クリーン環境用LMアクチュエータ 高速で低発塵、ロングストロークにも対応した クリーン環境用のアクチュエータ登場 TOKYO. JAPAN CGL CATALOG No.349 クリーン環境用LMアクチュエータCGL形 クリーン環境用LMアクチュエータ クリーン環境用 アクチュエータCGL CGL形 CGL 形の構造 エンドプレートカバー 上カバー スライダ 横カバー モータプレートカバー シールシート ブロックテーブル アルミ製ベース ボールリテーナ入りLMガイド （潤滑装置QZを取付け可能） グリースニップル ボールねじ （潤滑装置QZを取付け可能） 吸引継手 中間フランジ モータプレート 図1. CGL形の構造 CGL 形 5 つの特長 1. ボールリテーナ効果（LM ガイド部のみ）により、金属ボール同士の相互摩擦がないため低発塵。 2. 低発塵用のクリーングリースを使用しているのでクリーンルーム内での使用に最適。 3. 独自のシールシート（→上図参照）採用により、ISO14644-1 ※ 1 クラス 4（FED209E クラス 10 相当）※ 2 を達成。 4. 最高速度 2000mm/s、ストローク 1000mm 以上の厳しい使用条件下でも ISO14644-1 ※ 1 クラス 4 （FED209E クラス 10 相当）※ 2 が達成可能。 5. ボールリテーナ入り LM ガイドと潤滑装置 QZ（LM ガイド、ボールねじに取付け可能※ 3 → P.11）の組み合 せにより、長期メンテナンスフリーを実現。 ※1 ISO14644-1はJIS B9920相当です。 ※2 クラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。 ※3 オプション対応 1 ●使用用途に合ったLMガイドとボールねじが選択可能 ［LMガイド］ LM ガイドの種類は 2 種類から選択できます。 SSR 形…断面高さの低いコンパクトタイプで、ラジアル方向の荷重に強いボール接触構造のため、水平案内 部に最適です。 SHS 形…4 方向等荷重のため、あらゆる方向（ラジアル方向、逆ラジアル方向、横方向）の荷重を均等に負 荷できます。 ラジアル方向 逆ラジアル方向 ラジアル方向 逆ラジアル方向 横方向 横方向 SSR形 横方向 SHS形 図2. CGL形 負荷方向 注）LMガイドの種類によってストローク範囲が異なります。寸法表をご確認ください。 ［ボールねじ］ ボールねじのリードは表 1 の種類より選択可能です。 高速で動かす場合は、大リードタイプのボールねじをお選びください（最高移動速度→ P.5）。 リードが小さいボールねじは、発生する推力が大きくなり、搬送質量が大きくなります。 表1. 各形番によるボールねじリード（転造ボールねじ） 形番 ボールねじリード （mm） CGL15N 5, 10, 16, 20, 30 CGL20N 5, 10, 20, 40 2 発塵試験 空気流入口： 流入量0.3R/min ［測定方法］ <試験条件> 試験環境：クリーンベンチ内 アクリルカバー 吸引ポンプへ接続 クリーン環境用LMアクチュエータCGL形 流 速：0.25m/s 測定空気量：1R 項目 内容 形番 CGL20N-082-HV-B40 ストローク 520mm 速度 2000mm/s 加速度 1.0G 吸引量 88R/min なし 作用荷重 <測定条件> 内容 項目 測定機器 パーティクルカウンタ（KC-18リオン社製） 0.25m/s 測定部流速 0.3L/min 空気流入量 1R 測定空気量 50h 測定時間 サンプリングチューブ パーティクルカウンターへ抽出 ［測定結果］ ■CGL20-082-HV形の50時間連続動作 （最高速度2000mm/s）の評価結果 清浄度クラス: ISO14644-1 100000 20 最大値 10 5 3 0 10000 粒子濃度（個/m3） 発塵量（個/R） 平均値 15 3 0.20 0.1以上 3 0.17 0.15以上 0.2以上 1000 クラス4上限 100 クラス3上限 10 2 0.16 クラス5上限 1 0.13 0.08 1 0.1以上 ⴛ103 （ISO14644-1に適応） 0.3以上 0.5以上 粒子径（ı） クラス2上限 クラス1上限 0.2以上 0.3以上 0.4以上 0.5以上 粒子径（ı） ■CGL形のクリーン度の評価結果 形番 クリーン度 吸引量（R/min）注） （ISO14644-1） ストローク （mm） 速度（mm/s） 加速度（G） CGL15N-082-SV-B30 520 1500 1.0 80 クラス4 CGL15N-082-SWQ-B30Q 520 1500 1.0 80 クラス4 CGL15N-142-SV-B30 1134 595 1.0 48 クラス3 CGL15N-142-HV-B30 1134 595 1.0 48 クラス4 CGL20N-082-SV-B40 520 2000 1.0 88 クラス4 CGL20N-082-SWQ-B40 520 2000 1.0 88 クラス3 CGL20N-178-SV-B40 1480 673 1.0 56 クラス3 CGL20N-178-HV-B40 1480 673 1.0 56 クラス4 注）吸引量には配管抵抗※の影響は含まれません。 ※配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。 ■ISO14644-1に基づくクリーン度の上限濃度 3 単位：個/m3 粒径 クラス1 クラス2 クラス3 クラス4 クラス5 クラス6 0.1（μm以上） 10 100 1000 10000 100000 1000000 0.2（μm以上） 2 24 237 2370 23700 237000 0.3（μm以上） − 10 102 1020 10200 102000 0.5（μm以上） − 4 35 352 3520 35200 製品仕様 ●仕様 ボールねじリード 繰り返し位置決め精度 ±0.02 （mm） （mm） 最高速度 （mm/s） LMガイド形番 − SSR15XW SHS15XV SSR20XV SSR20XW SHS20XV 85.3 119.6 163.7 166.6 242.1 353.8 60.8 81.3 155.8 115.6 167.6 335.2 76.0 115.6 203.8 131.3 190.1 378.3 （N･m） Mc 静的許容荷重 横方向 （N） 軸方向 吸引量の目安 注5） 2000 1500 SSR15XV 逆ラジアル方向 注4） 200∼1550 100∼1200 MA MB 5, 10, 20, 40 5, 10, 16, 20, 30 （mm） 注1） 有効ストローク 注2） 負荷 モーメント 注3） CGL20N CGL15N 形番 （R/min） 4800 7400 4800 7400 2000 2000 16∼80 24∼88 注1）繰り返し位置決め精度については、周囲温度20℃での精度規格です。 注2）有効ストロークはブロックテーブル長さにより短くなります。ストロークの詳細は、寸法図でご確認ください。 注3）負荷モーメントは、最高移動速度・加減速度（0.3G）の条件下におけるLMガイド部の走行寿命が5,000kmとなる値です。 注4）静的許容荷重は、 ボルト締結強度とLMガイド部、 ボールねじ部、及びサポートベアリングの静定格荷重により決定しています。 注5）吸引量には配管抵抗の影響は含まれません。 横方向 逆ラジアル 方向 （ラジアル方向） 軸方向 MA ：ピッチング方向 軸方向 横方向 MB ：ヨーイング方向 MC ：ローリング方向 図3. CGL形 負荷荷重とモーメント方向 ●ブロックテーブルの種類 ご選定の LMガイド形番によりブロックテーブルの種類が決まります。また、ブロックテーブルの種類により ストローク範囲が異なります。 ・S 形……… ショートテーブル（LM ガイド形番：SSR-XV 形） テーブル長さを短くし、ストローク範囲を長く取れるタイプです。 ・L 形……… ロングテーブル（LM ガイド形番：SSR-XW 形、SHS-V 形） 高負荷などの場合や、テーブル中心から離れた位置にある場合に適しています。 ・L-QZ 形… 潤滑装置 QZ 付きロングテーブル（LM ガイド形番：SSR-XWQZ 形、SHS-VQZ 形） LM ガイド部とボールねじ部に潤滑装置 QZ を装着しています。 （L 形のテーブルより長くなりま すので寸法表をご参照ください。 ） 4 ●最高移動速度 ボールねじには、DN 値と危険速度によって制限される許容回転数があります。 CGL 形のテーブル移動速度は、ボールねじの許容回転数と AC サーボモータの定格回転数（3000min-1）に より決められます。 表2. 最高移動速度 CGL15N 形番 ボールねじリード ベース長さ 単位：mm/s CGL20N 5 10 16 20 30 340 248 500 800 1000 1500 − − − − 460 248 500 800 1000 1500 202 500 1000 2000 580 248 500 800 1000 1500 202 500 1000 2000 700 248 500 800 1000 1500 202 500 1000 2000 820 248 500 800 1000 1500 202 500 1000 2000 1060 207 391 685 776 1175 202 396 1000 2000 1240 144 271 474 540 815 185 275 763 1533 1420 105 198 349 396 595 136 201 560 1120 1600 − − − − − 104 − 426 860 1780 − − − − − 82 − 336 673 10 5 20 40 注）ストロークによっては、速度が最高移動速度まで達しないことがあります。 ●ベース剛性 CGL 形は、実績のある LM アクチュエータ GL-N 形のアルミ製ベースを採用していますので、軽量かつ高剛 性です。 