EDX IMAGING/MAPPING ユーザーマニュアル

EDX
IMAGING/MAPPING
ユーザーマニュアル
著作製作 EDAX INC.
翻訳エダックス・ジャパン株式会社
EDAX INC.
91 McKEE DRIVE
MAHWAH, NJ 07430
USA
エダックス・ジャパン株式会社
東京都港区港南 2-13-37
P/N 9499.200.62100
REVISION 3.0
Mar. 1999
目次
第１章はじめに.................................................................................7
Quant Map オプション...................................................................................... 7
Fast Map オプション ........................................................................................ 7
Line Scan オプション....................................................................................... 8
Stage Control オプション ................................................................................ 8
第２章ソフトウェアのインストール.......................................................9
ソフトウェアのインストールの方法...................................................................... 9
第３章クイックツアー .....................................................................11
第４章電子顕微鏡像の取込............................................................13
第５章Ｘ線マッピング.......................................................................15
5.1 パラメータの設定................................................................................... 15
5.2 一分析視野からのＸ線マップの取込.......................................................... 16
5.3 多分析視野からのＸ線マップの取込.......................................................... 17
5.4 高速マッピング......................................................................................... 18
5.5 WDS 信号の入力...................................................................................... 19
5.6 線分析の取込 .......................................................................................... 19
第６章像の編集..............................................................................21
6.1 切り取り／コピー／貼り付けの方法....................................................... 21
6.2 選択した像の消去.................................................................................... 21
6.3 すべての像の消去.................................................................................... 22
6.4 パラメータの編集...................................................................................... 22
6.5 ズーム機能 .............................................................................................. 22
6.6 スクリーンキャプチャー......................................................................... 23
第７章ファイルの入出力..................................................................25
7.1 ディスクへ像を保存する............................................................................ 25
7.2 ディスクからの像の読み出し..................................................................... 25
7.3 ファイルのプレビュー機能..................................................................... 26
7.4 スペクトラムファイルの取り扱い.......................................................... 27
7.4.1 スペクトラムの読み出し .................................................................. 27
7.4.2 スペクトラムの保存 .......................................................................... 27
7.4.3 スペクトラムの比較法...................................................................... 27
7.5 像／スペクトラムの印刷............................................................................ 28
7.5.1 ページ設定........................................................................................ 28
第８章スクリーンモード...................................................................31
8.1 像表示モードの選択................................................................................. 31
8.2 ステータスバーの選択.............................................................................. 31
8.3 コントロールパネルの選択........................................................................ 32
8.4 カラーパレットの選択................................................................................ 32
