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クリーン環境用LMアクチュエータ
高速で低発塵、ロングストロークにも対応した
クリーン環境用のアクチュエータ登場
TOKYO. JAPAN
CGL
CATALOG No.349
クリーン環境用LMアクチュエータCGL形
クリーン環境用LMアクチュエータ
クリーン環境用
アクチュエータCGL
CGL形
CGL 形の構造
エンドプレートカバー
上カバー
スライダ
横カバー
モータプレートカバー
シールシート
ブロックテーブル
アルミ製ベース
ボールリテーナ入りLMガイド
(潤滑装置QZを取付け可能)
グリースニップル
ボールねじ
(潤滑装置QZを取付け可能)
吸引継手
中間フランジ
モータプレート
図1. CGL形の構造
CGL 形 5 つの特長
1. ボールリテーナ効果(LM ガイド部のみ)により、金属ボール同士の相互摩擦がないため低発塵。
2. 低発塵用のクリーングリースを使用しているのでクリーンルーム内での使用に最適。
3. 独自のシールシート(→上図参照)採用により、ISO14644-1 ※ 1 クラス 4(FED209E クラス 10 相当)※ 2
を達成。
4. 最高速度 2000mm/s、ストローク 1000mm 以上の厳しい使用条件下でも ISO14644-1 ※ 1 クラス 4
(FED209E クラス 10 相当)※ 2 が達成可能。
5. ボールリテーナ入り LM ガイドと潤滑装置 QZ(LM ガイド、ボールねじに取付け可能※ 3 → P.11)の組み合
せにより、長期メンテナンスフリーを実現。
※1 ISO14644-1はJIS B9920相当です。
※2 クラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。
※3 オプション対応
1
●使用用途に合ったLMガイドとボールねじが選択可能
[LMガイド]
LM ガイドの種類は 2 種類から選択できます。
SSR 形…断面高さの低いコンパクトタイプで、ラジアル方向の荷重に強いボール接触構造のため、水平案内
部に最適です。
SHS 形…4 方向等荷重のため、あらゆる方向(ラジアル方向、逆ラジアル方向、横方向)の荷重を均等に負
荷できます。
ラジアル方向
逆ラジアル方向
ラジアル方向
逆ラジアル方向
横方向
横方向
SSR形
横方向
SHS形
図2. CGL形 負荷方向
注)LMガイドの種類によってストローク範囲が異なります。寸法表をご確認ください。
[ボールねじ]
ボールねじのリードは表 1 の種類より選択可能です。
高速で動かす場合は、大リードタイプのボールねじをお選びください(最高移動速度→ P.5)。
リードが小さいボールねじは、発生する推力が大きくなり、搬送質量が大きくなります。
表1. 各形番によるボールねじリード(転造ボールねじ)
形番
ボールねじリード
(mm)
CGL15N
5, 10, 16, 20, 30
CGL20N
5, 10, 20, 40
2
発塵試験
空気流入口:
流入量0.3R/min
[測定方法]
<試験条件>
試験環境:クリーンベンチ内
アクリルカバー
吸引ポンプへ接続
クリーン環境用LMアクチュエータCGL形
流 速:0.25m/s
測定空気量:1R
項目
内容
形番
CGL20N-082-HV-B40
ストローク
520mm
速度
2000mm/s
加速度
1.0G
吸引量
88R/min
なし
作用荷重
<測定条件>
内容
項目
測定機器 パーティクルカウンタ(KC-18リオン社製)
0.25m/s
測定部流速
0.3L/min
空気流入量
1R
測定空気量
50h
測定時間
サンプリングチューブ
パーティクルカウンターへ抽出
[測定結果]
■CGL20-082-HV形の50時間連続動作
(最高速度2000mm/s)の評価結果
清浄度クラス: ISO14644-1
100000
20
最大値
10
5
3
0
10000
粒子濃度(個/m3)
発塵量(個/R)
平均値
15
3
0.20
0.1以上
3
0.17
0.15以上
0.2以上
1000
クラス4上限
100
クラス3上限
10
2
0.16
クラス5上限
1
0.13
0.08
1
0.1以上
ⴛ103
(ISO14644-1に適応)
0.3以上
0.5以上
粒子径(ı)
クラス2上限
クラス1上限
0.2以上
0.3以上
0.4以上
0.5以上
粒子径(ı)
■CGL形のクリーン度の評価結果
形番
クリーン度
吸引量(R/min)注) (ISO14644-1)
ストローク
(mm)
速度(mm/s)
加速度(G)
CGL15N-082-SV-B30
520
1500
1.0
80
クラス4
CGL15N-082-SWQ-B30Q
520
1500
1.0
80
クラス4
CGL15N-142-SV-B30
1134
595
1.0
48
クラス3
