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PEファルコン

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PFS906e
PEファルコン
フォトレジスト、有機溶剤のろ過
“PEファルコン”は、高いゲル除去効率と抽出物量の極めて少ない
高密度ポリエチレンろ材を使用した、コーターデベロッパー内で
使われる、フォトレジスト、各種溶剤のろ過用として開発したフィ
ルターです。フォトレジストなどの高価な流体のろ過を行うため
に、ハウジング内の残液量が極めて少なくなる形状を採用しまし
た。さらに塗布安定性を長く維持できるように、当社独自のウル
チプリーツ構造を採用し、優れた流量特性を実現しました。これ
らの特長から、特にDeep-UVリソグラフィプロセスに採用される
化学増幅型レジストのろ過に最適なフィルターです。
特長
●高密度ポリエチレンろ材の採用
●ハウジング内の残液量を少なくする構造
●ウルチプリーツ構造による広いろ過表面積と
優れた流量特性
●他社ハウジングに装着可能な形状
利点
●高いゲル除去効率と溶剤での抽出物量の低減
●フィルター交換時の廃棄レジスト量削減による
ランニングコストの低減
●優れたポンプ応答性により、吐出量を低く設定でき、
レジスト使用量の削減が可能
●長いろ過寿命が期待でき、ランニングコストを低減
●現行のハウジングを交換する必要がないため、
イニシャルコストを低減
■材質
構成部品
材 質
フィルターメディア
高密度ポリエチレン(HDPE)
メディアサポート
高密度ポリエチレン(HDPE)
コア、ケージ
高密度ポリエチレン(HDPE)
エンドキャップ
高密度ポリエチレン(HDPE)
O‐リング
パーフロロゴム*1、EPDM、カルレッツ*2
*1 ニチアス社の商標
*2 デュポン社の商標
■仕様
定格ろ過精度(μm)
30nm、0.05、1.0
カートリッジ形状
MCD9116
MCD9140/9240
ろ過表面積(cm )
1,900
4,500
2
最高使用温度
耐差圧(50℃)
50℃
0.34 MPa
(注)ファルコンはポール社の登録商標です。
(商標登録第4242102号)
PEファルコン
1
製品型式:MCD
2
UG
1
E3
2
コード
3
長さL
(mm)
O‐リング規格
コード
定格ろ過精度
(μm)
コード
O‐リング材質
9116
52.1
AS568A-015
003
30nm
H23
パーフロロゴム
9140
112.3
AS568A-015
005
0.05
H11
カルレッツ
9240
121.3
AS568A-118
100
1.0
J
EPDM
■外形図
MCD9240
MCD9140
L
L
MCD9116
66
66
(mm)
■流量―圧力損失特性
(水、20℃)
MCD9140/9240
0.025
0.04
0.020
初期圧力損失(MPa)
初期圧力損失(MPa)
MCD9116
0.05
UG003
0.03
UG005
0.02
0.01
0.015
UG003
0.010
UG005
0.005
UG100
0
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
UG100
0
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
流 量(L/min)
流 量(L/min)
〒163-1325 東京都新宿区西新宿 6-5-1
マイクロエレクトロニクス事業部
プロセステクノロジーズ事業部
TEL.03(6901)5700
TEL.03(6901)5780
大 阪 営 業 所 〒532-0003 大阪市淀川区宮原 3-5-36
熊 本 営 業 所 〒862-0956 熊本市中央区水前寺公園 14-22
TEL.06 ( 6397 ) 3719
TEL.096 ( 382 ) 8420
本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。
本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。
10/2014改訂V
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