第９章イメージプロセッシング..........................................................35
9.1 重ね合わせ機能の活用............................................................................ 35
9.2 演算機能.................................................................................................. 36
9.3 フィルタリング機能.................................................................................... 36
9.3.1 メジアンフィルタリング ........................................................................ 36
9.3.2 カーネルフィルタリング ....................................................................... 36
9.4 リスケール機能 ........................................................................................ 37
9.4.1 敷居値モード ..................................................................................... 38
9.4.2 スピニングモード ............................................................................. 38
9.4.3 マルチポイントモード...................................................................... 39
第１０章 EDAX スキャンコントロール................................................41
第１１章画像データの観察..............................................................43
第 12 章測長 .................................................................................45
第 13 章像に注釈をつける............................................................47
付録 A 電子顕微鏡像取込パネル................................................................... 49
付録 B Ｘ線マップ取込パネル..................................................................... 51
付録Ｃ Line 取り込みパネル......................................................................... 53
付録 D Scan Generator パネル .................................................................. 55
付録 E ステータスバー................................................................................ 57
付録 F 画像パラメータの編集..................................................................... 59
付録 G 画像ファイルプレビュー機能.......................................................... 61
付録 H
ステージロケーションパネル.......................................................... 63
付録 I オプションリスト............................................................................. 65
第１章
はじめに
EDX-Imaging/Mapping アプリケーションソフトウェアは、電子顕微鏡からデジタル情報の電子顕
微鏡像、Ｘ線マッピング像を収集できます。
以下に示すイメージプロセス機能をもっています：
・フレームオペレーション
・ヒストグラムを用いたイメージ強調
・各種フィルタ
・疑似カラー
・像の重ね合わせ
イメージ情報は標準的なファイル形式で保存できますので、MS-Word ・ MS-Excel の書類への
貼り付けなどが可能です。また、選択領域の拡大機能や印刷機能を有します。
このパッケージにはデジタルビームコントロール機能が付いています。この機能は、選択した領域
や点を高い分解能で電子線のコントロールを行えますので、興味のある領域のＸ線スペクトラムを
正確に取り込むことが可能になります。
Quant Map オプション
Ｘ線マップを取り込みながらあらゆる定量分析（Net 強度・Ｋレシオ・ ZAF 補正）を行い、表示でき
ます。
Fast Map オプション
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フレーム毎に平均化を行いながら、高速でＸ線マップを取り込む機能を有します。
Line Scan オプション
分析視野上で指定した線上で、電子線を走査させてＸ線情報を取り込む機能です。この線分析で
取り込んだＸ線情報に対してあらゆる定量分析機能が使用できます。
Stage Control オプション
この機能は複数の分析視野でＸ線マップの取込を自動的に行うためのものです。
新しい機能
・測長機能
・スクリーンキャプチャー機能
・イメージ注釈機能
・ビデオ信号取り込み時の高速スキャニング機能
・マッピングモードでのビデオ信号のオートスケール機能
・EDX パルスプロセッシングタイム幅を 2.5∼100μsec に拡大
・ページ設定からフォント選択機能
・画像ファイル／スペクトラムファイルにおいてロングファイルネームをサポート
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
第２章
ソフトウェアのインストール
EDX Imaging/Mapping パッケージにはマスターディスク２枚と、システムディスク２枚が含まれま
す。インストールを開始する前に C ドライブに 6MB 以上の空きがあることを確認して下さい。空き
容量が足りない場合にはインストールが完了できません。
ソフトウェアのインストールの方法
インストール方法：
・Windows を立ち上げます。
・3.5 インチフロッピードライブにマスターディスクの#1 を挿入します。
・ファイルマネージャのファイルメニューから名前を指定して実行をクリックします。
・A:¥setup を入力します。
・Enter キーを押します。
注意：添付のメディアが CD の場合には、ｽﾀｰﾄ
ボタンをクリックし、ファイル名を指定して実行を選
択し、Imaging−Mapping／Disk1／Setup を選択します。
インストールの過程：
・EDX Imaging/Mapping ソフトウェアで使用するディレクトリを作成します。
・EDX Imaging/Mapping ソフトウェアとヘルプファイルを C:¥EDAX32¥IMG にコピーします。
・サンプルデータを D:¥EDAX32¥img¥usr にコピーします。
・EDAX スキャンジェネレータードライバとその他の.DLL ファイルを C:¥EDAX32¥sys にコ
ピーします。
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インストール後には以下のディレクトリが作成されます：