CGL15N-142-HV-B30
1134
595
1.0
48
クラス4
CGL20N-082-SV-B40
520
2000
1.0
88
クラス4
CGL20N-082-SWQ-B40
520
2000
1.0
88
クラス3
CGL20N-178-SV-B40
1480
673
1.0
56
クラス3
CGL20N-178-HV-B40
1480
673
1.0
56
クラス4
注)吸引量には配管抵抗※の影響は含まれません。
※配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。
■ISO14644-1に基づくクリーン度の上限濃度
3
単位:個/m3
粒径
クラス1
クラス2
クラス3
クラス4
クラス5
クラス6
0.1(μm以上)
10
100
1000
10000
100000
1000000
0.2(μm以上)
2
24
237
2370
23700
237000
0.3(μm以上)
−
10
102
1020
10200
102000
0.5(μm以上)
−
4
35
352
3520
35200
製品仕様
●仕様
ボールねじリード
繰り返し位置決め精度
±0.02
(mm)
(mm)
最高速度
(mm/s)
LMガイド形番
−
SSR15XW
SHS15XV
SSR20XV
SSR20XW
SHS20XV
85.3
119.6
163.7
166.6
242.1
353.8
60.8
81.3
155.8
115.6
167.6
335.2
76.0
115.6
203.8
131.3
190.1
378.3
(N・m)
Mc
静的許容荷重
横方向
(N)
軸方向
吸引量の目安
注5)
2000
1500
SSR15XV
逆ラジアル方向
注4)
200∼1550
100∼1200
MA
MB
5, 10, 20, 40
5, 10, 16, 20, 30
(mm)
注1)
有効ストローク 注2)
負荷
モーメント 注3)
CGL20N
CGL15N
形番
(R/min)
4800
7400
4800
7400
2000
2000
16∼80
24∼88
注1)繰り返し位置決め精度については、周囲温度20℃での精度規格です。
注2)有効ストロークはブロックテーブル長さにより短くなります。ストロークの詳細は、寸法図でご確認ください。
注3)負荷モーメントは、最高移動速度・加減速度(0.3G)の条件下におけるLMガイド部の走行寿命が5,000kmとなる値です。
注4)静的許容荷重は、
ボルト締結強度とLMガイド部、
ボールねじ部、及びサポートベアリングの静定格荷重により決定しています。
注5)吸引量には配管抵抗の影響は含まれません。
横方向
逆ラジアル
方向 (ラジアル方向)
軸方向
MA :ピッチング方向
軸方向
横方向
MB :ヨーイング方向
MC :ローリング方向
図3. CGL形 負荷荷重とモーメント方向
●ブロックテーブルの種類
ご選定の LMガイド形番によりブロックテーブルの種類が決まります。また、ブロックテーブルの種類により
ストローク範囲が異なります。
・S 形……… ショートテーブル(LM ガイド形番:SSR-XV 形)
テーブル長さを短くし、ストローク範囲を長く取れるタイプです。
・L 形……… ロングテーブル(LM ガイド形番:SSR-XW 形、SHS-V 形)
高負荷などの場合や、テーブル中心から離れた位置にある場合に適しています。
・L-QZ 形… 潤滑装置 QZ 付きロングテーブル(LM ガイド形番:SSR-XWQZ 形、SHS-VQZ 形)
LM ガイド部とボールねじ部に潤滑装置 QZ を装着しています。
(L 形のテーブルより長くなりま
すので寸法表をご参照ください。
)
4
●最高移動速度
ボールねじには、DN 値と危険速度によって制限される許容回転数があります。
CGL 形のテーブル移動速度は、ボールねじの許容回転数と AC サーボモータの定格回転数(3000min-1)に
より決められます。
表2. 最高移動速度
CGL15N
形番
ボールねじリード
ベース長さ
単位:mm/s
CGL20N
5
10
16
20
30
340
248
500
800
1000
1500
−
−
−
−
460
248
500
800
1000
1500
202
500
1000
2000
580
248
500
800
1000
1500
202
500
1000
2000
700
248
500
800
1000
1500
202
500
1000
2000
820
248
500
800
1000
1500
202
500
1000
2000
1060
207
391
685
776
1175
202
396
1000
2000
1240
144
271
474
540
815
185
275
763
1533
1420
105
198
349
396
595
136
201
560
1120
1600
−
