非接触変位計 - 東陽テクニカ

非接触変位計／小型引張試験機
静電容量式変位センサ
ACCUMEASURE
（アキュメジャー）
光ファイバ式変位センサ
FOTONIC
（フォトニックセンサ）
小型引張試験機
SEMtester
（セムテスター）
静電容量式変位センサ ACCUMEASURE（アキュメジャー）
測定対象
各種金属・シリコン・カーボンなどの誘電性の材料、半導体など誘電性が高い材料が測定できます。
精密に測定したい場合、表面粗さは測定分解能にたいして十分小さい値が必要です。
基本的にプローブ表面と測定物表面は平行である必要があります。
ただし、曲面でも曲面に対し十分に小さなプローブを選定することにより良好な結果が得られます。
ベアリングの振れ回り、振動
ディスクブレーキの厚み
圧延物、半導体ウェハ
などの厚み
各種ライン検査
レンズの焦点合わせ
測定原理
一般に、静電容量：C は 2 つの平面間距離：D で
ただ 1 つに決まります。
システムは静電容量：C を検出し、変位量：D を算出しています。
（平行板コンデンサの原理）
測定物とアンプはグラウンドをとる必要があります。
S
プローブ
D
ε：誘電率（一定）
S ：プローブ測定部の表面積　（一定）
D ：変位
測定物
測定レンジとセンサ出力
測定レンジに対し、直線比例して電圧で出力されます。
測定レンジの最大で 10V 出力します。
非線形性スペックは標準品で 0.05% になります。
（測定レンジ 10% ～ 100% のときのスペック）
測
定
レ
ン
ジ
0V 出力
※アンプのオフセット設定にて、0V ～ 10V の出力を
例えば -2V ～ 8V などに変更できます。
-10V ～ 0V までオフセットすることができます。
セ
ン
サ
出
力
10V 出力
（測定レンジの 100％）
測定レンジ
100%
10V
0
2
5V 出力
（測定レンジの 50％）
静電容量式変位センサ
ACCUMEASURE（アキュメジャー）
アンプ仕様
【AS-9000】
【OEM モデル】
1ch または 2ch のモデル
左はデジタル表示モデル、右はアナログ表示モデル
システム組込に対応いたします。
詳しくはお問い合わせください。
【AS-1500】
【AS-500】
最大 10ch のモジュールラックモデル
最大 6ch のモジュールラックモデル　DC 電源選択可
AS-9000
AS-1500
AS-500
チャンネル数
1 ～ 2ch
1 ～ 10ch
1 ～ 6ch
サミングアンプ　※ 1
2ch モデルに標準
オプション
（アンプモジュール追加）
オプション
（アンプモジュール追加）
周波数応答　※ 2
DC ～最大 5kHz
アナログ電圧出力
DC 0 ～ 10V　（オフセット最大で -10V）　BNC 接続
温度ドリフト
フルスケールの± 0.1% 以下　（動作温度 15 ～ 35℃のとき）
フルスケールの± 0.25% 以下　（動作温度 4 ～ 38℃のとき）
※特注で± 60ppm 以下程度のアンプもご相談に応じます
動作温度
0 ～ 40℃
保管温度
-18 ～ 66℃
電　源
AC 100V　50/60Hz
AC 100V または DC 12V
寸　法
165 x 56 x 241mm
363 x 152 x 363mm
175 x 140 x 340mm
重　量
1.8kg
約 13kg
約 4.6kg
※ 1
サミングアンプは A ch と B ch の演算結果を出力します。厚さや相対位置などを直接出力できます。工場出荷時に設定できる演算は以下になります。
A+B -（A+B）　1/2（A+B）　-1/2（A+B）　B-A 2（B-A）
※ 2
工場出荷時にアンプのローパスフィルタを、以下の周波数から選択します。
10 Hz、50 Hz、100 Hz、200 Hz、500 Hz、1 kHz、2 kHz、5 kHz、10 kHz、20 kHz
3
静電容量式変位センサ
ACCUMEASURE（アキュメジャー）
プローブ仕様
軸方向配線タイプ　ILA
BNC
（INTEGRAL LEAD AXIAL）
測
定
物
E
2.4m
L
D
G
プローブ型番
ASP-1-ILA
ASP-2-ILA
ASP-5-ILA
ASP-10-ILA
ASP-20-ILA
ASP-50-ILA
ASP-100-ILA
