半導体用ガス ELECTRONIC ELECTRONIC GASES C O N T E N T S 03 容器・容器弁 Cylinder, Cylinder Valve 06 半導体用ガス 住精ケミカル株式会社 15 標準ガス／半導体用ガス関連機器 ソウル事務所 Electronic Gases ●立 地：ソウル特別市 Standard Gases / Electronic Gas related Devices & Systems 坡州工場 ●立 地：京畿道坡州市 ●生産品目：NH₃ ●特 徴：ISO 9001認証取得・ISO 14001認証取得 16 高圧ガスをお取り扱いの皆様へ Handling of High-Pressure Gases 長安工場 ご注文方法について How to order ●立 地：京畿道華城市 ●生産品目：NO、SiH₂Cl₂ ●特 徴：ISO 9001認証取得・ISO 14001認証取得 使用済容器の返却について Return Method of Used Cylinders 容器についてのお願い Sumisei Chemical Co.,Ltd. Seoul Office ●Location：Gangnam-Gu, Seoul, Korea Paju Works ●Location：Paju-si,Gyeonggi-do, Korea ●Products：Ammonia ●Certification：ISO 9001・ISO 14001 Jangan Works ●Location：Hwaseong-si,Gyeonggi-do,Korea ●Products：Nitric oxide, Dichlorosilane ●Certification：ISO 9001・ISO 14001 Requests in Connection with Cylinders 高圧ガスのお取り扱いについて Handling High-Pressure Gases 19 関連資料 Data 住精科技（揚州）有限公司 ●立 地：江蘇省儀征市 ●生産品目：NH₃ ●特 徴：ISO 9001認証取得 Sumisei Technology (Yangzhou) Co.,Ltd. ●Location：Yizheng City, Jiangsu Province, China ●Products：Ammonia ●Certification：ISO 9001 住友精化貿易 （上海）有限公司 ●立 地：上海市長寧区 ●業務内容：住友精化製品の販売 Sumitomo Seika Trading (Shanghai) Co., Ltd. ●Line of business：Sales of Sumitomo Seika's products ●Location：Shanghai, Changning, China 台湾住精科技（股）有限公司 本社事務所 ●立 地：新竹縣 彰濱工場 ●立 地：彰化縣 ●生産品目：NH₃ ●特 徴：ISO 9001認証取得 Sumisei Taiwan Technology Co.,Ltd Head Office ●Location：Hsinchu County, Taiwan(R.O.C) Zhangbin Works ●Location：ChangHua County, Taiwan(R.O.C) ●Products：Ammonia ●Certification：ISO 9001 住友精化（株）千葉工場 ●立 地：千葉県八千代市 ●生産品目：半導体用ガス、標準ガス ●特 徴：ISO 9001認証取得・ISO 14001認証取得 JCSS認定事業者0010（標準ガス） 本社（東京） Head office（Tokyo） 本社（大阪） Head office（Osaka） Sumitomo Seika Chemicals, Chiba Works ●Location： Yachiyo City, Chiba Pref. ●Products： Electronic gases, Standard gases ●Certification： ISO 9001・ISO 14001 JCSS 0010 (Standard gases) 住友精化の半導体用ガス SUMITOMO SEIKA Electronic Gases 住友精化では、総合化学メーカーとして培ったガスの合成技術・精製技術と、 日本で初めて計 器校正用標準ガスの国産化に成功した特殊ガスメーカーとしての高精度ガス分析技術・取扱 技術を基に、各種の超高純度半導体用ガスを製造しています。 これらの製品は、 お客様に満足 と信頼を与えるため、 ISO 9001に則った万全の品質管理体制の基に、 国内はもとより、 広く海 外の半導体・ハイテク産業向けにも供給しています。 住友精化（株）別府工場 ●立 地：兵庫県加古郡播磨町 ●生産品目：半導体用ガス ●特 徴：ISO 9001認証取得・ISO 14001認証取得 Sumitomo Seika Chemicals, Befu Works ●Location： Harima-cho, Kako-gun, Hyogo Pref. ●Products： Electronic gases ●Certification： ISO 9001・ISO 14001 また当社では、 これら半導体用ガスを安全にご使用いただくために、 高性能で低コストの各種排 ガス除害装置等の周辺機器を開発し、 販売しております。 住友精化は高品質で信頼性の高い半 導体用ガスの供給をとおして、 半導体・ハイテク産業の発展に貢献して参ります。 Sumitomo Seika Chemicals Co.,Ltd. has supplied various excellent specialty gases to the Electronics devices manufacturing industry. That is because we have technologies such as Gas Synthesis & Purification and Gas Analysis & Treatment, which are based on the technology as of chemical manufacturer and of the first Accredited Calibration Laboratory who manufacture JCSS standard gas in Japan. In addition we are certified as ISO 9001 conformed. With our technology and quality system, we also have been supplying the specialty gases to oversea customers in the electronics industry. In addition to the specialty gases, under safety and environment policy, we provide exhaust gas abatement equipment for the electronics industry Through the supply of these fine products, Sumitomo Seika Chemicals keep contributing to the prosperous of the electronics industry,s new era. 容器・容器弁 Cylinder, Cylinder Valve 容器型式一覧表 Major Cylinder Description A B C D E F 48 47 41 40 10.1 10 250×1360 230×1365 222×1210 230×1190 140×825 140×850 40 52 22 46 9.6 14 アルミニウム合金 マンガン鋼 ステンレス鋼 マンガン鋼 ステンレス鋼 マンガン鋼 1,500mm 1000mm 500mm 内容量 （ℓ） Volume 直径 高さ （mm） Diameter Height 重量 （kg） Weight 材質 Material Alminium Alloy Mn-Steel Stainless Steel （Welded） Mn-Steel Stainless Steel （Welded） Mn-Steel ※上記の仕様は容器弁を含まない場合です。 Safety Cap and Valve are excluded from the above data. 大型容器 Large Type Cylinders G H I J NH3 NH3 NH3 N2O 930 930 1860 440 2,000mm 1,000mm 製品ガス Product Gas 内容量 （ℓ） Volume サイズ （mm） Size 重量 （kg） Weight 容器材質 Cylinder Material 3 L2500×φ770 （架台 stand：L2500×D1000） W1300×φ1100 L3320×φ1000 W2120×φ610 （架台 stand：L3300×D1100） （架台 stand：L2400×D700） 容器 Cylinder：600 架台 Stand： 270 620 容器 Cylinder：910 架台 Stand： 340 容器 Cylinder：550 架台 Stand： 170 SUS316L SUS316L SM520B クロム-モリブデン鋼 （Welded） （Welded） Cr-Mo Steel カードルタイプ Curdle Type K L M N2O NO CO 2,000mm 1,000mm 製品ガス Product Gas 720 内容量 （ℓ） フレームサイズ （mm） Frame Size 重量 （kg） Weight 材質 （47L 10pcs.） （47L 28pcs.） H2100×W1080×D1350 H1900×W1500×D600 H1940×W2060×D1050 容器 Cylinder： 920（460×2） フレーム Frame：530 容器 Cylinder： 520 フレーム Frame：350 容器 Cylinder：1460 架台 stand： 600 容器 Cylinder：クロム-モリブデン鋼 容器 Cylinder： マンガン鋼 容器 Cylinder： マンガン鋼 フレーム Frame：SS400 フレーム Frame：SUS304 フレーム Frame：SS400 Cr-Mo Steel Material 容器弁規格 1316 470 （360L 2pcs.） Volume Mn-Steel Mn-Steel JIS Valve Specification 容器弁は原則としてJISB-8246（高圧ガス容器用 弁） に規定された弁を採用しています。 また、容器弁の 仕様はガスの種類によって異なり、CGA規格、DISS S ・W 22・14・ O ・ L Left Screw 規格の弁もご用意いたします。 O : 凸ネジ External Screw Cylinder Valves generally comply with JIS B-8246 (High-Pressure Gas Cylinder Valves). Cylinder Valves Specifications differ in accordance with gas type. In addition CGA and DISS valves are available on request. 