−
−
−
−
104
−
426
860
1780
−
−
−
−
−
82
−
336
673
10
5
20
40
注)ストロークによっては、速度が最高移動速度まで達しないことがあります。
●ベース剛性
CGL 形は、実績のある LM アクチュエータ GL-N 形のアルミ製ベースを採用していますので、軽量かつ高剛
性です。
Y軸
重心点
X軸
図4. ベース断面
表3. ベースの断面2次モーメントと質量
形番
CGL15N
CGL20N
断面 2 次モーメント
4
Ix(mm )
5
1.61ⴛ10
5
3.15ⴛ10
質量
4
I(
Y mm )
(kg/m)
6
4.85
6
6.47 注1)
2.47ⴛ10
4.28ⴛ10
注 1)LMガイドの形番がSSRの場合、質量は6.69kg/mとなります。
●クリーン特性
CGL 形はクリーン特性を向上させるために、以下の仕様となります。
高耐食性………… LM ガイド、ボールねじには THK AP-C 処理※を施してあります。
低発塵グリース… 低発塵特性に優れた THK AFE-CA グリース※を使用しています。
吸引継手………… クリーン仕様のワンタッチ管継手KPQH12-03
(SMC㈱製、
適応チューブ外径φ12mm)
を使用しています。
※ 詳細については総合カタログをご参照ください。
5
呼び形番の構成
CGL15N−070−SW Q−B30 Q−B−B
1
2
3
4
5
6
7
8
1 呼び形番
CGL15N/CGL20N
2 ベース長さ
例)340mmの場合:034
LMガイド
S V:SSR-XV(ブロックテーブル S形)
SW:SSR-XW(ブロックテーブル L形)
H V:SHS-V(ブロックテーブル L形)
※SSR/SHS QZ付きの場合、
ブロックテーブルはL-QZタイプになります。
(使用するLMガイドによりブロックテーブルが異なりますのでご注意ください。)
3
4
LMガイド 潤滑装置QZ
無記号:QZなし
Q
:QZ付き
(SSR-XW/SHS-Vのみ)
ボールねじリード
◆CGL15N
B05:リード5mm
B10:リード10mm
B16:リード16mm
B20:リード20mm
B30:リード30mm
◆CGL20N
B05:リード5mm
B10:リード10mm
B20:リード20mm
B40:リード40mm
ボールねじ潤滑装置QZ
無記号:QZなし
Q
:QZ付き
(ブロックテーブル L形のみ)
5
6
中間フランジ
7
センサ
8
注)
A:内径φ30H7, M4, PCD46
B:内径φ50H7, M5, PCD70
C:内径φ50H7, M4, PCD60
D:内径φ70H7, M5, PCD90(CGL20Nのみ)
E:内径φ30H7, M3, PCD45
F:内径φ50H7, M4, PCD70
G:内径φ34H7, M3, PCD48
H:内径φ36H7, M4, 取付穴ピッチ50
I :内径φ60H7, M6, 取付穴ピッチ70(CGL20Nのみ)
J:内径φ70H7, M6, PCD90(CGL20Nのみ)
N :なし
A :フォトセンサEE-SX671(3個)
B :フォトセンサEE-SX674(3個)
C1:近接センサTL-W3MC1(N.O.接点[ノーマルオープン型]3個)
C2:近接センサTL-W3MC1(N.O.接点[ノーマルオープン型]1個)
近接センサTL-W3MC2(N.C.接点[ノーマルクローズ型]2個)
注)シールシートの密着性を調整して出荷しますので、中間フランジは必ずご指定ください。
各中間フランジに対応するモータについては、中間フランジの対応表(→P.9)
をご確認ください。
モータを取付けた状態での出荷をご希望の場合は、THKまでお問い合わせください。
6
寸法表
●CGL15N
(26)
(26)
全長:(L+28)
4-M6深サ12
90
100
90
(13.8)
a
4-吸引口
φ12チューブ用
接続ねじR3/8
メカストローク/2
146(スライダ長さ)
中間フランジ
10
b
(14.1)
2ⴛ2-M3深サ6
(反対側を含む)
φ8h7
68
メカストローク/2
(37.5)
105
(69)
φ53
A
15
ベース長さ:L
12
12
(162)
7
C部
5.6
1.2
1
74
1
5
2.4
90
11
4.3
38
5.8
4
(77)
(スライダ高さ)
109.5
(2.9)
106
6
11
B部
116
B部詳細
A矢視
C部詳細
単位:mm
ブロックテーブルタイプ
a
b
S形
43
21
L形
43
29
52
29
38
42
L(QZ)形
注2)
L-QZ形
340
460
580
700
820
1060
1240
1420
S形
130
250
370
490
610
850
1030
1210
L形
122
242
362
482
602
842
1022
1202
113
233
353
473
593
833
