テストおよびテスト装置
概要
2001 年 のテスト・ロードマップは、製 造 テスト・プロセスにインパクトのあるより多 くの設 備 を対 象 とする
ように、1999 年 から拡 張 しました。単 独 のテスト装 置 のチャレンジを超 えて全 工 程 に関 わるに取 り組 み
として、バーイン・テスト、ウェーハ・プローブ、完 成 品 ハンドラとプローブ・カードの技 術 トレンドを初 め
てカバーしています。テストのチャレンジのエリアでは、日 本 サイドによるシステム・オン・チップ(SOC)の
内 容 がテストの章 の補 足 に含 まれています。この分 野 の内 容 は将 来 のテスト・ロードマップ改 訂 で成
長 ・成 熟 すると予 想 されます。
本 章 の構 成 は、1999 年 版 のテスト・ロードマップに従 っています。テスト技 術 必 要 条 件 は、テスト・
マーケット・セグメントのキー・デバイスおよび設 計 属 性 によってセクションに分 割 されています。これは
これらがテスト決 定 を促 進 させる主 要 なドライバーであるからです。さらに、いくつかのエリアにおいて
ディフィカルト・チャレンジを拡 張 し、技 術 開 発 の必 要 性 に対 する補 足 説 明 を追 加 しています。
困 難 なチャレンジ
コストとテスト容 易 化 設 計
単 位 あたりのテストコストと検 査 装 置 の主 要 コストを考 えることは、製 造 のテストメソドロジーを決 定 す
る上 で 支 配 的 なもので あり 続 ける。 何 年 も 前 か ら始 まったＤＦＴを内 蔵 する設 計 に よって、 安 価 検 査
装 置 解 を探 すことは、最 近 意 味 深 い産 業 的 勢 いを生 み出 してきている。しかしながら、いくつかの動
向 がＤＦＴ手 法 の適 用 に制 約 を課 している。ＳＯＣの設 計 は、デジタル、アナログ、ＲＦとミックスド・シグ
ナル検 査 装 置 の能 力 必 要 条 件 の伝 統 的 壁 を破 りつつあり、その結 果 非 常 にコンフィギュアラブルで
最 初 からすべて１プラットフォームでのテスト解 への動 向 を生 み出 している。バンド幅 と一 定 の、あるい
は縮 小 していく最 終 パッケージの形 状 ファクターの要 求 が増 加 することは、チップ外 通 信 に対 する高
速 シリアル・プロトコルの広 範 囲 の拡 散 を促 進 させている。これらのインターフェイスのアナログ性 質 と
デバイス互 換 性 に 対 する要 求 は、製 造 環 境 に 拡 張 的 アットスピードのパラメトリックテストを要 求 しだ
す。ついには、ＤＦＴに基 づくテストアプローチは、以 下 の研 究 をし続 けることを要 求 する。その研 究 と
は、実 存 する故 障 モデルを想 定 し、斬 新 な故 障 モデルを同 定 化 するパターンを加 える先 行 したメソド
ロジーの開 発 を通 して、実 際 のプロセス欠 陥 のカバレッジを向 上 させるものである。ＤＦＴに基 づくメソ
ドロジーは、これらの分 野 で実 行 可 能 なものである間 に、ＤＦＴテクノロジが最 先 鋭 のデバイスの性 能
と複 雑 さに遅 れをとり続 けるであろうことは予 想 されることである。
ＤＦＴ手 法 は、何 年 もの間 よく知 られた手 法 であるが、ほんの少 し前 に産 業 全 体 に渡 って実 践 的 な
ものとなっている。なぜこの古 いテクノロジが今 日 の製 品 で突 然 それほど重 要 になっているのかと疑 問
を投 げかける人 がいくらか存 在 する。何 年 もの間 、要 求 される出 荷 品 質 レベルを達 成 するために、ア
ットスピードのファンクションテストが、大 量 生 産 の強 力 なメソドロジーを提 供 してきた。この手 法 は、い
くつかの理 由 でガス欠 状 態 に陥 っていると議 論 され得 る。その理 由 は、テスト開 発 のリソースだけでな
く、製 造 歩 留 り損 失 とコストである。たとえ、各 デバイス性 能 の向 上 に合 わせて、製 造 検 査 装 置 をアッ
プグライド、あるいは、置 き換 えができる余 裕 があったとしても、ファンクション検 査 環 境 下 で人 手 でテ
ストを書 くためのリソースの要 求 があることを避 けて通 れないことは、自 明 である。テスト内 容 生 成 は、
非 常 に複 雑 な設 計 に対 しては、１０倍 の人 と年 月 を要 するかも知 れない。スキャンやＢＩＳＴのようなＤ
ＦＴ手 法 は、テスト内 容 の自 動 的 生 成 を可 能 にするかも知 れないし、テスト内 容 生 成 の労 力 を削 減 す
るかも知 れない。かくして、人 手 でテストを書 く仕 事 をドラスチックに削 減 する。高 度 に集 積 化 されたデ
バイスに対 しては、テストの再 利 用 の提 供 とテスト開 発 と評 価 業 務 の幾 何 学 的 、あるいは指 数 関 数 的
伸 びを避 けるＤＦＴが要 求 される。
製 品 検 査 コストを下 げるＤＦＴに基 づく設 計 へのすべての産 業 的 勢 いとともに、ファンクションテスト
は、本 当 に消 えてしまうのだろうか。テクノロジが進 展 するにつれて、ファンクションテスト装 置 コストが、
一 定 のパフォマンスウインドウのために、長 い時 間 に渡 って減 少 してきた。出 荷 製 品 品 質 を保 証 する
ために必 要 なカバレッジを得 る１つの機 会 として、テストは、ファンクションテストメソドロジーをてこ入 れ
し続 けるであろう。しかしながら、生 産 でファンクションテスト・パフォマンスに包 含 的 制 限 が必 要 とされ
るとき、Ｉ／Ｏのデータレイト必 要 条 件 を減 らし、少 ないピンカウントテストを可 能 にし、高 価 な検 査 装 置
への依 存 性 を減 らすことによって、ＤＦＴは使 用 されるであろう。ＤＦＴは、製 造 業 者 にファンクションテ
ストと結 びつけられたテスト装 置 テクノロジを見 直 させる可 能 性 を持 つであろう。
最 先 端 の 半 導 体 プ ロセ ス・ テクノロ ジにおいて は、 故 障 検 出 環 境 のわ れわれの 理 解 を 進 めて 、故
障 モデルに基 づいて、静 的 な、そしてダイナミックな欠 陥 の改 善 された検 出 をもたらすパターンを印 加
する先 行 的 方 法 を識 別 するための基 本 的 研 究 が必 要 とされる。異 なる故 障 モデルから導 かれたテス
トセットの欠 陥 検 出 能 力 の何 年 もの分 析 の後 、単 一 縮 退 故 障 モデルがテストセットの品 質 を数 量 化
することに対 して、最 も広 く使 われるモデルとして残 っている。このメソドロジーは、低 速 度 のスキャン環
境 で使 われるとき、たいていのスタティックなプロセス欠 陥 を検 出 するのには充 分 であることが分 かっ
た；しかしながら、一 層 進 歩 したベクトル印 加 手 法 と斬 新 な故 障 モデルが、ダイナミックな回 路 動 作 の
みに影 響 を与 えるだけである欠 陥 を検 出 するためには必 要 である。どんなに、超 微 細 化 回 路 の感 受
性 と高 い背 景 電 流 でデバイスをテストしているＩＤＤＱ能 力 が低 下 していることが、他 の故 障 から追 加
のカバレッジをオープン故 障 とブリッジ故 障 のようなタイプで向 上 させる必 要 を促 進 させるとしても、過
渡 とパス遅 延 故 障 モデルの使 用 が大 きくなってきている。
先 行 した故 障 モデルに基 づいての、設 計 トランジスタの計 算 とテストパターンの応 用 が大 きくなるに
つれて、関 連 したスキャンベースのＤＦＴテストデータ・ボリュームは、関 連 して増 大 する経 験 をするで
あろう。デバイス・インターフェイスにおいて、テストデータ転 送 のために利 用 可 能 なバンド幅 は、テスト
データ・ボリュームの伸 びより成 長 が遅 くなるであろう。この傾 向 は、生 産 テスト時 間 、それゆえに製 造
コストに直 接 の打 撃 的 な影 響 を与 える。設 計 を制 限 するテストバンド幅 の中 へのＢＩＳＴ手 法 の浸 透 は、
サブセットのテストパターンをチップ上 で生 成 することを通 して、テストデータ・ボリュームの伸 びを抑 制
するように要 求 されるであろう。
アナログテストとミックスドシグナルテストのＤＦＴメソドロジーは、開 発 の早 い段 階 にあって、そして産
業 のために重 要 な挑 戦 を表 す。これは、品 質 保 証 のミックスドシグナルテストが回 路 のタイプだけでは
なく、応 用 タイプに依 存 しているかも知 れないという事 実 によって、複 雑 化 されている。複 雑 なアナログ
回 路 を保 持 する高 集 積 化 傾 向 は、費 用 効 果 の高 い製 造 テスト解 決 のビジネスの必 要 を促 進 させて
いる。その研 究 はすでに始 まっているが、だんだんと強 調 した形 で、産 業 テスト応 用 へのテクノロジ転
換 についての研 究 が続 かなければならない。
１９９９年 度 のＩＴＲＳは、ＤＦＴによって可 能 にされた設 計 のために、低 コストテスターに最 初 の焦 点
が合 わされた必 要 条 件 の定 義 を提 供 した。２０００年 度 の更 新 は、必 要 条 件 を明 確 にして、そして内
容 の解 釈 で産 業 的 混 乱 を減 らすために、この情 報 の重 要 な刷 新 を含 んでいる。これらの必 要 条 件 を
生 み出 すことの過 程 における半 導 体 製 造 業 者 とテスト装 置 供 給 者 間 の大 規 模 な協 力 は、個 別 の設
計 で使 われ大 いにカスタム性 の高 いＤＦＴメソドロジーがテスター構 成 ブロックの汎 用 セットに向 かって
一 点 に集 中 することを明 示 してきた。この重 要 な結 論 は、次 のことを確 信 させていることである。ノーブ
ランドのＤＦＴテスターであっても、一 連 のカスタム性 の高 いポイント解 決 よりもどちらかというと、産 業 の
必 要 条 件 を満 足 するように設 計 され、構 成 され得 るということである。
しかしながら、デバイス・デバッグと特 性 評 価 の世 界 においては、アットスピード・ファンクションテスト
とアナ ロ グテ ストは、 設 計 誤 差 とプ ロ セス誤 差 と マージン 確 保 の 根 本 的 原 因 のため の 主 要 な 役 割 の
役 をし続 けるであろう。この伝 統 的 テスト装 置 ベースのメソドロジーは、ＤＦＴベースの結 果 を最 終 使 用
の環 境 条 件 に関 連 付 けることを要 求 されている。この検 査 装 置 が製 造 の中 に急 増 することはない、し
かし、どちらかといえば、より低 コストの大 量 生 産 テスターの製 造 能 力 を証 明 するためには使 われるで
あろう。もし、この傾 向 が、最 も複 雑 な、開 発 集 中 的 なテスト装 置 のために、全 体 に利 用 可 能 なマーケ
ットを縮 小 するようなことを続 けるならば、これは、産 業 に重 要 な挑 戦 を表 す。設 計 デバッグと特 性 評
価 の新 しいメソドロジーは、上 昇 する検 査 装 置 コストを避 けるためには識 別 されなくてはならない。
高 速 のシリアル・インターフェイスは、何 年 もの間 、長 距 離 の通 信 マーケット・セグメントで使 われてき
た。通 信 マーケットが重 要 な周 波 数 を維 持 するであろう間 に、主 要 な高 速 シリアル・プロトコルが、広
範 囲 の消 費 者 応 用 をサポートするために、ＡＳＩＣとＳＯＣマーケットを突 き通 すであろう。この傾 向 は、
主 流 として、前 には限 定 されていた複 雑 なテスト問 題 を高 速 ネットワーキング環 境 にもたらしている。こ
のマーケット・セグメントから学 ぶキーは、とりわけインターフェイス上 のジッター耐 性 とジッター転 送 テ
ストを行 う必 要 があることを示 している。このようなテストは、今 日 ラック＆スタック方 式 のアナログドメイ
ン、あるいはミックスド・シグナルテスターでのアプローチで行 われている。これらの解 決 は、テスト時 間
と検 査 装 置 主 要 コストに起 因 する製 造 コストの考 慮 を伴 って、単 一 デバイス上 の高 速 シリアルポート
の比 較 的 限 定 された数 をサポートする。これらのインターフェイスが単 一 デバイス上 に載 せるポート数
が急 増 するにつれて、伝 統 的 アナログテストのアプローチは、アナログ検 査 装 置 のスケーラビリティの
ために破 綻 するであろう。これらのインターフェイスの周 波 数 が増 加 するにつれて、製 造 テストを可 能
にするために、代 わりの方 法 が開 発 される必 要 があるであろう。
最 終 製 品 外 形 ファクターとバッテリー寿 命 に対 す る民 生 製 品 に対 して増 加 する圧 力 は、設 計 タ イ
プの間 にぼんやりと、重 要 なレベルでの単 一 チップ集 積 化 を促 進 させている。ＳＯＣ設 計 の到 来 は、
アナログ回 路 が基 本 的 にデジタル回 路 （大 きいデジタル／小 さいアナログ）に加 えられたかどうか、あ
るいはロジック回 路 が基 本 的 にアナログ回 路 （ 大 きいアナログ／小 さいデジタル） に加 えられたかどう
かを決 定 することを難 しくする。アナログの複 雑 さは、比 較 的 低 パーフォーマンスのベースバンドから
マルチＧＨｚまでを含 むＲＦまで、異 なるかも知 れない。ロジックとアナログ回 路 のほかに、真 のＳＯＣ設
計 は、大 量 の内 蔵 揮 発 性 メモリと、あるいは不 揮 発 性 メモリを内 蔵 しているかも知 れない。単 一 ダイの
上 にこれらの回 路 を組 み合 わせることは、増 加 する消 費 マーケットでフェイルするデバイスのテストの
複 雑 さと挑 戦 を増 大 させている。ロジジクテストとアナログ回 路 のテストの複 雑 さとともにあるメモリテス
トの長 いテスト時 間 要 求 の均 衡 を保 つために、ＤＦＴでの基 本 的 な新 考 案 とテスト装 置 アーキテクチャ
が必 要 とされる。加 えるに、大 規 模 ＳＯＣ設 計 は、再 利 用 可 能 なミックスド・テクノロジ設 計 ブロックから
組 み立 てられるであろう大 いに構 造 化 されたＤＦＴアプローチは、高 いカバレッジを可 能 にして、内 蔵
設 計 ブロックのためにテストの補 足 的 再 利 用 を必 要 とされるであろう。
マルチダイのパッケージング
小 さい製 品 外 形 ファクターを保 守 する間 に、大 きいメモリアレイのようなカスタムに指 示 される「オプ
ション」の集 積 化 が、マルチダイのパッケージに対 する需 要 を促 進 させている。個 別 のダイが異 なった
設 計 チーム、あるいは異 なった製 造 業 者 からさえ来 るかも知 れないから、ＤＦＴがリスキーな状 態 であ
る付 加 的 複 雑 な問 題 を持 つ機 会 を与 えるように、ミックスド・テクノロジでのマルチダイパッケージは、Ｓ
ＯＣと同 じような挑 戦 を伴 っている。さらに、いくつかの異 なったテスト戦 略 は、それは特 定 のテクノロジ
のためにそれぞれ最 適 化 されて、通 常 専 用 テスターの上 で個 々に処 理 されるが、１パッケージでの挑
戦 的 テスト手 法 とテスト装 置 能 力 を一 緒 にすることができた。マルチダイ・パッケージで構 成 される歩
留 りは、個 別 のダイの歩 留 りとパッケージング歩 留 りの積 である。これは、ウェーハプローブから取 られ
たＫＧＤが集 積 化 されたマルチダイ・パッケージの構 成 テストの段 階 の歩 留 り影 響 を最 小 にするような
願 望 を促 進 させる。ＫＧＤは、劇 的 にウェーハプローブでの欠 陥 検 出 必 要 条 件 を増 やして、既 存 のウ
ェーハプローブとバーイン加 速 メソドロジーを挑 発 している。マルチダイ・パッケージへの大 きくなる需
要 が 、ウェ ーハレベル・ テストとバ ーイン 能 力 を強 めて、 多 分 スルー プットと 歩 留 りを最 大 に する新 規
製 造 プロセスフローの開 発 を導 くであろう。
標準化
単 一 ダイ、あるいはパッケージの中 の回 路 タイプの多 くなる多 様 性 は、製 造 テストフローの複 雑 さと
関 連 した増 加 を促 進 するであろう。効 率 的 にテスト装 置 プラットフォーム間 でテスト内 容 を移 動 させる
ために、テスト開 発 標 準 が必 要 とされる。自 動 テスト内 容 生 成 のためのソフトウェア・ツールとテスト・ソ
フトウェア標 準 の採 用 が必 要 である。デジタル・ロジック設 計 のためのツール能 力 は、相 対 的 に成 熟
レベルに達 してきている；アナログ・ドメインに対 して、同 様 の能 力 を持 ち込 むことに焦 点 を当 てること
が必 要 である。装 置 プログラミング、オートメーションとカスタマイゼーションのための今 日 のプラットフォ
ームのユニークなサプライヤーのソフトウェア解 決 と自 社 製 ツール環 境 は、テスト開 発 エンジニアリング
と工 場 インテグレーションの努 力 に受 け入 れがたい増 大 を促 進 させるであろう。普 通 業 務 のオートメー
ションと減 少 しつつあるテスト・プラットフォーム・インテグレーション時 間 は、製 品 開 発 ライフサイクルを
縮 小 して、それと一 致 して一 層 の効 率 的 リソースの使 用 を可 能 とするべき標 準 に焦 点 を当 てる必 要
がある。
モデル化 とシミュレーション
デバイスのピン数 、Ｉ／Ｏ周 波 数 、アナログ必 要 条 件 と電 力 の増 加 が必 要 とされるにつれて、テスタ
ーとＤＵＴ間 のインターフェイスは、ますます複 雑 になる。これらの特 性 のワーストケースの組 み合 わせ
は、すべての計 測 器 がパス寄 生 を最 小 限 にするように（トレイドオフが要 求 されるであろうが）、物 理 的
にできるだけＤＵＴ近 くに置 くことが要 求 される。計 測 器 の場 所 とパス・パーフォーマンスに対 して、イ
ンターフェイス・レイアウト・ルーティングと幾 何 学 的 パターンの最 適 化 を果 たすために、複 雑 なシミュ
レーション能 力 が必 要 とされる。シミュレーションは、テスト装 置 の計 測 器 、電 気 配 分 パス、プローブカ
ード、ロードボード、コンタクターとＤＵＴの詳 細 なモデルを必 要 とする。このようなシミュレーションは、
ダイにおける信 号 と電 力 性 能 を保 証 するために必 要 とされる。
汎 用 ＤＲＡ Ｍのビット密 度 の成 長 は 、コスト性 を維 持 する生 産 テストスループットと関 連 した増 加 を
要 求 する。並 列 テストへの単 純 な拡 張 は、充 分 ではないであろう、そして、大 きくなるＤＵＴインターフ
ェイス速 度 と精 度 必 要 条 件 によって、制 限 されるかも知 れない。マルチビットのテスト、ＢＩＳＴとＢＩＳＲ
は、生 産 スループットと歩 留 りを助 けるためには不 可 欠 となるであろう。
テストプロセス実 行 決 定 は、製 品 テストコストとテスト有 効 性 間 の一 定 のトレイドオフによって、促 進
させられ続 けるであろう。ＤＦＴテクノロジ開 発 の段 階 に、あるいは、ＤＦＴ解 決 を招 かない大 規 模 な設
計 に対 して、コストの圧 力 が、高 性 能 のデジタルとアナログテスト装 置 を先 端 設 計 のテスト必 要 条 件 を
管 理 させ続 けるであろう。ＤＦＴの使 用 は、テスト の複 雑 さをチップ上 に 移 動 させる、それゆえ 能 力 の
必 要 条 件 を減 らし、従 って、コスト、製 造 テスト装 置 を減 らす目 的 とともに大 きくなる。
トランジスタ数 、インターフェイス周 波 数 、電 力 消 費 と多 様 な回 路 タイプの集 積 化 に関 してのデバイ
スの複 雑 さが増 すことは、将 来 テスト共 同 体 の中 で重 要 な挑 戦 を必 要 とするであろう。近 いうちに、こ
れらの挑 戦 は、大 いに構 造 化 されたＤＦＴメソドロジーを通 してテストアクセスを供 給 し、テスト装 置 を
通 してデバイスに高 性 能 な信 号 を配 分 する能 力 に集 中 する。長 期 の挑 戦 は、デバイス・インターフェ
イスとしてのテスト装 置 、先 行 的 テストメソドロジーと不 良 解 析 に存 在 する。下 表 １９の挑 戦 は、優 先 順
位 で定 義 されている。
表１９
５ つ の 困 難 な ﾁｬﾚﾝｼﾞ
≥ 65 nm /
2007 ま で
高 速 デ バ イ ス・イ ン タ ー
フェイス
テストとテスト装置の困難なチャレンジ―短期間
項目のまとめ
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高集積設計
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高 周 波 数 、 超 多 数 ピ ン プ ロ ー ブ と テ ス ト ソ ケ ッ ト の た め に 、 主 要 な ﾛｰﾄﾞブ ロ ッ ク が 必
要であろう；減少した寄生インピーダンスでコスト効果が高い解決を可能にする研究
開発が緊急に必要とされる。
高速シリアルインタフェース速度とポート数傾向が、特性評価のために高速アナログ
ソ ー ス / キ ャ プ チ ャ ー と ジ ッ タ ー 計 測 器 能 力 の 向 上 を 要 求 し 続 け る で あ ろ う 。 DF T /
DFM 手 法 が 、 製 造 す る た め に 、 開 発 さ れ な く て は な ら な い 。
デバイス・インタフェース電気回路が、検査装置バンド幅と精度を低下させるとか、
あ る い は ノ イ ズ を 発 生 し て は な ら な い ； 特 に 高 周 波 数 差 動 I/O と ア ナ ロ グ 回 路 の た め
に。
大 い に 構 造 化 さ れ た DFT ア プ ロ ー チ は 、内 蔵 コ ア へ の テ ス ト ア ク セ ス を 可 能 に す る こ
と が 必 要 で あ る 。 テ ス ト を 可 能 に す る た め に DFT と B IST を 使 う と き 、 個 別 の コ ア に
は特別な注意を必要とする。
ア ナ ロ グ DFT と BIST 手 法 は 、 テ ス ト イ ン タ フ ェ ー ス 必 要 条 件 を 単 純 化 す る こ と と 、
ゆっくりではあるが、徐々に計測器の能力を高めるトレンドを成熟させなくてはなら
ない。
もし、テストチップが同じく多数のノイズが多いデジタル回路を含んでいるならば、
RF と オ ー デ ィ オ 回 路 を 含 ん で い る テ ス ト チ ッ プ は 、 主 要 な 挑 戦 と な る で あ ろ う 。
DFT は 、 非 常 に 複 雑 な 設 計 に 対 し て 再 利 用 可 能 な デ ザ イ ン コ ア が テ ス ト 開 発 時 間 を 減
らすように、テスト再利用ができるようにしなくてはならない。
信頼性スクリーニング
•
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•
製造検査コスト
•
•
モデリングとシミュレ
ーション
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•
表１９
既存のメソドロジーは、ガスを使い果たしている状態である（バーイン対熱放出、
IDDQ 対 背 景 電 流 の 増 加 ）。
斬 新 な 、初 期 不 良 率 を も た ら す 欠 陥 加 速 ス ト レ ス 条 件 を 識 別 す る 研 究 が 必 要 と さ れ る 。
製造テストコストを減らすためのテストセルスループット拡張が必要とされる。 その
好 機 は 、大 規 模 並 列 テ ス ト 、ウ ェ ー ハ レ ベ ル テ ス ト 、ウ ェ ー ハ レ ベ ル バ ー イ ン と 他 を
含 ん で い る 。デ バ イ ス ・ イ ン タ フ ェ ー ス / コ ン タ ク テ ィ ン グ 、電 力 と 熱 の マ ネ ー ジ メ ン
トを含む挑戦が望まれる。
デ バ イ ス テ ス ト の 必 要 性 は 、 DFT を 通 し て 低 コ ス ト の 製 造 テ ス ト 解 決 を 可 能 に す る よ
うに処理されなくてはならない；ピンカウントを減少させるテスト、検査装置再利用
とテスト時間短縮を含む。
自動テストプログラム生成は、テスト開発時間を減らすために必要とされる。テスト
内容の再利用と製造の機敏さを可能にするテスト標準が必要とされる。
シ リ コ ン 前 の テ ス ト 開 発 を 可 能 に し 、高 価 な ATE の 上 で の 高 価 な シ リ コ ン 後 の テ ス ト
内 容 開 発 ／ デ バ ッ グ を 最 小 に す る た め に 、 Ａ Ｔ Ｅ 、 デ バ イ ス ・ イ ン タ フ ェ ー ス と DUT
とのロジックとタイミングの正確なシミュレーションが必要とされる。
高 性 能 な デ ジ タ ル と ア ナ ロ グ I/O と 電 源 必 要 条 件 が 、 ダ イ 時 の 信 号 の 正 確 さ と 電 源 品
質を保証するために、テスト環境シミュレーション能力の重要な改良を必要とする。
検査装置メーカは、インタフェース設計を可能にするためにピンエレクトロニクス、
電源とデバイス・インタフェースの正確なシミュレーションモデルを提供しなくては
ならない。
テストとテスト装置の困難なチャレンジ―長期間
５ つ の 困 難 な ﾁｬﾚﾝｼﾞ
<65 nm
2007 以 降
DUT か ら AT E へ の イ ン
•
ターフェイス
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•
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テストメソドロジー
•
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•
欠陥解析
•
不良解析.
