13
S6F11
H<-E
Not Associated
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 228 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 1 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
21-14
S6F11
H<-E
ReadyToLoad
< S6F11 W
<L3
< A[n] >
// DATAID
< U1[1] 205 >
// CEID
<L1
<L2
< U1 RPTID 500 >
<L8
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1] 2 > // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[0]> // CarrierID
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1] 1 > // Port Association State VID
<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
>
>
>
>
>
S6F12 H->E
< S6F12
< B[1] 0 >
>
Ack
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
561
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.14. 搬入時 E84 ハンドシェークシーケンス
3
L REQ
(P " A)
U REQ
(P " A)
READY
(P " A)
CS_0
(A"P)
CS_1
(A"P)
VALID
(A"P)
T R REQ
(A" P)
BUSY
(A"P)
COMPT
(A" P)
CONT
(A"P)
HO_AVBL
(P " A)
6
ES
(P " A)
CS is
Specified
Carrier is
detected
Transfer
Transfer is
Start
Completed
Release
CS is
specified
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
562
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.15. 搬出時 E84 ハンドシェークシーケンス
59
L_RE Q
(P " A )
U_ RE Q
(P " A )
RE A D Y
(P " A )
C S_0
(A " P)
C S_1
(A " P)
V A LID
(A " P)
T R_R E Q
(A " P)
B USY
(A " P)
C O M PT
(A " P)
CONT
(A " P)
HO _A V BL
(P " A)
62
ES
(P " A )
C S is
Specified
C arrier is
rem oved
Tran sfer
Start
Tran sfer is
C om pleted
Release
C S is
specified
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
563
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.16. E84 タイマー一覧
AMHS 側 監視タイマー
タイマー
TA1
TA2
TA3
TA4
監視内容
VAILD 信号 ON から L_REQ/U_REQ 信号 ON まで
TR_REQ 信号 ON から READY 信号 ON まで
COMPT 信号 ON から READY 信号 OFF まで
BUSY 信号 ON から L_REQ(U_REQ)信号 OFF まで
標準値
2
2
2
60
単位
秒
秒
秒
秒
範囲
1-999
1-999
1-999
1-999
標準値
2
2
60
単位
秒
秒
秒
範囲
1-999
1-999
1-999
60
2
2
秒
秒
秒
1-999
1-999
1-999
標準値
1
単位
秒
範囲
1-999
※ １ Selete にて独自に要求（SEMI スタンダードに記述なし）
製造装置側 監視タイマー
タイマー
TP1
TP2
TP3
TP4
TP5
TP6
監視内容
L_REQ/U_REQ 信号 ON から TR_REQ 信号 ON まで
READY 信号 ON から BUSY 信号 ON まで
BUSY 信号 ON からキャリアプレースメントセンサーON まで
（搬入時）、またはキャリアプレゼンスセンサーOFF まで（搬出
時）
L_REQ/U_REQ 信号 OFF から BUSY 信号 OFF まで
BUSY 信号 OFF から VAILD 信号 OFF まで
VAILD 信号 OFF から次のハンドオフのための VAILD 信号 ON
まで（連続移載のための CONT 信号が ON である場合に監視
する）
AMHS 側 遅延タイマー
タイマー
TD1
監視内容
VAILD 信号 OFF から次のハンドオフのための VAILD 信号 ON
まで（連続移載を必要とする場合に使用する）
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
564
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
2.2.17. イベントレポートフォーマット
今回のシナリオで使用しているイベントレポートの ID 及びフォーマットを次に示す。
ReportID
500
Loadport and Carrier state
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1]> // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]>
// CarrierID
<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1]> // Port Association State VID
<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute
501
Carrier state and Aproaching
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]>
// CarrierID
<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1]> // Carrier Complete remain time
502
Carrier state and Slotmap State
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1]> // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]>
// CarrierID
<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1]> // Port Association State VID
<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[n]>
// Reason
<L
< U1[1] >
// Slotmap
:
< U1[1] >
// Slotmap
>
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
565
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
510
Buffer Capacity
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]>
// CarrierID
<L
//BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
512
Carrier Location State
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]>
// CarrierID
<A[n]>
// Location ID
<L
// Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
515
Loadport Reserve State
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<U1[1]> // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]>
// CarrierID
<U1[1]> // Port Reservation State
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
566
通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>
530
Substrate State
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]>
// LotID attribute
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]>
// SubstLocIDAttribute
<U1[1]> // SubstProc State Attribute
<U1[1]> // SubstState Attribute
<A[n]>
531
// SubstUsage Attribute
Substrate Location State
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]>
// Location ID
<L
// Count of Wafer - 複数 Waf 同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
600
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]>
// Control Job ID
<U1[1]> // Current State of the CJ model
700
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]>
// Process Job ID
<A[n]>
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]>
// recipe ID for this process job
2002 年 3 月 31 日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
567

1/3 解答例（案）

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