サーボ弁 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) OBE (On-Board Electronic) type Linear Servo Valves (Std.Type) アンプ搭載形リニアサーボ弁は、2段形高速リニアサーボ弁をベースにパイロット弁の 小形化を図り、専用アンプをコンパクトに一体化させ『高精度・簡単・便利』を実現 したサーボ弁です ●高精度 アンプ搭載形リニアサーボ弁は全形式とも高速リニアサーボ弁同様にヒステリシス0.1 % 以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが 可能です。 ●高応答 応答性の指標であるステップ応答と周波数応答は、ステップ応答:7 ms(0⇔100 %)★、 周波数応答:125 Hz/−3 dB(±25 %振幅)★と同等機種の中では高応答性を有しています。 (★:LSVHG-03EH代表例) ●簡 単 アンプ搭載形リニアサーボ弁は直流24 V電源を供給し、かつ指令信号を入力するだけで 油圧制御システムの高精度化が実現可能です。 なお、入力信号としては 0∼±10 V、0∼±10 mA、4∼20 mA の3タイプ6機種を用意して います。 ●便 利 バルブに搭載した小形アンプには故障診断インジーケータランプを設置しています。 バルブに異常が発生し指令信号とスプール位置が一致しなくなった場合、ランプ表示により異常を知らせますので、故障対応を素早く行 うことが可能です。 ●2種類のパイロット弁が選択可能 パイロット弁は、応答性に優れたドライ形と使い易さを重視してDRポートの配管を不要としたウェット形の2種類を用意していますので、 用途に適したものが選択できます。 ●優れた耐コンタミ性 高速リニアサーボ弁同様にパイロット弁の構造がシンプルであるため、耐コンタミ性に大変優れています。作動油汚染度NAS 1638 10級 まで使用可能です。 JIS油圧図記号 ● スプール形式“2” “2P” , “2L” , A B ● スプール形式“40” A B ● スプール形式“4J” A B A B 入力信号及びスプール変位 モニタ記号“D” “E” “F” A B DR P T P T 内部パイロット・内部ドレン形 Y DR 内部パイロット・外部ドレン形 A B A B X P T DR P T 外部パイロット・内部ドレン形 Y X X P T DR P T Y DR 上図は外部パイロット・内部ドレン形を示します。 パイロット・内部ドレン形式は、スプール形式 “2”、 “2P”、 “2L”と同一です。 P T DR パイロット形式、 ドレン形式は、 入力信号及びスプール変位モニタ 記号“A” “B” “C” と同一です。 DR 外部パイロット・外部ドレン形 ● 詳細図(フェイルセーフ電磁弁付) LSVHG-03/04EH-※-※EA/※EB/※EC LSVHG-06EH-※-※EA/※EB/※EC DR I ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ DR :パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ X P AB T Y X P AB T Y アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) ★:スプール形式により異なります。 (上記油圧図記号と同一です) 663 ■ モデル番号の構成 F− LSVHG −06 EH −900 −2P −E T −W ドレン 形 式 ドレンポート (DR) 有無および 許容背圧 ★1 ★5 適 用 シリーズ 大きさ アンプ 定格流量 流体記号 番 号 の呼び 搭載形 ⊿P=7MPa時 03 230: 230 L/min 2L 270: 270 L/min 2, 40, 2P ★4 210: 210 L/min F: りん酸エ LSVHG: ステル系 2段形 作動油使 リニア 用の場合 サーボ弁 のみ記入 スプール 形 式 パイロット 形式 04 06 EH: アンプ 搭載形 ★4 580: 580 L/min 4J:ABT接続 (中 立) 2L: 2%オーバーラップ (リニアフローゲイン) 無記号: DRポートあり (許容背圧 無記号: 無記号: 0.05MPa) 外部 (パイロット弁 内部 ドライ形) パイロット ドレン E:外部 T:内部 パイロット ドレン 4J:ABT接続 (中 立) 2, 40, 2P 900: 900 L/min 2L: 1300: 2%オーバーラップ 1300 L/min (リニアフローゲイン) スプール形式 2, 2P, 2L ファンクション −20 A:電圧信号 ±10 V(+入力で PBAT流し) B: 電流信号 4∼20 mA (12∼20 mA入力 でPBAT流し) フェイルセーフ C: 電流信号 1: 電磁弁付の場合 ±10 mA(+入力で 6+PE極 のみ適用 PBAT流し) 20 ★3 EA:電磁弁付 PABT振り 開度10% D: 電圧信号 ±10 V(+入力で PABT流し) EB:電磁弁付 PBAT振り 開度10% E: 電流信号 4∼20 mA (12∼20 mA入力 でPABT流し) スプール 形 式 2 40 2L 2P 4J 1 ★1 フェイルセーフ 入力信号及び コネクタ デザイン 機 能 スプール変位モニタ 形 式 番号 EC:電磁弁付 中立 4J:ABT接続 (中 立) ★ 1. スプール形式、フェイルセーフ機能、入力信号及びスプール変位モニタの 組合わせには制限があります。詳細は、右表をご参照ください。 ★ 2.“W”(DR ポートなし)形の場合、水−グリコール系作動油はご使用にな れません。 ★ 3. フェイルセーフ機能“EC”の場合は、コネクタ形式“2” のみが選択可能です。 ★ 4. スプール形式“4J”の定格流量は、+100%入力時入力信号及びスプール 変位モニタ形式“A/B/C”は P → A 流れ、“D/E/F”は P → B 流れの値 です。 ★ 5. 中立時のスプールファンクションは、下表をご参照ください。 ■ 中立時スプールファンクション ★2 W: DRポートなし (パイロット弁 ウエット形) ★4 820: 820 L/min 1300: 1300 L/min −A ★1 無記号:PBAT 振り開度全開 A:PABT振り開 度全開 2, 40, 2P 750: 750 L/min A 2: 11+PE 極 F: 電流信号 ±10 mA(+入力で PABT流し) フェイルセーフ機能 電磁弁付:EC 電磁弁無:無記号、A 電磁弁付:EA、EB 電磁弁無:無記号、A 電磁弁付:EC 電磁弁無:無記号 電磁弁無:A 入力信号及び スプール変位モニタ A、B、C、D、E、F 全て選択可能 D、E、F A、B、C ●弁フェイルセーフ機能について フェイルセーフ機能は、アプリケーションの用途に応じて下記記載事項を参照の上、選 定してください。なお、本弁はフェイルセーフ機能を有しておりますが、停電および電 源ケーブル断線などの電気トラブルや立ち上げ時など、安全確保のため、確実なアクチュ エータの保持・停止が必要な場合は、別途安全回路を設けてください。 40 4J 1)電気系統OFF、油圧系統ONの場合(停電・電源ケーブル断線時など) ★ 項番 モデル番号 フェイルセーフファンクション 1 (F-)LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L (-E) (T) (-W) PBAT振り 開度全開 2 (F-)LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L (-E) (T) (-W)A PABT振り 開度全開 3 (F-)LSVHG-※※EH-※-4J (-E) (T) (-W) PBAT振り 開度全開 4 (F-)LSVHG-※※EH-※-4J (-E) (T) (-W)A PABT振り 開度全開 5 (F-)LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L(-E) (T) (-W)EA (フェイルセーフ電磁弁付) PABT振り(開度10%) 6 (F-)LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L (-E) (T) (-W)EB (フェイルセーフ電磁弁付) PBAT振り(開度10%) 7 (F-) LSVHG-※※EH-※-4J (-E) (T) (-W)EC-A※/B※/C※ A,B,T接続(中立) (フェイルセーフ電磁弁付) 8 (F-) LSVHG-※※EH-※-4J (-E) (T) (-W)EC-D※/E※/F※ A,B,T接続(中立) (フェイルセーフ電磁弁付) ★フェイルセーフ機能の作動時間は、電気条件・油圧条件により異なります。 2)電気系OFF、油圧系統OFFの場合(立ち上げ時など) 1)表の項番1, 2のモデルは、 スプール形式の中立ファンクションとなります。項番5, 6のモデルは、上記“電気系OFF、油圧系統ONの場合”と同一、項番3,4,7,8は、A,B,T 接続(中立)となります。 664 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) サーボ弁 ■ 仕 様 ● LSVHG-※EH-※-2/40/2P/2L 本仕様表の( )内数値は、“LSVHG-※EH-※-※-※※-W※-” (DRポートなし形)に適用となります。 モデル番号 LSVHG−03EH LSVHG−03EH −230−※ −270−※ 項 目 スプール形式 2L 定格流量 ΔP = 7 MPa 時(4方弁) 2 40 2P LSVHG−04EH −750−※ 2 40 2P 2L LSVHG−06EH −900−※ 2 40 2P 2L LSVHG−06EH −1300−※ 2 40 2P L/min 230 270 750 900 1300 定格流量 ΔP’= 0.5 MPa時(1ランド) L/min 87 102 283 340 490 最高使用圧力 外部 ドレン 戻り側 耐圧力(1) 内部 ドレン Tポート MPa 31.5 35 35 31.5 MPa 21(5) 31.5 35 25 5 Yポート MPa 21(7) () 21(7) T&Y MPa 21(7) (5) 21(7) ドレンポート(DR)許容背圧(2) MPa 0.05(“W”モデルは DR ポートなし) 3 パ イ ロ ッ ト 圧 力( ) MPa 1.5 ∼ 21 パ イ ロ ッ ト 流 量(4) L/min パイロット弁の漏れ PS=PP=14 MPa (最大) 最大漏れ量 L/min 主弁の漏れ 32 mm2/s (最大) ヒステリシス 9(8)以上 20(17)以上 22(19)以上 0.8 1.6 23(19)以上 1.2 0.5 1 5.6 0.8 1.6 6.8 % 2.5 0.9 1.8 7 2.5 1 2 8 ms 8(10) 7(9) 11(13) 11(13) 15(18) 周波数応答 ゲイン −3dB (±25 %振幅) (代表値) (6) 位相差 −90 ° Hz 120(100) 125(110) 100(90) 100(90) 75(70) Hz 110(90) 110(100) 90(90) 90(90) 70(75) ±5 ±5 ±7 7 8 8 耐 振 性(7) m/s2 100 防塵・防水性 IP65相当 使用周囲温度範囲 ℃ スプール定格変位 mm スプール受圧面積 2 cm 極 性 リニアモータ 定格 0 ∼ +50 ±4 ±3.5 3 668ページ 入力̶出力信号特性をご参照ください。 