容器弁の種類 L : 左ネジ R : 右ねじ Right Screw I : 凹ネジ Internal Screw 14 山 / 25.4mm 14 Threads / 25.4mm 22 : ウィット 22mm Whitworth Screw B : Brass S : SUS Major Cylinder Valves 容器弁のタイプ Cylinder valve Type ダイヤフラム式 自動弁 Diaphragm Type Air-operation ダイヤフラム式 手動弁 Diaphragm Type Manual operation 大流量タイプ、 ダイヤフラム式 手動弁 Tied Diaphragm Design Large CV Value Oリングシール式 手動弁 O-ring Seal Type Manual operation 型 式 DS-3H 材 質 Material SUS 316L DSP-21 SUS 316L DST-1 SUS 316L G-11 Brass 適用ガス種 Compatible Gas 半導体用各種圧縮ガス・液化ガス Compressed gases, Liquefied gases 半導体用各種圧縮ガス・液化ガス ① ② ③ Compressed gases, Liquefied gases 半導体用液化ガス Liquefied gases 半導体用各種圧縮ガス Compressed gases ①ネリキ ダイヤフラム式自動弁（DS-3H） Neriki Diaphragm Type Air-operation ②ネリキ ダイヤフラム式手動弁（DSP-21） Neriki Diaphragm Type Manual operation ③ネリキ Oリングシール式手動弁（G-11） Neriki O-ring Seal Type Manual operation 4 容器・容器弁 Cylinder, Cylinder Valve 分 業・ 医療 ガス ガス協 会 特 殊 産 分 業・ 医療 ガス ガス協 会 特 殊 本 科 産 会 本 会 科 日 産 日 日 本 How to use Filled / Empty Labels 会 充・使用中・空ラベル 分 業・ 医療 ガス ガス協 会 特 殊 科 ①製品出荷時、 「充」 ラベル ② 「使用中」 ラベル ③ 「空」 ラベル 使用開始後はこのラベルを剥がしてください。 ガス使用中はこの表示にしておいてください。 使用済み後はこの表示にしておいてください。 This label should be on the product during the shipment. Remove this label Keep this label during use. After use, remove the previous label, then show this label. when you start using the product. 容器荷姿 Cylinder Package 容器管理バーコード 容器弁部は、取扱い時の弁の緩みを防止するた Cylinder management bar code め熱収縮チューブを施し、容器弁保護キャップ を取り付けます。 またクリーン仕様（ＵＣグレー 充・空ラベル Filled/Empty labels ド） の製品は、容器ネック部に空色に塗装して、 一般仕様（灰色） と区別しています。 Cylinder Valve is covered with heat-shrunk tube to prevent valve looseness during handling cylinders. Neck parts of Ultra Clean Grade cylinders are painted sky blue to distinguish easily it from normal grade (Gray). 123456 燃 毒 マーク A B C 12 3 4 5 容器記号・番号 届先ラベル Shipping label ネック部 （青色） （UC Grade） Color of neck parts （Sky blue） Cylinder symbol number PLラベル 組成ラベル PL label Composition label 製品規格表示 Product standard display Name of the Gas 一酸 化 炭 素 ガス名 社 章 UCGRADE SEG Company emblem 社 名 Company name 本体塗装（灰色） 〈イメージ図〉 ラベル貼付位置および塗色につきましては 実物と異なる場合があります。 〈Image figure〉 Label position and coating color may be different from those of the actual product. 5 Coating of main body（Gray) 半導体用ガス Ultra Clean Grade Electronic Gases 住友精化のクリーン化半導体用ガス ＵＣグレード UC Grade Ultra Clean Grade Electronic Gases 住友精化では、他社に先駆けてモノシランのクリーンルーム内充填を開始して以来、 アンモニア、亜酸化窒素、一酸化炭素、 ジクロロシラン等の充填用 クリーンルーム設備を次々に完成させ、充填工程における不純物のコンタミネーションやパーティクルの低減を図っています。 これに加え住友精化では、鏡面研磨仕上げした容器の内面を、有機溶媒を一切排除した超純水洗浄＋高温窒素乾燥洗浄法による新たな容器内面処 理技術＝ＳＵＣ洗浄法＝により処理することによって、 パーティクルフリー、残存水分フリーの高品位半導体用ガスをお届けします。 SUMITOMO SEIKA CHEMICALS Co.,Ltd. began filling Monosilane in cleanroom, and then cleanroom filling facilities for Ammonia, Nitrous oxide, Carbon monoxide, Dichlorosilane, and NO, followed in order to minimize contamination of impurities and particles. In addition, SUMITOMO SEIKA developed new cylinder inner-surface treatment technology = SUC TREATMENT = , that cylinder inner-surface is polished, washed by ultra high pure water and blown by hot Nitrogen instead of conventional organic solvents method. So we can supply particle-free, residual moisture-free Electronic Gases. ■クリーン容器整備工程 （SUC洗浄法） Cylinder Cleaning Process (SUC TREATMENT) 1 内面研磨容器受入 2 Receiving innerpolished cylinder 5 容器弁取付 Installing cylinder valve 超純水洗浄 3 Washing by ultra high pure water 6 加温真空洗浄 Vacuum and baking 4 高温クリーン 窒素ブロー Blowing hot & clean Nitrogen 7 クリーン 窒素ブロー Blowing clean Nitrogen 窒素充填、 パーティクル測定 Nitrogen filling Measuring particle numbers ■住友精化のクリーン化半導体用ガス充填設備 Clean Room Filling Facilities of SUMITOMO SEIKA Specialty Gases 生産品目 クリーンルーム （クラス） クリーンブース （クラス） NH3 ○ 10,000 ○ 100 N2O ○ 10,000 ○ 100 BCl3 ○ 10,000 ̶ CO ○ 10,000 ○ 100 NO ○ 10,000 ̶ SiH2Cl2 ○ 10,000 ○ 100 B2H6 ̶ ○ 10,000 Products Clean Room (Class) Clean Booth (Class) 6 半導体用ガス／品目一覧 成分 Component Ar アルゴン Argon 成分 Component BCl3 三塩化ホウ素 Boron Trichloride 成分 Component B2H6 ジボラン Diborane 成分 Component CH4 メタン Methane 成分 Component C2H4 エチレン Ethylene 成分 Component C3H6 プロピレン Propylene 成分 Component C3H8 プロパン Propane 成分 Component CF4 四フッ化炭素 Tetrafluoromethane（R-14） 成分 Component CO 一酸化炭素 Carbon Monoxide 成分 Component CO2 二酸化炭素 Carbon Dioxide 成分 Component H2 水素 Hydrogen 7 グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.9999％ グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.999％ グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.999％ グレード 純度 O2 N2 H2 CO ＜0.2ppm ＜1ppm ＜0.3ppm O2 N2 CO CO2 ＜1ppm ＜3ppm ＜1ppm O2 N2 ＜1ppm O2 CO2 CH4 H2O ＜0.1ppm ＜0.5ppm CH4 COCl2 Cl2 Si ＜1ppm ＜1ppm ＜0.2wt.ppm ＜3wt.ppm ＜1wt.ppm CO CO2 CH4 H2O ＜1ppm ＜1ppm ＜5ppm ＜1ppm ＜1ppm N2 Ar CO CO2 C2H4 C2H6 C3以上 ＜0.1ppm ＜0.1ppm ※1 H2O Grade Purity RESEARCH ＞99.9999％ SEG ＞99.99％ ＜1ppm ＜20ppm − − ＜1ppm − − − ＜2ppm EG ＞99.9％ ＜3ppm ＜1000ppm − − ＜1ppm − − − ＜5ppm O2 N2 CO CO2 H2O ＜2ppm ＜2ppm ＜2ppm ＜2ppm ＜5ppm O2 N2 CO2 H2O OHC ＜1ppm ＜5ppm ＜1ppm ＜3ppm ＜90ppm O2＋Ar N2 CO2 C2H6 C3H6 ＜1ppm ＜1ppm ＜1ppm ＜1ppm グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.999％ グレード 純度 Grade Purity SEG ＞99.99％ グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.999％ グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.99％ グレード 純度 Grade Purity SEG ＞99.995％ グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.995％ グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.9999％ ＜0.1ppm ＜0.5ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ＜0.5ppm ＜0.5ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ※2 iso-C4H10 n-C4H10 O2 N2 CO CO2 CH4 H2O ＜5ppm ＜10ppm ＜0.5ppm ＜1ppm ＜0.5ppm ＜5ppm