・C:¥EDAX32¥img アプリケーションソフトウェア領域
・C:¥EDAX32¥sys DLL ファイルなどのシステムサポート用ファイル領域
・D:¥EDAX32¥img¥usr ユーザー用のデータ保存領域
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第３章
クイックツアー
電子顕微鏡インターフェイスとソフトウェアのインストール終了後のプロセスを示します：
電子顕微鏡像の取込
・電子顕微鏡の外部コントロールができるように設定します。
・必要な場合はスポットモードに設定して下さい。
・アプリケーションがある EDAX32 フォルダから
Imaging-Mapping アイコンをダブルク
リックします。
アイコンをクリックするか、取り込みメニューから電顕ｲﾒｰｼﾞ
を選択します。
・
選択領域からスペクトラムを取り込む
・画面メニューからｽﾍﾟｸﾄﾗﾑを選択するかアイコンをクリックします。
・
アイコンをクリックしてスキャンモードを選択します。
・電子線を照射する位置を電子顕微鏡像の上をクリックして指定します。
・スペクトラムツールバーから
アイコンをクリックしてスペクトラムの取り込みを開始しま
す。
・１０∼２０秒後に同じアイコンをクリックして取り込みを終了します。
スペクトラムから定性分析を行う
・ツールバーから
アイコンをクリックして定性分析パネルを選択します。
・取り込んだスペクトラム上をクリックします。
・キーボードの方向キーの左右から、スペクトラムカーソルをピークの中心に移動させます。
すると候補リストに元素記号が表示されます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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・元素記号をクリックし選択すると、スペクトラム上に特性 X 線を示すカラーマーカーが表示
されます。
・定性分析コントロールパネル内の追加ボタンをクリックすることで候補に元素名が加えら
れます。
・Z+、Z-ボタンのクリックで元素マーカーを移動させ、ピークの位置とマーカーが一致する場
合は元素名を追加します。
・アプリケーションツールバーから
アイコンをクリックして ROI 設定パネルを選択します。
ｵｰﾄ
ボタンを使うか、マニュアルで興味のある領域 Regions Of Interest（ROI）を定性した
元素に対して設定します。
X 線マップの取り込み
・
ボタンのクリックでﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ設定
パネルを選択します。選択された ROI について X 線
マップを取り込みます。取り込み画素数を 128Ｘ100、Dwell[ms]を 10msec、プリセットモ
ードから clock を選択します。
・すでに X 線マップ取り込み条件が設定されている場合は、ツールバー上の
ボタンをク
リックするか、取り込みメニューからﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ
を選択します。取り込み終了後すぐに保存する
ために、ファイル名を聞いてきます。
・取り込みメニューからｽﾄｯﾌﾟ
を選択することで、いつでも終了できます。
・電子顕微鏡の再調整のために取り込みを一時停止する場合にはツールバーから
ア
イコンをクリックします。もう一度クリックすると取り込みを再開します。
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第４章
電子顕微鏡像の取込
EDX Imaging アプリケーションソフトウェアを立ち上げれば、すぐに電子顕微鏡像の取込ができ
ます。
像の取込
・
アイコンをクリックするか、取り込みから電顕ｲﾒｰｼﾞ
を選択します。
同じフレームスキャンで、最大４つの異なる検出器からのアナログ信号の取込が可能です。
取込条件（分解能、検出器番号、信号の平均化、等）を変更するためにはｲﾒｰｼﾞ設定
パネル
を使用します。
ｲﾒｰｼﾞﾝｸﾞﾊﾟﾗﾒｰﾀの設定
ｲﾒｰｼﾞ設定
パネルを設定する方法：
・ツールバーから
アイコンをクリックするかｾｯﾄｱｯﾌﾟメニューから
電顕ｲﾒｰｼﾞ
を選択します。
（詳細は付録 C を参照下さい。）
像のデータが.BMP か.TIF で保存されている場合、取込条件（加速電圧、倍率、取込画素数、
検出器等）は同じ名前の.IPR というファイル形式で保存されています。
パラメータの編集
ディスクから像を読み出した場合にパラメータを確認・編集する方法：
・確認・編集したい像をクリックします。
・編集メニューからｲﾒｰｼﾞﾊﾟﾗﾒｰﾀ
を選択します。
ｲﾒｰｼﾞﾊﾟﾗﾒｰﾀ
ウィンドウが表示されます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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注：現在の取込条件はｲﾒｰｼﾞ
ステータスバーに表示されています。
EDX−Imaging アプリケーションには４つのステータスバーがあります。ｲﾒｰｼﾞステータスバーを
表示するには画面メニューのｽﾃｰﾀｽﾊﾞｰ
からｲﾒｰｼﾞ
を選択します。
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
第５章
Ｘ線マッピング
5.1 パラメータの設定
Ｘ線マッピングを取り込むためには、スペクトラム上に興味のあるエネルギー領域（ROIs）を設定
することと、取込画素数やプリセット時間、１点あたりの取込時間、アンプタイムなどの取込条件を
設定する必要があります。
ROI の設定
ROI の設定方法：
・
アイコンをクリックしてスペクトラムスクリーンモードを選択します。
・
アイコンをクリックして定性分析パネルを選択します。
・
アイコンをクリックしてフルスキャンモードを選択します。
・
アイコンをクリックしてスペクトラムの取込を開始します。（取込の終了には同じアイコン
をクリックします。）
・定性分析パネル内のｵｰﾄ
ボタンをクリックするか、マニュアルで Peak List を作成します。
（付録 A を参照）
・
アイコンをクリックして ROI 設定パネルを選択します。
・ｵｰﾄ
ボタンをクリックするか、マニュアルで ROI を作成します。（付録 B を参照）
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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取込条件を設定
ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ設定
パネルの選択方法：
・
アイコンをクリックします。
すべての ROI リストが選択されます。（付録 D を参照）
Ｘ線マップのデータが.BMP か.TIF で保存されている場合、取込条件（加速電圧、倍率、取
込画素数、検出器等）は同じ名前の.IPR というファイル形式で保存されています。現在の
取込条件はﾏｯﾋﾟﾝｸﾞステータスバーで確認できます。
ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ設定
パネルを変更すれば、ステータスバーも更新されます。それと同様に、マッピン
グデータを保存するためのディスク容量や取込を終了するための時間も更新されます。情報
処理量を高くしたい場合には短いパルスプロセッシングタイム（アンプタイム）を選択すること
をおすすめします。
5.2 一分析視野からのＸ線マップの取込
取込条件の設定が終了しますと、取込が開始できます。以下にその方法を示します：
・
アイコンをクリックするか、取り込みニューからﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ
を選択します。
File-Save ダイアログが表示されるので、Ｘ線マップの取込を始めるまえにファイル名を設定
します。グループ名を定義するために名前を設定して下さい。ROI の名前（例えば CuKa）が
付け足されてファイル名が決定します。
注：各マップのカラーパレットは実際の信号幅からリスケールされています。実際のカウント
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