電流 A 最大2.1 コイル抵抗 20 ℃時 Ω 9.6 概 略 質 量(8) 電気接続 2.5 0.1 以下 6 ステップ応答 (0 ⇔ 100%) (代表値) () 2L kg 8.5[11] 14[16] 20[24] 20[24] 6 + PE または11 + PEコネクタ 1 注( )戻り側圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください。 (2)ドレンポート(DR)の背圧は、0.05 MPa 以下で、かつ負圧とならないようにしてください。 (3)パイロット弁の供給圧力は、1.5∼21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の60 %以上でご使用ください。 (4)パイロット流量は、パイロット圧力14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。 (5)外部パイロット形で供給圧力 21 MPa 以上で使用される場合は、T, Yポート圧力は 7 MPa 以下としてください。 (6)本特性は、弁単体でパイロット圧力14 MPaとして計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。 (7)取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。 (8) [ ]内の質量はフェイルセーフ電磁弁付を示します。 (9)フェイルセーフ機能範囲については689ページをご参照ください。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) I ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ 665 ■ 仕 様 ● LSVHG-※EH-※-4J-※-A※/B※/C※ 本仕様表の( )内数値は、“LSVHG-※EH-※-※-※※EH-W※-” (DRポートなし形)に適用となります。 モデル番号 項 目 LSVHG-03EH-210 LSVHG-04EH-580 LSVHG-06EH-820 LSVHG-06EH-1300 -4J-※-A※/B※/C※ -4J-※-A※/B※/C※ -4J-※-A※/B※/C※ -4J-※-A※/B※/C※ 4J:A,B,T接続(中立) P→B流れ:10%オーバーラップ、A→T流れ:50%アンダーラップ P→A流れ:60%オーバーラップ、B→T流れ:5% アンダーラップ スプール形式 ⊿P=3.5 MPa (1ランド) L/min P→B流れ:210 A→T流れ:235 P→A流れ:95 B→T流れ:240 P→B流れ:580 A→T流れ:675 P→A流れ:255 B→T流れ:660 P→B流れ:820 A→T流れ:950 P→A流れ:370 B→T流れ:940 P→B流れ:1300 A→T流れ:1440 P→A流れ:660 B→T流れ:1375 L/min P→B流れ:79 A→T流れ:89 P→A流れ:36 B→T流れ:91 P→B流れ:219 A→T流れ:255 P→A流れ:96 B→T流れ:249 P→B流れ:310 A→T流れ:359 P→A流れ:140 B→T流れ:355 P→B流れ:491 A→T流れ:544 P→A流れ:249 B→T流れ:520 定格流量 (±10%) ⊿P=0.5 MPa (1ランド) 最高使用圧力 外 部 ドレン 戻り側 耐圧力(1)内 部 ドレン MPa 31.5 35 35 31.5 Tポート MPa 21 31.5 35 25 Yポート MPa 21(7) T&Y ポート MPa 21(7) ドレンポート (DR) 許容背圧(2) MPa 0.05 以下( “W”形はDRポートなし) 3 MPa 1.5 ∼ 21 4 L/min パイロット圧力( ) パイロット流量( ) パイロット弁の漏れ (最大) PS=PP=14 MPa 最大漏れ量 L/min 32 mm2/s 主弁の漏れ (最大) ヒステリシス % ステップ応答特性(0⇔100%) Pp=14 MPa (代表値) (5) ms 周波数応答特性(±25%振幅) Pp=14 MPa (代表値(5) Hz 9(8)以上 20(17)以上 0.8 以下 1.2 以下 1.2 以下 0.7 以下 1.1 以下 1.2 以下 7(9) 11(13) m/s ℃ スプール定格変位 mm スプール受圧面積 2 100 cm 0 ∼ +50 ±3.5 ±5 ±5 ±7 3 7 8 8 極性 電気接続 15(18) IP65 相当 使用周囲温度範囲 概略質量(6) 11(13) ゲイン-3 dB:125(110) ゲイン-3 dB:100(90) ゲイン-3 dB:100(90) ゲイン-3 dB:75(70) 位相差-90°:110(100) 位相差-90°:90(90) 位相差-90°:90(90) 位相差-90°:70(75) 防塵・防水性 リニアモータ 定 格 23(19)以上 0.1 以下 2 耐振性 22(19)以上 668ページ 入力−出力信号特性をご参照ください。 電流 コイル抵抗 20 ℃時 A 最大2.1 Ω kg 9.6 8.5〔11〕 14〔16〕 20〔24〕 6+PE or 11+PEコネクタ【EN175201 Part 804】 注(1)戻り圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください(なお 03 サイズにおいて外部パイロット形で 21 MPa 以上で使用され る場合は、T,Y ポートは 7 MPa 以下としてください)。 (2)ドレンポート(DR)の背圧は、0.05 MPa 以下でかつ負圧とならないようにしてください。 (3)パイロット弁の供給圧力は、1.5 ∼ 21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の 60 %以上でご使用ください。 (4)パイロット流量は、パイロット圧力 14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。 (5)本特性は、弁単体でパイロット圧力 14 MPa として計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。 (6) [ ]内の質量は、フェイルセーフ電磁弁付を示します。 (7)フェイルセーフ機能範囲については689ページをご参照ください。 666 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) サーボ弁 ■ 仕 様 ● LSVHG-※EH-※-4J-※-D※/E※/F※ 本仕様表の( )内数値は、“LSVHG-※EH-※-※-※※EH-W※-” (DRポートなし形)に適用となります。 モデル番号 項 目 LSVHG-03EH-210 LSVHG-04EH-580 LSVHG-06EH-820 LSVHG-06EH-1300 -4J-※-D※/E※/F※ -4J-※-D※/E※/F※ -4J-※-D※/E※/F※ -4J-※-D※/E※/F※ 4J:A,B,T接続(中立) P→A流れ:10%オーバーラップ、B→T流れ:50%アンダーラップ P→B流れ:60%オーバーラップ、A→T流れ:5% アンダーラップ スプール形式 ⊿P=3.5 MPa (1ランド) L/min P→A流れ:210 B→T流れ:235 P→B流れ:95 A→T流れ:240 P→A流れ:580 B→T流れ:675 P→B流れ:255 A→T流れ:660 P→A流れ:820 B→T流れ:950 P→B流れ:370 A→T流れ:940 P→A流れ:1300 B→T流れ:1440 P→B流れ:660 A→T流れ:1375 L/min P→A流れ:79 B→T流れ:89 P→B流れ:36 A→T流れ:91 P→A流れ:219 B→T流れ:255 P→B流れ:96 A→T流れ:249 P→A流れ:310 B→T流れ:359 P→B流れ:140 A→T流れ:355 P→A流れ:491 B→T流れ:544 P→B流れ:249 A→T流れ:520 35 31.5 35 25 定格流量 (±10%) ⊿P=0.5 MPa (1ランド) 最高使用圧力 MPa 31.5 35 Tポート MPa 21 31.5 Yポート MPa 21(7) T&Y ポート MPa 21(7) ドレンポート (DR) 許容背圧(2) MPa 0.05 以下( “W”形はDRポートなし) パイロット圧力(3) MPa 1.5 ∼ 21 外 部 ドレン 戻り側 耐圧力(1)内 部 ドレン 4 パイロット流量( ) パイロット弁の漏れ (最大) L/min PS=PP=14 MPa L/min 最大漏れ量 32 mm2/s L/min 主弁の漏れ (最大) ヒステリシス % ステップ応答特性(0⇔100%) Pp=14 MPa (代表値) (5) ms 周波数応答特性(±25%振幅) Pp=14 MPa (代表値(5) Hz 9(8)以上 20(17)以上 0.8 以下 1.2 以下 1.2 以下 0.7 以下 1.1 以下 1.2 以下 7(9) 11(13) m/s ℃ スプール定格変位 mm スプール受圧面積 cm 100 2 0 ∼ +50 ±3.5 ±5 ±5 ±7 3 7 8 8 極性 電気接続 15(18) IP65 相当 使用周囲温度範囲 概略質量(6) 11(13) ゲイン-3 dB:125(110) ゲイン-3 dB:100(90) ゲイン-3 dB:100(90) ゲイン-3 dB:75(70) 位相差-90°:110(100) 位相差-90°:90(90) 位相差-90°:90(90) 位相差-90°:70(75) 防塵・防水性 リニアモータ 定 格 23(19)以上 0.1 以下 2 耐振性 22(19)以上 668ページ 入力−出力信号特性をご参照ください。 電流 A コイル抵抗 20 ℃時 Ω kg 最大2.1 9.6 8.5〔11〕 14〔16〕 20〔24〕 6+PE or 11+PEコネクタ【EN175201 Part 804】 注(1)戻り圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください(なお 03 サイズにおいて外部パイロット形で 21 MPa 以上で使用され る場合は、T,Y ポートは 7 MPa 以下としてください)。 (2)ドレンポート(DR)の背圧は、0.05 MPa 以下でかつ負圧とならないようにしてください。 (3)パイロット弁の供給圧力は、1.5 ∼ 21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の 60 %以上でご使用ください。 (4)パイロット流量は、パイロット圧力 14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。 (5)本特性は、弁単体でパイロット圧力 14 MPa として計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。 [ ]内の質量は、フェイルセーフ電磁弁付を示します。 (6) (7)フェイルセーフ機能範囲については689ページをご参照ください。 I ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ ■ 付属品 ●コネクタ ●取付ボルト 取付ボルト モデル番号 取付ボルト 個数 締付トルク LSVHG−03EH 六角穴付ボルト:M6×35L 4個 12.9∼15.9 Nm 六角穴付ボルト:M6×55L 2個 12.9∼15.9 Nm LSVHG−04EH 六角穴付ボルト:M10×60L 4個 60.6∼74.1 Nm LSVHG−06EH 六角穴付ボルト:M12×85L 6個 104∼127 Nm モデル番号 取付ボルト LSVHG−※EH 6+PEエレクトリカルプラグ −※−※1 LSVHG−※EH 11+PEエレクトリカルプラグ −※−※2 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 個数 1個 1個 取付ボルト 締付トルク EN175201 PART804 準拠品 667 ■ 電気仕様 ●6+PEコネクタ仕様 弁モデル A P in B F E C P in A D P in C LSVHG−※EH−※−B1 LSVHG−※EH−※−E1 0V COM(0 V) 信号コモン P in D ★1 0∼±10 V 4∼20m A 0∼±10 mA ★1 Ri = 100 kΩ Ri = 200 Ω Ri = 200 Ω 入力(+) (差動) P in E 入力(−) (差動) P in F スプール変位モニタ P in LSVHG−※EH−※−C1 LSVHG−※EH−※−F1 DC 24 V(DC 21.6∼26.4 V リップルを含む)50 VA 以上 電 源 P in B LSVHG−※EH−※−A1 LSVHG−※EH−※−D1 0∼±10 V 4∼20 mA 0∼±10 mA RL ≧ 10 kΩ RL = 100∼500 Ω★2 RL = 100∼500 Ω★2 ̶ 保護アース ●11+PEコネクタ仕様 弁モデル 5 4 3 2 9 1 P in 6 10 11 8 LSVHG−※EH−※−A2 LSVHG−※EH−※−D2 LSVHG−※EH−※−B2 LSVHG−※EH−※−E2 LSVHG−※EH−※−C2 LSVHG−※EH−※−F2 7 P in 1 DC 24 V(DC 21.6∼26.4 V リップルを含む)50 VA 以上 電 源 P in 2 P in 3 0V 入力電流 = 3∼5 mA at DC 4.8∼28 V Enable(サーボ ON)入力 P in 4 ★1 0∼±10 V 4∼20 mA 0∼±10 mA ★1 Ri = 100 kΩ Ri = 200 Ω Ri = 200 Ω 入力(+) (差動) P in 5 入力(−) (差動) P in 6 スプール変位モニタ P in 7 信号コモン COM(0 V) バルブレディー出力 オープンコレクタ出力 電圧:最大30 V 電流:最大20 mA P in 8 P in 9 ★3 P in 10 P in 11 P in 4∼20 mA 0∼±10 mA RL = 100∼500 Ω★2 RL = 100∼500 Ω★2 DC 24 V(DC 21.6∼26.4 V リップル含む)14 VA(保持電流0.6 A) 電源(電磁弁用) ★3 0∼±10 V RL ≧ 10 kΩ 0V アラーム出力 オープンコレクタ出力 電圧:最大30 V 電流:最大20 mA 保護アース ̶ ★1. 差動入力は、±10 V 電圧入力仕様(LSVHG−※EH−A※/D※)のみです。 ★2. 推奨負荷抵抗は200 Ωです。 ★3. Pin 9、10は、フェイルセーフ電磁弁付の場合のみ使用します。なお、電磁弁電源はアンプ電源(Pin 1、2)と 別電源にしてください。 ●入力−出力信号特性 ・LSVHG−※EH−※−A※/B※/C※ A B P T 0 mA 12 mA 0 V −10 mA 4 mA −10 V −10 V 4 mA −10 mA A B P T 0V 12 mA 0 mA +10 V 20 mA +10 mA A1/A2 B1/B2 C1/C2 出力信号︵スプール変位モニタ︶ 出力信号︵スプール変位モニタ︶ +10 mA 20 mA +10 V ・LSVHG−※EH−※−D※/E※/F※ +10 mA 20 mA +10 V B T 0 mA 12 mA 0 V −10 mA 4 mA −10 V −10 V 4 mA −10 mA A B P T 0V 12 mA 0 mA 入力信号 入力信号 668 A P アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) +10 V 20 mA +10 mA D1/D2 E1/E2 F1/F2 サーボ弁 ■ ブロック図 ● LSVHG−※EH−※−※−A1/D1(6+PEコネクタ) 5A DC24V A +V 供給電源 LED (緑) 電源表示 内部電源 LED (黄) 入力 (+)D 入力信号 −V B 0V 入力 (−) E スプール変位モニタ F COM C 主弁 偏差アラーム NULL 注) 1 100kΩ LED (赤) パイロット弁 偏差アラーム コイル PWM Ri 電流検出 パイロット弁 L.V.D.T パイロット弁 − L.V.D.Tアンプ 主弁 L.V.D.T 保護アース PE 主弁 − L.V.D.Tアンプ 注)1. LSVHS-※EH-※-※-B1/C1/E1/F1(電流信号)の場合、入力段は下記となります。 入力 (+)D 200Ω 入力信号 Ri 入力 (−) E ● LSVHG−※EH−※−※−A2/D2(11+PEコネクタ) DC24V 1 5A 供給電源 電源表示 0V Enable 入力 LED (緑) +V −V 内部電源 2 3 バルブレディ 8 LED (黄) アラーム出力 11 入力信号 入力 (+) 4 入力 (−) 5 スプール変位モニタ 6 COM 7 注) 1 NULL バルブ レディ LED (赤) 主弁 偏差アラーム +V I パイロット弁 偏差アラーム コイル PWM 100kΩ Ri 電流検出 パイロット弁 L.V.D.T パイロット弁 − L.V.D.Tアンプ 供給電源 (電磁弁用) 主弁− L.V.D.Tアンプ 注) 2 DC24V 9 消費電力 14 W 注) 2 0V 10 保護アース 主弁 L.V.D.T ソレノイド (フェイルセーフ 電磁弁) PE ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ 注)1. LSVHG−※EH−※−※−B2/C2/E2/F2(電流信号)の場合、入力段は下記となります。 入力 (+)4 入力信号 入力 (−)5 200Ω Ri 2. Pin9およびPin10はフェイルセーフ電磁弁付:LSVHG−※EH−※−※−※E※の場合のみ使用します。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 669 LSVHGー03EHー230/270 LSVHG-03EH-230:58 LSVHG-03EH-270:41.5 157 パイロットドレンポート“Y” 54 4-φ7穴 φ11ざぐり パイロット圧力ポート“X” (4.5) 銘板 C 備 考 168 パイロット弁ドライ形 LSVHG−03EH−※−※ 46 ドレンポート “DR”位置 46 モデル番号 ★3 タンクポート“TB ” ★3 12 LSVHG−03EH−※−※−※−W 177 パイロット弁ウエット形 タンクポート“TA ” パイロットスプール用位置センサ シリンダポート“B” シリンダポート“A” ★1 6+PE or 11+PEエレクトリカルプラグ 外部配管用ドレンポート“DR” EN175201 Part 804 Rc1/8(裏面) 負圧とならないように、 配管して下さい。 適用ケーブル外径:φ8∼10 ) 色 12.5 緑 赤 黄 表示灯詳細 電源表示 パイロット弁偏差アラーム 主弁偏差アラーム 表示灯 (176) 131.5 C 0404 ( 取付面:ISO 4401-05-05-0-94に準拠 圧力ポート“P” LSVHG-03EH-230:237 LSVHG-03EH-270:220.5 ★2 27 28 NULL調整穴保護ねじ M5(+)ねじ 25 取付面 12 (Oリング付) 104 2 70 ★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅:5)を外し、裏側のポー トをプラグしてください。 ★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ず保護ねじを取付けてください。 詳細油圧図記号 フェイルセーフ電磁弁付 LSVHGー03EHー230/270ー※ー※EA/EB/EC DR 注)■部はスプール形式により 異なります(663ページの JIS油圧図記号と同一です) 。 111 76 X P AB T Y 【弁取付面寸法】 下図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、 ISO 4401−05−05−0−94に基本的に合致しております。取付面 は6−S程度に仕上げてください。 C 181.5 : パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ 62 R YUKEN KOGYO CO.,LTD. 54 JAPAN (50.8) C モデル番号 LSVHG−03EH−※−※−E※ 218 37.3 備 考 27 パイロット弁ドライ形 LSVHG−03EH−※−※−WE※ 227 パイロット弁ウエット形 4-M6ねじ 深13 16.7 4-φ11穴 8 3.2 (フェイルセーフ電磁弁なし)をご参照くだ ●その他の寸法は、上図 さい。 ポート名称 O リングサイズ 個数 P, A, B, T AS568 − 014(NBR, Hs90) 5 X, Y AS568 − 016(NBR, Hs90) 2 りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。 670 11 P 6.4 21.5 32.5 46 ● 各ポート用Oリング 2-φ6.2穴 X A B Y ★3 ★3 TA TB ★3.タンクポートは“T A”,“T B”の2箇所ありますが、“T A” のみの使用で差し支えありません。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) サーボ弁 LSVHGー04EHー750 LSVHG−04EH−750−※ タンクポート“T” 銘板 2-φ6.4穴 φ11ざぐり 194 パイロット弁ドライ形 圧力ポート“P” パイロット圧力ポート“X” 298.5 218.5 4-φ10.5穴 φ17.5ざぐり 101.6 (4.5) 34.1 パイロットドレンポート“Y” 50 2 70 91 パイロットスプール用 位置センサ ドレンポート “DR”位置 12 10.5 35 備 考 LSVHG−04EH−750−※−W 203 パイロット弁ウエット形 58 69.9 ドレンポート “DR”位置 58 C モデル番号 シリンダポート“B” シリンダポート“A” ★1 外部配管用ドレンポート“DR” Rc1/8(裏面) 負圧とならないように、 配管して下さい。 ( 6+PE or 11+PE エレクトリカルプラグ EN175201 Part 804 適用ケーブル外径:φ8∼10 ) 50 色 表示灯詳細 電源表示 パイロット弁偏差アラーム 主弁偏差アラーム 157.5 C (178) 緑 赤 黄 表示灯 ★2 31 46 45 NULL調整保護ねじ M5(+)ねじ 2-φ3位置決めピン 22 取付面 Oリング付 128.6 4 13.4 ★1. 外部配管用ドレンポート“DR” は、 通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅5)を外し、 裏側のポートをプラグしてください。 ★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ず保護ねじを取付けてください。 I フェイルセーフ電磁弁付:LSVHGー04EHー750ー※ー※EA/EB/EC 詳細油圧図記号 121.5 76 DR 注)■部はスプール形式により 異なります(663 ページの JIS 油圧図記号と同一です)。 