Ｙ軸 重心点 Ｘ軸 図4. ベース断面 表3. ベースの断面2次モーメントと質量 形番 CGL15N CGL20N 断面 2 次モーメント 4 Ix（mm ） 5 1.61ⴛ10 5 3.15ⴛ10 質量 4 I（ Y mm ） （kg/m） 6 4.85 6 6.47 注1） 2.47ⴛ10 4.28ⴛ10 注 1）LMガイドの形番がSSRの場合、質量は6.69kg/mとなります。 ●クリーン特性 CGL 形はクリーン特性を向上させるために、以下の仕様となります。 高耐食性………… LM ガイド、ボールねじには THK AP-C 処理※を施してあります。 低発塵グリース… 低発塵特性に優れた THK AFE-CA グリース※を使用しています。 吸引継手………… クリーン仕様のワンタッチ管継手KPQH12-03 （SMC㈱製、 適応チューブ外径φ12mm） を使用しています。 ※ 詳細については総合カタログをご参照ください。 5 呼び形番の構成 CGL15N−070−SW Q−B30 Q−B−B 1 2 3 4 5 6 7 8 1 呼び形番 CGL15N/CGL20N 2 ベース長さ 例）340mmの場合：034 LMガイド S V：SSR-XV（ブロックテーブル S形） SW：SSR-XW（ブロックテーブル L形） H V：SHS-V（ブロックテーブル L形） ※SSR/SHS QZ付きの場合、 ブロックテーブルはL-QZタイプになります。 （使用するLMガイドによりブロックテーブルが異なりますのでご注意ください。） 3 4 LMガイド 潤滑装置QZ 無記号：QZなし Q ：QZ付き （SSR-XW/SHS-Vのみ） ボールねじリード ◆CGL15N B05：リード5mm B10：リード10mm B16：リード16mm B20：リード20mm B30：リード30mm ◆CGL20N B05：リード5mm B10：リード10mm B20：リード20mm B40：リード40mm ボールねじ潤滑装置QZ 無記号：QZなし Q ：QZ付き （ブロックテーブル L形のみ） 5 6 中間フランジ 7 センサ 8 注） A：内径φ30H7, M4, PCD46 B：内径φ50H7, M5, PCD70 C：内径φ50H7, M4, PCD60 D：内径φ70H7, M5, PCD90（CGL20Nのみ） E：内径φ30H7, M3, PCD45 F：内径φ50H7, M4, PCD70 G：内径φ34H7, M3, PCD48 H：内径φ36H7, M4, 取付穴ピッチ50 I ：内径φ60H7, M6, 取付穴ピッチ70（CGL20Nのみ） J：内径φ70H7, M6, PCD90（CGL20Nのみ） N ：なし A ：フォトセンサEE-SX671（3個） B ：フォトセンサEE-SX674（3個） C1：近接センサTL-W3MC1（N.O.接点［ノーマルオープン型］3個） C2：近接センサTL-W3MC1（N.O.接点［ノーマルオープン型］1個） 近接センサTL-W3MC2（N.C.接点［ノーマルクローズ型］2個） 注）シールシートの密着性を調整して出荷しますので、中間フランジは必ずご指定ください。 各中間フランジに対応するモータについては、中間フランジの対応表（→P.9） をご確認ください。 モータを取付けた状態での出荷をご希望の場合は、THKまでお問い合わせください。 6 寸法表 ●CGL15N (26) (26) 全長：(L+28) 4-M6深サ12 90 100 90 (13.8) a 4-吸引口 φ12チューブ用 接続ねじR3/8 メカストローク/２ 146（スライダ長さ） 中間フランジ 10 b (14.1) 2ⴛ2-M3深サ6 （反対側を含む） φ8h7 68 メカストローク/２ (37.5) 105 (69) φ53 A 15 ベース長さ：L 12 12 (162) 7 C部 5.6 1.2 1 74 1 5 2.4 90 11 4.3 38 5.8 4 (77) （スライダ高さ） 109.5 (2.9) 106 6 11 B部 116 B部詳細 A矢視 C部詳細 単位:mm ブロックテーブルタイプ a b S形 43 21 L形 43 29 52 29 38 42 L（QZ）形 注2） L-QZ形 340 460 580 700 820 1060 1240 1420 S形 130 250 370 490 610 850 1030 1210 L形 122 242 362 482 602 842 1022 1202 113 233 353 473 593 833 1013 1193 ベース長さ：L［mm］ メカストローク ［mm］ 本体質量 注1） ［kg］ L（QZ）形 注2） L-QZ形 114 234 354 474 594 834 1014 1194 S形 10.2 11.6 13.1 14.6 16.0 18.8 21.0 23.0 L形（SSR15XW） 10.9 12.0 13.4 15.0 16.4 19.2 21.4 23.5 L形（SHS15V） 11.0 12.4 13.9 15.4 16.9 19.8 22.0 24.1 注1）本体質量は全てカバー付きとなります。 