PFS802h ミニ・クリーンチェンジ（液用） 各種薬液の小流量ろ過用オールフッ素樹脂製フィルタ− “ミニ・クリーンチェンジ ” は、枚葉式洗浄装置の薬品やレジスト 塗布装置の各種溶剤などの薬液の小流量ろ過用に開発された、ハ ウジング一体型のオールフッ素樹脂製フィルターです。コンパク トな構造にもかかわらず、プリーツ構造のフィルターを内蔵し、 優れた流量特性を持っているため、150mL/min 程度のろ過が可 能です。 新たに20nmのろ過精度をラインナップし、先端プロセス向けに、 より微小なパーティクル除去が可能になりました。 特長 ●コンパクトで広いろ過表面積 ●オールフッ素樹脂製 ●20nmまでのろ過精度ラインナップ 利点 ●長いろ過寿命が期待でき、フィルター交換が少なくなるので ランニングコスト低減が可能 ●ほとんどの流体のろ過が可能 ●先端用途での微小パーティクルの除去が可能 ■材質 構成部品 材 質 フィルターメディア PTFE メディアサポート FEP溶着PTFE サポートコア PFA エンドキャップ PFA ハウジング PFA ろ過精度 20 nm, 0.05 μm, 0.1 μm ろ過表面積 320 cm2 最高使用温度 120 ℃ 最高使用圧力 0.40 MPaG（125℃） 0.20 MPaG（190℃） 0.15 MPaG（120℃） ■材質 1／4″ピラースーパー＊1 ※継手の付属品として下記のものが同梱されています。 継 手 ・ナット4個：イン、アウト、ベント、ドレン用 ・スリーブ3個：イン、アウト、ベント用 ・キャップスリーブ1個：ドレン用 ＊1 日本ピラー工業社の商標 （注）クリーンチェンジはポール社の登録商標です。 （商標登録第2700805号） ミニ・クリーンチェンジ（液用） 製品型式：LDFN02 1 04E2 1 コード ろ過精度（μm） FK 20 nm F0005 0.05μm F001 0.10μm アウト 32 (mm) 19 ベント 108 φ32 ドレン 19 φ34 30 イン ■流量−圧力損失特性（水、20℃） 初期圧力損失（kPa） 20 20 nm 0.05μm 10 0.1μm 0 0 50 100 150 200 流 量（mL/min） ■流体適合性 ほとんどすべての流体に適合します。ただし、流体および使用条件によっては使用できない場合があります。 ご不明な点につきましては、当社各営業所までお問い合わせください。 〒163-1325 東京都新宿区西新宿 6-5-1 マイクロエレクトロニクス事業部 エ ナ ジ ー 事業部 TEL.03（6901）5700 TEL.03（6901）5780 大阪営業所 熊本営業所 〒532-0003 大阪市淀川区宮原 3-5-36 〒862-0956 熊本市中央区水前寺公園 14-22 TEL.06 ( 6397 ) 3719 TEL.096 ( 382 ) 8420 本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。 本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。 12/2014改訂10V
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