光学式と他の分裂的テクノロジでのプロ−ビング能力。
大規模並列テストのサポート − フルウェーハ・コンタクティングを含めてである。
ダイ・サイズを減少させることと、回路密度を増やすことは、ダイの熱密度の劇的な
増 加 を も た ら す 。 こ の 問 題 は 、さ ら に 製 造 ス ル ー プ ッ ト を 最 大 に す る た め に 並 列 テ ス
トができるようにする願望によって増大される。ウェーハ・プローブと部品テストに
対する新しい熱のコントロール手法が必要であろう。
インタフェースとテスト装置によって、非接触でデバイス・ピンをテスト可能にする
DFT
新 し い DFT 手 法 （ Ｓ Ｃ Ａ Ｎ と BIST は 、 今 ま で の ２ ０ 年 以 上 の 間 の 頼 み の 綱 で あ っ
た ）。 制 御 と 観 測 の た め の 新 し い テ ス ト 方 法 が 必 要 と さ れ る 。設 計 階 層 を 利 用 し て 開
発されるテストが必要であろう。
ア ナ ロ グ DFT と BIST 手 法 は 、 テ ス ト ・ イ ン タ フ ェ ー ス 必 要 条 件 を 単 純 化 す る こ と
と、計測器能力をゆっくりではあるが徐々に向上するように、成熟していかなけばな
らない。
BIST 手 法 は 、新 し い 故 障 モ デ ル 、不 良 解 析 と 決 定 論 的 テ ス ト を 支 援 す る よ う に 変 化 し
なくてはならない。
DFT の 挿 入 の た め の Ｅ Ｄ Ａ ツ ー ル は 、 機 能 性 、 カ バ レ ッ ジ 、 コ ス ト 、 回 路 パ フ ォ ー マ
ン ス と ATPG パ フ ォ ー マ ン ス を 考 慮 し て 、 DFT 選 択 す る こ と を サ ポ ー ト し な く て は
ならない。
欠陥タイプとその動作は、拡散プロセステクノロジに先行した形で進展し続けるであ
ろう。 出現している欠陥場所を特定化する既存と新規の故障モデルの基本的な研究が
必要とされるであろう。
進 歩 し た 故 障 モ デ ル に 対 す る ATP G 能 力 と 性 能 に 対 し て Ｅ Ｄ Ａ の 重 要 な 先 行 性 と
DFT の 挿 入 は 、 テ ス ト に 関 連 し た 効 率 を 改 善 し 、 設 計 の 複 雑 さ を 減 ら す こ と を 必 要 と
する。
•
多層メタル・プロセスでの欠陥の リアルタイムでの解析が必要とされる。
•
アナログデバイスの不良解析手法が開発され、自動化されなくてはならない。
•
破壊しての物理的検査プロセスから主に非破壊診断能力への移行。
個別の欠陥タイプを同定、場所特定と識別する特性評価能力。
異 分 野 デ バ イ ス・テ ク ノ
•
ロジ
•
MEMS と セ ン サ ー の た め の 新 し い テ ス ト 方 法 の 開 発
進歩した / 破壊的トランジスタ構造のための新しい故障モデルの開発
テストテクノロジの必要条件
潜在的歩留り損失
全 体 的 ロードマップ・テクノロジ（ＯＲＴＣ）特 性 表 に示 されるように、ａｔ−ｓｐｅｅｄのファンクションテス
ト・メソドロジーに関 連 した製 造 歩 留 り損 失 は、ＡＴＥ性 能 と常 に増 加 するデバイスＩ／Ｏ速 度 の間 の大
きくなりつつあるギャップと関 係 している。マイクロプロセッサとＡＳＩＣ Ｉ／Ｏ の大 きくなっている速 度
は、タイミング信 号 の適 切 な解 決 のためにより高 い正 確 さを要 求 している。半 導 体 チップ外 への速 度
は、１年 に３０％向 上 しているのに、テスター精 度 は１年 に１２％しか改 善 されていない。１９８０年 代 に
はデバイス速 度 より５倍 速 いテスターによって提 供 された典 型 的 テスト課 題 は解 決 した。もし、現 在 の
傾 向 が継 続 するならば、テスターのタイミング誤 差 が最 も速 いデバイスのサイクル時 間 に接 近 す るで
あろう。表 ２０に見 られるように、２００１年 には、伝 統 的 ファンクションテスト・メソドロジーを使 うときには、
テスターの精 度 が悪 いための歩 留 り損 失 が問 題 になっている。
表２０
歩留り対テスト精度
年
2001
2002
2003
2004
2005
2006
2007
MHz
1700
1870
2057
2262
2488
2737
3011
デバイス周期
ps
588
535
486
442
402
365
332
総 合 ATE 精 度 (OTA)
ps
200
176
155
136
120
106
93
デバイスの総合精度必要
条 件 (5% 目 標 )
ps
29
27
24
22
20
18
17
チップからボードへのバ
ス周波数 − 高性能
白 –製 造 化 可 能 な 解 が 存 在 し 、 現 在 最 適 化 中
黄 —既 知 の 製 造 化 可 能 な 解 が あ る
赤 –製 造 化 可 能 な 解 は 、 ま だ 未 知
これらの潜 在 的 に極 端 な歩 留 り損 失 は、ａｔ−ｓｐｅｅｄのファンクションテストの代 わりのテスト手 法 の
使 用 によって、和 らげられなくてはならない。ＤＦＴメソドロジーは、進 歩 したパターン印 加 と新 規 の故
障 モデル化 を通 して、アットスピードのファンクションテスト・ベクターによって同 定 化 される欠 陥 のカバ
レッジを提 供 するように成 熟 しなければならない。これらの方 法 は、テスターのタイミング精 度 に起 因 す
る先 端 設 計 の歩 留 り損 失 のリスクを軽 減 し、テスターとデバイス間 のインターフェイスの複 雑 さを軽 減
する付 加 的 利 点 を提 供 する。
ＡＴＥコスト
ＡＴＥコストは、従 来 は単 純 なピンあたりのコストを基 に計 算 してきた。この方 法 は、便 利 な計 算 法 で
はあるが、次 の理 由 により問 題 であった。即 ち、ピン数 が増 えることによって発 生 する装 置 構 造 と基 本
構 造 に関 係 した基 本 的 なシステムコストを無 視 してしまっていたためである。それ故 、各 テスタの種 類
ごとについては、次 の式 が、ＡＴＥコストのロードマップを表 し、且 つ、予 測 するのに有 用 なものであると
して提 案 されている。
Tester Cost ＝ ｂ ＋ Σ （ ｍ ＊ ｘ ） ｎ
この式 で、ｂはピンが無 い場 合 のシステムの基 本 コスト、ｍはピンあたりの増 加 コスト、ｘはピン数 である。
“ｂ”は能 力 、性 能 、特 徴 によって変 化 し、一 方 、“ｍ”はパターン・メモリ容 量 、アナログ能 力 に依 存 す
る。尚 、基 本 コスト“ｂ”は、テスタの種 類 によって変 わるが、現 時 点 の例 では、複 数 同 時 テストのため
の特 別 な仕 様 を考 慮 していない。添 え字 ｎは、異 なるテストピン能 力 （例 、アナログ、ＲＦ、等 ）をサポー
トするための特 殊 仕 様 システムによりコストが変 わることを示 すものである。ファクタｂとｍに対 するコスト
は、同 一 の性 能 では、時 間 経 過 とともに下 がると予 想 している。
図表２１
ATE Cost Parameters
Tester Segments
B
m
x
Base Cost Incrementa Pin Count
l Cost per
Pin
K$
$
High-performance ASIC / MPU
250-400
2700-6000
512
Mixed-signal
250-350
3000-18,000
128-192
DFT Tester
100-350
150-650
512-2500
200-350
1200-2500
256-1024
200+
800-1000
1024
200+
~50,000
32
Lo w-end
Microcon troller
ASIC
Commodity Memory
RF
/
今後のピンあたりの価格
ATE コストは、投 資 では非 常 に大 きな割 合 を占 めるが、半 導 体 製 造 におけるウエーハプロセスとパ
ッケージ組 み立 ての割 合 とともに、製 造 に関 する全 コストの一 つの要 素 でしかない。ウェーハソートと
ファイナルテストに対 する全 オペレーションコストには、関 係 しているテストするための装 置 、材 料 、労
力 、フロアスペース、装 置 サポート、および、テストする効 率 に依 存 したコストが含 まれている。1997 年
ITRS ロードマップで公 表 したテストコストに関 しては、ATE サプライヤー、半 導 体 製 造 メーカ、そして
EDA ベンダさえも、大 変 関 心 を寄 せている。
テストコスト推 移 に対 する技 術 チャレンジを述 べるために 1997 年 と 1999 年 のロードマップでは、図 表
１９に示 したグラフを公 表 した。このモデルは、本 来 、高 性 能 なマイクロプロセッサ製 品 群 におけるテス
トコストトレンドに基 づいていた。そして、これを一 般 化 し他 の製 品 群 に直 ちに適 用 するのは相 応 しく
ないものであった。このモデルでは、テストコストトレンドは、将 来 に渡 って過 去 の延 長 線 上 で推 移 する
との仮 定 の基 に予 測 されている。このテストコスト推 移 には、製 品 世 代 に係 わりなく一 定 であるテスタ
あたりの投 資 コストとデバイストランジスタ数 の 増 加 に 同 期 したデバイステスト時 間 の増 加 を 加 味 して
いた。このコストモデルが刊 行 されてから、過 去 の延 長 線 上 でのテストコスト推 移 を変 えるための顕 著
な努 力 がなされ、そしてコストモデル傾 向 を下 げることが始 まっている。
このような過 去 の延 長 線 上 のテストコストの流 れを変 えようとすることは、ＡＴＥと半 導 体 製 造 メーカの
両 社 間 の協 同 でなされてきている。装 置 コストの低 減 は、装 置 コストの改 良 と装 置 への要 求 事 項 の削
減 との組 み合 わせによって実 現 されようとしている。さらに、半 導 体 製 造 メーカは、デバイステストのス
ループット、即 ち、パラレルテストを増 やすこととデバイステスト時 間 を短 縮 すること、に注 力 している。
この こと は、 テスト 装 置 投 資 コス ト の 削 減 に つ なが り 、 結 果 と して テス トコス ト 削 減 に 寄 与 す る こと に な
る。
しかしながら、このような活 動 は、あるデバイステスト分 野 の中 で見 られるが、他 方 ではもがき続 づけて
いる分 野 も依 然 としてある。アナログとＲＦテスト用 装 置 は、相 対 的 に高 価 で、このような回 路 をテスト
するテスト時 間 も長 い。この分 野 のテストコスト削 減 は、まだキーチャレンジとして残 っている。また、あ
るデバイステストにおいては、テストコストは全 製 造 コストの７０％以 上 を支 払 っている場 合 がある。この
様 にテストコストは、決 してトランジスタ数 、ダイサイズ、デバイスピン数 、あるいはプロセステクノロジの
みで単 順 に決 められないものである。
図１９
1997 Microprocessor Cost of Test Trend Graph
1980
1
1985
1990
1995
2000
2005
2010
2015
Cost per Transistor (cents)
SIA Silicon manufacturing
0.1
SIA Test equipment depreciation
0.01
0.001
0.0001
0.00001
0.000001
重 要 なトレンド
テ ス ト 容 易 化 設 計（ DFT）は 、 テ ス ト カ バ レ ッ ジ を 確 実 に す る た め と テ ス ト 開 発 時 間 を 短 縮
するための仕掛けとして設計工程で使われてきている。設計工程の初期にテスト容易化を考
慮 し て 設 計 す べ き だ と の 考 え 対 す る 設 計 者 の 抵 抗 は 、時 間 経 過 と と も に 小 さ く な り 、近 い 将 来
ATE と EDA が 有 機 的 に 収 斂 す る こ と に よ っ て 無 く な っ て し ま う だ ろ う 。 テ ス ト コ ス ト を 抑 制
す る た め に 、よ り 廉 価 な 低 性 能 の 装 置 が 使 用 で き る 様 に 、ま た 、既 存 の 装 置 の 再 利 用 が で き る
様 に 、そ し て 、よ り 良 い テ ス ト 効 率 が 図 れ る 様 に 、DFT 手 法 を 工 夫 す る こ と が 重 要 で あ る 。組
込 み テ ス ト （ BIST） と DFT は 、 ハ イ エ ン ド な デ ジ タ ル 論 理 設 計 の 中 の 主 流 で あ り 、 近 い 将 来
ア ナ ロ グ と SOC 設 計 へ の 浸 透 は 本 格 的 に な る だ ろ う 。 成 功 の カ ギ は 、 テ ス ト 容 易 化 設 計 を 上
手 く 活 用 し 、限 定 し た 機 能 を 有 す る 安 価 な テ ス ト 装 置 で も っ て 、い か に 効 率 よ く デ バ イ ス（ 製
品）をテストするかであろう。
テストと歩 留 りの学 習
標 準 的 なものから不 完 全 な、そして最 高 級 の種 類 から売 れる製 品 を区 別 することに加 えて、テスト
は、半 導 体 の産 業 のためにもう１つの主 要 なサービスを提 供 する。今 日 製 造 プロセスでの不 良 メカニ
ズムの分 析 の最 も良 いツールは、テスト装 置 である。歩 留 り向 上 への時 間 、品 質 向 上 へ時 間 とマーケ
ットへの時 間 は、すべてテストによって律 則 される。テストプロセスから得 られたフィードバック・ループ
は、今 日 のプロセス欠 陥 の多 くを解 析 し、隔 離 する唯 一 の方 法 である。同 様 に、テストは受 け入 れ難
いパラメトリックなばらつきと設 計 ―プロセス対 話 に関 係 するフィードバックのメインソースである。テスト
は、コスト効 果 が高 いプロセス尺 度 、欠 陥 隔 離 と不 良 ルート原 因 究 明 を支 援 し続 けなくてはならない。
RAM デバイスに代 わってテクノロジ・リーダーとして、複 雑 なマイクロプロセッサの出 現 は、これらのゴ
ールを理 解 することがいっそう難 しくしている。
６５nm の特 徴 サイズに向 かっての CMOS テクノロジのマイグレーションは、ひどく伝 統 的 な不 良 解
析 プ ロセスを挑 発 する であろう 。ハ ードウェアベ ースの 物 理 的 な 不 良 解 析 は 、 故 障 個 所 特 定 化 、剥
離 解 析 と物 理 的 特 性 評 価 / 検 査 のステップを含 んで、重 要 なプロセスのままでいるであろう、しかし
ながら、選 択 肢 が必 要 とされる。より小 さく、いっそう微 妙 な；もっときついピッチでの欠 陥 を見 いだすこ
とを必 要 とし、より大 きい空 間 の解 像 度 を必 要 とする不 良 により優 れた回 路 敏 感 さと、フリップ・チップ
のパッケージとともに裏 面 からの解 析 の使 用 を強 制 するメタルレイヤの増 加 する数 のような要 素 によっ
て、選 択 肢 の必 要 は、促 進 させられる。物 理 的 な不 良 解 析 プロセスをルーチン解 析 手 順 と して頼 る
にはあまりにも遅 く、困 難 になるために、これらの要 因 は結 合 するであろう。伝 統 的 なハードウェアベー
スの故 障 個 所 特 定 化 のキー選 択 肢 および補 足 は、ソフトウェアベースの故 障 個 所 特 定 化 であり、そ
のためにその必 要 が特 に強 く、主 要 なブレークスルーを必 要 としている。物 理 的 な不 良 解 析 手 法 へ
の挑 戦 がより一 層 厳 しくなるにつれて、製 品 レベルの電 気 的 動 作 や、あるいはインライン化 、あるいは
テスト構 造 化 された測 定 のように、すばやく集 められたデータから下 層 にある物 理 的 原 因 までをマッピ
ングするシグネチャ−解 析 手 法 もまた開 発 されなくてはならない。このような開 発 は、もし成 功 すると証
明 されるならば、物 理 的 不 良 解 析 をサンプリング / 検 証 の役 割 にまで降 ろすであろう。
サンプリング / 検 証 の役 割 を演 ずるためにでさえ、物 理 的 不 良 解 析 は、テクノロジにペースを合 わせ
て既 存 のツール/ 手 法 の改 良 を必 要 とし、ある場 合 には、新 しいブレークスルーの手 法 を必 要 とする。
加 えるに、新 しい、そして改 善 されたハードウェア故 障 個 所 特 定 化 ツールがソフトウェアベースの故 障
個 所 特 定 化 をサポートし、補 うために必 要 とされる。ソフトウェアベースの故 障 個 所 特 定 化 とシグネチ
ャ−解 析 の 開 発 が、特 に、解 析 方 法 の徹 底 的 な変 更 によって促 進 させられて、能 力 の主 要 な移 行
を要 求 する。それらは、産 業 、学 界 と国 立 研 究 所 と分 析 的 な装 置 供 給 会 社 の主 要 な努 力 を必 要 と
する。これらの必 要 は次 の優 先 順 位 を付 けられたリストでさらに詳 述 される。
1. ソ フ ト ウ ェ ア ベ ー ス の 故 障 個 所 特 定 化 メ ソ ド ロ ジ ー と ツ ー ル 。 こ の よ う な ツ ー ル と メ ソ ド
ロ ジ ー は 、 ス キ ャ ン ベ ー ス の テ ス ト 、 BIST ベ ー ス の 電 圧 テ ス ト 、 フ ァ ン ク シ ョ ン テ ス ト 、
IDDQ テ ス ト と Ａ Ｃ （ 遅 延 ） テ ス ト の よ う な す べ て の 主 要 な テ ス ト メ ソ ド ロ ジ ー に よ っ て
検出された不良診断を取り扱うために必要とされる。コアベース設計、アナログ回路とダ
イナミック・ロジックを使って性能を上げる方法を含むさまざまな設計方法とローパワー
方 法 を 処 理 す る た め の 方 法 も 同 じ く 必 要 と さ れ る 。Ａ Ｃ あ る い は 性 能 不 良 の 部 位 特 定 化 は 、
特 に 重 要 で あ る 。 こ れ ら の ツ ー ル は 、 一 つ の ト ラ ン ジ ス タ 、 あ る い は 10um よ り 長 く な い
セクションに欠陥の場所特定をすることを可能とすべきである。それらは、同じくすべて
の 現 実 的 な 物 理 欠 陥 、 抵 抗 性 ブ リ ッ ジ 欠 陥 を 含 め て 、 抵 抗 を 持 っ た 接 触 /バ イ ア ス と オ ー
プン故障を処理しなくてはならない。パラメトリック不良（非欠陥）機構と関係がある問
題 を 診 断 す る 方 法 も 同 じ く 開 発 さ せ ら れ な く て は な ら な い Ｂ IST の よ う な DFT 手 法 が 、
必 要 な デ ー タ 収 集 を サ ポ ー ト す る よ う 設 計 さ れ な く て は な ら な い 。 IDDQ 測 定 デ バ イ ス が 、
診断による必要とされる正確さレベルを支援する必要がある。テスター応答データの収集
能力とデータマネージメントシステムが、これらのメソドロジーの要求を満たさなくては
な ら な い 。 特 に 、 ATE は 、 表 ２ ２ の DFT テ ス タ ー 、 た と え ば 、 ２ ０ ０ １ 年 に 50MHz で
予測されたモデルスキャン・ベクトルレートで無制限にスキャンデータを集めることを考
慮に入れるべきである。診断のデータ収集は、たとえば、数秒以上、全体的なテスト時間
に追加するべきではない。
2. ア プ ロ ー チ と し て 上 記 手 法 を 補 完 し 、 補 う ハ ー ド ウ ェ ア ベ ー ス の 故 障 個 所 特 定 化 ツ ー ル 。
これらの手法の空間の解像度は、主に画像処理と上書きために使われる赤外線に近いもの
に よ っ て お よ そ ０ .５ um に 固 定 さ れ る（ た と え ば 、ピ コ セ カ ン ド 画 像 処 理 回 路 分 析［ Ｐ Ｉ
Ｃ Ａ ］ 、 熱 誘 導 電 圧 加 速 ［ TIVA ］ な ど ） 。 他 の ど の よ う な 裏 面 画 像 処 理 方 法 も 存 在 し な
い の で 、 上 書 き と 信 号 追 跡 の た め に 改 善 さ れ た CAD 能 力 で ハ ー ド ウ ェ ア ベ ー ス の 故 障 隔
離 ツ ー ル を 統 合 す る こ と に よ っ て 、 こ の 制 約 は 扱 わ れ な く て は な ら な い 。 Ａ Ｔ Ｅ と DFT
は、これらのツールの必要をサポートしなくてはならない、たとえば、ＰＩＣＡ解析のた
めに効率的にテストベクトルのサブセットをループすることによって行う。
3. ス ル ー プ ッ ト を 犠 牲 に し な い で 、微 妙 な 欠 陥 に 潜 在 的 な 破 壊 的 な チ ッ プ 剥 離 プ ロ セ ス を 受
け さ せ な い で 、高 い 分 解 能 を 提 供 す る 光 学 式 顕 微 鏡 （ た と え ば 、Ｘ 線 写 真 ）を 越 え た 非 破
壊検査手法。
4. 際 立 っ て 物 理 不 良 解 析 の 必 要 性 を 減 少 す る か 、 あ る い は 排 除 す る シ グ ネ チ ャ − 解 析 手 法 。
正確に前もってソートして特定のクラスの不良ダイをまず選択し、物理的不良解析の入力
に優先順位を付ける統計的方法が必要とされる。より長期においては、物理的不良解析に
