2007年度 - 愛知工業大学

2007 年度研究室活動報告書
名古屋大学大学院工学研究科
マイクロ・ナノシステム工学専攻
佐藤・式田研究室
スタッフ
教授：佐藤一雄
准教授：式田光宏
助教：安藤妙子
秘
書：加藤智子
学生
Ｄ３：佐々木光，譚智勇，中尾茂樹，長谷川義大，肥田博隆
Ｄ２：山口真典
Ｍ２：小椋大輔，高木信吾，内藤淳平，山口剛
Ｍ１：今井連太郎，鵜飼信二，小山幹喜，鈴木佳孝，周博偉，丁大鳴，奈良晃寛
Ｂ４：山本重義，石原英和，稲垣徳幸，鵜飼晃太，侘美貴文，横田拓央，若狭哲也
COE ポスドク研究員
Prem Pal：2006 年 6 月～2008 年 3 月
外国人共同研究員
Miguel A. Gosálvez (Helsinki University of Technology) ：2007 年 5 月, 9 月, 11 月
Adam S. Foster (Helsinki University of Technology) ：2007 年 11 月
Teemu Hynninen (Helsinki University of Technology)：2007 年 5 月, 9 月, 11 月
国費研究留学生
幸研（Xing Yan）：2005 年 10 月～2007 年 9 月
国費学部研究生
Wahedul Md. Islam：2007 年 10 月～
1
--International Activities-Transducers ‘07 Lyon, France
2007.6.10-14
MHS & Micro-Nano COE, Nagoya
2007.11.12-14
IEEE MEMS ‘08 Tucson, USA
2008.1.13-17
UCLA- Nagoya Univ. Seminar,
Los Angels
2008.1.18
Nagoya Univ.- Okmetic Seminar
‘Sensing the Future,’
名大野依記念館　2007.9.5
Japan Finland Seminar
(JSPS-AKA Bilateral Research Program)
名大野依記念館
2007.9.4
--Education--
--Social Events-マイクロマシン／ＭＥＭＳ展
東京 2007.7.25-27
創造工学センター
モノづくり実習
2008.1.9
テクノフェア名大
2007.9.7
--Debut of New Doctors--
Q.D. Nguyen, 2007.9.27
佐々木光 , 2007.7.21
譚智勇 , 2007.11.21
中尾茂樹 , 2008.2.22
長谷川義大 , 2008.2.29
---Laboratory Socializing-講座旅行 - 富士・御殿場 2007.9.14-15
佐藤研究室創設 15 周年
記念同窓会　2008.3.15
＜活動概況＞
文部科学省 21 世紀 COE プログラム拠点「情報社会を担うマイクロ・ナノメカトロニクス」の中核とし
て当研究グループは以下の研究プロジェクトを展開した．
（1）シリコン単結晶の化学的異方性エッチング
（2）マイクロ材料のオンチップ引張り試験
（3）マイクロ熱線アレイを利用したセンサ
（4）３次元曲面に展開できる接触圧力センサ
（5）触覚を提示できるディスプレイ
（6）磁性微粒子の搬送操作技術とこれを応用した生化学システム
佐藤は単結晶の化学的結晶異方性エッチングメカニズムをメゾスコピックなレベルからミクロンレベ
ルの現象まで統一的に解明することを目的として研究を進めた．日本学術振興会の二国間共同研究の枠組
みで，フィンランド，ヘルシンキ工科大学と共同研究をすすめ，同大学の第１原理計算の力を借りて新し
いエッチングモデルの検討を進めた．
式田は，MEMS デバイス・システムの研究に注力している．シリコン以外の素材を積極的に導入し，
織物状のフレキシブルセンサ，肺の深部に挿入できる流量センサ，磁性微粒子応用マイクロ生化学分析シ
ステムなどを提案・開発している．
安藤は，薄膜材料の機械的特性評価のため，薄膜試験片と負荷機構が集積化されたシリコンデバイスを
使うことを特徴とする「オンチップ引張試験法」をつかって，シリコン単結晶の破壊挙動の温度依存性を
評価した．その結果，70℃を境に破壊形態が変化し破壊靭性値が高温側で増大する現象を発見した．現在，
そのメカニズムの解明に迫っている．この研究と並行して，マイクロ材料の試験法の標準化を目的とする
NEDO の国際標準化事業に参画し，薄膜の疲労試験の標準化に関わっている．
ハイライト：
