総合カタログ リニアエンコーダ 長さゲージ 角度エンコーダ ロータリエンコーダ タッチプローブ 計測データ処理ユニット デジタル表示カウンタ 2014. 9 ドクタ－ヨハネスハイデンハイン社はリニアエン コーダ、 角度エンコーダ、 ロータリエンコーダ、 長さゲージ、 デジタル表示カウンタおよび計測 データ処理ユニットを開発 ・ 製造しています。 ハイデンハインはオートメーションシステムや工 作機械メーカー、 半導体製造、 電子機器製 造メーカーに製品を供給しています。 ハイデンハインは世界 50 ヶ国に営業販売 ・ サービス拠点があります。 そのほとんどが完全 子会社です。 セールスエンジニアとサービス 技術者が、 技術的情報とサービス対応にてお 客様をサポートしています。 この総合カタログはハイデンハインの生産製品 品目概要をご案内しています。 製品の詳しい 情報につきましては、弊社へお問合せください。 目次 基礎技術と生産工程 4 精密目盛—高精度のための基礎技術 5 長さ測定 6 シールドタイプリニアエンコーダ オープンタイプリニアエンコーダ 長さゲージ 角度測定 18 角度エンコーダ 組込み型エンコーダ ロータリエンコーダ 工具とワークピースのセットアップと測定 38 ワークピース用タッチプロ－ブ 工具測長器 測定値の取得と表示 42 計測アプリケーション用データ処理ユニット マニュアル操作式工作機械用デジタル表示カウンタ インターフェースユニット 世界各地の営業およびサービス拠点 50 基礎技術と生産工程 ハイデンハイン製品が高品質なのは、 特別 な生産設備と測定装置を使用しているためで す。 目盛板製造時に使用するマスターとサブ マスターは、 温度を一定に保ち、 防振対策の とられた特別なクリーンルームで作られます。 スケールおよび目盛付きディスクの製造と検 査のための装置、 そして目盛複写装置はハイ デンハインが多くの努力によって開発し、 作り 上げたものです。 スケールの測定設備 リソグラフィーエリアでのスケール検査ステーション 長さと角度測定におけるその高い能力は、 多 くのユーザーの計測方法により反映されていま す。 これらの事例には、 世界中の計量研究 所用の計測 ・ 検査装置として開発され組み 立てられたものや、 望遠鏡プロジェクトおよび 人工衛星追跡アンテナ用の角度エンコーダも 含まれます。 そして、 そこから得た知識は標 準製品にも生かされています。 角度コンパレータ、測定ピッチ約0.001” 4 巨大望遠鏡（VLT）、パラネル、チリ （写真はESOのご好意による） 精密目盛—高精度のための基礎技術 ハイデンハインエンコーダの心臓部はスケール 本体であり、 通常 0.25 µm から 10 µm の線 幅の目盛形状になっています。 これらの精密 目盛は、 ハイデンハインが開発した製造プロセ ス （例えば DIADUR、 METALLUR） で作ら れ、 エンコーダの性能と精度を決定づけます。 これらの目盛は、 高精度に刻まれ乱れが非 常に少ない刻線エッジ形状で、 線が等間隔 に構成されています。 これらの目盛は、 物理 的・化学的な耐久性に優れている上に、振動、 衝撃に対する耐久性もあります。 これらの目 盛は、 明確な熱特性を持っています。 位相格子目盛 高さ約 0.25 µm DIADUR DIADUR 精密目盛は本体 （ガラス、 ガラス セラミック） の表面に極薄のクロム膜を配して つくられます。 目盛を構成する線の精度は、 マイクロメートルからサブマイクロメートルの範囲 となっています。 位相格子目盛 特殊な製造工程によって三次元的な目盛構 造を作り出すことを可能にし、 特殊な光学特 性を持ちます。 その目盛構造の線幅は数マイ クロメートルから最小のものでは 1/4 マイクロメー トルまでの範囲となります。 OPTODUR OPTODUR 製法により、 特に反射率の高い 目盛構造を実現しています。 SUPRADUR と 同じように、 三次元の位相格子と同じ光学特 性を持つプラナー構造が特長です。 AURODUR AURODUR 目盛は、 高反射率の金と反射を 抑えた線が等間隔に構成されています。 AURODUR 目盛は、 通常スチールベースに 構成されます。 SUPRADUR SUPRADUR プロセスによって製造された目盛 は、 三次元の位相格子と同じ光学特性となり ますが、 プラナー構造を持ち、 汚れの影響を 受けにくくなっています。 MAGNODUR 磁気にて動作する、 マイクロメートル範囲での 非常に小さい磁化目盛によって構成されてい ます。 METALLUR 金 の 反 射 層 の 特 殊 な 光 学 的 構 造 に よ り、 METALLUR 目盛は、 実質上プラナー構造と なっています。 そのため、 汚れの影響を受け にくくなっています。 材質の異なるDIADURとMETALLURスケール 5 長さ測定 シールドタイプリニアエンコーダ ハイデンハインのシールドタイプリニアエンコー ダは、 切屑、 ダスト、 飛沫などから保護され ています。 とりわけ、 工作機械への使用に適 しています。 • 精度等級 : ～ ± 2 µm • 推奨分解能 : ～ 0.001 µm • 最大測定長 : 30 m( これ以上は、 お問い 合わせください。 ただし、 72m まで ) • 取付けが迅速かつ簡単 • 取付け公差大 • 耐加速度負荷大 • 汚れに対する保護 オープンタイプリニアエンコーダ ハイデンハインのオープンタイプリニアエンコーダ は、走査ヘッドとスケール、またはスケールテー プの間の機械的接触がない状態で操作されま す。 このリニアエンコーダの代表的用途は、 計 測機械、 コンパレータ、 測長システム用精密 機器、 半導体製造用検査装置および製造装 置等です。 • 精度等級 : ～ ± 0.5 µm • 推奨分解能 : ～ 0.001 µm (1 nm) • 最大測定長 :30 m • 走査ヘッドとスケールが非接触 • 小型、 軽量 • 高速走査速度対応 シールドタイプリニアエンコーダには以下種類 があります。 • 標準型スケールハウジングタイプ – 耐振動衝撃性大 – 測定長 30m まで対応可能 ( これ以上は、 お問い合わせください。 ただし、72m まで ) • 小型スケールハウジングタイプ – 限られた取付けスペース用 – 測定長 1240 mm まで対応可能 ( マウンティングスパーもしくはクランプ付き では 2040 mm） ハイデンハインのシールドタイプリニアエンコー ダでは、 アルミニウムのハウジングが、 スケー ル、 走査キャリッジおよびそのガイドを切屑、 ダスト、 飛沫などから保護しています。 また下 向きに配置された弾力性のあるシーリングリッ プがハウジングの開口部をふさいでいます。 走 査キャリッジは、 スケールユニット内ではほとん ど摩擦なく移動します。 カップリングが、 走査 キャリッジを外部の取付けブロックと連結し、 ス ケールとマシンガイドの間での避けられないミス アライメントを補正する働きをします。 走査キャリッジ DIADUR スケール 受光素子 シーリングリップ 6 取付けブロック 光源 長さゲージ ハイデンハインの長さゲージは、 プランジャー 用のガイドが組み込まれていることが特徴で す。 これらは、 工業的な計測用途での被測 定物のチェックのみならず、 位置決め装置とし ても使用できます。 • 精度等級 :1 ～ ± 0.1 µm • 推奨分解能 :1 ～ 0.005 µm (5 nm) • 測定長 :100 mm まで • 測定精度が高い • プランジャーの自動駆動が可能 • 取付けが簡単 インクリメンタルリニアエンコーダでの現在の 位置は、データ基準からスタートし、測定ステッ プの累積カウント、 または信号周期を内挿分 割して累積カウントすることによってわかります。 ハイデンハインのインクリメンタルリニアエンコー ダには参照マーク （原点） があり、 電源投入 後に参照マークを再構築するために、 原点を 検出する必要があります。 絶対番地化原点 方式では、 この原点検出をすばやく、 簡単に 行うことができます。 ハイデンハインのアブソリュートリニアエンコー ダでは、 スケールを動かさずに実際の位置値 を表示できます。 アブソリュート値の転送は、 EnDat インターフェースまたはその他のシリア ルインターフェースを通じて行います。 表中の推奨分解能は主に位置計測に関係し ます。 正弦波出力をより高分割して分解能を 小さくするほど、 とりわけ回転速度制御、 たと えばトルクモータなどに適しています。 機能安全のもとで、 ハイデンハインは安全位 置計測システム用にシングルエンコーダシステ ムとしてシリアルデータ伝送搭載のエンコーダ 製品をご提案します。 エンコーダ内には二つの計測値がそれぞれ独 立して形成されており、 EnDat インターフェー スを経由して安全制御装置へ伝送されます。 シールドタイプリニアエンコーダ シリーズ ページ 標準型スケールハウジング アブソリュート位置測定 長尺用アブソリュート位置測定 インクリメンタル位置測定 非常に高い繰返し性 マニュアル操作機械用 長尺測定 LC 100 LC 200 LS 100 LF 100 LS 600 LB 300 8 小型スケールハウジング アブソリュート位置測定 インクリメンタル位置測定 非常に高い繰返し性 マニュアル操作機械用 LC 400 LS 400 LF 400 LS 300 10 オープンタイプリニアエンコーダ 超高精度用 2軸座標用エンコーダ 高速制御および長尺測定用 アブソリュート位置測定 LIP, LIF PP LIDA LIC 12 13 14 長さゲージ 測定ステーションおよびマルチポイント検査装置用 AT、CT、MT、ST 16 7 シールドタイプリニアエンコーダ LC、LF、LS、LB 標準型スケールハウジング 標準型スケールハウジングタイプのリニアエ ンコーダは特に耐振動性が高いことを特徴とし ています。 アブソリュートリニアエンコーダ LC 100 および LC 200 シリーズは、 スケールの軸送りの動作 なしにて、 アブソリュート位置を検出できます。 また、 インクリメンタル信号を出力することもで きるバージョンもあります。 LC 100 シリーズは、 インクリメンタルリニアエン コーダ LS 100 シリーズと同じはめあい寸法で 同じ機械的設計になっています。 LC 100 シリーズおよび LS 100 シリーズは、 そ の高い精度と明確な熱特性により、 特に NC 制御工作機械用途に適しています。 LF タイプのインクリメンタルリニアエンコーダは、 スケール本体が比較的目盛間隔が小さいこと が特徴です。 このため高い繰返し性を要求さ れるようなアプリケーションに適しています。 インクリメンタルリニアエンコーダ LS 600 シリーズ は、 位置決めだけの単純な使用方法、 例えば マニュアル操作の工作機械に使用されます。 LC 200 （アブソリュート） および LB （インクリメ ンタル） は、 長尺軸にお奨めいたします。 これらのスケール本体は、 METALLUR もしく は AURODUR 目盛を刻んだ、 つなぎ目のな いスチールテープ 1 本もので供給され、 ハウ ジング ・ セクションを取付けた後にハウジング に引き込み、 規定のテンションをかけた上で、 両端をマシンガイドにしっかりと固定します。 LC 100 シリーズ • アブソリュート位置測定 • 明確な熱特性 • 耐振動定格値が高い • 取付け時の姿勢は二通り • シングルフィールド走査方式 LS 100 シリーズ • インクリメンタル位置測定 • 明確な熱特性 • 耐振動定格値が高い • 取付け時の姿勢は二通り • シングルフィールド走査方式 LF 185 • 非常に高い繰返し性 • 熱特性はスチールまたは鋳鉄と同等 • 耐振動定格値が高い • 取付け時の姿勢は二通り • シングルフィールド走査方式 LB 382 • 最長 30m の長尺測定用 • 明確な熱特性 • 耐振動定格値が高い • 取付け時の姿勢は二通り • シングルフィールド走査方式 LC 200 シリーズ • 最長 28m の長尺用絶対位置測定 • 明確な熱特性 • 耐振動定格値が高い • 取付け時の姿勢は二通り • シングルフィールド走査方式 LS 600 シリーズ • マニュアル操作の機械向け • 取付けが簡単 アブソリュート 1) LC 115 / LC 185 LC 195 F/M/S1) LC 211/ LC 281 LC 291 F/M スケール本体 DIADUR ガラススケール METALLUR スチールスケールテープ 目盛間隔 20 µm 40 µm インターフェース LC 115: EnDat 2.2 LC 185: EnDat 2.2 LC 2x1: EnDat 2.2 LC 281: EnDat 2.2 LC 195: ファナック iインタフェース/ LC 291: ファナック 信号周期 20 µm 40 µm 精度等級 ± 5 µm、 ± 3 µm ± 5 µm 測定長 ML 最長 4 240 mm 最長 28 040 mm 原点 – (» 1 VPP付) (» 1 VPP付) iインタフェース/ 三菱 三菱/シーメンス 1) 8 機能安全はお問合せください 3) 2) 5倍/10倍分割回路内蔵 LC 100 LF 185 LC 200 LS 600 インクリメンタル LF 185 LS 187 LS 177 LS 688 C LS 628 C LB 382 SUPRADUR位相格子付 スチールスケール DIADURガラススケール DIADURガラススケール AURODUR スチールスケールテープ 8 µm 20 µm 20 µm 40 µm » 1 VPP LS 187: » 1 VPP LS 177: « TTL LS 688 C: » 1 VPP LS 628 C: « TTL » 1 VPP 4 µm LS 187: 20 µm LS 177: 4µm/2µm2) 20 µm 40 µm ± 3 µm、 ± 2 µm ± 5 µm、 ± 3 µm ± 10 µm ± 5 µm 最長 3 040 mm 最長 3 040 mm 最長 3 040 mm 最長 30 040 mm4) 1個または絶対番地化原点; LS 6xx C: 絶対番地化原点のみ 3) 測定長30 40mmまで 4) これ以上の測定長はお問合せください（ただし、72 040mmまで） 9 シールドタイプリニアエンコーダ LC、LF、LS 小型スケールハウジング LC 400 シリーズ • アブソリュート位置測定 • 明確な熱特性 • シングルフィールド走査方式 小型スケールハウジングのシールドタイプリニ アエンコーダは、 主に狭い取り付けスペース用 に使用されます。 