報道資料 2010 年 11 月 30 日（日本時間）アプライドマテリアルズ新世代のスマートで効率的な半導体製造を支えるエッチング装置 Centris™ Etch を発表・複雑で微細な半導体デザインに対応したスマートな新プラットフォームアーキテクチャー・すべてのウェーハでオングストロームレベルの均一性を実現するシステムインテリジェンス・従来のシリコンエッチング装置に比べてほぼ 2 倍のスループットと最大 30%のコストオブオーナーシップ低減アプライドマテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼 CEO マイケル・スプリンター）は 11 月 30 日（日本時間）、最先端メモリ／ロジックチップの量産に対応した最もインテリジェントで高い生産性を持つシリコンエッチング装置、Applied Centris™ AdvantEdge™ Mesa™ Etch を発表しました。Centris はコンパクトながらかつてない 8 基のプロセスチャンバ（エッチング用 6 基、プラズマクリーニング用 2 基）を備え、最大 180 枚／時のウェーハを処理できるため、ウェーハ 1 枚当たりのコストを最大 30%引き下げることができます。独自のシステムインテリジェンスソフトウェアは各チャンバ上の全プロセスを正確に整合させ、各ウェーハでオングストロームレベルの均一性を実現します。これは、今後さらに複雑化する半導体の歩留まりを高める上で不可欠な機能です。アプライドマテリアルズのバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（エッチング部門）、エリー・イーは次のように述べています。「先進的なマイクロチップでは、超微細回路の形成に必要なエッチングプロセスがますます増えています。そのため、シリコンエッチング加工の需要が業界でも急速に伸びていますが、この分野に変革をもたらす装置として登場したのが新しい Centris プラットフォームです。当社は卓越した AdvantEdge Mesa テクノロジーと新しい Centris プラットフォームを組み合わせることでお客様のニーズに合わせたプロダクトイノベーションを実践し、多様なエッチングアプリケーションにおける優位性を実現します」 Applied Centris AdvantEdge Etch は、環境対策の面でも新たな道を切りひらいています。現行の他のシリコンエッチング装置に比べて電気、水、ガスといった用力消費量が、年間の CO2 排出量に換算して約 270 トン＊削減できるため、半導体メーカーの運用コストを継続的に低減することが可能です。＊SEMI S23 に従って算出アプライドマテリアルズは、日本時間の 11 月 30 日午前 10 時半から、このブレークスルー技術に関するライブウェブキャストを実施します。ウェブキャスト関する詳細やアクセス方法はこちら：（www.appliedmaterials.com/events/becauseinnovationmatters）アプライドマテリアルズはセミコン・ジャパン 2010 において、Centris プラットフォームを含め、いくつかの重要なテクノロジーを発表する予定です。詳細な情報や関連資料については、当社ホームページのセミコン・ジャパンのサイトに掲載されています。 www.appliedmaterials.com/becauseinnovationmatters アプライドマテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライドマテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライドマテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。 ******************************************************************************** このリリースは 11 月 30 日、日本においてアプライドマテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライドマテリアルズジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。アプライドマテリアルズジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は 1979 年 10 月に設立。京都支店ほか 10 のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へアプライドマテリアルズジャパン株式会社社長室：大橋百合 (Tel: 03-6812-6801) ホームページ： http://www.appliedmaterials.com