X P AB T Y C 207.5 3 D 5 : パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ モデル番号 LSVHG−04EH−750−※−E※ C 備 考 244 パイロット弁ドライ形 LSVHG−04EH−750−※−WE※ 253 パイロット弁ウエット形 R ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ ●その他の寸法は、上図(フェイルセーフ電磁弁なし)をご参照くだ さい。 ● 各ポート用Oリング ポート名称 O リングサイズ 個数 P, A, B, T JIS B2401 − 1B − P22 4 X, Y AS568 − 012(NBR, Hs90) 2 【弁取付面寸法】 弁取付面寸法は、LSVHG−04(644ページ)と同じです。 りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 671 LSVHGー06EHー900/1300 パイロットドレンポート“Y” 備 考 244 パイロット弁ドライ形 LSVHG−06EH−※−※−W 253 パイロット弁ウエット形 パイロットスプール用 位置センサ 130.2 53.2 C (4.5) 銘板 70 13 46 118 ドレンポート “DR”位置 23 55 LSVHG−06EH−※−※ 圧力ポート“P” LSVHG-06EH-900:348.5 LSVHG-06EH-1300:351.5 LSVHG-06EH-900:271.5 LSVHG-06EH-1300:274.5 92.1 ドレンポート “DR”位置 69 タンクポート“T” モデル番号 2 77 パイロット圧力ポート“X” シリンダポート“A” 6-φ13.5穴 φ20ざぐり シリンダポート“B” 6+PE or 11+PEエレクトリカルプラグ EN175201 Part 804 ★1 外部配管用ドレンポート“DR” Rc 1/8 (両側) 負圧とならないように、 配管して下さい。 77.2 適用ケーブル外径:φ8∼10 0404 色 表示灯詳細 緑 電源表示 赤 パイロット弁偏差アラーム 黄 主弁偏差アラーム C NULL調整穴保護ねじ★2 M5(+)ねじ 2-φ6位置決めピン 11.5 取付面 Oリング付 156 6 R 38.5 64 183.5 (185) 表示灯 36.1 ★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常裏側がプラグされています。裏側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅:5)を外し、 手前側のポートをプラグしてください。 ★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ずこのねじを取付けてください。 フェイルセーフ電磁弁付:LSVHGー06EHー900/1300ー※ー※EA/EB/EC 詳細油圧図記号 135 76 DR X P AB T Y 3 D 5 : パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ 233.5 C 注)■部はスプール形式により異なります (663ページの油圧図記号と同一です) 。 モデル番号 LSVHG−06EH−※−※−E※ 64 R YUKEN KOGYO CO.,LTD. 備 考 270 パイロット弁ドライ形 LSVHG−06EH−※−※−WE※ 279 パイロット弁ウエット形 JAPAN 69 C 284.5 ●その他の寸法は、上図(フェイルセーフ電磁弁なし)をご参 照ください。 375.5 ● 各ポート用Oリング ポート名称 Oリングサイズ LSVHG−06EH−900 LSVHG−06EH−1300 個数 P, A, B, T AS568−123(NBR ,Hs90) AS568−126(NBR, Hs90) 4 X, Y JIS B2401−1B−P14 2 【弁取付面寸法】 弁取付面寸法は、 LSVHG−06(645ページ)と同じです。 りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。 672 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) サーボ弁 LSVHGー03EHー230特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:1 MPa(1ランド差圧:0.5 MPa) 零近傍 入力信号−20 ⇔ +20 % Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) 20 100 500 0 ー20 ー15 ー10 ー5 400 流 量 5 ー50 600 流 15 量 L/min 10 流 量 L/min 50 ー100 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 300 L/min 0 50 100 入力信号 % 5 ー5 ー50 10 15 20 入力信号 % 200 100 0 0 ー10 5 10 15 20 25 31.5 負荷圧力差 ┃PA−PB┃ MPa ー15 ー100 Flow : P→A→B→T ★ (P→B→A→T) Flow:P→A→B→T ★ (P→B→A→T) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 ー20 ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー 60 ル 変 40 位 20 0 % 入力信号 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー 60 ル 変 40 位 20 0 % 5ms 100% 0% 0% 入力信号 → 時 間 5ms 100% 0% 0% → 時 間 ■ 周波数応答特性 I 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 dB 500 ゲイン 0 ゲ イ ン 入力信号 ±100 % 200 30 5 0 0 ー5 ー30 ー10 ー60 位相差 ー15 ー90 ー20 ー120 ー25 ー30 位 相 差 度 ゲ イ ン dB 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 500 30 0 ゲイン ー5 ー30 ー10 ー60 位相差 ー15 ー90 ー20 ー120 ー150 ー25 ー150 ー180 ー30 ー180 位 相 差 度 ● パイロット弁:ウエット形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 入力信号 ±100 % 200 500 0 ー5 ゲ イ ン dB ゲイン 5 0 0 ー30 ー60 ー10 ー15 30 位相差 ー90 ー20 ー120 ー25 ー30 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 ゲ イ ン dB ー30 ゲイン ー10 ー15 30 0 ー5 位 相 差 度 500 位相差 ー60 ー90 ー20 ー120 ー150 ー25 ー150 ー180 ー30 ー180 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ 位 相 差 度 673 LSVHGー03EHー270ー2/40/2P特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:1 MPa(1ランド差圧:0.5 MPa) 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 零近傍 入力信号−20 ⇔ +20 % Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) 20 L/min 50 15 10 700 600 スプール形式 −2P− L/min ー50 0 ー20 ー15 ー10 50 入力信号 % ー5 0 100 ー50 L/min 5 10 15 20 入力信号 % ー5 500 400 スプール 形式 −2−, −40− 5 ー100 流 量 流 量 流 量 100 300 200 100 ー10 0 0 ー15 10 15 20 25 31.5 負荷圧力差 ┃PA−PB┃ MPa ー100 ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 ー20 Flow:P→A→B→T ★ (P→B→A→T) Flow : P→A→B→T ★ (P→B→A→T) 5 ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー 60 ル 変 40 位 20 0 % 入力信号 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー 60 ル 変 40 位 20 0 % 5ms 100% 0% 0% 入力信号 → 時 間 5ms 100% 0% 0% → 時 間 ■ 周波数応答特性 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 入力信号 ±100 % 200 500 ゲイン 0 30 5 0 0 ー30 ー5 ゲ ー10 イ ン ー15 dB ー20 ー60 位相差 ー90 ー120 位 相 差 度 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 500 30 0 ゲイン ー30 ー60 位相差 ー90 ー120 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 1 5 10 20 30 4050 入力信号 ±100 % 100 200 500 ゲイン 5 位相差 ー90 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 500 ゲ イ ン dB ー10 30 ー30 ー5 位 相 差 度 位 相 差 度 0 0 ー30 ー60 ー10 ー15 30 0 0 ー5 674 10 ー25 5 dB 5 ー5 ゲ ー10 イ ン ー15 dB ー20 ● パイロット弁:ウエット形 周波数 Hz 入力信号 ±25 % ゲ イ ン 1 位相差 ゲイン ー60 ー15 ー90 ー20 ー120 ー20 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 位 相 差 度 サーボ弁 LSVHGー03EHー210ー4J特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:ΔP=0.5 MPa(1ランド) Flow: B→T★ (A→T) Flow: A→T★ (B→T) Flow: P→B★ (P→A) Flow: P→A★ (P→B) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A” “B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 I ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 675 LSVHGー04EHー750ー2/40/2P特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:1 