自動圧力制御コントローラ MGCS オートチューニングによりＰＩＤパラメータ は自動的に素早く最適化されます。 簡単で親切なタッチ画面操作と、上位システム からの遠隔操作が可能です。 静寂なバルブ動作で安定した制御性を実現 しています。 概 要 ■バタフライバルブ BAR シリーズおよびゲートバルブ GAR シリーズと、専用コント ローラ MGCS シリーズで構成される自動圧力制御システムです。 ■真空計からの電圧信号をコントローラに取り込みフィードバック制御します。 ■成膜、エッチングをはじめとする電子デバイス製造プロセスや真空乾燥、脱気プ ロセスの定圧コントロールに最適です。 ■コントロールバルブはコンダクタンス調整だけでなく、排気ラインのフルクロー ズができます。 電源投入 真空計設定 全開／全閉 ・・・真空計のスケーリング設定をします。 原点復帰 ・・・原点復帰を実行すると運転準備完了となります。 圧力設定 ・・・目標圧力を設定します。 開度指定 ｵｰﾄﾁｭｰﾆﾝｸﾞ ・・・自動的に最適な PID パラメータが決まります。 ※実際の排気・ガス導入の条件で実行します。 ﾒﾓﾘ機能 ﾌﾟﾛｾｽﾊﾞﾝｸ 調圧 PID ﾊﾞﾝｸ ・・・自動圧力制御を実行します。 -5- 自動圧力制御コントローラ 特 長 MGCS-11 / MGCS-22 （画面表示の例） ■見やすい液晶４インチ タッチパネルで簡単操作。 ■現在圧力の他にコントロールバルブ開度の簡易表示。 ■７段階選択式オートチューニングでパラメータを素早く最適化。 ■４つのプロセスバンク（メモリ機能）から設定値の呼び出し。 ■真空計Ｆ.Ｓ.の 0.1％の制御精度。 ■上位システムから遠隔操作可能。 ■開度指定動作モードへの切り換え可能。 ■真空計（センサ）用電源 DC±15V および DC24V 搭載。 ■収納しやすい 19“ラックのハーフサイズ。 ■コントロールバルブ２台の接続用にＭＧＣＳ－２２をラインアップ。 仕 様 コントローラ型式 MGCS-11 / MGCS-22 BAR 適用コントロールバルブ GAR 組合せ互換性 互換性あり（但し、初期設定必要） 表示・操作 モノクロ液晶４インチ タッチパネル 入力： 圧力制御、全閉、全開、HOLD、 外部制御（I／O 入出力） 開度制御、設定圧力/開度 出力： 制御中、アラーム、全閉、全開、 運転準備完了、現在圧力、開度 真空計（センサ）入力 0-10V 異常検出 PLC アラーム、サーボアラーム 入力電源（50Hz/60Hz） 電圧： AC100V～120V 、 AC200V～240V（単相） 所要電力： 最大 200W 寸法（W×D×H） 241mm×344mm×143.5mm 質量 4kg 周囲環境条件 温度 0～55℃（屋内設置） 湿度 90％以下 付属品 100V 用電源ケーブル（2m）、モータケーブル（3m、5m、10m 選択） オプション ■電源投入時の自動原点復帰 ■停電対策仕様（停電時にバルブ全閉） ■RS-232C 通信機能(MGCS-11 のみの機能です) ■19 インチラック組込み用ブランク付 19“ﾗｯｸ組込み用ﾌﾞﾗﾝｸ付 -6- 自動圧力制御多軸コントローラ 特 MGCS-3□ 長 ■１台のコントローラで４台までのｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞを制御。 ■個別制御、同期制御（ﾏｽﾀｰ/ｽﾚｰﾌﾞ）の設定自由。 ■ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞの種類・サイズの組合せは自由。 ■表示器および操作は液晶タッチパネル。 ■制御パラメータは学習機能で素早く最適化。 ■真空計Ｆ.Ｓ.の 0.1％の制御精度。 ■上位システムから遠隔操作可能。 ■開度指定動作およびジョグ運転可能。 ■真空計（センサ）用電源 DC±15V および DC24V 搭載。 ■収納しやすい 19“ラックサイズ。 機器構成 真空計 注）貴社で御用意いただくものですが、 Mebras とセットで御購入もできます。 ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞ ｺﾝﾄﾛｰﾗ：MGCS-3□ ﾊﾞﾙﾌ台数 3：３台 4：４台 -7-
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