三菱化学の 株式会社 ダイアインスツルメンツ ■本社・工場■ 神奈川県茅ヶ崎市円蔵370(〒253-0084) TEL 0467(85)4481 FAX 0467(86)0736 抵抗率計シリーズ ■営業オフィス■ ●東日本営業部 神奈川県茅ヶ崎市円蔵370(〒253-0084) TEL 0467(86)3703 FAX 0467(86)0736 ラインアップカタログ ●西日本営業部 大阪オフィス 大阪市中央区伏見町4-1-1 明治安田生命大阪御堂筋ビル7階(〒541-0044) TEL 06(6204)8438 FAX 06(6204)8439 ●西日本営業部 中部オフィス 名古屋市中村区名駅3-28-12 大名古屋ビル(〒450-0002) TEL 052(565)3552 FAX 052(565)3531 ●西日本営業部 九州オフィス 北九州市八幡西区黒崎城石1-2 TEL 093(643)4410 花尾ビル(〒806-0004) FAX 093(643)4410 ●海外営業部 神奈川県茅ヶ崎市円蔵370(〒253-0084 ) TEL 0467(86)3864 FAX 0467(86)3862 予告なく、外観あるいは仕様の一部を改善のために、変更することがあります。 お問い合せ先 0408-LP.3000US 抵抗率 〔Ω・cm〕 〔 、Ω/ 〕 の測定は更に進化する [1]抵抗と抵抗率 〜より厳密な材料の管理を求めて〜 三菱化学の抵抗率計・システム機器は、30年以上にわたる、プラスチックを原点とした 科学技術の発達とともに、研究開発はもちろん、生産技術、品質管理の分野で、ますます厳密な高い精度の材料の管理が、 短時間で、簡単にできることが求められるようになりました。一方これまで材料のさまざまな状態・性質を示す指標とし 素材、商品の提供のプロセスにおける材料開発技術、応用技術の蓄積、評価技術の結集 て、抵抗値が広く利用されてきました。しかし、抵抗値R〔Ω〕そのものは、材料の形状、サイズ、測定位置等で変わるため、 から生み出された独自の製品です。 いま材料に固有の値である体積抵抗率ρv〔Ω・cm〕や表面抵抗率ρs〔Ω/□〕がそれに変わるものとして次第に広く利用さ 弊社は、ますます高度化するエレクトロニクス技術を背景に、研究開発、生産技術、品 質管理等のさまざまな分野における「抵抗から抵抗率へ」という、ご利用者のご要望に高 い精度と信頼性でお応えしてまいりました。その根底には、 お客さまとの充分なコミュニケーションにより、 真に必要な測定機器・システム機器を ローコストで素早いレスポンスによる れるようになっています。時代は抵抗〔Ω〕の測定から抵抗率〔Ω・cm〕 〔 、Ω/□〕の測定へと移行しています。 簡単に言ってしまえば、抵抗率は、測定した抵抗値〔Ω〕に抵抗率補正係数RCFを乗じて算出します。状況により変わる 補正係数を、種々の試料、測定に合わせて計算することは、意外なほど、手間と時間を必要とします。三菱化学がお届けす る全ての抵抗率計・システム機器は、材料に固有の抵抗率を短時間に、簡単に測ることを目指すものです。 ●抵抗値は変わる。しかし、抵抗率は材料固有の絶対値 「金」を測定すると… 小 さ く す る と 1m 短い開発期間で お届けするという姿勢を常に持ち続けたいという願いがあります。 1m 今後、さらに使いやすい抵抗率計、広いアプリケーションを有するシステム機器を皆さ 1cm まのお手元にお届けし続けたいと念願しております。 抵抗率計・システム機器に対する忌憚ないご意見を是非ともお寄せくださるようお願い 薄 く す る と 1m 1cm 1m 申し上げます。 1m 1cm 1μm < 2.4×10 Ω < 2.4×10 Ω 2.4×10 −8Ω 抵抗値 −6 大きくなる 三菱化学の抵抗率計シリーズ ラインアップカタログ 体積抵抗率 −2 さらに大きくなる 2.4×10 −6Ω・cm = 2.4×10 −6Ω・cm = 2.4×10 −6Ω・cm CONTENTS 変わらない Ω [1]抵抗と抵抗率 ………………………………………………………………………2 変わらない どちらで評価しますか? Ω・cm [2]抵抗と抵抗率の関係(MCCメソッド) ……………………………………………3 [3]抵抗と抵抗率の関係(従来法)……………………………………………………4 「抵抗率」 は、世の中全ての材料を区別するための、簡単な指標 (単位;Ω・cm) [4]低抵抗と高抵抗 ……………………………………………………………………4 導体 [5]低抵抗・低抵抗率の測定 …………………………………………………………5 [6]高抵抗・高抵抗率の測定 …………………………………………………………6 10 −6 10 −5 10 −4 半導体 10 −3 10 −2 10 −1 10 0 10 1 10 2 10 3 10 絶縁体 4 10 5 10 6 10 7 10 8 10 9 10 11 10 10 12 10 13 10 14 10 15 10 16 10 17 10 18 10 [7]低抵抗率計ロレスタシリーズ関連商品一覧 …………………………………7 ← ← ← ← ← ← ← 1 ← 価格一覧 …………………………………14 ← [12]三菱化学抵抗率計シリーズ ← [11]ポータブル低抵抗計ロレスタ-FP(旧タイプ)関連商品一覧 …………13 ← [10]高抵抗率計ハイレスタ-IP(旧タイプ)関連商品一覧 …………………12 ← [9]測定システム …………………………………………………………………11 ← [8]高抵抗率計ハイレスタ-UP関連商品一覧 ……………………………………9 銀 ・ 銅 ・ 金 ス ズ ・ 鉛 ビ ス マ ス 方 鉛 鉱 黄 鉄 鉱 ゲ ル マ ニ ュ ウ ム シ リ コ ン 亜 鉛 化 銅 ・ セ レ ン ベ ー ク ラ イ ト 大 理 石 ダ イ ヤ モ ン ド ・ 雲 母 並 ガ ラ ス 石 英 ガ ラ ス ロレスタシリーズ ハイレスタシリーズ 2 抵抗率〔Ω・cm〕 、 〔Ω/ 〕の測定は更に進化する ※導電率(Conductivity) ;略号σ [2]抵抗と抵抗率の関係(MCCメソッド) 〜抵抗率補正係数RCFが鍵〜 体積抵抗率の逆数で、電気伝導率、電導率と呼ばれることもあります。 Ⅴ ●抵抗(Resistance) ;略号R Ⅰ Ⅰ 電流1 〔A〕が流れると、物質の持つ電気抵抗のため、電流の 入口と出口の間に電位差5 〔V〕が生じます。この関係を数 試料 2 1 式で表わしたものが、有名なオームの法則です。 導電率σ〔S/cm〕= 単位は〔S/cm〕で、 「ジーメンス・パー・センチメートル」と読みます。 4 3 1 ρv [3]抵抗と抵抗率の関係(従来法) %〔V〕 抵抗R〔Ω〕 = !〔A〕 基板 厚み t ●体積抵抗率(Volume resistivity) ;略号ρv 測定する試料の単位体積当りの抵抗を表わします。 V 〜抵抗率は材料に固有の値〜 %〔V〕 抵抗R〔Ω〕 = !〔A〕 電流 I 体積抵抗率ρv〔Ω・cm〕 =R〔Ω〕× w r 体積抵抗率ρv〔Ω・cm〕 =R〔Ω〕 ×RCF× 〔 t cm〕 JIS K 6911に正式に採用されている用語で、体積固有抵抗 (Volume resistivity) 、比抵 (Specificresistance) 、抵抗率 電位差 表面抵抗率ρs〔Ω/ 〕 =R〔Ω〕× w r ×t =ρv× 1 t 厚み t (Resistivity) と呼ばれることもあります。 全面に電極を付けます。 体積固有抵抗は材料分野、比抵抗は電気分野、そして抵抗率は物理分野で使われることが多いようです。単位は 〔Ω・cm〕 で、 「オーム・センチメートル」 と読みます。1つの材料に対して、 1つしかない材料固有の値です。 6 〜10 Ωが境界領域〜 ●表面抵抗率(Surface resistivity) ;略号ρs 試料の単位表面積当りの抵抗を表わします。 表面抵抗率ρs〔Ω/ 材料の抵抗は非常に広い範囲にまたがり、測定法の違いから、低抵抗と高抵抗に分けられます。測定法や規格等は以下 1 〕 =R〔Ω〕 ×RCF=ρv× のようになっています。 t JIS K 6911に正式に採用されている用語で、 シート抵抗 (Sheet resistance) と呼ばれることもあります。 正式には、 単位 は 〔Ω〕 ですが、 単なる抵抗と区別するため、 〔Ω/□〕 あるは 〔Ω/sq・〕 と書かれます ( 「オーム・パー・スクエア」 と読みます) 。 ●低抵抗と高抵抗 試料の厚みによって変わる値のため、 塗膜、 薄膜等の分野でよく使われ、 逆に厚みの指標となります。 低抵抗領域 ●抵抗率補正係数(Resistivity Correction Factor) ;略号RCF 抵抗率補正係数は、試料の形状や寸法及び測定する位置により変化します。 四探針法による測定では、試料サイズ、測定位置が任意のため、試料内部に広がった電界エネルギーが試料の大きさ、測 値は高くなります。これは、電界エネルギーが試料の外にでられないためです。