ケースレーの51 ⁄2桁、6517B型エレクトロメータ/絶 縁抵抗計は、このタイプの他のどのようなメータ でも達成できない測定確度および感度性能を実 現しています。また、絶縁材料の高抵抗や抵抗率 の測定を簡素化する豊富な特長を提供します。 最大425読取/秒の読取レートに加えて、6517B型 は競合のエレクトロメータに比べて著しく高速な ので、低レベルの電流測定を容易にすばやく行え ます。 • 1016Ωまでの抵抗測定 • 1fA–20mA の電流測定範囲 • 最小電流レンジで<20µV の入力 電圧降下 • 200TΩ入力インピーダンス • <3fAバイアス電流 • 最大425読取 / 秒 • 0.75fA p-pノイズ • 内蔵±1kV電圧源 • ユニークな電圧反転法(高抵抗 測定) ご注文案内 6517B エレクトロメータ/ 絶縁抵抗計 付属アクセサリ 237-ALG-2 ローノイズトライアキ シャルケーブル、3スロットトライ アキシャル-ワニ口クリップ、2m 8607高電圧用デュアル 安全テストリード 6517-TP熱電対ビードプローブ CS-1305インターロックコネクタ 比類ない測定性能 ハーフラックの6517B型は、最小レンジにおいて、 たった0.75fA p-p (ピークto ピーク)ノイズで<3fA の入力バイアス電流と、<20µVの入力電圧降下と なる特別の低電流入力アンプを搭載しています。 電圧および抵抗測定での入力インピーダンスは 200TΩで、理想的な回路負荷といえます。これらの仕様が、物性、光学、ナノテクノロジ、 そして材料科学などの研究分野での低電流、高インピーダンス電圧、抵抗および電荷 を正確に測定するための確度と感度を確実にします。スイープ機能のある内蔵の±1kV 電圧源により、リーク、ブレークダウンおよび抵抗の試験に加えて絶縁材料の体積抵 抗率(Ω-cm)と表面抵抗率(Ω/□)の測定を簡素化します。 広い測定範囲 6517B型は、電流、電圧、抵抗、および電荷測定の全レンジにわたって完全なオートレン ジを提供します。 • 電流測定 1fA∼20mA • 電圧測定 10µV∼200V • 抵抗測定 50Ω∼1016Ω • 電荷測定 10fC∼2µC 別売アクセサリ ケーブル 6517B-ILC-3 インターロックケーブル 7007-1 IEEE-488 ケーブル(シールド付)、1m 7007-2 IEEE-488 ケーブル(シールド付)、2m 7009-5RS-232ケーブル 7078-TRX-3 ローノイズトライアキシャルケーブル、3 スロットトライアキシャルコネクタ、0.9m 7078-TRX-10 ローノイズトライアキシャルケーブル、3 スロットトライアキシャルコネクタ、 3m 7078-TRX-20 ローノイズトライアキシャルケーブル、3 スロットトライアキシャルコネクタ、 6m 8501-1 トリガリンクケーブル、1m 8501-2 トリガリンクケーブル、2m 8503 トリガリンクケーブル、- 2オスBNC、1m 8607 1kV印加バナナケーブル(6517Bに付属) ソフトウェア 6524 プローブ 6517-RH 6517-TP ラックマウントキット 4288-1 固定ラックマウントキット(片側) 4288-2 固定ラックマウントキット(両側) テストフィクスチャ 8009 抵抗率テストフィクスチャ その他 CS-1305 www.keithley.jp 延長ケーブル付き湿度プローブ 温度ビードプローブ (6517Bに付属) インターロックコネクタ A G REA T ER アダプタ 237-BNC-TRX オスBNC-3ラグメストライアキシャルアダ プタ 237-TRX-NG トライアキシャルオス-メスアダプタ (ガード非接続) 237-TRX-T 3スロットオストライアキシャル-デュアル 3ラグメストライアキシャルＴアダプタ 237-TRX-TBC 3ラグメストライアキシャル・バルクヘッ ドコネクタ(1.1kV仕様) 7078-TRX-BNC 3スロットオストライアキシャル-BNCアダ プタ 7078-TRX-GND 3スロットオストライアキシャル-BNCアダ プタ(ガードなし) 7078-TRX-TBC 3ラグメストライアキシャルバルクヘッド コネクタ(キャップ付き) 高抵抗測定ソフトウェア スキャナカード 6521 低電流スキャナカード 6522 電圧/低電流スキャナカード GPIBインタフェース KPCI-488LP IEEE-488インタフェースコントローラ(PCI バス用) KPXI-488 