PFS804k ウルチクリーン・KC 高純度化学薬品の大流量、高清浄度ろ過用ディスポ−ザブルフィルタ− “ウルチクリーン・KC”は、半導体製造プロセスにおける薬液のろ過用に開発されたオールフッ素樹脂製のディスポーザブルフィルターです。従来の“エンフロンPF・KC”と同一形状で、流量特性や除粒子性能を大幅に改善しました。さらに、内蔵されているフィルターは、すべて出荷前に酸洗処理を施していますので、清浄度も向上しています。このため、従来品を使用しているプロセスラインのグレードアップに最適なフィルターです。特長 ●ウルチプリーツ構造の最適化により、ろ過表面積を約40％拡大（当社従来品比） ●フィルターカートリッジをハウジングに熱溶着したディスポーザブルタイプ ●酸洗処理したフィルターを内蔵 ●全品出荷前完全性試験、気密試験実施済 ■材質構成部品材質フィルターメディア PTFE メディアサポート PTFE／PFA サポートコア PFA アウターケージ PFA エンドキャップ PFA ハウジング PFA ■仕様グレードろ過精度（μm） FD 0.05 FT FR FX 0.1 0.2 0.45 形状Ｔフロー、インラインサイズ 10インチ、5インチろ過表面積（cm2） 10インチ：12,000、5インチ：4,800 最高使用温度（℃） 170 0.49 MPaG（ 25℃以下） 0.39 MPaG（ 60℃以下）最高使用圧力 0.34 MPaG（ 90℃以下） 0.20 MPaG（120℃以下） 0.15 MPaG（150℃以下） 0.12 MPaG（170℃以下） ■流体適合性ほとんどすべての流体に適合します。ただし、流体および使用条件によっては使用できない場合があります。ご不明な点につきましては、当社各営業所までお問い合わせください。（注）ULTI-KLEENはポール社の登録商標です。（商標登録第4149200号）ウルチクリーン・KC 製品型式：LDF 1 2 UCF 3 4 E 5 6 1 3 5 コードろ過精度（μm）コード形状コード 0.05 0.1 2 ピラースーパータイプ（日本ピラー）（メス） D N インライン T 2 R 0.2 コードカートリッジサイズ X 0.45 05 コード 4 13 継手サイズ 06 ＊2 3/8″ （オス） 08 ＊2 1/2″（メス） 1/2″ （オス）＊3 3/4″（メス） 12 3/4″ （オス） 64 ＊4 3/8″ （オス）コードチューブサイズ 09 51 ＊1 L5 L5 6 ファイナルロック（クラボウ） 71 ピラースーパー300タイプPシリーズ（日本ピラー）（メス） 72 ピラースーパー300タイプPシリーズLタイプ（日本ピラー）（メス） L6 L4 L3 5″ インライン L6 5″ Tフロー L6 10″ T フロープレウェット処理品〈純水封入〉プレウェット処理品 −K7 〈純水封入〉メタル抽出処理品＊6 長さ（mm）チューブサイズ3/4″ チューブサイズ1/2″ （コード 13）（コード 09） 416 − 281 − 430 420 292 282 180 − 105 106 記号 L1 −K3 ＊6 抽出条件につきましては当社各営 8 60シリーズ（フロウエル）業所までお問い合わせください＊1 インラインタイプのみ＊2 インラインタイプのフレアスタイルタイプのみ＊3 フレアスタイルタイプのみ＊4 インラインピラースーパー300タイプシリーズのみ＊5 Tフロータイプのみ（注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。 L6 L2 オプションなしプレウェット処理なしフレアスタイル＊2 ＊5 4 5″ コード 20シリーズ（フロウエル） Tフロー 10″ 継手 1 T 1 6 10″ インライン L1 L2 L3 L4 L5 L6 ■流量―圧力損失特性（水、20℃） 10″Tフロー（3/4″ ） 5″Tフロー（3/4″ ） 60 0.05μm 40 0.10μm 0.20μm 0.45μm 20 0 0 10 20 流量（L/min）初期圧力損失（kPa）初期圧力損失（kPa） 60 40 0.10μm 0.20μm 20 0.45μm 0 30 0.05μm 0 5 10″ インライン（3/4″ ） 5″ インライン（1/2″ ） 0.05μm 40 0.10μm 0.20μm 20 0.45μm 0 10 20 流量（L/min）初期圧力損失（kPa）初期圧力損失（kPa） 20 60 60 0 10 15 流量（L/min） 0.05μm 40 0.20μm 0.45μm 20 0 30 0.10μm 0 2 4 6 8 流量（L/min） 10 12 〒163-1325 東京都新宿区西新宿 6-5-1 マイクロエレクトロニクス事業部プロセステクノロジー事業部 TEL.03（6901）5700 TEL.03（6901）5780 大阪営業所熊本営業所〒532-0003 大阪市淀川区宮原 3-5-36 〒862-0956 熊本市中央区水前寺公園 14-22 TEL.06 ( 6397 ) 3719 TEL.096 ( 382 ) 8420 本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。 12/2013改訂15V