PFS057JPo エレクトロニクス用エンフロンフォトレジスト、有機溶剤およびプロセスガスのろ過 “エンフロン”は、PTFEメンブレン（0.05、0.1、0.2、0.45、1.0 μmのろ過精度）とポリプロピレン製部品で構成されています。これらの材質により、幅広い耐薬品性があり、フォトレジストを始めとするリソグラフィープロセスで使用される有機溶剤、さらには洗浄プロセスで使用されるIPAをはじめとする洗浄液の精密ろ過に適しています。また、流量特性が優れているために、コンパクトサイズで、窒素ガス、乾燥エアのろ過が可能です（FRグレード）。＊1＊2 特長 ●低い圧力損失 ●全品フラッシング済 ●0.05μmから1.0μmまでの5種類のろ過精度 ●ガスでのろ過精度は3nm（0.003μm）（FRグレード）利点 ●コンパクトサイズで優れた除去効果 ●端切り量の低減が可能 ●より高純度なろ過が可能 ●プレフィルターからファイナルフィルターまでのシステム設計が容易 ■流体適合性 ■材質構成部品 “エンフロン”は、幅広い耐薬品性を有していますが、 90℃以上の流体のろ過や高濃度硫酸／過水のろ過には、オールフッ素樹脂製“エンフロンPF”をお奨めします。また、流体適合性はそれぞれの使用条件により異なるため、事前に使用条件をご確認ください。材質フィルターメディア PTFE メディアサポートポリプロピレンサポートコアポリプロピレンアウターケージポリプロピレンエンドキャップポリプロピレン ■仕様カートリッジ種類＊3 ろ過表面積（m2）最高使用温度ろ過精度 50℃ 51℃∼90℃ グレード 0.05μm 0.1μm 0.2μm 0.45μm 1.0μm FDE FTE FRE FXE FNE 耐差圧（MPa） AB1 MCY1001 MCY4463 MDY2230 0.88 0.86 0.31 0.15 90℃ 0.55 0.34 0.55 0.34 0.55 0.34 0.55 0.34 ○ ○ ○ ○ ○ ― ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ＊1 フィルター選定時に必ず流体適合をご確認ください。＊2 長期使用により部品は劣化します。定期的な交換をおすすめします。＊3 オールディスポーザブルタイプのDFAフィルターに関しては、カタログNo.PFLT006をご参照ください。（注）エンフロンはポール社の登録商標です。（商標登録第2612160号）エンフロンＯ‐リングタイプ製品型式：AB 1 1 2 3 E 4 2 3 4 コードろ過精度（μm）コードＯ‐リング規格コードＯ‐リング材質 FD 0.05 7 AS568A-226 H4 シリコン 10 FT 0.1 8 AS568A-222 HF 耐酸用フッ素ゴム 20 FR 0.2 3 AS568A-222 J EPDM 30 FX 0.45 FN 1.0 コードカートリッジ長さ（インチ） 1 2 3 H11 カルレッツ＊4 ＊4 デュポン社の商標内部Ｏ‐リングタイプガスケットタイプ製品型式：MCY4463 5 E 6 製品型式：MCY1001 7 E 8 製品型式：MDY2230 5 E 6 5 6 7 8 ろ過精度（μm）コードＯ‐リング材質コードろ過精度（μm）コードガスケット材質 FD 0.05 H4 シリコン FR 0.2 H13 NBR FT 0.1 HF 耐酸用フッ素ゴム FX 0.45 H フッ素ゴム 0.2 J EPDM FN 1.0 J EPDM コード FR FN H11 1.0 カルレッツ＊4 ■流量−圧力損失特性水（20℃） 0.02 FR 0.01 FX FN 0 10 20 0.02 0.01 FN 0 30 FR 5 0.03 FR 0.02 0.01 0 10 FD 0.03 MC Y4 46 3F D FT FT 初期圧力損失（MPa） 0.03 MDY2230 AB 1F D、 FT MCY4463 初期圧力損失（MPa）初期圧力損失（MPa） AB1、MCY1001 FN 1 2 3 4 5 流量（L/min）流量（L/min） MCY4463 MDY2230 流量（L/min） 6 FT（ 0.005 0 0 .7 M ） PaG） .21M FR（0 aG） P FR（0.7M 1 2 3 0.005 FR（0.7 0 3 0.5 1.0 M PaG 1.5 ）） 0. 21 M Pa G ） 0.01 0.01 FT （ PaG 0. 21 M Pa G FT（） aG MP 0.7 G） FT（ Pa 1M 0.2 FR（ FT （ 0.01 G） Pa 1M 2 . 0 初期圧力損失（MPa）初期圧力損失（MPa） AB1、MCY1001 初期圧力損失（MPa）乾燥エア（21℃） 0.005 0 .7 0 FR（ MP .2 1 aG MP ） aG ） aG） .7MP FR（0 0 3 流量（Nm /min） FT（流量（Nm /min） 500 1000 流量（NL/min）〒163-1325 東京都新宿区西新宿 6-5-1 マイクロエレクトロニクス事業部エナジー事業部 TEL.03（6901）5700 TEL.03（6901）5780 大阪営業所熊本営業所〒532-0003 大阪市淀川区宮原3-5-36 〒862-0956 熊本市中央区水前寺公園 14-22 TEL.06 ( 6397 ) 3719 TEL.096 ( 382 ) 8420 本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。 2015/03改訂10V