（１）世界トップクラスの国際会議で数多くの発表を行い，国際学術誌に多くの論文が掲載された．
フランスのリヨンで開催された Transducers-07 では 9 件，米国ツーソンで開催された MEMS-08 では 5 件
の発表をそれぞれ行った．さらに MHS-05/Micro Nano COE Symposium（名古屋，2007.11）などを併せて，
合計 19 件の発表を行った．また，学術雑誌に掲載された査読付きの論文は 18 編に達した．
（２）本年度に当研究室で４名の学生が博士（工学）の学位を得た．
学位取得者とその研究テーマは以下の通りである．学位取得者はいずれも国内外の MEMS 関連企業に就
職した．当研究室の学位取得者は企業から高い評価を得ている．
佐々木光：「触覚ディスプレイ用マイクロアクチュエータの研究」
譚智勇：On-wall In-Tube Flexible Thermal Flow Sensor for Measuring Flow Rate
中尾茂樹：「ＭＥＭＳ用薄膜材料の破壊特性に及ぼす膜厚と温度の効果」
長谷川義大：「マイクロ触覚センシングシステムに関する研究」
（３）佐藤が「ものづくり教育」で教材を出版
佐藤は，学内の技術職員と協力して，機械系ものづくり実習を実施してきた．これまで約 10 年の期間中
に開発してきた実習テーマをまとめて，製作図面のＣＤ付のマニュアルとして自費出版した．対象とする
読者は，大学・高専などで学生のものづくり指導を担当する職員である．
「大学版創造性モノづくり実習マニュアル」（図面ＣＤ付）佐藤一雄編著
名古屋大学創造性モノづくり教育研究会出版社：マナハウス
内容を見たい方は http://ec.daitec.co.jp でオンデマンド出版のサンプルを．
購入したい方は佐藤 [email protected] に直接ご連絡を．
2
＜講演＞（国内および国際会議）
招待講演・基調講演（Invited lectures）
1. 佐藤一雄：マイクロナノ 2007 MEMS フォーラム産学連携セッション，東京ビッグサイト
(2007.7.25)
2. 佐藤一雄：基調講演「MEMSのサイエンス：単結晶シリコンのエッチング研究の新展開」，MEMS人
材育成システム講演会（主催：東北経済産業局）宮城県産業技術総合センター (2008.3.3)
3. 佐藤一雄：「MEMSのサイエンス：単結晶シリコンの破壊特性，エッチング特性」（主催：精密工学
会マイクロ/ナノシステム研究専門委員会）東京工業大学80周年記念館 (2008.3.10)
一般向け講演
1. 式田光宏：ウエットエッチングプロセスとその高機能化，技術情報協会，半導体・MEMS を中心とし
たウェットエッチング技術: シリコンの洗浄・エッチング・ラフネス制御技術，東京五反田ユーポート，
2007.10.23.
2. 安藤妙子：シリコン単結晶の機械強度に関する最近の研究，マイクロマシニングプロセス研究会，京
都大学，2007.12.26.
3. K. Sato: Micro-Nano Science in MEMS --Mysteries in Wet-Etching and Fracture Behavior of Silicon--,
UCLA-NU Seminar, UCLA, Los Angeles, Jan. 18, 2008.
4. T. Ando: Characterization of mechanical properties of MEMS thin films, UCLA-NU Seminar, UCLA, Los
Angeles, Jan. 18, 2008.
5. 式田光宏，MEMS におけるウェットエッチング技術，技術情報協会，ウェットエッチングの不良要因
とその対策，東京北とぴあ，2008.1.25.
6. 安藤妙子：単結晶シリコン薄膜の破壊に関する研究，2007 年度ナノマシンシステム技術研究会，マイ
クロ・ナノシステム基盤技術分科会，立命館大学，2008.2.14.
7. 佐々木光，稲垣徳幸，式田光宏，佐藤一雄: DeepRIE 加工における加工面の平滑化，中部ナノテク総合
支援「ナノ材料創成加工と先端機器分析」平成 19 年度成果報告会，岡崎，2008.3.18-19.
学術講演
（国際会議）
1. S. Nakao, T. Ando, M. Shikida and K. Sato: Effects of environmental condition on the strength of
submicron-thick single crystal silicon film, Transducers2007, Lyon, p375-378.
