CNC画像測定システム NEXIV VMZ

CNC画像測定システム NEXIV VMZ-R
C N C 画像測定システム
最適なソリューションが選べる
N E X I V V M Z - Rシリーズ。
中ストローク機が加わり、被検物の大きさと要求精度に合わせた倍率選択範囲がより拡大。多彩なサンプルの測定を、高精度/スピーディ/ 簡単に実現します。
ズームヘッド
（3種6タイプ）
ステージストローク
（3タイプ）
スタンダードストローク
（300×200mm）
標準倍率ズームヘッド
（タイプ1∼3）
0.5×~7.5×
2×~30×
1×~15×
機械部品、モールド部品から高密度プリント基板まで、多種多様な測定ニーズに応えます。
垂直落射/透過/8分割リング
（3入射角）
の
3種類の照明を備えた、低倍∼中倍域観
パッケージ、基板、プレス部品、小型部品、時計部品、自動車用金物部品など
察/測定向けのズームヘッドです。サンプ
高密度基板、基板露光マスク、パッケージ
（2次元＋高さ）、MEMS部品、リードフレームなど
ルの測定寸法と必要倍率に応じて、各5
プレス部品、スプリング、ゴム成型部品など
段階ズームを持つ3タイプからお選び頂
けます。
高密度基板（光学1×）
タイプ2ズームヘッド/垂直落射照明
プリント基板（光学2×）
タイプ2ズームヘッド/8分割リング照明
中ストローク
（450×400mm）
高倍率ズームヘッド
（タイプ4/タイプTZ）
4×~60×
1×~7.5×/16×~120×
各種モールド部品、中型フラットパネル、PCBに最適です。測定可能高さも200mmまで
確保しており、高さのある機械部品や各種治具を用いた測定も可能です。
中倍∼高倍域観察/測定に適したタイプ4
と、低倍から高倍までを1台でカバーでき
半導体パッケージ、プレス部品など
るタイプTZの2種をご用意しています。タ
300mmウェハ、プロープカードなど
イプ4は垂直落射/透過/8分割リング
（1入
モールド部品、燃料電池部品など
射角）、タイプTZは垂直落射/透過
（高倍
のみ）/暗視野照明を備えています。
ICチップ（光学8×）
タイプ4ズームヘッド/垂直落射照明
高密度基板（光学16×）
TZズームヘッド/暗視野照明
大ストローク
（650×550mm）
広視野ズームヘッド
（タイプA）
0.35×~3.5×
大型サンプルに対応した大ストロークモデル。
小物部品を多数個並べての自動測定やプリント基板の精密測定に威力を発揮します。
長作動距離が特長の低倍ズームヘッドで
す。垂直落射/透過/8分割リング照明
（1
パッケージ/プレス部品/プリント基板/成型品
（多数個）、基板、基板用印刷マスクなど
入射角）
の3種の照明を備えています。
高密度パッケージ基板など
大型プレス部品など
モールド部品（光学0.6×）
樹脂部品（光学0.35×）
タイプAズームヘッド/垂直落射照明
タイプAズームヘッド/8分割リング照明
＊ NEXIV VMRシリーズでは、小ストローク/長大ストロークもご用意しています。
VMRシリーズの詳細については別途お問い合わせください。
光学倍率
標準倍率
ズームヘッド
倍率タイプ
ステージ上視野
総合倍率
0.5
0.6
1
1.8
2
13.3
10.0
9.33
7.01
7.8
5.8
4.7
3.5
2.6
1.9
2.33
1.75
12.6
18
21.6
36
64.8
72
3.5
4
7.5
8
15
16
30
32
60
64
120
1.33
1.00
1.165
0.875
0.622
0.467
0.582
0.437
0.311
0.233
0.291
0.218
0.155
0.117
0.146
0.109
0.078
0.058
0.073
0.055
0.039
0.029
126
144
270
288
540
576
1080
1152
2160
2304
4320
タイプ1
タイプ2
タイプ3
高倍率
ズームヘッド
タイプ4
広視野ズームヘッド
タイプA
横
（mm）
×
縦
（mm）
0.35
タイプTZ
＊総合倍率は、24型TFTモニタをWUXGA
（1920 1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
2
3
NEXIV VMZ-Rシリーズの新機能
New function
新ズームヘッドと中ステージストロークを追加、より広範な用途に対応
中高倍型/広視野低倍域型の2ズームヘッド