数は IPR ファイルに保存されています。
・取り込みメニューからｽﾄｯﾌﾟ
を選択することで、いつでも終了できます。
・電子顕微鏡の再調整のために取り込みを一時停止する場合にはツールバーから
ア
イコンをクリックします。もう一度クリックすると取り込みを再開します。
5.3 多分析視野からのＸ線マップの取込
電子顕微鏡のステージを指定した視野へ移動させ、分析視野を変えてＸ線マッピングを自動的に
取り込むことができます。この機能を使うには自動ステージコントロールソフト Stage Control オ
プションが必要になります。（付録Ⅰ参照）
メニューから Stage Table を選択し、ステージ位置を決定するか、予め保存してお
・ｾｯﾄｱｯﾌﾟ
いたステージテーブルを読み出します。（ﾌｧｲﾙ
の開くからファイルの種類＊.stm もしくは
＊.stg を選択します。）
・ｵｰﾄﾒｰｼｮﾝ
メニューからｾｯﾄｱｯﾌﾟ
を選択します。
・
ボタンをクリックして、出力するディレクトリを選択します。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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・OK をクリックしてｵｰﾄﾒｰｼｮﾝｾｯﾄｱｯﾌﾟ
ダイアログを閉じます。
・ｵｰﾄﾒｰｼｮﾝ
メニューからｽﾄｯﾌﾟ
を選択するか、ツールバーから
ボタンをクリックする
ことで、オート機能をいつでも中止することができます。
・電子顕微鏡の再調整のために、一時停止したい場合はツールバーから
ボタンをク
リックします。再開する場合は同じボタンを再度クリックします。
注：マップはユーザーによって設定されたフォルダに以下のようなファイル名で保存されます。
…￥ユーザー設定のフォルダ￥fld0001￥ユーザーグループ名＿sika.bmp
……………………･…………………
・…￥ユーザーグループ名_feka.bmp
･………………
…￥ユーザー設定のフォルダ￥fld0002￥ユーザーグループ名_sika.bmp
……………………･…………………
・…￥ユーザーグループ名_feka.bmp
･………………
5.4 高速マッピング
EDX Fast Mapping オプション（付録Ⅰ参照）はフレーム毎に平均化しながら高速Ｘ線マップをと
ることができます。256×200 画素の場合１フレームあたり約３秒の取込時間です。EDX マップと
同時に最大４つの電顕像の取込が可能です。ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ設定
パネルの高速マップチェックボックスを
チェックすることで、この機能を使用できます。取り込みのスタート・ストップは
ボタンのクリ
ックで行います。
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
5.5 WDS 信号の入力
WDS Mapping オプション（付録Ⅰ参照）は ADC（電顕像取込用）や EDS 情報の取込と同様の、
外部入力の種類を増やすことができます。これにより、WDS マップのようなデータの取込が可能
になります。このオプションを使用するにはﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ設定パネル
から TTL をチェックします。
5.6 線分析の取込
EDX Line Scan オプション（付録Ⅰ参照）は、分析視野上で任意に設定した線上の ADC、及びＸ
線情報を取り込むことができます。データは自動的に MS Excel のデータシートにおとされ、.CSV
ファイルで保存されます。
線分析の設定：
・電顕像を取込ます。このときｲﾒｰｼﾞﾊﾟﾗﾒｰﾀパネル内の倍率テキストボックスに正確な倍率
が表示されているか確認します。この倍率をもとに点間の距離をミクロン単位で校正します。
・5.1 の流れに従って、スペクトラムから元素を同定し、ROI を設定します。
メニューのﾗｲﾝｽｷｬﾝ
を選択してﾗｲﾝｽｷｬﾝﾊﾟﾗﾒｰﾀパネルを開きます。
・ｾｯﾄｱｯﾌﾟ
・
アイコンをクリックして、線を引く機能を使用できるようにします。ボタンが点灯し、アイ
コンが矢印に変わります。
・イメージウィンドウ上をクリックアンドドラッグして線を引きます。再度線を引くためには、そ
のたびに上記の通りボタンをアクティブにする必要があります。
・コントロールパネル内のポイントリストから取り込み点数を指定します。この点数は６４点
から２０４８点まであります。ステータスバー内の取り込みに必要な時間は、点数により更
新されます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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・コントロールパネル内のデータ形式リストから EDS プロセスタイプを選択します。（ROI、
Net 強度、K レシオ、ZAF 補正濃度）定量ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ
オプションがインストールされていない場
合、デフォルトモードは ROI です。
を選択します。電子顕微鏡の電子線が開始位置に移動し
・取り込みメニューからﾗｲﾝｽｷｬﾝ
て、分析が始まります。現在分析中の点はクロスマーカーで表示されます。取り込んだデ
ータは自動的に MS Excel に転送されます。Excel がアクティブでない場合は分析が始ま
るまえにバックグラウンドで立ち上げられます。データは.csv ファイル形式でディスクに保
存されます。
・Alt＋Tab を押して、MS-Excel に切り替えます。線分析のすべての情報がシート１に入っ
ています。ここでは、例えば、Distance のコラムとすべての EDS データを選択することで、
２次元のグラフを作成することができます。
・線を引いた像は CSV ファイルと同じディレクトリに同じ名前で保存されます。
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
第６章
像の編集
6.1 切り取り／コピー／貼り付けの方法
編集したい像をクリックして選択します。
・４分割もしくは１６分割画面で、編集したい像の上を区陸します。
・切り取り：選択した像自体は消去され、その情報をクリップボードに送ります。
・コピー：選択した像を消去せずに、その情報をクリップボードに送ります。クリップボードい
ある像は後で MS-Word 等に貼り付けることができます。
・貼り付け：切り取り、コピー、クリップボードにズームなどの操作で、クリップボードに像があ
る場合、像が空のフレームをクリックして選択し、編集メニューから貼り付けを選択してクリ
ップボードの像を貼り付けます。
・４分割もしくは１６分割画面で、像をあるフレームから他のフレームに移動させる場合、マ
ウスの右クリックでドラッグします。これは、選択、切り取り、貼り付け操作のショートカット
です。
6.2 選択した像の消去
この操作では複数の像を選択できます。操作自体はファイルマネージャに似ています。以下に示
す３つの方法があります：
・選択したい像をマウスの左クリックで選択します。それ以外はすべて選択されません。
・Ctrl キーを押しながら、像をクリックします。クリックした像に対してのみ、選択／非選択を
選べます。
・Shift キーを押しながら、像をクリックします。クリックした像の間の像もすべて選択されま
す。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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選択された像には青い枠がつきます。
6.3 すべての像の消去
ｸﾘｱｵｰﾙ
オプションを使用するためには、16 分割画面にして下さい。
6.4 パラメータの編集
像のデータが.BMP か.TIF で保存されている場合、取込条件（加速電圧、倍率、取込画素数、検
出器等）は同じ名前の.IPR というファイル形式で保存されています。
ディスクから読み出した像のパラメータを確認・編集するには、まず、像のウィンドウをクリックしま
す。つぎに編集メニューからｲﾒｰｼﾞﾊﾟﾗﾒｰﾀ
を選択します。ダイアログボックス中のパラメータは像
の種類（電顕像、Ｘ線マップ像）によって変化します。
ダイアログボックスでできること：
・.IPR パラメータの変更