IEEE-488インタフェースボード(PXIバス) KUSB-488A IEEE-488 USB-GPIBインタフェース アダプタ M EASURE O F CO N F I D E N CE Simplifies measuring high resistances and the resistivity of insulating materials エレクトロメータ/絶縁抵抗計 Low Level Measure & Source 6517B Low Level Measure & Source Simplifies measuring high resistances and the resistivity of insulating materials 6517B エレクトロメータ/絶縁抵抗計 DMMのように簡単な操作 6517B型は、表面パネルから、あたかもデジタルマルチメータ (DMM)を操作するように、たとえば、抵抗測定のような重要な ファンクションを1回タッチするだけで済む簡単な操作性を実現 しています。また、内蔵のIEEE-488インタフェースを介してコン 測定機能を拡張するアクセサリ 6517B型のアプリケーションを拡張し、その性能を十分に活用す るための種々のアクセサリが用意されています。 トロールできるので、外部コンピュータからすべてのファンクショ ンをプログラムすることができます。 高確度の高抵抗測定 6517B型は、高抵抗測定のアプリケーションを精度よく行うため の多くの特長と機能を持っています。たとえば、内蔵の電圧源を 使うと、絶縁物の抵抗率と印加電圧レベルの関係を簡単に見出 すことができます。コンデンサのリーク/絶縁抵抗測定、プリント 基板の表面絶縁抵抗の試験、抵抗の電圧係数試験そしてダイオ ードのリーク評価などで便利です。 測定サンプルの固有バックグラウンド電流によって以前は正確な 測定ができなかったデバイスや材料の非常に高い抵抗の測定の ために6517B型に組み込まれた試験シーケンスが電圧反転法を 実現しています。オプションの6524型ソフトウェアパッケージを 使うと、コンピュータを介して6517B型の操作が単純化され、特 定の材料や被測定物の試験パラメータ(遅延時間、電圧など)を 最適化するのが容易になります。6517Bメータ、ソフトウェア、抵 抗率フィクスチャを組み合わせて特定の材料やデバイスの試験 アプリケーションが行えるようになります。詳しくは、65型の資 料を参照ください。 温度スタンプと湿度スタンプ 湿度と温度は材料の抵抗率に大きく影響する場合がありま す。変化する条件下で収録される読み値を正確に比較するた め、6517B型は内蔵のKタイプ熱電対とオプションの6517-RH型 相対湿度プローブが用意されています。内蔵しているデータ保存 バッファに、収録された時点での時刻、温度、相対湿度でスタン プされた読み値を記録でき、呼び出すこともできます。 スキャナカード 複数の信号のスキャンを単純化する2つのスキャ ナがあります。どちらのカードも測定器の背面パネルのオプショ ンスロットに簡単に装着できます。6521型スキャナカードは低レ ベルの電流のスキャン用で10チャンネル構成です。6522型スキ ャナカードは高インピーダンス電圧のスイッチングまたは低電流 のスイッチング用で10チャンネルです。 テストフィクスチャ 8009型抵抗率チャンバは被測定材料の体積 または表面抵抗率の測定用のガードされたテストフィクスチャで す。ASTM規格に準じたステンレス電極を使っています。フィクス チャの電極寸法はあらかじめ6517B型にプログラムされるので、 それらの値を計算して手入力する必要がありません。このアクセ サリは、チャンバの蓋を空けると自動的に6517B型の電源をオフ にすることで危険電圧との不測の接触を起こさないように設計 されています。 アプリケーション 6517B型は物理、光学、材料科学といった研究分野での低電 流、高インピーダンス電圧、抵抗、電荷の測定に最適な製品で す。入力電圧降下が極端に小さいので特に太陽電池関係のアプ リケーションに向いており、内蔵電圧源と高感度電流測定により ポリマーベースのナノワイヤのようなナノ材料の高抵抗測定にも 絶好のソリューションになります。測定のスピードが速く使いや すい測定器なので、リーク、ブレークダウンや抵抗測定が必要と なる品質管理、製品技術、製造試験アプリケーションにも有効 にお使いいただけます。6517B型の電圧反転法を使うことで、非 導体材料の体積および表面抵抗率の測定を確実に行えます。 