中型部品に最適な450×400ストローク
・タイプ4ズームヘッド
中型部品の検査/測定ニーズにお応えした、450×400mmストロークのス
4×∼60×の観察倍率をご用意。高
テージタイプをご用意。各種モールド部品、中型フラットパネル・PCBに
い倍率と30mmの長作動距離を兼
最適です。
ね備えたズームヘッドです。段差の
測定可能高さは200mmまで確保し、高さのある機械部品、各種治具を
あるサンプルの微細観察等に威力
用いた測定も可能としました。
3種類の入射角を持つ8分割リング照明
タイプ1∼3のズームヘッドに、3角度/8方
向の照明と光量を任意に組み合わせで
きる8分割リング照明を搭載。エッジに
最適な調整が可能になり、検出能力が
37°
向上しました。
作動距離: 50 mm
・標準入射角リング照明
を発揮します。
55°
作動距離: 36 mm
・中入射角リング照明
78°
作動距離: 10 mm
・大入射角リング照明
高密度基板（光学16×）
・タイプAズームヘッド
全倍率範囲で73.5mmの作動距離、
最大13.3×10.0mmの広視野の両立
を実現したズームヘッドです。スプリ
0°
ング、ゴム成型品などの立体的な機
械部品に適しています。
300mmウェハの測定例
大型基板の測定例
青色モールド（光学0.35×）
新開発TTLレーザAFによる高度な検出能力※
※TTL＝through the lensの略
モールド部品（光学4×）/垂直落射照明
標準入射角リング照明
中入射角リング照明
大入射角リング照明
その他の特長と新機能
レーザオートフォーカスのセンサの新開発により、検出性能が大幅に向上。LCD保護膜等を代表とする、0.1mmレベルの微小な透明体の厚み検出も可能
になりました。
透明体の表面/裏面を別々に検出可能なサーチモード、
測定時間の大幅短縮が可能なトラッキングモードの追加により、
作業効率が更にアッ
プしています。
上部合焦時オートフォーカス
下部合焦時オートフォーカス
測定精度がさらに向上
ジョイスティックによる快適微動操作
高精度高分解能測長システムを内蔵し
ジョイスティックに微動上下動スイッチを採用したことで、特に高倍での
た、ニコン独自開発の非接触リニアエ
微妙なピント操作を容易に行えるようになりました。
ンコーダ「ModuRay」を搭載。クラス
最高水準の測定精度を達成しました。
新レーザオートフォーカス
新開発センサにより、表面/裏面の信号を
分離して正しく検出できます。
2
1
保護ガラス
高スループットを実現
基板
カバーガラス（光学8×）／タイプ2ズームヘッド使用時
簡単操作の測定ソフトウェア
直感的で見やすいデザインになりました。ウィザード形式を採用してい
るため、自動測定プログラムも容易に作成できます。
幾何形状、自由形状等をスムーズに測定可能な測定/評価ソフトウェア
NEXIV Profiler、測定結果からフリーフォーマットの成績書を作成できる
データ管理ソフトウェアNEXIV Reportを標準装備しています。
4
ステージ移動設定ボタン
3カ所の各ボタンに、ステージ制御
等の設定を登録できます。
例）低速移動、
X軸/Y軸クランプ等
2
プッシュロックターンリセット式
緊急停止ボタン
3
微動上下動スイッチ
Z軸の微動上下動スイッチです。
高倍時の焦点合わせに便利です。
4
ジョイスティック
傾けることでステージのX/Y軸移動
を、ひねることでZ軸移動を一度に
操作できます。
データ転送方式と照明系の改良で、実効フレームレートや調光速度が向
上。測定時間の短縮に貢献します。
全ての照明系に白色LED光源を採用
全機種全ての照明に明るく自然な色合いの白色LEDを使用。
測定ソフトウェアのGUIを一新。初心者でも簡単にリプレイ実行可能な、
3
1
照明の切り替え速度が速く、照度による色変化がないというメリットが
あります。消費電力も小さく、コスト低減に効果的です。
高画素カメラをご用意
高精細カメラを新たに搭載。高精細画像による目視検査にも使用でき
ます。
※ソフトウェアの詳細についてはP.11∼P.12をご覧ください。
4
5
標準倍率ズームヘッド
（タイプ1∼3）
Standard zoomhead (type-1~3)
広視野/高NAの対物レンズを搭載した3タイプのズームヘッド
測定をサポートするイメージ
（画像）AF
低ディストーション/高NAに定評のある標準ズームヘッドは、サンプルの測定方法と必要倍率に応じて、各5段階のズームヘッドを持つ3タイプからお選び
