圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」

Clean Air System
ペルチェ温調方式で高精度と省エネを実現するナノサーモⓇ（圧縮空気温度調節機）
圧縮空気冷却装置・ナノサーモⓇ「ACU」
ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD / ACU1000B / ACU2000B
電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより、高精度温調が可能。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、格段の
制御精度 ±0.01 ℃ ／温度制御範囲 15.00 ∼
装置性能が得られます。
40.00℃／処理空気量 30 ∼ 2,100L/min
主な特長
■エアー温度を±0.01℃に制御。
■ ACU100-MD・ACU300-MD・ACU600-MD は
除湿・ろ過機能付で圧力調整も可能。
■コンパクト設計で省スペースを実現。
ACU100-MD
用途例
ACU2000B
■精密加工機
■精密計測機
■半導体・FPD 製
造装置
設定値表示部
コントローラ部
ON/OFF スイッチ
設定状態表示ランプ
運転ランプ
精密加工機のエアーベアリング
■分析機器
■精密塗装機
■局所空間の精密温調
■加工物・計測物の温調
各種設定キー部
ナノサーモ R
製品仕様表
三次元測定器のエアースライド
型式
適用流体
使用圧力範囲（ゲージ圧）
MPa
出口圧力調整範囲（ゲージ圧） MPa
入口空気温度
℃
出口温度設定範囲
℃
出口空気流量
L/min
周囲温度
℃
入口空気水蒸気含有量
℃
出口空気露点（大気圧下）
℃
出口空気ろ過度
μ m/％
出口空気温度制御精度※ 1
℃
出口設定温度
℃
入口空気温度
℃
条入口空気圧力（ゲージ圧） MPa
入口空気流量
L/min
件出口空気流量
L/min
パージ空気流量
L/min
周囲温度
℃
電源
V（Hz）
最大運転電流
A
電源容量
KVA
遮断器容量
A
温度制御方式
放熱方式
除湿方式
出入口配管接続口径
外装
使用範囲
ACU100-MD
ACU300-MD
30 ∼ 130
0.2 ∼ 0.85
0.05 ∼ 0.83
5 ∼ 40
16 ∼ 30
50 ∼ 390 ※ 2
電気特性
機器細目
質量
外形寸法（高さ×奥行×幅）
kg
mm
ACU600-MD
圧縮空気
ACU1000B
ACU2000B
0.2 ∼ 0.83
―
15 ∼ 35
15 ∼ 35
130 ∼ 1000 ※ 2
130 ∼ 600 ※ 2
18 ∼ 25
飽和以下
− 17 以下※ 3
0.01/99
15 ∼ 30
15 ∼ 40
330 ∼ 2100
圧力下 10℃以下
―
―
―
―
設定値± 0.01
23
基本性能
圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ＡＣＵ」
製品仕様表
5 ∼ 40
125
100
25
4
0.4
Rc1/4
15 ∼ 28
0.7
375
750
300
600
75
150
25
単相 100 ± 10％（50/60）
1000
1000
0
2100
2100
0
単相 200 ± 10％（50/60）
5
0.5
10
ペルチェ式定電流制御（PID 制御）
空冷式
中空糸膜式
Rc3/8
Rc1/2
塗装色：N5.5/N8.0
エアーフィルタ・ミクロミストフィルタ・
膜式ドライヤー・レギュレータ・フロースイッチ内蔵
28
36
38
490 × 500 × 240
510 × 550 × 320
1
―
―
Rc3/4
フロースイッチ内蔵
35
45
530 × 600 × 320
※ 1 出口空気流量、
入口空気温度、
周囲温度が安定状態で、急激な変動がない場合。
（入口空気温度勾配：1℃ /10min 以内）
※ 2 入口空気圧力が 0.25MPa 以下の時、
本機内圧力損失により、
最大流量は次の様になります。ACU300-MD：270L/min、ACU600-MD：520L/min、ACU1000B：870L/min ※ 3 入口空気温度 28℃時。 ※空気流量は、圧縮機の吸込状態（大