2. X. Li, G. Ding, H. Wang, T. Ando, M Shikida and K. Sato: Mechanical properties of electrodeposited
permalloy thin film measured by using a tensile test, Transducers2007, Lyon, p555-558.
3. S. Takagi, H. Sasaki, M. Shikida and K. Sato: Electrostatic latch mechanism for handling projection on arrayed
vertical motion system, Transducers2007, Lyon, p1147-1150.
4. Y. Hasegawa, M. Shikida, D. Ogura and K. Sato: Glove type of wearable tactile sensor produced by artificial
hollow fiber, Transducers2007, Lyon, p1453-1456.
5. H. Hida, M. Shikida, K. Fukuzawa, A. Ono, Ke. Sato, K. Asaumi, Y. Iriye, T. Muramatsu, Y. Horikawa and Ka.
Sato: Development of self-vibration and -detection AFM probe by using quartz tuning fork, Transducers2007,
Lyon, p1533-1536.
6. M. Yamaguchi, Y. Yamada, Y. Goto, M. Shikida and K. Sato: Mechanical properties of silicon-based
membrane windows applied for a miniature electron beam radiation system, Transducers2007, Lyon,
p1633-1636.
7. S. Ukai, T. Imamura, M. Shikida and K. Sato: Bubble driven arrayed actuator device for a tactile display,
Transducers2007, Lyon, p2171-2174.
8. J. Naito, Z. Tan, M. Shikida, M. Hirota and K. Sato: Characteristics of on-wall in-tube flexible thermal flow
sensor at wrap pipe condition, Transducers2007, Lyon, p2349-2352.
9. M. Koyama, N. Nagao, R. Imai, M. Shikida, H. Honda, M. Okochi, H. Tsuchiya and K. Sato: Evaluation of
magnetic beads agitation performance operated by multi-layered flat coils, Transducers2007, Lyon, p2385-2388.
10. H. Sasaki, S. Takagi, M. Shikida and K. Sato: Projection clutching system for force transmission system based
on tulip-shaped electrostatic clutch, MHS2007 & Micro-Nano COE, p494-498.
11. Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosálvez and M. Shikida: Novel wet anisotropic etching process for the realization of
new shapes of silicon MEMS structures, MHS2007 & Micro-Nano COE, p499-504.
12. S. Nakao, T. Ando, Shigeo Arai, Noriyuki Saito, M. Shikida and K. Sato: Variation in dislocation pattern
observed in SCS films fractured by tensile test: effects of film thickness and testing temperature, MRS2007
Fall-Meeting, Vol.1052, Boston.
3
13. Y. Xing, M.A. Gosálvez and K. Sato: Octree-search kinetic Monte Carlo algorithm for the simulation of
complex 3D MEMS structures, MEMS2008, Tucson, p323-326.
14. Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez and M. Shikida: An improved anisotropic wet etching progress for the
fabrication of silicon MEMS structures using a single etching mask, MEMS2008, Tucson, p327-330.
15. S. Nakao, T. Ando, L. Chen, M. Mehregany and K. Sato: Mechanical characterization of SiC film at high
temperatures by tensile test, MEMS2008, Tucson, p447-450.
16. M. Koyama, R. Imai, M. Okouchi, H. Tsuchiya, H. Honda and K. Sato: Micromachined sample divider for
analyzing biochemical reaction based on single molecule, MEMS2008, Tucson, p618-621.
17. J. Naito, M. Shikida, M. Hirota, Z. Tan and K. Sato: Miniaturization of on-wall in-tube flexible thermal flow
sensor using heat shrinkable tube, MEMS2008, Tucson, p924-927.
18. Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez and M. Shikida: Microstructures with rounded concave and sharp-edged
convex corners in a single step wet anisotropic etching, SPIE MOEMS-MEMS2008, Vol.6882, San Jose
19. M. Yamaguchi, Y. Yamada, Y. Goto, M. Shikida, K. Sato and J. Murase: Mechanical properties of thin
Si-based membrane windows deteriorated by electron beam penetration, Micro- and Nano-Engineering
Conference 2007, Copenhagen, P-MST-17.
