表面電位センサ - Panasonic

表面電位センサ
テクニカルガイド
概 要
■ 表面電位センサの検出原理
・帯電物体の周りには、帯電量に比例した強さの電界が
金属ケース
発生します。表面電位センサは、この電界の強さを検
出し、電位として換算します。
インピーダンス変換
検知電極に電界の強さに比例した電荷が誘起されます。
表面電位センサでは、直流的なノイズをキャンセルし、よ
り高精度な測定を行なうために、検知電極の前でチョッ
パと呼ばれる音叉振動板を開閉させ、誘導電荷を交流信
号として取り出して、電界の強さを検出しています。
電位への換算
検知電極
チョッパ
(音叉振動板)
インフォメーション
交流
電圧
電界の検出
・帯電物体に検知電極を近づけると、「静電誘導」により、
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帯電物体
・電位は電界の強さに比例しますが、電界の強さは帯電
物体から離れるほど小さくなります。
そこで、表面電位センサでは、帯電物体からセンサまで
の距離をコントローラにて設定し、電位への補正計算を
行なっています。
■ 検出原理に基づく特性
・電界は測定距離に依存するため、精度よく測定するため
には、設定した距離で固定して使用する必要があります。
帯電物体が発生させる電界は、帯電物体から同心円状
に広がります。そのため、電界を検出する電位センサ
は、測定距離が離れるほど広い領域を測定します。
尚、既存の電位センサ、電位計は全て電界を検出して
いるため、同様の領域特性を持っています。
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