PEファルコン

PFS906e
PEファルコン
フォトレジスト、有機溶剤のろ過
“PEファルコン”は、高いゲル除去効率と抽出物量の極めて少ない
高密度ポリエチレンろ材を使用した、コーターデベロッパー内で
使われる、フォトレジスト、各種溶剤のろ過用として開発したフィ
ルターです。フォトレジストなどの高価な流体のろ過を行うため
に、ハウジング内の残液量が極めて少なくなる形状を採用しまし
た。さらに塗布安定性を長く維持できるように、当社独自のウル
チプリーツ構造を採用し、優れた流量特性を実現しました。これ
らの特長から、特にDeep-UVリソグラフィプロセスに採用される
化学増幅型レジストのろ過に最適なフィルターです。
特長
●高密度ポリエチレンろ材の採用
●ハウジング内の残液量を少なくする構造
●ウルチプリーツ構造による広いろ過表面積と
優れた流量特性
●他社ハウジングに装着可能な形状
利点
●高いゲル除去効率と溶剤での抽出物量の低減
●フィルター交換時の廃棄レジスト量削減による
ランニングコストの低減
●優れたポンプ応答性により、吐出量を低く設定でき、
レジスト使用量の削減が可能
●長いろ過寿命が期待でき、ランニングコストを低減
●現行のハウジングを交換する必要がないため、
イニシャルコストを低減
■材質
構成部品
材質
フィルターメディア
高密度ポリエチレン（HDPE）
メディアサポート
高密度ポリエチレン（HDPE）
コア、ケージ
高密度ポリエチレン（HDPE）
エンドキャップ
高密度ポリエチレン（HDPE）
O‐リング
パーフロロゴム＊1、EPDM、カルレッツ＊2
＊1 ニチアス社の商標
＊2 デュポン社の商標
■仕様
定格ろ過精度（μm）
30nm、0.05、1.0
カートリッジ形状
MCD9116
MCD9140／9240
ろ過表面積（cm ）
1,900
4,500
2
最高使用温度
耐差圧（50℃）
50℃
0.34 MPa
（注）ファルコンはポール社の登録商標です。
（商標登録第4242102号）
PEファルコン
1
製品型式：MCD
2
UG
1
E3
2
コード
3
長さL
（mm）
O‐リング規格
コード
定格ろ過精度
（μm）
コード
O‐リング材質
9116
52.1
AS568A-015
003
30nm
H23
パーフロロゴム
9140
112.3
AS568A-015
005
0.05
H11
カルレッツ
9240
121.3
AS568A-118
100
1.0
J
EPDM
■外形図
MCD9240
MCD9140
L
L
MCD9116
66
66
（mm）
■流量―圧力損失特性
（水、20℃）
MCD9140／9240
0.025
0.04
0.020
初期圧力損失（MPa）
初期圧力損失（MPa）
MCD9116
0.05
UG003
0.03
UG005
0.02
0.01
0.015
UG003
0.010
UG005
0.005
UG100
0
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
UG100
0
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
流量（L/min）
流量（L/min）
〒163-1325 東京都新宿区西新宿 6-5-1
マイクロエレクトロニクス事業部
プロセステクノロジーズ事業部
TEL.03（6901）5700
TEL.03（6901）5780
大阪営業所〒532-0003 大阪市淀川区宮原 3-5-36
熊本営業所〒862-0956 熊本市中央区水前寺公園 14-22
TEL.06 ( 6397 ) 3719
TEL.096 ( 382 ) 8420
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10/2014改訂V

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