訴えないで、テスト情報に基づいて、根本的な原因を指し示す方法が開発されなくてはな
らない。そのテクノロジを可能にするキーは、欠陥タイプをお互いに区別する特性評価テ
ス ト 方 法 で あ る 。レ イ ア ウ ト デ ー タ と テ ス ト 構 造 / イ ン ラ イ ン の テ ス ト 結 果 を 持 っ て の 電
気的特性評価の集積も、同じくキー能力である。いくつかの同じコアを含んでいる多数の
製品を越えて一貫したデータを集めるデータマネージメント戦略が必要とされる。
5. 新 し い フ ィ ル ム に 対 す る 下 層 プ ロ セ ス を ウ ェ ッ ト と ド ラ イ で 剥 離 す る エ リ ア で は 、 焦 点 を
合 わ せ ら れ た イ オ ン 光 線 で の 十 字 区 分 と 動 き と 、デ ポ ジ シ ョ ン 能 力 と パ ッ ケ ー ジ か ら 取 り
出すプロセスの前進を必要とする。検査／欠陥特性評価のエリアでは、個別回路あるいは
ト ラ ン ジ ス タ パ ラ メ ー タ を 特 性 評 価 し 、あ る い は リ ー ク パ ス を 隔 離 す る た め に は 、SEM 解
像度、音響顕微鏡解像度、レントゲン写真を撮る解像度、Ｅ−ビーム検査解像度、クロス
トークに対する強力性と内部ＤＣマイクロ・プロ−ビング能力が改善される必要がある。
次 に 示 し た も の は 、テ ス ト と 学 習 の 革 命 的 必 要 を 扱 う 上 で 可 能 性 が あ る 機 会 の リ ス ト で あ る ：
•
電 圧 テ ス ト 結 果 と IDDQ テ ス ト 結 果 に 基 づ い た 手 法 を 含 ん で 、 期 待 値 応 答 に 対 す る テ
スターのパス / フェイル応答と一致するかどうかに基づく故障個所特定化手法の改良
•
故 障 個 所 特 定 化 に お け る 欠 陥 発 生 情 報 と ／ あ る い は イ ン ラ イ ン の テ ス ト 結 果 の 、レ イ ア
ウトの基づく可能性の集積
•
た と え ば 、電 源 供 給 格 子 上 に 多 数 の ポ イ ン ト に お け る 測 定 を 使 っ て の 欠 陥 電 流 ソ ー ス を
三角にすることのように、多数の物理測定ポイントを使っての部位特定化
•
故障区別、診断指向のテスト生成
•
診 断 の デ ー タ 収 集 を 容 易 に す る た め の DFT / BIST / ATE ア ー キ テ ク チ ャ
•
チ ッ プ 操 作 で の タ イ ミ ン グ を 変 え る 信 号 を モ ニ タ ー す る た め の 、レ ー ザ ー 電 圧 プ ロ ー ブ
（ LVP ） と ピ コ セ カ ン ド 画 像 処 理 回 路 分 析 （ Ｐ Ｉ Ｃ Ａ ） の よ う な 、 広 が ら な い 手 法 の
絶え間ない改良
•
フ ァ ン ク シ ョ ン 速 度 、 あ る い は IDDQ 対 電 圧 あ る い は 温 度 の よ う な テ ス ト 条 件 の よ う
な、製品レベルの電気的測定に基づく特性評価手法
•
設計ツール、特にタイミングツールと診断の間のもっと密接なカプリング、
•
診断の中へのプロセスをモニターするテスト構造情報の集積
IDDQ テスト
歴 史 的 に行 われている IDDQ テストが将 来 のテストでは困 難 に直 面 する場 合 がある地 点 まで通 常
のバックグラウンド・リーク（大 きさおよびばらつき）は増 加 している。IDDQ 試 験 は欠 陥 検 知 を可 能 にし
続 けるために変 わらなければなりません。将 来 のテクノロジにおけるバックグラウンド・リーク電 流 の増
加 に直 面 して、同 じ便 宜 を提 供 する代 替 ソリューションを開 発 しなければならない。IDDQ は製 作 され
たチップに関 する情 報 の豊 かなソースを提 供 し、今 日 欠 陥 検 出 および性 能 テストにおいて多 くのケー
スで不 可 欠 な役 割 を演 ずる。
下 の表 は将 来 の技 術 において性 能 性 指 向 型 製 品 のために予 測 された IDDQ 値 を示 す（この数 値
はおおよそに値 を示 している。その代 わりにテクノロジの微 細 化 に対 して相 対 値 を提 供 する意 図 で示
してある）。これらの値 は低 消 費 電 力 技 術 によりかなり低 いかもしれません(たとえば 3 桁 )。これらの範
囲 は最 大 デバイス IOFF（プロセスインテグレーション章 表 ２から）、トランジスタ数 （ORTC 表 １ｇ−１
ｈ）、典 型 的 なＷ／Ｌ比 、適 当 に仮 定 したオフ・トランジスタの割 合 から求 めた。IDDQ テストを使 用 可
能 にするように IC が適 切 に設 計 されていると仮 定 している。
図 表 ２２
性 能 指 向 型 IC の予 測 IDDQ 値
Year
Maximum IDDQ
2001
30–70 mA
2003
70–150 mA
2005
150–400 mA
2008
400 mA–1.6 A
2011
1.6–8 A
2014
8–20 A
Table notes below:
* すべての表値は２５度を想定
予 測 した IDDQ 値 は絶 対 値 で増 加 するだけでなく、また IDDQ（与 えられた技 術 および製 品 につい
て）のばらつきが高 いことが予 想 される。たとえば IDDQ 値 は最 大 を表 わすけれども、標 準 値 はかなり
低 いはずである。このばらつきを許 容 できるように、よりよくこのばらつきの成 分 を理 解 して、新 しいテス
ト手 法 を開 発 することが重 要 である。
下 記 は、IDDQ テストの継 続 使 用 に関 するポテンシャル機 会 （テスト方 法 およびテスト容 易 化 設 計
手 法 ）のリストである。
・Delta IDDQ または IDDQ Ratio を用 いたテスト手 法
・Vt を制 御 するための基 板 のバイアス。
・Vt（全 てのデバイスまたは選 択 されたデバイスのどちらかについて）を上 げるか、Vt のばらつきを下
げるようなプロセスの変 更 。
・低 温 での IDDQ テスト。
・チップレベルでの電 源 分 割 。マルチプル電 源 の使 用 。
・トランジスタ・パスの中 でリーク電 流 を制 限 する大 きな｢フッタ｣デバイスの使 用 。
・マルチプル VDD 電 圧 のための IDDQ 測 定
・過 渡 的 な IDD 手 法 。
・IDDQ は近 傍 のダイに基 づき決 定
・電 源 PAD 上 で測 定 される IDDQ 測 定
・組 込 み IDDQ センサーまたは他 のオンチップ測 定 支 援 。
IDDQ は重 要 な故 障 解 析 および性 能 テスト手 法 であった。物 理 的 な故 障 解 析 は欠 陥 個 所 の特 定
および欠 陥 型 識 別 のために IDDQ に頼 る。それに加 えて、IDDQ と条 件 （たとえば温 度 、電 圧 および
回 路 状 態 等 ）の間 の関 係 には、不 良 回 路 動 作 に関 する重 要 な情 報 が存 在 する。しかし、IDDQ が上
がるにつれ、伝 統 的 な手 法 を使 用 している診 断 効 果 が若 干 失 われることがありえる。
IDDQ 測 定 を行 う速 度 を改 善 するニーズもある。テスト装 置 改 良 またはテスト治 具 のサポートが必
要 である。さらに、特 に新 しい｢シグニチャベース｣手 法 のために高 電 流 での IDDQ 測 定 分 解 能 および
精 度 は向 上 しなければならない。
高周波シリアル通信
最 近 、ギガビットシリアル入 力 /出 力 バッファの使 用 は、長 距 離 の音 声 およびデータ通 信 市 場 にお
いて成 長 しました。シリアル通 信 インターフェースは、バックプレーンアプリケーション、短 距 離 および
長 距 離 通 信 、ネットワークの記 憶 装 置 、コンピュータ周 辺 機 器 へと広 く採 用 されてきています。アプリ
ケーション用 の ASIC(SONET/SDH、ギガビット・イーサネット、ファイバー・チャネル、シリアル ATA、イ
ンフィニバンド、フラットパネルリンクおよびソースシンクロナスラピッド IO)および他 の IC の中 へのギガ
ビットレイトの迅 速 な対 応 は、ATE にとって多 くの挑 戦 を意 味 しています。
現 在 、高 機 能 シリアルインターフェイスの機 能 テストをするには、高 価 なスタンド・アロンのパターン
ジェネレーターおよびビットエラー検 出 器 を使 用 しなければなりません。
過 度 のテスト時 間 およびコストのため大 量 生 産 にとってこの取 り組 みは不 向 きである。
利 用 を可 能 とする適 切 なテスト方 法 および設 備 なしで、多 くの IC メーカは非 常 に原 始 的 な試 験 技
術 (ループバックまたはゴールデンサンプルのような)を使 用 することを強 いられています。早 急 に、
ATE メーカはギガビットレイト、マルチポートを設 計 し、コントロール・ソフトウェアを含 むテスト・システム
へそれらを統 合 する必 要 があります。 とはいえ有 効 な DFT 法 の開 発 は、製 造 のテスト・コスト削 減 、
そしてハイポートカウントデバイスの効 率 的 な試 験 を可 能 にするために要 求 されます。
関 係 する重 要 な領 域
１．
SONET、 ギ ガ ビ ッ ト ・ イ ー サ ネ ッ ト お よ び フ ァ イ バ ー ・ チ ャ ネ ル の よ う な Si CMOS お
よ び BiCMOS シ リ ア ル 通 信 デ バ イ ス の 周 波 数 は 、急 速 に 2.5Gbits/s を 超 過 し て お り 、2001
年 に 3.125Gbits/s に 接 近 し て い ま す 。 SiGe 技 術 の 対 応 で 、 現 在 の ス タ ン ド ・ ア ロ ン 10
Gbits/s シ リ ア ル ポ ー ト は 早 く も 2002 年 に CMOS ASIC へ 統 合 さ れ る で し ょ う 。同 時 に 、
SiGe、GaAs お よ び InP 技 術 は 40Gbits/s 領 域 へ と 先 端 を い き ま す 。 1999 年 の ITRS の ロ
ー ド マ ッ プ の テ ス ト・セ ク シ ョ ン の 中 で 予 言 さ れ て い る よ う に 、開 発 の 努 力 は 高 速 、低
電 圧 ス ウ ィ ン グ 、タ イ ミ ン グ ス キ ュ ー 、差 動 計 器 へ と 強 め ら れ ま し た が 、設 備 の 能 力 は
最先端インターフェースの実行にとって遅れ続けています。
２．
GaAs(1.4V)技 術 と 比 較 さ れ た CMOS(0.7V)お よ び SiGe(0.8V)技 術 の 計 算 よ り 低 い し き い
値 電 圧 が 持 っ て い る ポ ー ト は 、1.5V∼ 1.8V 電 源 の 使 用 に よ り 低 出 力 の ギ ガ ビ ッ ト IO を
現 実 に し ま し た 。低 電 源 は ASIC と SOC へ 重 い 統 合 を 可 能 に し ま す 。2001 年 現 在 に は 、
マ ル チ ギ ガ ビ ッ ト の ト ラ ン ス ミ ッ タ ー お よ び レ シ ー バ ー を 20∼ 80 ペ ア 備 え た ASIC は
い く つ か の IC メ ー カ に よ っ て 作 ら れ て い ま す 。こ の ポ ー ト 数 は 2002 年 に 100 ペ ア を 超
過 す る で し ょ う 。そ の よ う な 多 い ポ ー ト 数 で 、ス タ ン ド・ア ロ ン の イ ン ス ツ ル メ ン ト に
よ る 対 応 は 非 実 用 的 に な り ま す 。 マ ル チ ポ ー ト の ATE は 一 つ の デ バ イ ス 上 に 多 く の シ
リアルポートを扱うために要求されます。
３．
従 来 か ら の 費 用 要 因 の と お り 、ほ と ん ど の マ ル チ ギ ガ ビ ッ ト・ト ラ ン シ ー バ ー は 、比 較
的低い生産量で統合の低いレベルで高い性能および高マージンデバイスとして設計さ
れました。
低 コ ス ト 化 に よ り 、 ロ ー パ ワ ー CMOS/SiGe マ ク ロ ・ セ ル 、 ギ ガ ビ ッ ト ・
ト ラ ン シ ー バ ー は 多 く の ボ リ ュ ー ム で 低 い 価 格 の デ バ イ ス (コ ン シ ュ マ 製 品 で さ え )へ
と 価 値 あ る 追 加 と な り ま し た 。高 い ポ ー ト 数 に 加 え て 、シ リ ア ル ポ ー ト を す べ て テ ス ト
す る こ と が で き 、 効 率 的 な ATE の 解 決 は 、 生 産 に と っ て 同 時 に 不 可 欠 で す 。 性 能 と イ
ン テ グ レ ー シ ョ ン・レ ベ ル の 間 の 一 定 の ト レ ー ド オ フ は 2 つ の カ テ ゴ リ ー（ 高 機 能 レ ベ
ルシリアルトランシーバー、また高いインテグレーションレベルシリアルマクロセル）
へ と SerDes デ バ イ ス を 帰 着 さ せ ま す 。 各 タ イ プ の テ ス ト 方 法 は 真 に コ ス ト で 選 択 さ れ
る べ き で す 。 高 機 能 SerDes デ バ イ ス の 生 産 は 典 型 的 に 、 よ り 従 来 の 設 備 装 置 に 基 づ い
た テ ス ト・ア プ ロ ー チ を 許 さ れ る べ き で す 。し か し 、信 頼 で き る DFT や 他 の 低 コ ス ト ・
テ ス ト 技 術 は 大 き な ポ ー ト 数 の SerDes 開 発 に は 批 判 的 で す 。
４．
ト ラ ン ス ミ ッ タ に よ っ て 生 成 さ れ た 測 定 ジ ッ タ は 、ト ラ ン ス ミ ッ タ の 品 質 を 保 証 す る 重
要 な パ ラ メ ー タ ー で す 。 現 在 、 ATE 上 の ジ ッ タ 測 定 能 力 は 初 期 の 時 代 に あ り 、 同 時 に
高 機 能 イ ン タ ー フ ェ ー ス の た め の ノ イ ズ フ ロ ア ー 、ア ナ ロ グ 帯 域 幅 お よ び テ ス ト 時 間 必
要 条 件 を 満 た す 利 用 可 能 な 装 置 は あ り ま せ ん 。 2001 年 に 支 配 的 な 2.5Gbit/s デ ー タ レ ー
ト に つ い て は 、2.5Gbps SerDes が 40ps 未 満 の 直 立 す る ピ ー ク ジ ッ タ (そ れ は <5ps の 直 立
す る ピ ー ク ・ ジ ッ タ ノ イ ズ フ ロ ア を 備 え た 装 置 を 要 求 す る )を 持 っ て い る こ と が 普 通 で
す 。2.5Gbit/s の デ ィ ジ タ ル 信 号 は 、8∼ 10GHz ま で の 周 波 数 ス ペ ク ト ル を 持 っ て い ま す 、
関 連 す る ジ ッ タ 測 定 装 置 は 、測 定 に 誤 っ た デ ー タ 依 存 の ジ ッ タ を 加 え る こ と を 回 避 す る
た め に こ の ア ナ ロ グ 帯 域 幅 を 提 供 し な け れ ば な り ま せ ん 。ジ ッ タ 測 定 用 の ほ と ん ど の 既
存 の 装 置 は 、 高 速 の デ ー タ 流 れ か ら の ジ ッ タ を と ら え る の に 20 秒 を 越 え る 時 間 を 要 し
ま す 。装 置 デ バ イ ス ク ロ ッ ク に 基 づ い た ジ ッ タ を 測 定 す る こ と は よ り 速 い が 、こ れ ら の
設 計 の 多 く は 内 部 ク ロ ッ ク へ の 直 接 の ア ク セ ス を 提 供 し ま せ ん 。そ の 場 合 ジ ッ タ は デ ー
タ の 流 れ か ら 単 に 測 定 す る こ と が で き ま す 。そ の よ う な 高 周 波 ク ロ ッ ク 定 着 さ せ る こ と
は ほ と ん ど の 場 合 非 実 用 的 で あ る の で 、 チ ッ プ 上 の ジ ッ タ を 測 定 す る DFT で の ア プ ロ
ー チ が 好 ま れ ま す 。こ れ は 、マ ル チ ギ ガ ビ ッ ト 領 域 の 中 に お い て は ま だ 開 発 さ れ て い ま
せん。
５．
ジ ッ タ 注 入 は 、 ビ ッ ト エ ラ ー レ ー ト (BER)で の 通 信 品 質 が 下 げ ら れ る 前 に 、 レ シ ー バ ー
が 許 容 す る こ と が で き る 入 力 信 号 上 で ジ ッ タ の レ ベ ル を 測 定 し ま す 。こ れ は レ シ ー バ ー
(Rx)ノ イ ズ 除 去 の 重 要 な キ ー で す 。ジ ッ タ 許 容 テ ス ト を 行 う た め に 、ジ ッ タ を 慎 重 に 抑
制 さ れ た 方 法 に よ り デ ー タ 流 れ に 注 入 し な け れ ば な り ま せ ん 。現 在 の 所 、今 日 の 高 機 能
設 計 に と っ て 要 求 さ れ る 速 度 範 囲 の 能 力 を 持 っ て い る ATE は あ り ま せ ん 。
６．
非 同 期 の 低 い ジ ッ タ の ク ロ ッ ク -ジ ッ タ 生 成 テ ス ト は 、 任 意 の 入 力 ジ ッ タ が な い 状 態 で
装 置 か シ ス テ ム か ら の ジ ッ タ を 測 定 し ま す 。こ の テ ス ト を 行 う た め に 、入 力 ジ ッ タ を 最
小 限 に し な け れ ば な り ま せ ん 。こ れ は 、高 品 質 お よ び 低 い ジ ッ タ ク ロ ッ ク が 必 要 で あ る
こ と を 暗 示 し ま す 。典 型 的 に 、標 準 の 試 験 装 置 の デ ィ ジ タ ル・チ ャ ネ ル に よ っ て 生 成 さ
れ た ク ロ ッ ク は 、 ギ ガ ビ ッ ト SerDes の た め の ジ ッ タ 生 成 の 有 効 な 測 定 の た め ジ ッ タ を
抑 え ま す 。 装 置 か ら 生 成 さ れ た ジ ッ タ を 正 確 に 測 定 す る た め に 、 SerDes に 供 給 さ れ る
リ フ ァ レ ン ス の ク ロ ッ ク は 、 非 常 に 低 い ジ ッ タ (た と え ば <5ps rms)で あ る 必 要 が あ り ま
す 。そ の よ う な ク ロ ッ ク は 特 別 の ピ ン・カ ー ド・オ プ シ ョ ン に よ り 利 用 可 能 に な っ て い
ま す 。非 同 期 イ ン タ ー フ ェ ー ス 試 験 は 、テ ス タ か ら 独 立 し た 異 な る レ イ ト で 実 行 で き る
こ れ ら の 特 別 の ピ ン・カ ー ド へ の 対 応 を 要 求 し ま す 。大 規 模 ASIC に 埋 め 込 ま れ た SerDes
に と っ て 、非 同 期 試 験 が オ ン チ ッ プ ク ロ ス ト ー ク を 識 別 し 、か つ 反 射 問 題 を ア ー ス す る
ために必要となります。
７．
シリアル通信での多くのレシーバーはデータの流れからクロックを抽出するためク
ロ ッ ク と デ ー タ の リ カ バ リ ー 回 路 (CDR)を 使 用 す る 。リ カ バ リ ー さ れ た デ ー タ の 位 相 は 、
部 分 部 分 や 、そ の 次 の 一 回 の リ セ ッ ト か ら さ え 必 ず し も 固 定 さ れ ま せ ん 。高 度 に フ レ キ
シブルなタイミングおよびクロックスキームはフェースアライメントそしてフレーム
アライメントを提供するために要求されます。
８．
SerDes モ ジ ュ ー ル 用 の 基 礎 的 な DFT は 内 部 の シ リ ア ル お よ び パ ラ レ ル の ル ー プ バ ッ ク
に 依 存 し ま す 。 内 蔵 の 偽 似 乱 数 の ビ ッ ト -シ ー ケ ン ス (PRBS)ジ ェ ネ レ ー タ ー を 含 む 付 加
的 な DFT、お よ び ビ ッ ト エ ラ ー (BER)の チ ェ ッ カ ー は 増 加 し た 欠 陥 の 範 囲 を 提 供 す る た
め に 必 要 で す 。 シ リ ア ル 内 部 /外 部 ル ー プ バ ッ ク を と も に 使 用 す る 時 、 外 部 か ら の 装 置
等 を 必 要 な し で ア ッ ト ス ピ ー ド の 機 能 テ ス ト を 提 供 し ま す 。ジ ッ タ 生 成 お よ び ジ ッ タ 寛
容 試 験 の DFT 技 術 の 革 新 的 な 探 求 は 必 要 で す 。
図表２３ａ
Year of Production
2001
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
130
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
150
MPU Printed Gate Length (Sc. 90
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc. 65
3.7)
High–performance-level
transceivers
Serial data rate (Gbits/s)
高周波シリアル通信テスト要求−短期
2002
115
130
75
2003
100
105
65
2004
90
90
53
2005
80
