第 47 回 真空に関する連合講演会 主 催： 日本真空協会 共 催： 大阪大学産業科学研究所 協 賛： 映像情報メディア学会，応用物理学会，化学工学会，原子衝突研究協会，触媒学会，低温工学協会，電気学会，電 子情報通信学会，日本化学会，日本加速器学会，日本機械学会，日本金属学会，日本顕微鏡学会，日本原子力学 会，日本材料学会，日本質量分析学会，日本真空工業会，日本チタン協会，日本鉄鋼協会，日本表面科学会，日本 物理学会，日本分析学会，日本放射光学会，表面技術協会，腐食防食協会，プラズマ・核融合学会 期 日： 11 月 6 日(月) 9:00～17:30 11 月 7 日(火) 11 月 8 日(水) 11 月 9 日(木) 9:00～17:45 9:00～17:45 9:00～15:45 懇親会 18:15～20:15 第 47 回真空に関する連合講演会 企業展示会 合同シンポジウム・合同セッション 第 26 回表面科学講演大会 会 場： 参加費： 大阪大学 コンベンションセンター 1F, 2F, 3F (大阪府吹田市山田丘 2-1) A 会場(口頭発表) 1F 会議室 1 B 会場(口頭発表) 1F 研修室 1 C 会場(口頭発表) 2F 会議室 2 D 会場(口頭発表) 2F 会議室 3 E 会場(ポスター，企業展示) 3F MO ホール 懇親会場(カフェテリア匠の 2F) 一般：2,500 円， 学生：1,500 円 (※表面科学会の講演プログラムも聴くことができます) 予稿集代： 2 分冊(真空協会分及び表面科学会分各 1 冊) 3,500 円, 1 冊のみ購入の場合 2,500 円 懇親会： 11 月 7 日(火)18:15～20:15 講演会場北向かいのカフェテリア匠の 2 階にて，表面科学会と合同開催． 懇親会費: 3,000 円．(人数に余裕がある場合は，当日も受け付けます) 併設展示会出展企業リスト(10 月 1 日現在 小間番号順)： １． （株）トヤマ １６． アルバック理工（株） ２． （株）グリーンテック １７． （株）大阪真空機器製作所 ３． ナイス（株） １８． 佐藤真空（株） ４． 東京電子（株） １９． （株）岡野製作所 ５． 入江工研（株） ２０． 大成技研（株） ６． 神港精機（株） ２１． アユミ工業（株） ７． （株）松村石油研究所 ２２． （株）島津製作所 ８． （株）アンペール ２３． （株）アルバック ９． サイバネットシステム（株） ２４． アルバックテクノ（株） １０． カワソーテクセル（株） ２５． アリオス（株） １１． （株）ヤマト ２６． 大阪ラセン管工業（株） １２． （株）美和製作所 ２７． 伯東（株） １３． 日本エム・ケー・エス（株） ２８． エス・ケイ・ケイ・バキュウムエンジニアリング（株） １４． （株）岡崎製作所 ２９． キヤノンアネルバ（株） １５． アルバック・ファイ（株） ３０． （株）リガク (1) 第 47 回真空に関する連合講演会 会場スケジュール 11月7日(火) 11月8日(水) 研修室(1F) ＭＯホール 会議室１(1F) 研修室(1F) ＭＯホール 会議室１(1F) 研修室(1F) Ａ会場 Ｂ会場 Ｅ会場 Ａ会場 Ｂ会場 Ｅ会場 Ａ会場 Ｂ会場 真空開会式 9:00 8Aa-1 ・表彰式 受賞記念講演(1) ン 表 面 科 学 受賞記念講演(2) （ 城 真範 10:00 ） 真 空 10:15 8Ba-1 9:00 小倉浩一 森田清三 （特別） 8Ba-2 9Aa-1 9Ba-1 鈴木淳 板倉明子 趙福来 受賞記念講演(3) 8Aa-2 8Ba-3 安江常夫 8Aa-3 プ ラ ズ マ 垣内拓大 久保隆 薄 膜 8Ba-4 山田哲也 8Aa-4 9Aa-2 9Ba-2 丸山淳平 Liu Huarong 9Aa-3 兼松秀行 8Ba-5 9Aa-4 津田宗幸 吉森晋太郎 吉川潔 （特別） 8Aa-5 鷺坂圭亮 佐藤 陽亮 10:30 9Aa-5 稲吉さかえ 10:45 7Aa-1 ッ ョ 合 同 セ 11:00 7Ba-1 8Aa-6 8Ba-6 11:15 11:30 7Aa-2 鈴木基史 応 用 表 面 科 学 7Ba-3 表 面 ） 田中信夫 （特別） 7Aa-3 11:45 7Ba-2 吉武道子 （ ナ ノ 構 造 ン 表 面 科 学 山本浩二 9Aa-6 平塚崇人 道園真一郎 真 空 科 学 舟窪浩 （特別） 8Aa-7 シ 吉武道子 村越敬 （特別） 中辻 寛 8Aa-8 大西 洋 ナ ノ 構 造 9Aa-7 9Ba-3 表 面 科 学 ・ 応 用 表 面 科 学 ・ ナ ノ 構 造 櫻井誠 9Ba-4 9Ba-5 9Ba-6 9Ba-7 7Ap-1 14:15 14:30 14:45 15:00 7Bp-1 9Ba-8 鷹野一朗 8Aa-9 8Ba-8 9Aa-9 9Ba-9 青山正宏 吉田憲司 大石真也 斉藤直昭 合 同 シ ン ポ ス ピ ン ト ロ ニ ク ス の 表 面 科 学 7Ap-2 8Ap-1 清水勝 （特別） 多々良源 13:15 14:00 薄 膜 石橋幸治 高柳邦夫 7Bp-2 企 業 展 示 平井孝彦 7Bp-3 尾崎祐輔 7Ap-3 7Bp-4 中野武雄 秋永広幸 7Bp-5 平田正紘 （特別） 7Ap-4 川越毅 7Ap-5 真 空 科 学 7Bp-6 金戸成 7Bp-7 合 同 シ ン ポ 超 高 真 空 表 面 顕 微 鏡 の 最 前 線 8Ap-2 11:15 11:30 11:45 木村昭夫 8Bp-1 9Ap-1 鳥養祐二 川端克昌 8Bp-2 9Ap-2 中島大樹 任星淳 8Bp-3 9Ap-3 企 業 展 示 渡辺文夫 本間芳和 8Bp-4 真 空 科 学 8Ap-3 越川孝範 8Ap-4 表 面 工 学 9Bp-1 13:00 松原秀彰 （特別） 13:15 9Bp-2 13:30 伊藤哲蔵 9Bp-3 13:45 Lee Chaechu 8Bp-5 電 子 材 料 ・ 薄 膜 園部宗孝 8Bp-6 和田薫 8Bp-7 9Ap-4 9Bp-4 亀田直人 濱田拓郎 9Ap-5 9Bp-5 元谷卓 神崎祥尚 14:00 14:15 14:30 城真範 小池和幸 8Ap-5 8Bp-8 9Ap-6 楠本淑郎 古塚毅士 8Bp-9 9Ap-7 新井健太 岡村健太郎 尾嶋正治 7Bp-8 酒井滋樹 （特別） 浦野俊夫 田村芳一 15:15 11:00 西脇みちる 12:00 13:00 13:45 10:45 牧田欧子 9Aa-8 8Ba-9 10:30 広畑優子 吉田肇 日浅健 10:00 10:15 8Ba-7 8Aa-10 9:45 Yuriy Pihosh 加藤茂樹 高岡 毅 9:30 越川孝範 12:00 13:30 9:15 シ 渡辺文夫 9:30 9:45 合 同 セ ッ ョ 9:15 11月9日(木) 会議室１(1F) 9Ap-8 秋道斉 14:45 15:00 15:15 佐々木紀和 9Ap-9 15:30 15:30 日根清裕 15:45 15:45 16:00 16:15 16:00 ポスター7P 奇数番 コアタイム ポスター8P 奇数番 コアタイム 16:15 16:30 16:30 16:45 16:45 17:00 17:15 17:00 ポスター7P 偶数番 コアタイム ポスター8P 偶数番 コアタイム 17:15 17:30 17:30 17:45 17:45 18:00 18:00 18:15 18:15 合同懇親会 カフェテリア匠2F 講演会会場より徒歩１分 20:15 20:15 (2) 第 47 回真空に関する連合講演会 受賞記念講演・シンポジウム・特別講演一覧 発表番号 講演題目 真空技術 講演者(所属) セッション 期日 時間 会場 受賞記念 11 月 7 日 9:15～9:45 A 受賞記念 11 月 7 日 9:45～10:15 A 受賞記念 11 月 7 日 10:15～10:45 A ナノ構造 11 月 7 日 11:00～11:30 A 11 月 7 日 11:30～12:00 B 11 月 7 日 13:00～13:30 A 11 月 7 日 13:30～14:00 A 11 月 7 日 14:00～14:30 