技術コラム52-General innovating measurement technology CyberOptics Semiconductor Inc. TM 技術コラム No.052 Paryleneコーティングとアウトガス サンプル名 陽極酸化処理（SEMI標準仕様：MIL-A-8625F）のアルミハウジング 真空対応のリチウム2次電池 特殊コーティングされた電子回路（表裏の全面） 一部のコーティングされていない、真空対応のコネクタやスイッチ ポリカーボン製の低アウトガス仕様の特殊レーベル 低アウトガスのケーブル WaferSense AGSの外観 上部に静電容量のセンサを持 ち、非接触にスペーシングを測 定。 Paryleneコーティングとは： （日本パリレン合同会社のホームページから抜粋） パリレンコーティングはすぐれた物理特性、化学安定性をもつパラキシリレン樹脂を絶縁保護コーティングする技 術です。常温・真空中に反応性に富むモノマーガスを導入し、ガスが物体表面に接したところで重合してポリマー 膜を形成するという独特のメカニズムによるため、形状いかんにかかわらず均一なピンホールフリーの薄膜が形 成できます。このようにしてできたコーティング膜は極薄ながら高い耐水性、耐薬品性、ガス不透過性、電気絶縁 性、耐熱性をもち、ほとんどの点で他の有機コーティングより優れたバリア性を示します。 特徴 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ョ 右図 火星探査 時 当 時 含 象 時 当 行 2- 時間当たりの量[ng] 測定された有機物質 度 時間 60 2 エチルエステル シクロヘキサノン ﾋﾟﾛﾘｼﾞﾝ、 ｴﾁﾚﾝ 炭化水素 2-シクロヘキサノン, 1-3.5.5-trymethyl 2-シクロヘキサノン-1, 4-Dione, 3, 1-3.5.5-trymethyl 21- ﾋﾟﾛﾘｼﾞﾝ、 1-ｴﾁﾚﾝ シクロヘキサノン 2.6.65-trymethyl わからない 2, 1-3.5.5-trymethyl ｴﾀﾉｰﾙ, 2-ｴﾄｷｼｴﾄｷｼ-, ｴｽﾃﾙ Hexanedioic acid, ｼﾞﾒﾁﾙｴｽﾃﾙ ｱﾐﾄﾞ 3-ﾒﾁﾙ-2-ﾌｪﾆﾙ-4-ﾍﾟﾝﾃﾝ-2-ol わからない 炭化水素 有機ｴｽﾃﾙ酸 ｸﾞﾘｾﾘﾝ Diacetate ｼｸﾛﾍｷｻﾐﾝ, N-ﾌﾞﾁﾙ ﾌｪﾉｷｼｷｼﾙｴﾁﾙ ｱｸﾘﾙ酸塩 ﾌﾟﾛﾋﾟｵﾝ酸, 1,6-hexanediyl ｴｽﾃﾙ ﾍﾞﾝｿﾞﾌｪﾉﾝ DL-a-Phenylactic acid ｴﾀﾉｰﾙ、1-ﾒﾄｷｼ-, ﾍﾞﾝｿﾞｱｰﾄ ﾌｪﾉｰﾙ, 2.4-Di-ter-ﾌﾞﾁﾙわからない 炭化水素 注意： (1) 保留時間の誤差は±0.2分 (2) それぞれの有機物質のリミットは3ngであり、条件を満たした物質のみを表に示しています。 (3) 有機物質の総量は全ての測定点をクロマトグラムにおいて積分したものを含みます。 (4) ATD-GC-MSチャンバーは検知リミットを超える有機物質を出していません。 (5) 分析結果の精度と確度は検知リミット周辺のレベルにおいて±１５－３０％です。 総有機物質 このアウトガスデータは弊社 このアウトガスデータは弊社のオフィシャルな 弊社のオフィシャルな公表 のオフィシャルな公表データであり 公表データであり、 データであり、WaferSenseAGSがこのデータと共 がこのデータと共 に、多くの装置 くの装置メーカやデバイスメーカに 装置メーカやデバイスメーカに認 メーカやデバイスメーカに認められ採用 められ採用されています 採用されています。 されています。 ョ 写 宇宙ステーシ ン 真 （Wikipediaより抜粋） 結果 次にAGS300ウエハ（全ての部品を む）を対 にしたアウトガス測定 を示します。 ：常温にて24 間にわたり、 間 たりのアウトガス測定を い、そしてその に60 の環境にて2 間の 間 たりのアウトガス測定を いました。 条件 常温 時間 24 エチルエステル シクロヘキサノン ﾍﾞﾝｽﾞｱﾙﾃﾞﾋﾄﾞ 2-ピロリジン 総有機物質 ・ 医療、自動車、電子機器や航空宇宙にも使われている。 ・ 航空機、 宇宙ステーシ ン（ ）、 機などにも 採用されています。 国際 測定された有機物質 Methanone 優れた絶縁性 すべての露出面をカバーし、厚みの均一な絶縁保護コーティング 他の材料にはない優れた隙間浸透力、 多層間浸透性 耐薬品性、耐水・耐湿性、電気的にすぐれたバリア特性 優れた耐熱性 優れた耐紫外線性 用途 保留 時間 [分] AGS300 ウエハ 特殊（Parylene）コーティングが電極表面と内部の電子回路に採用 されているのですが、その徳兆とアウトガス測定データを紹介します。 1 表１．ATD-GC-MSにより測定された有機物質 WaferSense AGS（ワイヤレスギャップセンサ）は、以下の部品にて構成されています。 ● ● ● ● ● ● ●ATD-GC-MSとは： 加熱脱着（ATD）ガスクロマトグラフ（GC）質量分析（MS）装置といわれ、揮発性成分などの分析 に使われます。 ●サンプリング方法と測定環境： 窒素を循環させている環境下にて、TenaxGR（大気中・水中の揮発性成分の熱脱着に多く使用 されている）にて採取しています。 行 後 度 時 カスタマーサポート 国内担当：林幸信 電話：0803974-0253 Email：[email protected] 日本語ホームページ：www.jp.cyberopticssemi.com 9130 SW Pioneer Court, Suite D Wilsonville, Oregon, 97070, USA Phone: +1-503-495-2200 FAX: +1-503-495-2201 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム52-General
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