1013
1193
ベース長さ:L[mm]
メカストローク
[mm]
本体質量 注1)
[kg]
L(QZ)形
注2)
L-QZ形
114
234
354
474
594
834
1014
1194
S形
10.2
11.6
13.1
14.6
16.0
18.8
21.0
23.0
L形(SSR15XW)
10.9
12.0
13.4
15.0
16.4
19.2
21.4
23.5
L形(SHS15V)
11.0
12.4
13.9
15.4
16.9
19.8
22.0
24.1
注1)本体質量は全てカバー付きとなります。
注2)L(QZ)形は、
ボールねじ部のみ潤滑装置QZ仕様になります。
注3)中間フランジの寸法についてはP.10をご確認ください。
7
●CGL20N
(26)
全長:(L+28)
(26)
4-M8深サ12
4-吸引口
φ12チューブ用
接続ねじR3/8
105
128
105
(13.8)
a
メカストローク/2
160(スライダ長さ)
75
メカストローク/2
b
(13.8)
2ⴛ2-M3深サ6
(反対側を含む)
10
(82)
118.4
(41.5)
12.5
12
ベース長さ:L
12
(183.8)
(3.5)
123
87
7
5.6
2.4
1
C
1.2
1
11
4.3
5.8
44
4
5
(81.5)
(スライダ高さ)
123
A
φ73
φ10h7
中間フランジ
6
100
B
11
130
B部詳細
A矢視図
本体質量 注1)
[kg]
単位:mm
ブロックテーブルタイプ
a
b
S形
37
25
L形
37
35
L(QZ)形 注2)
44
35
L-QZ形
30
50
460
580
700
820
1060
1240
1420
1600
1780
S形
238
358
478
598
838
1018
1198
1378
1558
ベース長さ:L[mm]
メカストローク
[mm]
C部詳細
L形
228
348
468
588
828
1008
1188
1368
1548
L(QZ)形 注2)
221
341
461
581
821
1001
1181
1361
1541
L-QZ形
220
340
460
580
820
1000
1180
1360
1540
S形
15.1
16.9
18.9
20.9
24.5
27.7
30.7
33.6
36.0
L形(SSR20XW)
15.6
17.5
19.5
21.5
25.0
28.2
31.3
34.2
36.5
L形(SHS20V)
16.4
18.4
20.4
22.5
26.1
29.3
32.4
35.5
37.8
注1)本体質量は全てカバー付きとなります。
注2)L(QZ)形は、
ボールねじ部のみ潤滑装置QZ仕様になります。
注3)ボールねじリード10mmの最大製作ベース長さは、1420mmとなります。
注4)中間フランジの寸法についてはP.10をご確認ください。
8
中間フランジ
中間フランジはモータの形番別に対応していますので、ご注文時には対応表の記号をご指定ください。
注1)中間フランジは取付けた状態で出荷します。
注2)表中以外のモータを取付ける際は、THKまでご連絡ください。
●対応表
表4. 使用モータ・適応中間フランジの対応表
モータ
シリーズ
メーカー名
Σ-Ⅴ
Σ-Ⅲ
(株)安川電機
Σ-Ⅱ
J3
MELSERVO
ACサーボモータ
三菱電機(株)
J2-Super
MINAS A4
松下電器産業(株)
MINAS AⅢ
MINAS A
オムロン(株)
ファナック(株)
ステッピングモータ
山洋電気(株)
9
OMNUC W
β is series
SANMOTION Q1
5相
RK
オリエンタルモーター(株)
αステップ
記号
形番
SGMJV-01
SGMAV-01
SGMJV-02
SGMAV-02
SGMJV-04
SGMAV-04
SGMAS-01
SGMPS-01
SGMAS-02
SGMAS-04
SGMPS-02
SGMPS-04
SGMAH-01
SGMPH-01
SGMAH-02
SGMAH-04
SGMPH-02
SGMPH-04
HF-MP13
HF-KP13
HF-MP23
HF-KP23
HF-MP43
HF-KP43
HC-MFS13
HC-KFS13
HC-MFS23
HC-KFS23
HC-MFS43
HC-KFS43
MSMD01
MQMA01
MSMD02
MSMD04
MQMA02
MQMA04
MSMA01
MSMA02
MSMA04
MSMA01
MQMA01
MSMA02
MSMA04
MQMA02
MQMA04
R88M-W10030
R88M-WP10030
R88M-W20030
R88M-W40030
R88M-WP20030
R88M-WP40030
β0.3/5000is
β0.4/5000is
β0.5/5000is
β1/5000is
Q1AA04010D
Q1AA06020D