A 11 月 7 日 14:30～15:00 A 11 月 7 日 15:00～15:30 A 11 月 7 日 13:00～13:30 B 渡辺 文夫 極真空用残留ガス分析計の開発 賞 ((有)真空実験室) 鏡面反射成分を考慮したオリフィス 真空進歩 透過確率のモンテカルロシミュレー 賞 城 真範 (産総研) ション 真空進歩 賞 7Aa-1 7Ba-3 7Ap-1 7Ap-2 高濃度オゾンガス局所リアルタイム 佐藤 陽亮 濃度測定法の開発 (産総研，東京理科大) 金属微小接合形成と機能性賦与 村越 敬 (北大) 球面収差補正 TEM/STEM 技術の 進展とそのナノ解析への応用 田中 信夫 (名大) 応用表面 科学 多々良 源 磁壁の電流駆動の理論 カーボンナノチューブ人工原子に おける単一スピンの発生と制御 (首都大学東京) 石橋 幸治 (理研) 合同 シンポ ジウム１ 7Ap-3 7Ap-4 7Ap-5 7Bp-1 カーボンナノチューブ探針を用いた 高分解能磁気力顕微鏡 スピン偏極 STM・STS による層状 反強磁性 Cr 薄膜の表面磁性 スピン分解光電子分光でみるナノ 磁性体の電子構造 MOCVD 法による強誘電体極薄膜 及びナノ構造の作製と物性評価 秋永 広幸 (産総研) スピントロ ニクスの 川越 毅 (大阪教育大) 表面科学 木村 昭夫 (広大) 清水 勝 (兵庫県立大) (3) 薄膜 7Bp-5 8Aa-1 真空技術関連規格の現状と動向 複素ナノ構造体を組み立てる -AFM で原子を識別・操作・組立- 平田 正紘 (産総研) 真空科学 11 月 7 日 14:15～14:45 B 森田 清三 (阪大) 表面科学 11 月 8 日 9:00～9:30 A 吉川 潔 (京大) プラズマ 11 月 8 日 10:00～10:30 B 舟窪 浩 (東工大) ナノ構造 11 月 8 日 10:45～11:15 B 11 月 8 日 13:00～13:30 A 11 月 8 日 13:30～14:00 A 11 月 8 日 14:00～14:30 A 11 月 8 日 14:30～15:00 A 11 月 8 日 15:00～15:30 A 11 月 9 日 13:30～14:00 A 11 月 9 日 13:00～13:30 B 超小型核融合中性子源による人道 8Ba-5 的対人地雷探知技術開発研究の 現状 8Ba-6 8Ap-1 8Ap-2 自然超格子構造を用いたサイズ効 果フリー誘電体キャパシタ 50 pm 分解能物質解析電子顕微 鏡と表面研究 超高真空 SEM を用いた表面観察 高柳 邦夫 (東工大) 本間 芳和 (東京理科大) 合同 シンポ ジウム２ 8Ap-3 LEEM/PEEM を用いた表面の動 的観察 越川 孝範 (大阪電通大) 超高真空 表面 8Ap-4 8Ap-5 9Ap-3 9Bp-1 スピン偏極走査電子顕微鏡 放射光光電子顕微鏡を用いた磁性 ナノ構造の観察 強誘電体 FET の最近の発展：ゲー ト材料，プロセス，自己整合ゲート 電子ビーム PVD 法によるセラミック スコーティングとナノ構造制御 小池 和幸 (北大) 顕微鏡の 最前線 尾嶋 正治 (東大) 酒井 滋樹 (産総研) 電子材料 ・薄膜 松原 秀彰 (JFCC, ファインセラミック スセンター) (4) 表面工学 プ ロ グ ラ ム ――― 11 月 7 日 ――― A 会場 午前の部 【 開会式・表彰式・受賞記念講演 】 9:00～10:45 開会の挨拶 表彰式 受賞記念講演(真空技術賞) 極真空用残留ガス分析計の開発 ………………………………………………………((有)真空実験室) ○ 渡辺文夫 受賞記念講演(真空進歩賞) ○ 城真範 鏡面反射成分を考慮したオリフィス透過確率のモンテカルロシミュレーション ………(産業技術総合研究所) 受賞記念講演(真空進歩賞) 高濃度オゾンガス局所リアルタイム濃度測定法の開発 …………(産業技術総合研究所，東京理科大学) ○ 佐藤陽亮 《 休 憩 》 【 ナノ構造 】 11:00～12:00 7Aa-1 【特別講演】 金属微小接合形成と機能性賦与 7Aa-2 動的斜め蒸着法による高密度金ナノロッドアレイの形成と表面増強ラマン散乱基板への応用 …………………………………………………………(北大)○村越敬 …………………………………(京大院工・JST 京都府 CREATE*1・同大・工*2)○鈴木基史・和田吉典 ・中嶋薫・木村健二・福岡隆夫*1・森康維*2 7Aa-3 Au(111)面上に堆積された Poly(3-hexylthiophene)分子の STM 観察 …(愛知工大)○山本浩二・落合鎮康・澤五郎 ・内田悦行・小嶋憲三・大橋朝夫・水谷照吉 B 会場 午前の部 【 応用表面科学 】 11:00～12:00 ……………………………(物材研*1)○吉武道子*1・Song Weijie*1 7Ba-1 アルミナ極薄膜の結晶性による仕事関数の違い 7Ba-2 基板-アルミナ膜界面のバンドアライメントに対するアルミナ極薄膜の結晶性の影響 ……………………(物材研*1・カレル大*2・Sincrotrone Trieste*3)○吉武道子*1・W.Song*1・V.Matolin*2 ・J.Libra*2・K.Masek*2・F.Sutara*2・K.C.Prince*3 7Ba-3 【特別講演】 球面収差補正 TEM/STEM 技術の進展とそのナノ解析への応用 …………………(名大)○田中信夫 A 会場 午後の部 【 合同シンポジウム１ スピントロニクスの表面科学 】 13:00～15:30 7Ap-1 磁壁の電流駆動の理論 ……………………………………………………………………(首都大学東京) 7Ap-2 カーボンナノチューブ人工原子における単一スピンの発生と制御 7Ap-3 カーボンナノチューブ探針を用いた高分解能磁気力顕微鏡 7Ap-4 スピン偏極 STM・STS による層状反強磁性 Cr 薄膜の表面磁性 …………………………(大阪教育大学) 7Ap-5 スピン分解光電子分光でみるナノ磁性体の電子構造 ○ 多々良源 ………………………(理化学研究所) ○ ……………………(産業技術総合研究所) ○ …………………………………………(広島大学) 石橋幸治 秋永広幸 ○ 川越 毅 ○ 木村昭夫 B 会場 午後の部 【 薄膜 】 13:00～14:15 7Bp-1 【特別講演】 MOCVD 法による強誘電体極薄膜及びナノ構造の作製と物性評価 ……………(兵庫県立大)○清水勝 7Bp-2 イオンビームアシスト蒸着法による HfO2 薄膜の結晶配向制御 ……………(松下電工(株)生研)○平井孝彦・北村啓明 7Bp-3 Xerogel を蒸着源とした真空蒸着法による酸化ニオブ薄膜の作製 7Bp-4 金属窒化物の反応性スパッタ製膜における真空環境の影響 (5) ………(高松高専)○尾崎祐輔・岡野寛・鹿間共一 …………(成蹊大理工)○中野武雄・星堅一郎・馬場茂 【 真空科学 】 14:15～15:30 7Bp-5 【特別講演】 真空技術関連規格の現状と動向 ……………………………………………………(産総研)○平田正紘 7Bp-6 ポンプの性能試験方法に関する標準化の現状 …………………………………((株)大阪真空機器製作所)○金戸成 7Bp-7 漏れ試験方法の規格の現状 7Bp-8 産総研の真空標準と校正サービス ……………………………………………(キヤノンアネルバテクニクス(株))○田村芳一 ………………………………………………………(産総研)○秋道斉・平田正紘 《 休 憩 》 E 会場 ポスターセッション 奇数番コアタイム 15:45～16:45 偶数番コアタイム 16:45～17:45 (発表番号右肩に*印のあるものは優秀ポスター審査対象) 【 薄膜・ナノ構造・電子材料・プロセス 】 7P- 1 Performance of Organic Field Effect Transistor with Polycarbonate Dielectric Layer ……………(愛工大) ZHANG QIANG・落合鎮康・澤五郎・内田悦行・大橋朝夫・小嶋憲三・水谷照吉 ○ 7P- 2 