測定物の表面およびエッジを画像走査するイメージAFは、TTLレーザAFによる検出が困難なサンプル箇所の測定に威力を発揮。最適アルゴリズムとプロ
頂けます。
グレッシブスキャンタイプのカメラの採用により、段差や面取りのあるワークでも高速/高精度を実現します。
光学倍率
0.5
タイプ1
（0.5 ∼7.5 ）
タイプ2
（1 ∼15 ）
倍率タイプ
タイプ3
（2 ∼30 ）
ステージ上視野
横（mm）
縦（mm）
1/3インチCCDサイズ
横縦（mm）
1
2
4
1x
0.5x
1x
7.5
2x
2x
総合倍率（ビデオウインドウが172.8
129.6mmの場合）
ビデオウインドウ上のサイズ
（ビデオウインドウが
172.8 129.6mmの場合）
光学倍率
0.01 （mm）
0.1 （mm）
1 （mm）
15
4x
4x
16
30
7.5x
8x
15x
・表面AF
・コントラストAF
・多点検出
・二山検出
（上部/下部）
指定したサンプルの表面をスキャンして合
焦部を検出します。
測定物の端面のような、
単純なシルエット像
として見える部分の合焦部を検出します。
指定した複数のフォーカス範囲を一度に走
査して、多点の合焦部の高さを同時に検出
します。
高さの差が少ないサンプルの上面または下
面の高さ
（合焦位置）
を検出します。
CNC制御による、あらゆるワークに最適な照明系
2x
4x
9.33
7.01
4.7
3.5
8x
2.33
1.75
16x
1.165
0.875
0.622
0.467
0.582
0.437
30x
0.311
0.233
0.291
0.218
0.155
0.117
18
36
72
144
288
540
576
1080
14.7
7.36
3.68
1.84
0.98
0.82
0.48
0.46
0.24
0.18
1.8
18
0.5
0.36
3.6
36
1
0.72
7.2
72
2
1.44
14.4
144
4
2.7
27
270
7.5
2.88
28.8
288
8
5.4
54
540
15
5.76
57.6
576
16
10.8
108
1080
30
1
2
1 照明切替/光量調整
（垂直落射/透過）
垂直落射、透過、8分割リング照明
（標準入射角/中入射角/大入射角）のCNC制御により、
4.8×3.6
36
270
ビデオ倍率
1画素のサイズ
（μm）
8
2 自動調光ボタン
（垂直落射/透過）
広範なワーク形状に適した照明を選択することができます。。検出の難しいエッジ部も
シャープに捉えることが可能です。
4
4 リング照明の角度調整
（8方向）
5 リング照明の光量調整
＊総合倍率は、24型TFTモニタをWUXGA
（1920×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
＊1画素のサイズは目安となります。
3
3 リング照明の位置調整
（3入射角）
5
3種類の入射角度に対応した8分割リング照明
新開発
3角度/8方向の照明と光量を任意に組み合わせできる
8分割リング照明は、垂直落射照明では捉えられない
微妙なエッジも検出。セラミックパッケージ・セラミッ
ク基板/プリント基板などの測定物に非常に有効です。
非使用時には照明を上部に退避させて、50mmの作動
距離を確保できます。
長作動距離50mmTTLレーザAFによる高精度測定
37°
・標準入射角リング照明
新開発
55°
作動距離: 50 mm
作動距離: 36 mm
・中入射角リング照明
78°
作動距離: 10 mm
・大入射角リング照明
高分解能/長作動距離の高速TTLレーザAF機構を標準装備。低倍観察時でも段差のある狭
カメラズーム系
部をシャープに検出し、表面形状に依存しない高速オートフォーカスを実現しました。1000点
/秒の高速倣い測定による、高精度かつ汎用性の高いZ軸測定が行えます。
従来の高速/高精度測定に加え、LCD保護膜等を代表とする、0.1mmレベルの微小な透明体の
厚み検出も可能になりました。
ダイクロイック
ミラー
AF検出系
対物レンズ
合焦モード
Z軸全体を走査して合焦面を探した後、焦点の合った場所にズームヘッドを
戻して、画面上のピントを合わせます。測定時間と精度のバランスの取れた
標準モードです。
トリガーモード
Z軸全体を走査して合焦面を探した後、ズームヘッドを戻さずに測定を完了
します。高さデータの高速取得に便利です。