MPa(1ランド差圧:0.5 MPa) 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 零近傍 入力信号−20 ⇔ +20 % Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) 300 流 200 量 L/min ー50 1800 スプール形式:ー2Pー 1600 流 40 量 L/min 20 100 ー100 60 0 ー20 ー15 ー10 ー5 1400 1200 流 1000 量 800 L/min 600 スプール 形式: ー2ー,ー40ー 0 50 100 入力信号 % 5 10 15 400 20 200 入力信号 % ー100 0 ー20 0 5 10 15 20 25 30 35 負荷圧力差 ┃PA−PB┃ MPa ー200 ー40 ー300 ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 ー60 Flow : P→A→B→T ★ Flow:P→A→B→T ★ (P→B→A→T) (P→B→A→T) ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 入力信号 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 5ms 100% 0% 0% 入力信号 5ms 100% 0% 0% → 時 間 → 時 間 ■ 周波数応答特性 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 0 入力信号 ±100 % 200 500 ゲイン 30 5 0 0 ー30 ー5 ゲ ー10 イ ン ー15 dB ー20 ー60 ー90 位相差 ー120 位 相 差 度 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 500 30 0 ー5 ゲ ー10 イ ン ー15 dB ー20 ー30 ゲイン ー60 ー90 ー120 位相差 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 ● パイロット弁:ウエット形 周波数 Hz 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 20 30 4050 0 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 入力信号 ±100 % 100 200 500 ゲイン 30 5 0 ー60 位相差 ー90 ー120 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 ー5 位 相 差 度 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 500 位 相 差 度 30 0 0 ー30 ー5 676 1 ゲイン ー30 ー60 位相差 ー90 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 位 相 差 度 サーボ弁 LSVHGー04EHー750ー2L特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:ΔP=1 MPa(4方向)(1ランド差圧:0.5 MPa) 負荷流量特性、ステップ応答特性、周波 数応答特性については、スプール形式 “2”、 “40”、 “2P”と同一です。 零近傍 入力信号−20 ⇔ +20 % Flow: P→B→A→T (P→A→B→T) Flow: P→B→A→T★ (P→A→B→T) ★ Flow: P→A→B→T (P→B→A→T) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A” “B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 Flow: P→A→B→T (P→B→A→T) ★ ★ LSVHGー04EHー580ー4J特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:ΔP=0.5 MPa(1ランド) Flow: B→T★ (A→T) Flow: A→T★ (B→T) Flow: P→B★ (P→A) I Flow: P→A★ (P→B) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A” “B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ 677 LSVHGー06EHー900ー2/40/2P特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:1 MPa(1ランド差圧:0.5 MPa) 零近傍 入力信号−20 ⇔ +20 % Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) 60 スプール形式:ー2Pー 400 流 300 量 L/min 200 ー50 3000 2500 流 40 量 L/min 20 100 ー100 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 0 ー20 ー15 ー10 ー100 ー5 流 2000 量 1500 L/min 1000 スプール 形式: ー2ー,ー40ー 0 50 100 入力信号 % 5 10 15 20 入力信号 % 500 0 ー20 ー200 0 5 10 15 20 25 30 35 負荷圧力差 ┃PA−PB┃ MPa ー40 ー300 ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 ー60 −400 Flow : P→A→B→T ★ (P→B→A→T) Flow:P→A→B→T ★ (P→B→A→T) ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 入力信号 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 5ms 100% 0% 0% 入力信号 5ms 100% 0% 0% → 時 間 → 時 間 ■ 周波数応答特性 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 入力信号 ±100 % 200 500 ゲイン 0 dB 5 0 ー60 ー10 ー90 ー15 位相差 ー20 ー120 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 500 ゲイン ー5 位 相 差 度 ゲ イ ン dB 30 0 0 ー30 ー5 ゲ イ ン 30 1 ー30 ー60 ー10 ー90 ー15 位相差 ー20 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 位 相 差 度 ● パイロット弁:ウエット形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 0 678 500 ゲイン 30 5 0 ー60 位相差 ー90 ー120 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 ー5 位 相 差 度 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 500 30 0 0 ー30 ー5 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 入力信号 ±100 % 200 ゲイン ー30 ー60 位相差 ー90 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 位 相 差 度 サーボ弁 LSVHGー06EHー900ー2L特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:ΔP=1 MPa(4方向)(1ランド差圧:0.5 MPa) 零近傍 入力信号−20 ⇔ +20 % Flow: P→B→A→T★ (P→A→B→T) Flow: P→A→B→T★ (P→B→A→T) 負荷流量特性、ステップ応答特性、周波 数応答特性については、スプール形式 “2”、 “40”、 “2P”と同一です。 Flow: P→B→A→T★ (P→A→B→T) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A” “B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 Flow: P→A→B→T★ (P→B→A→T) LSVHGー06EHー1300ー2L特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:ΔP=1 MPa(4方向)(1ランド差圧:0.5 MPa) 零近傍 入力信号-20⇔+20 % Flow: P→B→A→T★ (P→A→B→T) Flow: P→B→A→T★ (P→A→B→T) 負荷流量特性、ステップ応答特性、周波 数応答特性については、スプール形式 “2”、 “40”、 “2P”と同一です。 ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A” “B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 Flow: P→A→B→T★ (P→B→A→T) Flow: P→A→B→T★ (P→B→A→T) LSVHGー06EHー820/1300ー4J特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:ΔP=0.5 MPa(1ランド) LSVHG-06EH-820- Flow: B→T★ (A→T) LSVHG-06EH-1300- Flow: A→T★ (B→T) Flow: B→T★ (A→T) Flow: P→B★ (P→A) Flow: P→A★ (P→B) Flow: A→T★ (B→T) Flow: P→B★ (P→A) I ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 汎 用 形 ︶ Flow: P→A★ (P→B) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B”“C”を、( )内が入力信号形式“D”“E”“F”を示します。