この電界エネルギーの密度の変化分を見越 測定法 定電流印加法 (試料に一定の電流を流す) 定電圧印加法 (試料に一定の電圧を加える) 特徴 四端子法 二重リング法 精密な測定 再現性を優先 JIS K 7194 ※このMCCメソッドによる抵抗率測定法は、94年12月JIS規格(JIS K 7194) として制定されました。 JIS R 1637 関連規格 ISO 2878 SRIS 2304 SRIS 2301 2 φ(r)=2ρv[ I δ(r−rD)−δ(r−rA)] { { C { { B C B C B B B C C C C 測定対象 導電性塗料、ペースト、インキ 金属系薄膜、ITOガラス、フィルム A A D D MCCメソッド 参考 ξ= 3 導電性ゴム、プラスチック D ∞ B 静電気対策材料、建材、床材、包装材料 ゴム、プラスチック、塗料、繊維、紙 セラミック、 コンクリート 電磁波シールド材料 D D A { { C ∞ n=1 × cos (ξxA) cosh ξ yA− b 2 − cos (ξxC) cosh ξ yC+ b 2 B B ASTM D 257 ASTM D 991 ( ) ( ) ( ) { − { cos (ξx ) cosh ξ( y − b2 ) − cos (ξx ) cosh ξ( y − b2 ) × cos (ξx ) cosh ξ( y + b2 ) 2 × +Σ cosh η( y + b ) − cosh η( y + b ) × cosh η( y − b ) aηsin h (bη) { 2 2 2 − { cosh η( y − b2 ) − cosh η( y − b2 ) × cosh η( y + b2 ) 4 × cos (ξx ) cosh ζ( y + b ) − cos (ξx ) cosh ζ( y + b ) +Σ Σ × cos (ξx ) cosh ζ( y − b ) aζsin h (bζ) { 2 2 2 b b b y − { cos (ξx ) cosh ζ( y − 2 ) − cos (ξx ) cosh ζ( y − 2 ) × cos (ξx ) cosh ζ( + 2 ) cos (ξxB) cosh ξ yB+ b 2 JIS K 6911 ISO 2951 ISO 1853 ポアソン(Poisson) の式 ∞ 6 10 Ω以上 という電磁気学で使う2点間の電位を求める式を厳密に解くことにより求められます。 m=1 n=1 6 10 Ω以下 して正しい体積抵抗率、表面抵抗率を求めるために、抵抗率補正係数が用いられます。この係数は以下に示すポアソンの式 ∞ y −y 2 RCF = B a C + Σ m=1 a ξsin h (bξ) 高抵抗領域 範囲 定位置により変化します。試料サイズが小さいときや、測定位置が試料の端になると電界エネルギーの密度が高くなり、抵抗 -1 w [4]低抵抗と高抵抗 mπ a nπ t ζ=(ξ2+η2 ) 1 四端子四探針方式 二重リング方式 ロレスタ-GP、EP JIS K 7194準拠 ハイレスタ-UP JIS K 6911準拠 テスター、デジタルマルチメーター 2 4 アナログ/デジタル絶縁計 抵抗率 〔Ω・cm〕 〔 、Ω/ 〕 の測定は更に進化する [5]低抵抗・低抵抗率の測定 [6]高抵抗・高抵抗率の測定 〜三菱化学の低抵抗率計は、四端子四探針法でワンタッチ測定〜 〜ハイレスタ専用MCPプロープで〔Ω〕、 〔Ω・cm〕 、 〔Ω/□〕をワンタッチ測定〜 サンプルの端や小さいサンプルを測定した場合、品質は安定しているはずなのに、測定値が大きくなるといったご経験 表面抵抗率の測定では、試料の表面に電極(プローブ)を押し当て、表面を流れてくる電流を検出します。 [ JIS K はありませんか。三菱化学の低抵抗率計は、このような影響とは無関係な正しい評価を可能にしました。それが世界唯一 6911-1995]では、試料の下に電極(ガード電極という)を置くことにより、試料の厚み方向に回り込んだ電流をグランド の四探針理論を搭載し、スプリングコンタクト方式のMCPプロープを採用、押し付け圧力、ピン間距離、接触面積の一定化 に流し、純粋に表面を流れる電流のみを測定します。 を実現し、接触抵抗、リード線の抵抗、コネクター部の抵抗を排除した測定を行う低抵抗率計ロレスタシリーズです。抵抗、 表面抵抗率、体積抵抗率の測定がワンタッチでできる高精度な低抵抗率計としてご利用ください。 但し、紙、フィルムの様に薄い試料の場合には、電流のほとんどが試料表面のリング電極間よりも下側の金属電極側に流 れてしまうことがあり、測定できないことがあります。これは試料の厚みが薄いほど、また、測定印加電圧が高くなるほど 発生し易くなります。