128 Light Sources テクニカルノート 光源用多段フィルタホルダ Multiple Filter Holders for Light Sources A 有効 開口 直径 1.7 光源システム (43) メス型 フランジ モデル 1.5 INCH 62020 オス型 フランジ 2 INCH 1/4-20 タップ穴 B 6215 3 INCH 6216 A B 1.5 1.37 • 正方形または円形フィルタ用の安価なホルダ 1.8 1.37 • さまざまなフィルタを一体に保持 (38) (46) 2.8 (71) (35) (35) 2.0 (51) 白熱光源 アーク光源 多段フィルタホルダ 光路を囲う必要がない場合は、光路を囲うモデルの安価な代用品とし てこのホルダをご利用いただけます。このフィルタホルダは開放型で すので、フィルタを容易に操作することができることに加え、合計の 厚さが最大許容厚さを越えない限り同時にさまざまなフィルタを挿入 することもできます。サムホイールでフィルタを適切な位置に固定し ます。3シリーズフランジサイズをご用意しております。 WEB 発注のご案内 モデル 内容 62020 1.5インチシリーズ、最大厚さ2 x 0.75 in、有効開口1.5 in 6215 2インチシリーズ、最大厚さ2 x 0.75 in、有効開口1.8 in 6216 3インチシリーズ、最大厚さ3 x 0.75 in、有効開口2.8 in 詳細は当社のWebサイトを 参照してください。 Aspherabレンズアッセンブリ 校正用光源 Aspherab Lens Assemblies • ごくわずかな球面収差で高効率に集光 光源アクセサリ フォトリソグラフィー機器 ファイバー出力光源 • 大きな平行ビームまたは小さく明るいフォーカススポットを生成 • アークランプによるサーマルショックおよび高出力ビームに対する 高い耐久性 • 200 nmまで透過するフューズドシリカモデル 66112ベンチマウントに搭載した66061 Aspherab 球面収差がごくわずかで高効率に集光できることが弊社のAspherab集光レンズの特徴です。AspherabTMは、広帯域にわたる高 出力光のコリメートまたは再結像に使用できるようにコンピュータ 設計された4エレメントレンズアッセンブリです。弊社のAspherab を構成する個々のレンズエレメントは空気で隔てられていますので、 エポキシ樹脂に起因する取り扱いパワー制限およびスペクトル制限 がありません。 コンピュータ設計でごくわずかな収差 AspherabsTMは、集めた光をコリメートする3つの正エレメント、お よび、正エレメントの球面収差を打ち消す1つの負エレメントの合 計4エレメントで構成されています。これらのエレメントは、直径 3/4インチ（86 mm）のレンズバレルに収容されています。アッセ ンブリの有効開口は、ほぼすべて2.7インチ（69 mm）となってい ます。レンズホルダのリアプレートはセラミック製ですので、1000 Wにおよぶアークランプクオーツタングステンハロゲンランプの高 温に耐えることができます。 定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください 129 Light Sources A B C 250 mm D D (a)のスポットサイズ レンズ A 理想的なレンズ B (b)のスポットサイズ 0.4 mm ASPHERAB 0.03 mm 0.6 mm C 最適性能に設計した2レンズ式 集光レンズ 1.5 mm 10 mm D 標準的な2レンズ式集光レンズ 10 mm 40 mm 図1. レンズシステムの2つの利用例。(a)は、理想的な平行ビームをスポットにフォーカスした場合です。(b)は、点光源から集めた光を焦点距離250 mmのレンズを使用して フォーカスした場合です。スポットサイズが最小となる平面を示しています。 アーク光源 0 ® A 光源システム C B テクニカルノート 近軸焦点面 (b) コリメート光 (a) フォーカス光 使用するAspherab 表1. Aspherab集光レンズ 材質 スペクトル範囲 (nm) 対応ランプ ランプ電球最大直径 (mm) F/0.7 ホウケイ酸クラウンガラス 350 - 2500 300 WまでのアークおよびQTHランプ 39 66062 F/0.7 ホウケイ酸クラウンガラスおよび フューズドシリカ 350 - 2500 1000 Wまでのアークおよび QTHランプ 39 66063 F/0.7 フューズドシリカ 200 - 2500 1000 WまでのアークおよびQTHランプ 35* 66099 F/1.4 フューズドシリカ 200 - 2500 1000 WまでのアークおよびQTHランプ 46* Aspherab *300 nmより短波長ではフューズドシリカの屈折率が急激に大きくなりますので、波長が短くなるとフューズドシリカレンズの焦点距離はかなり短くなります。