アブソリュートリニアエンコーダ LC 400 シリーズ は、 スケールの軸送りの動作なしにて、 アブ ソリュート位置を検出できます。 インクリメンタ ルリニアエンコーダ LS 400 シリーズのように高 いシステム精度と明確な熱特性により、 特に NC 工作機械用途に適しています。 LS 400 シリーズ • インクリメンタル位置測定 • 明確な熱特性 • シングルフィールド走査方式 LF タイプのインクリメンタルリニアエンコーダは、 スケール本体が比較的細かな目盛間隔で出 来ていることが特徴です。 このため高い繰返し性を要求されるようなアプ リケーションに適しています。 インクリメンタルリニアエンコーダ LS 300 シリー ズは、 位置決めだけの単純な使用方法に適し ており、 例えばマニュアル操作の工作機械用 途に適しています。 LF 485 • 非常に高い繰返し性 • 熱特性はスチールまたは鋳鉄と同等 • シングルフィールド走査方式 LS 300 シリーズ • マニュアル操作の機械向け マウンティングスパーにより取付けが簡素化 小型のリニアエンコーダでは、 マウンティングス パーを使用しての取付けが非常に有効な手段 となります。 組付け時、 マウンティングスパー は機械の構成部品のように取付けることができ るので、 スケール自体は最終組付け時にクラ ンプするだけで済みます。 したがって、 客先工 程内での修理の際にも、 簡単に交換できます。 さらにマウンティングスパーを使用することによ りエンコーダの振動時の挙動を大幅に改善し ます。 ストッパー マウンティングスパー 固定用クランプ 10 スケールハウジング 走査ユニット LC 400 LS 400 LF 485 LS 300 アブソリュート 1) LC 415 /LC 485 LC 495 F/M/S1) インクリメンタル LF 485 スケール本体 DIADUR ガラススケール 目盛間隔 LS 487 LS 477 LS 388 C LS 328 C SUPRADUR位相格子付 スチールスケール DIADURガラススケール DIADURガラススケール 20 µm 8 µm 20 µm 20 µm インターフェース LC 415: EnDat 2.2 LC 415: EnDat 2.2(» 1 VPP付) LC 495: ファナックiインタフェース/ 三菱/シーメンス » 1 VPP LS 487: » 1 VPP LS 477: « TTL LS 388 C: » 1 VPP LS 328 C: « TTL 信号周期 – 4 µm LS 487: 20 µm LS 477: 4µm/2µm2) 20 µm 精度等級 ± 5 µm、 ± 3 µm ± 5 µm、 ± 3 µm 測定長 ML 最長 2 040 mm 原点 – 1) 3) 3) 最長 1 220 mm 1個または絶対番地化原点 ± 10 µm 最長 2 040 mm 3) 最長 1 240 mm 絶対番地化原点 機能安全はお問合せください 2) 5倍/10倍分割回路内蔵 ML 1 240 mm を超える場合は、マウンティングスパーまたはクランプが必要。 11 オープンタイプリニアエンコーダ LIP、LIF 超高精度測定用 オープンタイプリニアエンコーダ LIP および LIF シリーズは、 高分解能用という特性と同時に 高精度となっています。 このリニアエンコーダ ではスケール本体として、 ガラスまたはガラス セラミックス上に位相格子の目盛をつけたもの を用います。 LIP および LIF の主な用途は、 • 計測機械、 コンパレータ • 測定顕微鏡 • 超精密機械用 ; 例えば光学部品用ダイア モンド旋盤、 磁気記憶ディスク用表面旋盤、 フェライト部品用研磨装置 • 半導体産業用計測および製造装置 • 電子産業用計測および製造装置 特別に高真空用製品として、 –7 LIF 481V と LIP 481U （高真空用、 ～ 10 bar） –11 そして LIP 481 U （超高真空用、 ～ 10 bar） を用意しています。 LIP 300 シリーズ • 測定分解能 1nm 以下の超高分解能測 定用途 • 非常に細かい信号周期による高い繰返し性 ® • Zerodur ガラスセラミックのスケール本体 により熱特性が明確 ML = 70 mm LIP 200 シリーズ • 測定長 3040 mm まで • 推奨分解能 1nm 以下 • コンパクト形状で極めて高い繰返し性 ® • Zerodur ガラスセラミックのスケール本体 により熱特性が明確 LIP 400 シリーズ • 小型形状 • 測定推奨分解能 0.005 µm まで • 熱膨張係数の異なるスケールを供給可 LIF 400 シリーズ • 接着フイルム PRECIMET によってスケール ホルダーを取付け面へ迅速 ・ 簡単に固定 • SUPRADUR による目盛のため、 目盛部分 の汚れ耐性が比較的高い • リミットスイッチとホーミングトラックを利用した 位置検出が可能 インクリメンタル LIP 382 LIP 372 LIP 281 LIP 481 LIP 471 DIADUR 位相格子付 Zerodur®ガラスセラミック 0.512 µm therm (0 ± 0.1) × 10–6 K–1 OPTODUR 位相格子付 Zerodur® ガラスセラミック 2.048 µm therm (0 ± 0.1) × 10–6 K–1 DIADUR 位相格子付ガラスまたは Zerodur® ガラスセラミック 4 µm therm 8 × 10 –6 K–1 (ガラス) または therm (0 ± 0.1) × 10 –6 K–1 (Zerodur) インターフェース LIP 382: » 1 VPP LIP 372: « TTL LIP 281:» 1 VPP LIP 211:EnDat 2.22) LIP 481: » 1 VPP LIP 471: « TTL 信号周期 LIP 382: 0.128 µm LIP 372: 0.004 µm1) LIP 281: 0.512 µm LIP 211: – LIP 481: 2 µm LIP 471: 0.4 µm/0.2 µm3) 精度等級 ± 0.5 µm ± 1 µm ± 1 µm; ± 0.5 µm 1信号周期あたりの 位置誤差(通常） ± 0.001 µm ± 0.001 µm 測定長 (ML) 70 ～ 270 mm 20 ～ 1020 mm 原点 なし 1個 1) 2) スケール本体 目盛線間隔 熱膨張係数 32倍分割回路内蔵 12 原点通過後に絶対位置値を確立 ± 3 µm ± 0.02 µm 370 ～ 3040 mm 70 ～ 420 mm 1個 3) 5倍/10倍分割回路内蔵 オープンタイプリニアエンコーダ PP 2 軸座標測定エンコーダ 2 軸座標測定エンコーダ PP の特徴は、スケー ル本体のガラス基板上に平面状に位相格子 が構築されているということです。 そのため平面内での位置測定が可能です。 ML = 120 mm 応用例としては次のものがあります。 • 半導体産業用計測装置および製造装置 • 電子産業用計測装置および製造装置 • 超高速の XY テーブル • 計測装置およびコンパレータ • 測定顕微鏡 インクリメンタル PP 281 LIF 481 LIF 471 スケール本体 目盛線間隔 熱膨張係数 2軸交差型TITANID 位相格子付ガラス 8 µm therm 8 × 10–6 K–1 インターフェース » 1 VPP 信号周期 4 µm 精度等級 ± 2 µm 1信号周期あたりの 位置誤差(通常） ± 0.04 µm ± 1 µm (Zerodurガラスセラミックのみ); ± 3 µm ± 0.04 µm 測定範囲 68 mm x 68 mm (その他についてはお問合せください) 原点 座標軸ごとに1個 SUPRADUR 位相格子付ガラス または Zerodur® ガラスセラミック 8 µm therm 8 × 10–6 K–1 (ガラス) または therm (0 ± 0.1) × 10–6 K–1 (Zerodur) LIF 481: » 1 VPP LIF 471: « TTL LIF 481: 4 µm LIF 471: 0.8 µm ～ 0.04 µm3) 70 ～ 1 020 mm (これより長く、 3 040 mm までの ものについてはお問い合わせください。) 1個 13 オープンタイプリニアエンコーダ LIC、LIDA 高速制御および長尺測定用 オープンタイプリニアエンコーダ LIC と LIDA は、 10 m/s までの高速制御用および最長 30 m までの長尺測定用として設計されています。 LIC は最長 28m までの絶対位置測定が可能 で、 形状寸法においてインクリメンタルリニアエン コーダ LIDA 400 や LIDA 200 とそれぞれ対応 しています。 LIC と LIDA は、 通常、 METALLUR 目盛が 形成されたスチールテープを使用しています。 ガラスもしくはガラスセラミックを使用した LIC 41x3 や LIDA 4x3 では、 低熱膨張係数 のスケールを選択可能です。 オープンタイプリニアエンコーダ LIC と LIDA の 代表的な用途は次の通りです。 • 三次元測定器 • 検査装置 • プリント基板実装機 • プリント基板用穴あけ加工機 • 精密な部品ハンドリング装置 • リニアモータの動作速度と位置測定 LIC と LIDA には、 様々な取付け方法があり、 簡単に取付けることができます。 LIC 4100 シリーズ • 最長 28m の絶対位置測定 • 各種取付け方法が選択可能 LIC 41x3, LIDA 4x3 • ガラスもしくはガラスセラミックスケールを直 接取付け面に両面テープにより接着します。 LIC 41x5, LIDA 4x5 • アルミホルダに 1 本のスチールスケール テープを入れ、 テンションをかけて両端で 固定 • アルミホルダは取付け面にネジ止めもしくは 両面テープにより接着します。 LIC 41x7, LIC 21x7, LIDA 4x7, LIDA 2x7 • アルミホルダに 1 本のスチールスケールテー プを入れ、 中心を固定 • アルミホルダは取付け面にネジ止めもしくは 両面テープにより接着します。 LIC 41x9, LIC 21x9, LIDA 4x9, LIDA 2x9 • 1 本のスチールスケールテープを直接取付 け面に両面テープにより接着します。 