この様なときには、 [レジテーブルUFL]のテフロン面側で測定すれば、安定に測定できます。 また、絶縁基板上(ガラス、セラミック、プラスチック等)に形成された薄膜試料は、試料の上からプローブを押し当てる ●電極の取付け法(従来法) ●四探針法による電界の模式図 電界エネルギー だけの方法[MCC-B法]でも測定できます。 体積抵抗率は、試料の上下に電極を置き、試料の内部を流れる電流を測定することにより求められます。この時、リング 電界エネルギー 電極プローブの外側電極がガード電極となり、検出電極(内側電極)より外側を通過した電流をグランドに流します。 [レジ テーブルUFL] と [スイッチボックスUタイプ]を組み合わせた[MCC-A法] [ 、JボックスUタイプ]を用いたJIS法の2通りの 方法で測定できます。 ●JIS法とMCCメソッド 項目 二端子法 試料中央付近 四端子法 MCCメソッド JIS法 (JIS K 6911) MCC-A JボックスUタイプ 試料端付近 0.25 抵抗率 項目 四探針法 四端子法 サンプルの加工 特になし 棒状に加工 電極の取付け プローブを押し当てるだけ ペースト等で電極作製 測定装置 ロレスタシリーズ デジタルマルチメータ 二端子法 四端子法 0.3 金属面又は テフロン面 表面 ●四探針法と四端子法 (従来法) の比較 ※裏面電極なし サンプル 表面電極 ●測定法による抵抗値の比較 MCC-B サンプル 裏面電極 ガード電極 レジテーブルUFL (Ω) 0.2 (リード線の抵抗) 0.15 棒状のみ可能 ワンタッチで抵抗率を表示 測定後、計算が必要 抵抗率 応用 抵抗率分布、膜厚の評価 − 総合評価 簡便に、精度よく測れる 準備に時間がかかる 抵抗率への換算 (コネクタの抵抗) 0.1 0.05 0 円形、長方形に対応 ガード 電極 表面電極 体積 サンプル 金属面 裏面電極 レジテーブルUFL (N) (接触抵抗:プローブのピンと試料との間の抵抗) ●補正係数 表面抵抗率の測定 プローブタイプ ●抵抗率測定における位置、サンプルサイズ、厚みの影響 サンプルサイズの影響 測定位置の影響 A A サンプル:等方性のグラファイト サイズ:7cm×7cm ITO FILM 1200 試料 サンプルの厚みの影響 1000 600 1×10 9× 8× 7× 800 体積抵抗率の測定 A ガード電極 6× 抵抗率(Ω・㎝) シート抵抗(Ω/□) シート抵抗(Ω/□) 700 -2 600 B 400 d 1 RCF(S) (cm) 9.065 B 0 5 10 0 0.3 URS 1.1 0.59 10.09 0.273 UR 3.0 1.6 10.00 2.011 5.32 5.0 ASTM/JIS 7.0 5.0 UA − − 4× 試料 3× ρs=R×RCF(S) B 1×10-3 1 2 3 4 5 100 19.63 0 幅 10 20 30 40 厚 み 50 − 1.050 t πd 1 2 4 60 mm ※抵抗率補正係数RCFを一定(4.532)とした場合のグラフは○ A です。RCFを各々の測定条件について算出した場合のグラフは○ B となります。 5 19.63 18.85 1 ρv=R×RCF(V)× RCF(S)= RCF(V)= Rn(d 2 /d 1) 15 15㎝ 2π d2 6 幅(㎝) 3㎝ 0.071 0.6 200 400 RCF(V) 5× 2× 500 (cm) 2 UR-SS UR-100 ガード電極 800 d d1 t:試料の厚さ RCF(S) :抵抗率補正係数 RCF :体積抵抗率計算係数 (V) 6 抵抗率 〔Ω・cm〕 〔 、Ω/ 〕 の測定は更に進化する データ処理 低抵抗率計 [7]低抵抗率計ロレスタシリーズ 関連商品一覧 〜豊富なラインアップから、研究開発、生産技術、品質管理の低抵抗率測定に〜 <データ整理に> 安定した高品質を維持する、世界唯一の四 探針理論による高精度抵抗率計 ロレスタ 四探針プローブ Windows95、98、2000、Xp 低抵抗領域の測定をサンプル形状に合わせ高精度、安定的に実現する四探針プローブ ASPプローブ W35×L20×H35mm ピン間5mm ESPプローブ ハイパーターミナルでのデータ取り込み例 LSPプローブ ロレスタ-GP ●利用価値の広い標準プローブ JISK7194対応 ピン間5mm ピン先0.37R×4本 バネ圧210g/本 ●不均一なサンプル用 ピン間5mm ピン先φ2×4本 バネ圧240g/本 ●柔らかいサンプル ピン間5mm ピン先 