分解能　例 1
μ m（500Hz 時）
0.002
0.005
0.012
0.025
0.050
0.125
0.250
分解能　例 2
μ m（10Hz 時）
0.0008
0.001
0.003
0.007
0.015
0.037
0.075
G）測定レンジ
μm
25
50
125
250
500
1250
2500
E）測定部の径
mm
1.07
1.54
2.47
3.52
5.00
7.96
11.28
D）プローブ外径
mm
2.36
2.84
3.96
5.56
7.92
13.87
25.40
BNC
径方向配線タイプ　ILR
（INTEGRAL LEAD RADIAL）
測
定
物
E
D
C
ASP-1-ILR
ASP-2-ILR
ASP-5-ILR
ASP-10-ILR
ASP-20-ILR
ASP-50-ILR
ASP-100-ILR
ASP-200-ILR
分解能　例 1
μ m（500Hz 時）
0.002
0.005
0.012
0.025
0.050
0.125
0.25
0.50
分解能　例 2
μ m（10Hz 時）
0.0008
0.001
0.003
0.007
0.015
0.037
0.075
0.150
G）測定レンジ
μm
25
50
125
250
500
1250
2500
5000
2.4m
L
G
プローブ型番
E）測定部の径
mm
1.07
1.54
2.47
3.52
4.97
7.95
11.23
15.90
D）プローブ外径
mm
2.36
2.84
3.96
5.56
7.92
13.87
25.40
38.10
軸方向コネクタタイプ　CTA
分解能　例 1
μ m（500Hz 時）
0.001
0.002
0.005
0.012
0.025
0.050
0.125
0.25
0.50
1.25
分解能　例 2
μ m（10Hz 時）
0.0004
0.0008
0.001
0.003
0.007
0.015
0.037
0.075
0.150
0.375
G）測定レンジ
μm
12.5
25
50
125
250
500
1250
2500
5000
12500
L
E）測定部の径
mm
0.76
1.07
1.54
2.47
3.52
5.00
7.96
11.28
15.99
25.32
径方向コネクタタイプ　CTR
D
ASP-1-CTR
ASP-2-CTR
ASP-5-CTR
ASP-10-CTR
ASP-20-CTR
ASP-50-CTR
ASP-100-CTR
4
L）プローブ長
mm
63.5
63.5
63.5
63.5
63.5
63.5
63.5
63.5
101.6
101.6
測
定
物
E
分解能　例 1
μ m（500Hz 時）
0.002
0.005
0.012
0.025
0.050
0.125
0.25
D）プローブ外径
mm
6.35
6.35
6.35
6.35
6.35
11.10
15.88
25.40
38.10
82.55
C
（CONNECTOR TYPE RADIAL）
プローブ型番
C）C 部の寸法
mm
7.94
7.94
7.94
7.94
7.94
7.94
7.94
7.94
測
定
物
E
D
ASP-0.5-CTA
ASP-1-CTA
ASP-2-CTA
ASP-5-CTA
ASP-10-CTA
ASP-20-CTA
ASP-50-CTA
ASP-100-CTA
ASP-200-CTA
ASP-500-CTA
L）プローブ長
mm
9.53
9.53
9.53
9.53
9.53
9.53
9.53
9.53
G
（CONNECTOR TYPE AXIAL）
プローブ型番
L）プローブ長
mm
9.53
9.53
9.53
9.53
9.53
9.53
9.53
分解能　例 2
μ m（10Hz 時）
0.0008
0.001
0.003
0.007
0.015
0.037
0.075
G）測定レンジ
μm
25
50
125
250
500
1250
2500
E）測定部の径
mm
1.07
1.54
2.47
3.52
5.00
7.96
11.3
G
L
D）プローブ外径
mm
9.53
9.53
9.53
9.53
11.10
15.88
25.40
L）プローブ長
mm
25.4
25.4
25.4
25.4
25.4