トラッキングモード
サーチモード
6
走査中に焦点の合った場所でズームヘッドを停止させ、走査を終了します。
測定時間を大幅に短縮可能なモードです。
透明体の表面と裏面などの合焦面を2カ所持つサンプルを走査し、いずれ
かの合焦面を任意で選択/表示できるモードです。
（垂直落射照明）
0°
（垂直落射照明）
0°
リング照明
・垂直落射照明と標準入射角リング照明
（37°
）
の比較［コネクタ（光学5×）］
・垂直落射照明と大入射角リング照明
（78°
）
の比較［ドリル刃面（光学5×）］
落射照明では捉えられないエッジを、傾きのあるリング照明なら鮮明に取得可能です。
試料
・大入射角リング照明
（78°
）
と
中入射角リング照明
（55°
）
の比較［ドリル刃元（光学5×）］
TTLレーザAFのしくみ
（垂直落射照明）
0°
（作動距離10mm）
（作動距離36mm）
VMZ-Rシリーズで新しく加わった中入射角
（55°）のリング
照明は、標準入射角
（37°）
ではエッジの取得が難しいサンプ
ルを、36mmという充分な作動距離で取得できるのが特長
です。これにより、高さのあるサンプルへの対応も可能とな
りました。
7
高倍率ズームヘッド
（タイプ4）
高倍率ズームヘッド
（タイプTZ）
High-magnification zoomhead (type-4)
High-magnification zoomhead (type-TZ)
微小な被検物にも対応可能なタイプ4ズームヘッド
ズーム比120×の超高変倍比を持つTZズームヘッド
タイプTZは高倍/低倍2つの対物レンズ
光路を切り替えることで、ズームポジ
ション8段階：1×∼120×という非常に
高い変倍比と、11mmの長作動距離を
8x
4x
16x
32x
光学倍率
ムに対応。高倍率でありながら30mmという
ステージ上視野
横（mm）
縦（mm）
1/3インチCCDサイズ
横縦（mm）
微細かつ立体的な形状のサンプル測定に最適
8
0.582
0.437
16
0.291
0.218
32
0.146
0.109
60
0.078
0.058
144
1.84
288
0.82
4.8×3.6
36
576
0.46
1152
0.23
2160
0.12
1.44
14.4
144
2.88
28.8
288
5.76
57.6
576
11.52
115.2
1152
21.6
216
2160
4
1.165
0.875
ビデオ倍率
総合倍率（ビデオウインドウが172.8
なズームヘッドです。
1x
2x
4x
7.5x
16x
32x
64x
120x
低倍での広視野サーチから1μm以下の
高倍観察まで、幅広い測定範囲をカバー
タイプ4ズームヘッドは、4×∼60×の5段階ズー
長作動距離を実現しました。
実現。
60x
129.6mmの場合）
1画素のサイズ
（μm）
0.01 （mm）
0.1 （mm）
1 （mm）
ビデオウインドウ上のサイズ
（ビデオウインドウが
172.8 129.6mmの場合）
＊総合倍率は、
24型TFTモニタをWUXGA
（1920×1200画素）
モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
＊1画素のサイズは目安となります。
します。
光学倍率
ステージ上視野
横（mm）
縦（mm）
1/3インチCCDサイズ
横縦（mm）
2
4
7.5
16
32
64
120
2.33
1.75
1.165
0.875
0.622
0.467
0.291
0.218
0.146
0.109
0.073
0.055
0.039
0.029
4.8×3.6
36
ビデオ倍率
総合倍率（ビデオウインドウが172.8
129.6mmの場合）
1画素のサイズ
（μm）
ビデオウインドウ上のサイズ
（ビデオウインドウが
172.8 129.6mmの場合）
広範なワークに対応する、8分割リング照明搭載の照明系
1
4.7
3.5
0.01 （mm）
0.1 （mm）
1 （mm）
36
7.36
72
3.68
144
1.84
270
0.98
576
0.46
1152
0.23
2304
0.11
4320
0.06
0.36
3.6
36
0.72
7.2
72
1.44
14.4
144
2.7
27
270
5.76
57.6
576
11.52
115.2
1152
23.04
230.4
2304
43.2
432
4320
＊総合倍率は、