オールプラスチック有機電界効果トランジスタの作成とその性能評価 ………………(愛知工大)○山本浩二・落合鎮康 ・澤五郎・内田悦行・小嶋憲三・大橋朝夫・水谷照吉 7P- 3 複合膜で作成したプリズム結合導波路の光双安定特性の複合膜中の Poly(3-hexylthiophene)濃度効果 ……………(愛知工大)○磯貝考治・落合鎮康・澤五郎・内田悦行・小嶋憲三・大橋朝夫・水谷照吉 7P- 4* PLD 法を用いて作製した酸化物透明導電膜の仕事関数 …………(大阪産大工*1・奥田技術事務所*2・(株)リガク*3) 吉田和夫*1・村上真一郎*1・安倉秀明*1・青木孝憲*1・鈴木晶雄*1・松下辰彦*1・奥田昌宏*2・太田弘道*3 ○ 7P- 5 Effect of Annealing on the Structure of Poly(3-hexylthiophene) Thin Films for OFET Applications ……………(愛工大)○Xin Wang・落合鎮康・澤五郎・内田悦行・大橋朝夫・小嶋憲三・水谷照吉 7P- 6 発表取消 7P- 7 溶液法によるポリ(3-ヘキシルチオフェン)薄膜の配向制御 ……………………(愛工大)○山田有・落合鎮康・小嶋憲三 ・大橋朝夫・内田悦行・水谷照吉 7P- 8 DC リアクティブスパッタリング法による Al ドープ ZnO 薄膜の基板バイアス効果 …(電通大)○宇佐美興一・本橋弘一 ・黒川雄介・守屋雅隆・水柿義直・小林忠行 7P- 9* ZnO 系透明導電膜上に RF スパッタ法を用いて堆積させた金属薄膜の特性 ………………………(大阪産大工*1・奥田技術事務所*2・(株)リガク*3)○大月寛之*1・安倉秀明*1 ・青木孝憲*1・鈴木晶雄*1・松下辰彦*1・奥田昌宏*2・太田弘道*3 7P-10* ArF エキシマレーザーを用いた PLD 法で成膜した ITO + AZO 積層透明導電膜の特性 ………(大阪産大工*1・奥田技術事務所*2・(株)リガク*3)○東村佳則*1・中村真貴*1・奥野智也*1 ・安倉秀明*1・青木孝憲*1・鈴木晶雄*1・松下辰彦*1・奥田昌宏*2・太田弘道*3 7P-11* PLD 法により作製した酸化亜鉛系透明導電膜の特性改善 2 ……(大阪産大工*1・奥田技術事務所*2・(株)リガク*3) 高瀬康則*1・安倉秀明*1・青木孝憲*1・鈴木晶雄*1・松下辰彦*1・奥田昌宏*2・太田弘道*3 ○ 7P-12* PLD 法により有機基板上に作製した AZO 透明導電膜の特性 ……(大阪産大工*1・奥田技術事務所*2・(株)リガク*3) 中村篤宏*1・安倉秀明*1・青木孝憲*1・鈴木晶雄*1・松下辰彦*1・奥田昌宏*2・太田弘道*3 ○ 7P-13* PLD 法による GZO 透明導電膜の保護層付有機基板上への成膜 …(大阪産大工*1・奥田技術事務所*2・(株)リガク*3) 上原賢二*1・室中正太*1・道畑良太*1・安倉秀明*1・青木孝憲*1・鈴木晶雄*1・松下辰彦*1・奥田昌宏*2・太田弘道*3 ○ 7P-14 階段状構造を有する X 線用多層膜レンズの作製 ……(産総研*1・関西医大*2・SPring-8*3)○田村繁治*1・安本正人*1 ・上條長生*2・鈴木芳生*3・竹内晃久*3・上杉健太朗*3・寺田靖子*3 7P-15* RF マグネトロンスパッタ法により作製した Fe 系酸化物光記録膜の光記録特性 ………………………………………(大阪産大工*1・奥田技術事務所*2)○三代一真*1・青木孝憲*1 ・鈴木晶雄*1・松下辰彦*1・奥田昌宏*2 7P-16 スパッタ法による a-SiC:H 薄膜の微結晶化 …………(宮崎大*1・高松工専*2・静岡県富士工技センタ*3)○斎藤順雄*1 ・藤田真宏*1・岩田弘*2・仲秋勇*3・杉山治*3 7P-17* Investigation of photocatalytic property of TiO2 films prepared by RF magnetron sputtering on unheated substrates 7P-18 …………………………(物材研材料信頼性センター)○Yuriy Pihosh・後藤真宏・笠原章・土佐正弘 冷陰極材料としての窒化ハフニウム薄膜の評価 …(京大院工)○神澤太郎・瀬戸島範幸・後藤康仁・辻博司・石川順三 (6) 7P-19 Ni-Cr 複合酸化物薄膜のエレクトロクロミズム…………(宮崎大*1・高松工専*2・静岡県富士工技センタ*3)○斎藤順雄*1 ・野村典史*1・吉野賢二*1・岩田弘*2・仲秋勇*3・杉山治*3 7P-20* 発表取消 7P-21* プラズマスパッタ法により作製した Pt-C 複合薄膜の電極触媒への応用―メタノール酸化における CO 被毒耐性の評価 ― ………………………(大阪府立産技研情報電子部*1・大阪府立産技研機械金属部*2) ○ 7P-22* 松本茂生*1・西村崇*2・岡本昭夫*1 高分子フィルム上への酸化クロム薄膜ストレインゲージの作製と触覚センサへの応用 ……………(大阪府立産技研) ○ 筧芳治・佐藤和郎・岡本昭夫・松永崇・小栗泰造・山元和彦・日下忠興・吉竹正明 7P-23 ……………(産総研*1・関西医大*2・JASRI*3)○安本正人*1 硬 X 線用 1 次元多層膜フレネルゾーンプレートの作製 ・田村繁治*1・上條長生*2・竹内晃久*3・上杉健太朗*3・鈴木芳生*3 7P-24 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法における Cu 成膜中の基板電流特性 ………(広工大院工) ○ 村岡裕紀・小林祐司・小埜芳和・川畑敬志 7P-25* 反応性スパッタ法による TaAl-N 薄膜における高 TCR 化への検討 …………………((株)岡野製作所*1・大阪府立産技研*2・(財)大阪産業振興機構*3・大阪市立大*4) 岡野夕紀子*1・田尻修一*1・青園隆司*1・岡本昭夫*2・小川倉一*3・美馬宏司*4 ○ 7P-26* イオン照射によって改善された酸化チタン薄膜の光機能特性 7P-27 Ar または Kr ガス中における多重磁極型高周波マグネトロンスパッタ法による Fe 薄膜の作製 ………………(広工大) …………(工学院大)○濱口純一・鷹野一朗・佐藤光史 ○ 桑原豪・岩瀬一毅・八重垣周平・上田康夫・川上博之・川畑敬志 7P-28 M-I-M 型薄膜電子エミッタの作製とその特性 …………………………(阪大院工*1・物質材料機構*2)○小久保勇志*1 ・毎田修*1・寺地徳之*2・伊藤利道*1 7P-29* プロトン伝導性ベーマイト電解質膜の燃料電池への応用 7P-30 高周波多重磁極スパッタ法による Ni ターゲット上の磁場分布と薄膜作製 ………………………(大阪工大工)○木村健志・長田昭義 …(広島工大工電子・光システム工学科*1) 岡山勇太*1・村岡裕紀*1・小埜芳和*1・小林佑司*1・川畑敬志*1 ○ 7P-31 高品質 CVD ダイヤモンドにおけるショットキー接合の形成とその応用 …(阪大院工)○岩鍜治陽子・毎田修・伊藤利道 7P-32 高出力マイクロ波プラズマ CVD による配向多結晶ダイヤモンド薄膜の高品質化の検討 ……………(阪大*1 物材研*2) 長谷川哲視*1・野呂雅和*1・毎田修*1・寺地徳之*2・伊藤利通*1 ○ 7P-33 石英管型低出力 MWPCVD 装置を用いた高電力密度化によるボロンドープダイヤモンド薄膜合成 ………………………………………………………(阪大工*1・東芝松下ディスプレイテクノロジー*2) 中井孝洋*1・宮武秀宇*1・有馬一也*2・毎田修*1・伊藤利道*1 ○ 7P-34 ○ 7P-35 ………………………(阪大*1・物材研*2) CVD ダイヤモンド中の生成キャリアの制御とその紫外線検出器への応用 山元貴*1・松原弘*1・毎田修*1・寺地徳之*2・伊藤利道*1 高品質ホモエピタキシャル CVD ダイヤモンド成長における基板研磨処理及び表面ステップ密度依存性 ……………………(阪大院工*1・物材研*2)○宮武秀宇*1・有馬和也*1・寺地徳之*2・伊藤利道*1 7P-36 高品質単結晶 CVD ダイヤモンド薄膜を用いた軟 