O2 N2 H2 CO2 CH4 H2O ＜2ppm ＜10ppm ＜5ppm ＜5ppm ＜0.5ppm ＜1ppm O2 N2 H2 CH4 H2O ＜5ppm ＜15ppm ＜2ppm ＜1ppm ＜5ppm O2 N2 CO CO2 CH4 ＜0.1ppm ＜0.5ppm ＜0.05ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ＜0.05ppm ＜0.05ppm H2O ＜0.5ppm ＜1ppm H2O ＜2wt.ppm Fe(CO)5 Ni(CO)4 ＜0.1ppb ＜0.1ppb ＜2ppm Electronic Gases/Products List 成分 Component HCｌ 塩化水素 Hydrogen Chloride 成分 Component He ヘリウム Helium 成分 Component H2S 硫化水素 Hydrogen Sulfide 成分 Component N2 窒素 Nitrogen 成分 Component NH3 アンモニア Ammonia 成分 Component NO 一酸化窒素 Nitric Oxide 成分 Component N2O 亜酸化窒素 Nitrous Oxide 成分 Component O2 酸素 Oxygen グレード 純度 Grade Purity SEG ＞99.999％ EG ＞99.995％ グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.9999％ グレード Purity EG ＞99.99％ 純度 Grade Purity EG ＞99.9999％ グレード 純度 ＜1ppm ＜0.5ppm ＜1ppm ＜1ppm ＜0.5ppm ＜1ppm ＜3ppm ＜10ppm − − − ＜5ppm ＜5ppm O2 N2 CO CO2 CH4 H2O ＜0.05ppm ＜0.05ppm ＜0.05ppm O2 CO CO2 CH4 H2O ＜0.2ppm ＜0.2ppm ＜0.1ppm O2 N2 H2 CO CO2 CH4 THC H2O ＜30ppb ＜30ppb ＜50ppb − ＜150ppb ＜30ppb ＜0.5ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ＜0.5ppm − RESEARCH ＞99.9995％ ＜0.5ppm ＜1ppm − ＜0.5ppm SEG ＞99.999％ ＜3ppm ＜5ppm − ＜1ppm ＜1ppm ＜1ppm NO2 N2O H2O グレード 純度 Grade Purity EG ＞99.8％ グレード 純度 ＜1000ppm ＜1000ppm ※3 − ＜0.5ppm − ＜1ppm ＜5ppm O2 N2 CO CO2 CH4 H2O ＞99.9995％ ＜0.5ppm ＜1ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ＜1ppm ＞99.999％ ＜1ppm ＜2ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm ＜3ppm N2 CO CO2 CH4 H2O ＜5ppm ＜0.5ppm ＜0.5ppm ＜0.5ppm ＜1ppm O2+Ar N2 CO CO2 CH4 SiH3Cl SiHCl3 SiCl4 ＜1ppm ＜1ppm ＜1ppm ＜1ppm ＜1ppm ＜0.1% ＜0.05% ＜0.01% O2 N2 H2O Grade Purity RESEARCH SEG グレード H2O ＜0.5ppm ＜30ppb 純度 Grade Purity EG ＞99.999％ SiH2Cl2 ジクロロシラン EG ＞99.9％ 成分 グレード Sulfur Dioxide ＜1ppm ＜0.1ppm ＜0.1ppm CH4 ＞99.99997％ Purity SO2 二酸化硫黄 CO2 OPT Grade Component CO Purity グレード Dichlorosilane H2 Grade 成分 Component N2 純度 Grade グレード O2 純度 純度 Grade Purity EG ＞99.99％ ＜10ppm B P 比抵抗値 Resistivity （N-Type） ＜0.1wt.ppb ＜0.3wt.ppb ＞400Ω-cm ＜20ppm ＜50wt.ppm ※1 3つ以上の炭素を含む全ての炭素化合物 All carbon compounds containing three or more carbons. ※2 プロピレンを除く炭素数1∼4の総炭化水素 Total Hydrocarbon of C1∼C4 except for Propylene. ※3 総炭化水素 Total Hydrocarbon 8 半導体用ガス NH3 Ammonia アンモニア 製品規格 Product Specifications GRADE OPT 純度 Purity O2 ＞99.99997% ＞99.9995% ＞99.999% ＜30ppb ＜0.5ppm ＜3ppm ＜1ppm ＜5ppm ̶ N2 SEG RESEARCH H2 ＜30ppb ̶ CO ＜30ppb ＜0.5ppm ＜1ppm CO2 ＜50ppb ＜0.5ppm ＜1ppm ＜0.1ppm ＜1ppm ̶ CH4 ̶ ＜150ppb ※1 THC ＜30ppb H2O ̶ ̶ ＜1ppm ＜0.5ppm 内容積 Volume ： 充填量 Contents 10L：5kg（7.4m³） 47L：25kg（37.1m³） 930L：500kg（741.9m³） 1860L：1000kg（1483.8m³） 容器 Cylinder 容器弁 Valve S・W22・14・OL ※1 総炭化水素 Total Hydrocarbon N2O Nitrous Oxide 亜酸化窒素 製品規格 Product Specifications GRADE SEG RESEARCH ＞99.9995% ＞99.999% O2 ＜0.5ppm ＜1ppm N2 ＜1ppm ＜2ppm 純度 Purity CO ＜0.1ppm ＜0.1ppm CO2 ＜0.1ppm ＜0.1ppm CH4 ＜0.1ppm ＜0.1ppm H2O ＜1ppm ＜3ppm 内容積 Volume ： 充填量 Contents 容器 Cylinder 容器弁 Valve 10L：7.5kg（4.3m³） 47L：30kg（17.2m³） 440L：300kg（172.2m³） 360L 2本：500kg（287.1m³） S（B） ・W22・14・OR ※圧縮ガスの充填圧力は全て35℃での値です。 また、充填量は35℃、1atmでの値です。 Filling pressure mentioned is specified at 35℃. Product contents are specified at 35℃ and 1atm. 9 Electronic Gases CO Carbon Monoxide 一酸化炭素 製品規格 Product Specifications GRADE SEG 純度 Purity ＞99.995% O2 ＜2ppm N2 ＜10ppm H2 ＜5ppm CO2 ＜5ppm CH4 ＜0.5ppm H2O ＜1ppm Fe(CO)5 ＜0.1ppb Ni(CO)4 ＜0.1ppb 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） 容器 Cylinder 10L：9.80MPa（1.0m³） 47L：9.80MPa（4.7m³） 47L×28本：9.80MPa（130.3m³） 容器弁 Valve S・W22・14・OL NO Nitric Oxide 一酸化窒素 製品規格 Product Specifications GRADE 純度 Purity EG ＞99.8％ NO2 ＜1000ppm N2O ＜1000ppm H2O ＜5ppm 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） 容器 Cylinder 容器弁 Valve 10L：3.43MPa（0.4m³） 47L：3.43MPa（1.7m³） 47L×10本：3.43MPa（16.6m³） S・W22・14・OR 10 半導体用ガス B2H6 Diborane シボラン 製品規格 Product Specifications GRADE EG 純度 Purity ＞99.999％ O2 ＜1ppm N2 ＜1ppm CO ＜1ppm CO2 ＜5ppm CH4 ＜1ppm H2O ＜1ppm ■混合製品 Diborane Mixture Gas 製品規格 Product Specifications GRADE EG バランスガス Balance Gas H2、He、N2、Ar（EG） B2H6 ：10ppm∼20％ H2 He、N2、Ar：1∼10％ 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（B2H6 Conc.） 9.80MPa（∼1％） 7.35MPa（∼5％） 10、47L： 4.90MPa（∼10％） 2.94MPa（∼20％） 容器 Cylinder 容器弁 Valve S・W22・14・OL SiH2Cl2 HCl Hydrogen Chloride ジクロロシラン 塩化水素 製品規格 Product Specifications Dichlorosilane 製品規格 Product Specifications EG GRADE ＞99.999% ＞99.995% 純度 Purity ＞99.9% ＜1ppm ＜3ppm O2＋Ar ＜1ppm N2 ＜1ppm ＜10ppm N2 ＜1ppm H2 ＜0.5ppm ̶ CO ＜1ppm CO ＜1ppm ̶ CO2 ＜1ppm CO2 ＜1ppm ̶ CH4 ＜1ppm CH4 ＜0.5ppm ＜5ppm SiH3Cl ＜0.1% H2O ＜1ppm ＜5ppm SiHCl3 ＜0.05% SiCl4 ＜0.01% GRADE 純度 Purity O2 SEG 内容積 Volume ： 充填量 Contents 容器 Cylinder 容器弁 Valve 10L：5kg（3.4m³） 47L：25kg（17.2m³） 10L：6kg（4.1m³） 47L：25kg（17.2m³） S・W26・14・OR EG B ＜0.1wt.ppb P ＜0.3wt.ppb 比抵抗値 Resistivity(N-Type) ＞400Ω-cm 内容積 Volume ： 充填量 Contents 容器 Cylinder 10.1L：9kg （2.3m³） 41L：37kg （9.3m³） 容器弁 Valve S・W22・14・OL ※圧縮ガスの充填圧力は全て35℃での値です。 また、充填量は35℃、1atmでの値です。 