そのた め、直径>35 mmのランプ電球を使用した場合、300 nmより短波長の光を66063 Aspherab®で平行ビームにすることはできません。レンズをランプに十分に近づけるこ とができないからです。バックフォーカスの長い66099を使用すれば、直径>35 mmの電球と組み合わせて使用することができます。 A 集光レンズ Fナンバー 66061 F/0.7 焦点距離 1.98 in. (50.3 mm) バックフォーカス 24.4 66062 F/0.7 2.03 in. (51.7 mm) 66063 F/0.7 2.04 in. (51.9 mm) 66099 F/1.4 2.05 in. (52.1 mm) B 範囲 (最小から最大) ワーキングディスタンス (最小から最大)* (mm) (mm) 26.1 - 45.15 16.4 - 35.45 25.3 27.1 - 46.05 17.3 - 36.35 25.6 27.4 - 46.45 17.6 - 36.65 27.6 29.4 - 48.45 19.6 - 38.65 *図2に示す寸法。最小 = レンズを後退、最大 = レンズを伸張 モデル 66112 仕様 Aspherabベンチマウント WEB 詳細は当社のWebサイトを 参照してください。 フォトリソグラフィー機器 モデル (メトリック 仕様) ファイバー出力光源 発注のご案内 校正用光源 Fナンバー 66061 白熱光源 レンズエレメントの材質および焦点距離に違いのある4モデルのAspherabを提供しています。表2に各モデルが示されています。Newport社の Oriel® ランプハウジングでAspherab® を使用する場合、ランプの電球直径およびワット数を考慮する必要があります。 光源アクセサリ 定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください Light Sources テクニカルノート 130 フォーカススリーブ 可動範囲 0.75 (19) (B) ワーキング ディスタンス 1.25 (32) x 0.25 (6) メ トリック仕様スロット (2箇所) 4.8 (122) 4.0 1.25 (32) x 0.27 (7) インチ仕様スロット (2箇所) (102) 5.62 (143) 0.75 光源システム 0.94 (24) x 0.21 (5) スロット (2箇所) 4.0 (19) 3.9 (102) (99) 0.63 光学軸高さ 最大4.25 (108) 最小3.5 (89) A (16) (44) 4.0 (B) ワーキング ディスタンス アーク光源 3.9 (98) 1.75 (102) 5.5 (140) 有効開口 1.65 白熱光源 (42) (A) フォーカス スリーブ 可動範囲 0.75 バック フォーカス (19) ビームターニングアッセンブリ Beam Turning Assemblies 光源アクセサリ フォトリソグラフィー機器 ファイバー出力光源 校正用光源 図2. Aspherab集光レンズアッセンブリおよび66112 Aspherabベンチマウントの寸法図 • DUVモデル • ビームを任意方向に90°方向転換 • UV－VISまで反射、赤外光を遮断 • ミラー交換が容易 250 Wリサーチランプハウジングの出射口に搭載したダイクロイックビームターナ このビームターナは、Oriel®光源の出射ビームを、コリメーションに 影響を与えることなく任意方向に90°「方向転換」させます。図1に一 例を示しています。ランプの出射光をすべて反射することも可能です が、UVおよび可視スペクトル内の選択範囲のみを反射させることも できます。特に、ワット数の大きな弊社のクオーツタングステンハロ ゲン光源およびアーク光源を使用する場合など、赤外光の影響が問題 になるような用途で有用です。このビームターナは、ミラーおよびミ ラーホルダの2部品で構成されています。各部品は別々に販売されて いますので、ミラー交換が可能です。 安全にご使用いただくために ミラーハウジングの外側、特にヒートシンクのフィンは非常に高 温になります。ワット数の大きな弊社の光源を使用する場合には 特に高温となります。これらの光源近くで作業される場合には注 意が必要となります。 定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
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