Water-soluble Additive StayClean-A ダイシング中のパーティクル付着を防止 パーティクル付着防止する切削水用添加液剤 イメージセンサの樹脂膜付きウェーハなど、従来のSiウェーハに比べて撥水性が高 いワークでは、乾燥によるパーティクルの固着が問題となっていました。ステイクリ ン-Aはワークの乾燥を抑制すると共に、パーティクルの沈降速度を低下させること でパーティクルの付着を大幅に低減させます。 低環境負荷 ステイクリン-AはRoHS対象物質及びPFOSなどの規制化学物質をいっさい含まず、 通常のダイシングと同様の環境*でお使いいただけます。 *循環でご使用される場合は別途ご相談ください。 パーティクル付着抑制効果 ブレード パーティクルの沈殿抑制 切り粉 切削水 パーティクルの 付着抑制 ワーク 純水のみ ステイクリン-A使用時 メカニズム ステイクリン-Aが切削水中に上昇気泡を発生させることで、パーティクルの沈 降速度を低下させ、ワークへの付着を低減します。 ウェーハ加工後の残留パーティクル数 （ステイクリン-Aを1とした場合） 25 20 20 1/ 15 少 減 へ 10 5 0 DI Water (0.5MΩ・cm) ステイクリン-A(0.1%) ※Vノズル + サイドフローノズル + C/Tウォータカーテン Water-soluble Additive StayClean-A ステイクリンインジェクタ ステイクリン専用に開発されたステイクリンインジェクタにより、1000倍以上の低い希釈濃度でも安定した供給が可能です。 ■お使いになる前の注意 ステイクリン-A, ステイクリンインジェクタ 仕様 ステイクリン-A 原液外観 主成分 pH（ 原液） 密度（ 15 ℃） 残留性/分解性 （1000倍希釈時） 推奨希釈率 電源、電圧 供給水温 供給水圧力 処理流量 添加剤 注入比率 寸法（ WｘDｘH） 質量 pH g/cm3 mg/L mg/L 倍 V deg C Mpa L/min % mm kg ステイクリンインジェクタ 非イオン界面活性剤+水溶性高分子 水溶性高分子ポリマー 7.5～9.5 1.0～1.02 COD 56(JIS K0102-17) BOD 62(JIS K0102-21) 1,000～2,000(0.1～0.05%) 製品安全データシート（MSDS）により詳しい注意等が記載されていますので、ステイクリン-Aをご使用さ れる前には必ずご一読ください。 用途以外には使用しないでください。 ■ご使用上の注意 目や皮膚に触れないように注意し、取り扱う際には保護眼鏡、保護手袋等の適切な保護具を 着用してください。 AC90 - 230 単相 50/60 Hz 20 - 25 0.2 - 0.5 2 - 20 0.1 - 0.01（ 1,000 - 100 ppm） インジェクタ 200 x 300 x 500 但し突起物除く ボトルストッカ 357 x 392 x 440 但し突起物除く インジェクタ 約22（ 乾燥時） ボトルストッカ 約10（ 乾燥時） www.disco.co.jp 他の薬剤（特に強酸・強アルカリ性の薬剤）との併用は避けてください。 ■保管上の注意 直射日光を避けて、冷暗所で保管してください。ただし、凍結庫に入れないでください。 きちんと密閉して保管してください。 品質保証期間は密閉状態で製造日より1年間です。 2014.11
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