Filling pressure mentioned is specified at 35℃. Product contents are specified at 35℃ and 1atm. 11 Electronic Gases CH4 C2H4 Methane メタン Ethylene エチレン 製品規格 Product Specifications 製品規格 Product Specifications GRADE RESEARCH SEG 純度 Purity EG GRADE EG ＞99.9999% ＞99.99% ＞99.9% 純度 Purity O2 ＜0.1ppm ＜1ppm ＜3ppm O2 ＜2ppm ＞99.999% N2 ＜0.5ppm ＜20ppm ＜1000ppm N2 ＜2ppm Ar ＜0.1ppm ̶ ̶ CO ＜2ppm CO ＜0.1ppm ̶ ̶ CO2 ＜2ppm CO2 ＜0.1ppm ＜1ppm H2O ＜5ppm C2H4 ＜0.1ppm ̶ ̶ C2H6 ＜0.1ppm ̶ ̶ 容器 Cylinder C3以上 ＜0.1ppm ̶ ̶ ＜2ppm 容器弁 Valve H2O ※1 ＜2ppm ＜1ppm 内容積 Volume ： 充填量 Contents 47L：5kg（4.5m³） S・W22・14・OL ＜5ppm 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） 容器 Cylinder 47L：14.70MPa （7.0m³） 10L：9.80MPa（1.0m³） 47L：9.80MPa（4.7m³） 容器弁 Valve C3H6 プロピレン B・W22・14・OL C3H8 Propylene プロパン Propane 製品規格 Product Specifications 製品規格 Product Specifications GRADE SEG GRADE EG 純度 Purity ＞99.99% 純度 Purity ＞99.999% O2 ＜1ppm O2＋Ar ＜0.5ppm N2 ＜5ppm N2 ＜0.5ppm CO2 ＜1ppm CO2 ＜1ppm H2O ＜3ppm C2H6 ＜1ppm ＜90ppm C3H6 ＜1ppm iso-C4H10 ＜1ppm ※2 OHC 容器 Cylinder 容器弁 Valve 内容積 Volume ： 充填量 Contents 47L：20kg（12.0m³） S・W22・14・OL ※1 3つ以上の炭素を含む全ての炭素化合物 All carbon compounds containing three or more carbons. ※2 プロピレンを除く炭素数1∼4の総炭化水素 Total Hydrocarbon of C1∼C4 except for Propylene ＜1ppm n-C4H10 ＜2wt. ppm H2O 内容積 Volume ： 充填量 Contents 容器 Cylinder 10L：1、2、4kg（0.6、1.1、2.3m³） 47L：10、15kg（5.7、8.6m³） 容器弁 Valve S・W22・14・OL ■混合製品 Propane Mixture Gas 製品規格 Product Specifications GRADE バランスガス Balance Gas EG 2 EG） H（ C3H8 10％、30％ N2 ＜1ppm 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（C3H8 Conc.） 容器 Cylinder 4.80MPa（10％） 10、47L： 1.60MPa（30％） 容器弁 Valve S・W22・14・OL 12 半導体用ガス H 2S 硫化水素 CF4 Hydrogen Sulfide Tetrafluoromethane (R-14) 四フッ化炭素 製品規格 Product Specifications 製品規格 Product Specifications GRADE EG GRADE EG 純度 Purity ＞99.99% 純度 Purity ＞99.99% 容器 Cylinder 内容積 Volume ： 充填量 Contents 10L：7kg（5.2m³） 47L：30kg（22.2m³） 容器弁 Valve SO2 S・W22・14・OL Sulfur Dioxide 二酸化硫黄 GRADE EG 純度 Purity ＞99.99% O2 ＜10ppm N2 ＜20ppm 容器 Cylinder 容器弁 Valve ＜50wt.ppm 内容積 Volume ： 充填量 Contents ＜10ppm ＜0.5ppm CO2 ＜1ppm CH4 ＜0.5ppm H2O ＜5ppm 容器弁 Valve CO2 10L：2kg（0.6m³） 47L：30kg （8.6m³） B・W22・14・OL Carbon Dioxide 二酸化炭素 製品規格 Product Specifications GRADE EG B・W22・14・OR 純度 Purity ＞99.995% 三塩化ホウ素 製品規格 Product Specifications GRADE EG 純度 Purity ＞99.999% O2 ＜1ppm N2 ＜3ppm CO ＜1ppm CO2 ＜1ppm CH4 ＜1ppm O2 ＜5ppm N2 ＜15ppm H2 ＜2ppm CH4 ＜1ppm H2O ＜5ppm 内容積 Volume ： 充填量 Contents 容器 Cylinder 10L：7.5kg （4.3m³） 40L：30kg （17.2m³） 容器弁 Valve B・W22・14・OR ＜0.2wt.ppm Cl2 ＜3wt.ppm Si ＜1wt.ppm 内容積 Volume ： 充填量 Contents 容器 Cylinder 10L：10kg（2.2m³） 40L：40kg（8.6m³） 47L：50kg（10.8m³） 容器弁 Valve S・W26・14・OR ※圧縮ガスの充填圧力は全て35℃での値です。 また、充填量は35℃、1atmでの値です。 Filling pressure mentioned is specified at 35℃. Product contents are specified at 35℃ and 1atm. 13 内容積 Volume ： 充填量 Contents 10L：10kg（3.9m³） BCl3 Boron Trichloride COCl2 N2 CO 容器 Cylinder 製品規格 Product Specifications H2O ＜5ppm O2 Electronic Gases N2 He Nitrogen 窒素 製品規格 Product Specifications GRADE ＞99.9999% O2 ＜0.2ppm EG ＞99.9999% 純度 Purity ＜0.1ppm O2 CO ＜0.2ppm N2 ＜0.1ppm ＜0.1ppm CO ＜0.05ppm CH4 ＜0.1ppm CO2 ＜0.05ppm H2O ＜0.5ppm CH4 ＜0.05ppm 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） H2O ＜0.5ppm 10L：11.76MPa（1.2m³） 47L：14.70MPa（7.0m³） 容器 Cylinder 容器弁 Valve O2 B・W22・14・OR 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） 10L：11.76MPa （1.2m³） 47L：14.70MPa （7.0m³） B・W22・14・OR 容器弁 Valve Oxygen H2 水素 製品規格 Product Specifications GRADE EG 純度 Purity ＞99.999% N2 ＜5ppm CO ＜0.5ppm CO2 ＜0.5ppm CH4 ＜0.5ppm H2O ＜1ppm 容器 Cylinder Hydrogen 製品規格 Product Specifications GRADE 純度 Purity EG ＞99.9999% O2 ＜0.1ppm N2 ＜0.5ppm CO ＜0.05ppm CO2 ＜0.05ppm 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） CH4 ＜0.05ppm 10L：11.76MPa（1.2m³） 47L：14.70MPa（7.0m³） H2O ＜0.5ppm 容器弁 Valve Ar GRADE CO2 容器 Cylinder 酸素 製品規格 Product Specifications EG 純度 Purity Helium ヘリウム B・W22・14・OR Argon 容器 Cylinder 容器弁 Valve 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） 10L：11.76MPa （1.2m³） 47L：14.70MPa （7.0m³） B・W22・14・OL アルゴン 製品規格 Product Specifications GRADE 純度 Purity EG ＞99.9999% O2 ＜0.2ppm N2 ＜1ppm H2 ＜0.3ppm CO ＜0.1ppm CO2 ＜0.1ppm CH4 ＜0.1ppm H2O ＜0.5ppm 内容積 Volume ： 充填圧 Pressure（充填量 Contents） 容器 Cylinder 10L：11.76MPa（1.2m³） 47L：14.70MPa（7.0m³） 容器弁 Valve B・W22・14・OR 14 標準ガス／半導体用ガス関連機器 標準ガス Standard Gases Electronic Gas Related Devices / Systems Standard Gases 住友精化は、計量法トレーサビリティ制度に基づく標準物質「JCSS認定標準ガス」 の供給事業者として、認定を受けた事業者です。 また、室内環境や 有害大気汚染物質（HAPs） の測定に使用される超低濃度多成分標準ガスの開発に成功し、環境問題に取り組む大学、官公庁の研究機関や分析セ ンターからも高い評価を得ております。 Sumitomo Seika is an authorized supplier of JCSS standard gases under the traceability system of the Measurement Law. We have developed ultra-low density and multi-component standard gases which are used for measurements of indoor conditions and hazardous air pollutants (HAPs), and we have obtained high evaluation from universities and government research institutions and Analysis Centers working on environmental issues. ■標準ガスの主な用途と種類 Application and Specification 用途 Application 種類 Specification 自動車排気ガス測定用 Measurement of automotive exhaust gas CO/N2 CO2/N2 NO/N2 HC/N2 HC/Air NMOG etc. 煙道排気ガス測定用 Measurement of flue exhaust gas CO/N2 SO2/N2 NO/N2 NO2/N2 etc. 大気環境モニタリング用 Monitoring of atmospheric environment CO/N2 NO/N2 CH4/N2 SO2/N2 PAMS etc. 有害大気汚染物質測定用 Measurement of hazardous air pollutants HAPs-J9 HAPs-J44 etc. 室内環境測定用 Measurement of indoor environment HCHO/N2 IAP-J7 IAP-J37 悪臭監視測定用 Monitoring and measurement of odorous gas NH3/N2 H2S/N2 CH3SH/N2 etc. 作業環境測定用 Measurement of working environment C6H6/N2 C2HCI3/N2 etc. 焼却炉、 ボイラー燃焼管理用 Management of incinerator and boiler combustion CO/N2 CO2/N2 O2/N2 etc. ガス漏洩検知警報用 Gas leakage detection alarm CH4/Air C3H8/Air i-C4H10/Air etc. 