80
45
2006
70
70
40
2007 Driver
65
65
35
53
45
37
32
30
25
10
10
40
40
40
40
40
667
667
2500
2500
2500
2500
2500
3.125
3.125
10
10
40
40
100
200
2500
2500
serial
Maximum Reference Clock Speed (MHz)
High-integration-level backplane and computer I/O
Serial data rate (Gbits/s)
2.5
10
Port count
20
100
200
40
100
20
Maximum Reference Clock Speed (MHz)
166
166
166
667
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
200
20
667
667
2500
*
図 表 ２３ｂ
高 周 波 シリアル通 信 テスト要 求 −長 期
Year of Production
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
MPU Printed Gate Length (Sc. 3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc.
3.7)
2010
45
45
25
18
2013
32
32
18
13
2016
22
22
13
9
Driver
High–performance-level serial transceivers
40
80
80
2500
5000
5000
40
40
Serial data rate (Gbits/s)
Maximum Reference Clock Speed (MHz)
High-integration-level backplane and computer I/O
Serial data rate (Gbits/s)
Port count
Maximum Reference Clock Speed (MHz)
40
200
200
200
2500
2500
2500
*
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
高 機 能 ASIC に求 められるテスト
図 表 24a と 24b に 示 さ れ る よ う に 、 高 機 能 ASIC テ ス ト に 求 め ら れ る の は 、 ATE（ 自 動 テ
ス ト 装 置 ） メ ー カ が 、 今 日 の ASIC の デ ジ タ ル 部 分 を テ ス ト す る た め に 、 ピ ン 数 と 周 波 数 を 満
足 し な け れ ば い け な い と い う こ と で あ る 。ATE が す べ て の ピ ン に 対 し て こ れ ら す べ て の 要 求 を
同 時 に 満 足 し な け れ ば い け な い と い っ た 必 要 性 は な い で あ ろ う 。た と え ば 、最 も 高 い オ フ チ ッ
プ デ ー タ 周 波 数 は 、 1.25、 2.5、 10 ま た は 40GHz と い っ た 比 較 的 小 数 で の 高 周 波 シ リ ア ル イ ン
タ ー フ ェ ー ス 動 作 で あ ろ う 。一 方 、デ バ イ ス の ほ と ん ど の ピ ン は 表 に 見 ら れ る よ う に 、よ り 低
い 周 波 数 で 動 作 す る で あ ろ う 。 高 周 波 の シ リ ア ル I/O バ ッ フ ァ の 統 合 は 2016 年 ま で に ピ ン 数
の 増 加 が 約 3000 程 度 に 鈍 化 す る と い っ た 結 果 が 予 想 さ れ る 。
Table 24a と 24b に 示 さ れ る オ フ チ ッ プ 周 波 数 は 、高 周 波 シ リ ア ル イ ン タ ー フ ェ ー ス ピ ン を
除 い た 信 号 ピ ン に 関 す る も の で あ る 。た と え ば 、デ ー タ は 156Mbps の 広 域 バ ス で ASIC に 入 力
さ れ 、 2.5Gbps の 狭 域 バ ス で 出 力 さ れ る か も し れ な い 。
外 部 に 蓄 え ら れ た 、 SCAN さ れ て い な い テ ス ト ベ ク タ ー の 数 値 は 示 さ れ て い な い 。 こ の 数 値
は 概 し て お お よ そ 2001 年 に 32M で あ り 、自 然 な ら ば 将 来 1000M ま で 上 昇 す る で あ ろ う 。テ ス
ト ベ ク タ ー の ロ ー ド 時 間 に よ り 製 造 の テ ス ト・ス ル ー プ ッ ト の 低 下 を 招 く の で 、近 い 将 来 DFT
や BIST の 組 込 み が DUT の 設 計 に 緊 急 に 必 要 と な る 。 こ れ は DFT の テ ス タ ー セ ク シ ョ ン に す
でに組み込まれている。
高 周 波 ク ロ ッ ク は チ ッ プ 内 の PLL 発 振 を 用 い て 発 生 さ れ る こ と が 多 い 。 こ れ ら は よ り 遅 い
周 波 数 の ATE か ら の ク ロ ッ ク 信 号 に よ り 発 生 さ れ る が 、 非 常 に 低 い ジ ッ タ を 要 求 さ れ る 。 概
し て 、 特 別 な テ ス タ の ピ ン に は SONET と し て ±20ppm、 他 の シ リ ア ル 通 信 シ ス テ ム に 関 し て
は ±100ppm の 精 度 で 10ps 台 の ジ ッ タ を 供 給 す る こ と が 求 め ら れ る 。
今 日 の ASIC は 、 メ モ リ や ア ナ ロ グ 回 路 の IP と い っ た 組 み 込 ま れ た SOC 設 計 の 中 に す ぐ に
変 換 さ れ る 。結 果 と し て 、Table 24a と 24b に 含 ま れ る よ う な テ ス ト 要 求 は 、ATE の 要 求 を 決
定 す る と き に 、ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル と メ モ リ と 高 周 波 シ リ ア ル の 要 求 を 兼 ね 備 え て い る べ き も
のである。
図 表 24a
高 機 能 ASIC テスト要 求 −短 期
Year of Production
2001
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
130
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
150
MPU Printed Gate Length (Sc. 90
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc. 65
3.7)
Off -chip data f req. MHz NRZ
footnote).
Overall timing accuracy ( % period)
Sp ecial clo ck p in .
jitter ps
2002
115
130
75
2003
100
105
65
2004
90
90
53
2005
80
80
45
2006
70
70
40
53
45
37
32
30
25
800
900
1000
1100
1200
1300
1400
+/- 5
+/-5
+/- 5
+/- 5
+/- 5
+/- 5
+/- 5
10
10
5
5
5
5
5
(see
RM S
2007 Driver
65
65
35
1.2-3.3 1.2-3.3 0.9-3.3 0.9-2.5 0.8-2.5 0.7-2.5 0.6-2.5
Signal pk-pk range V
Po wer/d ev ice.
with heat sink W
130
DC
150
160
170
170
170
1-4
1-3
1-3
1-3
1-3
1-3
1-3
1500
1600
1700
1800
2000
2100
2200
Tester cost per high-freq. signal pin $K
Max i mu m n u mb e r of I/O s ig n a l p a d s .
Power and ground could do ub le the
number of pads for wafer test.
140
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Table notes below:
* NRZ - nonreturn-to-zero waveform ( NRZ rates are often referred to as Mbits/s )
図 表 24b
高 機 能 ASIC テスト要 求 −長 期
Year of Production
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
MPU Printed Gate Length (Sc.
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc.
3.7)
2010
45
45
25
2013
32
32
18
2016
22
22
13
18
13
9
Off-chip data freq. MHz NRZ (see footnote).
1500
1800
2000
Overall timing accuracy ( % period)
+/-5
+/-5
+/-5
2
2
2
0.6 - 2.5
0.6 - 2.6
0.6 - 2.7
Special clock pin.
ps
Signal pk-pk range V
RMS jitter
Driver
*
Po wer/d ev ice.
DC with
heat sink W
Tester cost per high-freq. signal pin $K
Maximu m nu mb er of I/O signal pads. Power
and grou nd could double the nu mb er of pads
for wafer test.
180
190
200
2 - 4
3 - 4
4 - 4
2400
2700
3000
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yello w--Ma nu f a c tu ra b l e
S o lu t i on s
a re
Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Table notes below:
* NRZ - nonreturn-to-zero waveform ( NRZ rates are often referred to as Mbits/s )
高 機 能 なマイクロプロセッサに求 められるテスト
マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ の テ ス ト に フ ォ ー カ ス し た 時 、純 粋 な at-speed 機 能 テ ス ト の ア プ ロ ー チ
か ら DFT や BIST 技 術 を 取 り 巻 く よ り 異 な っ た テ ス ト に 、多 く の 従 来 の 製 造 テ ス ト の 挑 戦 は 変
化 し て き て い る 。デ ー タ 速 度 や タ イ ミ ン グ 精 度 と い っ た 従 来 の 挑 戦 は テ ス ト デ ー タ の 量 や 電 源
や 温 度 管 理 と い っ た 特 徴 に 取 っ て 代 わ ら れ て い る 。 at-speed 機 能 テ ス ト の 比 率 に 関 係 す る 従 来
の 挑 戦 が な く な る と は 言 え な い が 、ポ ス ト シ リ コ ン の デ バ ッ グ と 確 認 環 境 に 対 す る こ れ ら の 要
因 に 関 す る 強 力 な 変 化 が 存 在 す る と い え る 。DFT の 手 法 は テ ス タ デ ー タ 速 度 と 精 度 の 尺 度 と 関
連したテスト制限のキーの影響を最小にし始めた。
結 果 と し て 、Table 25a と 25b に 見 ら れ る マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ の ト レ ン ド は 、製 造 の 必 要 性
よ り も 、ポ ス ト シ リ コ ン の 効 果 を よ り 正 確 に 反 映 し て い る 。DFT の 手 法 と 関 連 す る 製 造 の 挑 戦
は、後でテストチャプターの中で述べられている。
テ ス ト 方 法 の こ の 基 本 的 な 変 化 は 、こ こ 数 年 産 業 に 劇 的 な 影 響 を 及 ぼ す で あ ろ う 。ポ ス ト シ
リ コ ン の デ バ ッ グ と 確 認 を 求 め る リ ー デ ィ ン グ 装 置 が 、経 済 的 に 実 行 可 能 な 増 加 す る 開 発 の リ
ソースや、低下する装置の需要をどの程度必要とするかは明らかではない。
こ こ 数 年 、装 置 の 能 力 は デ ー タ 速 度 や 消 費 電 力 の よ う な 多 く の デ バ イ ス パ ラ メ ー タ を 拡 大 す
る と い っ た こ と が 予 想 さ れ る 。タ イ ミ ン グ 精 度 の 要 求 は 仕 様 の 決 定 と キ ャ リ ブ レ ー シ ョ ン の 方
法 へ の ア プ ロ ー チ を 求 め る で あ ろ う 。テ ス ト 装 置 設 計 の 改 革 が 、長 い 期 間 、明 ら か に な っ た イ
ン タ ー フ ェ ー ス の プ ロ ト コ ル に 対 す る 適 応 や 、絶 え ず 問 題 と な っ て い る タ イ ミ ン グ 精 度 の 答 え
を 見 つ け 出 す か ど う か は 明 ら か で は な い 。し か し な が ら 、機 能 テ ス ト は 適 用 可 能 な タ イ ミ ン グ
マ ー ジ ン が 、タ イ ミ ン グ の 不 正 確 さ に よ っ て 取 っ て 代 わ ら れ る で あ ろ う と 思 わ れ る よ う に 、斬
新的な技術の介在なしには可能にならないということは明らかである。
APG の 能 力 は 、ま だ な お マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ に お け る エ ン ベ デ ッ ド メ モ リ の テ ス ト を 必 要 と
し て い る 。 し か し な が ら 、 ほ と ん ど の 大 規 模 ア レ イ へ の BIST の 出 現 に よ っ て 、 APG の 機 能 の
ス ケ ー ル は エ ン ベ デ ッ ド メ モ リ の 総 ビ ッ ト 数 が 増 加 し て い る に も か か わ ら ず 、 実 質 的 に 1999
年のレベルのままである。
電源帯域幅および過渡電流現象に対する動的な取り扱いの高まっている懸念に対する取り
組 み が 、こ こ 2 年 の 間 に 大 き く 進 歩 し た 。こ の 交 流 電 流 分 野 の 研 究 の 継 続 が 、将 来 求 め ら れ る 。
図 表 25a
高 機 能 マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ テスト要 求 −短 期
Year of Production
2001
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
130
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
150
MPU Printed Gate Length (Sc. 90
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc. 65
3.7)
2002
115
130
75
2003
100
105
65
2004
90
90
53
2005
80
80
45
2006
70
70
40
2007 Driver
65
65
35
53
45
37
32
30
25
Pincount
P i n co un t I/O s ign a l c h an n e l s ( ma x i mu m
pins) [2]
1024
1024
1024
1024
1024
1024
1024
P i n co un t p o w e r a n d g ro un d ( ma x i mu m
pins)
2048
2048
2048
2048
2048
2048
2048
1066
1200
1200
1200
1200
1200
1200
47
42
42
42
42
42
42
800
1200
1600
2400
3200
4800
6400
Busses
Clock input frequency (MHz) [3]
Clock accuracy (ps) [4]
Off-chip bus data rate (Mbits/s)
Accuracy OTA (ps)
63
42
31
21
16
10
8
Bi-directional I/O
Ye s
Ye s
No
No
No
No
No
Uni-directional I/O
No
No
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Source Synchronous
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Differential
No
No
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Ye s
Self Clocked
No
No
No
No
Ye s
Ye s
Ye s
Embedded memory (Mbits)
256
512
1
2
4
8
16
APG frequency (MHz)
200
200
200
200
200
200
200
16
16
16
16
16
16
16
4
4
4
4
4
4
4
Algo rith mic
addresses)
p attern
Algorith mic
addresses)
pattern
g en erato r
(# X,
generator
Y
(# Z
Power Supplies
High Current Power supp ly vo ltage range 1.3-2.5 1.1-2.5 0.9-2.0 0.9-2.0 0.9-2.0 0.7-1.8 0.7-1.8
(volts) [1]
Lo w Cu rrent Power su pp ly voltage rang e 1.3-3.3 1.1-3.3 0.9-3.3 0.9-3.3 0.9-3.3 0.7-3.3 0.7-3.3
(volts)
P o w e r s up p l y a c c u ra c y (% o f p ro g ra mme d
value AC+DC)
10
10
10
10
10
10
10
Maximum current (A)
95
115
146
150
154
204
211
Vector memory (Meg–vectors per pin)
64
128
128
256
256
512
512
Vector memory load time (minutes)
15
15
15
15
15
15
15
>1000
>1000
>1000
>1000
>1000
>1000
Patterns
Ind e p e nd e n t p a t t e rn man a g e men t (# o f >1000
patterns)
Reliability
MTBF (hours)
1150
1208
1268
1331
1398
1468
1541
MTTR (hours)
1
1
1
1
1
1
1
Availability (%)
98
98
99
99
99
99
99
Setup time (hours)
0.4
0.4
0.3
0.3
0.2
0.2
0.2
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Table notes below:
[1] 電 源 は 、6 0 00 u F と maximum current の 2 倍 の ス イ ッ チ ン グ カ レ ン ト を 扱 う こ と が で き る べ き で あ る 。回 路 は 、
CPU の 1 ∼ 20 ク ロ ッ ク の サ イ ク ル 間 に 起 動 す る 。
[2] デ バ ッ グ 用 の テ ス タ で 最 大 ピ ン 数 と な る 。 通 常 デ バ ッ グ 用 テ ス タ は 多 ピ ン で あ る 。
[3] テ ス タ は R AM BUS タ イ プ の デ ー タ テ ー と お よ び プ ロ ト コ ル を 扱 う こ と が で き る べ き で あ る 。 特 性 評 価 用 テ
ス タ は 十 分 な デ ー タ レ ー ト 測 定 の 必 要 条 件 を 満 た す 必 要 が あ る 。量 産 用 テ ス タ -「 output to output 」の 測 定 の 精
度がクリティカルになる。.