・像にコメントを追加
・Ｘ線マップの変更
・パラメータのコピー
像のダイアログボックスの変更方法は付録 F をご参照下さい。
6.5 ズーム機能
ズーム機能は１分割画面、４分割画面、16 分割画面である必要があります。
・
アイコンをクリックするか、表示メニューからズームを選択します。
・像の上で、ズームしたい領域をドラッグして規定します。（領域の指定は、左上から右下に
ドラッグします。）マウスボタンを押すのをやめます。
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
・ズームした領域がウィンドウで現れます。ウィンドウはドラッグで移動することができます。
・ズームした領域をクリップボードにコピーするには、編集からｸﾘｯﾌﾟﾎﾞｰﾄﾞにｽﾞｰﾑ
を選択しま
す。クリップボードにコピーしたデータは、MS Word に貼り付けることが可能なほか、選択
した像の上にも貼り付けが可能です。
・像にズームした像を貼り付ける場合、像をクリックで選択したあと、編集メニューから貼り付
けを選択します。新しい像には像に含まれるすべての機能が利用できます（ﾌｧｲﾙ、印刷、
編集、ﾌﾟﾛｾｽ、ｽﾞｰﾑ）
・ﾌｧｲﾙ
メニューからｽﾞｰﾑﾃﾞｰﾀの保存
を選択すると、ズームした像から、データを.CSV ファイ
ルで保存することが可能です。
6.6 スクリーンキャプチャー
スペクトラム表示モードでは、スクリーンキャプチャーダイアログにより、選択した領域をスクリーン
から簡単にクリップボードへコピー、印刷ができます。ダイアログを開くには編集メニューからｽｸﾘｰ
ﾝｷｬﾌﾟﾁｬｰ
を選択します。
スクリーン上で、任意の領域を選択す
るには、ダイアログに示している通
り、長方形の領域をクリックします。
選択された領域はフレームが青色にハ
イライトされます。選択領域を再クリ
ックすると、選択が解除されます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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第７章
ファイルの入出力
7.1 ディスクへ像を保存する
像はＸ線マップの取込中に.BMP か.TIF ファイルで自動的にディスクに保存されます。取込条件
などのパラメータは拡張子が.IPR で、同じ名前の別のファイルとして保存されます。電子顕微鏡
像を個別に保存、あるいは像を加工するには：
・ファイル操作をするためにクリックして像を選択します。
メニューから名前をつけて保存を選択するか
・ﾌｧｲﾙ
アイコンをクリックします。
・ﾌｧｲﾙの種類
をクリックして BMP か TIF を選択します。
・ファイル名を入力し、OK をクリックします。
・ファイルの種類から Image Group を選択することで、１つのグループ名のもとで、選択し
たすべての像が保存されます。
7.2 ディスクからの像の読み出し
像は個別にでもグループででもディスクから読み出せます。１つの像を読み出すには、ま
ず、読み出し先のウィンドウをクリックします。グループで像を読み出す場合、通常左の上
のウィンドウから始めます。グループはファイル名のはじめの文字が同じファイルで構成されてい
ます。像のグループはＸ線マップの取込が終了すると自動的に作成され、基本となる名前の後に
元素名やＸ線の種類にちなんだそれぞれ別の４文字が加えられます。（例：グループ名 AlKa, グ
ループ名 AuMa,....）像のグループを読み出すには：
・ﾌｧｲﾙ
メニューから開くを選択するか
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
アイコンをクリックします。
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・ﾌｧｲﾙの種類
をクリックし、以下に示す種類の中から選択します：
・Image(BMP)−１つの.BMP ファイルを選択したウィンドウ上に読み出します。
・Image(TIF)−１つの.TIF ファイルを選択したウィンドウ上に読み出します。
・Image Group(BMP)−像のグループで.BMP ファイルのものをはじめのウィンドウ
から順に読み出します。グループないのどのファイル名をダブルクリックしても、その
グループに属するすべてのファイル（あるいははじめの１６個）が読み出されます。
・Image Group(TIF)−像のグループで.TIF ファイルのものをはじめのウィンドウか
ら順に読み出します。
・ファイル名を選択します。OK をクリックします。
7.3 ファイルのプレビュー機能
ﾌｧｲﾙﾌﾟﾚﾋﾞｭｰ
で同時に 48 個の像を同時に見ることができます。またスクロールすることで、選択
したディレクトリ内のすべての像を見ることができます。まず、ﾌｧｲﾙ
メニューからﾌﾟﾚﾋﾞｭｰ
を選択し
ます。つぎに、Open ダイアログボックス内のいずれかのファイルをダブルクリックします。以下に
示す項目が含まれます：
・各像ごとのパラメータを見ることができます。
・選択したディレクトリ内で表示画面を順次移動させることができます。
・像をダブルクリックすることでその像の全画面表示が行えます。
・ギャラリーエリアにドラックすることで像のギャラリーを作成できます。
・ギャラリーをディスクに保存できます。
・ディスクからギャラリーを読み出せます。
・ギャラリーを 16 分割画面へ移動させることができます。
付録 G を参照。
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7.4 スペクトラムファイルの取り扱い
Phoenix システムによって取り込んだＥＤＳスペクトラムは.SPC ファイル形式でディスクに保存さ
れます。このファイルにはスペクトラム自身と、取込条件などのスペクトラムに関する情報が含ま
れます。
7.4.1 スペクトラムの読み出し
・ﾌｧｲﾙ
メニューから開くを選択するか
アイコンをクリックします。
・ﾌｧｲﾙの種類
をクリックし、Spectrum (SPC)を選択します。
・ファイル名を選択し、OK をクリックします。
・ダイアログにファイルに含まれる情報が表示されますので、選択すればそのスペクトラムと
共に読み出されます。
7.4.2 スペクトラムの保存
・ﾌｧｲﾙ
メニューから名前をつけて保存を選択するか
アイコンをクリックします。
をクリックし、Spectrum (SPC)を選択します。
・ﾌｧｲﾙの種類
・ファイル名を選択し、OK をクリックします。
7.4.3 スペクトラムの比較法
・比較するスペクトラムの一方を 7.4.1 に従って開きます。
・画面メニューから比較ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ
を選択します。
・比較ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ
ダイアログ中の比較表示チェックボックスをクリックします。
・開くをクリックして Bメモリに比較するもう一方のスペクトラムを開きます。
・OK をクリックして比較ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ
ダイアログを閉じます。スペクトラム表示領域に両方のス
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
27
ペクトラムが表示されます。
・
アイコンを使用すれば１つのスペクトラムと比較モードとの切り替えができます。
7.5 像／スペクトラムの印刷
ﾌｧｲﾙ
メニューから印刷を選択するか
アイコンをクリックします。この機能はスクリーンモードに
よって制限を受けます。
・1 画面、4 画面、16 画面モードでは選択した（青色でハイライトされた）像のみの印刷にな
ります。
・スペクトラムモードでは、スキャニングビュウ内の像と、スペクトラムビュウ内のスペクトラム
が印刷されます。スキャニングビュウでクロスマーカーが表示されている場合は像の上に
印刷されます。同様に、選択した領域に何か表示されている場合は、合わせて印刷されま
す。
7.5.1 ページ設定
ﾌｧｲﾙ
メニューからﾍﾟｰｼﾞ設定
を選択します。このダイアログで印刷したい内容を選択できます。オ
ーバーレイは像の上かスペクトラムの上に表示されます。マージンとフォントも選択可能です。
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