（国内会議）
1. 肥田博隆、式田光宏、福澤健二、佐藤健二、小野淳、浅海和雄、入江康郎、佐藤一雄：自励・自己検
出機能を有する水晶音叉型 AFM プローブの開発，電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究，
筑波大，MSS-07-6，2007.7.2~3.
2. 長谷川義大，式田光宏，小椋大輔，佐藤一雄：中空糸材を用いた静電容量型織物状触覚センサ，電気
学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会，筑波大，MSS-07-7，2007.7.2~3.
3. 安藤妙子，室屋伸吾，佐藤一雄：薄膜の曲げ試験用デバイスの開発，日本機械学会 110 周年記念年次
大会，関西大，p717-718，2007.9.9~12.
4. 中尾茂樹，安藤妙子，式田光宏，佐藤一雄：単結晶シリコン薄膜の破壊靭性に及ぼす寸法と環境温度
の効果，日本機械学会 110 周年記念年次大会，関西大(2007)，p733-734，2007.9.9~12.
5. J. Naito, Z. Tan, M. Shikida, M. Hirota, Y. Xing, K. Sato, T Iwasaki and Y. Iriye: Experimental and theoretical
study of on-wall in-tube flexible thermal flow sensor at wrap pipe condition, 24th Sensor Symposium, Tokyo,
B2-1, 2007.10.16~17.
6. D. Ogura, Y. Hasegawa, M. Shikida, Y. Suzuki and K. Sato: Fabric tactile sensor using artificial hollow fibers
and its application to clothes, 24th Sensor Symposium, Tokyo, Po-28, 2007.10.16~17.
7. 伊野浩介，大河内美奈，小西奈緒，今井連太郎，式田光宏，本多裕之: 磁気細胞パターニング法を用
いた細胞アレイの作製，日本生物工学会トピックス集，p9-10，2007.9.25~27.
8. 大河内美奈，土屋裕義，長尾宣洋，式田光宏，本多裕之: 磁石を駆動力とした微小液滴操作による遺
伝子解析用マイクロデバイスの開発，第 30 回日本分子生物学会年会・第 80 回日本生化学会大会合
同大会，4P-1434，2007.12.11~15.
9. 伊野浩介，大河内美奈，小西奈緒，今井連太郎，式田光宏，本多裕之: 磁気細胞パターニング法によ
る細胞アレイを用いた 1 細胞解析，化学工学会第 73 年会，静岡，J204，2008.3.17~19.
10. 雨川洋章，福澤健二，張賀東，伊藤伸太郎，式田光宏，二軸独立検出型摩擦力顕微鏡用マイクロ・メ
カニカルプローブの高精度化，機械学会情報・知能・精密機器部門（IIP 部門）講演会，東工大，
#2303，2008.3.17~19.
11. 稲垣徳幸，佐々木光，式田光宏，佐藤一雄: アルカリ性水溶液によるスキャロッピング除去法に関す
る研究，日本機械学会東海支部第 57 期総会講演会，
名大，p431-432，2008.3.10~11.
12. 周博偉，佐々木光，式田光宏，佐藤一雄: 多段クラッチを用いたアレイ状触覚表示デバイスの開発，
日本機械学会東海支部第 57 期総会講演会，名大，p433-434，2008.3.10~11.
13. 内藤淳平，式田光宏，川部勤，林悠太，横田拓央，他 2 名: 経気管支的に気道内肺機能測定を目指し
たカテーテル実装型流量センサの開発，平成 20 年電気学会全国大会講演論文集[3]，福岡工大，p209-210，
2008.3.19~21.
14. 山口剛，安藤妙子，佐藤一雄: 単結晶シリコン薄膜のクリープ特性評価，平成 20 年電気学会全国大会
講演論文集[3]，福岡工大，p199, 2008.3.19~21.
＜学術誌論文＞
1. H. Tanaka, D. Cheng, M. Shikida and K. Sato: Effect of magnesium in KOH solution on the anisotropic wet
etching of silicon, Sensors and Actuators A, Vol.134, No.2, (2007) p465-470.
4
2. H. Sasaki, M. Shikida and K. Sato: Fabrication of densely arrayed Si needles with large height for transdermal
drug delivery system application, IEEJ Trans. Electrical and Electronic Engineering, Vol.2, No.3 (2007),
p340-347.