気圧、20℃、65％）に換算した値です。 ※ ACU1000B/2000B：圧縮空気の除湿機能は内蔵しておりませんので、供給される圧縮空気は、必らずエアードライヤーを通過した圧縮空
気を供給してください。
54
ナノサーモ構造図
冷却用外気
温度コントローラ
電流制御
DC電源
熱交換器（放熱側）
ペルチェ素子
(電子モジュール)
高精度制御を実現
電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精
度温調が可能。
制御センサ
圧縮空気
出口
熱交換器
（恒温側）
圧力ゲージ
エアーフィルタ
圧縮空気入口
膜式ドライヤー
圧力
レギュレータ
低振動、低騒音
コンプレッサ搭載の冷凍機と違いペルチェ素子による電子冷凍
は動力部の振動が極めて少ないため微細加工での位置決め精度
に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。
ミクロミストフィルタ
MDタイプのみ内蔵
パージエアー出口
外形図（単位：mm）
ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD
G
項目
B
空気入口(N)
圧力計
C
A
B
C
D
E
F
G
H
J
K
M
N
P
Q
電源
(単相100V)
吸入
K
E
排熱
A
F
レギュレータ
警報出力
ドレン配管
(接続ﾁｭｰﾌﾞ外形P) パージ口
(接続ﾁｭｰﾌﾞ外形Q)
D
J
ACU1000B / ACU2000B
C
項目
A
F
E
排熱
機種
ACU1000B
ACU2000B
510
550
320
278
240
160
130
426
30
Rc1/2
Rc1/2
530
600
320
278
348.4
90
125
476
30
Rc3/4
Rc3/4
A
B
C
D
E
F
G
J
K
M
N
空気出口(M)
警報出力
ACU300-MD ACU600-MD
510
550
320
278
240
198
160
242
52
95.8
68.5
34.2
426
30
Rc3/8
Rc1/2
Rc3/8
Rc1/2
φ 8mm
φ 10mm
φ 16mm
圧力計
B
G
空気入口(N)
機種 ACU100-MD
490
500
240
198
215
200
65
27
376
30
Rc1/4
Rc1/4
φ 8mm
φ 6mm
吸入
K
電源
D
J
圧力損失曲線
ACU100-MD（レギュレータ全開）
■設置スペース
ACU600-MD （レギュレータ全開）
ACU300-MD （レギュレータ全開）
0.12
0.18
0.25
関連資料風通しを良くするために、ま
た保守点検をしやすくするために充分
なスペースを確保してください。
0.16
0.10
圧
力 0.15
損
失
︵
圧 0.12
力
損 0.10
失
︵ 0.08
0.04
︶
︶
0.02
0.00
MPa
0.14
MPa
MPa
圧 0.08
力
損
失
︵ 0.06
0.20
0.10
︶
0.05
50cm 以上
0.06
0.04
0.02
0
20
40
60
80
100
120
140
0.00
160
0
出口空気流量L/min（ANR）
50
100 150 200 250 300 350 400 450
0.00
出口空気流量L/min（ANR）
0
100
200
300
400
500
600
700
出口空気流量L/min（ANR）
100cm 以上
ACU1000B
ACU2000B
0.06
0.035
MPa
0.030
圧 0.025
力
損 0.020
失
︵
MPa
0.05
圧 0.04
力
損
失
︵ 0.03
0.02
0.015
︶ 0.010
︶
0.01
0.00
100cm 以上
入口空気圧力
0.005
0
200
400
600
800
出口空気流量L/min（ANR）
1000
1200
0.000
0.3MPa
0
0.5MPa
250 500 750 1000 1250 1500 1750 2000 2250 2500
出口空気流量L/min（ANR）
0.7MPa
55
圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ＡＣＵ」
H
空気出口(M)

Download Report