各種医療機器用 Various medical equipment CO, He, O2/N2 CO2, O2/N2 N2O, O2/N2 etc. 各種プラントプロセス管理用 Management of various plant process ガス成分と濃度をご指定下さい。 各種実験研究用 Various experiments and research Please specify the gas components and their concentration. ※仕様の詳細については、弊社スペシャルティガスカタログ等を参照願います。 Please refer to the specialty gases catalog for more information 半導体用ガス関連機器 Electronic Gas Related Devices / Systems ■ドライエッチング排ガス用除害装置 Gas Removal Equipment for Exhaust Gas of Etching ●ロータリーアトマイザー方式 Rotary Atomizer ●適用ガス ： BCl3, HCl, HBr, Cl2, ClF3, HF, NH3 等 Application : BCl3, HCl, HBr, Cl2, ClF3, HF, NH3 etc. ●特長 ： 1. 連続安定運転による半導体の生産性向上。 2. 安全でシンプルな設計。 3. 水のみで除害、驚異的な低ランニングコストを実現。 4. PFC用前処理装置として更にコンパクト。 1. Consecutive stable running can achieve increasing semiconductor manufacturing productivety. 2. Safe and simple design. 3. Remarkable low running-cost because of using water only as absorbent. 4. Handy-size design for PFC pretreafment equipment. 15 高圧ガスをお取り扱いの皆様へ Handling of High-Pressure Gases ご注文方法について How to order 高圧ガスをご使用される方へ For high pressure gas users お見積やご注文につきましては、 お近くの高圧ガスの販売代理店をご利用ください。 初めてご注文される方には販売店をご紹介致しますので、本社・ガス事業部までお問い合わせください。 For a quotation and an order, please contact your nearest high-pressure gas dealer. If it is your first order, please contact our sales representatives, who will introduce you to a dealer. 販売店の方へ For gas dealers インターネットまたはFAXでご注文ください。注文用のHPアドレスは以下となります。 Please place an order on the Internet or by FAX. The HP address for the order is the following: http://www.sumitomoseika.co.jp/g-e/new_entry.html 【注意】Caution １． インターネットからご注文される場合は、専用のIDとパスワードが必要です。 事前に本社・ガス事業部までお問い合わせください。 ２． ホームページからのご注文は、 日本国内でのお取引に限らせていただきます。 ３． このカタログは、製品安全上予告無く仕様を変更する場合があります。 使用済容器の返却について １．Dedicated ID and password are required to place an order on the Internet. Please contact our sales representative in advance. ２．Placing orders on the Internet are feasible only in Japan. ３．Any part of this catalog is subject to a possible modification without prior permission due to product safety. Return Method of Used Cylinders ご使用済みの容器は速やかに販売店に返却してください。返却にあたっては、容器バルブはしっかりと締め、 アウトレットキャップを工具（スパナ） にて 締めてください。 Please return to your local distributor immediately after using the cylider. Close the cylinder valve securely, and tighten the outlet cap with a tool before returning it. ■ （A） 容器の確認 (A) Check of cylinder ①容器が返却出来る状態であることを確認します。 Check that the cylinder is ready for return. 1 2 3 4 バルブのハンドルが確実に閉まっ ている。 アウトレットキャップがスパナで 確実に閉まっている。 返却する容器の容器記号番号を 確認します。 Check that the valve handle is closed securely. The outlet cap is tightened securely with a spanner. バルブ保護キャップが取り付けネ ジ部の根元まで確実に取り付け られている。 ※可燃性ガスは反時計方向で締まります。 In the case of combustible gas, the outlet cap is tightened in CCW turning. ■ （B） 販売店引取り The valve protective cap is mounted securely up to the root of the mounting screw. Check the cylinder code and number. ※容器の貸与期間は1年です。 The rent period of cylinders is one year. (B) Return to distributor ②ご購入販売店にご指示ください。 Call and instruct your local distributor. 容器についてのお願い Requests in Connection with Cylinders （1）半導体用ガス容器は貸与容器で運用しております。 容器の貸与期限は1年としております。 （2）容器が著しく腐食した場合は、処分費用を請求します。 （1）Electronic gas cylinders are basically handled on the lending basis. The lending period shall be 1 year. （2）When cylinder is corroded remarkably, a cost of disposal is charged. 16 高圧ガスをお取り扱いの皆様へ Handling of High-Pressure Gases 高圧ガスのお取り扱いについて Handling High-Pressure Gases 高圧ガス製品の取り扱いにあたっては、高圧ガス保安法、毒物及び劇物取締法、労働安全衛生法および化学物質管理促 注 意 進法（PRTR法）等の関連法規を遵守してください。 ご使用の前には、必ず、安全データシート （SDS） をお読みください。 Caution : Please observe necessary regulations in your country such as Pressure gas safety law,Toxic law, Pollutant Release Transfer Register and so on, when using these gases. Please read Safety Data Sheet (SDS) before using these gases. ■特殊材料ガスについて Special Material Gases 半導体工場で使われている特殊材料ガスは、 特殊材料ガス災害防止自主基準の対象になっておりますが、 このうち、 可燃性で、 かつ毒性の強い危険性の 高い7種類のガスは、 取り扱う数量に関係なく、 特定高圧ガスに該当します （7種類を総称して特殊高圧ガスと呼ぶ） 。 したがって、 特殊高圧ガスを消費す る半導体工場や大学・民間企業などの研究室に於いても、 量・濃度に係らず、 高圧ガス保安法の消費基準に基づく届け出、 保安、 防災対策が必要です。 Among special material gases used in semi-conductor manufacturing facilities, those gases which are combustible, highly toxic and dangerous gases such as SiH4, PH3, AsH3, B2H6, H2Se, GeH2, Si2H6 are categorized as Specific High Pressure Gases of High Pressure Safety Law in Japan regardless of the handling quantity. (These seven gases are collectively called special high pressure gas.) The special high pressure gas consumers such as semicondactor factories, laboratories, university and private enterprises need to report and implement the security and disaster prevention measures based on the consumption standard of High Pressure Safety Law regardless of its quantity and concentration. ■特殊材料ガス39種類の分類 Classification of Special Material Gases 特殊高圧ガス Special high pressure gas 7種類 7 Materials 単体で高圧ガス になるもの Categorized as a high-pressure gas in a single component 特殊材料ガス Special material gas 16種類 五フッ化ヒ素等 such as AsF5 7種類 7 Materials 16 Materials 39種類 モノシラン Monosilane ホスフィン Phosphine アルシン Arsine ジボラン Diborane セレン化水素 German ジシラン Disilane 五フッ化ヒ素 Arsenic pentafluoride 五フッ化リン Phosphorus pentafluoride 三フッ化窒素 Nitrogen trifluoride 三フッ化ホウ素 三フッ化リン 四フッ化硫黄 Sulfur tetrafluoride スチビン その他 Others 2種類 2 Materials テルル化水素 ジクロロシラン トリクロロシラン 四塩化ケイ素 単体で高圧ガス にならないもの Not categorized as a high-pressure