X 線および紫外線検出器の特性評価 ……………………(阪大工*1・物質材料機構*2)○松原弘*1・毎田修*1・寺地徳之*2・伊藤利道*1 7P-37* イオンビームアシスト法により作製した DLC 薄膜における基板温度の影響 7P-38 Ab-initio study on single-walled carbon nanotubes filled with Fe wire on metal surfaces ……(工学院大工)○足立真宏・鷹野一朗 ………………………………(阪大)○Melanie David*1・Tomoya Kishi*1・Masanori Kisaku*1 ・Hiroshi Nakanishi*1・Hideaki Kasai*1 7P-39* 配向カーボンナノチューブの熱電界電子放出特性 ……………………(京都工繊大*1・(株)太陽光研*2)○大前敦義*1 ・吉岡久*1・林康明*1・北村幸三*2・九十九清彦*2 7P-40* カーボンナノチューブ電子源を搭載した小型走査電子顕微鏡の開発 …………(産総研ナノテク 1・日大理工 2・テクネックス工房(株)3・北大電子科学研 4)○菅洋志*1*2 ・大野輝昭*3・・田中深幸*1・西岡泰城*2・徳本洋志*4・清水哲夫*1 7P-41* 配向カーボンナノチューブの後処理効果 7P-42 表面炭素化した Si-FEA から放出される電子のエネルギー分析 ………………………(京都工繊大工芸科学研究科)○飯高大介・林康明 (7) ………(科学技術振興機構研究成果活用プラザ京都*1・京大院工*2・産総研*3・日新イオン機器*4) 竹内光明*1・大和田淳*2・小島俊彦*2・後藤康仁*2・長尾昌善*3 ○ ・辻博司*2・石川順三*2・酒井滋樹*4・木本恒暢*2 7P-43 BN 微粒子からの電界放射特性 7P-44* 単原子電子源の走査型電子顕微鏡への応用 ……(早大材研*1・JST さきがけ*2・電気化学工業*3・ホロン*4・アプコ*5) ……………………………………………(北海道東海大工)○吉本智巳・岩田達夫 裏田友洋*1・趙福來*1*2・石川剛*1・六田英治*1・野々垣良三*3・米澤彬*4・齋藤秀一*5・大島忠平*1 ○ 7P-45 水素ガス導入下における Si:C-FEA の経時変化の測定 …………(京大院工*1・JST*2・産総研*3・日新イオン機器*4) 大和田淳*1・小島俊彦*1・竹内光明*2・後藤康仁*1・長尾昌善*3・辻博司*1 ○ ・石川順三*1・酒井滋樹*4・木本恒暢*1 7P-46 水素プラズマ照射により形成した粒状白金の構造及び特性評価 …(阪大院*1)○鐘ヶ江孝祐*1・毎田修*1・伊藤利道*1 7P-47 A comparative study on the interaction of platinum with group 4A (germanium, tin and lead) porphyrins …………………………………(阪大工学科応用物理学専攻*1)○エべンシディ*1・笠井秀明*1 7P-48 ラマン分光による負イオン注入形成ゲルマニウムナノ粒子の評価 ○ …………………(京大院工*1・シャープ基盤研*2) 洗暢俊*1・2・辻博司*1・箕谷崇*1・中塚博之*1・小嶋研史*1・足立浩一郎*2 ・小瀧浩*2・石橋豊次*1・後藤康仁*1・石川順三 7P-49* In/Si(111)相転移の解析 …………………………………(岡山理科大総合情報*1・岡山理科大工*2)○矢城陽一朗*1 ・垣谷公徳*2・加地博子*2・吉森昭夫*1 7P-50 DC マグネトロンスパッタを用いたナノスケール基板上の結晶 Si 薄膜の室温形成 ○ ……(阪大院工*1・(株)デンソー*2) 山口晴央*1・和泉智久*2・伊藤利通*1・毎田修*1 ………………(阪大院工)○南谷英美・Melanie David・中西寛・笠井秀明 7P-51 遷移金属酸化物の磁性状態と電気伝導 7P-52* テープポルフィリンに対する分子吸着効果 7P-53* Density functional theory based investigation of electric and magnetic properties of benzene-transition metal multiple-decked sandwich chain …………………(阪大院工)○宮本敬太・Eben Sy Dy・中西寛・笠井秀明 …………………(阪大院工)○M. M. Rahman・R. Muhida・H. Kasai 7P-54 磁気記録媒体用薄膜の加熱処理による膜構造変化 7P-55 マイクロ波プラズマ CVD 法による円錐状カーボンの形成とその電界電子放出特性 ……………………(電通大電子) ……(秋田県産総研究センター)○有明順・原田紀子・本多直樹 ○ 松本裕司・宇佐美興一・守屋雅隆・水柿義直・小林忠行・湯郷成美 7P-56* 酸化チタン薄膜の反応性イオンエッチング(RIE)に関する理論的研究 ………………………………(阪大工*1・阪大ナノサイエンス・ナノテクノロジー研究推進機構*2) 松本茂野*1・Melanie Y. David*1・Tanglaw A. Roman*1・Rifki Muhida*1 ○ ・Wilson A. T. Diño*2・笠井秀明*1 7P-57* 低エネルギーCF3 イオンビームによる SiO2 のエッチング機構 ………………………………………(阪大工原子分子イオン制御理工学センター*1・産総研*2) 滝澤敏史*1・豊島隆寛*1・木内正人*2・吉村智*1・浜口智志*1 ○ 7P-58 極高真空装置を用いた微細孔への Cu 埋め込み ……………………(東京理科大工)○中野弘文・宇原祥夫・今村睦 ・畑山慶成・ジャンフォンイン・小串佳己・斉藤茂 7P-59* Al2O3 微粒子を用いた光閉じ込め構造を有する a-Si 太陽電池の作製 ……………(阪大院工*1・阪大院理*2・阪大産研*3)○毎田修*1・小林克稔*2・岡藤麻子*2・小林光*3 7P- 60 c-BN 膜の硬さ特性と工具応用 ………(神港精機*1・滋賀県東北部工業技術センター*2・滋賀県立大*3)○野間正男 ・小松永治*1・所敏夫*2・大西宏明*2・小川圭二*3・中川平三郎*3 《 休 憩 》 カフェテリア匠 2F 【 合同懇親会 】 18:15～20:15 (8) ――― 11 月 8 日 ――― A 会場 午前の部 (9:00～12:00) 【 合同セッション 表面科学 】 9:00～12:00 8Aa-1 【特別講演】 複素ナノ構造体を組み立てる－AFM で原子を識別・操作・組立－ …………………(阪大)○森田清三 ・杉本宜昭*1・大藪範昭*1・オスカル・クスタンセ*1・阿部真之*1 8Aa-2 Cu/W(110)の PEEM コントラストの被覆率依存性 …………………………(大阪電通大エレ研*1・アリゾナ州立大*2) 清水宏*1・中口明彦*1・橋本道廣*1・上田将人*1・○安江常夫*1・E.Bauer*2・越川孝範*1 8Aa-3 電子‐電子‐イオンコインシデンス分光装置の開発,性能評価,SiO2 / Si(111)のサイト選択的 Si LVV オージェ過程研究 への応用 …………………(総研大物質構造*1・産総研*2・群馬大教育*3・千葉大工*4・物構研*5・JST/さきがけ*6) 垣内拓大*1・小林英一*2・岡田直之*3・小山田健*3・奥沢誠*3・奥平幸司*4・間瀬一彦*1*5*6 ○ 8Aa-4 白金上に吸着した酸素へのプロトン移動 8Aa-5 電子衝撃脱離法による MgO(001)劈開面へのメタノール吸着の観察 ………………………………………………(阪大工)○津田宗幸・笠井秀明 …(東邦大理)○鷺坂圭亮・高木祥示・後藤哲二 《 休 憩 》 8Aa-6 NH3-MBE 法を用いた GaN 成長における Ga の触媒効果 8Aa-7 Co/N/Cu(001)表面の電子状態 ……… (東大物性研 ・東大理 ) ○中辻寛*1・飯盛拓嗣*1・関場大一郎*1・土肥俊介*1 ………………………………(早大理工*1・早大医工研*2) ○ *1 平塚 崇人*1・吉崎 忠*1・川原塚 