29
第８章
スクリーンモード
EDX−Imaging のユーザーインターフェースには、ドキュメントウィンドウ（像表示部、スペクトラ
ム表示部）とコントロールパネル、ツールバー、ステータスバー、そしてカラーパレットの選択部か
らなります。これらは、既存のスクリーンモードにより選択可能です。
8.1 像表示モードの選択
画面メニューから、以下のいずれか１つを選択します。
・画面モードは 1 ﾋﾞｭｰ
を選択するか
アイコンをクリックします。
・画面モードは 4 ﾋﾞｭｰ
を選択するか
アイコンをクリックします。
・画面モードは 16 ﾋﾞｭｰ
を選択するか
・ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ
を選択するか
アイコンをクリックします。
アイコンをクリックすることで、１つの像とスペクトラムを表示しま
す。（このモードでは像のヒストグラムも表示されます。）
もしも暗室にする必要がある場合や、スクリーンが明るすぎるなどという場合には、画面メニュー
機能を選択します。マウスカーソルも含めて、スクリーンがブランクになります。回
からﾌﾞﾗﾝｸ画面
復する場合にはマウスのボタンをクリックします。
8.2 ステータスバーの選択
画面メニューから４種類のステータスバーが選択可能です：
・CPS・ｶｳﾝﾄ
・分析条件
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
31
・ｲﾒｰｼﾞ
・ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ
右下の矢印アイコンをクリックすることで、上記のステータスバーをすばやくスクロールさせること
が可能です。（ステータスの各項目は付録 E を参照して下さい。）
8.3 コントロールパネルの選択
ｾｯﾄｱｯﾌﾟメニューからか、アプリケーションツールバー上のアイコンから以下に示すコントロールパ
ネルが選択できます：
・
定性分析パネル（SEM Quant ZAF ユーザーマニュアル参照）
・
ROI 設定パネル（SEM Quant ZAF ユーザーマニュアル参照）
・
ｲﾒｰｼﾞ設定
パネル（付録 A 参照）
・
ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ設定
パネル（付録 B 参照）
・
ﾗｲﾝｽｷｬﾝﾊﾟﾗﾒｰﾀパネル（付録 C 参照）
・
Stage Table パネル（付録 H 参照）Stage Control 機能がインストール時に使
用可能です。
・
Microscope Parameters パネル（Phoenix ステージ／カラムコントロールオプション
をインストール時に使用可能です）
・ Scan Generator パネルはｾｯﾄｱｯﾌﾟ
メニューの Edax Scan Gen から選択します。
8.4 カラーパレットの選択
表示メニューから３つのカラーパレットが選択できます：
32
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
・グレイパレット：256 階調のグレースケールです。これは像のヒストグラムの強度を拡大す
るのに有効です。
注：１画面・４画面・１６画面モードで表示メニューからヒストグラムを選択することで、ヒストグ
ラムを表示できます。
・カラーパレット：７色・ 32 階調（グレー・レッド・グリーン・ブルー・イエロー・マジェンタ・シア
ン）のカラーパレットです。Ｘ線マップにおいて、強度が多少ある場合に適しています。合成
機能使用時に選択します。
：カラーパレットと同様ですが、背景が逆転しています。（０データが、暗く
・リバースパレット
なるかわりに白くなります。）印刷時に選択します。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
33
第９章
イメージプロセッシング
像の重ね合わせ機能や、フィルタリング機能などの結果としてできる新しい像は、空いているはじ
めのウィンドウに入ります。これらの諸機能は 16 画面モードでのみ使用可能で、表示されている
像から任意に操作する像を選択でき、結果を見ることができます。輝度のリスケール機能では、選
択したウィンドウ内の像に対して、カラーテーブルのみかカラーテーブルとピクセルデータの両方
に変更を加えることができます。
9.1 重ね合わせ機能の活用
この機能では最大６つの像の重ね合わせが可能で、重ね合わせにより作成される像は、空いて
いる一番はじめのウィンドウに表示されます。重ね合わせにおいては、各画素において最も輝度
の大きいものを表示します。
・画面メニューから 16 ﾋﾞｭｰ
を選択します。
・表示メニューからｶﾗｰﾊﾟﾚｯﾄ
を選択します。
・重ね合わせたい像を Ctrl キーを押したままで選択します。
・ﾌﾟﾛｾｽメニューから合成を選択します。
コントラストの低い（信号量の少ない）像については、重ね合わせを行う前に輝度のリスケールを
行うほうが良いかもしれません。
・ﾌﾟﾛｾｽ
メニューからﾘｽｹｰﾙ
を選択します。これにより、ｲﾒｰｼﾞﾋｽﾄｸﾞﾗﾑ
パネルが表示されま
す。
・リスケールしたい像をクリックします。２本の垂直なバーにより敷居値を決定します。バー
により最小値と最大値を設定するとヒストグラムが再表示されます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
35
・ｲﾒｰｼﾞﾋｽﾄｸﾞﾗﾑ
上の適用アイコンをクリックします。0 から 255 の 256 階調にリスケールさ
れます。注目している部分の輝度が足りない場合には、最大値を設定するバーをドラッグ
して左に移動させて、再度適用キーを押します。
9.2 演算機能
選択した２つの像について、Add（加算）, Subtract（減算）, Multiply（乗算）, Divide（除算
）を行
うことができます。演算は各ピクセルについてそれぞれ行われ、演算結果は空いている一番はじ
めのウィンドウに表示されます。
9.3 フィルタリング機能
メジアン、カーネルフィルタリング機能は１つの像に対して行います。フィルタリング結果は空いて
いる一番はじめのウィンドウに表示されます。フィルタリングは 3×3 ピクセルのマトリックスについ
て行われます。
9.3.1 メジアンフィルタリング
結果として得られる像の各ピクセルの値は、はじめの像のピクセルと、それに対応する囲ま
れた各ピクセルの中央値を選択することで得られます。
9.3.2 カーネルフィルタリング
結果として得られる像の各ピクセルの値は、ダイアログボックスにあるように、はじめの像の
2 つの 3×3 カーネルと、定数と１カ所変更を加えた定数との正規化により得られます。
36
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
独自のカーネルや、既知の各種フィルタ等はファイルとして編集や保存・読み出しが可能で
す。( .KRN )
9.4 リスケール機能
リスケール機能は選択したウィンドウ内の像に変更を加えることができます。像のカラーテーブル
のみかカラーテーブルとピクセルデータの両方に変更を加えることができます。
を選択します。スクリーン上にｲﾒｰｼﾞﾋｽﾄｸﾞﾗﾑ
が表示されます。
・プロセスメニューからﾘｽｹｰﾙ
・リスケールしたいウィンドウを選択します。２本の垂直なバーにより敷居値を決定します。
バーにより最小値と最大値を設定するとヒストグラムが再表示されます。
リスケール機能には３種類のテーブルが用意されています：
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
37
9.4.1 敷居値モード
ヒストグラム上でスレッショルドバーを
ドラッグして輝度を変更します。
ヒストグラムの高さを調整します。
リスケールを実行する場合は適用ボタンをク
リックします。
リスケールの実行を元に戻します。
モード変更をします
9.4.2 スピニングモード
スピニングバーをドラッグしてカーソルがクロス
ヘアに変わると回転することができます。
スピニングバーの中心をドラッグすると、どの方向
へでもスライドさせられます。
38
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
9.4.3 マルチポイントモード
いずれかの□をクリックします。カーソルがク
ロスヘアに変わると、上下方向に調整すること