注2）L（QZ）形は、 ボールねじ部のみ潤滑装置QZ仕様になります。 注3）中間フランジの寸法についてはP.10をご確認ください。 7 ●CGL20N （26） 全長：(L+28) （26） 4-M8深サ12 4-吸引口 φ12チューブ用 接続ねじR3/8 105 128 105 (13.8) a メカストローク/２ 160（スライダ長さ） 75 メカストローク/2 b (13.8) 2ⴛ2-M3深サ6 （反対側を含む） 10 (82) 118.4 （41.5） 12.5 12 ベース長さ：L 12 (183.8) (3.5) 123 87 7 5.6 2.4 1 C 1.2 1 11 4.3 5.8 44 4 5 (81.5) （スライダ高さ） 123 A φ73 φ10h7 中間フランジ 6 100 B 11 130 B部詳細 A矢視図 本体質量 注1） ［kg］ 単位:mm ブロックテーブルタイプ a b S形 37 25 L形 37 35 L（QZ）形 注2） 44 35 L-QZ形 30 50 460 580 700 820 1060 1240 1420 1600 1780 S形 238 358 478 598 838 1018 1198 1378 1558 ベース長さ：L［mm］ メカストローク ［mm］ C部詳細 L形 228 348 468 588 828 1008 1188 1368 1548 L（QZ）形 注2） 221 341 461 581 821 1001 1181 1361 1541 L-QZ形 220 340 460 580 820 1000 1180 1360 1540 S形 15.1 16.9 18.9 20.9 24.5 27.7 30.7 33.6 36.0 L形（SSR20XW） 15.6 17.5 19.5 21.5 25.0 28.2 31.3 34.2 36.5 L形（SHS20V） 16.4 18.4 20.4 22.5 26.1 29.3 32.4 35.5 37.8 注1）本体質量は全てカバー付きとなります。 注2）L（QZ）形は、 ボールねじ部のみ潤滑装置QZ仕様になります。 注3）ボールねじリード10mmの最大製作ベース長さは、1420mmとなります。 注4）中間フランジの寸法についてはP.10をご確認ください。 8 中間フランジ 中間フランジはモータの形番別に対応していますので、ご注文時には対応表の記号をご指定ください。 注1）中間フランジは取付けた状態で出荷します。 注2）表中以外のモータを取付ける際は、THKまでご連絡ください。 ●対応表 表4. 使用モータ・適応中間フランジの対応表 モータ シリーズ メーカー名 Σ-Ⅴ Σ-Ⅲ （株）安川電機 Σ-Ⅱ J3 MELSERVO ACサーボモータ 三菱電機（株） J2-Super MINAS A4 松下電器産業（株） MINAS AⅢ MINAS A オムロン（株） ファナック（株） ステッピングモータ 山洋電気（株） 9 OMNUC W β is series SANMOTION Q1 5相 RK オリエンタルモーター（株） αステップ 記号 形番 SGMJV-01 SGMAV-01 SGMJV-02 SGMAV-02 SGMJV-04 SGMAV-04 SGMAS-01 SGMPS-01 SGMAS-02 SGMAS-04 SGMPS-02 SGMPS-04 SGMAH-01 SGMPH-01 SGMAH-02 SGMAH-04 SGMPH-02 SGMPH-04 HF-MP13 HF-KP13 HF-MP23 HF-KP23 HF-MP43 HF-KP43 HC-MFS13 HC-KFS13 HC-MFS23 HC-KFS23 HC-MFS43 HC-KFS43 MSMD01 MQMA01 MSMD02 MSMD04 MQMA02 MQMA04 MSMA01 MSMA02 MSMA04 MSMA01 MQMA01 MSMA02 MSMA04 MQMA02 MQMA04 R88M-W10030 R88M-WP10030 R88M-W20030 R88M-W40030 R88M-WP20030 R88M-WP40030 β0.3/5000is β0.4/5000is β0.5/5000is β1/5000is Q1AA04010D Q1AA06020D Q1AA06040D RK564 RK566 RK569 RK596 RK599 AS66 ASC66 AS98 容量 フランジ角 100W □40 200W □60 400W 100W 200W 400W 200W 400W 100W □40 □60 □80 □40 200W 400W 200W 400W □60 100W □40 □80 200W □60 400W 100W □40 200W □60 400W 100W 