gas in a single component 23種類 23 Materials オキシ塩化リン Silicon tetrafluoride Stibine Hydrogen telluride Dichlorosilane Silicon trichloride Silicon tetrachloride Oxyphosphorus chloride 三塩化ホウ素 Boron trichloride 三臭化ホウ素 Boron tribromide その他 17 Boron trifluoride Phosphorus trifluoride 四フッ化ケイ素 39 Materials Hydrogen selenide ゲルマン Others ■特定高圧ガスの消費に関する注意点 Precautions for specific high pressure gas usage ●消費の届出 A report of the usage 特定高圧ガス消費届書 Specific high pressure gas usage report 消費施設等明細書 ●消費の目的 ●技術基準への対応 ●貯蓄能力 ●消費施設の図面 Descriptions about the consuming facilities ・Purpose of the consumption ・Storage capacity ・Compliance with the technical standards ・Drawings of the consuming facilities 消費開始の日の20日前までに提出 都道府県知事 within 20 days before the start of the consumption Local authorities 特殊高圧ガスの量及び濃度にはよりません。 事業所ごとです。 消費施設等の変更も届出が必要です。 The report is required for every workplace regardless of the quantity and concentration of the special high pressure gas. The report is also required for changes in the consuming facilities. ●消費施設・消費方法の技術基準への適合 Compliance with the technical standards for consuming facilities and consuming methods 適合するように維持 消費施設 （位置・構造・設備） 消費方法 Maintained in order to conform to the standards The consuming facilities (location, structure and equipment) The consuming methods ハード面・ソフト面共に技術基準に従う必要があります。 Requires compliance with the technical standards both in the hardware part and software part 一般則 第55条 特定消費の技術上の 基準 General Rule Article55 Technical Standards on specific consumption ●特定高圧ガス取扱主任者の選任・届出 Notification and appointment of operations chiefs of specific high pressure gas 「資格」 製造又は消費の経験 高圧ガス保安協会の講習終了等 Qualification Experience in production or consumption Attendance in the training of High Pressure Gas Safety Institute, etc. ●保安教育の実施 選任 Election 届出 取扱主任者 Notification 都道府県知事 Local authorities Operations Chief 消費に係る保安業務を管理しなければなりません。 大学では教授又は准教授の方を選任することになっています。 Operations chiefs are required to manage the security operations in the gas consumption. Genellary, Professor or Associate Professor will be appointed at the university. Implementation of the safety training 従業者に保安教育を施さなければなりません。 High-pressure gas users are required to conduct safety training to its employees. ●消費施設の定期自主検査の実施 Implementation of regular voluntary inspections of consuming facilities 適合して いるか 技術上の基準 The technical standards 作成・保存 Preparation and （年1回以上実施） maintenance of in compliance 定期自主検査 records or not （取扱主任者の監督） Periodical self-inspections (at least once a year) Supervision of operations chiefs 検査記録 ●対象施設 方法及び結果 ●年月日 ●取扱主任者名 Inspection records ・Objective facilities, the methods and results ・Date ・Operations chiefs 18 関連資料 Data 各種ガスの蒸気圧および物理定数 Vapor Pressure and Physical Constant 蒸気圧 Vapor Pressure 成分 Components 温度 Temperature（℃） 分子量 Molecular Weight 融点 Melting Point -20 -10 0 10 20 30 単位 Unit アルゴン Argon − − − − − − − 39.948 AsH3 アルシン Arsine 0.51 0.69 0.90 1.16 1.47 1.84 MPa 77.946 -117 BCl3 三塩化ホウ素 Boron trichloride 25.74 41.03 62.75 92.55 132.24 183.71 kPa 117.17 -107.3 B2H6 ジボラン Diborane 1.66 2.13 2.68 3.31 − − MPa 27.67 -164.9 CF4 四フッ化炭素 Tetrafluoromethane − − − − − − − 88.005 -183.59 Ar ℃（1atm） -189.2 CHF3 トリフルオロメタン Trifluoromethane 1.39 1.88 2.49 3.26 4.2 − MPa 70.0014 -155.18 C2F6 ヘキサフルオロエタン Hexafluoroethane 1.07 1.43 1.86 2.39 ー − MPa 138.012 -100.7 C3F8 オクタフルオロプロパン Octafluoropropane 0.2 0.3 0.42 0.57 0.77 1.01 MPa 188.02 -183 CH4 メタン Methane − − − − − − − 16.043 -182.48 C2H4 エチレン Ethylene 2.52 3.24 4.1 − − − MPa 28.054 -169.14 C2H6 エタン Ethane 1.42 1.86 2.39 3.02 3.77 4.65 MPa 30.07 -182.8 C3H6 プロピレン Propylene 171 246 345 471 629 824 kPa 42.081 -126 0.35 44.096 -187.69 -101.03 プロパン Propane 0.24 0.48 0.64 0.84 1.08 MPa Cl2 塩素 Chlorine 181 262 370 507 679 892 kPa 70.905 ClF3 三フッ化塩素 Chlorine trifluoride 27.74 43.23 65.12 95.20 − − kPa 70.01 -76 CO 一酸化炭素 Carbon monoxide − − − − − − − 28.01 -205 1.96 2.65 3.49 4.51 5.75 7.21 MPa 44.01 -56.57 − − − − − − − 38 -223 C3H8 CO2 F2 二酸化炭素 Carbon dioxide フッ素 Fluorine モノゲルマン Germane 1.34 1.78 2.33 3.01 3.87 4.94 MPa 76.64 -165.9 HCl 塩化水素 Hydrogen chloride 1.46 1.95 2.56 3.3 4.2 5.28 MPa 36.641 -114.18 H2 水素 Hydrogen − − − − − − − 2.016 -259.2 臭化水素 Hydrogen bromide 0.7 0.97 1.3 1.7 2.18 2.75 MPa 80.912 -86.9 GeH4 HBr H2S 硫化水素 Hydrogen sulfide 0.56 0.78 1.06 1.41 1.84 2.35 MPa 34.082 -85.47 H2Se セレン化水素 Hydrogen selenide 0.25 0.36 0.50 0.69 0.91 1.21 MPa 80.98 -65.73 − − − − − − − 4.003 -272.2 He ヘリウム Helium − − − − − − − 71 -206.79 0.19 0.29 0.43 0.61 0.86 1.16 MPa 17.031 -77.74 一酸化窒素 Nitric oxide − − − − − − − 30.006 -163.6 窒素 Nitrogen − − − − − − − 28.013 -210 1.87 2.47 3.21 4.08 5.13 6.36 MPa 44.013 -90.82 − − − − − − − 31.999 -218.79 NF3 三フッ化窒素 Nitrogen trifluoride NH3 アンモニア Ammonia NO N2 N2O O2 亜酸化窒素 Nitrous oxide 酸素 Oxygen PH3 ホスフィン Phosphine 1.33 1.74 2.24 2.82 3.52 4.33 MPa 34 -133 SF6 六フッ化硫黄 Sulfur hexafluoride 0.71 0.97 1.29 1.69 2.16 2.72 MPa 146.056 -50.8 SiH4 SiH2Cl2 SiF4 Si2H6 モノシラン Monosilane ジクロロシラン Dichlorosilane 四フッ化ケイ素 Tetrafluorosilane ジシラン Disilane SO2 二酸化硫黄 Sulfur dioxide WF6 六フッ化タングステン Tungsten hexafluoride 3.13 4.08 − − − − MPa 32.12 -185 30.63 48.25 73.10 107.07 152.20 210.70 kPa 101 -122 3.12 − − − − − MPa 104.08 -95.7 79.95 117.16 166.64 230.86 312.48 414.33 kPa 62.22 -132.6 62.3 100 155 232 336 473 kPa 64.065 -73.15 13.93 26.12 46.13 77.32 − − kPa 297.84 2.3 ※1）許容濃度は、米国産業衛生専門家会議（ACGIH） の2014年度版TLV値（大部分の労働者が被害を受けることなく暴露することが可能な物質濃度） を採用しました。 