手動式小型真空蒸着装置 E-80 Vacuum is our business 本装置の特徴と主要仕様 本装置は当社の今までに蓄積された研究装置の設計コンセプトを複合して完成 させた実験用に適した手動式の小型蒸着装置です。 拡張性に優れ、用途変更や増設などに適した装置です。 １、装置特徴 １）蒸着源は最大3源まで、同時蒸着が最大2源まで可能。 ２）蒸発源はチャンバー底面大型フランジに取りつける 構造としており装置をお納めした後でも配置の変更 やKセル源や電子銃の取り付けなどに容易に変更可能 な構造ですのでご研究内容の変化により柔軟に対応が可 能です。 ３）使いやすい前開きチャンバーですので蒸発源の 交換が容易な他に防着シールドの 交換などの メンテナンス等が容易に可能になります。 ４）チャンバーは研究に適した多くのフランジを設けて おります。 ５）KOREA KIYON社製の全てのグローブボックスへの接続 及びパスボックスへの接続が可能です。 ６）無駄な機能を省いた低コスト省スペース設計で高い パフォーマンスを確保しています。 標準仕様の外観 グローブボックスの接続方向により 図面と異なる場合があります。 内部詳細図 仕様により異なる場合があります。 株式会社 エイエルエステクノロジー 手動式小型真空蒸着装置 E-80 Vacuum is our business 主要仕様 仕様項目 仕様・構成 真空室 SUS304ステンレス製角型（内部電解研磨）＋アルミニウム鋼製扉 270mm（W)×280mm（D)×400mm（H) グローブボックス接続用ポート2式（ゲートバルブ１式付属） サービスポート ＩＣＦ規格（3個） チャンバーベーキング機構（サーモスタット付き） 排気系 主排気ポンプ 荒引きポンプ 内部機構・搬送系 基板ホルダー ・基板トレイ搬送用の受け渡し上下機構付 基板サイズ：10ｍｍ×10ｍｍ～60mm×60mm チャンバー内部防着シールド（脱着可能） コンタミ対策用蒸着源仕切り板 手動シャッター 基板ホルダー側 １基 基板搬送用磁気結合式直線導入機 蒸着源・蒸着モニター 抵抗加熱蒸着源対応（ボートは含みません） 蒸発源の数 3源 蒸着電源 100Ａｘ10Ｖ 1式標準搭載 インフィコン社製 膜厚センサー 1式（基板付近に設置） パソコン接続小型USB接続膜厚・レートモニター（Q-Pod) 1式 架台 装置本体架台：架台パネル（脱着可）キャスター、アジャスター付き 架台内に操作パネル・真空計表示器・電源類を搭載しています。 操作・安全 操作：操作は全て手動です。（排気・ガス導入・成膜・基板搬送） 蒸着装置⇔GBOXパスボックス：真空搬送（直線導入機による搬送） パスボックス⇔GBOX本体：不活性雰囲気下搬送（スライドレール搬送） 安全：メインブレーカー兼用の非常停止スイッチ 高電圧投入部には安全カバー グローブボックス側 パスボックス 真空計：クリスタル真空計 基板トレイ搬送受け取り用の受渡上下機構付き 空冷式ターボ分子ポンプ 360L／Sec 直結型ロータリーポンプ 200L／min （アイソレーションバルブ付き） 真空計 クリスタル真空計＋電離真空計 複合式 チャンバーベント 手動ガスバルブを用いた窒素ガスベント 到達真空度 10-5Pa台（無負荷の場合） 排気速度 10－4Pa台に粗引き開始後30分以内 備考 上記仕様は標準的仕様について記載したものです。詳細仕様はお見積もり仕様書にて御確認ください。 主要オプション ①自動排気系 ②基板加熱機構 ③マスク交換機構 ④コンビナトリアル機構 株式会社 エイエルエステクノロジー 〒252-0243 神奈川県相模原市中央区上溝2179－2 Phone 042－713-3018 Fax 042－713-3019 E-mail [email protected] URL http://www.als-tech.jp
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