篤*2・堀越 佳治*2 *2 ・柳生数馬*1・高木康多*1・大野真也*1・宮岡秀治*1・山田正理*1・雨宮健太*2・松村大樹*2・太田俊明*2・小森文夫*1 8Aa-8 ケルビンプローブ顕微鏡を用いた Pt/TiO2 モデル触媒の電荷移動計測 ………(神戸大理*1・科学技術振興機構*2) 笹原亮*1*2・稗圃久美子*1・○大西洋*1 8Aa-9 フェムト秒時間分解 STM で覗く GaNAs の超高速光誘起キャリアダイナミクス ……………………………………………(筑波大学数理物質科学*1・CREST-JST*2・21 世紀 COE*3) 青山正宏*1*2*3・近藤博行*1*2*3・寺田康彦*1*2*3・武内修*1*2*3・重川秀実*1*2*3 ○ 8Aa-10 Pt(997)表面における CO の拡散 ………………………………………………(東北大多元研*1)○高岡毅*1・米田忠弘*1 B 会場 午前の部 【 プラズマ 】 9:00～10:30 8Ba-1 超短パルスレーザー生成プラズマからの高エネルギープロトン発生と X 線の同時計測 ……………………………………(原子力機構*1・京大化研*2)○小倉浩一*1・織茂聡*1・匂坂明人*1 ・西内満美子*1・森道昭*1・中村衆*2・大道博行*1・野田章*2 8Ba-2 水晶振動子計測によるプラズマ気相成分分析 8Ba-3 Ar プラズマ中における金属の電気特性に関する研究 II 8Ba-4 炭素負イオン注入処理を施した高分子材料上におけるタンパク質吸着性の評価 ……(京大院工)○山田哲也・辻博司 ……(産総研計測フロンティア研究部門)○鈴木淳・黒河明・野中秀彦 ………………………………………(広国院大工)○久保隆 ・服部光高・ソムマニピヤヌット 8Ba-5 【特別講演】 超小型核融合中性子源による人道的対人地雷探知技術開発研究の現状 ……………(京大)○吉川潔 《 休 憩 》 【 ナノ構造 】 10:45～12:00 8Ba-6 【特別講演】 自然超格子構造を用いたサイズ効果フリー誘電体キャパシタ …………………………(東工大)○舟窪浩 8Ba-7 1V/μ以下の低閾値電界と 50A/cm2 以上の大電子電流をもつ CNT エミッターの研究 …………(高エネ研*1・総合研究院大*2・(株)化研*3)○加藤茂樹*1*2・Liu Huarong*2・野口恒行*3 8Ba-8 化学気相成長法による金属微小針先端へのカーボンナノチューブ直接成長 ○ 8Ba-9 アルコール触媒化学気相成長法によるカーボンナノチューブ成長 ………………(三重大院*1・名大院*2) 吉田憲司*1・佐藤英樹*1・畑浩一*1・齋藤弥八*2 ………(三重大院工*1・名古屋大院*2)○日浅健*1 ・佐藤英樹*1・畑浩一*1・梶原和夫*1・斉藤弥八*2 (9) A 会場 午後の部 【 合同シンポジウム２ 超高真空表面顕微鏡の最前線 】 13:00～15:30 8Ap-1 50 pm 分解能物質解析電子顕微鏡と表面研究 …………………………………………(東京工業大学) ○ 8Ap-2 超高真空 SEM を用いた表面観察 …………………………………………………………(東京理科大学) ○ 8Ap-3 LEEM/PEEM を用いた表面の動的観察 ……………………………………………(大阪電気通信大学) ○ 8Ap-4 スピン偏極走査電子顕微鏡 ……………………………………………………………………(北海道大学) ○ 放射光光電子顕微鏡を用いた磁性ナノ構造の観察 ……………………………………………(東京大学) ○ 8Ap-5 高柳邦夫 本間芳和 越川孝範 小池和幸 尾嶋正治 B 会場 午後の部 【 真空科学 】 13:00～15:15 8Bp- 1 SS316 からのトリチウムの脱離挙動 ……………………(富山大水素同位体科学研究センター)○鳥養祐二・直江昭吾 ・赤石憲也・渡辺国昭・松山政夫 8Bp- 2 チタン材料に溶存した水素の放出機構 …………(山口大工*1・三愛プラント工業(株)*2・UBE 科学分析センター*3) 中島大樹*1・石澤克修*1・*2・田中和彦*1・栗巣普揮*1・山本節夫*1 ○ ・野村健*2・村重信之*2・宗山悦博*3・竹田将利*3 8Bp- 3 有機性汚染ガス中で劣化しない BA 型電離真空計 8Bp- 4 X 線を発生しない電離真空計(II) ……(神大工*1・呉高専*2)○浦野俊夫*1・金持徹・池田朋大*1・山口俊*1・田中誠*2 8Bp- 5 カーボンナノチューブを用いたイオンゲージの研究 ………(名工大院*1・産総研*2)○園部宗孝*1・村上寛*2・山下 司 ………………………………(有限会社真空実験室)○渡辺文夫 ・中井 仁・木村高志・阿部宣之*2・岩田敏彰*2・市川 洋 8Bp- 6 耐放射線磁気軸受形複合分子ポンプの開発 ……(日本原子力研究開発機構*1・石川島播磨重工業(株)*2)○和田薫 ・猪原崇・井口昌司・荻原徳男*1・三尾圭吾*2・中山浩範*2 8Bp- 7 高真空ポンプの排気速度測定用テストドーム形状の検討 ………………………(産総研)○城真範・秋道斉・平田正紘 8Bp- 8 パイプコンダクタンスの対称性について吸収のあるパイプ ………………………………((株)アルバック)○楠本淑郎 8Bp- 9 標準リークの標準の立ち上げ …………………(産総研計測標準研究部門)○新井健太・吉田肇・秋道斉・平田正紘 《 休 憩 》 E 会場 ポスターセッション 奇数番コアタイム 15:45～16:45 偶数番コアタイム 16:45～17:45 (発表番号右肩に*印のあるものは優秀ポスター審査対象) 【 真空科学・表面科学・応用表面科学・表面工学・プラズマ科学 】 8P- 1 矩形導管の管内平均自由工程 …………………………………………………………………(電機大工)○松田七美男 8P- 2 B-A 真空計のグリッド内のイオン収集効率の変化 ………………………………………(産総研)○杉沼茂実・平田正紘 8P- 3 スピニングロータゲージ(SRG)のロータ球の切欠の影響について ……………(産総研)○小松栄一・秋道斉・平田正紘 8P- 4* 微小電気機械システム(MEMS)ピラニ-真空計 …………………((株)アルバック)○村田奉之・田中愛・堀内俊・奥野亨 ・吉良敦史・前平謙・山室和弘・高橋直樹・不破耕 8P- 5 ベローズバルブの遮断時に発生する圧力差 8P- 6* モンテカルロ法を用いた非定常分子流の解析 8P- 7 蓋を設けたねじ溝式真空ポンプの排気特性 ……………………(鶴岡高専*1・放送大秋田学習センター*2・秋田大*3) ………………………(産総研計測標準)○富田琢也・秋道斉・平田正紘 ………………………………………(函館高専)○十文字孝太・祐延悟 ○ 8P- 8* JIS4 種純チタンのガス放出特性 矢吹益久*1・澤田雅*2・杉山渉*3 ………………(山口大工*1・三愛プラント工業(株)*2・新光産業(株)*3)○田中和彦*1 ・石澤克修*1・2・中島大樹*1・栗巣普揮*1・山本節夫*1・部坂正樹*3 8P- 9 ステンレス表面上の純クロム酸化膜作製とその応用 ……………………(Pohang Univ. of Sci. & Technol. ・韓国) ○ 8P-10 真空中における竹炭のガス吸着効果 8P-11 陽極酸化アルミニウム材の摩擦係数に及ぼす表面ナノ粗さの影響 趙福来・Taekyun Ha・Sukmin Chung ……………………………………………(広工大院工)○烏帽子良・川畑敬志 ……………………(物材研)○笠原章・後藤真宏 ・Yuriy Pihosh・土佐正弘 8P-12 真空ギャップのスパークコンディショニング処理過程で生じるパルス状電流の観測 ……(埼玉大院理工*1・高エネ研*2) ○ ( 10 ) 川田将司*1・山納康*1・小林信一*1・齋藤芳男*2 8P-13 陽極材料が無酸素銅陰極の電界電子放出特性に与える影響と陰極の表面分析 ……(埼玉大院理工*1・高エネ研*2) ○ 中川太*1・山納康*1・小林信一*1・齋藤芳男*2 8P-14* The role of vacancies on hydrogen diffusion on platinum ……(阪大工)○Tanglaw Roman・中西寛・笠井秀明 8P-15* PdAg(111)表面における水素原子の振る舞い …(阪大院工)○尾澤伸樹・Tanglaw Abat Roman・中西寛・笠井秀明 8P-16 軌道上暴露試験による固体潤滑材被膜の材料特性変化 ○ ……………………(物材研*1・宇宙航空研究開発機構*2) 土佐正弘*1・笠原章*1・後藤真宏*1・Yuriy Pihosh*1・太田悟志*1 ・木村隆*1・福島整*1・井上利彦*2・宮崎英治*2・今川吉郎*2 8P-17 パルス放射光とコンパクト CMA を用いたイオンの質量と運動エネルギー分析 …………………(物構研*1・千葉大工*2・JST/さきがけ*3)○小林英一*1・奥平幸司*2・間瀬一彦*1*3 8P-18 電子線損傷を与えたイオン結晶表面での高速陽子の散乱 ………(大阪教育大・物理)○深澤優子・光原圭・越智健太 ・松本雄吾・塩見祐樹・鈴木康文 8P-19* ICF114 マウント型電子‐イオンコインシデンス分光装置の開発と性能評価 …………………………………(総研大物質構造*1・産総研*2・千葉大工*3・物構研*4・JST/さきがけ*5) 垣内拓大*1・小林英一*2・奥平幸司*3・間瀬一彦*1*4*5 ○ 8P-20* 卓上サイズのイオン付着・飛行時間質量分析装置(IA-TOF)による発生ガスのリアルタイム・全質量範囲・高分解能計 測 …………………(産総研計測フロンティア*1・東理大理工*2・キヤノンアネルバテクニクス*3・明星大) 南條純一*1*2・齋藤直昭*1・種田康之*3・塩川善郎*3・谷本充司*4 ○ 8P-21 光電子顕微鏡による絶対仕事関数マッピング 8P-22 LEEM による In/Si(111)上での Ag 成長過程 8P-23 反射分光による Si(001)初期酸化過程における活性化エネルギーの考察 ………(横浜国大工) 滝澤純一・小泉順也 ……………………………(大阪電通大エレ研)○越川孝範・安江常夫 ………………(大阪電通大エレ研)○上田将人・橋本道廣・鈴木雅彦 ・安江常夫・越川孝範 ○ ・小林昭宏・三戸部史岳・藻川芳晴・大野真也・首藤健一・田中正俊 8P-24 Bi ナノワイヤ形成 Si(100)表面への CuPc 吸着に関する STM 研究 …………(九州工大工*1・宇部高専*2・九州共立大工*3)○上代祐藏*1・吉岩由人*1・頭島周*1 ・塗木貴彦*1・中村慎太郎*1・碇智徳*2・内藤正路*1・西垣敏*1・生地文也*3 8P-25 シリコン酸化膜の構造遷移層の密度分布解析 ………………………(産総研)○黒河明・尾高憲二・藤本俊幸・東康史 8P-26 シリコン熱酸化膜のフッ酸エッチによる構造遷移層の解析 ……………………(産総研)黒河明・○尾高憲二・一村信吾 8P-27 Ti 蒸着した Si(111),(001)表面の高温における構造観察 ……………(横浜国大工)飯田貴則・○小間大弘・寅丸雅光 8P-28* TDS,XPS,IR を用いた水素終端シリコン表面のオゾン酸化に伴う結合状態変化の解析 ・佐藤和成・首藤健一・大野真也・田中正俊 ………………………………………………(産総研*1・東京理科大*2)○藤原哲之*2・黒河明*1 ・山本和弘*1・東康史*1・一村信吾*1・二瓶好正*2 8P-29* SiO2 薄膜の電子線照射支援スパッタリングのリソグラフィへの応用 8P-30 水素終端 6H-SiC(0001)3×3 表面への CuPc 吸着に関する STM 研究 …………………(物材研)○大西桂子・藤田大介 ………………………(九州工大工*1・宇部高専*2・九州共立大工*3)○安冨一裕*1・田中圭介*1 ・碇智徳*2・内藤正路*1・遠山尚武*1・西垣敏*1・生地文也*3 8P-31 SiC 表面分解法での CNT 配向膜形成に関する研究 ……………………………(九州工大工*1・九州共立大工*2・(財)ファインセラミックスセンター*3) ○ 上田大志*1・米久保喜彦*1・山内貴志*1・内藤正路*1 ・遠山尚武*1・西垣敏*1・生地文也*2・楠美智子*3 8P-32 酸化物超伝導体 Bi2Sr2CaCu2O8 の仕事関数への偏極スピン電子注入の影響 ……………………(東京理科大工) ○ 小串佳己・中野弘文・会田広明・高優一・浅海宏・漆戸優 ・川原太志・武田昌樹・宇原祥夫・斉藤茂・宗村哲雄・喜岡俊英 8P-33* 銀単結晶表面上のクリプトンの吸着と脱離のヒステリシス 8P-34* 金属表面に吸着した水素原子の局所的な表面拡散 ……(理研*1・東大新領域*2)○片野諭*1・金有洙*1・川合真紀*1*2 8P-35 グルタル酸及び無水グルタル酸の Cu(110)表面での吸着構造 ………………………(物材機構半導体材料センター) …………(学習院大理)○浜田望・本修一・三浦崇・荒川一郎 ○ 柳生進二郎・吉武道子・知京豊裕 ( 11 ) 8P-36* Potential energy surface (PES) for hydrogen production from water using Cyanocobaltate ComplexesDensity functional theory calculations ………………………(Dept. Precision Sci. & Technol. & Appl. Phys.・Osaka Univ.*1 ・Center for the Promotion of Research on Nanoscience and Nanotechnology・Osaka Univ. *2 ・Dept. Mechatronics Eng.・International Islamic Univ. Malaysia *3) Rifki Muhida*1・Md. Mahmudur Rahman*1・Wilson A. Diño*2 ○ ・Riza Muhida*3・Hiroshi Nakanishi*1・Hideaki Kasai *1 8P-37* AES の絶対計側:CMA の透過特性とエネルギー計側 ……………………(名工大*1・大阪工大*2・産総研(中部)*3) アデルアルカフリ*1・市川洋*1・志水隆一*2・後藤敬典*3 ○ 8P-38 液中における分子マイクロジェットを用いたガラス材料へのペリレン分子の注入 ……………………(物材機構・材料信頼性センター)○後藤真宏・Yuriy Pihosh・笠原章・土佐正弘 8P-39 プラズマベースイオン注入法を用いて Si 中に注入した窒素イオン分布の HRBS と SIMS の比較 …………………………………………………………………………(広島工大)○田中武・髙木俊宣 8P-40 Si(001)表面上におけるチタン初期成長過程の分光学的研究 ……………(横国大工)○九鬼隆良・小泉順也・脇田創 ・滝澤純一・大野真也・首藤健一・田中正俊 8P-41* 電子ビーム照射下における単層カーボンナノチューブのダイナミクス解析 …………………………(大阪府立大院工*1・阪大 FRC*2)○多田和広*1・安田雅昭*1・木元慶久*1 ・森英喜*1・秋田成司*1・中山喜萬*1*2・平井義彦*1 8P-42 水電極誘電体バリア放電の生成と評価 ………………………(京大工*1・京大 IIC*2)○木村優*1・白藤立*2・橘邦英*1 8P-43* 単層カーボンナノチューブを含む微粒子のプラズマ CVD 法による気相合成 8P-44* プラズマ中微粒子の運動に関する画像解析 8P-45* 炭素負イオン注入改質したポリスチレン上での培養神経細胞のパターン接着における最小改質処理サイズ ……(京都工繊大)○今里直樹・林康明 …………………………………………………(京都工繊大)○柳宗一郎 ………(京大工)○辻博司・ピヤニュチソムマニ・服部光高・山田哲也・佐藤弘子・後藤康仁・石川順三 8P-46* Observation of Surface Modification of Silicone Rubber for Mesenchymal Stem Cell Attachment by Carbon Negative Ion Implantation ………(Dept. Elec. Sci. Eng.