精密洗浄剤セミクリーンシリーズ：FINE ETCH ファインエッチ Ｃｒエッチング液 横浜油脂工業株式会社 セミクリーングループ 精密洗浄剤セミクリーンシリーズ：FINE ETCH ファインエッチ技術資料 特 徴 ・ カラーフィルターの Cr ブラックマトリックス、石英・ガラスマスクの Cr 膜のエッ チング専用に開発したエッチング液です。 ・ 優れた浸透力、エッチング力があり、短時間でのパターニングが可能です。 ・ 発泡性がなく、泡の絡みによるエッチング抜けが起こりません。 用 途 ・ Cr 膜のエッチング 使 用 法 ・ 使用濃度 ： 原液 ・ 使用温度 ： 20～30℃ ・ 使用条件 ： 浸漬 洗浄後、清浄度によって２～5 槽のリンスが必要です。 成 分 ・ 硝酸塩 ・ 過塩素酸 ・ 水 性 状 ・ 外観 ： 橙色透明液体 ・ pH ： 2 以下（25℃、原液） ・ 比重 ： 1.17（25℃、原液） ・ PRTR 法 ： 非該当 ・ 消防法 ： 非危険物 精密洗浄剤セミクリーンシリーズ：FINE ETCH 性能比較試験 Cr 基板のジャストエッチ時間を比較する。 ■ 試験方法 ・ テストピース ： Cr 膜付ガラス基板（40mm×50mm×1.1t） ・ 洗浄液 ファインエッチ ： 他社製エッチング液（比較対照） ・ 浸漬方法 ： 液温 25℃、静置浸漬 ・ 評価方法 ： エッチング完了時間を測定する。 ■ 試験結果 使用液 エッチング時間（秒） ファインエッチ 62 比較品 75 80 時間(秒) 75 70 65 60 55 50 ファインエッチ 比較品 精密洗浄剤セミクリーンシリーズ：FINE ETCH ライフ比較試験 Cr 基板を複数処理した時のエッチング時間の比較を行う。 ■ 試験方法 ・ テストピース ： Cr 膜付ガラス基板（40mm×50mm×1.1t） ・ 洗浄液 ファインエッチ 40mL ： 他社製エッチング液 40mL（比較対照） ・ 浸漬方法 ： 液温 20℃、静置浸漬 ・ 評価方法 ： エッチング枚数及び処理時間を測定する。 ■ 試験結果 1 枚目 5 枚目 10 枚目 15 枚目 20 枚目 25 枚目 30 枚目 35 枚目 40 枚目 45 枚目 50 枚目 エッチング時間（秒） ファインエッチ 比較品 65 74 67 80 72 87 77 93 84 106 93 111 103 125 114 150 132 181 151 218 185 295 300 エッチング時間(秒) ファインエッチ 250 比較品 200 y = 3.8172x + 42.443 150 100 y = 2.2224x + 48.15 50 0 5 10 15 20 25 30 処理枚数 35 40 45 50 精密洗浄剤セミクリーンシリーズ：FINE ETCH オーバーエッチ試験 パターニングされ、レジスト未剥離の Cr 基板に対し、さらに浸漬することでオーバ ーエッチの進行度を測定する。 ■ 試験方法 ・ テストピース： パターン済み、レジスト未剥離 Cr マスク（40mm×50mm×1.1t） ・ 洗浄液 ： ファインエッチ 他社製エッチング液（比較対照） ・ 浸漬方法 ： 液温 25℃、静置浸漬 ・ 評価方法 ： 浸漬時間毎に Cr、レジストパターン幅を測定する。 ■ 試験結果 ・ エッチング前のレジストのパターン幅 エッチング前 パターン幅（μm） n=1 n=2 19 18 ・ エッチング後の Cr のパターン幅 30 秒後 60 秒後 90 秒後 120 秒後 パターン幅（μm） n=1 n=2 21 21 20 19 19 18 19 18 精密洗浄剤セミクリーンシリーズ：FINE ETCH 液管理方法 ・ 均一したエッチング力を維持するため、定期的にエッチング液の交換を行ってくだ さい。 注意事項 ・ 高温、低温、直射日光を避け、冷暗所にて保管してください。 ・ 使用時はゴム手袋、保護メガネ等を着用してください。 ・ ご使用の前には必ず MSDS をご参照ください。 ・ 本液により鉄、ステンレス等は腐蝕されます。エッチング槽には必ずグラスライニ ングもしくはプラスチック（ＰＥ槽など）の材質のものをご使用下さい。 廃液処理 ・ 廃液中には重金属が含まれますので、ご使用後の液の処理は、必ず産業廃棄物業者 に委託してください。 その他 ・ 引火性は無く、消防法上での危険物に該当しません。 ・ 毒物および劇物取締法に該当しません。 ・ PRTR 法に該当しません。 ・ オゾン層破壊物質を含有せず、オゾン層保護法に該当しません。 ・ 内分泌撹乱物質、いわゆる環境ホルモンを含みません。 この技術資料は弊社研究室において行った結果を 元に作成されています。 製品の御使用に際して必ずしも結果が一致するとは 限りません。
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