LIDA 400 シリーズ • 最長 30 m の長尺測定 • 各種取付け方法が選択可能 • リミットスイッチ機能付き LIC 2100 シリーズ • 絶対位置測定 • 大きな取付け公差 • 簡単な位置決め用途用 LIDA 200 シリーズ • ロールテープによる供給 • 大きな取付け公差 • 簡単な位置決め用途用 • 取付け状態表示機能による簡単な取付け アブソリュート LIC 4113 LIC 4193F/M スケール本体 目盛線間隔 熱膨張係数 LIC 4115 LIC 4117 LIC 4195F/M LIC 4197F/M METALLUR目盛格子付 ガラス または ガラスセラミック 40 µm therm 8 × 10–6 K–1 (ガラス) therm (0 ± 0.1) x 10–6 K–1 (Zerodur® ガラスセラミック) インクリメンタル LIC 4119 LIDA 483 LIC 4199F/M LIDA 473 METALLUR スチールスケールテープ 40 µm LIC 4115: therm は取付け面に準ずる LIC 4117/LIC 4119: therm 10 × 10–6 K–1 METALLUR目盛格子付 ガラス または ガラスセラミック 20 µm therm 8 × 10–6 K–1(ガラス) therm (0 ± 0.1) x 10–6 K–1 (Zerodur® ガラスセラミック) インターフェース LC 411x: EnDat 2.2 LC 419x: ファナックiインタフェース/三菱 LIDA 483: » 1 VPP; LIDA 473: « TTL 信号周期 – LIDA 483: 20 µm; LIDA 473: 4 µm/2 µm/0.4 µm/0.2 µm1) 精度等級 ± 3 µm;± 5 µm 1信号周期あたりの 位置誤差(通常） ± 0.04 µm 測定長 ML 240 ～ 3 040 mm 原点 – 1) 5倍/10倍/50倍/100倍分割回路内蔵 14 ± 5 µm 3) ± 5 µm; ± 3 µm ; ± 5 µm3);± 15 µm ± 15 µm 4) ± 1 µm ; ± 3 µm; ± 5 µm ± 0.2 µm 140 ～ 28 040 mm 240 ～ 6 040 mm 70 ～ 1 020 mm 240 ～ 3 040 mm 1個または絶対番地化原点 2) 10倍/50倍/100倍分割回路内蔵 3) 測定長1020 mm もしくは1040 mmまで LIC 4113 LIDA 485 LIC 2117 LIDA 279 LIDA 279 LIDA 485 LIDA 475 LIDA 487 LIDA 477 LIDA 489 LIDA 479 インクリメンタル LIDA 287 LIDA 277 LIDA 289 LIDA 279 アブソリュート LIC 2117 LIC 2197F/M/P LIC 2119 LIC 2199F/M/P METALLUR スチールスケールテープ スチールスケールテープ スチールスケールテープ 20 µm LIDA 4x5: therm は取付け面に準ずる LIDA 4x7/LIDA 4x9: therm 10 × 10–6 K–1 200 µm therm 10 × 10–6 K–1 200 µm therm 10 × 10–6 K–1 LIDA 48x: » 1 VPP; LIDA 47x: « TTL LIDA 28x: » 1 VPP; LIDA 27x: « TTL LIC 211x: EnDat 2.2 LIC 219x:ファナックiインタフェース/ 三菱/パナソニック LIDA 48x: 20 µm; LIDA 47x: 4 µm/2 µm/0.4 µm/0.2 µm1) LIDA 28x: 200 µm; LIDA 27x: 20 µm/4 µm/2 µm2) – ± 15 µm ± 15 µm ± 0.2 µm ± 2 µm ± 2 µm 140 ～ 30 040 mm 240 ～ 6 040 mm ロールテープ 3 m/5 m/10 m 120 ～ 3 020 mm(これより測定長の長いも についてはお問い合わせください。) 1個 100 mm毎に選択可能 – ± 5 µm ± 3 µm3); ± 3 µm;± 15 µm ± 5 µm3); ± 15 µm 4) Zerodur® ガラスセラミックの場合のみ 測定長1640 mmまで 15 長さゲージ AT、CT、MT、ST 検査ステーションおよびマルチポイント検査装置用 ハイデンハインの長さゲージは、 最長 100mm 測定長で高精度であることを特徴としています。 ベアリング内蔵のプランジャーを搭載することに より、 コンパクトな測長器として使用できます。 長さゲージ HEIDENHAIN-CERTO、 CT シリー ズは、 精密部品の製造品質管理や参照標準 器の精度確認および校正用途に使用されます。 長さゲージ HEIDENHAIN-METRO、 MT 1200 と MT 2500 シリーズは、 精密測定ステーション や検査装置用製品です。 ボールブッシュガイド 式のプランジャーを備えているので、 高いラジア ル荷重に耐えられます。 MT 60 と MT 101 は、 受け入れ検査、 工程 寸法監視、 品質管理などに適した製品です。 その他、 たとえばスライドテーブルや XY テー ブル用の高精度位置測定エンコーダとして、 簡単に取付けることもできます。 プランジャー駆動 モータ駆動によってプランジャーを駆動させ る長さゲージでは、 内蔵モータによってプラン ジャーを伸ばしたり引き込んだりします。 専用 のスイッチボックスによって操作することができ ます。 HEIDENHAIN-ACANTO • 絶対位置測定 • コンパクト形状 • プラグ - インケーブル • 測定範囲 最長 30mm カップリングを使用する長さゲージでは、 プラ ンジャー駆動機能がありません。 自由に移動 できるプランジャーを専用のカップリングに取付 け、 機械の可動部分に接続して使用します。 HEIDENHAIN-CERTO • 超高精度 • 大きな測定範囲 最長 60mm • プラグ - インケーブル • 高い熱安定性 測定物もしくはケーブルレリーズによりプラン ジャーを駆動させる長さゲージでは、 伸びきっ た位置で静止するスプリング駆動式のプラン ジャーを特徴としています。 空気圧駆動の長さゲージでは、 プランジャー は内蔵スプリングによってその静止位置へ引き 込められ、 圧縮空気によって測定位置へ伸ば されます。 HEIDENHAIN-ACANTO AT シリーズと HEIDENHAIN-SPECTO ST シリーズは非常に 小さい寸法形状となっており、 マルチポイントで の検査装置や試験装置用途に最適です。 HEIDENHAIN-METRO MT 1200 と MT 2500 • 高精度 • 測定範囲 最長 25mm • 高い繰返し性 HEIDENHAIN-METRO MT 60 と MT 101 • 測定範囲 最長 100mm • 高い繰返し性 HEIDENHAIN-SPECTO • コンパクト形状 • 最大測定範囲 30mm • ボールブッシュガイドプランジャー アブソリュート AT 1218 AT 1217 AT 3018 AT 3017 インクリメンタル CT 2501 CT 6001 CT 2502 CT 6002 MT 1281 MT 1287 MT 1271 スケール本体 DIADUR 目盛付ガラス DIADUR 位相格子付 Zerodur® ガラスセラミック 熱膨張係数: therm 0 ± 0.1 × 10–6 K–1 目盛線本数 188.4 µm 4 µm 4 µm インターフェース EnDat 2.2 » 11 µAPP » 1 VPP « TTL 信号周期 – 2 µm 2 µm 0.4 µm / 0.2 µm3) システム精度 ± 2 µm ± 0.1 µm ± 0.03 µm2) ± 0.1 µm1) ± 0.05 µm2) ± 0.2 µm 測定範囲 12 mm 25 mm 60 mm 12 mm プランジャー駆動方式 AT xx18: 測定物による AT xx17: 空気圧 CT xx01: モータ駆動 CT xx02: カップリング使用 MT xxx1: ケーブル・リフター または フリー動作 MT xx87: 空気圧駆動 原点 – 1個 1個 1) 2) 3) 1) 30 mm 19 °C ～ 21 °C; 測定中の温度変化を±0.1Kとする 評価回路において直線誤差補正をした場合 5倍/10倍分割回路内蔵 16 MT 101M MT 2581 MT 2587 MT 2571 CT 6001 MT 60 M MT 60 K MT 101 M MT 101 K ST 1288 ST 1287 AT 3018 ST 1278 ST 1277 ST 3088 ST 3088 ST 3087 ST 3078 ST 3077 DIADUR 目盛付ガラスセラミック DIADUR 目盛付ガラス 10 µm 20 µm » 11 µAPP » 1 VPP « TTL » 1 VPP « TTL 20 µm 4 µm / 2 µm3) 20 µm 4 µm / 2 µm3) » 1 VPP « TTL 2 µm 0.4µm / 0.2 µm3) 10 µm 25 mm MT 2581 ± 0.5 µm ± 1 µm ± 1 µm 60 mm 100 mm 12 mm MT xxM: モータ駆動 MT xxK: カップリング使用 ST xxx8: 測定物による ST xxx7: 空気圧 1個 1個 30 mm 17 角度測定 角度エンコーダ ハイデンハイン製角度エンコーダは、 1 角度 秒以内での高精度測定ができるという特徴を 持っています。 これらの製品の用途としては、 ロータリテーブル、 工作機械のスイベルヘッド ( 旋回主軸 )、 角度割出し装置、 精密角度 測定テーブル、 精密角度測定基準器、 アン テナ、 望遠鏡などです。 • 目盛線本数 : 通常 9000 本～ 180000 本 • システム精度 : ± 5” ～ ± 0.4” • 分解能 : 0.000 01° または 0.036”( インクリ メンタル )、 または 29 ビット、 すなわち 1 回 転当たり約 536,000,000 の位置値 （アブソ リュート） 18 ロータリエンコーダ ハイデンハイン製ロータリエンコーダは、 回転 運動量と回転速度などを検出するセンサとし て使用されるほか、 送りネジ （ボールねじ） のような機械的位置の測定標準器と共に使 用することで、 直線運動量の検出センサとし て使用できます。 製品の用途としては、 電動 モータ、 工作機械、 印刷機械、 木工機械、 紡績機、 ロボット、 搬送装置、 および各種計 測、 試験 ・ 検査装置です。 • 目盛線本数 : 通常 50 本～ 5000 本 • システム精度 : ± 10”( 目盛線本数による。 目盛間隔の ± 1/20 に相当。） • 分解能 : 0.001° とりわけ、 光電走査式のエンコーダにお ける高品質の正弦波インクリメンタル信号 は、 デジタル速度制御用に高い内挿分 割が可能です。 インクリメンタルの角度 ・ ロータリエンコーダ の位置データは、 データのデータムから始めて カウントした測定ステップ数、 あるいは内挿分 割と信号周期をカウントすることによって求めら れます。 ハイデンハイン製のインクリメンタル角 度 ・ ロータリエンコーダには原点があり、 電源 投入後にデータ基準点を再現するために、 原 点を走査する必要があります。 取付け方法 角度エンコーダとロータリエンコーダのうち、 ベアリングを内蔵し、 ステータカップリング付 きのものは、 エンコーダの目盛ディスクを測定 側シャフトに直接取付けます。 走査ユニットは ベアリングを介してシャフトの外周上に配置さ れ、 ステータカップリングにて支持されます。 したがって、 シャフトに回転加速度が加わって いる間、 ベアリング内部から摩擦トルクのみを ステータカップリングによって緩和すれば良い ので、 静止時と動作時での角度測定誤差を 最小限に抑えることができます。 さらに、ステー タ側に取付けられたカップリングが、 駆動シャ フトの軸方向の振れを抑えます。 ステータカッ プリング使用によるその他のメリットは、 以下の とおりです。 • 取付けが容易 • 厚みが抑えられる • カップリングによる固有振動周波数が高い • 中空シャフトにて製作が可能 磁極検出位置信号付のインクリメンタル ・ ロータリエンコーダは、 原点出し動作を行わ ずに、 三相モータ内の永久磁石が発生させる 回転磁界の位相制御を正しく行うためのシャ フト停止位置データを十分な精度にて与えてく れます。 アブソリュートの角度 ・ ロータリエンコーダは、 原点出し動作を行わずに、 現在の位置を検出 します。 シングルターン ・ エンコーダは、 1 回 転内での角度位置データを与えられますが、 マ ルチターン ・ エンコーダでは、 回転回数の検 出も行います。 その位置データは、 EnDat、 SSI、 PROFIBUS-DP、 PROFINET、 もしくは他 のシリアルデータインターフェースによって転送 されます。 EnDat インターフェース、PROFIBUSDP、もしくは PROFINET では、高度な電子制御 による自動的な動作環境設定、 監視機能およ び自己診断機能が可能です。 角度エンコーダとロータリエンコーダのうち、 ベア リングを内蔵し、 カップリング外付けのものは、 固定シャフトとして設計されています。 推奨カッ プリングで取付けた計測側シャフトは、 半径方 向と軸方向の取付け寸法公差内での検出角度 の精度を保証いたします。 カップリング外付け 型角度エンコーダは、 より高速回転でのご使用 が可能です。 機能安全のもとで、 ハイデンハインは安全位 置計測システム用にシングルエンコーダシステ ムとしてシリアルデータ伝送搭載のエンコーダ 製品をご提案します。 エンコーダ内には二つ の計測値がそれぞれ独立して形成されており、 EnDat インターフェースを経由して安全制御装 置へ伝送されます。 角度エンコーダとロータリエンコーダのうち、 ベアリングを内蔵しないものは、 摩擦抵抗 がありません。 走査ヘッドと、 目盛の刻まれ たディスク／ドラムあるいはテープの、 二つの 構成要素相互の位置調整は組立時に行い ます。 このエンコーダを使用することのメリット は、 以下のとおりです。 • 狭いスペース取付け • 中空シャフト径が大きい • シャフトの高速回転が可能 • 始動トルクが一切なし 角度エンコーダ シリーズ ページ ベアリング内蔵および ステータカップリング付 アブソリュート (シングルターン) インクリメンタル RCN RON, RPN 20 ベアリング内蔵およびカップリング外付け型 インクリメンタル ROD 22 ベアリングを内蔵しない インクリメンタル ERP, ERO, ERA 23 – 27 インクリメンタル ERM 28 ベアリング内蔵およびステータカップリング付 アブソリュート (シングルターン/マルチターン) インクリメンタル ECN/EQN ERN 30 – 33 ベアリング内蔵およびカップリング外付け型 アブソリュート (シングルターン/マルチターン) インクリメンタル ROC/ROQ, RIC/RIQ ROD 34 ベアリングを内蔵しない アブソリュート (シングルターン/マルチターン) インクリメンタル ECI/EQI,EBI ERO 36 組込み型エンコーダ ロータリエンコーダ 19 角度エンコーダ RCN、RON、RPN ベアリング内蔵、 ステータカップリング付 ベアリング、 ステータカップリング内蔵の角度 エン コー ダ RCN、 RON、 RPN は、 静 的 お よび動的な高い精度特性をもち、 ロータリテー ブル、 チルト軸などの精度の必要な場所へ の組込みに適しています。 ディスク本体には DIADUR 目盛、 RPN の場合は位相格子目 盛が刻まれています。 ステータカップリング内 蔵機種の精度はカップリングによって引き起こ される測定誤差も含まれます。 カップリング外 付けの機種では、 カップリングの誤差分を加え る必要があります。 RCN 2000 および RON 200 シリーズ • コンパクトな形状 • 堅牢な機構設計 • ロータリテーブル、ターンテーブル、傾斜テー ブルの角度割り出しおよび速度制御用 • ステンレススチールタイプもご要望に応じて 可能です。 （例 : アンテナ用など） RCN 5000 シリーズ • 取付けスペースが小さい大口径中空シャフト • RCN 2000 および RON 200 と同じ取付け 面積のステータカップリング RCN 8000、 RON 700 および RON/RPN 800 シリーズ • 中空シャフト径が大きい （¬ 100 mm まで） • システム精度 ± 2“ と ± 1“ の両タイプあり • ロータリテーブル、 角度測定装置、 角度 割出し装置、 計測装置、 画像スキャナー 用途 角度エンコーダ RCN 2000, RCN 5000 および RCN 8000 シリーズの特徴 • 以下に代表される最適化された走査方式 - 大きな走査面 - シリアルコード構造のアブソリュートトラック - シングルフィールドと光学フィルター技術に よるインクリメンタルトラックの光電走査 • ねじり剛性とシャフトシーリングを改善し最適 化されたステータカップリングによる大きな 取付け公差 • 迅速に取外し可能なプラグ - インケーブル • 走査方式とインターフェースユニットにより 広い供給電源範囲とエンコーダの監視と診 断が可能 20 RCN 8000 D = 60 mm もしくは 100 mm RON 786/886, RPN 886 D = 60 mm RON 905 • 非常に高精度な角度エンコーダ • システム精度 ± 0.4“ • 高精度計測装置、 測定装置の校正用途 アブソリュート RCN 2380 RCN 2580 インターフェース RCN 2310 RCN 25101) RCN 2390 F RCN 2590 F RCN 2390 M RCN 2590 M インクリメンタル RON 225 RON 275 RON 285 RON 287 EnDat 2.22) ファナック iインタフェース 三菱 « TTL » 1 VPP 1) 2) EnDat 2.2 (» 1 VPP付) 位置値/回転 RCN 23x0: 67 108 864 (26 ビット); RCN 25x0: 268 435 456 (28 ビット) – 信号周期/回転 16 384 18 0003) 18 000 90 000/180 0004) システム精度 RCN 23x0: ± 5“; RCN 25x0: ± 2.5“ 機械的許容回転数 ≦ 1 500 min – –1 1) 2) EnDat 2.2 (» 1 VPP付) RCN 5310 RCN 55101) RCN 5390 F RCN 5590 F RCN 5390 M RCN 5590 M EnDat 2.22) ファナック iインタフェース 三菱 位置値/回転 RCN 53x0: 67 108 864 (26 ビット); RCN 55x0: 268 435 456 (28 ビット) 信号周期/回転 16 384 システム精度 RCN 53x0: ± 5“; RCN 55x0: ± 2.5“ 機械的許容回転数 ≦ 1 500 min – –1 アブソリュート RCN 8380 RCN 8580 インターフェース ± 5“; ± 2.5“ ≦ 3 000 min–1 アブソリュート RCN 5380 RCN 5580 インターフェース ± 5“ 2) EnDat 2.2 (» 1 VPP付) 1) RCN 8310 RCN 85101) RCN 8390 F RCN 8590 F RCN 8390 M RCN 8590 M EnDat 2.22) ファナック iインタフェース 三菱 インクリメンタル RON 786 RON 886 » 1 VPP 位置値/回転 536 870 912 (29 ビット) – 信号周期/回転 32 768 18 000 36 000 36 000 システム精度 RCN 83x0: ± 2“; RCN 85x0: ± 1“ ± 2“ ± 1“ 機械的許容回転数 ≦ 500 min – –1 インクリメンタル RON 905 インターフェース » 11µAPP 信号周期/回転 36 000 システム精度 ± 0.4“ 機械的許容回転数 ≦ 100 min RPN 886 180 000 ≦ 1 000 min–1 1) 機能安全はお問合せください DRIVE-CLiQ への接続はEIB経由; PROFIBUS-DP への接続はゲートウェイ経由 3) 2倍分割回路内蔵 4) 5倍/10倍分割回路内蔵 2) DRIVE-CLiQ はSiemens AG社の登録商標です。 –1 21 角度エンコーダ ROD ベアリング内蔵、 カップリング外付けタイプ シャフトにカップリングを取付けるタイプの角度 エンコーダ ROD は、高速回転のアプリケーショ ンや、 取付け公差を大きく取る必要があるアプ リケーションに適しています。 精密カップリング を使用することで、 軸の振れ公差は ± 1 mm までとすることができます。 ROD 200 シリーズ • コンパクトな形状 • 堅牢な機構設計 • ロータリテーブルや傾斜テーブルの角度割り 出しや同期監視用 角度エンコーダ ROD は、 DIADUR 目盛ディ スクを特徴としています。 カップリング外付けの角度エンコーダでは、 カップリングが原因で発生する角度測定誤差 を考慮する必要があります。 インクリメンタル ROD 220 ROD 270 ROD 280 インターフェース « TTL « TTL » 1 VPP 信号周期/回転 18 0002) 180 0003) 18 000 1) システム精度 ± 5“ 機械的許容回転数 ≦ 10 000 min –1 1) シャフトカップリングなし 2倍分割回路内蔵 3) 10倍分割回路内蔵 2) ROD 780、ROD 880 • 高いシステム精度 ROD 780:± 2“ ROD 880:± 1“ • 高精度ロータリテーブル、割出し装置、計測 装置などの角度測定用途 インクリメンタル ROD 780 インターフェース » 1 VPP 信号周期/回転 18 000、 36 000 36 000 システム精度 ± 2“ ± 1“ 機械的許容回転数 ≦ 1 000 min 1) 1) 22 ROD 880 シャフトカップリングなし –1 角度エンコーダ ERP ベアリングを内蔵しない ハイデンハイン製ベアリングを内蔵しない角度 エンコーダ ERP は、 機械要素や構成部品へ の組込みを考慮しています。 摩擦抵抗がなく、 高精度が可能です。 ERP 880 • 超高精度 • 非常に細かい目盛間隔 • 干渉走査方式により 1 信号周期内の 誤差が小さい そのため、 特に精密角度測定テーブルおよ び角度計測用途の精密機器に適しています。 角度エンコーダ ERP 4080 および ERP 8080 は、 クリーンルームでのアプリケーション用に設 計されています。 ハウジング付ERP 880 位相格子付目盛ディスクにより ERP の高い精 度が可能になります。 得られるシステム精度は、 駆動シャフトの軸受 けに対する目盛ディスクの偏心度と、 ラジアル 振れによって異なります。 インクリメンタル ERP 880 インターフェース » 1 VPP 信号周期/回転 180 000 目盛精度 ± 0.9“ 機械的許容回転数 ≦ 1 000 min –1 ERP 880の取付 ERP 4080 および ERP 8080 • 高分解能 • 高精度 • 超小型 • 干渉走査方式により 1 信号周期内の 誤差が小さい インクリメンタル ERP 4080 ERP 8080 インターフェース » 1 VPP 信号周期/回転 131 072 360 000 目盛精度 ± 2“ ±1“ 径 D1/D2 8 mm/44 mm 50 mm/108 mm 機械的許容回転数 ≦ 300 min –1 ≦ 100 min–1 23 角度エンコーダ ERO、 ERA ベアリングを内蔵しない ハイデンハインのベアリングを内蔵しない角度 エンコーダ ERO と ERA は、 機械要素や構成 部品への組込みを考慮しています。 得られるシステム精度は、 駆動シャフトの軸受 けに対する目盛ディスクの偏心度と、 ラジアル 振れや揺動によって異なります。 角度エンコーダ ERO は、 ガラス製目盛ディス クとハブで構成されています。 軽量かつコンパ クトな形状が主な特徴です。 各種計測装置、 小型ロータリーテーブル、 そして高精度で動 的特性の高い用途に使用されます。 ERO 6000 シリーズ • 平面形状 • 高いシステム精度 • 取付が簡単 ERO 6100 シリーズ • 高精度を必要としない用途向け • 印刷機械や搬送軸での使用 • 大きな内径 角度エンコーダ ERA は、 堅牢なスチールス ケールドラムを使用していることが特徴です。 –1 10 000 min までの高速回転に適しています。 高速スピンドル、 ロータリーテーブルやチルト軸 に使用されます。 ERA 4000 シリーズ –1 • 10 000 min までの高速回転 • METALLUR 目盛付きスチールドラムを使 用した堅牢な設計 • 許容軸方向変位量 :± 0.5 mm まで • 特に高速スピンドルとボールねじ用 • ERA 4480 C は、 さらに大きな径、 または 保護カバー付きが可能。 • ドラムの種類が選択できる ERA 4x80 C: ソリッドタイプ、 はめあい機能 付き、 高速用 ERA 4282 C: ソリッドタイプ、 3 箇所の点に て芯振れ調整、 高精度用 インターフェース 内径 D1 外径 D2 信号周期/回転 目盛精度 ERO 6000 機械的許容回転数 ERA 4000 ERA 4000 24 ERA 4280 C ERA 4480 C ERA 4880 C インクリメンタル ERO 6070 ERO 6080 ERO 6180 インターフェース « TTL » 1 VPP » 1 VPP 内径 D1 25 mm 95 mm 25 mm 95 mm 41 mm 外径 D2 71 mm 150 mm 71 mm 150 mm 70 mm 信号周期/回転 45 000 ～ 450 000 90 000 ～ 900 0001) 9 000 18 000 4 096 目盛精度 ± 3“ ± 2“ ± 3“ ± 2“ ± 10“ 機械的許容回転数 ≦ 1 600 min 1) 1) –1 –1 –1 ≦ 800 min –1 ≦ 1 600 min –1 ≦ 800 min ≦ 3 500 min 内蔵回路にて 5/10/50倍分割後 インクリメンタル ERA 4280 C1) 信号周期 20 µm ERA 4480 C 信号周期 40 µm ERA 4880 C 信号周期 80 µm » 1 VPP 40 mm 70 mm 80 mm 120 mm 150 mm 180 mm 270 mm 425 mm 512 mm 76.75 mm 104.63 mm 127.64 mm 178.55 mm 208.89 mm 254.93 mm 331.31 mm 484.07 mm 560.46 mm 12 000 6 000 3 000 16 384 8 192 4 096 20 000 10 000 5 000 28 000 14 000 7 000 32 768 16 384 8 192 40 000 20 000 10 000 52 000 26 000 13 000 – 38 000 – – 44 000 – ± 5” ± 3.7” ± 3” ± 2.5” –1 ≦ 10 000 min 1) –1 ≦ 8 500 min –1 ≦ 6 250 min ± 2” –1 ≦ 4 500 min –1 ≦ 4 250 min –1 ≦ 3 250 min –1 ≦ 2 500 min –1 ≦ 1 800 min –1 ≦ 1 500 min 上記以外のドラム径については、ハイデンハインのカタログ「ベアリングを内蔵しない角度エンコーダ」をご参照ください。 