Q1AA06040D
RK564
RK566
RK569
RK596
RK599
AS66
ASC66
AS98
容量
フランジ角
100W
□40
200W
□60
400W
100W
200W
400W
200W
400W
100W
□40
□60
□80
□40
200W
400W
200W
400W
□60
100W
□40
□80
200W
□60
400W
100W
□40
200W
□60
400W
100W
200W
400W
200W
400W
100W
200W
400W
100W
200W
400W
200W
400W
100W
200W
400W
200W
400W
100W
125W
200W
400W
100W
200W
400W
□38
□60
□80
□38
□60
□38
□60
□80
□40
□60
□80
□40
□60
□40
□60
□60
−
□85
□60
□85
CGL15N
A
A
B
B
−
−
A
B
B
−
−
−
A
B
B
−
−
−
A
A
B
B
−
−
A
A
B
B
−
−
E
F
F
−
−
−
E
F
−
E
F
F
−
−
−
A
B
B
−
−
−
A
B
B
−
A
B
−
H
H
H
−
−
H
H
−
CGL20N
A
A
B
B
B
B
A
B
B
B
J
J
A
B
B
B
J
J
A
A
B
B
B
B
A
A
B
B
B
B
E
F
F
F
D
D
E
F
F
E
F
F
F
D
D
A
B
B
B
J
J
A
B
B
B
A
B
B
H
H
H
I
I
H
H
I
●寸法図
CGL15N
45°
表5. CGL15N 中間フランジ寸法表
単位:mm
φ53
φa
75
記号
Dc
PC
□d
a
30H7
50H7
50H7
30H7
50H7
34H7
36H7
e
6
8
8
6
8
5
8
モータプレート
e
4-b通シ
A
B
C
E
F
G
H
中間フランジ寸法
d
c
b
−
46
M4
−
70
M5
−
60
M4
−
45
M3
−
70
M4
−
48
M3
50
−
M4
70
CGL20N
45゚
表6. CGL20N 中間フランジ寸法表
単位:mm
φ73
φa
90
記号
Dc
PC
□d
98
4-b通シ
e
モータプレート
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
a
30H7
50H7
50H7
70H7
30H7
50H7
34H7
36H7
60H7
70H7
中間フランジ寸法
d
c
b
−
46
M4
−
70
M5
−
60
M4
−
90
M5
−
45
M3
−
70
M4
−
48
M3
50
−
M4
70
−
M6
−
90
M6
e
6
8
6
8
6
6
6
6
10
10
10
オプション
●潤滑装置QZ
[LMガイド部]
潤滑装置 QZ は、LM レールの転動面に適切な量の潤滑油を供給します。このため、ボールと転動面の間には
油膜が常に形成され、潤滑メンテナンス間隔の大幅な延長を可能にします。
潤滑装置QZ
ケース 高密度ファイバーネット
高含油ファイバーネット
(エンドシール)
ボール
潤滑装置QZ
塗布リップ部
オイルコントロールプレート
ボールリテーナ
潤滑油の流れ
LMレール
図5. 潤滑装置QZの構造図(LMガイド)
[ボールねじ部]
潤滑装置 QZ は、ボールねじ軸の転動面に適切な量の潤滑油を供給します。このため、ボールと転動面の間に
油膜が常に形成され、潤滑性の向上とメンテナンス間隔の大幅な延長を可能にします。
潤滑装置QZ
ボールねじ軸
QZ固定用ネジ
潤滑装置QZ
ボール
ボールねじナット
高含油ファイバーネット
形番表示
密封ケース
ボールねじナット
ボールねじ軸
直接転動面へ塗布
潤滑油の流れ
高密度ファイバーネット
オイルコントロールファイバーネット
図6. 潤滑装置QZの構造図(ボールねじ)
11
●センサ
CGL形は、横カバーのTスロットを利用して各種センサの取付けが可能です。
各種センサをお選びの際は対応表の記号をご指定ください。
種類
動作モード
切替可能
フォトセンサ
切替可能
N.O.接点(接近時ON)
近接センサ N.O.接点(接近時ON)
N.C.接点(離れてON)
センサ形番
EE-SX671
EE-SX674
TL-W3MC1
TL-W3MC1
TL-W3MC2
個数
3
3
3
1
2
記号
付属品
メーカー名
センサドグ、取付板、
コネクタ
(EE-1001) A
オムロン
(株)取付ねじ・ナット、
センサドグ、取付板、
コネクタ
(EE-1001) B
オムロン
(株)取付ねじ・ナット、
C1
取付ねじ・ナット、
センサドグ
オムロン
(株)
C2
取付ねじ・ナット、
センサドグ
オムロン
(株)
注1)センサの出力は全てNPN出力になります。
注2)センサと付属品は、製品本体に付属してあります。
注3)N.O.接点:ノーマルオープン型
