積⽔化学の⼤気圧プラズマ 化学メーカーとしての視点と独創的な着想から⽣まれた 「⼤気圧プラズマ」 ❖積⽔化学⼤気圧プラズマの特徴❖ 積⽔のプラズマは反応制御を特⻑とした⼤気圧プラズマです。 パルス出⼒でのプラズマ発⽣によりガス種を選ばずに反応ガス をつくりだし⼤気圧雰囲気でも安定したプラズマを発⽣させる ことが可能です。さらにガス流を制御することで、⼤⾯積かつ 均⼀な放電領域をつくることができる⼤気圧プラズマです。 ❖⼤気圧プラズマによる表⾯処理❖ プラズマ状態にした活性ガスを基材に作⽤させることで、極表 ⾯の有機物汚染を除去し、さらに表⾯に化学反応を起こし濡れ 性および接着性を向上させる効果があります。 また、ガス種の組合せでプラズマアプリケーションが広がります。 ⼤気圧プラズマで ナノレベル表⾯処理 有機物除去 真空チャンバを必要としない安定したプラズマ アッシング 削る エッチング 堆積 官能基形成 重合/ＣＶＤ 表⾯処理・洗浄 （親⽔・撥⽔） 幅広から極細まで積⽔化学の「⼤気圧プラズマ」ラインアップ ⼤気圧プラズマ 表⾯処理装置 RT Series（REMOTE） ⼤気圧プラズマ 表⾯改質装置 AP/H Series（DIRECT） フィルム⽤ ⼤気圧プラズマ 表⾯処理装置 RD Series スポットプラズマ 表⾯処理装置 AP/T Series 積⽔化学の「⼤気圧プラズマ」は次世代IT分野を担う ⾰新的な技術ソリューションとしてユーザーのご期待にお応えすることを ビジョンに掲げ更なる成⻑を続けていくことを⽬指します。 もっと⾝近に感じていただける積⽔化学のAPをお届けします。 P2事業推進部 www.sekisui-semi.jp
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