25 角度エンコーダ ERA ベアリングを内蔵しない ハイデンハインはスチールスケールテープを 用いたベアリングを内蔵しない角度エンコーダ ERA を用意しています。 機械要素もしくはコン ポーネント組込み用に、 以下条件を満たすよ う設計されています。 • 最大径 10 m の大口径中空シャフト対応 • ロータリシャフトシールにより余分な始動トル クなし 得られるシステム精度は、 スケールテープ本 体の加工精度、 ラジアル振れや揺動によって 異なります。 スペーサ ERA 7000 および ERA 8000 シリーズ • 最大径 10 m の大口径対応 • METALLUR スチールスケール • スケールテープ端部の接合部においても高 精度を維持 ERA 7000 シリーズ スケールテープを機械の内側に設けた内溝に 差込み固定します。 • ERA 7400 C: 全円周測定用 • ERA 7401 C: 部分角測定用 ERA 7481C 7481 C ERA 7400 C ERA 8000 シリーズ スケールテープを機械の外周に固定します。 • ERA 8400 C: 全円周測定用 • ERA 8401 C: 部分角測定用 （テンション金具を用いてス ケールテープを固定） • ERA 8402 C: 部分角測定用 （テンション金具を用いずにス ケールテープを固定） ERA 8400 C ERA 8480 C 26 インクリメンタル ERA 7400 C インターフェース » 1 VPP; 信号周期 40 µm (円周で) 信号周期/回転 36 000 45 000 90 000 目盛精度 ± 3.9“ ± 3.2“ ± 1.6“ スケールテープの精度 ± 3 µm / m（スケールテープ全長において） 径 D1 458.62 mm 機械的許容回転数 ≦ 250 min 573.20 mm –1 1 146.10 mm –1 ≦ 220 min インクリメンタル ERA 8400 C インクリメンタル信号 » 1 VPP; 信号周期 40 µm (円周で) 信号周期/回転 36 000 45 000 90 000 目盛精度 ± 4.7“ ± 3.9“ ± 1.9“ スケールテープの精度 ± 3 µm / m（スケールテープ全長において） 径 D1 458.04 mm 機械的許容回転数 ≦ 50 min –1 572.63 mm 1145.73 mm –1 ≦ 45 min 27 組込み型エンコーダ ERM ベアリングを内蔵しない ハイデンハインの組込み型エンコーダ ERM は、 磁気式目盛ドラムと磁気抵抗センサ部から構 成されています。 MAGNODUR スケール目 盛と磁気抵抗センサにより特に耐コンタミ性に 優れています。 一般的な使用例としては、 埃が多く、 水飛沫 がかかる環境での、 旋盤またはフライス盤のス ピンドルのような貫通シャフト径が大きな機械 または装置などで、 あまり高い精度を要求され ない用途向けです。 • ERM 2200 は回転軸やチルト軸用途 • ERM 200 と ERM 2410 は旋盤の C 軸用途 • ERM 2400 と ERM 2900 はフライス盤の主軸 用途 ERM 200 ERM 2200 目盛ドラム ERM 2200 シリーズ • 高い目盛精度ドラムで構成 • 円周上において信号周期 200 µm • 絶対番地化原点 • 目盛ドラムを軸方向に挿入しネジ固定 ERM 200 シリーズ • 大口径対応 410 mm まで • 目盛ドラムを軸方向に挿入しネジ固定 ERM 200 ERM 2410 • ERM 2410 走査ヘッドと ERM 200C 目盛ド ラムで構成 • 絶対番地化原点によるインクリメンタル信号 検出 • 内蔵カウンタ機能により絶対位置値を出力 • 2つの参照マークを通過することで絶対位置 値を確立 ERM 2404 ERM 2904 目盛ドラム ERM 2400 シリーズ • 狭いスペース取付けに適したコンパクト形状 • 高速回転対応のためスピンドル用途に最適 • ERM 2484: 目盛ドラムを軸方向に挿入し締 付けて固定 • ERM 2485: 目盛ドラムを軸方向に挿入し締 付けて固定。フェザーキーにより回転ずれを 防止。 ERM 2405 目盛ドラム ERM 2484 ERM 2984 シリーズ 組込型エンコーダERM 2984は、目盛線本数 を除いて、ERM 2484と同じ機械的および電 気的仕様です。 28 インクリメンタル ERM 2200 インターフェース » 1 VPP 信号周期 約 200 µm (円周で) 内径 D1 70 mm 80 mm 130 mm 180 mm 260 mm 380 mm 外径 D2 113.16 mm 128.75 mm 176.03 mm 257.50 mm 326.90 mm 452.64 mm 目盛線本数/目盛精度 1800 / ± 7“ 2048 / ± 6“ 2800 / ± 5“ 4096 / ± 3.5“ 5200 / ± 3“ 7200 / ± 2.5“ 1) –1 シャフト回転数 ≦ 14 500 min 使用温度 –10 °C ～ 60 °C –1 ≦ 13 000 min –1 ≦ 9 000 min –1 ≦ 6 000 min –1 ≦ 4 500 min –1 ≦ 3 000 min インクリメンタル ERM 220 ERM 280 ERM 2410 « TTL ERM 2410: EnDat 2.22) ERM 220: 信号周期 約 400 µm (円周で); ERM 2410: – 内径 D1 40 mm 70 mm 80 mm 120 mm 130 mm 180 mm 220 mm 295 mm 410 mm 外径 D2 75.44 mm 113.16 mm 128.75 mm 150.88 mm 176.03 mm 257.50 mm 257.50 mm 326.90 mm 452.64 mm 目盛線本数/目盛精度 600 / ± 11“ 900 / ± 8“ 1 024 / ± 7“ 1 200 / ± 6“ 1 400 / ± 5.5“ 2 048 / ± 4“ 2 048 / ± 5“ 2 600 / ± 4“ 3 600 / ± 3.5“ シャフト回転数 ≦ 19 000 ≦ 14 500 ≦ 13 000 ≦ 10 500 ≦ 9 000 ≦ 6 000 ≦ 6 000 ≦ 4 500 ≦ 3 000 使用温度 –10 °C ～ 100 °C 1) min–1 min–1 ERM 280: » 1 VPP インターフェース min–1 min–1 min–1 min–1 インクリメンタル ERM 2484 ERM 24853) min–1 min–1 min–1 ERM 29844) インターフェース » 1 VPP 信号周期 約 400 µm (円周で) 内径 D1 40 mm 55 mm 55 mm 40 mm 55 mm 100 mm 外径 D2 64.37 mm 75.44 mm 113.16 mm 128.75 mm 77.41 mm 120.96 mm 目盛線本数/目盛精度 512 / ± 17“ 600 / ± 14“ 900 / ± 10“ 1024 / ± 9“ 256 / ± 51“ 400 / ± 33“ シャフト 1) 回転数 使用温度 1) 3) ERM 2484 ≦ 42 000 min–1 ERM 2485 ≦ 33 000 min–1 約 1 mm (円周で) –1 ≦ 36 000 min –1 ≦ 27 000 min –1 ≦ 22 000 min – –1 ≦ 20 000 min – –1 ≦ 35 000 min – –1 ≦ 16 000 min – –10 °C ～ 100 °C 機械的許容回転数 外径 D2は、64.37 mmと75.44 mmのみ。 2) 4) 2つの参照マークを通過した後、内蔵カウンタ機能により確立 上記以外のドラム径については、お問い合わせください。 29 ロータリエンコーダ ECN、EQN、ERN ベアリング内蔵、 ステータカップリング組込型 保護等級 IP 64 ハイデンハインのベアリング内蔵 / ステータ カップリング組込み型ロータリエンコーダ ECN、 EQN、 ERN は、 光電走査方式です。 これら は取付けが簡単で、 全長が短いことが特徴で す。 その用途範囲はサーボドライブにおける簡 単な測定から位置および回転数制御まで行い ます。 中空シャフトのエンコーダは、 測定側の シャフトに直接固定されます。 ステータカップ リングは加減速中のベアリングの摩擦によって 生じるトルクを吸収します。 ステータカップリン グ組み込み型のロータリエンコーダは、 優れた 動的性能と、 高い共振周波数を示します。 ECN, EQN, ERN 1000 シリーズ • 小型タイプ • 内径 6mm の片側中空シャフト • ハウジング外形寸法 35 mm • エンコーダのステータカップリングの 共振周波数 : ≧ 1500 Hz –1 • 機械的許容回転数 : ≦ 12000 min インターフェース 位置値/回転 回転数 目盛線本数 電源 防爆指令 94/9/EG(ATEX) に従った防爆対応 製品も用意しています。 （機器分類 II、 カテゴリー 2、 Zone 1,21,2,22 に対応） ECN/EQN/ERN 1000 ECN/EQN/ERN 400 ECN/ERN 100 30 ECN, EQN, ERN 400 シリーズ • コンパクトタイプ • 内径 8mm もしくは 12 mm の片側中空シャ フトまたは中空シャフト • ハウジング外形寸法 :58 mm • 保護等級 : ハウジング側で IP 67 （中空シャフトで IP 66 ） シャフト引込み口で IP 64 （IP 66 についてはお問い合わせください） • エンコーダのステータカップリングの 共振周波数 : ≧ 1400 Hz( ケーブルバージョン ) –1 • 機械的許容回転数 : ≦ 12000 min ECN/ERN 100 シリーズ • 大きなシャフト径用 • 中空シャフトの内径 D: 20 mm、 25 mm、 38 mm、 50 mm • ハウジング外形寸法 :87 mm • エンコーダのステータカップリングの 共振周波数 : ≧ 1000 Hz • 機械的許容回転数 : –1 ≦ 6000 min (D ≦ 30 mm) –1 ≦ 4000 min (D ＞ 30 mm) インターフェース 位置値/回転 回転数 目盛線本数 電源 アブソリュート ECN 1013 EQN 1025 ECN 1023 EQN 1035 インクリメンタル ERN 1020 ERN 1030 ERN 1070 ERN 1080 « TTL2) » 1 VPP EnDat 2.21)(» 1 VPP付) EnDat 2.21) « TTL 8 192 (13 ビット) 8 388 608 (23 ビット) – – – – 4 096 (12 ビット) 512 4 096 (12 ビット) – 100 ～ 3 600 3.6 ～ 14 V 5V アブソリュート ECN 4133) EnDat 2.21) (» 1 VPP付) « HTL EQN 4253) PROFIBUS-DP EnDat 2.21) (» 1 VPP付) PROFINET 1000/2500/3600 100 ～ 3 600 10 ～ 30 V ECN 4254) ECN 425 F ECN 425 M ECN 424 S4) 5V インクリメンタル 3) EQN 4374) ERN 4203) ERN 430 EQN 437 F ERN 460 EQN 437 M EQN 436 S4) PROFIBUS-DP EnDat 2.21) PROFINET ファナックiインタフェース « TTL « TTL SSI SSI 8 192 (13 ビット) 8192 (13ビット) ECN 425: 33554432(25 ビット) – ECN 424: 16777216(24 ビット) – 4 096 (12 ビット) – « HTL ERN 4803) » 1 VPP 三菱 DRIVE-CLiQ 4096(12ビット) – 512もしくは 2 048 – 512 もしくは 2 048 – – 250 ～ 5 000 3.6V～ 14 V 5 Vもしくは 10 V～ 30 V 9V ～ 36V 10 V～ 30 V 3.6V ～ 14 V 5 Vもしくは 10 V～ 30 V 9V ～ 36V 10 V～ 30 V 3.6V～ 14 V 3.6V～ 14 V 10V～ 28.8 V 5V 10V～ 30 V 1 000 ～ 5 000 10 V～ 30 V 5V PROFIBUS-DP/PROFINET アブソリュート ECN 113 ECN 125 インクリメンタル ERN 120 ERN 130 ERN 180 EnDat 2.2 EnDat 2.21) « TTL « HTL » 1 VPP 位置値/回転 8 192 (13 ビット) 33 554 432 (25 ビット) – 目盛線本数 2 048 – 1 000 ～ 5 000 電源 5V 3.6V～5.25 V 5V 10V～30 V 5V インターフェース 1) (» 1 VPP付) 1) EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS-DPへの接続はゲートウェイ経由。 