N.C.接点:ノーマルクローズ型
・CGL15N
(78)
105
(67.6)
105
(84.5)
(69.6)
(82.5)
(29)
(42.4)
(55.4)
A: EE–SX671
[オムロン(株)製]
105
(3)
(3)
(83.6)
(3)
B: EE–SX674
[オムロン(株)製]
C1: TL–W3MC1
C2: TL–W3MC2
[オムロン(株)製]
・CGL20N
A: EE–SX671
[オムロン(株)製]
(46.4)
B: EE–SX674
[オムロン(株)製]
118.4
118.4
(95.4)
(80.5)
118.4
(97.4)
(82.5)
(59.4)
(96.4)
(3)
(3)
(91.4)
(3)
(33)
C1: TL–W3MC1
C2: TL–W3MC2
[オムロン(株)製]
12
●ベース取付用ナット(付属品)
CGL形にはベース取付け用の板ナットが本体に付属してあります。
〃
〃
10.5
M5通シ
〃
〃
4
20
ベース長さ
(mm) 340 460 580 700 820 1060 1240 1420 1600 1780
10
個数
12
14
16
18
20
22
24
26
28
付録
●寿命・静的安全係数
CGL形はLMガイド・ボールねじ・サポートユニットにより構成されています。各構成部品の寿命及び静的安
全係数については、総合カタログの各項目(LMガイド・ボールねじ・サポートユニット)をご確認ください。
なお、
LMガイド・ボールねじの定格寿命についてはTHKテクニカルサポートサイト
(https://tech.thk.com/)
、
またはCDカタログに収録されている技術計算ソフトにて算出できます。定格寿命を算出する際には下表にあ
るデータをご参考ください。
注)寿命計算は理論計算となっていますのでご注意ください。実際のご使用においては、使用環境、潤滑状態、取付け部の精度や剛性等の使用条件により異
なります。
[LMガイド部]
アクチュエータ
形番
ブロック
テーブル
タイプ
CGL15N-***-SV
CGL15N-***-SW
CGL15N-***-SWQ
CGL15N-***-HV
CGL15N-***-HVQ
CGL20N-***-SV
CGL20N-***-SW
CGL20N-***-SWQ
CGL20N-***-HV
CGL20N-***-HVQ
S
L
L-QZ
L
L-QZ
S
L
L-QZ
L
L-QZ
レール
スパン
W
B2
B1
(mm) (mm)
(mm)
SSR15XV
–5.4
SSR15XW
–5.4
90
SSR15XWQZ
–5.4
45
SHS15V
–5.4
SHS15VQZ
–5.4
SSR20XV
–2
SSR20XW
–2
102
SSR20XWQZ
–2
51
SHS20V
–4
SHS20VQZ
–4
推力位置
LMガイド
形番
可動部の質量 m1
質量
m1
(kg)
3.8
4.2
4.3
4.3
4.4
5.4
6.0
6.1
6.4
6.5
可動部
重心位置
G1
G3
G2
(mm) (mm) (mm)
52.5
41
52.5
37
45
52.5
47
52.5
37
52.5
47
56
54
56
54
51
56
55
56
48
56
55
G2
B2
G3
H
G1
ブロック
スパン
L1
(mm)
82
74
94
74
94
108
108
110
96
110
B1
W
13
L1
スライダ
高さ
H
(mm)
76.9
76.9
76.9
76.9
76.9
81
81
81
81
81
[ボールねじ部]
メカストッパ間ストローク
(mm)
S形
L形
L-QZ形
SV
SW, HV SWQ, HVQ
114
130
122
1194
1210
1202
114
130
122
1194
1210
1202
114
130
122
1194
1210
1202
114
130
122
1194
1210
1202
114
130
122
1194
1210
1202
220
238
228
1540
1558
1548
220
238
228
1180
1198
1188
220
238
228
1540
1558
1548
220
238
228
1540
1558
1548
アクチュエータ形番
形番
CGL15N
CGL15N
CGL15N
CGL15N
CGL15N
CGL20N
CGL20N
CGL20N
CGL20N
ベース長さ※
ボールねじ
リード
034
142
034
142
034
142
034
142
034
142
046
178
046
142
046
178
046
178
B05
B10
B16
B20
B30
B05
B10
B20
B40
ボールねじ
取付方法
分 類
ナット形番
固定−支持
転造−無予圧
BTK1605-2.6ZZ
固定−支持
転造−無予圧
BLK1510-5.6ZZ