球2×4本 バネ圧130g/本 MCP-TP03P ¥71,500 MCP-TP08P ¥71,500 MCP-TPLSP ¥82,500 <外部よりロレスタを制御> <測定レンジ9.999×10-3〜9.999×107Ω> ロレスタ-GP 単体使用はもちろんシステム構築に、 JIS K 7194準拠のインテリジェント型 QPPプローブ BSPプローブ MCP-T610 PC 専用コマンドを用意 ※注意 ロレスターEPは外部より制御できません 生産技術、品質管理、研究開発に PSPプローブ PC ¥695,000 RS232Cケーブル MCP-RSK (25-25ピン) MCP-RSK/V(9-25ピン) MCP-RSK/E (9-9ピン) パソコン 各¥15,000 ※ケーブルの選定についてはご相談ください。 φ10〜12×L112mm 特殊用途用プローブ ●小さいサンプル又は薄膜用 ピン間1.5mm ピン先0.26R×4 本 バネ圧70g/本 ●微小サンプル用 ピン間1.5mm ピン先0.26R×4 本 バネ圧70g/本 ●大きいサンプル用 ピン間2.2mm ピン先0.37R×4 本 バネ圧210g/本 MCP-TP06P ¥71,500 MCP-TPQPP ¥71,500 MCP-TP05P ¥71,500 NSCPプローブ フットスイッチ MCP-FS01 ¥13,200 ※ロレスタ-EP及び旧タイプには接続でき ませんのでご了承ください。 ロレスタ-EP TFPプローブ <測定レンジ1.999×10-2〜1.999×106Ω> 二探針プローブ及びチェッカー 簡単操作で、現場使用に便利なポータブル型 生産技術、品質管理に MCP-T360 ●シリコンウェハ用 ピン間1.0mm ピン先0.04R×4 本 バネ圧250g/本 ●シリコンウェハ又はガラス基板上の薄膜用 ピン間1.0mm ピン先0.15R×4 本 バネ圧50g/本 MCP-NSCP ¥214,500 MCP-TFP 旧タイプ ロレスタ-AP (MCP-T400) ロレスタ-SP (MCP-T500) ロレスタ-HP (MCP-T410) ロレスタ- IP (MCP-T250) ロレスタ-MP (MCP-T350) とプローブは共通です。 ¥214,500 プローブチェッカー 直列4ピン 1.0Ω BPプローブ ●標準タイプ ● 大きなサンプル用 ピン間10mm ピン先φ ピン先φ2×2本 2×2本 バネ圧240g/本 バネ圧240g/本 MCP-TPAP MCP-TPBP ¥71,500 ¥71,500 2ピン 1.0Ω ●AP・BPプローブ用 MCP-TRT1 ¥30,000 ※Aプローブ、Bプローブは直結できません。2ピン4ピン変換コネクターが必要です。 ロレスタ本体と四探針プローブの点検用 直列4ピン 1.0Ω APプローブ ¥250,000 直列4ピン 1.0Ω 専用の出力機 レジテーブルUFL W300×D200×H10mm 抵抗率の測定結果を簡便に得られる MCP-ST03 ¥66,000 ※ロレスタ-EP及び旧タイプには接 続できませんのでご了承くださ い。 専用プリンター MCP-PR02 ¥88,000 プローブチェッカーで、測定前に点検を ASP・ESP・LSPプローブ用 PSPプローブ用 MCP-TRF1 ¥30,000 MCP-TRPS ¥55,000 TFP・NSCPプローブ用 MCP-TRTF ¥55,000 プリンター用ロール紙 MCP-PR021 ¥15,000 (10本入) 7 ご注意: 低抵抗率領域の測定は、材料に一定電流を流す「定 電流方式」で行います。その際印加追従電圧が低 ロレスタ-GP ロレスタ-EP いと一定電流が流れず、測定できない場合があり -2 -1 90V 4.5V(10 〜10 Ωレンジ) ますのでご注意ください。 (例えば、カーボン粉、 0 6 (10 〜10 Ωレンジ) 10V 10Vリミッ ト付 金属繊維等を複合したプラスチックの場合等) 8 抵抗率 〔Ω・cm〕 〔 、Ω/ 〕 の測定は更に進化する 高抵抗率計 [8]高抵抗率計ハイレスタ-UP関連商品一覧 〜種々の試料形状に対応、広い測定レンジのスピーディーな測定に〜 専用MCPプローブ <測定レンジ9.99×104〜9.99×1013Ω> <データ整理に> JIS K 6911準 拠 の 測 定 は もちろん 、 ハイレスタ-UP JIS法以外の測定に広く対応する多用途型 高抵抗領域の測定をサンプルサイズ・形状に制限なく、再現性よく実現するリングタイプ URSプローブ リングタイプ データ処理 高抵抗率計 Windows95、98、2000、Xp