25.4
25.4
C）C 部の寸法
mm
12.7
12.7
12.7
12.7
12.7
12.7
19.0
静電容量式変位センサ
ACCUMEASURE（アキュメジャー）
BNC
パンケーキ型軸方向配線タイプ　PCA
（PANCAKE AXIAL）
測
定
物
E
D
G
T
2.4m
D）プローブ外径
mm
分解能　例 1
μ m（500Hz 時）
分解能　例 2
μ m（10Hz 時）
G）測定レンジ
μm
E）測定部の径
mm
ASP-5-PCA
0.012
0.003
125
2.47
3.96
2.54
ASP-10-PCA
0.025
0.007
250
3.52
5.56
2.54
プローブ型番
BNC
パンケーキ型径方向配線タイプ　PCR
（PANCAKE RADIAL）
測
定
物
E
D
G
2.4m
T
プローブ型番
ASP-1-PCR
ASP-2-PCR
ASP-5-PCR
ASP-10-PCR
ASP-20-PCR
ASP-50-PCR
ASP-100-PCR
ASP-200-PCR
分解能　例 1
μ m（500Hz 時）
0.002
0.005
0.012
0.025
0.050
0.125
0.25
0.50
分解能　例 2
μ m（10Hz 時）
0.0008
0.001
0.003
0.007
0.015
0.037
0.075
0.150
G）測定レンジ
μm
25
50
125
250
500
1250
2500
5000
E）測定部の径
mm
1.07
1.54
2.47
3.52
5.00
7.96
11.23
15.90
D）プローブ外径
mm
2.36
2.84
3.96
5.56
7.92
13.87
25.40
38.10
高温対応軸方向配線タイプ　ILA/HT
測
定
物
E
耐熱 648℃
ASP-10-ILA/HT
ASP-20-ILA/HT
ASP-50-ILA/HT
ASP-100-ILA/HT
ASP-200-ILA/HT
ASP-500-ILA/HT
分解能　例 2
μ m（10Hz 時）
0.007
0.015
0.037
0.075
0.150
0.375
G）測定レンジ
μm
250
500
1250
2500
5000
12500
G
E）測定部の径
mm
3.51
5.00
7.95
11.28
15.98
25.35
BNC
1m
L
D
分解能　例 1
μ m（500Hz 時）
0.025
0.050
0.125
0.25
0.50
1.25
T）プローブ長
mm
2.54
2.54
2.54
2.54
2.54
2.54
2.54
2.54
セラミックを編んだ
ケーブル
（INTEGRAL LEAD AXIAL High-Temperature）
プローブ型番
T）プローブ長
mm
D）プローブ外径
mm
7.29
11.43
16.18
25.32
38.02
82.47
L）プローブ長
mm
38.1
38.1
38.1
38.1
38.1
38.1
本カタログ記載の分解能はピーク to ピーク値です。他社表記の RMS 値に比べ、数倍大きく表現されています。
【測定レンジの拡張または縮小】
【その他の仕様】
工場出荷時のアンプ設定により、測定レンジを拡張／縮小できます。
●
プローブ使用可能温度：-129℃～ 204℃
（高温対応の ILA/HT は -129℃～ 648℃）
例）型番 ASP-10-ILA 測定レンジ 250μm ⇒ 500μm に拡張
●
耐圧
：200psig（1.38MPa）
●
ケーブル長さ
：ILA、ILR、PCA、PCR はケーブル一体型（2.4m）
CTA、CTR はケーブル別売（別売りケーブル 2.4m）
ILA/HT は固く曲げづらいケーブルが一体（1m）
より小さなプローブでより大きな測定レンジが実現できます。
ただし、測定レンジを n 倍にした場合、分解能は n 2 程度低下します。
逆に、測定レンジを縮小して、よりよい分解能を得ることができます。
詳しくはお問い合わせください。
※ケーブル長さは変更できます。
※カタログ記載の分解能はケーブル 2.4m の場合です。
ケーブルを延長すると分解能は低下します。
特注例
● プローブの形状変更
● グラウンド不要で測定可能なプローブ
（ねじ切り、センサ面の斜めカット、方形など）