[4] テ ス タ は デ バ ッ グ 用 に デ バ イ ス に バ イ パ ス ・ モ ー ド と し て ク ロ ッ ク を 供 給 す る 必 要 が あ り ま す 。ボ ー ド 上
の PL L は 主 要 な テ ス ト 機 能 と な る 。非 常 に 高 い 内 部 ク ロ ッ ク 必 要 条 件 に つ い て は 、ク ロ ッ ク コ ン ト ロ ー ル 用 の
on-die 方 法 が 必 要 で 、 オ フ チ ッ プ ク ロ ッ ク 速 度 必 要 条 件 へ の 適 応 に よ る 。
図 表 25b
高 機 能 マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ テスト要 求 −長 期
Year of Production
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
MPU Printed Gate Length (Sc. 3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc.
3.7)
2010
45
45
25
18
2013
32
32
18
13
2016
22
22
13
9
Year
2008
2011
2014
1280
1408
1472
2560
2816
2944
1866
2133
2400
27
23
20
1400
1600
1800
Pincount
P i n co un t
pins) [2]
I/O
s ig n a l
c h an n e ls
( ma x i mu m
Pincount power and ground (maximum pins)
Busses
Clock input frequency (MHz) [3]
Clock accuracy (ps) [4]
Off-chip bus data rate (Mbits/s)
45
40
35
Number of independent clock domains
4
4
4
Number of independent busses
8
8
8
Accuracy OTA (ps)
Embedded memory (Mbits)
APG frequency (MHz)
Algorith mic
addresses)
pattern
generator
(#X,
Y
Algorithmic pattern generator (#Z addresses)
512
2048
2048
1200
1600
1600
64
64
64
16
16
16
0.6–2.5
0.6–1.3
0.6–1.3
5
5
5
Power Supplies
Power supply voltage range (volts) [1]
Power supply accuracy (% of progra mmed
value AC+DC)
Maximum current (A)
293
322
355
Dynamic current slew rate response time (us)
0.66
0.59
0.53
Dynamic current slew rate settling time (us)
19
17
15
1024
4096
4096
15
15
15
2074
2488
2986
4000
2000
1500
MTBF (hours)
1500
1700
2000
MTTR (hours)
1
1
1
Patterns
Vector memory (meg–vectors per pin)
Vector memory load time (minutes)
Ind e p e nd e n t
patterns)
p a t t e rn
man a g e men t
(#
of
Cost
Tester cost per pin ($)
Reliability
Availability (%)
99
99
99
Setup time (hours)
0.2
0.2
0.2
Driver
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Table notes below:
[1] 電 源 は 、 6 00 0 u F と maxi mum curren t の 2 倍 の ス イ ッ チ ン グ カ レ ン ト を 扱 う こ と が で き る
べ き で あ る 。 回 路 は 、 CPU の 1 ∼ 20 ク ロ ッ ク の サ イ ク ル 間 に 起 動 す る 。
[2] デ バ ッ グ 用 の テ ス タ で 最 大 ピ ン 数 と な る 。 通 常 デ バ ッ グ 用 テ ス タ は 多 ピ ン で あ る
[3] テ ス タ は RAMBUS タ イ プ の デ ー タ テ ー と お よ び プ ロ ト コ ル を 扱 う こ と が で き る べ き で
ある。特性評価用テスタは十分なデータレート測定の必要条件を満たす必要がある。量産
用 テ ス タ - 「 output to output 」 の 測 定 の 精 度 が ク リ テ ィ カ ル に な る 。
[4] テ ス タ は デ バ ッ グ 用 に デ バ イ ス に バ イ パ ス ・ モ ー ド と し て ク ロ ッ ク を 供 給 す る 必 要 が
あ り ま す 。 ボ ー ド 上 の PLL は 主 要 な テ ス ト 機 能 と な る 。
廉 価 なマイクロコントローラに求 められるテスト
廉価なマイクロコントローラは今日の競争率の高い市場で成長している。8 ビットのマイク
ロ コ ン ト ロ ー ラ の 販 売 は 、単 独 で 2000 年 に 約 $10B を 達 成 し た 。無 線 、有 線 の 両 方 領 域 に お い
て の 接 続 の 必 要 性 が 、 USB、TCP/IP お よ び RF イ ン タ ー フ ェ ー ス を 含 む マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ
の 多 く の 新 た な 開 発 を 進 め た 。 フ ラ ッ シ ュ ・ メ モ リ ・ コ ス ト の 低 下 は 、 従 来 の マ ス ク ROM か
ら フ ラ ッ シ ュ・メ モ リ へ の 統 合 へ と 移 っ て い る 。現 在 マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ を 利 用 す る も の は 、
家 庭 用 器 具 、娯 楽 装 置 、ゲ ー ム 、モ ー タ・コ ン ト ロ ー ラ お よ び セ キ ュ リ テ ィ・シ ス テ ム で あ る 。
マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ の テ ス ト の 困 難 な チ ャ レ ン ジ は 、「 テ ス ト・ コ ス ト 」お よ び 増 加 す る
集 積 レ ベ ル の 分 野 で あ る 。マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ の テ ス ト に 求 め ら れ る も の は 、SOC に 求 め ら
れ る も の と 急 速 に 同 一 化 し て い る 。増 加 す る 集 積 レ ベ ル は 、マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ に ミ ッ ク ス ド
シ グ ナ ル テ ス タ の 導 入 を 受 け 入 れ る か 、 ま た は 新 し い タ イ プ の SOC テ ス タ に 移 す と い う 結 果
を も た ら し て い る 。こ の セ ク シ ョ ン は 、マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ の 試 験 に 特 有 な テ ス ト の 特 徴 の
概略である。
図 表 26a
廉 価 な マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ テスト要 求 −短 期
Year of Production
2001
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
130
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
150
MPU Printed Gate Length (Sc. 90
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc. 65
3.7)
2002
115
130
75
2003
100
105
65
2004
90
90
53
2005
80
80
45
2006
70
70
40
53
45
37
32
30
2007 Driver
65
65
35
25
Tester Characteristics
Overall timing accuracy (% of period)
RMS clock jitter (ps)
5
5
5
5
5
5
5
100
75
75
50
50
50
40
8
12
12
12
12
16
16
Tester cost range ($K/per pin)
1.0-4
1.0-3
0.8-3
0.8-3
0.6-3
0.6-3
0.4-2.5
Reliability–MTBF (hrs)
2500
3000
5000
6000
7000
8000
9000
External test vectors (M) Note A
DPS
maximum voltage (V)
Maximum DPS in tester
Maximum devices for parallel testing Note B
Maximum tester pins
8
8
8
8
8
8
8
32
48
48
64
64
64
64
32
32
48
48
48
64
64
1024
1024
1536
1536
1536
2048
2048
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Table notes below:
A. BIS T ・ DF T を 用 い な い 場 合 。 受 け 入 れ 可 能 な BIS T ・ DFT で の 解 決 策 が 開 発 さ れ て い る 場 合 、 数 値 は よ り 小 さ
くなる。
B. こ の カ テ ゴ リ ー は マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ の 並 列 の 試 験 用 で あ り 、 メ モ リ の 並 列 の 試 験 と 混 同 し な い 様 に 。
図 表 26b
廉 価 な マ イ ク ロ コ ン ト ロ ー ラ の テスト要 求 −長 期
Year of Production
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
MPU Printed Gate Length (Sc.
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc.
3.7)
2010
45
45
25
2013
32
32
18
2016
22
22
13
18
13
9
Driver
Tester Characteristics
Overall timing accuracy (% of period)
RMS clock jitter (ps)
4
4
3
40
30
25
16
16
24
0.3-2.5
0.3-2.0
0.2-2.0
10K
12K
15K
8
8
8
Maximum DPS in tester
64
96
128
Maximum devices for parallel testing
64
96
128
2048
3K
4K
External test vectors (M)
Tester cost range ($K/per pin)
Reliability–MTBF (hrs)
DPS
maximum voltage (V)
Maximum tester pins
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yello w--Ma nu f a c tu ra b l e
S o lu t i on s
a re
Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
ミックスドシグナル・テスト
ワ ン チ ッ プ で さ ら な る シ ス テ ム 機 能 性 を 追 求 す る 傾 向 は 、伝 統 的 な デ ジ タ ル 、ア ナ ロ グ 、RF
／ マ イ ク ロ 波 、そ し て ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル・デ バ イ ス の 間 の 仕 切 を ま す ま す 曖 昧 に さ せ て い る 。
こ の ト レ ン ド は 、た と え 偶 然 で あ っ て も 、ワ ン チ ッ プ 化 デ バ イ ス の テ ス ト を 可 能 に す る 単 一 プ
ラ ッ ト ホ ー ム・ ソ リ ュ ー シ ョ ン の 方 向 に テ ス ト 装 置 を 駆 り 立 て て い る 。ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル ・
テ ス ト 装 置 に 対 す る デ ジ タ ル 要 求 は ピ ュ ア デ ジ タ ル ・ テ ス ﾄ装 置 と 同 等 で あ り 、 関 連 市 場 セ グ
メ ン ト に 対 し て 下 表 の 通 り で あ る 。そ の 結 果 、ATE は 規 格 化 さ れ な け れ ば な ら な い し 、デ ジ タ
ル・オ ン リ ー か ら ハ イ パ フ ォ ー マ ン ス な ア ナ ロ グ ／ RF／ マ イ ク ロ 波 計 測 モ ジ ュ ー ル の 完 全 統 合
まで拡張性がなければならない。アナログ・テストの課題とテスト技術の制約は、高帯域幅、
ダイレクト変換の高サンプリング・レート、高ダイナミック・レンジ、低ノイズ・フロアー、
そしてデジタル計測ジュールとアナログ計測モジュールのシームレス統合にある。
図 表 27a と 27b に お け る ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル・テ ス ト 装 置 の 要 求 は 、特 定 用 途 向 け デ バ イ ス・
ア プ リ ケ ー シ ョ ン よ り も む し ろ 計 測 モ ジ ュ ー ル に フ ォ ー カ ス し て い る 。 現 在 の ア ナ ロ グ ／ RF
／ マ イ ク ロ 波 テ ス ト の 方 法 論 は 性 能 ベ ー ス の 測 定 を 必 要 と し て い る 。（ 即 ち 、DUT の 周 辺 を 意
味する外部計測モジュールを使用している）
そ れ ゆ え 、計 測 モ ジ ュ ー ル の 必 要 性 は プ ロ セ ス
と パ ッ ケ ー ジ の 技 術 ロ ー ド マ ッ プ で 予 想 さ れ る デ バ イ ス・パ フ ォ ー マ ン ス の 向 上 を 反 映 し て い
る 。ま た ア プ リ ケ ー シ ョ ン の 複 雑 さ は 、特 殊 な デ バ イ ス 用 途 に 的 を 絞 っ た 特 別 な 計 測 モ ジ ュ ー
ル の 設 計 を 必 要 と す る 。こ れ は 現 有 テ ス ト・シ ス テ ム に 搭 載 す る 計 測 モ ジ ュ ー ル の 数 を 増 大 さ
せ る こ と に な る 。そ し て 同 時 に 、こ れ は コ ス ト を 増 大 さ せ 、多 く の 品 種 生 産 に 渡 っ て 共 用 せ ね
ば な ら な い 装 置 の 重 要 な 構 成 管 理 問 題 を 生 む 。増 加 す る 計 測 モ ジ ュ ー ル 、高 機 能 化 、高 性 能 化
の こ の ト レ ン ド は 続 く と 期 待 さ れ て い る 。し か し テ ス ト・コ ス ト 問 題 の 解 決 を 推 進 す る 上 で 許
されるものでない。
ア ナ ロ グ DFT 技 術 は 、複 雑 な 機 能 テ ス ト の 必 要 性 を 減 ら し な が ら 、テ ス ト 再 利 用 性 を 向 上 さ
せ な が ら 、ア ナ ロ グ・ チ ェ ー ン の 各 要 素 を 個 別 に テ ス ト す る こ と を 可 能 に し て い る 。性 能 ベ ー
ス の ア ナ ロ グ・テ ス テ ィ ン グ に 代 わ る 実 証 さ れ た 手 段 は 存 在 し て い な い 。こ の 分 野 の さ ら な る
検 討 が 必 要 と さ れ て い る 。 ア ナ ロ グ BIST は 、 可 能 性 の あ る ソ リ ュ ー シ ョ ン と し て 、 そ し て さ
ら な る 検 討 に 値 す る 分 野 と し て 提 案 さ れ て き た 。 ア ナ ロ グ DFT の 現 状 は 、 主 に ル ー プ バ ッ ク
手 法 と ダ イ レ ク ト・ア ク セ ス の テ ス ト 手 法 で あ る 。計 測 モ ジ ュ ー ル の 複 雑 さ の 低 減 や 外 部 計 測
モ ジ ュ ー ル の 必 要 性 の 除 去 を 可 能 に す る DFT 技 術 を 検 証 す る 基 本 的 な 検 討 が 必 要 と さ れ て い
る。
関連重要分野
１
ア ナ ロ グ ／ Ｒ Ｆ ／ マ イ ク ロ 波 の 信 号 環 境 は 、ロ ー ド・ボ ー ド 設 計 や テ ス ト 方 法 論 を 大 変 複
雑 に す る 。 ノ イ ズ 、 ク ロ ス ト ー ク 、 ミ キ シ ン グ 、 ロ ー ド ・ ボ ー ド 設 計 、 そ し て ATE ソ フ
トウェアの問題はテスト開発のプロセスとスケジュールを律束する。
２
ギ ガ ビ ッ ト ／ 秒（ 2.5 ∼ 10Gb/s）の シ リ ア ル・ポ ー ト は オ フ チ ッ プ 通 信 に 利 用 さ れ て い る 。
こ れ ら の ポ ー ト は 個 別 IC 群 で ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル 機 能 を 構 築 し て い る 。 こ れ ら の ポ ー ト
のテスト要求は高周波シリアル通信の項で見つけることができる。
３
全 て の ア ナ ロ グ 機 能 の 同 時 測 定 は 、テ ス ト 時 間 の 短 縮 、ス ル ー プ ッ ト の 増 加 、テ ス ト ・ コ
ス ト の 低 減 の た め に 必 要 と さ れ て い る 。 こ れ は DSP テ ス ト ・ ア ル ゴ リ ズ ム （ FFT の よ う
な ）の 高 速 並 列 処 理 機 能 を 持 っ た 複 合 計 測 モ ジ ュ ー ル を 必 要 と す る 。同 時 測 定 手 法 は 、メ
モ リ や 大 量 生 産 デ ジ タ ル・デ バ イ ス の テ ス ト で 何 年 に も 渡 っ て 利 用 さ れ て き て い る 。し か
し ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル・デ バ イ ス に 於 い て は 十 分 に 利 用 さ れ て い な い 。ま た 、同 一 チ ッ プ
内 の 複 数 ア ナ ロ グ 機 能 （ た と え ば ２ 系 統 、 ４ 系 統 、 ８ 系 統 回 路 な ど や LAN ポ ー ト ） は 同
時にテストされるべきである。
４
複 数 の テ ス ト 装 置 ベ ン ダ に 適 合 す る 、よ り 良 い ソ フ ト ウ ェ ア・ツ ー ル が 必 要 と さ れ て い る 。
ツ ー ル は デ ジ タ ル や ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル の パ タ ー ン 発 生 、ロ ー ド・ボ ー ド や 計 測 モ ジ ュ ー
ル を 含 め た デ バ イ ス・ア ナ ロ グ 部 の 回 路 シ ミ ュ レ ー シ ョ ン 、そ し ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル 用 テ
ス ト・ プ ロ グ ラ ム 生 成 の 容 易 化 で 必 要 に な る 。現 在 、デ ジ タ ル ・ テ ス ト の 分 野 で は 自 動 テ
ス ト・プ ロ グ ラ ム 生 成 ツ ー ル が 広 く 利 用 さ れ て い る に も 関 わ ら ず 、ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル ・
テスト・プログラムは手作業で生成されている。
図 表 27a ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル の テ ス ト 要 求 −短 期
Year of Production
DRAM ½ Pitch (nm)
MPU ½ Pitch (nm)
MPU Printed Gate Length (nm)
MPU Physical Gate Length (nm)
2001
130
150
90
65
2002
115
130
75
53
2003
100
107
65
45
2004
90
90
53
37
2005
80
80
45
32
2006
70
70
40
28
2007
65
65
35
25
Low Frequency Source and Digitizer
15
22
30
40
50
60
60
Fs** (MS/s***)
5
7
10
13
16
20
20
Resolution (bits)
20–23
20–23
20–23
24
24
24
24
–160
–160
–160
–165
–165
-165
-165
Level V (pk–pk)
Accuracy (+/-)
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
BW (MHz)
1600
2400
3200
4000
4800
6000
7000
Fs (MS/s)
3500
5000
7000
8500
10000
12000
15000
Resolution (bits) AWG/Sine†
10/14
10/14
10/14
10/14
10/14
10/14
10/14
Noise floor (dB/RT Hz)
–145
–145
–150
–150
–155
–155
–155
Level V (pk–pk)
Accuracy (+/-)
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
4
0.5%
BW (MHz) (undersampled)
2000
3000
4000
5200
6400
8000
9200
200
300
400
520
640
800
920
12
12
12
12
14
14
14
–145
–145
–150
–150
–155
–155
–155
BW *
(MHz)
Noise floor (dB/RT Hz)
High Frequency Waveform Source
High Frequency Waveform Digitizer
Fs (MS/s)
Resolution (bits)
Noise floor (dB/RT Hz)
Time Measurement
3
2
2
1
1
1
1
Frequency measurement (MHz)
660
1320
1320
1320
2640
2640
2640
Single shot time capability (ps)
100
75
75
75
50
50
50
f re qu e n c y
10
0.2
130
14
0.2
136
14
0.2
136
18
0.2
136
18
0.1
136
18
0.1
136
18
0.1
136
frequency
160
166
166
166
166
166
166
10
14
14
14
18
18
18
–160
–160
–160
-166
-166
-166
-166
110
130
140
140
140
160
160
D/A and A/D Digital Data Rate (MB/s)
300
400
520
640
800
920
1040
Sample Clock Jitter
1.5
1
0.5
0.25
0.2
0.15
0.1
Jitter measurement (ps RMS)
RF/Microwave Instrumentation
Source BW (GHz)
Accuracy (+/-dB)
S ou rc e p h a s e n o is e l o w
Close-In 1KHz (dBc/Hz)
Source phase no ise high
Wideband 10MHz (dBc/Hz)
Receive BW (GHz)
Receive noise floor (dBm/Hz)
Receive dynamic range SFDR (dBc) ‡
Special Digital Capabilities
(< ps RMS)
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Table notes below:
BW—Bandwidth
** Fs—Sample rate
*** MS/s—Megasamples/second
† AWG/Sin—Arbitrary waveform generation/sine wave
‡ SFDR—Spurious free dynamic range
§ MB/s—Megabits/second
図 表 27b ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル の テ ス ト 要 求 −長 期
Year of Production
DRAM ½ Pitch (nm)
MPU ½ Pitch (nm)
MPU Printed Gate Length (nm)
MPU Physical Gate Length (nm)
2010
45
45
25
18
2013
32
32
18
13
2016
22
22
13
9
Low Frequency Source & Digitizer
(MHz)
60
60
60
Fs** MS/s***
20
20
20
Resolution (bits)
24
24
24
-165
-165
-165
4
0.5%
7000
4
0.5%
7000
4
0.5%
7000
Fs (MS/s)
15000
15000
15000
Resolution (bits) AWG/Sine†
10/14
10/14
10/14
Noise floor (dB/RT Hz)
–155
–155
–155
4
0.5%
10000
4
0.5%
10000
4
0.5%
10000
1000
1000
1000
14
14
14
–155
–155
–155
BW *
Noise floor (dB/RT Hz)
High Frequency Waveform Source
Level V (pk–pk)
Accuracy
BW (MHz)
High Frequency Waveform Digitizer
Level V (pk–pk)
Accuracy
BW (MHz) (undersampled)
Fs (MS/s)
Resolution (bits)
Noise floor (dB/RT Hz)
Time Measurement
1
1
1
Frequency measurement (MHz)
3000
3000
3000
Single shot time capability (ps)
30
30
30
Jitter measurement (ps RMS)
RF/Microwave Instrumentation
36
36
36
Source phase no ise low frequency Close-In
1KHz (dBc/Hz)
140
140
140
S ou rc e p h a s e n o is e h ig h f re q u e n c y Wid e b an d
10MHz (dBc/Hz)
166
166
166
36
36
36
–166
–166
–166
160
160
160
1200
1200
1200
0.1
0.1
0.1
Source BW (GHz)
Receive BW (GHz)
Receive noise floor (dBm/Hz)
Receive dynamic range SFDR (dBc) ‡
Special Digital Capabilities
D/A and A/D data rate (MB/s) §
Sample Clock Jitter
(< ps RMS)
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Table notes below:
BW—Bandwidth
** Fs—Sample rate
*** MS/s—Megasamples/second
† AWG/Sin—Arbitrary waveform generation/sine wave
‡ SFDR—Spurious free dynamic range
§ MB/s—Megabits/second
Driver
Definition for Table 27a and b:
LOW FREQUENCY SOURCE and DIGITIZER: This is the basic, minimum, instrument set of any mixed-signal tester.