6517B型での性能拡張 6517B型は1996年に発売された6517A型を置き換える刷新バ ージョンです。6517A型用にSCPIコマンドで作られたソフトウ ェアアプリケーションはそのまま6517Bで実行できます。しか し、6517B型では、6517A型に対していくつかの有用な性能拡 張を行っています。バッテリバックアップされた内部メモリバッフ ァは50,000点まで格納でき、より長い期間での試験結果を蓄 積、試験結果に関連するデータも収録することができます。測 定の読取レートが速くなり、内部バッファに対しては最大425読 取/秒、IEEEバスを介しての外部メモリに対しては最大400読取/ 秒となっています。最新の接続方法の採用や安全性の観点から いくつかのコネクタが変更になっています。 6517B型背面パネル www.keithley.jp A G REA T ER M EASURE O F CO N F I D E N CE 6517B 2V 20V 200V 10 µV 100 µV 1 mV 確度 (1年)1 18°–28°C ±(読みの%+カウント) 0.025+ 4 0.025+ 3 0.06 + 3 温度 係数 0°–18°C & 28°–50°C ±(読みの%+カウント)/°C 0.003+ 2 0.002+ 1 0.002+ 1 NMRR: 2V/20Vレンジ>60dB、200Vレンジ>55dB、50Hzまたは60Hz2 CMRR: >120dB@DC、50Hzまたは60Hz 入力インピーダンス: >200TΩ (並列容量20pF)、<2pFでガード (zero check オンで1MΩ) プリアンプ出力での小信号バンド幅: 100kHz(代表値) (–3dB) 1. zero実施、5½桁、1 PLC (電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタルフ ィルタ = 10読取 2. Line syncオン 電流 5½桁 レンジ 20 pA 200 pA 2 nA 20 nA 200 nA 2 µA 20 µA 200 µA 2mA 20mA 分解能 確度 (1年)1 18°–28°C ±(読みの%+カウント) 100 aA 2 1 fA 2 10 fA 100 fA 1 pA 10 pA 100 pA 1 nA 10 nA 100 nA 1 +30 1 + 5 0.2 +30 0.2 + 5 0.2 + 5 0.1 +10 0.1 + 5 0.1 + 5 0.1 +10 0.1 + 5 温度 係数 0°–18°C & 28°–50°C ±(読みの%+カウント)/°C 0.1 + 5 0.1 + 1 0.1 + 2 0.03 + 1 0.03 + 1 0.005+ 2 0.005+ 1 0.005+ 1 0.008+ 2 0.008+ 1 入力バイアス電流: <3fA@Tcal(校正温度)、温度係数=0.5fA/°C、20pAレンジ 入力バイアス電流ノイズ: <750aA p-p (入力キャップ時)、0.1Hz〜10Hzバン ド幅、dampingオン、デジタルフィルタ=40読取、20pAレンジ 入力電圧降下の温度係数@Tcal ±1°C: <20µV (20pA, 2nA, 20nA, 2µA, 20µAレンジ) <100µV (200pA, 200nA, and 200µAレンジ) <2mV (2mAレンジ)、<5mV (20mAレンジ) 入力電圧降下の温度係数: <10µV/°C (pA, nA, µA レンジ) プリアンプのセトリング時間 (最終値の10%) (代表値): 0.5s (dampingオフ) 、2.0 s (dampingオン)、pAレンジ; 15ms (dampingオフ)、nAレンジ ;1ms (dampingオフ)、µAレンジ; 500µs (dampingオフ) mAレンジ NMRR: >60dB、全レンジ、50Hzまたは60Hz3 1. zero実施、5½桁、1PLC (電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタルフィ ルタ=10読取 2. aA = 10 –18A、fA = 10 –15A 3. Line syncオン 電荷 5½桁 レンジ 分解能 2 nC 20 nC 200 nC 2 µC 10 fC 100 fC 1 pC 10 pC 確度 (1年)1, 2 18°–28°C ±(読みの%+カウント) 0.4+ 5 0.4+ 5 0.4+ 5 0.4+ 5 温度 係数 0°–18°C & 28°–50°C ±(読みの%+カウント)/°C 0.04+ 3 0.04+ 1 0.04+ 1 0.04+ 1 1. 