5/10倍分割回路内蔵 3) ATEX対応版もあります(ECN 413/EQN 425、5V電源、EnDat 2.1) 4) 機能安全はお問合せください 2) 31 ロータリエンコーダ ECN、EQN、ERN ベアリング内蔵、 ステータカップリング組込型 保護等級 IP 40 ハ イ デ ン ハ イ ン の ロ ー タ リ エ ン コ ー ダ ECN、 EQN、 ERN は、 保護等級 IP 40 でモータの 組込みに適しています。 このロータリエンコーダ は、 ベアリングを内蔵しステータ側にカップリン グが組込まれています。 同期モータ用にはアブ ソリュートロータリエンコーダや、 磁極検出位置 信号トラック付のタイプも用意しています。 テー パシャフト、 もしくは片側中空シャフトのエンコー ダは、 測定側のシャフトに直接固定されます。 それにより高い結合性が得られ、 駆動の動的 性能が非常に高くなります。 ステータカップリン グは、 平たい取付け面もしくは位置決め穴に固 定されるように設計されており、 迅速かつ簡単 に取付けが可能です。 ECN/EQN 1100 シリーズ • 小型タイプ • ¬ 6 mm の片側中空シャフト、 調整治具付 • ハウジング外形寸法 35 mm • エンコーダのステータカップリングの 共振周波数 : ≧ 1000 Hz –1 • 機械的許容回転数 : ≧ 12 000 min • カップリングの緩み対策 ( 機能安全対応 ) ERN 1123 • ¬ 8 mmの片側中空シャフト • ハウジング外形寸法 35 mm • 取付ボルト穴径 ¬ 40 mmの ステータカップリング • エンコーダのステータカップリングの 共振周波数: ≧ 1 000 Hz • 機械的許容回転数 6 000 min–1 ERN/ECN/EQN 1100 ERN 1123 ERN/ECN/EQN 1300 32 ECN/ EQN/ ERN 1300 シリーズ • コンパクトタイプ • 堅牢結合用 1:10 のテーパシャフト、 ファン クション径 9.25 mm • ハウジング外形寸法 56 mm ステータカップ リングは内径 65 mm の接続穴に適合 • エンコーダのステータカップリングの共振周 波数 : ≧ 1800 Hz • 機械的許容回転数 : –1 ERN/ECN: 15 000 min –1 12 000 min EQN: • 保護等級 IP 40 （取付時） • カップリングの緩み対策 ( 機能安全対応 ) アブソリュート ECN 1113 EQN 1125 ECN 1123 インターフェース EnDat 2.21)(» 1 VPP付) EnDat 2.21) « TTL 位置値/回転 8 192 (13 ビット) 8 388 608 (23 ビット) – 回転数 – 目盛線本数 512 – 500 ～ 8 192 磁極検出位置信号 – – 磁極検出位置信号3) 電源 3.6 ～ 14 V 5V 使用温度 ≦ 115 °C ≦ 90 °C 2) 4 096 (12ビット) – EQN 11352) インクリメンタル ERN 1123 4 096 (12ビット) – 1) EnDat 2.1 コマンドセットを含む。ゲートウェイを介したPROFIBUS-DPへの接続はゲートウェイ経由。 機能安全はお問い合わせください。 3) 機械的位相シフト90°、 120° 、もしくは 180°の3つの磁極検出位置信号 2) アブソリュート ECN 1313 EQN 1325 4) ECN 1325 インクリメンタル EQN 13374) ERN 1321 ERN 1326 インターフェース EnDat 2.21)(» 1 VPP付) EnDat 2.21) « TTL 位置値/回転 8 192 (13 ビット) 33 554 432 (25 ビット) – 回転数 – – – 目盛線本数 512 もしくは 2 048 磁極検出位置信号 4 096 (12 ビット) 4 096 (12 ビット) – ERN 1381 ERN 1387 » 1 VPP 1 024 2 048 4 096 512 2 048 4 096 2 048 – – – Z1 トラック 3) 電源 3.6 ～ 14 V 5V 使用温度 ≦ 115 °C ≦ 120 °C; 4 096 本: ≦ 100 °C 磁極検出 位置信号2) 1) EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS-DPへの接続はゲートウェイ経由。 機械的位相シフト90°もしくは120° の3つの磁極検出位置信号 3) 1回転1ピッチの正弦波/余弦波信号付 4) 機能安全はお問い合わせください。 2) 33 ロータリエンコーダ ROC、ROQ、ROD および RIC、RIQ ベアリング内蔵、 カップリング外付けタイプ 手動パルス発生器 HR ハイデンハインの光学式エンコーダ ROC、 ROQ、 ROD およびインダクティブ方 式エンコーダ RIC、 RIQ は、 ベアリング内蔵 のシールドタイプです。 保護等級は、 IP 64 ～ IP 67 を用意しています。 これらは頑丈でコン パクトな形状となっています。 駆動シャフトまたはスピンドルに連結するには、 ロータ側のカップリングを介して行います。 この カップリングは、 エンコーダシャフトと駆動シャ フト間の整合誤差や軸変位を補正する働きを します。 ROC, ROQ, ROD 1000 シリーズ • 小型機器や組立スペースの狭い場所に適 する小型形状 • シンクロフランジにて取付け • シャフト径 4 mm 手動パルス発生器 HR • コンパクト形状 • 堅牢設計 • 機械式クリックストップ ROD 1000シリーズ HR 1120 防爆指令 94/9/EG(ATEX) に従った防爆対応 製品も用意しています。 （機器分類 II、 カテゴリー 2、 Zone 1,21,2,22 に対応） ROC, ROQ, ROD 400 シリーズ • 寸法および出力信号に関しては工業規格と なっています。 • 保護等級 IP 67 （ハウジング部） IP 64 （シャフト部、 IP 66 はお問い合わ せください ) • シンクロフランジまたはクランプフランジにて 取付け • シャフト径 シンクロフランジ 6 mm クランプフランジ 10 mm • 推奨タイプについては、 カタログ ロータリエンコーダ を参照ください • カップリングの緩み対策 ( 機能安全対応 ) シンクロフランジ ROD 400 シリーズ シンクロフランジ付 RIC/RIQ 400シリーズ • インダクティブ走査方式 • 高精度が要求されない用途向き ± 480“まで • 機械的設計はROC/ROQ 400と同じ シンクロフランジ アブソリュート RIC 418 RIQ 430 ROC 413 ROC 425 ROC 413 クランプフランジ クランプフランジ 手動パルス発生器 HR は、 ベアリングを内蔵 し、 機械式クリックストップ機能があります。 位 置決めや自動化装置において、 ポータブルリ モコンやもしくは制御パネルに組み込んで使用 することが可能です。 インターフェース EnDat 2.1(» 1 VPP付) EnDat 2.24)(» 1 VPP付) SSI 位置値/回転 262 144 (18 ビット) 8 192 (13 ビット) 回転数 – – 目盛線本数/ 信号周期 16 512 – 供給電圧 5V 3.6 ～ 14 V 5 V もしくは 10 ～ 30 V 9 ～ 36 V 10 ～ 30 V 1) 2) 34 4 096 (12 ビット) 4 096 (12 ビット) ATEX防爆 バージョン対応可(ROC /ROQ、5V電源、EnDat 2.1) 機能安全はお問い合わせください。 PROFIBUS DP PROFINET – アブソリュート ROC 1013 ROQ 1025 ROC 1023 インクリメンタル ROD 1020 ROD 1030 ROD 1070 ROD 1080 HR 1120 インターフェース EnDat 2.21) (»1 VPP付) EnDat 2.21) « TTL « TTL2) » 1 VPP « TTL 位置値/回転 8 192(13 ビット) 8 388 608 (23 ビット) – 回転数 – 4 096 (12 ビット) – 4 096 (12 ビット) – 目盛線本数 512 – 512 – 100 ～ 3 600 供給電圧 3.6 ～ 14 V 1) 2) ROQ 1035 5V « HTL 1 000/2 500 100 ～ /3 600 3 600 10 ～ 30 V 100 5V EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS-DPへの接続はゲートウェイ経由。 5/10倍分割回路内蔵 ROD 400 シリーズ クランプフランジ付 ROQ 425 4 096 (12 ビット) ROC 424 S 4) ROQ 436 S ROC 4252) ROC 425 F ROC 425 M ROQ 4372) ROQ 437 F ROQ 437 M インクリメンタル ROD 4661) ROD 4261) ROD 4361) ROD 4861) ROD 4201) – ROD 4301) ROD 4801) « TTL1) « HTL » 1 VPP DRIVE-CLiQ EnDat 2.24) ファナックiインタフェース 三菱 « TTL 16 777 216 (24 ビット) 33 554 432 (25 ビット) – – – – 10 ～ 28.8 V 3) PROFIBUS-DP/PROFINET 4 096 (12 ビット) 3.6 ～ 14 V 4 096 (12 ビット) 50 ～ 5 000 ROD 426/466: 最大 10 0003) 1 000 ～ 5 000 5V 5V 10 ～ 30 V 5000を超える信号周期はエンコーダ内で2倍の信号周期が発生します。 EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS-DPへの接続はゲートウェイ経由。 35 ロータリエンコーダ ECI、EQI、EBI、ERO ベアリングを内蔵しない インダクティブ方式ロータリエンコーダ ECI/EQI 1100 および ECI/EQI 1300 は、 機 械的に光電式エンコーダ ExN と互換性があり ます。 シャフトは、中心ネジで取付けられます。 エンコーダのステータは、 数本の締付ネジに よって位置決め穴に固定されます。 インダクティブ方式ロータリエンコーダ ECI/EBI 100 は、 小さな外径にもかかわらず 大口径シャフトに対応します。 本体をシャフト に挿入し、 軸方向にネジ止めして固定します。 ハイデンハインの光電式組込型ロータリエン コーダ ERO は、 ハブ付目盛ディスクと走査ユ ニットから構成されます。 これは、 特に取付け スペースが限られている場所や、 摩擦がゼ ロでなければならない場所に適しています。 ハイデンハインの測定 ・ 検査装置の PWM 20 を用いてベアリングを内蔵しないロータリエン コーダを正しく取り付けることができます。 ECI/EQI/EBI 1100 シリーズ • 小型形状 • 調整治具を用いず簡単に取付けが可能 • 片側中空シャフト ¬ 6 mm • EBI 1135: バッテリバックアップ式マルチター ン機能 • ECN/EQN 1100 と取付け互換性あり • カップリングの緩み対策 ( 機能安全対応 ) ECI/EQI 1300 シリーズ • 調整なしで簡単に取付けが可能 • 片側中空シャフト • テーパシャフト付 ECN/EQN 1300 と取付け 互換性あり ( 片側中空シャフトについてはお 問い合わせください。 ) • カップリングの緩み対策 ( 機能安全対応 ) ECI/EBI 100 シリーズ • 平面形状 • 中空シャフト径 ¬ 50 mm • EBI 135:バッテリバックアップ式マルチター ン機能 ECI/EQI 1100 ECI/EQI 1300 ERO 1200 ERO 1400 36 ERO 1200 シリーズ • コンパクトタイプ • ハブ内径 12 mm まで ERO 1400 シリーズ • ¬ 8 mm以下の測定シャフト用 小型組込型ロータリエンコーダ • 特殊な取付け補助治具付き • 保護キャップ付 アブソリュート ECI 1119 ECI 13191) EQI 1131 EQI 13311) EBI 1135 インターフェース EnDat 2.2 EnDat 2.2 位置値/回転 524 288 (19 ビット) 262 144 (18 ビット) 回転数 – 機械的許容回転数 シャフト 1) 2) 4096 (12 ビット) –1 ≦ 15 000 min 65 536 (16 ビット)2) –1 ≦ 12 000 min 片側中空シャフト 機能安全はお問い合わせください。 