ハイパーターミナルでのデータ取り込み例 URプローブ <外部よりハイレスタ-UPを制御> φ5.9 φ11.0 ●利用価値の広いリングプローブの 標準タイプ PC φ17.8 MCP-HTP14 ¥77,000 ハイレスタ-UP φ16 ●少し大きめのサンプル用 MCP-HTP12 ¥104,500 φ30 ハイレスタ-UP φ40 高精度な高抵抗領域の表面抵抗率、体積 専用コマンドを用意 RS232Cケーブル 抵抗率をシステマチックに測定 UR-SSプローブ UR-100プローブ PC MCP-RSK (25-25ピン) MCP-RSK/V(9-25ピン) 研究開発、生産技術、品質管理に MCP-HT450 ¥595,000 パソコン 各¥15,000 ※ケーブルの選定についてはご相談ください。 φ3.0 プローブ先端部 φ6.0 ●微小サンプル用 MCP-HTP15 ¥214,500 15 ●10 Ω/□までの測定用 φ10.0 MCP-HTP16 ¥198,000 φ50 φ53.2 φ57.2 JIS K 6911準拠 専用の出力機 抵抗率の測定結果を簡便に得られる UAプローブ 専用プリンター MCP-PR02 φ50 φ70 φ80 ¥88,000 JボックスUタイプ W165×D150×H95mm 2ピンタイプ W40 ×L30 ×H42mm プリンター用ロール紙 MCP-JB03 ¥264,000 MCP-PR021 ●細長いサンプル用 ¥15,000(10本入) ピン間20.0mm ピン先φ2×2本 バネ圧240g/本 MCP-HTP11 ¥104,500 プローブチェッカー スイッチボックスUタイプ ハイレスタ本体とMCPプローブの点検用 リング 500MΩ リング 500MΩ W193×D120×H54mm リング 500MΩ リング 500MΩ 2ピン MCP-SWB02 ¥88,000 500MΩ 抵抗率測定をノイズの影響なしに 行う測定ステージ レジテーブルUFL ρsの測定はテフロン面、 ρvの測定は金属面で W300×D200×H10mm MCP-ST03 ¥66,000 フットスイッチ プローブチェッカーで、測定前に点検を ●URSプローブ用 ●URプローブ用 ●UR-SSプローブ用 ●UR-100プローブ用 ●UAプローブ用 MCP-TRURS MCP-TRUR MCP-TRURSS MCP-TRUR100 MCP-TRUA ¥55,000 ¥55,000 ¥88,000 ¥88,000 ¥30,000 スイッチボックスUタイプに標準装備されて います。 単体価格 MCP-FS01 ¥13,200 9 10 抵抗率 〔Ω・cm〕 〔 、Ω/ 〕 の測定は更に進化する [9]測定システム [10]高抵抗率計ハイレスタ-IP(旧タイプ)関連商品一覧 ●研究開発・品質管理の第一線で、粉体の物性管理を実現する ■測定値(各種粉体の抵抗率圧力特性) 粉体抵抗測定システム 高低抗率計 専用MCPプローブ 高抵抗領域の測定をサンプルサイズ・形状に制限なく、再現性よく実現する 12 4 <測定レンジ10 〜10 Ω> 〈主な測定対象〉金属粉、カーボン等の導電性粉体、 トナー、フェライト、セラミック、 HRSプローブ 食品等の絶縁性粉体 HRプローブ HR-SSプローブ 製造中止 φ3.0 ニッケル粉 低抵抗タイプ 高抵抗タイプ フェライト粉 φ5.9 φ11.0 φ17.8 ハイレスタ−IP ¥4,815,000 ¥4,935,000 MCP-HT260 φ6.0 φ16 φ30 φ40 φ10.0 ●利用価値の広い リングプローブの標準タイプ ●少し大きめの サンプル用 ●微小サンプル用 MCP-HTP4 ¥77,000 MCP-HTP2 ¥77,000 MCP-HTP5 ¥214,500 HR-100プローブ HAプローブ HBプローブ 専用の 出力機 カーボンブラック ■抵抗率計ロレスタ-GP、ハイレスタ-UPと接続、低抵抗・高抵抗の広 範囲にわたり粉体の抵抗率測定を実現 ■サンプルの交換、清掃が簡単な、ワンタッチで着脱可能なプロー ブユニットを採用 専用プリンター ■各種粉体の形状、粒径分布の違いを抵抗率および圧縮容積の圧力 依存性により把握 ■測定及びデータ処理、グラフ化までを行なうソフトウェアを標準 装備 ¥88,000 MCP-PR02 φ50 φ53.2 φ57.2 14 ●10 Ω/□までの測定用 ●細長いサンプル用 ピン間20.0mm ピン先φ2×2本 バネ圧240g/本 プリンター用ロール紙 MCP-PR021 ¥15,000(10本入) MCP-HTP8 ¥198,000 MCP-HTP1 ¥77,000 ●大きなサンプル用 ピン先φ2×2本 バネ圧240g/本 MCP-HTP3 ¥100,000 JIS K 6911準拠 ρs、ρvの測定をワンタッチ切換 製造中止 φ50 φ70 φ80 Jボックス 抵抗率測定をノイズの影響なし に行う測定ステージ W160×D150×H92mm レジテーブルFL ●最大650×650mmの大型試料の多点測定を自動化3次元グラフでバラつきを把握 スイッチボックス ρsの測定はテフロン面、 ρvの測定は金属面で W130×D70×H35mm W300×D200×H10mm 抵抗率自動測定システム MCP-SWB01 ¥80,000 MCP-ST01 ¥66,000 MCP-JB02 〈主な測定対象〉 400×400mm対応 ITOガラス・フィルム、各種金属薄膜、各種導電性フィルム・シート プローブチェッカー ■ 測定、演算、データ処理、 3次元グラフ出力を完全自動化、基板サイズ650× 650mmまでの長方形・円形試料に対応 エッジの影響が補正される「MCCメソッド」による測定例 低抵抗率タイプ MCP-S620 MCP-S521 高抵抗率タイプ MCP-S600 ¥9,500,000(650×650mm) ¥8,500,000(450×450mm) ¥10,500,000(400×400mm) 11 リング 500MΩ リング 500MΩ リング 500MΩ リング 500MΩ 2ピン 500MΩ ●HRSプローブ用 ●HRプローブ用 ●HR-SSプローブ用 ●HR-100プローブ用 ●HAプローブ用 MCP-TRURS MCP-TRUR MCP-TRURSS MCP-TRUR100 MCP-TRUA ¥55,000 ¥55,000 ¥88,000 ¥88,000 ¥30,000 12 抵抗率 〔Ω・cm〕 〔 、Ω/ 〕 の測定は更に進化する [11] ポータブル低抵抗計 ロレスタ-FP(旧タイプ)関連商品一覧 [12]抵抗率計シリーズ 価格一覧 〜各種導電材料の抵抗をワンタッチ測定する〜 ポータブル 低抵抗計 四探針プローブ 機器名 型式 品名略号 標準販売価格(円) 機器名 型式 品名略号 標準販売価格(円) 低抵抗領域の測定をサンプル形状に合わせ高精度、安定的に実現する四探針プローブ (測定レンジ199.9mΩ 〜1.999MΩ) ASプローブ ESプローブ ●抵抗率計 ●プローブチェッカー 低抵抗率計 ロレスターFP ロレスタプローブ用 ロレスタ-GP MCP-T610 RMH012 695,000 4ピン、1.0ΩASP・ESP用 MCP-TRF1 RMH304 30,000 ロレスタ-EP MCP-T360 RMH009 250,000 4ピン、1.0ΩPSP用 MCP-TRPS RMH311 55,000 4ピン、1.0ΩTFP・NSCP用 MCP-TRTF RMH312 55,000 2ピン、1.0ΩA・AP用 MCP-TRT1 RMH302 30,000 高抵抗率計 ハイレスタ-UP ●利用価値の広い標準プローブ ピン間5mm・ピン先0.37R×4 本 バネ圧210g/本 製造中止 MCP-TP03 ¥71,500 PSプローブ ロレスタ-GP、-EP、-SP、-HP、-AP、-IP、-MP用 BSプローブ ●小さいサンプル用 ●微小サンプル用 ピン間1.5mm ピン先0.26R× ピン間1.5mm ピン先0.26R× 4本 バネ圧70g/本 4本 バネ圧70g/本 ●大きいサンプル用 MCP-TP06 ¥71,500 MCP-TP05 MCP-TPQP ¥71,500 ピン間2.2mm ピン先0.37R× 4本 バネ圧210g/本 極 ロレスタ-FP専用 ACアダプター MCP-TA01 ¥10,000 サンプ 極 サ サ ●標準タイプ ●大きなサンプル用 ピン間10mm ピン先φ2×2本 バネ圧240g/本 ピン先φ2×2本 バネ圧240g/本 MCP-TP01 ¥40,000 MCP-TP02 ¥40,000 プローブチェッカー プローブチェッカーで、測定前に点検を 1.0Ω 直列4ピン 2ピン AS・ESプローブ用 PSプローブ用 A・Bプローブ用 MCP-TRPS ¥55,000 MCP-TRT1 ¥30,000 13 55,000 88,000 MCP-TP08P RMH114 リング、500MΩUR-100用 MCP-TRUR100 RMH321 88,000 71,500 LSPプローブ MCP-TPLSP RMH116 2ピン、500MΩUA用 MCP-TRUA RMH325 