Threshold limit values: TLV values (Substance concentrations exposable to majority of operators without harm) specified in the 2014 edition issued by the American Conference of Gover mental Industrial Hygienists (ACGIH) have been adopted. C：天井値 Ceiling value STEL：短時間暴露限界値 Short term exposure limit 19 密度（Density） 沸点 Boiling Point 臨界温度 Critical Temperature 臨界圧力 Critical Pressure 液 Liguid ℃（1atm） ℃ MPa g/L（25℃） -185.87 -122.4 4.86 1.028（-140℃） ※1） ※2） ガス Gas 比重 Specific Gravity 燃焼範囲 Flammability Limit(IN AIR) 許容濃度 Threshold Limit Value g/L（1atm） （21.1℃） AIR=1 ％ TWA ppm 1.654 1.39 ー ー ー 0.005 燃・毒 ー ー -62.5 99.85 6.413 1.321 3.228 2.7 4.5∼78 12.5 178.8 3.871 1.434 4.852 4.12 ー ガスの分類 （危険・有害性） Classification (risk and toxicity) -92.8 16.65 4.053 0.308（-10℃） 1.2475 0.965 0.84∼93.3 0.1 燃・毒 -128.06 -45.65 3.739 1.302（-80℃） 3.645 3.039 ー 2.5mg/m³ as F ー -82.15 25.74 4.836 1.028（0℃） 2.9 2.43 ー ー ー -78.2 19.65 2.979 1.229（15℃） 5.716 4.766 ー ー ー -36.75 71.9 2.68 1.317 7.787 6.492 ー ー ー -161.49 -82.57 4.604 0.331（-110℃） 0.664 0.554 ー ー 燃 -103.68 9.21 5.032 0.386（-10℃） 1.162 0.969 2.7∼36 200 燃 -88.2 32.27 4.88 0.315 1.245 1.038 3.2∼12.5 1000 燃 -34 91.61 4.613 0.504 1.743 1.453 2.4∼10.3 500 燃 1000 燃 0.5 毒 -42.07 96.67 4.257 0.493 1.826 1.523 2.1∼9.5 -34.1 144 7.711 1.398 2.936 2.448 ー 12 186.24 7.779 1.785 3.18 2.43 0.1（STEL) 毒 -191.45 -140.23 3.499 0.624（-160℃） 1.16 0.967 12.5 74.2 25 燃・毒 -78.45 31.04 7.382 0.713 1.823 1.52 ー 5000 ー -188 -128.84 5.215 1.51（-188℃） 1.693 1.31 ー 1 毒 -88.4 34.85 5.55 0.859 3.174 2.645 0.8∼98 0.2 燃・毒 -85 51.5 8.309 0.796 1.51 1.259 ー 2（C） 毒 -252.76 -239.39 1.313 0.067（-250℃） 0.083 0.07 4∼76 ー 燃 -66.7 90 8.552 1.728 3.351 2.81 ー 2（C） 毒 -60.35 100.38 8.963 0.777 1.411 1.19 4.3∼46 1 燃・毒 -41 138 8.91 2.1 3.354 2.81 データなし No Data 0.05 燃・毒 -268.93 -267.95 0.228 0.139（-270℃） 0.166 0.138 ー ー ー -129.01 -39.3 4.53 1.204（-70℃） 2.941 2.49 ー 10 毒 -33.35 132.4 11.278 0.602 0.705 0.5967 15.5∼27 25 燃・毒 -151.77 -93 6.485 1.012（-110℃） 1.243 1.036 ー 25 毒 -195.6 -147.05 3.3494 0.729（-180℃） 1.16 0.967 ー ー ー -88.48 36.82 7.245 0.742 1.823 1.52 ー 50 毒 -182.98 -118 5.043 0.876（-140℃） 1.325 1.105 ー ー ー -87.7 51.6 6.536 0.491 1.53 1.184 1.32∼98 0.3 燃・毒 -63.8 45.54 3.76 1.322 6.049 5.07 ー 1000 ー -111.5 -3.45 4.843 0.428（-40℃） 1.324 1.114 1.35∼ 5 燃・毒 8.2 179 4.55 1.22 4.183 3.52 4.1∼99 ー 燃 -94.8 -14.2 3.72 1.517（-70℃） 4.31 3.594 ー 2.5mg/m³ as F 1.0∼ 毒 -14.5 158.85 5.13 0.686 2.78 2.148 -10.02 157.6 7.884 1.366 2.653 2.212 ー 0.25（STEL) 毒 17.5 171 4.675 3.387 12.234 10.34 ー 0.5 as HF 毒 5 as SiH4 ※3） 燃・毒 ※2）高圧ガス保安法の定義に基づいて分類しています。 This classification is compliant with the definition of the High pressure gas safety law of Japan. 燃：Flammability 毒：Toxicity ※3）エチレンは2010年3月に毒性ガスから除外されました。 Etylene has been excluded from the toxic gas in March 2010. 20 関連資料 Data 露点と水分 Dew point and Water Content (Calculated from Smithsonian Meteorological Tables 1966) 水分 水分 Water 露点（0℃） Dew Point ppm容量比 (v / v) mg/m³（0℃） ppm Capacity ratio 水分 Water 露点（0℃） ppm容量比 (v / v) Dew Point mg/m³（0℃） ppm Capacity ratio 水分 Water 露点（0℃） Dew Point ppm容量比 (v / v) mg/m³（0℃） ppm Capacity ratio Water 露点（0℃） Dew Point ppm容量比 (v / v) ppm Capacity ratio mg/m³（0℃） 0 6,028 4,485 26 565 502 52 30.3 30.0 78 0.748 0.846 1 5,550 4,477 27 510 455 53 26.7 26.6 79 0.636 0.719 2 5,106 4,134 28 461 413 54 23.5 23.5 80 0.540 0.614 3 4,695 3,186 29 416 384 55 20.7 20.8 81 0.458 0.523 4 4,315 3,521 30 375 339 56 18.1 18.3 82 0.387 0.445 5 3,963 3,244 31 338 306 57 15.9 16.2 83 0.327 0.378 6 3,637 2,989 32 304 277 58 13.9 14.2 84 0.276 0.320 7 3,335 2,752 33 273 250 59 12.2 12.5 85 0.232 0.271 8 3,057 2,531 34 246 226 60 10.7 11.0 86 0.195 0.229 9 2,800 2,328 35 220 203 61 9.31 9.64 87 0.164 0.193 10 2,563 2,138 36 198 183 62 8.12 8.44 88 0.137 0.163 11 2,354 1,964 37 177 165 63 7.07 7.38 89 0.115 0.137 12 2,144 1,802 38 159 148 64 6.15 6.45 90 0.0955 0.114 13 1,958 1,652 39 142 133 65 5.34 5.63 91 0.0795 0.0958 14 1,787 1,514 40 127 119 66 4.63 4.90 92 0.0660 0.0800 15 1,630 1,387 41 113 107 67 4.01 4.27 93 0.0547 0.0667 16 1,486 1,269 42 101 95.7 68 3.47 3.71 94 0.0453 0.0555 17 1,353 1,160 43 89.8 85.7 69 2.99 3.22 95 0.0373 0.0460 18 1,231 1,060 44 79.9 76.6 70 2.58 2.79 96 0.0308 0.0381 19 1,120 968 45 71.1 68.4 71 2.22 2.42 97 0.0253 0.0315 20 1,018 883 46 63.1 61.0 72 1.91 2.09 98 0.0207 0.0260 21 925 805 47 56.0 54.3 73 1.64 1.80 99 0.0170 0.0214 22 839 734 48 49.6 48.4 74 1.41 1.55 100 0.0137 0.0176 23 761 668 49 43.9 43.0 75 1.20 1.33 24 690 608 50 38.8 38.2 76 1.03 1.15 25 624 552 51 34.3 33.9 77 0.878 0.983 （注）33℃以下は霜点と考えられる （氷の蒸気圧より算出） ［Note］33℃ or lower is considered the frost point (calculated from vapor pressure of ice). 