Telecommunications, Advanced Audio and Wireless Baseband will drive these specifications. Differential inputs/outputs
are needed.
HIGH FREQUENCY WAVEFORM SOURCE: Disk Drive Read Channels (PRML) will drive sample rate and bandwidth.
Local Area Network (LAN) devices will drive sample rate, bit resolution and amplitude accuracy. Differential outputs
are needed.
HIGH FREQUENCY WAVEFORM DIGITIZER: An undersampled (down conversion, track-and-hold, etc) bandwidth is
shown. The sample rates and bit resolutions are for a dir ect conversion digitizer, which is usually preceded by the
undersampler. PRML and LAN devices will drive digitizer specifications. Differential inputs are needed.
TIME MEASUREMENT: Phase Lock Loops (PLL's), which are increasingly being embedded in new designs, will require
Jitter and Frequency measurements. A specialized class of instruments will have to be developed to make these
measurements efficiently and accurately.
RF/MICROWAVE INSTRUMENTATION: Single chip RF/Digital/Baseband/Audio devices will require RF instruments such
as modulated carrier sources and low noise receivers or down converters.
SPECIAL DIGITAL CAPABILITIES: For converter testing, the ability to source a digital word to a D/A and capture a
digital word from an A/D.
DFT で 設 計 さ れ た デ バ イ ス の テ ス ト 装 置
DFT の 使 用 は 、 半 導 体 産 業 界 全 体 に 急 速 に 広 が っ て 来 て い る 。 こ の 拡 大 の 理 由 は 沢 山 あ
る 。 即 ち 、 DFT を 使 う こ と に よ り ， テ ス ト 開 発 の サ イ ク ル タ イ ム を 大 幅 に 短 縮 し ， 故 障 検
出 率 を 改 善 し ， 共 通 な 一 部 の 外 部 ピ ン を 用 い て SoC 内 部 の 複 数 の 回 路 を ア ク セ ス し ， 中 程
度の性能のインターフェースを用いて高性能回路の試験をし，パラレルテストを容易にす
る等々が可能になるからである。ほんの一部の例外を除いて，ほとんどの今日の構造的な
（ DFT に よ る ） テ ス ト は ， 一 般 的 な デ ジ タ ル ATE で 実 行 さ れ て き た 。 こ れ は ， あ る 領 域 に
おいて厳しいテスト要求事項であり，他の領域においては最適値以下しか要求しないとい
う 不 幸 な 結 果 と な っ て い る 。 こ れ は 、 DFT を 使 用 す る 多 く の 素 子 は 必 要 以 上 に 高 い テ ス ト
コ ス ト を 支 払 っ て い る こ と を 意 味 す る 。 よ っ て ， DFT を 使 用 す る デ バ イ ス の テ ス ト に 特 化
し た ATE の 開 発 の 必 要 性 が 生 じ て き て い る 。
図 表 28 は 、今 後 7 年 間 に わ た る 業 界 の ト レ ン ド を 取 り 込 も う と 試 み た も の で あ る 。こ こ
に表されているデータは様々な半導体製造会社からの要求を集めたものである。多くの異
なる要因により半導体企業にまたがる要求は少々発散気味である。
1． DFT は ま だ 成 熟 し つ つ あ る 技 術 な の で 、 企 業 間 で 一 致 し て 実 装 さ れ る も の で は な い 。
2． デ バ イ ス テ ク ノ ロ ジ や 製 造 工 程 に 依 存 し た 異 な る 開 発 戦 略 が 存 在 す る 。
3．古 い 製 品 フ ァ ミ リ の た め の 様 々 な レ ベ ル の 古 い「 伝 統 的 な 」テ ス ト 手 法 を サ ポ ー ト す る
必要性が存在する。
よって、これらの表は「仕様」として構成されるのではないということが重要である。全
て の DFT ア プ リ ケ ー シ ョ ン を 満 た す 単 一 の 構 成 は 期 待 で き な い 。
図 表 28 DFT-BIST デバイステストの要 求 −短 期
Year of Production
2001
DRAM ½ Pitch (Sc. 2.0)
130
MPU ½ Pitch (Sc. 3.7)
150
MPU Printed Gate Length (Sc. 90
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc. 65
3.7)
Number of Parallel Sites
2002
115
130
75
2003
100
105
65
2004
90
90
53
2005
80
80
45
2006
70
70
40
53
45
37
32
30
32
32
64
64
128
128
6
6
12
12
16
16
Scan
Data
Vo lume(Gig a-pin-vectors
available per site)
256/1K 256/1K 256/2K 256/2K 256/4K 256/4K
Scan Pin (available per site / system)
50
Scan Vector Rate (MT or MHz)
Functional data rate (MHz)
25
Cost
Logic
Density
Logic
Density
100
100
200
200
200
Test
Time
128/25
6
128/51
2
128/51
2
128/51
2
128/51
2
Test
Time
16
16
16
16
16
16
100
100
100
200
200
200
3K/4K
3K/4K
4K/5K
4K/5K
5K/6K
I/O
Density
“Full function” pin (ava ilable per site / 128/25
system)
6
Functional vector depth (M-Vectors)
2007 Driver
65
65
35
“Reduced fun ction” pin (a vailable per 3K/4K
site / system)(DC only)
Logic
Density
Test
Time
Clock pins (available per site / system)
4/32
4/32
4/64
4/64
4/128
4/128
Clock
Doma in
s
Clock frequency (MHz)
200
200
400
400
400
800
O n -ch ip
Clock
Rate
8/32
8/32
8/64
8/64
8/128
8/128
Logic
Density
High-Speed Clock (differential Pairs)
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
Signature Compression
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
Algorithmic Pattern Generation
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
Low Frequency Source & Digitizer
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
High Frequency Source & Digitizer
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
Time Measurement Unit
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ADC/DAC
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
RF Source
no
no
ye s
ye s
ye s
ye s
High Power
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
IDDQ
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
ye s
Power Supplies
system)
(ava ilable
per
site
/
SoC
Support for options
White–Manufacturable Solutions Exist, and Are Being Optimized
Yellow--Manufacturable Solutions are Known
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
Definitions for Table 28:
Parallel Sites
-- デ バ イ ス の 並 列 テ ス ト は 、 単 一 の テ ス タ ー で 複 数 の デ バ イ ス を 測 定 す る こ と に よ っ て デ バ イ ス あ
たりのテストコストを削減する共通の技術である。並列にテストできるデバイスの個数はテスターの利用できる
リソースにより制限される。しかしながら、ハードウェアあるいはソフトウェアのアーキテクチャによる論理的
な制限はあるべきではない。過去におけるこれらの表に共通の数値は、全ての互いの数字を掛け算することによ
り算出されていた。与えられたテスター上の利用可能な全てのピン数は、現在の最新のピン密度と一致するべき
である。
Scan Data Volume – ス キ ャ ン 入 力 ピ ン に シ フ ト さ れ る ビ ッ ト の 総 数 に ス キ ャ ン 出 力 ピ ン か ら シ フ ト ア ウ ト さ れ る ビ
ットの総数を加えたものである。即ち、デバイス中のスキャン可能素子の総数にスキャン・ロードとスキャン・
アンロードの総数を掛け算したものである。
1 本のピンにシフトインあるいはシフトアウトする単一ビットは、
ピン・ベクターとして定義することができる。.
S ca n Pin – ス キ ャ ン 入 力 ピ ン と ス キ ャ ン 出 力 ピ ン の 最 大 数 で あ る 。こ の 数 に は ス キ ャ ン の 制 御 に 必 要 と さ れ る ピ ン
は含まない。
Scan Vector Rate – ス キ ャ ン デ ー タ 入 力 ピ ン と ス キ ャ ン デ ー タ 出 力 ピ ン の 最 大 シ フ ト レ ー ト で あ る ( 単 位 ：
MegaTransfers per second (MT)) 。
“Full Function” Pin – Fu ll Function ピ ン は 、従 来 の ATE シ ス テ ム の ピ ン の 全 機 能 を 持 つ ド ラ イ バ と レ シ ー バ に 接 続
するピンである。これらのリソースは、高いタイミング精度、柔軟な波形出力、高い周波数レート、プログラム
可 能 な ド ラ イ バ /レ シ ー バ の 閾 値 、 パ ラ メ ト リ ッ ク 測 定 機 能 等 を 持 つ こ と も あ る 。 こ れ ら の Full Function ピ ン は 、
ク ロ ッ ク 、 入 力 、 出 力 、 双 方 向 、 リ フ ァ レ ン ス ・ レ ベ ル 等 の デ バ イ ス の 外 部 I/O ピ ン を 用 い て 従 来 の ATE ア プ ロ
ー チ で DUT を テ ス ト す る と き に 用 い ら れ る 。 加 え て 、 f u ll f u n c t io n ピ ン は 、 Full Function ピ ン の メ モ リ 制 限 内 、 あ
るいは、スキャンメモリにアクセスすることにより、スキャンの機能も持つ。
Functiona l Vector Depth – デ バ イ ス を テ ス ト す る た め に 必 要 と さ れ る ベ ク タ ー の 総 数 で あ る 。 各 ベ ク タ ー は 、 デ バ
イ ス の 各 ピ ン に 個 々 の 状 態 (e.g. "0", "1", “H”, “L”, "X", "Z", etc.) を 印 加 、 あ る い は 比 較 す る 。
Functional Data Rate – デ バ イ ス の デ ー タ ピ ン に 印 加 す る ベ ク タ ー の 最 大 周 波 数 レ ー ト で あ る 。
“Reduced Function” Pin – Re du ced Function ピ ン は 、波 形 機 能 を 持 た な い 、非 常 に ベ ク タ ー の 深 さ が 浅 い 等 の 制 限 さ
れ た デ ジ タ ル の ド ラ イ バ /レ シ ー バ の 機 能 を 持 つ 低 価 格 リ ソ ー ス に 接 続 さ れ る ピ ン で あ る 。 こ れ ら の ピ ン は 、 通 常
プ ロ グ ラ ム 可 能 な ド ラ イ バ /レ シ ー バ の 閾 値 や パ ラ メ ト リ ッ ク 測 定 機 能 を 持 つ 。
Clock Pin – ク ロ ッ ク ピ ン は 、 ス キ ャ ン や フ ァ ン ク シ ョ ナ ル ・ デ ー タ ・ ピ ン よ り も 高 い 周 波 数 と 高 い 精 度 を 持 つ 。
こ れ ら の ク ロ ッ ク ピ ン は 、 DFT テ ス タ ー 上 で の 高 性 能 テ ス ト を 容 易 に す る た め に フ ァ ン ク シ ョ ナ ル ・ デ ー タ ・ レ
ー ト に お け る フ ァ ン ク シ ョ ナ ル テ ス ト 、 ゆ っ く り シ フ ト し て 高 速 に サ ン プ ル す る AC ス キ ャ ン テ ス ト や BIST で 用
いられる。
Clock Frequency – 標 準 ク ロ ッ ク ソ ー ス か ら 供 給 さ れ る 最 大 周 波 数 で あ る 。 ク ロ ッ ク ピ ン の 精 度 と ス キ ュ ー は 、 最
小 ク ロ ッ ク 周 期 の 8%以 下 に さ れ る べ き で あ る 。 ジ ッ タ ー は 、 最 小 ク ロ ッ ク 周 期 の 1.5%以 下 に さ れ る べ き で あ る 。
Power Supplies – デ バ イ ス へ の 電 源 供 給 は 、 テ ス ト 中 の プ ロ グ ラ ム 可 能 な 電 圧 / 電 流 を 可 能 と す る 。 一 般 に Vcc あ
る い は Vdd の よ う な デ バ イ ス の 電 源 端 子 に 接 続 し て 電 圧 、 電 流 を 供 給 す る 。 他 の 使 用 は 、 テ ス ト 中 の デ バ イ ス の
ピ ン の リ フ ァ レ ン ス 電 圧 電 源 、外 部 負 荷 の 終 端 電 圧 、電 流 源 で あ る 。共 通 の 特 徴 は 、プ ロ グ ラ ム 可 能 な ク ラ ン プ 、
テ ス タ ー の パ タ ー ン ジ ェ ネ レ ー タ に よ り 制 御 さ れ る ト リ ガ ー /キ ャ プ チ ャ ー の 測 定 、 パ タ ー ン ジ ェ ネ レ ー タ に よ り
制御される切り替え可能な出力電圧範囲である。
Su pport fo r Options – 常 に オ プ シ ョ ン を サ ポ ー ト す る 必 要 は あ る 。 こ れ は 、 機 能 テ ス ト か ら 構 造 テ ス ト に 移 行 す る
期 間 の 従 来 の デ バ イ ス や 、 DFT と ミ ッ ク ス ド シ グ ナ ル の 混 在 し た デ バ イ ス 、 あ る い は あ る 値 以 上 の 性 能 要 求 を サ
ポートする必要性から来る。この表の残りの項目は、将来のこれらのオプションの必要性と性能要求を予測する
ことを試みる。多くのアナログオプションがあるが、これは包括的ではないかもしれない。
High -Speed Clock Pin – 高 速 ク ロ ッ ク ピ ン は 、標 準 ク ロ ッ ク ソ ー ス よ り も 高 い 周 波 数 で 高 精 度 で 動 作 す る 。高 速 ク ロ
ッ ク は 、 s i n g l e -e nd e d と 差 動 ク ロ ッ ク の 両 方 を サ ポ ー ト す る 。こ の ク ロ ッ ク オ プ シ ョ ン の 最 高 周 波 数 は 、 2 0 0 3 年 に
80 0 M Hz で 、2 004 年 に 1 .4 G H z に な る 。こ の ク ロ ッ ク ピ ン の 精 度 と ス キ ュ ー は 、最 小 ク ロ ッ ク 周 期 の 8 % 以 下 に 維 持
さ れ る べ き で あ る 。 ジ ッ タ ー も 、 最 小 ク ロ ッ ク 周 期 の 1.5% 以 下 に さ れ る べ き で あ る 。
Signature Compression –DFT テ ス タ ー 上 の ス キ ャ ン チ ャ ネ ル に 接 続 さ れ る Linear Feedback Shift Registers (LFSRs)
は 、ス キ ャ ン デ ー タ 量 と テ ス ト 時 間 を 劇 的 に 削 減 で き る 。 Pseu do Ra nd o m Pa ttern Gen era tors (P RPGs) は 、ス キ ャ ン
バ ッ フ ァ に ス ト ア す る ス キ ャ ン イ ン の テ ス ト パ タ ー ン 量 を 最 小 化 す る こ と が で き る 。 Single Input Signature
Registers (SISRs) は 、 ス キ ャ ン 出 力 の 測 定 パ タ ー ン を 圧 縮 す る こ と に 用 い ら れ る 。 PRPGs と SISRs は 、 LFSR/SISR
あるいはスキャンチャネルが独立のスキャンサイクルで動作するように接続される。
Algorithmic Pattern Generation – メ モ リ パ タ ー ン シ ー ケ ン ス は 、 一 般 的 に 繰 り 返 し が 多 い の で 、 ア ル ゴ リ ズ ミ ッ ク
に 生 成 で き る 。 Algorithmic Pattern Generator の 機 能 は 、 ス ト ア さ れ た 入 出 力 テ ス ト パ タ ー ン と 同 時 に 動 作 す る こ
とが許され、他のテスターパターンリソースと統合される。
Low Frequency Source/Digitizer – 傾 斜 あ る い は sin 波 形 の よ う な 差 動 の ア ナ ロ グ 波 形 を 生 成 、 デ ジ タ イ ズ す る 。 一
般 に 18 ビ ッ ト の 解 像 度 で 100KHz ま で で あ る 。
High Frequency Source/Digitizer - 傾 斜 あ る い は sin 波 形 の よ う な 差 動 の ア ナ ロ グ 波 形 を 生 成 、 デ ジ タ イ ズ す る 。 一
般 に 12 ビ ッ ト の 解 像 度 で 10MHz ま で で あ る 。
Time Measurement – 時 間 の 間 隔 あ る い は 周 波 数 を 測 定 す る 機 能 。 .