24型TFTモニタをWUXGA
（1920×1200画素）
モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
＊1画素のサイズは目安となります。
タイプ4は垂直落射/透過/8分割リング
（入射角50°）の3系統の照明を搭載しています。検出の難しいエッジ部もシャープに捉えることが可能です。
シリーズ最高峰の検出性能を誇るレーザオートフォーカス
・8方向リング照明
8方向の照明と光量を任意に組み合わせ、斜め方
向からの光を当てることで微妙なサンプルのエッ
ジを検出します。
非使用時には照明
を上部に退避させ
て、30mmの作動距
離を確保できます。
高NA対物レンズを組み込んだ、微小スポットの高分解能TTLレーザオー
カメラズーム系
トフォーカス機構を搭載。薄物透明/半透明体
（レジスト等）の表面でも
AF検出系
乱反射面でも検出性能が大幅にアップし、表面形状に依存しないシャー
低倍側
対物
レンズ
プなオートフォーカスが可能です。1000点/秒の高速ならい測定も可能
で、高精度かつ汎用性の高いZ軸測定が行えます。
50°作動距離: 30mm
高密度基板（光学4×）/垂直落射照明
8分割リング照明
新開発
イメージ
（画像）AF
測定物の表面およびエッジを画像走査するイ
高分解能/作動距離30mmの高速TTLレーザAFを
カメラズーム系
トフォーカスを実現しました。
ダイクロイック
ミラー
従来の高速/高精度測定に加え、LCD保護膜等を
対物レンズ
0
-0.001
ダイクロイック
ミラー
高倍側対物レンズ
試料
1.96
1.98
2
2.02
2.04
2.06
-0.002
微小段差測定例
TTLレーザAFのしくみ
長作動距離30mmTTLレーザAF
シャープに検出し、表面形状に依存しない高速オー
0.001
1.94
リードフレーム（光学4×）/透過照明
高速/高精度な2タイプオートフォーカスを標準装備
標準装備。低倍観察時でも段差のある狭部を
0.002
メージAFは、T TLレーザAFによる検出が困難な
AF検出系
CNC制御による照明系
タイプTZは垂直落射/透過/暗視野の3種類の照明を搭載。微細なパターンエッジをシャープに検出する、高精度な測定が可能です。
サンプル箇所の測定に威力を発揮。
最適アルゴリズムとプログレッシブスキャンタイ
プのカメラの採用により、段差や面取りのある
ワークでも高速/高精度を実現します。
代表とする、0.1mmレベルの微小な透明体の厚み
検出も可能です。
リング照明
TTLレーザAFのしくみ
試料
・タイプTZの対物レンズ
（左：低倍/右：高倍）
低倍側は1×∼7.5×、高倍側は16×∼120×に対応。
いずれの対物レンズでも垂直落射/透過/暗視野全
ての照明に対応※しています。
リードフレーム（光学1×）/垂直落射照明
透過照明
高密度基板（光学16×）/暗視野照明
（※VMZ-R3020の透過観察は高倍側のみとなります）
8
9
広視野ズームヘッド
（タイプA）
ソフトウェア
Wide FOV zoomhead (type-A)
Software
広視野/長作動距離が特長の低倍特化型光学系
簡単操作の測定ソフトウェア
ウインドウGUIを分かりやすく一新。初心者から操作に慣れた方まで、簡
最大13.3×10mmの広視野をカバー
10mm角のサンプル全体を1視野で捉えることが可能な、最大
単に測定プログラムの作成や編集が可能になりました。
新開発
自由にカスタマイズできるパネル式GUI
測定作業の習熟度や機能の
使用頻度に応じて、作業パ
ネルの表示と位置を自由に
変更可能。
13.3×10mm
（0.35×観察時）
の広い視野を備えています。
0.35x
0.6x
1x
常に必要な情報だけを表示
しておけるので、作業効率
の向上に役立ちます。
13.3mm
1.8x
光学倍率
ステージ上視野
横（mm）
縦（mm）
1/3インチCCDサイズ
横縦（mm）
10円玉（光学0.35×）/垂直落射照明
3.5x
0.35
13.3
10.0
0.6
7.8
5.8
1
4.7
3.5
1.8
2.6
1.9
3.5
1.33
1.00
4.8×3.6
36
ビデオ倍率
12.6
21.6
36
64.8
126
1画素のサイズ
（μm）
21.8
12.6
7.36
4.25
2.15
0.126
1.26
12.6
0.216
2.16
21.6
0.36
3.6
36
0.648
6.48
64.8
1.26
12.6