30,000 82,500 PSPプローブ MCP-TP06P RMH112 71,500 BSPプローブ MCP-TP05P RMH111 71,500 QPPプローブ MCP-TPQPP RMH115 71,500 RMJ303 88,000 NSCPプローブ MCP-NSCP RMJ 202 214,500 プリンター用ロール紙・10本入 MCP-PR021 RMJ307 15,000 TFPプローブ MCP-TFP RMJ 217 214,500 レジテーブルUFL MCP-ST03 RMJ354 66,000 APプローブ MCP-TPAP RMH117 71,500 JボックスUタイプ MCP-JB03 RMJ350 264,000 BPプローブ MCP-TPBP RMH118 71,500 スイッチボックスUタイプ MCP-SWB02 RMJ352 88,000 MCP-TP03 RMH104 71,500 ESプローブ MCP-TP08 RMH108 71,500 PSプローブ MCP-TP06 RMH106 71,500 BSプローブ MCP-TP05 RMH105 71,500 QPプローブ MCP-TPQP RMH109 71,500 Aプローブ Bプローブ MCP-TP01 MCP-TP02 RMH101 RMH102 40,000 40,000 ●オプション機器 専用プリンター MCP-PR02 レジテーブルFL MCP-ST01 RMH401 66,000 スイッチボックス MCP-SWB01 RMJ302 80,000 ロレスタ-EP用ACアダプター MCP-TA05 RMJ318 7,000 ロレスタ-MP用ACアダプター MCP-TA03 RMJ314 7,000 MCP-TA04 RMH316 13,500 ロレスタ-FP用ACアダプター MCP-TA01 RMJ305 10,000 2ピン4ピン変換コネクタ MCP-J01 RMJ304 38,500 RMJ801 13,200 RS232Cケーブル(25-25ピン) MCP-RSK RMJ310 15,000 RS232Cケーブル(9-25ピン) MCP-RSK/V RMJ316 15,000 RS232Cケーブル(9-9ピン) MCP-RSK/E RMJ317 15,000 ロレスタ-MP用急速充電器 フットスイッチ MCP-FS01 ハイレスタ-UP用 URSプローブ MCP-HTP14 RMH214 77,000 URプローブ MCP-HTP12 RMH212 104,500 UR-SSプローブ MCP-HTP15 RMH215 214,500 低抵抗率自動測定システム MCP-S620 UR-100プローブ MCP-HTP16 RMH216 198,000 低抵抗率自動測定システム MCP-S521 8,500,000 104,500 高抵抗率自動測定システム MCP-S600 10,500,000 粉体抵抗測定システム 低抵抗タイプ 4,815,000 粉体抵抗測定システム 高抵抗タイプ 4,935,000 1.0Ω MCP-TRF1 ¥30,000 RMH326 リング、500MΩURSS用 MCP-TRURSS RMH328 ESPプローブ UAプローブ 1.0Ω リング、500MΩUR用 MCP-TRUR 71,500 MCP-HTP11 RMH211 ロレスタ本体と四探針及び二探針プローブの点検用 直列4ピン 55,000 RMH110 ASプローブ Bプローブ RMH327 MCP-TP03P ロレスタ-FP用 二探針による抵抗の測定用 リング、500MΩURS用 MCP-TRURS ASPプローブ ¥71,500 二探針プローブ Aプローブ 電極 595,000 ●プローブ ¥71,500 QPプローブ RMH011 ハイレスタ-UP、IPプローブ用 ●不均一なサンプル用 ピン間5mm ピン先φ2×4本 バネ圧240g/本 MCP-TP08 MCP-HT450 ●測定システム ハイレスタ-IP用 HRSプローブ MCP-HTP4 RMH204 77,000 HRプローブ MCP-HTP2 RMH202 77,000 HR-SSプローブ MCP-HTP5 RMH205 214,500 HR-100プローブ MCP-HTP8 RMH206 198,000 HAプローブ MCP-HTP1 RMH201 77,000 HBプローブ MCP-HTP3 RMH203 100,000 14 9,500,000
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