固定−支持
転造−無予圧
BLK1616-3.6
固定−支持
転造−無予圧
WTF1520-3ZZ
固定−支持
転造−無予圧
WTF1530-2ZZ
固定−支持
転造−無予圧
BTK2005-2.6ZZ
固定−支持
転造−無予圧
BLK1510-5.6ZZ
固定−支持
転造−無予圧
BLK2020-3.6ZZ
固定−支持
転造−無予圧
WTF2040-3ZZ
取付間距離
MAX(mm)
186
1266
179
1259
176
1256
179
1259
179
1259
299
1619
319
1279
297
1617
297
1617
※ベース長さは最短長さと最長長さを示します。
例)ベース長さ340mmの場合:034、ベース長さ1420mmの場合:142
[サポートユニット部]
呼び形番
サポートユニット固定側
アンギュラ玉軸受
形番
軸受形番
サポートユニット支持側
深溝玉軸受
形番
軸受形番
CGL15N
GK10S
7000HTDFGMP5
GF10
608ZZ
CGL20N
GK12S
7001HTDFGMP5
GF12
6000ZZ
●モータ選定
CGL形に取付けるモータをご選定する際は、下記データを参考にご選定ください。モータの選定方法とモータ
の仕様については、モータメーカーにご確認ください。
アクチュエータ形番
ベース長さ※ ボールねじ
リード
(mm)
034
CGL15N
B05
142
034
CGL15N
B10
142
034
CGL15N
B16
142
034
CGL15N
B20
142
034
CGL15N
B30
142
046
CGL20N
B05
178
046
CGL20N
B10
142
046
CGL20N
B20
178
046
CGL20N
B40
178
呼び
形番
形番
BTK1605-2.6ZZ
BLK1510-5.6ZZ
BLK1616-3.6
WTF1520-3ZZ
WTF1530-2ZZ
BTK2005-2.6ZZ
BLK1510-5.6ZZ
BLK2020-3.6ZZ
WTF2040-3ZZ
ボールねじ
軸端末外径
外径
リード
長さ
(mm)
(mm) (mm) (mm)
311
φ8h7
16
5
1391
311
φ8h7
15
10
1391
311
φ8h7
16
16
1391
311
φ8h7
15
20
1391
311
φ8h7
15
30
1391
427
φ10h7
20
5
1747
427
φ10h7
15
10
1407
427
φ10h7
20
20
1747
427
φ10h7
20
40
1747
LMガイド
形番記号
CGL15N-***-SV
CGL15N-***-SW
CGL15N-***-SWQ
CGL15N-***-HV
CGL15N-***-HVQ
CGL20N-***-SV
CGL20N-***-SW
CGL20N-***-SWQ
CGL20N-***-HV
CGL20N-***-HVQ
可動部
質 量
(kg)
3.8
4.2
4.3
4.3
4.4
5.4
6.0
6.1
6.4
6.5
許容入力トルク
呼び形番
CGL15N
CGL20N
摺動抵抗
(N)
20.2
20.6
30.6
21.2
37.2
25.0
26.4
38.4
25.6
41.6
(N・m)
2.8
5.3
※ベース長さは最短長さと最長長さを示します。
例)ベース長さ340mmの場合:034、ベース長さ1420mmの場合:142
14
クリーン環境用LMアクチュエータ CGL形
ご使用上の注意点
●取扱い
・本製品をむやみに分解しないでください。ごみの侵入や機能が損失する原因となります。
・本製品を落下させたり、叩いたりしないでください。けがや破損の原因となります。また、衝撃を与えた場合、外観に破損が見られなくとも機能を損失する可能性
があります。
・許容回転数を超えての使用はしないでください。部品の破損や事故につながります。
※許容回転数については取扱説明書をご確認ください。
・製品の作動中または作動できる状態のときは、移動部には絶対に触れないでください。また、アクチュエータの作動範囲に立ち入らないでください。
・複数の人が作業を行う場合は、手順・合図・異常等の措置を予め確認し、別途作業を監視する人をおいてください。
・シールシートを強く押さないでください。
・シールシートのたわみがない状態でご使用ください。
・カバー内部を吸引する構造のため、周囲の環境によりシールシート及びその付近にパーティクルが付着する場合があります。定期的にクリーンルーム用ウエスとエ
タノール等で拭き取ってください。
●使用環境
本製品は使用環境が悪いと故障の原因となりますので、次のような場所で使用してください。
・クリーン度クラス4の性能が必要な場合 使用温度:+16℃∼+24℃(湿度50%RH以下で結露なきこと)
・通常環境(大気中)で使用する場合
使用温度:+10℃∼+40℃(湿度80%RH以下で結露なきこと)