126
ビデオウインドウ
上のサイズ
（ビデオウインドウが
172.8 129.6mmの場合）
0.01 （mm）
0.1 （mm）
1 （mm）
全倍率範囲で73.5mmの極めて長い作動距離を実現。高さや厚
みのあるサンプルにも対応可能です。
総合倍率
（ビデオウインドウが172.8 129.6mmの場合）
高さのあるサンプルに最適
測定コード表示の切替例
（左：アイコン＋名前/右：アイコン＋詳細説明）
・自動測定プログラム作成補助：ウィザード形式でティーチング手順をサポート。
画面の指示に従うだけで簡単にリプレイを実行できます。
・測定コードのタグ付け管理：任意の測定コードを選択し、タグごとに色分けし
て分かりやすく管理できます。
・ガイドパネル：作業中の測定手順を自動表示します。
＊総合倍率は、24型TFTモニタをWUXGA
（1920×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
＊1画素のサイズは目安となります。
ピント面までの距離
73.5mm
組立て部品（光学0.35×/垂直落射照明）
測定サポート機能
カスタマーズエッジセレクト/異常値除去
測定をサポートするオートフォーカス/高さ測定機構
イメージ
（画像）
AFを標準装備
63mmの長作動距離レーザAF（オプション）
測定物の表面およびエッジの画像走査によるAFを行います。最適アルゴリズムと
赤色半導体レーザ光を補助光とした非接触高さセンサで、光学
プログレッシブスキャンタイプのカメラの採用により、段差や面取りのあるワー
倍率に依存しないピント合わせと高さ測定を実現します。
メインパネルは測定作業の手順に伴って切り替わります。
インテリジェントサーチ
複数のエッジ候補から一つのエッジ
あらかじめ登録したパターンの形状を探して測定を実行します。サンプ
を任意に検出・選択できます。サン
ルの位置ズレや傾きを自動補正して測定可能な回転サーチを標準搭載
プル表面のゴミなどで生じた不正な
しています。
エッジを数値から除外し、より正確
な測定を行うことができます。
クでも高速 /高精度な
測定が可能です。
調光サポート
あらかじめ設定したワークの形状を自動検出
垂直落射/透過観察時の照明光量を、
1クリックで自動調整します。
測定物表面のスキャン
（表面AF）
測定物エッジのスキャン
（コントラストAF）
スピーディな高精度測定を実現する照明系
ティーチング機能
タイプAズームヘッドには垂直落射/透過/8分割
CADインターフェース支援機能
リング照明の3系統の照明を搭載。8方向の照
オフラインティーチング機能
明と光量を任意に組み合わせて微妙なエッジ
CADデータ
（IGESまたはDXF形式）
を取り込んで変換し、グラフィックウ
図面
（または加工）データ上で測定手順を指示し、ワークの完成前に自
を際立たせることが可能な8分割リング照明
（入
インドウにサンプルの図面形状を表示します。
動測定プログラムを作成可能。CADの特別な知識や操作経験がなくて
射角18°）
は、成形品・医療部品等、立体形状
DXFファイル作成機能
の測定物に非常に有効です。
青色モールド（光学0.35×）/垂直落射照明
10
位置や角度がずれていても検出可能
透過照明
8分割リング照明
も、オフラインで簡単にティーチング操作が行えます。
NEXIVの寸法ソフトで、測定結果からDXFファイルを作成できます。
11
ソフトウェア
オプション
Software
Option
形状評価形状評価プログラム NEXIV Profiler
JIS・ISO規格に準拠した結果評価機能を採用
画像合成解析ソフト EDF/Stitching Express
表面形状評価ソフト MountainsMap X
NEXIVで取り込んだEDF
（焦点合成）画像／Stitching
（貼り合わせ）画像
NEXIVで出力したデータによる表面の評価が行えます。評価結果は、操
を用いて、鳥瞰図表示や簡易断面評価などを行えます。複数のEDF画像
作順にレポートへ自動的に貼り付けられます。
を貼り合わせて、さらに広い範囲を形状評価することもできます。
【主な評価項目】
・等高線表
・切断面表示
・島の体積
・穴部/凸部の体積
・真円度評価
・平面度評価
・真直度評価
最小二乗法/最小領域法/最大内接円/最小外接円
最小二乗法/最小領域法/最大3点指示/最小3点指示
最小二乗法/最小領域法/2端点指示
形状評価機能
元画像
EDFによる鳥瞰図