例 1）　測定レンジ 125μm、プローブ外径 10mm
● 高温（648℃以上）、低温（-129℃以下）対応
例 2）　測定レンジ 250μm、プローブ外径 14mm
● 最高分解能 0.1nm のプローブ（測定レンジ 12.5μm）
例 3）　測定レンジ 500μm、プローブ外径 22mm
※ AS-500 または AS-1500 の専用アンプモジュールが必要になります。
5
光ファイバ式変位センサ FOTONIC（フォトニックセンサ）
測定対象と特徴
ガラス、複合材、液体などの測定物でも十分な光の反射が得られれば測定可能です。
白や銀などの鏡面が好ましく、黒色など光が反射しにくい場合には反射テープなどを貼る必要があります。
プローブは細長いため、狭い環境に入れ込むことができます。
プローブは EMI（電磁波障害）の影響を全く受けないため、電界中や高磁場の環境で使用できます。
MTI 社は 1968 年に世界で初めて光ファイバセンサを出荷して以来、常に業界をリードしています。
HDD の変位／振動（面方向または側面方向）
ソレノイドバルブの挙動
（ガソリン中で使用できる特注品）
超音波素子の振動
磁気テープの振れ測定
測定原理
発光
プローブには発光部と受光部が下図のように配列されていています。
ハロゲン光源を用い対象物に照射し、反射させた光量の変化により
変位を測定します。
ランダム（R）
半円（H）
○発光部
受光
同心（CTI）
●受光部
（プローブの種類により異なる）
測定レンジとセンサ出力
右図に典型的な光ファイバセンサの出力を示します。
特徴的な曲線を描きますが、“レンジ 1”と“レンジ 2”の 2 ヶ所で
リニアになります。
測定環境や測定物により光の反射量は異なりますが“光学ピーク”を
10 Ｖに設定（校正）することによりどのような環境や測定物でも
同じ感度で測定することができます。
また、光学ピーク位置で測定物を走査することにより
表面欠陥を検出することもできます。
光学ピーク
10V
プ
ロ
ー
ブ
の
出
力
レンジ 1
レンジ 2
0
変位（右にいくほどプローブと測定物が離れています）
6
光ファイバ式変位センサ
FOTONIC（フォトニックセンサ）
コントローラ仕様
※コントローラにアンプモジュールをセットして使用します。ユーザー様側で自由に組み換えることができます。
（なお、アンプモジュールとプローブは一体となって出荷されます。）
※アンプモジュールをセット
測定条件
測定結果
などを表示
変位／振動
表示切り替え
オーバーレンジ
警告ランプ
“レンジ 1”
“レンジ 2”
切り替えボタン
ローパスフィルタ
切り替えつまみ
測定位置の
表示モニタ
ゼロオフセット
ハイパスフィルタ
切り替えつまみ
メートル／インチ／ボルト
単位切り替え
校正スイッチ
（光学ピークを 10V に設定）
● ローパスフィルタ（可変）：100Hz、1kHz、10kHz、20kHz、50kHz、100kHz、ワイドバンド（フィルタなし）
● ハイパスフィルタ（可変）：DC（フィルタなし）、20Hz、200Hz
※ローパスとハイパスは併用できます。
● 変位測定（DC）と振動測定（ピーク to ピーク）の 2 種類の BNC 出力端子
振動測定は、検出したピーク値を 0.66 V/sec で減衰させて出力
● アナログ電圧出力：0 ～ 10V
● デジタル出力
：RS-232
● コントローラおよびアンプモジュールの動作温度：10 ～ 43℃
● コントローラおよびアンプモジュールの保管温度：-18 ～ 65℃
● 電源：AC100 ～ 240V　50/60Hz、最大消費電力 35W
● 寸法：142（H）× 358（W）× 267（D）mm
● 重量：4.5kg（コントローラのみ）
7
光ファイバ式変位センサ
FOTONIC（フォトニックセンサ）
プローブ仕様
※プローブには個体差があります。仕様は± 10%（光学ピークは± 15%）程度のばらつきがあります。
【標準モデル】
0.102mm 範囲
光学ピーク
10V
0.076mm ∼ 0.178mm
プ
ロ
ー
ブ
の
出
力
（型番 2020R の例）
（中心 0.127mm）
0mm
レンジ 1
レンジ 1
0
レンジ 2
レンジ 2
（中心 0.508mm）
変位
0.3555mm ∼ 0.6605mm