3. M.A. Gosálvez, K. Sato, A. Foster, R. Nieminen and H. Tanaka: An atomistic introduction to anisotropic
etching, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.17, No.4 (2007), S1-S26.
4. M.A. Gosálvez, Y. Xing, T. Hynninen, M. Uwaha, A. Foster, R. Nieminen and K. Sato: Faster simulations of
step bunching during anisotropic etching: formation of zigzag structures on Si (110), Journal of
Micromechanics and Microengineering, Vol.17, No.4 (2007), S27-S37.
5. Z. Tan, M. Shikida, M. Hirota, K. Sato, T. Iwasaki and Y. Iriye: Experimental and theoretical study of an
on-wall in-tube flexible thermal sensor, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.17, No.4 (2007),
p679-686.
6. Z. Tan, M. Shikida, M. Hirota, Y. Xing, K. Sato, T. Iwasaki and Y. Iriye: Characteristics of on-wall in-tube
flexible thermal flow sensor under radically asymmetric flow condition, Sensors and Actuators A, Vol.138
(2007), p87-96.
7. A. Foster, M.A. Gosálvez, T. Hynninen, R. Nieminen and K. Sato: First-principles calculations of Cu
adsorption on an H-terminated Si surface, Physical Review B, Vol.76, No.7 (2007), #075315.
8. Prem Pal, K. Sato and S. Chandra: Fabrication techniques of convex corners in a (1 0 0)-silicon wafer using
bulk micromachining: a review, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.17, No.10 (2007),
R111–R133.
9. Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosálvez, and M. Shikida: Study of rounded concave and sharp edge convex corners
undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants', Journal of Micromechanics and Microengineering,
Vol.17, No.11 (2007), p2299-2307.
10. Y. Xing, M.A. Gosálvez and K. Sato: Step flow-based cellular automaton for the simulation of anisotropic
etching of complex MEMS structures, New Journal of Physics, Vol.9 (2007), #436 (18pp).
11. X. Li, T. Kasai, S. Nakao, T. Ando, M. Shikida and K. Sato: Influence of sub-micrometer notches on the
fracture of single crystal silicon thin films, Fatigue & Fracture of Engineering Materials & Structures, Vol.30,
No.12, p1172-1181.
12. T. Hynninen, M.A. Gosálvez, A. Foster, H. Tanaka, K. Sato, M. Uwaha and R. Nieminen: Effect of Cu
impurities on wet etching of Si(110): formation of trapezoidal hillocks, New Journal of Physics, Vol.10 (2008),
#013033 (19pp).
13. S. Nakao, T. Ando, M. Shikida and K. Sato: The effect of temperature on fracture toughness in
single-crystal-silicon film and transition in its fracture mode, Journal of Micromechanics and Microengineering,
Vol.18, No.1 (2008), #015026 (8pp).
14. X. Li, G. Ding, T. Ando, M. Shikida and K. Sato: Micromechanical characterization of electroplated permalloy
films for MEMS, Microsystem Technologies, Vol.14, No.1 (2008), p131-134.
15. K. Ino, M. Okochi, N. Konishi, R. Imai, M. Shikida, A. Ito and H. Honda: Cell culture arrays using magnetic
force-based cell patterning for dynamic single cell analysis, Lab on a Chip Vol.8 (2008), p134-142.
16. H. Tsuchiya, M. Okochi, N. Nagao, M. Shikida and H. Honda: On-chip polymerase chain reaction microdevice
employing a magnetic droplet-manipulation system, Sensors and Actuators B, Vol.130, No.2 (2008), p583-588.
17. M. Shikida, N. Nagao, R. Imai, H. Honda, M. Okochi, H. Ito, K. Sato, Palmtop-sized Rotary-drive-type
Biochemical Analysis System by Magnetic Beads Handling, Journal of Micromechnics and Microengineering,
Vol.18, No.3 (2008), p501-508.
＜解説・総説＞
1. Prem Pal, K. Sato and Sudhir Chandra: Fabrication techniques of convex comers in a (100)-silicon wafer using
bulk micromachining: a review, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.17, No.10 (2007),
R111–R133.
2. 式田光宏: MEMS デバイスで感触を与える，日本バーチャルリアリティー学会，Vol.12, No.3 (2007),
p37-41.
3. 福澤健二，式田光宏: マイクロ・ナノトライボロジー現象の可視化技術，トライボロジスト, Vol.52,
No.12 (2007), p3-8.
