● このμPhase® smartgageは、小型光学部品の生産管理やモニ タリングにおいて、理想的な計測ソリューションとなります。 ● 携帯電話やデジタルカメラレンズは共通の例になります。 この検査器は、球面と平面の表面ゆがみをデジタル的に解析し、 合格/不合格を一秒以内に判定します。 ● 最先端技術を駆使し、スタンドアロンタイプの検査器として、生産 現場での高品質管理を実現します。 ● 非球面部品に関しても計測できる場合がございますので、 お問い 合わせ下さい。 測定項目 球面反射波面測定 機械的インターフェース FISBA標準マウント 平面反射波面測定 測定(操作)位置 テーブルユニット上面 相対曲率半径測定(オプション) 試料ホルダーの移動範囲 Zステージ移動範囲=80mm 測定波長 635nm Xステージ移動範囲=2mm 出射ビーム直径 φ25.4mm Yステージ移動範囲=2mm 解析を含む測定時間 ≦1秒 傾斜テーブル:傾斜範囲=1° 出射光量 <1mW(手動調整可能) 外形(W×D×H) 220×275×205mm 重量 約4.5kg PV、RMS、ISO互換 ベーシック スタンダード アドバンスト + + + 合格/不合格表示 − + + 画像処理画面 2D 2D 1D、2D 相対ROC測定 − − + 測定データ保存 − + + 測定データプロトコルの生成 − − + ユーザ定義テンプレートの使用可否 − − + USBインタフェース + + + バージョンアップ、更新 + + + PV繰返し精度(1) λ/100(λ@635nm) RMS繰返し精度(2) λ/500(λ@635nm) 測定精度(3) λ/10(λ@635nm) 形式 レーザダイオード クラス分け クラス2 波長 635nm 開口部での出射パワー 1mW以下 材料 µLens SF 1" f/1.0 18.8/17.8 f/#=1.0 NA = 0.5 α = 60° 全研磨面、 ガラス、 セラミック、 プラスチック、結晶 µLens SF 1" f/2.0 19.4/37.8 f/#=2.0 NA = 0.25 α = 29° 加工プロセス 研磨面、 プラスチック型加工、超精密機械加工 試料外径 φ1∼25.4mm ※上記は球面の場合、平面の計測はφ5∼25.4mm 試料反射率 1∼100% コート面/非コート面とも可 総合性能 使用されるキャリブレーションマスターによる sample diameter (mm) 形状 max. convex radius of sample (mm) 説 明 Dpmax :試料最大径 Rpmax :試料最大曲率半径 Rp : 試料曲率半径 α : μレンズSF球面対物レンズの開口角度 : DP/RPの推奨使用範囲 : DP/RPの可能使用範囲 電力消費 AC入力:90∼264VAC/47∼63Hz DC出力:12VDC/15W 温度 18∼30℃動作温度 10∼35℃保存温度 湿度 80%以下、動作、保存環境における 相対湿度(結露なきこと) 安全性適合 CE適合 規 格:EN60825-1:2001 (1) PV-繰返し精度は、同じ型を100回連続測定した結果であり、 かつ96%以上の開口部を測定した値です。 (2) RMS繰返し精度は同じ型を100回連続測定した結果であり、 かつ96%以上の開口部を測定した値です。 スペックは各統計の2σを表しています。 (3) 測定精度は、規格化された干渉計のキャリブレーションに用いられるキャリブレーションマスターの表面精度と同じです。 ※ 精度測定は、防振台上で行われています。 レーザー:クラス2 規 格:IEC60825-1 ■東京本社 〒130-0021 東京都墨田区緑1-19-9 TEL. 03-5638-6551(代) FAX. 03-5638-6550 [email protected] ■大阪支店 〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島4-9-28 TEL. 06-6307-4835(代) FAX. 06-6307-4834 [email protected] ■九州営業所 〒812-0014 福岡県福岡市博多区比恵町3-17 TEL. 092-481-4300(代) FAX. 092-481-4310 [email protected] FISBA-J0809
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