M-PFSH068b 2011.11.28 11:12 ページ 1 PFSH068b ウルチクリーンG3・エクセラーER・KC 高純度発泡性流体に適した表面改質PTFEフィルター “ウルチクリーンG3・エクセラーER・KC”は、通常のPTFE 膜では通液不良を発生しやすい、発泡性流体のろ過用として開発されたオールフッ素樹脂製のフィルターです。当社従来品の 2倍以上のろ過面積を実現しました。メディアの乾きを抑制することにより、RCA洗浄プロセスで、安定した流量が確保できます。全品出荷前に酸洗処理を施しておりますので、フィルター設置後の装置立ち上げ時間を短縮できます。また、Tフロータイプでは、二次側ベント構造を標準装備しており、流体中のバブルを効率的に排出できます。これにより、バブル起因のウエハー上のパーティクルが低減できます。特長 ●表面改質PTFEフィルター ●ろ過精度15nmを実現 ●4.4m2の広いろ過面積（10インチ当たり、当社従来品の2倍以上のろ過面積） ●全品出荷前に酸洗処理後、超純水封入 ●Tフロータイプに二次側ベント構造を標準装備 Tフロータイプ（二次側ベント構造付き）利点 ■材質構成部品材質フィルターメディア表面改質PTFE メディアサポート PFA インナーコア PFA アウターケージ PFA エンドキャップ PFA ハウジング PFA シール部熱溶着 ●発泡性流体のろ過でも、安定した流量を確保 ●ろ過精度15nmで高流量を確保 ●装置のダウンタイムの短縮 ●Tフロータイプではバブル低減により、ウエハー上のパーティクル低減 ■仕様クリーンチェンジろ過精度 15 nm、20 nm 形状Ｔフロー、インラインろ過表面積 4.4 ㎡最高使用温度 170 ℃ 0.50 MPaG（ 25 ℃以下） 0.40 MPaG（ 60 ℃以下）最高使用圧力 0.35 MPaG（ 90 ℃以下） 0.20 MPaG（120 ℃以下） 0.15 MPaG（150 ℃以下） 0.12 MPaG（170 ℃以下）（注）ウルチクリーンの英文商標ULTI-KLEENはポール社の登録商標です。（商標登録第4149200号） M-PFSH068b 2011.11.28 11:12 ページ 2 ウルチクリーンG3・エクセラーER・KC 製品型式：LDFH ① ①フローコード 1 GP ② ③ E ④ ⑤ ③継手サイズフローコード T Tフロー N インライン ②メディアグレードコード定格ろ過精度入口/出口ベント/ドレンヘッド側（注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。備考ボウル側 12 3/4” （オス） 1/2” （メス） 1/2” （メス） Tフロー 128 3/4” （オス） 1/2” （オス） 1/2” （オス） Tフロー 16 1”（オス） 1/2” （メス） 1/2” （メス） Tフロー 15 15nm 164 1”（オス） 1/4” （オス） 1/4” （オス）インライン K 20nm 168 1”（オス） 1/2” （オス） 1/2” （オス） Tフロー ⑤オプション ④継手種類コードコードオプション 2 ピラースーパータイプ（日本ピラー）継手 −K3 プレウェット処理品（純水封入） 51 フレアスタイル −K7 プレウェット処理品（純水封入）メタル抽出処理品＊1 71 ピラースーパー300タイプＰシリーズ（日本ピラー） 72 ピラースーパー300タイプＰシリーズLタイプ（日本ピラー）＊1 抽出条件につきましては、当社各営業までお問い合わせください。 1″ インライン 1″ インライン 3/4″ Tフロー 1″Tフローフレアスタイル LDFHN1GPK164E51 ピラースーパー 300Pシリーズ LDFHN1GPK164E71 ピラースーパー 300Pシリーズ LDFHT1GPK12E71/72 ピラースーパー 300Pシリーズ LDFHT1GPK16E71/72 1″ オス 1/4″ オス 1″ オス 1/4″ オス 1/2″ メス φ135 3/4″ オス 3/4″ オス φ135 1/4″ オス 172 1/4″ オス 1″ オス 1″ オス 1/2″ オス 1/2″ オス 1″ オス 1/2″ メス（413）（416）（465）（467） φ135 φ135 1″ オス 1/2″ メス 1/2″ メス 187 1/2″ オス 1/2″ オス ■流量−圧力損失特性（水、 20℃） 60 50 40 15nm（GP15） 30 20nm（GPK） 20 3/4”クリーンチェンジ 3/4″クリーンチェンジ（Tフロー）（Tフロー）初期圧力損失（kPa）初期圧力損失（kPa） 1”クリーンチェンジ 1″クリーンチェンジ（インライン, （インライン, Tフロー） Tフロー） 10 0 60 50 15nm（GP15） 40 30 20nm（GPK） 20 10 0 10 20 30 0 40 流量（L/min）マイクロエレクトロニクス事業部 TEL.03（6901）5700 〒163-1325 東京都新宿区西新宿6-5-1 0 20 10 30 40 流量（L/min）大阪営業所熊本営業所〒532-0003 大阪市淀川区宮原 3-5-36 〒862-0956 熊本市水前寺公園 14-22 TEL.06 ( 6361 ) 1571 TEL.096 ( 382 ) 8420 本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。 12/2011改訂20V