4. 式田光宏: エッチング技術を駆使した微細なモノづくり，表面技術，Vol.59, No.2 (2008), 2-5.
＜著書＞
1. K. Sato（分担）, Comprehensive Microsystems, Elsevier Ltd (2007)
2. M. Shikida（分担），Comprehensive Microsystems, Elsevier Ltd (2007)
3. 佐藤一雄, 大学版創造性モノづくり実習マニュアル, マナハウス (2007)
5
＜ものづくり教育活動＞
学会講演
中木村雅史，千田進幸，福森勉，佐藤一雄，「材料加工学」授業補完実習プログラムの開発，日本機械学
会東海支部第 57 期総会講演会（2008.3.10-11，名古屋大学），講演論文集 No.083-1，p85-86．
ものづくり市民公開講座 2007 の開催（佐藤一雄：創造工学センター長）
第 5 回 2007 年 8 月 3 日, 8 日テルミンの製作
12 名
2007 年 8 月 9 日
メタルクラフト（モビール）8 名
＜受賞＞
1. 佐藤一雄（連名）：（社）電気学会 63 回電気学術振興賞（著作賞）, 2007.5.25
EE Text センサ・マイクロマシン工学
2. 佐藤一雄：（社）日本機械学会創立 110 周年記念功労賞，2007.10.26
＜学位論文＞
課程博士
佐々木光：「触覚ディスプレイ用マイクロアクチュエータの研究」
学位審査委員（主査）：佐藤一雄
学位審査委員（副査）：財満鎭明教授（工学研究科結晶材料工学専攻）
大岡昌博准教授（情報科学研究科複雑系科学専攻）
式田光宏准教授（工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻）
譚智勇：On-wall In-Tube Flexible Thermal Flow Sensor for Measuring Flow Rate
（管内壁に設置できるフレキシブル熱型流量センサの研究）
学位審査委員（主査）：佐藤一雄
学位審査委員（副査）：財満鎭明教授（工学研究科結晶材料工学専攻）
梅原徳次教授（工学研究科機械理工学専攻）
廣田真史教授（三重大学工学研究科機械工学専攻）
式田光宏准教授（工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻）
中尾茂樹：「MEMS 用薄膜材料の破壊特性に及ぼす膜厚と温度の効果」
学位審査委員（主査）：佐藤一雄
学位審査委員（副査）：田中信夫教授（エコトピア科学研究所ナノマテリアル科学研究部門）
財満鎭明教授（工学研究科結晶材料工学専攻）
社本英二教授（工学研究科機械理工学専攻）
式田光宏准教授（工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻）
長谷川義大：「マイクロ触覚センシングシステムに関する研究」
学位審査委員（主査）：佐藤一雄
学位審査委員（副査）：財満鎭明教授（工学研究科結晶材料工学専攻）
福田敏男教授（工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻）
大岡昌博准教授（情報科学研究科複雑系科学専攻）
式田光宏准教授（工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻）
＜特許＞
1. 感圧シート特願 2007-319027（H19.12.10 出願）
発明者：式田光宏，長谷川義大，鈴木佳孝，小椋大輔，佐藤一雄
6
2. 流量センサ特願 2008-003830（H20.1.10 出願）
発明者：式田光宏，川部勤，内藤淳平，林悠太，横田拓央
＜主要来客＞
2007.4.18
前野育三氏
2007.5.15
Miguel A. Gosálvez 博士
Teemu Hynninen 氏
2007.6.20
中村茂氏
2007.6.21
三宅亮
博士
2007.6.27
鈴木康利氏
2007.6.29
Markku Tilli 博士
2007.9.4
植田俊嗣教授
Risto M. Nieminen 教授
Miguel A. Gosálvez 博士
Teemu Hynninen 氏
2007.9.5
藤田博之教授
Markku Tilli 博士
Trapani Rhine 氏
Hanno Chattels 氏
Euro Punks 氏
吉岡テツヲ博士
森口誠氏
2007.10.29
高見澤徹氏
2007.11.12
Zygmunt Rymuza 教授
2007.11.12-14 Jan Korvink 教授
Young-Ho Cho 教授
2007.11.29
Miguel A. Gosálvez 博士
Adam Foster 博士
Teemu Hynninen 氏
2007.12.5
神谷庄司教授
2008.3.13
土屋智由准教授
＜海外渡航＞
1. 佐藤一雄
2. 式田光宏
3. 安藤妙子
4. 中尾茂樹
5. 肥田博隆
6. 長谷川義大
7. 山口真典
8. 内藤淳平
9. 高木信吾
10. 鵜飼信次
11. 小山幹喜