（右にいくほどプローブと測定物が離れています）
0.305mm 範囲
周波数
スポット
応答
径
（-3dB）
mm
kHz
型番
先端部
外径
mm
2020R
0.508
0.178
120
30
2032R
0.813
0.483
120
20
2047R
1.194
0.686
130
10
2062R
1.6
1.194
150
5
2062H
1.6
1.194
150
5
2125R
3.175
2.286
190
3
2125CTI
3.175
2.286
150
3
2125H
3.175
2.286
150
3
分解能分解能感度
例1
例2
μ m/mV （100kHz 時）（100Hz 時）
μm
μm
出力
ノイズ
mV p-p
測定レンジ
レンジ 1
0.016
0.438
0.032
0.076mm ～（中心 0.127mm）～ 0.178mm の 0.102mm 範囲
レンジ 2
0.076
2.081
0.152
0.3555mm ～（中心 0.508mm）～ 0.6605mm の 0.305mm 範囲
レンジ 1
0.019
0.347
0.038
0.0635mm ～（中心 0.127mm）～ 0.1905mm の 0.127mm 範囲
レンジ 2
0.127
2.319
0.254
0.5205mm ～（中心 0.889mm）～ 1.2575mm の 0.737mm 範囲
レンジ 1
0.02
0.175
0.04
0.0635mm ～（中心 0.127mm）～ 0.1905mm の 0.127mm 範囲
レンジ 2
0.203
1.78
0.406
0.610mm ～（中心 1.118mm）～ 1.626mm の 1.016mm 範囲
レンジ 1
0.025
0.102
0.05
0.051mm ～（中心 0.127mm）～ 0.203mm の 0.152mm 範囲
レンジ 2
0.381
1.555
0.762
1.016mm ～（中心 1.778mm）～ 2.540mm の 1.524mm 範囲
レンジ 1
0.127
0.052
0.025
0.381mm ～（中心 0.762mm）～ 1.143mm の 0.762mm 範囲
レンジ 2
0.508
2.074
1.016
2.8575mm ～（中心 3.810mm）～ 4.7625mm の 1.905mm 範囲
レンジ 1
0.025
0.054
0.05
0.102mm ～（中心 0.178mm）～ 0.254mm の 0.152mm 範囲
レンジ 2
0.762
2.176
1.524
1.270mm ～（中心 3.048mm）～ 4.826mm の 3.556mm 範囲
レンジ 1
0.178
0.436
0.356
0.508mm ～（中心 0.762mm）～ 1.016mm の 0.508mm 範囲
レンジ 2
0.762
2.449
1.524
3.810mm ～（中心 5.588mm）～ 7.366mm の 3.556mm 範囲
レンジ 1
0.33
0.808
0.66
0.381mm ～（中心 1.270mm）～ 2.159mm の 1.778mm 範囲
レンジ 2
1.016
2.489
2.032
5.3975mm ～（中心 7.620mm）～ 9.8425mm の 4.445mm 範囲
光学
ピーク
中心位置
mm
光学
ピーク値
5% 以内範囲
mm
0.305
0.127
0.508
0.127
0.457
0.127
0.66
0.229
2.54
0.356
0.813
0.356
2.54
0.508
4.572
1.27
光学
ピーク
中心位置
mm
光学
ピーク値
5% 以内範囲
mm
0.127
0.038
【高分解能モデル】
レンジ 2 はありません。
アンプ部のスイッチにて、
“標準モード”と“高分解能モード（分解能 10 倍）
”の 2 種類の測定の切り替えが可能です。
型番
先端部
外径
mm
2032RX
0.813
周波数
スポット
応答
径
（-3dB）
mm
kHz
0.483
100
出力
ノイズ
mV p-p
30
測定
モード
分解能分解能感度
例1
例2
μ m/mV （100kHz 時）（100Hz 時）
μm
μm
測定レンジ
標準
0.005
0.15
0.01
0.020mm ～（中心 0.038mm）～ 0.056mm の 0.036mm 範囲