元画像
EDF＋Stitchingによる断面表示
・距離
・段差
・高さパラメータ
CADデータ読込/編集機能
形状測定の結果と設計値の誤差を評価。結果を表や図で分かりやすく
取り込んだCADファイルの公差値変更、要素方向の切り替え、サイズの
表示/出力します。
変更等を行うことができます。
実寸と異なるサイズの図面の寸
法を修正したり、ティーチング方
向を揃えて測定をスムーズに行
う際に役立ちます。
クリックで要素方向を切替可
その他の測定/評価機能
表面形状解析ソフトD-SURF
簡易成績書ソフト Table Master
NEXIVにより測定されたワーク表面の鳥瞰図、等高線図、任意の断面形
Excelのセルに測定データを自由に貼り付け、検査成績書を簡単に作
状等の表示が行えます。データの加工や各種評価値の計算等、種々の
成できます。新規に測定データを読み込むと簡易データベースに自動
解析も可能です。
保存されるため、X-bar管理図、Min-Maxグラフにおける統計処理などと
いった、後からのデータ管理に便利です。
・自由曲線形状の自動測定、誤差表示：幾何寸法測定では評価できな
形状評価画面
評価結果
（PDF形式）
製造元：東海ソフト(株)
い二次元輪郭形状も測定・評価可能。より定量化した評価を行えます。
・形状測定機能：あらかじめ指定した開始点・終了点・測定ピッチなど
・形状誤差の計算：軸方向、法線方向の誤差を算出します。
をもとに輪郭形状に沿って自動的に測定し、結果を保存します。CAD
・形状データの作表/作図
・設計値データの作成：キー入力のほか、
CADデータからの作成、測定データ
の交換による作成も可能です。
データをもとにした輪郭形状の自動測定も可能です。
・測定値データの加工・出力：定ピッチ化等の加工後、
CSV/NCファイルを出力
します。PDF形式による測定結果リポートの書き出しも可能です。
・形状ベストフィット機能：回転/平行の2種類の軸に対して、測定結果と
設計値の誤差が細小になるように位置調整を行います。基準座標が異な
る場合でも容易に誤差評価が行えます。
・設計値作成機能：DXF・GBR形式のCADデータを、形状評価の設計
値データとして使用可能です。
検査成績表作成システム Custom Fit QC
測定リポート作成プログラム NEXIV Report
最大値/最小値/幅/標準偏差/工程能力指数などの測定データ管理を簡
単に行えるソフトウェアです。Custom Fit QCでは、品質管理で使用する
ヒストグラム、
X-R管理図、散布図の作成も可能です。
NEXIVの測定結果から任意のグラフィックや測定データを出力
専用除振台
共同開発：(株) アリア
し、検査成績書を作成するプログラムです。
外部振動の大きい環境に設置する際に
表示内容やレイアウトを全て変更可能なため、自由度の高い成
役立つ除振台です。
績書の作成を行うことができます。
ニコン標準仕様シグナルタワー
測定結果の一部を任意で
選択し、グラフィック上に
分かりやすく表示できます。
検査成績書
（PDF形式）
・標準10種類のテンプレートに加えて、オリジナルの検査成績表作成も可能。
・BMP、
JPEG等の画像ファイルも貼付け可能。
離れた場所から装置の状態を確認できます。
・角度の60進法表示切替、グラフ自動作成機能を搭載。
※オプションソフトウェアに必要な動作環境などについては別途お問い合わせください。
12
13
仕様／寸法図
Specifications/Dimensions
主な仕様
寸法図
VMZ-R 3020
モデル
VMZ-R 4540
VMZ-R 6555
VMZ-R 3020
ストローク
（X,Y,Z）
270
600×550×200mm
450×400×200mm
650×550×200mm
40kg
50kg
1.2+4L/1000μm
825
EUXY, MPE
2+4L/1000μm
Z軸測定精度（レーザAF使用時）
1.2+5L/1000μm
カメラ
※
白黒1/3型CCD
（プログレッシブスキャン）、カラー1/3型CCD
（プログレッシブスキャン/オプション）
700
300（Xストローク）
105
75
355（ステージガラス） 57
68
450
EUX, MPE EUY, MPE
300
20kg
20-M6 深10
28
0.01μm
被検物最大質量
315
最小表示単位
1795
300×200×200mm
510
タイプAモデル
15
356
400×400×200mm