12. Xing Yan
13. 佐藤一雄
14. 中尾茂樹
15. 佐藤一雄
16. 式田光宏
住友精密工業（株）
Helsinki University of Technology, Finland
Helsinki University of Technology, Finland
（株）トキメック（大学院非常勤講師）
（株）日立製作所機械研究所（大学院非常勤講師）
（株）デンソー
（大学院非常勤講師）
Okmetic Oyj, Finland 副社長
早稲田大学
Helsinki University of Technology, Finland
Helsinki University of Technology, Finland
Helsinki University of Technology, Finland
東京大学
Okmetic Oyj, Finland 副社長
Nokia 社, Finland
VTT 社, Finland
Suunto 社, Finland 研究所長
（株）デンソー
オムロン（株）
（株）メカトロニクス技術高度化財団
Warsaw University of Technology, Poland
University of Freiburg, Germany
KAIST, Korea
Helsinki University of Technology, Finland
Helsinki University of Technology, Finland
Helsinki University of Technology, Finland
名古屋工業大学
京都大学
：フランス・ポーランド（2007.6）Transducers-07 に出席，研究交流．
：フランス（2007.6）Transducers-07 に出席．
：フランス・スイス（2007.6）Transducers-07 に出席，研究交流．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フランス（2007.6）Transducers-07 にて発表．
：フィンランド（2007.6）ヘルシンキ工科大学にて二国間共同研究．
：オランダ（2007.9）トゥエンテ大学にて学位審査官．
：米国（2007.11）MRS Fall Meeting にて発表．
：米国 (2008.1) IEEE MEMS-08 に出席. UCLA-名大セミナーにて発表．
：米国 (2008.1) IEEE MEMS-08 に出席．
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17.
18.
19.
20.
21.
安藤妙子
中尾茂樹
内藤淳平
小山幹喜
Prem Pal
：米国
：米国
：米国
：米国
：米国
(2008.1)
(2008.1)
(2008.1)
(2008.1)
(2008.1)
IEEE MEMS-08 に出席．UCLA-名大セミナーにて発表．
IEEE MEMS-08 にて発表．UCLA-名大セミナーにて発表．
IEEE MEMS-08 にて発表．UCLA-名大セミナーにて発表．
IEEE MEMS-08 にて発表．UCLA-名大セミナーにて発表．
IEEE MEMS-08 にて発表．SPIE にて発表
＜他大学・機関との兼任＞
佐藤一雄
1. 東京工業大学客員教授（2006.4-2008.3）
2.（財）マイクロマシンセンター（経済産業省委託事業）「平成 19 年度マイクロ・ナノ材料の疲労試験
に関する標準化調査研究」疲労試験標準化委員会委員（2007.4.1-2008.3.31）
3.（財）マイクロマシンセンター（経済産業省委託事業）「平成 19 年度 MEMS デバイス機構材料の特
性計測評価方法に関する標準化」標準化推進委員会委員（2007.4.1-2008.3.31），研究開発委員会（寿
命加速試験）委員長（2007.4.1-2008.3.31）
4. NEDO 技術委員（2006.5.10-2008.3.31）
5. 日本学術振興会，特別研究員等審査会専門委員および国際事業委員会書面審査委員（2005.8-2007.7）
6. 文部科学省ものづくり日本大賞（青少年部門）総理大臣賞審査委員(2007.7)
7. 日本機械学会理事(2006.4-2008.3)
8. 精密工学会理事(2006.4-2008.3)
式田光宏
1. NEDO ピアレビューア
2.（財）マイクロマシンセンター
先行研究開発委員会委員
安藤妙子
1. 名古屋大学男女共同参画室室員
2.（財）マイクロマシンセンター（経済産業省委託事業）「平成 18 年度基準認証研究開発事業」標準化
推進委員会委員
3.（財）マイクロマシンセンター（経済産業省委託事業）「平成 18 年度産業技術研究開発委託費」研究
会開発委員会委員
＜学会役員等＞
佐藤一雄
1. 日本機械学会理事(2006-2007)，評議員 (Board member of JSME)
2. 精密工学会理事(2006-2007)，評議員 (Board member of JSPE)