※使用温度範囲外での使用をご検討の場合は、THKまでお問い合わせください。
・腐食性ガス、可燃性ガスのない場所
・ちり、埃、塩分、金属粉がない場所
・水、油、薬品などがかからない場所
・振動や衝撃が本体に伝わらない場所
・常に振動が作用する箇所、真空中、低温・高温での使用など、特殊環境下で使用される場合はTHKまでお問い合わせください。
●アクチュエータの取付け
・取付面については、機械加工、またはそれに準じた精度を持つ平面とし、その平面度は0.1mm/1000mm以内を推奨します。
・潤滑装置QZ付きを水平姿勢以外(壁掛け姿勢、垂直姿勢など)でご使用の場合は、THKまでお問い合わせください。
●潤滑
・本製品の機能を十分に発揮させるためには、潤滑が必要です。潤滑が不足すると転がり部の摩耗が増加したり、早期寿命の原因となる場合があります。なお、本製
品には標準グリースとしてTHK AFE-CAグリースが封入してあります。
・ボールねじ部にはグリースニップルがありませんので、転動面にグリースを直接塗布してください。
・性状の異なる潤滑剤を混合しての使用は避けてください。
・特殊な潤滑剤を使用される場合は、THKまでお問い合わせください。
・グリースの給脂間隔は通常100kmを目安にしてください。但し、使用条件により異なりますので、初期点検による給脂間隔の決定を推奨します。
・常に振動が作用する箇所、真空、低温・高温など特殊環境下での使用は、通常の潤滑剤を使用できない場合がありますのでTHKまでお問い合わせください。
●保管
・本製品は、弊社の梱包および荷姿で、高温・低温・多湿を避け、水平な状態で保管してください。
■取扱説明書
・「クリーン環境用LMアクチュエータCGL形 取扱説明書」は、THKテクニカルサポートサイトよりダウンロードできます。
テクニカルサポートサイト https://tech.thk.com/
●「LMガイド」「ボールリテーナ」「 」はTHK株式会社の登録商標です。
●本カタログ記載の図・写真と実際の製品とでは異なる場合があります。
●改良のため予告なしに外観、仕様等変更することがありますので、ご採用の時は事前にお問合わせください。
●カタログの制作には慎重を期しておりますが、誤字・脱字等により生じた損害については、責任を負いかねますのでご了承ください。
●弊社製品・技術の輸出及び輸出の為の販売につきましては、外国為替及び外国貿易法、及びその他の法令の遵守を基本方針としております。
尚、弊社製品の単品での輸出については、予めご相談ください。
無断転載を禁ずる
Global site : http:/ /www.thk.com/
東日本第一営業統括部
東 京 支 店 TEL 03(5434)0341
上 野 支 店 TEL 03(5812)2071
川 越 支 店 TEL 049(224)7180
仙 台 支 店 TEL 022(232)7011
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日 立 支 店 TEL 029(271)9311
FAX 03(5434)0345
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FAX 049(225)3187
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沼 津 支 店 TEL 055(924)4001
甲 府 支 店 TEL 055(273)6827
諏 訪 支 店 TEL 0266(53)1144
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小 牧 支 店 TEL 0568(72)2031
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三 重 支 店 TEL 059(379)3401
FAX 052(883)0855
FAX 0566(82)3870
FAX 0568(73)1894
FAX 076(238)0246
FAX 059(378)8329
西日本第一営業統括部
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広 島 支 店 TEL 082(286)0789
福 山 支 店 TEL 084(973)1501
松 山 支 店 TEL 089(972)7411
熊 本 支 店 TEL 096(370)1181
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FAX 082(286)0794
FAX 084(973)1502
FAX 089(972)7511
FAX 096(370)1182
海外営業統括部
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