200W 400W 200W 400W 100W 200W 400W 100W 200W 400W 200W 400W 100W 200W 400W 200W 400W 100W 125W 200W 400W 100W 200W 400W □38 □60 □80 □38 □60 □38 □60 □80 □40 □60 □80 □40 □60 □40 □60 □60 − □85 □60 □85 CGL15N A A B B − − A B B − − − A B B − − − A A B B − − A A B B − − E F F − − − E F − E F F − − − A B B − − − A B B − A B − H H H − − H H − CGL20N A A B B B B A B B B J J A B B B J J A A B B B B A A B B B B E F F F D D E F F E F F F D D A B B B J J A B B B A B B H H H I I H H I ●寸法図 CGL15N 45° 表5. CGL15N 中間フランジ寸法表 単位：mm φ53 φa 75 記号 Dc PC □d a 30H7 50H7 50H7 30H7 50H7 34H7 36H7 e 6 8 8 6 8 5 8 モータプレート e 4-b通シ A B C E F G H 中間フランジ寸法 d c b − 46 M4 − 70 M5 − 60 M4 − 45 M3 − 70 M4 − 48 M3 50 − M4 70 CGL20N 45ﾟ 表6. CGL20N 中間フランジ寸法表 単位：mm φ73 φa 90 記号 Dc PC □ｄ 98 4-b通シ e モータプレート A B C D E F G H I J a 30H7 50H7 50H7 70H7 30H7 50H7 34H7 36H7 60H7 70H7 中間フランジ寸法 d c b − 46 M4 − 70 M5 − 60 M4 − 90 M5 − 45 M3 − 70 M4 − 48 M3 50 − M4 70 − M6 − 90 M6 e 6 8 6 8 6 6 6 6 10 10 10 オプション ●潤滑装置QZ ［LMガイド部］ 潤滑装置 QZ は、LM レールの転動面に適切な量の潤滑油を供給します。このため、ボールと転動面の間には 油膜が常に形成され、潤滑メンテナンス間隔の大幅な延長を可能にします。 潤滑装置QZ ケース 高密度ファイバーネット 高含油ファイバーネット （エンドシール） ボール 潤滑装置QZ 塗布リップ部 オイルコントロールプレート ボールリテーナ 潤滑油の流れ LMレール 図5. 潤滑装置QZの構造図（LMガイド） ［ボールねじ部］ 潤滑装置 QZ は、ボールねじ軸の転動面に適切な量の潤滑油を供給します。このため、ボールと転動面の間に 油膜が常に形成され、潤滑性の向上とメンテナンス間隔の大幅な延長を可能にします。 潤滑装置QZ ボールねじ軸 QZ固定用ネジ 潤滑装置QZ ボール ボールねじナット 高含油ファイバーネット 形番表示 密封ケース ボールねじナット ボールねじ軸 直接転動面へ塗布 潤滑油の流れ 高密度ファイバーネット オイルコントロールファイバーネット 図6. 潤滑装置QZの構造図（ボールねじ） 11 ●センサ CGL形は、横カバーのTスロットを利用して各種センサの取付けが可能です。 各種センサをお選びの際は対応表の記号をご指定ください。 種類 動作モード 切替可能 フォトセンサ 切替可能 N.O.接点（接近時ON） 近接センサ N.O.接点（接近時ON） N.C.接点（離れてON） センサ形番 EE-SX671 EE-SX674 TL-W3MC1 TL-W3MC1 TL-W3MC2 個数 3 3 3 1 2 記号 付属品 メーカー名 センサドグ、取付板、 コネクタ （EE-1001） A オムロン （株）取付ねじ・ナット、 センサドグ、取付板、 コネクタ （EE-1001） B オムロン （株）取付ねじ・ナット、 C1 取付ねじ・ナット、 センサドグ オムロン （株） C2 取付ねじ・ナット、 センサドグ オムロン （株） 注1）センサの出力は全てNPN出力になります。 注2）センサと付属品は、製品本体に付属してあります。 注3）N.O.接点：ノーマルオープン型 N.C.接点：ノーマルクローズ型 ・CGL15N （78） 105 （67.6） 105 （84.5） （69.6） （82.5） （29） （42.4） （55.4） A: EE–SX671 ［オムロン（株）製］ 105 （3） （3） （83.6） （3） B: EE–SX674 ［オムロン（株）製］ C1: TL–W3MC1 C2: TL–W3MC2 ［オムロン（株）製］ ・CGL20N A: EE–SX671 ［オムロン（株）製］ （46.4） B: EE–SX674 ［オムロン（株）製］ 118.4 118.4 （95.4） （80.5） 118.4 （97.4） （82.5） （59.4） （96.4） （3） （3） （91.4） （3） （33） C1: TL–W3MC1 C2: TL–W3MC2 ［オムロン（株）製］ 12 ●ベース取付用ナット（付属品） CGL形にはベース取付け用の板ナットが本体に付属してあります。 