バッテリーバックアップマルチターン方式 アブソリュート ECI 119 EBI 135 EnDat 2.2 インターフェース EnDat 2.1 (» 1 VPP付) 位置値/回転 524 288 (19 ビット) 回転数 – 目盛線本数 32 機械的許容回転数 ≦ 6 000 min シャフト 貫通型中空シャフト ¬ 30, 38, 50 mm 1) 65 536 (16 ビット)3) – –1 バッテリーバックアップマルチターン方式 インクリメンタル ERO 1225 ERO 1285 インターフェース « TTL » 1 VPP 目盛線本数 1 024 2 048 機械的許容回転数 ≦ 25 000 min ハブ内径 D ¬ 10、 12 mm –1 インクリメンタル ERO 1420 ERO 1470 ERO 1480 インターフェース « TTL « TTL 1) » 1 VPP 目盛線本数 512 1 000 1 024 1 000 1 500 512 1 000 1 024 機械的許容回転数 ≦ 30 000 min ハブ内径 D ¬ 4、 6、 8 mm 1) –1 5/10/20/25 倍分割回路内蔵 37 工具とワークピースのセットアップと測定 ワークピース用タッチプローブ ハイデンハインのワーク用タッチプローブ TS は、 機械上で直接セットアップ、 測定および 検査が行える機能を備えています。 タッチプローブ TS のスタイラスは、 ワークに接 触すると倒れが生じます。 その瞬間に、 タッ チプローブがトリガー信号をケーブルまたは赤 外線もしくは無線を経由して、 制御装置へ送 信します。 制御装置は、 即座に機械の各軸に設置され たエンコーダによって計測された位置データを 記録します。 保存されたデータは、 その後の 工程などに使用することができます。 トリガー 信号は、 高い信頼性を維持できる摩耗のない 光学スイッチによって作られています。 ハイデンハインは、 様々な長さ、 ボール径の スタイラスを用意しています。 TS 260 では、 アダプタを用いて先端形状が非対称のスタイ ラスを取付け、 ねじ込み式接続により正確に 位置調整を行うことができます。 ケーブルによる通信式タッチプローブ （手動で工具交換を行う CNC 工作機械向け） • TS 260 軸方向もしくは半径方向のフランジソケット 無線および赤外線通信式タッチプローブ （ATC 付 CNC 工作機械向け） • TS 460 コンパクト形状の標準タッチプローブ 赤外線通信式タッチプローブ （ATC 付 CNC 工作機械向け） • TS 444 主軸より供給される圧縮空気により内蔵さ れているエアタービンブレードにて発電する ことによるバッテリーレス • TS 64x 標準タッチプローブ。 TS 642 はテーパシャ ンク内に起動スイッチ付き • TS 740 プローブ精度および繰り返し再現性が高い。 低い測定圧。 ハイデンハイン製タッチプローブの長所 • 高い繰返し再現性 • 高速計測 • 非接触光学スイッチおよび高精度圧力セン サにより機械摩耗の心配がない • 長周期での高い繰返し性 • ケーブル、 無線もしくは赤外線通信による 耐ノイズ信号伝送 • LED による状態表示 • エアーもしくは水によるブロー洗浄機能内蔵 （TS 444, TS 460, TS 64x,TS 740） • 省エネルギーモード対応 • オプションの衝突保護アダプタにより接触に よる損傷を防ぎ、 スピンドルから受ける熱の 影響を低減します （TS 460） • 媒介インターフェースを必要とせずに制御 装置等に直接接続可能 （TS 260） 用途 工具交換 信号伝送 送受信ユニット 電源 on/off スイッチング 制御装置とのインターフェース 信号レベル 繰返し再現性 測定速度 保護等級 IEC 60 529 38 SE 660 SE 540 TS 740 TS 460 TS 460 TS 260 TS 444 TS 640 TS 642 TS 260(テーパシャンク付) TS 740 TS 260 CNC 工作機械各種 (フライス、穴あけ、研削、旋盤） 自動 無線および赤外線通信 手動 赤外線通信 ケーブル経由 • SE 540: 主軸への搭載用、 赤外線通信のみ • SE 660: TS と TTとで共有使用可能、 無線および赤外線通信の両方に対応 – 電池 15 ～ 30 V エアタービン発電機 電池（充電式または使い捨て式） （充電式または使い捨て式） 無線もしくは赤外線通信 による信号 赤外線通信による信号 テーパシャンク内の スイッチ 赤外線通信による信号 HTL、 送受信ユニットSE経由 – HTL 2 σ ≦ 1 µm 2 σ ≦ 0.25 µm 2 σ ≦ 1 µm ≦ 3 m/min ≦ 0.25 m/min ≦ 3 m/min IP 67 39 工具測長器 工具の機上計測 ( 機内計測）を行うことにより、 非生産時間を削減し、 加工精度を向上させ、 かつ不良品の削減とリワークを低減することが できます。 ハイデンハインの接触式工具測長 器 TT シリーズは、 このような目的に最適な設 計となっております。 頑丈な設計と高い保護等級のため、 工作機械 の加工エリアへ直接設置することができます。 工具の測定は、 いつでも行うことができます。 （加工前、 2 つの加工工程の間、 加工後） 40 工具測長器 TT 160 および TT 460 は、 工具の計測および 検査を 3 次元方向から行うことができます。 TT のディスク型をした検出器は、 工具が物理 的に接触し傾きます。 この瞬間に TT はトリガー 信号を CNC へ伝送し、 工具長補正などの必 要なその後の工程に使用されます。 このトリガー信号は、 高い信頼性が保証される 摩耗のない非接触型の光学スイッチによって 生成されます。 TT 160 • 接続ケーブルにて NC に信号を送信します。 TT 460 • 無線および赤外線信号にて送受信機に信 号を送信します。 • SE 660 はタッチプローブと工具測長器共有 の無線および赤外線によるデータ送受信ユ ニットです。 TT 160 TT 460 TT 160 TT 460 計測方法 物理的接触式 (3次元方向: ± X、 ± Y、 +Z) 繰返し再現性 2 σ ≦ 1 µm (測定速度1 m/min の場合) スタイラスの最大変位量 約 5 mm (全方位に対して) 電源 10 ～ 30 V (NC側から） 電池（充電式または使い捨て式） 制御装置とのインターフェース 信号レベル HTL HTL 送受信ユニットSE 経由 信号伝送 ケーブル経由 360°全方位の 無線および赤外線通信 検出ディスク ¬ 40 mm または ¬ 25 mm 保護等級 IEC 60 529 IP 67 41 測定値の取得と表示 計測用データ処理ユニット ハイデンハインの計測アプリケーション用データ 処理ユニットは、リニアエンコーダ、長さゲージ、 ロータリエンコーダ、 角度エンコーダによって測 定されたデータを表示しデータ処理を行いま す。 これらは測定値を取得した後、 アプリケー ションに特化した処理を行います。 簡単な計 測ステーションから複雑なマルチポイント計測 の検査システムまで、 幅広く多くの計測アプリ ケーションで使用されます。 データ処理ユニットには、 単独で使用できる表 示装置を搭載したものや PC と接続して使用 するものがあります。 各種エンコーダ信号と接 続できるインターフェース機能を特徴としてい ます。 デジタル表示カウンタ ハイデンハインのマニュアル操作式工作機械 用デジタル表示カウンタの用途は万能です。 フライス盤、 ボール盤、 旋盤での標準作業に 加えて、 工作機械、 計測装置、 試験装置、 特殊な機械装置など、 送り軸を手動で操作す るすべての装置に理想のソリューションも提供 します。 マニュアル操作式工作機械用デジタル表示カ ウンタにより生産性を向上します。 ユーザーフ レンドリーな操作で作業時間を短縮し、 ワーク の加工精度を向上させます。 実践的な機能およびサイクルは様々な用途で 使用可能です。 グラフィック位置決め支援付 き残り距離表示は表示値がゼロになるまで移 動させるだけで、 次の目標位置へ迅速かつ確 実に到達できます。 そして POSITIP は繰り返 し加工シーケンスをプログラムとして保存できる ため少量バッチ生産時間を短縮します。 精密加工が簡単 : ハイデンハインのリニアエン コーダと組合わせることにより、 デジタル表示 カウンタは軸の送り量を直接測定します。 ボー ルねじやラックピニオンなどの機械伝達部品 によるバックラッシュの影響を受けません。 二次元および三次元計測作業用データ処理ユニット 計測 ・ 検査作業用データ処理ユニット 42 ユーザーフレンドリー性 デジタル表示カウンタと表示機能搭載のデータ 処理ユニットは、非常に使いやすい製品になっ ています。 主な特徴は以下のとおりです。 • 視認性に優れたフラットパネルディスプレイ • シンプルで見やすいキー配列 • 人間工学に基づいた押しボタンキー • 堅牢なダイカストハウジング • グラフィカルなユーザー対話式ガイダンス • マニュアル式工作機械等をさらに操作しや すくするユーザーフレンドリーな機能 • 絶対番地化および原点用判別機能 • 取り付けおよびメンテナンスが簡単 • 経済的メリット インターフェースユニット ハイデンハインのインターフェースユニットはエ ンコーダ信号を後続電子機器に中継します。 これらは後続電子機器がハイデンハインのエン コーダ信号を直接受信できない場合や高い信 号倍率が必要な場合に使用します。 インターフェースユニットの中にはカウンタ機能 を搭載したものもあります。 複数の原点を通過 後に絶対位置値を確立し後続電子機器に伝 送します。 ハイデンハインのデジタル表示カウンタは、 測 定値を上位装置にてデータ処理を行った り、 プリンタで印刷を行うためのデータインター フェースを搭載しています。 計測アプリケーション用データ処理ユニット シリーズ ページ 二次元および三次元計測用 ND 100 QUADRA-CHEK ND 1000 QUADRA-CHEK IK 5000 QUADRA-CHEK ND 1200T TOOL-CHEK 44 計測および検査用 ND 287 ND 1100 QUADRA-CHEK ND 2100 G GAGE-CHEK MSE 1000 EIB 700 IK 220 46 位置決め装置、フライス盤、旋盤用 ND 500 ND 780 POSITIP 880 48 信号変換用 EIB IBV、EXE ゲートウェイ IDP 49 マニュアル操作式工作機械用デジタル表示カウンタ インターフェースユニット 43 計測アプリケーション用データ処理ユニット 二次元および三次元計測作業用 二次元および三次元測定作業用のデータ処 理ユニットには、 測定値の取得や統計処理な ど特別な機能があります。 主に以下用途に適しています。 • 投影機 • 測定顕微鏡 • 画像計測装置 • 三次元測定器 ( マニュアル /CNC 制御 ) • 二次元測定器 • ツールプリセッタ QUADRA-CHEK は、 投影機、 測定顕微鏡、 二次元画像計測装置、 二次元輪郭での座標 計測装置用のデータ処理ユニットです。 照準、 光学式エッジ検出器もしくはリアルタイム表示 / 画像処理機能付ビデオカメラを使用した自動 操作や手動操作に対応したバージョンがありま す。 平面、 円筒、 円錐、 球体のような三次 元輪郭では、 タッチプローブによる測定データ を保存します。 オプションの CNC バージョン では、 軸位置決め用に本格的な制御として操 作したり、 測定プログラムの自動実行が可能 です。 TOOL-CHEK はツールプリセッタ用途の特別 な機能を持つ製品です データ処理ユニット ND はスタンドアロンな製 品です。 IK 5000 QUADRA-CHEK は、 汎用的な PC カードとソフトウェアで構成されたパッケージ製 品です。 れば、 高機能な計測ステーションを 構築できます。 ND 100 ND 100 QUADRA-CHEK ND 1200 QUADRA-CHEK 用途 • 投影機 • 測定顕微鏡 • 投影機 • 測定顕微鏡 • 二次元測定器 軸数1) 2 もしくは 3 XY、 XYQ、 XYZ もしくは XYZQ エンコーダ入力 « TTL » 1 VPP もしくは« TTL (他のインターフェースについては お問い合わせください。) ディスプレイ 5.7インチ モノクロ フラットパネルディスプレイ 機能 • • • • 二次元形状の計測 照準によるポイント計測 公差の入力 測定結果のグラフィック表示 – • メジャーマジック機能 • 形状とパーツのプログラミング オプション2)もしくは バージョンにより異なる: – 光学式エッジ検出器を用いた自 動エッジ計測 インターフェース USB USB; RS-232-C 1) 44 ND 1200 バージョンにより異なります 2) バージョンにより組合わせが可能です IK 5000 ND 1300 ND 1300 QUADRA-CHEK ND 1400 QUADRA-CHEK IK 5000 QUADRA-CHEK ND 1202T TOOL-CHEK • 投影機 • 測定顕微鏡 • 画像計測装置 • マニュアル式 三次元測定器(CMM) • • • • ツールプリセッタ XYZQ XYQ、 XYZ もしくは XYZQ 投影機 測定顕微鏡 画像計測装置 三次元測定器(CMM) 2 (XZ) » 1 VPP もしくは « TTL (他のインターフェースについてはお問い合わせください。) 