イオンポンプベーキング作業環境改善案 2016 年 3 月 10 日東谷目的

イオンポンプ
ベーキング作業環境改善案
2016 年 3 月 10 日
東谷
目的
イオンポンプのベーキングを多数回行っていくうえで、これまでの単体での作業よりも効率よく安全
に行う環境を整備したい。
改善案
以下の点について提案したい。
これまで
改善案
加熱・冷却の温度調整を手動
ランプ制御を利用する。現在使用している温度調整器にはそ
で行っていた。
の機能がついている。
温度調整器に接続された温
温度 T1 をリモートで見られるようにする。
度制御用温度計（T1）の温度
①温度調整器をデバイスサーバに接続し、ログを管理できる
が実験現場でしか見られな
ようにする。
難易度
○
△
かった。
温度（T2～T3）が実験現場で
温度 T2～T3 をリモートで見られるようにする。
しか見られなかった。
①データロガーをネットワークに接続し、ログを管理できる
○
ようにする。
圧力（P1～P2）が実験現場で
圧力をリモートで見られるようにする。
しか見られなかった。
①イオンポンプ・コントローラ（イオンゲージ）をデバイス
○
サーバに接続し、ログをリモートで見られるようにする。
②真空表示器（クリスタルイオンゲージ）をデバイスサーバ
○
に接続し、ログをリモートで見られるようにする。
ネットワーク環境がなかっ
①シリアル機器のデータをイーサネット経由で収集するため
た。
に、シリアル・デバイス・サーバを導入する。既存の NPort
○
5610-8 を設置済み（8 ポート、RS232 のみ、100VAC）。
②実験現場（クライストロン室中央）用の有線 LAN を敷設
○
済み。所内 LAN に接続し、固定 IP 設定済み。
加熱・冷却の制御（停止、切
安全のため、できれば現場で操作できるのが望ましいが、温
り替え等の操作）を現場でな
度が想定外に高い場合などに遠隔で停止操作ができるとよ
くてもできるようにする。
い。安全対策をしっかりする。
△
加熱・冷却のプロセスをもっ
現在使用している温度調整器にはプログラムしたり、途中で
検討の
と簡易にしたい。
停止したりができないので、別の型の温度調整器に買い換え
み
る必要がある。オムロンのホームページで現在使用している
E5CK の代替品参照。
ベーキング温度にムラがあ
床面や周辺への熱の流出をできるだけ抑えたい。
る。
①イオンポンプと耐熱レンガの間に不燃断熱マットを入れて
○
床への熱流出低減をはかる（購入済み）。
②アルミフレームで覆われた部分も熱流出があるようなので
？
対策を考える（未対応）
。
リモート監視が多くなると
ヒータを使い、かつリモート監視が多くなる場合、インター
不安。
ロックを入れる必要あり。ウェブカムなども活用。
メモ
・夜間は加熱を停止するなどはこれまで通りのほうがよいだろう。
・購入した断熱マット
トラスコ中山
不燃断熱マット FDM-3040（連続使用 1000℃、瞬間使用 1650℃）サイズ 300×400mm

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