周期律表 1 周期/族 1 2 3 1 6.938∼ 6.997 6 7 8 原子番号 9 10 11 12 14 15 16 17 元素記号 Atomic number 18 族/周期 2 He ヘリウム 1 4.002602 Symbol of Elements 5 B 6 C 7 N 8 O 9 F 10 Ne ネオン ホウ素 炭素 酸素 窒素 フッ素 元素名 Name of Elements 9.012182 13 10.806∼ 10.821 原子量 12.0096∼ 12.0116 14.00643∼ 14.00728 15.99903∼ 15.99977 18.9984032 20.1797 13 Al 14 Si 15 P 16 S 17 Cl 18 Ar リン 硫黄 塩素 アルゴン アルミニウム ケイ素 Atomic weight 24.3050 26.9815386 28.084∼ 28.086 30.973762 32.059∼ 32.076 35.446∼ 35.457 39.948 19 K 20 Ca 21 Sc 22 Ti 23 V 24 Cr 25 Mn 26 Fe 27 Co 28 Ni 29 Cu 30 Zn 31 Ga 32 Ge 33 As 34 Se 35 Br 36 Kr 鉄 コバルト ニッケル 銅 亜鉛 カリウム カルシウム スカンジウム チタン バナジウム クロム マンガン ガリウム ゲルマニウム ヒ素 セレン 臭素 クリプトン 40.078 44.955912 47.867 50.9415 51.9961 54.938045 55.845 58.933195 58.6934 63.546 65.38 69.723 72.63 74.92160 78.96 79.904 83.798 37 Rb 38 Sr 39 Y 40 Zr 41 Nb 42 Mo 43 Tc 44 Ru 45 Rh 46 Pd 47 Ag 48 Cd 49 In 50 Sn 51 Sb 52 Te 53 I 54 Xe ルビジウム ストロンチウム イットリウム ジルコニウム ニオブ モリブデン テクネチウム ルテニウム ロジウム パラジウム カドミウム インジウム スズ アンチモン テルル 銀 ヨウ素 キセノン 87.62 88.90585 91.224 92.90638 95.96 （99） 101.07 102.90550 106.42 107.8682 112.411 114.818 118.710 121.760 127.60 126.90447 131.293 55 Cs 56 Ba 57∼71 72 Hf 73 Ta 74 W 75 Re 76 Os 77 Ir 78 Pt 79 Au 80 Hg 81 Tl 82 Pb 83 Bi 84 Po 85 At 86 Rn セシウム バリウム ランタノイド ハフニウム タンタル タングステン レニウム オスミウム イリジウム 白金 金 水銀 タリウム 鉛 ビスマス ポロニウム アスタチン ラドン 137.327 178.49 180.94788 183.84 186.207 190.23 192.217 195.084 196.966569 200.59 204.382∼ 204.385 207.2 208.98040 （210） （210） （222） 87 Fr 88 Ra 89∼103 104 Rf 105 Db 106 Sg 107 Bh 108 Hs 109 Mt 110 Ds 111 Rg 112 Cn 113 Uut 114 Fl 115 Uup 116 Lv 117 Uus 118 Uuo フランシウム ラジウム アクチノイド ラザホージウム ドブニウム シーボーギウム ボーリウム ハッシウム マイトネリウム ダームスタチウム レントゲニウム コペルニシウム ウンウントリウム フレロビウム ウンウンベンチウム リバモリウム ウンウンセプチウム ウンウンオクチウム （223） 21 5 11 Na 12 Mg ナトリウム マグネシウム 132.9054519 7 4 3 Li 4 Be リチウム ベリリウム 85.4678 6 3 1.00784∼ 1.00811 39.0983 5 2 H 水素 22.98976928 4 Periodic Table （226） （267） （268） （271） （272） （277） （276） （281） （280） （285） （284） （289） （288） （293） （294） （294） 2 3 4 5 6 7 免責条項 Disclaimer （1） このカタログ（および情報） は、単なる宣伝および例証のみを目的に提供されているものであり、製品等に関して、 いかなる約束、説明または保証 するものではありません。本カタログ情報は、断りなく変更されるものである点をご了承ください。 （2）製品に関するすべての説明および保証は、別途、売買・サービス契約において規定されます。本カタログは契約の一部とはなりません。 （3）製品または本カタログに関するあらゆるお問い合わせは、下記までお問い合わせください。 （1）This brochure (and the information contained herein) is provided solely for promotional and illustrative purposes only and is not intended to constitute any promise, representation or any kind of warranty as to any product or any other matter. The information in this brochure is subject to change without notice and is not intended to be relied upon. （2）All representations and warranties relating to products are set out exhaustively in the relevant contract of sale or service, and nothing in this brochure shall be construed as adding to or altering any term of such contract. （3）Please refer all enquiries concerning any product or this brochure to SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD. 知的財産権に関するお知らせ Intellectual Property Right Notice 住友精化およびその製品、 または第三者および第三者の製品を表した名称、 イメージおよびロゴは、住友精化、 および／または当該第三者の著作権、 デザイン権および商標権に従います。本カタログの全部もしくは一部は、予め、住友精化、 または当該第三者の知的財産権者の事前の書面了解を得る ことなく、複製、頒布、脚色、修正、再版、展示、放送または送信、 もしくは、 いかなる方法であれ、情報検索システムに保存することはできません。 The names, images and logos indentifying SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD., and its products, or third parties and their products are subject to copyright, design rights and trade marks of SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD., and/or any such third parties. No part or parts of this brochure may be reproduced, distributed, adapted, modified, republished, displayed, broadcast or transmitted in any manner or by any means or stored in any information retrieval system without the prior written permission of SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD., or the relevant third party intellectual property right(s) owner. 22 ガス事業部 GASES DIVISION 本 社 （大阪） 〒541-0041 大阪市中央区北浜4丁目5番33号 （住友ビル） HEAD OFFICE: TEL.06-6220-8555 FAX.06-6220-7863 (OSAKA) 本 社 （東京） 〒102-0073 東京都千代田区九段北1丁目13番5号 （ヒューリック九段ビル） TEL.03-3230-8577 FAX.03-3230-8528 半導体用ガス製造工場 別 府 （兵庫） 〒675-0145 兵庫県加古郡播磨町宮西346番地の1 業務室(受注） TEL.079-437-2123 FAX.079-437-2143 千 葉 〒276-0022 千葉県八千代市上高野1384番地の1 海外関係会社 台湾住精科技 （股） 有限公司 本社事務所 新竹縣竹北市光明六路東一段255号13F TEL.886-3-657-8811 FAX.886-3-657-8822 住精ケミカル株式会社 ソウル事務所 ソウル特別市江南区テヘラン路81ギル 裕林ビル6階 TEL.82-2-561-7091 FAX.82-2-561-7095 住友精化貿易 （上海） 有限公司 上海市長寧区江蘇路369号 兆豊世貿大厦23-H TEL.86-21-5230-9863 FAX.86-21-5230-9953 住精科技 （揚州） 有限公司 江蘇省儀征市青山鎮創業路9-9 TEL.86-514-8321-1200 FAX.86-514-8321-1201 (TOKYO) The Sumitomo Bldg., 5-33, 4-Chome Kitahama, Chuo-ku, Osaka, 541-0041, Japan TEL:+81-6-6220-8555 FAX:+81-6-6220-7863 Hulic Kudan Bldg., 13-5, 1-Chome Kudankita, Chiyoda-ku, Tokyo, 102-0073, Japan TEL:+81-3-3230-8577 FAX:+81-3-3230-8528 ELECTRONIC GASES PLANTS: (BEFU) 346-1 Miyanishi, Harima-cho, Kako-gun, Hyogo 675-0145, Japan Logistic Center (Orders Received) TEL:+81-79-437-2123 FAX:+81-79-437-2143 (CHIBA) 1384-1 Kamikoya, Yachiyo City, Chiba 276-0022, Japan GLOBAL NETWORK Sumisei Taiwan Technology Head Office: 13F., No.255, Dong Sec. 1, Guangming 6th Rd., Zhubei City, Hsinchu County 302, Taiwan R.O.C. TEL.+886-3-657-8811 FAX.+886-3-657-8822 Sumisei Chemical Company Limited Seoul Office: Yoo-Lim building 6th floor, 26, Teheran-ro 81-gil, Gangnam-gu,Seoul,Korea TEL.+82-2-561-7091 FAX.+82-2-561-7095 Sumitomo Seika Trading (Shanghai) Co., Ltd. 23-H, Zhao Feng World Trade Building, 369, Jiang Su Road,Shanghai, Changning, China TEL.+86-21-5230-9863 FAX.+86-21-5230-9953 ホームページアドレス http://www.sumitomoseika.co.jp/g-e/ Sumisei Technology (Yangzhou) Co.,Ltd. No.9 Venture Road, Qingshan Town, Yizheng City, Jiangsu Province, China TEL.+86-514-8321-1200 FAX.+86-514-8321-1201 登録番号 GA-G 1501 付与年月日 2015.03.19
© Copyright 2024 Paperzz