仕様は電荷収録直後に適用される。次を追加する。 |QAV| (4fA +_____ ) TA RC TA = クーロンzeroと測定の間の期間(秒) Q AV = TA期間で測定された平均電荷、RC = 300,000 (代表値) 2. zero実施、5½桁、1PLC (電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタルフィ ルタ = 10読取り 入力バイアス電流: <4fA at Tcal. 温度係数 = 0.5fA/°C、2nCレンジ www.keithley.jp 抵抗 (通常手法) 確度1 (10–100% レンジ) 18°–28°C (1年) ±(読みの%+カウント) 5½桁 レンジ 分解能 10 Ω 100 Ω 1 kΩ 10 kΩ 100 kΩ 1 MΩ 10 MΩ 100 MΩ 1 GΩ 2 MΩ 20 MΩ 200 MΩ 2 GΩ 20 GΩ 200 GΩ 2 TΩ 20 TΩ 200 TΩ 温度 係数 (10–100%レンジ) 0°–18°C & 28°–50°C 自動 電流 ±(読みの%+カウント) 電圧源 レンジ 0.125+ 1 0.125+ 1 0.15 + 1 0.225+ 1 0.225+ 1 0.35 + 1 0.35 + 1 1.025+ 1 1.15 + 1 0.01 + 1 0.01 + 1 0.015 + 1 0.035+ 1 0.035+ 1 0.110 + 1 0.110 + 1 0.105 + 1 0.125 + 1 40V 40V 40V 40V 40V 40V 400V 400V 400V 200 µA 20 µA 2 µA 200 nA 20 nA 2 nA 2 nA 200 pA 20 pA 1. 仕様の条件：自動電圧源でのΩ、zero実施、5½桁、1PLC(電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタ ルフィルタ = 10 読取り。ユーザ指定の電圧の場合はマニュアルモードを使用のこと。マニュアルモードでは測 定電流から計算された抵抗 (最大1018W)を表示する。確度は電圧源の確度と選択された電流レンジの確度の和 になる。 プリアンプセトリング時間: 電流仕様中のプリアンプセトリング時間に電圧源のセトリング時間を 足す。20GWを超えるレンジでは負荷の特性に基づく追加のセトリングが必要になる。 抵抗 (極性反転法) 極性反転シーケンスではサンプル材料やデバイスのバックグラウンド(オフセット)電流を補償す る。最大許容オフセットは使用電流レンジのフルスケール ケースレー8009型フィクスチャを使用した場合 リピータビリティ: DIBG × R/VALT + 0.1% (1σ) (測定器温度変動 ±1°C) 確度: (VSRCErr + IMEASErr × R)/VALT DIBG；サンプルとフィクスチャからの代表的なバックグラウンド電流ノイズ測定値 VALT；使用された極性反転電圧 VSRCErr; VALT を設定した電圧源の確度(V) IMEASErr; VALT /Rを読み込む電流計の確度(A) 電圧源 確度 (1年) 18°–28°C ±(設定の% + オフセット) 5½桁 レンジ 分解能 100V 1000V 5 mV 50 mV 0.15 + 10 mV 0.15 +100 mV Model 6517B Side specifications Text 5½桁 レンジ 分解能 温度 係数 0°–18°C & 28°–50°C ±(設定の%+オフセット)/°C 0.005 + 1 mV 0.005 +10 mV 最大出力電流: 100Vレンジ: ±10mA、ハードウェア短絡保護@<14mA 1000Vレンジ: ±1mA、ハードウェア短絡保護@<1.4mA セトリング時間: 100Vレンジ: <8ms(規定確度まで) 1000Vレンジ: <50ms(規定確度まで) ノイズ (代表値): 100Vレンジ: <2.6mV rms 1000Vレンジ: <2.9mV rms 温度 (熱電対) 確度 (1年)1 18°–28°C ±(読みの% + °C) 熱電対 タイプ レンジ K –25°C〜150°C ±(0.3% + 1.5°C) 1. プローブ誤差を除く、Tcal ± 5°C、1 PLC積分時間 湿度 レンジ 確度 (1年)1 18°–28°C, ±(読みの% + % RH) 0–100% ±(0.3% +0.5) 1. 