3. Editorial board member, Journal of Micro System Technology (Springer Verlag, Germany)
4. Editorial board member, International Journal of Precision Engineering and manufacturing (Korean Society
of Precision Engineering, Korea)
5. Editorial board member, Journal of Micromechanics and Microengineering (IOP, GB) (2007)
6. Editor in Asia, Journal of Micromechanics and Microengineering (IOP, GB) (2008-2010)
7. Program Co-Chairman of MHS-2007/Micro-Nano COE Symposium, Nagoya (2007)
式田光宏
1. 第 24 回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員
2. Regional Technical Program Committee of the 14th International Conference on Solid-State Sensors,
Actuators, and Microsystems
3. Editorial Board Member on IEE Letters Journal on Micro & Nano Technology
4. 電気学会センサ・マイクロマシン部門役員会委員
5. 電気学会センサ・マイクロマシン部門編集委員会副委員長
6. 電子情報通信学会 ELEX 編集委員
7. 電子情報通信学会和文論文誌 C 特集号編集委員
8. 電子情報通信学会ハンドブック/知識ベース委員会編幹事
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9. 日本機械学会東海支部
第 57 期総会講演会
実行委員会委員
安藤妙子
1. 電気学会Ｅ準部門マイクロマシン技術委員会幹事
2. 日本機械学会材料力学部門マイクロ・ナノ材料評価／微小機械部品設計技術に関する調査研究会
委員
3. 電気学会平成 19 年電気学会全国大会グループ委員会 11 グループ幹事
4. 電気学会平成 19 年度電気学会Ｅ準部門総合研究会実行委員
5. 電気学会男女共同参画推進特別委員会委員
謝
辞
以下に文部科学省・企業・財団から当講座に頂いた研究助成を列記して，それぞれに厚く御礼申し上げ
ます．
1. 日本学術振興会二国間交流事業共同研究（相手国：フィンランド）
「シリコン結晶異方性エッチングの物理化学と MEMS への応用展開」（代表者：佐藤一雄）
2. 日本学術振興会平成 19 年度科学研究費補助金（基盤研究(B)）
「磁性微粒を用いた小型分析システムの開発」（代表者：式田光宏）
3. 日本学術振興会平成 19 年度科学研究費補助金（基盤研究(A)）
「シリコンの結晶異方性エッチングモデルと溶液組成イオン効果の研究」（代表者：佐藤一雄）
寄付・受託研究等
1. 奨学寄付（佐藤宛）；ＳＭＣ（株）殿
2. 奨学寄付（佐藤宛）；エプソントヨコム（株）殿
3. 奨学寄付（式田宛）；（株）フジクラ殿
4. 受託研究（佐藤・安藤）；（財）マイクロマシンセンター
NEDO 委託事業「MEMS デバイス機構材料の寿命加速試験法の標準化に関する研究開発」
5. 民間等との共同研究区分 B（佐藤・式田）；キヤノン（株）
6. 民間等との共同研究区分 B（佐藤・式田）；三菱瓦斯化学（株）
7. 民間等との共同研究区分 B（安藤・佐藤）；キヤノン（株）
8. 民間等との共同研究（式田）；（株）豊田中央研究所
以上に加えて，（株）みずほ情報総合研究所には，マイクロマシニングプロセス研究会の事務局として
会の運営を支えていただいた．厚く御礼申し上げます．
本年度卒業生の就職先
（株）デンソー，ＴＲＷオートモーティブジャパン（株），キャノン（株），東日本旅客鉄道（株），
ソニー（株），アイシン・エイ・ダブリュ（株），（株）リクルート，（株）トーメー
本研究室へのお問い合わせは以下にアクセスをお願いします．
ホームページ：http://www.kaz.mech.nagoya-u.ac.jp
佐藤一雄 tel: 052-789-5223, fax: 052-789-5032,
e-mail: [email protected]
式田光宏 tel: 052-789-5031, fax: 052-789-5032,
e-mail: [email protected]
安藤妙子 tel: 052-789-5031, fax: 052-789-5032
e-mail: [email protected]
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