・Kyoto Univ.)○P. Sommani・H. Tsuji・M. Hattori ・T. Yamada・H. Kojima・H. Sato・Y. Gotoh・J. Ishikawa 8P-47* ゲルマニウム負イオン注入したシリコン酸化膜のカソードルミネッセンス ……(京大工*1・シャープ基盤研*2)○辻博司*1 ・洗暢俊*1・中塚博之*1・箕谷崇*1・小嶋研史*1・石橋豊次*1 ・足立浩一郎*2・小瀧浩*2・後藤康仁*1・石川順三*1・ 8P-48* シリコン熱酸化膜に負イオン注入したゲルマニウムの XPS による酸化状態評価 ……………………(京大院工*1・シャープ(株)*2)○小嶋研史*1・辻博司*1・洗暢俊*1*2・中塚博之*1 ・箕谷崇*1・奥峰徹也*2・足立浩一郎*2・小滝浩*2・後藤康仁*1・石川順三*1 8P-49* パルス変調表面波酸素プラズマの生成とその特性 8P-50 電子遷移誘起脱離研究の先駆者,石川義興博士および太田芳雄博士の業績紹介 …………………………………(東洋大工)○尾坂拓郎・岡本幸雄 ………………(KEK 物構研*1・JST/さきがけ*2・ブルックヘブン国立研*3)○間瀬一彦*1*2・南部英*3 8P-51* 真空用フランジと配管類に関する国際・国内規格の相関 …………………………((株)バックスエスイーブイ*1・キヤノンアネルバテクニクス(株)*2・産総研*3) ○ 8P-52* 黒河内智*1・菊地俊雄*2・秋道斉*3・平田正紘*3 Ti,Zr 添加した DLC 薄膜のトライボロジー特性に与える雰囲気ガス種の影響 ………………(理研*1・工学院大工*2) ○ 8P-53* 佐々木ミチコ*1・鷹野一朗*2・岩木正哉*1 Secondary Electron Emission and Surface Charging of Dielectric Materials ……………………………(Saitama Univ.*1・High Energy Research Organization (KEK)*2) Suharyanto*1・S. Michizono*2・Y. Saito*2・Y. Yamano*1・S. Kobayashi*1 ○ 8P-54 ポリプロピレン上への DLC 薄膜の形成 …………(大阪府立産技研*1・日本ポリプロ(株)*2)○松永崇*1・岡本昭夫*1 ・残華幸仁*2・木村茂人*2 8P- 55* Mg 合金表面における水素吸蔵メカニズムに関する第一原理計算 ( 12 ) ……………………………(阪大院工)○花房真浩 ――― 11 月 9 日 ――― A 会場 午前の部 【 薄膜 】 9:15～10:15 9Aa- 1 カンチレバーセンサーを利用した薄膜ヤング率測定法 ………………………………………(物材機構*1・JST*2・阪大工*3・マックスプランク高分子研*4) 板倉明子*1*2・五十嵐慎一*2・戸田雅也*3*4 ・R.Berger*4 ○ 9Aa- 2 イオンプレーティング法による Ag 合金薄膜の成膜条件と反射率,耐環境性の関係 …………………(新明和工業(株)) ○ 丸山淳平・小泉康浩・米山信夫・武内清 9Aa- 3 真空成膜技術とめっき熱処理を組み合わせた抗菌性 Sn-Ag 薄膜の作製 ………(鈴鹿高専*1・物質材料研究機構*2) ○ 9Aa- 4 兼松秀行*1・生貝初*1・吉武道子*2 チタン合金製スパッタ装置で作製した ZnO 薄膜発光に対する残留ガスの影響 …………………………(山口大工*1・三愛プラント工業(株)*2・新光産業(株)*3)○吉森晋太郎*1 ・栗巣普揮*1・石澤克修*1・2・山本節夫*1・部坂正樹*3 《 休 憩 》 【 真空科学 】 10:30～11:45 9Aa- 5 マイクロアーク酸化処理をしたアルミニウム合金のガス放出特性 ……(アルバック筑波超材研)○稲吉さかえ・石榑文昭 9Aa- 6 TiN 薄膜をコーティングしたアルミナ高周波窓の表面帯電 …(高エネ研*1・埼玉大院*2)○道園真一郎*1・薺藤芳男*1 ・Suharyanto*2・小林信一*2 9Aa- 7 ナノプロセス用電子ビーム多価イオン源の開発Ⅱ ……(神大理*1・核融合科学研*2・電通大*3・情報通信研究機構*4) 櫻井誠*1・川瀬悠司*1・三森恵太*1・坂上裕之*2・渡辺裕文*3 ○ ・中村信行*3・大谷俊介*3・照井通文*4・益子信郎*4 9Aa- 8 二段式流量分配法を用いた安定な超高真空圧力場の発生 …………………(産総研圧力真空標準研究室)○吉田肇 ・新井健二・秋道斉・平田正紘 9Aa- 9 …………………((財)高輝度光科学研究センター)○大石真也・小路正純 放射線による圧力測定異常の実験的研究 ・谷内友希子・高野史郎・早乙女光一・大熊春夫 B 会場 午前の部 【 表面科学・応用表面科学・ナノ構造 】 9:15～10:15 9Ba- 1 極高真空電界電子顕微鏡の作製とテスト 9Ba- 2 CNT エミッターの電子放出安定性に対する RuO2 担持の影響 ………………………(早稲田大各務記念材料技術研)○趙福来・板垣考洋 ・裏田友洋・石川剛・六田英治・大島忠平 ………………(総研大*1・(株)化研*2・高エネ研*3) Liu Huarong*1・野口恒行*2・加藤茂樹*1*3 ○ 9Ba- 3 SR-XPEEM における焦点位置変調球面収差補正 ………………(大阪電通大*1・ELETTRA*2・アリゾナ州立大*3) 越川孝範*1・中口明彦*1・橋本道廣*1・生田孝*1・安江常夫*1 ○ ・A.Locatelli*2・T.O.Mentes*2・E.Bauer*3 9Ba- 4 Laser molecular implantation through water layer ……………(物材研材料信頼性センター)○Yuriy Pihosh ・後藤真宏・笠原章・土佐正弘 《 休 憩 》 【 表面科学・応用表面科学・ナノ構造 】 10:30～11:45 9Ba- 5 JT-60U プラズマ実験装置内における炭素の損耗/再堆積と水素同位体の蓄積 …………………(北大工*1・九大総理工*2・静岡大理*3・名大工*4・JAEA*5・アドバンテストテク*6) 広畑優子*1・田辺哲朗*2・大矢恭久*3・柴原孝宏*4・杉山一慶*2・小柳津誠*3・吉河朗*3 ○ ・吉田雅史*2・新井貴*5・正木圭*5・後藤純孝*6・奥野健二*3・宮直之* ( 13 ) 9Ba- 6 MgO(001)劈開面への水曝露による水酸化の観察 ……………………(東邦大理)○牧田欧子・髙木祥示・後藤哲二 ・Arboleda Nelson Jr. Buntimil・中西寛・笠井秀明 9Ba- 7 グラファイト化された銅表面における電子衝撃脱離 ……(高エネ研*1・総合研究院大*2)○西脇みちる*1・加藤茂樹*1*2 9Ba- 8 エチレンガス中の窒素イオン照射により作製した炭素薄膜の機械的特性 9Ba- 9 イオン付着・飛行時間質量分析法(IA-TOF)の開発 ………(工学院大工)○鷹野一朗・高倉英輔 ・森紀暁・宮本章雄・原田絋平 ………(産総研計測フロンティア*1・東理大理工*2・キヤノンアネルバテクニクス*3・明星大理工*4) 齋藤直昭*1・南條純一*1・2・種田康之*3・塩川善郎*3・谷本充司*4 ○ A 会場 午後の部 【 電子材料・薄膜 】 13:00～14:30 9Ap- 1 シリコンウェハ研磨パッドの表面性状と動的特性 ……………(ニッタ・ハース(株)技術開発本部)○川端克昌・繁田好胤 9Ap- 2 水素処理による SiC 表面の平滑化と SiO2/SiC 構造の特性向上 ・玉川智史・木下正治 ………………(阪大産研・科技振・戦略)任星淳 ・○高橋昌男・小林光 9Ap- 3 【特別講演】 強誘電体 FET の最近の発展：ゲート材料，プロセス，自己整合ゲート 9Ap- 4 UV 光励起オゾンを用いたポリシリコンの低温酸化 ………………………(産総研*1)○亀田直人・西口哲也・森川良樹 ……………(産総研)○酒井滋樹 ・花倉満・野中秀彦*1・一村信吾*1 9Ap- 5 異なる蒸発温度で KBr 