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 679 LSVHGー06EHー1300ー2/40/2P特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 〈条件〉●弁差圧:1 MPa(1ランド差圧:0.5 MPa) 零近傍 入力信号−20 ⇔ +20 % Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) 60 600 500 ー50 3000 スプール形式:ー2Pー 流 400 量 300 L/min 200 ー100 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 流 40 量 L/min 20 100 0 ー20 ー15 ー10 ー5 2500 流 2000 量 1500 スプール 形式: ー2ー,ー40ー 0 50 100 ー100 入力信号 % 5 L/min 1000 10 15 20 入力信号 % 500 0 ー20 ー200 0 ー300 5 10 15 20 25 31.5 負荷圧力差 ┃PA−PB┃ MPa ー40 ー400 ー500 ー600 ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 ー60 Flow : P→A→B→T ★ (P→B→A→T) Flow:P→A→B→T ★ (P→B→A→T) ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 入力信号 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 5ms 100% 0% 0% 入力信号 5ms 100% 0% 0% → 時 間 → 時 間 ■ 周波数応答特性 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 入力信号 ±100 % 200 500 ゲイン 0 dB 5 0 ー60 ー10 ー15 ー90 位相差 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 500 ー30 ー5 位 相 差 度 ゲ イ ン dB 30 0 0 ー30 ー5 ゲ イ ン 30 1 ゲイン ー10 ー60 ー90 ー15 位相差 ー20 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 ー20 ー120 位 相 差 度 ● パイロット弁:ウエット形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 0 ゲイン 680 500 30 5 0 ー60 位相差 ー90 ー120 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 30 ー30 ー5 位 相 差 度 500 0 0 ー30 ー5 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 入力信号 ±100 % 200 ゲイン ー60 ー90 位相差 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 アンプ搭載形リニアサーボ弁(汎用形) 位 相 差 度 サーボ弁 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) OBE(On-Board Electronic)type Linear Servo Valves (High Performance Type) アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形)は、より高精度・高耐久化のため、『高精 度・簡単・便利』でご好評をいただいているアンプ搭載リニアサーボ弁(汎用形)の メイン段にスリーブを組込みました。 スプールとスリーブの1%オーバーラップを適正に確保するため、スプールとスリーブ はマッチング加工を施していますので、より高精度、高耐久を必要とするシステムに 適しています。 ●高精度 高性能形も全形式とも汎用形と同様にヒステリシス0.1 %以下と高精度を実現していま す。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。 ●高応答 応答性の指標であるステップ応答と周波数応答は、ステップ応答:7 ms(0⇔100 %)★、 周波数応答:110 Hz/−3 dB(±25 %振幅)★と同等機種の中では高応答性を有しています。 (★:LSVHG-03EH−※−S※代表例) ●簡 単 アンプ搭載形リニアサーボ弁は直流24 V電源を供給し、かつ指令信号を入力するだけで 油圧制御システムの高精度化が実現可能です。 なお、入力信号としては 0∼±10 V、0∼±10 mA、4∼20 mA の3タイプ6機種を用意して います。 ● 4方弁 ●便 利 A B バルブに搭載した小形アンプには故障診断インジーケータランプを設置していま す。バルブに異常が発生し指令信号とスプール位置が一致しなくなった場合、ラ ンプ表示により異常を知らせますので、故障対応を素早く行うことが可能です。 P T JIS油圧図記号 A B Y DR DR P T ●優れた耐コンタミ性 内部パイロット・外部ドレン形 内部パイロット・内部ドレン形 高速リニアサーボ弁同様にパイロット弁の構造がシンプルであるため、耐コンタ A B A B ミ性に大変優れています。作動油汚染度NAS 1638 10級まで使用可能です。 ●2種類のパイロット弁が選択可能 パイロット弁は、応答性に優れたドライ形と使い易さを重視して DR ポートの配 Y X X DR DR P T P T 管を不要としたウェット形の2種類を用意していますので、用途に適したものが 外部パイロット・外部ドレン形 外部パイロット・内部ドレン形 選択できます。 ● 3方弁 A B 注)パイロット・ドレン形式は 上図“4方弁”と同じです。 ■ モデル番号の構成 F− LSVHG −06 EH 適 用 シリーズ 大きさ アンプ −900 −S 4 定格流量 スプール 制御 形 式 方式 流体記号 番 号 の呼び 搭載形 ΔP=7 MPa 03 F: りん酸 エステル LSVHG: 系 2段形 作動油 リニア 04 使用の サーボ弁 場合のみ 記入 06 DR P T 60: 60 L/min 100: 100 L/min 160: 160 L/min 100: EH: 100 L/min 200: アンプ 200 L/min 280: 搭載形 280 L/min 450: 450 L/min 500: 500 L/min 900: 900 L/min −E T −W A ドレンポート フェイル (DR)有無およ セーフ 形 式 び許容背圧 機 能 パイロット ドレン 形 式 無記号: 無記号: PBAT振り DRポート 開度全開 3: あり (許容 A: 無記号: 無記号: 背圧0.05 PABT振り S : 1% 3方弁★1 開度全開 外部 MPa) 内部 フェイ ル セー オーバー (Aポート フ電磁弁付の パイロット ドレン ラップ 使用) 場合のみ適用 W: EA: E:外部 T:内部 DRポート 電磁弁付 ★2 PABT振り 4: パイロット ドレン なし 開度10% (パイロッ 4方弁 EB: ト弁ウエ 電磁弁付 PBAT振り ット形) 開度10% −A 1 −20 入力信号及 コネクタ デザ びスプール イン 変位モニタ 形 式 番号 A:電圧信号± 10V、+入力で PBAT流し B:電流信号 4∼20mA、 (12∼ 20mA入力で PBAT流し) C:電流信号± 10mA、 (+入力で PBAT流し) D:電圧信号 ±10V、 (+入力で PABT流し) E:電流信号 4∼20mA、 (12∼ 20mA入力で PABT流し) F:電流信号± 10mA、 (+入力で PABT流し) 1: 6+PE極 2: 11+PE極 I ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 高 性 能 形 ︶ 20 2: 11+PE極 ★1.3方弁の場合、フェイルセーフ電磁弁付は“EB”が、また、入力信号およびスプール変位モニタは、 “D” “E” “F”のみ選択可能です。 ★2. 「W」 (DRポートなし)形の場合、水−グリコール系作動油はご使用になれません。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) 681 ■ 仕 様 (DRポートなし形)に適用となります。 本仕様表の ( )内数値は、 “LSVHG−※EH−※−S※−※※−W※−” モデル番号 LSVHG−03EH−※−S※ 項 目 スプール形式 S4 定格流量 ΔP = 7 MPa 時(4方弁) L/min 60 100 160 − − 定格流量 ΔP = 3.5 MPa 時(3方弁)L/min − − 60 100 160 戻り側 耐圧力(1) 内部 ドレン S4 S4 S3 100 200 280 450 − − − 35 Yポート MPa (7) 21 () 21(7) 21(7) T&Y MPa (7) 21 (7) 21(7) 21(7) 1.5∼21 4以上 21以上 6以上 1.2 L/min 0.6 32mm /s 1.1 2.1 0.3 0.6 1.1 % ヒステリシス 0.9 1.7 2.5 5.0 0.5 0.9 1.3 2.5 1.9 4.8 1.0 7(8) 11(12) 12(13) ゲイン −3dB (±25%振幅) Hz 110(80) 100(80) 100(80) 位相差 −90 ° (±25%振幅) Hz 110(90) 100(90) 95(90) m/s2 100 防塵・防水性 − IP65相当 使用温度範囲 ℃ 0∼+50 スプール定格変位 mm スプール受圧面積 2 ±3.5 ±3.5 ±5 1.3 3.1 8 8.5[11] 14[16] 20[24] ISO 4401-05-05-0-94 ISO 4401-07-06-0-94 ISO 4401-08-07-0-94 cm 電流 A 最大2.1 コイル抵抗 20℃時 Ω 9.6 8 kg 概 略 質 量( ) 取 付 面 2.4 0.1以下 ステップ応答(0⇔100%) (代表値) (5) ms 耐 振 性(6) − 0.05(“W” モデルはDRポートなし) 0.4 2 リニアモータ 定格 500 900 − 31.5 作動油粘度 (代表値) () − 7 PS=PP=14 MPa 5 − 21 パ イ ロ ッ ト 流 量( ) L/min 周波数応答 500 900 MPa 4 (最大) − 35 パ イ ロ ッ ト 圧 力( ) MPa 主弁の漏れ − 100 200 280 450 − 3 漏れ(最大) − 35 ドレン(DR)ポート許容背圧(2) MPa パイロット弁の − S3 31.5 Tポート 外部 − − LSVHG−06EH −※−S※ MPa 最高使用圧力 ドレン S3 LSVHG−04EH−※−S※ 電気接続 6+PE または 11+PE コネクタ(EN175201 Part 804) 1 注( )戻り側圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください。 (2)ドレンポート(DR)の背圧は、0.05 MPa 以下で、かつ負圧とならないように注意してください。 なお、モデル番号に“W”が付く場合は、ドレンポート(DR)の配管は必要ありません。 (3)パイロット弁の供給圧力は、1.5∼21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の60 %以上でご使用ください。 (4)パイロット流量は、パイロット圧力14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。 (5)本特性は、弁単体でパイロット圧力14 MPaとして計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。 (6)取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。 (7)外部パイロット形で供給圧力 21 MPa 以上で使用される場合は、T, Yポート圧力は 7 MPa 以下としてください。 (8) [ ]内の質量はフェイルセーフ電磁弁付を示します。 (9)フェイルセーフ機能範囲については、689ページをご参照ください。 ■ 付属品、電気仕様、ブロック図について これらについては汎用形と同じですので該当するページをご参照ください。 682 項 目 参照ページ 付 属 品 667 電気仕様 668 ブロック図 669 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) サーボ弁 圧力ポート“P” LSVHGー03EHー60/100/160ーS※ 取付面:ISO 4401-05-05-0-94に準拠 252.5 パイロットドレンポート“Y” 173.5 57 4-φ7穴 φ11ざぐり 54 (4.5) パイロット弁銘板 C 46 23 70 ドレンポート “DR”位置 46 モデル番号 ★3 タンクポート“TA” ★3 12 タンクポート“TB” 2 パイロット圧力ポート“X” 備 考 パイロット弁 LSVHG−03EH− 168 ドライ形 ※−S※ パイロット弁 LSVHG−03EH− 177 ウエット形 ※−S※−W シリンダポート“B” 主弁銘板 シリンダポート“A” パイロットスプール用位置センサ ★1 外部配管用ドレンポート“DR” 適用ケーブル外径:φ8∼10 Rc 1/8 (裏面) 負圧とならないように、 配管してください。 6+PE or 11+PEエレクトリカルプラグ EN175201 Part 804 12.5 C 131.5 (176) 色 表示灯詳細 緑 電源表示 赤 パイロット弁偏差アラーム 黄 主弁偏差アラーム 表示灯 NULL調整穴保護ねじ M5 (+) ねじ ★2 28 27 R YUKEN KOGYO CO.,LTD. JAPAN 25 12 取付面 Oリング付 104 ★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅:5)を外し、裏側 のポートをプラグしてください。 ★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ず保護ねじを取付けてください。 ★3.タンクポートは“TA” ,“TB”の2箇所ありますが、“TA”のみの使用で差し支えありません。 I フェイルセーフ電磁弁付 LSVHGー03EHー60/100/160ーS※ー※EA/EB 111 76 【弁取付面寸法】 弁取付面寸法は、LSVHG−03EH(670 ページ)と同じです。 詳細油圧図記号 181.5 C DR X AB T Y : パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ R YUKEN KOGYO CO.,LTD. P ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 高 性 能 形 ︶ JAPAN ● 各ポート用Oリング ポート名称 Oリングサイズ 個数 P, A, B, T AS568−014(NBR, Hs90) 5 X, Y AS568−016(NBR, Hs90) 2 りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。 モデル番号 LSVHG−03EH−※−S※−E※ C 備 考 218 パイロット弁ドライ形 LSVHG−03EH−※−S※−WE※ 227 パイロット弁ウエット形 ●その他の寸法は、上図(フェイルセーフ電磁弁なし)をご参照くだ さい。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) 683 LSVHGー04EHー100/200/280/450ーS※ LSVHG−04EH−※−S※ パイロット弁銘板 101.6 (4.5) パイロットドレンポート“Y” 50 2 70 91 パイロットスプール用 位置センサ ドレンポート “DR”位置 12 35 パイロット弁ドライ形 パイロット圧力ポート“X” 34.1 10.5 69.9 ドレンポート “DR”位置 58 58 194 圧力ポート“P” 298.5 218.5 4-φ10.5穴 φ17.5ざぐり 備 考 LSVHG−04EH−※−S※−W 203 パイロット弁ウエット形 2-φ6.4穴 φ11ざぐり タンクポート“T” C モデル番号 シリンダポート“B” シリンダポート“A” ★1 外部配管用ドレンポート“DR” Rc1/8(裏面) 負圧とならないように、 配管して下さい。 ( ) 6+PE or 11+PE エレクトリカルプラグ EN175201 Part 804 適用ケーブル外径:φ8∼10 50 0404 色 表示灯詳細 電源表示 パイロット弁偏差アラーム 主弁偏差アラーム 157.5 C (178) 緑 赤 黄 表示灯 ★2 13.4 2-φ3位置決めピン 22 取付面 Oリング付 128.6 主弁銘板 4 31 46 45 NULL調整保護ねじ M5(+)ねじ ★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅5)を 外し、裏側のポートをプラグしてください。 ★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ず保護ねじを取付けてください。 フェイルセーフ電磁弁付:LSVHGー04EHー100/200/280/450ー※Sー※EA/EB 121.5 【弁取付面寸法】 弁取付面寸法は、LSVHG−04(644ページ)と 同じです。 0 404 76 0 404 詳細油圧図記号 207.5 C 3 D 5 DR X P AB T Y R : パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ R ● 各ポート用Oリング C 備 考 LSVHG−04EH−※−S※−E※ 244 パイロット弁ドライ形 Oリングサイズ 個数 P, A, B, T JIS B2401−1B−P22 4 LSVHG−04EH−※−S※−WE※ 253 パイロット弁ウエット形 X, Y AS568−012(NBR, Hs90) 2 ●その他の寸法は、上図(フェイルセーフ電磁弁なし)をご参照くだ さい。 りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。 684 モデル番号 ポート名称 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) サーボ弁 LSVHGー06EHー500/900ーS※ LSVHG−06EH−※−S※−W 229 パイロット弁ウエット形 271.5 55 (4.5) 130.2 パイロットドレンポート“Y” パイロットスプール用 位置センサ 13 46 70 92.1 53.2 118 ドレンポート “DR”位置 23 備 考 220 パイロット弁ドライ形 LSVHG−06EH−※−S※ 348.5 ドレンポート “DR”位置 69 C モデル番号 パイロット弁銘板 圧力ポート“P” タンクポート“T” 2 77 パイロット圧力ポート“X” シリンダポート“A” 6-φ13.5穴 φ20ざぐり シリンダポート“B” 6+PE or 11+PEエレクトリカルプラグ EN175201 Part 804 ★1 外部配管用ドレンポート“DR” Rc 1/8 (両側) 負圧とならないように、 配管して下さい。 77.2 適用ケーブル外径:φ8∼10 0404 色 表示灯詳細 緑 電源表示 赤 パイロット弁偏差アラーム 黄 主弁偏差アラーム C NULL調整穴保護ねじ★2 M5(+)ねじ 2-φ6位置決めピン 11.5 取付面 Oリング付 156 主弁銘板 36.1 6 R 38.5 64 183.5 (185) 表示灯 ★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常裏側がプラグされています。裏側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅:5)を外 し、手前側のポートをプラグしてください。 ★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ずこのねじを取付けてください。 I フェイルセーフ電磁弁付:LSVHGー06EHー500/900ー※Sー※EA/EB 135 詳細油圧図記号 76 0 404 0 404 DR P AB T Y 3 D 5 X 233.5 C : パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ モデル番号 LSVHG−06EH−※−S※−E※ C 備 考 270 パイロット弁ドライ形 R LSVHG−06EH−※−S※−WE※ 279 パイロット弁ウエット形 R 69 ●その他の寸法は、上図(フェイルセーフ電磁弁なし)をご参 照ください。 284.5 ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 高 性 能 形 ︶ 375.5 ● 各ポート用Oリング ポート名称 Oリングサイズ 個数 P, A, B, T AS568−123(NBR ,Hs90) 4 X, Y JIS B2401−1B−P14 2 【弁取付面寸法】 弁取付面寸法は、LSVHG−06−900(645ページ)と同 じです。 りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) 685 LSVHGー03EHー60/100/160ーS※特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 弁差圧:ΔP=7MPa一定(4方弁) Flow:P→A 200 200 流 量 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 弁差圧:ΔP=3.5MPa一定(3方弁) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) LSVHG-03EH -160-S4 150 L/min 100 流 量 150 LSVHG-03EH -160-S3 400 L/min 100 LSVHG-03EH -100-S4 50 LSVHG-03EH -100-S3 350 50 LSVHG-03EH 流 250 LSVHG-03EH -60-S4 -100 -80 -60 -40 -20 0 -100 -80 -60 -40 -20 0 -60-S3 量 200 20 40 60 80 100 20 40 60 80 100 L/min 150 入力信号 % 入力信号 % ー50 ー50 100 ー100 ー100 ー150 ー150 LS VH G 300 LSV -03 EH -16 0 HG -03 EH100 L S V HG -03EH -60 50 0 0 5 10 15 20 25 負荷圧力=┃PA−PB┃ MPa ー200 ー200 Flow : P→A→B→T ★ (P→B→A→T) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 Flow:A→T ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 5ms 100% 0% 入力信号 0% 5ms 100% 0% 入力信号 0% → 時 間 → 時 間 ■ 周波数応答特性 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 0 入力信号 ±100 % 200 500 ゲイン 30 5 0 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 ー60 位相差 ー90 ー120 