湿度プローブ確度を追加すること。6517-RH型では±3% RH、65°Cまで、85°Cを超 えてはならない A G REA T ER M EASURE O F CO N F I D E N CE Low Level Measure & Source 電圧 エレクトロメータ/絶縁抵抗計 エレクトロメータ/絶縁抵抗計 6517B インタフェース情報 Model 6517B Side specifications Text GPIB制御コマンド: SCPI (IEEE-488.2 、SCPI-1999.0) トリガから読み完了まで: 150ms(代表値、外部ト リガを利用) RS-232: 制御コマンド: SCPI 1991.0 ボーレート: 300、600、1200、2400、4800、 9600、19.2k、38.4k、57.6k、115.2k フロー制御: None、Xon/Xoff コネクタ: DB-9 TXD/RXD/GND 一般仕様 表示: 6½桁真空蛍光表示器 オーバレンジ表示: レンジの105%を超える読み値に 対して OVERFLOW と表示。過度のオーバレン ジ状態では OUT OF LIMIT と表示 レンジング: 自動またはマニュアル 変換時間: 0.01PLCから10PLCまで選択可 最大入力: 250Vピーク、DC∼60Hzサイン波; mAレ ンジでは1分間に最大10秒 最大コモンモード電圧 (DC∼60Hzサイン波): エレク トロメータ500Vピーク、電圧源750Vピーク アイソレーション (メータコモン - シャーシ): >1010 Ω、<500pF 入力コネクタ: 3ラグトライアキシャル(背面パネル) 2Vアナログ出力: フルレンジ入力で2V、電圧モードで は非反転、電流 /抵抗 /電荷に対しては反転、出力イ ンピーダンス10k Ω プリアンプ出力: 電圧測定ではガード出力、反転出力 として使用可、あるいは電流 /電荷モードで外部フ ィードバックと共に使用可 外部トリガ: TTL互換 ガード: スイッチ可能な電圧ガードあり デジタルI/Oとトリガライン: あり、使用時はマニュア ルを参照 EMC: European Union Directive 89/336/EEC, EN 61326-1に適合 安全性: European Union Directive 73/23/EEC, EN 61010-1に適合 読取値格納: 50,000 読取レート: 対内部バッファ: 425読取 / 秒1 対IEEE-488バス: 400読取 / 秒1, 2 バス転送: 3300読取 / 秒2 1. 0.01PLC、デジタルフィルタオフ、表面パネルオフ、湿度 + RHオフ、Line Syncオフ 2. バイナリ転送モード デジタルフィルタ: メディアンおよび平均 環境: 動作時: 0°–50°C; 相対湿度 70%、結露な し、35°Cまで 保存時: –25°∼+65°C 高度: 最大海抜2000m (EN 61010-1に準拠) ワームアップ: 規定確度に達するまで1時間 電源: 選択可、100、120、220、240VAC±10% 50/60Hz、最大100VA 筐体寸法: 90mm(高さ) × 214mm (幅) × 369mm ( 奥行き)、電源コードとIEEE-488のコネクタを含め ると奥行きは394mm 質量: 5.4kg 出荷質量: 6.9kg 仕様は予告なく変更になる場合があります。 Keithleyの商標はすべてKeithley Instruments, Incに帰属します。 その他の商標は各所有会社に帰属します。 Low Level Measure & Source A G R E A T E R M E A S U R E O F C O N F I D E N C E ケースレーインスツルメンツ株式会社 本社■〒105-0022 東京都港区海岸1-11-1 ニューピア竹芝ノースタワー13F■ TEL:03-5733-7555 ■ FAX:03-5733-7556 ■ www.keithley.jp 大阪オフィス■〒564-0052 大阪府吹田市広芝町9番地 第11マイダビル■TEL:06-6190-0014 ■ FAX:06-6190-0017 ■ [email protected] © Copyright 2008 Keithley Instruments, Inc. 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