420
60 60 60 60 60 60 60
230（ステージガラス） 63
タイプTZ（低倍対物使用時） 250×200×200mm
45
200（Yストローク） 78
650×550×200mm
78
450×400×200mm
63
タイプTZ（高倍対物使用時） 300×200×200mm
28
650×550×200mm
60 60 60 60 60
450×400×200mm
1285
標準モデル（タイプ1∼4） 300×200×200mm
測定精度
ステージ上面図
480
730
190
※カラーCCDカメラはタイプ1/タイプ2/タイプAカメラヘッドのみ対応
VMZ-R 4540
標準モデル（タイプ4） 30mm
100
100
100
100
38
73.5mm
（レーザAF部63mm）
89.5
タイプAモデル
38 100
270
高倍対物使用時：11mm／低倍対物使用時：32mm
20
タイプTZ
ステージ上面図
1000
656
8
標準モデル（タイプ1∼3） 50mm
30
作動距離
倍率／視野
610
580（ステージガラス）
215
レーザAF
（タイプAはオプション）／イメージAF
830
920
照明
170
190
1000
1340
63
8
450（Xストローク）
63
16
0.35∼3.5× ／ 13.3×10∼1.33×1mm
20
タイプAモデル
90.5
／ 1.165×0.875∼0.078×0.058mm
／ 4.67×3.5∼0.039×0.029mm
450
4∼60×
1∼120×
850
（タイプ4）
タイプTZ
491
／ 2.33×1.75∼0.155×0.117mm
1820
／ 4.67×3.5∼0.311×0.233mm
2∼30×
1340
1∼15×
（タイプ3）
626
／ 9.33×7∼0.622×0.467mm
（タイプ2）
オートフォーカス
400（Yストローク）
測定範囲
標準モデル（タイプ1） 0.5∼7.5×
576（ステージガラス）
170
12-M8 深 20
標準モデル（タイプ1∼4）垂直落射、透過、8分割リング照明
（※全系統白色LED光源/タイプ1, 2, 3は3角度、タイプ4は1角度）
VMZ-R 6555
5A-2.5A
856
190×450×440mm/15kg
2100×1100mm
1200×1640×1820mm/約665kg
100
100
100
88
2300×1700mm
2400×2000mm
測定範囲
90.5
1000
1120
190
255
1125
1640
260
8
20
450
479
850
1340
1820
設置寸法
（W×D）
100
776
コントローラ
1000×1340×1820mm/約500kg
215
700×730×1795mm/約245kg
100
270
寸法
（W×D×H）／質量
本体+測定台
100
8
消費電流
88
1200
760
AC100V±10％、50/60Hz
89.5
供給電源
ステージ上面図
730（ステージガラス）
垂直落射、透過、8分割リング照明
（※全系統白色LED光源/1角度）
550（Yストローク）
タイプAモデル
垂直落射、透過
（高倍ヘッドのみ）
、暗視野照明
20
タイプTZ
63
650（Xストローク）
63
776（ステージガラス）
14-M8 深 20
14
15
CNC画像測定システムNEXIVシリーズ年間保守契約のご案内
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・修理部品の無料交換
詳細は、本社営業部、各営業所、株式会社ニコンインストルメンツカンパニーまでお問い合わせください。
安全に関するご注意
■ご使用前に「使用説明書」をよくお読みのうえ、正しくお使いください。
クラス 1 レーザ製品
CLASS 1 LASER PRODUCT
本カタログに記載されている会社名および商品名は、各社の商標または登録商標です。モニター画面は、はめ込み合成です。
カタログ記載の内容は2014年2月現在のものです。製品の価格、仕様、外観は製造者/販売者側がなんら債務を負うことなく予告なしに変更されます。
c 2013/2014 NIKON CORPORATION
○
ご注意:本書に掲載した製品及び製品の技術（ソフトウェアを含む）は、
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