高精細デジタルカメラ 微小線幅測定システム MTシリーズ 様々な半導体シーンに対応した 高精度デジタルカメラ方式の測定器登場! 高精度微小線幅測定 高速顕微鏡 AF+線幅画像用 AF の画像取り込みとボ トム、インサイド等の設定やプロファイル表示等 の線幅に特化した機能で高精度自動測定が出来ま す。 高精細カラーデジタルと画像ファイリング 高精細デジタルカメラで微小寸法測定! 半導体検査顕微鏡の全ての顕鏡方法においても、 オールラウンドなデジタル微小寸法測定装置です。 カラー画像観察は重要な要素です。200 500 万画素 微小線幅測定器 200 万画素デジタルモノクロカメラバージョン デジタルカメラで蛍光、レジストや DIC の段差像 を鮮明なカラー画像でファイリングできます。 MT-3000 デジタルカメラ+デジタルカメラ用 AF ユニットの組合せ 線幅測定、データ集計、画像ファイリングなどが出来ます。 微小線幅測定器 500 万画素デジタルモノクロカメラバージョン MT-5000 フローベル 1100 万画素カメラと組み合わせ可能 デジタルカメラ+デジタルカメラ用 AF ユニットの組合せ フローベル製 1100 万画素カメラ ADK-1100(カラ 線幅測定、データ集計、画像ファイリングなどが出来ます。 ー・モノクロ)との組み合わせで超高解像度測定可 微小線幅測定器 1100 万画素デジタルモノクロカメラバージョン 能。(ADK-1100 とオートフォーカスの組み合わせは 出来ません) MT-9000 35mm フィルムサイズ 1100 万画素 CCD 実行画素数 4008(H)x2672(V)で超高解像度測定が可能! ※用途に合わせて各カメラのカラー版もご用意できます。 微小線幅測定装置MTシリーズ MT-3000,MT-5000,MT9000 主な仕様 デジタルカメラ 撮像素子 有効画素数 MT-3000 MT-5000 MT-9000 1/1.8 型デジタルカメラ 2/3 型デジタルカメラ 35mm フィルムサイズ CCD 1636(H)×1236(V) 約 210 万画素 2588(H)×1960(V) 約 520 万画素 4008(H)x2672(V) 約 1100 万画素 CameraLink / LVDS 映像出力 デジタル画像測定器 線幅測定 測定再現性 3σ=0.02μm(対物 100 倍、基準スケールを AF 動作にて繰り返し測定 0.001μm 最小表示 線幅エッジ検出 内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能 レンズ倍率にあわせて 10 種類登録が可能 校正値 測定データを CSV 方式として保存可能 データ出力 コンピュータ部と OS PC/AT 互換機 RS232C 外部インターフェイス オートフォーカスユニット WindowsXP USB2.0 IEEE1394(オプション) デジタルカメラの映像信号の画像処理 合焦精度 AF 検出位置 Z 軸制御 対物レンズの焦点深度の約 1/3 映像視野内の任意の位置と領域の設定で AF 可能 専用 5 相ステッピングモーターカプラ使用 Z 軸分解能 0.05μm (オートフォーカスユニットはオプションです) 測定例 (MT-3000 の場合) 対物レンズ 画面視野(um) 画素分解能(um) モニタ倍率 線幅精度(um) ※繰返し精度は、弊社オ ートフォーカス(AF/σ 100 倍 48×60 0.04 5400 倍 0.01 50 倍 96×130 0.08 2700 倍 0.02 20 倍 240×320 0.20 1100 倍 0.05 10 倍 480×640 0.40 550 倍 0.10 0回測定した3σの値で 5倍 960×1280 0.80 225 倍 0.20 す。(サンプルの条件によ ※210 万画素カメラ ADP-210B にて測定 ‐D)を使用し、サンプ ルの入れ替えはなしで、 照明等同じ測定条件で1 り上記と異なることがあ ります) システムブロック図 ※ ご使用の顕微鏡によ っては、RS-232C で制御 が可能です。 ■販売代理店 ■開発元 ( 2006.7 )
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