〃 〃 10.5 Ｍ5通シ 〃 〃 4 20 ベース長さ （mm） 340 460 580 700 820 1060 1240 1420 1600 1780 10 個数 12 14 16 18 20 22 24 26 28 付録 ●寿命・静的安全係数 CGL形はLMガイド・ボールねじ・サポートユニットにより構成されています。各構成部品の寿命及び静的安 全係数については、総合カタログの各項目（LMガイド・ボールねじ・サポートユニット）をご確認ください。 なお、 LMガイド・ボールねじの定格寿命についてはTHKテクニカルサポートサイト （https://tech.thk.com/） 、 またはCDカタログに収録されている技術計算ソフトにて算出できます。定格寿命を算出する際には下表にあ るデータをご参考ください。 注）寿命計算は理論計算となっていますのでご注意ください。実際のご使用においては、使用環境、潤滑状態、取付け部の精度や剛性等の使用条件により異 なります。 ［LMガイド部］ アクチュエータ 形番 ブロック テーブル タイプ CGL15N-＊＊＊-SV CGL15N-＊＊＊-SW CGL15N-＊＊＊-SWQ CGL15N-＊＊＊-HV CGL15N-＊＊＊-HVQ CGL20N-＊＊＊-SV CGL20N-＊＊＊-SW CGL20N-＊＊＊-SWQ CGL20N-＊＊＊-HV CGL20N-＊＊＊-HVQ S L L-QZ L L-QZ S L L-QZ L L-QZ レール スパン W B2 B1 （mm） （mm） （mm） SSR15XV –5.4 SSR15XW –5.4 90 SSR15XWQZ –5.4 45 SHS15V –5.4 SHS15VQZ –5.4 SSR20XV –2 SSR20XW –2 102 SSR20XWQZ –2 51 SHS20V –4 SHS20VQZ –4 推力位置 LMガイド 形番 可動部の質量 ｍ1 質量 m1 （kg） 3.8 4.2 4.3 4.3 4.4 5.4 6.0 6.1 6.4 6.5 可動部 重心位置 G1 G3 G2 （mm） （mm） （mm） 52.5 41 52.5 37 45 52.5 47 52.5 37 52.5 47 56 54 56 54 51 56 55 56 48 56 55 G2 B2 G3 H G1 ブロック スパン L1 （mm） 82 74 94 74 94 108 108 110 96 110 B1 W 13 L1 スライダ 高さ H （mm） 76.9 76.9 76.9 76.9 76.9 81 81 81 81 81 ［ボールねじ部］ メカストッパ間ストローク （mm） S形 L形 L-QZ形 SV SW, HV SWQ, HVQ 114 130 122 1194 1210 1202 114 130 122 1194 1210 1202 114 130 122 1194 1210 1202 114 130 122 1194 1210 1202 114 130 122 1194 1210 1202 220 238 228 1540 1558 1548 220 238 228 1180 1198 1188 220 238 228 1540 1558 1548 220 238 228 1540 1558 1548 アクチュエータ形番 形番 CGL15N CGL15N CGL15N CGL15N CGL15N CGL20N CGL20N CGL20N CGL20N ベース長さ※ ボールねじ リード 034 142 034 142 034 142 034 142 034 142 046 178 046 142 046 178 046 178 B05 B10 B16 B20 B30 B05 B10 B20 B40 ボールねじ 取付方法 分 類 ナット形番 固定−支持 転造−無予圧 BTK1605-2.6ZZ 固定−支持 転造−無予圧 BLK1510-5.6ZZ 固定−支持 転造−無予圧 BLK1616-3.6 固定−支持 転造−無予圧 WTF1520-3ZZ 固定−支持 転造−無予圧 WTF1530-2ZZ 固定−支持 転造−無予圧 BTK2005-2.6ZZ 固定−支持 転造−無予圧 BLK1510-5.6ZZ 固定−支持 転造−無予圧 BLK2020-3.6ZZ 固定−支持 転造−無予圧 WTF2040-3ZZ 取付間距離 MAX（mm） 186 1266 179 1259 176 1256 179 1259 179 1259 299 1619 319 1279 297 1617 297 1617 ※ベース長さは最短長さと最長長さを示します。 