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 0 ー30 ー5 200 500 30 0 ゲイン ー30 ー5 位 相 差 度 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 ー60 位相差 ー90 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 位 相 差 度 ● パイロット弁:ウエット形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 0 ー5 ゲ ー10 イ ン ー15 dB ー20 686 入力信号 ±100 % 200 ゲイン 500 30 5 0 0 ー30 ー60 位相差 ー90 ー120 位 相 差 度 ー5 ゲ ー10 イ ン ー15 dB ー20 30 31.5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 500 30 0 ゲイン ー30 ー60 位相差 ー90 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) 位 相 差 度 サーボ弁 LSVHGー04EHー100/200/280/450ーS※特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 弁差圧:ΔP=7MPa一定(4方弁) 500 流 量 L/min Flow:P→A 500 LSVHG-04EH -450-S4 400 流 量 LSVHG-04EH -280-S4 300 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 弁差圧:ΔP=3.5MPa一定(3方弁) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) L/min LSVHG-04EH -200-S4 200 400 LSVHG-04EH -450-S3 LSVHG-04EH -280-S3 300 1100 1000 LSVHG-04EH-450-S※ LSVHG-04EH -200-S3 800 200 -200 LSVHG流 04EH-280-S※ LSVHG-04EH 600 -100-S3 量 20 40 60 80 100 L/min 400 -100 LSVHG入力信号 % 04EH-200-S※ 200 -200 -300 -300 -400 -400 100 -100 -80 -60 -40 -20 0 100 LSVHG-04EH -100 -80 -60 -40 -20 0 -100-S4 20 40 60 80 100 -100 入力信号 % -500 0 0 LSVHG-04EH-100-S※ 5 10 15 20 25 30 35 負荷圧力=┃PA−PB┃ MPa -500 Flow : P→A→B→T ★ (P→B→A→T) ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 Flow:A→T ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 5ms 100% 0% 入力信号 0% 5ms 100% 0% 入力信号 0% → 時 間 → 時 間 ■ 周波数応答特性 I 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 0 入力信号 ±100 % 200 500 ゲイン 30 5 0 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 ー60 ー90 位相差 ー120 5 10 200 500 ー5 位 相 差 度 30 0 0 ー30 ー5 1 周波数 Hz 20 30 4050 100 ー30 ゲイン ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 ー60 ー90 位相差 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 位 相 差 度 ● パイロット弁:ウエット形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 入力信号 ±100 % 200 500 5 0 0 ゲイン ー60 ー90 位相差 ー120 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 30 ー30 ー5 位 相 差 度 500 0 0 ー30 ー5 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 30 1 ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 高 性 能 形 ︶ ゲイン ー60 ー90 位相差 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) 位 相 差 度 687 LSVHGー06EHー500/900ーS※特性(作動油粘度:30 mm2/S) ■ 無負荷流量特性 ■ 負荷流量特性 弁差圧:ΔP=7MPa一定(4方弁) 1000 Flow:P→A 1000 LSVHG-06EH900-S4 流 800 量 600 L/min 400 2500 LSVHG-06EH900-S3 流 800 量 600 L/min 400 LSVHG-06EH500-S4 200 ー100 ー80 ー60 ー40 ー20 0 〈条件〉 ●入力信号:100 % 注)負荷流量の公差:±10 % 弁差圧:ΔP=3.5MPa一定(3方弁) Flow:P→B→A→T ★ (P→A→B→T) 流 量 LSVHG-06EH500-S3 200 ー100 ー80 ー60 ー40 ー20 0 20 40 60 80 100 ー200 入力信号 % 20 40 60 80 100 ー200 入力信号 % ー400 ー400 ー600 ー600 ー800 ー800 ー1000 1500 L/min 1000 500 0 LSVHG-06EH-500-S4 0 5 10 15 20 25 30 35 負荷圧力差 ┃PA−PB┃ MPa ー1000 Flow : P→A→B→T ★ (P→B→A→T) LSVHG-06EH-900-S4 2000 ★ Flowは、 ( )外が入力信号形式“A”“B” “C”を、 ( )内が入力信号形式“D”“E” “F”を示します。 Flow:A→T ■ ステップ応答特性 〈条件〉●入力信号:0 ⇔ 100 % ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 ● パイロット弁:ウエット形 ス 100 プ 80 ー ル 60 変 40 位 20 % 0 5ms 100% 入力信号 0% 0% 5ms 100% 入力信号 0% 0% → 時 間 → 時 間 ■ 周波数応答特性 〈条件〉●油圧回路:A, Bポート閉 ●供給圧力・パイロット圧力:14 MPa ● パイロット弁:ドライ形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 入力信号 ±100 % 200 500 ゲイン 0 30 5 0 0 ー30 ー5 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 ー60 ー90 位相差 ー120 位 相 差 度 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 ー150 ー25 ー30 ー180 ー30 500 30 0 ー30 ー5 ゲ イ ー10 ン ー15 dB ー20 ー25 200 ゲイン ー60 ー90 ー120 位相差 位 相 差 度 ー150 ー180 ● パイロット弁:ウエット形 入力信号 ±25 % 5 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 入力信号 ±100 % 200 dB ゲイン 688 5 位相差 ー90 1 5 10 周波数 Hz 20 30 4050 100 200 ゲイン ー5 位 相 差 度 ゲ イ ン dB 500 30 0 0 ー30 ー60 ー10 ー15 30 0 0 ー5 ゲ イ ン 500 ー30 ー60 ー10 ー90 ー15 位相差 ー20 ー120 ー25 ー150 ー25 ー150 ー30 ー180 ー30 ー180 ー20 アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) ー120 位 相 差 度 サーボ弁 アンプ搭載形リニアサーボ弁フェイルセーフ機能範囲 ●LSVHG−03EH−230/270− ●LSVHG−03EH−210−4J− ●LSVHG−03EH−60/100/160−S4− ●LSVHG−03EH−60/100/160−S3− 1000 1000 500 500 LSVHG-03EH-270 LSVHG-03EH-230 LSVHG-03EH-210-4J LSVHG-03EH-160-S4 流 量 流 量 200 LSVHG-03EH-100-S4 100 L/min 200 LSVHG-03EH-160-S3 LSVHG-03EH-100-S3 100 L/min LSVHG-03EH-60-S4 LSVHG-03EH-60-S3 50 50 20 20 10 10 1 2 5 10 20 31.5 1 2 弁圧力降下 MPa 5 10 20 31.5 弁圧力降下 MPa ●LSVHG−04EH−750− ●LSVHG−04EH−580−4J− ●LSVHG−04EH−100/200/280/450−S4− ●LSVHG−04EH−100/200/280/450−S3− 1000 1000 LSVHG-04EH-750 LSVHG-04EH-580-4J LSVHG-04EH-450-S4 500 500 LSVHG-04EH-450-S3 LSVHG-04EH-280-S3 LSVHG-04EH-280-S4 LSVHG-04EH-200-S4 100 LSVHG-04EH-100-S4 L/min 流 量 流 量 200 200 LSVHG-04EH-200-S3 100 LSVHG-04EH-100-S3 L/min 50 50 20 20 I 10 10 1 2 5 10 20 35 1 2 弁圧力降下 MPa 5 10 20 35 弁圧力降下 MPa ●LSVHG−06EH−900/1300 ●LSVHG−06EH−820−4J− ●LSVHG−06EH−500/900−S4− ●LSVHG−06EH−500/900−S3− 10000 10000 5000 5000 LSVHG-06EH-1300 2000 LSVHG-06EH-900 LSVHG-06EH-900-S4 LSVHG-06EH-820-4J LSVHG-06EH-500-S4 500 1000 LSVHG-06EH-900-S3 500 LSVHG-06EH-500-S3 流 量 流 量 1000 2000 L/min 200 L/min 200 100 100 50 50 20 20 10 ア リン ニプ ア搭 サ載 ー形 ボ 弁 ︵ 高 性 能 形 ︶ 10 1 2 5 10 弁圧力降下 MPa 20 31.5 35 1 2 5 10 20 35 弁圧力降下 MPa アンプ搭載形リニアサーボ弁(高性能形) 689
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