ができます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
39
第１０章 EDAX スキャンコントロール
EDAX スキャンジェネレータアセンブリ（SGA）は Phoenix シリーズイメージングシステムにおける
心臓部であり、電子顕微鏡のビームコントロールと、入力信号の取込を行います。また、電子顕微
鏡からの信号取込を伴わない場合には、電子線の走査を自由に行うことができます。特定の場所
を走査させることで、電子顕微鏡の視野の中でも、特に興味のある場所からの EDX スペクトラム
を取り込むことができます。
もしくは画面／ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ
スクリーン
スキャンモードと、走査する位置を指定するには画面／１ﾋﾞｭｰ
モードを選択します。アプリケーションツールバーから以下のいずれかのアイコンをクリックします。
・
全視野モード
・
制限視野モード
・
スポットモード
制限視野モード及びスポットモードでは、像の上でのドラッグとクリックで走査位置を設
定できます。設定した位置は像の上で赤の枠及び＋マークで表示します。走査位置をより
正確に設定するためにキーボード上の方向キーでも設定できます。
メニューから Edax Scan Gen を選
スキャンスピードとステップサイズを変更する場合、ｾｯﾄｱｯﾌﾟ
択します。全視野モードや制限視野モードでは、走査する点数と、取込時間によって決まります。
・電子線の走査間隔をｽﾃｯﾌﾟｻｲｽﾞ
から設定します。
・走査位置を決定するために像の上をクリックします。
・キーボード上の方向キーで位置を設定します。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
41
・ｽｷｬﾝﾋﾞｭｰ
では方向を設定するためにクロスマーカーを見ることができます。
・電子線の座標はｸﾛｽﾏｰｶｰ
テキストボックス内で更新されていきます。
42
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
第１１章画像データの観察
ディスプレイ上で画像データは最大 0 から 255 の 256 階調で表示されます。像の取込時は、そ
のデータが ADC ビデオ情報や EDX 情報、TTL 情報などのどのようなデータでも、この階調に変
換されます。データの種類や入力信号の階調などの情報は.IPR ファイルとして画像データと共に
モード内のｲﾒｰｼﾞ
ﾋｽﾄｸﾞﾗﾑ
ディスクに保存されます。これらのデータは取込後に画面／ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ
ﾊﾟﾈﾙ内で見ることができます。
パネルにはデータの種類と階調の範囲が像と共に表示されます。ここでは、選択した輝度の範囲
に含まれる画像上の部分を観察することができます。この機能は定量マップに対して特に効果的
です。
・輝度の範囲を指定するために、２本のバーをドラッグします。Ctrl キーを押しながらドラッ
グすると２本同時に移動させることができます。
・カラーエリアアイコンをクリックすると選択した範囲を見たり、元に戻すことができます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
43
第 12 章測長
表示メニューから簡易測長を選択するか、ツールバーから
アイコンをクリックして選択します。
像の上をクリックして始点を選択します。クロスマーカーが表示されますので、ドラッグして終点を
選択します。
マウスのボタンをはなすと、ステータスバーに青字で２点間の距離が表示されます。
注：Image Annotation ダイアログが開いている場合は、像にテキストとして貼り付けるのを容易
にするために、ラベルにも距離がコピーされます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
45
第 13 章像に注釈をつける
像の中で選択した領域に、ミクロンバーや線、テキストなどを貼り付けることが可能です。注釈を
つけるには、編集メニューからﾃﾞｰﾀ貼り付けを選択します。
・左サイドのチェックボックスにチェックすることで、像の上の同じ線上に選択したアイテムを
貼り付けることができます。
・テキストの色と背景色を選択することができます。
１．
透明な背景に黒字
２．
透明な背景に白地
３．
白の背景に黒字
４．
黒の背景に白地
・貼り付けられるアイテムのデフォルト位置は像の上の左下です。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
47
・Spot モードを選択するためにツールバーから
アイコンをクリックします。
・テキストアイテムを貼り付けたい位置を像の上をクリックして赤いクロスマーカを表示しま
す。これはテキストアイテムの左上の角になります。
・ラベルチェックボックスをクリックして、それ以外はチェックをはずします。ラベルテキストボ
ックス内において 16 文字まで編集できます。
・張付けボタンをクリックして貼り付けます。フォントサイズや色が気に入らない場合には、
やり直しをクリックしてその他の条件を選択します。
・クロスマーカの位置は、キーボードの矢印キーで、厳密な位置にできます。この方法で、複
数のテキストを垂直もしくは水平に整列させることができます。
注：この注釈を付ける機能は、256 色モードでのみ正確に機能します。それ以外の設定で使用し
た場合には、フォントが正しく表示されない可能性があります。
48
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
付録 A 電子顕微鏡像取込パネル
画素数 : マトリックスサイズを設定しま
す。デジタルイメージの X、Y 座標のピ
クセル数
分割数 : 像取込時のストリップ数を選択
します。像は各ストリップ毎にアップデ
イトされていきます。取込が完了すると
像が表示されます。チャージアップしや
すい試料などは 1 で取り込むことをお勧
めします。
連続ｽｷｬﾝ : ここがチェックされている場
合、連続的に取り込みを続けます。
kV、倍率 :現在の条件の編集ボックスで
す。Column コントロールオプションが
インストールされている場合には自動的
に更新されます。
ビデオ信号リスト
リストには以下のアイテムが含まれます。
・ﾗﾍﾞﾙ −信号ラベル：最大４文字
・adc−検出器入力ポート：１∼４
・Smin，Smax−デジタル信号幅：０∼４０９５
・積算−積分係数：１ポイントあたりの積算回数
これらのアイテムは上の編集ボックスで編集可能です。
・取り込み信号の種類をクリックして選択／非選択します。同じスキャン中に同時に
４シグナルまで取り込み可能です。複数の信号を選択したい場合には Ctrl キーを押
しながら選択します。
・リスト中のアイテムも同様に、編集ボックス内で編集します。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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ﾋﾞﾃﾞｵｽｹｰﾙ −信号の幅を認識するためにスキャンを行います。Video Lookup テーブルに最
小/最大値を作成します。
ﾃﾞﾌｫﾙﾄ −テーブルの値をデフォルト設定（0,4095）に戻します。
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
付録 B Ｘ線マップ取込パネル
画素数：マトリックスサイズを設定します。
デジタルイメージの X、Y 座標のピクセル
数。
Dwell：各取込点における取込時間を指定
します。
ﾌﾟﾘｾｯﾄ：プリセットモードを選択します。
（Live or Clock）
時定数：時定数の設定をします。2.5∼100usec
の間から選択します。短い時定数を選択する
とスループットが高くなります。
積算回数：高速マッピングにおけるフレー
ム数を指定します。高速ﾏｯﾌﾟオプションがイ
ンストールされている場合に有効です。
ﾃﾞｰﾀ形式：データの種類を選択します。定量
オプションが選択されている場合、ネット強
度、K-レシオ、ZAF 濃度が選択可能。デフ
ォルトは ROI カウントです。
終了後電圧 OFF：Column コントロールオプションがインストールされている場合に、