8.4インチ カラーフラットパネルディスプレイ (タッチパネル) • 二次元および 三次元形状の計測 • タッチプローブ、照準、もしくは プロービング部品によるポイン ト計測 • 公差の入力 • 測定結果のグラフィック表示5 軸システム用の保存が可能 • タッチプローブの管理 PC 画面（表示装置なし） 5.7インチ モノクロ フラットパネルディスプレイ • • • • • • • • • • • • 二次元形状の計測 照準によるポイント計測 公差の入力 測定結果のグラフィック表示 レポート作成機能 CADおよび測定データのインポート/エキス ポート機能 • 二次元自由形状輪郭におけるCADモデル と測定値との比較 照準によるポイント計測 99 ツールアダプタ 300 ツール分の保存 公差の入力 円周、角度計測 ラベル印刷 – • 光学式エッジ検出器を用いた – 自動エッジ計測 • 画像エッジ検出およびライブ 画像の表示 • 画像データ保存 • ズームおよび照明のプログラ マブル制御 • CNC 軸の制御とオートフォー カス – • 三次元形状の計測 • 光学式エッジ検出器を用いた自動エッジ 計測 • 画像エッジ検出およびライブ画像の表示 • 画像データ保存 • タッチプローブによるポイント計測 (TP 200 も同様 ) • CNC 軸の制御とオートフォーカス • ズームおよび照明の制御 PCI (PC インターフェース) USB; RS-232-C 45 計測アプリケーション用データ処理ユニット 計測および検査作業用 計測および検査作業用のデータ処理ユニット は、 以下用途に最適です。 • 計測機器 • 調整および検査機器 • 統計的工程管理 (SPC) 用検査ステーション • マルチポイント検査装置 • 場所を選ばない測定値の取得 • 位置決め装置 データ処理ユニット ND は、 表示ディスプレ イと頑丈な筺体を備えたスタンドアローンな製 品です。 測定値を取得し、 選別と公差確認、 最小 / 最大値の保存、 そして連続測定データ の保存といった統計処理を行うことができるの が特徴です。 これらのデータで平均値および標準偏差を計 算して、 ヒストグラムまたは管理図でグラフィカ ルに表示します。 ND 2100G では、 平面や 容積など複雑な寸法も測定することができま す。 入力値を希望の算術関数、 三角関数、 もしくは統計関数を用いた数式に割当てたり合 成することが可能です。 MSE 1000 は製造現場でのマルチポイント計 測装置作業用のモジュール式インターフェー スユニットです。 モジュール式設計で様々なイ ンターフェースに対応しているため、 幅広い各 種アプリケーションに柔軟に対応します。 測定 値を上位コンピュータシステムを用いてデータ 処理および表示することが可能です。 EIB 741は、高分解能測定、高速データ取 得、データ転送、もしくはデータ保存を行う用 途に最適な製品です。 測定データを標準イーサネット経由で上位コン ピュータシステムに転送しデータ処理および表 示をさせることができます。 ND 287 ND 2100 G ND 287 ND 1100 QUADRA-CHEK 用途 • 計測機器 • 試験装置 • 統計的工程管理(SPC)用検 査ステーション • 位置決め装置 • 測定設備 軸数1) 1 (オプション: 2) 2、 3 もしくは 4 エンコーダ入力 » 1 VPP、 » 11 µAPP もしくは EnDat 2.2 » 1 VPP もしくは « TTL (他のインターフェースについてはお問 い合わせください。) ディスプレイ カラー フラットパネルディスプレイ 5.7インチ モノクロ フラットパネルディスプレイ 機能 • 選別と公差確認 • 連続測定値の記録 • 連続測定値の記録 （最大・最小値の表示機能付） • 統計的工程管理(SPC)機能 • 測定結果のグラフィック表示 • 測定値の保存 （最大・最小値の表示機能付） • レニショー社およびハイデンハイン 製タッチプローブとの接続 IK 220 は、 2 台のインクリメンタルまたはアブ ソリュートタイプのハイデンハインエンコーダの 測定値を記録する PC 用の拡張ボードです。 オプション: 和/差表示 もしくは温度補正 インターフェース 1) 46 バージョンにより異なります USB; RS-232-C オプション:イーサネット USB; RS-232-C IK 220 EIB 700 MSE 1000 ND 2100 G GAGE-CHEK MSE 1000 EIB 700 IK 220 • マルチポイント検査装置 • 統計的工程管理(SPC)用検査 ステーション • マルチポイント検査装置 • PLC検査ステーション • マルチポイント検査装置 • PLC検査ステーション • 測定値の取得 • 計測と検査ステーション 4 もしくは 8 最大 250 4 2 » 1 VPP もしくは « TTL もしくは EnDat 2.2 (他のインターフェースについてはお問い合わせください。) 5.7インチ カラー フラットパネルディスプレイ PC 画面（表示装置なし） • 選別と公差確認 • 連続測定値の記録 • • • • （最大・最小値の表示機能付） • 統計的工程管理(SPC)機能 • 測定結果のグラフィック表示 • 測定値の保存 最大100パーツ のプログラミング • 合成や変数など 各種数式の入力 • 計測結果の出力 モジュール式設計 必要に応じて構成可能 各種インターフェース対応 上位コンピュータシステムとの高 速通信 • 汎用出力信号 イーサネット » 1 VPP、EnDat 2.1 もしくは » 1 VPP、 » 11 µAPP EnDat 2.2( » 11 µAPPはお問い EnDat 2.1 もしくはSSI 合わせください。) • 更新レート最大50 kHzでの精密 • 測定値入力のプログラム制御が 可能 位置測定 • 測定値入力のプログラム制御が • 外部および内部からの測定値トリ ガー機能 可能 • 外部および内部からの測定値トリ • 各チャンネル毎に約8192測定値 ガー機能 を記憶するメモリ機能 • 各チャンネル毎に約250 000の 測定値を記憶する • メモリ機能 • 標準イーサネット経由にて上位コ ンピュータシステムとの接続 PCI (PC インターフェース) 47 マニュアル操作式工作機械用デジタル表示カウンタ 以下のようなマニュアル操作式工作機械での 使用に適しています。 • フライス盤 • ボール盤 • 旋盤 • ラジアルボール盤 • 研削盤 • 放電加工機 飛沫保護仕様のフロントパネルと頑丈な金属 鋳型のハウジングにより作業現場での最も過 酷な条件から本体を守ります。 ND 500 ND 780 POSITIP 880 ND 780 ND 500 用途 フライス、穴あけ、中ぐり、旋盤用 仕様概要 カラーフラットパネルディスプレイ、 モノクロフラットパネルディスプレイ、 モノクロフラットパネルディスプレイ、 プログラム記憶、 防滴設計されたフルトラベルキーボード メンブレンキーボート 防滴設計されたフルトラベルキーボード 軸数 6軸まで 3軸まで 2 軸 もしくは3 軸 エンコーダ入力 » 1 VPP もしくは EnDat 2.1 » 1 VPP « TTL 表示ピッチ 10 µm、 5 µm、 1 µm もしくは それ以上 データム数 フライス: 99、 旋盤: 1 10 ツールデータ 99 ツール 16 ツール プログラミング 1プログラムあたり 最大 999 プログラムブロック – 機能 拡大機能付き輪郭監視 輪郭監視 フライス/穴あけ/中ぐり用 • 穴あけ(円周上および直線上)の位置計算機能 • 切削量計算 KTエッジファインダを用いたデータム作成のプロービング機能: “エッジ“、“センター出し“、“円中心出し“ ポケットのフライス加工 および粗加工用位置決め支援 旋盤用 • • • • 48 – – 半径/直径 表示 Z および ZOの個別もしくは合算表示 テーパ計算 バックオフ用の工具位置保存 • オーバーサイズ許容 • エリアクリアランス用サイクル インターフェース 5 µm (LS 328 C/LS 628 Cと接続時) – エッジファインダ、スイッチング機能 (オプション) – RS-232-C/V.24、セントロニクス USB RS-232-C/V.24 インターフェースユニット ハイデンハインのインターフェースユニットは、 エ ンコーダ信号を後続電子機器に中継します。 例えば以下の通りです。 インクリメンタル信号 » 1 VPP » 11 µAPP 出力 入力 形状タイプ 内挿分割1) 型式 « TTL » 1 VPP ボックスタイプ 5/10倍 IBV 101 20/25/50/100倍 IBV 102 分割なし IBV 600 25/50/100/200/400倍 IBV 660 B コネクタタイプ 5/10/20/25/50/100倍 APE 371 組込み基板 タイプ 5/10倍 IDP 181 20/25/50/100倍 IDP 182 5/10倍 EXE 101 20/25/50/100倍 EXE 102 なし/5倍 EXE 602 E 25/50/100/200/400倍 EXE 660 B « TTL « TTL インクリメンタル信号 位置値 EnDat » 1 VPP ファナックシリアル » 1 VPP インターフェース 三菱高速シリアル » 1 VPP インターフェース 位置値 EnDat EnDat EnDat DRIVE-CLiQ 安川シリアル インターフェース PROFIBUS-DP » 11 µAPP ボックスタイプ ハイデンハインのインターフェースユニットは 各種形状の製品を用意しています。 ボックスタイプ 組込み基板タイプ 5倍 « TTL/ » 1 VPP 切換可 IDP 101 2倍 IBV 6072 5/10倍 IBV 6172 5/10倍 および 20/25/50/100倍 IBV 6272 ボックスタイプ ≦ 16 384分割 EIB 192 コネクタタイプ ≦ 16 384分割 EIB 392 ボックスタイプ ≦ 16 384分割 EIB 1512 EnDat 2.2 ボックスタイプ – EIB 2391 S ファナック » 1 VPP シリアル インターフェース ボックスタイプ ≦ 16 384分割 EIB 192 F コネクタタイプ ≦ 16 384分割 EIB 392 F ボックスタイプ ≦ 16 384分割 EIB 1592 F ボックスタイプ ≦ 16 384分割 EIB 192 M コネクタタイプ ≦ 16 384分割 EIB 392 M ボックスタイプ ≦ 16 384分割 EIB 1592 M 安川シリアル EnDat 2.22) インターフェース コネクタタイプ – EIB 3391 Y PROFIBUS-DP EnDat 2.1 EnDat 2.2 DINレール 取付けタイプ – PROFIBUS ゲートウェイ » 1 VPP ボックスタイプ コネクタタイプ EnDat 2.2 DRIVE-CLiQ 組込み基板タイプ DINレール 取付けタイプ » 1 VPP 三菱高速 » 1 VPP シリアル インターフェース 1) 切換可 分解能5nmのLIC 4100と分解能50 nmと100 nmのLIC 2100のみ 3) 2つの走査ヘッドを接続し位置値を演算 2) DRIVE-CLiQ はSiemens AG社の登録商標です。 49 世界各地の営業およびサービス拠点 ハイデンハインは、次のとおり世界中の主要工 業国に営業およびサービス拠点があります。 詳細は、弊社ホームページをご参照ください。 Europe Germany Americas Africa 50 Australia Asia 51 http://www.heidenhain.co.jp 本社 名古屋営業所 大阪営業所 九州営業所 〒102-0083 東京都千代田区麹町3-2 ヒューリック麹町ビル9F (03) 3234-7781 (03) 3262-2539 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-23-20 HF桜通ビルディング10F (052) 959-4677 (052) 962-1381 〒532-0011 大阪市淀川区西中島6-1-1 新大阪プライムタワー16F (06) 6885-3501 (06) 6885-3502 〒802-0005 北九州市小倉北区堺町1-2-16 十八銀行第一生命共同ビルディング6F (093) 511-6696 (093) 551-1617 ファイル綴じの際は、ここより折ってください。 ドイツ本社 350 457-J7 · 20 · 10/2014 · S · Printed in Japan 版権保持 ※仕様は改善のため、事前にお断りなく変更することがあります。
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