高分解能
0.0005
0.015
0.001
0.033mm ～（中心 0.038mm）～ 0.043mm の 0.010mm 範囲
本カタログ記載の分解能はピーク to ピーク値です。他社表記の RMS 値に比べ、数倍大きく表現されています。
8
光ファイバ式変位センサ
FOTONIC（フォトニックセンサ）
【反射率自動補正モデル】
反射率を自動で補正し、ユーザー様側で校正することなく使用できます。
検出部は方形
型番
先端部
外径
mm
スポット
方形
mm
周波数応答
（-3dB）
kHz
出力
ノイズ
mV p-p
200RC
5.08
0.762
× 3.175
100
60
感度
μ m/mV
（レンジは 1 つのみ）
0.406
分解能例 1 分解能例 2
（100kHz 時）（100Hz 時）
μm
μm
24.36
0.812
測定レンジ
1.270mm ～（中心 2.540mm）～ 3.810mm の 2.540mm 範囲
【エッジモデル】
プローブ 2 本が 1 対になっており、片方から発光し片方から受光し光の遮りで変位を検出します。
図の矢印の方向を測定します。
プリズム
発光
測定物
受光
型番
先端部
外径
mm
スポット
径
mm
周波数応答
（-3dB）
kHz
出力
ノイズ
mV p-p
2047E
1.194
0.686
100
13
2062E
1.6
1.194
100
18
測定
モード
感度
μ m/mV
分解能例 1 分解能例 2
（100kHz 時）（100Hz 時）
μm
μm
測定レンジ
標準
0.019
0.247
0.038
プローブ‐プローブ間距離は任意、測定範囲は 0.127mm
高分解能
0.0025
0.0325
0.005
プローブ‐プローブ間距離は任意、測定範囲は 0.051mm
標準
0.031
0.558
0.062
プローブ‐プローブ間距離は任意、測定範囲は 0.191mm
高分解能
0.004
0.072
0.008
プローブ‐プローブ間距離は任意、測定範囲は 0.061mm
プローブ共通仕様
●
●
●
●
プローブ全長（先端ステンレス部含む）：標準 1.37m
プローブ使用可能温度：標準 -70℃～ 150℃
耐圧：標準 98kPa ～ 3.447MPa
プローブはアンプモジュールと一体で出荷されます
特注例
●
●
●
●
●
●
●
プローブ先端ステンレス部を樹脂に変更（絶縁、非磁性）
光ファイバケーブル部の外径を 3mm 程度に細化
プローブ曲げ加工
プローブプリズム加工
プローブ動作温度の拡張
高圧／高真空環境向けプローブ
光学エクステンダ（外径 22.3mm ×長さ 81mm）を
PVC ケーブル
約φ5mm
ア
ン
プ
モ
ジ
ュ
ー
ル
76.2mm
φ6.35mm
12.7mm
1.37m
φ1.56∼1.64mm
6.35mm
76.2mm
上図：2047、2062、2125 シリーズ
下図：2020、2032 シリーズ
プローブ先端に取り付けることにより、測定レンジを
10mm 程度シフトできます。
● 応答周波数を 500kHz（-3dB）のアンプモジュール
（2062R、2062H、2125R、2125H プローブのみに適応）
先端チップの曲げ加工
プリズム加工
（測定方向を 90 度変更）
9
小型引張試験機 SEMtester（セムテスター）
Fullam ブランド
MTI Instruments 社は 2010 年に Ernest F. Fullam 社の小型引張試験機分野の事業を引継ぎました。
Ernest F. Fullam 社製品は半世紀以上にわたり、世界中で多くのシステムを提供してきました。
お客様のご要望をいただき、1 点ものを製作いたします。
概要
●
●
●
●
●
小さなサンプルの評価システム
サンプル例
複合材、金属、プラスチック、ポリマー
ファイバ、（髪の）毛、食品、鉱物
引張、圧縮、せん断、曲げ、疲労の評価
顕微鏡観察や卓上破断試験
ヒーティング／クーリング試験
引張
圧縮
疲労（繰り返し）
曲げ
データ収録／解析ソフトウェア
●
●
●
●
10
サーボコントロール
時間－応力、応力－歪みなどの表示
レポート出力機能
ASTM（American Society for Testing and Materials：米国材料試験協会）準拠