利用可能です。マップの取り込みが終了すると、加速電圧をオフにします。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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付録Ｃ Line 取り込みパネル
ポイント：64∼2048 の間隔で、取込点数
を選択します。
このボタンのクリックで、像の上に線を引
くことができます。カーソルは細い矢印に
変わり、ボタンは点灯します。EDS デー
タの取込線をクリックアンドドラッグで設
定します。
Dwll, ﾌﾟﾘｾｯﾄ, 時定数, データ形式, 定量：これらはすべて付録 B と同じです。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
53
付録 D Scan Generator パネル
このコントロールパネルはｾｯﾄｱｯﾌﾟメニューの Edax Scan Gen を選択します。
Full：観察視野全域をスキャンします。
Redu：制限視野の設定はクリック＆ドラッグで
行います。場所だけを移動させる場合は、移動
したい場所をクリックします。
Spot：電子線の位置をクリックで指定します。
Dot to：スキャン・取込における Dot to Dot 時
間を指定します。
Dwell：スキャン・取り込み時間を設定します。
Matrix：全面スキャンを行うときの画素数を指
定します。
Step：視野上における電子線のステップサイズ
の指定をします。（１ステップ＝視野の 1/4096）
Scan Extent：
X、Y 座標のスキャンサイズを調整するためのダイアログを開きます。スキャンの範囲と
倍率により視野サイズが決まり、ミクロンバーが表示されます。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
55
・Fixed では、X ・ Y 編集ボックスで編集された値を使用します。
・Microscope では電子顕微鏡から読み取った値を採用します。これらの値は、フォ
トモニター、ディスプレイ、ビデオプリンターなどの現在選択されている出力デバ
イスに束縛を受けます。
56
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
付録 E ステータスバー
カウントステータスバー：
CPS:
DT%:
Lsec:
Prst:
FS:
全 X 線計
デットタ
Live タイム
プリセット
縦軸のフル
数率
イム
で取り込み
時間
スケール
Cnts:
KeV:
カーソル位置での
現在の場所の
カウント数
エネルギー値
パラメータステータスバー：
KV:
Tilt:
TOA:
Det:
Res:
加速電圧
試料傾斜
X 線取出
EDS 検出
検出器の
角度
角度
器の種類
分解能
Amp. T:
アンプタイムコンス
タント（時定数）
イメージステータスバー：
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
57
KV:
Mag:
Matrix:
Int. F:
Smin, Smax:
加速電圧
現在の倍
取込画素
平均化のための
ビデオ信号幅
率
数
読込回数
Ｘ線マップステータスバー：
Matrix:
Dwell:
Amp. T:
CPS:
取込画素数
１点あたりの取込時間（C
アンプタイム
全 X 線
＝クロックタイム、L ＝
コンスタント
計数率
ライブタイム）
58
Time:
Memory:
取込終了までの
画像保存に必要な
残り時間
ディスク容量
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
付録 F 画像パラメータの編集
以下に示すパラメータは、.IPR ファイルとして保存されています。（電顕像用）
積算：平均化のための読込回数
Tilt：試料傾斜
コメント：最大 128 文字（半角）のコメントをその他のパラメータと合わせて.IPR として
保存します。
コピー：コメントを含む、すべてのパラメータをクリップボードにコピーします。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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以下に示すパラメータは、.IPR ファイルとして保存されています。（X 線マップ用）
シグナル：マップの元素記号と X 線の種類。
画素数：取込画素数。
Kv：加速電圧。
倍率：倍率。
レンジ：データの幅 ― データの種類に依存します（ROI カウント、Net 強度…）
カラー：マップの色。選択可能。
Dwell：１点あたりの取込時間（マイクロ秒）
TC：アンプタイムコンスタント（時定数）
Tkoff：X 線取出角
Data：データの種類
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EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
付録 G 画像ファイルプレビュー機能
ファイルプレビュー機能では、ディレクトリ領域に最大 48 の画像を、また画面下部のギ
ャラリー領域には最大 16 の画像を表示できます。ｲﾒｰｼﾞﾌｧｲﾙﾌﾟﾚﾋﾞｭｰ機能の使い方：
・Up キーと Down キーを使ってディレクトリをスクロールします。
・他のディレクトリから像を見る場合は Directory をクリックします。
・像をクリックします。像のファイル名はダイアログボックス中のタイトルバーの中
に、パラメータはダイアログ中の右上に表示されます。
・像をギャラリー領域へ移動するには、まずマウスの右クリックで像を選択します。
方向カーソルがでるまでおし続けます。ギャラリー領域に像をドラッグして移動し
ます。
・ギャラリーのディスクへの（ .GLR ファイルとしての）保存には、Save ボタンを
クリックします。
・ディスクからのギャラリーファイルの読み出しには、Read ボタンをクリックしま
す。
・アプリケーションソフトへのギャラリーの読み出しには、Load ボタンをクリック
します。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
61
62
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
付録 H
ステージロケーションパネル
このコントロールパネルで、マルチフィールドで自動分析を実行するための、ステージロ
ケーションテーブルを作成できます。ﾌｧｲﾙメニューの名前を付けて保存を選択すると、.STM
もしくは.STG ファイルとして保存できます。
ステージロケーションテーブルに加えたい種
類を選択します：
ﾎﾟｲﾝﾄ：１点。
ﾗｲﾝ：線を規定する始点と終点のセット。
ﾏﾄﾘｸｽ：マトリクスを規定する始点と終点のセ
ット。
ﾌｨｰﾙﾄﾞの調整：
ﾏﾄﾘｸｽもしくはﾗｲﾝモードで、このオプション
をクリックするとﾌｨｰﾙﾄﾞが作成されます。ﾌｨｰ
ﾙﾄﾞは始点と終点の座標と、現在の倍率もしく
は選択したﾎﾟｲﾝﾄ数をもとに作成されます。
テーブルに保存できる位置は最大 2500 です。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
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付録 I オプションリスト
オプション
品番
機能
EDX Fast Mapping
9424.080.62410
高速マッピング
WDS Mapping
9424.080.62110
TTL マッピング(WDS)
EDX Quant Mapping
9424.080.62130
定量マッピング
EDX Line Scan
9424.080.62140
線分析機能
Stage Control
9424.080.84xxx
自動ステージコントロール
Column Control
9424.080.86xxx
自動カラムコントロール
これらのオプションに関するお問い合わせはエダックス・ジャパン株式会社 (東京 033740-5172 大阪 06-6350-3815)まで御願いします。
EDX Imaging Mapping ユーザーマニュアル
65

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