基板上に作成されたバナジルフタロシアニンナノ結晶の配向と形態 ……………(愛知工大) ○ 元谷卓・落合鎮康・澤五郎・内田悦行・大橋朝夫・小嶋憲三・水谷照吉 《 休 憩 》 【 電子材料・薄膜 】 14:45～15:45 9Ap- 6 シートプラズマ装置の開発およびその応用 …………………………(新明和工業(株))○古塚毅士・村下善朗・岡田基 ・山川健司・笹川孝市・武内清 9Ap- 7 ヘリコンプラズマスパッタリング法で作製した SDC 電解質薄膜を用いた中温域作動 SOFC の特性評価 ………………………………………(大阪工大工)○岡村健太郎・佐々木紀和・木村健志・長田昭義 9Ap- 8 RF スパッタリング法を用いて作製した薄膜固体酸化物型燃料電池のスタック特性 ……………………(大阪工大工) ○ 佐々木紀和・岡村健太郎・木村健志・長田昭義 9Ap- 9 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いた希ガスイオンによる金のスパッタ率の精密測定 …………………………(阪大工*1・産総研*2)○日根清裕*1・吉村智*1・木内正人*1*2・浜口智志*1 B 会場 午後の部 【 表面工学 】 13:00～14:30 9Bp- 1 【特別講演】 電子ビーム PVD 法によるセラミックスコーティングとナノ構造制御 ……………………………………………………(JFCC, ファインセラミックスセンター)○松原秀彰 9Bp- 2 金属アルミニウム薄膜の酸素プラズマ照射による表面酸化 …………………………(キヤノン(株))○伊藤哲蔵・大谷実 9Bp- 3 反応性プラズマ溶射法による窒化アルミニウム皮膜の作製と特性評価 Lee ○ 9Bp- 4 ………………(豊橋技科大*1・東ソー(株)*2) Chaechul*1・山田基宏*1・安井利明*1・福本昌宏*1・高橋小弥太*2 減圧プラズマ溶射法による TiB2 分散 Fe-Cr 複合皮膜の作製とその特性評価 ………(豊橋技科大院生*1・豊橋技科大*2)○濱田拓郎*1・山田基宏*2・安井利明*2・福本昌宏*2 9Bp- 5 反応性プラズマ溶射法による窒化鉄皮膜の作製と反応過程の調査 ………(豊橋技科大院生*1・豊橋技科大*2)○神崎祥尚*1・山田基宏*2・安井利明*2・福本昌宏*2 ( 14 ) お知らせとお願い 1. ポスター発表の方へ 1 件あたりの大きさは縦 210cm×横 120cm です(パネル左上に縦 10cm×横 20cm の余白をとってください．余白に事務局で発 表番号を貼ります)．ポスター前にて説明していただくコアタイムは，奇数発表番号の方は 15:45～16:45，偶数発表番号の方は 16:45～17:45 です．ポスター貼り付けには押しピンのみ使用可能です．押しピンは会場にて用意致します．ポスター貼り付けは発 表日の 9:00～15:45 にお願いします． 2. 口頭発表の方へ 講演時間は 15 分(討論時間 5 分を含む)です．講演時に使用可能な機材は，原則として液晶プロジェクタ(ノートパソコンは持参 下さい)のみです．講演セッション開始 15 分前から接続準備を承っております．休憩時間またはセッション開始前に接続をお願い 致します．接続コネクタは miniD-Sub15pin です．それ以外については各自変換コネクタを持参してください．なお，PC 不調等対 応については，原則として各自の責任にてお願い致します． 3. 優秀ポスター投票と発表について ポスターセッション開催中に，参加票添付の投票用紙にて優秀ポスターの投票をお願いします．投票箱は，1F 受付に設置して おります．投票締切は，ポスターセッション終了時です．発表は最終日 14:30 に 1F 受付掲示板にて行う予定です．本会後に，真 空誌においても掲載される予定です．皆様のご協力をお願い致します．今回は，懇親会の日程の都合により，表彰式はございま せんのでご了承ください． 4. メッセージボードの設置について ３F 企業展示会場商談コーナーに「メッセージボード」を用意しました．求人・求職その他情報交換等にご利用ください．ただし， 営利目的の掲示はご遠慮ください． 最寄り駅・地図 z JR「新大阪駅」より地下鉄御堂筋線/北大阪急行で「千里中央駅」へ，大阪モノレールに乗換え「阪大病院前駅」下 車徒歩 15 分 z 地下鉄御堂筋線/北大阪急行線(北大阪急行)「千里中央駅」より阪急バス「阪大本部前」行き，または「茨木美穂ヶ 丘」行き，約 10～20 分* z 阪急電鉄京都線 茨木市駅から近鉄バスで「阪大本部前」行 約 30 分* z JR 東海道本線 茨木駅から近鉄バスで「阪大本部前」行 z 大阪国際空港から阪急バスで「阪大本部前」行 約 45 約 20 分* 分* z 阪急電車千里線 北千里駅(終点)から東へ徒歩約 20 分 *バスはいずれも「阪大本部前」下車後，徒歩約 5～10 分でコンベンションセンター着 N 医学部附属病院 至 阪急北千里駅 （徒歩１５分） 大阪モノレール 阪大医学部病院前 医学系研究科 バス停阪大本部前 近鉄・阪急バス 人間科学研究科 大学本部事務局 歯学研究科 懇親会場 「匠」 の二階 講演会場 「コンベンションセンター」 ( 15 ) 第 47 回真空に関する連合講演会 座長 11月7日(火) 11月8日(水) 11月9日(木) 会議室１(1F) 研修室(1F) ＭＯホール 会議室１(1F) 研修室(1F) ＭＯホール 会議室１(1F) 研修室(1F) Ａ会場 Ｂ会場 Ｅ会場 Ａ会場 Ｂ会場 Ｅ会場 Ａ会場 Ｂ会場 真空開会式 9:00 9:00 ・表彰式 合 同 セ 9:15 ッ ョ 9:15 シ 9:30 ン 表 面 科 学 9:45 プ ラ ズ マ 薄 膜 比村治彦 （京都工繊大） 中山 明 （イオン工研） ） 真 空 10:15 10:30 10:45 ッ ョ 合 同 セ 11:00 真 空 科 学 シ 11:15 鈴木康文 （大阪教育大） 応 用 表 面 科 学 ン 表 面 科 学 谷村純二 （三菱電機） 間瀬 一彦 （高エネ研） ナ ノ 構 造 金戸成 （大阪真空） 9:45 10:00 10:15 10:30 10:45 11:00 安江常夫 （大阪電通大） 11:15 望月昭一 （産総研） 11:30 （ ナ ノ 構 11:30 造 間瀬一彦 （高エネ研） 表 面 科 学 ・ 応 用 表 面 科 学 ・ ナ ノ 構 造 （ 10:00 受賞記念講演(1) 受賞記念講演(2) 受賞記念講演(3) 9:30 越川孝範 （大阪電通大） 表 面 11:45 ） 11:45 12:00 12:00 13:00 13:00 13:15 13:15 13:30 13:45 14:00 14:15 14:30 14:45 合 同 シ ン ポ ス ピ ン ト ロ ニ ク ス の 表 面 科 学 薄 膜 吉武道子 （物材機構） 企 業 展 示 福田常男 （大阪市立大） 真 空 科 学 齋藤芳男 （高エネ研） 合 同 シ ン ポ 超 高 真 空 表 面 顕 微 鏡 の 最 前 線 尾嶋正治 （東大） 13:30 土佐正弘 （物材機構） 企 業 展 示 真 空 科 学 高柳邦夫 （東工大） 吉竹正明 （大阪府立 産技研） 表 面 工 学 鈴木基史 （京大） 13:45 14:00 電 子 材 料 ・ 薄 膜 14:15 14:30 浦野俊夫 （神戸大） 14:45 15:00 15:00 白藤 立 （京大） 15:15 15:15 15:30 15:30 15:45 15:45 16:00 16:15 16:00 ポスター7P 奇数番 コアタイム ポスター8P 奇数番 コアタイム 16:15 16:30 16:30 16:45 16:45 17:00 17:15 17:00 ポスター7P 偶数番 コアタイム ポスター8P 偶数番 コアタイム 17:15 17:30 17:30 17:45 17:45 18:00 18:00 18:15 18:15 合同懇親会 カフェテリア匠2F 講演会会場より徒歩１分 20:15 20:15 ( 16 )
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