RF S o ur c e – 高 周 波 の 機 能 が S o C に 搭 載 さ れ る に 従 い 、適 当 な DFT に よ る サ ン プ リ ン グ 手 法 が RF に 対 し て 開 発 さ
れ 、ク リ ー ン な 高 周 波 の si n 波 形 を 生 成 す る 外 部 リ ソ ー ス が 必 要 と な る 。こ れ ら の リ ソ ー ス の 周 波 数 に 対 す る 要 求
は 、 100MHz か ら 6GHz の 範 囲 で あ る 。
High Po wer – 幾 つ か の デ バ イ ス は テ ス ト 時 に 非 常 に 電 力 を 食 う (>7 5 W) 。高 電 流 デ バ イ ス の 電 源 供 給 は 、正 確 な 電 圧
と 負 荷 の 変 化 に 対 す る 迅 速 な 応 答 (1 -2 u s ) が 必 要 と な る 。 加 え て 、 大 電 流 が 治 具 や コ ン タ ク タ や プ ロ ー ブ 針 を 通 し
て供給される。数千本のデバイスの電源ピンが非常に高密度に実装されている。電源供給は、高価なテスト装置
を損傷から保護するために短絡などの不連続性を検出し完全なテストを実行することが必要である。一般に、安
全性に関する柔軟なユーザ制御が大電力の供給にとってはより重要となる。
半 導 体 メモリテストの要 求 条 件
メモリの容量（ビット数）は指数関数的に増加し続けると予想される。半導体メモリ、
特 に DRAM は プ ロ セ ス 技 術 、 設 計 、 テ ス ト を 定 義 付 け る 牽 引 役 で あ り 続 け る 。 図 表 29∼
31 を 参 照 の こ と 。
汎 用 DRAM テスト
DRAM の 容 量（ ビ ッ ト 数 ）は 2 年 で 4 倍 に 増 加 す る 傾 向 が し ば ら く は 続 く 。し か し ，そ
の 後 こ の 傾 向 は 減 速 し そ の 増 加 は 3 年 で 4 倍 に な る と 思 わ れ る 。こ の 容 量 増 加 に 伴 い テ ス
ト 時 間 が 増 加 し ス ル ー プ ッ ト が 減 少 す る 。 こ の た め に テ ス ト が DRAM 製 造 の ボ ト ル ネ ッ
ク に な り つ つ あ る 。 リ ダ ン ダ ン シ （ 不 良 救 済 ） は 汎 用 DRAM に は 必 要 で あ る が さ ら に テ
ストの生産性を高めるためには，新しいテスト指向型アーキテクチャが必要である。生産
性 と 歩 留 り を 維 持 す る た め に は マ ル チ ビ ッ ト テ ス ト 、 BIST、 BISR（ built-in-self-repair）
が重要である。
ＡＴＥでのテストにおいて多数個同時測定が必要である。デバイスの同時測定数とは実
動 作 ス ピ ー ド で 同 時 に テ ス ト さ れ る パ ッ ケ ー ジ 化 さ れ た デ バ イ ス の 数 で あ る 。２ GHz 以 上
の領域において、デバイスの入出力仕様や、ソケット、プロービング等のデバイスインタ
ーフェイス、そしてハンドリングがボトルネックになる。要求されるタイミング精度およ
びプローブカードやテストボードなどのデバイス測定用冶具のコスト増加を考慮するとテ
スタの同時測定数は６４個／テストヘッドを超えない。
DRAM 用 の 一 次 故 障 モ デ ル は 、セ ル 縮 退 、マ ル チ セ ル 結 合 、デ コ ー ダ ・ オ ー プ ン お よ び
デ ー タ 保 持 故 障 が 今 後 も 続 く で あ ろ う 。100nm 以 下 で は 、製 品 開 発 の た め に イ ン ラ イ ン 欠
陥 検 出 は 必 要 で あ る 。イ ン ラ イ ン 欠 陥 監 視 に よ り 、不 良 ウ ェ ー ハ が 検 出 さ れ て 、ウ ェ ー ハ ・
ソートおよびパッケージ・レベル・テストでのテスト時間増大が避けられる。
図 表 ２９ａ 汎 用 DRAM テストの要 求 −短 期 −
YEAR OF PRODUCTION
2001
2002
2003
2004
2005
2006
2007
DRAM ½ P I T C H (nm)
130
115
100
90
80
70
65
MPU / ASIC ½ P I T C H (nm)
150
130
107
90
80
70
65
MPU P R I N T E D G A T E L E N G T H (nm)
90
75
65
53
45
40
35
MPU P H Y S I C A L G A T E L E N G T H (nm)
65
53
45
37
32
28
25
DRAM capacity (Gbits):
R&D
2
—
4
—
8
—
16
0.512
—
1
—
2
—
4
1.3
—
1.6
—
2
—
2.4
1
—
1.3
—
1.6
—
2
DRAM access time(ns)
2
—
1
—
0.5
—
0.3
Mass Production
DRAM bit width/device(Mass Production)
4
—
2.5
—
2
—
1
16
—
16
—
16
—
16
1.3
—
1.6
—
2
—
2.4
1
—
1.3
—
1.6
—
2
60
—
50
—
40
—
30
Mass Production
DRAM data rate(GHz):
R&D
Mass Production
Tester data rate(GHz):
R&D
Mass Production
Overall timing accuracy(ps):
R&D
Mass Production
80
—
60
—
50
—
40
Simultaneous testing (devices/test head)
32/64
—
64
—
64
—
128
Test channels (Mass Production)
1200*
2300**
—
1200*
2300**
—
2300
—
2300
* Assuming SDRAM with 32 devices/station, Driver 800, I/O 640
** Assuming RAMBUS with 32 devices/station, Driver 480, I/O 640; 2 64 devices/station, Driver 960, I/O 1280
White—Manufacturable Solutions Exist, and Are
Being Optimized
Yellow—Manufacturable Solutions are Known
Red—Manufacturable Solutions are NOT Known
図 表 29b 汎 用 DRAM テストの要 求 −長 期 −
YEAR OF PRODUCTION
2010
2013
2016
DRAM ½ P I T C H (nm)
45
32
22
MPU / ASIC ½ P I T C H (nm)
45
32
22
MPU P R I N T E D G A T E L E N G T H (nm)
25
18
13
MPU P H Y S I C A L G A T E L E N G T H (nm)
18
13
9
64
256
1024
16
64
256
3.0
3.6
4.2
2.4
3.0
3.6
0.2
0.15
0.1
0.8
0.5
0.3
DRAM bit width/device (Mass Production)
32
32
32
Tester data rate (GHz):
3.0
3.6
4.2
2.4
3.0
3.6
25
20
18
30
25
20
DRAM capacity (Gbits):
R&D
Mass Production
DRAM data rate (GHz):
R&D
Mass Production
DRAM access time (ns):
R&D
Mass Production
R&D
Mass Production
Overall timing accuracy (ps):
R&D
Mass Production
Simultaneous testing (Devices/test head)
Test channels (Mass Production)
128
256
256
3500*
3500*
3500*
Assuming RAMBUS with 64 devices/station, Driver 960, I/O 2560
White–Manufacturable Solutions
Being Optimized
Yellow—Manufacturable Solutions are Known
Exis t,
and
Are
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
汎 用 フラッシュテスト
フラッシュには多種多様なバスタイプがある。一般的なノン・マルチプレクスやアドレ
ス／データマルチプレクス、アドレス／アドレス／アドレス／データマルチプレクス、シ
リ ア ル 、シ ン ク ロ ナ ス バ ー ス ト 、お よ び 疑 似 SDRAM タ イ プ な ど で あ る 。バ ス タ イ プ は 今
後、アプリケーションの多用途化に伴いさらに多種多様化すると予想される。現在のバス
幅 は 、 8∼ 16 ビ ッ ト で あ る が ３ ２ ビ ッ ト に 移 り つ つ あ る 。
フラッシュは，通常バッテリ駆動の製品に使用される。このためにテスタは、低レベル
の電流や電力の測定が要求される。フラッシュの供給電圧低化要求は今後も続く、しかし
内部テストモード時には 3 倍∼5 倍の外部電圧を供給する必要性も継続される。供給電圧
の低電圧化は進むがその設定電圧精度は一定であることが要求されるために相対的にはテ
スタに対する供給電圧精度要求は高まる。テスタの負荷回路は、入出力電圧の低下に伴い
これまでの標準的なものから新しい方式が必要となる。
ウェーハテストは一般的にパッケージテストに比べ高精度は要求されないが不良ビット
の検出および解析機能、そしてリダンダンシ（不良救済）機能がより要求される。
フラッシュメモリとその他のメモリやロジックなどの多種デバイスを積み重ねて一つの
パッケージの中に組込むことがあたりまえとなり今後も期待されている。このようやパッ
ケージはテストを複雑にするとともにピン数を増大させる。ほとんどのフラッシュはプロ
グラミングやデータ消去のコントローラを内蔵している。今後、他のロジック回路やアナ
ログ回路の内蔵化に伴いテスタもそのテスト機能が必要となる。ロジックテストの要求は
図 表 30a,30b に 表 さ れ て い る 。
フラッシュのデータおよびクロックは高速化する。しかし，この要求は使用するアプリ
ケ ー シ ョ ン に よ り 多 様 化 す る 。 図 表 30a,30b は ハ イ エ ン ド に つ い て 表 し て い る 。
図 表 30a
汎用フラッシュメモリテストの要求−短期−
YEAR OF PRODUCTION
2001
2002
2003
2004
2005
2006
2007
DRAM ½ P I T C H (nm)
130
115
100
90
80
70
65
MPU / ASIC
150
130
107
90
80
70
65
MPU P R I N T E D G A T E L E N G T H (nm)
90
75
65
53
45
40
35
MPU P H Y S I C A L G A T E L E N G T H (nm)
65
53
45
37
32
28
25
64
128
128
256
256
512
512
512
512
1024
1024
2048
4096
4096
32
32
32
32
32
32
32
64
64
64
128
128
128
128
64
64
64
128
128
128
128
½ P I T C H (nm)
DRIVER
Device Characteristics
Density (megabits): volume
production
Density (megabits): lead density
Data width (bits)
Simultaneously tested devices (wafer
test)
Simultaneously tested devices
(package test)
Power Supplies
Power supply voltage range
Power supply accuracy
(% of programmed value)
Maximum current (MA)
Programming power supply voltage
range (V)
0.6–5.5 0.6–5.5 0.6–5.5 0.6–3.3 0.6–3.3 0.6–3.3 0.6–3.3
5
5
5
5
5
5
5
200
200
300
300
300
300
300
0.6–10. 0.6–10. 0.6–10. 0.6–10. 0.6–10. 0.6–10.
0.6–8.0
0
0
0
0
0
0
Pattern Generator
64
64
64
64
64
64
64
Vector depth (millions)
1
1
1
1
1
1
1
Scan vector depth (millions) [2]
2
4
4
4
4
4
4
48
48
48
48
48
48
48
Tester channels per test site [1]
ON-CHIP OR
MULTI-CHIP
LOGIC
APG addresses [3]
Timing
Maximum data rate (MHz)
Accuracy OTA (ns)
80
100
125
133
166
166
166
0.75
0.6
0.6
0.5
0.5
0.5
0.5
1000
950
903
857
815
774
735
3000
3150
3308
3473
3647
3829
4020
1
1
1
1
1
1
0.5
Cost
Tester cost per pin ($) [4] [5]
Reliability
MTBF (hours) [6]
MTTR (hours)
Availability (%)
99
99
99.5
99.5
99.5
99.5
99.5
Setup time (hours)
0.4
0.4
0.3
0.3
0.2
0.2
0.2
White–Manufacturable Solutions
Being Optimized
Yellow—Manufacturable Solutions are Known
Exis t,
and
Are
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
図 表 30b 汎 用 フラッシュメモリテストの要 求 −長 期 −
YEAR OF PRODUCTION
2010
2013
2016
DRAM ½ P I T C H (nm)
45
32
22
MPU / ASIC
45
32
22
MPU P R I N T E D G A T E L E N G T H (nm)
25
18
13
MPU P H Y S I C A L G A T E L E N G T H (nm)
18
13
9
½ P I T C H (nm)
DRIVER
Device Characteristics
Density (megabits): volume production
Density (megabits): lead density
2048
4096
8192
16384
65536
131072
32
32
32
Simultaneously tested devices (wafer test)
256
256
256
Simultaneously tested devices (package test)
256
256
256
0.6–3.3
0.6–3.3
0.6–3.3
5
5
5
300
300
300
0.6–8.0
0.6–8.0
0.6–8.0
Data width (bits)
Power Supplies
Power supply voltage range
Power supply accuracy (% of programmed
value)
Maximum current (MA)
Programming power supply voltage range
(V)
Pattern Generator
72
72
72
Vector depth (millions)
2
2
2
Scan vector depth (millions) [2]
8
8
8
48
48
48
Maximum data rate (MHz)
200
250
300
Accuracy OTA (ns)
0.3
0.2
0.1
630
540
463
4654
5388
6237
0.5
0.5
0.5
99.5
99.5
99.5
0.2
0.2
0.2
Tester channels per test site [1]
APG addresses [3]
ON-CHIP OR MULTI-CHIP
Timing
Cost
Tester cost per pin ($) [4] [5]
Reliability
MTBF (hours) [6]
MTTR (hours)
Availability (%)
Setup time (hours)
White—Manufacturable Solutions Exist, and Are
Being Optimized
Yellow—Manufacturable Solutions are Known
Red—Manufacturable Solutions are NOT Known
LOGIC
内 蔵 DRAM および内 蔵 フラッシュのテスト
内 蔵 DRAM の 容 量（ ビ ッ ト 数 ）は 2 年 で ２ 倍 に 増 加 す る 傾 向 が し ば ら く 続 く 。し か し 、
そ の 後 こ の 傾 向 は 減 速 し そ の 増 加 は 3 年 で ２ 倍 に な る と 思 わ れ る 。ダ ブ ル ゲ ー ト プ ロ セ ス
で 設 計 さ れ た ロ ジ ッ ク − DRAM の 混 載 デ バ イ ス に お い て は ア レ イ 雑 音 お よ び セ ン ス − ア
ン プ 不 平 衡 が 主 な 懸 念 事 項 で あ る 。100nm 以 下 の プ ロ セ ス を 用 い て 製 品 化 す る 場 合 は 、イ
ンライン欠陥検出手法の導入が不可欠でインライン欠陥監視により、不良ウェーハが検出
されて、ウェーハ・ソートおよびパッケージ・レベル・テストでのテスト時間増大が避け
られる。
内 蔵 フ ラ ッ シ ュ メ モ リ の 容 量（ ビ ッ ト 数 ）は 指 数 関 数 的 に 増 加 す る 傾 向 が し ば ら く 続 く 。
しかし、その後この傾向は減速しその増加は 3 年で２倍になると思われる。内蔵フラッシ
ュ メ モ リ は マ ル チ ビ ッ ト セ ル ア ー キ テ ク チ ャ に な る と 予 想 さ れ る 。 ま た 一 層 多 く の IC に
DRAM や フ ラ ッ シ ュ メ モ リ が 組 込 み さ れ る 傾 向 に あ る 。 こ の よ う な 状 況 に お い て ， 2003
年 以 降 ，酸 化 膜 の 信 頼 性 、セ ン ス ア ン プ 不 平 衡 、ONO 膜（ oxide-nitride-oxide）の ス ケ ー
リ ン グ が フ ラ ッ シ ュ メ モ リ に お け る 主 な 懸 念 事 項 と な る 。（ 図 表 31a、 31b）
テスト工程の生産性を向上するためには、テスト指向の新しい設計アーキテクチャが必
要 と な る 。 つ ま り 、 組 込 み 自 己 修 復 技 術 が 内 蔵 DRAM や 内 蔵 フ ラ ッ シ ュ メ モ リ を テ ス ト
するための基本技術となる。これは生産処理能力や歩留りを一定水準に確保する必要性か
らも不可欠な技術となってくる。ただしフラッシュメモリのためのテストアルゴリズムは
今 後 も read-disturb、 program- disturb、 erase-disturb を 基 本 と し て お り 、 内 蔵 DRAM
のテストアルゴリズムは今後も全テストデータの組み合わせを考慮したマーチパタンのテ
ストが基本であることに変わりがない。
メモリ容量の増加に拘わらずにテスト工程の生産性を維持するためには、多数個同時測
定 は 今 後 も 不 可 欠 と な る 。2003 年 以 降 、デ バ イ ス を ２ パ ス 方 式 で テ ス ト す る 方 が 、ロ ジ ッ
クブロックも内蔵メモリブロックもロジックテスタでテストする１パス方式よりも経済的
であると考えられている。２パス方式ではメモリ・テスタを用いて内蔵フラッシュや
DRAM の テ ス ト を 行 う と と も に リ ダ ン ダ ン シ 処 理 も 行 い ， ロ ジ ッ ク ・ ブ ロ ッ ク は ロ ジ ッ
ク・テスタでテストするものである。
内 蔵 SRAM の テ ス ト 要 求 は 、「 高 機 能 な マ イ ク ロ プ ロ セ ッ サ ー に 求 め ら れ る テ ス ト
章」の要求条件による。
図 表 31a 内 蔵 DRAM および内 蔵 フラッシュメモリテストの要 求 −短 期 −
YEAR OF PRODUCTION
DRAM ½ P I T C H (nm)
MPU / ASIC ½ P I T C H (nm)
MPU P R I N T E D G A T E L E N G T H (nm)
MPU P H Y S I C A L G A T E L E N G T H (nm)
Embedded DRAM
2001
130
150
90
65
2002
115
130
75
53
2003
100
107
65
45
2004
90
90
53
37
2005
80
80
45
32
2006
70
70
40
28
2007
65
65
35
25
Embedded DRAM size (Mbits)
R&D
Mass Production
64
32
128
64
256
128
Failure concerns
Particle defects;
data retention
Particle defects;
array noise;
data retention
Particle defects;
array noise;
sense-amp
imbalance
Wafer level test
Single insertion
Double insertion
Double insertion
50% BIST
100% BISR
100% BIST
100% BISR
100% BIST
100% BISR
512
256
Particle
defects;
array noise;
sense-amp
imbalance
Double
insertion
100% BIST
100% BISR
16
4
32
16
64
32
128
64
1
4
4
16
16
32
32
32
Failure concerns
Oxide defects;
# of erase cycles
Oxide defects;
ONO scaling
Oxide defects;
ONO scaling;
over erase
Oxide defects;
ONO scaling;
over erase
Wafer level test
Single insertion
Single insertion
Double insertion
50% BIST
100% BISR
100% BIST
100% BISR
100% BIST
100% BISR
Usage of on-chip test
Embedded Flash
Embedded Flash size (Mbits)
R&D
Mass Production
Embedded mixed memory size (Mbits)
Flash
DRAM
Usage of On-chip test
Double
insertion
100% BIST
100% BISR
Number of bits in mass production is approximately 50% of number of bits in R&D
White–Manufacturable Solutions
Being Optimized
Yellow—Manufacturable Solutions are Known
Exis t,
and
Are
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
図 表 31b 内 蔵 DRAM および内 蔵 フラッシュメモリテストの要 求 −長 期 −
YEAR OF PRODUCTION
2010
2013
2016
DRAM ½ P I T C H (nm)
45
32
22
MPU
45
32
22
MPU P R I N T E D G A T E L E N G T H (nm)
25
18
13
MPU P H Y S I C A L G A T E L E N G T H (nm)
18
13
9
1
2
4
0.512
Particle
Defects,
Array Noise,
Sense-amp
Imbalance
In-line Defect
Detection,
Double
Insertion
100% BIST
100% BISR
1
Particle
Defects,
Array Noise,
Sense-amp
Imbalance
In-line Defect
Detection,
Double
Insertion
100% BIST
100% BISR
2
Particle
Defects,
Array Noise,
Sense-amp
Imbalance
In-line Defect
Detection,
Double
Insertion
100% BIST
100% BISR
/ ASIC ½ P I T C H (nm)
Embedded DRAM
Embedded DRAM size (Gbits)
R&D
Mass Production
Failure concerns
Wafer level test
Usage of on-chip test
Embedded Flash
Embedded Flash size (Mbits)
R&D
Mass Production
256
512
1024
64
128
256
64
128
256
Embedded mixed memory size (Mbits)
Flash
DRAM
Failure concerns
Wafer level test
Usage of On-chip test
64
128
256
Oxide Defects,
ONO Scaling,
Sense-amp
Imbalance
Oxide Defects,
ONO Scaling,
Sense-amp
Imbalance
Oxide Defects,
ONO Scaling,
Sense-amp
Imbalance
In-line Defect
Detection,
Double
Insertion
100% BIST
100% BISR
In-line Defect
Detection,
Double
Insertion
100% BIST
100% BISR
In-line Defect
Detection,
Double
Insertion
100% BIST
100% BISR
Number of bits in mass production is approximately 50% of number of bits in R&D
White–Manufacturable Solutions
Being Optimized
Yellow—Manufacturable Solutions are Known
Exis t,
and
Are
Red–Manufacturable Solutions are NOT Known
信 頼 性 評 価 の技 術 的 要 求
バーンインの技 術 的 要 求
バーンインは、テストと同様（テストと組立てのロードマップ参照）に多くの電気的、
機械的な課題に直面している。またさらに、バーンインプロセスではテスト工程には見ら
れ な い 制 限 も 生 じ る 。 本 項 の バ ー ン イ ン ・ ロ ー ド マ ッ プ （ 図 表 32aお よ び 32b） で は こ れ ら
について述べる。
バーンインは、多ピン、高速、高度で複雑な新しいデバイス技術等に呼応し、機能的な
も の か ら 構 造 的 な テ ス ト へ と 移 っ て き て い る 。 次 世 代 の バ ー ン イ ン で は ス キ ャ ン と BISTの
有効性についてデバイス／システム双方における妥当性やコスト効果の考慮が必要である。
このトレンドの具体的成果として、いくつかのマーケットセグメントで、デバイスの大規
模な同時測定に伴ってバーインプロセスの利用が増えるであろうと予測される。
スキャンのトレンドとして、バーンインにはテストのために必要とされるものと同様の
テ ス ト パ タ ー ン 生 成・変 換 能 力 が 要 求 さ れ る 。DFTテ ス ト ロ ー ド マ ッ プ の 項 で 論 じ ら れ た テ
スタは将来のバーンイン環境において重要な役割を演じるだろう。
デバイスの電気的テストでバーンインを行う際にはより深いベクタメモリ、より速いク
ロック、より速い信号、より高い電圧、より正確な電源、およびアナログの負荷許容度が
求められる。同時に既存のバーンイン環境の物理的・経済的制約はデバイスに印加するベ
クタ幅、クロック、信号速度、および供給電力を制限することとして作用するであろう。
これらの制限はバーンインの方法によって異なるものとなる。デバイス電源電圧が小さく
なるにつれ、伝統的な電圧・温度加速条件は今後長期に渡って適用できず、不良要因を確
認して選別するための新しい加速方法論の研究が必要になってくる。
ウェーハレベルでは現在、いくつかの異なる解決手段がバーンインに利用可能である。
こ の 技 術 は 主 と し て KGDの 需 要 に よ り 牽 引 さ れ る が 、ま だ ウ ェ ー ハ レ ベ ル バ ー ン イ ン は パ ッ
ケージレベルバーンインに取って代わる程充分には成熟していない。ウェーハレベルバー
ンインには確実な接触、ウェーハと接続インタフェース間の熱膨張差の解決、より大きい
ウ エ ー ハ サ イ ズ (300mm以 上 )へ の 適 用 、シ ス テ ム や ウ ェ ー ハ 破 損 を 防 ぐ 不 良 チ ッ プ の 電 気 的
遮 断 、 お よ び ウ ェ ー ハ 上 で 1万 個 所 も あ る 接 点 の 信 頼 性 な ど が 求 め ら れ る 。
パッケージレベルにおいて接触技術は狭ピッチ、多ピン、高速、ストリップ＊或いはパ
ネ ル レ ベ ル ＊ の 試 験 な ど に よ っ て 促 進 さ れ る だ ろ う 。（ 訳 者 註 ： ス ト リ ッ プ レ ベ ル ＊ ／ パ ネ
ル レ ベ ル ＊ → 個 片 と な っ た 物 ／ CSPや WLCSPに 見 ら れ る 様 に チ ッ プ を 多 数 ま と め て パ ッ ケ ー
ジ し た 物 、 の 意 か ？ 識 者 の 御 教 示 を 乞 う 。）
ハ イ エ ン ド の MPUや ASICの 消 費 電 力 か ら 市 場 で は 個 々 の デ バ イ ス で 積 極 的 に 熱 抑 制 を す る
ことが求められる。
現行技術でも個々のデバイスの熱を制御することは可能であるが、更なるコスト効果追求
の必要性がある。
上記の要求は結果的にバーンインのすべてのコストに影響を与える。
これに反 して、伝 統 的 ダイナミックバーンインのコストは装 置 あたり＄0.0005∼＄0.02（/“デバイス・
時 間 ”）が期 待 でき（“装 置 コスト＋ボードコスト”÷“装 置 あたりの処 理 デバイス数 ”）、同 時 バーンイン
やウェーハレベルバーンイン装 置 のコスト範 囲 は＄0.005∼＄0.2（/“デバイス・時 間 ”）であり、熱 制
御 システムはコストを＄0.25（/“デバイス・時 間 ”）に近 づけることができる。
図 表 32a
バーンインの技術的要求・短期展望
Year of Production
2001
130
DRAM ハ ー フ ピ ッ チ (Sc. 2.0)
150
MPU ハ ー フ ピ ッ チ (Sc. 3.7)
MPU Printed Gate Length (Sc. 90
3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc. 65
3.7)
2002
115
130
75
2003
100
107
65
2004
90
90
53
2005
80
80
45
2006
70
70
40
2007 Driver
65
65
35
53
45
37
32
28
25
400
400
400
400
400
400
400
25
50
50
75
75
75
75
0.7-2.5
ハイパフォーマンスASIC
クロック入 力 周 波 数 (MHz)
オフチップデータ周 波 数 (MHz)
電 源 電 圧 範 囲 (V)
0.7-4.0 0.7-4.0
消 費 電 力 (W / DUT)
130
140
0.7-3.
