Technical News ●クライオ(冷却)Ar イオンミリング法によるセパレータ断面の TN432 SEM 観察 Cross-sectional SEM Observation of Separator Using Cryo-Ar Ion Milling Technique [概要] Li イオン電池電極などの複合材料における SEM 観察用断面試料の作製には、一般的に断面 Ar イオンミリング法が用いられます。しかし、有機材料などの熱に弱い試料では、Ar イオンビーム照射時の発熱によって微細構造が変形する場合があり、良好な断面試料を作製するためには加工時に生じる熱ダメージを抑制することが重要となります。ここでは Li イオン電池用セパレータをクライオ（冷却）断面 Ar イオンミリング法で加工し、SEM 観察をした事例を紹介します。 [クライオ断面 Ar イオンミリング法の概要] 断面 Ar イオンミリング法は遮蔽板から突出したサンプル面に Ar イオンビームを照射し、スパッタリング現象を用いて断面を作製する手法です。機械的応力による試料変形がなく、広い領域で平滑な断面を得ることができます。さらに、遮蔽板を介して試料の冷却を行うクライオ条件下では、熱ダメージを低減させた断面加工が可能です。図 1 クライオ Ar イオンミリング加工 [事例] Li イオン電池用セパレータの断面観察 Li イオン電池用セパレータには一般的に、ポリオレフィン系の多孔質フィルムが利用されています。このような有機材料は軟化温度が低く、常温条件での断面 Ar イオンミリング加工では細孔構造の溶融・変形が発生する場合があります。クライオ条件下での Ar イオンミリング加工では、適切な前処理法と組み合わせることでイオン加工時の熱ダメージを低減させ、セパレータ本来の細孔構造を正確に観察することができます。 5 μm 図 2 クライオ加工によるセパレータ断面の SEM 像 1 μm 図3 細孔構造の拡大像 [キーワード] ソフトマテリアル、アルゴンイオンミリング、クライオ加工、熱ダメージ作成：筑波事業所（TH1404）2-BB-(66) 当社ホームページはこちらから： http://www.scas.co.jp/ その他技術資料も用意致しております： http://www.scas.co.jp/analysis/