ヒーティング
クーリング
SEMtester（セムテスター）
小型引張試験機
製作例
EBSD による SEM 中での金属組織の In-Situ 観察用
サンプルフォルダおよびステージが傾けられます
垂直方向タイプ
ヒーターはサンプルを局所的に加熱、ヒーター周りは水冷
液体駆動タイプ
液中で使用できるタイプ
DC モーター駆動でないため
モーター熱の影響を受けません
仕様例
モデル
SEMtester 100
SEMtester 1000
SEMtester 1000
EBSD
SEMtester 2000
※1
最大荷重
450N (100 lb)
4500N (1000 lb)
4500N (1000 lb)
9000N (2000 lb)
※1
寸法　奥行 x 幅 x 高さ
167 x 109 x 38mm
174 x 120 x 48mm
138 x 132 x 48mm
225 x 140 x 75mm
※1
重　量
1 kg
1.5 kg
1.5 kg
2.2 kg
※1
サンプルサイズ（最大）
1 x 12 x 65mm
2.5 x 10 x 65mm
2.5 x 10 x 65mm
3 x 10 x 75mm
※1
引張移動距離（最大）
31mm
31mm
16mm
57mm
ロードセル確度
± 0.15%　フルスケール
ステージ移動確度
± 20nm
電　源
100-240V AC, 50-60Hz
動作温度
10℃～ 43℃　（結露なきこと）
保管温度
-18℃～ 65℃　（結露なきこと）
※2
熱電ヒーター／クーラー
-25℃～ 80℃　（± 1.0℃制御）
※2
サンプルヒーター
室温～ 1200℃　（± 1.0℃制御）
※2
データサンプリング周期
調整可、最大 1kHz
※2
必要な PC（USB 接続）
OS：Windows XP, Vista, 7 メモリ：2G バイト以上　USB ポート x １
※2
ファイル出力形式
.csv, .pdf, .jpg, .bmp
※1
※2
※
ご要求により特注仕様として変更可能です。詳しくはご相談ください。
オプションになります。
その他、より良い精度の変位センサへの換装や、特殊な用途向けの特注品もご相談に応じます。
11
＜ MTI
Instruments 社のご紹介＞
NASDAQ 上場の MTI 社（Mechanical Technology, Inc.）
の精密センサ部門
1961 年設立
アメリカ　ニューヨーク州アールバニ
1968 年に世界で初めて光ファイバを用いた計測用センサを
出荷するなど 50 年以上にわたりリーディングカンパニーで
あり続けています
株式会社東陽テクニカ　営業第２部
〒103-8284 東京都中央区八重洲 1-1-6　TEL. 03-3279-0771 FAX. 03-3246-0645　http://www.toyo.co.jp/car/MTI/ E-mail:[email protected]
JQA-EM4908 JQA-QM8795
電子技術センター
大阪支店〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原 1-6-1（新大阪ブリックビル）TEL. 06-6399-9771　FAX. 06-6399-9781
名古屋営業所〒465-0095 愛知県名古屋市名東区高社 1-263（一社中央ビル）
TEL. 052-772-2971　FAX. 052-776-2559
茨城営業所〒305-0031 茨城県つくば市吾妻 2-8-8（つくばシティアビル）
TEL. 029-851-1366　FAX. 029-852-3421
電子技術センター〒103-8284 東京都中央区八重洲 1-1-6
TEL. 03-3279-0771　FAX. 03-3246-0645
テクノロジーインターフェースセンター
〒103-0021 東京都中央区日本橋本石町 1-1-2 TEL. 03-3279-0771　FAX. 03-3246-0645
本カタログに記載された商品の機能・性能は断りなく変更されることがあります。
MPI-4421-01-1205000-223-1.0-S63-CA

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