3
150
0.5-2.5 0.5-2.5 0.5-2.5
150
200
200
200
最 大 I/Oピ ン 数
384
384
384
384
384
384
384
150
200
200
250
250
250
250
33
75
75
75
75
75
75
0.7-3.
5
200
0.5-3.5
ハイパフォーマンスマイクロプロセッサ
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
電 源 電 圧 範 囲 (V)
消 費 電 力 (W / DUT)
0.7-4.0 0.7-3.5
150
200
250
0.5-3.5 0.5-3.5 0.5-3.5
300
300
300
75
150
150
300
300
300
300
128
128
128
128
128
128
128
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
25
100
200
300
400
400
400
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
25
40
50
60
75
75
75
最 大 電 流 (A)
最 大 I/Oピ ン 数
ローエンドマイクロプロセッサ
電 源 電 圧 範 囲 (V)
0.7-12. 0.7-12. 0.7-12 0.7-10.0
0
0
.0
3
5
5
10
消 費 電 力 (W / DUT)
最 大 I/Oピ ン 数
0.7-10. 0.7-10. 0.7-10.
0
0
0
10
10
10
32
32
32
32
32
32
32
150
200
200
250
250
250
250
33
75
75
75
75
75
75
ミクスドシグナル
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
電 源 電 圧 範 囲 (V)
0.7-65. 0.7-65. 0.7-10
0
0
0
50
50
75
消 費 電 力 (W / DUT)
最 大 電 流 (A)
20
最 大 I/Oピ ン 数
128
ア ナ ロ グ 信 号 電 圧 範 囲 (Vp-p)
+/-10V
20
20
128
128
+/-10V +/-10V
0.7-100
0.5-500 0.5-500 0.5-500
75
150
150
150
20
20
20
20
128
128
128
128
+/-10V
+/-10V
+/-10V
+/-10V
400
400
400
400
50
50
50
汎用メモリ
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
400
400
30
30
400
30
50
0.6-4.0
0.6-4.0 0.6-4.0 0.6-4.0
0.6-10
0.6-6.
0
0.6-10
0.6-10
0.6-10
0.6-10
5
10
15
20
20
20
18
36
36
72
72
72
72
電 源 電 圧 範 囲 (V)
0.6-6.0 0.6-6.0
プ ロ グ ラ ム 電 源 電 圧 範 囲 (V)
0.6-10
2
消 費 電 力 (W / DUT)
最 大 I/Oピ ン 数
0.6-8
DFT / BIST
ス キ ャ ン ピ ン 数 (/ DUT)
128
128
128
128
128
128
128
ス キ ャ ン ベ ク タ メ モ リ 深 度 （ Mベ ク タ ）
64
128
256
256
256
256
256
ス キ ャ ン ベ ク タ 周 波 数 (MHz)
33
75
75
75
75
75
75
白：解が存在
黄；解を追求中
赤；解が無い
図 表 32b
バーンインの技 術 的 要 求 ・長 期 展 望
Year of Production
DRAM ハ ー フ ピ ッ チ (Sc. 2.0)
MPU ハ ー フ ピ ッ チ (Sc. 3.7)
MPU Printed Gate Length (Sc. 3.7)
MPU Physical Gate Length (Sc. 3.7)
2010
45
45
25
18
2013
32
32
18
13
2016
22
22
13
9
400
400
400
75
75
75
ハ イ パ フ ォ ー マ ン ス ASIC
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
0.5-2.5
0.5-2.5
0.4-2.5
消 費 電 力 (W / DUT)
200
225
250
最 大 I/Oピ ン 数
384
384
384
250
250
250
75
75
75
0.5-3.0
0.5-2.5
0.5-2.5
消 費 電 力 (W / DUT)
300
300
300
最 大 電 流 (A)
300
300
300
電 源 電 圧 範 囲 (V)
ハイパフォーマンスマイクロプロセッサ
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
電 源 電 圧 範 囲 (V)
Driver
最 大 I/Oピ ン 数
128
128
128
400
400
400
ローエンドマイクロプロセッサ
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
75
75
75
0.5-10
0.5-10
0.5-10
消 費 電 力 (W / DUT)
20
20
20
最 大 I/Oピ ン 数
32
32
32
250
250
250
75
75
75
0.5-500
0.5-1000
0.5-1000
150
150
150
30
30
30
128
128
128
+/-10V
+/-10V
+/-10V
400
400
400
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
電 源 電 圧 範 囲 (V)
ミクスドシグナル
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
電 源 電 圧 範 囲 (V)
消 費 電 力 (W / DUT)
最 大 電 流 (A)
最 大 I/Oピ ン 数
ア ナ ロ グ 信 号 電 圧 範 囲 (Vp-p)
汎用メモリ
ク ロ ッ ク 入 力 周 波 数 (MHz)
オ フ チ ッ プ デ ー タ 周 波 数 (MHz)
電 源 電 圧 範 囲 (V)
50
50
50
0.5-4.0
0.5-4.0
0.5-4.0
0.5-8.0
0.5-8.0
消 費 電 力 (W / DUT)
20
20
20
最 大 I/Oピ ン 数
72
72
72
プ ロ グ ラ ム 電 源 電 圧 範 囲 (V)
0.5-8.0
DFT / BIST
ス キ ャ ン ピ ン 数 (/ DUT)
128
128
128
ス キ ャ ン ベ ク タ メ モ リ 深 度 （ Mベ ク タ ）
256
256
256
75
75
75
ス キ ャ ン ベ ク タ 周 波 数 (MHz)
白：解が存在
黄；解を追求中
赤；解が無い
デバイスのハンドリング技 術 的 要 求 （ウェーハプローバ／ハンドラ）
ウェーハプローブとコンポーネントテストのハンドリング装置は、それぞれのマーケッ
ト セ グ メ ン ト の 中 で 、重 要 な 技 術 的 挑 戦 に 直 面 し て い る 。両 装 置 に 関 す る 共 通 の 問 題 に は 、
熱の管理、より多い並列性、および増加する主要な設備コストが含まれる。
2001 年 版 は 、こ の セ ク シ ョ ン が 、次 の 数 年 に わ た っ て ハ ン ド リ ン グ 装 置 が 直 面 す る 重 要 な
挑戦を取り入れるように意図されている。ロードマップの将来のバージョンでは、このセ
クションが、トレンドおよび困難なチャレンジを示している産業分野に対しもっと詳細な
方向を示すよう増強されるであろう。
ウェーハプローブ特有な技術トレンドには、工程のプロセス技術や増加するプローブポ
イ ン ト 数 、減 少 す る プ ロ ー ブ ピ ッ チ /直 径 、プ ロ ー ブ 針 の 先 端 形 状 の 発 展 が 含 ま れ る 。こ れ
ら の ト レ ン ド は DUT の 熱 の 管 理 や 、 ロ ー ド さ れ る ウ ェ ー ハ 配 置 精 度 、 チ ャ ッ ク の 電 気 的
絶縁、プローブパッド配置の複雑化といった挑戦に形を変えていくであろう。
コンポーネントテストのハンドリング装置には、増加する消費電量要求や、ピン数の増
加 、 ピ ン ピ ッ チ の 縮 小 、 パ ッ ケ ー ジ の 薄 さ /硬 さ の 低 減 な ど の ユ ニ ー ク な 挑 戦 が 含 ま れ る 。
これらのトレンドはテスト中の動的温度制御や、より高いソケットの技術力、配置精度の
改 善 、複 雑 な 固 有 の ツ ー ル と い っ た 要 求 に 形 を 変 え て い く で あ ろ う 。さ ら に 、ESD と EMI
へ の デ バ イ ス 感 度 は 、増 強 さ れ た 閉 ル ー プ ESD 手 法 や 、新 種 の 型 押 し 用 品 お よ び DUT 遮
蔽技術を要求する。
結局、構造や機能テスト設備コストを継続的に低減させる一方で、これらの問題はウェ
ーハプローブとコンポーネントテストハンドラの価格を増加させている。次の数年にわた
って、デバイスのハンドリング装置の技術は、増加するコスト低減圧力の中で、増加する
工程の製品必要条件を満たすために要求される。
デバイスインターフェースの技 術 的 要 求
デバイス入 出 力 ピンのアナログ／デジタルバンド幅 拡 大 と電 力 の増 加 傾 向 から、高 性 能 な信 号 伝
送 と電 源 供 給 の双 方 を満 たすことが必 要 技 術 条 件 になる。これらの条 件 はテスト治 具 を DUT に接 続
する組 み立 て部 品 への課 題 を左 右 する。最 も高 性 能 なインタフェースでは基 となる測 定 器 から DUT
に至 る電 源 ・信 号 の経 路 の完 全 なモデリング技 術 が要 求 され、テスト治 具 、接 続 経 路 、プローブまた
はソケット、そして DUT に至 る迄 の正 確 なシミュレーションモデルを必 要 とする。今 後 チップのシュリン
クとパッケージ構 造 の変 化 はさらなる狭 ピッチと多 数 ピン化 への要 求 をもたらし、機 械 的 インターフェ
ースをさらに複 雑 にする。
参 考 のため、社 団 法 人 電 子 情 報 技 術 産 業 協 会 （JEITA）から発 行 さ れた半 導 体 技 術 ロード マッ
プ委 員 会 （STRJ）の「2001 年 度 プロービング ロードマップ」を補 足 資 料 として添 付 するので参 照 さ
れたい。
プローブカード
ウェーハプローブ技 術 は製 品 仕 様 , テストの実 行 条 件 , 生 産 性 目 標 , コスト削 減 要 求 等 に左 右 さ
れる複 雑 な電 気 的 ／機 械 的 な課 題 に直 面 している。デバイスの製 品 分 布 から、これらの課 題 には高
周 波 応 答 （帯 域 幅 ）、ますます多 ピン化 する狭 ピッチで小 さいパッド或 いはバンプパッド、増 大 するス
イッチング電 流 (di/dt)、異 なる材 質 のパッドやバンプへの対 応 、同 時 測 定 への対 応 等 が含 まれてい
る。プロービング技 術 の研 究 や開 発 は新 規 技 術 ・改 良 技 術 を問 わず、基 本 的 なプロービングの条 件 、
即 ち確 実 な信 頼 性 、堅 実 で経 済 的 な DUT との電 気 的 接 続 等 の課 題 を満 たしている必 要 がある。
プローブカード技 術 のトレンドの影 響
下 表 に示 す鍵 となる重 要 課 題 にみられる様 に、市 場 から緊 急 に要 求 されている研 究 ・開 発 課 題 は
製 品 信 頼 性 や機 能 試 験 の環 境 における経 済 的 なプローブ技 術 である。
バンプ付 きデバイスの生 産 高 予 測 （マーケットシェア）、エリアアレイの I/O ピン数 動 向 から見 て、垂
直 型 のプローブカード技 術 への需 要 が増 え、同 時 測 定 試 験 も同 様 に必 要 性 が高 まるだろう。
デ バ イ ス 量 産 時 の 試 験 は ま す ま す 同 時 測 定 試 験 に 移 行 し つ つ ある 。 い く つ か の 生 産 者 （ メ モ リ 関
係 ）ではウェーハ検 査 技 術 として 32 個 、64 個 そして 128 個 までの同 時 測 定 が実 施 されている。
デバイスの更 なるコスト低 減 要 求 からプローブ技 術 は同 時 測 定 が推 進 され、ウェーハ全 面 コンタクト
やφ300ｍｍ以 上 のウェーハまでもがその目 標 とされる。また幾 つかの多 ピン製 品 （ASICS 関 係 ）で緊
急 に同 時 測 定 の必 要 性 が出 ている。
ウェーハ検 査 におけるテスタから DUT へ至 る経 路 のさまざまな要 素 を含 む総 合 的 な電 気 的 モデリ
ングはプローブカード供 給 者 に求 められる技 術 となるだろう。これらのモデルは ATE から DUT 接 続 回
路 網 そして DUT までも含 めた複 雑 なシミュレーションに必 要 となるだろう。
新 たな或 いは進 化 したプローブ技 術 が 市 場 に導 入 され つつある。１社 購 買 の 問 題 点 、納 期 、プロ
ーブの寿 命 、製 品 サポ ート、修 理 対 応 性 、これらはプローブカードを量 産 現 場 で使 用 する ために選
定 する上 でとても重 要 な要 素 となる。
図 表 33
チャレンジ
高周波試験
配置構造
同時測定試験
温度環境
製品
クリーニング
価 格 と納 期
プローブカードの困 難 なチャレンジ ・短 期 展 望
問題点 / 目標
既 存 のプローブ技 術 では高 周 波 デバイスに対 して十 分 な周 波 数 バンド幅 を満 たせな
い。トップエンドの要 求 仕 様 は 40GHz である。
44μm ピッチ 4 辺 、30／60μm の千 鳥 4 辺 配 置 をサポートする技 術 。
100μm ピッチおよび千 鳥 配 置 の半 田 バンプデバイスをサポートする狭 ピッチ垂 直 プロー
ブ技 術 。
パッド寸 法 の小 型 化 に伴 うスクラブに依 る損 傷 の軽 減 。
150μm 高 密 度 アレイのφ75μm バンプに対 する従 来 と異 なるプローブ技 術 。（バンプ付
きデバイスを対 象 とした垂 直 プローブ）
アレイ面 積 の増 大 に伴 うプローブの平 面 度 向 上 。
SOC をも同 時 測 定 可 能 とするプローブ技 術 。
現 状 I/O ピン数 に限 界 があるバンプ付 きデバイスへのプローブ技 術 。
特 に狭 ピッチのデバイスにおける−40∼+150℃での温 度 による影 響 の抑 制 。
数 種 の酸 化 を含 む銅 パッドを直 接 プローブする技 術 。
能 動 回 路 を介 したプローブ技 術 。（フリップチップを含 む）
DUT へのダメージを避 けるために接 触 圧 力 を減 らす。
クリーニング媒 体 ／方 法 の改 善 。特 に狭 ピッチ、同 時 測 定 、新 技 術 のプローブ用 。
電 気 特 性 を維 持 し寿 命 を延 ばすため、クリーニング頻 度 を減 らす。
狭 ピッチ、多 ピンカードは余 りに値 段 が高 く、製 作 日 数 が掛 かる。
プローブの計 測 技
術
狭 ピッチ、多 ピンカードの修 理 はとても時 間 とコストが掛 かる。
デバイスデザイン終 了 からウエハー 到 着 までの時 間 は既 存 のカンチ レバー技 術 を除 きカ
ードのデザインから製 作 までより短 い。
配 線 ピ ッ チ 変 換 機 構 部 の 初 期 工 期 は あ ま り に 長 す ぎ る 。 幾 つ か の 垂 直 プ ロ ーブ も 同 様
である。
狭 ピッチカードの特 性 とパッドダメージ計 測 が可 能 な装 置 。
修 理 のための計 測 がオンラインで行 えるもの。
解決策候補
図 20 は 試 験 お よ び 試 験 装 置 に 対 す る 高 レ ベ ル の 解 決 策 候 補 を 示 す 。
図 20
試験および試験装置に対する高レベルの解決策候補
First
IC
生Year
産 のof初IC年Production
度
2 000011
2001
2 000033
2003
2 000022
2002
2 000055
2005
2 000044
2004
2 000077
2007
2 000066
2006
2 000099
2009
2 000088
2008
2 00111
1
2 0 11
2 001100
2010
2 001133
2013
2 001122
2012
2 001155
2015
2 001144
2014
2 001177
2017
2 001166
2016
BIST/DFT METHODOLOGY
方法論
現
状 の BIST/DFT/IDDQ
Current
BIST/DFT/IDDQ
New
IDDQ
新
IDDQ
手 法Methods
新
ロジ
ッ ク BIST/DFT
法
New
Logic
BIST/DFT手Methods
ア
ナ ロ グBIST/DFT
BIST/DFT Methods
手法
Analog
設
計 自 体Ow
が所
する試験
Design
ns有Test
試
験コス
ト TEST
COST
OF
100% DFT/BIST
DFT/BIST設Design
100%
計
標
準 試 験 言Test
語 とLanguage
ラ イ ブ ラ リand
ー
Standard
Library
試
験 設 -to-Test
計 供 給 者Suppliers
ツ ー ル 開 発Tool
リンク
Design
Development Link
試
験の
再利用
Test
Reuse
高
効率イ
ン タ ー フ ェ イ ス INTERFACE
HIGH
PERFORMANCE
> GHz
>
GHz Interface
インターフェイス
±1ºC
度コントロー
ル
±1ºC DUT
DUT 温
Temperature
Control
信
頼性審査
RELIABILITY
SCREEN
新
たな
信頼性加速
メカニズム
New
Reliability
Acceleration
Mechanisms
必要な調査
開発中
評価／事前生産
Research Required
Development Underw ay
Q u a l i f i c a t i o n / P-Pr er o d u c t i o n
こ の 図 表 は 、 解 決 に あ た り 調 査 ， 開 発 ， お よ び 評 価 /事 前 生 産 が 行 わ れ る べ き 期 間 を し め す
T h i s l e g e n d i n d i c a t e s t h e t i m e d u r i n g w h i c h r e s e a r c h , dt e, vaenl d
o pqmu ea nl i f i c a t i o n-p
-/ prroed u c t i o n s h o u l d b e t a k i n g p l a c e f o r t h e s o l u t i o n .

ヒースロー空港、ガトウィック空港そしてスタンステッド空港における夜間

ヨーロッパサービス会社設立に関するお知らせ

ケーブルテレビでFM放送を聴く方法

ループアンテナのアンテナファクタを用いた電界強度測定

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1．超音波技術の進歩と臨床的有用性 超音波技術の誕生から産科領域

RA53A 広帯域増幅器

品質マネジメントの取り組み リーダーのための 8 原則

VECU-G

分散処理によるFM一括変換方式の特性