例）ベース長さ340mmの場合：034、ベース長さ1420mmの場合：142 ［サポートユニット部］ 呼び形番 サポートユニット固定側 アンギュラ玉軸受 形番 軸受形番 サポートユニット支持側 深溝玉軸受 形番 軸受形番 CGL15N GK10S 7000HTDFGMP5 GF10 608ZZ CGL20N GK12S 7001HTDFGMP5 GF12 6000ZZ ●モータ選定 CGL形に取付けるモータをご選定する際は、下記データを参考にご選定ください。モータの選定方法とモータ の仕様については、モータメーカーにご確認ください。 アクチュエータ形番 ベース長さ※ ボールねじ リード （mm） 034 CGL15N B05 142 034 CGL15N B10 142 034 CGL15N B16 142 034 CGL15N B20 142 034 CGL15N B30 142 046 CGL20N B05 178 046 CGL20N B10 142 046 CGL20N B20 178 046 CGL20N B40 178 呼び 形番 形番 BTK1605-2.6ZZ BLK1510-5.6ZZ BLK1616-3.6 WTF1520-3ZZ WTF1530-2ZZ BTK2005-2.6ZZ BLK1510-5.6ZZ BLK2020-3.6ZZ WTF2040-3ZZ ボールねじ 軸端末外径 外径 リード 長さ （mm） （mm） （mm） （mm） 311 φ8h7 16 5 1391 311 φ8h7 15 10 1391 311 φ8h7 16 16 1391 311 φ8h7 15 20 1391 311 φ8h7 15 30 1391 427 φ10h7 20 5 1747 427 φ10h7 15 10 1407 427 φ10h7 20 20 1747 427 φ10h7 20 40 1747 LMガイド 形番記号 CGL15N-＊＊＊-SV CGL15N-＊＊＊-SW CGL15N-＊＊＊-SWQ CGL15N-＊＊＊-HV CGL15N-＊＊＊-HVQ CGL20N-＊＊＊-SV CGL20N-＊＊＊-SW CGL20N-＊＊＊-SWQ CGL20N-＊＊＊-HV CGL20N-＊＊＊-HVQ 可動部 質 量 （kg） 3.8 4.2 4.3 4.3 4.4 5.4 6.0 6.1 6.4 6.5 許容入力トルク 呼び形番 CGL15N CGL20N 摺動抵抗 （N） 20.2 20.6 30.6 21.2 37.2 25.0 26.4 38.4 25.6 41.6 （N・m） 2.8 5.3 ※ベース長さは最短長さと最長長さを示します。 例）ベース長さ340mmの場合：034、ベース長さ1420mmの場合：142 14 クリーン環境用LMアクチュエータ CGL形 ご使用上の注意点 ●取扱い ・本製品をむやみに分解しないでください。ごみの侵入や機能が損失する原因となります。 ・本製品を落下させたり、叩いたりしないでください。けがや破損の原因となります。また、衝撃を与えた場合、外観に破損が見られなくとも機能を損失する可能性 があります。 ・許容回転数を超えての使用はしないでください。部品の破損や事故につながります。 ※許容回転数については取扱説明書をご確認ください。 ・製品の作動中または作動できる状態のときは、移動部には絶対に触れないでください。また、アクチュエータの作動範囲に立ち入らないでください。 ・複数の人が作業を行う場合は、手順・合図・異常等の措置を予め確認し、別途作業を監視する人をおいてください。 ・シールシートを強く押さないでください。 ・シールシートのたわみがない状態でご使用ください。 ・カバー内部を吸引する構造のため、周囲の環境によりシールシート及びその付近にパーティクルが付着する場合があります。定期的にクリーンルーム用ウエスとエ タノール等で拭き取ってください。 ●使用環境 本製品は使用環境が悪いと故障の原因となりますので、次のような場所で使用してください。 ・クリーン度クラス4の性能が必要な場合 使用温度：+16℃∼+24℃（湿度50％RH以下で結露なきこと） ・通常環境（大気中）で使用する場合 使用温度：+10℃∼+40℃（湿度80％RH以下で結露なきこと） ※使用温度範囲外での使用をご検討の場合は、THKまでお問い合わせください。 ・腐食性ガス、可燃性ガスのない場所 ・ちり、埃、塩分、金属粉がない場所 ・水、油、薬品などがかからない場所 ・振動や衝撃が本体に伝わらない場所 ・常に振動が作用する箇所、真空中、低温・高温での使用など、特殊環境下で使用される場合はTHKまでお問い合わせください。 ●アクチュエータの取付け ・取付面については、機械加工、またはそれに準じた精度を持つ平面とし、その平面度は0.1mm/1000mm以内を推奨します。 ・潤滑装置QZ付きを水平姿勢以外（壁掛け姿勢、垂直姿勢など）でご使用の場合は、THKまでお問い合わせください。 ●潤滑 ・本製品の機能を十分に発揮させるためには、潤滑が必要です。潤滑が不足すると転がり部の摩耗が増加したり、早期寿命の原因となる場合があります。