製造工程 CAD データ CAM データ 図 面 ＣＡＤソフト 描画補正処理 自動欠陥検出装置 直接描画・現像 欠陥修正 全長寸法測定 線幅測定 外観目視検査 出 荷 得意 先 様 クロムマスク サイズ：5 インチ角から超 大 型の 1300×2100mm まで。 ブランクス基 材：ソーダガラス、合成石 英 ガラス。 ガラス基 材厚み：1.5∼4.8mm。 クロム 膜 質：ピュアクロム、酸 化クロム等 のスパッタリング成 膜。 膜 厚：1050∼1250Å お奨め： 高品質の製品生 産にお使い頂けます。 特 徴： 切れの良いエッジ。 高 精 細高 精度の露光が 可能。 湿 度に影 響されないため全 長寸 法 安定性が良い。 膜 面 硬 度 が 高いため傷 等が発 生しにくい。 弊 社ベンチマークテスト用クロムガラスマスク （10x10 インチサイズ、8x8 インチサイズ） 大型クロムマスク直接描画装置の基本仕様 最大マスクサイズ（搭載可能） 2000×2500(mm) ガラス厚み最大 8mm（感材の端まで描画が可能） レーザー発振器 基本仕様 描画方式 精度 入力データ 描画レベル と 描画仕様 ブルー LD 励起レーザー 405nm DMD（Digital Micromirror Device） による露光 位置精度：±10μm（最大サイズで） 繰り返し精度：±1μm RS274D/X, GDS-Ⅱ, DXF, その他 レーザービーム径（μm） 1 2 4 アドレスグリッド（μm） 0.125 0.250 0.500 最小 L&S（μm） 4 6 10 大 型クロムマスク直 接 描 画 装置の 外 観 FR8500LS -VIOLD エマルジョンガラスマスク サイズ：5×5 インチから大型サイズの 36×58 インチサイズまで。 ガラス基材厚み：1.6 ∼ 4.8ｍｍまで。 銀乳剤厚み：約 6 ∼ 8μｍ（線幅精度の確定はお客様とご相談）。 膜 面は銀乳 剤のためワークとエマルジョンマスクが 強く接 触したり、誤ってエ マルジョンガラスマスクが 他 の 装 置 等に接 触した 場 合に、そのマスク表 面に キズ 等が 発 生する場合 が 有りますが、量 産 用としてご使 用されている事例も あります。 お勧め：試作段階や量産試作までの製造段階でのご利用をお勧めします。 特 徴：ベースにソーダガラス基材を使用。 温度湿度変化による全長寸法変化が非常に少ない。 ガラスベースのためフラット性が高い。 ハードコンタクト方式、ソフトコンタクト方式、プロキシミティ方式で露光可能。 エマルジョンガラスマスク（サンプル品） フォトマスク フィルムマスク 基材と乳剤：ベースにポリエチレンテレフタレート（PET）フィルムを使用し表面に銀塩乳剤を塗布した製品。 安定製造：安定した全長寸法を維持するために、温度・湿度が管理された環境下で直接描画装置により製造されています。 特 徴・ガラスマスクに比較してかなり安価でご提供可能。 ・温度・湿度に対してガラスマスクと比較して全長寸法が大きく変動する場合がある。 ( 一般的なスクリーン製版用フォトマスクとして使用されており、弊社スクリーン製版製造時にも多く使用していますが、温度・ 湿度がある程度管理された環境で長年蓄積してきたノウハウにより露光処理を行うことで寸法問題を解決しております。) フォトマスク材料の特性 フォトマスク材料の特性を一覧表にまとめました。 フィルムマスク エマルジョンマスク ポリエステル ソーダガラス ソーダガラス 合成石英ガラス 厚み 175（μm） 1.6, 2.3, 3.0, 3.2, 5.0（mm） 2.3, 3.0, 4.8（mm） ご相談 サイズ ∼650×780（mm） ∼914×1473（mm） ∼1300×2100（mm） ご相談 温度 1°C による変化 0.001（％／℃） 0.00081（％／℃） 0.00081（％／℃） 0.00005（％／℃） 同上（1m 換算） 10.0（μm ／℃） 8.1（μm ／℃） 8.1（μm ／℃） 0.5（μm ／℃） 0.0014（％） ‒ ‒ ‒ ベース基材 材 基 相対湿度 1％による変化 クロムマスク 光 膜 遮 同上（1m 換算） 14.0（μm ／％） 0 0 0 材質 銀塩乳剤（ラス） 銀塩乳剤（ハイレゾ） クロム薄膜 クロム薄膜 膜厚 6∼8（μm） 6∼8（μm） 1050∼1250（Å） 1050∼1250（Å） 解像性（最小ライン幅） 20.0（μm） 10.0（μm） 5.0（μm） 5.0（μm） 膜強度 △ △ ◎ ◎ フリンジ ○ ○ ◎ ◎ ◎ ○ △ × 軽量、扱いが容易 温湿度変形が少ない PCB、一般 PCB、PDP 膜強度大 超大型サイズ有り PDP、LCD、EL 膜強度大 熱膨張率極小 LSⅠ、LCD 特徴 コスト比較 長所 用途（主なもの） 受入可能なデータフォーマット お客様からお預かりしてデータ編集や補正処理が出来る CAD ／ CAM データフォーマットはいくつかあります。 それらを下表にまとめましたのでご参照下さい。 CAD- データベース START、CAMstation-FX、StellaVision、AutoCAM、 AutoCAD、Illustrator、Mac_AI（ver.10）、他 CAM- データベース ガーバーデータ（RS-274D・RS-274X）、GDS-Ⅱ、DXF、SAM、EPS、ODB++ BMP、HPGL-2、HPGL、他 その他のデータ 図面、計算式、プログラム、他 ※ CAD のバージョンや他のデータフォーマット情報関連、ご支給媒体等はお気軽にご相談下さい。 http://www.sonocom.co.jp ● 本 社／東 京都目黒区目黒本町 2-15-10 Tel.03-3716- 4101（代表） Fax.03-3792-8576 ● 足立工場／東京都足立区梅田 1-29-12 Tel.03-3886-1135（代表） Fax.03-3886-9531 ● 玉川工場／神奈川県川崎市高津区下野毛 1-6-34 Tel.044-822-1110（代表） Fax.044-822-1411 ● 松 戸工場／千葉県松戸市松飛台 277 番地 Tel.047-311-5000（代表） Fax.047-311-2171 代理店
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