なお、本製 品には標準グリースとしてTHK AFE-CAグリースが封入してあります。 ・ボールねじ部にはグリースニップルがありませんので、転動面にグリースを直接塗布してください。 ・性状の異なる潤滑剤を混合しての使用は避けてください。 ・特殊な潤滑剤を使用される場合は、THKまでお問い合わせください。 ・グリースの給脂間隔は通常100kmを目安にしてください。但し、使用条件により異なりますので、初期点検による給脂間隔の決定を推奨します。 ・常に振動が作用する箇所、真空、低温・高温など特殊環境下での使用は、通常の潤滑剤を使用できない場合がありますのでTHKまでお問い合わせください。 ●保管 ・本製品は、弊社の梱包および荷姿で、高温・低温・多湿を避け、水平な状態で保管してください。 ■取扱説明書 ・「クリーン環境用LMアクチュエータCGL形 取扱説明書」は、THKテクニカルサポートサイトよりダウンロードできます。 テクニカルサポートサイト https://tech.thk.com/ ●｢LMガイド」「ボールリテーナ」「 」はTHK株式会社の登録商標です。 ●本カタログ記載の図・写真と実際の製品とでは異なる場合があります。 ●改良のため予告なしに外観、仕様等変更することがありますので、ご採用の時は事前にお問合わせください。 ●カタログの制作には慎重を期しておりますが、誤字・脱字等により生じた損害については、責任を負いかねますのでご了承ください。 ●弊社製品・技術の輸出及び輸出の為の販売につきましては、外国為替及び外国貿易法、及びその他の法令の遵守を基本方針としております。 尚、弊社製品の単品での輸出については、予めご相談ください。 無断転載を禁ずる Global site : http:/ /www.thk.com/ 東日本第一営業統括部 東 京 支 店 TEL 03（5434）0341 上 野 支 店 TEL 03（5812）2071 川 越 支 店 TEL 049（224）7180 仙 台 支 店 TEL 022（232）7011 宇都宮支店 TEL 028（683）2225 長 岡 支 店 TEL 0258（37）1011 日 立 支 店 TEL 029（271）9311 FAX 03（5434）0345 FAX 03（3832）3051 FAX 049（225）3187 FAX 022（232）7015 FAX 028（663）4113 FAX 0258（37）0853 FAX 029（271）9313 東日本第二営業統括部 八王子支店 TEL 042（645）8101 厚 木 支 店 TEL 046（229）0808 静 岡 支 店 TEL 054（251）8261 浜 松 支 店 TEL 053（413）7871 沼 津 支 店 TEL 055（924）4001 甲 府 支 店 TEL 055（273）6827 諏 訪 支 店 TEL 0266（53）1144 上田営業所 TEL 0268（23）8506 FAX 042（646）0509 FAX 046（229）0809 FAX 054（251）8265 FAX 053（413）7874 FAX 055（923）4854 FAX 055（273）1159 FAX 0266（53）1146 FAX 0268（23）8507 中部営業統括部 名古屋支店 TEL 052（883）0851 豊 田 支 店 TEL 0566（82）3007 小 牧 支 店 TEL 0568（72）2031 金 沢 支 店 TEL 076（238）6158 三 重 支 店 TEL 059（379）3401 FAX 052（883）0855 FAX 0566（82）3870 FAX 0568（73）1894 FAX 076（238）0246 FAX 059（378）8329 西日本第一営業統括部 大 阪 支 店 TEL 06（6222）8211 FAX 06（6222）8212 京 滋 支 店 TEL 077（553）2431 FAX 077（553）2421 明 石 支 店 TEL 078（923）0621 FAX 078（923）6067 西日本第二営業統括部 福 岡 支 店 TEL 092（474）4471 広 島 支 店 TEL 082（286）0789 福 山 支 店 TEL 084（973）1501 松 山 支 店 TEL 089（972）7411 熊 本 支 店 TEL 096（370）1181 FAX 092（474）5429 FAX 082（286）0794 FAX 084（973）1502 FAX 089（972）7511 FAX 096（370）1182 海外営業統括部 TEL 03（5434）0351 FAX 03（5434）0353 【製品・技術に関するお問い合わせ先】 テクノセンター 営業技術統括部 〒144-0033 東京都大田区東糀谷4-9-16 TEL 03（5735）0225 FAX 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